JP2001217360A - Flexible heat-radiation spacer - Google Patents

Flexible heat-radiation spacer

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JP2001217360A
JP2001217360A JP2000026957A JP2000026957A JP2001217360A JP 2001217360 A JP2001217360 A JP 2001217360A JP 2000026957 A JP2000026957 A JP 2000026957A JP 2000026957 A JP2000026957 A JP 2000026957A JP 2001217360 A JP2001217360 A JP 2001217360A
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JP
Japan
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heat
heat radiation
radiation spacer
spacer
flexible heat
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Pending
Application number
JP2000026957A
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Japanese (ja)
Inventor
Kazuyoshi Ikeda
和義 池田
Mitsuru Shiiba
満 椎葉
Taku Kawasaki
卓 川崎
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Denka Co Ltd
Original Assignee
Denki Kagaku Kogyo KK
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  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a heat-radiation spacer with both high handling and repairing characteristics, with no degradation in flexibility and heat conductivity. SOLUTION: The flexible heat-radiation spacer comprises a silicon-solidified material filled with a heat-conductive filler. At least one surface comprises a rough part, and the total occupation area of the rough part is 50-90% of the area of a surface comprising the rough part. With a load of 98 KPa applied, the compression rate of a surface layer which is defined as a part between a surface and a 20% of the entire thickness is 1-5% of the entire thickness while a difference from the entire compression rate is less than 20%. The entire compression rate is especially preferred to be 10% or above while a heat conductivity to be 1 W/m.K or above.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、発熱性電子部品の
放熱用に好適な、取扱い性とリペア性を改良した柔軟性
放熱スペーサーに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flexible heat radiation spacer which is suitable for heat radiation of a heat-generating electronic component and has improved handleability and repairability.

【0002】[0002]

【従来の技術】電子機器においては、使用時に発生する
熱をどのように除去するかが重要な課題であり、それを
解決するため、従来よりトランジスタやサイリスタ等の
発熱電子部品は、熱伝導性シート等の放熱部材を介して
放熱フインや放熱板等のヒートシンクに取り付けられて
いる。熱伝導性シートとしては、樹脂に窒化ホウ素、酸
化アルミ等の熱伝導性フィラーを分散含有させたものが
広く賞用されている。
2. Description of the Related Art In electronic equipment, how to remove heat generated during use is an important issue. To solve this problem, heat-generating electronic components such as transistors and thyristors have been used in the past. It is attached to a heat sink such as a radiating fin or a radiating plate via a radiating member such as a sheet. As the heat conductive sheet, a resin in which a heat conductive filler such as boron nitride or aluminum oxide is dispersed and contained is widely used.

【0003】また、最近では電子機器の小型化、高実装
化に伴い、放熱フィン等を取り付けるスペースがない場
合や、電子機器が密閉されていて放熱フィンからの放熱
が困難な場合には、発熱性電子部品から発生した熱を電
子機器のケース等に直接放熱する方法が採用されてい
る。この場合、発熱性電子部品とケースとの間のスペー
スを埋めるだけの厚みを有する放熱スペーサーが用いら
れる。
In recent years, as electronic devices have become smaller and more highly packaged, there is no space for mounting radiating fins and the like, or when electronic devices are hermetically sealed and it is difficult to radiate heat from the radiating fins, heat is generated. A method has been adopted in which heat generated from a conductive electronic component is directly radiated to a case or the like of an electronic device. In this case, a heat radiation spacer having a thickness sufficient to fill a space between the heat-generating electronic component and the case is used.

【0004】このような放熱スペーサーにおいては、実
装時の押しつけ圧力によって発熱性電子部品を損傷させ
ないように、例えば98KPaの荷重を加えた際の厚み
の圧縮率が30%以上の著しく柔らかい放熱スペーサー
が使用されている。この放熱スペーサーは柔軟性に富む
反面、取扱い性が悪いので、その改善のために、従来よ
り、補強層付きのものが提案されている。例えば、あら
かじめ形成しておいた補強層に柔軟層を積層したもの
(特開平2−196453号公報、特開平6−1555
17号公報)がある。しかし、これらの放熱スペーサー
は取扱い性が良い反面、製造工程が複雑であるばかりで
なく、柔軟層と補強層との硬さが極端に異なるために、
柔軟性が大幅に低下し、表面への密着性も悪くなって熱
伝導性が低下するという問題があった。
[0004] In such a heat radiation spacer, an extremely soft heat radiation spacer having a thickness compression ratio of 30% or more when a load of 98 KPa is applied, for example, so as not to damage the heat-generating electronic parts due to the pressing pressure during mounting. It is used. This heat radiation spacer is rich in flexibility, but is poor in handleability. Therefore, to improve the heat radiation spacer, a spacer with a reinforcing layer has been conventionally proposed. For example, a laminate in which a flexible layer is laminated on a reinforcing layer formed in advance (Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 2-196453 and 6-1555)
No. 17). However, these heat radiation spacers are easy to handle, but the manufacturing process is complicated, and the hardness of the flexible layer and the reinforcing layer is extremely different,
There is a problem that flexibility is greatly reduced, adhesion to the surface is also deteriorated, and thermal conductivity is reduced.

