JP2001202830A - Anisotropy conductive film and electrical connection body using it - Google Patents

Anisotropy conductive film and electrical connection body using it

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JP2001202830A
JP2001202830A JP2000008328A JP2000008328A JP2001202830A JP 2001202830 A JP2001202830 A JP 2001202830A JP 2000008328 A JP2000008328 A JP 2000008328A JP 2000008328 A JP2000008328 A JP 2000008328A JP 2001202830 A JP2001202830 A JP 2001202830A
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particles
conductive film
anisotropic conductive
resin
tin
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Japanese (ja)
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Shuichi Nakada
秀一 中田
Yasuki Shimamura
泰樹 島村
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Asahi Kasei Corp
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Asahi Kasei Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To solve a problem that when an anisotropy conductive film using metal plating resin particle as conductive particle is pressed between a substrate electrode and a connection electrode, plated metal components get stripped off from surface of particle and reliability is reduced. SOLUTION: An anisotropy conductive film has a flexible film, an organic binder and conductive particles. In the anisotropy conductive film, conductive particle includes core nucleus [m] of metal alloy having a high melting point and outer layers of the core nucleus, layer [m+1]... layer [m+n] from the core nucleus to the outside sequentially. If melting points of the core nucleus and the other layers are expressed as (m)mp, (m+1)mp, ...(m+n)mp, melting points of the core nucleus and each layer are (m)mp>(m+1)mp>...>(m+n)mp, an organic binder contains 0.05-300 weight part with respect to conductive particle 1 weight part.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、導電性粒子を用い
てなる異方導電性フィルム及びそれを用いた電気接続体
に関するものである。駆動IC回路を有するフレキシブ
ルフィルムを取り付け端子電極に直接ボンデイング(例
えばTAB(Tape Automated Bonding))してなる液
晶パネル、液晶テレビ、液晶ビデオカメラ、サーマルヘ
ッド、太陽電池、電卓、ファミリーコンピューター、ハ
イブリッドIC導体回路基板、プリント回路基板、低温
焼成用多層基板の外層チップ実装、フレキシブルプリン
ト基板の導体回路基板との接続などに応用できる。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an anisotropic conductive film using conductive particles and an electrical connection using the same. A liquid crystal panel, a liquid crystal television, a liquid crystal video camera, a thermal head, a solar cell, a calculator, a family computer, a hybrid IC conductor in which a flexible film having a drive IC circuit is directly bonded to a terminal electrode (for example, TAB (Tape Automated Bonding)). It can be applied to the mounting of a circuit board, a printed circuit board, an outer layer chip of a multilayer board for low-temperature firing, and a connection of a flexible printed board to a conductive circuit board.

【0002】[0002]

【従来の技術】最近、液晶パネル等の高密度化、カラー
化が進む中で、駆動用IC回路のパネルへの接続が重要
な因子になってきている。従来から、プリント配線板や
液晶パネル電極に、絶縁フィルム上にICあるいはLS
I実装され形成された導体回路(例えばTAB(Tape
Automated Bonding))を接続する場合、絶縁フィルム
上の接続電極(TABフィルム外部接続リード)をはん
だ付けにより直接接続する方法とか、導電性粒子を有機
バインダーに分散させたもので接続する方法がある。
2. Description of the Related Art In recent years, as the density and color of liquid crystal panels and the like have been increased, connection of a driving IC circuit to the panel has become an important factor. Conventionally, IC or LS on printed wiring boards and liquid crystal panel electrodes, insulating film
I. A conductive circuit formed and mounted (for example, TAB (Tape
(Automated Bonding)), there is a method of directly connecting a connection electrode (TAB film external connection lead) on an insulating film by soldering, or a method of connecting conductive particles dispersed in an organic binder.

【0003】これらに用いられる導電性粒子は、数μm
から数十μmのポリエチレン、ポリプロピレン、ポリス
チレン等の樹脂粒子の表面に金あるいはニッケルをめっ
きした粒子等(例えば、特開平4―242010号公
報)や、はんだ粉末、ニッケルが用いられてきた。有機
バインダーとしては、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、ス
チレンブタジエン樹脂、ブチラール樹脂など公知の熱硬
化型あるいは熱可塑性樹脂が用いられてきた。
[0003] The conductive particles used for these are several μm
Particles obtained by plating gold or nickel on the surface of resin particles of polyethylene, polypropylene, polystyrene, or the like (for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. H4-2242010), solder powder, and nickel have been used. As the organic binder, a known thermosetting or thermoplastic resin such as an epoxy resin, a urethane resin, a styrene butadiene resin, and a butyral resin has been used.

【0004】異方導電性フィルム状の場合には、厚さが
10〜40μmで、幅2〜6mm、有機バインダー中に
導電性粒子を分散させた長さ数mから数十mのものが一
般的に公知である。異方導電性フィルムによる接続は、
例えば液晶パネルの場合には、液晶パネル側の取り出し
電極(数本〜数十本ライン/mm:<ピッチ数百μm>
上に異方導電接続用フィルムを貼り合わせ、50〜12
0℃程度の温度、0.1〜7MPa程度の圧力で軽く接
着させる。この時、異方導電性フィルムに取り扱い易い
ためにガイドとしてテトラフルオロエチレン、ポリエチ
レン、ポリプロプレン、ポリエチレンテレフタレート等
のガイドテープを異方導電性フィルムに貼り併せあるい
は硬化しておき、液晶パネル側あるいはフレキシブル絶
縁フィルム側に接着後ガイドテープをはぎ取ることも行
われている。
In the case of an anisotropic conductive film, a film having a thickness of 10 to 40 μm, a width of 2 to 6 mm, and a length of several m to several tens m in which conductive particles are dispersed in an organic binder is generally used. Publicly known. Connection by anisotropic conductive film
For example, in the case of a liquid crystal panel, an extraction electrode (several to several tens lines / mm: <pitch several hundred μm>) on the liquid crystal panel side
A film for anisotropic conductive connection is stuck on top, 50 to 12
Lightly adhere at a temperature of about 0 ° C. and a pressure of about 0.1 to 7 MPa. At this time, a guide tape of tetrafluoroethylene, polyethylene, polypropylene, polyethylene terephthalate, etc. is attached to the anisotropic conductive film or cured so that it can be easily handled on the anisotropic conductive film, and the liquid crystal panel side or flexible After bonding to the insulating film side, the guide tape is also peeled off.

【0005】異方導電性フィルムを接続後、駆動用IC
回路の乗った絶縁フィルム(例えばポリイミドフィル
ム)の接続電極を対向のパネル電極(基板電極)に向か
うように位置合わせして押さえつけ、50〜230℃程
度の温度で0.1〜18MPa程度の圧力で接続する。
この場合、絶縁フィルムの接続電極と液晶パネル電極
(基板電極)間に存在する異方導電性フィルム中の導電
性粒子が絶縁フィルムの接続電極とパネル電極と両方に
接点を有し(変形するものもある)、絶縁フィルム上回
路と液晶パネル間に電気的接続を確保するものである。
After connecting the anisotropic conductive film, the driving IC
A connection electrode of an insulating film (e.g., a polyimide film) on which a circuit is mounted is positioned and pressed toward an opposite panel electrode (substrate electrode), and is pressed at a temperature of about 50 to 230 ° C. and a pressure of about 0.1 to 18 MPa. Connecting.
In this case, the conductive particles in the anisotropic conductive film present between the connection electrode of the insulating film and the liquid crystal panel electrode (substrate electrode) have contact points at both the connection electrode of the insulating film and the panel electrode (deformable ones). There is also an electrical connection between the circuit on the insulating film and the liquid crystal panel.

