JP2001216751A - ディスク装置のヘッド支持機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 トラッキング補正等のために、ヘッドを高精
度でしかも効率的に微小変位させることができる。 【解決手段】 回転駆動されるディスクに対して少なく
ともデータの再生を行うヘッドが設けられたスライダ２
が、薄膜圧電体用基板８における三角形の長板状をした
支持基板部８Ａの先端部に支持されている。支持基板部
８Ａは、磁気ディスクの表面に対して実質的に垂直な方
向に変位することによって、スライダ２を支持する先端
部が、磁気ディスク表面に対して実質的に平行な方向に
変位する。支持基板部８Ａには、支持基板部８Ａを磁気
ディスクの表面に対して実質的に垂直な方向に変位させ
る薄膜圧電体１１が積層状態で設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、コンピューターの
記憶装置等として用いられる磁気ディスク装置等の磁気
ディスクに対する情報の記憶および再生に使用されるヘ
ッドの支持機構に関し、特に、磁気ディスク装置に設け
られた磁気ディスクに対する情報の記録を高密度化する
ために最適なヘッド支持機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、磁気ディスク装置に設けられた磁
気ディスクの記録密度は、日を追う毎に高密度化が進で
いる。磁気ディスクに対するデータの記録および再生に
使用される磁気ヘッドは、通常、スライダに搭載されて
おり、磁気ヘッドが搭載されたスライダは、磁気ディス
ク装置内に設けられたヘッド支持機構によって支持され
ている。ヘッド支持機構は、スライダが取り付けられた
ヘッドアクチュエーターアーを有しており、このヘッド
アクチュエーターアームが、ボイスコイルモータ（ＶＣ
Ｍ）によって回動されるようになっている。そして、ボ
イスコイルモータを制御することにより、スライダに搭
載されたヘッドが、磁気ディスク上の任意の位置に位置
決めされる。

【０００３】磁気ディスクに対してデータをさらに高密
度で記録するためには、磁気ディスクに対して磁気ヘッ
ドをさらに高度に位置決めする必要がある。しかしなが
ら、このように、ＶＣＭにてヘッドアクチュエーターア
ームの回動させて磁気ヘッドを位置決めする構成では、
磁気ヘッドを、より高精度に位置決めすることができな
いという問題がある。このために、磁気ヘッドを高精度
に位置決めするヘッド支持機構が既に提案されている。

【０００４】図１０は、従来の磁気ディスク装置のヘッ
ド支持機構の一例を示す平面図である。回転駆動される
図示しない磁気ディスクに対するデータの記録／再生を
行うヘッド１０２は、サスペンションアーム１０４の一
方の端部に支持されている。サスペンションアーム１０
４の他方の端部は、キャリッジ１０６の先端部に設けら
れた突起１０８に対して、この突起１０８を中心に微小
角の範囲内で回動可能に支持されている。キャリッジ１
０６の基端部は、磁気ディスク装置のハウジングに対し
て固定される軸部材１１０によって、回動可能に支持さ
れている。

【０００５】キャリッジ１０６には、永久磁石（図示せ
ず）が固定されており、ハウジング側に固定された磁気
回路１１２の一部である駆動コイル１１４に流す励磁電
流を制御することによって、この永久磁石に対して、キ
ャリッジ１０６が、軸部材１１０に対して回動するよう
になっている。これにより、ヘッド１０２が、磁気ディ
スクにおける実質的な半径方向に沿って移動される。

