JP2001227999A - 容量形電磁流量計 - Google Patents

容量形電磁流量計

Info

Publication number
JP2001227999A
JP2001227999A JP2000038307A JP2000038307A JP2001227999A JP 2001227999 A JP2001227999 A JP 2001227999A JP 2000038307 A JP2000038307 A JP 2000038307A JP 2000038307 A JP2000038307 A JP 2000038307A JP 2001227999 A JP2001227999 A JP 2001227999A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
flow
type electromagnetic
measurement
tube
flow rate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000038307A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroshi Kusuyama
浩史 楠山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yokogawa Electric Corp filed Critical Yokogawa Electric Corp
Priority to JP2000038307A priority Critical patent/JP2001227999A/ja
Publication of JP2001227999A publication Critical patent/JP2001227999A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Volume Flow (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 微少流量まで測定が可能となり且つ安価な容
量形電磁流量を提供する。 【解決手段】 測定流体が流れる測定管を具備する容量
形電磁流量計において、所定の流量が得られるように前
記測定管の管軸附近に前記測定管の流路断面積を塞いで
設けられた柱状の流量障害物体と、この流量障害物体の
両端にそれぞれ設けられ一方側が前記測定管の内径周面
に固定され他方側が前記流量障害物体を前記測定管内に
支持する支持体とを具備したことを特徴とする容量形電
磁流量計である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、微少流量まで測定
が出来、且つ安価な容量形電磁流量計に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】図6は従来より一般に使用されている従
来例の構成説明図で、例えば、特開平08−27817
5号に示されている。図7は図6の縦断面図である。
【0003】20は絶縁性の測定管であり、この測定管
20は、例えばセラミックスなどの材料で形成され、円
筒状をなしている。測定管20の軸方向の中央部は外周
面が肉薄の凹部20Aとして形成され、これらの軸方向
の両外側に肉厚の端部20B、20Cが形成されてい
る。
【0004】例えば、ステンレスで作られた円筒状のケ
ース21の端面部21A、21Bは、リング状に形成さ
れ、これらの端面部21Aと21Bの間は、円筒部21
Cが溶接により固定されている。
【0005】そして、このケース21の内部には測定管
20が挿入され、その端部20B、20Cと端面部21
A、21Bとの間には、それぞれOリング22A、22
Bが挿入されて気密が確保されている。さらに、ケース
21には、その軸に垂直に矩形状の接続筒21Dが固定
され、この上に変換器(図示せず)が搭載される。
【0006】測定管20の凹部20Aの中央の表面に
は、検出電極23Aと23Bが、測定管20の軸に対し
て半径方向に対向して、導電体を密着する形として面状
に形成されている。
【0007】この検出電極23Aと23Bの上には、検
出電極23Aと23Bとが離間されてこれ等を覆うよう
に、箱形状のガードケース24A、24Bが測定管20
の外面に固定されている。
【0008】また、ガードケース24A、24Bの周囲
の凹部20Aの表面には、測定管20の端部20B、2
0Cに至るまで、全面に亘って導電性のガード電極25
A、25Bが測定管20の頂部と底部で左右に分割され
て形成された間隙26、27を挟んで形成されている。
【0009】そして、これらのガード電極25A、25