【0006】この時、隣り合う基板電極あるいは接続電
極同士での電気的接続は無いように異方導電性フィルム
中の導電性粒子量、粒子径などをコントロールして作製
されている。かりに、隣り合う電極同士での電気的接続
があると液晶素子(液晶マトリックス)が作動しなくな
ったり、誤表示をしたりするからである。液晶パネル側
の基板電極としては、一般には、ITO電極(インジウ
ムーすず酸化物)などがあり、ガラス基板上に塗布ある
いはスパッタ、蒸着により作製されたものが公知であ
る。また、絶縁フィルムの接続電極としては、アルミニ
ウム、すずめっき銅などが主に用いられている。
At this time, it is manufactured by controlling the amount and diameter of conductive particles in the anisotropic conductive film so that there is no electrical connection between adjacent substrate electrodes or connection electrodes. On the other hand, if there is an electrical connection between adjacent electrodes, the liquid crystal element (liquid crystal matrix) does not operate or an erroneous display occurs. As the substrate electrode on the liquid crystal panel side, there is generally an ITO electrode (indium-tin oxide) or the like, and those formed on a glass substrate by coating, sputtering or vapor deposition are known. In addition, aluminum, tin-plated copper, and the like are mainly used as connection electrodes of the insulating film.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】前記異方導電性フィル
ムに用いられてきた導電性粒子は以下の問題点を含んで
いる。つまり、金めっき樹脂粒子、ニッケルめっき樹脂
粒子などのめっき粒子を用いた場合には、基板電極と絶
縁フィルム接続電極間で加圧されたときに、めっきされ
た金属成分の金、ニッケルが樹脂粒子表面から剥がれ落
ちることが生じる。圧力がかかった時に粒子のうち変形
するものが多くあるが、特に、金めっき層、ニッケルめ
っき層の剥がれ落ちがひどくなり電極間での導通の確保
が困難になる。また、めっきの場合には、完全に樹脂粒
子表面を覆うことが不良な場合が発生したり、異方導電
性フィルムの作製に際し、有機バインダー中に分散させ
る時に粒子の表面からめっきが剥がれてしまう問題も抱
えている。
The conductive particles used in the anisotropic conductive film have the following problems. In other words, when plating particles such as gold-plated resin particles and nickel-plated resin particles are used, when pressurized between the substrate electrode and the insulating film connection electrode, the plated metal components gold and nickel become resin particles. Peel off from the surface. Although many of the particles are deformed when pressure is applied, in particular, the gold plating layer and the nickel plating layer are severely peeled off, making it difficult to secure conduction between the electrodes. Further, in the case of plating, it may be difficult to completely cover the surface of the resin particles, or the plating may come off from the surface of the particles when dispersed in an organic binder when producing an anisotropic conductive film. I also have problems.

【0008】特に、本質的な欠点として、高密度化、電
極間のファインピッチ化の流れの中で、接続電極と基板
電極間に存在する導電性粒子の数が少なくなり、導電性
が樹脂粒子表面のめっき金属成分しかなく充分な導電性
が確保できないことにある。また、公知金属あるいは合
金粒子を用いる場合には、ニッケル、はんだ粉末などが
公知であるが、ニッケルの場合には、ニッケル表面に酸
化ニッケルの絶縁膜を作り易く接点の抵抗値が高い。
[0008] In particular, as an essential disadvantage, in the flow of high density and fine pitch between electrodes, the number of conductive particles existing between the connection electrode and the substrate electrode is reduced, and the conductivity is reduced by resin particles. There is only a plating metal component on the surface, and sufficient conductivity cannot be ensured. In the case of using known metal or alloy particles, nickel and solder powder are known, but in the case of nickel, a nickel oxide insulating film is easily formed on the nickel surface, and the contact has a high resistance value.

【0009】また、加圧した場合にも金属或いは合金粒
子が変形しにくく電極との接点の面積がとりにくい。は
んだ粉を用いた場合には、変形はしやすく接点も取れや
すいが、すずの酸化物が表面にできやすく接点抵抗が増
加する。さらに、鉛のα線発生による人体への影響や、
LSIチップ等の誤動作も重要な欠点の1つである。銅
粉を用いた場合には、接点での耐環境性が悪く、電極間
の抵抗値が増加する。銀粉を用いた場合には、隣り合う
電極間が数十μmと狭くなると銀のマイグレーションの
問題が生じ、隣り合う電極間での短絡が起こりやすく、
また銀は柔らかく、加熱加圧した場合には変形がかえっ
て起こりやすく接続抵抗が上昇する。
In addition, even when pressure is applied, metal or alloy particles are not easily deformed, and it is difficult to obtain a contact area with an electrode. When a solder powder is used, it is easily deformed and a contact is easily obtained, but tin oxide is easily formed on the surface and the contact resistance increases. In addition, the effects of lead alpha radiation on the human body,
Malfunction of an LSI chip or the like is one of the important drawbacks. When copper powder is used, environmental resistance at the contact point is poor, and the resistance value between the electrodes increases. In the case of using silver powder, a problem of migration of silver occurs when the distance between adjacent electrodes is reduced to several tens of μm, and a short circuit between adjacent electrodes easily occurs.
Further, silver is soft, and when heated and pressurized, deformation is rather likely to occur, and connection resistance increases.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】前記課題を解決する為
に、導電性粒子を以下の如く規定することによって解決
することを見出し、本発明をなすに至った。すなわち、
請求項1に係る異方導電性フィルムは、フレキシブルフ
ィルムと、有機バインダーと、導電性粒子と、を有する
異方導電性フィルムであって、前記導電性粒子は融点の
高い金属合金の中心核[m]と、該中心核の外側の層を
中心核から外側に向かって順に[m+1]層、[m+
2]層・・・[m+n]層とより成り中心核及びそれぞ
れの層の融点を(m)mp、(m+1)mp、(m+
2)mp・・・(m+n)mpと表すとき、中心核と各
層の融点は(m)mp>(m+1)mp>(m+2)m
p・・・>(m+n)mpで、前記導電性粒子1重量部
に対して、前記有機バインダーが0.05〜300重量
部含有することを特徴とする。
Means for Solving the Problems In order to solve the above problems, it has been found that the conductive particles are defined as follows, and the present invention has been accomplished. That is,
The anisotropic conductive film according to claim 1 is an anisotropic conductive film having a flexible film, an organic binder, and conductive particles, wherein the conductive particles are a central core of a metal alloy having a high melting point [ m], and [m + 1] layers and [m +
2] layer: composed of an [m + n] layer and having a melting point of (m) mp, (m + 1) mp, (m +
2) When expressed as mp (m + n) mp, the melting point of the central core and each layer is (m) mp> (m + 1) mp> (m + 2) m
p ...> (m + n) mp, wherein the organic binder is contained in an amount of 0.05 to 300 parts by weight based on 1 part by weight of the conductive particles.

【0011】また、請求項2に係る異方導電性フィルム
は、請求項1記載の異方導電性フィルムにおいて、前記
導電性粒子を構成する金属は3種類以上で、最外層以外
の層は前記中心核[m]との合金層であって、最外層
[m+n]層が錫或いは錫合金層であることを特徴とす
る。また、請求項3に係る異方導電性フィルムは、請求
項1乃至2記載の異方導電性フィルムにおいて、前記導
電性粒子は平均粒子径が2.5〜40μmで平均粒子径
±2μm粒子の含有率が80体積%以上を占め、含有酸
素量が5000ppm以下であることを特徴とする。
Further, in the anisotropic conductive film according to claim 2, in the anisotropic conductive film according to claim 1, the metal constituting the conductive particles is three or more, and the layers other than the outermost layer are An alloy layer with the central core [m], wherein the outermost layer [m + n] is a tin or tin alloy layer. The anisotropic conductive film according to claim 3 is the anisotropic conductive film according to claim 1 or 2, wherein the conductive particles have an average particle diameter of 2.5 to 40 μm and an average particle diameter of ± 2 μm particles. It is characterized in that the content occupies 80% by volume or more and the oxygen content is 5000 ppm or less.

【0012】また、請求項4に係る異方導電性フィルム
は、請求項1乃至3記載の異方導電性フィルムにおい
て、前記導電性粒子の構成金属が金、銀、銅、錫、ビス
マス、亜鉛、ニッケル、パラジウム、クロム、インジウ
ム、アンチモン、アルミニウム、ゲルマニウム、シリコ
ン、ベリリウム、タングステン、モリブデン、マンガ
ン、タンタル、チタン、ネオジウム、マグネシウムのう
ち、いずれか3種類以上含むことを特徴とする。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the anisotropically conductive film according to any one of the first to third aspects, wherein the metal constituting the conductive particles is gold, silver, copper, tin, bismuth, or zinc. , Nickel, palladium, chromium, indium, antimony, aluminum, germanium, silicon, beryllium, tungsten, molybdenum, manganese, tantalum, titanium, neodymium, and magnesium.