【０００６】キャリッジ１０６とサスペンションアーム
１０４との間には、一対の圧電素子１１６が設けられて
いる。各圧電素子１１６は、キャリッジ１０６の長手方
向に対して、それぞれの長手方向が相反する方向に若干
傾斜した状態で取り付けられている。そして、各圧電素
子１１６を、それぞれ、図１０に矢印Ａ１４で示す方向
に伸縮させることによって、サスペンションアーム１０
４が、キャリッジ１０６に対して突起１０８を中心に、
キャリッジ１０６の表面に沿って、微小角度の範囲内で
回動する。これにより、サスペンションアーム１０４の
先端部に取り付けられたヘッド１０２は、磁気ディスク
の表面に沿って、微小な範囲で変位され、磁気ディスク
上の任意の位置にて高精度で位置決めすることができ
る。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】図１０に示す従来のヘ
ッド支持機構では、各圧電素子１１６が、サスペンショ
ンアーム１０４およびキャリッジ１０６にそれぞれ設け
られた部材の間にそれぞれ挟まれた状態になっており、
各圧電素子１１６の長手方向（矢印Ａ１４で示す方向）
に沿ったそれぞれの側部が、各部材に当接されている。
そして、各圧電素子１１６のバルク変形によって、サス
ペンションアーム１０４を回動させて、ヘッド１０２を
微小に変位させるようになっている。このように、各圧
電素子１１６への印加電圧に対して、サスペンションア
ーム１０４の回動によって、ヘッド１０２を微小に変位
させているために、各圧電素子１１６にそれぞれ印加さ
れる電圧に対して、ヘッド１０２が必ずしも高精度に追
従するものではなく、ヘッド１０２を高精度で位置決め
することができないおそれがある。

【０００８】本発明は、このような問題を解決するもの
であり、その目的は、磁気ディスク等に対するトラッキ
ング補正等のために、ヘッドを高精度で微小変位させる
ことができるディスク装置のヘッド支持機構を提供する
ことにある。

【０００９】本発明の他の目的は、電圧の制御によっ
て、ヘッドを高精度で微小変位させることができるディ
スク装置のヘッド支持機構を提供することにある。

【００１０】本発明のさらに他の目的は、このようなヘ
ッド支持機構に対して好適に使用される薄膜圧電体アク
チュエータを提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手役】本発明のディスク装置の
ヘッド支持機構は、回転駆動されるディスクに対して少
なくともデータの再生を行うヘッドが設けられたスライ
ダと、先端部になるにつれて順次幅方向寸法が小さくな
った長板状であって、その先端部上に該スライダが支持
されており、前記ディスクの表面に対して実質的に垂直
な方向に変位することによって、該スライダを支持する
先端部が、ディスク表面に対して実質的に平行な方向に
変位するようになった支持基板部と、該支持基板部を、
前記ディスクの表面に対して実質的に垂直な方向に変位
させる駆動部材と、を具備することを特徴とし、そのこ
とにより上記目的が達成される。

【００１２】前記支持基板部は、略三角形状をしてい
る。

【００１３】前記駆動部材は、電圧が印加されることに
よって収縮して、前記支持基板部を反った状態にするよ
うに該支持基板部に積層状態で配置された薄膜圧電体で
ある。

【００１４】また、本発明のディスク装置のヘッド支持
機構は、回転駆動されるディスクに対して少なくともデ
ータの再生を行うヘッドが設けられたスライダと、該ス
ライダを一方の端部上に支持する長板状の支持基板部
と、電圧が印加されることによって収縮して、該支持基
板部を反った状態にするように該支持基板部に積層状態
で配置された駆動部材とを具備し、該駆動部材の収縮方
向と、該支持基板部における反りにより発生する長手方
向の収縮方向とが一致していることを特徴とし、そのこ
とにより上記目的が達成される。

【００１５】前記駆動部材が薄膜圧電体である。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面に基づいて説明する。

【００１７】図１は本発明の実施の形態におけるディス
ク装置におけるヘッド支持機構１００をディスク側から
の斜視図、図２は、図１のヘッド支持機構１００を分解
して示す斜視図である。

【００１８】このヘッド支持機構１００は、ボイスコイ
ルモータ（図示せず）により回転原動されるヘッドアク
チュエータアームに取り付けられるベースプレート７
と、このベースプレート７に積層状態で取り付けられた
ロードビーム９と、ベースプレート７におけるロードビ
ーム９とは反対側に積層されてスポット溶接等によって
ベースプレート７に貼り付けられたフレクシャ５と、フ
レクシャ５上に積層された薄板状の薄膜圧電体基板８と
を有している。

