JP2001277499A - Ink jet recording head - Google Patents

Ink jet recording head

Info

Publication number
JP2001277499A
JP2001277499A JP2000094152A JP2000094152A JP2001277499A JP 2001277499 A JP2001277499 A JP 2001277499A JP 2000094152 A JP2000094152 A JP 2000094152A JP 2000094152 A JP2000094152 A JP 2000094152A JP 2001277499 A JP2001277499 A JP 2001277499A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
flow path
ink
side opening
channel
recording head
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000094152A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Toshikazu Kishino
敏和 岸野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kyocera Corp filed Critical Kyocera Corp
Priority to JP2000094152A priority Critical patent/JP2001277499A/en
Publication of JP2001277499A publication Critical patent/JP2001277499A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
    • B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
    • B41J2202/10—Finger type piezoelectric elements

Landscapes

  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ink jet recording head 10 having barrier walls 1 serving as an actuator on the opposite sides of a channel 2 and an ink ejection opening 6 perpendicular to the longitudinal direction of the channel 2 in which the ejection speed of ink drop is increased while preventing variation in the hitting position of ink drop by concentrating the force for pressurizing ink at the ink ejection opening 6 even if displacement is differentiated between the barrier walls 1 on the opposite sides defining the channel 2 due to dimensional variation of the barrier walls 1 or a drive electrode 3 or the ink ejection opening 6 is shifted from the widthwise center of the channel 2. SOLUTION: The ink jet recording head 10 has barrier walls 1 serving as an actuator on the opposite sides of a channel 2 and an ink ejection opening 6 perpendicular to the longitudinal direction of the channel 2 in which the diameter M at the ejection side opening 6a of the ink ejection opening 6 is set shorter than the channel width K and the diameter L at the channel side opening 6b is set longer than the channel width K.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、微細なインク吐出
孔からインク滴を吐出して文字や画像を印刷する各種プ
リンターや記録計、あるいは捺染分野で文様形成に用い
られる印刷機等の記録装置に搭載されるインクジェット
記録ヘッドに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to various printers and recorders for printing characters and images by discharging ink droplets from fine ink discharge holes, or recording devices such as printing machines used for forming patterns in the field of textile printing. The present invention relates to an ink jet recording head mounted on a printer.

【０００２】[0002]

【従来の技術】近年、マルチメディアの浸透に伴い、イ
ンパクト方式の記録装置にかわって、インクジェットや
熱転写等を利用したノンインパクト方式の記録装置が開
発され、その利用範囲が各種産業分野及び一般家庭分野
において広まりつつある。2. Description of the Related Art In recent years, with the spread of multimedia, a non-impact type recording apparatus utilizing ink jet or thermal transfer has been developed in place of the impact type recording apparatus. It is spreading in the field.

【０００３】かかるノンインパクト方式の記録装置のな
かでも、前記インクジェット方式を利用した記録装置
は、多階調化やカラー化が容易で、ランニングコストが
低いことから将来性が注目されている。[0003] Among such non-impact type recording apparatuses, a recording apparatus using the above-mentioned ink-jet method has attracted attention in the future because it is easy to increase the number of gradations and colors and the running cost is low.

【０００４】図５に従来の記録装置に搭載されているイ
ンクジェット記録ヘッド４０の一例を示すように、複数
の隔壁３１を並設し、各隔壁３１間をインクの流路３２
として成り、各流路３２の底部にはインク供給孔３７を
備えた圧電セラミックスから成る流路部材３４と、前記
隔壁３１の両側面上半分にそれぞれ形成された駆動用電
極３３と、隔壁３１の頂面に熱硬化性の接着剤やガラス
にて接合され、各流路３２と連通するインク吐出孔３６
を備えた蓋体３５とから成り、前記駆動用電極３３に通
電して前記隔壁３１を「く」字状に屈曲変位させること
により、不図示のインクタンクよりインク供給孔３７を
介して流路３２内に導入されたインクを加圧してインク
吐出孔３６よりインク滴として吐出するようになってい
た。FIG. 5 shows an example of an ink jet recording head 40 mounted on a conventional recording apparatus, in which a plurality of partitions 31 are arranged in parallel, and an ink flow path 32 is provided between the partitions 31.
At the bottom of each flow path 32, a flow path member 34 made of piezoelectric ceramics having an ink supply hole 37, a driving electrode 33 formed on each of the upper halves on both side surfaces of the partition 31, An ink ejection hole 36 joined to the top surface with a thermosetting adhesive or glass and communicating with each flow path 32
And a lid 35 provided with an opening. The drive electrode 33 is energized to bend and displace the partition 31 in a “<” shape so that a flow path from an ink tank (not shown) through an ink supply hole 37 is formed. The ink introduced into the nozzle 32 is pressurized and ejected from the ink ejection hole 36 as an ink droplet.

【０００５】また、この種のインクジェット記録ヘッド
４０のインク吐出孔３６は、基本的に流路３２の中央に
配置され、流路側開口部３６ｂの穴径を吐出側開口部３
６ａの穴径と同等又は若干大きくするとともに、流路側
開口部３６ｂの穴径と吐出側開口部３６ａの穴径とは流
路幅よりも小さくなっていた。The ink discharge hole 36 of this type of ink jet recording head 40 is basically arranged at the center of the flow path 32, and the diameter of the flow path side opening 36b is changed to the discharge side opening 3
6a, the hole diameter of the passage-side opening 36b and the hole diameter of the discharge-side opening 36a were smaller than the passage width.

【０００６】なお、図中３８は駆動用電極３３の引出線
であり、また、矢印は流路部材３４を形成する圧電セラ
ミックスの分極方向を示す。[0006] In the figure, reference numeral 38 denotes a lead line of the driving electrode 33, and an arrow indicates a polarization direction of the piezoelectric ceramic forming the flow path member 34.

【０００７】また、このヘッド４０を製造するには、予
め厚み方向に分極処理したチタン酸ジルコン酸鉛等を主
成分とする圧電セラミック体に、例えばダイシングソー
と呼ばれる回転刃によって複数の溝を等間隔に刻設し、
各溝をインクの流路３２とするとともに、流路３２を構
成する壁を隔壁３１として成る流路部材３４を製作し、
次いでレーザー加工等によって流路３２の底部にインク
供給孔３７を設けた後、隔壁３１の頂面及び側面上半分
に、蒸着法、スパッタリング法、メッキ法などの膜形成
手段により金属膜を被着し、隔壁３１の側面上半分に被
着した金属膜を駆動用電極３３とし、隔壁３１の頂面に
被着された金属膜の中央を、その長手方向に沿ってレー
ザー加工により分断することにより、各駆動用電極３３
の引出線３８を形成し、しかる後、レーザー加工等によ
って蓋体３５に穿孔されたインク吐出孔３６が、流路３
２の幅方向の中央に位置するよう位置決めした後、隔壁
３１の頂部に蓋体３５を熱硬化性の接着剤やガラスにて
接合することにより製作されていた。In order to manufacture the head 40, a plurality of grooves are formed on a piezoelectric ceramic body mainly composed of lead zirconate titanate or the like which has been polarized in the thickness direction in advance by, for example, a rotary blade called a dicing saw. Carved at intervals,
Each groove is used as a flow path 32 of the ink, and a flow path member 34 in which a wall constituting the flow path 32 is used as a partition 31 is manufactured.
Next, after providing an ink supply hole 37 at the bottom of the flow path 32 by laser processing or the like, a metal film is applied to the top surface and the upper half of the side surface of the partition wall 31 by a film forming means such as an evaporation method, a sputtering method, or a plating method. Then, the metal film deposited on the upper half of the side surface of the partition wall 31 is used as the driving electrode 33, and the center of the metal film deposited on the top surface of the partition wall 31 is divided by laser processing along the longitudinal direction thereof. , Each drive electrode 33
Is formed, and thereafter, the ink ejection holes 36 formed in the lid 35 by laser processing or the like are connected to the flow path 3.
After being positioned so as to be located at the center in the width direction of No. 2, the lid 35 is bonded to the top of the partition wall 31 with a thermosetting adhesive or glass.