【0013】また、請求項5に係る異方導電性フィルム
は、請求項1乃至4記載の異方導電性フィルムにおい
て、前記導電性粒子の中心核[m]の金属粒子が一般式
AgxCuy[0.001≦x≦0.4、0.6≦y≦
0.999、x+y=1(原子比)]で表され、平均粒
子径が2.5〜35μmで平均粒子径±2μm粒子の含
有率が80体積%以上を占め、含有酸素量が5000p
pm以下で、かつ前記中心核粒子表面のAg濃度が粒子
の平均Ag濃度より高く前記中心核粒子表面が微細な凸
凹形状(凸部と凹部の高さの差が1μm以下)を有して
いることを特徴とする。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided the anisotropic conductive film according to any one of the first to fourth aspects, wherein the metal particles of the central nucleus [m] of the conductive particles are of the general formula AgxCuy [0]. .001 ≦ x ≦ 0.4, 0.6 ≦ y ≦
0.999, x + y = 1 (atomic ratio)], the average particle diameter is 2.5 to 35 μm, the average particle diameter is ± 2 μm, the content of the particles occupies 80% by volume or more, and the oxygen content is 5000 p.
pm or less, and the Ag concentration on the surface of the central core particle is higher than the average Ag concentration of the particles, and the surface of the central core particle has a fine uneven shape (the difference in height between the convex portion and the concave portion is 1 μm or less). It is characterized by the following.

【0014】また、請求項6に係る異方導電性フィルム
は、請求項1乃至5記載の異方導電性フィルムにおい
て、前記有機バインダーが熱硬化性樹脂、熱可塑性樹
脂、光硬化性樹脂、電子線硬化性樹脂及び光熱硬化性樹
脂から選ばれる1種類以上の樹脂を含有していることを
特徴とする。また、請求項7に係る電気接続体は、請求
項1乃至6記載の異方導電性フィルムと電気的接続して
いる電気接続体において、前記フレキシブルフィルム上
のフィルム接続電極と、接続している接続基板の基板電
極と、の間で電極接続していることを特徴とする。
The anisotropic conductive film according to claim 6 is the anisotropic conductive film according to claims 1 to 5, wherein the organic binder is a thermosetting resin, a thermoplastic resin, a photocurable resin, It is characterized by containing one or more resins selected from a line-curable resin and a photo-thermosetting resin. According to a seventh aspect of the present invention, there is provided an electrical connection body electrically connected to the anisotropic conductive film according to the first to sixth aspects, wherein the electrical connection body is connected to a film connection electrode on the flexible film. An electrode connection is made between the substrate electrode of the connection substrate and the substrate electrode.

【0015】また、請求項8に係る電気接続体は、請求
項7記載の電気接続体において、前記基板電極が銅、錫
めっき銅、金、はんだめっき銅、アルミニウム、銀、ニ
ッケル、パラジウム、白金、ITOガラス、IOガラス
電極から選ばれた一種以上であることを特徴とする。ま
た、請求項9に係る電気接続体は、請求項7または8記
載の電気接続体において、前記接続基板が液晶パネル、
プリント基板、ハイブリッドIC基板のいずれかである
ことを特徴とする。
According to an eighth aspect of the present invention, in the electrical connection body according to the seventh aspect, the substrate electrode is made of copper, tin-plated copper, gold, solder-plated copper, aluminum, silver, nickel, palladium, platinum. , ITO glass, and IO glass electrodes. According to a ninth aspect of the present invention, in the electrical connection body according to the seventh or eighth aspect, the connection substrate is a liquid crystal panel,
It is a printed circuit board or a hybrid IC board.

【0016】[0016]

【発明の実施に形態】本発明について、以下具体的に説
明する。本発明の導電性粒子は最外層[m+n]が錫或
いは錫合金層である事を特長とするが、錫合金層の一例
を示すと、錫/銀、錫/銅、錫/ビスマス、錫/亜鉛の
2元系合金層であり、錫/銀/銅、錫/銀/インジウ
ム、錫/銀/ビスマス、錫/亜鉛/ビスマスの3元系合
金層や錫/銀/銅/ビスマスの4元系合金層、錫/銀/
銅/ビスマス/ゲルマニウムの5元系合金層でもその効
果が発現する事は分かっている。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The present invention will be specifically described below. The conductive particles of the present invention are characterized in that the outermost layer [m + n] is a tin or tin alloy layer, and examples of tin alloy layers include tin / silver, tin / copper, tin / bismuth, and tin / tin. Binary alloy layer of zinc, ternary alloy layer of tin / silver / copper, tin / silver / indium, tin / silver / bismuth, tin / zinc / bismuth, and quaternary tin / silver / copper / bismuth Alloy layer, tin / silver /
It is known that the effect is exhibited even with a pentagonal alloy layer of copper / bismuth / germanium.

【0017】最外層として好ましくは、錫単独層、錫/
銀、錫/銅、錫/ビスマス、錫/亜鉛の2元系合金層で
あり、さらに好ましくは、錫単独層、錫/銀、錫/銅、
錫/ビスマスの2元系合金層である。つまり、最外層は
錫或いは錫合金層であるため、接点での接点抵抗が小さ
いこと、柔らかくて、加圧接続した場合にも、電極を不
規則に変形せずに、複合導電性粒子が変形し、充分な接
触面積を確保できること等、分散性が必要な高密度ピッ
チに充分優れた特性を有している。
The outermost layer is preferably a tin-only layer, tin /
It is a binary alloy layer of silver, tin / copper, tin / bismuth, and tin / zinc, and more preferably a tin-only layer, tin / silver, tin / copper,
It is a binary alloy layer of tin / bismuth. In other words, since the outermost layer is a tin or tin alloy layer, the contact resistance at the contact point is small, and it is soft. Even when pressed, the electrode does not deform irregularly, and the composite conductive particles deform. In addition, it has sufficiently excellent characteristics for a high-density pitch requiring dispersibility, such as a sufficient contact area can be ensured.

【0018】導電性粒子の表面及び表面近傍の錫、銅、
ビスマス、銀等の濃度は、英国VG社製X線光電子分光
分析装置ESCALB200―X型を用いて、表面から
の深さ30A程度の表面濃度として求めたものである。
なお、この際の錫濃度はSn3d(MgのKα線)、銅
濃度はCu3p(MgのKα線)、ビスマスはBi4f
(MgのKα線)、銀濃度はAg3d(AlのKα線)
のピークを利用し、エネルギーカウント値を重量%に換
算して求めたものである。
Tin or copper on and near the surface of the conductive particles;
The concentrations of bismuth, silver and the like were determined as surface concentrations at a depth of about 30 A from the surface using an X-ray photoelectron spectrometer ESCALB200-X manufactured by VG of the United Kingdom.
In this case, the tin concentration was Sn3d (Kα line of Mg), the copper concentration was Cu3p (Kα line of Mg), and bismuth was Bi4f.
(Kα line of Mg), silver concentration is Ag3d (Kα line of Al)
The energy count value was calculated by converting the energy count value to% by weight using the peak of (1).

【0019】一方、導電性粒子中の各元素の平均濃度
は、試料を濃硝酸中で溶解したものを、高周波誘導結合
型プラズマ発光分析計(セイコー電子工業(株)製JY
38P―P2型)を使用して測定したものである。平均
粒子径は2.5〜40μmでかつ平均粒子径±2μmの
存在割合が80体積%以上であることを特徴とするが、
平均粒子径が40μmを超える場合には、存在粒子が大
きすぎて、つぶれた場合に隣の電極と接点を有し、リー
ク電流を発生させてしまい好ましくない。平均粒子径1
μm未満の場合には、電極間での粒子が電極の厚さより
小さくなって接点が不十分になり、さらに、粒子間の凝
集が大きくなり分散が非常に困難となる。好ましい平均
粒径は、2.5〜20μmで、さらに好ましくは3〜1
0μmである。
On the other hand, the average concentration of each element in the conductive particles is determined by dissolving a sample in concentrated nitric acid and using a high frequency inductively coupled plasma emission spectrometer (JY manufactured by Seiko Denshi Kogyo KK).
38P-P2 type). The average particle diameter is 2.5 to 40 μm and the average particle diameter ± 2 μm is 80% by volume or more,
If the average particle diameter exceeds 40 μm, the existing particles are too large, and when crushed, they have a contact with an adjacent electrode, which undesirably generates a leak current. Average particle size 1
If it is less than μm, the particles between the electrodes will be smaller than the thickness of the electrodes, resulting in insufficient contact, and furthermore, the aggregation between the particles will increase, making the dispersion extremely difficult. The preferred average particle size is 2.5 to 20 μm, more preferably 3 to 1 μm.
0 μm.

