JP2001289951A - 距離測定装置 - Google Patents

距離測定装置

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JP2001289951A
JP2001289951A JP2000109581A JP2000109581A JP2001289951A JP 2001289951 A JP2001289951 A JP 2001289951A JP 2000109581 A JP2000109581 A JP 2000109581A JP 2000109581 A JP2000109581 A JP 2000109581A JP 2001289951 A JP2001289951 A JP 2001289951A
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distance measuring
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Kenji Fujino
健治 藤野
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Yokogawa Electric Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 部品点数や回路調整作業を大幅に削減し、装
置の小型化、低コスト化、及び低消費電力化することを
可能とした距離測定装置を提供すること。 【解決手段】 光源からの光が変調されて対象物に放射
された送信光と、対象物で反射した反射光が変調された
受信光との位相差を検出することにより対象物までの距
離を測定する距離測定装置において、変調されたバイア
ス電圧が印加され、送信光と受信光とを受信して位相差
に関連した電流信号を発生し指数関数特性に基づいて増
倍して出力するアバランシェホトダイオードと、アバラ
ンシェホトダイオードの出力信号を対数変換して線形な
電圧信号を出力するMOSトランジスタと、MOSトラ
ンジスタの出力信号に基づいて位相差を検出する位相差
検出器、とを具備することを特徴とする距離測定装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光源からの参照光
と目標物で反射した反射光との位相差を検出することに
より目標物までの距離を測定する距離測定装置に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】従来から、所定の周波数で強度変調され
た光を送信光として目標物に向かって放射し、その目標
物から反射された光の変調光を受信光として受信し、送
信光と受信光の位相差を検出することにより目標物まで
の距離を測定する距離測定装置がある。
【0003】まず、距離測定の原理について説明する。
光源から対象物までの距離Lは、送信光と受信光の位相
差をΦとすると、次式(1)で示される。 L=(N+Φ/2π)×λ/2 (1) この場合、Nは距離2Lでの波数(正の整数)であり、
λは光の波長である。
【0004】従って、Nを求めることができれば、Φを
測定することによって距離Lを求めることができる。そ
して、Nは周波数の異なる複数の変調波を用いることに
より求められる。即ち、周波数f1及びf2で光源を変調
したときの送信光の波長をそれぞれλ1,λ2、受信光と
の位相差をそれぞれΦ1,Φ2とすると、2L<λ2の範
囲内における距離Lは次式(2)、(3)で示される。 L=(N+Φ1/2π)×λ1/2 (2) L=(Φ2/2π)×λ2/2 (3)
【0005】従って、式(2),(3)よりNは次式
(4)で示されることとなり、Φ1、Φ2を測定すること
によりNを求めることができる。 N=(1/2π)×(λ2/λ1×(Φ2−Φ1)) (4) 例えば、距離測定の範囲を7.5mから500mとした
場合、f1は約20MHz、f2は約30kHz程度の2
周波が必要となる。
【0006】次に、図2を用いて従来の距離測定装置に
ついて説明する。図2において、距離測定装置は、アバ
ランシェホトダイオード(以下、APDと記す)1、バ
イアス回路2、参照波重畳回路3、抵抗4、トランスイ
ンピーダンスアンプ(以下、TIAと記す)5、自動ゲ
インコントロール回路(以下、AGCと記す)6、バン
ドパスフィルタ(以下、BPFと記す)7、整流回路
8、位相測定器9、及びシステムコントロール10から
なっている。
【0007】APD1は、例えば周波数f1で変調され
た送信光と受信光を受信して、その光の強度に応じた電
