JP2001306015A - Driving circuit for image display device, and electronic equipment - Google Patents

Driving circuit for image display device, and electronic equipment

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JP2001306015A
JP2001306015A JP2001034847A JP2001034847A JP2001306015A JP 2001306015 A JP2001306015 A JP 2001306015A JP 2001034847 A JP2001034847 A JP 2001034847A JP 2001034847 A JP2001034847 A JP 2001034847A JP 2001306015 A JP2001306015 A JP 2001306015A
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storage circuit
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To solve the problem in the conventional device that signal line drive circuits of a digital system occupies a large area in an image display device and that this is an obstacle to reduction in size of the display device. SOLUTION: A storage circuit of a signal line drive circuit and D/A converter circuit are made to share n-pieces of signal lines (n is a natural number not smaller than 2) with each other. One horizontal scanning period is divided into n-pieces, and during each divided period, processing is performed to signal lines having respectively different storage circuits and D/A converter circuits, and thereby all the signal lines can be driven. Thus, it makes possible to reduce the number of the storage circuits and the D/A converter circuits in the signal line driving circuit to one n-th of that in the conventional device.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION

【0002】本発明は、デジタル映像信号を入力する画
像表示装置の駆動回路に係り、特にその占有面積を縮小
することが可能な画像表示装置の駆動回路、電子機器に
関する。
[0002] The present invention relates to a driving circuit of an image display device for inputting a digital video signal, and more particularly to a driving circuit of an image display device capable of reducing its occupied area, and an electronic apparatus.

【0003】[0003]

【従来の技術】近年ガラス基板上に半導体薄膜を形成し
た画像表示装置、特に薄膜トランジスタ(以降、TFT
と記す)を使用したアクティブマトリクス型画像表示装
置が普及している。TFTを使用したアクティブマトリ
クス型画像表示装置は、マトリクス状に配置された数十
万から数百万のTFTを有し、各画素の電荷を制御して
いる。
2. Description of the Related Art In recent years, an image display device in which a semiconductor thin film is formed on a glass substrate, particularly a thin film transistor (hereinafter referred to as TFT).
Active matrix type image display devices using the same are widely used. An active matrix image display device using TFTs has hundreds of thousands to millions of TFTs arranged in a matrix and controls the charge of each pixel.

【0004】さらに、最近の技術として、画素を構成す
る画素TFTのほかに、画素マトリクスの外側に駆動回
路を、TFTを用いて同時形成するポリシリコンTFT
技術が発展しつつある。
Further, as a recent technology, in addition to a pixel TFT constituting a pixel, a polysilicon TFT in which a driving circuit is simultaneously formed using a TFT outside a pixel matrix is used.
Technology is evolving.

【0005】また、同時形成される駆動回路もアナログ
映像信号対応のものだけでなく、デジタル映像信号に対
応したものが、実現されている。
[0005] In addition, not only a drive circuit formed at the same time as that for an analog video signal but also a drive circuit for a digital video signal has been realized.

【0006】アクティブマトリクス型画像表示装置の一
種であるアクティブマトリクス型液晶表示装置の従来例
を図19に示す。図19に示されるように、液晶表示装
置は信号線駆動回路101,走査線駆動回路102、画
素マトリクス103、信号線104、走査線105、画
素TFT106、液晶107などによって構成されてい
る。
FIG. 19 shows a conventional example of an active matrix type liquid crystal display device which is a kind of an active matrix type image display device. As shown in FIG. 19, the liquid crystal display device includes a signal line driving circuit 101, a scanning line driving circuit 102, a pixel matrix 103, a signal line 104, a scanning line 105, a pixel TFT 106, a liquid crystal 107, and the like.

【0007】図20は従来例の信号線駆動回路の構成を
詳細に説明するものである。また、図21は図20に対
するタイミングチャートである。ここでは、k(水平)
×l(垂直)の画素を持つ画像表示装置を例に説明す
る。説明を簡易に行なうため、デジタル信号は3ビット
を例にとるが、実際の画像表示装置ではビット数は3に
は限定しない。また、図20、図21ではk=640と
具体的な数を用いて示した。
FIG. 20 explains in detail the configuration of a conventional signal line drive circuit. FIG. 21 is a timing chart for FIG. Here, k (horizontal)
An image display device having x1 (vertical) pixels will be described as an example. For the sake of simplicity, the digital signal takes 3 bits as an example, but the number of bits is not limited to 3 in an actual image display device. In FIGS. 20 and 21, k = 640 and a specific number are used.

【0008】従来の信号線駆動回路は以下のような構成
を有している。それらは、クロック信号(CLK)およ
びスタートパルス(SP)を入力し、順次パルスをシフ
トしていくシフトレジスタ、シフトレジスタの出力信号
を入力しデジタル映像信号を順次記憶する第1のラッチ
回路(LAT1)、第1のラッチ回路の出力をラッチパ
ルスにあわせてラッチする第2のラッチ回路(LAT
2)、第2のラッチ回路の出力をアナログ信号に変換す
るD/A変換回路(DAC)よりなっている。ここで
は、記憶回路はラッチ回路を用いている。
A conventional signal line drive circuit has the following configuration. The shift register receives a clock signal (CLK) and a start pulse (SP), sequentially shifts a pulse, and a first latch circuit (LAT1) that receives an output signal of the shift register and sequentially stores a digital video signal. ), A second latch circuit (LAT) which latches the output of the first latch circuit in accordance with a latch pulse.
2) A D / A converter (DAC) for converting the output of the second latch circuit into an analog signal. Here, a latch circuit is used as the storage circuit.

【0009】そして、前述したシフトレジスタ段数(図
20に示すDFFの個数に相当)はk+1段となる。シ
フトレジスタの出力信号は、直接またはバッファを介し
て、第1のラッチ回路(LAT1)の制御信号(SR−
001〜SR−640)となる。第1のラッチ回路(L
AT1)は前記制御信号に合わせて、デジタル映像信号
線上のデジタル映像信号(D0〜D2)をラッチする。
ここで第1のラッチ回路(LAT1)はデジタル映像信
号線数3(ビット数)×k(水平信号線数)の分だけ必
要になる。第2のラッチ回路(LAT2)も同じく3k
だけ必要である。
The number of shift register stages (corresponding to the number of DFFs shown in FIG. 20) is k + 1. The output signal of the shift register is supplied directly or via a buffer to the control signal (SR-) of the first latch circuit (LAT1).
001-SR-640). The first latch circuit (L
AT1) latches digital video signals (D0 to D2) on digital video signal lines in accordance with the control signal.
Here, the first latch circuit (LAT1) is required for the number of digital video signal lines 3 (the number of bits) × k (the number of horizontal signal lines). The second latch circuit (LAT2) is also 3k
Just need.

【0010】信号線駆動回路には、シフトレジスタ用ク
ロック信号(CLK)、スタートパルス(SP)、デジ
タル映像信号(D0〜D2)、ラッチパルス(LP)が
入力される。シフトレジスタはまず、スタートパルス
(SP)とクロック信号(CLK)が入力され、順次パ
ルスをシフトしていく。シフトレジスタの出力(図20
ではSR−001〜SR−640)は図21に示すよう
に、クロック信号(CLK)の1周期ずつシフトしたパ
ルスとなる。シフトレジスタの出力信号によって、第1
のラッチ回路(LAT1)は動作し、そのときに入力さ
れているデジタル映像信号をラッチしていく。シフトレ
ジスタのパルスが1ライン分シフトすることによって、
1ライン分のデジタル映像信号が第1のラッチ回路(L
AT1)に記憶される。(図20ではL1−001〜L
1−640。ただし、簡単のためビットの区別はせずに
まとめて示した。)
The signal line drive circuit receives a shift register clock signal (CLK), a start pulse (SP), digital video signals (D0 to D2), and a latch pulse (LP). First, the shift register receives a start pulse (SP) and a clock signal (CLK), and sequentially shifts the pulse. Output of shift register (FIG. 20)
SR-001 to SR-640) are pulses shifted by one cycle of the clock signal (CLK) as shown in FIG. Depending on the output signal of the shift register, the first
Operates, and latches the digital video signal input at that time. By shifting the pulse of the shift register by one line,
The digital video signal for one line is supplied to the first latch circuit (L
AT1). (In FIG. 20, L1-001 to L1-001
1-640. However, for simplicity, the bits are collectively shown without distinction. )

【0011】次に、帰線期間の間に、ラッチパルス(L
P)が入力される、このラッチパルスによって、第2の
ラッチ回路(LAT2)が動作し、第1のラッチ回路
(LAT1)に記憶された映像信号(図20、図21で
はL1−001〜L1−640)は第2のラッチ回路
(LAT2)に記憶される。帰線期間が終了し、次の水
平走査期間になると、再び、シフトレジスタは動作を始
める。一方、第2のラッチ回路(LAT2)に記憶され
ていたデジタル映像信号(図20、図21ではL2−0
01〜L2−640。ただし、簡単のためビットの区別
はせずにまとめて示した。)はD/A変換回路(DA
C)でアナログ信号に変換される。このアナログ信号は
信号線(図20ではS001〜S640)に送られ、画
素TFTがオンすると、画素に書き込まれる。
Next, a latch pulse (L
P) is input, the second latch circuit (LAT2) operates by the latch pulse, and the video signal (L1-001 to L1 in FIGS. 20 and 21) stored in the first latch circuit (LAT1). −640) is stored in the second latch circuit (LAT2). When the retrace period ends and the next horizontal scanning period starts, the shift register starts operating again. On the other hand, the digital video signal (L2-0 in FIGS. 20 and 21) stored in the second latch circuit (LAT2)
01 to L2-640. However, for simplicity, the bits are collectively shown without distinction. ) Is a D / A conversion circuit (DA
In C), it is converted into an analog signal. This analog signal is sent to a signal line (S001 to S640 in FIG. 20), and is written to the pixel when the pixel TFT is turned on.

【0012】以上の動作によって、画像表示装置は画素
に映像信号を書き込み、表示を行なう。
With the above operation, the image display device writes a video signal to the pixel and performs display.

【0013】[0013]

【発明が解決しようとする課題】上記にて説明したよう
なデジタル方式の駆動回路はアナログ方式に比べてその
占有面積が非常に大きいという欠点がある。デジタル方
式では、信号が“Hi”または“Lo”の2値であらわ
せるというメリットがあるが、その代わりデータ量が膨
大になり、画像表示装置を構成する上で、小型化という
観点から大きな妨げとなっている。画像表示装置の面積
の増加は、その製造原価の増加をまねき、製造企業の収
益を悪化させるという問題点がある。
The digital driving circuit described above has a disadvantage that its occupied area is much larger than that of the analog driving circuit. The digital system has an advantage that a signal is represented by a binary value of “Hi” or “Lo”. However, the amount of data becomes huge instead. It has become. The increase in the area of the image display device causes an increase in the manufacturing cost thereof, and there is a problem that the profit of the manufacturing company is deteriorated.

【0014】また、近年扱う情報量の急激な増加に伴
い、画素数の増大化および画素の精細化が図られてい
る。しかし、画素数の増加にあわせて、駆動回路も増加
していくことになり、駆動回路の面積の縮小が望まれて
いる。
Further, with the rapid increase in the amount of information to be handled in recent years, the number of pixels and the definition of pixels have been increased. However, as the number of pixels increases, the number of drive circuits also increases, and it is desired to reduce the area of the drive circuit.

【0015】ここで、一般に用いられているコンピュー
タの表示解像度の例を画素数と規格名とによって以下に
示す。 画素数 規格名 640×480 VGA 800×600 SVGA 1024×768 XGA 1280×1024 SXGA 1600×1200 UXGA
Here, examples of the display resolution of a commonly used computer are shown below by the number of pixels and the standard name. Number of pixels Standard name 640 × 480 VGA 800 × 600 SVGA 1024 × 768 XGA 1280 × 1024 SXGA 1600 × 1200 UXGA

【0016】例えば、SXGA規格を例にとった場合、
ビット数を8とすると、上述した従来の駆動回路では1
280本の信号線に対して、第1の記憶回路、第2の記
憶回路がそれぞれ10240個必要になる。また、ハイ
ビジョンTV(HDTV)などのような高精細なテレビ
受像機が普及し、コンピュータの世界のみならず、AV
の分野においても、高精細な画像が必要になってきてい
る。米国では、地上波デジタル放送がはじまり、日本に
おいても、デジタル放送の時代が始まることになる。デ
ジタル放送では画素数1920×1080のものが有力
であり、駆動回路の縮小が早急に求められている。
For example, taking the SXGA standard as an example,
Assuming that the number of bits is 8, the conventional driving circuit described above has 1 bit.
For each of the 280 signal lines, 10240 first memory circuits and 10240 second memory circuits are required. In addition, high-definition television receivers such as a high-definition TV (HDTV) have become widespread.
In this field, a high-definition image is required. Terrestrial digital broadcasting has begun in the United States, and the era of digital broadcasting will begin in Japan. In digital broadcasting, one having 1920 × 1080 pixels is the most prominent, and reduction of the driving circuit is urgently required.

【0017】しかし、前述したように、信号線駆動回路
の占有面積は大きく、これが画像表示装置の小型化の妨
げになっている。本発明は、そのような問題点を解決す
るために、信号線駆動回路の占有面積を削減し、小型化
に有利な技術を提供するものである。
However, as described above, the area occupied by the signal line driving circuit is large, which hinders downsizing of the image display device. In order to solve such a problem, the present invention provides an advantageous technique for reducing the area occupied by a signal line driving circuit and reducing the size.

【0018】[0018]

【課題を解決するための手段】信号線駆動回路内の記憶
回路やD/A変換回路をn本(nは2以上の自然数)の
信号線で共有する。1水平走査期間をn個に分割し、そ
の分割された各期間に、記憶回路やD/A変換回路がそ
れぞれ異なる信号線に対して処理を行なうことで、全て
の信号線を正常に駆動することができる。こうして信号
線駆動回路内の記憶回路やD/A変換回路を従来例のn
分の1にすることが可能となる。
A memory circuit and a D / A conversion circuit in a signal line driving circuit are shared by n (n is a natural number of 2 or more) signal lines. One horizontal scanning period is divided into n, and in each of the divided periods, the storage circuit and the D / A conversion circuit process different signal lines, so that all signal lines are driven normally. be able to. In this manner, the storage circuit and the D / A conversion circuit in the signal line driving circuit are replaced with the conventional n
It becomes possible to make it 1/100.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】ここでは、一般に水平方向と垂直
方向の画素数をそれぞれk、lとした画像表示装置を例
にとって説明する。本実施形態では、デジタル映像信号
を3ビットとして説明するが、本発明は3ビットに限ら
ず、6ビット、8ビットまたはそれ以外のビット数につ
いても有効である。また、以下の説明において、1つの
D/A変換回路で何本の信号線を駆動するかを示すパラ
メータとしてnを用いるが、水平方向の画素数kがnの
倍数でないときは、kに適当に数字を足してnの倍数に
したものを新たにkと定義するものとする。この場合、
付け加えた画素を仮想的なものとして取り扱えば実際の
動作には何も支障をきたさない。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Here, an image display device in which the number of pixels in the horizontal direction and the number of pixels in the vertical direction are generally k and l will be described as an example. In the present embodiment, the digital video signal is described as having three bits, but the present invention is not limited to three bits, and is also effective for 6 bits, 8 bits, or any other number of bits. In the following description, n is used as a parameter indicating how many signal lines are driven by one D / A conversion circuit. However, when the number k of pixels in the horizontal direction is not a multiple of n, it is appropriate to use k. And a number that is a multiple of n is newly defined as k. in this case,
If the added pixel is treated as a virtual one, there is no hindrance to the actual operation.

