JP2001255603A - Laser beam exposure device, and method and device for modulating wavelength of laser beam - Google Patents

Laser beam exposure device, and method and device for modulating wavelength of laser beam

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JP2001255603A
JP2001255603A JP2000064713A JP2000064713A JP2001255603A JP 2001255603 A JP2001255603 A JP 2001255603A JP 2000064713 A JP2000064713 A JP 2000064713A JP 2000064713 A JP2000064713 A JP 2000064713A JP 2001255603 A JP2001255603 A JP 2001255603A
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laser
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beam exposure
photosensitive material
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幸登 中村
Kazuhiro Sakino
和弘 崎野
Atsushi Oishi
篤 大石
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Konica Minolta Inc
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laser beam exposure device easily optically adjusted, restraining the loss of light quantity and preventing density fluctuation caused by interference irregularity. SOLUTION: This laser beam exposure device performs exposure by irradiating photosensitive material F having at least one photosensitive layer or supporting body layer transmissible or semi-transmissible to wavelength to be used with laser beams from laser beam sources 125 and 127. A beam irradiation area consisting of one scanning line or plural continuous scanning lines irradiated with the laser beam is set as one linear area, and the light quantity distribution ratio of the irradiating laser beam is changed between the adjacent linear areas. Then, it is conceivable that a beam irradiation area surrounded by one or plural pixels irradiated with the laser beam is set as one pixel area and the light quantity distribution ratio of the irradiating laser beam is changed between the adjacent pixels. It is also conceivable to change the temperature of the laser element of the laser beam source performing irradiation between the linear area and the linear area adjacent thereto or between the pixel area and the pixel area adjacent thereto.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ハロゲン化銀感光
材料等の感光材料に画像を形成するためにレーザビーム
を照射して露光するレーザビーム露光装置、レーザビー
ム波長変調方法及び装置に関し、特に、感光材料におけ
るレーザ干渉による画像ムラを抑制できるレーザビーム
露光装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser beam exposure apparatus for irradiating a photosensitive material such as a silver halide photosensitive material with a laser beam to form an image on a laser beam, and a method and apparatus for modulating a laser beam wavelength. The present invention relates to a laser beam exposure apparatus capable of suppressing image unevenness due to laser interference in a photosensitive material.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、画像データに基づいて画像を記録
するためにハロゲン化銀写真感光材料をレーザ光により
露光していた。そして、近年、液処理が不要で熱現像に
より画像を顕像化できるハロゲン化銀熱現像感光材料が
登場した。しかし、これをレーザ光で露光すると干渉縞
が発生し画像ムラが生じてしまうことがある。この現象
をフィルム断面とレーザ光との関係を示す概念図である
図12により説明する。
2. Description of the Related Art Hitherto, a silver halide photographic material has been exposed to laser light in order to record an image based on image data. In recent years, a silver halide photothermographic material which does not require a liquid treatment and can visualize an image by thermal development has appeared. However, when this is exposed with a laser beam, interference fringes may occur and image unevenness may occur. This phenomenon will be described with reference to FIG. 12, which is a conceptual diagram showing the relationship between the cross section of the film and the laser beam.

【0003】図12(a)に示すように、ハロゲン化銀
熱現像感光材料の感光層とPET等の支持体とから構成
されたフィルムFにレーザ光が表面F1から入射する
と、裏面F2で一部が反射し表面F1に戻ることによ
り、直接記録層に照射される光B1と、感光層を透過し
た光のうち、F2面で反射し、さらにF1面で反射され
た光B2との間で干渉が起こる。このため、感光層に照
射される光量がフィルムの厚みにより変化し、その結果
ハロゲン化銀熱現像感光材料の感光層への露光量が変動
し、濃度ムラが生じてしまう。
As shown in FIG. 12A, when a laser beam is incident on a film F composed of a photosensitive layer of a silver halide photothermographic material and a support such as PET from a front surface F1, a laser beam is applied to a back surface F2. The portion reflects and returns to the surface F1, so that between the light B1 directly irradiating the recording layer and the light B2 reflected on the F2 surface of the light transmitted through the photosensitive layer and further reflected on the F1 surface. Interference occurs. For this reason, the amount of light applied to the photosensitive layer varies depending on the thickness of the film, and as a result, the exposure amount of the photosensitive material of the silver halide heat-developable photosensitive material to the photosensitive layer fluctuates, causing density unevenness.

【0004】直接感光層に照射される光B1と、F2
面、F1面で反射された後、記録層に照射される光B2
との光路差δが、レーザ波長の整数倍のとき感光層に照
射される光量が最大になり、整数倍から半波長ずれたと
きに最小になる。屈折率の異なる媒体の境界面における
反射率Rは、この境界面を挟む各々の媒体の屈折率をn
A,nBとすると、次の式(1)で表すことができる。
The light B1 directly applied to the photosensitive layer and F2
B2 irradiating the recording layer after being reflected by the surface F1
When the optical path difference δ is an integral multiple of the laser wavelength, the amount of light irradiated to the photosensitive layer becomes maximum, and when the optical path difference δ deviates from the integral multiple by a half wavelength, it becomes minimum. The reflectance R at the interface between media having different refractive indices is represented by n which is the refractive index of each medium sandwiching this interface.
A and nB can be represented by the following equation (1).

【0005】 R=((nB−nA)/(nB+nA))2 (1)R = ((nB−nA) / (nB + nA)) 2 (1)

【0006】ここで、例えば感光材料の各層の屈折率が
同じで一様であり、nB=1(空気),nA=1.5
(感光材料)とすると、空気と感光材料との境界面での
反射率Rは4%になる。また、干渉による光量変化(ピ
ークtoピーク)ΔAは、次の式(2)で表すことがで
き、上述の場合、16%にもなる。
Here, for example, the refractive index of each layer of the photosensitive material is the same and uniform, and nB = 1 (air) and nA = 1.5.
(Photosensitive material), the reflectance R at the interface between the air and the photosensitive material is 4%. Further, the change in light amount (peak-to-peak) ΔA due to interference can be expressed by the following equation (2), and in the above case, it is as large as 16%.

【0007】 ΔA=4R (2)ΔA = 4R (2)

【0008】実際には、図12(b)のように、支持体
の裏面F2側にはレーザ光の吸収層が設けられており、
また、感光層に含まれるハロゲン化銀粒子による散乱光
sの発生のため、干渉による光量変化は上記の値より少
なくなる。しかし、吸収層と支持体とにわずかでも屈折
率の違いがあると、この吸収層と支持体の境界面F2で
反射が生じ、吸収層が寄与しなくなる。また、従来の感
光材料は、含まれるハロゲン化銀粒子のサイズが大き
く、また吸収層を多層に設けることができるので、干渉
縞は発生し難いのに対し、熱現像感光材料は、従来の感
光材料に比較してハロゲン化銀粒子が細かく、感光層内
での散乱が従来のフィルムよりもずっと少なく、特に、
γが2以上の硬調な熱現像材料である場合、干渉縞が顕
著となる。
Actually, as shown in FIG. 12B, a laser beam absorbing layer is provided on the back surface F2 side of the support.
Further, since the scattered light s is generated by the silver halide particles contained in the photosensitive layer, the change in the amount of light due to interference is smaller than the above value. However, if there is a slight difference in the refractive index between the absorption layer and the support, reflection occurs at the interface F2 between the absorption layer and the support, and the absorption layer does not contribute. Further, conventional photosensitive materials contain large silver halide grains and can be provided with a plurality of absorption layers, so that interference fringes are unlikely to occur. Silver halide grains are finer than the material, scattering in the photosensitive layer is much less than conventional films,
In the case of a heat development material having a high γ of 2 or more, the interference fringes become remarkable.

【0009】上述のような干渉による光量変動は、次の
ような対策(1)〜(3)により防止することが可能である。 (1)支持体の裏面(F2)に反射防止膜を設け、支持体
と吸収層との間の面F2での反射率を低減させる。 (2)支持体の厚みのバラツキを、レーザ光の波長(一般
的には0.5μm〜1.5μm)の数分の1以下に抑え
る。 (3)支持体と吸収層との屈折率差を小さくして、支持体
と吸収層との間の境界面F2での反射率を小さくする。
The above-mentioned fluctuations in light amount due to interference can be prevented by the following measures (1) to (3). (1) An antireflection film is provided on the back surface (F2) of the support to reduce the reflectance on the surface F2 between the support and the absorbing layer. (2) The thickness variation of the support is suppressed to a fraction of the wavelength of the laser beam (generally, 0.5 μm to 1.5 μm). (3) The difference in refractive index between the support and the absorption layer is reduced, and the reflectance at the interface F2 between the support and the absorption layer is reduced.

【0010】しかし、対策(1)はコストアップにつなが
り、好ましくない。また対策(2)に関しては、数μmの
厚みの媒体のバラツキを抑えることは可能でも、100
μm以上の厚みを有する媒体のバラツキを、サブμm以
下に抑えることは不可能に近い。更に対策(3)に関して
も、わずか0.05以下の屈折率差でも干渉縞になるた
め、両者の屈折率差をこのレべル以下に合わせることは
殆ど不可能である。
However, the countermeasure (1) leads to an increase in cost, which is not preferable. Regarding the measure (2), it is possible to suppress the dispersion of the medium having a thickness of several μm,
It is almost impossible to suppress the variation of the medium having a thickness of μm or more to sub μm or less. Further, with respect to the measure (3), even if the difference in refractive index is as small as 0.05 or less, interference fringes will be caused, and it is almost impossible to make the difference in refractive index between the two smaller than this level.

【0011】また、特開平11−48523号公報に
は、干渉縞の発生を防止するために異なる波長のレーザ
光源からの光を重畳して記録材料に照射することが開示
されている。しかし、この場合、2個以上のレーザ光源
が必ず必要であり、レーザビーム自体を干渉抑制したビ
ームとするから、主走査方向及び副走査方向ともに2つ
のレーザ光が重畳し一致することが必要となり、このた
めレーザ光源や光学系の光学調整が難しくなり、製造時
及びメンテナンス時にその光学調整に手間取り生産等の
効率が低下してしまう。更に、経時変化または環境変化
により、2つのビーム間でずれが起こりやすく、ビーム
間にずれが生じると、干渉ムラが十分抑制されなくな
り、更にビーム径も変化してしまい、ボケ、鮮鋭性低下
等の画質の低下も招き易い。
Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-48523 discloses that a recording material is irradiated with light from laser light sources having different wavelengths in a superimposed manner in order to prevent the occurrence of interference fringes. However, in this case, two or more laser light sources are necessarily required, and the laser beam itself is a beam in which interference is suppressed. Therefore, it is necessary that two laser beams overlap and coincide in the main scanning direction and the sub-scanning direction. Therefore, optical adjustment of the laser light source and the optical system becomes difficult, and the efficiency of the optical adjustment at the time of manufacturing and maintenance is reduced. Furthermore, a shift between two beams is likely to occur due to a change over time or an environmental change. If a shift occurs between the beams, interference unevenness is not sufficiently suppressed, and the beam diameter also changes, resulting in blurring, sharpness reduction, etc. Image quality is likely to deteriorate.

【0012】[0012]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述のよう
な従来技術の問題に鑑みなされたもので、光学調整が簡
単でありかつ光量の損失を抑え、干渉ムラによる濃度変
動のないレーザビーム露光装置を提供することを目的と
する。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems in the prior art, and has been made in view of the above-mentioned problems. An object of the present invention is to provide an exposure apparatus.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】上記課題を達成するた
め、本発明によるレーザビーム露光装置は、使用する波
長に対して透過性または半透過性である支持体層または
感光層を少なくとも1つ有する感光材料に対しレーザ光
源からレーザビームを照射し露光するレーザビーム露光
装置であって、前記レーザビームにより照射される1本
の走査線または連続した複数本の走査線からなるビーム
照射域を1つの線状領域と定義し、隣接する前記線状領
域間で、照射するレーザビームの光量分配比率を変える
ことを特徴とする。
In order to achieve the above-mentioned object, a laser beam exposure apparatus according to the present invention has at least one support layer or photosensitive layer which is transparent or semi-transparent to the wavelength used. A laser beam exposure apparatus for irradiating a photosensitive material with a laser beam from a laser light source and exposing the same to one scanning line or a plurality of continuous scanning lines irradiated by the laser beam. It is defined as a linear region, and the light distribution ratio of the laser beam to be irradiated is changed between the adjacent linear regions.

【0014】また、本発明による別のレーザビーム露光
装置は、使用する波長に対して透過性または半透過性で
ある支持体層または感光層を少なくとも1つ有する感光
材料に対しレーザ光源からレーザビームを照射し露光す
るレーザビーム露光装置であって、前記レーザビームを
照射する1個または複数個の画素で囲まれたビーム照射
領域を1つの画素域とし、隣接する前記画素間で照射す
るレーザビームの光量分配比率を変えることを特徴とす
る。
Further, another laser beam exposure apparatus according to the present invention provides a laser beam exposure apparatus for a photosensitive material having at least one support layer or photosensitive layer which is transmissive or semi-transmissive to the wavelength to be used. A laser beam exposure apparatus for irradiating a laser beam, wherein a beam irradiation area surrounded by one or a plurality of pixels for irradiating the laser beam is defined as one pixel area, and the laser beam is irradiated between adjacent pixels. Is characterized by changing the light distribution ratio of the light.

【0015】また、本発明による更に別のレーザビーム
露光装置は、使用する波長に対して透過性または半透過
性である支持体層または感光層を少なくとも1つ有する
感光材料に対しレーザ光源からレーザビームを照射し露
光するレーザビーム露光装置であって、前記レーザビー
ムにより照射される1本の走査線または連続した複数本
の走査線からなるビーム照射域を1つの線状領域と定義
し、隣接する前記線状領域間で、照射を行う前記レーザ
光源のレーザ素子の温度を変えることことを特徴とす
る。
[0015] Still another laser beam exposure apparatus according to the present invention is a laser light exposure apparatus for a photosensitive material having at least one support layer or photosensitive layer that is transmissive or translucent to the wavelength to be used. A laser beam exposure apparatus for irradiating and exposing a beam, wherein a beam irradiation area formed by one scanning line or a plurality of continuous scanning lines irradiated by the laser beam is defined as one linear region, The temperature of a laser element of the laser light source for irradiation is changed between the linear regions to be irradiated.

【0016】また、本発明による更に別のレーザビーム
露光装置は、使用する波長に対して透過性または半透過
性である支持体層または感光層を少なくとも1つ有する
感光材料に対しレーザ光源からレーザビームを照射し露
光するレーザビーム露光装置であって、前記レーザビー
ムにより照射される1画素または連続した複数の画素か
らなるビーム照射域を1つの画素域と定義し、隣接する
前記画素域間で、照射を行う前記レーザ光源のレーザ素
子の温度を変えることを特徴とする。
[0016] Still another laser beam exposure apparatus according to the present invention is a laser beam exposure apparatus, comprising: a photosensitive material having at least one support layer or photosensitive layer that is transparent or translucent to the wavelength to be used; A laser beam exposure apparatus for irradiating and exposing a beam, wherein a beam irradiation area composed of one pixel or a plurality of continuous pixels irradiated by the laser beam is defined as one pixel area, and a pixel irradiation area is defined between adjacent pixel areas. The temperature of a laser element of the laser light source that performs irradiation is changed.

【0017】上述のレーザビーム露光装置によれば、線
状領域または画素域内で各走査線毎または各画素毎のビ
ームでは干渉し、ミクロ空間的には干渉ムラはあるが、
隣接する線状領域間または画素域間で照射ビームの光量
分配比率を変えるかまたはレーザ光源のレーザ素子の温
度を変えるので、レーザビームの波長を変えることがで
きるから、マクロ空間的には干渉ムラが非可視化する。
これにより、形成される画像の品質が向上する。また、
従来のように、2つのレーザビームを一致させる必要が
ないから、少なくとも主走査方向のビームずれの補正は
可能であり、光学調整、メンテナンスが容易となる。主
走査方向のビーム位置ずれの補正方法として、各走査線
の書き込みスタートタイミングを決める同期センサ信号
を用い、各走査線の主走査方向のビーム位置ずれ分だけ
各走査線毎の書き込みスタートタイミングをずらすこと
により補正できる。また、従来のように必ずしも2個の
レーザ光源は必要ではなく、1個でも実現でき、この場
合、経時変化または環境変化に対しても2つのレーザビ
ーム間のずれの問題が起きないので、安定的に干渉ムラ
が抑制され、良好な画像形成が安定してできる。
According to the above-described laser beam exposure apparatus, in the linear region or the pixel region, the beam interferes with each scanning line or each pixel, and there is interference unevenness in micro space.
The wavelength distribution of the laser beam can be changed by changing the light distribution ratio of the irradiation beam or by changing the temperature of the laser element of the laser light source between adjacent linear regions or pixel regions. Becomes invisible.
Thereby, the quality of the formed image is improved. Also,
Since it is not necessary to make two laser beams coincide with each other as in the related art, it is possible to at least correct a beam shift in the main scanning direction, and optical adjustment and maintenance become easy. As a method of correcting the beam position shift in the main scanning direction, a synchronous sensor signal that determines the writing start timing of each scanning line is used, and the writing start timing of each scanning line is shifted by the beam position shift in the main scanning direction of each scanning line. Can be corrected. In addition, two laser light sources are not always necessary as in the conventional case, and even one laser light source can be realized. In this case, there is no problem of a shift between the two laser beams even with a change with time or an environmental change. Interference unevenness is suppressed, and good image formation can be stably performed.

【0018】また、照射ビームの光量分配比率を変える
にはレーザダイオードの場合であれば、動作電流の変調
だけで波長を変えられるので、構成が複雑にならず、ま
た、温度制御が不要となる。これにより、レーザビーム
露光装置において高速変調が可能となり、簡単な構成
で、低コスト化を達成できる。
In the case of a laser diode for changing the light quantity distribution ratio of the irradiation beam, the wavelength can be changed only by modulating the operating current, so that the configuration is not complicated and the temperature control is unnecessary. . Thereby, high-speed modulation is possible in the laser beam exposure apparatus, and cost reduction can be achieved with a simple configuration.

【0019】また、ビーム照射域を画素単位とすると、
走査線単位よりも干渉ムラを非可視化できるマクロ空間
領域が狭くできる。このため、マクロ空間領域をより拡
大して見ても、干渉ムラを充分に非可視化できる。
Further, when the beam irradiation area is set in pixel units,
The macro space region in which the interference unevenness can be made invisible can be made narrower than the scanning line unit. For this reason, even if the macro space region is enlarged, the interference unevenness can be sufficiently invisible.

【0020】また、レーザ光源のレーザ素子の温度を変
える構成によれば、レーザ光源が1つでよく、光学的に
簡単な構成になる。これにより、レーザビーム露光装置
を簡単な構成にでき、低コスト化を達成できる。
Further, according to the configuration in which the temperature of the laser element of the laser light source is changed, only one laser light source is required and the configuration is optically simple. Thus, the laser beam exposure apparatus can have a simple configuration, and cost reduction can be achieved.

【0021】また、前記レーザビームの光量分配比率の
パターンが規則的であるようにできるし、また、ランダ
ムであるようにできる。
Further, the pattern of the light amount distribution ratio of the laser beam can be made regular or random.

【0022】また、前記線状領域と前記隣接する線状領
域とは、または前記画素域と前記隣接する画素域とは干
渉ムラが非可視化されている範囲である。
Further, the linear region and the adjacent linear region, or the pixel region and the adjacent pixel region are regions in which interference unevenness is invisible.

【0023】また、前記レーザ光源は1つであることに
より、光学的に簡単な構成となり、製造時及びメンテナ
ンス時の光学調整が容易となり、コスト的に有利とな
り、また、複数のレーザ光源の波長選別が不要となる。
この場合、前記1つのレーザ光源で前記隣接する線状領
域間毎に光量分配比率を切り替えて前記感光材料に照射
することが好ましい。
Further, since the number of the laser light sources is one, it has an optically simple structure, the optical adjustment at the time of manufacturing and maintenance is easy, the cost is advantageous, and the wavelength of the plurality of laser light sources is large. Sorting is not required.
In this case, it is preferable that the one laser light source irradiates the photosensitive material while switching the light amount distribution ratio between the adjacent linear regions.

【0024】また、前記レーザ光源が複数である場合、
主走査方向にレーザビームがずれていても補正ができ、
主走査方向の各レーザビームが必ずしも一致する必要は
ない。主走査方向のビーム位置ずれの補正方法として、
各走査線の書き込みスタートタイミングを決める同期セ
ンサ信号を用い、各走査線の主走査方向のビーム位置ず
れ分だけ各走査線毎の書き込みスタートタイミングをず
らすことにより補正できる。このため、製造時及びメン
テナンス時の光学調整が比較的容易であり、コスト的に
も有利である。この場合、光量分配比率の異なる前記複
数のレーザ光源を、前記隣接する線状領域間毎に切り替
えて前記感光材料に照射することが好ましい。このよう
にレーザ光源が複数である場合、前記光量分配比率は前
記レーザビームが所定の光量以下のときに変えることに
より最大光量を保持できる。この所定光量以下とは、光
量が最大光量に近くなる濃度範囲では干渉ムラの問題は
殆ど生じないから、干渉による濃度ムラが視認できる光
量レベル以下、例えば最大光量に対して30〜80%、
望ましくは50%程度が好ましい。
When there are a plurality of laser light sources,
Correction is possible even if the laser beam is shifted in the main scanning direction,
The laser beams in the main scanning direction do not necessarily have to match. As a method of correcting the beam position shift in the main scanning direction,
The correction can be made by shifting the write start timing for each scanning line by the amount of the beam position shift in the main scanning direction of each scanning line using a synchronous sensor signal that determines the write start timing for each scanning line. For this reason, optical adjustment at the time of manufacture and maintenance is relatively easy, and it is advantageous in terms of cost. In this case, it is preferable to irradiate the photosensitive material with the plurality of laser light sources having different light amount distribution ratios switched between the adjacent linear regions. Thus, when there are a plurality of laser light sources, the maximum light amount can be held by changing the light amount distribution ratio when the laser beam is equal to or less than a predetermined light amount. When the light amount is equal to or less than the predetermined light amount, the problem of interference unevenness hardly occurs in a density range where the light amount is close to the maximum light amount.
Desirably, about 50% is preferable.

【0025】また、前記感光材料は干渉しやすい材料を
使用することができ、感光材料の材質や構成等を決める
ときにその選択の幅が広がり好ましい。
Further, as the photosensitive material, a material which easily interferes can be used, and when the material and configuration of the photosensitive material are determined, the range of choices is widened and is preferable.

【0026】また、前記レーザ素子の温度を所定範囲以
上にわたり変調しながら前記感光材料に露光することに
より、ほぼ垂直入射が可能であり、ミクロ的に干渉ムラ
は発生するが、高い空間周波数で変調されており、干渉
ムラの非可視化を達成できる。また、前記変調は前記線
状領域毎に実施することが好ましい。
By exposing the photosensitive material while modulating the temperature of the laser element over a predetermined range, substantially vertical incidence is possible, and interference unevenness occurs microscopically, but modulation is performed at a high spatial frequency. This makes it possible to achieve non-visualization of interference unevenness. Preferably, the modulation is performed for each of the linear regions.

【0027】また、前記レーザ素子に温度制御部材が直
接に結合されていることが好ましく、温度制御の速度を
上昇できる。
It is preferable that a temperature control member is directly connected to the laser element, so that the speed of temperature control can be increased.

【0028】また、前記変調は前記レーザ素子に前記光
源と別の波長の温度変調用光ビームを注入し、前記光ビ
ームの光量を変調することにより行うことができる。こ
れによれば、温度制御の速度が速くでき、これを低コス
トで達成できる。
The modulation can be performed by injecting a light beam for temperature modulation having a different wavelength from that of the light source into the laser element and modulating the light amount of the light beam. According to this, the speed of temperature control can be increased, and this can be achieved at low cost.

【0029】また、前記変調はランダムな温度変調であ
るようにでき、また、前記変調は干渉パターンが逆転す
るような2値の温度間を変調するようにできる。これに
より、ほぼ垂直入射が可能であり、ミクロ的に干渉ムラ
は発生するが、高い空間周波数で変調されており、干渉
ムラの非可視化を達成できる。
Further, the modulation may be a random temperature modulation, and the modulation may be a modulation between binary temperatures at which an interference pattern is reversed. As a result, nearly vertical incidence is possible, and interference unevenness occurs microscopically, but modulation is performed at a high spatial frequency, so that interference unevenness can be made invisible.

【0030】また、本発明による更に別のレーザビーム
露光装置は、使用する波長に対して透過性または半透過
性である支持体層または感光層を少なくとも1つ有する
感光材料に対しレーザ光源からレーザビームを照射し露
光するレーザビーム露光装置であって、前記感光材料が
光学的異方性を有する場合、その光学的異方性に応じ
て、照射レーザビームの偏光状態を制御することを特徴
とする。
[0030] Still another laser beam exposure apparatus according to the present invention is a laser beam exposure apparatus, comprising: a photosensitive material having at least one support layer or photosensitive layer that is transmissive or semi-transmissive to a wavelength to be used; A laser beam exposure apparatus for irradiating and exposing a beam, wherein when the photosensitive material has optical anisotropy, the polarization state of the irradiation laser beam is controlled according to the optical anisotropy. I do.

【0031】これによれば、感光材料の支持体の光学的
異方性に起因する干渉ムラを抑制できる。
According to this, it is possible to suppress interference unevenness caused by the optical anisotropy of the support of the photosensitive material.

【0032】また、本発明による更に別のレーザビーム
露光装置は、使用する波長に対して透過性または半透過
性である支持体層または感光層を少なくとも1つ有する
感光材料に対しレーザ光源からレーザビームを照射し露
光するレーザビーム露光装置であって、前記感光材料が
光学的異方性を有する場合、その光学的異方性に応じ
て、照射レーザビームの偏光状態を制御するとともに、
前記レーザビームにより照射される1本の走査線または
連続した複数本の走査線からなるビーム照射域を1つの
線状領域と定義し、隣接する前記線状領域間で、照射す
るレーザビームの光量分配比率を変えることを特徴とす
る。
Further, still another laser beam exposure apparatus according to the present invention provides a laser beam exposure apparatus for a photosensitive material having at least one support layer or photosensitive layer which is transmissive or semi-transmissive to the wavelength to be used. A laser beam exposure apparatus that irradiates and exposes a beam, and when the photosensitive material has optical anisotropy, controls the polarization state of the irradiation laser beam according to the optical anisotropy,
A beam irradiation area composed of one scanning line or a plurality of continuous scanning lines irradiated by the laser beam is defined as one linear region, and the light amount of the laser beam to be irradiated between adjacent linear regions. It is characterized in that the distribution ratio is changed.

