JP2001314881A - 有機物含有水の処理方法 - Google Patents

有機物含有水の処理方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】少量のオゾンを用いて水中の有機物を効率的に
分解することができる有機物含有水の処理方法を提供す
る。 【解決手段】下部に原水入口とオゾン散気管を有し、上
部に処理水出口を有する反応塔に有機物含有水を導入
し、過酸化水素存在下に、オゾンと接触させて有機物を
分解する有機物含有水の処理方法において、有機物含有
水を反応塔内の上向流流速が3〜10m/hrとなるよう
に導入し、オゾン散気管における水圧を25〜100kP
aとすることを特徴とする有機物含有水の処理方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、有機物含有水の処
理方法に関する。さらに詳しくは、本発明は、少量のオ
ゾンを用いて水中の有機物を効率的に分解することがで
きる有機物含有水の処理方法に関する。
【0002】
【従来の技術】水中に含まれる有機物を、オゾンを用い
て酸化分解する方法は、従来より数多く報告され、オゾ
ンと紫外線照射、オゾンとアルカリ、オゾンと過酸化水
素の組み合わせなどが試みられている。例えば、特開昭
58−166987号公報には、炭酸根を含む有機物含
有廃水の処理方法として、原廃水のpHを4.5以下に調
整して空気曝気を行ったのち、pHを6〜8に再調整し、
過酸化水素を添加してオゾン処理する方法が提案されて
いる。しかし、従来のオゾンを用いる有機物含有水の処
理方法では、有機物の分解除去率を高めるためには多量
のオゾンを添加する必要があるためにコスト高となり、
さらに、処理水や排気中にも高濃度のオゾンが含まれる
ので、処理水や排気中のオゾンを分解するためにも、大
型の処理装置が必要となるという問題があった。このた
めに、少量のオゾンを用いて水中に含まれる有機物を効
率的に分解することができ、処理水と排気中に残留する
オゾンの量が少ない有機物含有水の処理方法が求められ
ていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、少量のオゾ
ンを用いて水中の有機物を効率的に分解することができ
る有機物含有水の処理方法を提供することを目的として
なされたものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記の課
題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、下部にオゾン散
気管を有する反応塔に、過酸化水素を添加した有機物含
有水を上向流で通じてオゾンと接触させ、上向流流速を
3〜10m/hr、オゾン散気管における水圧を25kPa
以上とすることにより、少量のオゾンを用いて効率的に
有機物を分解することが可能となることを見いだし、こ
の知見に基づいて本発明を完成するに至った。すなわ
ち、本発明は、(1)下部に原水入口とオゾン散気管を
有し、上部に処理水出口を有する反応塔に有機物含有水
を導入し、過酸化水素存在下に、オゾンと接触させて有
機物を分解する有機物含有水の処理方法において、有機
物含有水を反応塔内の上向流流速が3〜10m/hrとな
るように導入し、オゾン散気管における水圧を25〜1
00kPaとすることを特徴とする有機物含有水の処理方
法、を提供するものである。さらに、本発明の好ましい
態様として、(2)処理水のpHが6〜10となるよう
に、有機物含有水のpHを調整する第1項記載の有機物含
有水の処理方法、(3)過酸化水素の添加量が、有機体
炭素(TOC)濃度の3〜10重量倍である第1項記載
の有機物含有水の処理方法、(4)オゾンの添加量が、
有機体炭素(TOC)濃度の10〜40重量倍である第
1項記載の有機物含有水の処理方法、(5)オゾン散気
管に供給する気体中のオゾン濃度が、100g/Nm3
以上である第1項記載の有機物含有水の処理方法、
(6)有機物含有水とオゾンの接触を、40〜70℃で
行う第1項記載の有機物含有水の処理方法、及び、
(7)処理水を、さらに逆浸透膜又はイオン交換樹脂に
より脱塩処理する第1項記載の有機物含有水の処理方
法、を挙げることができる。
【0005】
【発明の実施の形態】本発明の有機物含有水の処理方法
においては、下部に原水入口とオゾン散気管を有し、上
部に処理水出口を有する反応塔に有機物含有水を導入