【0020】また、平均粒子径±2μmの粒子割合が8
0体積%以上であるが、80体積%未満の場合には、粒
度分布が広すぎて電極間に粒子が存在しない組み合わせ
が生じてしまう。好ましくは、85体積%以上である。
本発明の複合導電性粒子の平均粒子径および粒子径分布
については、レーザー回折型粒度分布測定装置(HEL
OS&RODOS:日本レーザー)或いは走査型電子顕
微鏡(SEM:日立製作所製S−2700)を用いて測
定した。測定値は体積基準の粒径分布を用い、平均粒子
径は体積積算基準で50体積%の値を用いた。
The ratio of particles having an average particle diameter of ± 2 μm is 8
When the content is 0% by volume or more but less than 80% by volume, a combination in which the particle size distribution is too wide and no particles are present between the electrodes may occur. Preferably, it is at least 85% by volume.
About the average particle diameter and the particle diameter distribution of the composite conductive particles of the present invention, a laser diffraction type particle size distribution analyzer (HEL
OS & RODOS: Japan Laser) or a scanning electron microscope (SEM: Hitachi S-2700). The measured value was a volume-based particle size distribution, and the average particle size was a value of 50% by volume on a volume integration basis.

【0021】本発明における導電性粒子の含有酸素量は
粒子の表面、内部すべてのトータルの酸素量で、不活性
ガスインパルス加熱融解法による酸素・窒素同時分析装
置(堀場製作所製EMGA650)で測定することがで
きる。含有酸素量が5000ppmを越えると、酸化膜
による導電性不良が生じる可能性がある。好ましい含有
酸素量は3000ppm以下であるが、さらに好ましく
は2000ppm以下である。
In the present invention, the oxygen content of the conductive particles is the total oxygen content on the surface and inside of the particles, and is measured by an oxygen / nitrogen simultaneous analyzer (EMGA650 manufactured by Horiba, Ltd.) by an inert gas impulse heating and melting method. be able to. If the oxygen content exceeds 5000 ppm, there is a possibility that poor conductivity due to the oxide film may occur. The preferred oxygen content is 3000 ppm or less, more preferably 2000 ppm or less.

【0022】導電性粒子の構成金属は、半導体素子の誤
動作を引き起こす可能性があるα線の放出、人体に対す
る毒性、環境問題として削減が訴えられている鉛を含ま
ない金属粒子であるという事を特徴としている。常温、
常圧において金属状態となる元素の中でいずれか3種類
以上含む事を特長とするが、好ましくは金、銀、銅、
錫、ビスマス、亜鉛、ニッケル、パラジウム、クロム、
インジウム、アンチモン、アルミニウム、ゲルマニウ
ム、シリコン、ベリリウムであり、さらに好ましくは
金、銀、銅、錫、ビスマス、亜鉛、インジウム、ゲルマ
ニウムである。
The metal constituting the conductive particles is a metal particle which does not contain lead, which is said to emit α rays which may cause malfunction of the semiconductor element, toxicity to the human body, and reduction as an environmental problem. Features. At normal temperature,
It is characterized by containing any three or more of the elements that are in a metallic state at normal pressure, but is preferably gold, silver, copper,
Tin, bismuth, zinc, nickel, palladium, chromium,
Indium, antimony, aluminum, germanium, silicon, and beryllium are more preferable, and gold, silver, copper, tin, bismuth, zinc, indium, and germanium are more preferable.

【0023】本発明者らが開発した導電性粒子の中心核
[m]となる金属粒子は、接続時に複合導電性粒子が熱
や荷重等の影響でひしゃげて、不具合を引き起こすこと
を防止する事を発明した。中心核金属粒子[m]の表面
及び表面近傍のAg濃度としては、英国VG社製X線光
電子分光分析装置ESCALAB200−X型を用い
て、表面からの深さ30Å程度の表面Ag濃度として求
めたものである。なお、この際のAg濃度は、Ag3d
5/2 (AlのKα線)とCu3p(MgのKα線)の
ピークを比較して求めたものである。一方、平均Ag濃
度は、試料を濃硝酸中で溶解したものを、高周波誘導結
合型プラズマ発光分析計(セイコー電子工業(株)製J
Y38P−P2型)を使用して測定したものである。
The metal particles serving as the central nucleus [m] of the conductive particles developed by the present inventors are to prevent the composite conductive particles from being shattered by the influence of heat, load or the like during connection, thereby causing problems. Was invented. The Ag concentration on the surface and in the vicinity of the surface of the core metal particles [m] was determined as a surface Ag concentration at a depth of about 30 ° from the surface using an X-ray photoelectron spectrometer ESCALAB200-X manufactured by VG of the United Kingdom. Things. The Ag concentration at this time was Ag3d
It is obtained by comparing peaks of 5/2 (Kα line of Al) and Cu3p (Kα line of Mg). On the other hand, the average Ag concentration is obtained by dissolving a sample in concentrated nitric acid and using a high-frequency inductively coupled plasma emission spectrometer (manufactured by Seiko Denshi Kogyo KK)
Y38P-P2).

【0024】さらに、中心核金属粒子表面のAg濃度が
粒子の平均Ag濃度より高い領域を有する事を特長とし
ているために、中心核金属粒子の耐酸化性が向上し、ニ
ッケル下地処理(一般的に言われている拡散防止層の形
成)を必要とせず、中心核金属粒子のAgーCu合金層
とその外側の層で合金層ができる特長を示している。こ
の際、金属粒子のAg量xは、0.001未満では充分
な耐酸化性が得られず、0.4を越える場合には金属粒
子の製造コストが高くなる。好ましいAg量xの範囲と
しては0.005≦x≦0.3であり、さらに好ましく
は0.02≦x0.25である。
Further, since the core core metal particles have a region in which the Ag concentration on the surface thereof is higher than the average Ag concentration of the particles, the oxidation resistance of the core metal particles is improved, and the nickel base treatment (commonly used) is performed. (Formation of a diffusion prevention layer referred to as described above) is not required, and an alloy layer can be formed by an Ag-Cu alloy layer of central core metal particles and an outer layer thereof. At this time, if the Ag content x of the metal particles is less than 0.001, sufficient oxidation resistance cannot be obtained, and if it exceeds 0.4, the production cost of the metal particles increases. The preferable range of the amount x of Ag is 0.005 ≦ x ≦ 0.3, and more preferably 0.02 ≦ x0.25.

【0025】平均粒子径は2.5〜35μmでかつ平均
粒子径±2μmの存在割合が80体積%以上であること
を特徴とするが、複合化した後の平均粒子径が40μm
を超える場合には、存在粒子が大きすぎて、つぶれた場
合に隣の電極と接点を有し、リーク電流を発生させてし
まい好ましくないので、中心核となる金属粒子の平均粒
子径は35μm以下が好ましい。平均粒子径2.5μm
未満の場合には、電極間での粒子が電極の厚さより小さ
くなって接点が不十分になり、さらに、粒子間の凝集が
大きくなり分散が非常に困難となる。
The average particle diameter is 2.5-35 μm and the average particle diameter ± 2 μm is present in a proportion of 80% by volume or more.
In the case of exceeding, the existing particles are too large, and when crushed, it has an adjacent electrode and a contact point, and it is not preferable because a leak current is generated. Therefore, the average particle diameter of the metal particles serving as the central core is 35 μm or less. Is preferred. Average particle size 2.5 μm
If it is less than 1, the particles between the electrodes are smaller than the thickness of the electrodes, resulting in insufficient contact, and furthermore, the aggregation between the particles becomes large and the dispersion becomes extremely difficult.

