JP2013144466A - Liquid ejection device, and method for manufacturing the same - Google Patents

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Inventor
Isao Suzuki
伊左雄 鈴木
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Toshiba Tec Corp
東芝テック株式会社
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    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, e.g. INK-JET PRINTERS, THERMAL PRINTERS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2202/00Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
    • B41J2202/01Embodiments of or processes related to ink-jet heads
    • B41J2202/10Finger type piezoelectric elements

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid ejection device which can form a reversely tapered nozzle without preventing laser beam from hitting a protective film on a wall surface of a pressure chamber, and thus can satisfactorily eject ink while preventing the protective film from being damaged, and to provide a method for manufacturing the liquid ejection device.SOLUTION: Each nozzle 4 of a nozzle plate 3 has a circle opening on a surface side of the nozzle plate 3, and has an oval opening on a back surface of the nozzle plate 3. A longitudinal direction of the oval opening corresponds to a direction in which liquid flows in each pressure chamber 6.

Description

この発明は、例えばインクジェット方式のプリンタなどに用いられる液体吐出装置およびその製造方法に関する。 The present invention relates to, for example, a liquid ejection apparatus and a manufacturing method thereof, for use such as inkjet printers.

インクジェット方式のプリンタなどに用いられる液体吐出装置いわゆるインクジェットヘッドは、インク吐出用の複数のノズルが形成されたノズルプレート、このノズルプレートの裏面側において各ノズルと対応する位置にそれぞれ形成された圧力室、これら圧力室にインク吐出用の圧力を加える複数の駆動部などを有する。 Liquid ejecting apparatus called an inkjet head used in an ink jet system printer, the nozzle plate having a plurality of nozzles for ejecting ink are formed, the pressure chamber formed at positions corresponding to the respective nozzles in the back surface side of the nozzle plate , having a like plurality of driving units applying pressure for discharging ink thereto pressure chamber. 各駆動部は、各ノズルの相互間にそれぞれ壁状に設けられ、各圧力室の周面となる電極、およびこれら電極への電圧の印加により動作して各圧力室にインク吐出用の圧力を加える圧電部材からなる。 Each driving portion is provided respectively in a wall shape between one another of each nozzle, the electrode becomes a peripheral surface of each pressure chamber, and a pressure for ink ejection to the pressure chambers operated by applying a voltage to the electrodes a piezoelectric member for applying.

各ノズルはノズルプレートの表面から裏面にかけて形成された挿通孔である。 Each nozzle is insertion holes formed toward the rear surface from the surface of the nozzle plate.

このようなインクジェットヘッドにおいて、各ノズルの形状はインクの吐出に大きな影響を与えるものであり、その点を考慮し、ノズルプレートの表面側の開口よりも裏面側の開口が大きい逆テーパー状の挿通孔をノズルとして用いるものがある(例えば特許文献1)。 In such an ink jet head, the shape of each nozzle is a major impact on the ejection of the ink, in consideration of this point, the back surface side insertion opening is large reverse tapered than the opening on the surface side of the nozzle plate it is to use the holes as the nozzle (for example, Patent Document 1). このノズルを採用することにより、インクの良好な吐出が可能となる。 By adopting this nozzle, it is possible to good ejection of ink.

特開2000−218802号公報 JP 2000-218802 JP

インクジェットヘッドにおいて、ノズルプレートの各ノズルをレーザビームの照射によって形成する場合、ノズルプレートの裏面側に各圧力室が形成されている状態でレーザビームが照射されると、ノズルプレートを通過した後のレーザビームが圧力室内で拡がって圧力室の壁面に当たってしまう。 In the inkjet head, when forming each nozzle of the nozzle plate by irradiation of a laser beam, in a state where the rear surface side of the nozzle plate each pressure chamber is formed when the laser beam is irradiated, after passing through the nozzle plate the laser beam will hit the walls of the pressure chambers spread in the pressure chamber.

圧力室の周面である壁面および底面は電極によって形成されるが、その電極はインクによる腐食等を防ぐため、保護膜たとえば絶縁膜によって被覆される。 Although walls and bottom a peripheral surface of the pressure chamber is formed by the electrode, the electrode for preventing corrosion by the ink, is covered by a protective film, for example an insulating film. この保護膜にレーザビームが当たると、保護膜が損傷してしまう。 When the laser beam strikes the protective film, the protective film is damaged.