【0005】そこで、今日の要求は、熱伝導性及び柔軟
性の他に、放熱スペーサーの取付け作業時の位置決めや
仮固定が容易であること(取扱い性)と、貼り損ないに
ともなう貼替えや製品修理の際の取外しが容易であるこ
と(リペア性)である。従来の放熱スペーサーは、表面
が平坦であるために、発熱性電子部品の面が平面の場合
には剥がしにくく、リペア性に問題があった。
[0005] Therefore, today's demands are that, in addition to thermal conductivity and flexibility, positioning and temporary fixing during the work of attaching the heat radiating spacer are easy (handlability), and replacement and product replacement due to sticking failure are required. It is easy to remove for repair (repairability). Since the conventional heat radiation spacer has a flat surface, it is difficult to peel off the heat-generating electronic component when the surface of the heat-generating electronic component is flat, and there is a problem in repairability.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記に鑑み
てなされたものであり、その目的は、柔軟性と熱伝導性
を損なうことなく取扱い性とリペア性の両方が高められ
た放熱スペーサーを提供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to provide a heat radiation spacer having improved handleability and repairability without impairing flexibility and thermal conductivity. It is to provide.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、熱
伝導性フィラーの充填されたシリコーン硬化物からなる
ものであって、その少なくとも一つの表面には凹凸部を
有し、上記凹凸部の合計占有面積率がその凹凸部を有す
る面の表面積に対し50〜90%であり、しかも98K
Paの荷重を加えた際に、表面から全厚みの20%まで
の部位として定義される表面層の圧縮率が全厚みの1〜
5%で、かつ全体の圧縮率との差が20%以下であるこ
とを特徴とする柔軟性放熱スペーサーである。特に、全
体の圧縮率が10%以上で、かつ熱伝導率が1W/m・
K以上であることが好ましい。
That is, the present invention comprises a cured silicone material filled with a thermally conductive filler, at least one surface of which has an uneven portion. The total occupied area ratio is 50 to 90% with respect to the surface area of the surface having the irregularities, and 98K
When a load of Pa is applied, the compressibility of the surface layer defined as a portion from the surface to 20% of the total thickness is 1 to 1 of the total thickness.
A flexible heat-radiating spacer characterized by being 5% and having a difference from the overall compression ratio of 20% or less. In particular, the overall compressibility is 10% or more, and the thermal conductivity is 1 W / m ·
It is preferably at least K.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】以下、更に詳しく本発明について
説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described in more detail.

【0009】まず、本発明の柔軟性放熱スペーサーは、
熱伝導性フィラーの充填されたシリコーン硬化物で構成
されている。
First, the flexible heat radiation spacer of the present invention comprises:
It is composed of a cured silicone material filled with a thermally conductive filler.

【0010】そのシリコーン材料としては、付加反応型
液状シリコーンゴム、過酸化物を加硫に用いる熱加硫型
ミラブルタイプのシリコーンゴム等が使用されるが、電
子機器の放熱部材では、発熱電子部品の発熱面とヒート
シンク面との密着性が要求されるため、柔軟性の高い付
加反応型液状シリコーンゴムが望ましい。その具体例と
しては、一分子中にビニル基とH−Si基の両方を有す
る一液性のシリコーンや、末端又は側鎖にビニル基を有
するオルガノポリシロキサンと末端又は側鎖に2個以上
のH−Si基を有するオルガノポリシロキサンとの二液
性のシリコーンなどがあり、市販品としては、東レダウ
コーニング社製、商品名「SE−1885」等がある。
シリコーン硬化物の柔軟性は、シリコーンの架橋密度や
熱伝導性フィラーの充填量によって調整することができ
る。
As the silicone material, an addition-reaction liquid silicone rubber, a heat-curable millable silicone rubber using a peroxide for vulcanization, and the like are used. Since the adhesiveness between the heat-generating surface and the heat-sink surface is required, a highly flexible addition-reaction liquid silicone rubber is desirable. Specific examples thereof include a one-part silicone having both a vinyl group and an H-Si group in one molecule, or an organopolysiloxane having a vinyl group at a terminal or a side chain and two or more at the terminal or a side chain. There is a two-part silicone with an organopolysiloxane having an H-Si group, and commercially available products include "SE-1885" (trade name, manufactured by Toray Dow Corning Incorporated).
The flexibility of the cured silicone can be adjusted by the crosslink density of the silicone and the amount of the thermally conductive filler.

