JP2001250375A - 強誘電体メモリ - Google Patents

強誘電体メモリ

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JP2001250375A JP2000063152A JP2000063152A JP2001250375A JP 2001250375 A JP2001250375 A JP 2001250375A JP 2000063152 A JP2000063152 A JP 2000063152A JP 2000063152 A JP2000063152 A JP 2000063152A JP 2001250375 A JP2001250375 A JP 2001250375A
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Tadashi Miyagawa
正 宮川
Yukito Owaki
幸人 大脇
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 特定領域のデータ書き換えを禁止する機能を
持たせた強誘電体メモリを提供する。 【解決手段】 強誘電体キャパシタを有するメモリセル
が配列され、複数ブロックBLKiに分割されたメモリ
セルアレイ1と、メモリセルを選択するデコード回路
9,10,11と、メモリセルアレイ1のビット線に接
続されるビット線センスアンプ回路2と、ビット線セン
スアンプ回路2とデータ入出力端子I/Oの間のデータ
転送を制御するデータ入出力バッファ6,7とを備え、
メモリセルアレイ1の特定ブロックを指定してそのブロ
ックへのデータ転送をオフとして書き換えを禁止するプ
ロテクト回路12を設けた。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、強誘電体メモリ
に関する。
【0002】
【従来の技術】強誘電体メモリは、強誘電体キャパシタ
を記憶素子とし、そのヒステリシス特性を利用してデー
タを不揮発に記憶することを可能としたものである。強
誘電体メモリは、DRAM並の高速性能と、EEPRO
Mのようなデータの不揮発性を備えている。このため、
各種の非接触型ICカードや携帯端末メモリ等への応用
が期待されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】各種半導体メモリにお
いては、メモリセルアレイの特定領域の書き換え(書き
込みや消去)を禁止するプロテクト機能を持たせること
がしばしば行われる。強誘電体メモリにおいても同様の
プロテクト機能を持たせることが望まれる。しかし、強
誘電体メモリの場合、データ読み出しは破壊読み出しで
あり、再書き込み動作が必要である。従って例えば、読
み出し、書き込み等に用いられる高電圧発生回路を特定
アドレスでオフにするというプロテクト機能を持たせた
とすると、その特定アドレスについては読み出し後の再
書き込みができず、データ読み出し動作まで制限されて
しまうことになる。
【0004】この発明は、データ読み出し動作に影響を
与えることなく、特定領域のデータ書き換えを禁止する
機能を持たせた強誘電体メモリを提供することを目的と
している。
【0005】
【課題を解決するための手段】この発明に係る強誘電体
メモリは、強誘電体キャパシタを有するメモリセルが配
列されたメモリセルアレイと、このメモリセルアレイの
メモリセルを選択するデコード回路と、前記メモリセル
アレイのビット線に接続されるビット線センスアンプ回
路と、このビット線センスアンプ回路とデータ入出力端
子の間のデータ転送を制御するデータ入出力バッファ
と、前記メモリセルアレイの特定の領域を指定してその
ブロックへのデータ転送をオフとして書き換えを禁止す
る書き換え禁止回路とを有することを特徴とする。
【0006】この発明によると、メモリセルアレイの特
定の領域のデータ書き換え(書き込み又は消去)を禁止
するプロテクト機能を持つ強誘電体メモリが得られる。
プロテクト機能は、メモリセルアレイの特定の領域への
データ転送をオフ制御することにより実現しており、ビ
ット線センスアンプ回路に読み出されたデータを再書き
込みする機能には影響がなく、データ読み出し動作まで
制限されることはない。
【0007】この発明において好ましくは、メモリセル
アレイは、複数のブロックに分割され、書き換え禁止回