流信号を発生させると共に、APD1にはバイアス回路
2で発生された電圧がカソードに逆バイアスとして印加
され、発生した電流信号を印加された逆バイアスに対し
て指数関数特性に応じて増倍して出力する。
【0008】また、参照波重畳回路3は送信光の周波数
1よりも少しずれた周波数f1’の参照波を出力し、バ
イアス回路2の出力は、参照波が重畳されることにより
変調されてAPD1に入力される。
【0009】従って、APD1には周波数f1’で変調
されたバイアス回路2の出力が逆バイアスとして入力さ
れ、これによりAPD1は送信光及び受信光のヘテロダ
イン検波を行い、送信光と受信光との位相差Φ1が保存
された信号の(f1−f1’)の差周波数成分が所謂ヘテ
ロダイン検波信号として出力される。
【0010】ヘテロダイン検波は、位相差を保存した状
態で、高周波の送信光と受信光を低周波数の信号に変換
するものであり、この低周波に変換された信号に基づい
て容易にかつ高精度に位相差を検出することを可能にす
る。
【0011】ところで、距離測定範囲の長短(信号強度
の大小)、あるいは気象条件により受信信号の光強度は
広いダイナミックレンジを持ち、さらにAPD1で指数
増倍される。
【0012】従って、システムコントローラ10は、距
離測定装置の測定範囲を示す信号をTIA5に出力し、
TIA5は、APD1の出力信号が抵抗4により電圧に
変換された信号を入力するとともに、システムコントロ
ーラ10からの出力に基づいて、出力が飽和することを
回避するために測定範囲の大小に応じてゲインを切り変
え、信号レベル(信号の振幅)を最適化して出力する。
【0013】AGC6には、入力した信号を対数変換す
る対数変換回路(アッテネータ)が内蔵されており、対
数変換回路は、指数関数特性を持ったTIA5からの出
力信号を入力して対数変換し、線形に戻した電圧信号を
出力する。
【0014】そして、BPF7は、AGC6の出力信号
から直流成分やノイズ等を除去すると共に、位相差測定
用周波数成分の信号(ヘテロダイン検波信号)のみを取
り出して出力し、位相測定器9は、BPF7の出力信号
を入力して、送信光と受信光との位相差Φ1を検出して
出力する。
【0015】また、整流回路8は、BPF7の出力信号
の実効値(強度レベル)を検出してAGC6の対数変換
回路にフィードバックし、対数変換回路は、この検出さ
れた実効値に基づいてTIA5の出力信号を対数変換す
る。
【0016】そして、周波数f1の場合と同様に周波数
2で光源を変調した場合の位相差Φ 2を検出し、検出さ
れた位相差Φ1,Φ2に基づいて、上記の式(4)の波数
Nを算出し、距離Lを測定する。
【0017】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述のような
従来の距離測定装置においては、次のような問題点があ
った。AGC6に内蔵される対数変換回路はフィードバ
ックを含むアナログ回路で構成され、TIA5もアナロ
グ回路で構成されているため多くの回路部品が必要であ
り、距離測定装置を携帯機器として小型化させることが
困難である。また、部品点数が多いため、APD1の出
力特性や抵抗のばらつき等、個々の部品の特性のばらつ
きを総合的に除去してアナログ回路を正常に動作させる
ためには、その製造時において、オペアンプを内蔵する
部品のオフセット調整、ゲイン調整、位相補正等の部品
毎の調整を可変抵抗の調整等により行う必要があり、そ
の調整作業が多くなることから製造コストが高くなる。
(3)また、従来のアナログ回路を装置の小型化のため
にIC化した場合、回路を構成する抵抗やコンデンサの
絶対値が大きいため、フィルタ定数の関係からそれらを
ICに取り込むことができず、IC化の利点が少なかっ
た。
【0018】本発明は上述した問題点を解決するために
なされたものであり、MOSトランジスタを対数変換器
として使用して回路構成を単純化することにより、部品
点数や回路調整作業を大幅に削減し、装置の小型化、低
コスト化、及び低消費電力化することを可能とした距離
測定装置を提供することを目的とする。
【0019】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項1におい
ては、光源からの光が変調されて対象物に放射された送
信光と、前記対象物で反射した反射光が変調された受信
光との位相差を検出することにより前記対象物までの距
離を測定する距離測定装置において、変調されたバイア
ス電圧が印加され、前記送信光と前記受信光とを受信し
て前記位相差に関連した電流信号を発生し指数関数特性
に基づいて増倍して出力するアバランシェホトダイオー
