JP2001296442A5 - - Google Patents
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000108788A JP4573942B2 (ja) | 2000-04-11 | 2000-04-11 | フォトニック構造を有する屈折率周期構造体の製造方法、及びそれを用いた光機能素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000108788A JP4573942B2 (ja) | 2000-04-11 | 2000-04-11 | フォトニック構造を有する屈折率周期構造体の製造方法、及びそれを用いた光機能素子 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001296442A JP2001296442A (ja) | 2001-10-26 |
| JP2001296442A5 true JP2001296442A5 (enExample) | 2007-06-07 |
| JP4573942B2 JP4573942B2 (ja) | 2010-11-04 |
Family
ID=18621572
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000108788A Expired - Fee Related JP4573942B2 (ja) | 2000-04-11 | 2000-04-11 | フォトニック構造を有する屈折率周期構造体の製造方法、及びそれを用いた光機能素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4573942B2 (enExample) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4977938B2 (ja) * | 2001-09-27 | 2012-07-18 | ソニー株式会社 | ３次元構造体の製造方法 |
| JP4236092B2 (ja) | 2003-01-31 | 2009-03-11 | Ｔｄｋ株式会社 | ２次元フォトニック結晶 |
| JP4653393B2 (ja) * | 2003-09-18 | 2011-03-16 | 株式会社リコー | 光制御素子 |
| JP4188860B2 (ja) * | 2004-03-10 | 2008-12-03 | 日本電信電話株式会社 | 光導波路の製造方法 |
| US7737566B2 (en) | 2005-06-01 | 2010-06-15 | Asml Netherlands B.V. | Alignment devices and methods for providing phase depth control |
| JP4520429B2 (ja) | 2005-06-01 | 2010-08-04 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． | 位置合わせ装置への２次元フォトニック結晶の応用 |
| JP5272173B2 (ja) * | 2007-03-26 | 2013-08-28 | 国立大学法人京都大学 | ２次元フォトニック結晶 |
| JP4692572B2 (ja) * | 2008-05-12 | 2011-06-01 | パナソニック電工株式会社 | Ｙ分岐導波路の製造方法 |
| JP4631929B2 (ja) * | 2008-05-12 | 2011-02-16 | パナソニック電工株式会社 | Ｙ分岐導波路の製造方法 |
| WO2010020054A1 (en) * | 2008-08-20 | 2010-02-25 | Opalux Incorporated | Photonic crystal device |
| JP2013210678A (ja) * | 2013-06-21 | 2013-10-10 | Oji Holdings Corp | 非平面上単粒子膜の製造方法、該単粒子膜エッチングマスクを用いた微細構造体の製造方法および該製造方法で得られた微細構造体。 |
| JP5915696B2 (ja) * | 2014-06-09 | 2016-05-11 | 王子ホールディングス株式会社 | 単粒子膜エッチングマスク付基板の製造方法 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1062615A (ja) * | 1996-08-15 | 1998-03-06 | Asahi Glass Co Ltd | 回折格子及びその製造方法及びそれらを利用した光ピックアップ素子 |
| JPH1096808A (ja) * | 1996-09-24 | 1998-04-14 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 微細パタン形成法 |
| JPH11326603A (ja) * | 1998-05-19 | 1999-11-26 | Seiko Epson Corp | マイクロレンズアレイ及びその製造方法並びに表示装置 |
| EP0964305A1 (en) * | 1998-06-08 | 1999-12-15 | Corning Incorporated | Method of making a photonic crystal |
| US6134043A (en) * | 1998-08-11 | 2000-10-17 | Massachusetts Institute Of Technology | Composite photonic crystals |
-
2000
- 2000-04-11 JP JP2000108788A patent/JP4573942B2/ja not_active Expired - Fee Related