JP2001205274A - イソプロピルアルコール含有水の処理方法及び処理装置 - Google Patents
イソプロピルアルコール含有水の処理方法及び処理装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】半導体、液晶などの電子部品製造工場における
イソプロピルアルコールを含む排水を、少量の酸化剤を
用いて温和な条件で処理し、超純水の原水として回収す
ることができるイソプロピルアルコール含有水の処理方
法及び処理装置を提供する。 【解決手段】電子部品製造工程で発生するイソプロピル
アルコール含有排水を、加熱、酸化、脱気によって処理
し、得られた処押水を超純水製造用水として回収するこ
とを特徴とするイソプロピルアルコール含有水の処理方
法、並びに、電子部品製造工程で発生するイソプロピル
アルコール含有排水を処理し、得られた処理水を超純水
製造用水として回収するイソプロピルアルコール含有水
の処理装置において、加熱手段、酸化手段及び真空脱気
手段を有することを特徴とするイソプロピルアルコール
含有水の処理装置。
イソプロピルアルコールを含む排水を、少量の酸化剤を
用いて温和な条件で処理し、超純水の原水として回収す
ることができるイソプロピルアルコール含有水の処理方
法及び処理装置を提供する。 【解決手段】電子部品製造工程で発生するイソプロピル
アルコール含有排水を、加熱、酸化、脱気によって処理
し、得られた処押水を超純水製造用水として回収するこ
とを特徴とするイソプロピルアルコール含有水の処理方
法、並びに、電子部品製造工程で発生するイソプロピル
アルコール含有排水を処理し、得られた処理水を超純水
製造用水として回収するイソプロピルアルコール含有水
の処理装置において、加熱手段、酸化手段及び真空脱気
手段を有することを特徴とするイソプロピルアルコール
含有水の処理装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、イソプロピルアル
コール含有水の処理方法及び処理装置に関する。さらに
詳しくは、本発明は、半導体、液晶などの電子部品製造
工場におけるイソプロピルアルコールを含む排水を、少
量の酸化剤を用いて温和な条件で処理し、超純水の原水
として回収することができるイソプロピルアルコール含
有水の処理方法及び処理装置に関する。
コール含有水の処理方法及び処理装置に関する。さらに
詳しくは、本発明は、半導体、液晶などの電子部品製造
工場におけるイソプロピルアルコールを含む排水を、少
量の酸化剤を用いて温和な条件で処理し、超純水の原水
として回収することができるイソプロピルアルコール含
有水の処理方法及び処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体や液晶などの製造工場において
は、洗浄のために多量の超純水が使用されており、環境
への負荷低減、水資源の有効活用などの観点から、リン
ス排水の回収再利用が広く行われている。リンス排水の
中には、イソプロピルアルコールが含まれる場合が多
く、リンス排水を再利用するためには、イソプロピルア
ルコールを除去する必要がある。従来より、排水中に含
まれるイソプロピルアルコールの除去には、微生物を利
用する生物的処理、過硫酸ナトリウムなどの酸化剤を用
いて高温で反応する湿式酸化分解法、オゾンと紫外線照
射の組み合わせ、オゾンと過酸化水素の組み合わせなど
で発生するヒドロキシルラジカルとの反応を利用する促
進酸化分解法などが行われてきた。これらの方法によれ
ば、イソプロピルアルコールは酸化分解されて、二酸化
炭素と水となって除去される。しかし、生物的処理によ
る場合は、排水中のイソプロピルアルコールの濃度の変
動に弱く、発生する余剰菌体の処理に負担がかかるとい
う問題がある。化学的酸化分解法による場合、イソプロ
ピルアルコールから二酸化炭素と水への完全分解は分解
効率が悪く、多量の酸化剤と多大のエネルギーを必要と
する。また、酸化剤として過硫酸塩などを用いると、イ
オン負荷が増大する。さらに、１００℃を超える高温で
の反応には、耐圧容器が必要であり、その取り扱い難さ
という問題もある。このために、排水中に含まれるイソ
プロピルアルコールを、酸化剤の使用量が少なく、より
温和な条件で除去することができるイソプロピルアルコ
ール含有水の処理方法及び処理装置が求められていた。
は、洗浄のために多量の超純水が使用されており、環境
への負荷低減、水資源の有効活用などの観点から、リン
ス排水の回収再利用が広く行われている。リンス排水の
中には、イソプロピルアルコールが含まれる場合が多
く、リンス排水を再利用するためには、イソプロピルア
ルコールを除去する必要がある。従来より、排水中に含
まれるイソプロピルアルコールの除去には、微生物を利
用する生物的処理、過硫酸ナトリウムなどの酸化剤を用
いて高温で反応する湿式酸化分解法、オゾンと紫外線照
射の組み合わせ、オゾンと過酸化水素の組み合わせなど
で発生するヒドロキシルラジカルとの反応を利用する促
