JP2001259972A - 工作機械用の磁気軸受装置 - Google Patents
工作機械用の磁気軸受装置Info
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- JP2001259972A JP2001259972A JP2000077325A JP2000077325A JP2001259972A JP 2001259972 A JP2001259972 A JP 2001259972A JP 2000077325 A JP2000077325 A JP 2000077325A JP 2000077325 A JP2000077325 A JP 2000077325A JP 2001259972 A JP2001259972 A JP 2001259972A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ツーリングの装着不良や回転不良を自動検出
でき、ワークの加工劣化を低減できる工作機械用の磁気
軸受装置を提供する。 【解決手段】 主軸１を磁気ラジアル軸受手段２ａ，２
ｂ，５ａと磁気スラスト軸受手段４ａ，４ｂとで固定側
から磁気浮上させ、主軸１をモータ手段７で回転駆動
し、主軸１の端部に取り付けられた加工ツール８により
ワーク９の加工を行う工作機械用の磁気軸受装置におい
て、主軸１の振動を検出する振動検出手段５ａと、振動
検出手段５ａの出力信号より回転に同期した振動成分を
抽出する周波数特性可変フィルタ１０と、周波数特性可
変フィルタ１０の出力信号のレベルが規定レベルを超え
た状態を異常状態であると判定する判定手段１１とを設
ける。
でき、ワークの加工劣化を低減できる工作機械用の磁気
軸受装置を提供する。 【解決手段】 主軸１を磁気ラジアル軸受手段２ａ，２
ｂ，５ａと磁気スラスト軸受手段４ａ，４ｂとで固定側
から磁気浮上させ、主軸１をモータ手段７で回転駆動
し、主軸１の端部に取り付けられた加工ツール８により
ワーク９の加工を行う工作機械用の磁気軸受装置におい
て、主軸１の振動を検出する振動検出手段５ａと、振動
検出手段５ａの出力信号より回転に同期した振動成分を
抽出する周波数特性可変フィルタ１０と、周波数特性可
変フィルタ１０の出力信号のレベルが規定レベルを超え
た状態を異常状態であると判定する判定手段１１とを設
ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、工作機械用の磁気
軸受装置に関するものである。
軸受装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図５と図６は、従来の工作機械用の磁気
軸受装置を示す。図５は主軸１のラジアル制御系の詳細
を示し、図６は加工状態を示す。
軸受装置を示す。図５は主軸１のラジアル制御系の詳細
を示し、図６は加工状態を示す。
【０００３】工作機械用の磁気軸受装置は、主軸１を磁
気ラジアル軸受手段Ａと磁気スラスト軸受手段Ｂとで固
定側から磁気浮上させるとともに、主軸１をモータ手段
７で回転駆動し、主軸１の端部に取り付けられた加工ツ
ール８を、矢印Ｙで示すようにラジアル方向にワーク９
の表面に押し付けて加工を行うよう構成されている。
気ラジアル軸受手段Ａと磁気スラスト軸受手段Ｂとで固
定側から磁気浮上させるとともに、主軸１をモータ手段
７で回転駆動し、主軸１の端部に取り付けられた加工ツ
ール８を、矢印Ｙで示すようにラジアル方向にワーク９
の表面に押し付けて加工を行うよう構成されている。
【０００４】磁気ラジアル軸受手段Ａは、主軸１の軸方
向に所定間隔で配置されたラジアルマグネットステータ
２ａ，２ｂと、主軸１のラジアル位置を検出するラジア
ルセンサ５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄと、制御部１４とから
なる。磁気スラスト軸受手段Ｂは、主軸１の基端部側に
配置されたスラスト板３を中央にしてその両側に配置さ
れたスラストマグネットステータ４ａ，４ｂと、主軸１
のスラスト位置を検出するスラストセンサ６と、制御部
（図示せず）とからなる。
向に所定間隔で配置されたラジアルマグネットステータ
２ａ，２ｂと、主軸１のラジアル位置を検出するラジア
ルセンサ５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄと、制御部１４とから
なる。磁気スラスト軸受手段Ｂは、主軸１の基端部側に
配置されたスラスト板３を中央にしてその両側に配置さ