【0026】また、金属粒子間の凝集力が強くなり、複
合化も困難となる。好ましい平均粒径は、2.5〜20
μmで、さらに好ましくは3〜10μmである。また、
平均粒子径±2μmの粒子割合が80体積%以上である
が、80体積%未満の場合には、粒度分布が広すぎて電
極間に粒子が存在しない組み合わせが生じてしまう。好
ましくは、85体積%以上である。本発明の導電性粒子
の平均粒子径および粒子径分布については、レーザー回
折型粒度分布測定装置(HELOS&RODOS:日本
レーザー)或いは走査型電子顕微鏡(SEM:日立製作
所製S−2700)を用いて測定した。測定値は体積基
準の粒径分布を用い、平均粒子径は体積積算基準で50
体積%の値を用いた。
Further, the cohesive force between the metal particles is increased, and it is difficult to form a composite. Preferred average particle size is 2.5 to 20
μm, and more preferably 3 to 10 μm. Also,
The ratio of particles having an average particle diameter of ± 2 μm is 80% by volume or more, but if it is less than 80% by volume, a combination in which the particle size distribution is too wide and no particles exist between the electrodes may occur. Preferably, it is at least 85% by volume. The average particle size and the particle size distribution of the conductive particles of the present invention were measured using a laser diffraction type particle size distribution analyzer (HELOS & RODOS: Nippon Laser) or a scanning electron microscope (SEM: Hitachi Ltd. S-2700). . The measured value is based on the volume-based particle size distribution, and the average particle size is 50 based on the volume integration.
Volume% values were used.

【0027】本発明における中心核金属粒子の含有酸素
量は粒子の表面、内部すべてのトータルの酸素量で、不
活性ガスインパルス加熱融解法による酸素・窒素同時分
析装置(堀場製作所製EMGA650)で測定すること
ができる。含有酸素量が5000ppmを越えると、酸
化膜による導電性不良が生じる可能性がある。好ましい
含有酸素量は3000ppm以下であるが、さらに好ま
しくは2000ppm以下である。
In the present invention, the oxygen content of the core metal particles is the total oxygen content on the surface and inside of the particles, and is measured by an oxygen / nitrogen simultaneous analyzer (EMGA650, manufactured by Horiba, Ltd.) using an inert gas impulse heating and melting method. can do. If the oxygen content exceeds 5000 ppm, there is a possibility that poor conductivity due to the oxide film may occur. The preferred oxygen content is 3000 ppm or less, more preferably 2000 ppm or less.

【0028】また、中心核粒子表面が非常に微細な凸凹
形状(凸部と凹部の高さの差が1μm以下)をしている
ために、外側の層との接合では強度アップに適している
アンカー効果のようになっていて、金属粒子中心核とそ
の外側の層との剥離が起こらない構造になっている事も
見いだした。本発明の導電性粒子の中心核となる金属粒
子の製法は、かかる組成の金属融液を高圧の不活性ガス
によりアトマイズして得られるものであるが、特に、窒
素ガス、ヘリウムガスを用いるのがよい。粒子形状は球
状が好ましいが、球状よりはるかにはずれたものである
と基板電極とチップ電極間に存在する粒子中、両接点を
有することのない組み合わせが生じてしまいやすい。
Also, since the surface of the central core particle has a very fine uneven shape (the difference in height between the convex portion and the concave portion is 1 μm or less), it is suitable for increasing the strength in bonding with the outer layer. They also found that the structure was like an anchor effect, and the structure did not cause separation between the central core of the metal particles and the outer layer. The method for producing metal particles serving as the central core of the conductive particles of the present invention is obtained by atomizing a metal melt having such a composition with a high-pressure inert gas.In particular, nitrogen gas and helium gas are used. Is good. The particle shape is preferably spherical. However, if the particle shape is far off from the spherical shape, a combination of the particles existing between the substrate electrode and the chip electrode without having both contact points is likely to occur.

【0029】本発明の導電性粒子は、低温接続性、耐酸
化性、耐銀マイグレーション性が良いのみならず、分散
性、電極との接合性(変形しやすい)が良く、高い電流
密度、導電性が高く、液晶パネルなどのカラー化、高密
度化に対応できるファインピッチ電極での導通が充分確
保できるこれまでにはないものである。本発明は、かか
る組成の導電性粒子1重量部に対して、有機バインダー
0.05〜300重量部含有してなる異方導電性フィル
ムを提供するものであるが、本発明で用いることができ
る有機バインダーは、熱硬化性樹脂、光硬化性樹脂、電
子線硬化型樹脂、熱可塑性樹脂、光熱硬化型から選ばれ
た1種類以上を用いることができる。
The conductive particles of the present invention not only have good low-temperature connectivity, oxidation resistance, and silver migration resistance, but also have good dispersibility, good bonding to electrodes (easy to deform), high current density, and high conductivity. This has never before been able to ensure sufficient electrical continuity with fine pitch electrodes, which has high performance and can respond to colorization and high density of liquid crystal panels and the like. The present invention provides an anisotropic conductive film containing 0.05 to 300 parts by weight of an organic binder with respect to 1 part by weight of conductive particles having such a composition, and can be used in the present invention. As the organic binder, one or more types selected from a thermosetting resin, a photocurable resin, an electron beam curable resin, a thermoplastic resin, and a photothermosetting resin can be used.

【0030】熱硬化型樹脂としては、エポキシ樹脂、レ
ゾール型フェノール樹脂、ポリアミド樹脂、シリコーン
樹脂、ノボラック型フェノール樹脂、ポリウレタン樹
脂、ポリイミド樹脂、熱硬化型アクリル樹脂などが挙げ
られる。エポキシ樹脂としては、ビスフェノールA型、
脂環式エポキシ、鎖状式エポキシ、エポキシアクリレー
ト、エポキシノボラック型、ビスフェノールF型、ブロ
ム化ビスフェノールA型、脂肪酸変性エポキシ、ポリア
ルキシレンエーテル型、ジグリシジルエステル型、異節
環型エポキシなどが挙げられる。また、必要に応じて、
公知の反応性希釈剤を用いることもできる。例えば、ジ
グリシジルエーテル、エチレングリコールジグリシジル
エーテル、1,3―ブタンジオールジグリシジルエーテ
ル、ジエチレングリコールジグリシジルエーテルなどを
混合して用いることもできる。
Examples of the thermosetting resin include an epoxy resin, a resol type phenol resin, a polyamide resin, a silicone resin, a novolak type phenol resin, a polyurethane resin, a polyimide resin, and a thermosetting acrylic resin. As epoxy resin, bisphenol A type,
Alicyclic epoxy, chain epoxy, epoxy acrylate, epoxy novolak type, bisphenol F type, brominated bisphenol A type, fatty acid modified epoxy, polyalkylene ether type, diglycidyl ester type, heterocyclic epoxy, etc. Can be Also, if necessary,
Known reactive diluents can also be used. For example, a mixture of diglycidyl ether, ethylene glycol diglycidyl ether, 1,3-butanediol diglycidyl ether, diethylene glycol diglycidyl ether, or the like can be used.

【0031】必要に応じて、公知の硬化剤を用いること
ができ、例えば、脂肪族ジアミン(エポキシと脂肪族ポ
リアミン付加重合物)、ポリアミン及び芳香族ジアミン
(メタフェニレンジアミン、ジアミノジフェニルメタ
ン、ジアミノジフェニルサルフォン)、酸無水物(メチ
ルナジック酸無水物、ヘキサヒドロ酸無水物、ピロメリ
ット酸無水物、ルイス酸錯化合物)、コリア、フェノー
ル、メラミン、フェノール系化合物、メルカプタン系化
合物が挙げられる。また、反応性促進剤としては、三級
アミン、アミン塩、イミダゾール系硬化剤(2―エチル
ー4(5)―メチルイミダゾール、1−シアノエチルー
2−4(5)―メチルイミダゾール、2−ヘプタデシル
イミダゾール、2−メチルイミダゾールアジン、2−ウ
ンデシルイミダゾール、液状高活性イミダゾール)があ
る。アミン系硬化剤にはカルボン酸化合物が好ましい。
ジシアンジアミド、ベンゾグアナミンなどもある。
If necessary, known curing agents can be used, for example, aliphatic diamines (epoxy and aliphatic polyamine addition polymers), polyamines and aromatic diamines (metaphenylenediamine, diaminodiphenylmethane, diaminodiphenylsulfate) Fon), acid anhydrides (methylnadic anhydride, hexahydroacid anhydride, pyromellitic anhydride, Lewis acid complex compound), Korea, phenol, melamine, phenol compounds, and mercaptan compounds. Examples of the reactivity accelerator include tertiary amines, amine salts, and imidazole-based curing agents (2-ethyl-4 (5) -methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-4 (5) -methylimidazole, 2-heptadecylimidazole). , 2-methylimidazole azine, 2-undecylimidazole, liquid highly active imidazole). Carboxylic acid compounds are preferred as the amine-based curing agent.
There are also dicyandiamide and benzoguanamine.