【0011】シリコーンゴムと熱伝導性フィラーの割合
は、シリコーンゴムが30〜80体積%、特に40〜7
0体積%、熱伝導性フィラーが70〜20体積%、特に
60〜30体積%であることが好ましい。シリコーンゴ
ムが30体積%未満、又は熱伝導性フィラーが70体積
%をこえると柔軟性が十分でなくなる。また、シリコー
ンゴムが80体積%をこえるか、又は熱伝導性フィラー
が20体積%未満では熱伝導性が低下する。
The ratio of the silicone rubber to the thermally conductive filler is 30 to 80% by volume, especially 40 to 7% by volume.
It is preferable that the content of the heat conductive filler is 0 to 20% by volume, particularly 60 to 30% by volume. If the silicone rubber content is less than 30% by volume or the thermally conductive filler exceeds 70% by volume, the flexibility becomes insufficient. Further, when the silicone rubber exceeds 80% by volume or the heat conductive filler is less than 20% by volume, the thermal conductivity is reduced.

【0012】熱伝導性フィラーとしては、絶縁性が必要
な場合には、窒化ホウ素、窒化ケイ素、窒化アルミニウ
ム、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化亜鉛等
のセラミックス粉末のうち一種または二種以上が使用さ
れる。また、絶縁性を問わない場合には、上記のセラミ
ックス粉末に加え、アルミニウム、銅、銀、金等の金属
粉末や、炭化ケイ素粉末、グラファイト粉末等が使用で
きる。熱伝導性フィラーの形状は、球状、針状、板状な
どの如何なるものでも良い。粒度は、平均粒子径0.5
〜100μm程度のものが使用される。
As the heat conductive filler, when insulation is required, one or more of ceramic powders such as boron nitride, silicon nitride, aluminum nitride, aluminum oxide, magnesium oxide, zinc oxide and the like are used. You. In addition, when the insulating property is not important, metal powder such as aluminum, copper, silver, and gold, silicon carbide powder, graphite powder, and the like can be used in addition to the above ceramic powder. The shape of the heat conductive filler may be any shape such as a sphere, a needle, and a plate. Particle size, average particle size 0.5
の も の 100 μm is used.

【0013】次に、本発明の柔軟性放熱スペーサーは、
その少なくとも一表面に凹凸部を有するものである。本
発明でいう凹凸部とは、凸部の頂点から凹部低点までの
距離が30〜100μmであるものをいう。この距離が
30μmよりも小さいと、放熱部品表面に密着してリペ
ア性が悪くなり、100μm超であると、放熱部品表面
との間に隙間が生じて表面の熱抵抗が増大する。
Next, the flexible heat radiation spacer of the present invention comprises:
At least one surface has an uneven portion. The uneven portion in the present invention refers to a portion having a distance from the vertex of the convex portion to the low point of the concave portion of 30 to 100 μm. If this distance is smaller than 30 μm, it will be in close contact with the surface of the heat radiating component and the repairability will be poor.

【0014】凹凸部の割合は、その合計占有面積率とし
て、凹凸部を有する面の表面積に対し、50〜90%で
ある。90%よりも多いとリペア性が悪くなり、50%
未満では熱抵抗が増大する。一個の凹部又は凸部の広さ
は、その平面積として10〜0.1mm2程度であるこ
とが好ましい。
The ratio of the uneven portion is 50 to 90% of the surface area of the surface having the uneven portion as the total occupied area ratio. If it is more than 90%, the repairability will deteriorate, and 50%
If it is less than 1, the thermal resistance increases. The width of one concave or convex portion is preferably about 10 to 0.1 mm 2 as its plane area.