路は、特定のブロックを指定してそのブロックへのデー
タ転送をオフとして書き換えを禁止するものであるとす
る。
【0008】この発明において、書き換え禁止回路が書
き込みデータの転送を制御する具体的なモードとして
は、(a)データ入出力バッファの中のデータ入力バッ
ファの活性、非活性を制御する方式、(b)データ入出
力バッファとビット線センスアンプ回路の間にあるデー
タ線に挿入された転送ゲート回路のオンオフを制御する
方式、がある。
【0009】また、(b)の方式としては更に具体的に
は、(b−1)メモリセルアレイのブロック毎に設けら
れたデータ線センスアンプ回路と、各データ線センスア
ンプ回路へのデータ入出力バッファからのデータ入力経
路にそれぞれ設けられた転送ゲート回路とを備えて、そ
の転送ゲート回路のオンオフを制御する方式、(b−
2)メモリセルアレイのブロック毎に設けられたデータ
線センスアンプ回路と、各データ線センスアンプ回路の
データ入出力バッファ側のデータ入力経路にそれぞれ設
けられた第1の転送ゲート回路と、各データ線センスア
ンプ回路のデータ入出力バッファと反対側のデータ出力
経路にそれぞれ設けられた第2の転送ゲート回路とを備
えて、これら第1及び第2の転送ゲート回路のオンオフ
を制御する方式がある。更に、(b−2)の方式の場合
に、第1及び第2の転送ゲート回路を制御する別々の書
き換え禁止回路を備えてもよい。
【0010】この発明において好ましくは、メモリセル
アレイは、ビット線とプレート線の間に直列接続されて
それぞれ異なるワード線により駆動される複数のトラン
ジスタと、これらの各トランジスタに並列接続された強
誘電体キャパシタとを有する、チェーン構造のものとす
る。
【0011】更にこの発明において、書き換え禁止回路
は、好ましくは、書き換えを禁止すべき領域のアドレス
が書き込まれる強誘電体メモリ回路と、この強誘電体メ
モリ回路に書き込まれたアドレスと外部から入力される
アドレスとの一致検出を行って書き換え禁止信号を出力
するアドレス比較回路とを備えて構成される。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の実施の形態を説明する。 [実施の形態1]図1は、この発明の実施の形態による
強誘電体メモリのブロック構成を示している。メモリセ
ルアレイ1は、複数のブロックBLKi(i=0〜n−
1)に分割されている。メモリセルアレイ1の各ブロッ
クBLKiのビット線は、読み出しデータを検知増幅
し、書き込みデータを保持するセンスアンプ回路2に接
続されている。センスアンプ回路2の端子はカラムゲー
ト3により選択されて、全ブロックに共通に配設された
データ線4に選択的に接続される。
【0013】データ線4の端部にはデータ線センスアン
プ回路5が設けられている。データ線4に読み出された
データはこのデータ線センスアンプ回路5で増幅され
て、データ出力バッファ7を介して入出力端子I/Oに
取り出される。入出力端子I/Oから入力される書き込
みデータは、データ入力バッファ6に取り込まれてデー
タ線4を転送されて、選択されたブロックに供給され
る。
【0014】アドレス端子Addから入力されるアドレ
ス信号は、アドレスバッファ8に取り込まれる。アドレ
ス信号は、メモリセルアレイ1のブロック選択を行うブ
ロックアドレス、ワード線選択を行うロウアドレス、ビ
ット線選択を行うカラムアドレスを含む。これらのブロ
ックアドレス、ロウアドレス、カラムアドレスはそれぞ
れ、ブロックデコーダ9、ロウデコーダ11、カラムデ
コーダ10においてデコードされる。
【0015】メモリセルアレイ1の具体的な構成を、図
2Aに示す。この実施の形態の場合、メモリセルアレイ
1は、複数個(図の場合、8個)のトランジスタQMが
直列接続され、各トランジスタQMに並列に強誘電体キ
ャパシタCMが接続された、チェーン構造を有する。ト
ランジスタQMのゲートはワード線WLにより制御され
る。チェーン構造のメモリセルの一端はプレート線PL
に接続され、他端は選択ゲート21を介してビット線B
L,bBLに接続される。選択ゲート21は、ブロック
デコーダ9のデコード出力により制御されてブロック選
択を行うものである。対をなすビット線BL,bBLは
ビット線センスアンプ回路2の各センスアンプS/Aに
接続され、またカラムゲート2を介してデータ線4(相
