JP2001264647A - 静電アクチュエータ、スイッチング素子、スイッチングデバイス、画像表示装置、画像表示デバイスおよびそれらの制御方法 - Google Patents
静電アクチュエータ、スイッチング素子、スイッチングデバイス、画像表示装置、画像表示デバイスおよびそれらの制御方法Info
- Publication number
- JP2001264647A JP2001264647A JP2000077169A JP2000077169A JP2001264647A JP 2001264647 A JP2001264647 A JP 2001264647A JP 2000077169 A JP2000077169 A JP 2000077169A JP 2000077169 A JP2000077169 A JP 2000077169A JP 2001264647 A JP2001264647 A JP 2001264647A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- electrode
- holding
- writing
- movable electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Abstract
ルチカラーを表示する面順次方式において適用可能な複
数のメモリ機能を備え、簡易な構成の画像表示デバイス
を提供する。 【解決手段】 上電極7および下電極8の間で可動し、
スイッチング素子である光学素子3を駆動する可動電極
9を備えたエバンセント光スイッチング素子10におい
て、可動電極9に駆動電圧を供給する駆動回路21に加
えて、上電極7および下電極8に書込み電圧および保持
電圧を供給する保持回路65を設ける。書込み電圧Vi
nは、駆動電圧Vdにより可動電極9が動く電圧であ
り、保持電圧Vholdは、駆動電圧Vdによっても可
動電極9が動かない電圧である。したがって、アクチュ
エータ機構6を1つのメモリとして機能させることが可
能となり、駆動回路21に作り込むメモリの数を減らす
ことができる。
Description
光記憶装置、光プリンター、画像表示装置などに適した
光スイッチング素子、その静電アクチュエータ、それを
用いた画像表示装置およびそれらの制御方法に関するも
のである。
知られている。その1つは、プロジェクタなどに多用さ
れている3板方式であり、光の3原色である赤色、緑色
および青色の各々の光に対応して複数の液晶パネルなど
のライトバルブを用意し、各々の色の画像を別々に形成
してスクリーン上に合成してマルチカラーを表現するも
のである。直視型の液晶パネルには3原色のドットを各
々表示できるようになったカラーフィルタ方式が用いら
れている。この方式では、マルチカラーで1つの画素を
表現するのに、表現する色の異なる3つの液晶セルが用
いられ、空間的な混色によりマルチカラーを表現する。
他の1つは、フィールド順次方式あるいは面順次方式、
カラーシーケンシャル方式などと呼ばれるものであり、
色の異なる光(通常は3原色の光)を順番に照射してそ
れぞれの色の画像を表現し、人間の眼の時間的な混色に
よりマルチカラーを表現するものである。
た並列加法混色に比べ、1つのセルあるいはスイッチン
グ素子でマルチカラーを表現できるので高解像度の画像
が得られ、スイッチング素子を駆動するドライバー回路
が小さくなり、さらにカラーフィルタが不要になるので
画像表示装置を小型にでき、高品質の画像を表現するこ
とができる。さらに、各色ごとの照度、輝度あるいは時
間を簡単に調整できるのでカラーバランスの調整も容易
になるなど多くの利点がある。
方式では、色毎に画像を書き換える必要があるので、そ
の色の光を照射する前に、液晶などのライトバルブにそ
の色の画像を書き込む時間をとる必要がある。すなわ
ち、アクティブマトリクスタイプの液晶パネルでは、水
平方向に並んだ液晶セルのデータを水平走査線(アドレ
ス線)毎に書き換える必要があり、1フレーム(画面)
で500本あるいはそれ以上の走査線がある。したがっ
て、ある色の光を当てて画像を表示してから、光をシャ
ッターなどによって遮断し、1フレーム分を書き換えて
から次の色の光を当てるといったオペレーションが必要
である。このため、光の利用効率が低下するのでコンパ
クトで明るい画像を表示する画像表示装置を実現するの
が困難であり、さらに、フリッカーなどの発生しない品
質の良い画像を表示しようとすると、時間的な分解能の
高い制御回路およびライトバルブが必要とされる。これ
に対し、1フレームを複数のフィールドに分けて順番に
色を変えて表示することなども検討されているが、根本
的な解決にはなっていない。
うとすると、いっそう時間的な分解能の高いものが要求
される。これに対し、液晶をライトバルブとして採用し
たのでは応答速度が数ミリ秒程度なので面順次方式で多
諧調の画像を表現することが難しいという問題もある。
いデバイスが求められており、その1つが反射機能ある
いは透過機能を備えた光学素子をアクチュエータでほぼ
平行に動かして入射光を変調するデバイスである。本願
出願人が出願中の、光を全反射して伝達可能な導光部の
全反射面に対しスイッチング部の抽出面を接触させてエ
バネセント光を抽出し、光学素子の1波長程度あるいは
それ以下の微小な動きによって、高速で光を変調制御可
能な光スイッチングデバイスも、その1つである。
グを行う画像表示デバイス(光スイッチングデバイス)
を用いた画像表示装置の一例として、上述した面順次方
式(カラーシーケンシャル方式)のプロジェクタ80の
概略を示してある。このプロジェクタ80は、白色光源
81と、この白色光源81からの光を3原色に分解して
画像表示ユニット(光スイッチングユニット)55の導
光板(光ガイド)1に入射させる回転色フィルタ82
と、各色の光を変調して出射する映像または画像表示ユ
ニット55と、出射された光85を投映する投写用レン
ズ86とを備えている。そして、各色毎の変調された光
85がスクリーン89に投写され、時間的に混色される
ことにより多諧調のマルチカラーの画像が出力される。
プロジェクタ80は、さらに、画像表示ユニット55お
よび回転色フィルタ82を制御してカラー画像を表示す
る制御回路84を備えている。画像表示ユニット55
は、光ガイド1と以下に詳述する画像表示デバイス(光
スイッチングデバイス)50とにより構成されており、
この制御回路84からカラー画像を表示するためのデー
タφなどは画像表示デバイス50に供給される。
0は、光を全反射しながら伝達する光ガイド1に投影用
の光を供給する光源81などと共に光ガイド1から出射
された光を投写するレンズ85などを備えた投射用の光
を入出力する手段と、光ガイド1に供給された投映用の
光を変調する画像表示デバイス50とを備えており、画
像表示デバイス50により光ガイド1から漏出するエバ
ネセント光を制御して画像が表示される。
光)を利用して光を変調する画像表示デバイス(エバネ