【0015】凹部又は凸部の平面形状については、三角
形、四角形、五角形等の多角形の他、円形、楕円形等、
特に制約はない。更に、凹部又は凸部の断面形状は球面
等の曲面あるいは三角形、四角形及びその組合せが挙げ
られる。凹凸部は、放熱スペーサー表面の少なくとも一
つの面に有しておればよい。
The planar shape of the concave portion or the convex portion may be a polygon such as a triangle, a quadrangle, a pentagon, a circle, an ellipse, or the like.
There are no particular restrictions. Further, the cross-sectional shape of the concave portion or the convex portion may be a curved surface such as a spherical surface, a triangle, a square, or a combination thereof. The irregularities may be provided on at least one of the heat radiation spacer surfaces.

【0016】更に、本発明の柔軟性放熱スペーサーの柔
軟性は、98KPaの荷重を加えた際に、表面から全厚
みの20%までの部位として定義される表面層の圧縮率
が全厚みの1〜5%であり、かつ全体の圧縮率との差が
20%以下である。表面層の圧縮率が1%未満である
と、取扱い性は向上するが密着性が低下し、発熱部品表
面との接触熱抵抗が高くなる。表面層の圧縮率が5%超
であると、取扱い性、リペア性のいずれもが悪くなる。
また、全体の圧縮率との差が20%超であると、放熱ス
ペーサーのコシがなくなり取扱い性が低下する。
Further, the flexibility of the flexible heat radiation spacer of the present invention is such that when a load of 98 KPa is applied, the compression ratio of the surface layer defined as a portion from the surface to 20% of the total thickness is 1% of the total thickness. 55%, and the difference from the overall compression ratio is 20% or less. When the compression ratio of the surface layer is less than 1%, the handleability is improved, but the adhesion is reduced, and the contact thermal resistance with the surface of the heat-generating component is increased. When the compression ratio of the surface layer is more than 5%, both the handleability and the repairability deteriorate.
On the other hand, if the difference from the overall compression ratio is more than 20%, the stiffness of the heat radiation spacer is reduced, and the handling property is reduced.

【0017】特に好ましい柔軟性は、上記表面層の圧縮
特性の範囲内にあって、全体の圧縮率が元厚みに対して
10%以上、特に20%以上であることである。全体の
圧縮率が10%よりも著しく小さいと、発熱性電子部品
との密着性及びよび形状追従性が悪くなって放熱特性が
低下するばかりでなく、発熱性電子部品への負荷が大き
くなり発熱性電子部品の損傷を招くので好ましくない。
Particularly preferred flexibility is within the range of the compressive properties of the surface layer, and the overall compressibility is 10% or more, especially 20% or more with respect to the original thickness. If the overall compression ratio is significantly smaller than 10%, not only the adhesion to the heat-generating electronic component and the shape follow-up property will be degraded, but the heat radiation characteristics will deteriorate, but also the load on the heat-generating electronic component will increase, resulting in heat generation. It is not preferable because it may cause damage to the electronic component.

【0018】また、本発明の柔軟性放熱スペーサーは、
柔軟性や熱伝導性を損なわせない範囲において、ガラス
クロスや炭素繊維布等の補強材を含有させることができ
る。
Further, the flexible heat radiation spacer of the present invention comprises:
A reinforcing material such as a glass cloth or a carbon fiber cloth can be contained within a range that does not impair the flexibility and the thermal conductivity.

【0019】本発明の柔軟性放熱スペーサーの熱伝導率
は1.0W/m・K以上、特に1.5W/m・K以上で
あることが好ましい。
The thermal conductivity of the flexible heat radiation spacer of the present invention is preferably 1.0 W / m · K or more, particularly preferably 1.5 W / m · K or more.

【0020】また、本発明の柔軟性放熱スペーサーの厚
みとしては、0.3〜10mmが一般的であり、好まし
くは0.5〜6mmである。その平面形状は、三角形、
四角形、五角形等の多角形、円形、楕円形等、特に制約
はない。
The thickness of the flexible heat radiation spacer of the present invention is generally from 0.3 to 10 mm, preferably from 0.5 to 6 mm. Its plane shape is a triangle,
There are no particular restrictions on polygons such as quadrangular and pentagonal, circular, elliptical and the like.

【0021】更には、本発明の柔軟性放熱スペーサーに
は、その表面の少なくとも一方の面に、特に凹凸を有す
る面に、非粘着処理が施されていることが好ましい。非
粘着処理としては、紫外線照射、BN粉等による打粉が
ある。
Further, it is preferable that at least one of the surfaces of the flexible heat radiation spacer of the present invention is subjected to a non-adhesive treatment, particularly to a surface having irregularities. Examples of the non-adhesive treatment include irradiation with ultraviolet rays and powdering with BN powder.

