JP2001251000A - 交流放電ガスレーザ発振器 - Google Patents
交流放電ガスレーザ発振器Info
- Publication number
- JP2001251000A JP2001251000A JP2000059125A JP2000059125A JP2001251000A JP 2001251000 A JP2001251000 A JP 2001251000A JP 2000059125 A JP2000059125 A JP 2000059125A JP 2000059125 A JP2000059125 A JP 2000059125A JP 2001251000 A JP2001251000 A JP 2001251000A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas laser
- laser oscillator
- electrode holding
- electrode
- container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 対向する電極以外への放電や沿面放電を防止
した交流放電ガスレーザ発振器を提供することである。 【解決手段】 交流放電ガスレーザ発振器１において、
該ガスレーザ発振器のレーザ容器３内に、若しくは該レ
ーザ容器の一部を構成するように相対向する誘電体から
なる一対の電極保持容器７を設け、該一対の電極保持容
器の内部底面に密着した平板状の金属電極９を設けると
共に、該電極保持容器の開放部を封止する絶縁板１１を
設け、該電極保持容器内に冷却水１７が循環可能に設け
たことを特徴とする交流放電ガスレーザ発振器。
した交流放電ガスレーザ発振器を提供することである。 【解決手段】 交流放電ガスレーザ発振器１において、
該ガスレーザ発振器のレーザ容器３内に、若しくは該レ
ーザ容器の一部を構成するように相対向する誘電体から
なる一対の電極保持容器７を設け、該一対の電極保持容
器の内部底面に密着した平板状の金属電極９を設けると
共に、該電極保持容器の開放部を封止する絶縁板１１を
設け、該電極保持容器内に冷却水１７が循環可能に設け
たことを特徴とする交流放電ガスレーザ発振器。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は交流放電ガスレーザ
発振器に関する。
発振器に関する。
【０００２】
【従来の技術】交流放電ガスレーザ発振器の一形態に３
軸直交型の炭酸ガスレーザ発振器がある。図４は、従来
の交流放電ガスレーザ発振器３０の放電電極部の原理的
構成と、放電状態を示したものである。
軸直交型の炭酸ガスレーザ発振器がある。図４は、従来
の交流放電ガスレーザ発振器３０の放電電極部の原理的
構成と、放電状態を示したものである。
【０００３】レーザ容器３１内には低圧の気体レーザ媒
質（例えば、炭酸ガス、窒素、ヘリウムの混合ガス）Ｇ
が充填してあり、この気体レーザ媒質Ｇを放電励起する
ための一対の電極３２（ａ，ｂ）が適宜な間隙をもって
相対向するように配置すると共に、レーザ容器３１から
は絶縁距離Ａを設けてある。
質（例えば、炭酸ガス、窒素、ヘリウムの混合ガス）Ｇ
が充填してあり、この気体レーザ媒質Ｇを放電励起する
ための一対の電極３２（ａ，ｂ）が適宜な間隙をもって
相対向するように配置すると共に、レーザ容器３１から
は絶縁距離Ａを設けてある。
【０００４】電極３２（ａ，ｂ）は金属電極３３の周囲
に誘電体３４を被覆した構造をしており、金属電極３３
は、外部に設けた高周波電源３５に導線３６を介して接
続してある。
に誘電体３４を被覆した構造をしており、金属電極３３
は、外部に設けた高周波電源３５に導線３６を介して接
続してある。
【０００５】金属電極３３の中心部には、電極３２を冷
却する冷却水が通過するための流路３７が設けてある。
なお前記レーザ容器３１は接地してある。
却する冷却水が通過するための流路３７が設けてある。
なお前記レーザ容器３１は接地してある。