【0032】シリコーン樹脂としては、―(R2Si
O)n―の構造式で表される樹脂である。(式中、Rは
メチルあるいはフェニル基を示す。)。フェノール樹脂
としては、レゾール型フェノール樹脂、ノボラック型フ
ェノール樹脂を用いることができるが、レゾール型フェ
ノール樹脂としては、フェノールホルムアルデヒド型レ
ゾール樹脂、アルキルフェノールレゾール型、キシレン
樹脂変性レゾール型、ロジン変性フェノール樹脂などが
挙げられる。
As the silicone resin,-(R 2 Si
O) A resin represented by the structural formula of n-. (In the formula, R represents a methyl or phenyl group.) As the phenol resin, a resol type phenol resin and a novolak type phenol resin can be used, and as the resol type phenol resin, phenol formaldehyde type resole resin, alkylphenol resole type, xylene resin modified resole type, rosin modified phenol resin, etc. No.

【0033】ポリイミド樹脂としては、縮合型ポリイミ
ドやビスマレイド系樹脂、付加型ポリイミド樹脂が挙げ
られる。ポリウレタン樹脂としては、ウレタンを形成す
るウレタンプレポリマーを用いるのが好ましい。好まし
くは、末端活性イソシアネート基を活性水素化合物でブ
ロックしたブロックイソシアヌレートを主体に用いたも
のが好ましい。熱可塑性樹脂としては、熱可塑性アクリ
ル樹脂、ブチラール樹脂、塩化ビニル樹脂、ウレタン樹
脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリエチレン樹
脂、ポリプロピレン樹脂、ポリスチレン樹脂、ABS樹
脂、ポリカーボネート樹脂、ポリアミド樹脂、不飽和ポ
リエステル樹脂、ジアリルフタレート樹脂、フッソ樹
脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ポリエーテルイ
ミド樹脂、ポリエーテルケトン樹脂、ポリエーテルエー
テルエーテルケトン樹脂、ポリエーテルサルフォン樹
脂、ポリアリレート樹脂、ポリブチレンテレフタレート
樹脂、ポリエチレンテレフタレト樹脂、ポリアミドイミ
ド樹脂、変性ポリフェニレンオキシド樹脂、AAS樹
脂、AES樹脂、ACS樹脂、AS樹脂などが挙げられ
る。
Examples of the polyimide resin include a condensation type polyimide, a bismaleide resin, and an addition type polyimide resin. As the polyurethane resin, it is preferable to use a urethane prepolymer that forms urethane. Preferably, those mainly using a block isocyanurate in which a terminal active isocyanate group is blocked with an active hydrogen compound are mainly used. As the thermoplastic resin, thermoplastic acrylic resin, butyral resin, vinyl chloride resin, urethane resin, polyethylene terephthalate resin, polyethylene resin, polypropylene resin, polystyrene resin, ABS resin, polycarbonate resin, polyamide resin, unsaturated polyester resin, diallyl phthalate Resin, fluorine resin, polyphenylene sulfide resin, polyether imide resin, polyether ketone resin, polyether ether ether ketone resin, polyether sulfone resin, polyarylate resin, polybutylene terephthalate resin, polyethylene terephthalate resin, polyamide imide resin , Modified polyphenylene oxide resin, AAS resin, AES resin, ACS resin, AS resin and the like.

【0034】光硬化型樹脂としては、光重合性オリゴマ
ー、光重合性モノマーを用い、必要に応じて、光開始
剤、光開始助剤を用いて硬化されるものである。光重合
性オリゴマーとしては、低分子量反応性分子(数百から
数千)で、ポリエステル、エポキシ、ウレタンなどの骨
格に官能基としてアクリル基、メタアクリル基が2つ以
上付加したものであり、例えば、エポキシアクリレー
ト、ウレタンアクリレート、ポリエステルアクリレー
ト、ポリエーテルアクリレートが挙げられる。
As the photo-curable resin, a photo-polymerizable oligomer and a photo-polymerizable monomer are used, and if necessary, a photo-initiator and a photo-initiating assistant are used to cure the resin. The photopolymerizable oligomer is a low-molecular-weight reactive molecule (several hundreds to thousands), which is obtained by adding two or more acrylic groups and methacryl groups as functional groups to a skeleton of polyester, epoxy, urethane, or the like. , Epoxy acrylate, urethane acrylate, polyester acrylate, and polyether acrylate.

【0035】光重合性モノマーとしては、アクリロイル
基(CH2=CHCO―)またはメタアクリロ基(CH2
=C(CH3)CO―)を1分子当たり1個または2個
以上持つものであり、1個持つ単官能(メタ)アクリレ
ート、2個以上持つ多官能(メタ)アクリレート、その
他ビニル基(CH2=CH―)を持つものが好ましい。
単官能アクリレートとしては、例えば、アリルアクリレ
ート、アリルメタアクリレート、ベンジルアクリレート
(メタ)、イソボニルアクリレート、シクロヘキシルア
クリレート(メタ)、N,N―ジメチルアミノエチルア
クリレート、グリシジルメタアクリレート、ラウリルア
クリレート、ポリエチレンアクリレート90メタアクリ
レート、トリフロロエチルメタアクリレートなどがあ
る。
As the photopolymerizable monomer, an acryloyl group (CH 2 CHCHCO—) or a methacryloyl group (CH 2
= C (CH 3 ) CO-) per molecule having one or more than one, and a monofunctional (meth) acrylate having one, a polyfunctional (meth) acrylate having two or more, and a vinyl group (CH Those having 2 = CH-) are preferred.
Examples of the monofunctional acrylate include allyl acrylate, allyl methacrylate, benzyl acrylate (meth), isobornyl acrylate, cyclohexyl acrylate (meth), N, N-dimethylaminoethyl acrylate, glycidyl methacrylate, lauryl acrylate, and polyethylene acrylate 90. Examples include methacrylate and trifluoroethyl methacrylate.

【0036】多官能アクリレートとしては、例えば、
1,4ブタンジオールジオールジアクリレート、1,6
ヘキサンジオールジアクリレート、ジエチレングリコー
ルジアクリレート、ネオペンチルグリコールアクリレー
ト、ポリエチレングリコール400ジアクリレート、ト
リプロピレングリコールジアクリレート、ビスフェノー
ルAジエトキシジアクリレート、テトラエチレングリコ
ールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアク
リレート、ペンタエリスリトールトリアクリレートなど
が挙げられる。ビニル基を有する反応性モノマーとして
は、例えば、スチレン、ビニルトルエン、酢酸ビニル、
N−ビニルピロリドンなどが挙げられる。
As the polyfunctional acrylate, for example,
1,4 butanediol diol diacrylate, 1,6
Hexanediol diacrylate, diethylene glycol diacrylate, neopentyl glycol acrylate, polyethylene glycol 400 diacrylate, tripropylene glycol diacrylate, bisphenol A diethoxy diacrylate, tetraethylene glycol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, etc. Is mentioned. As the reactive monomer having a vinyl group, for example, styrene, vinyl toluene, vinyl acetate,
N-vinylpyrrolidone and the like can be mentioned.