【0033】また、本発明による更に別のレーザビーム
露光装置は、使用する波長に対して透過性または半透過
性である支持体層または感光層を少なくとも1つ有する
感光材料に対しレーザ光源からレーザビームを照射し露
光するレーザビーム露光装置であって、前記感光材料が
光学的異方性を有する場合、その光学的異方性に応じ
て、照射レーザビームの偏光状態を制御するとともに、
前記レーザビームにより照射される1画素または連続し
た複数の画素からなるビーム照射域を1つの画素域と定
義し、隣接する前記画素域間で、照射するレーザビーム
の光量分配比率を変えることを特徴とする。
[0033] Still another laser beam exposure apparatus according to the present invention is a laser beam exposure apparatus, comprising: a photosensitive material having at least one support layer or photosensitive layer that is transmissive or translucent to a wavelength to be used; A laser beam exposure apparatus that irradiates and exposes a beam, and when the photosensitive material has optical anisotropy, controls the polarization state of the irradiation laser beam according to the optical anisotropy,
A beam irradiation area composed of one pixel or a plurality of continuous pixels irradiated by the laser beam is defined as one pixel area, and a light amount distribution ratio of a laser beam to be irradiated is changed between the adjacent pixel areas. And

【0034】また、本発明による更に別のレーザビーム
露光装置は、使用する波長に対して透過性または半透過
性である支持体層または感光層を少なくとも1つ有する
感光材料に対しレーザ光源からレーザビームを照射し露
光するレーザビーム露光装置であって、前記感光材料が
光学的異方性を有する場合、その光学的異方性に応じ
て、照射レーザビームの偏光状態を制御するとともに、
前記レーザビームにより照射される1本の走査線または
連続した複数本の走査線からなるビーム照射域を1つの
線状領域と定義し、隣接する前記線状領域間で、照射を
行う前記レーザ光源のレーザ素子の温度を変えることを
特徴とする。
[0034] Still another laser beam exposure apparatus according to the present invention is a laser beam exposure apparatus, comprising: a photosensitive material having at least one support layer or photosensitive layer that is transparent or semi-transmissive to a wavelength to be used; A laser beam exposure apparatus that irradiates and exposes a beam, and when the photosensitive material has optical anisotropy, controls the polarization state of the irradiation laser beam according to the optical anisotropy,
The laser light source for irradiating between one adjacent linear area and defining a single irradiation area irradiated by the laser beam or a beam irradiation area including a plurality of continuous scanning lines as one linear area. The temperature of the laser element is changed.

【0035】また、本発明による更に別のレーザビーム
露光装置は、使用する波長に対して透過性または半透過
性である支持体層または感光層を少なくとも1つ有する
感光材料に対しレーザ光源からレーザビームを照射し露
光するレーザビーム露光装置であって、前記感光材料が
光学的異方性を有する場合、その光学的異方性に応じ
て、照射レーザビームの偏光状態を制御するとともに、
前記レーザビームにより照射される1画素または連続し
た複数の画素からなるビーム照射域を1つの画素域と定
義し、隣接する前記画素域間で、照射を行う前記レーザ
光源のレーザ素子の温度を変えることを特徴とする。
Further, still another laser beam exposure apparatus according to the present invention is a laser beam exposure apparatus, which comprises a photosensitive material having at least one support layer or photosensitive layer that is transmissive or semi-transmissive to the wavelength to be used. A laser beam exposure apparatus that irradiates and exposes a beam, and when the photosensitive material has optical anisotropy, controls the polarization state of the irradiation laser beam according to the optical anisotropy,
One pixel area irradiated by the laser beam or a beam irradiation area composed of a plurality of continuous pixels is defined as one pixel area, and the temperature of a laser element of the laser light source for irradiation is changed between adjacent pixel areas. It is characterized by the following.

【0036】上述のレーザビーム露光装置によれば、感
光材料に光学的異方性があっても、その光学的異方性に
応じて照射レーザビームの偏光状態を制御しかつ隣接す
る線状領域間で、または隣接する画素域間で、照射ビー
ムの光量分配比率を変えるかまたはレーザ光源のレーザ
素子の温度を変えるので、レーザビームの波長を変える
ことができるから、マクロ空間的には干渉ムラが非可視
化する。これにより、感光材料の厚み変動による干渉ム
ラを抑制するとともに、光学的異方性による干渉ムラを
抑制することができる。
According to the above-described laser beam exposure apparatus, even if the photosensitive material has optical anisotropy, the polarization state of the irradiation laser beam is controlled in accordance with the optical anisotropy and the adjacent linear region is controlled. Since the light beam distribution ratio of the irradiation beam or the temperature of the laser element of the laser light source is changed between the adjacent pixel areas or between adjacent pixel areas, the wavelength of the laser beam can be changed. Becomes invisible. Thereby, it is possible to suppress the interference unevenness due to the thickness variation of the photosensitive material and the interference unevenness due to the optical anisotropy.

【0037】また、前記レーザ光源が2つの場合、2つ
の直線偏光のレーザビームを偏光ビームスプリッタで合
波した後に前記偏光状態を制御することが好ましい。
In the case where there are two laser light sources, it is preferable to control the polarization state after combining two linearly polarized laser beams with a polarization beam splitter.

【0038】また、本発明による更に別のレーザビーム
露光装置は、使用する波長に対して透過性または半透過
性である支持体層または感光層を少なくとも1つ有する
感光材料に対しレーザ光源からレーザビームを照射し露
光するレーザビーム露光装置であって、前記レーザビー
ムにより照射される1本の走査線または連続した複数本
の走査線からなるビーム照射域を1つの線状領域と定義
し、隣接する前記線状領域間で、照射するレーザビーム
の光量分配比率を変えることを特徴とする。
[0038] Still another laser beam exposure apparatus according to the present invention is a laser beam exposure apparatus, comprising: a photosensitive material having at least one support layer or photosensitive layer that is transmissive or translucent to the wavelength to be used; A laser beam exposure apparatus for irradiating and exposing a beam, wherein a beam irradiation area formed by one scanning line or a plurality of continuous scanning lines irradiated by the laser beam is defined as one linear region, The light distribution ratio of the laser beam to be irradiated is changed between the linear regions.

【0039】また、本発明による更に別のレーザビーム
露光装置は、使用する波長に対して透過性または半透過
性である支持体層または感光層を少なくとも1つ有する
感光材料に対しレーザ光源からレーザビームを照射し露
光するレーザビーム露光装置であって、前記レーザビー
ムにより照射される1画素または連続した複数の画素か
らなるビーム照射域を1つの画素域と定義し、隣接する
前記画素域間で、照射するレーザビームの光量分配比率
を変えることを特徴とする。
Further, still another laser beam exposure apparatus according to the present invention is a laser beam exposure apparatus which comprises a photosensitive material having at least one support layer or photosensitive layer which is transparent or semi-transparent to the wavelength to be used. A laser beam exposure apparatus for irradiating and exposing a beam, wherein a beam irradiation area composed of one pixel or a plurality of continuous pixels irradiated by the laser beam is defined as one pixel area, and a pixel irradiation area is defined between adjacent pixel areas. It is characterized in that the light amount distribution ratio of the laser beam to be irradiated is changed.

【0040】また、本発明による更に別のレーザビーム
露光装置は、使用する波長に対して透過性または半透過
性である支持体層または感光層を少なくとも1つ有する
感光材料に対しレーザ光源からレーザビームを照射し露
光するレーザビーム露光装置であって、前記レーザビー
ムの偏光状態を円偏光にして前記感光材料に照射すると
ともに、前記レーザビームにより照射される1本の走査
線または連続した複数本の走査線からなるビーム照射域
を1つの線状領域と定義し、隣接する前記線状領域間
で、照射を行う前記レーザ光源のレーザ素子の温度を変
えることを特徴とする。
Further, still another laser beam exposure apparatus according to the present invention is a laser beam exposure apparatus which comprises a photosensitive material having at least one support layer or photosensitive layer which is transmissive or semi-transmissive to the wavelength to be used. A laser beam exposure apparatus for irradiating and exposing a beam, irradiating the photosensitive material with the polarization state of the laser beam being circularly polarized, and irradiating one scanning line or a plurality of continuous lines irradiated with the laser beam. Is defined as one linear region, and the temperature of a laser element of the laser light source that performs irradiation is changed between adjacent linear regions.

【0041】また、本発明による更に別のレーザビーム
露光装置は、使用する波長に対して透過性または半透過
性である支持体層または感光層を少なくとも1つ有する
感光材料に対しレーザ光源からレーザビームを照射し露
光するレーザビーム露光装置であって、前記レーザビー
ムの偏光状態を円偏光にして前記感光材料に照射すると
ともに、前記レーザビームにより照射される1画素また
は連続した複数の画素からなるビーム照射域を1つの画
素域と定義し、隣接する前記画素域間で、照射を行う前
記レーザ光源のレーザ素子の温度を変えることを特徴と
する。
Further, still another laser beam exposure apparatus according to the present invention is a laser beam exposure apparatus which comprises a photosensitive material having at least one support layer or photosensitive layer which is transparent or semi-transmissive to the wavelength to be used. A laser beam exposure apparatus for irradiating and irradiating a beam with a laser beam, irradiating the photosensitive material with the polarization state of the laser beam as circularly polarized light, and comprising one pixel or a plurality of continuous pixels irradiated by the laser beam. A beam irradiation area is defined as one pixel area, and the temperature of a laser element of the laser light source that performs irradiation is changed between adjacent pixel areas.

【0042】上述のレーザビーム露光装置によれば、感
光材料の厚み変動による干渉ムラを抑制するとともに、
光学異方性の軸の向きによらず光学異方性による干渉ム
ラを充分に抑制することができる。
According to the above-described laser beam exposure apparatus, it is possible to suppress interference unevenness due to a variation in the thickness of the photosensitive material,
Interference unevenness due to optical anisotropy can be sufficiently suppressed irrespective of the direction of the axis of optical anisotropy.

【0043】この場合、前記レーザ光源が2つの場合、
2つの直線偏光のレーザビームを偏光ビームスプリッタ
で合波した後に前記偏光状態を円偏光にすることが好ま
しい。
In this case, when there are two laser light sources,
After the two linearly polarized laser beams are combined by the polarization beam splitter, the polarization state is preferably changed to circular polarization.

【0044】また、前記偏光状態を円偏光にするため
に、前記レーザビームが合波の直後に透過するλ/4波
長板を配置し、前記感光材料の記録面までの間に配置さ
れたミラーは全て誘電体膜ミラーである(金属ミラーで
ない)ことが好ましく、これにより、感光材料の記録面
の全幅においてビームを完全に円偏光にできる。
In order to change the polarization state to circularly polarized light, a λ / 4 wavelength plate through which the laser beam is transmitted immediately after the multiplexing is disposed, and a mirror disposed between the recording surface and the photosensitive material. Are preferably all dielectric film mirrors (not metal mirrors) so that the beam can be completely circularly polarized over the entire width of the recording surface of the photosensitive material.

【0045】また、前記偏光状態を円偏光にするため
に、前記レーザビームが合波の直後に透過するλ/4波
長板を配置し、ポリゴン金属ミラーまでの引き回しミラ
ーの1つが金属ミラーであり、他のミラーが誘電体膜ミ
ラーであり、前記金属引き回しミラーへのビーム入射角
がポリゴン金属ミラーへのビーム中心入射角と同じにす
ることにより、感光材料の記録面の両端近傍における円
偏光度は多少低下するが、この場合、低コストのポリゴ
ン金属ミラーを使用でき、好ましい。また、前記偏光状
態を円偏光にするために、ポリゴンミラーからの出射ビ
ームはビーム走査方向に平行または垂直な直線偏光状態
であり、前記ポリゴンミラーと前記感光材料の記録面と
の間に走査方向に延びたλ/4波長板を挿入してもよ
い。
In order to change the polarization state to circularly polarized light, a λ / 4 wavelength plate through which the laser beam is transmitted immediately after the multiplexing is arranged, and one of the leading mirrors up to the polygon metal mirror is a metal mirror. The other mirror is a dielectric film mirror, and the beam incident angle on the metal routing mirror is the same as the beam center incident angle on the polygon metal mirror, so that the degree of circular polarization near both ends of the recording surface of the photosensitive material is improved. Is slightly reduced, but in this case, a low-cost polygon metal mirror can be used, which is preferable. In order to change the polarization state to circular polarization, the beam emitted from the polygon mirror is in a linear polarization state parallel or perpendicular to the beam scanning direction, and the scanning direction is set between the polygon mirror and the recording surface of the photosensitive material. May be inserted.

【0046】また、本発明による更に別のレーザビーム
露光装置は、使用する波長に対して透過性または半透過
性である支持体層または感光層を少なくとも1つ有する
感光材料に対しレーザ光源からレーザビームを照射し露
光するレーザビーム露光装置であって、前記感光材料が
光学的異方性を有し、その光学的異方性の軸の向きが一
定である場合、前記レーザビームの直線偏光の偏光方向
を前記光学的異方性の軸に対して45度傾かせるととも
に、前記レーザビームにより照射される1本の走査線ま
たは連続した複数本の走査線からなるビーム照射域を1
つの線状領域と定義し、隣接する前記線状領域間で、照
射するレーザビームの光量分配比率を変えることを特徴
とする。
Further, still another laser beam exposure apparatus according to the present invention is a laser beam exposure apparatus, comprising: a photosensitive material having at least one support layer or photosensitive layer that is transmissive or semi-transmissive to a wavelength to be used; A laser beam exposure apparatus for irradiating and exposing a beam, wherein the photosensitive material has optical anisotropy, and the direction of the axis of the optical anisotropy is constant, the linear polarization of the laser beam. The polarization direction is inclined by 45 degrees with respect to the axis of the optical anisotropy, and the beam irradiation area formed by one scanning line or a plurality of continuous scanning lines irradiated by the laser beam is set to one.
It is characterized in that one linear region is defined, and the light amount distribution ratio of the laser beam to be irradiated is changed between the adjacent linear regions.

【0047】また、本発明による更に別のレーザビーム
露光装置は、使用する波長に対して透過性または半透過
性である支持体層または感光層を少なくとも1つ有する
感光材料に対しレーザ光源からレーザビームを照射し露
光するレーザビーム露光装置であって、前記感光材料が
光学的異方性を有し、その光学的異方性の軸の向きが一
定である場合、前記レーザビームの直線偏光の偏光方向
を前記光学的異方性の軸に対して45度傾かせるととも
に、前記レーザビームにより照射される1画素または連
続した複数の画素からなるビーム照射域を1つの画素域
と定義し、隣接する前記画素域間で、照射するレーザビ
ームの光量分配比率を変えることを特徴とする。
Further, still another laser beam exposure apparatus according to the present invention is a laser beam exposure apparatus, which comprises a photosensitive material having at least one support layer or photosensitive layer that is transparent or semi-transparent to the wavelength to be used. A laser beam exposure apparatus for irradiating and exposing a beam, wherein the photosensitive material has optical anisotropy, and the direction of the axis of the optical anisotropy is constant, the linear polarization of the laser beam. The direction of polarization is inclined by 45 degrees with respect to the axis of the optical anisotropy, and one pixel irradiated by the laser beam or a beam irradiation area composed of a plurality of continuous pixels is defined as one pixel area. The light distribution ratio of a laser beam to be irradiated is changed between the pixel areas.

【0048】また、本発明による更に別のレーザビーム
露光装置は、使用する波長に対して透過性または半透過
性である支持体層または感光層を少なくとも1つ有する
感光材料に対しレーザ光源からレーザビームを照射し露
光するレーザビーム露光装置であって、前記感光材料が
光学的異方性を有し、その光学的異方性の軸の向きが一
定である場合、前記レーザビームの直線偏光の偏光方向
を前記光学的異方性の軸に対して45度傾かせるととも
に、前記レーザビームにより照射される1本の走査線ま
たは連続した複数本の走査線からなるビーム照射域を1
つの線状領域と定義し、隣接する前記線状領域間で、照
射を行う前記レーザ光源のレーザ素子の温度を変えるこ
とを特徴とする。
Further, still another laser beam exposure apparatus according to the present invention is a laser beam exposure apparatus, which comprises a photosensitive material having at least one support layer or photosensitive layer that is transmissive or semi-transmissive to the wavelength to be used. A laser beam exposure apparatus for irradiating and exposing a beam, wherein the photosensitive material has optical anisotropy, and the direction of the axis of the optical anisotropy is constant, the linear polarization of the laser beam. The polarization direction is inclined by 45 degrees with respect to the axis of the optical anisotropy, and the beam irradiation area formed by one scanning line or a plurality of continuous scanning lines irradiated by the laser beam is set to one.
It is characterized in that the temperature of a laser element of the laser light source for irradiation is changed between adjacent linear regions.

【0049】また、本発明による更に別のレーザビーム
露光装置は、使用する波長に対して透過性または半透過
性である支持体層または感光層を少なくとも1つ有する
感光材料に対しレーザ光源からレーザビームを照射し露
光するレーザビーム露光装置であって、前記感光材料が
光学的異方性を有し、その光学的異方性の軸の向きが一
定である場合、前記レーザビームの直線偏光の偏光方向
を前記光学的異方性の軸に対して45度傾かせるととも
に、前記レーザビームにより照射される1画素または連
続した複数の画素からなるビーム照射域を1つの画素域
と定義し、隣接する前記画素域間で、照射を行う前記レ
ーザ光源のレーザ素子の温度を変えることを特徴とす
る。
[0049] Still another laser beam exposure apparatus according to the present invention is a laser beam exposure apparatus for a photosensitive material having at least one support layer or photosensitive layer that is transmissive or semi-transmissive to the wavelength to be used. A laser beam exposure apparatus for irradiating and exposing a beam, wherein the photosensitive material has optical anisotropy, and the direction of the axis of the optical anisotropy is constant, the linear polarization of the laser beam. The direction of polarization is inclined by 45 degrees with respect to the axis of the optical anisotropy, and one pixel irradiated by the laser beam or a beam irradiation area composed of a plurality of continuous pixels is defined as one pixel area. The temperature of a laser element of the laser light source that performs irradiation is changed between the pixel areas to be irradiated.

【0050】上述のレーザビーム露光装置によれば、感
光材料の厚み変動による干渉ムラを抑制するとともに、
光学異方性の軸の向きが一定である場合、光学異方性に
よる干渉ムラを充分に抑制することができる。
According to the above-described laser beam exposure apparatus, interference unevenness due to fluctuations in the thickness of the photosensitive material is suppressed, and
When the direction of the axis of optical anisotropy is constant, interference unevenness due to optical anisotropy can be sufficiently suppressed.

【0051】また、前記レーザビームの直線偏光の偏光
方向を前記光学的異方性の軸に対して45度傾かせるた
めに前記光学異方性の軸が水平面に平行または垂直の場
合、前記レーザ光源部を水平面に対して45度傾けるこ
とが好ましい。
In order to incline the polarization direction of the linearly polarized light of the laser beam by 45 degrees with respect to the axis of the optical anisotropy, when the axis of the optical anisotropy is parallel or perpendicular to the horizontal plane, It is preferable that the light source unit is inclined by 45 degrees with respect to the horizontal plane.

【0052】また、前記レーザビームの直線偏光の偏光
方向を前記光学的異方性の軸に対して45度傾かせるた
めに、前記レーザ光源部を前記光学的異方性の軸に対し
て45度傾けることが好ましい。
Further, in order to incline the polarization direction of the linearly polarized light of the laser beam by 45 degrees with respect to the axis of the optical anisotropy, the laser light source unit is rotated by 45 degrees with respect to the axis of the optical anisotropy. It is preferable to incline by degrees.

【0053】また、前記感光材料をハロゲン化銀感光材
料とすることができる。この場合、ハロゲン化銀感光材
料は、乾式の熱現像によるものでも、湿式現像によるも
のでもよい。
Further, the light-sensitive material can be a silver halide light-sensitive material. In this case, the silver halide photosensitive material may be obtained by dry thermal development or wet development.

【0054】また、本発明による更に別のレーザビーム
露光装置は、使用する波長に対して透過性または半透過
性である支持体層または感光層を少なくとも1つ有する
感光材料に対しレーザ光源からレーザビームを照射し露
光するレーザビーム露光装置であって、前記レーザビー
ムの偏光状態を円偏光にして前記感光材料に照射すると
ともに、前記レーザビームにより照射される1本の走査
線または連続した複数本の走査線からなるビーム照射域
を1つの線状領域と定義し、隣接する前記線状領域間
で、照射するレーザビームの光量−波長特性及び光量分
配比率を変えることを特徴とする。
Further, still another laser beam exposure apparatus according to the present invention is a laser beam exposure apparatus, which comprises a photosensitive material having at least one support layer or photosensitive layer that is transparent or translucent to the wavelength to be used. A laser beam exposure apparatus for irradiating and exposing a beam, irradiating the photosensitive material with the polarization state of the laser beam being circularly polarized, and irradiating one scanning line or a plurality of continuous lines irradiated with the laser beam. Is defined as one linear region, and the light amount-wavelength characteristic and the light amount distribution ratio of the laser beam to be irradiated are changed between the adjacent linear regions.

【0055】上述のレーザビーム露光装置によれば、感
光材料の厚み変動による干渉ムラを抑制するとともに、
光学異方性の軸の向きによらず光学異方性による干渉ム
ラを充分に抑制することができる。
According to the above-described laser beam exposure apparatus, it is possible to suppress the interference unevenness due to the thickness variation of the photosensitive material,
Interference unevenness due to optical anisotropy can be sufficiently suppressed irrespective of the direction of the axis of optical anisotropy.

【0056】この場合、前記レーザ光源のレーザ素子の
温度を変えることにより前記光量−波長特性を変えるこ
とができる。
In this case, the light amount-wavelength characteristic can be changed by changing the temperature of the laser element of the laser light source.

【0057】また、本発明によるレーザビーム光量変調
方法は、レーザ光源のレーザ素子に対し前記レーザ光源
の波長と別の波長の光ビームを注入ことにより、前記レ
ーザ光源から射出するレーザビームの波長を変調するこ
とを特徴とする。これによれば、レーザ光源の波長と別
の波長の光ビームをレーザ素子に注入することにより、
レーザ素子面の温度制御を行いレーザ光源から射出する
レーザビームの波長を簡単な構成で変調できる。この場
合、前記別の波長の光ビームを光源から光反射ミラーを
介して前記レーザ素子に注入するように構成できる。
Further, in the laser beam light amount modulation method according to the present invention, a laser beam emitted from the laser light source is injected into a laser element of the laser light source by injecting a light beam having a wavelength different from that of the laser light source. It is characterized by modulation. According to this, by injecting a light beam having a wavelength different from the wavelength of the laser light source into the laser element,
By controlling the temperature of the laser element surface, the wavelength of the laser beam emitted from the laser light source can be modulated with a simple configuration. In this case, the light beam of the different wavelength can be injected from the light source into the laser element via the light reflecting mirror.

【0058】この場合、前記別の波長の光ビームを光源
から光反射ミラーを介して前記レーザ素子に注入するこ
とができる。
In this case, the light beam having the different wavelength can be injected from the light source into the laser element via the light reflecting mirror.

【0059】また、本発明によるレーザビーム光量変調
装置は、レーザ光源のレーザ素子に対し前記レーザ光源
の波長と別の波長の光ビームを注入することにより、前
記レーザ光源から射出するレーザビームの波長を変調す
ることを特徴とする。
Further, the laser beam light quantity modulation device according to the present invention injects a light beam having a wavelength different from the wavelength of the laser light source into a laser element of the laser light source to thereby control the wavelength of the laser beam emitted from the laser light source. Is modulated.

【0060】なお、レーザビーム露光方法として、使用
する波長に対して透過性または半透過性である支持体層
または感光層を少なくとも1つ有する感光材料に対しレ
ーザ光源からレーザビームを照射し露光する際に、レー
ザビームにより照射される1本の走査線または連続した
複数本の走査線からなるビーム照射域を1つの線状領域
と定義し、隣接する線状領域間で、照射するレーザビー
ムの光量分配比率を変えるようにでき、上述と同様の効
果を得ることができる。この場合、レーザビームを照射
する1個または複数個の画素で囲まれたビーム照射領域
を1つの画素域とし、隣接する画素間で照射するレーザ
ビームの光量分配比率を変えるようにしてもよく、ま
た、線状領域と隣接する線状領域との間で、または画素
域と隣接する画素域との間で、照射を行うレーザ光源の
レーザ素子の温度を変えるようにしてもよい。
As a laser beam exposure method, a laser beam is irradiated from a laser light source to a photosensitive material having at least one support layer or photosensitive layer that is transmissive or semi-transmissive for the wavelength to be used. At this time, a beam irradiation area formed by one scanning line or a plurality of continuous scanning lines irradiated by a laser beam is defined as one linear region, and a laser beam to be irradiated is irradiated between adjacent linear regions. The light amount distribution ratio can be changed, and the same effect as described above can be obtained. In this case, a beam irradiation area surrounded by one or a plurality of pixels for irradiating a laser beam may be regarded as one pixel area, and a light amount distribution ratio of a laser beam to be irradiated between adjacent pixels may be changed. Further, the temperature of the laser element of the laser light source that performs irradiation may be changed between the linear region and the adjacent linear region or between the pixel region and the adjacent pixel region.

【0061】[0061]

【発明の実施の形態】最初に、異なる波長を有する2つ
のレーザ光で干渉縞を防止する原理を具体例を挙げなが
ら図1及び図2により説明する。なお、フィルムFの支
持体層及び感光層は使用する波長に対して透過性または
半透過性である。 (1)レーザが単一波長の(干渉による光量変動が生ず
る)場合
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS First, the principle of preventing interference fringes with two laser beams having different wavelengths will be described with reference to FIGS. The support layer and the photosensitive layer of the film F are transmissive or semi-transmissive for the wavelength used. (1) When the laser has a single wavelength (the amount of light varies due to interference)

【0062】図1のように、フィルムFにレーザ光が垂
直入射する場合を考える。ハロゲン化銀熱現像感光材料
であるフィルムFの感光層の厚さD2を20μm、屈折
率n2を1.5、支持体1の厚さD1を180μm、屈
折率n1を1.5、レーザ光の波長を0.800μmと
すると、光路差δ=2(D1×n1+D2×n2)=2
×(180×1.5+20×1.5)=600μmは、
600/0.8=750と波長の整数倍となる。図1の
レーザ光は感光層2側のフィルムFの表面F1の入射点
5で図2(a)のような位相となり、また入射光はフィ
ルムの裏面F2で、一部が反射し、その反射光がフィル
ムFの入射点5で反射し、入射点5では、図2(b)の
ような位相となり、両位相が一致するため、記録層2に
照射される光量は最大となる。これに対して、支持体の
厚さを180.13μmとすると、光路差δは波長の7
50.5倍となり、裏面F2で反射し、さらに表面F1
で反射したレーザ光は入射点5で図2(c)のような位
相となり、図2(a)の位相と丁度逆になるので、フィ
ルムFに垂直入射するレーザ光の光量が同じ場合、記録
層2に照射される光量は最少となる。このように、フィ
ルムFの支持体1の厚みのバラツキにより、記録層2を
照射する光量が変化する。 (2)レーザが2つの波長を有する場合
Consider a case where a laser beam is vertically incident on the film F as shown in FIG. The thickness D2 of the photosensitive layer of the film F which is a silver halide photothermographic material is 20 μm, the refractive index n2 is 1.5, the thickness D1 of the support 1 is 180 μm, the refractive index n1 is 1.5, and the When the wavelength is 0.800 μm, the optical path difference δ = 2 (D1 × n1 + D2 × n2) = 2
× (180 × 1.5 + 20 × 1.5) = 600 μm
600 / 0.8 = 750, which is an integral multiple of the wavelength. The laser beam shown in FIG. 1 has a phase as shown in FIG. 2A at the incident point 5 on the front surface F1 of the film F on the photosensitive layer 2 side, and the incident light is partially reflected by the back surface F2 of the film, and the reflected light is reflected. The light is reflected at the incident point 5 of the film F. At the incident point 5, the phase is as shown in FIG. 2B, and since both phases coincide with each other, the amount of light applied to the recording layer 2 becomes the maximum. On the other hand, when the thickness of the support is 180.13 μm, the optical path difference δ is 7 wavelengths.
50.5 times, reflected on the back surface F2, and further on the front surface F1
The phase of the laser beam reflected at the point of incidence 5 is as shown in FIG. 2C at the incident point 5 and is exactly opposite to the phase of FIG. 2A. The amount of light applied to the layer 2 is minimized. As described above, the amount of light applied to the recording layer 2 changes due to the variation in the thickness of the support 1 of the film F. (2) When the laser has two wavelengths

【0063】上述の例で、もし、各々、0.8μm、
0.80053μmの波長の2つのレーザ光で露光すれ
ば、上述の光路差600μmは、この2つのレーザ光の
波長に対して、それぞれ750倍、749.5倍とな
り、感光層2に照射される光量は両者の和、つまり最大
と最小の中間になる。ここで、例えば、光路差が60
0.4μmとなっても、この光路差600.4μmは、
その2つのレーザ光の波長に対して、それぞれ750.
5倍、750倍となり、やはり感光層に照射される光量
は、最少と最大の中間になる。つまり、支持体1の厚み
が変わっても、感光層に照射される光量は変わらない。
以上のように、照射されるレーザ光が2つの互いに異な
る波長を持つことにより、干渉の影響を低減させること
ができることがわかる。
In the above example, if 0.8 μm,
If exposure is performed using two laser beams having a wavelength of 0.80053 μm, the above-described optical path difference of 600 μm becomes 750 times and 749.5 times the wavelengths of these two laser beams, respectively, and the photosensitive layer 2 is irradiated. The light amount is the sum of the two, that is, halfway between the maximum and the minimum. Here, for example, the optical path difference is 60
Even if it becomes 0.4 μm, this optical path difference of 600.4 μm is
For each of the two laser light wavelengths, 750.
5 times and 750 times, and the amount of light irradiated on the photosensitive layer is also halfway between the minimum and the maximum. That is, even if the thickness of the support 1 changes, the amount of light applied to the photosensitive layer does not change.
As described above, it can be understood that the influence of interference can be reduced by irradiating laser light having two different wavelengths.