【００１９】ベースプレート７は、その一方の端部（基
端部）に、軸部材が挿通される貫通孔7Ａが設けられて
いる。

【００２０】ベースプレート７に積層されたフレクシャ
５は、ステンレス鋼板等によって、可撓性を有する長板
状に構成されており、その一方の端部（基端部）には、
ベースプレート７に設けられた貫通孔７Ａと整合状態に
なって軸部材が挿通される貫通孔５Ｅが設けられてい
る。

【００２１】フレクシャ５の中程における基端部寄りの
位置から先端部にかけた部分は、両側の各側縁部に沿っ
た外枠部５Ａおよび５Ｂと、先端縁に沿った先端枠部５
Ｄとによって、枠状に構成されており、この枠状部分の
内部における先端部に、正方形の平板状をしたジンバル
６が設けられている。ジンバル６は、ベースプレート７
の先端縁から突出した状態で配置されている。

【００２２】ジンバル６は、正方形の枠状をした枠部６
Ａと、枠部６Ａ内に配置されたジンバル本体部６Ｂとを
有している。枠部６Ａは、フレクシャ５の基端部から、
フレクシャ５の枠状部分の軸心部に沿って設けられた支
持梁５Ｃの先端部と、フレクシャ５の先端枠部５Ｄとの
間に、フレクシャ５の長手方向に沿った軸周りに回動し
得る状態で支持されている。ジンバル本体部６Ｂは、こ
の枠部６Ａ内に同心状態で配置されており、枠部６Ａの
回動の中心軸とは直交するフレクシャ５に沿った軸を中
心として回動可能に枠部６Ａに支持されている。ジンバ
ル本体部６Ｂの中心部には、球形状に突出した突起部６
Ｃが設けられている。

【００２３】ジンバル６を支持する支持梁５Ｃは、フレ
クシャ５の基端部側において、幅方向寸法がＬになって
おり、先端側になるにつれて順次幅方向寸法が小さくな
った三角形状に形成されている。

【００２４】ベースプレート７におけるフレクシャ５と
は反対側の面に積層されたロードビーム９は、その先端
部９Ａが、ベースプレート７の先端側に配置されたジン
バル６に対向するように、ベースプレート７の先端から
突出した状態で配置されており、その先端部９Ａが、先
端側になるにつれて順次先細になった三角形の枠状に形
成されている。そして、三角形状の枠状に形成された先
端部９Ａの先端に、ジンバル６側に突出したディンプル
１０が形成されている。ディンプル１０は、ジンバル６
の中心部に設けられた突起部６Ｃに対してスポット溶接
等で貼り付けられており、突起部６Ｃがディンプル１０
によって支持されている。

【００２５】図４は、フレクシャ５上に貼り付けられた
薄膜圧電体用基板８の平面図である。また、図６（ｂ）
は、その要部の拡大図である。薄膜圧電体用基板８は、
フレクシャ５の基端部上に配置された本体部８Ｈと、こ
の本体部８Ｈから、支持梁５Ｃの三角形状部分と同様の
三角形状の長板状であって、支持梁５Ｃの三角形状部分
と整合状態で配置された支持基板部８Ａと、この支持基
板部８Ａの先端部から、ジンバル６の枠部６Ａに沿って
直角に屈曲した状態で配置された第１支持部８Ｂと、フ
レクシャ５の外枠部５Ｂから先端枠部５Ｄの中程に沿っ
て配置された枠部８Ｃと、枠部８Ｃの先端部から、ジン
バル６の枠部８Ａに沿って、薄膜圧電体用基板８の前記
第１支持部８Ｂと対向するように直角に屈曲された第２
支持部８Ｄとを有している。そして、第１支持部８Ｂお
よび第２支持部８Ｄの先端部は、相互に対向するように
配置されて、先端側になるにつれて順次先細状にそれぞ
れ形成されている。

【００２６】第１支持部８Ｂおよび第２支持部８Ｄの先
端部間には、スライダ支持部８Ｅが配置されている。こ
のスライダ支持部８Ｅは、第１支持部８Ｂおよび第２支
持部８Ｄの先端部とは、第１および第２の弾性ヒンジ部
８Ｆおよび８Ｇによって、それぞれ、回動可能に支持さ
れている。スライダ支持部８Ｅは、第２の弾性ヒンジ部
８Ｇが設けられた第２支持部８Ｄの先端部が嵌合するよ
うに、一方の側部が三角形状に切り欠かれた長方形の平
板状に形成されており、このスライダ支持部８Ｅ上に、
ヘッド１（図３参照）が搭載されたスライダ２が設けら
れている。