進酸化分解法などが行われてきた。これらの方法によれ
ば、イソプロピルアルコールは酸化分解されて、二酸化
炭素と水となって除去される。しかし、生物的処理によ
る場合は、排水中のイソプロピルアルコールの濃度の変
動に弱く、発生する余剰菌体の処理に負担がかかるとい
う問題がある。化学的酸化分解法による場合、イソプロ
ピルアルコールから二酸化炭素と水への完全分解は分解
効率が悪く、多量の酸化剤と多大のエネルギーを必要と
する。また、酸化剤として過硫酸塩などを用いると、イ
オン負荷が増大する。さらに、１００℃を超える高温で
の反応には、耐圧容器が必要であり、その取り扱い難さ
という問題もある。このために、排水中に含まれるイソ
プロピルアルコールを、酸化剤の使用量が少なく、より
温和な条件で除去することができるイソプロピルアルコ
ール含有水の処理方法及び処理装置が求められていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、半導体、液
晶などの電子部品製造工場におけるイソプロピルアルコ
ールを含む排水を、少量の酸化剤を用いて温和な条件で
処理し、超純水の原水として回収することができるイソ
プロピルアルコール含有水の処理方法及び処理装置を提
供することを目的としてなされたものである。
晶などの電子部品製造工場におけるイソプロピルアルコ
ールを含む排水を、少量の酸化剤を用いて温和な条件で
処理し、超純水の原水として回収することができるイソ
プロピルアルコール含有水の処理方法及び処理装置を提
供することを目的としてなされたものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明者は、上記の課題
を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、排水中に含まれる
イソプロピルアルコールを酸化によりアセトンとし、次
いで脱気によりアセトンを除去することにより、排水中
のイソプロピルアルコールを効率的に除去し得ることを
見いだし、この知見に基づいて本発明を完成するに至っ
た。すなわち、本発明は、（１）電子部品製造工程で発
生するイソプロピルアルコール含有排水を、加熱、酸
化、脱気によって処理し、得られた処押水を超純水製造
用水として回収することを特徴とするイソプロピルアル
コール含有水の処理方法、（２）酸化によってアセトン
を生成せしめる第１項記載のイソプロピルアルコール含
有水の処理方法、（３）脱気を真空脱気により行う第１
項記載のイソプロピルアルコール含有水の処理方法、及
び、（４）電子部品製造工程で発生するイソプロピルア
ルコール含有排水を処理し、得られた処理水を超純水製
造用水として回収するイソプロピルアルコール含有水の
処理装置において、加熱手段、酸化手段及び真空脱気手
段を有することを特徴とするイソプロピルアルコール含
有水の処理装置、を提供するものである。
を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、排水中に含まれる
イソプロピルアルコールを酸化によりアセトンとし、次
いで脱気によりアセトンを除去することにより、排水中
のイソプロピルアルコールを効率的に除去し得ることを
見いだし、この知見に基づいて本発明を完成するに至っ
た。すなわち、本発明は、（１）電子部品製造工程で発
生するイソプロピルアルコール含有排水を、加熱、酸
化、脱気によって処理し、得られた処押水を超純水製造
用水として回収することを特徴とするイソプロピルアル
コール含有水の処理方法、（２）酸化によってアセトン
を生成せしめる第１項記載のイソプロピルアルコール含
有水の処理方法、（３）脱気を真空脱気により行う第１
項記載のイソプロピルアルコール含有水の処理方法、及
び、（４）電子部品製造工程で発生するイソプロピルア
ルコール含有排水を処理し、得られた処理水を超純水製
造用水として回収するイソプロピルアルコール含有水の
処理装置において、加熱手段、酸化手段及び真空脱気手
段を有することを特徴とするイソプロピルアルコール含
有水の処理装置、を提供するものである。
【０００５】
【発明の実施の形態】本発明のイソプロピルアルコール
含有水の処理方法においては、電子部品製造工程で発生
するイソプロピルアルコール含有排水を、加熱、酸化、
脱気によって処理し、得られた処押水を超純水製造用水
として回収する。本発明のイソプロピルアルコール含有
水の処理装置は、電子部品製造工程で発生するイソプロ
ピルアルコール含有排水を処理し、得られた処理水を超
純水製造用水として回収するイソプロピルアルコール含
有水の処理装置において、加熱手段、酸化手段及び真空
脱気手段を有する装置である。半導体基板、液晶基板な
どの製造工程で使用されるイソプロピルアルコールは、
超純水によるリンスにより、イソプロピルアルコールを
含有する洗浄排水として排出される。このイソプロピル
アルコール含有排水は、他の不純物の含有量が少ないこ
とから、イソプロピルアルコールを除去すれば比較的良
