JP2001221692A - 真空槽内部の温度測定装置 - Google Patents
真空槽内部の温度測定装置Info
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- JP2001221692A JP2001221692A JP2000071293A JP2000071293A JP2001221692A JP 2001221692 A JP2001221692 A JP 2001221692A JP 2000071293 A JP2000071293 A JP 2000071293A JP 2000071293 A JP2000071293 A JP 2000071293A JP 2001221692 A JP2001221692 A JP 2001221692A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 熱電対を用いて真空槽内部の温度を測定する
に際して、異種金属との接続によって温度測定誤差を生
ずることがなく、複数の熱電対の外部引出しを容易に行
わせるようにする。 【構成】 真空槽に設けられているフランジ孔に、内部
に熱電対のラインが絶縁性の充填剤によって封入された
熱電対導出管を密閉型の固定部材を介して取り付けて、
その熱電対導出管を通して熱電対のラインを真空槽の外
部に引き出すようにした真空槽内部の温度測定装置。
に際して、異種金属との接続によって温度測定誤差を生
ずることがなく、複数の熱電対の外部引出しを容易に行
わせるようにする。 【構成】 真空槽に設けられているフランジ孔に、内部
に熱電対のラインが絶縁性の充填剤によって封入された
熱電対導出管を密閉型の固定部材を介して取り付けて、
その熱電対導出管を通して熱電対のラインを真空槽の外
部に引き出すようにした真空槽内部の温度測定装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空槽内部の温度を測
定する真空槽内部の温度測定装置に関する。
定する真空槽内部の温度測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、太陽電池の製造に際してガラス
基板の表面に電極を真空蒸着により薄膜形成させる真空
成膜装置や、真空中で熱処理を行う真空加熱炉などに用
いられる真空槽の内部に置かれた被処理物の温度を正確
に測定することは、工程を管理するうえで重要である。
基板の表面に電極を真空蒸着により薄膜形成させる真空
成膜装置や、真空中で熱処理を行う真空加熱炉などに用
いられる真空槽の内部に置かれた被処理物の温度を正確
に測定することは、工程を管理するうえで重要である。
【０００３】その際、特にその被処理物の表面積が大き
い場合には、各部位の温度に差を生じて、形成される薄
膜や加熱処理された試料の特性に分布むらを生じてしま
う。その解決策を決定し、処理結果を検証するために
は、被処理物の各部位の温度を測定して、その温度分布
状態を把握する必要がある。
い場合には、各部位の温度に差を生じて、形成される薄
膜や加熱処理された試料の特性に分布むらを生じてしま
う。その解決策を決定し、処理結果を検証するために
は、被処理物の各部位の温度を測定して、その温度分布
状態を把握する必要がある。
【０００４】従来、真空槽の内部温度の測定には、放射
温度計を用いて真空槽に設置したのぞき窓（ビューポー
ト）から赤外光を測定することによって非接触で間接的
に内部温度を測定するようにしている。
温度計を用いて真空槽に設置したのぞき窓（ビューポー
ト）から赤外光を測定することによって非接触で間接的
に内部温度を測定するようにしている。
【０００５】しかし、それではのぞき窓の汚れなどによ
る測定誤差や放射温度計の温度分解能が悪いという測定
精度の問題があり、また測定エリアが広くなって局所的
な温度測定を行うことができない等の問題がある。
る測定誤差や放射温度計の温度分解能が悪いという測定
精度の問題があり、また測定エリアが広くなって局所的
な温度測定を行うことができない等の問題がある。
【０００６】また、従来、図７に示すように、真空槽１
の内部に置かれた被処理物２の温度を熱電対３によって
測定するようにしている。
の内部に置かれた被処理物２の温度を熱電対３によって
測定するようにしている。
【０００７】その際、真空槽１のフランジ孔４に外部引
出し用の端子１１が設けられたコネクタ１２を取り付け
て、真空槽１の内部に置かれた被処理物２の温度を検出
する熱電対３の信号をコネクタ１２を介して外部に取り
出すようにしている。
出し用の端子１１が設けられたコネクタ１２を取り付け
て、真空槽１の内部に置かれた被処理物２の温度を検出