この発明は、上記の事情を考慮したもので、その目的は、レーザビームが圧力室の壁面の保護膜に当たることなく逆テーパー状のノズルを形成することができ、これにより保護膜の損傷を防ぎながらインクの良好な吐出が可能な液体吐出装置およびその製造方法を提供することである。 The present invention, in consideration of the above circumstances, and its object may be a laser beam to form a reverse tapered nozzle without impinging on the protective film of the wall of the pressure chamber, thereby preventing damage to the protective film while it is possible to provide a good ejection capable liquid ejecting apparatus and a manufacturing method thereof of the ink.

この発明の請求項1に係る発明の液体吐出装置は、ノズルプレートと、このノズルプレートに設けられた液体吐出用の複数のノズルと、前記ノズルプレートの裏面側において前記各ノズルの配列方向に沿って且つ各ノズルの相互間にそれぞれ壁状に設けられ、前記各ノズルの配列方向と直交する方向に液体が流れる圧力室を同各ノズルと対応する位置にそれぞれ形成するとともに、これら圧力室の周面となる電極およびこれら電極への電圧の印加により動作して前記各圧力室に液体吐出用の圧力を加える圧電部材からなる複数の駆動部と、これら駆動部の各電極上に設けられた保護膜とを備える。 Liquid ejection apparatus of the invention according to claim 1 of the present invention, a nozzle plate, a plurality of nozzles for a liquid discharge provided in the nozzle plate, the arrangement direction of the nozzles at the rear surface side of the nozzle plate and respectively provided in a wall shape between one another each using a nozzle, a pressure chamber through which the liquid flows in the direction orthogonal to the arrangement direction of the respective nozzles so as to form respectively at positions corresponding to the respective nozzles, the peripheral of the pressure chamber a plurality of drive portions of piezoelectric member operated by applying a voltage to the surface to become electrodes and the electrodes apply a pressure for liquid discharge in the respective pressure chambers, the protection provided on the respective electrodes of the driver and a film. そして、前記各ノズルが、前記ノズルプレートの表面側の開口が円形で、前記ノズルプレートの裏面側の開口が楕円形で、その楕円形の開口の長手方向が前記各圧力室における液体の流れ方向と一致とともに、その楕円形の開口の短手方向の長さが同方向における前記各圧力室の幅より小さい。 Then, each nozzle, an opening surface side circular of the nozzle plate, wherein the back side of the opening is oval nozzle plate, the flow direction of the liquid in the longitudinal direction of the respective pressure chambers of the opening of the oval match with the smaller its length in the lateral direction of the oval openings of the respective pressure chambers in the same direction width.

請求項11に係る発明の液体吐出装置の製造方法は、請求項1ないし請求項9のいずれかに係る発明の液体吐出装置において、円形の光通過孔を有する第1マスク、および楕円形の光通過孔を有する第2マスクを用意し、裏面側に前記各圧力室が形成された状態の前記ノズルプレートに対し、ノズル形成用のレーザビームを前記第1マスク、前記第2マスク、および投影レンズを順に通して照射することにより、前記各ノズルを形成する。 Method of manufacturing a liquid ejection apparatus of the invention according to claim 11 is the liquid ejecting apparatus of the invention according to any one of claims 1 to 9, a first mask having a circular light passage hole, and the elliptical light providing a second mask having a passage hole, wherein the back surface side with respect to the nozzle plate in a state in which the pressure chambers are formed, wherein a laser beam nozzle forming the first mask, the second mask, and a projection lens the by irradiating through in order to form the respective nozzle.

この発明は、液体吐出装置およびその製造方法によれば、レーザビームが圧力室の壁面の保護膜に当たることなく、逆テーパー状のノズルを形成することができる。 The present invention, according to the liquid ejection device and a manufacturing method thereof, capable of laser beam without striking the protective film of the wall of the pressure chamber, forming a reverse tapered nozzle. これにより、保護膜の損傷を防ぎながら、インクの良好な吐出が可能となる。 Thus, while preventing damage to the protective film, it is possible to good ejection of ink.