補信号線DQ,bDQ)に接続されることになる。
【0016】このチェーン構造のメモリセルアレイで
は、待機状態で全ワード線に昇圧された高電圧が印加さ
れ、トランジスタQMがオン状態に保たれる。即ちこの
待機状態は、全ての強誘電体キャパシタCMの両端が短
絡された状態である。そしてデータ読み出しは、選択さ
れたワード線の電位を“L”とし、選択されたセルのト
ランジスタQMをオフとして、選択されたプレート線P
Lを介して選択された強誘電体キャパシタCMに読み出
し電位を与え、ビット線BLでの電位変化を読むことに
より行われる。このチェーン型強誘電体メモリは、直列
接続されるトランジスタのソース、ドレイン拡散層を隣
接セルで共有することにより、単位セル面積を小さくす
ることかできるという利点を有する。
【0017】この実施の形態では、メモリセルアレイ1
の特定ブロックを指定してデータ書き換えを禁止するた
めの書き換え禁止回路(以下、プロテクト回路という)
12が設けられている。プロテクト回路12は、ブロッ
クアドレスを記憶するブロックアドレスメモリ12a
と、このブロックアドレスメモリ12aが記憶するブロ
ックアドレスと入力されたブロックアドレスとの一致検
出を行うアドレス比較回路12bを有する。プロテクト
回路12は、記憶されたブロックアドレスと入力された
ブロックアドレスの一致検出を行うと、書き換え禁止信
号INHを出力し、この禁止信号INHがデータ入力バ
ッファ6を非活性とする制御を行う。
【0018】プロテクト回路12のブロックアドレスメ
モリ12aは、メモリセルアレイ1のメモリセルと同様
のメモリセルを用いた強誘電体メモリ回路により構成さ
れて、電気的書き換えが可能で且つ、不揮発にブロック
アドレスを記憶するものとする。詳細な説明は省くが、
ブロックアドレスメモリ12aは書き込み回路を有し、
ユーザーがプロテクト機能設定のための制御信号を入力
して書き換えを禁止すべきブロックアドレスを書き込む
ことができるように構成されている。
【0019】以上のようこの実施の形態によると、メモ
リセルアレイの特定のブロック領域を指定して、ここに
は頻繁には書き換えられるべきでない重要なデータを、
誤って書き換えられることがないように保存することが
できる。
【0020】図2Aのセルアレイ構成では、プロテクト
時に選択ゲート21がオフした状態で、ワード線WL、
プレート線PLが駆動されることから、選択されたメモ
リセルの強誘電体キャパシタCMのセルデータに応じて
選択メモリセルから選択ゲートまでの各ノードに電圧が
発生する。通常、非選択ワード線は“H”であり、トラ
ンジスタはオン状態であるため、非選択セルの強誘電体
キャパシタの両端には電位差が発生しないが、プロセス
のばらつき等によりトランジスタのしきい値電圧とセル
データによる発生電圧の関係から、非選択セルの強誘電
体キャパシタの両端に電位差が発生し、キャパシタにデ
ィスターブがかかることが懸念される。
【0021】この点を考慮して、図2Aの構成に対し
て、図2Bに示すように、プレート線PLとセルアレイ
本体の間に、プロテクト回路の出力信号INHにより制
御される転送ゲート22を設けることが好ましい。これ
により、プロテクトされたブロックは、転送ゲート22
がオフ状態となり、メモリセルがプレート線から切り離
されて電圧が印可されず、非選択せるについてもディス
ターブがかからない。
【0022】[実施の形態2]図3は、別の実施の形態
による強誘電体メモリのブロック構成を示している。図
1と対応する部分には、図1と同一符号を付して詳細な
説明は省く。この実施の形態では、データ線4とデータ
線センスアンプ回路5の間に転送ゲート回路(TG)3
1が挿入されている。プロテクト回路12の出力である
禁止信号INHは、書き込みイネーブル信号/WEの反
転信号WEと共にNANDゲート31に入る。NAND
ゲート31は、INH=“H”であり、且つWE=
“H”のときに、転送制御信号TE=“L”を出し、こ
れが転送ゲート回路31のデータ転送をオフ御する。
【0023】図4は、この実施の形態での書き込みサイ
クルの動作を示している。チップイネーブル信号/CE
=“L”、書き込みイネーブル信号/WE=“L”とな
った書き込みサイクルで、プロテクト回路12から禁止
信号INH=“H”が出力されると、転送ゲート回路3
1はオフになる。これにより、プロテクト回路12に保