【0064】次に、図8,図9により、上述のように干
渉の影響を低減させるために、1本または複数本の走査
線で囲まれたビーム照射領域を1つの線状領域とし、隣
接する線状領域間で照射ビームの光量分配比率を変える
ことについて説明する。
Next, as shown in FIGS. 8 and 9, in order to reduce the influence of interference as described above, the beam irradiation area surrounded by one or a plurality of scanning lines is set as one linear area, A description will be given of changing the light beam distribution ratio of the irradiation beam between the linear regions.

【0065】図8のように、レーザ光源が実線93に示
すような波長−光量特性を有する場合、ある光量P1で
レーザ光源から波長λ1,別の光量P2でレーザビーム
がそれぞれ出力する。このように、レーザ光源から射出
する光量分配比率を変えることにより異なる波長のレー
ザビームを射出させることができる。
As shown in FIG. 8, when the laser light source has a wavelength-light amount characteristic as shown by a solid line 93, a laser beam is output from the laser light source at a certain light amount P1 and at a wavelength λ1 and another light amount P2. As described above, laser beams having different wavelengths can be emitted by changing the distribution ratio of the amount of light emitted from the laser light source.

【0066】ここで、最初にレーザ光源から光量P1で
波長λ1のレーザビームにより主走査した場合、図9に
示すように、第1の線状領域をこの主走査方向への1本
の走査線とすると、この走査線では干渉パターンが現れ
る(図9において○●の繰り返しが干渉パターンを表
す)のであるが、第2の線状領域である次の走査線で
は、光量P1と異なる光量P2で波長λ2のレーザビー
ムにより主走査すると、図9のように第2の線状領域の
走査線では、第1の線状領域と異なる位相で干渉パター
ンが現れる。従って、第1の線状領域と第2の線状領域
とを含めた領域全体を考えると、上述のように、2つの
互いに異なる波長を有するレーザビームが照射されるこ
とになるため、マクロ的に干渉を抑制できるのである。
従って、図9の照射パターンの例では続いて第3の線状
領域で第1の線状領域と同様に露光するように繰り返す
ことにより、フィルム全体でマクロ空間的に干渉ムラを
非可視化できる。
Here, when the main scanning is first performed by the laser beam of the wavelength λ1 with the light amount P1 from the laser light source, as shown in FIG. 9, the first linear region is formed by one scanning line in the main scanning direction. Then, an interference pattern appears on this scanning line (the repetition of ● in FIG. 9 represents the interference pattern), but on the next scanning line, which is the second linear region, the light amount P2 is different from the light amount P1. When the main scanning is performed by the laser beam having the wavelength λ2, an interference pattern appears at a different phase from the first linear region on the scanning line of the second linear region as shown in FIG. Therefore, when considering the entire region including the first linear region and the second linear region, as described above, two laser beams having different wavelengths are irradiated, and thus the macroscopic region is irradiated. In this way, interference can be suppressed.
Therefore, in the example of the irradiation pattern shown in FIG. 9, by repeating the exposure in the third linear region in the same manner as in the exposure of the first linear region, the interference unevenness can be made invisible macroscopically in the entire film.

【0067】図1,図2で説明したように、感光材料内
部でのビーム多重反射による干渉ムラ(支持体層間、感
光層間)は簡単に抑制することができるのであるが、本
実施の形態では、レーザ光源としてレーザダイオードを
使用した場合、レーザダイオードの動作電流を変調する
だけで光量分配比率を変え波長を変えることができるの
で、高速変調が可能であり、光学的に簡単な構成にで
き、また、複数のレーザ光源の場合のような波長選別の
必要がなくなる。また、2つのレーザ光源を使用した場
合には、走査方向にビームがずれても補正が可能であ
り、また、光学調整が比較的容易となる。
As described with reference to FIGS. 1 and 2, it is possible to easily suppress interference unevenness (layers between the support and the photosensitive layer) due to multiple reflection of the beam inside the photosensitive material. When a laser diode is used as a laser light source, the light amount distribution ratio can be changed and the wavelength can be changed only by modulating the operating current of the laser diode, so that high-speed modulation is possible and an optically simple configuration can be achieved. Further, it is not necessary to perform wavelength selection as in the case of a plurality of laser light sources. Further, when two laser light sources are used, correction can be performed even if the beam is shifted in the scanning direction, and optical adjustment becomes relatively easy.

【0068】以上のように、レーザビーム露光装置にお
いて高速変調が可能となり、簡単な構成で、低コスト化
を達成できる。
As described above, high-speed modulation can be performed in the laser beam exposure apparatus, and a simple configuration and low cost can be achieved.

【0069】次に、図14により、図8と異なる照射パ
ターンを説明する。図14の例は、同一波長λ1で2回
主走査を行い、2本の走査線を第1の線状領域とし、続
いて別の異なる波長λ2で2回主走査を行い、2本の走
査線を第2の線状領域とし、次に、λ1で2回主走査を
行い、2本の走査線を第3の線状領域とするようにし
て、レーザビームを露光する。各線状領域の走査線では
干渉ムラがミクロ的に生じるが、第1の線状領域と第2
の線状領域とを含む領域全体を考えると、上述と同様
に、2つの互いに異なる波長を有するレーザビームが照
射されることになるため、マクロ的に干渉を抑制でき
る。
Next, an irradiation pattern different from that in FIG. 8 will be described with reference to FIG. In the example of FIG. 14, two main scans are performed at the same wavelength λ1, two scan lines are used as a first linear region, and then two main scans are performed at another different wavelength λ2. The line is defined as a second linear region, and then the main scanning is performed twice at λ1, and the laser beam is exposed so that the two scanning lines are defined as a third linear region. Interference unevenness occurs microscopically in the scanning line of each linear area, but the first linear area and the second
Considering the entire region including the linear region described above, two laser beams having different wavelengths are irradiated as described above, so that macroscopic interference can be suppressed.

【0070】また、図8では、光量を互いに異ならせる
ことによりレーザ光源からの波長を変化させているが、
本発明はこれに限定されるものではなく、レーザ光源の
レーザダイオードチップの温度を変化させることによ
り、波長を変化させるようにしてもよい。レーザダイオ
ードの発振波長は温度依存性を有し、例えば、図13に
示すように、レーザダイオードの発振波長が温度によっ
て変化する。従って、図13に基づいて、必要な互いに
異なる波長を発振するように温度を設定し、レーザダイ
オードチップの表面温度を制御することにより、互いに
異なる波長のレーザビームを得ることができる。
In FIG. 8, the wavelength from the laser light source is changed by making the light amounts different from each other.
The present invention is not limited to this, and the wavelength may be changed by changing the temperature of the laser diode chip of the laser light source. The oscillation wavelength of a laser diode has temperature dependence, and, for example, as shown in FIG. 13, the oscillation wavelength of the laser diode changes with temperature. Therefore, based on FIG. 13, by setting the temperature so as to oscillate necessary different wavelengths and controlling the surface temperature of the laser diode chip, laser beams having different wavelengths can be obtained.

【0071】以上のようなレーザダイオードチップの温
度制御の例を図15により説明する。図15に示すレー
ザダイオードチップの温度制御装置は、感光材料Fに対
しλ1,λ2の異なる波長のレーザビームを射出するレ
ーザダイオード231と、レーザダイオード231に前
置されたレンズ232と、λ1,λ2とは別の波長λ3
のレーザビームを射出する温度制御用レーザダイオード
237と、レーザダイオード237に前置されたレンズ
238と、温度制御用レーザダイオード237を制御す
る制御装置239と、レーザダイオード231からの波
長λ1,λ2のレーザビームを透過し温度制御用レーザ
ダイオード237からの波長λ3のレーザビームをレー
ザダイオード231のレーザ素子231aの表面に向け
て反射するダイクロックミラー等の波長選択形ミラ−2
33とを備える。
An example of temperature control of the laser diode chip as described above will be described with reference to FIG. The laser diode chip temperature control device shown in FIG. 15 includes a laser diode 231 for emitting laser beams having different wavelengths λ1 and λ2 to the photosensitive material F, a lens 232 provided in front of the laser diode 231; Different wavelength λ3
A laser diode 237 for emitting a laser beam, a lens 238 provided in front of the laser diode 237, a control device 239 for controlling the laser diode 237 for temperature control, and wavelengths λ1 and λ2 from the laser diode 231. A wavelength-selective mirror-2 such as a dichroic mirror that transmits the laser beam and reflects the laser beam of wavelength λ3 from the temperature controlling laser diode 237 toward the surface of the laser element 231a of the laser diode 231.
33.

【0072】温度制御用レーザダイオード237から波
長λ3のレーザビームをレンズ238,ミラー233及
びレンズ232を介してレーザ素子231aの表面に集
光することによりレーザ素子231aの表面の温度を上
昇させることができる。この表面温度を例えば後述の図
13の温度t1とt2に温度制御用レーザダイオード2
37からのレーザビームの強度(光量)を制御装置23
9の制御により変化させる。これにより、レーザダイオ
ード231のレーザ素子231aから射出するレーザビ
ームの波長を図13のようにλ1とλ2に変えることが
できる。なお、温度制御用のレーザビームは波長(λ
3)はレーザビームの波長(λ1,λ2)と大きく異な
るので、波長λ3の光を直接にレーザ光源に注入して
も、レーザ発振ノイズは起こらないため、悪影響はな
い。例えば、λ1=0.8μm、λ2=0.80053
μmとしたとき、λ3=0.660μmとすることがで
きる。
The temperature of the surface of the laser element 231a can be raised by condensing a laser beam of wavelength λ3 from the temperature controlling laser diode 237 via the lens 238, the mirror 233 and the lens 232 on the surface of the laser element 231a. it can. The surface temperature is changed to, for example, temperatures t1 and t2 in FIG.
The controller 23 controls the intensity (light amount) of the laser beam from
9 to be changed. Thereby, the wavelength of the laser beam emitted from the laser element 231a of the laser diode 231 can be changed to λ1 and λ2 as shown in FIG. The laser beam for temperature control has a wavelength (λ
Since 3) is significantly different from the wavelength (λ1, λ2) of the laser beam, even if the light of wavelength λ3 is directly injected into the laser light source, laser oscillation noise does not occur, so there is no adverse effect. For example, λ1 = 0.8 μm, λ2 = 0.80053
When μm is set, λ3 can be set to 0.660 μm.

【0073】次に、2つのレーザ光源を使用し、それぞ
れのレーザビームの光量分配比率を変えて干渉ムラを非
可視化することについて図16により説明する。波長λ
1のレーザビームを射出するレーザ光源Aと、波長λ2
のレーザビームを射出するレーザ光源Bとを使用し、レ
ーザ光源Aからの出力を100%とし、レーザ光源Bか
らの出力を0%とした状態で最初の主走査を行い、これ
らの走査線を第1の線状領域とする。続いて、レーザ光
源Aからの出力を0%とし、レーザ光源Bからの出力を
100%とした状態で次の主走査を行い、これらの走査
線を第2の線状領域とする。このように規則的なパター
ンで切り替えながら第3,第4の線状領域、・・・のよ
うにレーザビームによる照射を行う。この照射パターン
によれば、各線状領域では干渉ムラはミクロ的に発生し
ているが、線状領域と隣接する線状領域とを考えると、
感光材料全体としてマクロ的に干渉ムラは非可視化され
る。なお、図16のように光量分配比率を変えて干渉ム
ラを非可視化するのは、レーザビームが所定の光量以下
のときに行う。光量が最大光量に近くなる濃度範囲では
干渉ムラの問題は殆ど生じないからである。
Next, using two laser light sources and changing the light amount distribution ratio of each laser beam to make the interference unevenness invisible will be described with reference to FIG. Wavelength λ
A laser light source A for emitting one laser beam and a wavelength λ2
The first main scan is performed with the output from the laser light source A set to 100% and the output from the laser light source B set to 0% using the laser light source B that emits the laser beam of This is the first linear region. Subsequently, the next main scan is performed with the output from the laser light source A set to 0% and the output from the laser light source B set to 100%, and these scanning lines are set as second linear regions. Irradiation with a laser beam is performed as in the third and fourth linear regions while switching in a regular pattern. According to this irradiation pattern, although interference unevenness occurs microscopically in each linear region, considering the linear region and the adjacent linear region,
The interference unevenness is macroscopically invisible for the entire photosensitive material. The inconsistency of the interference unevenness by changing the light amount distribution ratio as shown in FIG. 16 is performed when the laser beam is equal to or less than a predetermined light amount. This is because the problem of interference unevenness hardly occurs in the density range where the light amount is close to the maximum light amount.

【0074】次に、図17により、図16の照射パター
ンと異なる別の照射パターンを説明する。図17の例で
は、レーザ光源A(波長λ1)からの出力を100%と
し、レーザ光源B(波長λ2)からの出力を0%とした
状態で主走査を行い、続いて、レーザ光源Aからの出力
を50%とし、レーザ光源Bからの出力を50%とした
状態で次の主走査を行い、これらの走査線を第1の線状
領域とする。次に、レーザ光源Aからの出力を0%と
し、レーザ光源B(波長λ2)からの出力を100%と
した状態で主走査を行い、続いて、レーザ光源Aからの
出力を50%とし、レーザ光源Bからの出力を50%と
した状態で次の主走査を行い、これらの走査線を第2の
線状領域とする。上述の第1及び第2の線状領域を交互
に規則的なパターンで切り替えながらレーザビームによ
る照射を行う。即ち、第3の線状領域は第1の線状領域
のパターン、第4の線状領域は第2の線状領域のパター
ンとなる。この照射パターンによれば、各線状領域では
干渉ムラはミクロ的に発生しているが、線状領域と隣接
する線状領域とを考えると、全体としてマクロ的には干
渉ムラは非可視化されている。
Next, another irradiation pattern different from the irradiation pattern of FIG. 16 will be described with reference to FIG. In the example of FIG. 17, the main scanning is performed with the output from the laser light source A (wavelength λ1) set to 100% and the output from the laser light source B (wavelength λ2) set to 0%. The next main scanning is performed with the output of the laser light source B at 50% and the output of the laser light source B at 50%, and these scanning lines are set as the first linear region. Next, the main scanning is performed with the output from the laser light source A set to 0% and the output from the laser light source B (wavelength λ2) set to 100%. Subsequently, the output from the laser light source A is set to 50%. The next main scanning is performed with the output from the laser light source B set to 50%, and these scanning lines are used as second linear regions. Irradiation with a laser beam is performed while the first and second linear regions are alternately switched in a regular pattern. That is, the third linear region is a pattern of the first linear region, and the fourth linear region is a pattern of the second linear region. According to this irradiation pattern, interference unevenness occurs microscopically in each linear region. However, considering the linear region adjacent to the linear region, the interference unevenness is macroscopically invisible as a whole. I have.

【0075】以上のように、本発明による露光パターン
は種々の変形が可能であり、1つの線状領域を1本また
は複数の走査線で囲まれたビーム照射領域とする以外
に、1つの線状領域を1個または複数個の画素で囲まれ
たビーム照射領域とし、隣接する線状領域間で照射する
レーザビームの光量分配比率を変え、またはレーザ素子
の温度を変えるようにしてよい。また。レーザビームの
光量分配比率はランダムなパターンであってもよい。
As described above, the exposure pattern according to the present invention can be variously modified. One line area is not limited to a beam irradiation area surrounded by one or a plurality of scanning lines. The linear region may be a beam irradiation region surrounded by one or a plurality of pixels, and the distribution of the amount of the laser beam irradiated between adjacent linear regions may be changed, or the temperature of the laser element may be changed. Also. The light beam distribution ratio of the laser beam may be a random pattern.

【0076】以下、本発明の一例である実施の形態及び
実施例を説明する。従って、発明の用語の意義や発明自
体を、発明の実施の形態及び実施例の記載により限定し
て解釈すべきではなく、適宜変更/改良が可能であるこ
とは言うまでもない。
Hereinafter, embodiments and examples which are examples of the present invention will be described. Therefore, the meaning of the terms of the invention and the invention itself should not be construed as being limited by the description of the embodiments and examples of the invention, and it is needless to say that the invention can be appropriately changed / improved.

【0077】図3は、本実施の形態のレーザビーム露光
装置を含む画像記録装置の正面図であり、図4は、この
画像記録装置の左側面図である。本実施の形態の画像形
記録装置100は、シート状の熱現像材料であるフィル
ムFを1枚ずつ給送する給送部110と、給送されたフ
ィルムFを露光する露光部120と、露光されたフィル
ムFを現像する熱現像部130とを有している。フィル
ムFは、ハロゲン化銀粒子と有機酸銀とを含有する感光
層を支持体上に有し、γが2以上であるハロゲン化銀熱
現像感光材料である。以下、図面を用いて本実施の形態
の画像記録装置を説明する。
FIG. 3 is a front view of an image recording apparatus including the laser beam exposure apparatus of the present embodiment, and FIG. 4 is a left side view of the image recording apparatus. The image recording apparatus 100 according to the present embodiment includes a feeding unit 110 that feeds a film F that is a sheet-like heat developing material one by one, an exposure unit 120 that exposes the fed film F, and an exposure unit 120 that exposes the film F. And a heat developing section 130 for developing the processed film F. Film F is a silver halide photothermographic material having a photosensitive layer containing silver halide particles and organic acid silver on a support, and γ of 2 or more. Hereinafter, an image recording apparatus according to the present embodiment will be described with reference to the drawings.

【0078】図3、4において、給送部110は堆積さ
れた複数枚のフィルムFを収容するトレイTが上下二段
に設けられている。各トレイTの前方端部側の上部に
は、フィルムFの前端部を吸着して上下動する吸着ユニ
ット111が設けられている。また、吸着ユニット11
1の近傍には、吸着ユニット111により供給されたフ
ィルムFを矢印(1)方向(水平方向)へ給送する給送ロー
ラ対112が設けられている。また、吸着ユニット11
1は前後にも移動可能で吸着したフイルムFを給送ロー
ラ対112へ運ぶ。そして、給送ローラ対112により
給送されたフイルムFを垂直方向に搬送する複数の搬送
ローラ対141が設けられいる。これらの搬送ローラ対
141により、フィルムFを図4の矢印(2)に示す方
向(下方)に搬送する。
In FIGS. 3 and 4, the feeding section 110 is provided with two upper and lower trays T for accommodating a plurality of stacked films F. Above the front end of each tray T, there is provided a suction unit 111 that moves up and down by sucking the front end of the film F. Also, the suction unit 11
In the vicinity of 1, there is provided a feed roller pair 112 for feeding the film F supplied by the suction unit 111 in the direction of the arrow (1) (horizontal direction). Also, the suction unit 11
1 transports the film F, which is also movable back and forth, to the feed roller pair 112. A plurality of transport roller pairs 141 for transporting the film F fed by the feed roller pair 112 in the vertical direction are provided. The transport roller pair 141 transports the film F in the direction (downward) indicated by the arrow (2) in FIG.

【0079】画像記録装置100の下部には、搬送方向
変換部145が設けられている。この搬送方向変換部1
45は、図3及び図4に示すように、搬送ローラ対14
1により図4の矢印(2)に示す鉛直方向下方に搬送さ
れたフィルムFを矢印(3)で示すように水平方向に搬
送し、次いで、搬送方向を矢印(3)から矢印(4)へ
直角に変換して搬送し次いで、搬送方向を変換され搬送
されたフイルムFを図3の矢印(5)に示す鉛直方向上
方に搬送方向を変えて搬送する。
At the lower part of the image recording apparatus 100, a transport direction conversion unit 145 is provided. This transport direction converter 1
Reference numeral 45 denotes a pair of transport rollers 14 as shown in FIGS.
1, the film F conveyed vertically downward as shown by the arrow (2) in FIG. 4 is conveyed in the horizontal direction as shown by the arrow (3), and then the conveyance direction is changed from the arrow (3) to the arrow (4). The film F is transported after being converted to a right angle, and then the transported film F whose transport direction is changed and transported is transported upward in the vertical direction shown by the arrow (5) in FIG.

【0080】そして、図3に示すように、搬送方向変換
部145から搬送されたフイルムFを図3の矢印(6)
で示す鉛直方向上方に搬送する複数の搬送ローラ対14
2が設けられ、フィルムFを画像記録装置100の左側
面から図1の矢印(6)で示す鉛直方向上方に搬送す
る。
Then, as shown in FIG. 3, the film F conveyed from the conveyance direction changing unit 145 is moved by an arrow (6) in FIG.
Plural transport roller pairs 14 transported vertically upward as indicated by
2 is provided, and the film F is transported from the left side of the image recording apparatus 100 upward in the vertical direction indicated by the arrow (6) in FIG.

【0081】この鉛直方向上方への搬送途中で、レーザ
ビーム露光装置120は、フィルムFの感光面を赤外域
780〜860nmの範囲内の波長を有するレーザ光で
走査露光し、露光画像信号に応じた潜像を形成させる。
In the course of transporting vertically upward, the laser beam exposure device 120 scans and exposes the photosensitive surface of the film F with a laser beam having a wavelength in the infrared range of 780 to 860 nm, and responds to the exposure image signal. Latent image is formed.

【0082】画像記録装置100の装置の上部には熱現
像部130が設けられ、熱現像部130のドラム14の
近傍には、搬送ローラ対142で図3の矢印(6)に示
す鉛直方向上方に搬送されたフィルムFをドラム14へ
供給する供給ローラ対143が設けられている。
A heat developing section 130 is provided on the upper portion of the image recording apparatus 100. In the vicinity of the drum 14 of the heat developing section 130, a pair of conveying rollers 142 is provided in a vertically upward direction shown by an arrow (6) in FIG. A supply roller pair 143 for supplying the film F conveyed to the drum 14 to the drum 14 is provided.

【0083】ドラム14へフィルムFを供給するタイミ
ングは、成り行きによるランダムなタイミングで供給す
る。なお、ランダムなタイミングによる供給の代わり
に、タイミングを図って供給してもよい。
The film F is supplied to the drum 14 at random timing depending on the situation. In addition, instead of supply at random timing, supply may be performed at a certain timing.

【0084】熱現像部130のドラム14は、フィルム
Fとドラム14の外周面とが密着した状態で、図3の矢
印(7)に示す方向に共に回転しながら、ドラム14が
フィルムFを加熱し熱現像する。すなわち、フイルムF
の潜像を可視画像に形成する。その後、図3のドラム1
4に対し右方まで回転したときに、ドラム14からフィ
ルムFを離す。熱現像部130の右側方には、複数の搬
送ローラ対144が設けられており、ドラム14から離
れたフイルムFを、図1の矢印(8)に示すように右斜
め下方に搬送しつつ、冷却する。そして、搬送ローラ対
144が冷却されたフイルムFを搬送しつつ、濃度計1
18がフイルムFの濃度を測定する。その後、複数の搬
送ローラ対144は、ドラム14から離れたフイルムF
を図3の矢印(9)に示すように水平方向に搬送し、画
像記録装置100の上部から取り出せるように、画像記
録装置100の右上方部に設けられた排出トレイ160
に排出する。
The drum 14 of the heat developing unit 130 heats the film F while rotating in the direction indicated by the arrow (7) in FIG. 3 with the film F and the outer peripheral surface of the drum 14 in close contact with each other. And heat develop. That is, the film F
Is formed into a visible image. Then, the drum 1 of FIG.
The film F is separated from the drum 14 when the film F is rotated to the right with respect to the film 4. A plurality of transport roller pairs 144 are provided on the right side of the thermal developing unit 130, and while transporting the film F separated from the drum 14 obliquely downward to the right as shown by an arrow (8) in FIG. Cooling. Then, the transport roller pair 144 transports the cooled film F while the densitometer 1
18 measures the concentration of the film F. Thereafter, the plurality of transport roller pairs 144 are moved to the film F separated from the drum 14.
3 is transported in the horizontal direction as shown by an arrow (9) in FIG. 3, and is ejected from the upper part of the image recording apparatus 100.
To be discharged.

【0085】図5は、レーザビーム露光装置120の構
成を示す概念図である。レーザビーム露光装置120
は、デジタル画像信号Sに基づき強度変調されたレーザ
光Lを、回転多面鏡113によって偏向して、フィルム
F上を主走査すると共に、フィルムFをレーザ光Lに対
して主走査の方向と略直角な方向に相対移動させること
により副走査し、レーザ光Lを用いてフィルムFに潜像
を形成するものである。
FIG. 5 is a conceptual diagram showing the configuration of the laser beam exposure apparatus 120. Laser beam exposure device 120
The laser light L, the intensity of which is modulated based on the digital image signal S, is deflected by the rotary polygon mirror 113 to perform main scanning on the film F, and the film F is moved substantially in the main scanning direction with respect to the laser light L. Sub-scanning is performed by relative movement in a perpendicular direction, and a latent image is formed on the film F using the laser beam L.