セント光スイッチングデバイス)50の概要を示してあ
る。画像表示デバイス50は複数の光スイッチング素子
(光スイッチング機構)10が2次元に配列されたスイ
ッチングデバイス(光スイッチングデバイス)であり、
個々の光スイッチング素子10は、単体では導入された
光2を全反射して伝達可能な導光板(光ガイド)1に接
近および離反して光を変調可能な光学素子(スイッチン
グ部)3と、この光学素子3を駆動するアクチュエータ
6とを備えている。そして、光学素子3の層およびアク
チュエータ6の層がアクチュエータ6を駆動する駆動回
路およびデジタル記憶回路(記憶ユニット)が作りこま
れた半導体基板20の上に積層され、1つの画像表示デ
バイスとして集積化されている。
本例の画像表示デバイス50についてさらに詳しく説明
しておく。個々の光スイッチング素子10をベースに説
明すると、図2の左側に示した光スイッチング素子10
aはオン状態であり、右側に示した光スイッチング素子
10bがオフ状態である。光学素子3は、導波路として
の機能を果たす導光板1の面(全反射面)1aに密着す
る面(接触面または抽出面)3aと、この面3aが全反
射面1aに密着したときに漏れ出たエバネセント波を抽
出して内部で導光板1に対しほほ垂直な方向に反射する
V字型の反射プリズム(マイクロプリズム)4と、この
V字型のプリズム4を支持するサポート構造5とを備え
ている。
動するタイプであり、そのために、光学素子3のサポー
ト構造5と機械的に連結されて光学素子3と共に動く可
動電極9と、この可動電極9を全反射面1aの方向(以
降においては上方または第1の方向)に駆動するように
配置された上電極(第1の電極)7と、この上電極7と
対峙した位置で、可動電極9を全反射面1aと反対側の
方向(以降においては下方または第2の方向)に駆動す
るように配置された下電極(第2の電極)8とを備えて
いる。
および8に電圧を供給して光学素子3を駆動する駆動回
路21が設けられている。たとえば、上電極7を低電位
(接地電位)、下電極8を高電位にバイアスし、可動電
極9に駆動電圧として低電位および高電位を供給するこ
とにより静電力により、光学素子3を全反射面1aに接
する第1の位置と、全反射面1aから離れる第2の位置
にそれぞれ動かすことができる。
ら照明光2が全反射面1aで全反射する角度で供給され
ており、その内部の全ての界面、すなわち、光学素子部
(光スイッチング部)3に面した側1aと、上方の面
(出射面)において光が繰り返し全反射し、導光板1の
内部が光線で満たされる。したがって、この状態で巨視
的には照明光2は導光板1の内部に閉じ込められ、その
中を損失なく伝播している。一方、微視的には、導光板
1の全反射している面1aの付近では、導光板1から光
の波長程度のごく僅かな距離だけ、照明光2が一度漏出
し、進路を変えて再び導光板1の内部に戻るという現象
が起きている。このように面1aから漏出した光を一般
にエバネッセント波と呼ぶ。このエバネッセント波は、
全反射面1aに光の波長程度またはそれ以下の距離で他
の光学部材を接近させることにより取り出すことができ
る。本例の光スイッチング素子10は、この現象を利用
して導光板1を伝達する光を高速で変調、すなわち、ス
イッチング(オンオフ)する。
aでは、光学素子3が導光板1の全反射面1aに接触し
た第1の位置にあるので、光学素子3の面3aによりエ
バネセント波を抽出することができる。このため、光学
素子3のマイクロプリズム4で抽出した光2は角度が変
えられて出射光2aとなる。そして、この出射光2aが
図1に示すプロジェクタ80の投映用の光85として利
用される。一方、光スイッチング素子10bでは光学素
子3が導光板1から離れた第2の位置に動かされる。し
たがって、光学素子3によってエバネセント波は抽出さ
れず、光2は導光板1の内部から出ない。
子は単独でも光をスイッチングできる装置として機能す
るが、図2に示したように、これらを1次元あるいは2
次元方向、さらには3次元に並べて配置することができ
る構成になっている。特に、2次元にマトリクスあるい
はアレイ状に並べて配置することにより、液晶あるいは
DMDと同様に平面的な画像を表示可能な映像デバイス
あるいは画像表示ユニット55を提供することができ
る。そして、エバネセント光を用いた画像表示デバイス
50では、スイッチング部である光学素子3の移動距離
がサブミクロンオーダとなるので、液晶より1桁あるい
はそれ以上応答速度の速い光変調装置として利用でき、
これを用いた高速動作が可能なプロジェクタ80あるい
は直視型の画像表示装置を提供することが可能となる。
さらに、エバネセント光を用いた光スイッチング素子1
0は、サブミクロンオーダの動きで光をほぼ100パー
セントオンオフすることが可能であり、非常にコントラ
ストの高い画像を表現することができる。このため、時
間的な分解能を高くすることが容易であり、高コントラ
ストの画像表示装置を提供できる。
では、駆動回路などが作りこまれた半導体集積基板20
にアレイ状に配置されたアクチュエータ6および光学素
子3が積層された構成の画像表示デバイス50を1チッ
プで提供することが可能である。すなわち、半導体基板
20の上にアクチュエータ6および光学素子3といった
マイクロストラクチャが構築されたマイクロマシンある
いは集積化デバイスである画像表示デバイス50と光ガ
イド1とを組み立てることにより画像表示ユニット55
を供給でき、これを組み込むことにより動作速度が速く
高解像で、さらに、高コントラストの画像を表示できる
プロジェクタを提供できる。
トに合わせて半導体基板20に駆動回路21がアレイ状
あるいはマトリクス状に配置された様子を模式的に示し
てある。これらの駆動回路21には、アドレス線ドライ
バ回路45により、行方向(図4の左右方向)に並んだ
光変調ユニットの駆動回路21を並列に接続したアドレ
ス線44を介してアドレス信号φaが列方向(図3の上
下方向)に順番に供給される。また、データ線ドライバ
回路46により、列方向に並んだ光変調ユニットの駆動
回路21を並列に接続したデータ線41を介して、各々
の駆動回路21のデータが供給される。そして、データ
線41に供給されるデータ信号φdと同期して供給され
るアドレス信号φaにより該当する駆動回路21にデー
タ信号φdがラッチされ、それによってアクチュエータ
6を駆動するための信号が可動電極9に供給される。一
方、各々のスイッチング素子10の上電極7および下電
極8には、電圧供給線47および48を介して低電圧V
gおよび高電圧Vhのバイアス電圧が供給されており、
駆動回路21から可動電極9に供給される駆動電圧によ
りスイッチング部である光学素子3が動き入射光がオン
オフ制御される。
ミングでデータ信号が供給されるまでの間、供給された
データ信号φdをホールドしておく記憶素子が必要とな
る。図4(a)に示した駆動回路21は光スイッチング
素子10と並列に挿入された容量22をサンプルホール
ドとして用いた回路であり、アドレス信号φaによりゲ