Bは、それぞれガードケース24A、24Bと電気的に
接続されている。
【0010】この間隙26、27の各々を覆うように、
ガード電極25A、25Bとは絶縁性塗料などで絶縁さ
れた状態で、これらの周面に円弧状に導電性のダンピン
グ箔28A、28Bが固定されている。これ等のダンピ
ング箔28A、28Bは、それぞれリード線29によ
り、基準電位点30に固定されている。
【0011】これ等のダンピング箔28A、28Bは、
例えば、銅、黄銅、ステンレスなどで構成される。励磁
周波数が高くなると、このダンピング箔28A、28B
の厚みが大きいときには、ここで発生する渦電流が大き
くなる。
【0012】これによって生じる反磁界によって、磁場
変動の時定数が大きくなり、信号のサンプリング時まで
に、磁場が整定せず誤差要因を作るので、これ等の厚み
は200μm以下に選定される。
【0013】また、ダンピング箔28A、28Bは、間
隙26、27を覆うように形成される結果、後述する励
磁コイルから間隙26、27を通して、検出電極23A
と23Bに浮遊容量を介して静電結合されて生じる誘導
ノイズに起因する、ゼロ点変動を低減させ、安定な測定
をも可能とする。
【0014】そして、これらのポールピースコア29
A、29Bの周囲には、それぞれ励磁コイル31A、3
1Bが巻回され、励磁リード線32A、32Bがケース
21の接続筒21Dに引き出されている。
【0015】励磁コイル31A、31Bはその周囲に、
静電シールド用のシールド箔33A、33Bが巻回され
ており、リード線34A、34Bにより接続筒21Dを
介して基準電位点30(接地電位)に接続されている。
【0016】これらのポールピースコア29A、29B
の他端面には、円筒状に形成され成層された帰還コア3
5が配置され、2つのポールピースコア29A、29B
はネジ36A、36B、及び37A、37Bにより、そ
れぞれ一体にネジ止めされている。
【0017】一方、検出電極23Aと23Bからは、信
号リード線38A、38Bが、ガードケース24A、2
4Bと円筒状の帰還コア35をクロスして、ケース21
の接続筒21Dを介して変換器部(図示せず)に導出さ
れている。
【0018】同様に、ガードケース24A、24Bから
も、帰還コア35をクロスして、ケース21の接続筒2
1Dを介して、信号リード線38A、38Bとは絶縁さ
れて共に変換器部(図示せず)にリード線39A、39
Bにより導出されている。
【0019】接続筒21Dの中には、シールド板40が
挿入され、励磁リード線32A、32B側と信号リード
線38A、38B側とを物理的に分離している。れによ
り、高電圧である励磁リード線32A、32B側から低
電圧である信号リード線38A、38B側への静電誘導
を防止している。
【0020】そして、ガードケース24A、24Bの内
部には、例えば絶縁性で自己接着性のあるシリコーン樹
脂が充填され、ガードケース24A、24Bを除くケー
ス21と測定管20の外面との間、および接続筒21D
との間は、例えばエポキシ樹脂などですべて充填され、
耐湿性、耐振性、耐候性を確保されている。
【0021】リード線39A、39Bには、変換器(図
示せず)側から、低インピーダンスで信号リード線38
A、38Bの電位と同一の電位が印加される。
【0022】これにより、測定管20の表面は、ガード
ケース24A、24Bを含めて検出電極23A、32B
を除く実質的な全面が、信号電位と同一の電位となり、
信号リード線38A、38Bを含めて浮遊容量の影響が
除去されている。これらは高インピーダンス回路を構成
するので特にこのような配慮がなされている。
【0023】以上の構成において、励磁コイル31Aと
31Bは、例えば、磁場が同一方向を向くように直列に
接続され、励磁リード線32A、32Bを介して変換器
(図示せず)側から、例えば、商用周波数より高い周波
数を持つ矩形波状の励磁電流が流されて、測定管20の
中に流れる測定流体に印加される。
【0024】これにより、測定管20の中には、測定流
体の流量に対応した起電力が発生する。この起電力は、
測定流体と検出電極23A、32Bとの間で形成される
測定管20の静電容量CP1、CP2を介して検出さ
れ、信号リード線38A、38Bを通して変換器(図示
せず)側に伝送され、電気信号としての流量信号に変換
される。
【0025】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな容量形電磁流量計においては、上記に説明した如
く、種々の多数の部品からなるため、部品の小型化が必
要になる小口径用の容量形電磁流量計では、小型化に伴
う技術的課題や製造コストが掛り高価な電磁流量計とな
るので、実用化が困難であった。
【0026】例えば、測定管の口径が10mm以下で