ドと、前記アバランシェホトダイオードの出力信号を対
数変換して線形な電圧信号を出力するMOSトランジス
タと、前記MOSトランジスタの出力信号に基づいて前
記位相差を検出する位相測定器、とを具備することを特
徴とする距離測定装置である。
【0020】本発明の請求項2においては、前記MOS
トランジスタは、ゲート電圧が閾値電圧以下の領域を動
作領域とすることを特徴とする請求項1記載の距離測定
装置である。
【0021】本発明の請求項3においては、前記アバラ
ンシェホトダイオード及び前記MOSトランジスタは、
同一の半導体基板上に設けられることを特徴とする請求
項1記載の距離測定装置である。
【0022】本発明の請求項4においては、光源からの
光が変調されて対象物に放射された送信光と、前記対象
物で反射した反射光が変調された受信光との位相差を検
出することにより前記対象物までの距離を測定する距離
測定装置において、変調されたバイアス電圧が印加さ
れ、前記送信光と前記受信光とを受信して前記位相差に
関連した電流信号を発生し指数関数特性に基づいて増倍
して出力するアバランシェホトダイオードと、前記アバ
ランシェホトダイオードの出力信号を対数変換して線形
な電圧信号を出力するMOSトランジスタと、前記MO
Sトランジスタの出力インピーダンスを低インピーダン
スに変換するバッファ回路と、前記バッファ回路の出力
に基づいて前記位相差を検出する位相測定器、とを具備
することを特徴とする距離測定装置である。
【0023】本発明の請求項5においては、前記バッフ
ァ回路は、ソースに定電流が供給されてドレインが基準
電位に接続され、ゲートに前記MOSトランジスタの出
力が入力されて、前記ソースから前記MOSトランジス
タの出力に対応した出力を取り出すソースフォロアを有
することを特徴とする請求項4記載の距離測定装置であ
る。
【0024】本発明の請求項6においては、前記MOS
トランジスタは、ゲート電圧が閾値電圧以下の領域を動
作領域とすることを特徴とする請求項4記載の距離測定
装置である。
【0025】本発明の請求項7においては、前記アバラ
ンシェホトダイオード、前記MOSトランジスタ、及び
前記バッファ回路は、同一の半導体基板上に設けられる
ことを特徴とする請求項4記載の距離測定装置である
【0026】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施例について図
面を用いて説明する。尚、以下の図面において、図2と
重複する部分は同一番号を付してその説明は適宜に省略
する。図1は本発明の実施例の構成概略図である。
【0027】図1において、11は対数変換器としての
Pチャンネル型のMOSトランジスタであり、12はバ
ッファ回路である。MOSトランジスタ11のソースは
APD1のアノードに接続され、ゲートとドレインは短
絡されて基準電位VSSに接続されている。
【0028】バッファ回路12は、ソースフォロアとし
てのPチャンネル型のMOSトランジスタ12aと、こ
のMOSトランジスタ12aに電流を供給するMOSト
ランジスタ12bとからなっている。
【0029】MOSトランジスタ12aのゲートはMO
Sトランジスタ11のソースに接続され、ドレインは基
準電位VSSに接続され、ソースはBPF7の入力に接
続されている。そして、MOSトランジスタ12bのド
レインには電源電圧VDDが供給され、ゲートとソース
は短絡されてMOSトランジスタ12aのソースに接続
されている。
【0030】尚、APD1及びMOSトランジスタ1
1,12a,12bは半導体製造プロセスにより、同一
半導体基板上に形成されるが、それぞれ個別の半導体基
板に形成しても良い。
【0031】次に、図1に示した距離測定装置の動作を
説明する。一般にMOSトランジスタは、ゲート電圧が
閾値電圧以下の電圧の場合、即ち通常動作の領域外にお
いても、サブシュレッショルド電流と呼ばれる微小電流
が流れることが知られている。
【0032】そして、サブシュレッショルド電流IS
次式(5)で示される。 IS=ISO×exp[q/nkT(VG−VD−VTH)] (5) 但し、k:ボルツマン定数、T:絶対温度、q:素電荷 n=(C0+CD)/C0、C0:ゲート絶縁膜容量、
D:空乏層容量 VG:ゲート電位、VD:ドレイン電位、VTH:閾値 ISO=(W/L)×μnC0×(1/T)×[nkT/
q]2exp(−1) W:チャネル幅、L:チャネル長、μn:電子の移動度 式(5)に示されているように、MOSトランジスタの
サブシュレッショルド領域においては、電流は電圧に対
して指数関数特性を持っている。