【0022】本発明の柔軟性放熱スペーサーを製造する
方法の一例を示すと、一液性のシリコーン、又は末端あ
るいは側鎖にビニル基を有するオルガノポリシロキサン
と末端あるいは側鎖に2個以上のH−Si基を有するオ
ルガノポリシロキサンとの二液性のシリコーンに熱伝導
性フィラ−粉末を混合してスラリーを調整する。調整し
たスラリーを2つに分け、一方を第一液とし、他方には
低分子のSi−Hを有するオルガノシロキサンを主成分
とする硬化剤を適量添加して第二液とする、2つのスラ
リーを真空脱泡装置等にて脱泡した後、適当な凹凸を有
するフッ素樹脂フィルム上に第二液のスラリーをドクタ
ーブレードにて所定の厚さに塗工し、それを硬化させる
前に、その上に第一液のスラリーをドクターブレードに
て所定の厚さに塗工する。次いで、加熱してシリコーン
を硬化させた後、表面にPETフィルムを貼りながら、
下層のフッ素樹脂フィルムを剥ぎ取ることにより放熱ス
ペーサーをPETフィルム側に転写させる。
One example of the method for producing the flexible heat radiation spacer of the present invention is as follows. One-part silicone or an organopolysiloxane having a vinyl group at the terminal or side chain and two or more H atoms at the terminal or side chain. A slurry is prepared by mixing a thermally conductive filler powder with a two-part silicone with an organopolysiloxane having a Si group. The prepared slurry is divided into two, and one is used as a first liquid, and the other is used as a second liquid by adding an appropriate amount of a curing agent containing an organosiloxane having low molecular weight Si-H as a main component. After defoaming with a vacuum defoaming device or the like, the slurry of the second liquid is applied to a predetermined thickness with a doctor blade on a fluororesin film having appropriate irregularities, and before it is cured, the The slurry of the first liquid is applied on the upper surface with a doctor blade to a predetermined thickness. Then, after heating to cure the silicone, while attaching a PET film to the surface,
The heat radiation spacer is transferred to the PET film side by peeling off the lower fluororesin film.

【0023】凹凸の合計占有面積率及び凹凸の深さは使
用するベースフィルムの凹凸形状によって決定すること
ができる。ベースフィルムとしては、120℃の耐熱性
を有し、凹凸部の合計占有面積率がその凹凸部を有する
面の表面積に対し50〜90%となる凹凸を有する、樹
脂フィルムあるいはゴム製シートが使用される。特に、
ガラスクロス等と複合化させたものが好ましい。
The total occupied area ratio of the unevenness and the depth of the unevenness can be determined according to the uneven shape of the base film used. As the base film, a resin film or a rubber sheet having heat resistance of 120 ° C. and having irregularities in which the total occupied area ratio of the irregularities is 50 to 90% with respect to the surface area of the surface having the irregularities is used. Is done. In particular,
A composite formed with a glass cloth or the like is preferable.

【0024】成形方法としては、熱伝導性フィラーとシ
リコーンゴムからなる未硬化のシリコーン組成物の粘度
が20Pa・s未満の場合には流し込み成形法、20〜
120Pa・sの場合にはドクターブレード法、120
Pa・sより高い場合にはプレス成型法が好ましい。増
粘に際しては、十〜数百μmの酸化ケイ素の微粉やアエ
ロジル等の超微粉などが使用される。
If the viscosity of the uncured silicone composition comprising the heat conductive filler and the silicone rubber is less than 20 Pa · s, the casting method is used.
In the case of 120 Pa · s, the doctor blade method, 120
When it is higher than Pa · s, a press molding method is preferred. At the time of thickening, fine powder of silicon oxide having a size of tens to several hundreds μm or ultrafine powder such as Aerosil is used.

【0025】加熱硬化装置としては、連続式の熱風式乾
燥炉や遠赤外乾燥炉、バッチ式の熱風式乾燥機等の一般
的な加熱装置を用いることができる。好ましくは、生産
性の点から連続式の加熱装置である。
As the heating and curing device, a general heating device such as a continuous hot-air drying oven, a far-infrared drying oven, or a batch-type hot-air dryer can be used. Preferably, it is a continuous heating device from the viewpoint of productivity.