【０００６】前記気体レーザ媒質Ｇは、循環装置（図示
省略）により、上下の電極３２（ａ，ｂ）の間を左から
右へ（図４において）放電方向に直交する方向に流れる
ように設けてある。また、気体レーザ媒質Ｇと放電方向
とに直交する方向（紙面に垂直）に、複数のミラーによ
って構成される光共振器３８が設けてある。
省略）により、上下の電極３２（ａ，ｂ）の間を左から
右へ（図４において）放電方向に直交する方向に流れる
ように設けてある。また、気体レーザ媒質Ｇと放電方向
とに直交する方向（紙面に垂直）に、複数のミラーによ
って構成される光共振器３８が設けてある。
【０００７】上記構成において、相対向して配置された
電極３２（ａ，ｂ）に交流の高電圧を印加して電極３２
（ａ，ｂ）間の放電を発生させて気体レーザ媒質Ｇを励
起する。そして、放電励起された気体レーザ媒質Ｇから
誘導放出されるレーザ光が、前記放電空間３９に設けた
光共振器３８により増幅されてレーザ光として出力され
る。
電極３２（ａ，ｂ）に交流の高電圧を印加して電極３２
（ａ，ｂ）間の放電を発生させて気体レーザ媒質Ｇを励
起する。そして、放電励起された気体レーザ媒質Ｇから
誘導放出されるレーザ光が、前記放電空間３９に設けた
光共振器３８により増幅されてレーザ光として出力され
る。
【０００８】図５は、前記電極３２（ａ，ｂ）を製造容
易な構造に改良したもう一つの従来例を示したものであ
り、上方の片側の電極３２ａのみを示してある。なお、
前記図４と同一の構成部品には、同一の参照番号を付し
その説明を省略する。
易な構造に改良したもう一つの従来例を示したものであ
り、上方の片側の電極３２ａのみを示してある。なお、
前記図４と同一の構成部品には、同一の参照番号を付し
その説明を省略する。
【０００９】図５を参照するに、電極３２ａは金属電極
３３を合成樹脂製の絶縁板４０上に載置し、これをセラ
ミックス（誘電体）製の蓋部材４１で封止した構造とな
っている。蓋部材４１は、ボルトなどの固定手段４２に
よって絶縁板４０に着脱可能に固定してある。
３３を合成樹脂製の絶縁板４０上に載置し、これをセラ
ミックス（誘電体）製の蓋部材４１で封止した構造とな
っている。蓋部材４１は、ボルトなどの固定手段４２に
よって絶縁板４０に着脱可能に固定してある。
【００１０】なお、金属電極３３の側面と蓋部材４１と
の間には製造上の誤差から必然的に生ずる微小な空間４
３がある。
の間には製造上の誤差から必然的に生ずる微小な空間４
３がある。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】上述の図４に示した電
極３２（ａ，ｂ）間の放電においては、電極３２（ａ，
ｂ）が相対面する面以外の側面にも放電（沿面放電）３
９Ｓが発生する。さらに、レーザ容器３１との間にも異
常放電が発生することがある。
極３２（ａ，ｂ）間の放電においては、電極３２（ａ，
ｂ）が相対面する面以外の側面にも放電（沿面放電）３
９Ｓが発生する。さらに、レーザ容器３１との間にも異
常放電が発生することがある。
【００１２】上述の沿面放電３９Ｓによる励起エネルギ
ーは、光共振器のある放電空間３９の外に注入され、レ
ーザ発振には寄与しないのでエネルギー効率（電力の光
への変換効率）を悪くする。
ーは、光共振器のある放電空間３９の外に注入され、レ
ーザ発振には寄与しないのでエネルギー効率（電力の光
への変換効率）を悪くする。
【００１３】また、図５に示す如き分解可能な電極構造
の場合、金属電極３３と蓋部材４１、金属電極３３と絶
縁板４０および絶縁板４０とレーザ容器３１との間の間
隙には、静電容量による電気的結合やグロー放電によ
り、電流密度の小さい漏れ電流（ｉ1,ｉ2,ｉ3）が流れ
る。しかし、これらの漏れ電流（ｉ1,ｉ2,ｉ3）は、流
れる経路によっては、誘電損失による絶縁体の自己発熱
により絶縁体にダメージを発生させるものである。
の場合、金属電極３３と蓋部材４１、金属電極３３と絶
縁板４０および絶縁板４０とレーザ容器３１との間の間
隙には、静電容量による電気的結合やグロー放電によ
り、電流密度の小さい漏れ電流（ｉ1,ｉ2,ｉ3）が流れ