【０００８】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図５に
示す従来のインクジェット記録ヘッドでは、インク吐出
孔３６の流路側開口部３６ｂの穴径が流路幅よりも小さ
いため、インク滴の吐出速度の低下を招いたり、吐出し
たインク滴の着弾位置がばらついてしまうといった課題
があった。However, in the conventional ink jet recording head shown in FIG. 5, since the hole diameter of the flow path side opening 36b of the ink discharge hole 36 is smaller than the flow path width, the discharge speed of the ink droplet is reduced. There has been a problem that the ink droplets are lowered or the landing positions of the ejected ink droplets vary.

【０００９】即ち、図５に示すインクジェット記録ヘッ
ドのように、流路３２を構成する両側の隔壁３１をアク
チュエータとし、流路３２の長手方向に対して垂直な方
向にインク吐出孔３６を有するヘッドにおいては、流路
３２の中央に配置したインク吐出孔３６近傍にインクの
加圧力を集中させるため、流路３２を構成する両側の隔
壁３１に設けた駆動用電極３３に同じ電圧値を印加し、
両側の隔壁３１を同じ変位量でもって屈曲変位させるの
であるが、各隔壁３１や各駆動用電極３３には、製作時
における寸法バラツキがあるため、両側の隔壁３１に備
える駆動用電極３３に同じ電圧値を印加しても両側の隔
壁３１を同じ変位量でもって屈曲変位させることができ
ず、前述したように、インク吐出孔３６の流路側開口部
３６ｂの穴径が流路幅よりかなり小さいため、インク吐
出孔３６近傍にインクの加圧力を集中させることができ
なかった。That is, as in the ink jet recording head shown in FIG. 5, the partition walls 31 on both sides of the flow path 32 are used as actuators and the ink discharge holes 36 are provided in the direction perpendicular to the longitudinal direction of the flow path 32. In order to concentrate the pressurizing force of the ink near the ink ejection holes 36 arranged at the center of the flow path 32, the same voltage value is applied to the driving electrodes 33 provided on the partition walls 31 on both sides constituting the flow path 32. ,
The partition walls 31 on both sides are bent and displaced by the same displacement amount. However, since the partition walls 31 and the drive electrodes 33 have dimensional variations at the time of manufacture, they are the same as the drive electrodes 33 provided on the partition walls 31 on both sides. Even when a voltage value is applied, the partition walls 31 on both sides cannot be bent and displaced by the same displacement amount, and as described above, the hole diameter of the flow path side opening 36b of the ink discharge hole 36 is considerably smaller than the flow path width. Therefore, the pressure of the ink cannot be concentrated near the ink ejection holes 36.

【００１０】その為、インク吐出孔３６に集中するイン
クの加圧力が減少し、インク滴の吐出速度が低下すると
ともに、インク吐出孔３６の中心軸に対して斜め方向か
ら圧力が加わるため、インク滴がインク吐出孔３６の中
心軸よりずれて吐出させる結果、記録媒体への着弾位置
にずれが発生していた。As a result, the pressure of the ink concentrated in the ink ejection holes 36 decreases, the ejection speed of the ink droplets decreases, and the pressure is applied obliquely to the center axis of the ink ejection holes 36. As a result, the droplet is ejected with a deviation from the center axis of the ink ejection hole 36, and the landing position on the recording medium is displaced.

【００１１】また、前述したように、インク吐出孔３６
は、流路３２の幅方向中央に位置するように位置決めす
るのであるが、流路３２の幅は数十μｍ〜数百μｍ程度
とかなり狭いため、流路３２の幅方向中央に正確に位置
決めすることが難しく、この位置ズレがあると、インク
の加圧力を流路３２の幅方向中央に集中させることがで
きたとしても、インク吐出孔３６に集中するインクの加
圧力が減少するため、インク滴の吐出速度の低下やイン
ク滴の着弾位置のバラツキが発生するといった課題があ
った。As described above, the ink ejection holes 36
Is positioned so as to be positioned at the center of the flow path 32 in the width direction. However, since the width of the flow path 32 is as narrow as several tens μm to several hundred μm, it is accurately positioned at the center of the flow path 32 in the width direction. It is difficult to perform this operation, and if this displacement occurs, even if the pressurizing force of the ink can be concentrated at the center in the width direction of the flow path 32, the pressurizing force of the ink concentrated on the ink ejection holes 36 decreases. There have been problems such as a reduction in the ink droplet ejection speed and variations in the landing positions of the ink droplets.

【００１２】[0012]

【課題を解決するための手段】そこで、本発明は上記課
題に鑑み、少なくとも一部が圧電材料からなる複数の隔
壁を並設し、該隔壁間をインクの流路とする流路部材
と、前記隔壁の両側面にそれぞれ形成する駆動用電極
と、前記隔壁の頂面に接合し、各流路と連通するインク
吐出孔を備えたノズル板とから成り、前記駆動用電極に
通電して隔壁を屈曲変位させることにより、前記流路内
のインクを加圧して上記インク吐出孔からインク滴を吐
出するインクジェット記録ヘッドにおいて、前記インク
吐出孔の吐出側開口部の径を流路幅より小さくするとと
もに、流路側開口部の径を流路幅よりも大きくしたこと
を特徴とする。SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above-mentioned problems, the present invention provides a flow path member having a plurality of partition walls at least partially made of a piezoelectric material, and a flow path for ink between the partition walls. A drive electrode formed on each of both side surfaces of the partition wall, and a nozzle plate joined to a top surface of the partition wall and provided with an ink discharge hole communicating with each flow path. In an ink jet recording head that pressurizes ink in the flow path to discharge ink droplets from the ink discharge hole by bending and displacing the ink, the diameter of the discharge side opening of the ink discharge hole is made smaller than the flow path width. In addition, the diameter of the flow path side opening is made larger than the flow path width.

【００１３】また、本発明は、前記インク吐出孔の少な
くとも流路側開口部を、流路の長手方向の長さが流路の
幅方向よりも長くなるようにしたことを特徴とする。Further, the present invention is characterized in that at least the flow path side opening of the ink discharge hole is formed such that the length in the longitudinal direction of the flow path is longer than the width direction of the flow path.

【００１４】[0014]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
説明する。Embodiments of the present invention will be described below.