【0020】以下に本実施形態の構成と動作について説
明する。図1に本実施形態の信号線駆動回路例を、図2
にはその動作タイミングを示す。ただし、図1、図2で
はk=640の具体例を示している。以下では、一般的
な説明としてkなどの記号を用いるが、〔 〕内には図
1、図2に対応した具体的な数字を示すことにする。な
お、走査線駆動回路の構成、画素マトリクスの構成は従
来と同じである。
The configuration and operation of this embodiment will be described below. FIG. 1 shows an example of the signal line driving circuit of the present embodiment, and FIG.
Shows the operation timing. However, FIGS. 1 and 2 show specific examples of k = 640. In the following, symbols such as k are used for general description, but specific numbers corresponding to FIGS. 1 and 2 are shown in []. Note that the configuration of the scanning line driving circuit and the configuration of the pixel matrix are the same as those in the related art.

【0021】本実施形態の信号線駆動回路は、ディレイ
型フリップフロップ(DFF)から成るシフトレジスタ
と、第1の記憶回路(LAT1)と、第2の記憶回路
(LAT2)と、D/A変換回路(DAC)と、信号線
選択回路10aとを有している。図1では従来例とは異
なり、2種類のラッチ信号線(LPa、LPb)が供給
され、第2の記憶回路の前半部に第1のラッチ信号線
(LPa)が、後半部に第2のラッチ信号線(LPb)
がそれぞれ接続されている。
The signal line driving circuit according to the present embodiment includes a shift register including a delay flip-flop (DFF), a first storage circuit (LAT1), a second storage circuit (LAT2), and a D / A converter. It has a circuit (DAC) and a signal line selection circuit 10a. In FIG. 1, unlike the conventional example, two types of latch signal lines (LPa, LPb) are supplied, the first latch signal line (LPa) is provided in the first half of the second memory circuit, and the second latch signal line is provided in the second half. Latch signal line (LPb)
Are connected respectively.

【0022】図1から判るように、信号線駆動回路を構
成する回路の数が従来例に比べおよそn分の1〔4分の
1〕になる。すなわち、シフトレジスタは、DFFが
(k/n)+1段〔161段〕、第1の記憶回路(LA
T1)と第2の記憶回路(LAT2)がそれぞれ3k/
n個〔480個〕、そしてD/A変換回路(DAC)が
k/n個〔160個〕で構成されている。ここで、nは
2以上の自然数であり、1つのD/A変換回路でn本の
信号線を駆動することに対応している。ただし、図1で
は、具体的にn=4の場合を示した。
As can be seen from FIG. 1, the number of circuits constituting the signal line driving circuit is approximately 1 / n [1/4] of the conventional example. That is, in the shift register, the DFF has (k / n) +1 stages [161 stages] and the first storage circuit (LA
T1) and the second storage circuit (LAT2) are each 3 k /
n [480] and a D / A conversion circuit (DAC) are composed of k / n [160]. Here, n is a natural number of 2 or more, which corresponds to driving n signal lines by one D / A conversion circuit. However, FIG. 1 specifically shows the case where n = 4.

【0023】次にその動作について、図2を参照しなが
ら説明する。シフトレジスタにはスタートパルス(S
P)とクロック信号(CLK)が入力される。シフトレ
ジスタは従来例と同様にパルスを順次シフトし、デジタ
ル映像信号のサンプリングパルスとして第1の記憶回路
に出力する〔SR−001〜SR−160に示す〕。従
来例では1水平走査期間にスタートパルスが1回入力さ
れるのに対して、本実施形態ではスタートパルスが1水
平走査期間にn回〔4回〕入力される。シフトレジスタ
の出力サンプリングパルスによって、デジタル映像信号
(D0〜D2)が第1の記憶回路に順次記憶される〔ビ
ットの区別はせずL1−001〜L1−160とまとめ
て示した〕。従来例と異なり、デジタル映像信号の並び
順を、対応する信号線の番号によって表すと「1、n+
1、2n+1、…、k−n+1、2、n+2、2n+
2、…、k−n+2、3、n+3、2n+3、…、k−
n+3、4、…、k」〔「1、5、9、…、637、
2、6、10、…、638、3、7、11、…、63
9、4、8、12、…、640」〕となる。
Next, the operation will be described with reference to FIG. A start pulse (S
P) and a clock signal (CLK) are input. The shift register sequentially shifts the pulses in the same manner as in the conventional example, and outputs the pulses to the first storage circuit as sampling pulses of the digital video signal (shown in SR-001 to SR-160). In a conventional example, a start pulse is input once in one horizontal scanning period, whereas in the present embodiment, a start pulse is input n times [four times] in one horizontal scanning period. The digital video signals (D0 to D2) are sequentially stored in the first storage circuit by the output sampling pulse of the shift register (the bits are collectively shown as L1-001 to L1-160 without distinguishing the bits). Unlike the conventional example, when the arrangement order of the digital video signals is represented by the number of the corresponding signal line, “1, n +
1, 2n + 1,..., Kn + 1, 2, n + 2, 2n +
2, ..., kn-2,3, n + 3,2n + 3, ..., k-
n + 3, 4, ..., k "[" 1, 5, 9, ..., 637,
2, 6, 10, ..., 638, 3, 7, 11, ..., 63
9, 4, 8, 12, ..., 640 "].

【0024】また、従来に比べて、DFFの段数はおよ
そn分の1〔4分の1〕になり、第1の記憶回路は1水
平走査期間の間にn回〔4回〕の記憶動作を行なうこと
が従来例と異なる。
In addition, the number of stages of the DFF is reduced to about 1 / n [1/4] as compared with the prior art, and the first storage circuit operates n times [4 times] during one horizontal scanning period. Is different from the conventional example.

【0025】1水平走査期間に第2の記憶回路部に入力
されるラッチパルスは、2種類のラッチ信号線(LP
a、LPb)にそれぞれn個づつ、合計で2n個〔8
個〕のパルスを入力する。ラッチパルスは帰線期間だけ
でなく、デジタル映像信号が入力されている期間も入力
される。本実施形態では以下のタイミングでラッチパル
スを入力する。
The latch pulse input to the second storage circuit portion during one horizontal scanning period includes two types of latch signal lines (LP
a, LPb), n in each case, for a total of 2n [8
) Pulses. The latch pulse is input not only during the retrace period but also during the period when the digital video signal is being input. In this embodiment, a latch pulse is input at the following timing.

【0026】まず、第1回目のスタートパルスの入力に
より発生した、(k/2n)段目〔80段目〕のDFF
が出力するサンプリングパルスにより(k/2n)段目
〔80段目〕の、第1の記憶回路が記憶動作を完了させ
てから、第2回目のスタートパルスの入力により発生し
た、1段目のDFFが出力するサンプリングパルスによ
り1段目の、第1の記憶回路内のデータが新たなデジタ
ル映像信号により書き換えられる前に、第1回目のラッ
チパルスを第1のラッチ信号線(LPa)に入力する。
First, the (k / 2n) th stage [80th stage] DFF generated by the input of the first start pulse.
After the first storage circuit of the (k / 2n) th stage [80th stage] completes the storage operation by the sampling pulse output by the first stage, the first stage generated by the input of the second start pulse The first latch pulse is input to the first latch signal line (LPa) before the data in the first memory circuit in the first stage is rewritten by a new digital video signal by the sampling pulse output from the DFF. I do.

【0027】次に、第1回目のスタートパルスの入力に
より発生した、(k/n)段目〔160段目〕のDFF
が出力するサンプリングパルスにより(k/n)段目
〔160段目〕の第1の記憶回路が記憶動作を完了させ
てから、第2回目のスタートパルスの入力により発生し
た、(k/2n)+1段目〔81段目〕のDFFが出力
するサンプリングパルスにより(k/2n)+1段目
〔81段目〕の、第1の記憶回路内のデータが新たなデ
ジタル映像信号により書き換えられる前に、第2回目の
ラッチパルスを第2のラッチ信号線(LPb)に入力す
る。
Next, the (k / n) stage [160th stage] DFF generated by the input of the first start pulse
After the first storage circuit at the (k / n) th stage [160th stage] completes the storage operation with the sampling pulse output by the first stage, the second start pulse is generated, and the (k / 2n) Before the (k / 2n) + 1-stage [81st] data in the first storage circuit is rewritten by a new digital video signal by the sampling pulse output from the DFF of the + 1st stage [81st] , The second latch pulse is input to the second latch signal line (LPb).

【0028】ここまでの動作で、信号線の番号「1、n
+1、2n+1、…、k−n+1」〔「1、5、9、…、
637」〕に対応するデジタル映像信号が第2の記憶回
路へ転送を完了したことになる。
In the operation up to this point, the signal line numbers "1, n"
+1, 2n + 1,..., K−n + 1 ”[“ 1, 5, 9,.
637 "] has been transferred to the second storage circuit.

【0029】第3回目のラッチパルスは、前述した第1
回目のラッチパルスを入力する説明において、「第1回
目のスタートパルス」を「第2回目のスタートパルス」
へ、「第2回目のスタートパルス」を「第3回目のスター
トパルス」へと置き換えたタイミングで入力する。
The third latch pulse corresponds to the first latch pulse described above.
In the description of inputting the second latch pulse, the “first start pulse” is replaced with the “second start pulse”.
At the timing when the “second start pulse” is replaced with the “third start pulse”.

【0030】第4回目のラッチパルスは、前述した第2
回目のラッチパルスを入力する説明において、第3回目
のラッチパルスの時と同様に「第1回目のスタートパル
ス」を「第2回目のスタートパルス」へ、「第2回目のスタ
ートパルス」を「第3回目のスタートパルス」へと置き換
えたタイミングで入力する。
The fourth latch pulse is based on the second latch pulse.
In the description of inputting the second latch pulse, the “first start pulse” is changed to the “second start pulse”, and the “second start pulse” is changed to “second start pulse”, as in the case of the third latch pulse. The timing is replaced with the "third start pulse".

【0031】ここでの動作で、信号線の番号「2、n+
2、2n+2、…、k−n+2」〔「2、6、10、…、
638」〕に対応するデジタル映像信号が第2の記憶回
路へ転送を完了したことになる。
In this operation, the signal line number "2, n +
2, 2n + 2, ..., kn + 2 "[" 2, 6, 10, ...,
638 "] has been transferred to the second storage circuit.

【0032】一般に、第(2i−1)回目のラッチパル
スは、前述した第1回目のラッチパルスを入力する説明
において、「第1回目のスタートパルス」を「第i回目の
スタートパルス」へ、「第2回目のスタートパルス」を「第
(i+1)回目のスタートパルス」へと置き換えたタイ
ミングで入力する。引き続く、第(2i)回目のラッチ
パルスは、前述した第2回目のラッチパルスを入力する
説明において、「第1回目のスタートパルス」を「第i回
目のスタートパルス」へ、「第2回目のスタートパルス」
を「第(i+1)回目のスタートパルス」へと置き換えた
タイミングで入力する。ただし、iは、i<nを満たす
自然数である。
In general, the (2i-1) -th latch pulse is changed from “first start pulse” to “i-th start pulse” in the above description of inputting the first latch pulse. It is input at the timing when the “second start pulse” is replaced with the “(i + 1) th start pulse”. For the subsequent (2i) -th latch pulse, in the description of inputting the second latch pulse described above, the “first start pulse” is changed to the “i-th start pulse”, and the “second start pulse” is changed to “the second start pulse”. Start pulse "
Is replaced with the “(i + 1) th start pulse”. Here, i is a natural number satisfying i <n.

【0033】これらの動作により、信号線の番号「i、
n+i、2n+i、…、k−n+i」に対応するデジタ
ル映像信号が第2の記憶回路へ転送を完了したことにな
る。
By these operations, the signal line numbers "i,
That is, the digital video signal corresponding to “n + i, 2n + i,..., kn + i” has been completely transferred to the second storage circuit.

【0034】このようにして1水平走査期間中にラッチ
パルスを入力していけばよいが、最後の第(2n−
1)、第2n回目のラッチパルスについては、以下のよ
うなタイミングとなる。
The latch pulse may be input during one horizontal scanning period as described above, but the last (2n-
1) For the second n-th latch pulse, the timing is as follows.

【0035】すなわち、第(2n−1)回目のラッチパ
ルスにおいては、第n回目のスタートパルスの入力によ
り発生した、(k/2n)段目〔80段目〕のDFFが
出力するサンプリングパルスにより(k/2n)段目
〔80段目〕の、第1の記憶回路が記憶動作を完了させ
てから、次の水平走査期間の、第1回目のスタートパル
スの入力により発生した、1段目のDFFが出力するサ
ンプリングパルスにより1段目の、第1の記憶回路内の
データが新たなデジタル映像信号により書き換えられる
前に、ラッチパルスを第1のラッチ信号線(LPa)に
入力する。
That is, in the (2n-1) -th latch pulse, the sampling pulse output by the (k / 2n) -th [80th-stage] DFF generated by the input of the n-th start pulse is used. (K / 2n) The first stage generated by the input of the first start pulse in the next horizontal scanning period after the first storage circuit of the 80th stage has completed the storage operation Before the data in the first storage circuit in the first stage is rewritten by a new digital video signal by the sampling pulse output from the DFF, the latch pulse is input to the first latch signal line (LPa).

【0036】次の、第2n回目のラッチパルスにおいて
は、第n回目のスタートパルスの入力により発生した、
(k/n)段目〔160段目〕のDFFが出力するサン
プリングパルスにより(k/n)段目〔160段目〕の
第1の記憶回路が記憶動作を完了させてから、次の水平
走査期間の、第1回目のスタートパルスの入力により発
生した、(k/2n)+1段目〔81段目〕のDFFが
出力するサンプリングパルスにより(k/2n)+1段
目〔81段目〕の、第1の記憶回路内のデータが新たな
デジタル映像信号により書き換えられる前に、ラッチパ
ルスを第2のラッチ信号線(LPb)に入力する。
The second n-th latch pulse is generated by the input of the n-th start pulse.
After the first memory circuit of the (k / n) th stage [160th stage] completes the storage operation by the sampling pulse output from the DFF of the (k / n) th stage [160th stage], the next horizontal (K / 2n) + 1st stage [81st stage] In response to the sampling pulse output by the (k / 2n) + 1st stage [81st stage] DFF generated by the input of the first start pulse in the scanning period. Before the data in the first storage circuit is rewritten by a new digital video signal, a latch pulse is input to the second latch signal line (LPb).

【0037】これらの動作により、信号線の番号「n、
2n、3n、…、k」〔「4、8、12、…、640」〕
に対応するデジタル映像信号が第2の記憶回路へ転送を
完了したことになる。
By these operations, the signal line numbers "n,
2n, 3n, ..., k "[" 4, 8, 12, ..., 640 "]
Has been transferred to the second storage circuit.

【0038】以上のようなラッチパルスの入力により、
信号線一行分全てのデジタル映像信号を第2の記憶回路
に転送したことになる。
With the input of the latch pulse as described above,
This means that all the digital video signals for one row of the signal line have been transferred to the second storage circuit.

【0039】なお、上記の説明においてはラッチパルス
を1水平走査期間に2n回〔8回〕入力したが、シフト
レジスタの走査が1回終了するごとにクロックを一時的
に止めて、次の走査が始まる前にラッチパルスを入力し
てもよい。この場合は、ラッチ信号線を1種類にしても
よく、ラッチパルスの入力は1水平走査期間中にn回
〔4回〕となる。
In the above description, the latch pulse is input 2n times [8 times] in one horizontal scanning period. However, the clock is temporarily stopped every time one scan of the shift register is completed, and the next scan is performed. May be input before the start of the operation. In this case, one type of latch signal line may be used, and the input of the latch pulse is performed n times [four times] during one horizontal scanning period.

【0040】第2の記憶回路の出力はD/A変換回路に
入力され、3ビットのデジタル信号はアナログ信号に変
換される。変換されたアナログ信号は、信号線選択回路
10aを介して適切な信号線へ書き込まれる。以下に、
この書き込みタイミングについて説明する。
The output of the second storage circuit is input to a D / A conversion circuit, and a 3-bit digital signal is converted into an analog signal. The converted analog signal is written to an appropriate signal line via the signal line selection circuit 10a. less than,
The write timing will be described.