る。しかし、これらの漏れ電流（ｉ1,ｉ2,ｉ3）は、流
れる経路によっては、誘電損失による絶縁体の自己発熱
により絶縁体にダメージを発生させるものである。
【００１４】また、対向する電極への放電において、金
属電極３３と蓋部材４１との微小な隙間（空気が介在す
る部分）４４には、グロー放電ではなく非常に電流密度
の大きい高温のアーク放電が発生し、周囲の蓋部材４１
（誘電体）を局部的過熱による熱衝撃で破損させる恐れ
もある。なお、このアーク放電による高い電流密度は、
蓋部材４１（誘電体）の通過により低減し、相対する電
極間では正常なグロー放電となる。
属電極３３と蓋部材４１との微小な隙間（空気が介在す
る部分）４４には、グロー放電ではなく非常に電流密度
の大きい高温のアーク放電が発生し、周囲の蓋部材４１
（誘電体）を局部的過熱による熱衝撃で破損させる恐れ
もある。なお、このアーク放電による高い電流密度は、
蓋部材４１（誘電体）の通過により低減し、相対する電
極間では正常なグロー放電となる。
【００１５】さらに、上述の微小な隙間（空気が介在す
る部分）４４の存在により、蓋部材４１に対する冷却効
果が低下する。
る部分）４４の存在により、蓋部材４１に対する冷却効
果が低下する。
【００１６】本発明は上述の如き問題を解決するために
成されたものであり、本発明の課題は、対向する電極以
外への放電や沿面放電を防止した交流放電ガスレーザ発
振器を提供することである。
成されたものであり、本発明の課題は、対向する電極以
外への放電や沿面放電を防止した交流放電ガスレーザ発
振器を提供することである。
【００１７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する手段
として請求項１に記載の交流放電ガスレーザ発振器は、
交流放電ガスレーザ発振器において、該ガスレーザ発振
器のレーザ容器内に、若しくは該レーザ容器の一部を構
成するように相対向する誘電体からなる一対の電極保持
容器を設け、該一対の電極保持容器の内部底面に密着し
た平板状の金属電極を設けると共に、該電極保持容器の
開放部を封止する絶縁板を設け、該電極保持容器内に電
気的絶縁も兼ねた冷却水を循環可能に設けたことを要旨
とするものである。
として請求項１に記載の交流放電ガスレーザ発振器は、
交流放電ガスレーザ発振器において、該ガスレーザ発振
器のレーザ容器内に、若しくは該レーザ容器の一部を構
成するように相対向する誘電体からなる一対の電極保持
容器を設け、該一対の電極保持容器の内部底面に密着し
た平板状の金属電極を設けると共に、該電極保持容器の
開放部を封止する絶縁板を設け、該電極保持容器内に電
気的絶縁も兼ねた冷却水を循環可能に設けたことを要旨
とするものである。
【００１８】請求項２に記載の交流放電ガスレーザ発振
器は、交流放電ガスレーザ発振器において、該ガスレー
ザ発振器のレーザ容器内に、若しくは該レーザ容器の一
部を構成するように相対向する誘電体からなる一対の電
極保持容器を設け、該電極保持容器内部に金属電極を設
け、該電極保持容器の開放部を封止する絶縁板を設ける
と共に、該電極保持容器と前記金属電極との間の空間に
シリコーン樹脂を充填したことを要旨とするものであ
る。
器は、交流放電ガスレーザ発振器において、該ガスレー
ザ発振器のレーザ容器内に、若しくは該レーザ容器の一
部を構成するように相対向する誘電体からなる一対の電
極保持容器を設け、該電極保持容器内部に金属電極を設
け、該電極保持容器の開放部を封止する絶縁板を設ける
と共に、該電極保持容器と前記金属電極との間の空間に
シリコーン樹脂を充填したことを要旨とするものであ
る。
【００１９】請求項３に記載の交流放電ガスレーザ発振
器は、請求項２に記載の交流放電ガスレーザ発振器にお
いて、前記空間に導電性接着剤を充填したことを要旨と
するものである。
器は、請求項２に記載の交流放電ガスレーザ発振器にお
いて、前記空間に導電性接着剤を充填したことを要旨と
するものである。
【００２０】請求項４に記載の交流放電ガスレーザ発振
器は、交流放電ガスレーザ発振器において、該ガスレー