好な水質となり、超純水製造用の原水として回収され
る。本発明方法及び装置は、このようなイソプロピルア
ルコール含有洗浄排水からイソプロピルアルコールを除
去し、超純水製造用の原水として回収する工程に好適に
適用することができる。本発明においては、イソプロピ
ルアルコール含有排水中のイソプロピルアルコールを、
酸化により主としてアセトンに変換する。使用する酸化
手段に特に制限はなく、例えば、オゾン、過酸化水素、
過酢酸、過酸化ベンゾイル、過硫酸ナトリウムなどの酸
化剤の添加や、紫外線の照射などを挙げることができ
る。これらの酸化手段の中で、オゾン又は過酸化水素を
添加する酸化方式、紫外線照射による酸化方式、及び、
これらの手段の併用は、得られる処理水中に、酸化手段
に由来する有機物や無機塩などの不純物を残さないの
で、特に好適に用いることができる。
含有水の処理方法においては、電子部品製造工程で発生
するイソプロピルアルコール含有排水を、加熱、酸化、
脱気によって処理し、得られた処押水を超純水製造用水
として回収する。本発明のイソプロピルアルコール含有
水の処理装置は、電子部品製造工程で発生するイソプロ
ピルアルコール含有排水を処理し、得られた処理水を超
純水製造用水として回収するイソプロピルアルコール含
有水の処理装置において、加熱手段、酸化手段及び真空
脱気手段を有する装置である。半導体基板、液晶基板な
どの製造工程で使用されるイソプロピルアルコールは、
超純水によるリンスにより、イソプロピルアルコールを
含有する洗浄排水として排出される。このイソプロピル
アルコール含有排水は、他の不純物の含有量が少ないこ
とから、イソプロピルアルコールを除去すれば比較的良
好な水質となり、超純水製造用の原水として回収され
る。本発明方法及び装置は、このようなイソプロピルア
ルコール含有洗浄排水からイソプロピルアルコールを除
去し、超純水製造用の原水として回収する工程に好適に
適用することができる。本発明においては、イソプロピ
ルアルコール含有排水中のイソプロピルアルコールを、
酸化により主としてアセトンに変換する。使用する酸化
手段に特に制限はなく、例えば、オゾン、過酸化水素、
過酢酸、過酸化ベンゾイル、過硫酸ナトリウムなどの酸
化剤の添加や、紫外線の照射などを挙げることができ
る。これらの酸化手段の中で、オゾン又は過酸化水素を
添加する酸化方式、紫外線照射による酸化方式、及び、
これらの手段の併用は、得られる処理水中に、酸化手段
に由来する有機物や無機塩などの不純物を残さないの
で、特に好適に用いることができる。
【０００６】本発明においては、イソプロピルアルコー
ルの酸化を促進するために、触媒を用いることが好まし
い。触媒としては、任意の酸化還元触媒を使用すること
ができ、このような触媒としては、例えば、白金、ルテ
ニウム、酸化チタンなどや、これらをアルミナ、ゼオラ
イトなどの担体に担持させた触媒、二酸化マンガン、硫
酸銅、塩化銅などの銅塩などを挙げることができる。本
発明において、イソプロピルアルコール含有排水を触媒
と接触させる方法に特に制限はないが、触媒を充填した
反応塔に通水することが好ましい。イソプロピルアルコ
ール含有排水中のイソプロピルアルコールは、酸化反応
により、逐次アセトン、酢酸、二酸化炭素に変換され
る。本発明においては、イソプロピルアルコールの可及
的大部分がアセトンとなる段階で反応を止めることが好
ましい。アセトンは、これらの化合物の中で最も沸点が
低いので、脱気により容易に除去することができる。通
常は、イソプロピルアルコールとアセトンと酢酸が共存
する状態又はアセトンと酢酸が共存する状態となる。共
存する比較的少量のイソプロピルアルコールは、脱気に
よりアセトンとともに除去される。酢酸は、脱気工程の
後段において、イオン交換樹脂と接触させることにより
除去することができ、あるいは、酢酸を含む回収水を超
純水製造用の原水として用い、超純水製造工程に設けら
れたイオン交換処理により除去することもできる。本発
明方法において、アセトンの生成量が多くなる条件は、
排水中のイソプロピルアルコール濃度、酸化剤の種類と
添加量、紫外線の波長と照射量などの酸化手段、反応温
度、反応時間などにより選択することができる。これら
の中で、添加する酸化剤量と反応時間による制御が容易
である。例えば、水中の有機体炭素（ＴＯＣ）の３０重
量倍の過酸化水素を添加し、ゼオライトに担持させたル
テニウムを触媒として８０℃で反応する場合、触媒との
接触時間を１〜１０分程度とすることにより、アセトン
の生成量を最大とすることができる。
ルの酸化を促進するために、触媒を用いることが好まし
い。触媒としては、任意の酸化還元触媒を使用すること
ができ、このような触媒としては、例えば、白金、ルテ
ニウム、酸化チタンなどや、これらをアルミナ、ゼオラ
イトなどの担体に担持させた触媒、二酸化マンガン、硫
酸銅、塩化銅などの銅塩などを挙げることができる。本
発明において、イソプロピルアルコール含有排水を触媒
と接触させる方法に特に制限はないが、触媒を充填した