【0026】[0026]

【実施例】以下、実施例、比較例をあげて更に具体的に
本発明を説明する。
The present invention will be described more specifically with reference to examples and comparative examples.

【0027】実施例1 シリコーンA液(末端あるいは側鎖にビニル基を有する
オルガノポリシロキサン)と、シリコーンB液(末端あ
るいは側鎖に少なくとも2個以上のH−Si基を有する
オルガノポリシロキサン)からなる二液性の付加重合型
液状シリコーン(東レダウコーニング社製、商品名「S
E−1885」)と、平均粒子径28μmの窒化ケイ素
粉末(電気化学工業社製、商品名「F−2」)を表1に
示す割合で混合して粘度80Pa・sのスラリーを調整
した。
Example 1 From silicone A liquid (organopolysiloxane having a vinyl group at a terminal or side chain) and silicone B liquid (organopolysiloxane having at least two or more H-Si groups at a terminal or side chain) Two-component addition polymerization type liquid silicone (trade name “S” manufactured by Dow Corning Toray Co., Ltd.)
E-1885 ") and silicon nitride powder (manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd., trade name" F-2 ") having an average particle size of 28 m were mixed at a ratio shown in Table 1 to prepare a slurry having a viscosity of 80 Pa.s.

【0028】これを2つに分け、その一方にH−Si基
を有する低分子オルガノシロキサンからなる硬化剤(東
レ・ダウコーニング社製、商品名「RD−1」)を添加
して第一液を調整した。残りのスラリ−(硬化剤が添加
されていないもの)を第二液とし、第一液と第二液を真
空脱泡機で脱泡後、放熱スペーサーの片側全表面に均一
に凹凸を形成させる目的で、ガラスクロス複合化フッ素
樹脂系フィルム(日東電工社製、商品名「ニトフロンテ
ープ」)の全面に、まず第一液をドクターブレードによ
り薄く塗工し、次いで、第二液を第一液の上に全厚さ1
mmになるように塗工した。これを120℃×10分間
加熱した後、PETフィルムを貼り付け、下層のフッ素
樹脂フィルムを剥ぎ取ることによりPETフィルムに転
写した。その後、120℃×22時間さらに加熱してシ
リコーンを硬化させ、表面に凹凸を有する柔軟性放熱ス
ペーサーを製造した。
This was divided into two parts, and one of them was added with a curing agent composed of a low molecular weight organosiloxane having an H-Si group (trade name “RD-1” manufactured by Dow Corning Toray Co., Ltd.), and the first liquid was added. Was adjusted. The remaining slurry (to which no hardener is added) is used as a second liquid, and the first and second liquids are defoamed by a vacuum defoaming machine, and then irregularities are uniformly formed on one surface of the heat radiation spacer. For the purpose, the first liquid is first applied thinly with a doctor blade on the entire surface of a glass cloth composite fluororesin film (Nitto Denko Corporation, trade name "Nitoflon Tape"), and then the second liquid is applied to the first Full thickness 1 on liquid
mm. After heating this at 120 ° C. for 10 minutes, a PET film was adhered, and the lower layer of the fluororesin film was peeled off and transferred to the PET film. Thereafter, the silicone was further cured by heating at 120 ° C. for 22 hours to produce a flexible heat radiation spacer having an uneven surface.

【0029】実施例2 熱伝導性フィラーとして、窒化ケイ素粉末の変わりに、
平均粒子径7μmの窒化ホウ素粉末(電気化学工業社
製、商品名「GP」)と平均粒子径10μmの酸化アル
ミニウム粉末(昭和電工社製、商品名「AS−50」)
を表1に示す割合で混合し、粘度100Pa・sのスラ
リーを調整した以外は、実施例1と同様にして柔軟性放
熱スペーサーを製造した。
Example 2 Instead of silicon nitride powder as a heat conductive filler,
Boron nitride powder having an average particle diameter of 7 μm (trade name “GP” manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd.) and aluminum oxide powder having an average particle diameter of 10 μm (trade name “AS-50” manufactured by Showa Denko KK)
Were mixed in the proportions shown in Table 1, and a slurry having a viscosity of 100 Pa · s was prepared in the same manner as in Example 1 to produce a flexible heat radiation spacer.

【0030】実施例3 凹凸部の形状が異なるフッ素樹脂系フィルムを用いて製
造した以外は、実施例1と同様な方法で製造した。
Example 3 A device was manufactured in the same manner as in Example 1 except that a fluororesin-based film having a different shape of the uneven portion was used.