持されたブロックアドレスが指定された書き込み時の
み、転送ゲート回路31がオフとなり、書き込みデータ
の転送が禁止される。書き込みデータの転送を特定ブロ
ックアドレスについて禁止するという点では、先の実施
の形態と同様である。
【0024】転送ゲート回路31は、書き込み禁止のブ
ロックアドレスが入力された場合以外は、オン状態を保
つ。但し、データ読み出し時においても、一定の時間だ
け転送ゲート回路31をオンとするような制御を行って
もよい。その様な読み出しサイクルの制御例を図5に示
す。この場合、転送ゲート回路31は、ビット線データ
センス時から一定時間のみオンとして、データ線4に読
み出されたデータをデータ線センスアンプ回路5に転送
する。この実施の形態によっても、書き込みデータのメ
モリセルアレイへの転送を、指定されたブロックアドレ
スについて禁止することにより、ブロック単位のプロテ
クト機能を実現することができる。
【0025】[実施の形態3]図6は、別の実施の形態
による強誘電体メモリのブロック構成を示している。こ
の実施の形態でも先の実施の形態と対応する部分には同
じ符号を付して詳細な説明は省く。この実施の形態にお
いては、データ線4が、各ブロックBKLi毎に配置さ
れたローカルデータ線4aと、全ブロックに共通の読み
出しデータ線4b及び書き込みデータ線4cから構成さ
れている。読み出しデータ線4bは出力バッファ7に接
続され、書き込みデータ線4cは入力バッファ6に接続
されている。
【0026】また、各ブロック毎のローカルデータ線4
a毎にデータ線センスアンプ回路5が設けられている。
これらのデータ線センスアンプ回路5は、ブロックデコ
ーダ9の出力により選択されたブロックについて活性化
される。書き込みデータ線4cと各データ線センスアン
プ回路5の間にはそれぞれ転送ゲート回路61が挿入さ
れて、この転送ゲート回路61がプロテクト回路12の
出力である禁止信号INHにより選択的にオンオフ制御
される。
【0027】即ちこの実施の形態では、書き込みモード
において、プロテクト回路12からの禁止信号INHに
より、予めプログラムされたブロック対応の転送ゲート
回路61がオフとなり、そのブロックへのデータ転送が
禁止されて、書き換えが禁止される。従ってこの実施の
形態によっても先の各実施の形態と同様のプロテクト機
能が得られる。
【0028】[実施の形態4]図7は、図6の実施の形
態を更に発展させた実施の形態である。図6に示した転
送ゲート回路61に加えて、この実施の形態では各デー
タ線センスアンプ回路5とローカルデータ線4aと間に
も転送ゲート回路62が挿入されている。この転送ゲー
ト回路62も基本的にプロテクト回路12からの禁止信
号INHによりデータ書き込み時のデータ転送を禁止す
る制御が行われる。即ち、二重のプロテクトがかけられ
ることになる。
【0029】但し、データ線センスアンプ回路5の入力
バッファ6側に配置された転送ゲート回路61と、メモ
リセルアレイ1側に配置された転送ゲート回路62とは
同じ回路構成ではない。何故なら、転送ゲート回路61
は、書き込みデータのメモリセルアレイへの転送を制御
するだけであり、読み出し時は用いられない。言い換え
れば、データ読み出しモードでは、プロテクト回路12
で指定されたブロックについて転送ゲート回路61がオ
フになっても、読み出し動作には支障がない。
【0030】これに対して、もう一方の転送ゲート回路
62は、読み出しデータと書き込みデータが共に転送さ
れる経路上にあるから、書き込みモードにおいてのみ、
プロテクト回路12からの禁止信号INHでオフ制御さ
れるようにすることが必要である。従ってこの転送ゲー
ト回路62には、図3の実施の形態に示したNANDゲ
ート32と同等の論理機能を含むことが必要である。こ
の実施の形態によると、データ書き込み時のデータ転送
経路で二重にプロテクトがかけられ、指定されたブロッ
クについての書き換え禁止が確実に行われる。
【0031】[実施の形態5]図8は、図7の実施の形
態を更に発展させた実施の形態である。この実施の形態
では、転送ゲート回路61,62に対してそれぞれ、プ
ロテクト回路12−1,12−2が設けられている。こ
れらのプロテクト回路12−1,12−2は同様の強誘
電体メモリ回路である。一方のプロテクト回路12−1
の出力である禁止信号INH1は、転送ゲート回路61
を制御し、他方のプロテクト回路12−2の出力である