ザ発振器のレーザ容器内に、若しくは該レーザ容器の一
部を構成するように相対向する誘電体からなる一対の電
極保持容器を設け、該一対の電極保持容器内面に該内面
に密着した金属薄膜を形成し、該金属薄膜上に金属電極
を設けると共に、前記電極保持容器の開放部を封止する
絶縁板を設けたことを要旨とするものである。
器は、交流放電ガスレーザ発振器において、該ガスレー
ザ発振器のレーザ容器内に、若しくは該レーザ容器の一
部を構成するように相対向する誘電体からなる一対の電
極保持容器を設け、該一対の電極保持容器内面に該内面
に密着した金属薄膜を形成し、該金属薄膜上に金属電極
を設けると共に、前記電極保持容器の開放部を封止する
絶縁板を設けたことを要旨とするものである。
【００２１】請求項５に記載の交流放電ガスレーザ発振
器は、請求項１、２、３または請求項４に記載の交流放
電ガスレーザ発振器において、前記誘電体の比誘電率が
少なくとも２０以上であることを要旨とするものであ
る。
器は、請求項１、２、３または請求項４に記載の交流放
電ガスレーザ発振器において、前記誘電体の比誘電率が
少なくとも２０以上であることを要旨とするものであ
る。
【００２２】請求項６に記載の交流放電ガスレーザ発振
器は、請求項１、２、３または請求項４に記載の交流放
電ガスレーザ発振器において、前記誘電体が酸化チタン
系セラミックスまたはチタン酸バリウム系セラミックス
であることを要旨とするものである。
器は、請求項１、２、３または請求項４に記載の交流放
電ガスレーザ発振器において、前記誘電体が酸化チタン
系セラミックスまたはチタン酸バリウム系セラミックス
であることを要旨とするものである。
【００２３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
によって説明する。
によって説明する。
【００２４】図１は、本発明に係る交流放電ガスレーザ
発振器１の第一実施例で放電電極部の構成と放電状態を
示したものである。
発振器１の第一実施例で放電電極部の構成と放電状態を
示したものである。
【００２５】レーザ容器３内には低圧の気体レーザ媒質
（例えば、炭酸ガス、窒素、ヘリウムの混合ガス）Ｇが
充填してあり、この気体レーザ媒質Ｇを放電励起するた
めの相対向する一対の電極５（ａ，ｂ）が適宜な間隙を
もって設けてある。なお、図１においては電極５ａのみ
を示してある。
（例えば、炭酸ガス、窒素、ヘリウムの混合ガス）Ｇが
充填してあり、この気体レーザ媒質Ｇを放電励起するた
めの相対向する一対の電極５（ａ，ｂ）が適宜な間隙を
もって設けてある。なお、図１においては電極５ａのみ
を示してある。
【００２６】電極５（ａ，ｂ）は次のように構成されて
いる。セラミックスからなる箱状の電極保持容器７を設
け、この電極保持容器７の内部底面に平板状の金属電極
９をメタライジング（metallizing）加工により形成
し、また金属電極９に対向する電極保持容器７の開放部
は合成樹脂製の絶縁板１１により密封してある。
いる。セラミックスからなる箱状の電極保持容器７を設
け、この電極保持容器７の内部底面に平板状の金属電極
９をメタライジング（metallizing）加工により形成
し、また金属電極９に対向する電極保持容器７の開放部
は合成樹脂製の絶縁板１１により密封してある。
【００２７】電極保持容器７と絶縁板１１はボルト１３
により接合してある。また電極保持容器７と絶縁板１１
の接合部はＯリングなどのシール部材１５によってシー
ルしてある。前記電極保持容器７の内部空間には、金属
電極９、電極保持容器７および絶縁板１１を冷却するた
めの冷却水１７が循環するように設けてある。また、こ
の冷却水は電気的絶縁を目的ともする。
により接合してある。また電極保持容器７と絶縁板１１
の接合部はＯリングなどのシール部材１５によってシー
ルしてある。前記電極保持容器７の内部空間には、金属
電極９、電極保持容器７および絶縁板１１を冷却するた
めの冷却水１７が循環するように設けてある。また、こ
の冷却水は電気的絶縁を目的ともする。