反応塔に通水することが好ましい。イソプロピルアルコ
ール含有排水中のイソプロピルアルコールは、酸化反応
により、逐次アセトン、酢酸、二酸化炭素に変換され
る。本発明においては、イソプロピルアルコールの可及
的大部分がアセトンとなる段階で反応を止めることが好
ましい。アセトンは、これらの化合物の中で最も沸点が
低いので、脱気により容易に除去することができる。通
常は、イソプロピルアルコールとアセトンと酢酸が共存
する状態又はアセトンと酢酸が共存する状態となる。共
存する比較的少量のイソプロピルアルコールは、脱気に
よりアセトンとともに除去される。酢酸は、脱気工程の
後段において、イオン交換樹脂と接触させることにより
除去することができ、あるいは、酢酸を含む回収水を超
純水製造用の原水として用い、超純水製造工程に設けら
れたイオン交換処理により除去することもできる。本発
明方法において、アセトンの生成量が多くなる条件は、
排水中のイソプロピルアルコール濃度、酸化剤の種類と
添加量、紫外線の波長と照射量などの酸化手段、反応温
度、反応時間などにより選択することができる。これら
の中で、添加する酸化剤量と反応時間による制御が容易
である。例えば、水中の有機体炭素（ＴＯＣ）の３０重
量倍の過酸化水素を添加し、ゼオライトに担持させたル
テニウムを触媒として８０℃で反応する場合、触媒との
接触時間を１〜１０分程度とすることにより、アセトン
の生成量を最大とすることができる。
【０００７】本発明において、加熱と酸化の順序に特に
制限はなく、例えば、イソプロピルアルコール含有排水
を加熱したのち、酸化剤添加、紫外線照射などを行うこ
とができ、イソプロピルアルコール含有排水に酸化剤添
加、紫外線照射などを行ったのち、加熱することもで
き、あるいは、加熱と、酸化剤添加、紫外線照射などを
並行して行うこともできる。また、加熱したのち脱気す
ることができ、加熱しつつ脱気することもできる。本発
明においては、イソプロピルアルコール含有排水を加熱
することにより、イソプロピルアルコールの酸化反応を
促進するとともに、生成したアセトンの水中よりの除去
が容易になる。従来のイソプロピルアルコール含有排水
の処理方法においては、イソプロピルアルコールの大部
分を二酸化炭素及び酢酸まで酸化することに主眼を置い
ていたために、１００℃を超える高温への加熱が必要で
あった。本発明方法においては、イソプロピルアルコー
ルの可及的大部分をアセトンに変換することに主眼を置
くために、常温又は１００℃以下の加熱で十分であり、
その結果、耐圧容器を必要とせず、安価で取り扱いの容
易な常圧反応用の容器を用いて反応を行うことができ
る。また、イソプロピルアルコールの酸化をアセトンま
でとするために、酸化に使用する熱及び酸化剤を最低限
にとどめることができる。酸化工程での酸化方式に特に
制限はないが、後段の脱気工程においては加熱された状
態とする必要があるので、エネルギーを有効活用するた
めに、加熱を併用した酸化方式を用い、酸化後の被処理
水をそのまま冷却することなく、脱気工程に通水するこ
とが好ましい。酸化工程で加熱しない場合や、加熱不足
の場合には、脱気工程の前で加熱することができる。
制限はなく、例えば、イソプロピルアルコール含有排水
を加熱したのち、酸化剤添加、紫外線照射などを行うこ
とができ、イソプロピルアルコール含有排水に酸化剤添
加、紫外線照射などを行ったのち、加熱することもで
き、あるいは、加熱と、酸化剤添加、紫外線照射などを
並行して行うこともできる。また、加熱したのち脱気す
ることができ、加熱しつつ脱気することもできる。本発
明においては、イソプロピルアルコール含有排水を加熱
することにより、イソプロピルアルコールの酸化反応を
促進するとともに、生成したアセトンの水中よりの除去
が容易になる。従来のイソプロピルアルコール含有排水
の処理方法においては、イソプロピルアルコールの大部
分を二酸化炭素及び酢酸まで酸化することに主眼を置い
ていたために、１００℃を超える高温への加熱が必要で
あった。本発明方法においては、イソプロピルアルコー
ルの可及的大部分をアセトンに変換することに主眼を置
くために、常温又は１００℃以下の加熱で十分であり、
その結果、耐圧容器を必要とせず、安価で取り扱いの容
易な常圧反応用の容器を用いて反応を行うことができ
る。また、イソプロピルアルコールの酸化をアセトンま
でとするために、酸化に使用する熱及び酸化剤を最低限
にとどめることができる。酸化工程での酸化方式に特に
制限はないが、後段の脱気工程においては加熱された状
態とする必要があるので、エネルギーを有効活用するた
めに、加熱を併用した酸化方式を用い、酸化後の被処理
水をそのまま冷却することなく、脱気工程に通水するこ
とが好ましい。酸化工程で加熱しない場合や、加熱不足
の場合には、脱気工程の前で加熱することができる。
【０００８】脱気によりアセトンを除去するためには、
アセトンの沸点は約５６℃であり、アセトンの沸点以上
に加熱することによりアセトンを確実に除去することが