れたスラストマグネットステータ４ａ，４ｂと、主軸１
のスラスト位置を検出するスラストセンサ６と、制御部
（図示せず）とからなる。
【０００５】磁気ラジアル軸受手段Ａと磁気スラスト軸
受手段Ｂによって主軸１が磁気浮上すると、ラジアルセ
ンサ５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄによってラジアル方向の位
置が検出され、制御部１４のＰＩＤ制御により主軸１が
基準信号で決められた中心位置にくるようラジアルマグ
ネットステータ２ａ，２ｂの電流が制御される。同様
に、スラスト方向についてもスラストセンサ６と図示さ
れていない制御部によって主軸１の位置制御が行われ
る。
受手段Ｂによって主軸１が磁気浮上すると、ラジアルセ
ンサ５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄによってラジアル方向の位
置が検出され、制御部１４のＰＩＤ制御により主軸１が
基準信号で決められた中心位置にくるようラジアルマグ
ネットステータ２ａ，２ｂの電流が制御される。同様
に、スラスト方向についてもスラストセンサ６と図示さ
れていない制御部によって主軸１の位置制御が行われ
る。
【０００６】なお、図５を更に簡略化して図示したもの
が図６である。１２は位相補償器、１３は電流アンプで
ある。磁気浮上した主軸１はモータ手段７によって回転
駆動され、主軸１の端部にツーリング１６を介して取り
付けられた加工ツール８をワーク９に当接させてラジア
ル方向に押圧することで、ワーク９に所定の加工処理が
施される。
が図６である。１２は位相補償器、１３は電流アンプで
ある。磁気浮上した主軸１はモータ手段７によって回転
駆動され、主軸１の端部にツーリング１６を介して取り
付けられた加工ツール８をワーク９に当接させてラジア
ル方向に押圧することで、ワーク９に所定の加工処理が
施される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】加工ツール８はワーク
９への加工内容に応じて交換されるが、加工ツール８の
交換時にツーリング１６が正しく主軸１に装着されてい
なかったり、正しく装着されていてもツーリング１６の
回転のアンバランスが大きい場合がある。
９への加工内容に応じて交換されるが、加工ツール８の
交換時にツーリング１６が正しく主軸１に装着されてい
なかったり、正しく装着されていてもツーリング１６の
回転のアンバランスが大きい場合がある。
【０００８】このようなツーリング１６の装着不良や回
転のアンバランスが生じたままワーク９に加工処理を施
すと、主軸１の回転数の上昇とともに主軸１の振動が大
きくなり、加工面精度や面粗さが悪化する。そのためツ
ーリング１６の装着不良や回転のアンバランスをいち早
く検出して主軸１の回転を止め、ツーリング１６の再装
着や再交換を行うことが要求されている。
転のアンバランスが生じたままワーク９に加工処理を施
すと、主軸１の回転数の上昇とともに主軸１の振動が大
きくなり、加工面精度や面粗さが悪化する。そのためツ
ーリング１６の装着不良や回転のアンバランスをいち早
く検出して主軸１の回転を止め、ツーリング１６の再装
着や再交換を行うことが要求されている。
【０００９】本発明は前記問題点を解決し、ツーリング
の装着不良や回転不良などの異常状態を自動検出でき、
ワークの加工劣化を低減できる工作機械用の磁気軸受装
置を提供することを目的とする。
の装着不良や回転不良などの異常状態を自動検出でき、
ワークの加工劣化を低減できる工作機械用の磁気軸受装
置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の工作機械用の磁
気軸受装置は、主軸の振動検出手段と、この出力信号よ
り回転に同期した振動成分を抽出する周波数特性可変フ
ィルタと、抽出された信号を判定する判定手段を設けた
ことを特徴とする。
気軸受装置は、主軸の振動検出手段と、この出力信号よ
り回転に同期した振動成分を抽出する周波数特性可変フ
ィルタと、抽出された信号を判定する判定手段を設けた
ことを特徴とする。
【００１１】この本発明によると、ツーリングの装着不
良や回転不良などの異常状態を自動的にいち早く検出で
き、ワークの加工劣化を低減できる。
良や回転不良などの異常状態を自動的にいち早く検出で
き、ワークの加工劣化を低減できる。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１記載の工作機械