【0041】1水平走査期間に、シフトレジスタがn回
走査するのに対応し、上記のように第2の記憶回路もn
回記憶動作を繰り返す。従って、ある信号線に対するデ
ジタル映像信号が、第2の記憶回路に記憶されている間
に対応する信号線を選択し書き込みを終了しなければな
らない。
In one horizontal scanning period, the shift register scans n times, and the second storage circuit also operates n times as described above.
The memory operation is repeated twice. Therefore, while the digital video signal for a certain signal line is stored in the second storage circuit, the corresponding signal line must be selected and the writing must be completed.

【0042】まず、信号線の番号「1、n+1、2n+
1、…、k−n+1」〔「1、5、9、…、637」〕に
対応するデジタル映像信号が第2の記憶回路部に記憶さ
れている期間内に、信号線選択回路10aの第1の制御
信号線(SS1)にパルスを入力し、各信号線選択回路
10aは「1、n+1、2n+1、…、k−n+1」
〔「1、5、9、…、637」〕番目の信号線をそれぞれ
選択する。
First, the signal line numbers "1, n + 1, 2n +
1,... Kn + 1 ”[“ 1, 5, 9,... 637 ”] during the period in which the digital video signal corresponding to“ 1, 5, 9,. A pulse is input to one control signal line (SS1), and each signal line selection circuit 10a outputs "1, n + 1, 2n + 1, ..., k-n + 1".
The [1, 5, 9,..., 637]] th signal line is selected.

【0043】次に、第2の記憶回路内のデータが一新さ
れ、信号線の番号「2、n+2、2n+2、…、k−n
+2」〔「2、6、10、…、638」〕に対応するデジ
タル映像信号が第2の記憶回路部に記憶されている期間
内に、信号線選択回路10aの第2の制御信号線(SS
2)にパルスを入力し、各信号線選択回路10aは
「2、n+2、2n+2、…、k−n+2」〔「2、6、
10、…、638」〕番目の信号線をそれぞれ選択す
る。
Next, the data in the second storage circuit is renewed, and the signal line numbers "2, n + 2, 2n + 2,..., Kn"
+2 ”[“ 2, 6, 10,..., 638 ”] during the period in which the digital video signal corresponding to“ 2, 6, 10,..., 638 ”is stored in the second storage circuit unit. SS
2), and each signal line selection circuit 10a outputs “2, n + 2, 2n + 2,... Kn + 2” [“2, 6,.
, 638 "] th signal line.

【0044】一般に、iを自然数として、信号線の番号
「i、n+i、2n+i、…、k−n+i」に対応するデ
ジタル映像信号が第2の記憶回路部に記憶されている期
間内に、信号線選択回路10aの第iの制御信号線(S
Si)にパルスを入力し、各信号線選択回路10aは
「i、n+i、2n+i、…、k−n+i」番目の信号線
をそれぞれ選択する。
Generally, assuming that i is a natural number, the digital video signal corresponding to the signal line number “i, n + i, 2n + i,..., K−n + i” is stored in the second storage circuit during the period. The i-th control signal line (S
Si), a pulse is input, and each signal line selection circuit 10a selects the “i, n + i, 2n + i,..., Kn + i” th signal line, respectively.

【0045】このようにして、1水平走査期間にn回、
信号線選択回路10aに制御信号パルスを入力すること
により適切な信号線にD/A変換回路の出力を書き込む
ことができる。
Thus, n times in one horizontal scanning period,
By inputting a control signal pulse to the signal line selection circuit 10a, the output of the D / A conversion circuit can be written to an appropriate signal line.

【0046】なお、第2の記憶回路の出力とD/A変換
回路の間に、バッファ回路、レベルシフト回路、出力の
期間を制限するイネーブル回路などを入れても良い。ま
た、デジタル映像信号の入力並び順は、上記の順に限定
されない。この並び順は、信号線選択回路の動作方法に
より決定される。
Note that a buffer circuit, a level shift circuit, an enable circuit for limiting an output period, and the like may be provided between the output of the second storage circuit and the D / A conversion circuit. The input arrangement order of the digital video signals is not limited to the above order. This arrangement order is determined by the operation method of the signal line selection circuit.

【0047】以上の実施形態の説明において、第1の記
憶回路を制御する回路としてシフトレジスタを用いた
が、シフトレジスタではなく、デコーダ回路を使用して
も良い。また、D/A変換回路はランプ型D/A変換回
路を用いても良い。その場合、D/A変換回路の個数は
k/nとは限定されない。
In the above description of the embodiment, a shift register is used as a circuit for controlling the first storage circuit, but a decoder circuit may be used instead of the shift register. Further, a ramp type D / A conversion circuit may be used as the D / A conversion circuit. In that case, the number of D / A conversion circuits is not limited to k / n.

【0048】[0048]

【実施例】(実施例1)本実施例は、水平方向の画素数
を1024、垂直方向の画素数を768のXGA規格で
ある画像表示装置を例にとって説明する。本実施例で
は、デジタル映像信号を3ビットとして説明するが、本
発明は3ビットに限らず、6ビット、8ビットまたはそ
れ以外のビット数についても有効である。また、1つの
D/A変換回路で4本の信号線を駆動するものとする。
(Embodiment 1) In the present embodiment, an image display device conforming to the XGA standard having 1024 pixels in the horizontal direction and 768 pixels in the vertical direction will be described as an example. In the present embodiment, the digital video signal is described as having three bits, but the present invention is not limited to three bits, but is also effective for six bits, eight bits, or any other number of bits. It is also assumed that one D / A conversion circuit drives four signal lines.

【0049】以下に本実施例の構成について説明し、次
に、本実施例の動作について説明する。
The configuration of this embodiment will be described below, and then the operation of this embodiment will be described.

【0050】図3に本発明を使用した信号線駆動回路の
例を示す。走査線駆動回路の構成、画素マトリクスの構
成は従来と同じである。本実施例の信号線駆動回路は2
57段のDFFから成るシフトレジスタと、256×3
(ビット)の第1の記憶回路と、それと同数の第2の記
憶回路と、256個のD/A変換回路を有している。ま
た、D/A変換回路の出力は信号線選択回路10bを介
して信号線に接続される。
FIG. 3 shows an example of a signal line driving circuit using the present invention. The configuration of the scanning line driving circuit and the configuration of the pixel matrix are the same as those in the related art. The signal line drive circuit of the present embodiment has 2
A shift register composed of 57 DFFs and 256 × 3
It has a (bit) first storage circuit, the same number of second storage circuits, and 256 D / A conversion circuits. The output of the D / A conversion circuit is connected to a signal line via a signal line selection circuit 10b.

【0051】シフトレジスタには、スタートパルス(S
P)とクロック信号(CLK)が入力され、第2の記憶
回路(LAT2)には、2種類のラッチ信号線(LP
a、LPb)が供給され、第2の記憶回路の前半部に第
1のラッチ信号線(LPa)が、後半部に第2のラッチ
信号線(LPb)がそれぞれ接続されている。信号線選
択回路10bには4つの制御信号線(SS1〜SS4)
がそれぞれ接続されている。
The shift register has a start pulse (S
P) and a clock signal (CLK) are input to the second storage circuit (LAT2), and two types of latch signal lines (LP
a, LPb) are supplied, a first latch signal line (LPa) is connected to the first half of the second memory circuit, and a second latch signal line (LPb) is connected to the second half of the second memory circuit. The signal line selection circuit 10b has four control signal lines (SS1 to SS4)
Are connected respectively.

【0052】次にその動作について、図4を参照しなが
ら説明する。シフトレジスタにはスタートパルス(S
P)とクロック信号(CLK)が入力される。シフトレ
ジスタは従来例と同様にパルスを順次シフトし、デジタ
ル映像信号のサンプリングパルスとして第1の記憶回路
に出力する〔SR−001〜SR−256に示す〕。従
来例では1水平走査期間にスタートパルスが1回入力さ
れるのに対して、本実施例ではスタートパルスが1水平
走査期間に4回入力される。シフトレジスタの出力サン
プリングパルスによって、デジタル映像信号(D0〜D
2)が第1の記憶回路に順次記憶される〔ビットの区別
はせずL1−001〜L1−256とまとめて示し
た〕。従来例と異なり、デジタル映像信号の並び順を、
対応する信号線の番号によって表すと「1、5、9、
…、1021、2、6、10、…、1022、3、5、
11、…、1023、4、8、12、…、1024」と
なる。
Next, the operation will be described with reference to FIG. A start pulse (S
P) and a clock signal (CLK) are input. The shift register sequentially shifts the pulse in the same manner as in the conventional example, and outputs it to the first storage circuit as a sampling pulse of the digital video signal [shown in SR-001 to SR-256]. In the conventional example, a start pulse is input once in one horizontal scanning period, whereas in the present embodiment, a start pulse is input four times in one horizontal scanning period. A digital video signal (D0 to D0) is generated by the output sampling pulse of the shift register.
2) are sequentially stored in the first storage circuit (the bits are collectively shown as L1-001 to L1-256 without distinction of bits). Unlike the conventional example, the arrangement order of digital video signals is
Expressed by the number of the corresponding signal line, "1, 5, 9,
..., 1021, 2, 6, 10, ..., 1022, 3, 5,
11, ..., 1023, 4, 8, 12, ..., 1024 ".

【0053】また、従来に比べて、DFFの段数はおよ
そ4分の1になり、第1の記憶回路は1水平走査期間の
間に4回の記憶動作を行なうことが従来例と異なる。
Further, the number of stages of the DFF is reduced to about one-fourth as compared with the related art, and the first memory circuit is different from the related art in that the first memory circuit performs the storing operation four times during one horizontal scanning period.

【0054】1水平走査期間に第2の記憶回路部に入力
されるラッチパルスは、2種類のラッチ信号線(LP
a、LPb)にそれぞれ4個づつ、合計で8個のパルス
を入力する。ラッチパルスは帰線期間だけでなく、デジ
タル映像信号が入力されている期間も入力される。本実
施形態では以下のタイミングでラッチパルスを入力す
る。
The latch pulse input to the second storage circuit section during one horizontal scanning period includes two types of latch signal lines (LP
a, LPb), a total of eight pulses, four each. The latch pulse is input not only during the retrace period but also during the period when the digital video signal is being input. In this embodiment, a latch pulse is input at the following timing.

【0055】まず、第1回目のスタートパルスの入力に
より発生した、128段目のDFFが出力するサンプリ
ングパルスにより128段目の、第1の記憶回路が記憶
動作を完了させてから、第2回目のスタートパルスの入
力により発生した、1段目のDFFが出力するサンプリ
ングパルスにより1段目の、第1の記憶回路内のデータ
が新たなデジタル映像信号により書き換えられる前に、
第1回目のラッチパルスを第1のラッチ信号線(LP
a)に入力する。
First, after the first storage circuit in the 128th stage completes the storage operation by the sampling pulse output from the 128th stage DFF generated by the input of the first start pulse, the second operation is performed. Before the data in the first storage circuit in the first stage is rewritten with a new digital video signal by the sampling pulse output from the first stage DFF generated by the input of the start pulse of
The first latch pulse is supplied to the first latch signal line (LP
Enter in a).

【0056】次に、第1回目のスタートパルスの入力に
より発生した、256段目のDFFが出力するサンプリ
ングパルスにより256段目の第1の記憶回路が記憶動
作を完了させてから、第2回目のスタートパルスの入力
により発生した、129段目のDFFが出力するサンプ
リングパルスにより129段目の、第1の記憶回路内の
データが新たなデジタル映像信号により書き換えられる
前に、第2回目のラッチパルスを第2のラッチ信号線
(LPb)に入力する。
Next, after the first storage circuit in the 256th stage completes the storage operation by the sampling pulse output from the 256th stage DFF generated by the input of the first start pulse, the second operation is performed. Before the data in the 129th stage is rewritten with a new digital video signal by the sampling pulse output from the 129th stage DFF generated by the input of the start pulse, the second latch is performed. The pulse is input to the second latch signal line (LPb).

【0057】ここまでの動作で、信号線の番号「1、
5、9、…、1021」に対応するデジタル映像信号が
第2の記憶回路へ転送を完了したことになる。
In the operation so far, the signal line number “1,
, 1021, "1021" has been completely transferred to the second storage circuit.

【0058】第3回目のラッチパルスは、前述した第1
回目のラッチパルスを入力する説明において、「第1回
目のスタートパルス」を「第2回目のスタートパルス」
へ、「第2回目のスタートパルス」を「第3回目のスター
トパルス」へと置き換えたタイミングで入力する。
The third latch pulse is the first latch pulse described above.
In the description of inputting the second latch pulse, the “first start pulse” is replaced with the “second start pulse”.
At the timing when the “second start pulse” is replaced with the “third start pulse”.

【0059】第4回目のラッチパルスは、前述した第2
回目のラッチパルスを入力する説明において、第3回目
のラッチパルスの時と同様に「第1回目のスタートパル
ス」を「第2回目のスタートパルス」へ、「第2回目のスタ
ートパルス」を「第3回目のスタートパルス」へと置き換
えたタイミングで入力する。
The fourth latch pulse is the second latch pulse described above.
In the description of inputting the second latch pulse, the “first start pulse” is changed to the “second start pulse”, and the “second start pulse” is changed to “second start pulse”, as in the case of the third latch pulse. The timing is replaced with the "third start pulse".

【0060】ここでの動作で、信号線の番号「2、6、
10、…、1022」に対応するデジタル映像信号が第
2の記憶回路へ転送を完了したことになる。
In this operation, the signal line numbers “2, 6,
That is, the transfer of the digital video signal corresponding to “10,..., 1022” to the second storage circuit is completed.

【0061】一般に、第(2i−1)回目のラッチパル
スは、前述した第1回目のラッチパルスを入力する説明
において、「第1回目のスタートパルス」を「第i回目の
スタートパルス」へ、「第2回目のスタートパルス」を「第
(i+1)回目のスタートパルス」へと置き換えたタイ
ミングで入力する。引き続く、第(2i)回目のラッチ
パルスは、前述した第2回目のラッチパルスを入力する
説明において、「第1回目のスタートパルス」を「第i回
目のスタートパルス」へ、「第2回目のスタートパルス」
を「第(i+1)回目のスタートパルス」へと置き換えた
タイミングで入力する。ただし、iは、i<4を満たす
自然数である。
In general, the (2i-1) -th latch pulse may be changed from “first start pulse” to “i-th start pulse” in the description of inputting the first latch pulse. It is input at the timing when the “second start pulse” is replaced with the “(i + 1) th start pulse”. For the subsequent (2i) -th latch pulse, in the description of inputting the second latch pulse described above, the “first start pulse” is changed to the “i-th start pulse”, and the “second start pulse” is changed to “the second start pulse”. Start pulse "
Is replaced with the “(i + 1) th start pulse”. Here, i is a natural number satisfying i <4.

【0062】これらの動作により、信号線の番号「i、
4+i、8+i、…、1020+i」に対応するデジタ
ル映像信号が第2の記憶回路へ転送を完了したことにな
る。
By these operations, the signal line numbers “i,
That is, the digital video signal corresponding to “4 + i, 8 + i,..., 1020 + i” has been completely transferred to the second storage circuit.

【0063】このようにして1水平走査期間中にラッチ
パルスを入力していけばよいが、最後の第7、第8回目
のラッチパルスについては、以下のようなタイミングと
なる。
The latch pulse may be input during one horizontal scanning period as described above. The timing of the last seventh and eighth latch pulses is as follows.