し、過酸化水素存在下に、オゾンと接触させて有機物を
分解する有機物含有水の処理方法において、有機物含有
水を反応塔内の上向流流速が3〜10m/hrとなるよう
に導入し、オゾン散気管における水圧を25〜100kP
aとする。本発明方法により処理する有機物の種類に制
限はないが、本発明方法は、界面活性剤、アルコール
類、ケトン類、カルボン酸類などの分解処理に特に有効
である。本発明方法を適用する有機物含有水としては、
例えば、電子材料洗浄工程で発生するリンス排水のよう
に、有機体炭素濃度が1〜100mg/Lである有機物含
有水などを挙げることができる。図1は、本発明方法の
実施の一態様の工程系統図である。貯槽1に貯留された
有機物含有水は、ポンプ2により送り出される。有機物
含有水には、ポンプの上流側においてアルカリが添加さ
れ、ポンプの下流側においてpH計3によりpHが測定さ
れ、所定のpHになるようにアルカリの添加量が制御され
る。アルカリを添加された有機物含有水は熱交換器4へ
送られ、処理水との間の熱交換により処理水の余熱が回
収され、さらに次の熱交換器5において所定の温度まで
加熱される。加熱された有機物含有水には、過酸化水素
が添加され、原水入口6より反応塔7に導入される。有
機物含有水は、反応塔内において上向流で移動しつつ、
反応塔下部に設けられたオゾン散気管8より導入される
オゾンと接触して、有機物が分解される。有機物が分解
された処理水は、処理水出口9より流出し、気液分離器
10で気相と水相に分離される。気相は、触媒充填層1
1においてオゾンが分解され、排ガスとして放出され
る。気相を分離した処理水は、ポンプ12により熱交換
器4に送られ、余熱が回収される。送水配管に設けられ
たpH計13により、処理水のpHが測定され、処理水のpH
測定値によってもアルカリ添加量が制御される。
【0006】本発明方法において、有機物含有水は、反
応塔内を上向流で、すなわち、オゾンと並流で通水され
る。有機物含有水の上向流流速(LV)は、3〜10m
/hrである。有機物含有水の上向流流速が3m/hr未満
であると、反応塔の占有面積が過大となるのみならず、
オゾンの自己分解が生じて有機物の分解に有効に寄与せ
ず、有機物の分解率が低下するおそれがある。有機物含
有水の上向流流速が10m/hrを超えると、有機物の分
解率が低下するおそれがある。本発明方法においては、
反応塔下部に設けられたオゾン散気管における水圧を2
5〜100kPaとする。本発明方法において、オゾン散
気管における水圧を調整する方法に特に制限はなく、例
えば、反応塔のオゾン散気管上部の水深を2.5〜10
mとすることにより、オゾン散気管における水圧を25
〜100kPaとすることができ、あるいは、加圧型の反
応塔を用いて、オゾン散気管における水圧を25〜10
0kPaに調整することもできる。オゾン散気管における
水圧が25kPa未満であると、オゾンの溶解効率が低下
し、有機物の分解率が低下するおそれがある。オゾン散
気管における水圧が100kPaを超えると、水圧の上昇
に必要な反応塔と、水圧に抗してオゾン含有ガスを送気
するための設備の経済性が損なわれるおそれがある。本
発明方法においては、処理水のpHが6〜10になるよう
に、有機物含有水のpHを調整することが好ましい。処理
水のpHが6未満であると、オゾンと過酸化水素の反応速
度が遅く、ラジカルの発生速度が遅くなるので、有機物
の分解率が低下するおそれがある。処理水のpHが10を
超えると、オゾンと過酸化水素の自己分解速度が速くな
り、有効にラジカルが発生しないので、有機物の分解率
が低下するおそれがある。pHの調整方法に特に制限はな
いが、図1に示す態様のように、アルカリを添加した有
機物含有水のpHを測定してアルカリ添加量を制御すると
ともに、さらに処理水のpHを測定してアルカリの添加量
を制御することが好ましい。反応塔に供給する有機物含
有水のpHが一定であっても、水中の有機物の分解により
カルボン酸や炭酸が生成し、処理水のpHが低下し、しか
も有機物の種類や濃度によって処理水のpHは変化するの
で、反応塔に供給する有機物含有水と反応塔から流出す
る処理水の両点でpHを調整することが好ましい。処理水
のpHが高い方が、有機物の分解率は高くなるが、処理水
のpHが高すぎると脱塩工程への負荷が過大になるおそれ
がある。有機物含有水のpHを調整するために用いるアル
カリに特に制限はなく、例えば、水酸化ナトリウム、水