この発明の一実施形態のインクジェットヘッドの外観を示す斜視図。 Perspective view showing an appearance of an ink jet head of an embodiment of the present invention. 図1のA−A線に沿う断面を矢印方向に見た図。 View in the direction of the arrow a cross section along the line A-A of FIG. 図1のB−B線に沿う断面を矢印方向に見た図。 View in the direction of the arrow a cross section along the line B-B of FIG. 一実施形態におけるレーザビームの照射によるノズル形成に際してのレーザビームの経路を楕円形状の長手方向に沿って見た図。 Figure the path of the laser beam as viewed in the longitudinal direction of the elliptical shape of the time the nozzle formation by irradiation with a laser beam in an embodiment. 一実施形態におけるレーザビームの照射によるノズル形成に際してのレーザビームの経路を楕円形状の短手方向に沿って見た図。 Figure the path of the laser beam taken along the lateral direction of the elliptic upon the nozzle formation by irradiation with a laser beam in an embodiment. 一実施形態におけるレーザビームの照射に際して用いる部材の変形例を示す図。 Diagram showing a modification of the member used upon irradiation of the laser beam in one embodiment. 図6の部材により形成されるノズル形状の他の例を参考として示す図。 It shows another example of a nozzle shape formed by members of Figure 6 as a reference.

以下、この発明の一実施形態について図面を参照して説明する。 It will be described below with reference to the accompanying drawings, an embodiment of the present invention.
図1に示すように、基板1の各辺に沿って枠板2が立設され、これら枠板2の上にノズルプレート(オリフィスプレートともいう)3が支持されている。 As shown in FIG. 1, the frame plate 2 is erected along each side of the substrate 1, (also referred to as an orifice plate) nozzle plate on these frame plates 2 3 are supported. ノズルプレート3には、インク吐出用(液体吐出用)の複数のノズル4が所定間隔で一列に形成されている。 The nozzle plate 3, a plurality of nozzles 4 of the ink ejection (for a liquid discharge) is formed in a line at predetermined intervals. この図1のA−A線に沿う断面を図2に示し、B−B線に沿う断面を図3に示している。 Shows a section along the line A-A of FIG. 1 in FIG. 2 shows a section along the line B-B in FIG. 3.

すなわち、ノズルプレート3の裏面側において、各ノズル4の配列方向に沿って、かつ各ノズル4の相互間に、それぞれ壁状の複数の駆動部5が設けられている。 That is, the back surface side of the nozzle plate 3, in the arrangement direction of the nozzles 4, and the mutual each nozzle 4, a plurality of drive unit 5 walled respectively provided. これら駆動部5は、各ノズル4の配列方向と直交する方向に液体が流れる圧力室6を各ノズル4と対応する位置にそれぞれ形成するとともに、これら圧力室6の周面(壁面および底面)となる電極7およびこれら電極7への電圧の印加により動作して各圧力室6にインク吐出用の圧力を加える一対の圧電素子(圧電部材)8a,8bからなり、ノズルプレート3の裏面に接着剤により貼り付けられている。 These drive unit 5, together with the pressure chamber 6 through which the liquid flows in the direction orthogonal to the arrangement direction of the nozzles 4 are formed respectively at positions corresponding to the nozzles 4, the circumferential surfaces of the pressure chambers 6 (the walls and bottom) comprising electrodes 7 and a pair of piezoelectric elements (piezoelectric element) to apply pressure for ink ejection operating in the pressure chamber 6 by application of voltage to the electrodes 7 8a, consists 8b, the adhesive on the back surface of the nozzle plate 3 It is attached by.

そして、各電極7が絶縁膜(保護膜)9で被覆されている。 Each electrode 7 is covered with an insulating film (protective film) 9. この被覆により、インクによる各電極7の腐食等が防止される。 This coating, corrosion of the electrodes 7 by the ink can be prevented.

上記圧電素子8a,8bは、例えばPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)素子であり、分極方向(図示矢印方向)が互いに対向する状態に重ね合わされている。 The piezoelectric element 8a, 8b is, for example, PZT is (lead zirconate titanate) element, is superimposed on the state of the polarization direction (arrow direction) are opposite to each other. この圧電素子8a,8bの動作により、圧力室6の側壁が図示二点鎖線で示すように屈曲し、これに伴い、圧力室6にインク吐出用の圧力が加わる。 The piezoelectric element 8a, the operation of 8b, the side walls of the pressure chamber 6 is bent as shown in the illustrated two-dot chain line, with this, the pressure for discharging ink is applied to the pressure chamber 6.