【0064】すなわち、第7回目のラッチパルスにおい
ては、第4回目のスタートパルスの入力により発生し
た、128段目のDFFが出力するサンプリングパルス
により128段目の、第1の記憶回路が記憶動作を完了
させてから、次の水平走査期間の、第1回目のスタート
パルスの入力により発生した、1段目のDFFが出力す
るサンプリングパルスにより1段目の、第1の記憶回路
内のデータが新たなデジタル映像信号により書き換えら
れる前に、ラッチパルスを第1のラッチ信号線(LP
a)に入力する。
In other words, in the seventh latch pulse, the 128th stage first storage circuit is operated by the sampling pulse output from the 128th stage DFF generated by the input of the fourth start pulse. Is completed, the data in the first storage circuit in the first stage is changed by the sampling pulse output by the first stage DFF generated by the input of the first start pulse in the next horizontal scanning period. Before being rewritten by a new digital video signal, the latch pulse is supplied to the first latch signal line (LP).
Enter in a).

【0065】最後の、第8回目のラッチパルスにおいて
は、第4回目のスタートパルスの入力により発生した、
256段目のDFFが出力するサンプリングパルスによ
り256段目の第1の記憶回路が記憶動作を完了させて
から、次の水平走査期間の、第1回目のスタートパルス
の入力により発生した、129段目のDFFが出力する
サンプリングパルスにより129段目の、第1の記憶回
路内のデータが新たなデジタル映像信号により書き換え
られる前に、ラッチパルスを第2のラッチ信号線(LP
b)に入力する。
The last, eighth latch pulse is generated by the input of the fourth start pulse.
After the 256th-stage first storage circuit completes the storage operation with the sampling pulse output from the 256th-stage DFF, the 129th stage generated by the input of the first start pulse in the next horizontal scanning period Before the data in the 129th stage in the first storage circuit is rewritten with a new digital video signal by the sampling pulse output from the DFF, the latch pulse is changed to the second latch signal line (LP).
Input to b).

【0066】これらの動作により、信号線の番号「4、
8、12、…、1024」に対応するデジタル映像信号
が第2の記憶回路へ転送を完了したことになる。
By these operations, the signal line number “4,
, 1024 "has been completely transferred to the second storage circuit.

【0067】以上のようなラッチパルスの入力により、
信号線一行分全てのデジタル映像信号を第2の記憶回路
に転送したことになる。
With the input of the latch pulse as described above,
This means that all the digital video signals for one row of the signal line have been transferred to the second storage circuit.

【0068】なお、上記の説明においてはラッチパルス
を1水平走査期間に8回入力したが、シフトレジスタの
走査が1回終了するごとにクロックを一時的に止めて、
次の走査が始まる前にラッチパルスを入力してもよい。
この場合は、ラッチ信号線を1種類にしてもよく、ラッ
チパルスの入力は1水平走査期間中に4回となる。
In the above description, the latch pulse is input eight times in one horizontal scanning period. However, the clock is temporarily stopped every time the scanning of the shift register is completed once.
A latch pulse may be input before the next scan starts.
In this case, one type of latch signal line may be used, and the input of the latch pulse is performed four times during one horizontal scanning period.

【0069】第2の記憶回路の出力はD/A変換回路に
入力され、3ビットのデジタル信号はアナログ信号に変
換される。変換されたアナログ信号は、信号線選択回路
10bを介して適切な信号線へ書き込まれる。以下に、
この書き込みタイミングについて説明する。
The output of the second storage circuit is input to a D / A conversion circuit, and a 3-bit digital signal is converted into an analog signal. The converted analog signal is written to an appropriate signal line via the signal line selection circuit 10b. less than,
The write timing will be described.

【0070】1水平走査期間に、シフトレジスタが4回
走査するのに対応し、上記のように第2の記憶回路も4
回記憶動作を繰り返す。従って、ある信号線に対するデ
ジタル映像信号が、第2の記憶回路に記憶されている間
に対応する信号線を選択し書き込みを終了しなければな
らない。
In one horizontal scanning period, the shift register scans four times, and as described above, the second storage circuit also operates four times.
The memory operation is repeated twice. Therefore, while the digital video signal for a certain signal line is stored in the second storage circuit, the corresponding signal line must be selected and the writing must be completed.

【0071】まず、信号線の番号「1、5、9、…、1
021」に対応するデジタル映像信号が第2の記憶回路
部に記憶されている期間内に、信号線選択回路10bの
第1の制御信号線(SS1)にパルスを入力し、各信号
線選択回路10bは「1、5、9、…、1021」番目の
信号線をそれぞれ選択する。
First, signal line numbers “1, 5, 9,..., 1”
During the period in which the digital video signal corresponding to “021” is stored in the second storage circuit section, a pulse is input to the first control signal line (SS1) of the signal line selection circuit 10b, and each signal line selection circuit Reference numeral 10b selects the “1, 5, 9,..., 1021” th signal line, respectively.

【0072】次に、第2の記憶回路内のデータが一新さ
れ、信号線の番号「2、6、10、…、1022」に対応
するデジタル映像信号が第2の記憶回路部に記憶されて
いる期間内に、信号線選択回路10bの第2の制御信号
線(SS2)にパルスを入力し、各信号線選択回路10
bは「2、6、10、…、1022」番目の信号線をそれ
ぞれ選択する。
Next, the data in the second storage circuit is renewed, and the digital video signals corresponding to the signal line numbers “2, 6, 10,..., 1022” are stored in the second storage circuit section. During the time period in which the signal line selection circuit 10b receives a pulse, the pulse is input to the second control signal line (SS2) of the signal line selection circuit 10b.
b selects the “2, 6, 10,..., 1022” th signal lines, respectively.

【0073】一般に、iを自然数として、信号線の番号
「i、4+i、8+i、…、1020+i」に対応するデ
ジタル映像信号が第2の記憶回路部に記憶されている期
間内に、信号線選択回路10bの第iの制御信号線(S
Si)にパルスを入力し、各信号線選択回路10bは
「i、4+i、8+i、…、1020+i」番目の信号線
をそれぞれ選択する。
Generally, assuming that i is a natural number, the digital video signal corresponding to the signal line number “i, 4 + i, 8 + i,..., 1020 + i” is stored in the second storage circuit during the signal line selection. The i-th control signal line (S
Si), a pulse is input, and each signal line selection circuit 10b selects the “i, 4 + i, 8 + i,..., 1020 + i” th signal line.

【0074】このようにして、1水平走査期間に4回、
信号線選択回路10bに制御信号パルスを入力すること
により適切な信号線にD/A変換回路の出力を書き込む
ことができる。
Thus, four times during one horizontal scanning period,
By inputting a control signal pulse to the signal line selection circuit 10b, the output of the D / A conversion circuit can be written to an appropriate signal line.

【0075】なお、第2の記憶回路の出力とD/A変換
回路の間に、バッファ回路、レベルシフト回路、出力の
期間を制限するイネーブル回路などを入れても良い。
Note that a buffer circuit, a level shift circuit, an enable circuit for limiting an output period, and the like may be provided between the output of the second storage circuit and the D / A conversion circuit.

【0076】記憶回路の具体例を図5に示す。図5
(A)はクロックドインバータを用いたものであり、図
5(B)はSRAM型のものであり、図5(C)はDR
AM型のものである。これらは代表例であり、本発明は
これらの形式に限定されない。
FIG. 5 shows a specific example of the storage circuit. FIG.
FIG. 5A shows an example using a clocked inverter, FIG. 5B shows an SRAM type, and FIG.
AM type. These are representative examples, and the present invention is not limited to these types.

【0077】以上のように、本発明では、従来の4分の
1のシフトレジスタ、従来の4分の1の第1の記憶回
路、従来の4分の1の第2の記憶回路、従来の4分の1
のD/A変換回路で画像表示装置を駆動することがで
き、駆動回路の占有面積および、素子数の大幅な削減が
可能となる。
As described above, according to the present invention, the conventional quarter shift register, the conventional quarter first storage circuit, the conventional quarter second storage circuit, Quarter
The image display device can be driven by the D / A conversion circuit, and the area occupied by the drive circuit and the number of elements can be significantly reduced.

【0078】本実施例では、第1の記憶回路の制御信号
を、シフトレジスタを用いて発生させているが、シフト
レジスタに限らず、デコーダ回路を用いてもよい。
In this embodiment, the control signal for the first storage circuit is generated using the shift register. However, the present invention is not limited to the shift register, and a decoder circuit may be used.

【0079】(実施例2)本実施例では、D/A変換回
路にランプ型D/A変換回路を採用した場合の例を示
す。図6にランプ型D/A変換回路を用いた場合の信号
線駆動回路の概略図を示す。なお、本実施例でもXGA
規格の画像表示装置で3ビットのデジタル映像信号に対
応した場合を説明するが、本発明は3ビットに限らず、
それ以外のビット数に対応した場合やXGA以外の規格
の画像表示装置についても有効である。
(Embodiment 2) In this embodiment, an example in which a ramp type D / A conversion circuit is adopted as the D / A conversion circuit will be described. FIG. 6 is a schematic diagram of a signal line driving circuit in the case where a ramp type D / A conversion circuit is used. In this embodiment, the XGA
A case in which a standard image display device supports a 3-bit digital video signal will be described. However, the present invention is not limited to a 3-bit digital video signal.
The present invention is also effective for a case where the number of bits is other than that, and for an image display device of a standard other than XGA.

【0080】以下に本実施例の構成について説明し、次
に、本実施例の動作について説明する。
The configuration of the present embodiment will be described below, and then the operation of the present embodiment will be described.

【0081】本実施例では、シフトレジスタから第2の
記憶回路までは実施例1と同じである。第2の記憶回路
の下流には、ビット比較パルス幅変換回路(BPC)、
アナログスイッチ20、そして信号線選択回路10cを
有している。ビット比較パルス幅変換回路(BPC)に
は、第2の記憶回路に記憶されていた3ビットのデジタ
ル映像信号、カウント信号(C0〜C2)、セット信号
(ST)が入力される。アナログスイッチ20には、ビ
ット比較パルス幅変換回路の出力(PW−i、iは00
1〜256)と、階調電源(VR)が入力される。信号
線選択回路10cにはアナログスイッチ20の出力と制
御信号(SS1〜SS4)が入力される。
This embodiment is the same as the first embodiment from the shift register to the second storage circuit. Downstream of the second storage circuit, a bit comparison pulse width conversion circuit (BPC),
It has an analog switch 20 and a signal line selection circuit 10c. The 3-bit digital video signal, the count signal (C0 to C2), and the set signal (ST) stored in the second storage circuit are input to the bit comparison pulse width conversion circuit (BPC). The output of the bit comparison pulse width conversion circuit (PW-i, i is 00
1 to 256) and a gradation power supply (VR). The output of the analog switch 20 and the control signals (SS1 to SS4) are input to the signal line selection circuit 10c.

【0082】第i段目のビット比較パルス幅変換回路
(BPC)の構成例を図8に示す。BPCは排他的論理
和ゲート、3入力NANDゲート、インバータ、セット
リセットフリップフロップ(RS−FF)を有する。図
8では、i段目の第2の記憶回路の出力を、ビットを区
別して、L2−i(0)、L2−i(1)L2−i
(2)とした。
FIG. 8 shows a configuration example of the ith bit comparison pulse width conversion circuit (BPC). The BPC has an exclusive OR gate, a three-input NAND gate, an inverter, and a set / reset flip-flop (RS-FF). In FIG. 8, the output of the second storage circuit at the i-th stage is represented by L2-i (0), L2-i (1), L2-i
(2).

【0083】次に、本実施例の動作について説明する。
図6の回路動作の概略を理解するために必要な信号系の
動作タイミングを図7に示した。シフトレジスタから第
2の記憶回路までの動作も実施例1と同じである。ま
た、信号線選択回路10cに入力される制御信号(SS
1〜SS4)についても実施例1と同じである。信号線
選択回路10cにより4本の信号線が順次選択されてい
くたびに、カウント信号(C0〜C2)、セット信号
(ST)、階調電源(VR)が周期的に入力される。こ
れにより信号線全てに情報の書き込みを同等に行なうこ
とができる。
Next, the operation of this embodiment will be described.
FIG. 7 shows the operation timing of the signal system necessary for understanding the outline of the circuit operation of FIG. The operation from the shift register to the second storage circuit is the same as in the first embodiment. The control signal (SS) input to the signal line selection circuit 10c
1 to SS4) are the same as in the first embodiment. Each time four signal lines are sequentially selected by the signal line selection circuit 10c, a count signal (C0 to C2), a set signal (ST), and a gradation power supply (VR) are periodically input. Thus, information can be written to all signal lines equally.

【0084】ランプ型D/A変換回路の詳細な動作を説
明するために、4本の信号線のうち1本が信号線選択回
路により選択されている期間の動作タイミングを図9に
示す。まず、セット信号の入力によりRS−FF30が
セットされ、出力PW−iがHiレベルになる。次に、
第2の記憶回路に記憶されていたデジタル映像信号は、
排他的論理和ゲートによってカウント信号(C0〜C
2)とビット毎に比較される。3ビット全てが一致した
場合には、全ての排他的論理和ゲートの出力がHiレベ
ルになり、その結果、3入力NANDゲートの出力(反
転RC−i)はLoレベルになる(したがって、RC−
iはHiレベルになる)。この3入力NANDの出力も
RS−FF30に入力され、RC−iがHiレベルにな
るとリセットされ、出力PW−iがLoレベルに戻る。
図9には、3ビットのデジタル映像信号{L2−i
(0)、L2−i(1)L2−i(2)}が{0、0、
1}の場合についてのRC−i、PW−i、DA−iの
出力例を示した。こうして、デジタル映像信号の情報は
ビット比較パルス幅変換回路(BPC)の出力PW−i
のパルス幅に変換される。
In order to explain the detailed operation of the ramp type D / A conversion circuit, FIG. 9 shows the operation timing during a period when one of the four signal lines is selected by the signal line selection circuit. First, the RS-FF 30 is set by the input of the set signal, and the output PW-i becomes Hi level. next,
The digital video signal stored in the second storage circuit is
The count signal (C0 to C
2) is compared bit by bit. If all three bits match, the outputs of all exclusive OR gates go high, and as a result, the output (RC-i) of the three-input NAND gate goes low (thus, RC-).
i becomes Hi level). The output of the three-input NAND is also input to the RS-FF 30, and is reset when RC-i becomes Hi level, and the output PW-i returns to Lo level.
FIG. 9 shows a 3-bit digital video signal {L2-i}.
(0), L2-i (1) L2-i (2)} is {0, 0,
Output examples of RC-i, PW-i, and DA-i for the case of 1 are shown. Thus, the information of the digital video signal is output from the output PW-i of the bit comparison pulse width conversion circuit (BPC).
Is converted to a pulse width.

【0085】ビット比較パルス幅変換回路(BPC)の
出力PW−iは、アナログスイッチ20の開閉を制御す
る。アナログスイッチ20にはカウント信号(C0〜C
2)に同期した階段状の電圧レベルをもつ階調電源(V
R)が印加され、BPCの出力PW−iがHiレベルの
間だけ信号線と導通し、PW−iがLoレベルになる瞬
間の電圧を信号線に書き込む。
The output PW-i of the bit comparison pulse width conversion circuit (BPC) controls opening and closing of the analog switch 20. The analog switch 20 has a count signal (C0 to C
2) A gray scale power supply (V) having a step-like voltage level synchronized with
R) is applied, the BPC output PW-i conducts to the signal line only during the Hi level, and the voltage at the moment when the PW-i becomes the Lo level is written to the signal line.

【0086】以上の動作により、デジタル映像信号をア
ナログ信号に変換し、信号線を駆動する。なお、階調電
源(VR)は階段状である必要はなく、連続的に単調に
変化するものでもよい。また、ビット比較パルス幅変換
回路(BPC)の出力とアナログスイッチ20の間に、
バッファ回路、レベルシフト回路などを入れてもよい。
With the above operation, the digital video signal is converted into the analog signal, and the signal line is driven. Note that the gradation power supply (VR) does not need to be stepwise, and may be a monotonous one that changes continuously. Further, between the output of the bit comparison pulse width conversion circuit (BPC) and the analog switch 20,
A buffer circuit, a level shift circuit, and the like may be provided.

