JP2001308463A5 - - Google Patents
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Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2000127400A JP4560885B2 (ja) | 2000-04-27 | 2000-04-27 | 化合物半導体装置およびその製造方法ならびに半導体発光装置およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000127400A JP4560885B2 (ja) | 2000-04-27 | 2000-04-27 | 化合物半導体装置およびその製造方法ならびに半導体発光装置およびその製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001308463A JP2001308463A (ja) | 2001-11-02 |
| JP2001308463A5 true JP2001308463A5 (xx) | 2006-12-28 |
| JP4560885B2 JP4560885B2 (ja) | 2010-10-13 |
Family
ID=18636998
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000127400A Expired - Fee Related JP4560885B2 (ja) | 2000-04-27 | 2000-04-27 | 化合物半導体装置およびその製造方法ならびに半導体発光装置およびその製造方法 |
Country Status (1)
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| JP (1) | JP4560885B2 (xx) |
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2000
- 2000-04-27 JP JP2000127400A patent/JP4560885B2/ja not_active Expired - Fee Related