【００１５】図１は本発明のインクジェット記録ヘッド
の一例を示す図で、（ａ）はその一部を破断した斜視
図、（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｘ線断面図であり、図２
（ａ）（ｂ）は本発明のインクジェット記録ヘッドの駆
動原理を説明するための部分断面図である。FIG. 1 is a view showing an example of an ink jet recording head according to the present invention. FIG. 1 (a) is a perspective view with a part thereof cut away, and FIG. 1 (b) is a sectional view taken along line XX of FIG. 2
(A) and (b) are partial cross-sectional views for explaining the driving principle of the ink jet recording head of the present invention.

【００１６】このインクジェット記録ヘッド１０（以
下、ヘッドと称す）は、複数の隔壁１を並設し、各隔壁
１間をインクの流路２として成り、各流路２の底部には
インク供給孔７を備えた圧電セラミックスから成る流路
部材４と、前記隔壁１の両側面上半分にそれぞれ形成さ
れた駆動用電極３と、隔壁１の頂面に熱硬化性の接着剤
やガラスにて接合され、各流路２と連通するインク吐出
孔６を備えた蓋体５とから成り、各流路２と連通するイ
ンク吐出孔６は、吐出側開口部６ａの径Ｍを流路幅Ｋよ
り小さくし、かつ流路側開口部６ｂの径Ｌを流路幅Ｋよ
り大きくしてある。ただし、インク吐出孔６の吐出側開
口部６ａ及び流路側開口部６ｂの形状はいずれも円形と
してある。The ink jet recording head 10 (hereinafter, referred to as a head) has a plurality of partition walls 1 arranged in parallel, a space between the partition walls 1 serving as an ink flow path 2, and an ink supply hole formed at the bottom of each flow path 2. And a drive electrode 3 formed on each of the upper halves of both sides of the partition wall 1 and a top surface of the partition wall 1 with a thermosetting adhesive or glass. And a lid 5 having an ink discharge hole 6 communicating with each flow path 2. The ink discharge hole 6 communicating with each flow path 2 has a diameter M of the discharge side opening 6 a that is larger than a flow path width K. The diameter L of the flow path side opening 6b is made larger than the flow path width K. However, the shape of each of the ejection side opening 6a and the flow path side opening 6b of the ink ejection hole 6 is circular.

【００１７】また、各流路２の両端は閉じた構造とし、
流路部材４を形成する圧電セラミックスには矢印の方向
に分極処理を施してある。また８は駆動用電極３の引出
線である。Further, both ends of each flow path 2 have a closed structure,
The piezoelectric ceramic forming the flow path member 4 has been subjected to polarization processing in the direction of the arrow. Reference numeral 8 denotes a lead of the driving electrode 3.

【００１８】そして、このヘッド１０を用いて記録媒体
（不図示）へ印刷するには、インクとして顔料タイプの
油性インク、水性染料インクまたは紫外線硬化インク等
のインクをインク供給孔６より各流路７へ導入し、図２
（ａ）に示すように、例えば駆動用電極３ｂ，３ｃ及び
駆動用電極３ｈ，３ｉにそれぞれ負極の電圧を、駆動用
電極３ａ，３ｄ，３ｇ，３ｊに正極の電圧を印加する
と、隔壁１ａ及び隔壁１ｂが流路２ａ側へ屈曲変位する
とともに、隔壁１ｄ，１ｅが流路２ｄ側へ屈曲変位する
ため、流路２ａ，２ｄ内に充填されたインクを加圧し
て、インク吐出孔６よりインク滴を吐出するようになっ
ている。In order to print on a recording medium (not shown) using the head 10, an ink such as a pigment type oil-based ink, a water-based dye ink, or an ultraviolet curable ink is supplied from the ink supply hole 6 to each flow path. 7 and Figure 2
As shown in (a), for example, when a negative electrode voltage is applied to the driving electrodes 3b, 3c and the driving electrodes 3h, 3i and a positive voltage is applied to the driving electrodes 3a, 3d, 3g, 3j, the partition wall 1a and the Since the partition wall 1b is bent toward the flow path 2a and the partition walls 1d and 1e are bent toward the flow path 2d, the ink filled in the flow paths 2a and 2d is pressurized, and Drops are ejected.

【００１９】次に、各駆動用電極３ａ〜３ｄ，３ｇ〜３
ｊへの通電を遮断すると、屈曲変位していた隔壁１ａ，
１ｂ，１ｄ，１ｅが弾性作用によって元の形状に戻り、
流路２ａ，２ｄ内が減圧される結果、インク供給孔７か
らインクの導入が開始されることになり、さらに前述し
た駆動用電極３ａ〜３ｄ，３ｇ〜３ｊへ正負を逆転して
電圧を印加すると、図２（ｂ）に示すように隔壁１ａ，
１ｂが流路２ａに対して外側へ屈曲変位するとともに、
隔壁１ｄ，１ｅがインク流路２ｄに対して外側へ屈曲変
位するため、流路２ａ，２ｄ内がさらに減圧されてイン
クが充填されることになる。そして、各駆動用電極３ａ
〜３ｄ，３ｇ〜３ｊへの通電を遮断すると、屈曲変位し
ていた隔壁１ａ，１ｂ，１ｄ，１ｅが弾性作用によって
元の形状に戻り、次のインクの吐出段階に入るようにな
っており、これらの動作を順次繰り返すことでインク吐
出孔６からインク滴を連続的に吐出するようになってい
る。Next, the driving electrodes 3a to 3d, 3g to 3
When the current to j is cut off, the partition walls 1a,
1b, 1d, 1e return to the original shape by the elastic action,
As a result of the pressure reduction in the flow paths 2a and 2d, the introduction of the ink from the ink supply hole 7 is started, and the voltage is applied to the driving electrodes 3a to 3d and 3g to 3j by reversing the positive and negative. Then, as shown in FIG.
1b is bent outwardly with respect to the flow path 2a,
Since the partition walls 1d and 1e are bent and displaced outward with respect to the ink flow path 2d, the pressure inside the flow paths 2a and 2d is further reduced, and the ink is filled. And each driving electrode 3a
3d, 3g to 3j, the partition walls 1a, 1b, 1d, 1e, which have been bent and displaced, return to the original shape by the elastic action, and enter the next ink discharge stage. By repeating these operations sequentially, ink droplets are continuously ejected from the ink ejection holes 6.

【００２０】そして、本発明によれば、インク吐出孔６
の吐出側開口部６ａの径を流路幅Ｋより小さくし、かつ
流路側開口部６ｂの径を流路幅Ｋより大きくしてあるこ
とから、各隔壁１や各駆動用電極３に寸法バラツキがあ
り、流路２を構成する両側の隔壁１の変位量に差があっ
たり、インク吐出孔６が流路２の幅方向中央からずれて
いたとしても、インクの加圧力をインク吐出孔６に向か
って集中させることが出きるため、インク滴の吐出速度
が低下したり、インク滴の着弾位置にバラツキが発生す
ることを効果的に防止することができる。According to the present invention, the ink ejection holes 6
Since the diameter of the discharge side opening 6a is smaller than the flow path width K and the diameter of the flow path side opening 6b is larger than the flow path width K, the dimensions of the partition walls 1 and the driving electrodes 3 are uneven. Even if the displacement amount of the partition walls 1 on both sides constituting the flow path 2 is different or the ink discharge hole 6 is shifted from the center in the width direction of the flow path 2, the pressure of the ink is reduced by the ink discharge hole 6. Therefore, it is possible to effectively prevent the ejection speed of the ink droplet from decreasing and the occurrence of variation in the landing position of the ink droplet.