できる。さらに、真空脱気を適用することにより沸点が
低下し、５６℃以下の加熱によってもアセトンを除去す
ることができる。また、加熱により水中のがス溶解濃度
が低下するので、溶存酸素、溶存窒素、炭酸ガスなども
同時に除去される。本発明においては、加熱温度は３０
〜９５℃であることが好ましく、５０〜８５℃であるこ
とがより好ましい。本発明において、脱気手段に特に制
限はないが、通常の真空脱気又は気相側を吸引する真空
膜脱気を好適に用いることができる。真空脱気又は真空
膜脱気によれば、気相側を減圧することにより、アセト
ンとイソプロピルアルコールが容易に気相側に移行す
る。真空脱気には、充填材や多段方式の採用により脱気
効率を高めた真空脱気塔を用いることが好ましい。真空
脱気塔の通水速度と真空度に特に制限はないが、通水線
速度として２０〜５０ｍ／ｈであることが好ましく、真
空度として６.６５〜６６.５kPaであることが好まし
い。窒素脱気や放散塔も用いることができるが、熱の損
失が大きくなる。微量のイソプロピルアルコールが処理
水中に残存する場合、そのイソプロピルアルコールは超
純水製造工程で除去される。
アセトンの沸点は約５６℃であり、アセトンの沸点以上
に加熱することによりアセトンを確実に除去することが
できる。さらに、真空脱気を適用することにより沸点が
低下し、５６℃以下の加熱によってもアセトンを除去す
ることができる。また、加熱により水中のがス溶解濃度
が低下するので、溶存酸素、溶存窒素、炭酸ガスなども
同時に除去される。本発明においては、加熱温度は３０
〜９５℃であることが好ましく、５０〜８５℃であるこ
とがより好ましい。本発明において、脱気手段に特に制
限はないが、通常の真空脱気又は気相側を吸引する真空
膜脱気を好適に用いることができる。真空脱気又は真空
膜脱気によれば、気相側を減圧することにより、アセト
ンとイソプロピルアルコールが容易に気相側に移行す
る。真空脱気には、充填材や多段方式の採用により脱気
効率を高めた真空脱気塔を用いることが好ましい。真空
脱気塔の通水速度と真空度に特に制限はないが、通水線
速度として２０〜５０ｍ／ｈであることが好ましく、真
空度として６.６５〜６６.５kPaであることが好まし
い。窒素脱気や放散塔も用いることができるが、熱の損
失が大きくなる。微量のイソプロピルアルコールが処理
水中に残存する場合、そのイソプロピルアルコールは超
純水製造工程で除去される。
【０００９】本発明により回収された処理水は、超純水
製造工程の原水として使用することができる。超純水製
造工程は、凝集、ろ過、除濁膜、吸着などの手段で懸濁
物の除去や有機物の粗取りを行う前処理工程、逆浸透
膜、イオン交換、電気再生式脱イオン装置、酸化装置な
どの手段で脱塩、有機物除去を行う一次純水製造工程、
紫外線照射、非再生イオン交換装置、膜ろ過などの手段
で、純度をさらに高めるサブシステムと呼ばれる二次純
水製造工程からなる。本発明により回収された処理水
は、前処理工程又は一次純水製造工程の前に供給し、処
押水の純度に応じて、それらの工程の中の供給位置を選
択することが好ましい。図１は、本発明のイソプロピル
アルコール含有水の処理装置の一態様の工程系統図であ
る。イソプロピルアルコールを含有する排水は、熱回収
用熱交換器１において、脱気塔４の流出水との間で熱交
換が行われ、熱エネルギーが回収され、イソプロピルア
ルコール含有排水が予熱される。予熱されたイソプロピ
ルアルコール含有排水は、次いで、加熱用熱交換器２に
おいて、所定の温度まで昇温される。所定の温度まで昇
温されたイソプロピルアルコール含有排水には、過酸化
水素などの酸化剤が添加され、触媒を充填した反応塔３
において、イソプロピルアルコールの大部分が酸化され
てアセトンに変換される。反応塔から流出する被処理水
は、脱気塔４において真空脱気され、生成したアセトン
と残存する少量のイソプロピルアルコールが除去され
る。脱気塔の流出水は、熱回収用熱交換器１において冷
却されたのち、混床式又はアニオン交換樹脂が充填され
たイオン交換樹脂塔５に通水され、生成した極微量の酢
酸が除去され、処理水が得られる。本発明のイソプロピ
ルアルコール含有水の処理方法及び処理装置によれば、
電子部品製造工程で発生するイソプロピルアルコール含
有排水を、少ない酸化剤使用量かつ温和な条件で処理し
て、イソプロピルアルコールをアセトンに変換して除去
し、超純水製造用水として経済的に回収することができ
る。
製造工程の原水として使用することができる。超純水製
造工程は、凝集、ろ過、除濁膜、吸着などの手段で懸濁
物の除去や有機物の粗取りを行う前処理工程、逆浸透
膜、イオン交換、電気再生式脱イオン装置、酸化装置な
どの手段で脱塩、有機物除去を行う一次純水製造工程、
紫外線照射、非再生イオン交換装置、膜ろ過などの手段
で、純度をさらに高めるサブシステムと呼ばれる二次純
水製造工程からなる。本発明により回収された処理水
は、前処理工程又は一次純水製造工程の前に供給し、処
押水の純度に応じて、それらの工程の中の供給位置を選