する熱電対３の信号をコネクタ１２を介して外部に取り
出すようにしている。
【０００８】しかし、それでは熱電対３と外部引出し用
の端子１１との異種金属の接続が問題となり、その異種
金属間での温度差が測定温度の誤差要因となっている。
の端子１１との異種金属の接続が問題となり、その異種
金属間での温度差が測定温度の誤差要因となっている。
【０００９】また、コネクタ１２における外部引出用の
端子１１の設置数に制限があって、被処理物２の各部位
の温度を測定する複数の熱電対３を１つのコネクタ１２
から外部に引き出すことが困難になっている。複数の熱
電対３を真空槽１の外部に引き出すために、フランジ孔
４を複数設けて、それぞれにコネクタ１２を取り付ける
ようにするのでは、フランジ孔４の設置数の点で問題が
ある。
端子１１の設置数に制限があって、被処理物２の各部位
の温度を測定する複数の熱電対３を１つのコネクタ１２
から外部に引き出すことが困難になっている。複数の熱
電対３を真空槽１の外部に引き出すために、フランジ孔
４を複数設けて、それぞれにコネクタ１２を取り付ける
ようにするのでは、フランジ孔４の設置数の点で問題が
ある。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】解決しようとする問題
点は、真空槽の内部に置かれた被処理物の温度を熱電対
によって測定するに際して、真空槽のフランジ孔に外部
引出し用の端子が設けられたコネクタを取り付けて、熱
電対６の信号をそのコネクタを介して外部に取り出すよ
うにするのでは、熱電対と外部引出し用の端子との異種
金属の接続によって測定温度に誤差を生じてしまうこと
である。
点は、真空槽の内部に置かれた被処理物の温度を熱電対
によって測定するに際して、真空槽のフランジ孔に外部
引出し用の端子が設けられたコネクタを取り付けて、熱
電対６の信号をそのコネクタを介して外部に取り出すよ
うにするのでは、熱電対と外部引出し用の端子との異種
金属の接続によって測定温度に誤差を生じてしまうこと
である。
【００１１】また、コネクタにおける外部引出用の端子
の設置数に制限があって、被処理物の各部位の温度を測
定する複数の熱電対を１つのコネクタから外部に引き出
すこどが困難になっていることである。
の設置数に制限があって、被処理物の各部位の温度を測
定する複数の熱電対を１つのコネクタから外部に引き出
すこどが困難になっていることである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明による真空槽内部
の温度測定装置は、熱電対を用いて真空槽内部の温度を
測定するに際して、異種金属との接続によって温度測定
誤差を生ずることがないようにするとともに、複数の熱
電対の外部引出しを容易に行わせるべく、真空槽に設け
られているフランジ孔に、内部に熱電対のラインが絶縁
性の充填剤によって封入された熱電対導出管を密閉型の
固定部材を介して取り付けて、その熱電対導出管を通し
て熱電対のラインを真空槽の外部に引き出すようにして
いる。
の温度測定装置は、熱電対を用いて真空槽内部の温度を
測定するに際して、異種金属との接続によって温度測定
誤差を生ずることがないようにするとともに、複数の熱
電対の外部引出しを容易に行わせるべく、真空槽に設け
られているフランジ孔に、内部に熱電対のラインが絶縁
性の充填剤によって封入された熱電対導出管を密閉型の
固定部材を介して取り付けて、その熱電対導出管を通し
て熱電対のラインを真空槽の外部に引き出すようにして
いる。
【００１３】
【実施例】本発明による真空槽内部の温度測定装置は、
図１に示すように、真空槽１の内部に置かれた被処理物
２の温度を熱電対３によって測定するに際して、真空槽
１に設けられているフランジ孔４に、内部に熱電対３の
ラインが絶縁性の充填材料によって封入された熱電対導
出管５を密閉型の固定部材６を介して取り付けて、その
熱電対導出管５を通して熱電対３のラインを真空槽１の
外部に直接引き出すようにしている。
図１に示すように、真空槽１の内部に置かれた被処理物
２の温度を熱電対３によって測定するに際して、真空槽
１に設けられているフランジ孔４に、内部に熱電対３の
ラインが絶縁性の充填材料によって封入された熱電対導
出管５を密閉型の固定部材６を介して取り付けて、その
熱電対導出管５を通して熱電対３のラインを真空槽１の
外部に直接引き出すようにしている。
【００１４】その固定部材６としては、図２に示すよう
に、フランジ孔４の先端に溶接やボルト止めなどによっ
て固定して取り付けられ、内部にＯリング（または金属
ガスケット）７が設けられた管体６１と、その管体６１
の先端にネジ込みによって取り付けられる蓋体６２とか
らなっている。