用の磁気軸受装置は、主軸を磁気ラジアル軸受手段と磁
気スラスト軸受手段とで固定側から磁気浮上させるとと
もに、前記主軸をモータ手段で回転駆動し、前記主軸の
端部にツーリングを介して取り付けられた加工ツールに
よるワークの加工に使用される工作機械用の磁気軸受装
置において、前記主軸の振動を検出する振動検出手段
と、前記振動検出手段の出力が入力に供給され前記主軸
の時々の回転速度に応じて通過信号周波数特性を変更し
て前記主軸の時々の回転に同期した振動成分を抽出する
周波数特性可変フィルタと、前記周波数特性可変フィル
タの出力信号のレベルが規定レベルを超えた状態を異常
状態であると判定する判定手段とを設けたことを特徴と
する。
用の磁気軸受装置は、主軸を磁気ラジアル軸受手段と磁
気スラスト軸受手段とで固定側から磁気浮上させるとと
もに、前記主軸をモータ手段で回転駆動し、前記主軸の
端部にツーリングを介して取り付けられた加工ツールに
よるワークの加工に使用される工作機械用の磁気軸受装
置において、前記主軸の振動を検出する振動検出手段
と、前記振動検出手段の出力が入力に供給され前記主軸
の時々の回転速度に応じて通過信号周波数特性を変更し
て前記主軸の時々の回転に同期した振動成分を抽出する
周波数特性可変フィルタと、前記周波数特性可変フィル
タの出力信号のレベルが規定レベルを超えた状態を異常
状態であると判定する判定手段とを設けたことを特徴と
する。
【００１３】本発明の請求項２記載の工作機械用の磁気
軸受装置は、請求項１において、主軸のラジアル位置を
検出するラジアルセンサの検出信号に応じてラジアルマ
グネットステータの励磁を制御している前記磁気ラジア
ル軸受手段における前記ラジアルセンサを、前記振動検
出手段としたことを特徴とする。
軸受装置は、請求項１において、主軸のラジアル位置を
検出するラジアルセンサの検出信号に応じてラジアルマ
グネットステータの励磁を制御している前記磁気ラジア
ル軸受手段における前記ラジアルセンサを、前記振動検
出手段としたことを特徴とする。
【００１４】以下、本発明の具体的な実施の形態を図１
〜図４を用いて説明する。なお、従来例を示す図５，図
６と同様をなすものには同一の符号を付けて説明する。
〜図４を用いて説明する。なお、従来例を示す図５，図
６と同様をなすものには同一の符号を付けて説明する。
【００１５】（実施の形態）この（実施の形態）では、
主軸１の振動を検出する振動検出手段と、この出力信号
より回転に同期した振動成分を抽出する周波数特性可変
フィルタと、抽出された信号を判定する判定手段を設け
て、ツーリング１６の装着不良や回転不良などの異常状
態を自動的にいち早く判定できるようにした点で従来例
とは異なる。
主軸１の振動を検出する振動検出手段と、この出力信号
より回転に同期した振動成分を抽出する周波数特性可変
フィルタと、抽出された信号を判定する判定手段を設け
て、ツーリング１６の装着不良や回転不良などの異常状
態を自動的にいち早く判定できるようにした点で従来例
とは異なる。
【００１６】図１に示すように、上記従来例を示す図
５，図６と同様に構成された工作機械用の磁気軸受装置
において、振動検出手段としてここではラジアルセンサ
５ａを用いた。
５，図６と同様に構成された工作機械用の磁気軸受装置
において、振動検出手段としてここではラジアルセンサ
５ａを用いた。
【００１７】また、ラジアルセンサ５ａの出力が入力に
供給され主軸１の時々の回転速度に応じて通過信号周波
数特性を変更して主軸１の時々の回転に同期した振動成
分を抽出する周波数特性可変フィルタ１０と、周波数特
性可変フィルタ１０の出力信号の検出レベルが規定レベ
ルを超えた状態を異常状態であると判定する判定手段１
１を設けた。周波数特性可変フィルタ１０は、具体的に
は帯域通過フィルタで構成されている。
供給され主軸１の時々の回転速度に応じて通過信号周波
数特性を変更して主軸１の時々の回転に同期した振動成
分を抽出する周波数特性可変フィルタ１０と、周波数特
性可変フィルタ１０の出力信号の検出レベルが規定レベ
ルを超えた状態を異常状態であると判定する判定手段１
１を設けた。周波数特性可変フィルタ１０は、具体的に
は帯域通過フィルタで構成されている。
【００１８】上記のように構成された工作機械用の磁気
軸受装置では、ワーク９への加工内容に応じて加工ツー
ル８が交換され、ツーリング１６を介して主軸１の端部
に加工ツール８が装着される。そして主軸１を定速回転
させて加工ツール８を矢印Ｙで示すようにラジアル方向