は、口径が小さいと、それに対応して検出電極23A,
23Bの面積が小さくなり、信号源インピーダンスが非
常に大きくなるため、実現出来なかった。
【0027】本発明の目的は、上記の課題を解決するも
ので、微少流量まで測定が可能となり且つ安価な容量形
電磁流量を提供することにある。
【0028】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明では、請求項1の容量形電磁流量計に
おいては、測定流体が流れる測定管を具備する容量形電
磁流量計において、所定の流量が得られるように前記測
定管の管軸附近に前記測定管の流路断面積を塞いで設け
られた柱状の流量障害物体と、この流量障害物体の両端
にそれぞれ設けられ一方側が前記測定管の内径周面に固
定され他方側が前記流量障害物体を前記測定管内に支持
する支持体とを具備したことを特徴とする。
【0029】本発明の請求項2の容量形電磁流量計にお
いては、請求項1記載の容量形電磁流量計において、前
記流量障害物体は前記所定の流量が前記測定管内内径面
に均等に沿って流れるように前記支持体に支持されたこ
とを特徴とする。
【0030】本発明の請求項3の容量形電磁流量計にお
いては、請求項1又は請求項2記載の容量形電磁流量計
において、前記流量障害物体は円柱形状であることを特
徴とする。
【0031】本発明の請求項4の容量形電磁流量計にお
いては、請求項1乃至請求項3の何れかに記載の容量形
電磁流量計において、前記支持体は、一方側が前記測定
管の内径周面に固定され他方側が前記流量障害物体を前
記測定管内に支持する支持板と、この支持板に設けられ
前記所定の流量が通過する通過窓とを具備したことを特
徴とする。
【0032】本発明の請求項5の容量形電磁流量計にお
いては、請求項4記載の容量形電磁流量計において、前
記支持板は前記流量障害物体と同心円状断面を有するこ
とを特徴とする。
【0033】本発明の請求項6の容量形電磁流量計にお
いては、請求項4又は請求項5記載の容量形電磁流量計
において、前記通過窓として前記支持板を貫通する貫通
孔が使用されたことを特徴とする。
【0034】本発明の請求項7の容量形電磁流量計にお
いては、請求項4又は請求項5記載の容量形電磁流量計
において、前記通過窓として前記支持板に設けられた切
欠き部が使用されたことを特徴とする。
【0035】本発明の請求項8の容量形電磁流量計にお
いては、請求項1乃至請求項3の何れかに記載の容量形
電磁流量計において、前記支持体として、一端が前記測
定管の内径周面に固定され他端が前記流量障害物体を前
記測定管内に支持する少なくとも2個の脚部を具備した
ことを特徴とする。
【0036】本発明の請求項9の容量形電磁流量計にお
いては、請求項8記載の容量形電磁流量計において、前
記脚部は測定流体の流れ方向に対する断面が流線形に形
成されたことを特徴とする。
【0037】
【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明を詳しく
説明する。図1は本発明の一実施例の要部構成説明図、
図2は図1の要部構成説明図である。
【0038】図において、図6と同一記号の構成は同一
機能を表す。以下、図6と相違部分のみ説明する。
【0039】図において、流量障害物体51は、所定の
流量が得られるように、例えば、口径10mmに相当す
る流量が得られるように、測定管20の管軸附近に、測
定管20の流路断面積を塞いで設けられている。
【0040】支持体52は、この流量障害物体51の両
端にそれぞれ設けられ、一方521側が測定管20の内
径周面に固定され、他方522側が流量障害物体51を
測定管20内に支持する。
【0041】この場合は、流量障害物体51は、所定の
流量が測定管20内内径面に均等に沿って流れるよう
に、支持体52に支持されている。流量障害物体51
は、円柱形状である。
【0042】この場合は、支持体52は、一方521側
が測定管20の内径周面に固定され、他方522側が流
量障害物体51を測定管20内に支持する支持板523
と、この支持板523に設けられ、所定の流量が通過す
る通過窓524とを有する。
【0043】また、支持板523は、流量障害物体51
と同心円状断面を有している。通過窓としては、支持板
523を貫通する貫通孔525が使用されている。
【0044】以上の構成において、励磁コイル31Aと
31Bに励磁電流が流されて、測定管20の中に流れる
測定流体Flに印加される。
【0045】これにより、測定管20の中には、測定流
体Flの流量に対応した起電力が発生する。この起電力
は、測定流体Flと検出電極23A、32Bとの間で形
成される測定管20の静電容量CP1、CP2を介して