【００２１】即ち、本発明は、インク吐出孔６の流路側
開口部６ｂの径Ｌを流路幅Ｋより大きくしたことから、
各隔壁１や各駆動用電極３に寸法バラツキがあって流路
２を構成する両側の隔壁１の変位量に差ができ、流路２
の幅方向中央にインクの加圧力を集中させることができ
なかったり、また、インク吐出孔６が流路２の幅方向中
央からずれて配置されていたとしても、インク吐出孔６
の流路側開口部６ｂの径Ｌは流路幅Ｋより大きいため、
流路２の幅方向においてどの位置でインクの加圧力が集
中しようとインク吐出孔６に向かわせることができ、イ
ンク吐出孔６の吐出側開口部６ａの径Ｍは流路幅Ｋより
小さくしてあることから、絞り作用によってインク滴の
吐出圧を高め、所定量のインク滴を吐出させることがで
きるとともに、インク滴の着弾位置のバラツキを抑える
ことができる。That is, according to the present invention, the diameter L of the flow path side opening 6b of the ink ejection hole 6 is made larger than the flow path width K.
Each partition 1 and each driving electrode 3 have a dimensional variation, so that there is a difference in the displacement amount of the partition walls 1 on both sides constituting the flow path 2.
Even if the pressure of the ink cannot be concentrated at the center in the width direction of the ink passage, or even if the ink ejection hole 6 is arranged to be shifted from the center of the flow path 2 in the width direction, the ink ejection hole 6
Since the diameter L of the flow path side opening 6b is larger than the flow path width K,
No matter where the pressure of the ink concentrates in the width direction of the flow path 2, the ink can be directed toward the ink discharge hole 6. The diameter M of the discharge side opening 6 a of the ink discharge hole 6 is smaller than the flow path width K. Therefore, the ejection pressure of the ink droplets can be increased by the squeezing action, and a predetermined amount of the ink droplets can be ejected, and variations in the landing positions of the ink droplets can be suppressed.

【００２２】また、図１ではインク吐出孔６の吐出側開
口部６ａ及び流路側開口部６ｂの穴形を、いずれも円形
とした例を示したが、図３に示すように、少なくとも流
路側開口部６ｂの穴形を楕円形とし、楕円の長軸を流路
２の長手方向に、短軸を流路２の幅方向に設けても良
く、流路側開口部６ｂを楕円形とすることで、流路２内
の圧力を集中させる位置が流路２の長手方向にずれたと
しても、流路２内の圧力をインク吐出孔６に向かって集
中させることが出き、好適である。なお、このような効
果を奏することができる流路側開口部６ｂの穴形として
は楕円形に限るものではなく、例えば、小判型、長方
形、菱形など、流路２の長手方向の長さＮが流路２の幅
方向の長さＬよりも長くなるようにしてあれば良い。Further, FIG. 1 shows an example in which both the ejection side opening 6a of the ink ejection hole 6 and the flow path side opening 6b are circular, but as shown in FIG. The hole shape of the opening 6b may be elliptical, the major axis of the ellipse may be provided in the longitudinal direction of the flow path 2 and the minor axis may be provided in the width direction of the flow path 2, and the flow path side opening 6b may be elliptical. Therefore, even if the position where the pressure in the flow path 2 is concentrated is shifted in the longitudinal direction of the flow path 2, the pressure in the flow path 2 can be concentrated toward the ink ejection holes 6, which is preferable. In addition, the hole shape of the flow path side opening 6b that can provide such an effect is not limited to an elliptical shape, and for example, the length N in the longitudinal direction of the flow path 2 such as an oval shape, a rectangle, and a rhombus. What is necessary is just to make it longer than the length L of the flow path 2 in the width direction.

【００２３】ところで、上記ヘッド１０を製造するに
は、まず、予め厚み方向に分極処理した圧電セラミック
ス基板を用意し、この圧電セラミック基板に、ダイシン
グソー等の研削加工によって複数の溝を列設し、各溝を
インクの流路２とするとともに、各流路２を仕切る壁を
隔壁１とする流路部材４を作製する。In order to manufacture the head 10, first, a piezoelectric ceramic substrate which has been polarized in the thickness direction is prepared, and a plurality of grooves are arranged in the piezoelectric ceramic substrate by grinding using a dicing saw or the like. Then, a flow path member 4 is prepared in which each groove is used as an ink flow path 2 and a wall partitioning each flow path 2 is used as a partition wall 1.

【００２４】この流路部材４を形成する圧電セラミック
スとしては、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ系）を主成
分とする圧電セラミックス、マグネシウムニオブ酸鉛
（ＰＭＮ系）を主成分とする圧電セラミックス、ニッケ
ルニオブ酸鉛（ＰＮＮ系）を主成分とする圧電セラミッ
クス、さらにはこれら主成分を複合した圧電セラミック
スを用いることができる。The piezoelectric ceramics forming the flow path member 4 include a piezoelectric ceramic mainly composed of lead zirconate titanate (PZT), a piezoelectric ceramic mainly composed of lead magnesium niobate (PMN), and nickel. Piezoelectric ceramics containing lead niobate (PNN-based) as a main component, and furthermore, piezoelectric ceramics combining these main components can be used.

【００２５】次に、各隔壁１の頂面及び両側面上半分
に、蒸着法、無電解メッキ法、スパッタリング法等に
て、白金、金、パラジウム、ロジウム、ニッケル、アル
ミニウム等の金属、あるいは白金−金、パラジウム−
銀、白金−パラジウム等を主体とする合金から成る金属
膜を被着した後、隔壁１の頂面に被着した金属膜中央を
長手方向に沿って、ＹＡＧレーザー、ＣＯ2レーザー、
エキシマレーザー等のレーザー加工にて分断することに
より、隔壁１の側面上半分に被着された金属膜を駆動用
電極３とし、かつ隔壁１の頂面周縁に被着された金属膜
を駆動用電極３の引出線８とする。Next, a metal such as platinum, gold, palladium, rhodium, nickel, aluminum or the like, or platinum, is formed on the top surface and the upper half of both side surfaces of each partition 1 by vapor deposition, electroless plating, sputtering or the like. -Gold, palladium-
After a metal film made of an alloy mainly composed of silver, platinum-palladium, or the like is applied, a YAG laser, a CO 2 laser,
The metal film applied on the upper half of the side surface of the partition wall 1 is used as the drive electrode 3 by cutting by laser processing such as an excimer laser, and the metal film applied on the periphery of the top surface of the partition wall 1 is used for drive. The lead wire 8 of the electrode 3 is used.

【００２６】一方、蓋体５として、金属、セラミック
ス、ガラス、シリコン等から成る板状体を用意し、ＹＡ
Ｇレーザー、ＣＯ2レーザー、エキシマレーザー等のレ
ーザー加工やエッチング加工にて、吐出側開口部６ａの
径Ｍが流路２の幅Ｋより小さく、流路側開口部６ｂの径
Ｌが流路２の幅Ｋより大きく形成されたインク吐出孔６
を穿孔する。この時、インク吐出孔６の内壁面は、図２
に示すようなテーパ状に限らず、階段状や曲面状など流
路側開口部６ｂから吐出側開口部６ａに向かって狭くな
るように形成されていれば良い。On the other hand, a plate made of metal, ceramics, glass, silicon, or the like is prepared as the lid 5,
The diameter M of the discharge side opening 6a is smaller than the width K of the flow path 2 and the diameter L of the flow path side opening 6b is smaller than that of the flow path 2 by laser processing such as G laser, CO 2 laser, excimer laser or etching processing. Ink ejection hole 6 formed larger than width K
Perforate. At this time, the inner wall surface of the ink ejection hole 6 is
The shape is not limited to the tapered shape shown in FIG. 1, but may be a stepped shape or a curved surface shape that narrows from the flow path side opening 6b toward the discharge side opening 6a.