【0033】従って、図1において、APD1に光が入
射すると、光の強度と変調波の積に比例した指数関数特
性を持った光電流が流れ、この光電流は、MOSトラン
ジスタ11のサブシュレッショルド電流と整合するよう
にMOSトランジスタ11のソースに供給されて、ソー
スとドレインの間に流される。
【0034】そして、MOSトランジスタ11は光電流
に対して可変抵抗の役割を担うこととなり、MOSトラ
ンジスタ11のソース電位は光電流が対数変換されて線
形な特性を持った電圧信号に変換されてソースから出力
される。
【0035】そして、MOSトランジスタ11のソース
から出力された電圧は、ソースフォロアとしてのMOS
トランジスタ12aのゲートに入力され、このゲート端
子の電位の変化(APD1の出力の変化)が、MOSト
ランジスタ12aのソースとドレイン間の抵抗の変化に
変換される。そして、MOSトランジスタ12bから供
給される定電流とMOSトランジスタ12aのソースと
ドレイン間の抵抗に基づいた電圧が、MOSトランジス
タ12aのソースから出力される。
【0036】即ち、MOSトランジスタ11のソースか
らの出力はソースフォロアとしてのMOSトランジスタ
12aのゲートにより絶縁され、出力インピーダンスが
低インピーダンスに変換されてBPF7に入力されの
で、BPF7以降の回路がMOSトランジスタ11の動
作に影響を与えることを防止することができる。そし
て、BPF7以降の位相差測定動作は、図2における距
離測定装置の動作と同様である。
【0037】次に、MOSトランジスタ11の設計につ
いて説明する。MOSトランジスタ11はAPD1から
の光電流に対して可変抵抗として機能し、微小電流では
高抵抗、大電流では小抵抗となる。
【0038】従って、微弱光、即ちAPD1から出力さ
れる光電流が微小な場合、バッファ回路12を構成する
MOSトランジスタ12aのゲート容量とAPD1のP
Nダイオードの空乏層容量との並列容量と、MOSトラ
ンジスタ11の抵抗との積に比例する時定数Tが大きく
なり、周波数特性(1/T)がヘテロダイン検波用の参
照波の周波数に接近した場合、位相回りを生じる場合が
あるので、参照波の周波数を容易に設定でき、位相回り
を回避することができるようにMOSトランジスタ11
を設計する。
【0039】例えば、APD1として、波長感度800
nm、直径3mm、受光感度20A/W、遮断周波数2
5MHz、増倍率50のデバイスを使用し、光検出のダ
イナミックレンジを1lx(ルクス)から10000l
xまで80dBの範囲に設定した場合、1lxの光に対
してAPD1は0.207μA、10000lxの光に
対しては2.07mAの光電流を発生する。
【0040】この場合、MOSトランジスタ11は、サ
ブスレッショルド電圧より少し低い電圧において2.0
7mAの電流が流れ、1lxの光に対して出力電圧が
0.2V、10000lxの光に対して出力電圧が0.
7V程度となるようにその構造を設計する。
【0041】この場合、MOSトランジスタ12aのゲ
ート容量が約1pF、光強度が約1lxの微弱光の場
合、その周波数特性(1/T)は約13kHzとなり、
位相回りを発生させないように、参照波の周波数を5k
Hzないし、それ以下に余裕を持って設定することがで
きる。
【0042】尚、距離測定の精度を向上させるために、
仕様に適合するように光強度のレベルを最適値に設定し
たり、位相回りの補正を行う補正手段を設けるようにし
ても良い。
【0043】このように、例えば、1lx(ルクス)か
ら10000lxまでの広いAPD1の受信信号レンジ
を、0.2Vから0.7Vの狭いレンジに変換すること
ができるので、図2におけるTIA5のゲインを距離測
定の範囲(光の強度レベル)に応じて設定する必要がな
くなる。
【0044】従って、図2における、TIA5、AGC
6、整流回路8及びシステムコントローラ10が不要と
なり、回路構成を単純化し、部品点数を大幅に削減し、
また回路調整作業を不要とすることできるので、装置の
コストを下げることができる。
【0045】また、アナログ回路を単純化したので、後
段のBPF7や位相測定回路9をディジタル化すること
ができ、装置全体をIC化することが可能となる。この
場合、距離測定装置の大幅な小型化、低コスト化、低消
費電力化を実現することができる。
【0046】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の請求項1
及び請求項2によれば、MOSトランジスタを対数変換
器として使用したので、部品点数や回路調整作業を大幅
に削減し、装置の小型化、低コスト化、及び低消費電力