択することが好ましい。図１は、本発明のイソプロピル
アルコール含有水の処理装置の一態様の工程系統図であ
る。イソプロピルアルコールを含有する排水は、熱回収
用熱交換器１において、脱気塔４の流出水との間で熱交
換が行われ、熱エネルギーが回収され、イソプロピルア
ルコール含有排水が予熱される。予熱されたイソプロピ
ルアルコール含有排水は、次いで、加熱用熱交換器２に
おいて、所定の温度まで昇温される。所定の温度まで昇
温されたイソプロピルアルコール含有排水には、過酸化
水素などの酸化剤が添加され、触媒を充填した反応塔３
において、イソプロピルアルコールの大部分が酸化され
てアセトンに変換される。反応塔から流出する被処理水
は、脱気塔４において真空脱気され、生成したアセトン
と残存する少量のイソプロピルアルコールが除去され
る。脱気塔の流出水は、熱回収用熱交換器１において冷
却されたのち、混床式又はアニオン交換樹脂が充填され
たイオン交換樹脂塔５に通水され、生成した極微量の酢
酸が除去され、処理水が得られる。本発明のイソプロピ
ルアルコール含有水の処理方法及び処理装置によれば、
電子部品製造工程で発生するイソプロピルアルコール含
有排水を、少ない酸化剤使用量かつ温和な条件で処理し
て、イソプロピルアルコールをアセトンに変換して除去
し、超純水製造用水として経済的に回収することができ
る。
【００１０】
【実施例】以下に、実施例を挙げて本発明をさらに詳細
に説明するが、本発明はこれらの実施例によりなんら限
定されるものではない。 実施例１ 図１に示す工程により、イソプロピルアルコール含有排
水の処理を行った。この排水の水温は２０℃、有機体炭
素（ＴＯＣ）濃度１０mg／Ｌ、ＴＯＣ成分はすべてイソ
プロピルアルコールであり、溶存酸素濃度は８mg／Ｌで
あった。この排水を熱回収用熱交換器１で７５℃に予熱
し、スチーム加熱による加熱用熱交換器２で８０℃に加
熱し、酸化剤として過酸化水素水を、ＴＯＣ１mg／Ｌあ
たりＨ2Ｏ2が３０mg／Ｌになるように添加した。この過
酸化水素水を添加した８０℃の排水を、ルテニウムをゼ
オライトに担持した触媒を充填した反応塔３に空間速度
１０ｈ-1で通水し、反応塔から流出する８０℃の被処理
水を真空度６６.５kPaの脱気塔４に通水した。反応塔よ
り流出する被処理水のＴＯＣ濃度は９mg／Ｌであり、そ
の内容はイソプロピルアルコール３０重量％、アセトン
６０重量％、酢酸１０重量％であった。また、脱気塔か
ら流出する被処理水のＴＯＣ濃度は１mg／Ｌ以下であ
り、溶存酸素濃度は１mg／Ｌ以下であった。脱気塔から
流出する被処理水は、熱回収用熱交換器１に通水して２
０℃まで冷却し、さらに混床式イオン交換樹脂塔５に通
水した。イオン交換樹脂塔から流出する処理水のＴＯＣ
濃度は、１mg／Ｌ以下であった。 比較例１ 図２に示す工程により、実施例１と同じイソプロピルア
ルコール含有排水の処理を行った。２０℃の排水を熱回
収用熱交換器１で１２５℃に予熱し、スチーム加熱によ
る加熱用熱交換器２で１３０℃に加熱し、酸化剤として
過酸化水素水を、ＴＯＣ１mg／ＬあたりＨ2Ｏ2が１００
mg／Ｌになるように添加した。この過酸化水素水を添加
した１３０℃の排水を、ルテニウムをゼオライトに担持
した触媒を充填した反応塔３に空間速度１ｈ-1で通水
し、反応塔から流出する１３０℃の被処理水を、熱回収
用熱交換器１に通水して２０℃まで冷却し、真空度２.
６６kPaの脱気塔４に通水した。反応塔より流出する被
処理水のＴＯＣ濃度は３mg／Ｌであり、その内容はアセ
トン１０重量％、酢酸９０重量％であった。また、脱気
塔から流出する被処理水のＴＯＣ濃度は３mg／Ｌ、その
内容はアセトン１０重量％、酢酸９０重量％であり、溶
存酸素濃度は１mg／Ｌ以下であった。脱気塔から流出す
る被処理水は、混床式イオン交換樹脂塔５に通水した。
イオン交換樹脂塔から流出する処理水のＴＯＣ濃度は、
１mg／Ｌ以下であった。 比較例２ 図３に示す工程により、実施例１と同じイソプロピルア
ルコール含有排水の処理を行った。２０℃の排水を熱回
収用熱交換器１で１２５℃に予熱し、スチーム加熱によ
る加熱用熱交換器２で１３０℃に加熱し、酸化剤として
過硫酸ナトリウム水溶液を、ＴＯＣ１mg／ＬあたりＮａ
2Ｓ2Ｏ8が１００mg／Ｌになるように添加した。この過
硫酸ナトリウムを添加した１３０℃の排水を、反応塔６
に空間速度１０ｈ-1で通水し、反応塔から流出する１３
０℃の被処理水を、熱回収用熱交換器１に通水して２０
℃まで冷却し、真空度２.６６kPaの脱気塔４に通水し
た。反応塔より流出する被処理水のＴＯＣ濃度は１mg／
Ｌ以下であり、脱気塔から流出する被処理水のＴＯＣ濃
度は１mg／Ｌ以下、溶存酸素濃度は１mg／Ｌ以下であっ
た。脱気塔から流出する被処理水は、逆浸透膜装置７に
通水した。逆浸透膜装置から流出する処理水のＴＯＣ濃
度は、１mg／Ｌ以下であった。実施例１及び比較例１〜
２の処理条件と、結果を第１表に示す。
に説明するが、本発明はこれらの実施例によりなんら限