【0086】画像記録装置100は、放射線CT装置、
スキャナ等の画像信号生成装置121から送信された画
像信号Sを画像I/F122を介して受信し、変調部1
23に入力される。変調部123は、画像信号Sをアナ
ログ変換し、アナログ変換された露光画像信号をドライ
バ124に送り、ドライバ124は、送られた露光画像
信号及び制御信号に応じてレーザ光源部125、127
がレーザビーム(以下、「レーザ光」ともいう。)を主
走査の終了の毎に切り替えながら照射するように制御す
る。
The image recording apparatus 100 includes a radiation CT apparatus,
The image signal S transmitted from the image signal generation device 121 such as a scanner is received via the image I / F 122 and the modulation unit 1
23. The modulation unit 123 converts the image signal S into an analog signal, and sends the analog-converted exposure image signal to the driver 124. The driver 124 outputs the laser light source units 125 and 127 according to the transmitted exposure image signal and the control signal.
Is controlled so as to emit a laser beam (hereinafter, also referred to as “laser light”) while switching every time the main scanning is completed.

【0087】2つのレーザ光源部125,127は、例
えば、互いに波長(λ1,λ2)の異なるレーザ光を出
射するレーザダイオードから構成されており、レーザ光
源部125から出射するレーザ光の波長(λ1)は、例
えば800nmに設定され、レーザ光源部127から出
射するレーザ光の波長(λ2)は、例えば800.53
nmに設定されている。
The two laser light sources 125 and 127 are, for example, composed of laser diodes that emit laser beams having different wavelengths (λ 1 and λ 2), and the wavelength of the laser light (λ 1 ) Is set to, for example, 800 nm, and the wavelength (λ2) of the laser light emitted from the laser light source unit 127 is, for example, 800.53.
nm.

【0088】図5のように、レーザ光源部125から出
射したレーザ光L1はハーフミラー128bを直進して
集光レンズ126に入射する。一方、レーザ光源部12
7から出射したレーザ光L2はミラー128a,ハーフ
ミラー128bを介してレーザ光L1と同じ光路を通
り、集光レンズ126に入射するようになっている。
As shown in FIG. 5, the laser light L1 emitted from the laser light source 125 travels straight through the half mirror 128b and enters the condenser lens 126. On the other hand, the laser light source 12
The laser light L2 emitted from 7 passes through the same optical path as the laser light L1 via the mirror 128a and the half mirror 128b, and is incident on the condenser lens 126.

【0089】レーザ光源部125、127から出射した
レーザ光L1、L2は、集光レンズ126でビーム径が
変換され、シリンドリカルレンズ115で一方向(本実
施の形態では、上下方向)にのみ収束され、図5で矢印
Aに示す回転方向に回転する回転多面鏡113の鏡面に
対し、回転多面鏡の回転軸に垂直な線像として入射する
ようになっている。回転多面鏡113は、レーザ光L1
またはL2を主走査方向に反射偏向し、偏向されたレー
ザ光L1、L2は、4枚のレンズを組み合わせてなるシ
リンドリカルレンズを含むfθレンズ114を通過した
後、光路上に主走査方向に延在して設けられたミラー1
16で反射されて、搬送装置142により矢印Y方向に
搬送されている(副走査されている)フィルムFの被走
査面上を、矢印X方向に繰り返し主走査される。この場
合、1回の主走査が終了する度に、レーザ光をL1(1
00%)、L2(0%)→L1(0%)、L2(100
%)のように切り替える。このようにして、図16に示
すようなパターンでレーザ光L1、L2により、フィル
ムF上の被走査面全面にわたって走査が行われる。な
お、fθレンズ114のシリンドリカルレンズは、入射
したレーザ光L1、L2をフィルムFの被走査面上に、
副走査方向にのみ収束させる。
The laser beams L1 and L2 emitted from the laser light source units 125 and 127 have their beam diameters converted by the condenser lens 126, and are converged by the cylindrical lens 115 only in one direction (up and down in this embodiment). The light is incident as a line image perpendicular to the rotation axis of the rotating polygon mirror 113 on the mirror surface of the rotating polygon mirror 113 rotating in the rotation direction indicated by the arrow A in FIG. The rotating polygon mirror 113 outputs the laser light L1.
Alternatively, L2 is reflected and deflected in the main scanning direction, and the deflected laser beams L1 and L2 pass through an fθ lens 114 including a cylindrical lens formed by combining four lenses, and then extend on the optical path in the main scanning direction. Mirror 1
The main scanning is repeatedly performed in the direction of the arrow X on the surface to be scanned of the film F which is reflected at 16 and conveyed (sub-scanned) by the conveying device 142 in the direction of the arrow Y. In this case, every time one main scan is completed, the laser beam is switched to L1 (1
00%), L2 (0%) → L1 (0%), L2 (100
%). Thus, scanning is performed over the entire surface to be scanned on the film F by the laser beams L1 and L2 in a pattern as shown in FIG. Note that the cylindrical lens of the fθ lens 114 converts the incident laser beams L1 and L2 onto the surface of the film F to be scanned.
Converge only in the sub-scanning direction.

【0090】図5のレーザビーム露光装置120では、
レーザ光源部125から出射したレーザ光L1の光路と
レーザ光源部127から出射したレーザ光L2の光路と
が、従来のように厳密に重なり合うことは必要ないか
ら、レーザ光源部125,レーザ光源部127,ミラー
128a,ハーフミラー128b、集光レンズ126、
シリンドリカルレンズ115等の光学系の調整が容易と
なる。また、主走査方向にレーザ光がずれていても補正
ができ、また主走査方向の各レーザビームが必ずしも一
致する必要はない。このため、回転多面鏡113、fθ
レンズ114のシリンドリカルレンズ、ミラー116等
の光学系の調整も容易となる。従って、レーザビーム露
光装置120は製造時及びメンテナンス時の光学調整が
比較的容易であり、コスト的にも有利となる。
In the laser beam exposure apparatus 120 shown in FIG.
Since the optical path of the laser light L1 emitted from the laser light source 125 and the optical path of the laser light L2 emitted from the laser light source 127 do not need to strictly overlap as in the related art, the laser light source 125 and the laser light source 127 , Mirror 128a, half mirror 128b, condenser lens 126,
The adjustment of the optical system such as the cylindrical lens 115 becomes easy. Further, correction can be made even if the laser beam is shifted in the main scanning direction, and the laser beams in the main scanning direction do not necessarily have to match. Therefore, the rotating polygon mirror 113, fθ
Adjustment of the optical system such as the cylindrical lens of the lens 114 and the mirror 116 is also facilitated. Therefore, the laser beam exposure apparatus 120 is relatively easy to perform optical adjustment at the time of manufacturing and maintenance, and is advantageous in cost.

【0091】以上のようにして、フィルムFに画像信号
Sに基づく潜像が形成されるが、この場合、レーザ光L
1(波長λ1)及びレーザ光L2(波長λ2)により図
16のようなパターンで露光されるために、一線状領域
毎の走査線では干渉パターンが現れるとしても、フィル
ムF全体では上述のように干渉ムラを抑えることができ
る。このため、熱現像後のフィルムFにおいて干渉ムラ
を非可視化でき、濃度むらを低減できるので、画像品質
が向上する。
As described above, a latent image based on the image signal S is formed on the film F. In this case, the laser light L
1 (wavelength λ1) and the laser beam L2 (wavelength λ2) are exposed in a pattern as shown in FIG. 16, so that even if an interference pattern appears on a scanning line for each linear region, the entire film F is exposed as described above. Interference unevenness can be suppressed. For this reason, interference unevenness can be made invisible in the film F after thermal development, and density unevenness can be reduced, so that image quality is improved.

【0092】次に、図6によりレーザビーム露光装置1
20の変形例を説明する。この変形例は、1つのレーザ
光源を用い、このレーザ光源に温度差を与えることによ
り、出射するレーザ光に波長差を生じさせるようにした
ものである。図6のレーザ光源部225はレーザダイオ
ードから構成され、同一温度では同一波長のレーザ光を
発振する。図6に示すように、レーザ光源部225には
温度制御素子225aと温度検知素子225bとがそれ
ぞれ設けられている。温度制御部128により温度検知
素子225bで検知した検知温度に基づいて温度制御素
子225aがレーザ光源部225の各レーザダイオード
に温度差が生じるように制御される。
Next, referring to FIG.
Modification 20 will be described. In this modification, one laser light source is used, and by giving a temperature difference to the laser light source, a wavelength difference is generated in the emitted laser light. The laser light source unit 225 shown in FIG. 6 includes a laser diode, and oscillates a laser beam having the same wavelength at the same temperature. As shown in FIG. 6, the laser light source unit 225 is provided with a temperature control element 225a and a temperature detection element 225b. The temperature control unit 225a is controlled based on the temperature detected by the temperature detection element 225b by the temperature control unit 128 so that a temperature difference occurs between the laser diodes of the laser light source unit 225.

【0093】図7に温度制御素子225aを更に詳しく
示すが、温度制御素子225aにレーザダイオードチッ
プ227が直接に取り付けられている。また、温度制御
素子225aのレーザダイオードチップ227近傍には
温度検知素子225bが配置されている。また、温度制
御素子225aにはフィン226が取り付けられてい
る。
FIG. 7 shows the temperature control element 225a in more detail. The laser diode chip 227 is directly attached to the temperature control element 225a. Further, a temperature detecting element 225b is arranged near the laser diode chip 227 of the temperature control element 225a. Further, a fin 226 is attached to the temperature control element 225a.

【0094】レーザダイオードはその発振波長に関し、
例えば図13に示すように温度依存性があり、例えば発
振波長が0.3nm/℃の割合で上昇する特性を有する
とすると、発振波長が約800nmで、光路差δが60
0μmの場合、必要な波長差Δλ(=λ1−λ2)は
0.53nmであるから、必要な温度差ΔTは0.53
/0.3≒1.8℃となる。図13のように温度t1で
波長λ1となり、温度t2で波長λ2となる場合、温度
制御部128で温度t1,t2(温度差ΔT=t2−t
1)となるように温度制御素子225aを制御し、主走
査が終了する度に切り替えることにより、図9のような
照射パターンでレーザ光源部225からレーザ光L1ま
たはL2を出射させることができる。これにより、図5
の場合と同様の効果が得られる。
A laser diode is related to its oscillation wavelength.
For example, as shown in FIG. 13, assuming that there is a temperature dependency, for example, the oscillation wavelength has a characteristic of increasing at a rate of 0.3 nm / ° C.
In the case of 0 μm, since the necessary wavelength difference Δλ (= λ1−λ2) is 0.53 nm, the necessary temperature difference ΔT is 0.53
/0.3≒1.8° C. As shown in FIG. 13, when the wavelength becomes λ1 at the temperature t1 and becomes the wavelength λ2 at the temperature t2, the temperature controller 128 makes the temperatures t1 and t2 (temperature difference ΔT = t2−t).
The laser beam L1 or L2 can be emitted from the laser light source unit 225 in an irradiation pattern as shown in FIG. 9 by controlling the temperature control element 225a so as to satisfy 1) and switching the temperature control element 225a each time the main scanning is completed. As a result, FIG.
The same effect as in the case of is obtained.

【0095】なお、温度制御素子としてペルチェ素子等
を使用でき、また温度検知素子として熱電対、サーミス
タ等を使用できるが、これらには限定されない。また、
レーザ光源部は、必ずしも同一温度で同一波長のレーザ
光を発振しなくてもよく、同一温度で同一波長でない場
合は、上述と同様にして所定の波長差が得られるように
レーザ光源部に温度差を与えればよい。
Note that a Peltier element or the like can be used as a temperature control element, and a thermocouple, a thermistor, or the like can be used as a temperature detection element. However, the present invention is not limited to these. Also,
The laser light source section does not necessarily have to oscillate laser light of the same wavelength at the same temperature. If the laser light section does not have the same wavelength at the same temperature, the laser light source section is heated in the same manner as described above so that a predetermined wavelength difference is obtained. What is necessary is just to give a difference.

【0096】また、レーザ光源は1つであるから、レー
ザ光源部225,集光レンズ126、シリンドリカルレ
ンズ115、回転多面鏡113、fθレンズ114のシ
リンドリカルレンズ、ミラー116等の光学系の構成が
簡単となり、製造時及びメンテナンス時の光学調整が容
易となり、コスト的に有利となり、また、複数のレーザ
光源の場合のような波長選別が不要となる。
Since there is only one laser light source, the configuration of the optical system such as the laser light source unit 225, the condenser lens 126, the cylindrical lens 115, the rotary polygon mirror 113, the cylindrical lens of the fθ lens 114, the mirror 116, etc. is simple. Thus, optical adjustment at the time of manufacturing and maintenance becomes easy, which is advantageous in terms of cost, and wavelength selection as in the case of a plurality of laser light sources becomes unnecessary.

【0097】次に、感光材料であるフィルムのPET等
からなる支持体が光学的異方性を有する場合の干渉ムラ
発生への影響を抑制するレーザビーム露光装置の構成に
ついて図18により説明する。
Next, the configuration of a laser beam exposure apparatus that suppresses the influence on the occurrence of interference unevenness when a support made of PET or the like of a film as a photosensitive material has optical anisotropy will be described with reference to FIG.

【0098】図18に示すレーザビーム露光装置は、波
長λ1のレーザビームを射出する第1のレーザ光源30
1と、波長λ2のレーザビームを射出する第2のレーザ
光源302と、波長λ1とλ2のレーザビームを合波す
る偏光ビームスプリッタ(PBS)306と、この合波
ビームが入射するレンズ系308と、PBS306とレ
ンズ系308との間に配置されたλ/4波長板307
と、レンズ系308から出射したビームが入射し主走査
方向に走査させるための回転ポリゴンミラー309と、
fθレンズ311とを備える。なお、λ/4波長板30
7の代わりに、λ/4波長板310を図18の破線のよ
うに回転ポリゴンミラー309とfθレンズ311との
間に配置してもよい。
The laser beam exposure apparatus shown in FIG. 18 uses a first laser light source 30 for emitting a laser beam having a wavelength λ1.
1, a second laser light source 302 for emitting a laser beam of wavelength λ2, a polarizing beam splitter (PBS) 306 for multiplexing laser beams of wavelengths λ1 and λ2, and a lens system 308 on which the multiplexed beam is incident. Λ / 4 wave plate 307 disposed between the PBS 306 and the lens system 308
A rotating polygon mirror 309 for allowing a beam emitted from the lens system 308 to enter and scan in the main scanning direction;
fθ lens 311. The λ / 4 wavelength plate 30
Instead of 7, a λ / 4 wavelength plate 310 may be arranged between the rotating polygon mirror 309 and the fθ lens 311 as shown by the broken line in FIG.

【0099】図18のレーザビーム露光装置では、第1
のレーザ光源301からの直線偏光状態のレーザビーム
がレンズ303,λ/2波長板305を介してPBS3
06で反射し、また、第2のレーザ光源302からの直
線偏光状態のレーザビームがレンズ304を介してPB
S30を通過する。両レーザビームはPBS306で合
波され、λ/4波長板307を通過することにより円偏
光状態になる。この円偏光状態のビームがレンズ系30
8、回転ポリゴンミラー309、fθレンズ311を介
してフィルムF上で主走査される。
In the laser beam exposure apparatus shown in FIG.
A laser beam in a linearly polarized state from a laser light source 301 is transmitted through a lens 303 and a λ / 2 wavelength plate 305 to a PBS 3.
06, and a linearly polarized laser beam from the second laser light source 302
Go through S30. The two laser beams are combined by the PBS 306 and pass through the λ / 4 wavelength plate 307 to be in a circularly polarized state. The beam in this circularly polarized state is transmitted to the lens system 30.
8. Main scanning is performed on the film F via the rotating polygon mirror 309 and the fθ lens 311.

【0100】ここで、フィルムFは、製造方法等の理由
でPETからなる支持体が光学的異方性を有し、PET
の配向軸の横方向H1、縦方向H2(H1とH2では屈
折率が異なっている)で屈折率が図18のように例え
ば、パターンx、y、zのように変化している。この場
合、図18のレーザビーム露光装置では、図9と同様の
照射パターンで露光し、第1のレーザ光源301からの
レーザビーム光量をaとし、第2のレーザ光源302か
らのレーザビーム光量をbとすると、図19に示すよう
に、支持体に光学的異方性がないとき(均質状態)、支
持体裏面からの反射光量をそれぞれa1,b1とする
と、a=b、a1/a=b1/bのとき、干渉ムラは発
生しない。即ち、aとa1での干渉による濃度変化の明
暗のパターンの強さと、このパターンと明暗が逆転して
いるbとb1での干渉による濃度変化パターンの強さと
が同じになるので、干渉ムラを抑制できのである。
Here, for the film F, the support made of PET has an optical anisotropy due to the manufacturing method and the like, and the PET is made of PET.
In the horizontal direction H1 and the vertical direction H2 (the refractive index is different between H1 and H2) of the alignment axis, the refractive index changes as shown in, for example, patterns x, y, and z as shown in FIG. In this case, in the laser beam exposure apparatus of FIG. 18, exposure is performed in the same irradiation pattern as in FIG. 9, the amount of laser beam from the first laser light source 301 is a, and the amount of laser beam from the second laser light source 302 is As shown in FIG. 19, when the support has no optical anisotropy (homogeneous state) as shown in FIG. 19, a = b and a1 / a = At b1 / b, no interference unevenness occurs. That is, the intensity of the pattern of light and dark of the density change due to the interference between a and a1 and the intensity of the pattern of the density change due to the interference between b and b1 where the light and dark are reversed are the same. It can be suppressed.

【0101】一方、支持体に光学的異方性がある場合に
は図の実線と一点鎖線で示すように、入射ビームは各配
向軸に分配される。この分配された光の、支持体裏面か
らの反射光をそれぞれ(a1,a2),(b1,b2)
とする。この場合、配向軸の違いで屈折率が違うので、
光学的厚みに差tがでる。このとき、一般的に、aとa
1(または、bとb1)での干渉パターンと、aとa2
(または、bとb2)での干渉パターンとは一致してい
ない。従って、aとa1での干渉パターンとbとb1で
の干渉パターン、aとa2での干渉パターンとbとb2
での干渉パターンは、それぞれ互いに相殺し合うが、各
配向軸に分配される光量がそろっていないと、a=bで
あっても、通常干渉ムラが残ってしまう。つまり、干渉
ムラが発生しない条件として、a=bとともに、a1,
a2への光量分配比率と、b1,b2への光量分配比率
が同じであること、即ち、a1/a2=b1/b2であ
ると、干渉ムラが発生しない。
On the other hand, when the support has optical anisotropy, the incident beam is distributed to each orientation axis as shown by the solid line and the dashed line in the figure. Reflected light of the distributed light from the back surface of the support is (a1, a2) and (b1, b2), respectively.
And In this case, since the refractive index differs depending on the orientation axis,
There is a difference t in the optical thickness. At this time, generally, a and a
1 (or b and b1) and a and a2
(Or b and b2) do not match the interference pattern. Therefore, the interference pattern at a and a1, the interference pattern at b and b1, the interference pattern at a and a2, and b and b2
The interference patterns cancel each other, but if the amounts of light distributed to the respective alignment axes are not uniform, even if a = b, interference unevenness usually remains. That is, as a condition for preventing the occurrence of interference unevenness, a = b and a1, a1
If the light amount distribution ratio to a2 and the light amount distribution ratio to b1 and b2 are the same, that is, if a1 / a2 = b1 / b2, interference unevenness does not occur.

【0102】支持体の配向軸H1,H2は通常、図20
(a)のように傾斜しているから、a1>a2、b1<
b2となり、 a1/a2≠b1/b2 であり、干渉ムラが発生するのであるが、レーザビーム
が円偏光状態であると、配向軸H1,H2に対して偏光
面が高速回転した状態になるので、各配向軸への光量分
配比率が平均化され、a1=b1、a2=b2となり、
a1/a2=b1/b2となる。
The orientation axes H1 and H2 of the support are usually shown in FIG.
Since it is inclined as shown in (a), a1> a2, b1 <
b1 and a1 / a2 ≠ b1 / b2, and interference unevenness occurs. However, when the laser beam is in a circularly polarized state, the polarization plane rotates at high speed with respect to the alignment axes H1 and H2. , The light amount distribution ratio to each alignment axis is averaged, and a1 = b1 and a2 = b2,
a1 / a2 = b1 / b2.

【0103】以上のように、偏光面aa,bbが回転し
た状態となる結果、各配向軸H1,H2に対する光量分
配比率が両者で同じになる。従って、PETの支持体に
光学的異方性があり、そのフィルムに変化パターンx、
y、zが図18のように生じていても、干渉ムラを抑制
でき、非可視化できる。
As described above, as a result of the polarization planes aa and bb being rotated, the light amount distribution ratio to each of the alignment axes H1 and H2 becomes the same. Therefore, the PET support has optical anisotropy, and the film has a change pattern x,
Even if y and z are generated as shown in FIG. 18, it is possible to suppress interference unevenness and make it invisible.

【0104】また、図20(b)のように、レーザビー
ムの直線偏光の偏光方向を予め、光学的異方性の軸に対
して45゜傾斜させることにより、上述と同様の効果を
得ることができる。例えば、光学的異方性の軸が水平面
に平行または垂直の場合、レーザ光源をその水平面に対
し45゜傾斜させて配置する。
Also, as shown in FIG. 20B, the same effect as described above can be obtained by inclining the polarization direction of the linearly polarized laser beam by 45 ° with respect to the axis of optical anisotropy in advance. Can be. For example, when the axis of optical anisotropy is parallel or perpendicular to the horizontal plane, the laser light source is arranged at an angle of 45 ° with respect to the horizontal plane.

【0105】次に、図22により、図18のレーザビー
ム露光装置の変形例を説明する。図22のレーザビーム
露光装置は、第2の光源302に温度制御素子302a
を設けたものである。この温度制御素子302aは、図
6と同調に制御され、レーザビームの光量−波長特性を
変えるようにレーザ光源302を制御する。第1及び第
2のレーザ光源301,302で図16または図17の
ように光量分配比率を変えるとともに、第2のレーザ光
源302で図13のように制御することにより、レーザ
ビームの偏光状態を円偏光にして照射するとともに、隣
接する線状領域間で、照射するレーザビームの光量−波
長特性及び光量分配比率を変えることができる。これに
より、感光材料の厚み変動による干渉ムラを抑制すると
ともに、光学異方性の軸の向きによらず光学異方性によ
る干渉ムラを充分に抑制することができる。
Next, a modification of the laser beam exposure apparatus shown in FIG. 18 will be described with reference to FIG. The laser beam exposure apparatus shown in FIG.
Is provided. The temperature control element 302a is controlled in synchronization with FIG. 6, and controls the laser light source 302 so as to change the light amount-wavelength characteristic of the laser beam. By changing the light quantity distribution ratio with the first and second laser light sources 301 and 302 as shown in FIG. 16 or FIG. 17 and controlling the second laser light source 302 as shown in FIG. In addition to irradiating circularly polarized light, it is possible to change the light amount-wavelength characteristic and the light amount distribution ratio of the irradiated laser beam between adjacent linear regions. This makes it possible to suppress interference unevenness due to fluctuations in the thickness of the photosensitive material and to sufficiently suppress interference unevenness due to optical anisotropy regardless of the direction of the axis of optical anisotropy.

【0106】次に、レーザ露光ビーム装置において、上
述のようにレーザビームを直線偏光から円偏光状態とす
るために好ましい構成について図21により説明する。
図21のように、レーザビーム露光装置内の各部材の配
置等の理由から、レーザビームの合波直後に透過するよ
う配置したλ/4波長板により円偏光状態としたレーザ
ビームを多数の引き回しミラー351,352,353
を介してポリゴンミラ−354に導く場合、ポリゴンミ
ラー354はコスト等の関係から金属製であるが、引き
回しミラーによってはこの円偏光状態が元に戻ることが
ある。これを防止するために、図21では、金属製のポ
リゴンミラー354の直前に配置された引き回しミラー
353を金属ミラーとし、他のミラー251,352を
誘電体多層膜ミラーとし、金属製の引き回しミラー35
3へのビーム入射角θが金属製のポリゴンミラーへのビ
ーム中心入射角θと同じにしている。これによれば、主
走査方向の両端近傍で円偏光度が多少低下するが、低コ
ストの金属ミラー、金属ポリゴンミラーを使用でき、好
ましい。
Next, a preferred configuration for changing the laser beam from linearly polarized light to circularly polarized light in the laser exposure beam apparatus as described above will be described with reference to FIG.
As shown in FIG. 21, for the reasons such as the arrangement of each member in the laser beam exposure apparatus, a large number of laser beams which are circularly polarized by a λ / 4 wavelength plate arranged so as to be transmitted immediately after the multiplexing of the laser beams. Mirrors 351, 352, 353
When the polygon mirror 354 is guided to the polygon mirror-354 via the mirror, the polygon mirror 354 is made of metal from the viewpoint of cost and the like, but this circularly polarized state may return to the original state depending on the routing mirror. In order to prevent this, in FIG. 21, the drawing mirror 353 disposed immediately before the metal polygon mirror 354 is a metal mirror, the other mirrors 251 and 352 are dielectric multilayer mirrors, and the metal drawing mirror is used. 35
3 is the same as the beam center incident angle θ on the metal polygon mirror. According to this, although the degree of circular polarization slightly decreases near both ends in the main scanning direction, a low-cost metal mirror or metal polygon mirror can be used, which is preferable.

【0107】また、レーザビームを直線偏光から円偏光
状態とするために好ましい構成として、λ/4波長板に
対し後置されるミラーはすべて、金属ミラーを使用せ
ず、誘電体多層膜ミラーとするのがよい。
Further, as a preferable configuration for changing the laser beam from linearly polarized light to circularly polarized light, all mirrors provided after the λ / 4 wavelength plate do not use a metal mirror, but have a dielectric multilayer mirror. Good to do.

【0108】次に、上述のフィルムFについて説明す
る。図10は、フィルムFの断面図であり、露光時にお
けるフィルムF内の化学的反応を模式的に示した図であ
る。図11は、加熱時におけるフィルムF内の化学的反
応を模式的に示した、図10と同様な断面図である。フ
ィルムFは、PETからなる支持体(基層)上に、ポリ
ビニルブチラールを主材とする感光層が形成され、更
に、その上にセルロースブチレートからなる保護層が形
成されている。感光層には、ベヘン酸銀(Beh.A
g)と、還元剤及び調色剤とが配合されている。
Next, the film F will be described. FIG. 10 is a cross-sectional view of the film F, schematically illustrating a chemical reaction in the film F during exposure. FIG. 11 is a cross-sectional view similar to FIG. 10, schematically showing a chemical reaction in the film F during heating. In the film F, a photosensitive layer mainly composed of polyvinyl butyral is formed on a support (base layer) made of PET, and a protective layer made of cellulose butyrate is further formed thereon. In the photosensitive layer, silver behenate (Beh. A) was used.
g), a reducing agent and a toning agent.