また、基板1、枠板2、ノズルプレート3で囲まれる空間が、各圧力室6に連通する液室10となっている。 The substrate 1, the frame plate 2, the space surrounded by the nozzle plate 3, and has a liquid chamber 10 communicating with the pressure chambers 6. さらに、インクを液室10へ供給するための複数の供給口11、および液室10内の液体を排出するための複数の排出口12が、各圧力室6における液体の流れ方向に沿ってその各圧力室6を挟む位置に、それぞれ設けられている。 As a further plurality of supply ports 11 for supplying ink to the liquid chamber 10, and the liquid chamber plurality of discharge ports 12 for discharging the liquid in the 10, along the flow direction of the liquid in the pressure chambers 6 at positions sandwiching the respective pressure chambers 6, it is provided. 各供給口11から液室10に流入するインクが各圧力室6を経て各排出口12に流れる様子を図2に破線で示している。 Each ink from the supply port 11 flows into the liquid chamber 10 is shows a state flowing in the discharge port 12 via the respective pressure chambers 6 in FIG. 2 by broken lines.

このようなインクジェットヘッドにおいて、各ノズル4として、ノズルプレート3の表面側の開口よりも裏面側の開口が大きい逆テーパー状の挿通孔が採用されている。 In such an ink jet head, as the nozzles 4, the reverse tapered insertion hole is larger opening on the back side is employed than the opening on the surface side of the nozzle plate 3. この逆テーパー状の挿通孔の採用により、インクの良好な吐出が可能となっている。 By adopting the reverse tapered insertion hole, and can have good ejection of ink.

とくに、ノズルプレート3の表面側の開口が直径L0の円形で、ノズルプレート3の裏面側の開口が表面側の開口より大きい面積の楕円形となっている。 In particular, a circular opening having a diameter L0 of the surface side of the nozzle plate 3, the opening of the back side of the nozzle plate 3 is in the elliptical area larger than the opening surface side. この楕円形の開口は、短手方向の長さがL1(>L0)、長手方向の長さがL2(>L1)で、とくに長手方向が圧力室6におけるインクの流れ方向と一致している。 Opening of the oval, the length of the short direction L1 (> L0), the length of the longitudinal direction L2 (> L1), in particular the longitudinal direction coincides with the direction of flow of the ink in the pressure chamber 6 .

このように、ノズルプレート3の裏面側における各ノズル4の開口が楕円形で、その楕円形の長手方向が圧力室6におけるインクの流れ方向と一致していることにより、液室10から圧力室6に流れるインクがその楕円形状に沿ってノズル4の開口にスムーズに効率よく流れ込む。 Thus, at the opening of each nozzle 4 is oval on the back side of the nozzle plate 3, by the longitudinal direction of the oval coincides with the direction of flow of the ink in the pressure chamber 6, the pressure chamber from the liquid chamber 10 ink flowing to 6 flows smoothly efficiently opening of the nozzle 4 along the elliptical shape. 吐出されずにノズル4から流れ出る残りのインクも、開口から楕円形状に沿ってスムーズに効率よく流れ出る。 The remaining ink flows out from the nozzle 4 without being discharged even flows smoothly and efficiently along from the opening in an elliptical shape.

したがって、各ノズル4を逆テーパー状の挿通孔としたことによるインクの吐出性能をさらに向上させることができる。 Therefore, the ink ejection performance due to the respective nozzles 4 and inverse tapered insertion hole can be further improved. また、圧電素子8a,8bの振動に伴ってインク中に図2に示すような気泡Xが発生しても、その気泡Xは各ノズル4の開口内に滞留することなく開口の楕円形状に沿って速やかに排出される。 The piezoelectric element 8a, also bubbles X as shown in FIG. 2 is generated in the ink in accordance with the vibration of 8b, the bubbles X is along the elliptical shape of the opening without staying in the openings of the nozzles 4 It is rapidly discharged Te. これにより、各ノズル4から吐出されるインクに不要な気泡Xが混じることがなくなり、インクによる例えば印字性能の向上が図れる。 This prevents the ink unwanted bubbles X discharged from each nozzle 4 is mixed, can be improved by for example printing performance ink.