ートとなるスイッチング素子23がオンオフ制御され、
適当なタイミングで供給されたデータ信号φdが容量2
2にホールドされる。
式では、色毎に画像を書き換える必要がある。したがっ
て、1フレーム分を書き換えてから次の色の光を当てる
といったオペレーションを省略するには、図4(b)に
示すような2段のメモリが要求される。図4(b)に示
した駆動回路21は、本願出願人により提案されている
2メモリタイプの駆動回路であるが、この駆動回路21
は、いわゆるSRAMの回路形態となるループ接続され
た1組のインバータ24aおよび24bにより、容量2
2に加えてもう1つのメモリが構成されている。したが
って、アドレス信号φaによりデータ線41aおよび4
1bから供給されたデータ信号φdはいったんインバー
タ24aおよび24bにより構成されるメモリにストア
される。その後、フレームの書き換えタイミングなどと
同期して供給される面順次信号φsによりスイッチング
素子25が動作し、メモリにラッチされていたデータ信
号φdがサンプルホールドである容量22と光スイッチ
ング素子10に供給され、データ信号φdにより光スイ
ッチング素子10が駆動される。
路は画像を表示している間に次の画像のデータをラッチ
することが可能であり、画面全体を1クロックで一括し
て書き換えることが可能となる。したがって、上述した
面順次(カラーシーケンシャル)方式によりマルチカラ
ーを表示する画像表示装置においては、光の利用効率が
向上するなどの効果が得られ、明るい高解像度の画像を
表示することができる。
にデータを転送およびラッチするためのスイッチング素
子、さらには、それらを制御するための制御配線を半導
体基板上に配置する必要がある。したがって、スイッチ
ング素子10を微細化するとこれらの素子および配線を
アレンジすることが難しくなる可能性が高い。また、製
造コストをかけて半導体基板に対し微細化ルールを適用
して回路を作り込むことは可能であるとしても、回路が
形成された半導体基板上にアクチュエータおよび光学素
子を製造する際にアクチュエータあるいは光学素子に欠
陥があると、高価な半導体基板が無駄になり画像表示デ
バイスの製造コストが非常に高くなる。したがって、1
つのスイッチング素子あたりに複数のメモリを備えたデ
バイスが面順次方式に対応するためには望ましいことは
明らかであるが、デバイスの小型化および低コスト化と
トレードオフの関係にあり、両者を満足する構成は開示
されていない。
やさずにスイッチング素子の状態を記憶することによ
り、面順次方式に対応でき、さらに小型化および低コス
ト化が可能なスイッチングデバイスおよびこれに適した
静電アクチュエータ、さらには、これらを用いた画像表
示デバイスおよび画像表示装置を提供することを目的と
している。また、これらの静電アクチュエータ、スイッ
チングデバイスおよび画像表示デバイスに適した制御方
法を提供することを目的としている。
ー画像を表示することができるコンパクトで明るい画像
表示装置を提供することを目的としている。
ては、上下の電極に対し、可動電極に駆動電圧が供給さ
れると可動電極が動くレベルの電圧を供給するのに加
え、可動電極に駆動電圧が供給されたときに可動電極が
動かないレベルの電圧を供給できるようにして駆動電圧
が変化しただけでは可動電極が動かずに状態を保持し、
メモリとして機能するようにしている。すなわち、本発
明の静電アクチュエータは、第1の位置、およびこの第
1の位置から離れた第2の位置に移動可能なスイッチン
グ部を電極間に働く静電力により駆動する静電アクチュ
エータであって、スイッチング部を駆動する可動電極
と、この可動電極を第1の位置の方向に駆動するように
配置された上電極と、可動電極を第2の位置の方向に駆
動するように配置された下電極と、可動電極に2レベル
の駆動電圧を供給する駆動手段と、上電極および下電極
に対し、駆動電圧により可動電極がいずれか一方の側に
移動する書込み用の電圧、および駆動電圧により可動電
極がいずれか一方の側から移動しない保持用の電圧を供
給する保持手段とを有することを特徴としている。
御する際は、可動電極に2レベルの駆動電圧を供給する
駆動工程と、上電極および下電極に対し、駆動電圧によ
り可動電極がいずれか一方の側に移動する書込み用の電
圧を供給する書込み工程と、上電極および下電極に対
し、駆動電圧により可動電極がいずれか一方の側から移
動しない保持用の電圧を供給する保持工程とを設けるこ
とができる。このため、保持工程、駆動工程および書込
み工程をそれぞれ重複させながら繰り返す制御を行う
と、静電アクチュエータ自体をメモリとして用いること
ができる。すなわち、保持工程で保持電圧を供給した状
態で、駆動工程を実施し、駆動電圧を変えても可動電極
自体は動かない。したがって、駆動電圧を変えるまえの
状態が保持される。一方、駆動電圧を変えた後に、書込
み工程を行い書込み電圧を供給すると可動電極は駆動電
圧にしたがって動く。したがって、メモリにデータを書
き込むためのゲートがオープンしたような状態となり、
駆動電圧の状態が静電アクチュエータに記憶される。こ
の後、保持工程で保持電圧を供給すると、可動電極の駆
動電圧が変わっても可動電極は動かないので書き込まれ
た状態は保持される。
おいては、上下の電極に供給する電圧を変えることによ
り静電アクチュエータ自身をメモリとして使用すること
ができる。また、可動電極が動かない状態で次のデータ
を可動電極に駆動電圧として供給することができ、書込
み工程で保持電圧を書込み電圧に変えることにより、供
給されたデータに従って可動電極を動かすことができ
る。したがって、画面単位で制御するときに、保持工程
において走査線により順番にデータを供給し、その後の
書込み工程でカラーシーケンシャルのタイミングで供給
されたデータを反映した状態に可動電極を1クロックで
動かすことができる。
は、1つのメモリあるいはサンプルホールドを設けるだ
けで、上述した2つのメモリを備えた駆動回路により制
御されるスイッチング素子と同様に制御することができ
る。さらに、本発明を採用することにより駆動回路に2
つのメモリおよびこれらのメモリにデータを転送するた
めのスイッチ、駆動線が不要となる。したがって、駆動
手段となる回路を極めて簡素化でき、コンパクトにまと
めることができる。さらに、駆動手段をアレイ状などに
並べたデバイスにおいては、その駆動手段に対しメモリ
間でデータを転送する制御を行うための接続回線(走査
線あるいはデータ線)を設ける必要もない。したがっ
て、面順次方式に対応でき、さらに小型化および低コス
ト化が可能な静電アクチュエータを提供できる。
圧とほぼ等しい電圧を採用し、書込み工程では、上下の
電極に各々の異なる電圧を供給することにより可動電極
を駆動電圧により動かすことができる。また、保持用の
電圧としては2レベルの駆動電圧より高いまたは低い電
圧を採用し、書込み工程の後の保持工程では上電極およ
び下電極に同一のレベルの保持用の電圧を供給すること
により可動電極を動かさずにその状態をラッチできる。