【0109】露光時に、レーザビーム露光装置120よ
りレーザ光LがフィルムFに対して照射されると、図1
0に示すように、レーザ光Lが照射された領域に、ハロ
ゲン化銀粒子が感光し、潜像が形成される。一方、フィ
ルムFが加熱されて最低熱現像温度以上になると、図1
1に示すように、ベヘン酸銀から銀イオン(Ag+)が
放出され、銀イオンを放出したベヘン酸は調色剤と錯体
を形成する。その後銀イオンが拡散して、感光したハロ
ゲン化銀粒子を核として還元剤が作用し、化学的反応に
より銀画像が形成されると思われる。このようにフィル
ムFは、感光性ハロゲン化銀粒子と、有機銀塩と、銀イ
オン還元剤とを含有し、40℃以下の温度では実質的に
熱現像されず、80℃以上である最低現像温度以上の温
度で熱現像されるようになっている。
When the film F is irradiated with the laser beam L from the laser beam exposure device 120 during the exposure,
As shown in FIG. 0, silver halide grains are exposed to the area irradiated with the laser beam L, and a latent image is formed. On the other hand, when the film F is heated to a temperature equal to or higher than the minimum thermal development temperature, FIG.
As shown in FIG. 1, silver ions (Ag + ) are released from silver behenate, and behenic acid that has released silver ions forms a complex with the toning agent. Thereafter, silver ions are diffused, and the reducing agent acts with the exposed silver halide grains as nuclei to form a silver image by a chemical reaction. As described above, the film F contains the photosensitive silver halide grains, the organic silver salt, and the silver ion reducing agent, and is not substantially thermally developed at a temperature of 40 ° C. or lower, and is not substantially developed at a temperature of 80 ° C. or higher. Thermal development is performed at a temperature higher than the temperature.

【0110】熱現像材料に用いられる感光性のハロゲン
化銀は、典型的に、有機銀塩に関して、0.75〜25
mol%の範囲で用いられることができ、好ましくは、
2〜20mol%の範囲で用いられることができる。ま
た、フィルムFは、有機酸銀を感光層中のハロゲン化銀
粒子に対して銀量で4倍以上の含有していることが好ま
しい。また、ハロゲン化銀粒子の平均粒径は0.1μm
以下である。
The photosensitive silver halide used in the heat-developable material is typically from 0.75 to 25 with respect to the organic silver salt.
mol% can be used, preferably
It can be used in the range of 2 to 20 mol%. Further, it is preferable that the film F contains the organic acid silver in an amount of 4 times or more of the silver halide grains in the photosensitive layer. The average grain size of the silver halide grains is 0.1 μm.
It is as follows.

【0111】このハロゲン化銀は、臭化銀や、ヨウ化銀
や、塩化銀や、臭化ヨウ化銀や、塩化臭化ヨウ化銀や、
塩化臭化銀等のあらゆる感光性ハロゲン化銀であっても
良い。このハロゲン化銀は、これらに限定されるもので
はないが、立方体や、斜方晶系状や、平板状や、4面体
等を含む、感光性であるところのあらゆる形態であった
も良い。
The silver halide may be silver bromide, silver iodide, silver chloride, silver bromoiodide, silver chlorobromoiodide,
Any photosensitive silver halide such as silver chlorobromide may be used. The silver halide may be in any form that is photosensitive, including, but not limited to, cubic, orthorhombic, tabular, tetrahedral, and the like.

【0112】有機銀塩は、銀にオンの還元源を含むあら
ゆる有機材料である。有機酸の、特に長鎖脂肪酸(10
〜30の炭素原子、好ましくは15〜28の炭素原子)
の銀塩が好ましい。配位子が全体的に4.0〜10.0
の間で一定の安定性を有する有機又は無機の銀塩錯体で
あることが好ましい。そして、画像記録層の重量の約5
〜30%であることが好ましい。
The organic silver salt is any organic material containing a reduction source of on in silver. Organic acids, especially long chain fatty acids (10
-30 carbon atoms, preferably 15-28 carbon atoms)
Are preferred. When the ligand is 4.0 to 10.0 overall
It is preferable that the organic or inorganic silver salt complex has a certain stability between the two. And about 5 times the weight of the image recording layer
It is preferably about 30%.

【0113】この熱現像材料に用いられることができる
有機銀塩は、光に対して比較的安定な銀塩であって、露
光された光触媒(たとえば写真用ハロゲン化銀等)と還
元剤の存在において、80℃以上の温度に加熱されたと
きに銀画像を形成する銀塩である。
The organic silver salt which can be used in the heat developing material is a silver salt which is relatively stable to light, and is composed of an exposed photocatalyst (for example, silver halide for photography) and the presence of a reducing agent. Is a silver salt that forms a silver image when heated to a temperature of 80 ° C. or higher.

【0114】好ましい有機銀塩には、カルボキシル基を
有する有機化合物の銀塩が含まれる。それらには、脂肪
族カルボン酸の銀塩及び芳香族カルボン酸の銀塩が含ま
れる。脂肪族カルボン酸の銀塩の好ましい例には、ベヘ
ン酸銀、ステアリン酸銀等が含まれる。脂肪族カルボン
酸におけるハロゲン原子又はヒドロキシルとの銀塩も効
果的に用いうる。メルカプト又はチオン基を有する化合
物及びそれらの誘導体の銀塩も用いうる。更に、イミノ
基を有する化合物の銀塩を用いうる。
Preferred organic silver salts include silver salts of organic compounds having a carboxyl group. They include silver salts of aliphatic carboxylic acids and silver salts of aromatic carboxylic acids. Preferred examples of the silver salt of an aliphatic carboxylic acid include silver behenate, silver stearate and the like. Silver salts with halogen atoms or hydroxyl in aliphatic carboxylic acids can also be used effectively. Silver salts of compounds having a mercapto or thione group and derivatives thereof can also be used. Further, a silver salt of a compound having an imino group can be used.

【0115】有機銀塩のための還元剤は、銀イオンを金
属銀に還元できるいずれの材料でも良く、好ましくは有
機材料である。フェニドン、ヒドロキノン及びカテコー
ルのような従来の写真現像剤が有用である。しかし、フ
ェノール還元剤が好ましい。還元剤は画像記録層の1〜
10重量%存在するべきである。多層構成においては、
還元剤が乳剤層以外の相に添加される場合は、わずかに
高い割合である約2〜15重量%がより望ましい。
The reducing agent for the organic silver salt may be any material capable of reducing silver ions to metallic silver, and is preferably an organic material. Conventional photographic developers such as phenidone, hydroquinone and catechol are useful. However, phenol reducing agents are preferred. The reducing agent is 1 to 3 in the image recording layer.
It should be present at 10% by weight. In a multi-layer configuration,
If the reducing agent is added to a phase other than the emulsion layer, a slightly higher proportion, about 2 to 15% by weight, is more desirable.

【0116】[0116]

【実施例】上述の本実施の形態による装置によりそれぞ
れ下記のフィルムFを露光し熱現像したところ、干渉ム
ラの発生が原因と考えられる濃度むらは発見されなかっ
た。以下、フィルムFの製造について説明する。
EXAMPLES The following films F were respectively exposed and thermally developed by the above-described apparatus according to the present embodiment. As a result, density unevenness possibly caused by interference unevenness was not found. Hereinafter, the production of the film F will be described.

【0117】ハロゲン化銀−ベヘン酸銀ドライソープ
を、米国特許第3,839,049号に記載の方法によ
って調製した。上記ハロゲン化銀は総銀量の9モル%を
有し、一方べへン酸銀は総銀量の91モル%を有した。
上記ハロゲン化銀は、ヨウ化物2%を有する0.055
μm臭化ヨウ化銀エマルジョンであった。
A silver halide-silver behenate dry soap was prepared by the method described in US Pat. No. 3,839,049. The silver halide had 9 mole% of the total silver, while silver behenate had 91 mole% of the total silver.
The silver halide has 0.055% 2% iodide.
It was a μm silver bromoiodide emulsion.

【0118】熱現像乳剤を、上記ハロゲン化銀−ベヘン
酸銀ドライソープ455g、トルエン27g、2−ブタ
ノン1918g、およびポリビニルブチラール(モンサ
ント製のB−79)と均質化した。上記均質化熱現像乳
剤(698g)および2−ブタノン60gを撹拌しなが
ら12.8℃まで冷却した。ピリジニウムヒドロブロミ
ドペルブロミド(0.92g)を加えて、2時間撹絆し
た。
The heat-developable emulsion was homogenized with 455 g of the above-mentioned silver halide-silver behenate dry soap, 27 g of toluene, 1918 g of 2-butanone, and polyvinyl butyral (B-79 manufactured by Monsanto). The homogenized heat-developed emulsion (698 g) and 60 g of 2-butanone were cooled to 12.8 ° C. while stirring. Pyridinium hydrobromide perbromide (0.92 g) was added and stirred for 2 hours.

【0119】臭化カルシウム溶液(CaBr(1g)と
メタノール10ミリリットル)3.25ミリリットルを
加え、続いて30分間撹拌した。更にポリビニルブチラ
ール(158g;モンサント製B−79)を加え、20
分間撹拌した。温度を21.1℃まで上昇し、以下のも
のを撹絆しながら15分間かけて加えた。 2−(トリブロモメチルスルホン)キノリン 3.42g、 1,1−ビス(2−ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニル)−3,5,5 −トリメチルヘキサン 28.1g、 5−メチルメルカプトべンズイミダゾール0.545gを含有する溶液
3.25 ml of a calcium bromide solution (CaBr (1 g) and 10 ml of methanol) were added, followed by stirring for 30 minutes. Further, polyvinyl butyral (158 g; B-79 manufactured by Monsanto) was added, and 20
Stirred for minutes. The temperature was raised to 21.1 ° C. and the following was added with stirring over 15 minutes. 3.42 g of 2- (tribromomethylsulfone) quinoline, 28.1 g of 1,1-bis (2-hydroxy-3,5-dimethylphenyl) -3,5,5-trimethylhexane, 5-methylmercaptobenzimidazole Solution containing 0.545 g

【0120】 41.1g、 2−(4−クロロべンゾイル)安息香酸 6.12g S−1(増感染料) 0.104g メタノール 34.3g イソシアネート(デスモダーN3300、モべイ製) 2.14g テトラクロロフタル酸無水物 0.97g フタラジン 2.88g 尚、染料S−1は以下の構造を有する。41.1 g, 2- (4-chlorobenzozoyl) benzoic acid 6.12 g S-1 (sensitizing agent) 0.104 g methanol 34.3 g isocyanate (Desmoder N3300, manufactured by Mobay) 2.14 g tetra Chlorophthalic anhydride 0.97 g Phthalazine 2.88 g The dye S-1 has the following structure.

【化1】 活性保護トップコート溶液を以下の成分を用いて調製し
た, 2−ブタノン 80.0g メタノール 10.7g 酢酪酸セルロース(CAB−171−155、イーストマン・ケミカルズ製)
Embedded image An active protection topcoat solution was prepared using the following components: 2-butanone 80.0 g methanol 10.7 g cellulose acetate butyrate (CAB-171-155, manufactured by Eastman Chemicals)

【0121】 8.0g 4−メチルフタル酸 0.52g MRA−1、モトル還元剤、N−エチルペルフルオロオクタンスルホニルアミド エチルメタクリレート/ヒドロキシエチルメタクリレート/アクリル酸の重量比 70:20:10の3級ポリマー 0.80g8.0 g 4-Methylphthalic acid 0.52 g MRA-1, Mottle reducing agent, N-ethylperfluorooctanesulfonylamide Ethyl methacrylate / hydroxyethyl methacrylate / acrylic acid tertiary polymer in a weight ratio of 70:20:10 0 .80g

【0122】この熱現像乳剤とトッブコートとは、同時
に、0.18mmの青色ポリエステル・フィルム・べー
スにコーティングされた。ナイフ・コーターは、同時に
コーティングする2つのバーやナイフを15.2cmの
距離を置いた状態で設定された。銀トリップ層と、トッ
プ・コートとは、銀乳剤をリアー・ナイフに先立ってフ
ィルムに注ぎ、トップ・コートをフロント・バーに先立
ってフィルムに注ぐことにより、多層コーティングされ
た。
This heat-developable emulsion and topcoat were simultaneously coated on a 0.18 mm blue polyester film base. The knife coater was set up with two bars or knives coating simultaneously at a distance of 15.2 cm. The silver trip layer and the top coat were multi-layer coated by pouring the silver emulsion on the film prior to the rear knife and the top coat on the film prior to the front bar.

【0123】このフィルムは、次いで、両方の層が同時
にコーテングされるように、前方へ引き出された。これ
は、多層コーティング方法を1回行って得られた。コー
ティングされたポリエステル・べースは、79.4℃で
4分間乾燥せしめられた。そのナイフは、その銀層に対
して1m2当たりの乾燥被膜重量が23gとなるよう
に、そして、そのトップ・コートに対して1m2当たり
の乾燥被膜重量が2.4gとなるように調整された。ま
た、これらの層の乾燥膜厚および屈折率と支持体である
フィルムベースの膜厚及び屈折率から求まる光路長は6
00μmであった。
The film was then pulled forward so that both layers were coated simultaneously. This was obtained by performing the multilayer coating method once. The coated polyester base was dried at 79.4 ° C. for 4 minutes. As the knife, as dry coating weight per 1 m 2 for the silver layer is 23g, then dry coating weight per 1 m 2 is adjusted so as to be 2.4g for the top coat Was. The optical path length determined from the dry thickness and refractive index of these layers and the thickness and refractive index of the film base as the support is 6.
It was 00 μm.

【0124】[0124]

【発明の効果】本発明によれば、光学調整が簡単であり
かつ光量の損失を抑え、干渉ムラによる濃度変動のない
レーザビーム露光装置を提供できる。
According to the present invention, it is possible to provide a laser beam exposure apparatus in which the optical adjustment is simple, the loss of the light amount is suppressed, and the density does not fluctuate due to interference unevenness.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の原理を説明するためのフィルムの断面
図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view of a film for explaining the principle of the present invention.

【図2】図1の入射光の入射点5におけるレーザ光の波
長(λ1)と位相を示す図(a)、反射光の入射点6に
おけるレーザ光の波長(λ2)と位相(図1(a)と同
一位相)を示す図(b)、及び反射光の入射点6におけ
るレーザ光の波長(λ2)と位相(図1(a)と逆の位
相)を示す図(c)である。
2A is a diagram showing the wavelength (λ1) and phase of a laser beam at an incident point 5 of incident light in FIG. 1; FIG. 2A is a diagram showing the wavelength (λ2) and phase of a laser beam at an incident point 6 of reflected light; FIG. 1B is a diagram showing the same phase as FIG. 1A), and FIG. 1C is a diagram showing a wavelength (λ2) and a phase (a phase opposite to FIG. 1A) of the laser beam at the incident point 6 of the reflected light.

【図3】本発明の実施の形態にかかる熱現像装置の正面
図である。
FIG. 3 is a front view of the heat developing device according to the embodiment of the present invention.

【図4】本発明の実施の形態にかかる熱現像装置の左側
面図である。
FIG. 4 is a left side view of the heat developing device according to the embodiment of the present invention.

【図5】図3の熱現像装置のレーザビーム露光装置の構
成を示す概略図である。
FIG. 5 is a schematic diagram illustrating a configuration of a laser beam exposure device of the thermal developing device of FIG. 3;

【図6】レーザビーム露光装置の変形例を示す概略図で
ある。
FIG. 6 is a schematic view showing a modification of the laser beam exposure apparatus.

【図7】図6のレーザビーム露光装置のレーザ光源部及
び温度制御素子を更に詳しく示す側面図である。
FIG. 7 is a side view showing the laser light source unit and the temperature control element of the laser beam exposure apparatus of FIG. 6 in more detail.

【図8】本実施の形態においてレーザ光源の光量分配比
率を変えて2つの異なる波長を射出することを説明する
ための図である。
FIG. 8 is a diagram for explaining that two different wavelengths are emitted by changing the light amount distribution ratio of the laser light source in the present embodiment.

【図9】本実施の形態における干渉ムラの非可視化のた
めの照射パターンを示す図である。
FIG. 9 is a diagram showing an irradiation pattern for invisible interference unevenness in the present embodiment.

【図10】本実施の形態にけるフィルムFの断面図であ
り、露光時におけるフィルムF内の化学的反応を模式的
に示した図である。
FIG. 10 is a cross-sectional view of the film F according to the present embodiment, schematically showing a chemical reaction in the film F during exposure.

【図11】加熱時におけるフィルムF内の化学的反応を
模式的に示した、図10と同様な断面図である。
FIG. 11 is a cross-sectional view similar to FIG. 10, schematically showing a chemical reaction in the film F during heating.

【図12】従来技術の問題を説明するためのフィルムの
断面とレーザ光との関係を示す概念図(a),(b)で
ある。
FIGS. 12A and 12B are conceptual diagrams illustrating a relationship between a cross section of a film and a laser beam for explaining a problem of the related art.

【図13】レーザダイオードの温度による波長変化を概
念的に示す図である。
FIG. 13 is a diagram conceptually showing a wavelength change due to a temperature of a laser diode.

【図14】本実施の形態における干渉ムラの非可視化の
ための照射パターンの変形例を示す図である。
FIG. 14 is a diagram showing a modification of the irradiation pattern for making the interference unevenness invisible in the present embodiment.

【図15】レーザ光源のレーザ素子の温度制御装置の概
略図である。
FIG. 15 is a schematic diagram of a temperature control device for a laser element of a laser light source.

【図16】本実施の形態における干渉ムラの非可視化の
ための2つのレーザ光源に対する光量分配比率を変えた
例を説明するための図である。
FIG. 16 is a diagram for describing an example in which the light amount distribution ratio for two laser light sources is changed in order to make interference unevenness invisible in the present embodiment.

【図17】本実施の形態における干渉ムラの非可視化の
ための2つのレーザ光源に対する光量分配比率を変えた
別の例を説明するための図である。
FIG. 17 is a view for explaining another example in which the light amount distribution ratio for two laser light sources for changing the interference unevenness is made invisible in the present embodiment.

【図18】本実施の形態において直線偏光から円偏光状
態としたレーザビームを光学的異方性のある感光材料に
露光するためのレーザビーム露光装置を示す概略的な斜
視図である。
FIG. 18 is a schematic perspective view showing a laser beam exposure apparatus for exposing a laser beam that has been changed from linearly polarized light to circularly polarized light to a photosensitive material having optical anisotropy in the present embodiment.

【図19】感光材料の支持体が光学的異方性を有する場
合の問題を説明するための図である。
FIG. 19 is a view for explaining a problem when a support of a photosensitive material has optical anisotropy.

【図20】感光材料の支持体の光学的異方性に起因して
干渉ムラが生じる現象を説明するための図(a)、及び
図18のレーザビーム露光装置でかかる干渉ムラを抑制
できることを説明するための図(b)である。
20A is a diagram for explaining a phenomenon in which interference unevenness occurs due to the optical anisotropy of a support of a photosensitive material, and FIG. 20 shows that the laser beam exposure apparatus in FIG. 18 can suppress such interference unevenness. FIG. 6B is a diagram for explaining the operation.

【図21】図18のレーザビーム露光装置でレーザビー
ムを直線偏光から円偏光状態とするために好ましい構成
を示す概略的な平面図である。
21 is a schematic plan view showing a preferred configuration for changing a laser beam from linearly polarized light to circularly polarized light in the laser beam exposure apparatus of FIG. 18;

【図22】図18の変形例を示すレーザビーム露光装置
を示す概略的な斜視図である。
FIG. 22 is a schematic perspective view showing a laser beam exposure apparatus showing a modification of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 フィルムの支持体 2 フィルムの感光層 100 熱現像装置 110 格納部 120 レーザビーム露光装置 130 現像部 125,127,225 レーザ光源部 225a 温度制御素子 225b 温度検知素子 128 温度制御部 129 光変調素子 113 回転多面鏡 142 搬送装置 306 偏光ビームスプリッタ(P
BS) 307,310 λ/4波長板 353 金属ミラー 354 金属製ポリゴンミラー F フィルム D1 フィルムの支持体の厚さ n1 支持体の屈折率 D2 フィルムの感光層の厚さ n2 感光層の屈折率 λ1 レーザ光の波長 λ2 別のレーザ光の波長
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Film support 2 Film photosensitive layer 100 Thermal developing device 110 Storage part 120 Laser beam exposure apparatus 130 Developing part 125,127,225 Laser light source part 225a Temperature control element 225b Temperature detection element 128 Temperature control part 129 Light modulation element 113 Rotating polygon mirror 142 Conveyor 306 Polarizing beam splitter (P
BS) 307,310 λ / 4 wavelength plate 353 Metal mirror 354 Metal polygon mirror F Film D1 Thickness of film support n1 Refractive index of support D2 Thickness of photosensitive layer of film n2 Refractive index of photosensitive layer λ1 Laser Light wavelength λ2 Different laser light wavelength

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G03C 5/08 351 G03C 5/08 351 2H123 G03D 13/00 G03D 13/00 A 5C072 G 5C074 H04N 1/113 H04N 1/23 103Z 1/23 103 1/04 104A // B41J 2/44 B41J 3/00 D Fターム(参考) 2C362 AA04 AA09 AA60 BA64 CB59 2H045 AA01 BA02 BA22 BA32 DA02 DA41 2H099 AA00 BA09 CA02 CA07 2H110 AA01 AA17 AA19 AA22 AA23 CD14 2H112 AA03 AA11 BC32 2H123 AB00 AB03 AB23 CA00 CA22 CB00 CB03 5C072 AA03 BA18 HA02 HA06 HA08 HA13 HB01 HB04 HB06 HB08 VA03 5C074 AA03 BB03 BB25 CC22 CC26 DD08 HH02 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) G03C 5/08 351 G03C 5/08 351 2H123 G03D 13/00 G03D 13/00 A 5C072 G 5C074 H04N 1/113 H04N 1/23 103Z 1/23 103 1/04 104A // B41J 2/44 B41J 3/00 DF term (reference) 2C362 AA04 AA09 AA60 BA64 CB59 2H045 AA01 BA02 BA22 BA32 DA02 DA41 2H099 AA00 BA09 CA02 CA07 2H110 AA01 AA17 AA19 AA22 AA23 CD14 2H112 AA03 AA11 BC32 2H123 AB00 AB03 AB23 CA00 CA22 CB00 CB03 5C072 AA03 BA18 HA02 HA06 HA08 HA13 HB01 HB04 HB06 HB08 VA03 5C074 AA03 BB03 BB25 CC22 CC26 DD08 HH02