【００２７】スライダ支持部８Ｅは、第１の弾性ヒンジ
部８Ｆを中心として、図４に矢印Ａ３で示す方向に沿っ
て回動し得るようになっており、また、第２の弾性ヒン
ジ部８Ｇは、スライダ支持部８Ｅが矢印Ａ３方向に沿っ
て回動する際に、スライダ支持部８Ｅの回動を抑制し
て、スライダ支持部８Ｅの変形を防止するようになって
いる。

【００２８】スライダ２は、図３に示すように、直方体
状をしており、薄膜圧電体用基板８の先端方向に位置す
る一方の端面２Ｅの上部における一方の側部に、ＭＲ素
子等によって構成されたヘッド１が設けられている。ス
ライダ２は、磁気ディスクの接線方向にヘッド１が向く
ように配置されている。また、ヘッド１が設けられた端
面２Ｅの下部には、４つの端子２Ａ〜２Ｄが、横方向に
並んだ状態で設けられている。さらに、スライダ２の上
面には、回転駆動される磁気ディスクによって生じる空
気流が、スライダ２のピッチ方向（磁気ディスクの接線
方向）に沿って通流させて、磁気ディスクとの間にエア
潤滑膜を形成するエアーベアリング面２Ｆが設けられて
いる。

【００２９】スライダ２は、エアーベアリング面２Ｆの
中心位置が、ジンバル６の中央部に設けられた突起部６
Ｃに対応するように、スライダ支持部８Ｅ上に配置され
ている。

【００３０】薄膜圧電体用基板８における三角形状にな
った支持基板部８Ａには、支持基板部８Ａにおける三角
形状の頂部を除いて整合状態で配置された薄膜圧電体１
１が設けられている。

【００３１】図５は、図４のＢ−Ｂ線における断面図で
あり、図４および図５にそれぞれ矢印Ａ２で示す方向
が、相互に対応している。薄膜圧電体１１における上面
（薄膜圧電体用基板８とは反対側面）には、第１電極１
１Ａが設けられており、この第１電極１１Ａが絶縁膜１
１Ｃによって覆われている。また、薄膜圧電体用基板８
と薄膜圧電体１１との間には、第２電極１１Ｂが設けら
れており、この第２電極１１Ｂが接地されている。

【００３２】第１電極１１Ａａおよび１１Ｂ間に電圧を
印加することによって、薄膜圧電体１１に電圧を印加す
ると、薄膜圧電体１１は第１電極１１Ａから電極層１１
Ｂの方向（図５に矢印Ａ１で示す方向）に伸びる（Ｄ３
３モード）とともに、矢印Ａ１の方向と直交する方向
（図５に矢印Ａ２で示す方向）に収縮する（Ｄ３１モー
ド）。そして、このＤ３１モードの薄膜圧電体１１の収
縮を利用して、スライダ２のヘッド１を、磁気ディスク
における直径方向に沿って微小変位させて、ヘッド１の
トラッキング補正を行うようになっている。

【００３３】薄膜圧電体用基板８の支持基板部８Ａに
は、薄膜圧電体１１の近傍部分を除いて、薄膜圧電体駆
動パターン１５が設けられている。薄膜圧電体駆動パタ
ーン１５は、絶縁膜１５Ａによって覆われており、ま
た、薄膜圧電体用基板８との間に電極部１５Ｂが設けら
れている。そして、絶縁膜１５Ａから露出した薄膜圧電
体駆動パターン１５の一部と薄膜圧電体１１における上
面に設けられた第１電極１１Ａにおける絶縁膜１１Ｃか
ら露出した部分とが、ワイヤーボンド１９によって、電
気的に接続されている。