【0087】以上のように、本発明では、D/A変換回
路としてランプ型D/A変換回路を用いることもでき、
その回路構成は従来の約4分の1で済み、駆動回路の占
有面積および、素子数の大幅な削減が可能となる。
As described above, in the present invention, a ramp type D / A conversion circuit can be used as the D / A conversion circuit.
The circuit configuration is only about one-fourth of the conventional one, and the area occupied by the drive circuit and the number of elements can be significantly reduced.

【0088】(実施例3)本実施例では、実施例1〜2
で説明した駆動回路を用いたアクティブマトリクス型画
像表示装置の具体的な作成方法例として、アクティブマ
トリクス型液晶表示装置の作成方法を例に採りあげる。
特にここでは、画素部のスイッチング素子である画素T
FTと、画素部の周辺に設けられる駆動回路(信号線駆
動回路、走査線駆動回路等)のTFTを同一基板上に作
製する方法について工程に従って詳細に説明する。但
し、説明を簡単にするために、駆動回路部としてはその
基本構成回路であるCMOS回路を、画素TFT部とし
てはnチャネル型TFTとを図示することにする。
(Embodiment 3) In this embodiment, Embodiments 1 and 2
As a specific example of a method of manufacturing an active matrix type image display device using the driving circuit described in the above section, a method of manufacturing an active matrix type liquid crystal display device will be described as an example.
In particular, here, the pixel T which is a switching element of the pixel portion
A method for manufacturing an FT and a TFT of a driver circuit (a signal line driver circuit, a scan line driver circuit, or the like) provided around the pixel portion over the same substrate will be described in detail according to steps. However, for the sake of simplicity, a CMOS circuit, which is a basic configuration circuit, is shown as a driving circuit unit, and an n-channel TFT is shown as a pixel TFT unit.

【0089】図10(A)において、基板(アクティブ
マトリクス基板)6001には低アルカリガラス基板や
石英基板を用いることができる。本実施例では低アルカ
リガラス基板を用いた。この場合、ガラス歪み点よりも
10〜20℃程度低い温度であらかじめ熱処理しておい
ても良い。この基板6001のTFTを形成する表面に
は、基板6001からの不純物拡散を防ぐために、酸化
シリコン膜、窒化シリコン膜または酸化窒化シリコン膜
などの下地膜6002を形成する。例えば、プラズマC
VD法でSiH4、NH3、N2Oから作製される酸化窒
化シリコン膜を100nm、同様にSiH4、N2Oから
作製される酸化窒化シリコン膜を200nmの厚さに積
層形成する。
In FIG. 10A, a low alkali glass substrate or a quartz substrate can be used as a substrate (active matrix substrate) 6001. In this embodiment, a low alkali glass substrate was used. In this case, heat treatment may be performed in advance at a temperature lower by about 10 to 20 ° C. than the glass strain point. A base film 6002 such as a silicon oxide film, a silicon nitride film, or a silicon oxynitride film is formed on a surface of the substrate 6001 where a TFT is to be formed, in order to prevent impurity diffusion from the substrate 6001. For example, plasma C
A silicon oxynitride film formed from SiH 4 , NH 3 , and N 2 O is formed to a thickness of 100 nm by the VD method, and a silicon oxynitride film formed from SiH 4 and N 2 O is similarly formed to a thickness of 200 nm.

【0090】次に、20〜150nm(好ましくは30
〜80nm)の厚さで非晶質構造を有する半導体膜60
03aを、プラズマCVD法やスパッタ法などの公知の
方法で形成する。本実施例では、プラズマCVD法で非
晶質シリコン膜を54nmの厚さに形成した。非晶質構
造を有する半導体膜としては、非晶質半導体膜や微結晶
半導体膜があり、非晶質シリコンゲルマニウム膜などの
非晶質構造を有する化合物半導体膜を適用しても良い。
また、下地膜6002と非晶質シリコン膜6003aと
は同じ成膜法で形成することが可能であるので、両者を
連続形成しても良い。その場合、下地膜を形成した後、
一旦大気雰囲気に晒さないことでその表面の汚染を防ぐ
ことが可能となり、作製するTFTの特性バラツキやし
きい値電圧の変動を低減させることができる(図10
(A))。
Next, 20 to 150 nm (preferably 30 nm)
Semiconductor film 60 having an amorphous structure with a thickness of
03a is formed by a known method such as a plasma CVD method or a sputtering method. In this embodiment, an amorphous silicon film is formed to a thickness of 54 nm by a plasma CVD method. As the semiconductor film having an amorphous structure, there are an amorphous semiconductor film and a microcrystalline semiconductor film, and a compound semiconductor film having an amorphous structure such as an amorphous silicon germanium film may be used.
In addition, since the base film 6002 and the amorphous silicon film 6003a can be formed by the same film formation method, both may be formed continuously. In that case, after forming the base film,
By not once exposing to the air atmosphere, the surface can be prevented from being contaminated, and the variation in the characteristics of the TFT to be manufactured and the fluctuation of the threshold voltage can be reduced (FIG. 10).
(A)).

【0091】そして、公知の結晶化技術を使用して非晶
質シリコン膜6003aから結晶質シリコン膜6003
bを形成する。例えば、レーザー結晶化法や熱結晶化法
(固相成長法)を適用すれば良いが、ここでは、特開平
7−130652号公報で開示された技術に従って、触
媒元素を用いる結晶化法で結晶質シリコン膜6003b
を形成した。結晶化の工程に先立って、非晶質シリコン
膜の含有水素量にもよるが、400〜500℃で1時間
程度の熱処理を行ない、含有水素量を5atom%以下にし
てから結晶化させることが望ましい。非晶質シリコン膜
を結晶化させると原子の再配列が起こり緻密化するの
で、作製される結晶質シリコン膜の厚さは当初の非晶質
シリコン膜の厚さ(本実施例では54nm)よりも1〜
15%程度減少する(図10(B))。
Then, the amorphous silicon film 6003a is converted to the crystalline silicon film 6003 by using a known crystallization technique.
b is formed. For example, a laser crystallization method or a thermal crystallization method (solid phase growth method) may be applied. Here, according to the technique disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 7-130652, crystallization is performed by a crystallization method using a catalyst element. Quality silicon film 6003b
Was formed. Prior to the crystallization step, depending on the amount of hydrogen contained in the amorphous silicon film, heat treatment may be performed at 400 to 500 ° C. for about 1 hour to reduce the amount of hydrogen to 5 atom% or less before crystallization. desirable. When the amorphous silicon film is crystallized, rearrangement of atoms occurs and the film becomes denser. Therefore, the thickness of the crystalline silicon film to be formed is set to be smaller than the initial thickness of the amorphous silicon film (54 nm in this embodiment). Also 1
It is reduced by about 15% (FIG. 10B).

【0092】そして、結晶質シリコン膜6003bを島
状にパターンニングして、島状半導体層6004〜60
07を形成する。その後、プラズマCVD法またはスパ
ッタ法により50〜150nmの厚さの酸化シリコン膜
によるマスク層6008を形成する。(図10
(C))。
Then, the crystalline silicon film 6003b is patterned into an island shape to form island-like semiconductor layers 6004 to 604.
07 is formed. After that, a mask layer 6008 made of a silicon oxide film having a thickness of 50 to 150 nm is formed by a plasma CVD method or a sputtering method. (FIG. 10
(C)).

【0093】そしてレジストマスク6009を設け、n
チャネル型TFTを形成することとなる島状半導体層6
005〜6007の全面に1×1016〜5×1017atom
s/cm3程度の濃度でp型を付与する不純物元素としてボ
ロン(B)を添加する。このボロン(B)の添加は、し
きい値電圧を制御する目的でなされる。ボロン(B)の
添加はイオンドープ法で実施しても良いし、非晶質シリ
コン膜を成膜するときに同時に添加しておくこともでき
る。ここでのボロン(B)添加は必ずしも必要ではない
(図10(D))。その後、レジストマスク6009を
除去する。
Then, a resist mask 6009 is provided, and n
Island-like semiconductor layer 6 for forming a channel type TFT
1 × 10 16 to 5 × 10 17 atom on the entire surface of 005 to 6007
Boron (B) is added at a concentration of about s / cm 3 as an impurity element imparting p-type. This addition of boron (B) is performed for the purpose of controlling the threshold voltage. Boron (B) may be added by an ion doping method, or may be added simultaneously with the formation of the amorphous silicon film. Here, boron (B) addition is not always necessary (FIG. 10D). After that, the resist mask 6009 is removed.

【0094】駆動回路のnチャネル型TFTのLDD領
域を形成するために、n型を付与する不純物元素を島状
半導体層6010〜6012に選択的に添加する。その
ため、あらかじめレジストマスク6013〜6016を
形成する。n型を付与する不純物元素としては、リン
(P)や砒素(As)を用いれば良く、ここではリン
(P)を添加すべく、フォスフィン(PH3)を用いた
イオンドープ法を適用した。形成された不純物領域60
17、6018のリン(P)濃度は2×1016〜5×1
19atoms/cm3の範囲とすれば良い。本明細書中では、
ここで形成された不純物領域6017〜6019に含ま
れるn型を付与する不純物元素の濃度を(n -)と表
す。また、不純物領域6019は、画素部の保持容量を
形成するための半導体層であり、この領域にも同じ濃度
でリン(P)を添加する(図11(A))。その後、レ
ジストマスク6013〜6016を除去する。
LDD region of n-channel type TFT of drive circuit
In order to form the region, the impurity element imparting n-type
It is selectively added to the semiconductor layers 6010 to 6012. That
Therefore, the resist masks 6013 to 6016 are
Form. As an impurity element imparting n-type, phosphorus
(P) or arsenic (As) may be used.
Phosphine (PH) to add (P)Three)
An ion doping method was applied. Impurity region 60 formed
The phosphorus (P) concentration of 17, 6018 is 2 × 1016~ 5 × 1
019atoms / cmThreeShould be within the range. In this specification,
Included in impurity regions 6017 to 6019 formed here
(N) -) And table
You. Further, the impurity region 6019 serves as a storage capacitor of the pixel portion.
This is the semiconductor layer to be formed.
To add phosphorus (P) (FIG. 11 (A)). After that,
The distant masks 6013-6016 are removed.

【0095】次に、マスク層6008をフッ酸などによ
り除去した後、図10(D)と図11(A)で添加した
不純物元素を活性化させる工程を行なう。活性化は、5
00〜600℃の窒素雰囲気中で1〜4時間の熱処理
や、レーザー活性化の方法により行なうことができる。
また、両者を併用しておこなっても良い。本実施例で
は、レーザー活性化の方法を用いる。レーザー光にはK
rFエキシマレーザー光(波長248nm)を用いる。
本実施例では、レーザー光の形状を線状ビームに加工し
て用い、発振周波数5〜50Hz、エネルギー密度10
0〜500mJ/cm2として線状ビームのオーバーラ
ップ割合を80〜98%で走査することによって島状半
導体層が形成された基板全面を処理する。尚、レーザー
光の照射条件には何ら限定される事項はなく適宣決定す
ることができる。
Next, after removing the mask layer 6008 with hydrofluoric acid or the like, a step of activating the impurity element added in FIGS. 10D and 11A is performed. Activation is 5
It can be performed by a heat treatment for 1 to 4 hours in a nitrogen atmosphere at 00 to 600 ° C. or a laser activation method.
Moreover, you may perform it using both together. In this embodiment, a laser activation method is used. K for laser light
rF excimer laser light (wavelength 248 nm) is used.
In this embodiment, the laser beam is processed into a linear beam and used at an oscillation frequency of 5 to 50 Hz and an energy density of 10 to 50 Hz.
The entire surface of the substrate on which the island-shaped semiconductor layer is formed is processed by scanning the linear beam at an overlap ratio of 80 to 98% at 0 to 500 mJ / cm 2 . Note that there are no particular restrictions on the laser light irradiation conditions, and they can be determined appropriately.

【0096】そして、ゲート絶縁膜6020をプラズマ
CVD法またはスパッタ法を用いて10〜150nmの
厚さでシリコンを含む絶縁膜で形成する。例えば、12
0nmの厚さで酸化窒化シリコン膜を形成する。ゲート
絶縁膜には、他のシリコンを含む絶縁膜を単層または積
層構造として用いても良い。(図11(B))
Then, a gate insulating film 6020 is formed of an insulating film containing silicon with a thickness of 10 to 150 nm by a plasma CVD method or a sputtering method. For example, 12
A silicon oxynitride film is formed with a thickness of 0 nm. As the gate insulating film, another insulating film containing silicon may be used as a single layer or a stacked structure. (FIG. 11B)

【0097】次に、ゲート電極を形成するために第1の
導電層を成膜する。この第1の導電層は単層で形成して
も良いが、必要に応じて二層あるいは三層といった積層
構造としても良い。本実施例では、導電性の窒化物金属
膜から成る導電層(A)6021と金属膜から成る導電
層(B)6022とを積層させた。導電層(B)602
2はタンタル(Ta)、チタン(Ti)、モリブデン
(Mo)、タングステン(W)から選ばれた元素、また
は前記元素を主成分とする合金か、前記元素を組み合わ
せた合金膜(代表的にはMo−W合金膜、Mo−Ta合
金膜)で形成すれば良く、導電層(A)6021は窒化
タンタル(TaN)、窒化タングステン(WN)、窒化
チタン(TiN)膜、窒化モリブデン(MoN)で形成
する。また、導電層(A)6021は代替材料として、
タングステンシリサイド、チタンシリサイド、モリブデ
ンシリサイドを適用しても良い。導電層(B)は低抵抗
化を図るために含有する不純物濃度を低減させると良
く、特に酸素濃度に関しては30ppm以下とすると良
い。例えば、タングステン(W)は酸素濃度を30pp
m以下とすることで20μΩcm以下の比抵抗値を実現
することができる。
Next, a first conductive layer is formed to form a gate electrode. The first conductive layer may be formed as a single layer, or may be formed as a two-layer or three-layer structure as necessary. In this embodiment, a conductive layer (A) 6021 made of a conductive nitride metal film and a conductive layer (B) 6022 made of a metal film are stacked. Conductive layer (B) 602
2 is an element selected from tantalum (Ta), titanium (Ti), molybdenum (Mo), and tungsten (W), an alloy containing the above elements as a main component, or an alloy film combining the above elements (typically, The conductive layer (A) 6021 may be formed of tantalum nitride (TaN), tungsten nitride (WN), titanium nitride (TiN), or molybdenum nitride (MoN). Form. The conductive layer (A) 6021 is used as an alternative material.
Tungsten silicide, titanium silicide, or molybdenum silicide may be used. The conductive layer (B) preferably has a reduced impurity concentration for low resistance, and particularly preferably has an oxygen concentration of 30 ppm or less. For example, tungsten (W) has an oxygen concentration of 30 pp.
m or less, a specific resistance of 20 μΩcm or less can be realized.

【0098】導電層(A)6021は10〜50nm
(好ましくは20〜30nm)とし、導電層(B)60
22は200〜400nm(好ましくは250〜350
nm)とすれば良い。本実施例では、導電層(A)60
21に30nmの厚さの窒化タンタル膜を、導電層
(B)6022には350nmのTa膜を用い、いずれ
もスパッタ法で形成した。このスパッタ法による成膜で
は、スパッタ用のガスのArに適量のXeやKrを加え
ておくと、形成する膜の内部応力を緩和して膜の剥離を
防止することができる。尚、図示しないが、導電層
(A)6021の下に2〜20nm程度の厚さでリン
(P)をドープしたシリコン膜を形成しておくことは有
効である。これにより、その上に形成される導電膜の密
着性向上と酸化防止を図ると同時に、導電層(A)また
は導電層(B)が微量に含有するアルカリ金属元素がゲ
ート絶縁膜6020に拡散するのを防ぐことができる
(図11(C))。
The conductive layer (A) 6021 has a thickness of 10 to 50 nm.
(Preferably 20 to 30 nm), and the conductive layer (B) 60
22 is 200 to 400 nm (preferably 250 to 350 nm)
nm). In this embodiment, the conductive layer (A) 60
A 21 nm-thick tantalum nitride film was used for 21, and a 350 nm-thick Ta film was used for the conductive layer (B) 6022, both of which were formed by sputtering. In the film formation by the sputtering method, if an appropriate amount of Xe or Kr is added to Ar of the gas for sputtering, the internal stress of the film to be formed can be relaxed and the film can be prevented from peeling. Although not shown, it is effective to form a silicon film doped with phosphorus (P) with a thickness of about 2 to 20 nm under the conductive layer (A) 6021. Thereby, the adhesion of the conductive film formed thereon is improved and oxidation is prevented, and at the same time, a small amount of the alkali metal element contained in the conductive layer (A) or the conductive layer (B) diffuses into the gate insulating film 6020. Can be prevented (FIG. 11C).