アクチュエータにより駆動されるスイッチング部とを組
み合わせることにより、データを転送可能な2つのメモ
リ機能を備えたコンパクトなスイッチング素子を低コス
トで提供することができる。また、スイッチング部が第
1または第2の位置で光を変調するスイッチング素子と
することが可能であり、その1つは、本願出願人が出願
しているエバネセント光を用いた光スイッチング素子で
ある。すなわち、入力された光を全反射して伝達可能な
全反射面を備えた導光部をさらに有し、スイッチング部
は、第1の位置で全反射面から漏出したエバネセント光
を抽出するスイッチング素子に本発明を適用できる。
をアレイ状に配置することにより画像表示ができるスイ
ッチングデバイス(画像表示デバイス)を提供すること
が可能であり、各々の画素を構成するスイッチング素子
に2つのメモリ機能を設けることが極めて簡単になる。
そして、2つのメモリ機能を内蔵するためにサンプルホ
ールドとなる容量あるいはSRAMを1セットだけ駆動
手段の内部に設けるだけでよいので、駆動手段となる回
路構成が簡略化され、コンパクトになり、また、半導体
装置を低コストで提供できる。このため、歩留まりも向
上し、製品コストを下げることができる。そして、画素
毎に2つのメモリ機能を備えたコンパクトな画像表示デ
バイスを提供できる。
状に並んだスイッチング素子の静電アクチュエータに対
し同一タイミングで書込み用の電圧および保持用の電圧
を供給することも可能であり、表示用のデータを供給し
た後に1クロックで全画面の表示を切り替えることが可
能となる。したがって、色毎の光が順番に照射される面
順次表示方式において、色毎の画面の切り替えを瞬時に
行うことが可能となり、光の利用効率を向上でき、明る
い画像を表示することができる。
の静電アクチュエータに対し同一タイミングで書込み用
の電圧および保持用の電圧を供給することも可能とな
る。このような画像表示デバイスは、上記と同様に面順
次表示方式に適用できると共に、さらに、データを供給
するタイミングとは別に走査線毎に画素をセットまたは
リセットするタイミングを設定することが可能である。
したがって、セットまたはリセットするタイミングで画
素の表示時間を規定したり、従来の画像表示デバイスで
は実現できないようなフレキシブルに画素の状態を制御
できる。
の画像表示デバイスに対し投射用の光を入出力する手段
とを有するプロジェクタなどの本発明の係る画像表示装
置を提供することが可能であり、上述したように画像表
示デバイスをコンパクトで低コスト化でき、さらに面順
次表示方式に高速対応するようにできる。したがって、
低コストでコンパクトであり、さらに明るい画像を表示
可能な画像あるいは映像表示装置を提供できる。
施の形態を説明する。図5に、本発明の実施の形態に係
る光スイッチングユニットを模式的に示してある。本例
のスイッチングユニット55は、先に図2を参照しなが
ら説明したものと同様にエバネセント光を採用したユニ
ットであり、導光部1と、スイッチングデバイス50を
備えている。スイッチングデバイス50は、スイッチン
グ素子10が2次元にアレイ状に配置された画像表示デ
バイスであり、各々のスイッチング素子10は、スイッ
チング部である光学素子3と、これを駆動するアクチュ
エータ機構6とが半導体基板20の上に積層された構成
である。
タ機構6を駆動する回路21が形成されており、以下で
はアクチュエータ機構6および駆動回路21を含めてア
クチュエータ60と呼ぶことにする。本例のアクチュエ
ータ機構6は図2を参照しながら説明したように、可動
電極(中間電極)9と、この上下に位置する上電極7お
よび下電極8を備えている。したがって、本例のアクチ
ュエータ60は、駆動回路21によって可動電極9に供
給される駆動電圧で発生する静電力により可動電極9お
よびこれに連結された光学素子3を駆動する静電駆動タ
イプのアクチュエータである。
成および光をオンオフする機構については先に図2に基
づき詳述したので以下では省略する。本例の画像表示デ
バイス50は、駆動回路21に加え、上電極7および下
電極8に供給する電圧を制御する保持回路65を備えて
おり、個々の光学素子3を駆動するアクチュエータ60
を構成する回路の1つとなっている。保持回路65は、
上電極7および下電極8に2種類の電圧(電圧ペア)を
供給する。1つ電圧は書込み電圧であり、駆動回路21
から可動電極9に供給される駆動電圧Vdによって可動
電極9が動くように上電極7および下電極8に異なる値
の適当な電圧を供給する。図2に基づき説明したのと同
じ動きを光学素子3が行うには、駆動電圧Vdが低電位
Vgと高電位Vhに変動するとして、書込み電圧Vin
としては上電極7に低電位Vgを供給し、下電極8には
高電位Vhを供給する。
5から各々の電極に対し保持電圧Vholdが供給され
る。本例において、保持電圧Vholdは、書込み電圧
Vinの高電位Vhより十分に高い高電位Vhhであ
り、この高電位Vhhが上電極7および下電極8に対し
供給される。保持電圧Vholdに対し、可動電極9に
供給された駆動電圧Vdは高くても高電位Vhである。
したがって、これよりも高い電位Vhhを上電極7およ
び下電極8に供給すると、駆動電圧Vdの如何に関わら
ず可動電極9との間に吸引力となる静電力が発生する。
したがって、可動電極9は駆動電圧Vdに関わらず動か
ない。
電圧Vinの低電位Vgよりも十分に低い電位を上電極
7および下電極8に供給するようにしてもよい。駆動電
圧Vdが最も低い場合でも、上電極7および下電極8と
の間に吸引力となる静電力が働く。したがって、この場
合も、可動電極9は駆動電圧Vdの如何に関わらず動か
ない。
み電圧Vinを上電極7および下電極8に供給すると、
可動電極9は駆動電圧Vdの高低にしたがって動く。し
たがって、保持回路65から書込み電圧Vinと保持電
圧Vholdとを交互に上電極7および下電極8に供給
することにより、可動電極9を駆動電圧Vdにしたがっ
て動かしたり、駆動電圧Vdの如何に関わらず、動いた
位置で保持したりすることができる。
ながらさらに詳しく説明する。このチャートでは、簡単
のために書込み電圧Vinおよび駆動電圧Vdの低電位
VgをGで示し、高電位Vhを+で示してある。さら
に、保持電圧Vholdの高電位Vhhを++で示してあ
る。また、視覚的にわかりやすいように、アクチュエー
タ機構6の上電極7、可動電極9および下電極8に供給
されている電圧と動きを模式的に各タイミングで示して
ある。
持回路65から書込み電圧Vinが供給されており、可
動電極9は駆動回路21から供給される駆動電圧Vdに
よって動く。時刻t1では、駆動電圧Vdが高電位Vh
なので可動電極9は上電極7に動く。したがって、光学
素子3のプリズム4は上方(第1の位置)に動き、エバ
ネセント光を抽出すると共に出射方向に反射する。した
がって画素は白表示(オン)になる。
び下電極8に保持電圧Vholdが供給される。可動電
極9は高電圧Vhが供給されているが、上電極7にはさ
らに高い保持電圧Vhhが供給されるので、可動電極9
