JP2001257311A - Electrostatic protective circuit for semiconductor device and method of using the same - Google Patents

Electrostatic protective circuit for semiconductor device and method of using the same

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electrostatic protective circuit for a semiconductor device, which can effectively prevent the breakdown of a semiconductor IC due to electrostatics which is most likely to occur under the conditions where the semiconductor IC is handled as a single unit, in other words, from an assembly-selection-shipping process to a packaging-mounting on substrate process, and which can be separated from an inner circuit during operation, and to also provide a method of using the same. SOLUTION: The electrostatic protective circuit, which is a series combination of a fuse 1 and a capacitor 2 is inserted between a signal terminal and the inner circuit. After mounting the semiconductor device on a substrate, an AC signal is inputted into the signal terminal to melt the fuse 1, thereby separating the electrostatic protective circuit.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、高周波信号の伝達
を確保し、かつ静電破壊を防止するための半導体装置の
静電保護回路およびその使用方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrostatic protection circuit for a semiconductor device for securing transmission of a high-frequency signal and preventing electrostatic breakdown, and a method of using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来から、半導体集積回路の信号入力端
子または信号出力端子に加えられる静電気等による高電
圧入力から内部回路を保護するための静電保護回路が提
案されてきた。
2. Description of the Related Art Hitherto, an electrostatic protection circuit for protecting an internal circuit from a high voltage input due to static electricity or the like applied to a signal input terminal or a signal output terminal of a semiconductor integrated circuit has been proposed.

【0003】半導体集積回路の静電気による破壊は、半
導体集積回路が単体として扱われている状況、即ち組立
工程〜選別工程〜出荷/梱包工程〜基板への実装工程ま
での間に起こる頻度が最も高い。回路基板に実装後は、
信号端子が他の半導体集積回路や受動素子に接続され、
インピーダンスが低下すること、または外部からの静電
気の侵入の可能性も低くなることから、静電保護回路の
必要性が乏しくなる。
The destruction of a semiconductor integrated circuit due to static electricity occurs most frequently in a situation where the semiconductor integrated circuit is handled as a single unit, ie, during an assembly process, a sorting process, a shipping / packing process, and a mounting process on a substrate. . After mounting on the circuit board,
The signal terminals are connected to other semiconductor integrated circuits and passive elements,
Since the impedance is lowered or the possibility of intrusion of static electricity from the outside is reduced, the necessity of the electrostatic protection circuit is reduced.

【0004】特開平5−121662号公報に、図2に
示すような静電保護回路を有する半導体集積回路が開示
されている。図2に示すように静電保護回路は、静電保
護ダイオード4と被保護回路との間にヒューズ3を挿入
した構成となっている。ダイオード4に降伏電圧が印加
されると逆方向にも電流が流れるため、内部回路を保護
することができる。
Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-121662 discloses a semiconductor integrated circuit having an electrostatic protection circuit as shown in FIG. As shown in FIG. 2, the electrostatic protection circuit has a configuration in which a fuse 3 is inserted between an electrostatic protection diode 4 and a circuit to be protected. When a breakdown voltage is applied to the diode 4, a current flows in the reverse direction, so that the internal circuit can be protected.

【0005】半導体集積回路実装後、ヒューズ3に直流
大電流が加えられ、ヒューズ3を溶断する。この結果、
静電保護回路が信号端子から分離されることにより、信
号端子に高速の信号が入力された場合でも、静電保護回
路の容量成分の影響を受けないため、入力信号の高速性
は損なわれない。
After mounting the semiconductor integrated circuit, a large direct current is applied to the fuse 3 to blow the fuse 3. As a result,
By separating the electrostatic protection circuit from the signal terminal, even when a high-speed signal is input to the signal terminal, the capacitance component of the electrostatic protection circuit is not affected, and the high-speed performance of the input signal is not impaired. .

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図2に
示す静電保護回路においては、ヒューズ3を溶断するた
めに直流大電流を流す必要があり、その場合、ダイオー
ド4があるのでINに対してGNDをプラス側に設定す
る必要がある。ところが、INは内部回路につながって
おり、GNDからの直流大電流はダイオード4だけでな
く内部回路を通しても流れてしまう。
However, in the electrostatic protection circuit shown in FIG. 2, it is necessary to flow a large direct current in order to blow the fuse 3, and in this case, since the diode 4 is provided, it is necessary to supply IN to IN. It is necessary to set GND to the positive side. However, IN is connected to an internal circuit, and a large direct current from GND flows not only through the diode 4 but also through the internal circuit.