禁止信号INH2は、転送ゲート回路62を制御する。
【0032】即ちこの実施の形態の場合、書き換えを禁
止すべきブロックアドレスのプログラムを、二つのプロ
テクト回路12−1,12−2のいずれか一方について
行ってもよいし、或いは両方に行ってもよい。例えば、
第1のプロテクト回路12−1で、あるブロックについ
て書き換え禁止を設定し、後に第2のプロテクト回路1
2−2により別のブロックについて書き換え禁止とす
る、といった書き換え禁止領域の追加が容易にできる。
また、二つのプロテクト回路12−1,12−2に同じ
ブロックアドレスを二重にプログラムすることにより、
先の実施の形態4と同様に二重のプロテクトをかけるこ
とも可能である。
【0033】この発明は、上記実施の形態に限られな
い。例えば、実施の形態ではメモリセルアレイがブロッ
ク分割されて、ブロック単位で書き換え禁止制御を行う
ようにしたが、1ブロック内の適当な領域について、或
いはブロック分割されていないメモリセルアレイの適当
な領域について、同様に書き換え禁止の制御を行うこと
が可能である。また、プロテクト回路として実施の形態
では、メモリセルアレイと同じ強誘電体メモリセルを用
いて、ユーザーが任意に書き換え禁止領域を設定できる
例を説明した。この様なプロテクト機能の他、メーカー
が例えばチップ情報等を書き込んでユーザーによるその
データ領域の書き換えを禁止するといった用途にも適用
できる。この様な用途には、プロテクト回路として各種
のフューズ回路を用いることもできる。更に、メモリセ
ル構成は、チェーン構造のものに限らず、DRAMと同
様の1トランジスタ/1キャパシタ構造や2トランジス
タ/2キャパシタ構造を用いた場合もこの発明は有効で
ある。但し、1トランジスタ/1キャパシタ構造や2ト
ランジスタ/2キャパシタ構造のセルを用いた場合は、
チェーン構造セルを用いた場合に選択ゲートをプロテク
ト回路の出力で制御したように、ワード線をプロテクト
回路により制御することが必要になる。
【0034】
【発明の効果】以上述べたようにこの発明によれば、書
き込みデータの転送を制御することにより特定領域のデ
ータ書き換えを禁止したプロテクト機能を持つ強誘電体
メモリが得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施の形態1による強誘電体メモリ
のブロック構成を示す図である。
【図2A】同実施の形態のメモリセルアレイの構成を示
す図である。
【図2B】同実施の形態のメモリセルアレイの他の構成
を示す図である。
【図3】この発明の実施の形態2による強誘電体メモリ
のブロック構成を示す図である。
【図4】同実施の形態の書き込み禁止動作を説明するた
めのタイミング図である。
【図5】同実施の形態の読み出し動作の例を示すタイミ
ング図である。
【図6】この発明の実施の形態3による強誘電体メモリ
のブロック構成を示す図である。
【図7】この発明の実施の形態4による強誘電体メモリ
のブロック構成を示す図である。
【図8】この発明の実施の形態5による強誘電体メモリ
のブロック構成を示す図である。
【符号の説明】
1…メモリセルアレイ、2…ビット線センスアンプ回
路、3…カラムゲート、4…データ線、5…データ線セ
ンスアンプ回路、6…データ入力バッファ、7…データ
出力バッファ、8…アドレスバッファ、9…ブロックデ
コーダ、10…カラムデコーダ、11…ロウデコーダ、
12…プロテクト回路、12a…ブロックアドレス記憶
回路、12b…アドレス比較回路、31…転送ゲート回
路、32…NANDゲート、61,62…転送ゲート回
路。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 5B024 AA15 BA02 BA21 BA25 BA29 CA07 CA16

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 強誘電体キャパシタを有するメモリセル
    が配列されたメモリセルアレイと、 このメモリセルアレイのメモリセルを選択するデコード
    回路と、 前記メモリセルアレイのビット線に接続されるビット線
    センスアンプ回路と、 このビット線センスアンプ回路とデータ入出力端子の間
    のデータ転送を制御するデータ入出力バッファと、 前記メモリセルアレイの特定の領域を指定してその領域