【0099】次に、レジストマスク6023〜6027
を形成し、導電層(A)6021と導電層(B)602
2とを一括でエッチングしてゲート電極6028〜60
31と容量配線6032を形成する。ゲート電極602
8〜6031と容量配線6032は、導電層(A)から
成る6028a〜6032aと、導電層(B)から成る
6028b〜6032bとが一体として形成されてい
る。この時、駆動回路を構成するTFTのゲート電極6
028〜6030は不純物領域6017、6018の一
部と、ゲート絶縁膜6020を介して重なるように形成
する(図11(D))。
Next, the resist masks 6023 to 6027
Are formed, and a conductive layer (A) 6021 and a conductive layer (B) 602 are formed.
2 and the gate electrodes 6028-60
31 and a capacitor wiring 6032 are formed. Gate electrode 602
8 to 6031 and the capacitor wiring 6032 are formed integrally with 6028a to 6032a made of a conductive layer (A) and 6028b to 6032b made of a conductive layer (B). At this time, the gate electrode 6 of the TFT constituting the driving circuit
028 to 6030 are formed so as to overlap with part of the impurity regions 6017 and 6018 with the gate insulating film 6020 interposed therebetween (FIG. 11D).

【0100】次いで、駆動回路のpチャネル型TFTの
ソース領域およびドレイン領域を形成するために、p型
を付与する不純物元素を添加する工程を行なう。ここで
は、ゲート電極6028をマスクとして、自己整合的に
不純物領域を形成する。このとき、nチャネル型TFT
が形成される領域はレジストマスク6033で被覆して
おく。そして、ジボラン(B26)を用いたイオンドー
プ法で不純物領域6034を形成した。この領域のボロ
ン(B)濃度は3×1020〜3×1021atoms/cm3とな
るようにする。その後、レジストマスク6033を除去
する。本明細書中では、ここで形成された不純物領域6
034に含まれるp型を付与する不純物元素の濃度を
(p++)と表す(図12(A))。
Next, in order to form a source region and a drain region of the p-channel TFT of the driving circuit, a step of adding an impurity element imparting p-type is performed. Here, the impurity region is formed in a self-aligned manner using the gate electrode 6028 as a mask. At this time, the n-channel TFT
Are formed with a resist mask 6033. Then, an impurity region 6034 was formed by an ion doping method using diborane (B 2 H 6 ). The boron (B) concentration in this region is set to 3 × 10 20 to 3 × 10 21 atoms / cm 3 . After that, the resist mask 6033 is removed. In this specification, the impurity region 6 formed here is used.
The concentration of the impurity element imparting p-type contained in No. 034 is represented by (p ++ ) (FIG. 12A).

【0101】次に、nチャネル型TFTにおいて、ソー
ス領域またはドレイン領域として機能する不純物領域の
形成を行った。レジストのマスク6035〜6037を
形成し、n型を付与する不純物元素を添加して不純物領
域6039〜6042を形成した。これは、フォスフィ
ン(PH3)を用いたイオンドープ法で行ない、この領
域のリン(P)濃度を1×1020〜1×1021atoms/c
m3とした。本明細書中では、ここで形成された不純物領
域6039〜6042に含まれるn型を付与する不純物
元素の濃度を(n+)と表す(図12(B))。
Next, in the n-channel TFT, an impurity region functioning as a source region or a drain region was formed. Resist masks 6035 to 6037 were formed, and impurity regions 6039 to 6042 were formed by adding an impurity element imparting n-type. This is performed by an ion doping method using phosphine (PH 3 ), and the phosphorus (P) concentration in this region is set to 1 × 10 20 to 1 × 10 21 atoms / c.
It was m 3. In this specification, the concentration of the impurity element imparting n-type contained in the impurity regions 6039 to 6042 formed here is expressed as (n + ) (FIG. 12B).

【0102】不純物領域6039〜6042には、既に
前工程で添加されたリン(P)またはボロン(B)が含
まれているが、それに比して十分に高い濃度でリン
(P)が添加されるので、前工程で添加されたリン
(P)またはボロン(B)の影響は考えなくても良い。
また、不純物領域6038に添加されたリン(P)濃度
は図12(A)で添加されたボロン(B)濃度の1/2
〜1/3なのでp型の導電性が確保され、TFTの特性
に何ら影響を与えることはなかった。
Although impurity regions 6039 to 6042 contain phosphorus (P) or boron (B) already added in the previous step, phosphorus (P) is added at a sufficiently high concentration. Therefore, it is not necessary to consider the influence of phosphorus (P) or boron (B) added in the previous step.
The concentration of phosphorus (P) added to impurity region 6038 is 1 / of the concentration of boron (B) added in FIG.
Since it was 1 /, p-type conductivity was ensured, and there was no effect on the characteristics of the TFT.

【0103】レジストマスク6035〜6037を除去
した後、画素部のnチャネル型TFTのLDD領域を形
成するためのn型を付与する不純物添加の工程を行っ
た。ここではゲート電極6031をマスクとして自己整
合的にn型を付与する不純物元素をイオンドープ法で添
加した。添加するリン(P)の濃度は1×1016〜5×
1018atoms/cm3であり、図11(A)および図12
(A)と図12(B)で添加する不純物元素の濃度より
も低濃度で添加することで、実質的には不純物領域60
43、6044のみが形成される。本明細書中では、こ
の不純物領域6043、6044に含まれるn型を付与
する不純物元素の濃度を(n--)と表す。(図12
(C))
After removing the resist masks 6035 to 6037, an n-type impurity imparting step for forming an LDD region of an n-channel TFT in a pixel portion was performed. Here, an impurity element imparting n-type in a self-aligned manner is added by an ion doping method using the gate electrode 6031 as a mask. The concentration of phosphorus (P) to be added is 1 × 10 16 to 5 ×
10 18 atoms / cm 3 , as shown in FIG.
By adding at a concentration lower than the concentration of the impurity element added in FIGS.
Only 43 and 6044 are formed. In this specification, the concentration of the impurity element imparting n-type contained in the impurity regions 6043 and 6044 is expressed as (n ). (FIG. 12
(C))

【0104】その後、それぞれの濃度で添加されたn型
またはp型を付与する不純物元素を活性化するために熱
処理工程を行なう。この工程はファーネスアニール法、
レーザーアニール法、またはラピッドサーマルアニール
法(RTA法)で行なうことができる。ここではファー
ネスアニール法で活性化工程を行った。熱処理は酸素濃
度が1ppm以下、好ましくは0.1ppm以下の窒素
雰囲気中で400〜800℃、代表的には500〜60
0℃で行なうものであり、本実施例では500℃で4時
間の熱処理を行った。また、基板6001に石英基板の
ような耐熱性を有するものを使用した場合には、800
℃で1時間の熱処理としても良く、不純物元素の活性化
と、該不純物元素が添加された不純物領域とチャネル形
成領域との接合を良好に形成することができる。なお、
上述のゲート電極であるTaのピーリングを防止するた
めに層間膜を形成した場合には、この効果は得られない
場合がある。
Thereafter, a heat treatment step is performed to activate the n-type or p-type imparting impurity elements added at the respective concentrations. This process is furnace annealing,
It can be performed by a laser annealing method or a rapid thermal annealing method (RTA method). Here, the activation step was performed by the furnace annealing method. The heat treatment is performed in a nitrogen atmosphere having an oxygen concentration of 1 ppm or less, preferably 0.1 ppm or less, at 400 to 800 ° C., typically 500 to 60 ° C.
The heat treatment is performed at 0 ° C., and in this embodiment, the heat treatment is performed at 500 ° C. for 4 hours. When a substrate having heat resistance such as a quartz substrate is used for the substrate 6001, 800
The heat treatment may be performed at 1 ° C. for 1 hour, whereby the activation of the impurity element and the junction between the impurity region to which the impurity element is added and the channel formation region can be favorably formed. In addition,
This effect may not be obtained when an interlayer film is formed to prevent the peeling of Ta as the gate electrode described above.

【0105】この熱処理において、ゲート電極6028
〜6031と容量配線6032を形成する金属膜602
8b〜6032bは、表面から5〜80nmの厚さで導
電層(C)6028c〜6032cが形成される。例え
ば、導電層(B)6028b〜6032bがタングステ
ン(W)の場合には窒化タングステン(WN)が形成さ
れ、タンタル(Ta)の場合には窒化タンタル(Ta
N)を形成することができる。また、導電層(C)60
28c〜6032cは、窒素またはアンモニアなどを用
いた窒素を含むプラズマ雰囲気にゲート電極6028〜
6031及び容量配線6032を晒しても同様に形成す
ることができる。さらに、3〜100%の水素を含む雰
囲気中で、300〜450℃で1〜12時間の熱処理を
行ない、島状半導体層を水素化する工程を行った。この
工程は熱的に励起された水素により半導体層のダングリ
ングボンドを終端する工程である。水素化の他の手段と
して、プラズマ水素化(プラズマにより励起された水
素、プラズマ化した水素を用いる)をおこなっても良
い。
In this heat treatment, the gate electrode 6028
Film 602 forming the capacitor wiring 6032 and the capacitor wiring 6032
For 8b to 6032b, conductive layers (C) 6028c to 6032c are formed with a thickness of 5 to 80 nm from the surface. For example, when the conductive layers (B) 6028b to 6032b are tungsten (W), tungsten nitride (WN) is formed, and when the conductive layers (B) 6028b to 6032b are tantalum (Ta), tantalum nitride (Ta) is formed.
N) can be formed. The conductive layer (C) 60
28c to 6032c are gate electrodes 6028 to 3028 in a plasma atmosphere containing nitrogen using nitrogen or ammonia.
Even when the capacitor 6031 and the capacitor wiring 6032 are exposed, they can be similarly formed. Further, a heat treatment was performed at 300 to 450 ° C. for 1 to 12 hours in an atmosphere containing 3 to 100% hydrogen to hydrogenate the island-shaped semiconductor layer. In this step, dangling bonds in the semiconductor layer are terminated by thermally excited hydrogen. As another means of hydrogenation, plasma hydrogenation (using hydrogen excited by plasma or hydrogenated into plasma) may be performed.

【0106】島状半導体層が、非晶質シリコン膜から触
媒元素を用いる結晶化の方法で作製された場合、島状半
導体層中には微量の触媒元素が残留した。勿論、そのよ
うな状態でもTFTを完成させることが可能であるが、
残留する触媒元素を少なくともチャネル形成領域から除
去する方がより好ましかった。この触媒元素を除去する
手段の一つにリン(P)によるゲッタリング作用を利用
する手段があった。ゲッタリングに必要なリン(P)の
濃度は図12(B)で形成した不純物領域(n +)と同
程度であり、ここで実施される活性化工程の熱処理によ
り、nチャネル型TFTおよびpチャネル型TFTのチ
ャネル形成領域から触媒元素をゲッタリングすることが
できた(図12(D))。
The island-like semiconductor layer is formed from the amorphous silicon film.
When produced by the crystallization method using a medium element,
A trace amount of catalytic element remained in the conductor layer. Of course
It is possible to complete the TFT in such a state,
Remove the remaining catalyst element from at least the channel formation region.
I preferred to leave. Remove this catalytic element
Utilizing the gettering action of phosphorus (P) as one of the means
There was a way to do that. Phosphorus (P) required for gettering
The concentration is the impurity region (n +Same as)
Of the activation process performed here.
And n-channel TFT and p-channel TFT.
Gettering of catalytic elements from the channel formation region
It was completed (FIG. 12 (D)).

【0107】活性化および水素化の工程が終了したら、
ゲート配線(走査線)とする第2の導電膜を形成する。
この第2の導電膜は低抵抗材料であるアルミニウム(A
l)や銅(Cu)を主成分とする導電層(D)と、にチ
タン(Ti)やタンタル(Ta)、タングステン
(W)、モリブデン(Mo)から成る導電層(E)とで
形成すると良い。本実施例では、チタン(Ti)を0.
1〜2重量%含むアルミニウム(Al)膜を導電層
(D)6045とし、チタン(Ti)膜を導電層(E)
6046として形成した。導電層(D)6045は20
0〜400nm(好ましくは250〜350nm)とす
れば良く、導電層(E)6046は50〜200(好ま
しくは100〜150nm)で形成すれば良い。(図1
3(A))
When the activation and hydrogenation steps are completed,
A second conductive film serving as a gate wiring (scanning line) is formed.
This second conductive film is made of aluminum (A) which is a low-resistance material.
l) a conductive layer (D) mainly composed of copper (Cu) and a conductive layer (E) made of titanium (Ti), tantalum (Ta), tungsten (W), molybdenum (Mo). good. In the present embodiment, titanium (Ti) is set to 0.1.
An aluminum (Al) film containing 1 to 2% by weight is used as the conductive layer (D) 6045, and a titanium (Ti) film is used as the conductive layer (E).
6046. The conductive layer (D) 6045 is 20
The conductive layer (E) 6046 may be formed to have a thickness of 50 to 200 (preferably 100 to 150 nm). (Figure 1
3 (A))

【0108】そして、ゲート電極に接続するゲート配線
(走査線)を形成するために導電層(E)6046と導
電層(D)6045とをエッチング処理して、ゲート配
線(走査線)6047、6048と容量配線6049を
形成した。エッチング処理は最初にSiCl4とCl2
BCl3との混合ガスを用いたドライエッチング法で導
電層(E)の表面から導電層(D)の途中まで除去し、
その後リン酸系のエッチング溶液によるウエットエッチ
ングで導電層(D)を除去することにより、下地との選
択加工性を保ってゲート配線(走査線)を形成すること
ができた。
Then, the conductive layer (E) 6046 and the conductive layer (D) 6045 are etched to form a gate wiring (scanning line) connected to the gate electrode, and gate wirings (scanning lines) 6047 and 6048 are formed. And a capacitor wiring 6049 were formed. In the etching process, first, a portion of the conductive layer (D) is removed from the surface of the conductive layer (E) by a dry etching method using a mixed gas of SiCl 4 , Cl 2, and BCl 3 ,
Thereafter, the conductive layer (D) was removed by wet etching using a phosphoric acid-based etching solution, whereby a gate wiring (scanning line) could be formed while maintaining selectivity with the base.

【0109】第1の層間絶縁膜6050は500〜15
00nmの厚さで酸化シリコン膜または酸化窒化シリコ
ン膜で形成され、その後、それぞれの島状半導体層に形
成されたソース領域またはドレイン領域に達するコンタ
クトホールを形成し、ソース配線(信号線)6051〜
6054と、ドレイン配線6055〜6058を形成す
る。図示していないが、本実施例ではこの電極を、Ti
膜を100nm、Tiを含むアルミニウム膜300n
m、Ti膜150nmをスパッタ法で連続して形成した
3層構造の積層膜とした。
The first interlayer insulating film 6050 is 500 to 15
A contact hole which is formed of a silicon oxide film or a silicon oxynitride film with a thickness of 00 nm and reaches a source region or a drain region formed in each of the island-shaped semiconductor layers is formed.
6054 and drain wirings 6055 to 6058 are formed. Although not shown, in this embodiment, this electrode is
100 nm film, 300n aluminum film containing Ti
A laminated film having a three-layer structure was formed by continuously forming an m and Ti film of 150 nm by a sputtering method.