定されるものではない。 実施例１ 図１に示す工程により、イソプロピルアルコール含有排
水の処理を行った。この排水の水温は２０℃、有機体炭
素（ＴＯＣ）濃度１０mg／Ｌ、ＴＯＣ成分はすべてイソ
プロピルアルコールであり、溶存酸素濃度は８mg／Ｌで
あった。この排水を熱回収用熱交換器１で７５℃に予熱
し、スチーム加熱による加熱用熱交換器２で８０℃に加
熱し、酸化剤として過酸化水素水を、ＴＯＣ１mg／Ｌあ
たりＨ2Ｏ2が３０mg／Ｌになるように添加した。この過
酸化水素水を添加した８０℃の排水を、ルテニウムをゼ
オライトに担持した触媒を充填した反応塔３に空間速度
１０ｈ-1で通水し、反応塔から流出する８０℃の被処理
水を真空度６６.５kPaの脱気塔４に通水した。反応塔よ
り流出する被処理水のＴＯＣ濃度は９mg／Ｌであり、そ
の内容はイソプロピルアルコール３０重量％、アセトン
６０重量％、酢酸１０重量％であった。また、脱気塔か
ら流出する被処理水のＴＯＣ濃度は１mg／Ｌ以下であ
り、溶存酸素濃度は１mg／Ｌ以下であった。脱気塔から
流出する被処理水は、熱回収用熱交換器１に通水して２
０℃まで冷却し、さらに混床式イオン交換樹脂塔５に通
水した。イオン交換樹脂塔から流出する処理水のＴＯＣ
濃度は、１mg／Ｌ以下であった。 比較例１ 図２に示す工程により、実施例１と同じイソプロピルア
ルコール含有排水の処理を行った。２０℃の排水を熱回
収用熱交換器１で１２５℃に予熱し、スチーム加熱によ
る加熱用熱交換器２で１３０℃に加熱し、酸化剤として
過酸化水素水を、ＴＯＣ１mg／ＬあたりＨ2Ｏ2が１００
mg／Ｌになるように添加した。この過酸化水素水を添加
した１３０℃の排水を、ルテニウムをゼオライトに担持
した触媒を充填した反応塔３に空間速度１ｈ-1で通水
し、反応塔から流出する１３０℃の被処理水を、熱回収
用熱交換器１に通水して２０℃まで冷却し、真空度２.
６６kPaの脱気塔４に通水した。反応塔より流出する被
処理水のＴＯＣ濃度は３mg／Ｌであり、その内容はアセ
トン１０重量％、酢酸９０重量％であった。また、脱気
塔から流出する被処理水のＴＯＣ濃度は３mg／Ｌ、その
内容はアセトン１０重量％、酢酸９０重量％であり、溶
存酸素濃度は１mg／Ｌ以下であった。脱気塔から流出す
る被処理水は、混床式イオン交換樹脂塔５に通水した。
イオン交換樹脂塔から流出する処理水のＴＯＣ濃度は、
１mg／Ｌ以下であった。 比較例２ 図３に示す工程により、実施例１と同じイソプロピルア
ルコール含有排水の処理を行った。２０℃の排水を熱回
収用熱交換器１で１２５℃に予熱し、スチーム加熱によ
る加熱用熱交換器２で１３０℃に加熱し、酸化剤として
過硫酸ナトリウム水溶液を、ＴＯＣ１mg／ＬあたりＮａ
2Ｓ2Ｏ8が１００mg／Ｌになるように添加した。この過
硫酸ナトリウムを添加した１３０℃の排水を、反応塔６
に空間速度１０ｈ-1で通水し、反応塔から流出する１３
０℃の被処理水を、熱回収用熱交換器１に通水して２０
℃まで冷却し、真空度２.６６kPaの脱気塔４に通水し
た。反応塔より流出する被処理水のＴＯＣ濃度は１mg／
Ｌ以下であり、脱気塔から流出する被処理水のＴＯＣ濃
度は１mg／Ｌ以下、溶存酸素濃度は１mg／Ｌ以下であっ
た。脱気塔から流出する被処理水は、逆浸透膜装置７に
通水した。逆浸透膜装置から流出する処理水のＴＯＣ濃
度は、１mg／Ｌ以下であった。実施例１及び比較例１〜
２の処理条件と、結果を第１表に示す。
【００１１】
【表１】
【００１２】酸化剤として過酸化水素を用いた実施例１
と比較例１を比較すると、実施例１の方が、過酸化水素
の使用量は３分の１以下であり、反応塔温度は５０℃低
く、耐圧容器である必要はなく、通水空間速度は１０倍
速く、脱気塔の真空度は２０倍以上低いという条件で処
理しているにもかかわらず、脱気塔出口の流出水がすで
にＴＯＣ濃度１mg／Ｌ以下となっている。これに対し
て、比較例１は、使用薬剤量が多く、温度、真空度とも
に高く、処理水量が少ないが、脱気塔出口の流出水のＴ
ＯＣ濃度は３mg／Ｌで、イオン交換樹脂塔に通水するこ
とにより、ようやくＴＯＣ濃度が１mg／Ｌ以下となって
いる。酸化剤として過硫酸ナトリウムを用いた比較例２
は、反応塔温度、脱気塔真空度ともに、高温、高真空度
を必要とし、反応塔出口の流出水のＴＯＣ濃度は１mg／
Ｌ以下となっているが、過硫酸ナトリウムに由来するナ
トリウムイオンを含むので、逆浸透膜装置などによる処
理が欠かせない。
と比較例１を比較すると、実施例１の方が、過酸化水素
の使用量は３分の１以下であり、反応塔温度は５０℃低
く、耐圧容器である必要はなく、通水空間速度は１０倍
速く、脱気塔の真空度は２０倍以上低いという条件で処
理しているにもかかわらず、脱気塔出口の流出水がすで
にＴＯＣ濃度１mg／Ｌ以下となっている。これに対し
て、比較例１は、使用薬剤量が多く、温度、真空度とも
に高く、処理水量が少ないが、脱気塔出口の流出水のＴ
ＯＣ濃度は３mg／Ｌで、イオン交換樹脂塔に通水するこ
とにより、ようやくＴＯＣ濃度が１mg／Ｌ以下となって