【００２８】上述の冷却水１７は図示省略の冷却水循環
装置に連通してあり、金属電極９はレーザ容器３の外部
に設置した高周波電源（図示省略）に接続してある。
装置に連通してあり、金属電極９はレーザ容器３の外部
に設置した高周波電源（図示省略）に接続してある。
【００２９】上述の電極保持容器７に使用するセラミッ
クスは、少なくともその比誘電率(εｒ)が２０以上のも
のを使用するのが望ましい。また絶縁板１１には合成樹
脂を使用している。
クスは、少なくともその比誘電率(εｒ)が２０以上のも
のを使用するのが望ましい。また絶縁板１１には合成樹
脂を使用している。
【００３０】なお、比誘電率( εｒ)が大きいセラミッ
クスとして、例えば、酸化チタン系セラミックス(εｒ=
330)、またはチタン酸バリウム系セラミックス( εｒ=
3,000)などを使用することができる。また、上述の冷却
水１７には、イオン交換樹脂を用いて純水化した電気導
電度の小さい水を使用するのが望ましい。
クスとして、例えば、酸化チタン系セラミックス(εｒ=
330)、またはチタン酸バリウム系セラミックス( εｒ=
3,000)などを使用することができる。また、上述の冷却
水１７には、イオン交換樹脂を用いて純水化した電気導
電度の小さい水を使用するのが望ましい。
【００３１】いま、電極保持容器７の底部の厚さをｄと
し、電極保持容器７の部分の静電容量をＣ、この静電容
量Ｃの両端の電圧をＶＣとすると、この電圧ＶＣの大き
さは、
し、電極保持容器７の部分の静電容量をＣ、この静電容
量Ｃの両端の電圧をＶＣとすると、この電圧ＶＣの大き
さは、
【数１】 ｜Ｖc｜＝｜１／２πｆＣ｜*ｉ＝｜ｄ／２πｆε０ εｒ Ｓ｜*ｉ…（１） ここに、ε０ は真空の誘電率、εｒは誘電体の比誘電
率で、Ｓはコンデンサを形成する誘電体の表面積、ｄは
誘電体の厚さ、ｉは放電回路に流れる電流、ｆは高周波
電源の周波数である。なお、εは誘電体の誘電率であり
ε＝ε０εｒである。
率で、Ｓはコンデンサを形成する誘電体の表面積、ｄは
誘電体の厚さ、ｉは放電回路に流れる電流、ｆは高周波
電源の周波数である。なお、εは誘電体の誘電率であり
ε＝ε０εｒである。
【００３２】したがって、上述の式（１）において、静
電容量Ｃの両端の電圧ＶＣ と、周波数ｆを適宜な範囲
に設定した状態において、前記電極保持容器７に比誘電
率(εｒ)を少なくとも２０以上のセラミックス（誘電
体）を採用することにより、電極保持容器７の厚さ（す
なわち誘電体の厚さ）ｄを実用に耐え得る機械的強度を
有する大きな値に設定することができる。
電容量Ｃの両端の電圧ＶＣ と、周波数ｆを適宜な範囲
に設定した状態において、前記電極保持容器７に比誘電
率(εｒ)を少なくとも２０以上のセラミックス（誘電
体）を採用することにより、電極保持容器７の厚さ（す
なわち誘電体の厚さ）ｄを実用に耐え得る機械的強度を
有する大きな値に設定することができる。
【００３３】例えば、Ｖc＝１ｋＶ，ｆ＝７４９ｋＨ
ｚ，εｒ＝２０，Ｓ＝１．２×０．０４＝０．０４８ｍ
２，とすれば、ε０ ＝８．８５×1０−１２［Ｆ／
ｍ］であるから、ｄ＝４ｍｍとなり、冷却水の水圧に耐
え得る機械的強度を有する電極保持容器７を製作するこ
とが可能となる。
ｚ，εｒ＝２０，Ｓ＝１．２×０．０４＝０．０４８ｍ
２，とすれば、ε０ ＝８．８５×1０−１２［Ｆ／
ｍ］であるから、ｄ＝４ｍｍとなり、冷却水の水圧に耐
え得る機械的強度を有する電極保持容器７を製作するこ
とが可能となる。
【００３４】上記構成により、冷却水は誘電体からなる
電極保持容器と金属電極との両方に直接接触するので電
極保持容器に対する冷却効果が大きい。また、金属電極
と電極保持容器との間の空間（真空または大気の充満し
た空間）がなく、かつ金属電極と電極保持容器との間は
循環する冷却水で充満されているので沿面放電が発生せ
ず、放電エネルギーは全て光共振器のある放電空間１９
に注入されるので、エネルギー効率（電力の光への変換
効率）が向上する。
電極保持容器と金属電極との両方に直接接触するので電
極保持容器に対する冷却効果が大きい。また、金属電極