Claims (208)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 使用する波長に対して透過性または半透
過性である支持体層または感光層を少なくとも1つ有す
る感光材料に対しレーザ光源からレーザビームを照射し
露光するレーザビーム露光装置であって、 前記レーザビームにより照射される1本の走査線または
連続した複数本の走査線からなるビーム照射域を1つの
線状領域と定義し、隣接する前記線状領域間で、照射す
るレーザビームの光量分配比率を変えることを特徴とす
るレーザビーム露光装置。
1. A laser beam exposure apparatus for irradiating a laser beam from a laser light source to a photosensitive material having at least one support layer or photosensitive layer that is transmissive or semi-transmissive for a wavelength to be used. A single line or a beam irradiation area composed of a plurality of continuous scanning lines irradiated by the laser beam is defined as one linear region, and a laser beam to be irradiated between adjacent linear regions A laser beam exposure apparatus characterized by changing a light amount distribution ratio of the laser beam.
【請求項2】 前記レーザビームの光量分配比率のパタ
ーンが規則的であることを特徴とする請求項1に記載の
レーザビーム露光装置。
2. The laser beam exposure apparatus according to claim 1, wherein a pattern of a light amount distribution ratio of the laser beam is regular.
【請求項3】 前記レーザビームの光量分配比率のパタ
ーンがランダムであることを特徴とする請求項1に記載
のレーザビーム露光装置。
3. The laser beam exposure apparatus according to claim 1, wherein a pattern of a light amount distribution ratio of the laser beam is random.
【請求項4】 前記線状領域と前記隣接する線状領域と
は干渉ムラが非可視化されている範囲であることを特徴
とする請求項1,2または3に記載のレーザビーム露光
装置。
4. The laser beam exposure apparatus according to claim 1, wherein the linear region and the adjacent linear region are in a range where interference unevenness is invisible.
【請求項5】 前記レーザ光源は1つであることを特徴
とする請求項1,2,3または4に記載のレーザビーム
露光装置。
5. The laser beam exposure apparatus according to claim 1, wherein one laser light source is provided.
【請求項6】 前記1つのレーザ光源で前記隣接する線
状領域間毎に光量分配比率を切り替えて前記感光材料に
照射することを特徴とする請求項5に記載のレーザビー
ム露光装置。
6. The laser beam exposure apparatus according to claim 5, wherein the one laser light source irradiates the photosensitive material by switching a light amount distribution ratio between the adjacent linear regions.
【請求項7】 前記レーザ光源は複数であることを特徴
とする請求項1,2,3または4に記載のレーザビーム
露光装置。
7. The laser beam exposure apparatus according to claim 1, wherein a plurality of the laser light sources are provided.
【請求項8】 光量分配比率の異なる前記複数のレーザ
光源を、前記隣接する線状領域間毎に切り替えて前記感
光材料に照射することを特徴とする請求項7に記載のレ
ーザビーム露光装置。
8. The laser beam exposure apparatus according to claim 7, wherein the plurality of laser light sources having different light quantity distribution ratios are switched between the adjacent linear regions to irradiate the photosensitive material.
【請求項9】 前記レーザ光源が複数である場合、前記
光量分配比率は前記レーザビームが所定の光量以下のと
きに変えることを特徴とする請求項7に記載のレーザビ
ーム露光装置。
9. The laser beam exposure apparatus according to claim 7, wherein when there are a plurality of laser light sources, the light amount distribution ratio is changed when the laser beam is equal to or less than a predetermined light amount.
【請求項10】 前記所定光量以下とは、干渉による濃
度ムラが視認できる光量レベル以下であることを特徴と
する請求項9に記載のレーザビーム露光装置。
10. The laser beam exposure apparatus according to claim 9, wherein the predetermined light amount or less is equal to or less than a light amount level at which density unevenness due to interference can be visually recognized.
【請求項11】 前記感光材料は干渉しやすい材料であ
ることを特徴とする請求項1〜11のいずれか1項に記
載のレーザビーム露光装置。
11. The laser beam exposure apparatus according to claim 1, wherein the photosensitive material is a material that easily interferes.
【請求項12】 使用する波長に対して透過性または半
透過性である支持体層または感光層を少なくとも1つ有
する感光材料に対しレーザ光源からレーザビームを照射
し露光するレーザビーム露光装置であって、 前記レーザビームにより照射される1画素または連続し
た複数の画素からなるビーム照射域を1つの画素域と定
義し、隣接する前記画素域間で、照射するレーザビーム
の光量分配比率を変えることを特徴とするレーザビーム
露光装置。
12. A laser beam exposure apparatus for irradiating a laser beam from a laser light source to a photosensitive material having at least one support layer or at least one photosensitive layer that is transparent or semi-transparent to the wavelength to be used. Defining a beam irradiation area composed of one pixel or a plurality of continuous pixels irradiated by the laser beam as one pixel area, and changing a light amount distribution ratio of an irradiated laser beam between the adjacent pixel areas. A laser beam exposure apparatus.
【請求項13】 前記レーザビームの光量分配比率のパ
ターンが規則的であることを特徴とする請求項12に記
載のレーザビーム露光装置。
13. The laser beam exposure apparatus according to claim 12, wherein a pattern of a light amount distribution ratio of the laser beam is regular.
【請求項14】 前記レーザビームの光量分配比率のパ
ターンがランダムであることを特徴とする請求項12に
記載のレーザビーム露光装置。
14. The laser beam exposure apparatus according to claim 12, wherein the pattern of the light amount distribution ratio of the laser beam is random.
【請求項15】 前記画素域と前記隣接する画素域とは
干渉ムラが非可視化されている範囲であることを特徴と
する請求項12,13または14に記載のレーザビーム
露光装置。
15. The laser beam exposure apparatus according to claim 12, wherein the pixel area and the adjacent pixel area are in a range where interference unevenness is invisible.
【請求項16】 前記レーザ光源は1つであることを特
徴とする請求項12〜15のいずれか1項に記載のレー
ザビーム露光装置。
16. The laser beam exposure apparatus according to claim 12, wherein the number of the laser light sources is one.
【請求項17】 前記1つのレーザ光源で前記隣接する
画素域間毎に光量分配比率を切り替えて前記感光材料に
照射することを特徴とする請求項16に記載のレーザビ
ーム露光装置。
17. The laser beam exposure apparatus according to claim 16, wherein the one laser light source irradiates the photosensitive material by switching a light amount distribution ratio for each of the adjacent pixel areas.
【請求項18】 前記レーザ光源は複数であることを特
徴とする請求項12〜15のいずれか1項に記載のレー
ザビーム露光装置。
18. The laser beam exposure apparatus according to claim 12, wherein a plurality of the laser light sources are provided.
【請求項19】 光量分配比率の異なる前記複数のレー
ザ光源を、前記隣接する画素間毎に切り替えて前記感光
材料に照射することを特徴とする請求項18に記載のレ
ーザビーム露光装置。
19. The laser beam exposure apparatus according to claim 18, wherein the plurality of laser light sources having different light amount distribution ratios are switched between the adjacent pixels to irradiate the photosensitive material.
【請求項20】 前記レーザ光源が複数である場合、前
記光量分配比率は前記レーザビームが所定の光量以下の
ときに変えることを特徴とする請求項18に記載のレー
ザビーム露光装置。
20. The laser beam exposure apparatus according to claim 18, wherein when there are a plurality of laser light sources, the light amount distribution ratio is changed when the laser beam is equal to or less than a predetermined light amount.
【請求項21】 前記所定光量以下とは、干渉による濃
度ムラが視認できる光量レベル以下であることを特徴と
する請求項20に記載のレーザビーム露光装置。
21. The laser beam exposure apparatus according to claim 20, wherein the predetermined light amount or less is equal to or less than a light amount level at which density unevenness due to interference can be visually recognized.
【請求項22】 前記感光材料は干渉しやすい材料であ
ることを特徴とする請求項12〜21のいずれか1項に
記載のレーザビーム露光装置。
22. The laser beam exposure apparatus according to claim 12, wherein the photosensitive material is a material that easily interferes.
【請求項23】 使用する波長に対して透過性または半
透過性である支持体層または感光層を少なくとも1つ有
する感光材料に対しレーザ光源からレーザビームを照射
し露光するレーザビーム露光装置であって、 前記レーザビームにより照射される1本の走査線または
連続した複数本の走査線からなるビーム照射域を1つの
線状領域と定義し、隣接する前記線状領域間で、照射を
行う前記レーザ光源のレーザ素子の温度を変えることを
特徴とするレーザビーム露光装置。
23. A laser beam exposure apparatus which irradiates a laser beam from a laser light source to a photosensitive material having at least one support layer or at least one photosensitive layer which is transparent or translucent to a wavelength to be used. A beam irradiation area formed by one scanning line or a plurality of continuous scanning lines irradiated by the laser beam is defined as one linear region, and irradiation is performed between adjacent linear regions. A laser beam exposure apparatus characterized by changing the temperature of a laser element of a laser light source.
【請求項24】 前記レーザ素子の温度を所定範囲以上
にわたり変調しながら前記感光材料に露光することを特
徴とする請求項23に記載のレーザビーム露光装置。
24. The laser beam exposure apparatus according to claim 23, wherein the exposure is performed on the photosensitive material while modulating the temperature of the laser element over a predetermined range.
【請求項25】 前記レーザ素子の温度が異なるように
した前記レーザ光源を、前記隣接する線状領域間毎に切
り替えて前記感光材料に照射することを特徴とする請求
項24に記載のレーザビーム露光装置。
25. The laser beam according to claim 24, wherein the laser light source having a different temperature of the laser element is switched between the adjacent linear regions to irradiate the photosensitive material. Exposure equipment.
【請求項26】 前記変調は前記線状領域毎に実施する
ことを特徴とする請求項24に記載のレーザビーム露光
装置。
26. The laser beam exposure apparatus according to claim 24, wherein the modulation is performed for each of the linear regions.
【請求項27】 前記レーザ素子に温度制御部材が直接
に結合されていることを特徴とする請求項23〜26の
いずれか1項に記載のレーザビーム露光装置。
27. The laser beam exposure apparatus according to claim 23, wherein a temperature control member is directly connected to said laser element.
【請求項28】 前記変調は前記レーザ素子に前記光源
と別の波長の温度変調用光ビームを注入し、前記光ビー
ムの光量を変調することにより行われることを特徴とす
る請求項24〜26のいずれか1項に記載のレーザビー
ム露光装置。
28. The method according to claim 24, wherein the modulation is performed by injecting a light beam for temperature modulation having a different wavelength from that of the light source into the laser element and modulating the light amount of the light beam. The laser beam exposure apparatus according to claim 1.
【請求項29】 前記変調はランダムな温度変調である
ことを特徴とする請求項23〜28のいずれか1項に記
載のレーザビーム露光装置。
29. The laser beam exposure apparatus according to claim 23, wherein the modulation is a random temperature modulation.
【請求項30】 前記変調は干渉パターンが逆転するよ
うな2値の温度間を変調することを特徴とする請求項2
4〜29のいずれか1項に記載のレーザビーム露光装
置。
30. The method according to claim 2, wherein the modulation is performed between binary temperatures such that the interference pattern is reversed.
30. The laser beam exposure apparatus according to any one of items 4 to 29.
【請求項31】 前記レーザ光源は1つであることを特
徴とする請求項23〜30のいずれか1項に記載のレー
ザビーム露光装置。
31. The laser beam exposure apparatus according to claim 23, wherein the number of the laser light sources is one.
【請求項32】 前記レーザ光源は複数であることを特
徴とする請求項23〜30のいずれか1項に記載のレー
ザビーム露光装置。
32. The laser beam exposure apparatus according to claim 23, wherein a plurality of said laser light sources are provided.
【請求項33】 前記1つのレーザ光源で前記隣接する
線状領域間毎にレーザ素子の温度を切り替えて前記感光
材料に照射することを特徴とする請求項31に記載のレ
ーザビーム露光装置。
33. The laser beam exposure apparatus according to claim 31, wherein the one laser light source irradiates the photosensitive material by switching the temperature of a laser element between the adjacent linear regions.
【請求項34】 レーザ素子の温度の異なる前記複数の
レーザ光源を前記隣接する線状領域間毎に切り替えて前
記感光材料に照射することを特徴とする請求項32に記
載のレーザビーム露光装置。
34. The laser beam exposure apparatus according to claim 32, wherein the plurality of laser light sources having different laser element temperatures are switched between the adjacent linear regions to irradiate the photosensitive material.
【請求項35】 使用する波長に対して透過性または半
透過性である支持体層または感光層を少なくとも1つ有
する感光材料に対しレーザ光源からレーザビームを照射
し露光するレーザビーム露光装置であって、 前記レーザビームにより照射される1画素または連続し
た複数の画素からなるビーム照射域を1つの画素域と定
義し、隣接する前記画素域間で、照射を行う前記レーザ
光源のレーザ素子の温度を変えることを特徴とするレー
ザビーム露光装置。
35. A laser beam exposure apparatus for irradiating a laser beam from a laser light source to a photosensitive material having at least one support layer or photosensitive layer that is transmissive or semi-transmissive for a wavelength to be used. A beam irradiation area composed of one pixel or a plurality of continuous pixels irradiated by the laser beam is defined as one pixel area, and a temperature of a laser element of the laser light source that irradiates light between adjacent pixel areas. A laser beam exposure apparatus characterized by changing the following.
【請求項36】 前記レーザ素子の温度を所定範囲以上
にわたり変調しながら前記感光材料に露光することを特
徴とする請求項35に記載のレーザビーム露光装置。
36. The laser beam exposure apparatus according to claim 35, wherein the exposure is performed on the photosensitive material while modulating the temperature of the laser element over a predetermined range.
【請求項37】 前記レーザ素子の温度が異なるように
した前記レーザ光源を、前記隣接する画素域毎に切り替
えて前記感光材料に照射することを特徴とする請求項3
6に記載のレーザビーム露光装置。
37. The photosensitive material according to claim 3, wherein the laser light source in which the temperature of the laser element is different is switched for each of the adjacent pixel areas to irradiate the photosensitive material.
7. The laser beam exposure apparatus according to 6.
【請求項38】 前記変調は前記画素域毎に実施するこ
とを特徴とする請求項36に記載のレーザビーム露光装
置。
38. The laser beam exposure apparatus according to claim 36, wherein the modulation is performed for each pixel area.
【請求項39】 前記レーザ素子に温度制御部材が直接
に結合されていることを特徴とする請求項35〜38の
いずれか1項に記載のレーザビーム露光装置。
39. The laser beam exposure apparatus according to claim 35, wherein a temperature control member is directly connected to said laser element.
【請求項40】 前記変調は前記レーザ素子に前記レー
ザ光源と別の波長の温度変調用光ビームを注入し、前記
光ビームの光量を変調することにより行われることを特
徴とする請求項35〜39のいずれか1項に記載のレー
ザビーム露光装置。
40. The method according to claim 35, wherein the modulation is performed by injecting a light beam for temperature modulation having a different wavelength from that of the laser light source into the laser element and modulating a light amount of the light beam. 40. The laser beam exposure apparatus according to any one of items 39.
【請求項41】 前記変調はランダムな温度変調である
ことを特徴とする請求項35〜40のいずれか1項に記
載のレーザビーム露光装置。
41. The laser beam exposure apparatus according to claim 35, wherein the modulation is a random temperature modulation.
【請求項42】 前記変調は干渉パターンが逆転するよ
うな2値の温度間を変調することを特徴とする請求項3
5〜40のいずれか1項に記載のレーザビーム露光装
置。
42. The modulation according to claim 3, wherein the modulation is performed between binary temperatures such that the interference pattern is reversed.
41. The laser beam exposure apparatus according to any one of 5 to 40.
【請求項43】 前記レーザ光源は1つであることを特
徴とする請求項35〜42のいずれか1項に記載のレー
ザビーム露光装置。
43. The laser beam exposure apparatus according to claim 35, wherein the number of the laser light sources is one.
【請求項44】 前記レーザ光源は複数であることを特
徴とする請求項35〜42のいずれか1項に記載のレー
ザビーム露光装置。
44. The laser beam exposure apparatus according to claim 35, wherein a plurality of said laser light sources are provided.
【請求項45】 前記1つのレーザ光源で前記隣接する
画素域間毎にレーザ素子の温度を切り替えて前記感光材
料に照射することを特徴とする請求項43に記載のレー
ザビーム露光装置。
45. The laser beam exposure apparatus according to claim 43, wherein the one laser light source irradiates the photosensitive material by switching the temperature of a laser element for each of the adjacent pixel areas.
【請求項46】 レーザ素子の温度の異なる前記複数の
レーザ光源を前記隣接する画素間毎に切り替えて前記感
光材料に照射することを特徴とする請求項44に記載の
レーザビーム露光装置。
46. The laser beam exposure apparatus according to claim 44, wherein the plurality of laser light sources having different laser element temperatures are switched between the adjacent pixels to irradiate the photosensitive material.
【請求項47】 使用する波長に対して透過性または半
透過性である支持体層または感光層を少なくとも1つ有
する感光材料に対しレーザ光源からレーザビームを照射
し露光するレーザビーム露光装置であって、 前記感光材料が光学的異方性を有する場合、その光学的
異方性に応じて、照射レーザビームの偏光状態を制御す
ることを特徴とするレーザビーム露光装置。
47. A laser beam exposure apparatus for irradiating a laser beam from a laser light source to a photosensitive material having at least one support layer or photosensitive layer that is transmissive or semi-transmissive for a wavelength to be used. When the photosensitive material has optical anisotropy, the polarization state of the irradiation laser beam is controlled according to the optical anisotropy.
【請求項48】 使用する波長に対して透過性または半
透過性である支持体層または感光層を少なくとも1つ有
する感光材料に対しレーザ光源からレーザビームを照射
し露光するレーザビーム露光装置であって、 前記感光材料が光学的異方性を有する場合、その光学的
異方性に応じて、照射レーザビームの偏光状態を制御す
るとともに、 前記レーザビームにより照射される1本の走査線または
連続した複数本の走査線からなるビーム照射域を1つの
線状領域と定義し、隣接する前記線状領域間で、照射す
るレーザビームの光量分配比率を変えることを特徴とす
るレーザビーム露光装置。
48. A laser beam exposure apparatus for irradiating a laser beam from a laser light source to a photosensitive material having at least one support layer or photosensitive layer that is transmissive or semi-transmissive for the wavelength to be used. In the case where the photosensitive material has optical anisotropy, the polarization state of the irradiation laser beam is controlled in accordance with the optical anisotropy, and one scanning line or a continuous scanning line irradiated by the laser beam is used. A laser beam exposure apparatus, wherein a beam irradiation area formed by a plurality of scanning lines is defined as one linear area, and a light amount distribution ratio of an irradiated laser beam is changed between adjacent linear areas.
【請求項49】 前記レーザ光源は1つであることを特
徴とする請求項48に記載のレーザビーム露光装置。
49. The laser beam exposure apparatus according to claim 48, wherein the number of the laser light sources is one.
【請求項50】 前記1つのレーザ光源で前記隣接する
線状領域間毎に光量分配比率を切り替えて前記感光材料
に照射することを特徴とする請求項49に記載のレーザ
ビーム露光装置。
50. The laser beam exposure apparatus according to claim 49, wherein the one laser light source irradiates the photosensitive material by switching a light amount distribution ratio for each of the adjacent linear regions.
【請求項51】 前記レーザ光源は複数であることを特
徴とする請求項48に記載のレーザビーム露光装置。
51. The laser beam exposure apparatus according to claim 48, wherein a plurality of said laser light sources are provided.
【請求項52】 光量分配比率の異なる前記複数のレー
ザ光源を、前記隣接する線状領域間毎に切り替えて前記
感光材料に照射することを特徴とする請求項51に記載
のレーザビーム露光装置。
52. The laser beam exposure apparatus according to claim 51, wherein the plurality of laser light sources having different light quantity distribution ratios are switched for each of the adjacent linear regions to irradiate the photosensitive material.
【請求項53】 前記レーザ光源が2つの場合、2つの
直線偏光のレーザビームを偏光ビームスプリッタで合波
した後に前記偏光状態を制御することを特徴とする請求
項51に記載のレーザビーム露光装置。
53. The laser beam exposure apparatus according to claim 51, wherein when the number of the laser light sources is two, the polarization state is controlled after two linearly polarized laser beams are combined by a polarization beam splitter. .
【請求項54】 前記レーザビームの光量分配比率のパ
ターンが規則的であることを特徴とする請求項48に記
載のレーザビーム露光装置。
54. The laser beam exposure apparatus according to claim 48, wherein a pattern of a light amount distribution ratio of the laser beam is regular.
【請求項55】 前記レーザビームの光量分配比率のパ
ターンがランダムであることを特徴とする請求項48に
記載のレーザビーム露光装置。
55. The laser beam exposure apparatus according to claim 48, wherein a pattern of a light amount distribution ratio of the laser beam is random.
【請求項56】 前記線状領域と前記隣接する線状領域
とは干渉ムラが非可視化されている範囲であることを特
徴とする請求項48〜55のいずれか1項に記載のレー
ザビーム露光装置。
56. The laser beam exposure according to claim 48, wherein the linear region and the adjacent linear region are in a range where interference unevenness is invisible. apparatus.
【請求項57】 前記レーザ光源が複数である場合、前
記光量分配比率は前記レーザビームが所定の光量以下の
ときに変えることを特徴とする請求項51に記載のレー
ザビーム露光装置。
57. The laser beam exposure apparatus according to claim 51, wherein when there are a plurality of laser light sources, the light amount distribution ratio is changed when the laser beam is equal to or less than a predetermined light amount.
【請求項58】 前記所定光量以下とは、干渉による濃
度ムラが視認できる光量レベル以下であることを特徴と
する請求項57に記載のレーザビーム露光装置。
58. The laser beam exposure apparatus according to claim 57, wherein the predetermined light amount or less is equal to or less than a light amount level at which density unevenness due to interference can be visually recognized.
【請求項59】 前記感光材料は干渉しやすい材料であ
ることを特徴とする請求項48〜58のいずれか1項に
記載のレーザビーム露光装置。
59. The laser beam exposure apparatus according to claim 48, wherein the photosensitive material is a material that easily interferes.
【請求項60】 使用する波長に対して透過性または半
透過性である支持体層または感光層を少なくとも1つ有
する感光材料に対しレーザ光源からレーザビームを照射
し露光するレーザビーム露光装置であって、 前記感光材料が光学的異方性を有する場合、その光学的
異方性に応じて、照射レーザビームの偏光状態を制御す
るとともに、 前記レーザビームにより照射される1画素または連続し
た複数の画素からなるビーム照射域を1つの画素域と定
義し、隣接する前記画素域間で、照射するレーザビーム
の光量分配比率を変えることを特徴とするレーザビーム
露光装置。
60. A laser beam exposure apparatus which irradiates a laser beam from a laser light source to a photosensitive material having at least one support layer or photosensitive layer which is transmissive or semi-transmissive for a wavelength to be used. In the case where the photosensitive material has optical anisotropy, while controlling the polarization state of the irradiation laser beam according to the optical anisotropy, one pixel or a plurality of continuous pixels irradiated by the laser beam A laser beam exposure apparatus, wherein a beam irradiation area composed of pixels is defined as one pixel area, and a light amount distribution ratio of a laser beam to be irradiated is changed between adjacent pixel areas.
【請求項61】 前記レーザ光源は1つであることを特
徴とする請求項60に記載のレーザビーム露光装置。
61. The laser beam exposure apparatus according to claim 60, wherein the number of the laser light sources is one.
【請求項62】 前記1つのレーザ光源で前記隣接する
画素域間毎に光量分配比率を切り替えて前記感光材料に
照射することを特徴とする請求項61に記載のレーザビ
ーム露光装置。
62. The laser beam exposure apparatus according to claim 61, wherein the one laser light source irradiates the photosensitive material by switching a light amount distribution ratio for each of the adjacent pixel areas.
【請求項63】 前記レーザ光源は複数であることを特
徴とする請求項60記載のレーザビーム露光装置。
63. The laser beam exposure apparatus according to claim 60, wherein a plurality of said laser light sources are provided.
【請求項64】 光量分配比率の異なる前記複数のレー
ザ光源を、前記隣接する画素間毎に切り替えて前記感光
材料に照射することを特徴とする請求項63に記載のレ
ーザビーム露光装置。
64. The laser beam exposure apparatus according to claim 63, wherein the plurality of laser light sources having different light amount distribution ratios are switched between the adjacent pixels to irradiate the photosensitive material.
【請求項65】 前記レーザ光源が2つの場合、2つの
直線偏光のレーザビームを偏光ビームスプリッタで合波
した後に前記偏光状態を制御することを特徴とする請求
項64に記載のレーザビーム露光装置。
65. The laser beam exposure apparatus according to claim 64, wherein when the number of the laser light sources is two, the polarization state is controlled after two linearly polarized laser beams are combined by a polarization beam splitter. .
【請求項66】 前記レーザビームの光量分配比率のパ
ターンが規則的であることを特徴とする請求項60〜6
5のいずれか1項に記載のレーザビーム露光装置。
66. The pattern of the laser beam distribution ratio of the laser beam is regular.
6. The laser beam exposure apparatus according to claim 5.
【請求項67】 前記レーザビームの光量分配比率のパ
ターンがランダムであることを特徴とする請求項60〜
65のいずれか1項に記載のレーザビーム露光装置。
67. The pattern according to claim 60, wherein a pattern of a light amount distribution ratio of the laser beam is random.
65. The laser beam exposure apparatus according to any one of items 65.
【請求項68】 前記画素域と前記隣接する画素域とは
干渉ムラが非可視化されている範囲であることを特徴と
する請求項60〜66のいずれか1項に記載のレーザビ
ーム露光装置。
68. The laser beam exposure apparatus according to claim 60, wherein the pixel area and the adjacent pixel area are in a range where interference unevenness is invisible.
【請求項69】 前記レーザ光源が複数である場合、前
記光量分配比率は前記レーザビームが所定の光量以下の
ときに変えることを特徴とする請求項63に記載のレー
ザビーム露光装置。
69. The laser beam exposure apparatus according to claim 63, wherein when there are a plurality of laser light sources, the light amount distribution ratio is changed when the laser beam is equal to or less than a predetermined light amount.
【請求項70】 前記所定光量以下とは、干渉による濃
度ムラが視認できる光量レベル以下であることを特徴と
する請求項59に記載のレーザビーム露光装置。
70. The laser beam exposure apparatus according to claim 59, wherein the predetermined light amount or less is equal to or less than a light amount level at which density unevenness due to interference can be visually recognized.
【請求項71】 前記感光材料は干渉しやすい材料であ
ることを特徴とする請求項60〜70のいずれか1項に
記載のレーザビーム露光装置。
71. The laser beam exposure apparatus according to claim 60, wherein the photosensitive material is a material that easily interferes.
【請求項72】 使用する波長に対して透過性または半
透過性である支持体層または感光層を少なくとも1つ有
する感光材料に対しレーザ光源からレーザビームを照射
し露光するレーザビーム露光装置であって、 前記感光材料が光学的異方性を有する場合、その光学的
異方性に応じて、照射レーザビームの偏光状態を制御す
るとともに、 前記レーザビームにより照射される1本の走査線または
連続した複数本の走査線からなるビーム照射域を1つの
線状領域と定義し、隣接する前記線状領域間で、照射を
行う前記レーザ光源のレーザ素子の温度を変えることを
特徴とするレーザビーム露光装置。
72. A laser beam exposure apparatus which irradiates a laser beam from a laser light source to a photosensitive material having at least one support layer or photosensitive layer which is transmissive or translucent with respect to a wavelength to be used. In the case where the photosensitive material has optical anisotropy, the polarization state of the irradiation laser beam is controlled in accordance with the optical anisotropy, and one scanning line or a continuous scanning line irradiated by the laser beam is used. A beam irradiation area comprising a plurality of scanning lines defined as one linear area, and changing a temperature of a laser element of the laser light source for irradiation between the adjacent linear areas. Exposure equipment.
【請求項73】 前記レーザ光源は1つであることを特
徴とする請求項72に記載のレーザビーム露光装置。
73. The laser beam exposure apparatus according to claim 72, wherein the number of the laser light sources is one.
【請求項74】 前記レーザ光源は複数であることを特
徴とする請求項68に記載のレーザビーム露光装置。
74. The laser beam exposure apparatus according to claim 68, wherein a plurality of said laser light sources are provided.
【請求項75】 前記1つのレーザ光源で前記隣接する
線状領域間毎にレーザ素子の温度を切り替えて前記感光
材料に照射することを特徴とする請求項73に記載のレ
ーザビーム露光装置。
75. The laser beam exposure apparatus according to claim 73, wherein the one laser light source irradiates the photosensitive material by switching the temperature of a laser element between the adjacent linear regions.
【請求項76】 レーザ素子の温度の異なる前記複数の
レーザ光源を前記隣接する線状領域間毎に切り替えて前
記感光材料に照射することを特徴とする請求項74に記
載のレーザビーム露光装置。
76. The laser beam exposure apparatus according to claim 74, wherein the plurality of laser light sources having different laser element temperatures are switched between the adjacent linear regions to irradiate the photosensitive material.