に、フランジ孔４の先端に溶接やボルト止めなどによっ
て固定して取り付けられ、内部にＯリング（または金属
ガスケット）７が設けられた管体６１と、その管体６１
の先端にネジ込みによって取り付けられる蓋体６２とか
らなっている。
【００１５】このように構成されたものでは、固定部材
６を通してフランジ孔４内に熱電対導出管５を差し込む
と、それが真空槽１の内部に引き込まれて、その熱電対
導出管５の後端に形成されたストッパ部５１が蓋体６２
に当接して位置決めされる。そして、蓋体６２をネジ込
むことにより、Ｏリング７が径方向に押圧されて熱電対
導出管５に密着して真空シールがとられるようになって
いる。
６を通してフランジ孔４内に熱電対導出管５を差し込む
と、それが真空槽１の内部に引き込まれて、その熱電対
導出管５の後端に形成されたストッパ部５１が蓋体６２
に当接して位置決めされる。そして、蓋体６２をネジ込
むことにより、Ｏリング７が径方向に押圧されて熱電対
導出管５に密着して真空シールがとられるようになって
いる。
【００１６】この固定部材６による真空シールによっ
て、Ｅ−５Ｐａ程度の高真空度を保持しながら、熱電対
導出管５を通して外部に直接引き出されている熱電対３
によって真空槽１の内部に置かれている被処理物２の温
度測定を行わせることができるようになる。
て、Ｅ−５Ｐａ程度の高真空度を保持しながら、熱電対
導出管５を通して外部に直接引き出されている熱電対３
によって真空槽１の内部に置かれている被処理物２の温
度測定を行わせることができるようになる。
【００１７】その際、熱電対３のラインがコネクタ接続
などによることなく熱電対導出管５を通して外部に直接
引き出されているので、熱電対３のラインが異種金属に
接続して測定誤差を生ずるようなことなく、真空槽１の
内部に置かれている被処理物２の温度測定を精度良く行
わせることができるようになる。
などによることなく熱電対導出管５を通して外部に直接
引き出されているので、熱電対３のラインが異種金属に
接続して測定誤差を生ずるようなことなく、真空槽１の
内部に置かれている被処理物２の温度測定を精度良く行
わせることができるようになる。
【００１８】また、図３に示す構造では、熱電対導出管
５の後端にストッパ８をネジ締めによって着脱自在に取
り付けることができるようにしており、真空槽１の外
側、内側の両方からその熱電対導出管５をセットできる
ようにしている。
５の後端にストッパ８をネジ締めによって着脱自在に取
り付けることができるようにしており、真空槽１の外
側、内側の両方からその熱電対導出管５をセットできる
ようにしている。
【００１９】その場合、予め被処理物２の所定箇所に熱
電対３を取り付けて、その熱電対３のラインに熱電対導
出管５を装着したものを製造しておき、真空槽１の内部
に被処理物２を設置するに際して、熱電対導出管５を真
空槽１の内側から固定部材６に通してストッパ８をネジ
締めすることによって、組み付けを容易に行わせること
ができるようになる。
電対３を取り付けて、その熱電対３のラインに熱電対導
出管５を装着したものを製造しておき、真空槽１の内部
に被処理物２を設置するに際して、熱電対導出管５を真
空槽１の内側から固定部材６に通してストッパ８をネジ
締めすることによって、組み付けを容易に行わせること
ができるようになる。
【００２０】熱電対導出管５の内部には、熱電対３のラ
インの固定および真空シールをとるために、熱硬化性の
樹脂や接着剤、低融点ガラス、セラミックス等が充填さ
れている。
インの固定および真空シールをとるために、熱硬化性の
樹脂や接着剤、低融点ガラス、セラミックス等が充填さ
れている。
【００２１】その際、図４に示すように、溶融された充
填材料９が漏れ難くするように、熱電対導出管５の先端
の開口部分を小さくしている。
填材料９が漏れ難くするように、熱電対導出管５の先端
の開口部分を小さくしている。
【００２２】そして、熱電対３のラインと熱電対導出管
５とが接触したり、熱電対３のライン同志が触れると測
定誤差を生じたり測定不能になったりするために、特に
熱電対導出管５の先端の開口部分を小さくした場合には
接触の可能性が高くなるので、図５に示すように、Ｍｇ
Ｏによるシース管１０に熱電対３のラインを封入したシ
ースタイプの熱電対３を用いるようにする。
５とが接触したり、熱電対３のライン同志が触れると測
定誤差を生じたり測定不能になったりするために、特に
熱電対導出管５の先端の開口部分を小さくした場合には
接触の可能性が高くなるので、図５に示すように、Ｍｇ
Ｏによるシース管１０に熱電対３のラインを封入したシ
ースタイプの熱電対３を用いるようにする。
【００２３】真空槽１のフランジ孔４としては、例え
ば、既設の真空ゲージ挿入用のフランジ孔を利用する。