【００２７】そして、蓋体５に備える各インク吐出孔６
の吐出側開口部６ａが、流路２の幅方向中央に位置する
よう位置合わせした後、各隔壁１の頂面と蓋体５とを熱
硬化性の接着剤やガラスにて接合することにより、本発
明のヘッド１０を得ることができる。Each of the ink ejection holes 6 provided in the lid 5
After the discharge side opening 6a is positioned at the center in the width direction of the flow path 2, the top surface of each partition 1 and the lid 5 are joined with a thermosetting adhesive or glass. Thus, the head 10 of the present invention can be obtained.

【００２８】次に、本発明の他の実施形態を図４に基づ
いて説明する。なお、図１のヘッド１０と同一部分につ
いては同一符号で示す。Next, another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The same parts as those of the head 10 of FIG. 1 are denoted by the same reference numerals.

【００２９】このヘッド３０は、インク吐出孔２０を有
する蓋体１７の構造が異なる以外は図１のヘッド１０と
同様の構造をしたもので、蓋体１７はカバー部１５とノ
ズル部１６とから成り、カバー部１５には、流路部材４
の各流路２と連通する円形の案内孔１８を有するととも
に、ノズル部１６には、案内孔１８と連通し、かつ案内
孔１８より小径の円形をした細孔１９を有し、細孔１９
と案内孔１８を合わせてインク吐出孔２０としてある。
そして、インク吐出孔２０の吐出側開口部２０ａをなす
細孔１９の穴径は流路幅より小さく、また、流路側開口
部２０ｂをなす案内孔１８の穴径は流路幅より大きくし
てある。The head 30 has the same structure as the head 10 of FIG. 1 except that the structure of the lid 17 having the ink discharge holes 20 is different. The cover member 15 includes the flow path member 4
The nozzle portion 16 has a circular hole 19 communicating with the guide hole 18 and having a smaller diameter than the guide hole 18.
And the guide hole 18 together to form an ink ejection hole 20.
The hole diameter of the fine holes 19 forming the discharge side openings 20a of the ink discharge holes 20 is smaller than the flow path width, and the hole diameter of the guide holes 18 forming the flow path side openings 20b is larger than the flow path width. is there.

【００３０】その為、このヘッド３０においても、各隔
壁１や各駆動用電極３に寸法バラツキがあり、流路２を
構成する両側の隔壁１の変位量に差があったり、インク
吐出孔６が流路２の幅方向中央からずれていたとして
も、流路２内の圧力をインク吐出孔６に向かって集中さ
せることが出きるため、インク滴の吐出速度が低下した
り、インク滴の着弾位置にバラツキが発生することを効
果的に防止することができる。Therefore, in the head 30 as well, there is a dimensional variation in each partition 1 and each drive electrode 3, and there is a difference in the amount of displacement of the partition 1 on both sides constituting the flow path 2, and there is no ink ejection hole 6. Even if the pressure is deviated from the center of the flow path 2 in the width direction, since the pressure in the flow path 2 can be concentrated toward the ink discharge holes 6, the discharge speed of the ink droplets decreases, Variations in landing positions can be effectively prevented.

【００３１】なお、蓋体１７を構成するカバー部１５
は、金属、ガラス、シリコン、セラミックス等により形
成し、ノズル部１６は、樹脂製のフィルム、特にポリイ
ミド樹脂等により形成することが好ましい。なぜなら、
蓋体１７に要求される特性として、隔壁１の変位に対し
て変形することがなく、また、インク滴を吐出するイン
ク吐出孔２０は、精度良く形成されていることが必要で
あるからで、特に隔壁１と接合されるカバー部１５は、
隔壁１の変位による応力を直に受けるため、剛性の高い
材料にて形成することが好ましく、また、ノズル部１６
は均一なインク滴を形成するため、また、インク滴の着
弾位置を正確にするためにも、細孔１９を精度よく穿孔
する必要があることから、加工性の良い樹脂にて形成す
ることが好ましく、特に、ヘッド３０を製作する際に加
えられるさまざまな熱に対して、耐熱性の良いポリイミ
ド樹脂は好適である。The cover 15 constituting the cover 17
Is preferably formed of metal, glass, silicon, ceramics, or the like, and the nozzle portion 16 is preferably formed of a resin film, particularly, a polyimide resin or the like. Because
The characteristics required for the lid 17 are that it is not required to be deformed by the displacement of the partition wall 1 and that the ink ejection holes 20 for ejecting ink droplets need to be formed with high accuracy. In particular, the cover 15 joined to the partition 1
In order to directly receive the stress due to the displacement of the partition wall 1, it is preferable that the partition wall 1 is formed of a material having high rigidity.
In order to form uniform ink droplets, and to make the landing position of the ink droplets accurate, it is necessary to precisely drill the fine holes 19, and therefore, it is preferable to use a resin having good workability. Preferably, polyimide resin having good heat resistance against various kinds of heat applied when manufacturing the head 30 is particularly preferable.

【００３２】また、インク吐出孔２０の流路側開口部２
０ｂをなす案内孔１８は、円形だけでなく、長軸が流路
２の長手方向に形成されている楕円形、小判型、長方
形、菱形としても良く、これらのように、流路２の長手
方向の長さＮが流路２の幅方向の長さＬよりも長くなる
ようにすることで、流路２内の圧力を集中させる位置が
流路２の長手方向にずれたとしても、インクの加圧力を
インク吐出孔６に向かって集中させることが出きるた
め、より安定したインク滴の吐出を実現することができ
る。The opening 2 on the flow path side of the ink ejection hole 20 is also provided.
The guide hole 18 forming 0b may be not only a circular shape but also an elliptical shape, an oval shape, a rectangular shape, or a rhombus shape whose major axis is formed in the longitudinal direction of the flow path 2. By setting the length N in the width direction to be longer than the length L in the width direction of the flow path 2, even if the position where the pressure in the flow path 2 is concentrated is shifted in the longitudinal direction of the flow path 2, Can be concentrated toward the ink ejection holes 6, so that more stable ejection of ink droplets can be realized.