【請求項77】 前記レーザ光源が2つの場合、2つの
直線偏光のレーザビームを偏光ビームスプリッタで合波
した後に前記偏光状態を制御することを特徴とする請求
項74に記載のレーザビーム露光装置。
77. The laser beam exposure apparatus according to claim 74, wherein when two laser light sources are used, the polarization state is controlled after two linearly polarized laser beams are combined by a polarization beam splitter. .
【請求項78】 前記レーザ素子の温度を所定範囲以上
にわたり変調しながら前記感光材料に露光することを特
徴とする請求項72〜77のいずれか1項に記載のレー
ザビーム露光装置。
78. The laser beam exposure apparatus according to claim 72, wherein the exposure is performed on the photosensitive material while modulating the temperature of the laser element over a predetermined range.
【請求項79】 前記レーザ素子の温度が異なるように
した前記レーザ光源を、前記隣接する線状領域間毎に切
り替えて前記感光材料に照射することを特徴とする請求
項78に記載のレーザビーム露光装置。
79. The laser beam according to claim 78, wherein the laser light source having a different temperature of the laser element is switched between the adjacent linear regions to irradiate the photosensitive material. Exposure equipment.
【請求項80】 前記変調は前記線状領域毎に実施する
ことを特徴とする請求項79に記載のレーザビーム露光
装置。
80. The laser beam exposure apparatus according to claim 79, wherein the modulation is performed for each of the linear regions.
【請求項81】 前記レーザ素子に温度制御部材が直接
に結合されていることを特徴とする請求項72〜80の
いずれか1項に記載のレーザビーム露光装置。
81. A laser beam exposure apparatus according to claim 72, wherein a temperature control member is directly connected to said laser element.
【請求項82】 前記変調は前記レーザ素子に前記レー
ザ光源と別の波長の温度変調用光ビームを注入し、前記
光ビームの光量を変調することにより行われることを特
徴とする請求項78,79または80に記載のレーザビ
ーム露光装置。
82. The method according to claim 78, wherein the modulation is performed by injecting a light beam for temperature modulation having a different wavelength from that of the laser light source into the laser element and modulating a light amount of the light beam. 81. The laser beam exposure apparatus according to 79 or 80.
【請求項83】 前記変調はランダムな温度変調である
ことを特徴とする請求項78,79,80または82に
記載のレーザビーム露光装置。
83. A laser beam exposure apparatus according to claim 78, wherein said modulation is a random temperature modulation.
【請求項84】 前記変調は干渉パターンが逆転するよ
うな2値の温度間を変調することを特徴とする請求項7
8,79,80または82記載のレーザビーム露光装
置。
84. The modulation according to claim 7, wherein the modulation is performed between binary temperatures such that the interference pattern is reversed.
83. The laser beam exposure apparatus according to 8, 79, 80 or 82.
【請求項85】 使用する波長に対して透過性または半
透過性である支持体層または感光層を少なくとも1つ有
する感光材料に対しレーザ光源からレーザビームを照射
し露光するレーザビーム露光装置であって、 前記感光材料が光学的異方性を有する場合、その光学的
異方性に応じて、照射レーザビームの偏光状態を制御す
るとともに、 前記レーザビームにより照射される1画素または連続し
た複数の画素からなるビーム照射域を1つの画素域と定
義し、隣接する前記画素域間で、照射を行う前記レーザ
光源のレーザ素子の温度を変えることを特徴とするレー
ザビーム露光装置。
85. A laser beam exposure apparatus which irradiates a laser beam from a laser light source to a photosensitive material having at least one support layer or at least one photosensitive layer which is transparent or translucent to the wavelength to be used. In the case where the photosensitive material has optical anisotropy, while controlling the polarization state of the irradiation laser beam according to the optical anisotropy, one pixel or a plurality of continuous pixels irradiated by the laser beam A laser beam exposure apparatus, wherein a beam irradiation area composed of pixels is defined as one pixel area, and the temperature of a laser element of the laser light source for irradiation is changed between adjacent pixel areas.
【請求項86】 前記レーザ光源は1つであることを特
徴とする請求項85に記載のレーザビーム露光装置。
86. The laser beam exposure apparatus according to claim 85, wherein the number of the laser light sources is one.
【請求項87】 前記レーザ光源は複数であることを特
徴とする請求項85に記載のレーザビーム露光装置。
87. The laser beam exposure apparatus according to claim 85, wherein a plurality of said laser light sources are provided.
【請求項88】 前記1つのレーザ光源で前記隣接する
画素域間毎にレーザ素子の温度を切り替えて前記感光材
料に照射することを特徴とする請求項86に記載のレー
ザビーム露光装置。
88. The laser beam exposure apparatus according to claim 86, wherein the one laser light source irradiates the photosensitive material by switching the temperature of a laser element between the adjacent pixel areas.
【請求項89】 レーザ素子の温度の異なる前記複数の
レーザ光源を前記隣接する画素域間毎に切り替えて前記
感光材料に照射することを特徴とする請求項87に記載
のレーザビーム露光装置。
89. The laser beam exposure apparatus according to claim 87, wherein the plurality of laser light sources having different temperatures of a laser element are switched for each of the adjacent pixel areas to irradiate the photosensitive material.
【請求項90】 前記レーザ光源が2つの場合、2つの
直線偏光のレーザビームを偏光ビームスプリッタで合波
した後に前記偏光状態を制御することを特徴とする請求
項89に記載のレーザビーム露光装置。
90. The laser beam exposure apparatus according to claim 89, wherein when two laser light sources are used, the polarization state is controlled after two linearly polarized laser beams are multiplexed by a polarization beam splitter. .
【請求項91】 前記レーザ素子の温度を所定範囲以上
にわたり変調しながら前記感光材料に露光することを特
徴とする請求項85〜90のいずれか1項に記載のレー
ザビーム露光装置。
91. The laser beam exposure apparatus according to claim 85, wherein the exposure is performed on the photosensitive material while modulating the temperature of the laser element over a predetermined range.
【請求項92】 前記レーザ素子の温度が異なるように
した前記レーザ光源を、前記隣接する画素域毎に切り替
えて前記感光材料に照射することを特徴とする請求項9
1に記載のレーザビーム露光装置。
92. The method according to claim 9, wherein the laser light source whose temperature of the laser element is different is switched for each of the adjacent pixel areas to irradiate the photosensitive material.
2. The laser beam exposure apparatus according to 1.
【請求項93】 前記変調は前記画素域毎に実施するこ
とを特徴とする請求項91に記載のレーザビーム露光装
置。
93. The laser beam exposure apparatus according to claim 91, wherein said modulation is performed for each of said pixel areas.
【請求項94】 前記レーザ素子に温度制御部材が直接
に結合されていることを特徴とする請求項85〜93の
いずれか1項に記載のレーザビーム露光装置。
94. A laser beam exposure apparatus according to claim 85, wherein a temperature control member is directly connected to said laser element.
【請求項95】 前記変調は前記レーザ素子に前記レー
ザ光源と別の波長の温度変調用光ビームを注入し、前記
光ビームの光量を変調することにより行われることを特
徴とする請求項91,92または93に記載のレーザビ
ーム露光装置。
95. The modulation method according to claim 91, wherein the modulation is performed by injecting a temperature modulation light beam having a wavelength different from that of the laser light source into the laser element, and modulating the light amount of the light beam. 93. The laser beam exposure apparatus according to 92 or 93.
【請求項96】 前記変調はランダムな温度変調である
ことを特徴とする請求項91,92,93または95に
記載のレーザビーム露光装置。
96. The laser beam exposure apparatus according to claim 91, wherein said modulation is a random temperature modulation.
【請求項97】 前記変調は干渉パターンが逆転するよ
うな2値の温度間を変調することを特徴とする請求項9
1,92,93または95に記載のレーザビーム露光装
置。
97. The modulation according to claim 9, wherein the modulation is performed between binary temperatures such that the interference pattern is reversed.
95. The laser beam exposure apparatus according to 1, 92, 93 or 95.
【請求項98】 使用する波長に対して透過性または半
透過性である支持体層または感光層を少なくとも1つ有
する感光材料に対しレーザ光源からレーザビームを照射
し露光するレーザビーム露光装置であって、 前記レーザビームの偏光状態を円偏光にして前記感光材
料に照射するとともに、 前記レーザビームにより照射される1本の走査線または
連続した複数本の走査線からなるビーム照射域を1つの
線状領域と定義し、隣接する前記線状領域間で、照射す
るレーザビームの光量分配比率を変えることを特徴とす
るレーザビーム露光装置。
98. A laser beam exposure apparatus which irradiates a laser beam from a laser light source to a photosensitive material having at least one support layer or at least one photosensitive layer which is transparent or translucent to a wavelength to be used. Irradiating the photosensitive material with the polarization state of the laser beam as circularly polarized light, and irradiating one beam or a beam irradiation area composed of a plurality of continuous scanning lines irradiated by the laser beam with one line A laser beam exposure apparatus, wherein a laser beam exposure ratio is defined between adjacent linear regions and a light amount distribution ratio of an irradiated laser beam is changed.
【請求項99】 前記レーザ光源は1つであることを特
徴とする請求項98に記載のレーザビーム露光装置。
99. The laser beam exposure apparatus according to claim 98, wherein the number of said laser light sources is one.
【請求項100】 前記1つのレーザ光源で前記隣接す
る線状領域間毎に光量分配比率を切り替えて前記感光材
料に照射することを特徴とする請求項99に記載のレー
ザビーム露光装置。
100. The laser beam exposure apparatus according to claim 99, wherein the one laser light source irradiates the photosensitive material by switching a light amount distribution ratio between the adjacent linear regions.
【請求項101】 前記レーザ光源は複数であることを
特徴とする請求項98に記載のレーザビーム露光装置。
101. The laser beam exposure apparatus according to claim 98, wherein a plurality of said laser light sources are provided.
【請求項102】 光量分配比率の異なる前記複数のレ
ーザ光源を、前記隣接する線状領域間毎に切り替えて前
記感光材料に照射することを特徴とする請求項101に
記載のレーザビーム露光装置。
102. The laser beam exposure apparatus according to claim 101, wherein the plurality of laser light sources having different light amount distribution ratios are switched for each of the adjacent linear regions to irradiate the photosensitive material.
【請求項103】 前記レーザ光源が2つの場合、2つ
の直線偏光のレーザビームを偏光ビームスプリッタで合
波した後に前記偏光状態を円偏光にすることを特徴とす
る請求項101に記載のレーザビーム露光装置。
103. The laser beam according to claim 101, wherein when two laser light sources are used, the polarization state is changed to circular polarization after two linearly polarized laser beams are multiplexed by a polarization beam splitter. Exposure equipment.
【請求項104】 前記偏光状態を円偏光にするため
に、前記レーザビームが合波の直後に透過するλ/4波
長板を配置し、前記感光材料の記録面までの間に配置さ
れたミラーは全て誘電体膜ミラーであることを特徴とす
る請求項103に記載のレーザビーム露光装置。
104. A mirror disposed between the recording surface of the photosensitive material and a λ / 4 wavelength plate for transmitting the laser beam immediately after the multiplexing so as to change the polarization state to circularly polarized light. 104. The laser beam exposure apparatus according to claim 103, wherein all are dielectric film mirrors.
【請求項105】 前記偏光状態を円偏光にするため
に、前記レーザビームが合波の直後に透過するλ/4波
長板を配置し、ポリゴン金属ミラーまでの引き回しミラ
ーの1つが金属ミラーであり、他のミラーが誘電体膜ミ
ラーであり、前記金属引き回しミラーへのビーム入射角
がポリゴン金属ミラーへのビーム中心入射角と同じにし
たことを特徴とする請求項103に記載のレーザビーム
露光装置。
105. A λ / 4 wavelength plate through which the laser beam is transmitted immediately after the multiplexing is arranged in order to change the polarization state to circularly polarized light, and one of the leading mirrors to the polygon metal mirror is a metal mirror. 104. The laser beam exposure apparatus according to claim 103, wherein the other mirror is a dielectric film mirror, and a beam incident angle on the metal routing mirror is made equal to a beam center incident angle on the polygon metal mirror. .
【請求項106】 前記偏光状態を円偏光にするため
に、ポリゴンミラーからの出射ビームはビーム走査方向
に平行または垂直な直線偏光状態であり、前記ポリゴン
ミラーと前記感光材料の記録面との間に走査方向に延び
たλ/4波長板が挿入されていることを特徴とする請求
項103に記載のレーザビーム露光装置。
106. In order to change the polarization state to circularly polarized light, the output beam from the polygon mirror is in a linear polarization state parallel or perpendicular to the beam scanning direction, and the light beam between the polygon mirror and the recording surface of the photosensitive material is The laser beam exposure apparatus according to claim 103, wherein a λ / 4 wavelength plate extending in the scanning direction is inserted into the laser beam exposure apparatus.
【請求項107】 前記レーザビームの光量分配比率の
パターンが規則的であることを特徴とする請求項98〜
106のいずれか1項に記載のレーザビーム露光装置。
107. The method according to claim 98, wherein a pattern of a light amount distribution ratio of said laser beam is regular.
107. The laser beam exposure apparatus according to any one of items 106.
【請求項108】 前記レーザビームの光量分配比率の
パターンがランダムであることを特徴とする請求項98
〜106のいずれか1項に記載のレーザビーム露光装
置。
108. The pattern of the light amount distribution ratio of the laser beam is random.
107. The laser beam exposure apparatus according to any one of -106.
【請求項109】 前記線状領域と前記隣接する線状領
域とは干渉ムラが非可視化されている範囲であることを
特徴とする請求項98〜108のいずれか1項に記載の
レーザビーム露光装置。
The laser beam exposure according to any one of claims 98 to 108, wherein the linear region and the adjacent linear region are in a range where interference unevenness is invisible. apparatus.
【請求項110】 前記感光材料は干渉しやすい材料で
あることを特徴とする請求項98〜109のいずれか1
項に記載のレーザビーム露光装置。
110. The light-sensitive material according to claim 98, wherein the light-sensitive material is a material that easily interferes.
Item 6. A laser beam exposure apparatus according to Item 1.
【請求項111】 使用する波長に対して透過性または
半透過性である支持体層または感光層を少なくとも1つ
有する感光材料に対しレーザ光源からレーザビームを照
射し露光するレーザビーム露光装置であって、 前記レーザビームの偏光状態を円偏光にして前記感光材
料に照射するとともに、 前記レーザビームにより照射される1画素または連続し
た複数の画素からなるビーム照射域を1つの画素域と定
義し、隣接する前記画素域間で、照射するレーザビーム
の光量分配比率を変えることを特徴とするレーザビーム
露光装置。
111. A laser beam exposure apparatus which irradiates a laser beam from a laser light source to a photosensitive material having at least one support layer or at least one photosensitive layer which is transparent or translucent to the wavelength to be used. And irradiating the photosensitive material with the polarization state of the laser beam as circularly polarized light, and defining a beam irradiation area composed of one pixel or a plurality of continuous pixels irradiated by the laser beam as one pixel area, A laser beam exposure apparatus, wherein a light beam distribution ratio of a laser beam to be irradiated is changed between adjacent pixel areas.
【請求項112】 前記レーザ光源は1つであることを
特徴とする請求項111に記載のレーザビーム露光装
置。
112. The laser beam exposure apparatus according to claim 111, wherein the number of the laser light sources is one.
【請求項113】 前記1つのレーザ光源で前記隣接す
る画素域間毎に光量分配比率を切り替えて前記感光材料
に照射することを特徴とする請求項112に記載のレー
ザビーム露光装置。
113. The laser beam exposure apparatus according to claim 112, wherein the one laser light source irradiates the photosensitive material by switching a light amount distribution ratio for each of the adjacent pixel areas.
【請求項114】 前記レーザ光源は複数であることを
特徴とする請求項111に記載のレーザビーム露光装
置。
114. The laser beam exposure apparatus according to claim 111, wherein a plurality of said laser light sources are provided.
【請求項115】 光量分配比率の異なる前記複数のレ
ーザ光源を、前記隣接する画素間毎に切り替えて前記感
光材料に照射することを特徴とする請求項114に記載
のレーザビーム露光装置。
115. The laser beam exposure apparatus according to claim 114, wherein said plurality of laser light sources having different light quantity distribution ratios are switched between said adjacent pixels to irradiate said photosensitive material.
【請求項116】 前記レーザ光源が2つの場合、2つ
の直線偏光のレーザビームを偏光ビームスプリッタで合
波した後に前記偏光状態を円偏光にすることを特徴とす
る請求項114に記載のレーザビーム露光装置。
116. The laser beam according to claim 114, wherein when two laser light sources are used, the polarization state is changed to circular polarization after two linearly polarized laser beams are multiplexed by a polarization beam splitter. Exposure equipment.
【請求項117】 前記偏光状態を円偏光にするため
に、前記レーザビームが合波の直後に透過するλ/4波
長板を配置し、前記感光材料の記録面までの間に配置さ
れたミラーは全て誘電体膜ミラーであることを特徴とす
る請求項116に記載のレーザビーム露光装置。
117. A mirror provided with a λ / 4 wavelength plate through which the laser beam is transmitted immediately after the multiplexing so as to change the polarization state to circularly polarized light, and a mirror disposed between the λ / 4 wavelength plate and the recording surface of the photosensitive material. 116. The laser beam exposure apparatus according to claim 116, wherein all of them are dielectric film mirrors.
【請求項118】 前記偏光状態を円偏光にするため
に、前記レーザビームが合波の直後に透過するλ/4波
長板を配置し、ポリゴン金属ミラーまでの引き回しミラ
ーの1つが金属ミラーであり、他のミラーが誘電体膜ミ
ラーであり、前記金属引き回しミラーへのビーム入射角
がポリゴン金属ミラーへのビーム中心入射角と同じにし
たことを特徴とする請求項119に記載のレーザビーム
露光装置。
118. A λ / 4 wavelength plate through which the laser beam is transmitted immediately after the multiplexing is arranged in order to change the polarization state to circularly polarized light, and one of the leading mirrors to the polygon metal mirror is a metal mirror. 120. The laser beam exposure apparatus according to claim 119, wherein the other mirror is a dielectric film mirror, and a beam incident angle on the metal routing mirror is made equal to a beam center incident angle on the polygon metal mirror. .
【請求項119】 前記偏光状態を円偏光にするため
に、ポリゴンミラーからの出射ビームはビーム走査方向
に平行または垂直な直線偏光状態であり、前記ポリゴン
ミラーと前記感光材料の記録面との間に走査方向に延び
たλ/4波長板が挿入されていることを特徴とする請求
項116に記載のレーザビーム露光装置。
119. In order to change the polarization state to circular polarization, the beam emitted from the polygon mirror is in a linear polarization state parallel or perpendicular to the beam scanning direction, and a gap between the polygon mirror and the recording surface of the photosensitive material. 117. The laser beam exposure apparatus according to claim 116, wherein a λ / 4 wavelength plate extending in the scanning direction is inserted into the laser beam exposure apparatus.
【請求項120】 前記レーザビームの光量分配比率の
パターンが規則的であることを特徴とする請求項111
〜119のいずれか1項に記載のレーザビーム露光装
置。
120. The pattern of the laser beam distribution ratio of the laser beam is regular.
120. The laser beam exposure apparatus according to any one of items -119.
【請求項121】 前記レーザビームの光量分配比率の
パターンがランダムであることを特徴とする請求項11
1〜119のいずれか1項に記載のレーザビーム露光装
置。
121. The pattern of the laser beam distribution ratio of the laser beam is random.
120. The laser beam exposure apparatus according to any one of items 1 to 119.
【請求項122】 前記画素域と前記隣接する画素域と
は干渉ムラが非可視化されている範囲であることを特徴
とする請求項111〜121のいずれか1項に記載のレ
ーザビーム露光装置。
122. The laser beam exposure apparatus according to claim 111, wherein the pixel area and the adjacent pixel area are in a range where interference unevenness is invisible.
【請求項123】 前記感光材料は干渉しやすい材料で
あることを特徴とする請求項111〜122のいずれか
1項に記載のレーザビーム露光装置。
123. The laser beam exposure apparatus according to claim 111, wherein said photosensitive material is a material which easily interferes.
【請求項124】 使用する波長に対して透過性または
半透過性である支持体層または感光層を少なくとも1つ
有する感光材料に対しレーザ光源からレーザビームを照
射し露光するレーザビーム露光装置であって、 前記レーザビームの偏光状態を円偏光にして前記感光材
料に照射するとともに、 前記レーザビームにより照射される1本の走査線または
連続した複数本の走査線からなるビーム照射域を1つの
線状領域と定義し、隣接する前記線状領域間で、照射を
行う前記レーザ光源のレーザ素子の温度を変えることを
特徴とするレーザビーム露光装置。
124. A laser beam exposure apparatus which irradiates a laser beam from a laser light source to a photosensitive material having at least one support layer or at least one photosensitive layer which is transparent or translucent to a wavelength to be used. Irradiating the photosensitive material with the polarization state of the laser beam as circularly polarized light, and irradiating one beam or a beam irradiation area composed of a plurality of continuous scanning lines irradiated by the laser beam with one line A laser beam exposure apparatus, wherein a temperature of a laser element of the laser light source for irradiation is changed between adjacent linear regions.
【請求項125】 前記レーザ光源は1つであることを
特徴とする請求項124に記載のレーザビーム露光装
置。
125. The laser beam exposure apparatus according to claim 124, wherein the number of the laser light sources is one.
【請求項126】 前記レーザ光源は複数であることを
特徴とする請求項124に記載のレーザビーム露光装
置。
126. The laser beam exposure apparatus according to claim 124, wherein a plurality of said laser light sources are provided.
【請求項127】 前記1つのレーザ光源で前記隣接す
る線状領域間毎にレーザ素子の温度を切り替えて前記感
光材料に照射することを特徴とする請求項125に記載
のレーザビーム露光装置。
127. The laser beam exposure apparatus according to claim 125, wherein the one laser light source irradiates the photosensitive material by switching the temperature of a laser element between the adjacent linear regions.
【請求項128】 レーザ素子の温度の異なる前記複数
のレーザ光源を前記隣接する線状領域間毎に切り替えて
前記感光材料に照射することを特徴とする請求項126
に記載のレーザビーム露光装置。
128. The light-sensitive material according to claim 126, wherein the plurality of laser light sources having different temperatures of the laser element are switched between the adjacent linear regions to irradiate the photosensitive material.
3. The laser beam exposure apparatus according to claim 1.
【請求項129】 前記レーザ光源が2つの場合、2つ
の直線偏光のレーザビームを偏光ビームスプリッタで合
波した後に前記偏光状態を円偏光にすることを特徴とす
る請求項126に記載のレーザビーム露光装置。
129. The laser beam according to claim 126, wherein when two laser light sources are used, the polarization state is changed to circular polarization after two linearly polarized laser beams are combined by a polarization beam splitter. Exposure equipment.
【請求項130】 前記偏光状態を円偏光にするため
に、前記レーザビームが合波の直後に透過するλ/4波
長板を配置し、前記感光材料の記録面までの間に配置さ
れたミラーは全て誘電体膜ミラーであることを特徴とす
る請求項129に記載のレーザビーム露光装置。
130. A mirror arranged between the recording surface of the photosensitive material and a λ / 4 wavelength plate for transmitting the laser beam immediately after the multiplexing so as to change the polarization state to circularly polarized light. 129. The laser beam exposure apparatus according to claim 129, wherein all are dielectric mirrors.
【請求項131】 前記偏光状態を円偏光にするため
に、前記レーザビームが合波の直後に透過するλ/4波
長板を配置し、ポリゴン金属ミラーまでの引き回しミラ
ーの1つが金属ミラーであり、他のミラーが誘電体膜ミ
ラーであり、前記金属引き回しミラーへのビーム入射角
がポリゴン金属ミラーへのビーム中心入射角と同じにし
たことを特徴とする請求項129に記載のレーザビーム
露光装置。
131. A λ / 4 wave plate through which the laser beam is transmitted immediately after the multiplexing is arranged to change the polarization state to circularly polarized light, and one of the leading mirrors to the polygon metal mirror is a metal mirror. 129. The laser beam exposure apparatus according to claim 129, wherein the other mirror is a dielectric film mirror, and a beam incident angle on the metal routing mirror is made equal to a beam center incident angle on the polygon metal mirror. .
【請求項132】 前記偏光状態を円偏光にするため
に、ポリゴンミラーからの出射ビームはビーム走査方向
に平行または垂直な直線偏光状態であり、前記ポリゴン
ミラーと前記感光材料の記録面との間に走査方向に延び
たλ/4波長板が挿入されていることを特徴とする請求
項129に記載のレーザビーム露光装置。
132. In order to change the polarization state to circularly polarized light, an output beam from a polygon mirror is in a linear polarization state parallel or perpendicular to a beam scanning direction, and a light beam is output between the polygon mirror and a recording surface of the photosensitive material. 129. The laser beam exposure apparatus according to claim 129, wherein a λ / 4 wavelength plate extending in the scanning direction is inserted into the laser beam exposure apparatus.
【請求項133】 前記レーザ素子の温度を所定範囲以
上にわたり変調しながら前記感光材料に露光することを
特徴とする請求項124〜132のいずれか1項に記載
のレーザビーム露光装置。
133. The laser beam exposure apparatus according to claim 124, wherein the exposure is performed on the photosensitive material while modulating the temperature of the laser element over a predetermined range.
【請求項134】 前記レーザ素子の温度が異なるよう
にした前記レーザ光源を、前記隣接する線状領域間毎に
切り替えて前記感光材料に照射することを特徴とする請
求項133に記載のレーザビーム露光装置。
134. A laser beam according to claim 133, wherein said laser light source having a different temperature of said laser element is switched between said adjacent linear regions to irradiate said photosensitive material. Exposure equipment.
【請求項135】 前記変調は前記線状領域毎に実施す
ることを特徴とする請求項133に記載のレーザビーム
露光装置。
135. The laser beam exposure apparatus according to claim 133, wherein the modulation is performed for each of the linear regions.
【請求項136】 前記レーザ素子に温度制御部材が直
接に結合されていることを特徴とする請求項126〜1
35のいずれか1項に記載のレーザビーム露光装置。
136. The laser device according to claim 126, wherein a temperature control member is directly connected to said laser element.
35. The laser beam exposure apparatus according to any one of 35.
【請求項137】 前記変調は前記レーザ素子に前記レ
ーザ光源と別の波長の温度変調用光ビームを注入し、前
記光ビームの光量を変調することにより行われることを
特徴とする請求項133,134または135に記載の
レーザビーム露光装置。
137. The modulation method according to claim 133, wherein the modulation is performed by injecting a light beam for temperature modulation having a different wavelength from that of the laser light source into the laser element, and modulating the light amount of the light beam. 135. The laser beam exposure apparatus according to 134 or 135.
【請求項138】 前記変調はランダムな温度変調であ
ることを特徴とする請求項133,134、135また
は137に記載のレーザビーム露光装置。
138. The laser beam exposure apparatus according to claim 133, wherein said modulation is a random temperature modulation.
【請求項139】 前記変調は干渉パターンが逆転する
ような2値の温度間を変調することを特徴とする請求項
133,134、135または137に記載のレーザビ
ーム露光装置。
139. The laser beam exposure apparatus according to claim 133, wherein said modulation modulates between binary temperatures at which an interference pattern is reversed.
【請求項140】 使用する波長に対して透過性または
半透過性である支持体層または感光層を少なくとも1つ
有する感光材料に対しレーザ光源からレーザビームを照
射し露光するレーザビーム露光装置であって、 前記レーザビームの偏光状態を円偏光にして前記感光材
料に照射するとともに、 前記レーザビームにより照射される1画素または連続し
た複数の画素からなるビーム照射域を1つの画素域と定
義し、隣接する前記画素域間で、照射を行う前記レーザ
光源のレーザ素子の温度を変えることを特徴とするレー
ザビーム露光装置。
140. A laser beam exposure apparatus that irradiates a laser beam from a laser light source to a photosensitive material having at least one support layer or at least one photosensitive layer that is transparent or translucent to the wavelength to be used. And irradiating the photosensitive material with the polarization state of the laser beam as circularly polarized light, and defining a beam irradiation area composed of one pixel or a plurality of continuous pixels irradiated by the laser beam as one pixel area, A laser beam exposure apparatus, wherein the temperature of a laser element of the laser light source for irradiation is changed between the adjacent pixel areas.
【請求項141】 前記レーザ光源は1つであることを
特徴とする請求項140に記載のレーザビーム露光装
置。
141. The laser beam exposure apparatus according to claim 140, wherein the number of the laser light sources is one.
【請求項142】 前記レーザ光源は複数であることを
特徴とする請求項140に記載のレーザビーム露光装
置。
142. The laser beam exposure apparatus according to claim 140, wherein a plurality of said laser light sources are provided.
【請求項143】 前記1つのレーザ光源で前記隣接す
る画素域間毎にレーザ素子の温度を切り替えて前記感光
材料に照射することを特徴とする請求項141に記載の