ば、既設の真空ゲージ挿入用のフランジ孔を利用する。
【００２４】その場合、フランジ孔４の内径は１５ｍｍ
φまたは１８ｍｍφであるので、熱電対導出管５の内径
を１０ｍｍφ以上の寸法にすることができる。
φまたは１８ｍｍφであるので、熱電対導出管５の内径
を１０ｍｍφ以上の寸法にすることができる。
【００２５】したがって、真空槽１の内部に置かれた被
処理物２の複数の各部位の温度をそれぞれ熱電対３によ
って測定する場合に、その熱電対導出管５に熱電対３の
ラインを複数導出させることが可能になる。
処理物２の複数の各部位の温度をそれぞれ熱電対３によ
って測定する場合に、その熱電対導出管５に熱電対３の
ラインを複数導出させることが可能になる。
【００２６】その場合、シースタイプの熱電対３を用い
れば、相互に接触することなく複数の熱電対３のライン
を熱電対導出管５を通して容易に外部に引き出すことが
できるようになる。
れば、相互に接触することなく複数の熱電対３のライン
を熱電対導出管５を通して容易に外部に引き出すことが
できるようになる。
【００２７】また、その場合、図６に示すように、熱電
対導出管５に、各熱電対３のラインをそれぞれ引き出す
ことのできる複数の通し穴５１を設けるようにすれば、
その熱電対導出管５から複数の熱電対３のラインを整然
と引き出すことができるようになる。
対導出管５に、各熱電対３のラインをそれぞれ引き出す
ことのできる複数の通し穴５１を設けるようにすれば、
その熱電対導出管５から複数の熱電対３のラインを整然
と引き出すことができるようになる。
【００２８】
【発明の効果】以上、本発明による真空槽内部の温度測
定装置は、真空槽に設けられているフランジ孔に、内部
に熱電対のラインが絶縁性の充填剤によって封入された
熱電対導出管を密閉型の固定部材を介して取り付けて、
その熱電対導出管を通して熱電対のラインを真空槽の外
部に引き出すようにしたもので、熱電対を用いて真空槽
内部の温度を測定するに際して、異種金属との接続によ
って温度測定誤差を生ずることがなく、複数の熱電対の
外部引出しを容易に行わせることができるという利点を
有している。
定装置は、真空槽に設けられているフランジ孔に、内部
に熱電対のラインが絶縁性の充填剤によって封入された
熱電対導出管を密閉型の固定部材を介して取り付けて、
その熱電対導出管を通して熱電対のラインを真空槽の外
部に引き出すようにしたもので、熱電対を用いて真空槽
内部の温度を測定するに際して、異種金属との接続によ
って温度測定誤差を生ずることがなく、複数の熱電対の
外部引出しを容易に行わせることができるという利点を
有している。
【図１】本発明による真空槽内部の温度測定装置が真空
槽に取り付けられた状態の一例を示す簡略正面図であ
る。
槽に取り付けられた状態の一例を示す簡略正面図であ
る。
【図２】本発明による真空槽内部の温度測定装置の一構
成例を示す正断面図である。
成例を示す正断面図である。
【図３】本発明による真空槽内部の温度測定装置の他の
構成例を示す正断面図である。
構成例を示す正断面図である。
【図４】熱電対のラインを通す熱電対導出管の構造の一
例を示す正断面図である。
例を示す正断面図である。
【図５】シース管に熱電対のラインを封入したシースタ
イプの熱電対を示す図である。
イプの熱電対を示す図である。
【図６】複数の熱電対のラインをそれぞれ引き出すこと
のできる複数の通し穴が設けられた熱電対導出管の側面
図である。
のできる複数の通し穴が設けられた熱電対導出管の側面
図である。
【図７】従来の真空槽の内部に置かれた被処理物の温度
を測定する熱電対の信号をコネクタを介して外部に取り
出すようにしたときの筒略構成図である。
を測定する熱電対の信号をコネクタを介して外部に取り
出すようにしたときの筒略構成図である。
１ 真空槽 ２ 被処理物 ３ 熱電対 ４ フランジ孔 ５ 熱電対導出管 ６ 固定部材 ７ Ｏリング ８ ストッパ １０ シース管
Claims (3)
- 【請求項１】 熱電対を用いて真空槽内部の温度を測定
する装置であって、真空槽に設けられているフランジ孔
に、内部に熱電対のラインが絶縁性の充填剤によって封
入された熱電対導出管を密閉型の固定部材を介して取り
付けて、その熱電対導出管を通して熱電対のラインを真
空槽の外部に引き出すようにした真空槽内部の温度測定
装置。 - 【請求項２】 熱電対導出管を通して複数の熱電対のラ
インを外部に引き出すようにしたことを特徴とする請求
項１の記載による真空槽内部の温度測定装置。 - 【請求項３】 熱電対導出管に、それが真空槽内部に引
き込まれるのを防止するストッパを着脱自在に設けたこ
とを特徴とする請求項１の記載による真空槽内部の温度