【００３４】薄膜圧電体駆動パターン１５に設けられた
電極部１５Ｂは、薄膜圧電体用基板８の支持基板部８Ａ
における側部に設けられた端子部１５Ｄに接続されてい
る。

【００３５】薄膜圧電体用基板８には、スライダ支持部
８Ｅ上に取り付けられるスライダ２の各端子２Ａ〜２Ｄ
に接続される信号パターン１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ、１
２Ｄがそれぞれ設けられている。一対の信号パターン１
２Ａおよび１２Ｂは、薄膜圧電体用基板８の本体部８
Ｈ、支持基板部８Ａおよび第１支持部８Ｂ上に配置され
ており、それぞれの各端部が、スライダ支持部８Ｅ上お
よび本体部８Ｈの側部上にそれぞれ位置されている。ま
た、他方の一対の信号パターン１２Ｃおよび１２Ｄは、
本体部８Ｈ、薄膜圧電体用基板８の枠部８Ｃおよび第２
支持部８Ｇ上に配置されており、それぞれの各端部が、
スライダ支持部８Ｅ上および本体部８Ｈの側部上にそれ
ぞれ配置されている。

【００３６】以上のように構成されたディスク装置のヘ
ッド支持機構１００について、図６を用いてその動作を
説明する。図６（ａ）は、ヘッド支持機構１００の要部
の側面図、図６（ｂ）は、その平面図である。薄膜圧電
体１１に対して、薄膜圧電体１１が縮む方向に電圧（負
の電圧）を印加すると、薄膜圧電体１１は長手方向（矢
印Ａ２で示す方向）に収縮する。ステンレス等で構成さ
れた薄膜圧電体基板８は、矢印Ａ２で示す収縮方向に対
して剛性が高いために、薄膜圧電体１１と、薄膜圧電体
１１に積層された薄膜圧電体用基板８とには、バイメタ
ル効果により、図６（ａ）に示すように、反りを生じ
る。

【００３７】薄膜圧電体１１および薄膜圧電体基板８に
このような反りが生じると、この反りに応じて、薄膜圧
電体基板８における先細になった先端部分Ｐ（図６
（ｂ）参照）は、薄膜圧電体１１自身の収縮と、バイメ
タル効果による反りとにより、矢印Ａ４で示す方向にδ
だけ微小変位することになる。

【００３８】薄膜圧電体１１に電圧が印加されることに
より、薄膜圧電体１１が図４に示す矢印Ａ４方向に微小
変位すると、薄膜圧電体基板１１の第１支持部８Ｂが、
支持基板部８Ａに牽引されて、第２の弾性ヒンジ部１４
も同方向に牽引される。これにより、薄膜圧電体基板８
のステイダ支持部８Ｅが、第１の弾性ヒンジ部１３を回
動中心として微小回動する。

【００３９】スライダ支持部８Ａが第１の弾性ヒンジ部
１３を回動中心として微小回動すると、スライダ支持部
８Ｅ上に支持されたスライダ２のヘッド１は、磁気ディ
スクの半径方向に対して、磁気ディスクに設けられた記
録トラックの幅寸法の数倍程度にわたって移動すること
になる。薄膜圧電体１１に対して電圧を印加しない状態
になると、薄膜圧電体基板８は、図５に示した初期状態
（電圧を印加する前の状態）に復帰する。

【００４０】このように、薄膜圧電体１１が、電圧が印
加されることにより、磁気ディスクの接線方向（矢印Ａ
２で示す方向）に伸縮すると、薄膜圧電体１１を保持す
る薄膜圧電体基板８と薄膜圧電体１１とには反りが生
じ、薄膜庄電体基板８の支持基板部８Ａには、磁気ディ
スクの接線方向（矢印Ａ２で示す方向）に沿った直線変
位が生じる。

【００４１】即ち、薄膜圧電体基板８は、磁気ディスク
の表面に対して、実質的に垂直な方向（矢印Ａ１で示す
方向）の反りに基づいて、直線変位δ１を生じ、この直
線変位δ１によって、スライダ支持部８Ｅは、ヘッド１
がディスクの半径方向（矢印Ａ５方向）に変位されるよ
うに回動される。その結果、スライダ２のヘッド１は、
磁気ディスクの半径方向に沿って変位されて、オントラ
ック制御される。