【００３３】以上、本実施形態について説明したが、本
発明は実施形態に示したものだけに限定されるものでは
なく、例えば、図１のヘッド１０及び図４のヘッド３０
では、隔壁１を構成する流路部材４の全体を圧電セラミ
ックスにて形成した例を示したが、本発明では、少なく
とも隔壁１のみが圧電セラミックスにより形成されてい
れば良く、また、隔壁１は、対向する分極方向を持った
２層の圧電セラミック部材を接着等にて接合したもので
あっても構わない。特に、対向する分極方向を備えた２
層の圧電セラミック部材から成る隔壁１を備えたヘッド
は、隔壁１の接合部を中心に、図１のヘッド１０や図４
のヘッド３０よりも大きく「く」の字状に屈曲変位させ
ることができるため、インク滴の吐出特性をより一層高
めることができる。なお、このような効果を奏するため
には、隔壁１の側面全体に駆動用電極３を形成すること
が必要である。Although the present embodiment has been described above, the present invention is not limited to only those shown in the embodiment. For example, the head 10 in FIG. 1 and the head 30 in FIG.
Although the example in which the entire flow path member 4 constituting the partition 1 is formed of piezoelectric ceramics has been described, in the present invention, it is sufficient that at least only the partition 1 is formed of piezoelectric ceramics. Alternatively, two layers of piezoelectric ceramic members having opposing polarization directions may be joined by bonding or the like. In particular, 2 with opposing polarization directions
The head provided with the partition wall 1 made of the piezoelectric ceramic member of the layer has a structure in which the head 10 shown in FIG.
Since the head 30 can be bent and displaced in the shape of a "ku" larger than the head 30, the ejection characteristics of ink droplets can be further improved. In order to achieve such an effect, it is necessary to form the driving electrode 3 on the entire side surface of the partition 1.

【００３４】また、これら以外に本発明の要旨を逸脱し
ない範囲であれば改良や変更できることは言うまでもな
い。Further, it goes without saying that improvements and modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

【００３５】[0035]

【実施例】（実施例１）まず、予め厚み方向に分極処理
を施したチタン酸ジルコン酸鉛を主体とする圧電セラミ
ック基板を用意し、厚み方向に分極処理した後、ダイシ
ングソーによる研削加工にて両端が閉じられた複数の溝
を並設し、各溝を流路とするとともに、各溝を仕切る壁
を隔壁とした流路部材を作製した。(Example 1) First, a piezoelectric ceramic substrate mainly composed of lead zirconate titanate which has been subjected to polarization treatment in the thickness direction in advance is prepared, and after polarization treatment in the thickness direction, the substrate is subjected to grinding with a dicing saw. A plurality of grooves, both ends of which were closed, were arranged side by side, and a flow path member was prepared in which each groove was used as a flow path and a wall partitioning each groove was used as a partition.

【００３６】この時、隔壁の幅を７０μｍ、隔壁の高さ
を３５０μｍ、流路の幅を７０μｍとした。At this time, the width of the partition was 70 μm, the height of the partition was 350 μm, and the width of the flow path was 70 μm.

【００３７】次に、上記流路部材を傾けて、隔壁の頂面
及び側面上半分にアルミニウムの金属膜をスパッタリン
グ法にて形成した後、隔壁の頂面に被着した金属膜の中
央を長手方向に沿ってＹＡＧレーザーにて分断し、隔壁
の両側面上半分に形成した金属膜を駆動用電極とすると
ともに、隔壁の頂面周縁に形成した金属膜を駆動用電極
の引出線とした。また、ＹＡＧレーザーにて流路の底部
にインクを供給するためのインク供給孔を形成した。Then, the flow path member is tilted to form an aluminum metal film on the top surface and the upper half of the side surface of the partition wall by a sputtering method. Then, the center of the metal film deposited on the top surface of the partition wall is elongated. The metal film formed on the upper half of both sides of the partition was divided as a drive electrode, and the metal film formed on the peripheral edge of the top surface of the partition was used as a lead line for the drive electrode. In addition, an ink supply hole for supplying ink to the bottom of the flow channel with a YAG laser was formed.

【００３８】一方、モリブデン製の蓋体にエッチング加
工を施し、流路側開口部の穴径及び吐出側開口部の穴径
を表１のように異ならせたインク吐出孔を穿孔した。そ
して、インク吐出孔と流路との位置合わせをした後、エ
ポキシ系接着剤にて蓋体を隔壁の頂面に接合することに
よりヘッドを得た。On the other hand, the lid made of molybdenum was subjected to an etching process, and an ink discharge hole was formed in which the hole diameter of the passage side opening and the hole diameter of the discharge side opening were different as shown in Table 1. Then, after positioning the ink ejection holes and the flow paths, the head was obtained by joining the lid to the top surface of the partition wall with an epoxy-based adhesive.

【００３９】そして、ヘッドの駆動用電極に電圧を印加
してインク滴を吐出させ、高速度画像撮影装置でインク
滴の飛翔状態を撮影し、上記飛翔距離と時間から、イン
ク滴の吐出速度を計算にて求めるとともに、記録媒体に
インク滴を着弾させて、該各インク滴の着弾位置間隔
と、撮影用カメラと連結した画像処理装置で測定した各
インク吐出孔間のピッチを比較することによって、上記
インク滴の着弾位置ばらつきを百分率で算出した。Then, a voltage is applied to the driving electrode of the head to cause the ink droplets to be ejected, the flying state of the ink droplets is photographed by a high-speed image photographing device, and the ejecting speed of the ink droplets is determined from the above flying distance and time. By calculating the ink droplets on the recording medium and comparing the intervals between the landing positions of the ink droplets with the pitches between the ink ejection holes measured by an image processing apparatus connected to the photographing camera. The variation in the landing position of the ink droplet was calculated as a percentage.

【００４０】結果は表１に示す通りである。なお、表１
において流路の幅方向の径と流路の長手方向の径が同じ
ものは開口部の平面形状を円形とし、流路の幅方向の径
と流路の長手方向の径が異なるものは開口部の平面形状
を楕円形とした。The results are as shown in Table 1. Table 1
In the case where the diameter in the width direction of the flow channel and the diameter in the longitudinal direction of the flow channel are the same, the planar shape of the opening is circular, and the shape in which the diameter in the width direction of the flow channel and the diameter in the longitudinal direction of the flow channel are different is the opening. Was made elliptical.

【００４１】[0041]

【表１】 [Table 1]

【００４２】この結果、試料Ｎｏ．５〜１２のように、
インク吐出孔の吐出側開口部の穴径を流路幅より小さ
く、かつ流路側開口部の穴径を流路側より大きくすれ
ば、従来例を示す試料Ｎｏ．１〜４のヘッドよりもイン
ク滴の吐出速度を高めることができるとともに、インク
滴の着弾位置のばらつきが小さく、インク滴をインク吐
出孔６から真っ直ぐに吐出させることができることが判
る。As a result, the sample No. Like 5-12,
If the hole diameter of the discharge side opening of the ink discharge hole is smaller than the flow path width and the hole diameter of the flow path side opening is larger than that of the flow path side, the sample No. showing the conventional example can be obtained. It can be seen that the ejection speed of the ink droplets can be increased as compared with the heads Nos. 1 to 4, the landing positions of the ink droplets have a small variation, and the ink droplets can be ejected straight from the ink ejection holes 6.