と上電極7との間には吸引力が働き可動電極9は動かな
い。ただし、上電極7の電位が書込み電圧から保持電圧
に移行するときに可動電極9と同電位となるタイミング
がある。しかしながら、書込み電圧Vinから保持電圧
Vholdへの移行を、可動電極9およびこれに付随し
て動く光学素子3を含めた機械的な応答速度よりも十分
に早く行うことにより可動電極9が動くような事態は発
生しない。
から低電位Vgに切り替わる。すなわち、このタイミン
グで次の画素表示するデータが駆動回路21に書き込ま
れ、駆動回路21から可動電極9に供給される。しかし
ながら、可動電極9が位置している上電極7は保持電圧
Vholdが供給され高電位Vhhになっている。この
ため、可動電極9が低電位Vgになっても吸引力が生ず
ることに変わりはなく、可動電極9は動かない。
極7および下電極8に書込み電圧Vinが供給される
と、上電極7は低電位Vgに、また、下電極8は高電位
Vhになる。したがって、可動電極9と上電極7との間
には斥力が働き,可動電極9は下電極8の方に動く。こ
のため、光学素子3およびプリズム4も可動電極9と共
に下方(第2の位置)に移動する。したがって、プリズ
ム4は光ガイド1から離れエバネセント光は抽出できな
い状態となる。このため、画素は黒色(オフ)になる。
よび下電極8に保持電圧Vholdが供給されると、上
電極7および下電極8が高電位Vhhになる。このタイ
ミングでは、可動電極9は低電位Vgであるので安定し
ており、保持電圧Vholdが供給されても吸引力が作
用するので下電極8から動かない。
ラッチし、駆動電圧Vdが高電位Vhに変わる。しかし
ながら、下電極8には保持電圧Vholdとして高電位
Vhhが供給されているので、可動電極9が高電位Vh
になっても吸引力が働く。したがって、可動電極9は動
かない。
り、保持回路65から上電極7および下電極8に書込み
電圧Vinが供給されると、下電極8が高電位Vhとな
る。このため、可動電極9との間に斥力が働き可動電極
9は駆動電圧Vdにしたがって上電極7の方向に動く。
そして、光スイッチング素子10はオンになる。
おいては保持回路65から書込み電圧Vinに加え、保
持電圧Vholdを上電極7および下電極8に供給する
ことが可能である。そして、保持電圧Vholdを供給
している間は、駆動回路21から可動電極9に供給され
る駆動電圧Vdの如何に関わらず可動電極9の位置をホ
ールドすることができる。すなわち、保持電圧Vhol
dを供給している間は可動電極9の状態を記憶すること
が可能となる。このため、保持電圧Vholdが供給さ
れている間に次のデータを駆動回路21に供給すること
ができ、駆動電圧Vdを可動電圧9にも供給することが
できる。すなわち、本例のアクチュエータ60において
は、駆動回路21を第1のメモリとして使用し、アクチ
ュエータ機構6を第2のメモリとして使用することが可
能であり、第1のメモリから第2のメモリへのデータの
移行を書込み電圧Vinを供給することで行うことがで
きる。
に対し画素単位で保持電圧Vholdおよび書込み電圧
Vinを供給するイメージで図示しているが、光スイッ
チング素子10が2次元にアレイ状に配置されている画
像表示デバイス55においてはライン(走査線)単位あ
るいは画面全体で上電極7および下電極8の電圧を制御
することが可能であり、個々のアクチュエータ60ある
いはスイッチング素子10の面積に保持回路65を作り
込まなくてよい。また、保持電圧Vholdおよび書込
み電圧Vinは、駆動回路21にラッチされたデータを
画素レベルに反映されるタイミングを制御するので、走
査線単位あるいは画面単位で制御することが望ましい。
たスイッチング素子10を2次元にアレイ状に配置し画
像表示デバイス50を構成したときの駆動回路21と、
上電極7および下電極8に電圧を供給する構成の一例を
示してある。本図は先に示した図3に対応するものであ
るが,本例においては、上電極7および下電極8にバイ
アス電圧を供給する電圧供給線47および48を駆動回
路21が横方向に並んだ走査線毎に分離し、保持回路6
5から出力できるようにしている。したがって、本例の
デバイス50では、上電極7および下電極8の電圧を走
査線毎に制御することが可能である。すなわち、走査線
毎に上電極7および下電極8に書込み電圧Vinと保持
電圧Vholdを供給することが可能であり、走査線毎
にスイッチング素子10、すなわち、画素の状態を1ク
ロックでリセットあるいはセットすることができる。も
ちろん、画面全体の画素の状態を1クロックでリセット
あるいはセットすることができる。
ロックで画素の状態をセットあるいはリセットできる画
像表示デバイス50を用いることによりいくつかの非常
に有益な効果が得られる。たとえば、図1に示したプロ
ジェクタ80では、回転色フィルタ82により複数の色
(通常は赤色、緑色および青色)が順番に画像表示ユニ
ット55に入力され、各色毎の画像に変調された光85
が出射される。このため、カラー画像を表示する制御回
路84から画像表示ユニット55に対して、カラー画像
を表示するためのデータφdと、このデータφdを各画
素にラッチするためのアドレス(走査)信号φaが駆動
回路21に供給され、ラッチしたデータで各画素を表示
するための面順次信号φsが保持回路65に供給され
る。さらに、色回転フィルタ82の駆動モータ83には
モータ制御信号が供給されるが、このモータ制御信号と
面順次信号φsを同期することにより、各色の画像を各
色の光が照射されるのほとんど同期して出力でき、照射
時間のロスをほとんどゼロにすることができる。
保持回路65から保持電圧Vholdを出力し、これに
より画像が固定されている間に、パルス状のアドレス信
号φaがアドレス線44を介して列方向に順番に供給さ
れ、それに対応するデータ信号φdがデータ線41によ
り供給される。この結果、1フレーム(画面)分のアド
レス線が走査されると、1フレームのデータが各駆動回
路21にラッチされ、それに対応した駆動電圧がアクチ
ュエータ機構6に供給される。しかしながら、上述した
ように保持電圧Vholdの間はアクチュエータ機構6
は動かない。この際、1フレームを複数のフィールドに
分けて順番に表示する方式が採用されるのであれば、1
フィールド分のデータが記憶される。
持回路65から書込み電圧Vinを出力する。これによ
り、各画素のアクチュエータ機構6はそれぞれの駆動回
路21から供給されている駆動電圧によって動き、次の
画像が表れる。すなわち、次の画面表示に1クロックで
切り替わる。したがって、この画面表示が切り替わるタ
イミングにあわせて色の異なる光を画像表示ユニット5
5に照射あるいは供給することにより、色の異なる画像
を表示することができる。さらに、その色の光が供給さ
れ、その色の画像が表示されている間に、上記と同様に
次の色の画像データがアドレス信号φaにしたがって走
査線の順番に駆動回路21にラッチされる。そして、次
の面順次信号φsにより、画面を構成するすべての駆動