    へのデータ転送をオフとして書き換えを禁止する書き換
    え禁止回路とを有することを特徴とする強誘電体メモ
    リ。
  2. 【請求項2】 前記メモリセルアレイは、複数のブロッ
    クに分割され、 前記書き換え禁止回路は、特定のブロックを指定してそ
    のブロックへのデータ転送をオフとして書き換えを禁止
    するものであることを特徴とする請求項1記載の強誘電
    体メモリ。
  3. 【請求項3】 前記書き換え禁止回路は、前記データ入
    出力バッファの中のデータ入力バッファの活性、非活性
    を制御するものであることを特徴とする請求項1記載の
    強誘電体メモリ。
  4. 【請求項4】 前記書き換え禁止回路は、前記データ入
    出力バッファと前記ビット線センスアンプ回路の間にあ
    るデータ線に挿入された転送ゲート回路のオンオフを制
    御するものであることを特徴とする請求項1記載の強誘
    電体メモリ。
  5. 【請求項5】 前記メモリセルアレイのブロック毎に設
    けられたデータ線センスアンプ回路と、 各データ線センスアンプ回路への前記データ入出力バッ
    ファからのデータ入力経路にそれぞれ設けられた転送ゲ
    ート回路とを有し、 前記書き換え禁止回路は、前記転送ゲート回路のオンオ
    フを制御するものであることを特徴とする請求項2記載
    の強誘電体メモリ。
  6. 【請求項6】 前記メモリセルアレイのブロック毎に設
    けられたデータ線センスアンプ回路と、 各データ線センスアンプ回路の前記データ入出力バッフ
    ァ側のデータ入力経路にそれぞれ設けられた第1の転送
    ゲート回路と、 前記各データ線センスアンプ回路の前記データ入出力バ
    ッファと反対側のデータ出力経路にそれぞれ設けられた
    第2の転送ゲート回路とを有し、 前記書き換え禁止回路は、前記第1及び第2の転送ゲー
    ト回路のオンオフを制御するものであることを特徴とす
    る請求項2記載の強誘電体メモリ。
  7. 【請求項7】 前記メモリセルアレイのブロック毎に設
    けられたデータ線センスアンプ回路と、 各データ線センスアンプ回路の前記データ入出力バッフ
    ァ側のデータ入力経路にそれぞれ設けられた第1の転送
    ゲート回路と、 前記各データ線センスアンプ回路の前記データ入出力バ
    ッファと反対側のデータ出力経路にそれぞれ設けられた
    第2の転送ゲート回路とを有し、 前記書き換え禁止回路は、前記第1の転送ゲート回路の
    オンオフを制御する第1の書き換え禁止回路と前記第2
    の転送ゲート回路のオンオフを制御する第2の書き換え
    禁止回路とを有することを特徴とする請求項2記載の強
    誘電体メモリ。
  8. 【請求項8】 前記メモリセルアレイは、ビット線とプ
    レート線の間に直列接続されてそれぞれ異なるワード線
    により駆動される複数のトランジスタと、これらの各ト
    ランジスタに並列接続された強誘電体キャパシタとを有
    することを特徴とする請求項1記載の強誘電体メモリ。
  9. 【請求項9】 前記書き換え禁止回路は、 書き換えを禁止すべき領域のアドレスが書き込まれる強
    誘電体メモリ回路と、 この強誘電体メモリ回路に書き込まれたアドレスと外部
    から入力されるアドレスとの一致検出を行って書き換え
    禁止信号を出力するアドレス比較回路とを有することを
    特徴とする請求項1記載の強誘電体メモリ。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004227565A (ja) * 2003-01-24 2004-08-12 Hynix Semiconductor Inc 不揮発性強誘電体メモリを利用した直列バス制御装置
JP2010061788A (ja) * 2002-11-12 2010-03-18 Hynix Semiconductor Inc 不揮発性強誘電体メモリの制御装置
CN110085271B (zh) * 2014-07-23 2023-06-13 纳姆实验有限责任公司 禁止对FeFET存储器电路进行编程的方法及电路

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