レーザビーム露光装置。
143. The laser beam exposure apparatus according to claim 141, wherein the one laser light source irradiates the photosensitive material by switching the temperature of a laser element for each of the adjacent pixel areas.
【請求項144】 レーザ素子の温度の異なる前記複数
のレーザ光源を前記隣接する画素域間毎に切り替えて前
記感光材料に照射することを特徴とする請求項142に
記載のレーザビーム露光装置。
144. The laser beam exposure apparatus according to claim 142, wherein the plurality of laser light sources having different temperatures of the laser elements are switched between the adjacent pixel areas to irradiate the photosensitive material.
【請求項145】 前記レーザ光源が2つの場合、2つ
の直線偏光のレーザビームを偏光ビームスプリッタで合
波した後に前記偏光状態を円偏光にすることを特徴とす
る請求項142に記載のレーザビーム露光装置。
145. The laser beam according to claim 142, wherein when two laser light sources are used, the polarization state is changed to circular polarization after two linearly polarized laser beams are multiplexed by a polarization beam splitter. Exposure equipment.
【請求項146】 前記偏光状態を円偏光にするため
に、前記レーザビームが合波の直後に透過するλ/4波
長板を配置し、前記感光材料の記録面までの間に配置さ
れたミラーは全て誘電体膜ミラーであることを特徴とす
る請求項145に記載のレーザビーム露光装置。
146. A mirror arranged between the recording surface of the photosensitive material and a λ / 4 wavelength plate for transmitting the laser beam immediately after the multiplexing so as to change the polarization state to circularly polarized light. 146. The laser beam exposure apparatus according to claim 145, wherein all of them are dielectric film mirrors.
【請求項147】 前記偏光状態を円偏光にするため
に、前記レーザビームが合波の直後に透過するλ/4波
長板を配置し、ポリゴン金属ミラーまでの引き回しミラ
ーの1つが金属ミラーであり、他のミラーが誘電体膜ミ
ラーであり、前記金属引き回しミラーへのビーム入射角
がポリゴン金属ミラーへのビーム中心入射角と同じにし
たことを特徴とする請求項145に記載のレーザビーム
露光装置。
147. A λ / 4 wave plate through which the laser beam is transmitted immediately after the multiplexing is arranged to change the polarization state to circularly polarized light, and one of the leading mirrors up to the polygon metal mirror is a metal mirror. 146. The laser beam exposure apparatus according to claim 145, wherein the other mirror is a dielectric film mirror, and a beam incident angle on the metal routing mirror is made equal to a beam center incident angle on the polygon metal mirror. .
【請求項148】 前記偏光状態を円偏光にするため
に、ポリゴンミラーからの出射ビームはビーム走査方向
に平行または垂直な直線偏光状態であり、前記ポリゴン
ミラーと前記感光材料の記録面との間に走査方向に延び
たλ/4波長板が挿入されていることを特徴とする請求
項145に記載のレーザビーム露光装置。
148. In order to change the polarization state to circularly polarized light, the beam emitted from the polygon mirror is in a linear polarization state parallel or perpendicular to the beam scanning direction, and the light beam is transmitted between the polygon mirror and the recording surface of the photosensitive material. 146. The laser beam exposure apparatus according to claim 145, wherein a 了 / 4 wavelength plate extending in the scanning direction is inserted into the laser beam exposure apparatus.
【請求項149】 前記レーザ素子の温度を所定範囲以
上にわたり変調しながら前記感光材料に露光することを
特徴とする請求項140〜148のいずれか1項に記載
のレーザビーム露光装置。
149. The laser beam exposure apparatus according to any one of claims 140 to 148, wherein the exposure is performed on the photosensitive material while modulating the temperature of the laser element over a predetermined range.
【請求項150】 前記レーザ素子の温度が異なるよう
にした前記レーザ光源を、前記隣接する画素域毎に切り
替えて前記感光材料に照射することを特徴とする請求項
149に記載のレーザビーム露光装置。
150. The laser beam exposure apparatus according to claim 149, wherein the laser light source having a different temperature of the laser element is switched for each of the adjacent pixel areas to irradiate the photosensitive material. .
【請求項151】 前記変調は前記画素域毎に実施する
ことを特徴とする請求項149または150に記載のレ
ーザビーム露光装置。
151. The laser beam exposure apparatus according to claim 149, wherein the modulation is performed for each pixel area.
【請求項152】 前記レーザ素子に温度制御部材が直
接に結合されていることを特徴とする請求項140〜1
51のいずれか1項に記載のレーザビーム露光装置。
152. A temperature control member is directly coupled to said laser element.
52. The laser beam exposure apparatus according to any one of 51.
【請求項153】 前記変調は前記レーザ素子に前記レ
ーザ光源と別の波長の温度変調用光ビームを注入し、そ
の光ビームの光量を変調することにより行われることを
特徴とする請求項149,150または151に記載の
レーザビーム露光装置。
153. The apparatus according to claim 149, wherein the modulation is performed by injecting a light beam for temperature modulation having a different wavelength from that of the laser light source into the laser element and modulating a light amount of the light beam. 150. The laser beam exposure apparatus according to 150 or 151.
【請求項154】 前記変調はランダムな温度変調であ
ることを特徴とする請求項149,150、151また
は153に記載のレーザビーム露光装置。
154. The laser beam exposure apparatus according to claim 149, 150, 151 or 153, wherein the modulation is a random temperature modulation.
【請求項155】 前記変調は干渉パターンが逆転する
ような2値の温度間を変調することを特徴とする請求項
149,150、151または153に記載のレーザビ
ーム露光装置。
155. The laser beam exposure apparatus according to claim 149, 150, 151 or 153, wherein the modulation modulates between binary temperatures such that the interference pattern is reversed.
【請求項156】 使用する波長に対して透過性または
半透過性である支持体層または感光層を少なくとも1つ
有する感光材料に対しレーザ光源からレーザビームを照
射し露光するレーザビーム露光装置であって、 前記感光材料が光学的異方性を有し、その光学的異方性
の軸の向きが一定である場合、前記レーザビームの直線
偏光の偏光方向を前記光学的異方性の軸に対して45度
傾かせるとともに、 前記レーザビームにより照射される1本の走査線または
連続した複数本の走査線からなるビーム照射域を1つの
線状領域と定義し、隣接する前記線状領域間で、照射す
るレーザビームの光量分配比率を変えることを特徴とす
るレーザビーム露光装置。
156. A laser beam exposure apparatus which irradiates a laser beam from a laser light source to a photosensitive material having at least one support layer or at least one photosensitive layer which is transparent or translucent to a wavelength to be used. When the photosensitive material has optical anisotropy and the direction of the axis of the optical anisotropy is constant, the polarization direction of the linearly polarized light of the laser beam is set to the axis of the optical anisotropy. And a beam irradiation area formed by a single scanning line or a plurality of continuous scanning lines irradiated by the laser beam is defined as one linear region, and a region between the adjacent linear regions is defined. A laser beam exposure apparatus, wherein a light amount distribution ratio of a laser beam to be irradiated is changed.
【請求項157】 前記レーザ光源は1つであることを
特徴とする請求項156に記載のレーザビーム露光装
置。
157. The laser beam exposure apparatus according to claim 156, wherein the number of the laser light sources is one.
【請求項158】 前記1つのレーザ光源で前記隣接す
る線状領域間毎に光量分配比率を切り替えて前記感光材
料に照射することを特徴とする請求項157に記載のレ
ーザビーム露光装置。
158. The laser beam exposure apparatus according to claim 157, wherein the one laser light source irradiates the photosensitive material by switching a light amount distribution ratio for each of the adjacent linear regions.
【請求項159】 前記レーザ光源は複数であることを
特徴とする請求項156に記載のレーザビーム露光装
置。
159. The laser beam exposure apparatus according to claim 156, wherein a plurality of said laser light sources are provided.
【請求項160】 光量分配比率の異なる前記複数のレ
ーザ光源を、前記隣接する線状領域間毎に切り替えて前
記感光材料に照射することを特徴とする請求項159に
記載のレーザビーム露光装置。
160. The laser beam exposure apparatus according to claim 159, wherein said plurality of laser light sources having different light amount distribution ratios are switched for each of said adjacent linear regions to irradiate said photosensitive material.
【請求項161】 前記レーザビームの直線偏光の偏光
方向を前記光学的異方性の軸に対して45度傾かせるた
めに前記光学異方性の軸が水平面に平行または垂直の場
合、前記レーザ光源部を水平面に対して45度傾けるこ
とを特徴とする請求項159に記載のレーザビーム露光
装置。
161. When the axis of the optical anisotropy is parallel or perpendicular to a horizontal plane to tilt the polarization direction of the linearly polarized light of the laser beam by 45 degrees with respect to the axis of the optical anisotropy, 160. The laser beam exposure apparatus according to claim 159, wherein the light source unit is inclined by 45 degrees with respect to a horizontal plane.
【請求項162】 前記レーザビームの光量分配比率の
パターンが規則的であることを特徴とする請求項156
〜161のいずれか1項に記載のレーザビーム露光装
置。
162. The method according to claim 156, wherein a pattern of a light distribution ratio of the laser beam is regular.
167. The laser beam exposure apparatus according to any one of Items 161 to 161.
【請求項163】 前記レーザビームの光量分配比率の
パターンがランダムであることを特徴とする請求項15
6〜161のいずれか1項に記載のレーザビーム露光装
置。
163. The pattern of the laser beam distribution ratio of the laser beam is random.
162. The laser beam exposure apparatus according to any one of items 6 to 161.
【請求項164】 前記線状領域と前記隣接する線状領
域とは干渉ムラが非可視化されている範囲であることを
特徴とする請求項156〜163のいずれか1項に記載
のレーザビーム露光装置。
164. The laser beam exposure according to any one of claims 156 to 163, wherein the linear region and the adjacent linear region are in a range where interference unevenness is invisible. apparatus.
【請求項165】 前記感光材料は干渉しやすい材料で
あることを特徴とする請求項156〜164のいずれか
1項に記載のレーザビーム露光装置。
165. The laser beam exposure apparatus according to any one of claims 156 to 164, wherein the photosensitive material is a material that easily interferes.
【請求項166】 使用する波長に対して透過性または
半透過性である支持体層または感光層を少なくとも1つ
有する感光材料に対しレーザ光源からレーザビームを照
射し露光するレーザビーム露光装置であって、 前記感光材料が光学的異方性を有し、その光学的異方性
の軸の向きが一定である場合、前記レーザビームの直線
偏光の偏光方向を前記光学的異方性の軸に対して45度
傾かせるとともに、 前記レーザビームにより照射される1画素または連続し
た複数の画素からなるビーム照射域を1つの画素域と定
義し、隣接する前記画素域間で、照射するレーザビーム
の光量分配比率を変えることを特徴とするレーザビーム
露光装置。
166. A laser beam exposure apparatus which irradiates a laser beam from a laser light source to a photosensitive material having at least one support layer or photosensitive layer which is transmissive or semi-transmissive for a wavelength to be used. When the photosensitive material has optical anisotropy and the direction of the axis of the optical anisotropy is constant, the polarization direction of the linearly polarized light of the laser beam is set to the axis of the optical anisotropy. A 45-degree tilt with respect to the laser beam, a beam irradiation area composed of one pixel or a plurality of continuous pixels irradiated by the laser beam is defined as one pixel area, and a laser beam to be irradiated between adjacent pixel areas is defined as one pixel area. A laser beam exposure apparatus characterized by changing a light distribution ratio.
【請求項167】 前記レーザ光源は1つであることを
特徴とする請求項166に記載のレーザビーム露光装
置。
167. The laser beam exposure apparatus according to claim 166, wherein the number of the laser light sources is one.
【請求項168】 前記1つのレーザ光源で前記隣接す
る画素域間毎に光量分配比率を切り替えて前記感光材料
に照射することを特徴とする請求項167に記載のレー
ザビーム露光装置。
168. The laser beam exposure apparatus according to claim 167, wherein the one laser light source irradiates the photosensitive material by switching a light amount distribution ratio for each of the adjacent pixel areas.
【請求項169】 前記レーザ光源は複数であることを
特徴とする請求項166に記載のレーザビーム露光装
置。
169. The laser beam exposure apparatus according to claim 166, wherein a plurality of the laser light sources are provided.
【請求項170】 光量分配比率の異なる前記複数のレ
ーザ光源を、前記隣接する画素間毎に切り替えて前記感
光材料に照射することを特徴とする請求項169に記載
のレーザビーム露光装置。
170. The laser beam exposure apparatus according to claim 169, wherein said plurality of laser light sources having different light amount distribution ratios are switched for each of said adjacent pixels to irradiate said photosensitive material.
【請求項171】 前記レーザビームの直線偏光の偏光
方向を前記光学的異方性の軸に対して45度傾かせるた
めに、前記レーザ光源部を前記光学的異方性の軸に対し
て45度傾けることを特徴とする請求項166に記載の
レーザビーム露光装置。
171. The laser light source unit is rotated 45 degrees with respect to the optically anisotropic axis to incline the polarization direction of the linearly polarized light of the laser beam by 45 degrees with respect to the optically anisotropic axis. 172. The laser beam exposure apparatus according to claim 166, wherein the laser beam exposure apparatus is inclined by an angle.
【請求項172】 前記レーザビームの光量分配比率の
パターンが規則的であることを特徴とする請求項166
〜171のいずれか1項に記載のレーザビーム露光装
置。
172. The method according to claim 166, wherein a pattern of a light amount distribution ratio of said laser beam is regular.
172. The laser beam exposure apparatus according to any one of items 171 to 171.
【請求項173】 前記レーザビームの光量分配比率の
パターンがランダムであることを特徴とする請求項16
6〜171のいずれか1項に記載のレーザビーム露光装
置。
173. The pattern of the laser beam distribution ratio of the laser beam is random.
172. The laser beam exposure apparatus according to any one of 6 to 171.
【請求項174】 前記画素域と前記隣接する画素域と
は干渉ムラが非可視化されている範囲であることを特徴
とする請求項166〜173のいずれか1項に記載のレ
ーザビーム露光装置。
174. The laser beam exposure apparatus according to any one of claims 166 to 173, wherein the pixel area and the adjacent pixel area are in a range where interference unevenness is invisible.
【請求項175】 前記感光材料は干渉しやすい材料で
あることを特徴とする請求項166〜174のいずれか
1項に記載のレーザビーム露光装置。
175. The laser beam exposure apparatus according to any one of claims 166 to 174, wherein said photosensitive material is a material that easily interferes.
【請求項176】 使用する波長に対して透過性または
半透過性である支持体層または感光層を少なくとも1つ
有する感光材料に対しレーザ光源からレーザビームを照
射し露光するレーザビーム露光装置であって、 前記感光材料が光学的異方性を有し、その光学的異方性
の軸の向きが一定である場合、前記レーザビームの直線
偏光の偏光方向を前記光学的異方性の軸に対して45度
傾かせるとともに、 前記レーザビームにより照射される1本の走査線または
連続した複数本の走査線からなるビーム照射域を1つの
線状領域と定義し、隣接する前記線状領域間で、照射を
行う前記レーザ光源のレーザ素子の温度を変えることを
特徴とするレーザビーム露光装置。
176. A laser beam exposure apparatus which irradiates a laser beam from a laser light source to a photosensitive material having at least one support layer or photosensitive layer which is transmissive or semi-transmissive for a wavelength to be used. When the photosensitive material has optical anisotropy and the direction of the axis of the optical anisotropy is constant, the polarization direction of the linearly polarized light of the laser beam is set to the axis of the optical anisotropy. And a beam irradiation area formed by a single scanning line or a plurality of continuous scanning lines irradiated by the laser beam is defined as one linear region, and a region between the adjacent linear regions is defined. A laser beam exposure apparatus for changing the temperature of a laser element of the laser light source for irradiation.
【請求項177】 前記レーザ光源は1つであることを
特徴とする請求項176に記載のレーザビーム露光装
置。
177. The apparatus according to claim 176, wherein the number of the laser light sources is one.
【請求項178】 前記レーザ光源は複数であることを
特徴とする請求項176に記載のレーザビーム露光装
置。
178. The laser beam exposure apparatus according to claim 176, wherein a plurality of said laser light sources are provided.
【請求項179】 前記1つのレーザ光源で前記隣接す
る線状領域間毎にレーザ素子の温度を切り替えて前記感
光材料に照射することを特徴とする請求項177に記載
のレーザビーム露光装置。
179. The laser beam exposure apparatus according to claim 177, wherein the one laser light source irradiates the photosensitive material by switching the temperature of a laser element between the adjacent linear regions.
【請求項180】 レーザ素子の温度の異なる前記複数
のレーザ光源を前記隣接する線状領域間毎に切り替えて
前記感光材料に照射することを特徴とする請求項178
に記載のレーザビーム露光装置。
180. The method according to claim 178, wherein the plurality of laser light sources having different temperatures of the laser elements are switched between the adjacent linear regions to irradiate the photosensitive material.
3. The laser beam exposure apparatus according to claim 1.
【請求項181】 前記レーザビームの直線偏光の偏光
方向を前記光学的異方性の軸に対して45度傾かせるた
めに、前記レーザ光源部を前記光学的異方性の軸に対し
て45度傾けることを特徴とする請求項176に記載の
レーザビーム露光装置。
181. In order to incline the polarization direction of the linearly polarized light of the laser beam by 45 degrees with respect to the axis of the optical anisotropy, the laser light source unit is rotated by 45 degrees with respect to the axis of the optical anisotropy. 177. The laser beam exposure apparatus according to claim 176, wherein the laser beam exposure apparatus is inclined by an angle.
【請求項182】 前記レーザ素子の温度を所定範囲以
上にわたり変調しながら前記感光材料に露光することを
特徴とする請求項176〜181のいずれか1項に記載
のレーザビーム露光装置。
182. The laser beam exposure apparatus according to claim 176, wherein the photosensitive material is exposed while modulating the temperature of the laser element over a predetermined range.
【請求項183】 前記レーザ素子の温度が異なるよう
にした前記レーザ光源を、前記隣接する線状領域間毎に
切り替えて前記感光材料に照射することを特徴とする請
求項182に記載のレーザビーム露光装置。
183. The laser beam according to claim 182, wherein the laser light source having a different temperature of the laser element is switched between the adjacent linear regions to irradiate the photosensitive material. Exposure equipment.
【請求項184】 前記変調は前記線状領域毎に実施す
ることを特徴とする請求項182または183に記載の
レーザビーム露光装置。
184. The laser beam exposure apparatus according to claim 182, wherein the modulation is performed for each of the linear regions.
【請求項185】 前記レーザ素子に温度制御部材が直
接に結合されていることを特徴とする請求項176〜1
84のいずれか1項に記載のレーザビーム露光装置。
185. The apparatus according to claim 176, wherein a temperature control member is directly connected to said laser element.
85. The laser beam exposure apparatus according to any one of items 84.
【請求項186】 前記変調は前記レーザ素子に前記光
源と別の波長の温度変調用光ビームを注入し、前記光ビ
ームの光量を変調することにより行われることを特徴と
する請求項182,183または184に記載のレーザ
ビーム露光装置。
186. The apparatus according to claim 182, wherein the modulation is performed by injecting a light beam for temperature modulation having a wavelength different from that of the light source into the laser element and modulating the light amount of the light beam. Or the laser beam exposure apparatus according to 184.
【請求項187】 前記変調はランダムな温度変調であ
ることを特徴とする請求項182,183,184また
は186に記載のレーザビーム露光装置。
187. The laser beam exposure apparatus according to claim 182, wherein the modulation is a random temperature modulation.
【請求項188】 前記変調は干渉パターンが逆転する
ような2値の温度間を変調することを特徴とする請求項
182,183,184または186に記載のレーザビ
ーム露光装置。
188. The laser beam exposure apparatus according to claim 182, wherein said modulation modulates between binary temperatures at which an interference pattern is reversed.
【請求項189】 使用する波長に対して透過性または
半透過性である支持体層または感光層を少なくとも1つ
有する感光材料に対しレーザ光源からレーザビームを照
射し露光するレーザビーム露光装置であって、 前記感光材料が光学的異方性を有し、その光学的異方性
の軸の向きが一定である場合、前記レーザビームの直線
偏光の偏光方向を前記光学的異方性の軸に対して45度
傾かせるとともに、 前記レーザビームにより照射される1画素または連続し
た複数の画素からなるビーム照射域を1つの画素域と定
義し、隣接する前記画素域間で、照射を行う前記レーザ
光源のレーザ素子の温度を変えることを特徴とするレー
ザビーム露光装置。
189. A laser beam exposure apparatus that irradiates a laser beam from a laser light source to a photosensitive material having at least one support layer or photosensitive layer that is transmissive or semi-transmissive with respect to a wavelength to be used. When the photosensitive material has optical anisotropy and the direction of the axis of the optical anisotropy is constant, the polarization direction of the linearly polarized light of the laser beam is set to the axis of the optical anisotropy. A laser irradiation area defined by one pixel irradiated by the laser beam or a beam irradiation area composed of a plurality of continuous pixels is defined as one pixel area, and irradiation is performed between adjacent pixel areas. A laser beam exposure apparatus, wherein a temperature of a laser element of a light source is changed.
【請求項190】 前記レーザ光源は1つであることを
特徴とする請求項189に記載のレーザビーム露光装
置。
190. The laser beam exposure apparatus according to claim 189, wherein the number of the laser light sources is one.
【請求項191】 前記レーザ光源は複数であることを
特徴とする請求項189に記載のレーザビーム露光装
置。
191. The laser beam exposure apparatus according to claim 189, wherein the number of the laser light sources is plural.
【請求項192】 前記1つのレーザ光源で前記隣接す
る画素域間毎にレーザ素子の温度を切り替えて前記感光
材料に照射することを特徴とする請求項190に記載の
レーザビーム露光装置。
192. The laser beam exposure apparatus according to claim 190, wherein the one laser light source irradiates the photosensitive material by switching the temperature of a laser element between the adjacent pixel areas.
【請求項193】 レーザ素子の温度の異なる前記複数
のレーザ光源を前記隣接する画素域間毎に切り替えて前
記感光材料に照射することを特徴とする請求項191に
記載のレーザビーム露光装置。
193. The laser beam exposure apparatus according to claim 191, wherein the plurality of laser light sources having different laser element temperatures are switched between the adjacent pixel areas to irradiate the photosensitive material.
【請求項194】 前記レーザビームの直線偏光の偏光
方向を前記光学的異方性の軸に対して45度傾かせるた
めに、前記レーザ光源部を前記光学的異方性の軸に対し
て45度傾けることを特徴とする請求項189に記載の
レーザビーム露光装置。
194. The laser light source unit is tilted by 45 degrees with respect to the optically anisotropic axis to incline the polarization direction of the linearly polarized light of the laser beam by 45 degrees with respect to the optically anisotropic axis. 189. The laser beam exposure apparatus according to claim 189, wherein the laser beam exposure apparatus is inclined by an angle.
【請求項195】 前記レーザ素子の温度を所定範囲以
上にわたり変調しながら前記感光材料に露光することを
特徴とする請求項189〜194のいずれか1項に記載
のレーザビーム露光装置。
195. The laser beam exposure apparatus according to claim 189, wherein the exposure is performed on the photosensitive material while modulating the temperature of the laser element over a predetermined range.
【請求項196】 前記レーザ素子の温度が異なるよう
にした前記レーザ光源を、前記隣接する画素域毎に切り
替えて前記感光材料に照射することを特徴とする請求項
195に記載のレーザビーム露光装置。
196. The laser beam exposure apparatus according to claim 195, wherein the laser light source in which the temperature of the laser element is different is switched for each of the adjacent pixel areas to irradiate the photosensitive material. .
【請求項197】 前記変調は前記画素域毎に実施する
ことを特徴とする請求項195または196に記載のレ
ーザビーム露光装置。
197. The laser beam exposure apparatus according to claim 195 or 196, wherein the modulation is performed for each pixel area.
【請求項198】 前記レーザ素子に温度制御部材が直
接に結合されていることを特徴とする請求項189〜1
97のいずれか1項に記載のレーザビーム露光装置。
198. The apparatus according to claim 189, wherein a temperature control member is directly connected to said laser element.
97. The laser beam exposure apparatus according to any one of items 97.
【請求項199】 前記変調は前記レーザ素子に前記光
源と別の波長の温度変調用光ビームを注入し、前記光ビ
ームの光量を変調することにより行われることを特徴と
する請求項195,196または197に記載のレーザ
ビーム露光装置。
199. The modulation method according to claim 195, wherein the modulation is performed by injecting a light beam for temperature modulation having a different wavelength from that of the light source into the laser element and modulating a light amount of the light beam. Or a laser beam exposure apparatus according to 197.
【請求項200】 前記変調はランダムな温度変調であ
ることを特徴とする請求項195,196,197また
は199に記載のレーザビーム露光装置。
200. The laser beam exposure apparatus according to claim 195, 196, 197 or 199, wherein said modulation is a random temperature modulation.
【請求項201】 前記変調は干渉パターンが逆転する
ような2値の温度間を変調することを特徴とする請求項
195,196,197または199に記載のレーザビ
ーム露光装置。
201. The laser beam exposure apparatus according to claim 195, 196, 197 or 199, wherein the modulation modulates between binary temperatures such that the interference pattern is reversed.
【請求項202】 前記感光材料はハロゲン化銀感光材
料であることを特徴とする請求項1〜201のいずれか
1項に記載のレーザビーム露光装置。
202. The laser beam exposure apparatus according to claim 1, wherein the photosensitive material is a silver halide photosensitive material.
【請求項203】 使用する波長に対して透過性または
半透過性である支持体層または感光層を少なくとも1つ
有する感光材料に対しレーザ光源からレーザビームを照
射し露光するレーザビーム露光装置であって、 前記レーザビームの偏光状態を円偏光にして前記感光材
料に照射するとともに、 前記レーザビームにより照射される1本の走査線または
連続した複数本の走査線からなるビーム照射域を1つの
線状領域と定義し、隣接する前記線状領域間で、照射す
るレーザビームの光量−波長特性及び光量分配比率を変
えることを特徴とするレーザビーム露光装置。
203. A laser beam exposure apparatus for irradiating a laser beam from a laser light source to a photosensitive material having at least one support layer or at least one photosensitive layer that is transparent or translucent to the wavelength to be used. Irradiating the photosensitive material with the polarization state of the laser beam as circularly polarized light, and irradiating one beam or a beam irradiation area composed of a plurality of continuous scanning lines irradiated by the laser beam with one line A laser beam exposure apparatus, wherein a laser beam exposure apparatus is defined as a linear region, and changes a light amount-wavelength characteristic and a light amount distribution ratio of a laser beam to be irradiated between adjacent linear regions.
【請求項204】 前記レーザ光源のレーザ素子の温度
を変えることにより前記光量−波長特性を変えることを
特徴とする請求項203に記載のレーザビーム露光装
置。
204. The laser beam exposure apparatus according to claim 203, wherein the light amount-wavelength characteristic is changed by changing a temperature of a laser element of the laser light source.
【請求項205】 レーザ光源のレーザ素子に対し前記
レーザ光源の波長と別の波長の光ビームを注入すること
により、前記レーザ光源から射出するレーザビームの波
長を変調することを特徴とするレーザビーム波長変調方
法。
205. A laser beam characterized by modulating a wavelength of a laser beam emitted from the laser light source by injecting a laser beam of a wavelength different from the wavelength of the laser light source into a laser element of the laser light source. Wavelength modulation method.
【請求項206】 前記別の波長の光ビームを光源から
光反射ミラーを介して前記レーザ素子に注入することを
特徴とする請求項205に記載のレーザビーム波長変調
方法。
206. The laser beam wavelength modulation method according to claim 205, wherein the light beam of another wavelength is injected from a light source into the laser element via a light reflecting mirror.
【請求項207】 レーザ光源のレーザ素子に対し前記
レーザ光源の波長と別の波長の光ビームを注入すること
により、前記レーザ光源から射出するレーザビームの波
長を変調することを特徴とするレーザビーム波長変調装
置。
207. A laser beam, wherein a wavelength of a laser beam emitted from the laser light source is modulated by injecting a light beam having a wavelength different from the wavelength of the laser light source into a laser element of the laser light source. Wavelength modulator.
【請求項208】 前記別の波長の光ビームを光源から
光反射ミラーを介して前記レーザ素子に注入することを
特徴とする請求項207に記載のレーザビーム波長変調
装置。
208. The laser beam wavelength modulation device according to claim 207, wherein the light beam of another wavelength is injected from a light source into the laser element via a light reflecting mirror.
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