と電極保持容器との間の空間（真空または大気の充満し
た空間）がなく、かつ金属電極と電極保持容器との間は
循環する冷却水で充満されているので沿面放電が発生せ
ず、放電エネルギーは全て光共振器のある放電空間１９
に注入されるので、エネルギー効率（電力の光への変換
効率）が向上する。
【００３５】また、金属電極同士が対向する側の面以外
の金属電極面が、誘電体からなる電極保持容器と離れて
いるため、漏れ電流が非常に小さくなる。
の金属電極面が、誘電体からなる電極保持容器と離れて
いるため、漏れ電流が非常に小さくなる。
【００３６】次に、第二実施例について図２を参照しな
がら説明する。第二実施例は第一実施例における電極５
（ａ，ｂ）自体がレーザ容器３の壁面の一部を構成する
ように設けたものである。電極保持容器７を絶縁板１１
を介して保持した例を示してあるが、例えば、絶縁板１
１と電極保持容器７のフランジＦの外周寸法を同一に設
けて、電極保持容器７のフランジ部を直接レーザ容器３
に取り付ける構成にしても構わない。
がら説明する。第二実施例は第一実施例における電極５
（ａ，ｂ）自体がレーザ容器３の壁面の一部を構成する
ように設けたものである。電極保持容器７を絶縁板１１
を介して保持した例を示してあるが、例えば、絶縁板１
１と電極保持容器７のフランジＦの外周寸法を同一に設
けて、電極保持容器７のフランジ部を直接レーザ容器３
に取り付ける構成にしても構わない。
【００３７】図３は、前記図５に示した従来例を改善し
た第三実施例である。なお、前記図５と同一の構成部品
には同一の参照符号を付してその説明を省略する。
た第三実施例である。なお、前記図５と同一の構成部品
には同一の参照符号を付してその説明を省略する。
【００３８】この第三実施例においては、セラミックス
誘電体の蓋部材４１の内面全体にメタライジング加工に
より金属薄膜４５を設け、この金属薄膜４５上に前記金
属電極３３を配置する。
誘電体の蓋部材４１の内面全体にメタライジング加工に
より金属薄膜４５を設け、この金属薄膜４５上に前記金
属電極３３を配置する。
【００３９】上記構成により、空間４３における有害放
電を防止することができる。なお、金属薄膜４５は、金
属電極の周囲をカバーする範囲にのみ設けても同一の効
果を得ることができる。
電を防止することができる。なお、金属薄膜４５は、金
属電極の周囲をカバーする範囲にのみ設けても同一の効
果を得ることができる。
【００４０】また、前記金属薄膜４５の代わりに、絶縁
物質であるシリコーン樹脂またはペースト状の導電性接
着剤を前記空間４３に充填しても同様な効果が得られ
る。すなわち、環境により絶縁性が変化する空気の介在
をシリコーン樹脂または導電性接着剤を充填して排除す
ることにより、漏れ電流若しくは沿面放電を低減するこ
とができる。
物質であるシリコーン樹脂またはペースト状の導電性接
着剤を前記空間４３に充填しても同様な効果が得られ
る。すなわち、環境により絶縁性が変化する空気の介在
をシリコーン樹脂または導電性接着剤を充填して排除す
ることにより、漏れ電流若しくは沿面放電を低減するこ
とができる。
【００４１】
【発明の効果】請求項１の発明によれば、冷却水が誘電
体からなる電極保持容器と金属電極との両方に直接接触
する構造のため電極保持容器に対する冷却効果が大き
い。また、金属電極と電極保持容器との間の空間（真空
または大気の充満した空間）がなく、かつ金属電極と電
極保持容器との間は循環する冷却水で充満されているの
で沿面放電が発生せず、エネルギー効率（電力の光への
変換効率）が向上する。
体からなる電極保持容器と金属電極との両方に直接接触
する構造のため電極保持容器に対する冷却効果が大き
い。また、金属電極と電極保持容器との間の空間（真空
または大気の充満した空間）がなく、かつ金属電極と電
極保持容器との間は循環する冷却水で充満されているの
で沿面放電が発生せず、エネルギー効率（電力の光への
変換効率）が向上する。
【００４２】請求項２〜請求項４の発明によれば、電極
保持容器と金属電極の間の有害放電を防止することがで
きる。