【0007】そのため、非常に大きな電流を流す必要が
あり、チップが発熱したり、またはチップの表面にある
電極とパッケージの外に出ているリード電極とを接続す
るボンディングワイヤの溶断、あるいは配線のエレクト
ロマイグレーション等の恐れも出てくる。また、半導体
集積回路を基板に実装した後では、GND側よりプラス
電位を与えることはシステムの制約を考慮すると困難な
ことが多い。
[0007] Therefore, it is necessary to flow a very large current, and the chip generates heat, or a bonding wire for connecting an electrode on the surface of the chip to a lead electrode outside the package, or the wiring is broken. There is also a risk of electromigration. After the semiconductor integrated circuit is mounted on the substrate, it is often difficult to apply a positive potential from the GND side in consideration of system restrictions.

【0008】図2においては、通常の電圧印加の条件で
は電流が流れないように逆方向にダイオード4が入って
いるため、ヒューズ3を溶断するためには通常とは異な
る条件で電流を流す必要があった。そのため、以上のよ
うな様々な不都合が生じていた。
In FIG. 2, the diode 4 is inserted in the reverse direction so that current does not flow under normal voltage application conditions. was there. Therefore, various inconveniences as described above have occurred.

【0009】本発明は、上記不都合を解消するためにな
されたものであり、組立工程〜選別工程〜出荷/梱包工
程〜基板への実装組立工程内での静電気による内部回路
の破壊を有効に防止し、一方では、半導体装置の実動作
中には内部回路から切り離すことのできる半導体装置の
静電保護回路及びその使用方法を提供することを目的と
する。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and effectively prevents the destruction of an internal circuit due to static electricity in an assembling process, a sorting process, a shipping / packing process, and a mounting and assembling process on a board. On the other hand, it is an object of the present invention to provide an electrostatic protection circuit for a semiconductor device which can be separated from an internal circuit during actual operation of the semiconductor device, and a method for using the same.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めに、請求項1記載の発明は、信号端子と内部回路との
間に設けられた半導体装置の静電保護回路において、静
電保護回路は、ヒューズとコンデンサとを直列に配置し
たことを特徴とする。
In order to achieve the above object, according to the present invention, there is provided an electrostatic protection circuit for a semiconductor device provided between a signal terminal and an internal circuit. Is characterized in that a fuse and a capacitor are arranged in series.

【0011】請求項2記載の発明は、請求項1記載の発
明において、静電保護回路は、ヒューズに交流信号が入
力されると、信号端子から切断されることを特徴とす
る。
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, when the AC signal is input to the fuse, the electrostatic protection circuit is disconnected from the signal terminal.

【0012】請求項3記載の発明は、請求項2記載の発
明において、交流信号は、信号端子側から入力されるこ
とを特徴とする。
According to a third aspect of the present invention, in the second aspect, the AC signal is inputted from a signal terminal side.

【0013】請求項4記載の発明は、請求項2または3
記載の発明において、交流信号は、半導体装置の製造工
程の任意の時点で、信号端子に入力されることを特徴と
する。
The invention according to claim 4 is the invention according to claim 2 or 3.
In the invention described above, the AC signal is input to a signal terminal at an arbitrary point in a semiconductor device manufacturing process.

【0014】請求項5記載の発明は、請求項2または3
記載の発明において、交流信号は、半導体装置を基板に
実装後、信号端子に入力されることを特徴とする。
The invention according to claim 5 is the invention according to claim 2 or 3.
In the invention described above, the AC signal is input to a signal terminal after the semiconductor device is mounted on a substrate.

【0015】請求項6記載の発明は、請求項2から5の
いずれか1項に記載の発明において、交流信号は、信号
端子に所定の時間、入力されることを特徴とする。
According to a sixth aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the AC signal is inputted to the signal terminal for a predetermined time.