酸化カリウムなどを挙げることができる。
【0007】本発明方法において、有機物含有水に添加
する過酸化水素の量に特に制限はないが、有機物含有水
中の有機体炭素(TOC)濃度の3〜10重量倍である
ことが好ましい。過酸化水素の添加量が有機体炭素濃度
の3重量倍未満であると、有機物の分解率が低下するお
それがある。過酸化水素の添加量が有機体炭素濃度の1
0重量倍を超えると、有機物の分解率は過酸化水素の添
加量の増加に見合っては向上しなくなるおそれがある。
本発明方法においては、オゾン散気管に供給するオゾン
含有ガス中のオゾン濃度が、100g/Nm3以上であ
ることが好ましく、150g/Nm3以上であることが
より好ましい。オゾン散気管に供給するオゾン含有ガス
中のオゾン濃度が100g/Nm3未満であると、オゾ
ンの溶解効率が低下し、有機物の分解率が低下するおそ
れがある。本発明方法に用いるオゾン含有ガスの製造方
法に特に制限はなく、例えば、純水を原料として電気分
解によりオゾンを発生させるオゾン発生器や、酸素ガス
や空気を原料として無声放電、沿面放電などによりオゾ
ンを発生させるオゾン発生器を用いて製造することがで
きる。これらの中で、オゾン濃度の高いオゾン含有ガス
を発生することができる電解式オゾン発生器を特に好適
に用いることができる。本発明方法において、反応塔下
部に設けるオゾン散気管に特に制限はないが、オゾン含
有ガスを直径50〜100μmの微細気泡とすることが
できる散気管であることが好ましい。オゾン含有ガスの
微細気泡の直径を50μm未満とするためには、オゾン
散気管における圧力損失が過大となるおそれがある。オ
ゾン含有ガスの微細気泡の直径が100μmを超える
と、オゾンの溶解効率が低下して、有機物の分解に利用
されることなく気液分離器へ流出するオゾンの量が過大
となるおそれがある。本発明方法において、有機物含有
水に添加するオゾンの量に特に制限はないが、有機物含
有水中の有機体炭素(TOC)濃度の10〜40重量倍
であることが好ましく、20〜30重量倍であることが
より好ましい。オゾンの添加量が有機体炭素濃度の10
重量倍未満であると、有機物の分解率が低下するおそれ
がある。オゾンの添加量が有機体炭素濃度の40重量倍
を超えると、有機物の分解率はオゾンの添加量の増加に
見合っては向上しなくなるおそれがある。
【0008】本発明方法において、反応塔内における有
機物含有水とオゾンの接触は、40〜70℃で行うこと
が好ましく、50〜60℃で行うことがより好ましい。
有機物含有水とオゾンの接触温度が40℃未満である
と、有機物の分解率が低下するおそれがある。有機物含
有水とオゾンの接触温度が70℃を超えると、有機物の
分解率は温度上昇に見合っては向上せず、熱エネルギー
の消費量が過大になるおそれがある。反応塔から流出す
る処理水は加熱されているので、熱回収用熱交換器を設
けて、反応塔に供給される有機物含有水と反応塔から流
出する処理水の間で熱交換を行い、熱エネルギーを回収
することが好ましい。本発明方法においては、有機物が
分解された処理水と気体との混合物が反応塔から流出す
るので、この気液混合物を気液分離器に導き、気相と水
相を分離することが好ましい。気液分離器において分離
された気相は、通常なお未分解のオゾンを含有するの
で、触媒充填層を通過させることによりオゾンを分解し
て無害化し、大気中に放出することが好ましい。処理水
中に過酸化水素などの酸化剤が残留している場合は、活
性炭や触媒との接触、還元剤の添加などにより、残留酸
化剤を除去することができる。本発明方法は、図1に示
すような装置を多段に用いて、多段階に行うことができ
る。本発明方法の処理を多段階に行うことにより、有機
物含有水の有機物の分解率を高めることができる。ま
た、本発明方法の実施の前段又は後段において、他の方
法により有機物分解処理を行うことができる。他の有機
物分解処理方法に特に制限はなく、例えば、オゾン酸化
法、生物処理法、酸化剤の添加と高圧水銀灯による紫外
線照射の組み合わせなどを挙げることができる。本発明
の有機物含有水の処理方法によれば、次式で表されるオ
ゾンと過酸化水素の反応により発生するラジカルと水と
の接触を効率的に行い、有機物含有水中の有機物を、少
量のオゾンの添加により効率的に分解することができ
る。 O3 + H22 → ・OH + HO2 - + O2 また、添加するオゾンの量を減少し、効率的にオゾンを
利用するために、排ガス中及び処理水中に残留するオゾ