【0110】次に、パッシベーション膜6059とし
て、窒化シリコン膜、酸化シリコン膜、または窒化酸化
シリコン膜を50〜500nm(代表的には100〜3
00nm)の厚さで形成する。この状態で水素化処理を
行なうとTFTの特性向上に対して好ましい結果が得ら
れた。例えば、3〜100%の水素を含む雰囲気中で、
300〜450℃で1〜12時間の熱処理を行なうと良
く、あるいはプラズマ水素化法を用いても同様の効果が
得られた。なお、ここで後に画素電極とドレイン配線を
接続するためのコンタクトホールを形成する位置におい
て、パッシベーション膜6059に開口部を形成してお
いても良い。(図13(C))
Next, as the passivation film 6059, a silicon nitride film, a silicon oxide film, or a silicon nitride oxide film is 50 to 500 nm (typically, 100 to 3 nm).
(00 nm). When hydrogenation treatment was performed in this state, favorable results were obtained for improving the characteristics of the TFT. For example, in an atmosphere containing 3 to 100% hydrogen,
It is preferable to perform heat treatment at 300 to 450 ° C. for 1 to 12 hours, or similar effects can be obtained by using a plasma hydrogenation method. Note that an opening may be formed in the passivation film 6059 at a position where a contact hole for connecting a pixel electrode and a drain wiring is formed later. (FIG. 13 (C))

【0111】その後、有機樹脂からなる第2の層間絶縁
膜6060を1.0〜1.5μmの厚さに形成する。有
機樹脂としては、ポリイミド、アクリル、ポリアミド、
ポリイミドアミド、BCB(ベンゾシクロブテン)等を
使用することができる。ここでは、基板に塗布後、熱重
合するタイプのポリイミドを用い、300℃で焼成して
形成した。そして、第2の層間絶縁膜6060にドレイ
ン配線6058に達するコンタクトホールを形成し、画
素電極6061、6062を形成する。画素電極は、透
過型液晶表示装置とする場合には透明導電膜を用いれば
良く、反射型の液晶表示装置とする場合には金属膜を用
いれば良い。本実施例では透過型の液晶表示装置とする
ために、酸化インジウム・スズ(ITO)膜を100n
mの厚さにスパッタ法で形成した。(図14)
Thereafter, a second interlayer insulating film 6060 made of an organic resin is formed to a thickness of 1.0 to 1.5 μm. As the organic resin, polyimide, acrylic, polyamide,
Polyimide amide, BCB (benzocyclobutene) and the like can be used. Here, a polyimide of a type that is thermally polymerized after being applied to the substrate and baked at 300 ° C. is used. Then, a contact hole reaching the drain wiring 6058 is formed in the second interlayer insulating film 6060, and pixel electrodes 6061 and 6062 are formed. As the pixel electrode, a transparent conductive film may be used for a transmission type liquid crystal display device, and a metal film may be used for a reflection type liquid crystal display device. In this embodiment, in order to obtain a transmissive liquid crystal display device, an indium tin oxide (ITO) film has a thickness of 100 n.
m was formed by a sputtering method. (FIG. 14)

【0112】こうして同一基板上に、駆動回路のTFT
と画素部の画素TFTとを有した基板を完成させること
ができた。駆動回路にはpチャネル型TFT6101、
第1のnチャネル型TFT6102、第2のnチャネル
型TFT6103、画素部には画素TFT6104、保
持容量6105が形成した。本明細書では便宜上このよ
うな基板をアクティブマトリクス基板と呼ぶ。
Thus, the TFT of the driving circuit is formed on the same substrate.
And a substrate having pixel TFTs in the pixel portion. The driving circuit includes a p-channel TFT 6101,
A first n-channel TFT 6102, a second n-channel TFT 6103, a pixel TFT 6104 in the pixel portion, and a storage capacitor 6105 were formed. In this specification, such a substrate is referred to as an active matrix substrate for convenience.

【0113】駆動回路のpチャネル型TFT6101に
は、島状半導体層6004にチャネル形成領域610
6、ソース領域6107a、6107b、ドレイン領域
6108a,6108bを有している。第1のnチャネ
ル型TFT6102には、島状半導体層6005にチャ
ネル形成領域6109、ゲート電極6029と重なるL
DD領域6110(以降、このようなLDD領域をLov
と記す)、ソース領域6111、ドレイン領域6112
を有している。このLov領域のチャネル長方向の長さは
0.5〜3.0μm、好ましくは1.0〜1.5μmと
した。第2のnチャネル型TFT6103には、島状半
導体層6006にチャネル形成領域6113、LDD領
域6114,6115、ソース領域6116、ドレイン
領域6117を有している。このLDD領域はLov領域
とゲート電極6030と重ならないLDD領域(以降、
このようなLDD領域をLoffと記す)とが形成され、
このLoff領域のチャネル長方向の長さは0.3〜2.
0μm、好ましくは0.5〜1.5μmである。画素T
FT6104には、島状半導体層6007にチャネル形
成領域6118、6119、Loff領域6120〜61
23、ソースまたはドレイン領域6124〜6126を
有している。Loff領域のチャネル長方向の長さは0.
5〜3.0μm、好ましくは1.5〜2.5μmであ
る。さらに、容量配線6032、6049と、ゲート絶
縁膜と同じ材料から成る絶縁膜と、画素TFT6104
のドレイン領域6126に接続し、n型を付与する不純
物元素が添加された半導体層6127とから保持容量6
105が形成されている。図14では画素TFT610
4をダブルゲート構造としたが、シングルゲート構造で
も良いし、複数のゲート電極を設けたマルチゲート構造
としても差し支えない。
In the p-channel TFT 6101 of the driver circuit, the channel formation region 610 is formed in the island-shaped semiconductor layer 6004.
6, source regions 6107a and 6107b, and drain regions 6108a and 6108b. In the first n-channel TFT 6102, an L overlapping the channel formation region 6109 and the gate electrode 6029 in the island-shaped semiconductor layer 6005.
DD region 6110 (hereinafter, such an LDD region is referred to as Lov
, Source region 6111 and drain region 6112
have. The length of the Lov region in the channel length direction is 0.5 to 3.0 μm, preferably 1.0 to 1.5 μm. The second n-channel TFT 6103 includes a channel formation region 6113, LDD regions 6114 and 6115, a source region 6116, and a drain region 6117 in the island-shaped semiconductor layer 6006. This LDD region is an LDD region that does not overlap with the Lov region and the gate electrode 6030 (hereinafter referred to as an LDD region).
Such an LDD region is referred to as Loff).
The length of the Loff region in the channel length direction is 0.3 to 2.
0 μm, preferably 0.5 to 1.5 μm. Pixel T
In the FT 6104, channel formation regions 6118 and 6119 and Loff regions 6120 to 61 are formed in the island-shaped semiconductor layer 6007.
23, a source or drain region 6124-6126. The length of the Loff region in the channel length direction is 0.
It is 5-3.0 μm, preferably 1.5-2.5 μm. Further, the capacitor wirings 6032 and 6049, an insulating film made of the same material as the gate insulating film, and a pixel TFT 6104
From the semiconductor layer 6127 to which the impurity element imparting n-type is added.
105 is formed. In FIG. 14, the pixel TFT 610
4 has a double gate structure, but may have a single gate structure or a multi-gate structure provided with a plurality of gate electrodes.

【0114】以上のように本実施例では、画素TFTお
よび駆動回路が要求する仕様に応じて各回路を構成する
TFTの構造を最適化し、画像表示装置の動作性能と信
頼性を向上させることを可能とすることができる。
As described above, in this embodiment, it is necessary to optimize the structure of the TFT constituting each circuit according to the specifications required by the pixel TFT and the driving circuit, and to improve the operation performance and reliability of the image display device. Can be possible.

【0115】次に、上記の工程によって作製されたアク
ティブマトリクス基板をもとに、透過型液晶表示装置を
作製する工程を説明する。
Next, a process for manufacturing a transmission type liquid crystal display device based on the active matrix substrate manufactured by the above process will be described.

【0116】図15を参照する。図14の状態のアクテ
ィブマトリクス基板に配向膜6201を形成する。本実
施例では、配向膜6201にはポリイミドを用いた。次
に、対向基板を用意する。対向基板は、ガラス基板62
02、遮光膜6203、透明導電膜からなる対向電極6
204、配向膜6205とで構成される。
Referring to FIG. An alignment film 6201 is formed on the active matrix substrate in the state shown in FIG. In this embodiment, polyimide is used for the alignment film 6201. Next, a counter substrate is prepared. The opposite substrate is a glass substrate 62
02, light-shielding film 6203, counter electrode 6 made of a transparent conductive film
204 and an alignment film 6205.

【0117】なお、本実施例では、配向膜には、液晶分
子が基板に対して平行に配向するようなポリイミド膜を
用いた。なお、配向膜形成後、ラビング処理を施すこと
により、液晶分子がある一定のプレチルト角を持って平
行配向するようにした。
In this embodiment, a polyimide film in which liquid crystal molecules are aligned in parallel with the substrate is used as the alignment film. After the alignment film was formed, a rubbing treatment was performed so that the liquid crystal molecules were aligned in parallel with a certain pretilt angle.

【0118】次に、上記の工程を経たアクティブマトリ
クス基板と対向基板とを公知のセル組み工程によって、
シール材やスペーサ(共に図示せず)などを介して貼り
合わせる。その後、両基板の間に液晶6206を注入
し、封止剤(図示せず)によって完全に封止する。よっ
て、図15に示すような透過型液晶表示装置が完成す
る。
Next, the active matrix substrate and the counter substrate having undergone the above-described steps are subjected to a known cell assembling step to perform
It is bonded via a sealing material or a spacer (both not shown). Thereafter, a liquid crystal 6206 is injected between the two substrates, and completely sealed with a sealant (not shown). Thus, a transmission type liquid crystal display device as shown in FIG. 15 is completed.

【0119】なお、上記の行程により作成されるTFT
はトップゲート構造であるが、ボトムゲート構造のTF
Tやその他の構造のTFTに対しても本発明は適用され
得る。
The TFT formed by the above process
Has a top gate structure but a bottom gate structure TF
The present invention can be applied to TFTs having T or other structures.

【0120】また、上記の行程により作成される画像表
示装置は透過型の液晶表示装置であるが、本発明は反射
型の液晶表示装置に対しても適用され得る。
Although the image display device produced by the above process is a transmission type liquid crystal display device, the present invention can be applied to a reflection type liquid crystal display device.

【0121】(実施例4)本実施例では、本発明の駆動
回路を用いたアクティブマトリクス型画像表示装置を組
み込んだ電子機器について説明する。これらの電子機器
には、携帯情報端末(電子手帳、モバイルコンピュー
タ、携帯電話等)、ビデオカメラ、スチルカメラ、パー
ソナルコンピュータ、テレビ等が挙げられる。それらの
一例を図16〜図18に示す。
(Embodiment 4) In this embodiment, an electronic apparatus incorporating an active matrix type image display device using the driving circuit of the present invention will be described. These electronic devices include a portable information terminal (electronic notebook, mobile computer, mobile phone, etc.), a video camera, a still camera, a personal computer, a television, and the like. Examples of these are shown in FIGS.

【0122】図16(A)は携帯電話であり、本体90
01、音声出力部9002、音声入力部9003、表示
部9004、操作スイッチ9005、アンテナ9006
から構成されている。本発明は表示部9004に適用す
ることができる。
FIG. 16A shows a mobile phone,
01, audio output unit 9002, audio input unit 9003, display unit 9004, operation switch 9005, antenna 9006
It is composed of The present invention can be applied to the display portion 9004.

【0123】図16(B)はビデオカメラであり、本体
9101、表示部9102、音声入力部9103、操作
スイッチ9104、バッテリー9105、受像部910
6から成っている。本発明は表示部9102に適用する
ことができる。
FIG. 16B shows a video camera, which includes a main body 9101, a display portion 9102, an audio input portion 9103, operation switches 9104, a battery 9105, and an image receiving portion 910.
Consists of six. The present invention can be applied to the display portion 9102.

【0124】図16(C)はパーソナルコンピュータの
一種であるモバイルコンピュータ或いは携帯型情報端末
であり、本体9201、カメラ部9202、受像部92
03、操作スイッチ9204、表示部9205で構成さ
れている。本発明は表示部9205に適用することがで
きる。
FIG. 16C shows a mobile computer or a portable information terminal which is a kind of personal computer, and includes a main body 9201, a camera section 9202, and an image receiving section 92.
03, an operation switch 9204, and a display unit 9205. The present invention can be applied to the display portion 9205.

【0125】図16(D)はヘッドマウントディスプレ
イ(ゴーグル型ディスプレイ)であり、本体9301、
表示部9302、アーム部9303で構成される。本発
明は表示部9302に適用することができる。
FIG. 16D shows a head-mounted display (goggle-type display).
A display portion 9302 and an arm portion 9303 are provided. The present invention can be applied to the display portion 9302.

【0126】図16(E)はテレビであり、本体940
1、スピーカー9402、表示部9403、受信装置9
404、増幅装置9405等で構成される。本発明は表
示部9402に適用することができる。
FIG. 16E shows a television set,
1, speaker 9402, display portion 9403, receiving device 9
404, an amplification device 9405 and the like. The invention can be applied to the display portion 9402.

【0127】図16(F)は携帯書籍であり、本体95
01、表示部9502、記憶媒体9504、操作スイッ
チ9505、アンテナ9506から構成されており、ミ
ニディスク(MD)やDVD(Digtial Ver
satile Disc)に記憶されたデータや、アン
テナで受信したデータを表示するものである。本発明は
表示部9502に適用することができる。
FIG. 16F shows a portable book, and a main body 95.
01, a display unit 9502, a storage medium 9504, operation switches 9505, and an antenna 9506.
It displays the data stored in the satellite disc) and the data received by the antenna. The invention can be applied to the display portion 9502.

【0128】図17(A)はパーソナルコンピュータで
あり、本体9601、画像入力部9602、表示部96
03、キーボード9604で構成される。本発明は表示
部9603に適用することができる。
FIG. 17A shows a personal computer, which includes a main body 9601, an image input section 9602, and a display section 96.
03, and a keyboard 9604. The present invention can be applied to the display portion 9603.

【0129】図17(B)はプログラムを記録した記録
媒体(以下、記録媒体と呼ぶ)を用いるプレーヤーであ
り、本体9701、表示部9702、スピーカ部970
3、記録媒体9704、操作スイッチ9705で構成さ
れる。なお、この装置は記録媒体としてDVD、CD等
を用い、音楽鑑賞や映画鑑賞やゲームやインターネット
を行なうことができる。本発明は表示部9702に適用
することができる。
FIG. 17B shows a player using a recording medium (hereinafter, referred to as a recording medium) on which a program is recorded, and includes a main body 9701, a display portion 9702, and a speaker portion 970.
3, a recording medium 9704, and operation switches 9705. This apparatus uses a DVD, a CD, or the like as a recording medium, and can perform music appreciation, movie appreciation, games, and the Internet. The present invention can be applied to the display portion 9702.

【0130】図17(C)はデジタルカメラであり、本
体9801、表示部9802、接眼部9803、操作ス
イッチ9804、受像部(図示しない)で構成される。
本発明は表示部9802に適用することができる。
FIG. 17C shows a digital camera, which comprises a main body 9801, a display portion 9802, an eyepiece portion 9803, operation switches 9804, and an image receiving portion (not shown).
The present invention can be applied to the display portion 9802.

【0131】図17(D)は片眼のヘッドマウントディ
スプレイであり、表示部9901、ヘッドマウント部9
902で構成される。本発明は表示部9901に適用す
ることができる。
FIG. 17D shows a one-eye head mounted display, in which a display portion 9901 and a head mount portion 9 are provided.
902. The present invention can be applied to the display portion 9901.