保持容器と金属電極の間の有害放電を防止することがで
きる。
【００４３】請求項５または請求項６の発明によれば、
誘電体からなる電極保持容器７の厚さを実用に耐え得る
機械的強度を有する大きな値に設定することができる。
誘電体からなる電極保持容器７の厚さを実用に耐え得る
機械的強度を有する大きな値に設定することができる。
【図１】本発明に係る交流放電ガスレーザ発振器の第一
実施例で放電電極部の構成と放電状態を示したものであ
る。
実施例で放電電極部の構成と放電状態を示したものであ
る。
【図２】本発明に係る交流放電ガスレーザ発振器の第二
実施例。
実施例。
【図３】本発明に係る交流放電ガスレーザ発振器の第三
実施例。
実施例。
【図４】従来の交流放電ガスレーザ発振器放電電極部の
原理的構成と放電状態を示した図。
原理的構成と放電状態を示した図。
【図５】もう一つの従来例であり図４の従来例を製造容
易に改良したもの。
易に改良したもの。
１ 交流放電ガスレーザ発振器 ３ レーザ容器 ５（ａ，ｂ） 電極 ７ 電極保持容器 ９ 金属電極 １１ 絶縁板 １３ ボルト １５ シール部材 １７ 冷却水 １９ 放電空間
フロントページの続き (72)発明者 三木 直樹 神奈川県伊勢原市石田350 株式会社アマ ダエンジニアリングセンター内 Ｆターム(参考） 5F071 AA05 CC07 FF04 JJ05
Claims (6)
- 【請求項１】 交流放電ガスレーザ発振器において、該
ガスレーザ発振器のレーザ容器内に、若しくは該レーザ
容器の一部を構成するように相対向する誘電体からなる
一対の電極保持容器を設け、該一対の電極保持容器の内
部底面に密着した平板状の金属電極を設けると共に、該
電極保持容器の開放部を封止する絶縁板を設け、該電極
保持容器内に冷却水が循環可能に設けたことを特徴とす
る交流放電ガスレーザ発振器。 - 【請求項２】 交流放電ガスレーザ発振器において、該
ガスレーザ発振器のレーザ容器内に、若しくは該レーザ
容器の一部を構成するように相対向する誘電体からなる
一対の電極保持容器を設け、該電極保持容器内部に金属
電極を設け、該電極保持容器の開放部を封止する絶縁板
を設けると共に、該電極保持容器と前記金属電極との間
の空間にシリコーン樹脂を充填したことを特徴とする交
流放電ガスレーザ発振器。 - 【請求項３】 請求項２に記載の交流放電ガスレーザ発
振器において、前記空間に導電性接着剤を充填したこと
を特徴とする交流放電ガスレーザ発振器。 - 【請求項４】 交流放電ガスレーザ発振器において、該
ガスレーザ発振器のレーザ容器内に、若しくは該レーザ
容器の一部を構成するように相対向する誘電体からなる
一対の電極保持容器を設け、該一対の電極保持容器内面
に該内面に密着した金属薄膜を形成し、該金属薄膜上に
金属電極を設けると共に、前記電極保持容器の開放部を
封止する絶縁板を設けたことを特徴とする交流放電ガス
レーザ発振器。 - 【請求項５】 請求項１、２、３または請求項４に記載
の交流放電ガスレーザ発振器において、前記誘電体の比
誘電率が少なくとも２０以上であることを特徴とする交
流放電ガスレーザ発振器。 - 【請求項６】 請求項１、２、３または請求項４に記載
の交流放電ガスレーザ発振器において、前記誘電体が酸
化チタン系セラミックスまたはチタン酸バリウム系セラ
ミックスであることを特徴とする交流放電ガスレーザ発
振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000059125A JP2001251000A (ja) | 2000-03-03 | 2000-03-03 | 交流放電ガスレーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000059125A JP2001251000A (ja) | 2000-03-03 | 2000-03-03 | 交流放電ガスレーザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001251000A true JP2001251000A (ja) | 2001-09-14 |