測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000071293A JP2001221692A (ja) | 2000-02-08 | 2000-02-08 | 真空槽内部の温度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000071293A JP2001221692A (ja) | 2000-02-08 | 2000-02-08 | 真空槽内部の温度測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001221692A true JP2001221692A (ja) | 2001-08-17 |
Family
ID=18589902
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000071293A Pending JP2001221692A (ja) | 2000-02-08 | 2000-02-08 | 真空槽内部の温度測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001221692A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007078588A (ja) * | 2005-09-15 | 2007-03-29 | Miura Co Ltd | 処理槽へのセンサ取付構造と、これによりセンサが取り付けられた食品機械、およびこれらに使用される取替用センサ |
| CN103090985A (zh) * | 2011-10-31 | 2013-05-08 | 清华大学 | 贯穿高温高压氦气压力壳的铠装热电偶组件 |
| JP2020134137A (ja) * | 2019-02-12 | 2020-08-31 | 黒崎播磨株式会社 | 水分センサー及び蒸気圧計測装置用センサー |
| CN113624353A (zh) * | 2021-07-07 | 2021-11-09 | 哈尔滨工程大学 | 一种热电偶贯穿套管防飞出可多级调节插入深度装置 |
| JP2022072048A (ja) * | 2020-10-29 | 2022-05-17 | 株式会社Kokusai Electric | 温度センサ、ヒータユニット、基板処理装置及び半導体装置の製造方法 |
-
2000
- 2000-02-08 JP JP2000071293A patent/JP2001221692A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007078588A (ja) * | 2005-09-15 | 2007-03-29 | Miura Co Ltd | 処理槽へのセンサ取付構造と、これによりセンサが取り付けられた食品機械、およびこれらに使用される取替用センサ |
| JP4710504B2 (ja) * | 2005-09-15 | 2011-06-29 | 三浦工業株式会社 | 処理槽へのセンサ取付構造と、これによりセンサが取り付けられた食品機械、およびこれらに使用される取替用センサ |
| CN103090985A (zh) * | 2011-10-31 | 2013-05-08 | 清华大学 | 贯穿高温高压氦气压力壳的铠装热电偶组件 |
| JP2020134137A (ja) * | 2019-02-12 | 2020-08-31 | 黒崎播磨株式会社 | 水分センサー及び蒸気圧計測装置用センサー |
| JP7321638B2 (ja) | 2019-02-12 | 2023-08-07 | 黒崎播磨株式会社 | 水分センサー及び蒸気圧計測装置用センサー |
| JP2022072048A (ja) * | 2020-10-29 | 2022-05-17 | 株式会社Kokusai Electric | 温度センサ、ヒータユニット、基板処理装置及び半導体装置の製造方法 |
| JP7236420B2 (ja) | 2020-10-29 | 2023-03-09 | 株式会社Kokusai Electric | 温度センサ、ヒータユニット、基板処理装置及び半導体装置の製造方法 |
| CN113624353A (zh) * | 2021-07-07 | 2021-11-09 | 哈尔滨工程大学 | 一种热电偶贯穿套管防飞出可多级调节插入深度装置 |
| CN113624353B (zh) * | 2021-07-07 | 2023-12-19 | 哈尔滨工程大学 | 一种热电偶贯穿套管防飞出可多级调节插入深度装置 |
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