【００４２】この場合、薄膜圧電体１１は、負電圧が印
加されることによって収縮するようになっているため
に、薄膜圧電体１１の反りによる変位方向と薄膜圧電体
１１自体の収縮方向とが一致しており、電圧の印加量に
対して大きな変位量δが得られる。

【００４３】薄膜圧電体１１に印加される電圧と薄膜圧
電体１１の先端部分Ｐとの関係を、図７に示す。薄膜圧
電体１１が伸びる方向に電圧が印加される場合を正、薄
膜圧電体１１が縮む方向に印加される電圧を負とする
と、薄膜圧電体１１に対する印加電圧の絶対値が同一で
あれば、負の印加電圧による薄膜圧電体１１の先端部分
Ｐの図６に矢印Ａ４で示す方向への変位量は、正の印加
電圧による薄膜圧電体１１の先端部分Ｐの図６に矢印Ａ
４で示す方向とは反対方向への変位量よりも大きくな
る。これは、前述したように、負の印加電圧による薄膜
圧電体１１の先端部分Ｐの薄膜圧電体１１の反りによる
変位方向と、収縮方向とが一致していることによる。

【００４４】また、薄膜圧電体１１は、三角形状になっ
ていることにより、三角形の頂点部分の変位量は、薄膜
圧電体１１が矩形状（長板状）になっている場合より
も、大きくなる。図８は、薄膜圧電体１１が三角形状の
場合と、矩形状の場合とにおける薄膜圧電体１１に印加
される電圧と、薄膜圧電体１１の端部の変位量との関係
を示している。薄膜圧電体１１に対する印加電圧は、絶
対値で示している。図８に示すように、薄膜圧電体１１
に対する印加電圧が小さい領域では、各薄膜圧電体１１
は、それぞれの形状の相違にもかかわらず、先端位置は
ほぼ同様に変位する。しかし、薄膜圧電体１１に対する
印加電圧が増加すると、三角形状の薄膜圧電体１１で
は、その先端位置の変位量が大きく増加するが、矩形形
状の薄膜圧電体１１では、その先端位置の変位量が小さ
くなる。従って、それぞれの薄膜圧電体１１に等しい電
圧を印加した場合には、三角形状の薄膜圧電体１１にお
ける先端位置の変位量が、矩形状の薄膜圧電体１１より
も大きくなる。

【００４５】図９（ａ）および（ｂ）に、矩形状の薄膜
圧電体１１と、三角形状の薄膜圧電体１１との変形状態
をそれぞれ示す。矩形状の薄膜圧電体１１では、長手方
向に沿って反り（Ｕ方向に沿った曲げ）が発生するとと
もに、幅方向（Ｙ方向）に沿っても曲げが発生する。こ
のとき、矩形状薄膜圧電体１１の先端部における各側縁
部（図９（ａ）に、ＲおよびＱで示す領域）の変形は、
先端位置Ｐの変位に大きく寄与しない。また、幅方向で
あるＹ方向に沿った曲げは、Ｕ方向に沿った曲げの変位
には寄与しないばかりでなく、矩形状の薄膜圧電体１１
の剛性を高めるために、薄膜圧電体１１の変形を抑制す
ることになる。

【００４６】これに対して、図９（ｂ）に示す３角形状
の薄膜圧電体１１の場合には、このように、先端部にお
ける各側縁部によって、先端位置Ｐの変位が抑制される
おそれがなく、また、Ｙ方向に沿った曲げによるＵ方向
に沿った曲げの変位の抑制も小さくなり、Ｕ方向に沿っ
た曲げによって、先端位置Ｐの変位が大きくなる。

【００４７】このように薄膜圧電体１１の形状を三角形
状とすることにより、印加電圧に対して、ヘッド１の変
位量を大きくすることができる。

【００４８】また、薄膜圧電体１１の形状を３角形状と
することにより、スライダ２を支持する先端部の質量を
小さくすることができるために、薄膜圧電体１１の共振
周波数を、矩形状の薄膜圧電体１１よりも高くすること
が可能となる。このように、薄膜圧電体１１の共振周波
数を高くすることによって、ヘッド１をより高精度に位
置決めすることができ、高いオントラック制御性を確保
することができる。