検出され、信号リード線38A、38Bを通して変換器
(図示せず)側に伝送されて、電気信号としての流量信
号に変換される。
【0046】この結果、 (1)測定管20の管軸附近に流量障害物体51が設け
られたので、同じ流量断面積でも、検出面電極23A,
23Bの近くに対向する測定流体Flの面積が広く出来
るため、大きな検出出力が得られ、部品の小型化を図る
こと無く、例えば、測定管20の口径が10mm以下に
相当する微少流量の測定が可能となり、且つ、安価な容
量形電磁流量計が得られる。
【0047】(2)流量障害物体51と支持体52と
を、測定管20内に挿入すれば良いので、安価な容量形
電磁流量計が得られる。
【0048】(3)流量障害物体51は、所定の流量が
測定管20内内径面に均等に沿って流れるように支持体
52に支持されたので、測定流体Flが測定管20内内
径面に均等に沿って流れ、検出信号の安定化が図れる容
量形電磁流量計が得られる。
【0049】(4)流量障害物体51は円柱形状である
ので、測定流体Flの流れが対称形であるために、流れ
が乱れず、検出信号が安定して測定出来る容量形電磁流
量計が得られる。
【0050】(5)支持板523と、支持板523に設
けられ所定の流量が通過する通過窓524とが設けられ
たので、通過窓524が整流作用をなし、測定流体Fl
に流れを乱すこと無く、安定に流量障害物体51を保持
することが出来る容量形電磁流量計が得られる。
【0051】(6)支持板523は、流量障害物体51
と同心円状断面を有するので、測定流体Flの流れが対
称形となり、流れが乱れず、検出信号が安定して測定出
来る容量形電磁流量計が得られる。
【0052】(7)通過窓として、支持板523を貫通
する貫通孔525が使用されたので、支持板523の強
度を損なうことが無く、堅牢な容量形電磁流量計が得ら
れる。
【0053】図3は本発明の他の実施例の要部構成説明
図である。本実施例においては、通過窓として支持板5
23に設けられた切欠き部526が使用されている。
【0054】この結果、通過窓として、支持板523に
設けられた切欠き部526が使用されたので、切欠き部
526は製作し易く安価な容量形電磁流量計が得られ
る。
【0055】図4は本発明の他の実施例の要部構成説明
図である。本実施例においては、支持体523として、
一端が測定管20の内径周面に固定され、他端が流量障
害物体51を測定管20内に支持する少なくとも2個の
脚部527が、設けられたものである。
【0056】この場合は、3本を1組とする脚部527
が、流量障害物体51の両端に設けられ、図5に示す如
く、脚部527が測定流体Flの流れ方向に対する断面
が流線形に形成されたている。
【0057】この結果、 (1)脚部527は製作し易く安価な容量形電磁流量計
が得られる。 (2)脚部527が測定流体Flの流れ方向に対する断
面が流線形に形成されたので、測定流体Flの流れが乱
れず、検出信号が安定して測定出来る容量形電磁流量計
が得られる。
【0058】なお、以上の説明は、本発明の説明および
例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎな
い。したがって本発明は、上記実施例に限定されること
なく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、
変形をも含むものである。
【0059】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の請求項1
によれば、次のような効果がある。 (1)測定管の管軸附近に流量障害物体が設けられたの
で、同じ流量断面積でも、検出面電極の近くに対向する
測定流体の面積が広く出来るため、大きな検出出力が得
られ、部品の小型化を図ること無く、微少流量の測定が
可能となり、且つ、安価な容量形電磁流量計が得られ
る。
【0060】(2)また、流量障害物体と支持体とを、
測定管内に挿入すれば良いので、安価な容量形電磁流量
計が得られる。
【0061】本発明の請求項2によれば、次のような効
果がある。流量障害物体は、所定の流量が測定管内内径
面に均等に沿って流れるように支持体に支持されたの
で、測定流体が測定管内内径面に均等に沿って流れ、検
出信号の安定化が図れる容量形電磁流量計が得られる。
【0062】本発明の請求項3によれば、次のような効
果がある。流量障害物体は円柱形状であるので、測定流
体の流れが対称形であるために、流れが乱れず、検出信
号が安定して測定出来る容量形電磁流量計が得られる。
【0063】本発明の請求項4によれば、次のような効
果がある。支持板と、支持板に設けられ所定の流量が通
過する通過窓とが設けられたので、通過窓が整流作用を
なし、測定流体に流れを乱すこと無く安定に流量障害物