Family
ID=18579620
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000059125A Pending JP2001251000A (ja) | 2000-03-03 | 2000-03-03 | 交流放電ガスレーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001251000A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010103267A (ja) * | 2008-10-23 | 2010-05-06 | Mitsubishi Electric Corp | ガスレーザ発振装置 |
-
2000
- 2000-03-03 JP JP2000059125A patent/JP2001251000A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010103267A (ja) * | 2008-10-23 | 2010-05-06 | Mitsubishi Electric Corp | ガスレーザ発振装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3753144A (en) | Gas laser structure | |
| US4613971A (en) | Transversely excited gas laser | |
| US9130504B2 (en) | HF resonator and particle accelerator with HF resonator | |
| US4800567A (en) | High-frequency-discharge excited gas laser | |
| JP2001251000A (ja) | 交流放電ガスレーザ発振器 | |
| US9577311B2 (en) | HF resonator and particle accelerator with HF resonator | |
| JPS6310597B2 (ja) | ||
| US20100086000A1 (en) | Laser Discharge Tube Assembly for a Gas Laser and Production Method for the Same | |
| JP4450980B2 (ja) | 交流放電ガスレーザ発振器 | |
| JP3088579B2 (ja) | レーザ装置 | |
| EP0371014B1 (en) | Rf excited all metal gas laser | |
| JP2003264328A (ja) | 導波路型ガスレーザ発振器 | |
| JP4021696B2 (ja) | ガスレーザ発振器 | |
| CA1303196C (en) | Rf excited all metal gas laser | |
| JPS61159782A (ja) | 無声放電式ガスレ−ザ装置 | |
| JPH04256387A (ja) | ガスレーザ装置 | |
| JPH04286172A (ja) | ガスレーザ発振器 | |
| JPS62183580A (ja) | 無声放電式ガスレ−ザ装置 | |
| JPS6310915B2 (ja) | ||
| JPH05327087A (ja) | レーザ装置の放電安定化構造 | |
| JP2001237475A (ja) | 交流放電ガスレーザ発振器 | |
| JP2002185062A (ja) | 交流放電ガスレーザ発振器 | |
| JP2003101105A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JPH02129977A (ja) | ガスレーザ発振器 | |
| JPH0318070A (ja) | ガスレーザ装置 |