【００４９】本実施の形態によれば、薄膜圧電体基板８
の厚みを１０μｍ、薄膜圧電体１１の厚みを２μｍ、薄
膜圧電体１１の長手方向の寸法を１０ｍｍ、薄膜圧電体
１１に印加する電庄を３Ｖとした場合に、ヘッド部１
は、磁気ディスクの半径方向に０．９μｍ変位させるこ
とができる。

【００５０】また、本実施の形態によれば、スライダ２
は、そのエアーベアリング面２Ｆの中心位置を中心とし
て回動するために、例えば空気粘性摩擦力等の外乱の影
響によって、スライダ２の変位量が大きく変化するおそ
れがない。

【００５１】

【発明の効果】以上のように、本発明のヘッド支持機構
は、トラッキング補正等のために、ヘッドを高精度で微
小に変位させることができる。

【００５２】また、本発明のヘッド支持機構は、印加電
圧に対して効率的にヘッドを微小変位させることが可能
である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のヘッド支持機構の実施の形態の一例を
示す斜視図である。

【図２】そのヘッド支持機構を分解して示す斜視図であ
る。

【図３】そのヘッド支持機構に使用されるスライダの斜
視図である。

【図４】そのヘッド支持機構に使用される薄膜圧電体基
板の平面図である。

【図５】そのヘッド支持機構における薄膜圧電体基板の
要部断面図である。

【図６】（ａ）は、そのヘッド支持機構の動作説明のた
めの要部の側面図、（ｂ）は、その平面図である。

【図７】そのヘッド支持機構における印加電圧と薄膜圧
電体の先端部の変位との関係を示すグラフである。

【図８】矩形状および三角形状の各薄膜圧電体形状にお
ける印加電圧と薄膜圧電体の先端部の変位との関係を示
すグラフである。

【図９】（ａ）は、矩形状の薄膜圧電体の変形を示す模
式図、（ｂ）は、三角形状の薄膜圧電体の変形を示す模
式図である。

【図１０】従来のディスク装置のヘッド支持機構の構成
図である。

【符号の説明】

１ ヘッド部 ２ スライダ ５ フレクシヤ ６ ジンバル ８ 薄膜圧電体基板 ８Ａ 支持基板部 １１ 薄膜圧電体

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 喜多 洋三 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 松岡 薫 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 5D059 AA01 BA01 CA08 DA19 DA26 EA08

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転駆動されるディスクに対して少なく
   ともデータの再生を行うヘッドが設けられたスライダ
   と、 先端部になるにつれて順次幅方向寸法が小さくなった長
   板状であって、その先端部上に該スライダが支持されて
   おり、前記ディスクの表面に対して実質的に垂直な方向
   に変位することによって、該スライダを支持する先端部
   が、ディスク表面に対して実質的に平行な方向に変位す
   るようになった支持基板部と、 該支持基板部を、前記ディスクの表面に対して実質的に
   垂直な方向に変位させる駆動部材と、 を具備することを特徴とするディスクのヘッド支持機
   構。
2. 【請求項２】 前記支持基板部は、略三角形状をしてい
   る請求項１記載のディスク装置のヘッド支持機構。
3. 【請求項３】 前記駆動部材は、電圧が印加されること
   によって収縮して、前記支持基板部を反った状態にする
   ように該支持基板部に積層状態で配置された薄膜圧電体
   である請求項２記載のディスク装置のヘッド支持機構。
4. 【請求項４】 回転駆動されるディスクに対して少なく
   ともデータの再生を行うヘッドが設けられたスライダ
   と、 該スライダを一方の端部上に支持する長板状の支持基板
   部と、 電圧が印加されることによって収縮して、該支持基板部
   を反った状態にするように該支持基板部に積層状態で配
   置された駆動部材とを具備し、 該駆動部材の収縮方向と、該支持基板部における反りに
   より発生する長手方向の収縮方向とが一致していること
   を特徴とするディスク装置のヘッド支持機構。
5. 【請求項５】 前記駆動部材が薄膜圧電体である請求項
   ４記載のディスク装置のヘッド支持機構。