いる。酸化剤として過硫酸ナトリウムを用いた比較例２
は、反応塔温度、脱気塔真空度ともに、高温、高真空度
を必要とし、反応塔出口の流出水のＴＯＣ濃度は１mg／
Ｌ以下となっているが、過硫酸ナトリウムに由来するナ
トリウムイオンを含むので、逆浸透膜装置などによる処
理が欠かせない。
【００１３】
【発明の効果】本発明のイソプロピルアルコール含有水
の処理方法及び処理装置によれば、電子部品製造工程で
発生するイソプロピルアルコール含有排水を、少ない酸
化剤使用量かつ温和な条件で処理して、イソプロピルア
ルコールをアセトンに変換して除去し、超純水製造用水
を経済的に回収することができる。
の処理方法及び処理装置によれば、電子部品製造工程で
発生するイソプロピルアルコール含有排水を、少ない酸
化剤使用量かつ温和な条件で処理して、イソプロピルア
ルコールをアセトンに変換して除去し、超純水製造用水
を経済的に回収することができる。
【図１】図１は、本発明装置の一態様の工程系統図であ
る。
る。
【図２】図２は、比較例１で用いた装置の工程系統図で
ある。
ある。
【図３】図３は、比較例２で用いた装置の工程系統図で
ある。
ある。
１ 熱回収用熱交換器 ２ 加熱用熱交換器 ３ 反応塔 ４ 脱気塔 ５ イオン交換樹脂塔 ６ 反応塔 ７ 逆浸透膜装置
Claims (4)
- 【請求項１】電子部品製造工程で発生するイソプロピル
アルコール含有排水を、加熱、酸化、脱気によって処理
し、得られた処押水を超純水製造用水として回収するこ
とを特徴とするイソプロピルアルコール含有水の処理方
法。 - 【請求項２】酸化によってアセトンを生成せしめる請求
項１記載のイソプロピルアルコール含有水の処理方法。 - 【請求項３】脱気を真空脱気により行う請求項１記載の
イソプロピルアルコール含有水の処理方法。 - 【請求項４】電子部品製造工程で発生するイソプロピル
アルコール含有排水を処理し、得られた処理水を超純水
製造用水として回収するイソプロピルアルコール含有水
の処理装置において、加熱手段、酸化手段及び真空脱気
手段を有することを特徴とするイソプロピルアルコール
含有水の処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000020438A JP2001205274A (ja) | 2000-01-28 | 2000-01-28 | イソプロピルアルコール含有水の処理方法及び処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000020438A JP2001205274A (ja) | 2000-01-28 | 2000-01-28 | イソプロピルアルコール含有水の処理方法及び処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001205274A true JP2001205274A (ja) | 2001-07-31 |
Family
ID=18546998
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000020438A Pending JP2001205274A (ja) | 2000-01-28 | 2000-01-28 | イソプロピルアルコール含有水の処理方法及び処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001205274A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007103516A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-19 | Kurita Water Ind Ltd | 硫酸リサイクル型洗浄システム |
| CN102925983A (zh) * | 2012-11-02 | 2013-02-13 | 洛阳尚德太阳能电力有限公司 | 一种单晶硅片制绒液回收装置及回收方法 |
-
2000
- 2000-01-28 JP JP2000020438A patent/JP2001205274A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007103516A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-19 | Kurita Water Ind Ltd | 硫酸リサイクル型洗浄システム |
| JP4573043B2 (ja) * | 2005-09-30 | 2010-11-04 | 栗田工業株式会社 | 硫酸リサイクル型洗浄システム |
| CN102925983A (zh) * | 2012-11-02 | 2013-02-13 | 洛阳尚德太阳能电力有限公司 | 一种单晶硅片制绒液回收装置及回收方法 |
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