【0016】請求項7記載の発明は、信号端子と内部回
路との間に設けられ、ヒューズとコンデンサとを直列に
配置した半導体装置の静電保護回路の使用方法であっ
て、ヒューズに交流信号を入力して静電保護回路を信号
端子から切断することを特徴とする。
According to a seventh aspect of the present invention, there is provided a method of using an electrostatic protection circuit for a semiconductor device, wherein a fuse and a capacitor are arranged in series between a signal terminal and an internal circuit. And disconnects the electrostatic protection circuit from the signal terminal.

【0017】請求項8記載の発明は、請求項7記載の発
明において、交流信号を信号端子の側から入力すること
を特徴とする。
An eighth aspect of the present invention is characterized in that, in the seventh aspect of the present invention, an AC signal is inputted from a signal terminal side.

【0018】請求項9記載の発明は、請求項7または8
記載の発明において、半導体装置の製造工程の任意の時
点で、交流信号を信号端子に入力して、静電保護回路を
信号端子から切断することを特徴とする。
The ninth aspect of the present invention is the seventh or eighth aspect.
In the invention described above, an AC signal is input to a signal terminal at an arbitrary point in a manufacturing process of the semiconductor device, and the electrostatic protection circuit is disconnected from the signal terminal.

【0019】請求項10記載の発明は、請求項7または
8記載の発明において、半導体装置を基板に実装後、交
流信号を信号端子に入力して、静電保護回路を信号端子
から切断することを特徴とする。
According to a tenth aspect of the present invention, in the seventh or eighth aspect, after mounting the semiconductor device on the substrate, an AC signal is input to the signal terminal to disconnect the electrostatic protection circuit from the signal terminal. It is characterized by.

【0020】請求項11記載の発明は、請求項7から1
0のいずれか1項に記載の発明において、交流信号を所
定の時間、信号端子に入力して静電保護回路を信号端末
から切断することを特徴とする。
The invention according to claim 11 is the invention according to claims 7 to 1
0. The invention according to any one of 0, wherein an AC signal is input to the signal terminal for a predetermined time to disconnect the electrostatic protection circuit from the signal terminal.

【0021】[0021]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面を参照しながら詳細に説明する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings.

【0022】図1は、本発明の実施の形態における半導
体装置の静電保護回路を説明するための回路図である。
信号端子INと内部回路との間からGNDにヒューズ1
およびコンデンサ2が直列に接続されている。
FIG. 1 is a circuit diagram illustrating an electrostatic protection circuit of a semiconductor device according to an embodiment of the present invention.
Fuse 1 to GND from between signal terminal IN and internal circuit
And the capacitor 2 are connected in series.

【0023】信号端子に加えられた静電気は瞬間的な電
流パルスであり、ヒューズ1とコンデンサ2を通してG
NDに電流が流れる。したがって、内部回路に静電気に
よる電流が流れることを抑えることができる。静電気の
立ち上がり時間は数ナノ秒〜数マイクロ秒程度であるの
で、高周波成分が大きくなる。一方、コンデンサ2はイ
ンピーダンスが低いので、電流を通しやすい。静電気は
短時間の電流パルスであるからヒューズ1を切断させる
ことはない。
The static electricity applied to the signal terminal is an instantaneous current pulse,
A current flows through ND. Therefore, it is possible to suppress a current from flowing through the internal circuit due to static electricity. Since the rise time of the static electricity is about several nanoseconds to several microseconds, the high frequency component becomes large. On the other hand, since the impedance of the capacitor 2 is low, it is easy to pass a current. Since the static electricity is a short-time current pulse, the fuse 1 is not blown.

【0024】次に、本発明の実施の形態における半導体
装置の静電保護回路の使用方法について説明する。通
常、半導体集積回路の組立から実装までの間の工程で、
静電気が信号端子に加えられる可能性が高い。一方、実
装後においては、半導体装置から静電保護回路を切り離
さないと、静電保護回路のコンデンサ2が、入力信号の
波形をなまらせるという悪影響がある。
Next, a method of using the electrostatic protection circuit of the semiconductor device according to the embodiment of the present invention will be described. Usually, during the process from assembly to mounting of a semiconductor integrated circuit,
It is highly possible that static electricity is applied to the signal terminals. On the other hand, if the electrostatic protection circuit is not separated from the semiconductor device after mounting, there is an adverse effect that the capacitor 2 of the electrostatic protection circuit blunts the waveform of the input signal.