【0037】上記光重合性オリゴマー、光重合性モノマ
ーとともに光開始剤を用いるが、紫外線を吸収してラジ
カルを発生しやすい物質が好ましく、アセトフェノン
系、チオキサントン系、ベンゾイン系、パーオキサイド
系の公知の物質を用いることができる。例えば、ジエト
キシアセトフェノン、4―フェノキシジクロロアセトフ
ェノン、ベンゾイン、ベンゾインエチルエーテル、ベン
ゾインイソプロピルエーテル、ベンジルジメチルケター
ル、ベンゾフェノン、4―フェニルベンゾフェノン、ア
クリル化ベンゾフェノン、チオキサントン、2―エチル
アンスラキノンなどが挙げられる。また、光開始助剤と
しては、光開始助剤と用いると光開始剤単独よりも開始
反応が促進され、硬化反応を効率的にするものであり、
脂肪族、芳香族のアミンなどの公知の光開始助剤を使用
できる。例えば、トリエタノールアミンなどの公知の光
開始助剤を使用できる。例えば、トリエタノールアミ
ン、N―メチルジエタノールアミン、ミヒラーケトン、
4,4−ジエチルアミノフェノンなどがある。
A photoinitiator is used together with the above photopolymerizable oligomers and photopolymerizable monomers, and a substance which easily absorbs ultraviolet rays and easily generates radicals is preferable. Known acetophenone type, thioxanthone type, benzoin type and peroxide type are known. Substances can be used. For example, diethoxyacetophenone, 4-phenoxydichloroacetophenone, benzoin, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzyldimethyl ketal, benzophenone, 4-phenylbenzophenone, acrylated benzophenone, thioxanthone, 2-ethylanthraquinone, and the like. Further, as the photoinitiator, when used with the photoinitiator, the initiation reaction is promoted more than the photoinitiator alone, and the curing reaction is made more efficient,
Known photoinitiating aids such as aliphatic and aromatic amines can be used. For example, a known photoinitiating auxiliary such as triethanolamine can be used. For example, triethanolamine, N-methyldiethanolamine, Michler's ketone,
4,4-diethylaminophenone and the like.

【0038】また、必要に応じて、酸化防止剤(例え
ば、高級脂肪族、リノレン酸、バルミチン酸、オレイン
酸、ステアリン酸、リノール酸及びこれらの銅塩、ベン
ゾトリアゾール、トリルトリアゾール等のトリアゾール
化合物、重合燐酸塩、アルカノールアミン)、チキソ剤
分散剤(シランカップリング、アルミカップリング、ジ
ルコニウムカップリング剤)などを添加することもでき
る。また、公知の可塑剤を用いることもできる。この場
合、導電粉末100重量部に対して、0.0001〜1
5重量部添加して用いると効果がある。
If necessary, antioxidants (eg, higher aliphatic, linolenic acid, balmitic acid, oleic acid, stearic acid, linoleic acid and copper salts thereof, triazole compounds such as benzotriazole, tolyltriazole, etc.) Polymerized phosphates, alkanolamines), thixotropic agent dispersants (silane coupling, aluminum coupling, zirconium coupling agents) and the like can also be added. In addition, a known plasticizer can be used. In this case, 0.0001 to 1 with respect to 100 parts by weight of the conductive powder.
There is an effect when used by adding 5 parts by weight.

【0039】異方導電性フィルムの場合、導電性粒子が
前記有機バインダー中に高分散状態で作製されるのが好
ましく、この異方導電性フィルムは完全に乾燥あるいは
硬化状態のものでも良いが、むしろ半硬化状態のものが
より好ましい。異方導電性フィルムは、それ自身では導
電性を有する必要は無くむしろ絶縁性であるものが好ま
しい。即ち、フレキシブル絶縁フィルムと基板との間に
はさみ込み加圧、加熱することで電極と対向電極方向に
のみ導電性を発現させれば良く、フィルム自身は導電性
を有している必要はない。導電性を有していると隣り合
う電極同士での短絡が生じてしまう。
In the case of an anisotropic conductive film, the conductive particles are preferably prepared in a highly dispersed state in the organic binder. The anisotropic conductive film may be in a completely dried or cured state. Rather, those in a semi-cured state are more preferable. The anisotropic conductive film does not need to have conductivity by itself, but is preferably an insulative one. In other words, it is sufficient that the film is sandwiched between the flexible insulating film and the substrate and is pressed and heated to exhibit conductivity only in the direction of the electrode and the counter electrode, and the film itself does not need to have conductivity. When it has conductivity, a short circuit occurs between adjacent electrodes.

【0040】異方導電性フィルムの形態は、接続電極の
大きさ、数にもよるが、0.1〜2000mmの幅が一
般に用いられるが特に指定されるものではない。好まし
くは、0.2〜200mm、さらに好ましくは、0.3
〜50mmである。異方導電性フィルムの厚さが必要で
あり、3〜200μm程度のものが好ましい。異方導電
性フィルムの長さは、特に指定はなく、例えば数十mの
長さのフィルムを必要に応じて切断して用いるのが好ま
しい。
Although the form of the anisotropic conductive film depends on the size and number of the connection electrodes, a width of 0.1 to 2000 mm is generally used, but is not particularly specified. Preferably, 0.2-200 mm, more preferably 0.3
5050 mm. The thickness of the anisotropic conductive film is required, and a thickness of about 3 to 200 μm is preferable. The length of the anisotropic conductive film is not particularly specified. For example, it is preferable to cut and use a film having a length of several tens of meters as needed.

【0041】本発明は、フレキシブル絶縁フィルム上の
接続電極と接続される基板電極とが接続電極と対向基板
電極方向にのみ電気的導通を得る異方導電性フィルムを
提供するが、フレキシブル絶縁フィルムとしては、公知
のフレキシブル絶縁フィルムを用いることができる。例
えば、ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート、ポリ
ブチレンテレフタレート、ポリアリレート、ポリアミド
イミド、ポリアミド、ポリエチレン、アルミナ、ポリプ
ロピレン、ポリフェニレンスルフィド、ポリスルフォ
ン、ポリフェニレンエーテル、ポリエーテルケトン、ポ
リエーテルエーテルケトン、ポリアリレート、テトラフ
ルオロエチレン、エポキシ、チッ化アルミニウムから選
ばれた1種類以上からなるものを用いることが好まし
い。
The present invention provides an anisotropic conductive film in which the connection electrode on the flexible insulating film and the substrate electrode to be connected are electrically connected only in the direction of the connection electrode and the counter substrate electrode. A known flexible insulating film can be used. For example, polyimide, polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polyarylate, polyamide imide, polyamide, polyethylene, alumina, polypropylene, polyphenylene sulfide, polysulfone, polyphenylene ether, polyether ketone, polyether ether ketone, polyarylate, tetrafluoroethylene, It is preferable to use one composed of at least one selected from epoxy and aluminum nitride.

【0042】フレキシブル絶縁フィルムの形状は、幅は
特に用塗に応じて適応されるが、厚さとしては、5〜5
000μmのものが好ましく、さらに5〜500μmが
好ましく、5〜200μmのものが特に好ましい。ま
た、フレキシブル絶縁フィルム上の接続電極とは、フレ
キシブル絶縁フィルム上に直接あるいは接着剤を介して
導体回路、IC回路、LSIチップ実装など公知の回路
が形成されあるいは表面実装されているものの外部接続
用導体部分あるいは被接続基板に電気的接続する導体部
分を意味するものである。フレキシブル絶縁フィルム上
には必要に応じて、コンデンサー、抵抗、LSI、I
C、MCMなどのチップ部品を実装したものでも良い。
As for the shape of the flexible insulating film, the width is particularly adapted according to the application, but the thickness is 5 to 5 mm.
000 μm is preferable, 5 to 500 μm is more preferable, and 5 to 200 μm is particularly preferable. In addition, the connection electrode on the flexible insulating film is used for external connection of a well-known circuit such as a conductor circuit, an IC circuit, or an LSI chip mounted or directly mounted on the flexible insulating film or via an adhesive. It means a conductor portion or a conductor portion electrically connected to a connected substrate. Capacitors, resistors, LSI, I
A chip component such as C or MCM may be mounted.

【0043】フレキシブル絶縁フィルム上の接続電極
は、銅、アルミニウム、金、銀、白金、パラジウム、銀
―パラジウム、すず−鉛、すず−鉛―ビスマス、金―白
金、ニッケル、金めっきニッケル、銅―銀合金、銀―白
金、すず−鉛はんだめっき銅、すず−鉛はんだめっきア
ルミニウムから選ばれた1種以上であることを特徴とす
る。接続電極の形状は、対向の基板電極との大きさにも
よるが、6〜5000μm、好ましくは10〜1000
μm程度の幅あるいは径のもので良い。接続電極の厚さ
は、特に指定はないが、0.5〜200μm程度が好ま
しい。
The connection electrodes on the flexible insulating film are made of copper, aluminum, gold, silver, platinum, palladium, silver-palladium, tin-lead, tin-lead-bismuth, gold-platinum, nickel, gold-plated nickel, copper- It is characterized by being at least one selected from silver alloy, silver-platinum, tin-lead solder-plated copper, and tin-lead solder-plated aluminum. The shape of the connection electrode depends on the size of the opposing substrate electrode, but is 6 to 5000 μm, preferably 10 to 1000 μm.
It may have a width or diameter of about μm. The thickness of the connection electrode is not particularly specified, but is preferably about 0.5 to 200 μm.