回路21のデータにしたがって次の色の光が照射される
タイミングと同期して画像表示が切り替わる。
では、1クロックで画像を切り替えることができるの
で、色の異なる光を照射するときに、光源をオフにして
それぞれの画像を書き込む時間を確保する必要がない。
さらに、光変調素子として応答速度が液晶より1桁程度
あるいはそれ以上短いESD10を採用しているので、
ほとんど連続して、シャッターなどによって光を遮断す
ることなく、色の異なる光をシーケンシャルに照射する
ことができる。このため、各色の光を順番に照射する面
順次駆動方式において、シャッターなどの余分な機構が
不要となり、さらに、時間的な分解能の非常に高い画像
表示装置を提供することができる。このため、面順次方
式で多諧調のマルチカラー画像を表現することができる
画像表示装置を提供できる。面順次方式を採用すること
により、上述したように、1つの画素を1つの光スイッ
チング素子でマルチカラー表現可能となるので、コンパ
クトで解像度の高い画像表示装置を提供することが可能
である。加えて、このような面順次方式を実現するにあ
たって、各画素を構成するスイッチング素子あるいは駆
動回路に、先に図4(a)を参照しながら説明したよう
なメモリを1つだけ用意して操作するだけでよい。この
ため、本例の画像表示装置においては、非常にコンパク
トで多諧調の画像も表現できる画像表示装置を提供でき
る。
ることができるので、光の利用効率が高く、明るい画像
を表示することができる画像表示装置を提供できる。そ
して、表示中にインタレースあるいはノンインタレース
で画面が書き換えられることがないので、フリッカーな
どの発生がなく、非常に品質の高い画像を表示すること
が可能となる。
単位で保持電圧Vholdおよび書込み電圧Vinを供
給することにより、さらにフレキシブルな画素制御がで
きる。たとえば、1つの色の画像を多数のフレームで構
成する場合、そのフレームを切り替えるタイミングをラ
イン単位で制御することができ、線順次方式と呼ぶこと
ができる画像制御が行える。さらに、そのような制御を
行うために駆動回路にセットあるいはリセット信号を供
給する走査線を設けたり、駆動回路内のセットあるいは
リセットのための回路要素を加える必要がない。したが
って、非常に簡易な構成で、コンパクトで低コストなデ
バイスでありながら、画素のデータの読み込みおよび書
込み、さらには表示のタイミングを自由に制御すること
ができる画像表示デバイスを本発明により提供すること
ができる。
して書込み電圧Vinと保持電圧Vholdを供給する
制御を行うことも可能である。このような制御を行うこ
とによりアクチュエータ自体が保持用のメモリとして機
能するので、画素の状態を維持するための保持容量ある
いはメモリは一切不要となる。したがって、駆動回路2
1をさらに簡略化することができる。
グ用の素子としてESDを用いた例を説明しているが、
静電アクチュエータにより駆動される光学素子あるいは
それを用いたデバイスであれば、本発明を適用すること
ができる。また、本発明は、上下の電極内で可動電極が
駆動される静電アクチュエータを備えたデバイスであれ
ば適用することが可能であり、光変調デバイスに限ら
ず、マイクロバルブなどの他の用途のスイッチングデバ
イスに対しても本発明を適用し、簡易でコンパクトな構
成でスイッチングのタイミングを自由に制御することが
できるデバイスを提供することができる。
は、上電極および下電極の間で可動電極が動くタイプの
静電アクチュエータにおいて、上電極および下電極に対
し、可動電極が動くことができる書込み電圧に加え、可
動電極が固定される保持電圧を供給できるようにしてい
る。したがって、保持電圧を供給することにより、静電
アクチュエータのアクチュエータ機構、すなわち、電極
により構成される駆動機構自体を1つのメモリとして使
用することが可能となり、駆動回路の側に用意するメモ
リを少なくとも1組は削減することが可能となる。
が積層された構成のマイクロデバイスにおいて、マイク
ロアクチュエータの集積度を上げることは重要な課題で
あり、それと共に半導体基板内の駆動回路が占める面積
は削減される。このため、半導体基板側の集積度もさら
に向上する必要が生じ、製造コストがあがると共に歩留
まりが低下する。特に、半導体基板にマクロアクチュエ
ータ、さらにはスイッチングとなる光学素子の層が積層
された構成のデバイスにおいては、各レイアウト層の歩
留まりによって基板となる側が無駄になってしまい、光
学素子層およびアクチュエータ層の歩留まりによって高
価な高集積度の半導体基板のロスが左右される。したが
って、半導体基板の集積度が上げられるとしても、それ
によってコストが大幅に増加すると、製品コストに与え
る影響は非常に大きい。
り、半導体基板側のコストアップなしに、メモリとして
の機能を追加することが可能である。このため、半導体
基板の歩留まりを向上できるだけではなく、アクチュエ
ータ層あるいは光学素子層の歩留まりにともなるロスに
よる影響を最小限に留めることが可能となり、低コスト
で、画素毎にメモリを1つあるいは複数備えた高機能な
スイッチングデバイスを提供することができる。そし
て、本発明に係る光スイッチングデバイス(画像表示デ
バイス)を用いることにより、低コストでコンパクトで
ありながら、明るい高解像度の画像を表示することがで
きる画像表示装置を提供することが可能となる。
ある。
図である。
スの構成を示す図である。
る。
バネセント光スイッチング素子の概要を示す図である。
ミングチャートである。
ング素子をアレイ状に配置した画像表示デバイスの構成
を示す図である。
Claims (23)
- 【請求項1】 第1の位置、およびこの第1の位置から
離れた第2の位置に移動可能なスイッチング部を電極間
に働く静電力により駆動する静電アクチュエータであっ
て、 前記スイッチング部を駆動する可動電極と、 この可動電極を前記第1の位置の方向に駆動するように
配置された上電極と、 前記可動電極を第2の位置の方向に駆動するように配置
された下電極と、 前記可動電極に2レベルの駆動電圧を供給する駆動手段
と、 前記上電極および下電極に対し、前記駆動電圧により可
動電極がいずれか一方の側に移動する書込み用の電圧、
および前記駆動電圧により可動電極がいずれか一方の側
から移動しない保持用の電圧を供給する保持手段とを有
する静電アクチュエータ。 - 【請求項2】 請求項1において前記書込み用の電圧は
前記2レベルの駆動電圧であり、前記保持手段は前記上
電極および下電極に異なるレベルの前記書込み用の電圧
を供給し、 前記保持用の電圧は前記2レベルの駆動電圧より高いま
たは低い電圧であり、前記保持手段は前記上電極および
下電極に同一のレベルの前記保持用の電圧を供給する静
電アクチュエータ。 - 【請求項3】 請求項1において、前記駆動手段は、前
記保持手段が前記保持用の電圧を供給している間に、前
記スイッチング部の次の状態を規定する前記駆動電圧を
供給する静電アクチュエータ。 - 【請求項4】 請求項3において、前記駆動手段は、前