【0025】半導体集積回路を実装後、信号端子に高周
波の交流信号を入力する。コンデンサ2は周波数が高い
ほど電流が流れやすいので、十分周波数の高い交流信号
を加えることでヒューズ1を溶断することができる。ヒ
ューズ1が溶断すると、コンデンサ2は内部回路と遮断
され、入力信号に対する影響がなくなる。
After mounting the semiconductor integrated circuit, a high-frequency AC signal is input to a signal terminal. The higher the frequency of the capacitor 2, the easier the current flows, so that the fuse 1 can be blown by applying an AC signal with a sufficiently high frequency. When the fuse 1 is blown, the capacitor 2 is cut off from the internal circuit, and the input signal is not affected.

【0026】なお、ヒューズは、加えられた電流が一定
時間定格値を超えたとき溶断するという性質を持ってい
る。したがって、半導体集積回路の試験時に信号端子に
交流信号が加えられても、信号が加わる時間が短いので
ヒューズ1は溶断されない。
The fuse has a property of being blown when the applied current exceeds the rated value for a certain period of time. Therefore, even if an AC signal is applied to the signal terminal during the test of the semiconductor integrated circuit, the fuse 1 is not blown because the time during which the signal is applied is short.

【0027】実際の例を以下に示すと、コンデンサC=
1pF、切断時の周波数をf=100MHzとするとコ
ンデンサのインピーダンス(容量リアクタンス)は以下
の(式1)により示される。
An actual example is shown below.
Assuming 1 pF and the frequency at the time of disconnection f = 100 MHz, the impedance (capacitive reactance) of the capacitor is expressed by the following (Equation 1).

【0028】 1/(2πfC)=1592(Ω) ・・・(式1)1 / (2πfC) = 1592 (Ω) (Equation 1)

【0029】(式1)から理解できるように、コンデン
サのインピーダンスは、加えられる交流信号の周波数に
よって変化する。低い周波数の交流信号に対しては、イ
ンピーダンスが大きくなるので、電流はほとんど流れな
い。しかしながら、高い周波数の交流信号に対しては、
インピーダンスが小さくなるので、コンデンサの部分を
自由に流れる。直流信号の場合は、充電された後は、電
流が流れない。
As can be understood from (Equation 1), the impedance of the capacitor changes depending on the frequency of the applied AC signal. For a low-frequency AC signal, almost no current flows because the impedance increases. However, for high frequency AC signals,
Since the impedance is reduced, it flows freely through the capacitor. In the case of a DC signal, no current flows after charging.

【0030】電源電圧が5Vのとき、静電保護回路に流
れる電流値は、以下の(式2)により3mAとなる。
When the power supply voltage is 5 V, the value of the current flowing through the electrostatic protection circuit is 3 mA according to the following (Equation 2).

【0031】 5/1592=0.003(A) ・・・(式2)5/1592 = 0.003 (A) (Formula 2)

【0032】ここで、ヒューズの抵抗を10Ωとすると
ヒューズで発生する電力Wは、以下の(式3)に示すよ
うに15mWとなる。
Here, assuming that the resistance of the fuse is 10Ω, the electric power W generated by the fuse is 15 mW as shown in the following (Equation 3).

【0033】 W=5×0.003=0.015(W) ・・・(式3)W = 5 × 0.003 = 0.015 (W) (Equation 3)

【0034】従って、このヒューズは15mWで切断さ
れるように設計すればよい。
Therefore, the fuse may be designed to be cut at 15 mW.

【0035】本発明の構成は、従来技術における静電保
護回路のダイオード4をコンデンサ2に置換したもので
ある。従来技術においては、ダイオード4に印加される
逆方向電圧がある限度の大きさ(降伏電圧)になると、
急激に電流が流れるという特性を利用して、内部回路を
破壊するような高周波信号をGNDに放電していた。
In the configuration of the present invention, the diode 4 of the conventional electrostatic protection circuit is replaced with a capacitor 2. In the prior art, when the reverse voltage applied to the diode 4 reaches a certain limit (breakdown voltage),
Utilizing the characteristic that a current flows rapidly, a high-frequency signal that destroys an internal circuit is discharged to GND.