一方、各ノズル4は、図4および図5に示すように、ノズルプレート3が基板1および枠板2に取り付けられ、かつノズルプレート3の裏面側に各圧力室6が形成された状態で、そのノズルプレート3の表面側から照射されるレーザビームYにより形成される。 On the other hand, each nozzle 4, as shown in FIGS. 4 and 5, in a state where the nozzle plate 3 is attached to the substrate 1 and the frame plate 2, and the pressure chambers 6 on the back side of the nozzle plate 3 is formed, It is formed by the laser beam Y emitted from the surface side of the nozzle plate 3.

すなわち、円形の光通過孔21aを有する第1マスク21、および楕円形の光通過孔22aを有する第2マスク22が用意され、ノズルプレート3の表面に対し、ノズル形成用のレーザビームYがその第1マスク21、第2マスク22、および投影レンズ23を順に通して照射される。 That is, the first mask 21 has a circular light passage hole 21a, and the second mask 22 is provided with a light passing hole 22a of the oval, to the surface of the nozzle plate 3, the laser beam Y of nozzle formation thereof the first mask 21 is illuminated through a second mask 22, and a projection lens 23 in this order. この照射により、ノズルプレート3にノズル4の挿通孔が形成される。 The irradiation, insertion hole of the nozzle 4 is formed in the nozzle plate 3.

この形成に際し、ノズルプレート3を通過した後のレーザビームYが圧力室6内で拡がるが、その拡がりは開口の楕円形の長手方向に沿って図4のように大きくなるものの、短手方向では図5のようにそれほど大きくならない。 Upon this formation, the laser beam Y which has passed through the nozzle plate 3 is expanded in the pressure chamber 6, although the spread increases as shown in Figure 4 along the longitudinal direction of the oval opening, in the short side direction It does not become so large as shown in FIG. 5.

図4のように、レーザビームYの拡がりが楕円形状の長手方向に沿って大きくなっても、その拡がりの先に圧力室6の壁面は存在しない。 As shown in FIG. 4, even if the spread of the laser beam Y increases along the longitudinal direction of the elliptical shape, the wall of the pressure chamber 6 above the spread does not exist. 図5のように、開口の楕円形の短手方向に沿ってレーザビームYの拡がりがそれほど大きくならない場合は、レーザビームYが圧力室6の壁面の絶縁膜9に届かない。 As shown in FIG. 5, if the divergence of the laser beam Y along the lateral direction of the oval opening is not so large, the laser beam Y does not reach the insulating film 9 of the wall of the pressure chamber 6. レーザビームYが圧力室6の底面の絶縁膜9に届いたとしても、その底面部分ではレーザビームYの強度が十分に低下した状態にある。 Even the laser beam Y has reached the insulating film 9 on the bottom of the pressure chamber 6, at its bottom portion is in a state in which the intensity of the laser beam Y has dropped sufficiently. したがって、レーザビームYによる絶縁膜9の損傷は生じない。 Therefore, there is no damage to the insulating film 9 by the laser beam Y.

また、各駆動部5がノズルプレート3の裏面に接着剤で貼り付けられる際に、図5に示すように、接合部からノズルプレート3の裏面に沿って接着剤Zの食み出しが生じる可能性があるが、その食み出しの方向はノズル4の開口の楕円形の短手方向に対応するので、接着剤Zの食み出しがノズル4の開口領域まで達することはない。 Also, possible when each drive unit 5 is attached by adhesive to the back surface of the nozzle plate 3, as shown in FIG. 5, the protruding from the junction of the adhesive Z along the back surface of the nozzle plate 3 occurs there are sex, because the direction of the protruding corresponds to the lateral direction of the oval opening of the nozzle 4, there is no possibility that protruded adhesive Z reaches the opening area of ​​the nozzle 4. よって、接着剤Zの食み出しが生じても、ノズル4の精度のよい安定した形成が可能となる。 Therefore, even if protruded occurs adhesives Z, accurate stable form of the nozzle 4 becomes possible. この点でも、インクの吐出性能の向上が図れる。 In this respect, thereby improving the ejection performance of the ink.

レーザビームYの照射によるノズル4の他の形成方法として、第1マスク21および第2マスク22に代えて、図6に示す第1アレイレンズ31および第2アレイレンズ32を用いてもよい。 Another method of forming the nozzle 4 by laser beam irradiation Y, instead of the first mask 21 and second mask 22 may be used first array lens 31 and the second array lens 32 shown in FIG. 第1アレイレンズ31は楕円形の非遮蔽部31aを有し、第2アレイレンズ32は非遮蔽部を有していない。 The first array lens 31 has a non-shielding portion 31a of the oval, the second array lens 32 has no non-shielding portion. なお、第1アレイレンズ31が図7のような矩形の非遮蔽部31bを有している場合には、楕円形でなく、矩形の開口が形成されることになる。 When the first array lens 31 has a rectangular unshielded portion 31b as shown in FIG. 7, not the oval, so that the rectangular openings are formed.