体を保持することが出来る容量形電磁流量計が得られ
る。
【0064】本発明の請求項5によれば、次のような効
果がある。支持板は流量障害物体と同心円状断面を有す
るので、測定流体の流れが対称形となり、流れが乱れ
ず、検出信号が安定して測定出来る容量形電磁流量計が
得られる。
【0065】本発明の請求項6によれば、次のような効
果がある。通過窓として、支持板を貫通する貫通孔が使
用されたので、支持板の強度を損なうことが無く、堅牢
な容量形電磁流量計が得られる。
【0066】本発明の請求項7によれば、次のような効
果がある。通過窓として、支持板に設けられた切欠き部
が使用されたので、切欠き部は製作し易く安価な容量形
電磁流量計が得られる。
【0067】本発明の請求項8によれば、次のような効
果がある。脚部は製作し易く安価な容量形電磁流量計が
得られる。
【0068】本発明の請求項9によれば、次のような効
果がある。脚部は測定流体の流れ方向に対する断面が流
線形に形成されたので、測定流体の流れが乱れず、検出
信号が安定して測定出来る容量形電磁流量計が得られ
る。
【0069】従って、本発明によれば、微少流量まで測
定が可能となり且つ安価な容量形電磁流量を実現するこ
とが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図2】図1の要部詳細説明図である。
【図3】本発明の他の実施例の要部構成説明図
【図4】本発明の他の実施例の要部構成説明図
【図5】図4のA−A断面図である。
【図6】従来より一般に使用されている従来例の要部構
成説明図である。
【図7】図6の縦断面図である。
【符号の説明】
20 測定管 20A 凹部 20B 端部 20C 端部 21 ケース 21A 端面部 21B 端面部 21C 円筒部 21D 接続筒 22A Oリング 22B Oリング 23A 検出電極 23B 検出電極 24A ガードケース 24B ガードケース 25A ガード電極 25B ガード電極 26 間隙 27 間隙 28A ダンピング箔 28B ダンピング箔 29 リード線 29A ポールピースコア 29B ポールピースコア 30 基準電位点 31A 励磁コイル 31B 励磁コイル 32A 励磁リード線 32B 励磁リード線 33A シールド箔 33B シールド箔 34A リード線 34B リード線 35 帰還コア 36A ネジ 36B ネジ 37A ネジ 37B ネジ 37B リード線 38A 信号リード線 38B 信号リード線 38A リード線 38B リード線 40 シールド板 51 流量障害物体 52 支持体 521 一方 522 他方 523 支持板 524 通過窓 525 貫通孔 526 切欠き部 527 脚部 Fl 測定流体

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】測定流体が流れる測定管を具備する容量形
    電磁流量計において、 所定の流量が得られるように前記測定管の管軸附近に前
    記測定管の流路断面積を塞いで設けられた柱状の流量障
    害物体と、 この流量障害物体の両端にそれぞれ設けられ一方側が前
    記測定管の内径周面に固定され他方側が前記流量障害物
    体を前記測定管内に支持する支持体とを具備したことを
    特徴とする容量形電磁流量計。
  2. 【請求項2】前記流量障害物体は前記所定の流量が前記
    測定管内内径面に均等に沿って流れるように前記支持体
    に支持されたことを特徴とする請求項1記載の容量形電
    磁流量計。
  3. 【請求項3】前記流量障害物体は円柱形状であることを
    特徴とする請求項1又は請求項2記載の容量形電磁流量
    計。
  4. 【請求項4】前記支持体は、一方側が前記測定管の内径
    周面に固定され他方側が前記流量障害物体を前記測定管
    内に支持する支持板と、 この支持板に設けられ前記所定の流量が通過する通過窓
    とを具備したことを特徴とする請求項1乃至請求項3の
    何れかに記載の容量形電磁流量計。
  5. 【請求項5】前記支持板は前記流量障害物体と同心円状
    断面を有することをを特徴とする請求項4記載の容量形
    電磁流量計。
  6. 【請求項6】前記通過窓として前記支持板を貫通する貫
    通孔が使用されたことを特徴とする請求項4又は請求項
    5記載の容量形電磁流量計。
  7. 【請求項7】前記通過窓として前記支持板に設けられた
    切欠き部が使用されたことを特徴とする請求項4又は請
    求項5記載の容量形電磁流量計。
  8. 【請求項8】前記支持体として、一端が前記測定管の内
    径周面に固定され他端が前記流量障害物体を前記測定管