記駆動電圧を保持するメモリを有する静電アクチュエー
タ。 - 【請求項5】 請求項1ないし4のいずれかに記載の静
電アクチュエータと、この静電アクチュエータにより駆
動される前記スイッチング部とを有するスイッチング素
子。 - 【請求項6】 請求項5において、前記スイッチング部
は前記第1または第2の位置で光を変調することができ
るスイッチング素子。 - 【請求項7】 請求項6において、導入された光を全反
射して伝達可能な全反射面を備えた導光部をさらに有
し、 前記スイッチング部は、前記第1の位置で前記全反射面
から漏出したエバネセント光を抽出するスイッチング素
子。 - 【請求項8】 請求項5に記載の複数のスイッチング素
子がアレイ状に配置されているスイッチングデバイス。 - 【請求項9】 請求項6または7に記載の複数のスイッ
チング素子がアレイ状に配置されている画像表示デバイ
ス。 - 【請求項10】 請求項9において、前記保持手段はラ
イン状に並んだ前記スイッチング素子の前記静電アクチ
ュエータに対し同一タイミングで前記書込み用の電圧お
よび保持用の電圧を供給する画像表示デバイス。 - 【請求項11】 請求項9において、前記保持手段はア
レイ状に並んだ前記スイッチング素子の前記静電アクチ
ュエータに対し同一タイミングで前記書込み用の電圧お
よび保持用の電圧を供給する画像表示デバイス。 - 【請求項12】 請求項9ないし11のいずれかに記載
の画像表示デバイスと、この画像表示デバイスに対し投
射用の光を入出力する手段とを有する画像表示装置。 - 【請求項13】 第1の位置、およびこの第1の位置か
ら離れた第2の位置に移動可能なスイッチング部を電極
間に働く静電力により駆動する静電アクチュエータの制
御方法であって、 当該静電アクチュエータは、前記スイッチング部を駆動
する可動電極と、この可動電極を前記第1の位置の方向
に駆動するように配置された上電極と、前記可動電極を
第2の位置の方向に駆動するように配置された下電極と
を有し、 前記可動電極に2レベルの駆動電圧を供給する駆動工程
と、 前記上電極および下電極に対し、前記駆動電圧により可
動電極がいずれか一方の側に移動する書込み用の電圧を
供給する書込み工程と、 前記上電極および下電極に対し、前記駆動電圧により可
動電極がいずれか一方の側から移動しない保持用の電圧
を供給する保持工程とを有する静電アクチュエータの制
御方法。 - 【請求項14】 請求項13において前記書込み用の電
圧は前記2レベルの駆動電圧であり、前記書込み工程で
は前記上電極および下電極に異なるレベルの前記書込み
用の電圧を供給し、 前記保持用の電圧は前記2レベルの駆動電圧より高いま
たは低い電圧であり、前記保持工程では前記上電極およ
び下電極に同一のレベルの前記保持用の電圧を供給する
静電アクチュエータの制御方法。 - 【請求項15】 請求項13において、前記保持工程、
前記駆動工程および前記書込み工程をそれぞれ重複させ
ながら繰り返す静電アクチュエータの制御方法。 - 【請求項16】 第1の位置、およびこの第1の位置か
ら離れた第2の位置に移動可能なスイッチング部を電極
間に働く静電力により駆動するスイッチング素子の制御
方法であって、 当該スイッチング素子は、前記スイッチング部を駆動す
る可動電極と、この可動電極を前記第1の位置の方向に
駆動するように配置された上電極と、前記可動電極を第
2の位置の方向に駆動するように配置された下電極とを
有し、 前記可動電極に2レベルの駆動電圧を供給する駆動工程
と、 前記上電極および下電極に対し、前記駆動電圧により可
動電極がいずれか一方の側に移動する書込み用の電圧を
供給する書込み工程と、 前記上電極および下電極に対し、前記駆動電圧により可
動電極がいずれか一方の側から移動しない保持用の電圧
を供給する保持工程とを有するスイッチング素子の制御
方法。 - 【請求項17】 請求項16において前記書込み用の電
圧は前記2レベルの駆動電圧であり、前記書込み工程で
は前記上電極および下電極に異なるレベルの前記書込み
用の電圧を供給し、 前記保持用の電圧は前記2レベルの駆動電圧より高いま
たは低い電圧であり、前記保持工程では前記上電極およ
び下電極に同一のレベルの前記保持用の電圧を供給する
スイッチング素子の制御方法。 - 【請求項18】 請求項16において、前記保持工程、
前記駆動工程および前記書込み工程をそれぞれ重複させ
ながら繰り返すスイッチング素子の制御方法。 - 【請求項19】 光を変調可能な第1の位置、およびこ
の第1の位置から離れた第2の位置に移動可能な複数の
スイッチング部がアレイ状に配置され、各々のスイッチ
ング部を電極間に働く静電力により駆動する画像表示デ
バイスの制御方法であって、 各々の前記スイッチング部を駆動する可動電極と、この
可動電極を前記第1の位置の方向に駆動するように配置
された上電極と、前記可動電極を第2の位置の方向に駆
動するように配置された下電極とを有し、 前記可動電極に2レベルの駆動電圧を供給する駆動工程
と、 前記上電極および下電極に対し、前記駆動電圧により可
動電極がいずれか一方の側に移動する書込み用の電圧を
供給する書込み工程と、 前記上電極および下電極に対し、前記駆動電圧により可
動電極がいずれか一方の側から移動しない保持用の電圧
を供給する保持工程とを有する画像表示デバイスの制御
方法。 - 【請求項20】 請求項19において前記書込み用の電
圧は前記2レベルの駆動電圧であり、前記書込み工程で
は前記上電極および下電極に異なるレベルの前記書込み
用の電圧を供給し、 前記保持用の電圧は前記2レベルの駆動電圧より高いま
たは低い電圧であり、前記保持工程では前記上電極およ
び下電極に同一のレベルの前記保持用の電圧を供給する
画像表示デバイスの制御方法。 - 【請求項21】 請求項19において、前記保持工程、
前記駆動工程および前記書込み工程をそれぞれ重複させ
ながら繰り返す画像表示デバイスの制御方法。 - 【請求項22】 請求項19において、前記書込み工程
および保持工程ではライン状に並んだ前記スイッチング
部の前記上電極および下電極に対し同一タイミングで前
記書込み用の電圧および保持用の電圧を供給する画像表
示デバイスの制御方法。 - 【請求項23】 請求項19において、前記書込み工程
および保持工程ではアレイ状に並んだ前記スイッチング
部の前記上電極および下電極に対し同一タイミングで前
記書込み用の電圧および保持用の電圧を供給する画像表
示デバイスの制御方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000077169A JP2001264647A (ja) | 2000-03-17 | 2000-03-17 | 静電アクチュエータ、スイッチング素子、スイッチングデバイス、画像表示装置、画像表示デバイスおよびそれらの制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000077169A JP2001264647A (ja) | 2000-03-17 | 2000-03-17 | 静電アクチュエータ、スイッチング素子、スイッチングデバイス、画像表示装置、画像表示デバイスおよびそれらの制御方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001264647A true JP2001264647A (ja) | 2001-09-26 |