に押圧することで、ワーク９に所定の加工処理を施す通
常運転が行われる。
軸受装置では、ワーク９への加工内容に応じて加工ツー
ル８が交換され、ツーリング１６を介して主軸１の端部
に加工ツール８が装着される。そして主軸１を定速回転
させて加工ツール８を矢印Ｙで示すようにラジアル方向
に押圧することで、ワーク９に所定の加工処理を施す通
常運転が行われる。
【００１９】このとき、加工ツール８の交換動作が良好
に行なわれてツーリング１６が正しく装着され、またツ
ーリング１６の回転バランスが良好であれば、ワーク９
の加工面は精度良く加工処理される。しかし、ツーリン
グ１６の装着不良や回転のアンバランスが大きい場合に
は、主軸１の回転数の上昇とともに主軸１の振動が大き
くなり、このままの状態で加工動作を行った場合には、
ワーク９の加工面精度や面粗さが悪化する。
に行なわれてツーリング１６が正しく装着され、またツ
ーリング１６の回転バランスが良好であれば、ワーク９
の加工面は精度良く加工処理される。しかし、ツーリン
グ１６の装着不良や回転のアンバランスが大きい場合に
は、主軸１の回転数の上昇とともに主軸１の振動が大き
くなり、このままの状態で加工動作を行った場合には、
ワーク９の加工面精度や面粗さが悪化する。
【００２０】従って、ツーリング１６の装着不良や回転
のアンバランスは、加工ツール８をワーク９に当接させ
る前、すなわち主軸１の回転の立ち上り状態のときに検
出されることが好ましい。
のアンバランスは、加工ツール８をワーク９に当接させ
る前、すなわち主軸１の回転の立ち上り状態のときに検
出されることが好ましい。
【００２１】このように主軸１の回転立ち上げ状態で異
常状態が検出されれば、主軸１の回転を止めてツーリン
グ１６の再装着や再交換を行うことで、ワーク９に良好
な加工処理が施される。
常状態が検出されれば、主軸１の回転を止めてツーリン
グ１６の再装着や再交換を行うことで、ワーク９に良好
な加工処理が施される。
【００２２】以下、主軸１の回転立ち上げ状態における
周波数特性可変フィルタ１０の検出レベルと判定手段１
１の構成を、具体的な動作に基づいて説明する。加工ツ
ール８の交換が良好に行なわれてツーリング１６が正し
く装着され、またツーリング１６の回転バランスが良好
である場合には、主軸１の回転立ち上げ状態の途中のあ
る回転数、具体的には主軸１の回転数が３００００ｒｐ
ｍの場合にラジアルセンサ５ａにより検出された出力信
号の時間と周波数と振幅との関係は、図２に示す波形ａ
１のようになる。
周波数特性可変フィルタ１０の検出レベルと判定手段１
１の構成を、具体的な動作に基づいて説明する。加工ツ
ール８の交換が良好に行なわれてツーリング１６が正し
く装着され、またツーリング１６の回転バランスが良好
である場合には、主軸１の回転立ち上げ状態の途中のあ
る回転数、具体的には主軸１の回転数が３００００ｒｐ
ｍの場合にラジアルセンサ５ａにより検出された出力信
号の時間と周波数と振幅との関係は、図２に示す波形ａ
１のようになる。
【００２３】この図２はラジアルセンサ５ａの出力信号
の周波数スペクトラムを示している。ラジアルセンサ５
ａの出力信号には、主軸１の回転振動成分ａ２のほかに
ノイズ成分（図示せず）が含まれている。
の周波数スペクトラムを示している。ラジアルセンサ５
ａの出力信号には、主軸１の回転振動成分ａ２のほかに
ノイズ成分（図示せず）が含まれている。
【００２４】周波数特性可変フィルタ１０は、主軸１の
時々の回転速度情報ＦＲに応じて通過信号周波数特性を
変更するよう構成されており、具体的には主軸１の時々
の回転速度に同期した振動成分を抽出するように中心通
過周波数が設定された帯域通過フィルタで構成されてい
る。
時々の回転速度情報ＦＲに応じて通過信号周波数特性を
変更するよう構成されており、具体的には主軸１の時々
の回転速度に同期した振動成分を抽出するように中心通
過周波数が設定された帯域通過フィルタで構成されてい
る。
【００２５】ここでは主軸１の回転数３００００ｒｐｍ
の場合に、中心通過周波数を５００Ｈｚに設定した。図
３（ａ）は、ツーリング１６が正しく装着され、またツ
ーリング１６の回転バランスが良好である場合のラジア
ルセンサ５ａの出力信号を示し、これを周波数特性可変
フィルタ１０の入力に供給したときに周波数特性可変フ
ィルタ１０の出力には、図３（ｂ）に示すように回転
（５００Ｈｚ）に同期した主軸１の回転振動成分ａ２だ
けが抽出される。
の場合に、中心通過周波数を５００Ｈｚに設定した。図