【００４３】また、特に試料Ｎｏ．６，７，１０〜１２
のように、インク吐出孔の流路側開口部を、流路の長手
方向の長さが流路の幅方向よりも長くなるようにするこ
とで、インク滴の吐出速度を高められることが判る。 （実施例２）次に、実施例１のヘッドにおける蓋体を、
カバー部とノズル部の２層構造から成る蓋体に代え、か
つカバー部に備える案内孔の穴径と、ノズル部に備える
細孔の穴径をそれぞれ表２に示すように異ならせ、実施
例１と同様の実験を行った。なお、カバー部はモリブデ
ンにより形成し、ノズル部はポリイミド樹脂のフィルム
により形成した。また、カバー部とノズル部の接合はエ
ポキシ系接着剤により行った。In particular, in the case of Sample No. 6,7,10-12
It can be seen that the ink droplet discharge speed can be increased by setting the length of the flow path in the longitudinal direction of the flow path to be longer than the width direction of the flow path in the flow path opening of the ink discharge hole. (Example 2) Next, the lid of the head of Example 1 was
Instead of the lid having a two-layer structure of the cover part and the nozzle part, the hole diameter of the guide hole provided in the cover part and the hole diameter of the fine hole provided in the nozzle part are respectively different as shown in Table 2, and The same experiment as in Example 1 was performed. The cover was formed of molybdenum, and the nozzle was formed of a polyimide resin film. The cover and the nozzle were joined with an epoxy adhesive.

【００４４】結果は表２に示す通りである。なお、表２
において流路の幅方向の径と流路の長手方向の径が同じ
ものは開口部の平面形状を円形とし、流路の幅方向の径
と流路の長手方向の径が異なるものは開口部の平面形状
を楕円形とした。The results are as shown in Table 2. Table 2
In the case where the diameter in the width direction of the flow channel and the diameter in the longitudinal direction of the flow channel are the same, the planar shape of the opening is circular, and the shape in which the diameter in the width direction of the flow channel and the diameter in the longitudinal direction of the flow channel are different is the opening. Was made elliptical.

【００４５】[0045]

【表２】 [Table 2]

【００４６】この結果、試料Ｎｏ．１５〜２３のよう
に、インク吐出孔の吐出側開口部をなす細孔の穴径を流
路幅より小さく、かつ流路側開口部をなす案内孔の穴径
を流路側より大きくすれば、本発明範囲外を示す試料Ｎ
ｏ．１３，１４のヘッドよりもインク滴の吐出速度を高
めることができるとともに、インク滴の着弾位置のばら
つきが小さく、インク滴をインク吐出孔６から真っ直ぐ
に吐出させることができることが判る。As a result, the sample No. As in 15 to 23, if the hole diameter of the fine hole forming the discharge side opening of the ink discharge hole is smaller than the flow path width and the hole diameter of the guide hole forming the flow path side opening is larger than the flow path side, Sample N showing out of range of invention
o. It can be seen that the ejection speed of the ink droplets can be made higher than that of the heads 13 and 14, and the variation in the landing positions of the ink droplets is small, so that the ink droplets can be ejected straight from the ink ejection holes 6.

【００４７】また、特に試料Ｎｏ．１７，１８，２１〜
２３のように、インク吐出孔の流路側開口部を、流路の
長手方向の長さが流路の幅方向よりも長くなるようにす
ることで、インク滴の吐出速度を高められることが判
る。Further, in particular, for sample No. 17, 18, 21-
It can be seen that the discharge speed of ink droplets can be increased by setting the length of the flow path side of the ink discharge hole in the longitudinal direction of the flow path longer than the width direction of the flow path as in 23. .

【００４８】[0048]

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、少なく
とも一部が圧電材料からなる複数の隔壁を並設し、該隔
壁間をインクの流路とする流路部材と、前記隔壁の両側
面にそれぞれ形成する駆動用電極と、前記隔壁の頂面に
接合し、各流路と連通するインク吐出孔を備えたノズル
板とから成り、前記駆動用電極に通電して隔壁を屈曲変
位させることにより、前記流路内のインクを加圧して上
記インク吐出孔からインク滴を吐出するインクジェット
記録ヘッドにおいて、前記インク吐出孔吐出側開口部の
径を流路幅より小さくするとともに、流路側開口部の径
を流路幅よりも大きくしたことから、流路部材を構成す
る各隔壁や各駆動用電極の寸法バラツキによって流路を
構成する両側の隔壁の変位量に差ができ、流路の幅方向
中央にインクの加圧力を集中させることができなかった
り、インク吐出孔が流路の幅方向中央からずれて配置さ
れていたとしても、流路内の圧力をインク吐出孔に集中
させることができるため、インク滴の吐出速度を向上さ
せることができるとともに、インク滴をインク吐出孔か
ら真っ直ぐに吐出させることができるため、インク滴の
着弾位置のバラツキを低下することができる。As described above, according to the present invention, a plurality of partition walls at least partially made of a piezoelectric material are juxtaposed, and a flow path member having an ink flow path between the partition walls; A drive electrode formed on each of both side surfaces, and a nozzle plate joined to the top surface of the partition wall and provided with an ink discharge hole communicating with each flow path, and the drive electrode is energized to bend and displace the partition wall. In the ink jet recording head that pressurizes ink in the flow path and discharges ink droplets from the ink discharge hole, the diameter of the ink discharge hole discharge side opening is smaller than the flow path width, Since the diameter of the opening is larger than the width of the flow path, the displacement amount of the partition walls on both sides of the flow path can be different due to the dimensional variation of each partition and each drive electrode constituting the flow path member. Ink at the center in the width direction of Even if the force cannot be concentrated, or even if the ink ejection holes are arranged at a position deviated from the center in the width direction of the flow path, the pressure in the flow path can be concentrated on the ink ejection holes, so that the Since the ejection speed can be improved and the ink droplet can be ejected straight from the ink ejection hole, the dispersion of the landing position of the ink droplet can be reduced.

【００４９】また、本発明は、前記インク吐出孔の少な
くとも流路側開口部を、流路の長手方向の長さが流路の
幅方向よりも長くなるようにしたことから、インク吐出
孔にインクをより確実に集中させることができるため、
インク滴の吐出速度を更に高めることができる。Further, according to the present invention, at least the opening of the ink discharge hole on the side of the flow path is formed such that the length of the flow path in the longitudinal direction is longer than the width direction of the flow path. Can be more reliably concentrated,
The ejection speed of the ink droplet can be further increased.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明に係るインクジェット記録ヘッドの一例
を示す図で、（ａ）はその一部を破断した斜視図、
（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｘ線断面図である。FIG. 1 is a view showing an example of an ink jet recording head according to the present invention, wherein FIG.
(B) is a sectional view taken along line XX of (a).

【図２】（ａ）（ｂ）は本発明のインクジェット記録ヘ
ッドの駆動原理を説明するための部分断面図である。FIGS. 2A and 2B are partial cross-sectional views for explaining the driving principle of the ink jet recording head of the present invention.

【図３】本発明に係るインクジェット記録ヘッドに備え
るインク吐出孔の他の例を示す平面図である。FIG. 3 is a plan view showing another example of the ink ejection holes provided in the ink jet recording head according to the present invention.

【図４】本発明に係るインクジェット記録ヘッドの他の
例を示す一部を破断した斜視図である。FIG. 4 is a partially broken perspective view showing another example of the inkjet recording head according to the present invention.

【図５】従来のインクジェット記録ヘッドの一部を破断
した斜視図である。FIG. 5 is a partially cutaway perspective view of a conventional inkjet recording head.