なお、上記実施形態では、吐出する液体がインクである場合を例に説明したが、インクに限らず、液晶や半導体を製造するための溶液を吐出する場合についても、同様に実施可能である。 In the above embodiment, a case liquid to be discharged is ink has been described as an example, not limited to the ink, a case of discharging the solution for producing the liquid crystal or a semiconductor can also be performed in the same manner. また、各ノズル4の列が1列の場合について説明したが、各ノズル4の列が複数列あって、しかも各ノズル4の位置が各ノズル列の相互間で千鳥状に配列されている場合についても、同様に実施可能である。 Also, if the column of the nozzle 4 has been described for the case of one row, the rows of the nozzles 4 is a plurality of rows, moreover the positions of the nozzles 4 are arranged in a staggered between each other of the nozzle rows for it can also be performed in the same manner. その他、この発明は上記実施形態に限定されるものではなく、用紙を変えない範囲で種々変形実施可能である。 Other, the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications may be implemented within the scope not changing the sheet.

1…基板、2…枠板、3…ノズルプレート、4…ノズル、5…駆動部、6…圧力室、7…電極、8a,8b…圧電素子(圧電部材)、9…絶縁膜(保護膜)、10…液室、11…供給口、12…排出口、21…第1マスク、21a…光通過孔、22…第2マスク、22a…光通過孔、23…投影レンズ、23a…光通過孔、31…第1アレイレンズ、31a…非遮蔽部、32…第2アレイレンズ 1 ... substrate, 2 ... frame plate, 3 ... nozzle plate, 4 ... nozzle, 5 ... drive unit, 6 ... pressure chamber, 7 ... electrode, 8a, 8b ... piezoelectric element (piezoelectric element), 9: insulating film (protective film ), 10 ... liquid chamber, 11 ... inlet, 12 ... outlet, 21 ... first mask, 21a ... light transmitting hole, 22 ... second mask, 22a ... light transmitting hole, 23 ... projection lens, 23a ... light passage hole, 31 ... first array lens, 31a ... unshielded portion, 32 ... second array lens

この発明の請求項1に係る発明の液体吐出装置は、ノズルプレートと、このノズルプレートに設けられた液体吐出用の複数のノズルと、前記ノズルプレートの裏面側において前記各ノズルの配列方向に沿って且つ各ノズルの相互間にそれぞれ壁状に設けられ、前記各ノズルの配列方向と直交する方向に液体が流れる圧力室を同各ノズルと対応する位置にそれぞれ形成するとともに、これら圧力室の周面となる電極およびこれら電極への電圧の印加により動作して前記各圧力室に液体吐出用の圧力を加える圧電部材からなる複数の駆動部と、これら駆動部の各電極上に設けられた保護膜と、前記各圧力室に連通する液室と、基板と、この基板上に設けられ、前記ノズルプレートを支持しながら、その基板およびノズルプレートと共に前記液室を Liquid ejection apparatus of the invention according to claim 1 of the present invention, a nozzle plate, a plurality of nozzles for a liquid discharge provided in the nozzle plate, the arrangement direction of the nozzles at the rear surface side of the nozzle plate and respectively provided in a wall shape between one another each using a nozzle, a pressure chamber through which the liquid flows in the direction orthogonal to the arrangement direction of the respective nozzles so as to form respectively at positions corresponding to the respective nozzles, the peripheral of the pressure chamber a plurality of drive portions of piezoelectric member operated by applying a voltage to the surface to become electrodes and the electrodes apply a pressure for liquid discharge in the respective pressure chambers, the protection provided on the respective electrodes of the driver a film, a liquid chamber communicating with the respective pressure chambers, and a substrate, provided on the substrate, while supporting the nozzle plate, said liquid chamber with its substrate and the nozzle plate 成する枠板と、前記基板に形成され、液体を前記液室へ供給するための供給口と、前記基板に形成され、前記液室内の液体を排出するための排出口と、を備える。 A frame plate which formed, is formed on the substrate, a supply port for supplying liquid to the liquid chamber, is formed on the substrate, and a discharge port for discharging the liquid in the liquid chamber. そして、前記各ノズルが、前記ノズルプレートの表面側の開口が円形で、前記ノズルプレートの裏面側の開口が楕円形で、その楕円形の開口の長手方向が前記各圧力室における液体の流れ方向と一致とともに、その楕円形の開口の短手方向の長さが同方向における前記各圧力室の幅より小さく且つ前記楕円形の開口の長手方向は液体が前記供給口から前記液室に流入し前記圧力室を経て前記排出口に流れる方向と一致する Then, each nozzle, an opening surface side circular of the nozzle plate, wherein the back side of the opening is oval nozzle plate, the flow direction of the liquid in the longitudinal direction of the respective pressure chambers of the opening of the oval flows into the liquid chamber coincides with, the longitudinal direction of the liquid the supply port of the length in the lateral direction of the oval opening of and the oval the rather smaller than the width of each pressure chamber in the same direction the opening and through to the pressure chamber matches the direction of flow to the outlet.