３（ａ）は、ツーリング１６が正しく装着され、またツ
ーリング１６の回転バランスが良好である場合のラジア
ルセンサ５ａの出力信号を示し、これを周波数特性可変
フィルタ１０の入力に供給したときに周波数特性可変フ
ィルタ１０の出力には、図３（ｂ）に示すように回転
（５００Ｈｚ）に同期した主軸１の回転振動成分ａ２だ
けが抽出される。
【００２６】この正常な加工状態に対して、ツーリング
１６の装着不良や回転不良による異常状態では、ラジア
ルセンサ５ａの出力信号の信号波形の変化とレベルの増
大が観測される。
１６の装着不良や回転不良による異常状態では、ラジア
ルセンサ５ａの出力信号の信号波形の変化とレベルの増
大が観測される。
【００２７】図４（ａ）に示す異常時のラジアルセンサ
５ａの出力信号を周波数特性可変フィルタ１０の入力に
供給したときに周波数特性可変フィルタ１０の出力に
は、図４（ｂ）に示すように、図３（ｂ）に示す正常時
の主軸１の回転振動成分ａ２よりも高いレベルの回転振
動成分ａ２が抽出される。
５ａの出力信号を周波数特性可変フィルタ１０の入力に
供給したときに周波数特性可変フィルタ１０の出力に
は、図４（ｂ）に示すように、図３（ｂ）に示す正常時
の主軸１の回転振動成分ａ２よりも高いレベルの回転振
動成分ａ２が抽出される。
【００２８】このように異常状態では、主軸１の回転振
動成分の波形ａ２は、正常な場合よりもその振幅が大き
くなる。そこで、周波数特性可変フィルタ１０の出力を
評価する判定手段１１は、基準レベルＲＥＦ１が、図３
（ｂ）に示す正常状態の振動成分ａ２のピークレベルよ
りも高いレベルで、図４（ｂ）に示すように異常時の振
動成分ａ２のピークレベルよりも低いレベルに設定され
ており、周波数特性可変フィルタ１０の出力が基準レベ
ルＲＥＦ１を超えた状態を検出して判定手段１１の出力
レベルがハイレベルからローレベルに変化して、異常状
態が発生したと自動判定する。
動成分の波形ａ２は、正常な場合よりもその振幅が大き
くなる。そこで、周波数特性可変フィルタ１０の出力を
評価する判定手段１１は、基準レベルＲＥＦ１が、図３
（ｂ）に示す正常状態の振動成分ａ２のピークレベルよ
りも高いレベルで、図４（ｂ）に示すように異常時の振
動成分ａ２のピークレベルよりも低いレベルに設定され
ており、周波数特性可変フィルタ１０の出力が基準レベ
ルＲＥＦ１を超えた状態を検出して判定手段１１の出力
レベルがハイレベルからローレベルに変化して、異常状
態が発生したと自動判定する。
【００２９】このように判定手段１１を構成することに
より、異常状態を極めて正確に自動検出でき、この判定
手段１１の判定出力を使用して警報装置１５を作動させ
ることにより異常状態の発生を速やかに作業者に知らせ
ることができる。
より、異常状態を極めて正確に自動検出でき、この判定
手段１１の判定出力を使用して警報装置１５を作動させ
ることにより異常状態の発生を速やかに作業者に知らせ
ることができる。
【００３０】なお、上記説明では、主軸１の端部に配置
されたラジアルセンサ５ａのみを用いて異常状態を検出
する例を挙げて説明したが、本発明はこれに限定される
ものではなく、複数のラジアルセンサ５ａ〜５ｄを用い
て総合的に判断することで、より精度良くツーリング１
６の装着不良や回転不良による異常状態を判定できる。
されたラジアルセンサ５ａのみを用いて異常状態を検出
する例を挙げて説明したが、本発明はこれに限定される
ものではなく、複数のラジアルセンサ５ａ〜５ｄを用い
て総合的に判断することで、より精度良くツーリング１
６の装着不良や回転不良による異常状態を判定できる。
【００３１】
【発明の効果】以上のように本発明の工作機械用の磁気
軸受装置によると、主軸の振動を検出する振動検出手段
と、前記振動検出手段の出力信号の主軸の回転に同期し
た振動成分を抽出する周波数特性可変フィルタと、抽出
された信号の前記周波数特性可変フィルタの出力信号の
レベルが規定レベルを超えた状態を異常状態であると判
定する判定手段とを設けることで、ツーリングの装着不
良や回転不良などの異常状態を自動検出でき、ワークの
加工劣化を低減できる。
軸受装置によると、主軸の振動を検出する振動検出手段
と、前記振動検出手段の出力信号の主軸の回転に同期し
た振動成分を抽出する周波数特性可変フィルタと、抽出
された信号の前記周波数特性可変フィルタの出力信号の
レベルが規定レベルを超えた状態を異常状態であると判
定する判定手段とを設けることで、ツーリングの装着不
良や回転不良などの異常状態を自動検出でき、ワークの
加工劣化を低減できる。