【0036】これに対し、本発明においては、コンデン
サ2の低周波信号は通しにくく、高周波信号は通しやす
いという特性をもって、従来技術におけるダイオード4
の役割を果たすことができる。このように、半導体装置
が実装前の単体のときの効果は同様のものである。
On the other hand, in the present invention, the low-frequency signal of the capacitor 2 is hard to pass, and the high-frequency signal is easy to pass.
Can play a role. As described above, the effect is the same when the semiconductor device is a single device before mounting.

【0037】しかしながら、ヒューズ1、3を溶断する
段階になると、その差異が顕著になる。従来技術におい
ては、ダイオード4があるため、ヒューズ3を溶断する
ためにGND側から直流大電流を流さなければならな
い。これに対し、本発明によれば、信号端子側INから
交流信号を加えるだけで、ヒューズ1を溶断することが
できる。
However, when the fuses 1 and 3 are blown, the difference becomes remarkable. In the prior art, since the diode 4 is provided, a large direct current must be supplied from the GND side to blow the fuse 3. On the other hand, according to the present invention, the fuse 1 can be blown only by applying an AC signal from the signal terminal side IN.

【0038】また、半導体装置が実装前の単体のときに
高周波信号が加えられても、ヒューズ1に所定の時間、
当該高周波信号が加えられなければ、ヒューズ1が溶断
することはなく、静電保護回路が分離することはない。
どのくらいの時間で溶断するヒューズ1を使用するか
は、実装前におけるテスト等において、どのくらいの周
波数の信号を加える必要があるか等を基に決定される。
Further, even if a high-frequency signal is applied when the semiconductor device is a single unit before mounting, the fuse 1 is kept in the fuse 1 for a predetermined time.
If the high-frequency signal is not applied, the fuse 1 does not blow and the electrostatic protection circuit does not separate.
How long the fuse 1 to be blown is used is determined on the basis of how much frequency signal needs to be applied in a test or the like before mounting.

【0039】なお、上述した実施の形態は、本発明の好
適な実施の形態の一例として示したものであり、本発明
の要旨を逸脱しない範囲内において、種々変形実施が可
能である。
The above-described embodiment is shown as an example of a preferred embodiment of the present invention, and various modifications can be made without departing from the gist of the present invention.

【0040】[0040]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
にかかる半導体装置の静電保護回路およびその使用方法
によれば、組立から実装工程までの間、半導体集積回路
の信号端子にコンデンサが付いているため、静電気が加
わっても内部回路の破壊を防止することができる。実装
後、所定の時間、信号端子に交流信号が加えられるとコ
ンデンサを通じて電流が流れるため、ヒューズを溶断す
ることができる。ヒューズを溶断すると、コンデンサの
静電容量の影響を除去することができる。
As is apparent from the above description, according to the electrostatic protection circuit for a semiconductor device and the method of using the same according to the present invention, a capacitor is connected to the signal terminal of the semiconductor integrated circuit from the assembly to the mounting process. Because of this, internal circuits can be prevented from being damaged even when static electricity is applied. When an AC signal is applied to the signal terminal for a predetermined time after mounting, a current flows through the capacitor, so that the fuse can be blown. When the fuse is blown, the influence of the capacitance of the capacitor can be eliminated.

【0041】また、ヒューズが切断されるとコンデンサ
が信号端子から切り離されるので、高周波信号を内部回
路に伝達することができる。特に高周波を扱う信号端子
では、コンデンサが付けられないため静電気に対して弱
かったが、本発明はそのような信号端子に対しても静電
気保護として有効である。
When the fuse is blown, the capacitor is disconnected from the signal terminal, so that a high-frequency signal can be transmitted to the internal circuit. In particular, signal terminals that handle high frequencies are weak against static electricity because no capacitor is provided. However, the present invention is also effective for protecting such signal terminals as static electricity.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施の形態における静電保護回路を示
した回路図である。
FIG. 1 is a circuit diagram showing an electrostatic protection circuit according to an embodiment of the present invention.