ンの濃度が低く、残留オゾンを処理するための装置を小
型化することができる。
【0009】
【実施例】以下に、実施例を挙げて本発明をさらに詳細
に説明するが、本発明はこれらの実施例によりなんら限
定されるものではない。図2は、実施例及び比較例にお
いて用いた装置の説明図である。実施例1〜7及び比較
例1〜6においては、純水にイソプロピルアルコール
5.00mg/Lを添加して、有機体炭素(TOC)3.0
0mgC/Lを含有する水とし、処理水のpHが6〜6.5
になるように水酸化ナトリウム水溶液を添加した。撹拌
槽14で均一に混合し、ポンプ15で送り出し、ヒータ
ー16で水温55℃に加熱し、過酸化水素25mg/Lを
添加した。バルブ17及び18により、反応塔19にお
ける水流を上向流又は下向流に切り替えた。反応塔は、
下部にオゾン散気管20を有し、電解式のオゾン発生器
[ササクラ(株)、オゾンマスター]で発生させたオゾン
200g/Nm3を含有するオゾン含有ガスを供給し
た。反応塔は、内径110mm、オゾン散気管上の水深
2,000mmであり、出口側のバルブ21と22又は2
3の開度により、オゾン散気管における水圧を調整し
た。バルブ21より流出する気体は、触媒充填層24に
おいてオゾンを分解し、排ガスとして放出した。バルブ
22又は23より流出する処理水は、冷却器25により
冷却した。pH計26及び27により原水及び処理水のpH
を測定し、水酸化ナトリウム水溶液供給装置に信号を送
った。実施例8〜10においては、処理水のpHが8〜
9.5になるように水酸化ナトリウム水溶液を供給し
た。実施例11においては、供給するオゾン含有ガスの
オゾン濃度を100g/Nm3とした。
【0010】実施例1 イソプロピルアルコール含有水を流速5m/hrの上向流
で通水し、オゾン散気管における水圧を30kPaに調整
し、オゾンを2g/hr供給した。処理水のTOCは0.
51mgC/Lであり、TOC除去率は83%であった。 実施例2 オゾンの供給量を3g/hrに増加した以外は、実施例1
と同じ操作を繰り返した。処理水のTOCは0.15mg
C/Lであり、TOC除去率は95%であった。 実施例3 オゾン散気管における水圧を50kPaに増加した以外
は、実施例1と同じ操作を繰り返した。処理水のTOC
は0.45mgC/Lであり、TOC除去率は85%であ
った。 実施例4 オゾン散気管における水圧を60kPaに増加した以外
は、実施例1と同じ操作を繰り返した。処理水のTOC
は0.42mgC/Lであり、TOC除去率は86%であ
った。 実施例5 オゾン散気管における水圧を60kPaに増加し、オゾン
の供給量を3g/hrに増加した以外は、実施例1と同じ
操作を繰り返した。処理水のTOCは0.15mgC/L
であり、TOC除去率は95%であった。 実施例6 イソプロピルアルコール含有水の流速を3m/hrに低下
した以外は、実施例1と同じ操作を繰り返した。処理水
のTOCは0.57mgC/Lであり、TOC除去率は8
1%であった。 実施例7 イソプロピルアルコール含有水の流速を10m/hrに増
加した以外は、実施例1と同じ操作を繰り返した。処理
水のTOCは0.60mgC/Lであり、TOC除去率は
80%であった。 実施例8 イソプロピルアルコール含有水に処理水のpHが8になる
ように水酸化ナトリウム水溶液を添加して流速5m/hr
の上向流で通水し、オゾン散気管における水圧を30kP
aに調整し、オゾンを2g/hr供給した。処理水のTO
Cは0.45mgC/Lであり、TOC除去率は85%で
あった。 実施例9 処理水のpHが9になるようにイソプロピルアルコール含
有水に水酸化ナトリウム水溶液を添加した以外は、実施
例8と同じ操作を繰り返した。処理水のTOCは0.4
5mgC/Lであり、TOC除去率は85%であった。 実施例10 処理水のpHが9.5になるようにイソプロピルアルコー
ル含有水に水酸化ナトリウム水溶液を添加した以外は、
実施例8と同じ操作を繰り返した。処理水のTOCは
0.60mgC/Lであり、TOC除去率は80%であっ
た。 実施例11 オゾン濃度が100g/Nm3のオゾン含有ガスを用い
た以外は、実施例1と同じ操作を繰り返した。処理水の
TOCは0.57mgC/Lであり、TOC除去率は81
%であった。
【0011】比較例1 イソプロピルアルコール含有水を流速5m/hrの下向流
で通水し、オゾン散気管における水圧を30kPaに調整
し、オゾンを2g/hr供給した。処理水のTOCは0.