【図１】本発明の（実施の形態）における工作機械用の
磁気軸受装置の構成図
磁気軸受装置の構成図
【図２】同実施の形態のラジアルセンサ５ａにて測定し
た加工正常時の信号の周波数スペクトラム図
た加工正常時の信号の周波数スペクトラム図
【図３】同実施の形態の加工正常時の要部の信号波形図
【図４】同実施の形態の加工異常時での要部の信号波形
図
図
【図５】従来の磁気軸受の構成図
【図６】同従来例の磁気軸受装置を用いた工作機械の構
成図
成図
１ 主軸 ２ａ，２ｂ ラジアルマグネットステータ ４ａ，４ｂ スラストマグネットステータ ５ａ，５ｂ ラジアルセンサ ７ モータ手段 ８ 加工ツール １０ 周波数特性可変フィルタ １１ 判定手段 １５ 警報装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田代 功 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 3J102 AA01 BA03 BA19 CA12 DA02 DA03 DA09 DB05 DB10 DB11 DB37 GA07 5H607 AA08 BB01 CC01 CC07 DD03 DD17 GG01 GG02 GG20 HH05
Claims (2)
- 【請求項１】主軸を磁気ラジアル軸受手段と磁気スラス
ト軸受手段とで固定側から磁気浮上させるとともに、前
記主軸をモータ手段で回転駆動し、前記主軸の端部にツ
ーリングを介して取り付けられた加工ツールによるワー
クの加工に使用される工作機械用の磁気軸受装置におい
て、 前記主軸の振動を検出する振動検出手段と、 前記振動検出手段の出力が入力に供給され前記主軸の時
々の回転速度に応じて通過信号周波数特性を変更して前
記主軸の時々の回転に同期した振動成分を抽出する周波
数特性可変フィルタと、 前記周波数特性可変フィルタの出力信号のレベルが規定
レベルを超えた状態を異常状態であると判定する判定手
段とを設けた工作機械用の磁気軸受装置。 - 【請求項２】主軸のラジアル位置を検出するラジアルセ
ンサの検出信号に応じてラジアルマグネットステータの
励磁を制御している前記磁気ラジアル軸受手段における
前記ラジアルセンサを、前記振動検出手段とした請求項
１記載の工作機械用の磁気軸受装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000077325A JP2001259972A (ja) | 2000-03-21 | 2000-03-21 | 工作機械用の磁気軸受装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000077325A JP2001259972A (ja) | 2000-03-21 | 2000-03-21 | 工作機械用の磁気軸受装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001259972A true JP2001259972A (ja) | 2001-09-25 |
Family
ID=18594909
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000077325A Pending JP2001259972A (ja) | 2000-03-21 | 2000-03-21 | 工作機械用の磁気軸受装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001259972A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006239846A (ja) * | 2005-03-07 | 2006-09-14 | Jtekt Corp | Ｎｃ加工装置 |
| JP2008093784A (ja) * | 2006-10-12 | 2008-04-24 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削ブレードの振幅計測装置 |
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-
2000
- 2000-03-21 JP JP2000077325A patent/JP2001259972A/ja active Pending
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