【0031】比較例1 ベース樹脂フィルムとして、凹凸部のないフッ素樹脂系
フィルムを使用した以外は、実施例1と同様にして放熱
スペーサーを製造した。
Comparative Example 1 A heat radiation spacer was manufactured in the same manner as in Example 1 except that a fluororesin-based film having no irregularities was used as the base resin film.

【0032】比較例2 第一液の変わりに第二液を用いた(従って、第一塗工、
第二塗工ともに第二液のみを使用)以外は、実施例1と
同様にして放熱スペーサーを製造した。
Comparative Example 2 A second liquid was used instead of the first liquid (therefore, the first coating,
A heat radiation spacer was manufactured in the same manner as in Example 1 except that only the second liquid was used in the second coating).

【0033】比較例3 ベース樹脂フィルムとして、凹凸部のないフッ素樹脂製
フィルムを使用した以外は、比較例2と同様にして放熱
スペーサーを製造した。
Comparative Example 3 A heat radiation spacer was produced in the same manner as in Comparative Example 2, except that a fluororesin film having no unevenness was used as the base resin film.

【0034】得られた放熱スペーサーについて、以下に
従う熱伝導率、柔軟性(圧縮率)、凹凸部の合計占有面
積率を測定した。また、放熱スペーサーの取扱い性及び
リペア性についても評価した。それらの結果を表2に示
す。
With respect to the obtained heat radiation spacer, the thermal conductivity, flexibility (compression rate), and the total occupied area ratio of the uneven portions were measured according to the following. In addition, the handleability and repairability of the heat radiation spacer were also evaluated. Table 2 shows the results.

【0035】(1)熱伝導率 放熱スペーサーをTO−3形状に切断し、これをTO−
3型の銅製ヒーターケースと銅板との間にはさみ、締付
けトルク200g−cmにてセットした後、銅製ヒータ
ーケースに電力5Wをかけて4分間保持し、銅製ヒータ
ーケースと銅板との温度差(℃)を測定し、式〔温度差
(℃)/電力(W)〕により熱抵抗(℃/W)を求め、
次いで、式〔厚み(m)/{熱抵抗(℃/W)×測定面
積(m2)}〕により熱伝導率(W/m・K)を算出し
た。
(1) Thermal conductivity The heat radiation spacer is cut into a TO-3 shape, which is cut into a TO-
After sandwiching between a 3 type copper heater case and a copper plate and setting with a tightening torque of 200 g-cm, 5 W of power is applied to the copper heater case and held for 4 minutes, and the temperature difference between the copper heater case and the copper plate (° C.) ) Is measured, and a thermal resistance (° C./W) is obtained by an equation [temperature difference (° C.) / Power (W)].
Next, the thermal conductivity (W / m · K) was calculated by the formula [thickness (m) / {thermal resistance (° C./W)×measured area (m 2 )}].

【0036】(2)柔軟性(圧縮率) 放熱スペーサーの1cm2の部分に万能引張試験機(島
津製作所社製、商品名「オートグラフ」)により、厚み
方向に98KPaの応力を加えて圧縮変形量を測定し、
式〔圧縮変形量(mm)×100/元の厚み(mm)〕
により、全体の圧縮率を算出した。表面層の圧縮率は、
放熱スペーサーの表面から全厚みの20%相当する厚み
の試験片を切り出して測定した。
(2) Flexibility (compression rate) A 98 KPa stress is applied in the thickness direction to a 1 cm 2 portion of the heat radiation spacer by a universal tensile tester (trade name “Autograph” manufactured by Shimadzu Corporation) to compressively deform. Measure the quantity,
Formula [compression deformation (mm) x 100 / original thickness (mm)]
, The overall compression ratio was calculated. The compression ratio of the surface layer is
A test piece having a thickness corresponding to 20% of the total thickness was cut out from the surface of the heat radiation spacer and measured.

【0037】(3)凹凸部の合計占有面積率 放熱スペーサーの凹凸部がある表面において、任意10
カ所の領域(1視野:3cm2)で顕微鏡写真を撮影
し、1cm2あたりの凹凸部の面積率を測定し、その平
均値を凹凸部を有する面の面積に換算して占有面積率を
算出した。また、放熱スペーサーの表面に不均一に凹凸
部がある場合には、測定領域と測定カ所を広げて測定し
た。
(3) Total occupied area ratio of uneven portions On the surface of the heat radiating spacer where the uneven portions exist, any 10
Microscopic photographs are taken in three regions (one field of view: 3 cm 2 ), the area ratio of the uneven portion per 1 cm 2 is measured, and the average value is converted into the area of the surface having the uneven portion to calculate the occupied area ratio. did. In addition, when the surface of the heat radiating spacer has uneven portions unevenly, the measurement was performed by expanding the measurement region and the measurement point.