Family
ID=18594783
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000077169A Pending JP2001264647A (ja) | 2000-03-17 | 2000-03-17 | 静電アクチュエータ、スイッチング素子、スイッチングデバイス、画像表示装置、画像表示デバイスおよびそれらの制御方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001264647A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7952041B2 (en) | 2007-11-09 | 2011-05-31 | Seiko Epson Corporation | Active-matrix device, electro-optical display device, and electronic apparatus |
CN104937473A (zh) * | 2013-05-27 | 2015-09-23 | 弗兰霍菲尔运输应用研究公司 | 上面设置有连接片的光学结构和用于其制造的方法 |
-
2000
- 2000-03-17 JP JP2000077169A patent/JP2001264647A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7952041B2 (en) | 2007-11-09 | 2011-05-31 | Seiko Epson Corporation | Active-matrix device, electro-optical display device, and electronic apparatus |
CN104937473A (zh) * | 2013-05-27 | 2015-09-23 | 弗兰霍菲尔运输应用研究公司 | 上面设置有连接片的光学结构和用于其制造的方法 |
US10359596B2 (en) | 2013-05-27 | 2019-07-23 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung E.V. | Optical structure with ridges arranged at the same and method for producing the same |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2001201698A (ja) | 画像表示装置および、それに適した光変調ユニットおよび駆動ユニット | |
US7742215B2 (en) | Methods and apparatus for spatial light modulation | |
JP3788248B2 (ja) | デジタル駆動装置およびこれを用いた画像表示装置 | |
US8014058B2 (en) | Method for driving optical deflecting device array, optical deflecting device array, optical deflecting device, and image projection displaying apparatus | |
US20090040402A1 (en) | Liquid crystal projector and control method for liquid crystal projector | |
US6320567B1 (en) | Display device | |
KR100362957B1 (ko) | 디스플레이장치및디스플레이시스템 | |
JP2015087688A (ja) | 液晶表示装置、液晶表示装置の駆動方法および電子機器 | |
US7944605B2 (en) | Color display apparatus | |
WO2014115032A1 (ja) | 画素回路およびそれを備えた表示装置 | |
JP2001264647A (ja) | 静電アクチュエータ、スイッチング素子、スイッチングデバイス、画像表示装置、画像表示デバイスおよびそれらの制御方法 | |
US20220236615A1 (en) | Array substrate, driving method of array substrate, and display device | |
JP4077139B2 (ja) | 画像表示装置 | |
JP3726642B2 (ja) | 静電アクチュエータ、スイッチング素子、スイッチングデバイス、画像表示デバイス、画像表示装置およびそれらの制御方法 | |
JP2008151824A (ja) | 電気光学装置及びその駆動方法並びに電子機器 | |
JP4430647B2 (ja) | 画像表示装置 | |
JP3838045B2 (ja) | 電気光学装置、その駆動方法及びそれを有する電子機器並びに投射型表示装置 | |
KR100332618B1 (ko) | 화상표시방법및표시장치 | |
CN106094404A (zh) | 一种平板显示器 | |
KR100640872B1 (ko) | 투사표시장치 | |
JP2001272630A (ja) | 画像表示装置および画像表示装置の制御方法 | |
JP2001249285A (ja) | スイッチングデバイス、光スイッチングユニットおよび映像表示装置 | |
JP3602395B2 (ja) | 投射型の表示装置 | |
US20120086999A1 (en) | Microwindow device | |
JP2002287667A (ja) | 電気光学装置、その駆動方法及びそれを有する電子機器並びに投射型表示装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050428 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050524 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20050624 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050725 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060131 |