    内に支持する少なくとも2個の脚部を具備したことを特
    徴とする請求項1乃至請求項3の何れかに記載の容量形
    電磁流量計。
  9. 【請求項9】前記脚部は測定流体の流れ方向に対する断
    面が流線形に形成されたことを特徴とする請求項8記載
    の容量形電磁流量計。
JP2000038307A 2000-02-16 2000-02-16 容量形電磁流量計 Pending JP2001227999A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000038307A JP2001227999A (ja) 2000-02-16 2000-02-16 容量形電磁流量計

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000038307A JP2001227999A (ja) 2000-02-16 2000-02-16 容量形電磁流量計

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001227999A true JP2001227999A (ja) 2001-08-24

Family

ID=18562067

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000038307A Pending JP2001227999A (ja) 2000-02-16 2000-02-16 容量形電磁流量計

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2001227999A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1302694A2 (en) 2001-10-10 2003-04-16 Toyo Tire & Rubber Co., Ltd . Vibration-isolating device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1302694A2 (en) 2001-10-10 2003-04-16 Toyo Tire & Rubber Co., Ltd . Vibration-isolating device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100564978B1 (ko) 용량식 전자 유량계
US20080303511A1 (en) Precision flexible current sensor
US10197601B2 (en) High bandwidth Rogowski transducer with screened coil
CN106950515B (zh) 磁传感器及具备其的电流传感器
JP2018066651A (ja) 磁気センサ用インダクタンス素子及びこれを備える電流センサ
RU2411454C2 (ru) Магнитно-индуктивный измерительный преобразователь
KR20230027087A (ko) Rf 전압 및 전류(v-i) 센서 및 측정 방법
JP6272500B2 (ja) 磁気流量計のための改善された磁性コア構成
US2734380A (en) mittelmann
JP2004518144A (ja) 位置測定装置
CN110753850B (zh) 超小型高灵敏磁传感器
JP2001227999A (ja) 容量形電磁流量計
JP3458377B2 (ja) 容量式電磁流量計
JP2001304927A (ja) 電磁流量計
US7138808B2 (en) Movable apparatus, a measuring apparatus, a capacitive distance sensing apparatus, and a positioning device
JP2001241982A (ja) 容量形電磁流量計
JP3047283B2 (ja) 容量式電磁流量計
JP3047282B2 (ja) 容量式電磁流量計
JP4248324B2 (ja) アクチュエータ
EP1057136B1 (en) Induction sensor
JPS63273001A (ja) 変位測定装置
JP4642698B2 (ja) スピーカー
JPH1090381A (ja) 磁気検出素子
JPH10153564A (ja) 液体の導電率測定センサ及び導電率測定センサ用アダプタ
JPH04216401A (ja) 渦電流測定法による変位トランスデューサ測定シーケンスを平衡させるための方法および装置