【符号の説明】 １，３１：隔壁 ２，３２：流路 ３，３３：駆動用電極 ４，３４：流路部材 ５，１７，３５：蓋体 ６，２０，３６：インク吐出孔 ６ａ，２０ａ，３６ａ：吐出側開口部 ６ｂ，２０ｂ，３６ｂ：流路側開口部 ７，３７：インク供給孔 ８，３８：引出線 １０，３０，４０：インクジェット記録ヘッド １５：カバー部 １６：ノズル部 １８：案内孔 １９：細孔[Description of Signs] 1, 31: partition wall 2, 32: flow path 3, 33: drive electrode 4, 34: flow path member 5, 17, 35: lid 6, 20, 36: ink discharge hole 6a, 20a , 36a: discharge side opening 6b, 20b, 36b: flow path side opening 7, 37: ink supply hole 8, 38: lead line 10, 30, 40: ink jet recording head 15: cover 16: nozzle 18: guide Hole 19: Pore

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】少なくとも一部が圧電材料からなる複数の
隔壁を並設し、該隔壁間をインクの流路とした流路部材
と、前記隔壁の両側面にそれぞれ形成された駆動用電極
と、前記隔壁の頂面に接合され、各流路と連通するイン
ク吐出孔を備えたノズル板とから成り、前記駆動用電極
に通電して隔壁を屈曲変位させることにより、前記流路
内のインクを加圧して上記インク吐出孔からインク滴を
吐出するインクジェット記録ヘッドにおいて、前記イン
ク吐出孔は、吐出側開口部の径が流路幅より小さく、か
つ流路側開口部の径が流路幅よりも大きいことを特徴と
するインクジェット記録ヘッド。1. A flow path member having a plurality of partition walls at least partially made of a piezoelectric material and having an ink flow path between the partition walls, and driving electrodes formed on both side surfaces of the partition walls. A nozzle plate joined to the top surface of the partition wall and having an ink discharge hole communicating with each flow path, and by supplying a current to the drive electrode to bend and displace the partition, ink in the flow path is formed. In the ink jet recording head which pressurizes and discharges ink droplets from the ink discharge holes, the ink discharge holes have a discharge side opening having a diameter smaller than the flow path width, and a flow path side opening having a diameter smaller than the flow path width. An ink jet recording head characterized in that it is also large. 【請求項２】前記インク吐出孔の少なくとも流路側開口
部は、流路の長手方向の長さが流路の幅方向よりも長い
ことを特徴とする請求項１のインクジェット記録ヘッ
ド。2. The ink jet recording head according to claim 1, wherein at least the flow path side opening of the ink discharge hole has a length in a longitudinal direction of the flow path longer than a width direction of the flow path.
JP2000094152A 2000-03-30 2000-03-30 Ink jet recording head Pending JP2001277499A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000094152A JP2001277499A (en) 2000-03-30 2000-03-30 Ink jet recording head

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000094152A JP2001277499A (en) 2000-03-30 2000-03-30 Ink jet recording head

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001277499A true JP2001277499A (en) 2001-10-09

Family

ID=18609239

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000094152A Pending JP2001277499A (en) 2000-03-30 2000-03-30 Ink jet recording head

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2001277499A (en)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004230885A (en) * 2003-01-10 2004-08-19 Canon Inc Ink jet recording head
JP2007313735A (en) * 2006-05-25 2007-12-06 Konica Minolta Holdings Inc Inkjet head and method for manufacturing inkjet head
JP2009233945A (en) * 2008-03-26 2009-10-15 Toshiba Tec Corp Liquid ejection device and method for manufacturing the same
CN102848730A (en) * 2011-06-28 2013-01-02 精工电子打印科技有限公司 Liquid jet head, liquid jet apparatus, and method of manufacturing liquid jet head
JP2013010211A (en) * 2011-06-28 2013-01-17 Sii Printek Inc Liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus, and method of manufacturing the liquid ejecting head
JP2013144466A (en) * 2013-04-30 2013-07-25 Toshiba Tec Corp Liquid ejection device, and method for manufacturing the same
CN104972748A (en) * 2014-04-02 2015-10-14 株式会社东芝 Inkjet printer head
JP2015196344A (en) * 2014-04-02 2015-11-09 株式会社東芝 Ink jet printer head

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004230885A (en) * 2003-01-10 2004-08-19 Canon Inc Ink jet recording head
US7628472B2 (en) 2003-01-10 2009-12-08 Canon Kabushiki Kaisha Ink-jet recording head
US8083322B2 (en) 2003-01-10 2011-12-27 Canon Kabushiki Kaisha Ink-jet recording head
JP2007313735A (en) * 2006-05-25 2007-12-06 Konica Minolta Holdings Inc Inkjet head and method for manufacturing inkjet head
JP2009233945A (en) * 2008-03-26 2009-10-15 Toshiba Tec Corp Liquid ejection device and method for manufacturing the same
CN102848730A (en) * 2011-06-28 2013-01-02 精工电子打印科技有限公司 Liquid jet head, liquid jet apparatus, and method of manufacturing liquid jet head
JP2013010211A (en) * 2011-06-28 2013-01-17 Sii Printek Inc Liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus, and method of manufacturing the liquid ejecting head
JP2013144466A (en) * 2013-04-30 2013-07-25 Toshiba Tec Corp Liquid ejection device, and method for manufacturing the same
CN104972748A (en) * 2014-04-02 2015-10-14 株式会社东芝 Inkjet printer head
JP2015196344A (en) * 2014-04-02 2015-11-09 株式会社東芝 Ink jet printer head
EP2952350A1 (en) * 2014-04-02 2015-12-09 Kabushiki Kaisha Toshiba Inkjet printer head

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2007050687A (en) Ink jet head and ink jet recording apparatus
JPS63183856A (en) Manufacture of ink jet head
JP2023091718A (en) Head chip, liquid jet head, and liquid jet recording device
JP2023091543A (en) Head chip, liquid jet head and liquid jet recording device
JP2004001366A (en) Liquid ejection head and liquid ejector
JP2001277499A (en) Ink jet recording head
JP4595659B2 (en) Droplet ejecting apparatus and manufacturing method thereof
JP6213815B2 (en) Droplet discharge head and image forming apparatus
JP2001246745A (en) Ink-jet recording head
JP2009051081A (en) Droplet discharge head, integrated droplet discharge head unit, and image forming apparatus
JP4326772B2 (en) Droplet discharge head, ink cartridge, and ink jet recording apparatus
JP2002292870A (en) Ink jet recording head
JP2004167951A (en) Liquid jet head, manufacturing method for the same, ink cartridge, and inkjet recorder
JP2004175038A (en) Ink discharge device and method for manufacturing the same
JP2005153243A (en) Liquid jetting head, its manufacturing method and liquid jetting apparatus
CN112123939B (en) Liquid ejection head, method of manufacturing liquid ejection head, and liquid ejection apparatus
JPH0957966A (en) Ink jet head and ink jet recording apparatus
US11173714B1 (en) Piezoelectric printing device with vias through piezoelectric plate
JP2004174950A (en) Ink jet recording head
JP7193334B2 (en) HEAD CHIP, LIQUID JET HEAD, LIQUID JET RECORDING APPARATUS, AND HEAD CHIP MANUFACTURING METHOD
JP2006082448A (en) Liquid droplet discharging head, ink cartridge, image recording apparatus and method for manufacturing liquid droplet discharging head
JP2003226019A (en) Inkjet head and inkjet recorder
JPH05318730A (en) Ink jet head
JP2002321361A (en) Ink jet recording head
JP3638477B2 (en) Inkjet printer head