化することを可能とした距離測定装置を提供することが
できる。
【0047】また、本発明の請求項3によれば、アバラ
ンシェホトダイオード及びMOSトランジスタを同一半
導体基板上に設けたので、装置の小型化、低コスト化、
及び低消費電力化することを可能とした距離測定装置を
提供することができる。
【0048】また、本発明の請求項4から請求項6によ
れば、MOSトランジスタを対数変換器として使用し、
MOSトランジスタの出力インピーダンスを低インピー
ダンスに変換するバッファ回路を設けたので、MOSト
ランジスタの後段に接続した回路部品からの影響をMO
Sトランジスタに与えず、部品点数や回路調整作業を大
幅に削減し、装置の小型化、低コスト化、及び低消費電
力化することを可能とした距離測定装置を提供すること
ができる。
【0049】また、本発明の請求項7によれば、アバラ
ンシェホトダイオード、MOSトランジスタ及びバッフ
ァ回路を同一半導体基板上に設けたので、装置の小型
化、低コスト化、及び低消費電力化することを可能とし
た距離測定装置を提供することができる。
【0050】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例の構成概略図である。
【図2】従来の距離測定装置の構成概略図である。
【符号の説明】
1 アバランシェホトダイオード 2 バイアス回路 3 参照波重畳回路 7 バンドパスフィルタ 9 位相測定器 11 MOSトランジスタ 12 バッファ回路 12a,12b MOSトランジスタ

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光源からの光が変調されて対象物に放射
    された送信光と、前記対象物で反射した反射光が変調さ
    れた受信光との位相差を検出することにより前記対象物
    までの距離を測定する距離測定装置において、 変調されたバイアス電圧が印加され、前記送信光と前記
    受信光とを受信して前記位相差に関連した電流信号を発
    生し指数関数特性に基づいて増倍して出力するアバラン
    シェホトダイオードと、 前記アバランシェホトダイオードの出力信号を対数変換
    して線形な電圧信号を出力するMOSトランジスタと、 前記MOSトランジスタの出力信号に基づいて前記位相
    差を検出する位相測定器、とを具備することを特徴とす
    る距離測定装置。
  2. 【請求項2】 前記MOSトランジスタは、ゲート電圧
    が閾値電圧以下の領域を動作領域とすることを特徴とす
    る請求項1記載の距離測定装置。
  3. 【請求項3】 前記アバランシェホトダイオード及び前
    記MOSトランジスタは、同一の半導体基板上に設けら
    れることを特徴とする請求項1記載の距離測定装置。
  4. 【請求項4】 光源からの光が変調されて対象物に放射
    された送信光と、前記対象物で反射した反射光が変調さ
    れた受信光との位相差を検出することにより前記対象物
    までの距離を測定する距離測定装置において、 変調されたバイアス電圧が印加され、前記送信光と前記
    受信光とを受信して前記位相差に関連した電流信号を発
    生し指数関数特性に基づいて増倍して出力するアバラン
    シェホトダイオードと、 前記アバランシェホトダイオードの出力信号を対数変換
    して線形な電圧信号を出力するMOSトランジスタと、 前記MOSトランジスタの出力インピーダンスを低イン
    ピーダンスに変換するバッファ回路と、 前記バッファ回路の出力に基づいて前記位相差を検出す
    る位相測定器、とを具備することを特徴とする距離測定
    装置。
  5. 【請求項5】 前記バッファ回路は、ソースに定電流が
    供給されてドレインが基準電位に接続され、ゲートに前
    記MOSトランジスタの出力が入力されて、前記ソース
    から前記MOSトランジスタの出力に対応した出力を取
    り出すソースフォロアを有することを特徴とする請求項
    4記載の距離測定装置。
  6. 【請求項6】 前記MOSトランジスタは、ゲート電圧
    が閾値電圧以下の領域を動作領域とすることを特徴とす
    る請求項4記載の距離測定装置。
  7. 【請求項7】 前記アバランシェホトダイオード、前記
    MOSトランジスタ、及び前記バッファ回路は、同一の
    半導体基板上に設けられることを特徴とする請求項4記
    載の距離測定装置。
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