【図2】従来技術における静電保護回路を示した回路図
である。
FIG. 2 is a circuit diagram showing an electrostatic protection circuit according to the related art.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ヒューズ 2 コンデンサ 3 ヒューズ 4 ダイオード 1 Fuse 2 Capacitor 3 Fuse 4 Diode

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 信号端子と内部回路との間に設けられた
半導体装置の静電保護回路において、 前記静電保護回路は、 ヒューズとコンデンサとを直列に配置したことを特徴と
する半導体装置の静電保護回路。
1. An electrostatic protection circuit for a semiconductor device provided between a signal terminal and an internal circuit, wherein the electrostatic protection circuit includes a fuse and a capacitor arranged in series. Electrostatic protection circuit.
【請求項2】 前記静電保護回路は、 前記ヒューズに交流信号が入力されると、前記信号端子
から切断されることを特徴とする請求項1記載の半導体
装置の静電保護回路。
2. The electrostatic protection circuit for a semiconductor device according to claim 1, wherein the electrostatic protection circuit is disconnected from the signal terminal when an AC signal is input to the fuse.
【請求項3】 前記交流信号は、 前記信号端子側から入力されることを特徴とする請求項
2記載の半導体装置の静電保護回路。
3. The electrostatic protection circuit according to claim 2, wherein the AC signal is input from the signal terminal side.
【請求項4】 前記交流信号は、 前記半導体装置の製造工程の任意の時点で、前記信号端
子に入力されることを特徴とする請求項2または3記載
の半導体装置の静電保護回路。
4. The electrostatic protection circuit for a semiconductor device according to claim 2, wherein the AC signal is input to the signal terminal at an arbitrary point in a manufacturing process of the semiconductor device.
【請求項5】 前記交流信号は、 前記半導体装置を基板に実装後、前記信号端子に入力さ
れることを特徴とする請求項2または3記載の半導体装
置の静電保護回路。
5. The electrostatic protection circuit according to claim 2, wherein the AC signal is input to the signal terminal after mounting the semiconductor device on a substrate.
【請求項6】 前記交流信号は、 前記信号端子に所定の時間、入力されることを特徴とす
る請求項2から5のいずれか1項に記載の半導体装置の
静電保護回路。
6. The electrostatic protection circuit for a semiconductor device according to claim 2, wherein the AC signal is input to the signal terminal for a predetermined time.
【請求項7】 信号端子と内部回路との間に設けられ、
ヒューズとコンデンサとを直列に配置した半導体装置の
静電保護回路の使用方法であって、 前記ヒューズに交流信号を入力して前記静電保護回路を
前記信号端子から切断することを特徴とする半導体装置
の静電保護回路の使用方法。
7. It is provided between a signal terminal and an internal circuit,
A method for using an electrostatic protection circuit of a semiconductor device in which a fuse and a capacitor are arranged in series, wherein an AC signal is input to the fuse to disconnect the electrostatic protection circuit from the signal terminal. How to use the electrostatic protection circuit of the device.
【請求項8】 前記交流信号を前記信号端子の側から入
力することを特徴とする請求項7記載の半導体装置の静
電保護回路の使用方法。
8. The method according to claim 7, wherein the AC signal is input from a side of the signal terminal.
【請求項9】 前記半導体装置の製造工程の任意の時点
で、前記交流信号を前記信号端子に入力して、前記静電
保護回路を前記信号端子から切断することを特徴とする
請求項7または8記載の半導体装置の静電保護回路の使
用方法。
9. The semiconductor device according to claim 7, wherein the AC signal is input to the signal terminal at an arbitrary point in a manufacturing process of the semiconductor device, and the electrostatic protection circuit is disconnected from the signal terminal. 9. A method for using the electrostatic protection circuit for a semiconductor device according to claim 8.
【請求項10】 前記半導体装置を基板に実装後、前記
交流信号を前記信号端子に入力して、前記静電保護回路
を前記信号端子から切断することを特徴とする請求項7
または8記載の半導体装置の静電保護回路の使用方法。
10. The semiconductor device according to claim 7, wherein after mounting the semiconductor device on a substrate, the AC signal is input to the signal terminal to disconnect the electrostatic protection circuit from the signal terminal.
9. A method for using an electrostatic protection circuit for a semiconductor device according to item 8.
【請求項11】 前記交流信号を所定の時間、前記信号
端子に入力して前記静電保護回路を前記信号端末から切
断することを特徴とする請求項7から10のいずれか1
項に記載の半導体装置の静電保護回路の使用方法。
11. The signal processing apparatus according to claim 7, wherein the AC signal is input to the signal terminal for a predetermined time to disconnect the electrostatic protection circuit from the signal terminal.
13. A method for using the electrostatic protection circuit for a semiconductor device according to the item.
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