Claims (12)

  1. ノズルプレートと、 And the nozzle plate,
    このノズルプレートに設けられた液体吐出用の複数のノズルと、 A plurality of nozzles for a liquid discharge provided in the nozzle plate,
    前記ノズルプレートの裏面側において前記各ノズルの配列方向に沿って且つ各ノズルの相互間にそれぞれ壁状に設けられ、前記各ノズルの配列方向と直交する方向に液体が流れる圧力室を同各ノズルと対応する位置にそれぞれ形成するとともに、これら圧力室の周面となる電極およびこれら電極への電圧の印加により動作して前記各圧力室に液体吐出用の圧力を加える圧電部材からなる複数の駆動部と、 Wherein the back surface side of the nozzle plate respectively provided in a wall shape between one another of each nozzle and along the arrangement direction of the nozzles, the same each nozzle the pressure chamber in the direction orthogonal to the arrangement direction of the nozzles through which the liquid flows and thereby forming positions corresponding to a plurality of drive composed of a piezoelectric member for applying the pressure of the liquid discharge to the working pressure chambers by applying a voltage to peripheral surface and comprising electrodes and these electrodes thereof the pressure chamber and parts,
    これら駆動部の各電極上に設けられた保護膜とを備え、 And a protective film provided on each electrode of the driving portion,
    前記各ノズルは、前記ノズルプレートの表面側の開口が円形で、前記ノズルプレートの裏面側の開口が楕円形で、その楕円形の開口の長手方向が前記各圧力室における液体の流れ方向と一致するとともに、その楕円形の開口の短手方向の長さが同方向における前記各圧力室の幅より小さい、 Wherein each nozzle is an opening on the surface side is circular the nozzle plate, wherein the back side of the opening is oval nozzle plate, matching the longitudinal direction of the opening of the elliptical to the flow direction of the liquid in the pressure chambers to together, the width is smaller than in the pressure chamber length in the lateral direction of the opening of the oval in the same direction,
    ことを特徴とする液体吐出装置。 A liquid discharge apparatus characterized by.
  2. 前記各ノズルは、前記ノズルプレートの表面側から照射されるレーザビームにより形成されることを特徴とする液体吐出装置。 Wherein each nozzle, the liquid ejection apparatus characterized by being formed by a laser beam irradiated from the surface side of the nozzle plate.
  3. 前記各駆動部の圧電部材は、分極方向が互いに対向する状態に重ね合わされた一対の圧電素子であることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出装置。 The piezoelectric member of each drive unit, a liquid ejecting apparatus according to claim 1, characterized in that the polarization direction is a pair of piezoelectric elements superimposed in a state facing each other.
  4. 前記各駆動部の電極は、前記各圧力室の壁面および底面を成すことを特徴とする請求項1に記載の液体吐出装置。 The electrode of each drive unit, a liquid ejecting apparatus according to claim 1, characterized in that forms a wall surface and a bottom surface of each of the pressure chambers.
  5. 前記保護膜は、前記各電極を被覆する絶縁膜であることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出装置。 The protective layer, a liquid ejecting apparatus according to claim 1, wherein an insulating film covering each electrode.
  6. 前記各駆動部は、前記ノズルプレートの裏面に、接着剤により貼り付けられていることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出装置。 Wherein each of the drive unit, on the back surface of the nozzle plate, a liquid ejecting apparatus according to claim 1, characterized in that attached by an adhesive.
  7. 供給される液体を前記各圧力室に通して排出する液室、をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出装置。 Liquid ejecting apparatus according to claim 1, further comprising a liquid chamber, for discharging through the liquid supplied to the respective pressure chambers.
  8. 基板と、 And the substrate,