【0132】図18(A)はフロント型プロジェクター
であり、投射装置3601、スクリーン3602で構成
される。
FIG. 18A shows a front type projector, which comprises a projection device 3601 and a screen 3602.

【0133】図18(B)はリア型プロジェクターであ
り、本体3701、投射装置3702、ミラー370
3、スクリーン3704で構成される。
FIG. 18B shows a rear type projector, which includes a main body 3701, a projection device 3702, and a mirror 370.
3. It is composed of a screen 3704.

【0134】なお、図18(C)は、図18(A)及び
図18(B)中における投射装置3601、3702の
構造の一例を示した図である。投射装置3601、37
02は、光源光学系3801、ミラー3802、380
4〜3806、ダイクロイックミラー3803、プリズ
ム3807、液晶表示部3808、位相差板3809、
投射光学系3810で構成される。投射光学系3810
は、投射レンズを含む光学系で構成される。本実施例は
三板式の例を示したが、これに限定されず、例えば単板
式であってもよい。また、図18(C)中において矢印
で示した光路に実施者が適宜、光学レンズや、偏光機能
を有するフィルムや、位相差を調節するためのフィル
ム、IRフィルム等の光学系を設けてもよい。本発明は
液晶表示部3808に適用することができる。
FIG. 18C is a diagram showing an example of the structure of the projection devices 3601 and 3702 in FIGS. 18A and 18B. Projection devices 3601, 37
02 denotes a light source optical system 3801, mirrors 3802, 380
4 to 3806, dichroic mirror 3803, prism 3807, liquid crystal display unit 3808, retardation plate 3809,
It is composed of a projection optical system 3810. Projection optical system 3810
Is composed of an optical system including a projection lens. In the present embodiment, an example of a three-plate type is shown, but the present invention is not limited to this. For example, a single-plate type may be used. In addition, the practitioner may appropriately provide an optical system such as an optical lens, a film having a polarizing function, a film for adjusting a phase difference, and an IR film in an optical path indicated by an arrow in FIG. Good. The present invention can be applied to the liquid crystal display portion 3808.

【0135】また、図18(D)は、図18(C)中に
おける光源光学系3801の構造の一例を示した図であ
る。本実施例では、光源光学系3801は、リフレクタ
ー3811、光源3812、レンズアレイ3813、3
814、偏光変換素子3815、集光レンズ3816で
構成される。なお、図18(D)に示した光源光学系は
一例であって特に限定されない。例えば、光源光学系に
実施者が適宜、光学レンズや、偏光機能を有するフィル
ムや、位相差を調節するフィルム、IRフィルム等の光
学系を設けてもよい。
FIG. 18D is a diagram showing an example of the structure of the light source optical system 3801 in FIG. 18C. In this embodiment, the light source optical system 3801 includes a reflector 3811, a light source 3812, a lens array 3813,
814, a polarization conversion element 3815, and a condenser lens 3816. Note that the light source optical system shown in FIG. 18D is an example and is not particularly limited. For example, a practitioner may appropriately provide an optical system such as an optical lens, a film having a polarizing function, a film for adjusting a phase difference, and an IR film in the light source optical system.

【0136】以上の様に、本発明の適用範囲はきわめて
広く、画像表示装置を用いるあらゆる分野の電子機器に
適用することが可能である。
As described above, the applicable range of the present invention is extremely wide, and the present invention can be applied to electronic devices in all fields using an image display device.

【0137】[0137]

【発明の効果】本発明による画像表示装置の駆動回路
は、信号線駆動回路の面積を大幅に縮小でき、画像表示
装置の小型化に有効であり、さらには、画像表示装置の
コスト低減、歩留まり向上に効果がある。
The driving circuit of the image display device according to the present invention can greatly reduce the area of the signal line driving circuit, which is effective for downsizing the image display device, and further reduces the cost and the yield of the image display device. Effective for improvement.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本実施形態の信号線駆動回路の構成例を示す
図である。
FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration example of a signal line driving circuit according to an embodiment.

【図2】 図1の信号線駆動回路の動作タイミングを示
す図である。
FIG. 2 is a diagram showing operation timings of the signal line driving circuit of FIG.

【図3】 実施例1の信号線駆動回路の構成を示す図で
ある。
FIG. 3 is a diagram illustrating a configuration of a signal line driving circuit according to the first embodiment.

【図4】 図3の信号線駆動回路の動作タイミングを示
す図である。
FIG. 4 is a diagram showing operation timings of the signal line driving circuit of FIG. 3;

【図5】 記憶回路の具体例を示す図である。FIG. 5 illustrates a specific example of a storage circuit.

【図6】 実施例2の信号線駆動回路の構成を示す図で
ある。
FIG. 6 is a diagram illustrating a configuration of a signal line driving circuit according to a second embodiment.

【図7】 図6の駆動回路の動作タイミングを示す図で
ある。
7 is a diagram showing operation timings of the drive circuit of FIG.

【図8】 ビット比較パルス幅変換回路(BPC)の構
成を示す図である。
FIG. 8 is a diagram showing a configuration of a bit comparison pulse width conversion circuit (BPC).

【図9】 ランプ型D/A変換回路の動作を説明する図
である。
FIG. 9 is a diagram illustrating the operation of the ramp type D / A conversion circuit.

【図10】 実施例3によるアクティブマトリクス型液
晶表示装置の作製工程例を示す図である。
FIG. 10 is a diagram illustrating an example of a manufacturing process of an active matrix liquid crystal display device according to a third embodiment.

【図11】 実施例3によるアクティブマトリクス型液
晶表示装置の作製工程例を示す図である。
FIG. 11 is a diagram illustrating an example of a manufacturing process of an active matrix liquid crystal display device according to a third embodiment.

【図12】 実施例3によるアクティブマトリクス型液
晶表示装置の作製工程例を示す図である。
FIG. 12 is a diagram illustrating an example of a manufacturing process of an active matrix liquid crystal display device according to a third embodiment.

【図13】 実施例3によるアクティブマトリクス型液
晶表示装置の作製工程例を示す図である。
FIG. 13 is a diagram illustrating an example of a manufacturing process of the active matrix liquid crystal display device according to the third embodiment.

【図14】 実施例3によるアクティブマトリクス型液
晶表示装置の作製工程例を示す図である。
FIG. 14 is a diagram illustrating an example of a manufacturing process of the active matrix liquid crystal display device according to the third embodiment.

【図15】 実施例3によるアクティブマトリクス型液
晶表示装置の作製工程例を示す図である。
FIG. 15 is a diagram illustrating an example of a manufacturing process of the active matrix liquid crystal display device according to the third embodiment.

【図16】 本発明を用いた電子機器の一例を示す図で
ある。
FIG. 16 illustrates an example of an electronic device using the present invention.

【図17】 本発明を用いた電子機器の一例を示す図で
ある。
FIG. 17 is a diagram illustrating an example of an electronic device using the present invention.

【図18】 投影型液晶表示装置の構成を示す図であ
る。
FIG. 18 is a diagram showing a configuration of a projection type liquid crystal display device.

【図19】 アクティブマトリクス型液晶表示装置の構
成図である。
FIG. 19 is a configuration diagram of an active matrix liquid crystal display device.

【図20】 従来のデジタル方式の信号線駆動回路の構
成図である。
FIG. 20 is a configuration diagram of a conventional digital signal line driving circuit.

【図21】 従来のデジタル方式の信号線駆動回路のタ
イミングチャートを示す図である。
FIG. 21 is a timing chart of a conventional digital signal line driving circuit.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10(a〜c) 信号線選択回路 20 アナログスイッチ 101 信号線駆動回路 102 走査線駆動回路 103 画素マトリクス 104 信号線 105 走査線 106 画素TFT 107 液晶 10 (ac) Signal line selection circuit 20 Analog switch 101 Signal line drive circuit 102 Scan line drive circuit 103 Pixel matrix 104 Signal line 105 Scan line 106 Pixel TFT 107 Liquid crystal

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G02F 1/1345 G02F 1/1345 G09G 3/36 G09G 3/36 (72)発明者 久保田 靖 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 鷲尾 一 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) G02F 1/1345 G02F 1/1345 G09G 3/36 G09G 3/36 (72) Inventor Yasushi Kubota Osaka-shi, Osaka (22) Inventor Kazu Washio 22-22 Nagaikecho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka, Japan

Claims (16)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】mビット(mは自然数)のデジタル映像信
号を記憶する第1の記憶回路と、該第1の記憶回路の出
力信号を記憶する第2の記憶回路と、該第2の記憶回路
の出力信号をアナログ信号に変換するD/A変換回路と
を有するアクティブマトリクス型画像表示装置の駆動回
路において、水平方向の有効信号線数をkとしたとき、
前記第1の記憶回路と前記第2の記憶回路のそれぞれの
数はn分のm×kであること(nは2以上の自然数)を
特徴とする画像表示装置の駆動回路。
1. A first storage circuit for storing an m-bit (m is a natural number) digital video signal, a second storage circuit for storing an output signal of the first storage circuit, and the second storage In a drive circuit of an active matrix type image display device having a D / A conversion circuit for converting an output signal of the circuit into an analog signal, when the number of effective signal lines in the horizontal direction is k,
A driving circuit for an image display device, wherein the number of each of the first storage circuit and the second storage circuit is m × k for n (n is a natural number of 2 or more).
【請求項2】mビット(mは自然数)のデジタル映像信
号を記憶する第1の記憶回路と、該第1の記憶回路の出
力信号を記憶する第2の記憶回路と、該第2の記憶回路
の出力信号をアナログ信号に変換するD/A変換回路と
を有するアクティブマトリクス型画像表示装置の駆動回
路において、前記第1の記憶回路と前記第2の記憶回路
は1水平走査期間相当の時間内にn回(nは2以上の自
然数)の記憶動作をすることを特徴とする画像表示装置
の駆動回路。
2. A first storage circuit for storing an m-bit (m is a natural number) digital video signal; a second storage circuit for storing an output signal of the first storage circuit; and a second storage circuit. In a drive circuit of an active matrix type image display device having a D / A conversion circuit for converting an output signal of the circuit into an analog signal, the first storage circuit and the second storage circuit operate for a time equivalent to one horizontal scanning period. A driving circuit for an image display device, wherein a memory operation is performed n times (n is a natural number of 2 or more).
【請求項3】mビット(mは自然数)のデジタル映像信
号を記憶する第1の記憶回路と、該第1の記憶回路の出
力信号を記憶する第2の記憶回路と、該第2の記憶回路
の出力信号をアナログ信号に変換するD/A変換回路と
を有するアクティブマトリクス型画像表示装置の駆動回
路において、前記第2の記憶回路は、水平方向に分割さ
れる複数の群に分けられ、且つ、各群は異なるタイミン
グで1水平走査期間にn回(nは2以上の自然数)の記
憶動作をすることを特徴とする画像表示装置の駆動回
路。
3. A first storage circuit for storing an m-bit (m is a natural number) digital video signal, a second storage circuit for storing an output signal of the first storage circuit, and the second storage circuit In a drive circuit of an active matrix type image display device having a D / A conversion circuit for converting an output signal of the circuit into an analog signal, the second storage circuit is divided into a plurality of groups divided in a horizontal direction, A driving circuit for an image display device, wherein each group performs a storage operation n times (n is a natural number of 2 or more) in one horizontal scanning period at different timings.
【請求項4】請求項1乃至請求項3のいずれか1項にお
いて、前記第1の記憶回路はシフトレジスタによって制
御されることを特徴とする画像表示装置の駆動回路。
4. The driving circuit for an image display device according to claim 1, wherein the first storage circuit is controlled by a shift register.
【請求項5】請求項1乃至請求項3のいずれか1項にお
いて、前記第1の記憶回路はデコーダによって制御され
ることを特徴とする画像表示装置の駆動回路。
5. The driving circuit for an image display device according to claim 1, wherein the first storage circuit is controlled by a decoder.
【請求項6】mビット(mは自然数)のデジタル映像信
号を記憶する第1の記憶回路と、該第1の記憶回路の出
力信号を記憶する第2の記憶回路と、該第2の記憶回路
の出力信号をアナログ信号に変換するD/A変換回路と
を有するアクティブマトリクス型画像表示装置の駆動回
路において、前記第1の記憶回路はシフトレジスタによ
って制御され、且つ、1水平走査期間に、前記シフトレ
ジスタはn回(nは2以上の自然数)のクロック停止期
間を有し、該各停止期間に前記第2の記憶回路が記憶動
作をすることを特徴とする画像表示装置の駆動回路。
6. A first storage circuit storing an m-bit (m is a natural number) digital video signal, a second storage circuit storing an output signal of the first storage circuit, and the second storage circuit A driving circuit for an active matrix image display device having a D / A conversion circuit for converting an output signal of the circuit into an analog signal, wherein the first storage circuit is controlled by a shift register, and in one horizontal scanning period, The drive circuit for an image display device, wherein the shift register has n (n is a natural number of 2 or more) clock suspension periods, and the second storage circuit performs a storage operation in each suspension period.
【請求項7】請求項4または請求項6において、前記シ
フトレジスタは1水平走査期間相当の時間内に、n回の
走査をおこなうことを特徴とする画像表示装置の駆動回
路。
7. The driving circuit for an image display device according to claim 4, wherein said shift register scans n times within a time corresponding to one horizontal scanning period.
【請求項8】請求項1乃至請求項7のいずれか1項にお
いて、前記第1の記憶回路と前記第2の記憶回路はラッ
チ回路であることを特徴とする画像表示装置の駆動回
路。
8. The driving circuit for an image display device according to claim 1, wherein the first storage circuit and the second storage circuit are latch circuits.
【請求項9】請求項8において、前記ラッチ回路はアナ
ログスイッチおよび保持容量で構成されていることを特
徴とする画像表示装置の駆動回路。
9. A driving circuit according to claim 8, wherein said latch circuit comprises an analog switch and a storage capacitor.
【請求項10】請求項8において、前記ラッチ回路はク
ロックドインバータで構成されていることを特徴とする
画像表示装置の駆動回路。
10. The driving circuit according to claim 8, wherein said latch circuit is constituted by a clocked inverter.
【請求項11】請求項8において、前記ラッチ回路はア
ナログスイッチおよび複数のインバータで構成されてい
ることを特徴とする画像表示装置の駆動回路。
11. The driving circuit according to claim 8, wherein said latch circuit comprises an analog switch and a plurality of inverters.
【請求項12】請求項1乃至請求項11のいずれか1項
において、前記D/A変換回路の数は、水平方向の信号
線数をnで割った数であることを特徴とする画像表示装
置の駆動回路。
12. An image display according to claim 1, wherein the number of said D / A conversion circuits is a number obtained by dividing the number of horizontal signal lines by n. The drive circuit of the device.
【請求項13】請求項1乃至請求項11のいずれか1項
において、前記D/A変換回路はランプ型D/A変換回
路であることを特徴とする画像表示装置の駆動回路。
13. A driving circuit for an image display device according to claim 1, wherein said D / A conversion circuit is a ramp type D / A conversion circuit.
【請求項14】請求項1乃至請求項13のいずれか1項
において、前記画像表示装置の駆動回路はポリシリコン
薄膜トランジスタで構成されていることを特徴とする画
像表示装置の駆動回路。
14. A driving circuit for an image display device according to claim 1, wherein the driving circuit for the image display device is constituted by a polysilicon thin film transistor.
【請求項15】請求項1乃至請求項13のいずれか1項
において、前記画像表示装置の駆動回路は単結晶トラン
ジスタで構成されていることを特徴とする画像表示装置
の駆動回路。
15. The driving circuit for an image display device according to claim 1, wherein the driving circuit for the image display device is constituted by a single crystal transistor.
【請求項16】請求項1乃至請求項15のいずれか1項
に記載の前記画像表示装置の駆動回路を用いることを特
徴とする電子機器。
16. An electronic apparatus using the driving circuit of the image display device according to claim 1. Description:
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