78mgC/Lであり、TOC除去率は74%であった。 比較例2 オゾンの供給量を3g/hrに増加した以外は、比較例1
と同じ操作を繰り返した。処理水のTOCは0.42mg
C/Lであり、TOC除去率は86%であった。 比較例3 イソプロピルアルコール含有水を流速2m/hrの上向流
で通水し、オゾン散気管における水圧を30kPaに調整
し、オゾンを2g/hr供給した。処理水のTOCは0.
84mgC/Lであり、TOC除去率は72%であった。 比較例4 イソプロピルアルコール含有水の流速を11m/hrに増
加した以外は、比較例3と同じ操作を繰り返した。処理
水のTOCは0.72mgC/Lであり、TOC除去率は
76%であった。 比較例5 イソプロピルアルコール含有水を流速5m/hrの上向流
で通水し、オゾン散気管における水圧を20kPaに調整
し、オゾンを2g/hr供給した。処理水のTOCは0.
90mgC/Lであり、TOC除去率は70%であった。 比較例6 オゾンの供給量を3g/hrに増加した以外は、比較例5
と同じ操作を繰り返した。処理水のTOCは0.78mg
C/Lであり、TOC除去率は74%であった。実施例
1〜11及び比較例1〜6の結果を、第1表に示す。
【0012】
【表1】
【0013】イソプロピルアルコール含有水の流れ方向
のみが異なる実施例1と比較例1、実施例2と比較例2
を比較すると、上向流の方が下向流よりも、TOC除去
率が高いことが分かる。イソプロピルアルコール含有水
の流速のみが異なる実施例1、実施例6、実施例7、比
較例3及び比較例4を比較すると、流速が3m/hr未満
であっても、10m/hrを超えても、TOC除去率が低
下することが分かる。オゾン散気管における水圧のみが
異なる実施例1と比較例5、実施例2と比較例6を比較
すると、水圧が20kPa未満になると、TOC除去率が
低下することが分かる。同様に、オゾン散気管における
水圧のみが異なる実施例1と実施例3と実施例4、実施
例2と実施例5を比較すると、オゾン散気管における水
圧が高くなると、TOC除去率も高くなるが、水圧が5
0kPaを超えると、TOC除去率はほぼ一定値に近づい
ている。処理水のpHのみが異なる実施例1、実施例8、
実施例9及び実施例10を比較すると、TOC除去率の
みについて言えば、処理水のpHが8〜9のとき、TOC
除去率が最も高くなっている。供給したオゾン含有ガス
のオゾン濃度のみが異なる実施例1と実施例11を比較
すると、オゾン濃度の高い方が、TOC除去率が高くな
ることが分かる。
【0014】
【発明の効果】本発明方法によれば、少量のオゾンを用
いて水中の有機物を効率的に分解し、有機体炭素濃度を
低下することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、本発明方法の実施の一態様の工程系統
図である。
【図2】図2は、実施例において用いた装置の説明図で
ある。
【符号の説明】
1 貯槽 2 ポンプ 3 pH計 4 熱交換器 5 熱交換器 6 原水入口 7 反応塔 8 オゾン散気管 9 処理水出口 10 気液分離器 11 触媒充填層 12 ポンプ 13 pH計 14 撹拌槽 15 ポンプ 16 ヒーター 17 バルブ 18 バルブ 19 反応塔 20 オゾン散気管 21 バルブ 22 バルブ 23 バルブ 24 触媒充填層 25 冷却器 26 pH計 27 pH計

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】下部に原水入口とオゾン散気管を有し、上
    部に処理水出口を有する反応塔に有機物含有水を導入
    し、過酸化水素存在下に、オゾンと接触させて有機物を
    分解する有機物含有水の処理方法において、有機物含有
    水を反応塔内の上向流流速が3〜10m/hrとなるよう
    に導入し、オゾン散気管における水圧を25〜100kP
    aとすることを特徴とする有機物含有水の処理方法。
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