JP2001296326A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2001296326A5 JP2001296326A5 JP2000116180A JP2000116180A JP2001296326A5 JP 2001296326 A5 JP2001296326 A5 JP 2001296326A5 JP 2000116180 A JP2000116180 A JP 2000116180A JP 2000116180 A JP2000116180 A JP 2000116180A JP 2001296326 A5 JP2001296326 A5 JP 2001296326A5
- Authority
- JP
- Japan
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000116180A JP2001296326A (ja) | 2000-04-18 | 2000-04-18 | 欠陥検査方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000116180A JP2001296326A (ja) | 2000-04-18 | 2000-04-18 | 欠陥検査方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001296326A JP2001296326A (ja) | 2001-10-26 |
| JP2001296326A5 true JP2001296326A5 (enExample) | 2007-06-07 |
Family
ID=18627674
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000116180A Pending JP2001296326A (ja) | 2000-04-18 | 2000-04-18 | 欠陥検査方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001296326A (enExample) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4450143B2 (ja) | 2001-05-24 | 2010-04-14 | オー・エイチ・ティー株式会社 | 回路パターン検査装置並びに回路パターン検査方法及び記録媒体 |
| JP2004184385A (ja) | 2002-11-30 | 2004-07-02 | Oht Inc | 回路パターン検査装置及びパターン検査方法 |
| JP4586124B2 (ja) * | 2003-07-10 | 2010-11-24 | 奇美電子股▲ふん▼有限公司 | 電気的接続部の非接触検査方法及び非接触検査装置 |
| JP4953590B2 (ja) * | 2005-05-31 | 2012-06-13 | 株式会社アドバンテスト | 試験装置、及びデバイス製造方法 |
| JP4915776B2 (ja) * | 2006-04-27 | 2012-04-11 | 日本電産リード株式会社 | 基板検査装置及び基板検査方法 |
| JP6244742B2 (ja) * | 2013-08-26 | 2017-12-13 | 大日本印刷株式会社 | 膜検査方法、インプリント方法、パターン構造体の製造方法、インプリント用のモールド、インプリント用の転写基板、および、インプリント装置 |
| CN103487960B (zh) * | 2013-10-21 | 2016-01-06 | 京东方科技集团股份有限公司 | 光栅基板短路检测方法 |
| KR102132860B1 (ko) * | 2020-03-17 | 2020-07-10 | 주식회사 나노시스 | 기판 검사 시스템 |
-
2000
- 2000-04-18 JP JP2000116180A patent/JP2001296326A/ja active Pending