【0038】(4)取扱い性 50×50mm形状の放熱スペーサーの取扱い性を指触
により判定した。 「○」:取扱い性が良く、手で持ち上げても変形せず。 「×」:取扱い性が悪く、手で持ち上げると変形する。
(4) Handleability The handleability of the heat radiating spacer having a shape of 50 × 50 mm was judged by finger touch. "O": Good handling, no deformation even when lifted by hand. “×”: poor handling, deformed when lifted by hand.

【0039】(5)リペア性 50×50mm形状の放熱スペーサーを鏡面のアルミニ
ウム板に貼付け、剥がして判定した。 「○」:変形することなく容易に剥ぐことができる。 「×」:変形して、容易に剥ぐことができない。
(5) Repairability A heat-dissipating spacer having a shape of 50 × 50 mm was adhered to a mirror-finished aluminum plate and peeled off. "O": Can be easily peeled off without deformation. “×”: Deformed and cannot be easily peeled.

【0040】[0040]

【表1】 [Table 1]

【0041】[0041]

【表2】 [Table 2]

【0042】表より、本発明の実施例の柔軟性放熱スペ
ーサーは、比較例に比べて、熱伝導性、柔軟性、取扱い
性、リペア性のいずれにも優れていることがわかる。
From the table, it can be seen that the flexible heat radiation spacer of the example of the present invention is superior in all of thermal conductivity, flexibility, handleability and repairability as compared with the comparative example.

【0043】[0043]

【発明の効果】本発明によれば、柔軟性と熱伝導性を損
なうことなく、取扱い性とリペア性の両方が高められた
柔軟性放熱スペーサーが提供される。
According to the present invention, there is provided a flexible heat radiation spacer having improved handleability and repairability without deteriorating flexibility and thermal conductivity.

【0044】すなわち、本発明の柔軟性放熱スペーサー
は、その少なくとも一つの表面に凹凸部があることか
ら、取り付け後の発熱性部品からの取り外しが良好であ
る。また、硬さの異なる層が一体化されていることから
取扱いが良好である。更には、高熱伝導性かつ高柔軟性
であるので、応力に対して非常に弱い発熱性電子部品に
押しつけても発熱性電子部品を損傷させる危険性が極め
て小さい。
That is, since the flexible heat radiation spacer of the present invention has an uneven portion on at least one surface thereof, it can be easily removed from the heat-generating component after being attached. In addition, since layers having different hardnesses are integrated, handling is good. Furthermore, since it has high thermal conductivity and high flexibility, there is very little risk of damaging the heat-generating electronic component even when pressed against the heat-generating electronic component, which is very weak against stress.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】熱伝導性フィラーの充填されたシリコーン
硬化物からなるものであって、その少なくとも一つの表
面には凹凸部を有し、上記凹凸部の合計占有面積率がそ
の凹凸部を有する面の表面積に対し50〜90%であ
り、しかも98KPaの荷重を加えた際に、表面から全
厚みの20%までの部位として定義される表面層の圧縮
率が全厚みの1〜5%で、かつ全体の圧縮率との差が2
0%以下であることを特徴とする柔軟性放熱スペーサ
ー。
1. A cured silicone material filled with a thermally conductive filler, wherein at least one surface has an uneven portion, and the total occupied area ratio of the uneven portion has the uneven portion. The compression ratio of the surface layer is 50 to 90% of the surface area of the surface, and when a load of 98 KPa is applied, the compression ratio of the surface layer defined as a portion from the surface to 20% of the total thickness is 1 to 5% of the total thickness. And the difference from the overall compression ratio is 2
A flexible heat radiation spacer characterized by being at most 0%.
【請求項2】 全体の圧縮率が10%以上で、かつ熱伝
導率が1W/m・K以上であることを特徴とする請求項
1記載の柔軟性放熱スペーサー。
2. The flexible heat radiation spacer according to claim 1, wherein the overall compression ratio is 10% or more and the thermal conductivity is 1 W / m · K or more.
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