    この基板上に設けられ、前記ノズルプレートを支持しながら、その基板およびノズルプレートと共に前記液室を形成する枠板と、 Provided on the substrate, while supporting the nozzle plate, a frame plate to form the liquid chamber with its substrate and the nozzle plate,
    前記基板に形成され、液体を前記液室へ供給するための供給口と、 Is formed on the substrate, a supply port for supplying liquid to the liquid chamber,
    前記基板に形成され、前記液室内の液体を排出するための排出口と、 Is formed on the substrate, and a discharge port for discharging the liquid in the liquid chamber,
    をさらに備えることを特徴とする請求項7に記載の液体吐出装置。 Liquid ejecting apparatus according to claim 7, further comprising a.
  9. 前記供給口および前記排出口は、前記各圧力室における液体の流れ方向に沿って同各圧力室を挟む位置にそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項7に記載の液体吐出装置。 The supply port and the discharge port, a liquid ejecting apparatus according to claim 7, characterized in that are provided at the positions sandwiching the same respective pressure chambers along the flow direction of the liquid in the respective pressure chambers.
  10. 前記液体は、インクであることを特徴とする請求項1ないし請求項9のいずれかに記載の液体吐出装置。 The liquid, the liquid ejecting apparatus according to any one of claims 1 to 9, characterized in that an ink.
  11. 前記請求項1ないし請求項9のいずれかに記載の液体吐出装置において、円形の光通過孔を有する第1マスク、および楕円形の光通過孔を有する第2マスクを用意し、裏面側に前記各圧力室が形成された状態の前記ノズルプレートに対し、ノズル形成用のレーザビームを前記第1マスク、前記第2マスク、および投影レンズを順に通して照射することにより、前記各ノズルを形成することを特徴とする液体吐出装置の製造方法。 A liquid ejecting apparatus according to any one of the claims 1 to 9, providing a second mask having a first mask, and oval light transmitting hole having a circular light passage hole, wherein the back surface side with respect to the nozzle plate in a state in which the pressure chambers are formed, said first mask with a laser beam for the nozzle formation, by irradiating the second mask, and a projection lens through in order to form the respective nozzle method of manufacturing a liquid discharge apparatus characterized by.
  12. 前記液体は、インクであることを特徴とする請求項11に記載の液体吐出装置の製造方法。 The liquid, method for manufacturing a liquid discharge apparatus according to claim 11, characterized in that the ink.
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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001277499A (en) * 2000-03-30 2001-10-09 Kyocera Corp Ink jet recording head
JP2002192734A (en) * 2000-12-25 2002-07-10 Kyocera Corp Ink jet recording head
JP2003080700A (en) * 2001-09-12 2003-03-19 Olympus Optical Co Ltd Ink head
JP2004098579A (en) * 2002-09-11 2004-04-02 Konica Minolta Holdings Inc Ink jet recording method and ink jet recording apparatus
JP2004114434A (en) * 2002-09-25 2004-04-15 Konica Minolta Holdings Inc Inkjet recording head and inkjet recording method
JP2005537155A (en) * 2002-08-30 2005-12-08 ザー・テクノロジー・リミテッド Inkjet printing that uses an elongated pixels

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001277499A (en) * 2000-03-30 2001-10-09 Kyocera Corp Ink jet recording head
JP2002192734A (en) * 2000-12-25 2002-07-10 Kyocera Corp Ink jet recording head
JP2003080700A (en) * 2001-09-12 2003-03-19 Olympus Optical Co Ltd Ink head
JP2005537155A (en) * 2002-08-30 2005-12-08 ザー・テクノロジー・リミテッド Inkjet printing that uses an elongated pixels
JP2004098579A (en) * 2002-09-11 2004-04-02 Konica Minolta Holdings Inc Ink jet recording method and ink jet recording apparatus
JP2004114434A (en) * 2002-09-25 2004-04-15 Konica Minolta Holdings Inc Inkjet recording head and inkjet recording method

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