【0044】フレキシブル絶縁フィルム上接続電極が異
方導電性フィルムを介して電気的に接続される基板上の
接続用導体電極(基板電極)が、ITO(インジウムー
すずー酸化物)、酸化スズ、酸化インジウム、フッソド
ープ酸化すず、すずめっきアルミニウム、すずー鉛はん
だめっきアルミニウム、パラジウムから選ばれた1種類
以上からなることを特徴とするが、基板電極の形状は、
酸化物薄膜、金属あるいは合金箔の状態が良い。液晶パ
ネル用の基板電極としては、ITO(インジウムーすず
ー酸化物)、酸化すず、酸化インジウムなどが好まし
く、例えば、スパッタリング、蒸着などの公知の方法で
作製されたもので良い。
The connection conductor electrode (substrate electrode) on the substrate to which the connection electrode on the flexible insulating film is electrically connected via the anisotropic conductive film is made of ITO (indium-tin-oxide), tin oxide, oxide Indium, fluorine-doped tin oxide, tin-plated aluminum, tin-lead solder-plated aluminum, characterized by comprising at least one selected from palladium, the shape of the substrate electrode,
Good state of oxide thin film, metal or alloy foil. As a substrate electrode for a liquid crystal panel, ITO (indium-tin-oxide), tin oxide, indium oxide, and the like are preferable, and for example, those manufactured by a known method such as sputtering or vapor deposition may be used.

【0045】また、プリント回路基板の場合の基板電極
は、基板上に導体のエッチング、導電性ペースト印刷等
で回路形成する公知の方法で作製された基板電極で構わ
ない。基板電極の厚さは0.02〜1000μmの程度
が好ましく、0.09〜200μmがさらに好ましく、
0.1〜100μmが最も好ましい。形状は特に指定し
ないが、大きさとしては、幅6〜1000μm程度の電
極が好ましい。電極間(ピッチ)は、6μm以上のもの
が良く、さらに10μm以上のものがより好ましい。
The substrate electrode in the case of a printed circuit board may be a substrate electrode manufactured by a known method for forming a circuit on the substrate by etching a conductor, printing a conductive paste, or the like. The thickness of the substrate electrode is preferably about 0.02 to 1000 μm, more preferably 0.09 to 200 μm,
0.1-100 μm is most preferred. Although the shape is not particularly specified, an electrode having a width of about 6 to 1000 μm is preferable. The distance between the electrodes (pitch) is preferably 6 μm or more, and more preferably 10 μm or more.

【0046】又、基板電極が形成されている基板は、公
知の基板で構わないが、ガラス、紙フェノール樹脂、ガ
ラスエポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、アルミナ、チッ化
アルミ、コージェライト、ムライト、アモルファスシリ
コン、単結晶シリコン、多結晶シリコン、アルミニウ
ム、ニッケル、カドミウム化合物、ほうろう、ポリアミ
ド樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂、ポリフェニレン
スルフィド樹脂、ポリエーテルケトン樹脂、テトラフル
オロエチレン樹脂、ポリエーテルスルフォン樹脂、ポリ
アリレート樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポ
リエーテルエーテルケトン樹脂から選ばれた1種類以上
の硬質あるいはフレキシブルな基板が好ましい。
The substrate on which the substrate electrodes are formed may be a known substrate, but may be glass, paper phenol resin, glass epoxy resin, polyimide resin, alumina, aluminum nitride, cordierite, mullite, amorphous silicon, Single crystal silicon, polycrystalline silicon, aluminum, nickel, cadmium compound, enamel, polyamide resin, polyphenylene ether resin, polyphenylene sulfide resin, polyether ketone resin, tetrafluoroethylene resin, polyether sulfone resin, polyarylate resin, polyethylene terephthalate resin One or more hard or flexible substrates selected from polyetheretherketone resins are preferred.

【0047】液晶パネルの場合には、ガラス基板が好ま
しい。ガラスとしては、公知のガラス材料が使用できる
が、アルカリ亜鉛ホウケイ酸、ナトリウムホウケイ酸、
ソーダライム、低アルカリホウケイ酸、バリウムホウケ
イ酸、ホウケイ酸、アルミノホウケイ酸、アルミノケイ
酸、96%ケイ酸、溶融石英ガラス、合成石英ガラスな
どから選ばれたガラスが好ましい。プリント回路基板の
場合には、紙フェノール樹脂、ガラスエポキシ樹脂、ポ
リイミド樹脂等が好ましい。
In the case of a liquid crystal panel, a glass substrate is preferable. As the glass, known glass materials can be used, but alkali zinc borosilicate, sodium borosilicate,
Glasses selected from soda lime, low alkali borosilicate, barium borosilicate, borosilicate, aluminoborosilicate, aluminosilicate, 96% silicic acid, fused silica glass, synthetic silica glass, and the like are preferable. In the case of a printed circuit board, paper phenol resin, glass epoxy resin, polyimide resin and the like are preferable.

【0048】基板の厚さは、0.01〜40mmのもの
が好ましい。基板は多層で有っても良く、2〜20層ま
での基板で良い。本発明の異方導電接続用組成物のペー
スト状のものを塗布して用いる場合には、前記の通り、
スクリーン印刷やデスペンサーの技術を用いて、基板電
極上に印刷塗布(電極部以外の部分も含む)しておく。
この時印刷あるいは塗布厚さは7〜50μm程度が良
い。溶剤あるいは揮発成分を含む場合には、充分に乾燥
させた後、フレキシブル絶縁フィルム上の接続電極を位
置合わせして50〜250℃程度の温度で0.1〜12
MPa程度の圧力で加圧して接続する。
The substrate preferably has a thickness of 0.01 to 40 mm. The substrate may be a multilayer, and may be a substrate having 2 to 20 layers. When the paste of the composition for anisotropic conductive connection of the present invention is applied and used, as described above,
Using a technique of screen printing or a dispenser, print application (including portions other than the electrode portion) is performed on the substrate electrode in advance.
At this time, the printing or coating thickness is preferably about 7 to 50 μm. When a solvent or a volatile component is contained, after sufficiently drying, the connection electrodes on the flexible insulating film are aligned, and the temperature is adjusted to about 0.1 to 12 at a temperature of about 50 to 250 ° C.
The connection is made by applying a pressure of about MPa.

【0049】本発明の異方導電性フィルムを用いてフレ
キシブル絶縁フィルム上の接続電極を接続される基板電
極に接続する方法としては、公知の方法で構わない。例
えば、前記の通り、基板の接続用電極上に異方導電性フ
ィルムを張り合わせる。必要に応じて、50〜120℃
程度の低温度で0.1〜7MPa程度の圧力で仮押さえ
する。その後、必要に応じて異方導電接続用フィルムの
ガイドフィルム(例えば、テトラフルオロエチレン)を
引き剥がす。さらに、フレキシブル絶縁フィルムの接続
電極を位置合わせし、さらに、フレキシブル絶縁フィル
ムの接続電極を位置合わせし、さらに、ヒートツールを
用いて60〜250℃程度の温度で、0.2〜15MP
a程度で加圧、圧着する。圧力は、0.2〜10MPa
程度が好ましく、さらに、0.6〜5MPaが好まし
い。
As a method for connecting the connection electrode on the flexible insulating film to the connected substrate electrode using the anisotropic conductive film of the present invention, a known method may be used. For example, as described above, the anisotropic conductive film is laminated on the connection electrode of the substrate. 50-120 ° C as required
Temporarily press at a temperature as low as about 0.1 to 7 MPa. Thereafter, if necessary, the guide film (for example, tetrafluoroethylene) of the anisotropic conductive connection film is peeled off. Further, the connecting electrodes of the flexible insulating film are aligned, the connecting electrodes of the flexible insulating film are further aligned, and further, using a heat tool, at a temperature of about 60 to 250 ° C. and 0.2 to 15 MPa.
Pressure and pressure are applied at about a. Pressure is 0.2-10MPa
Degree is preferable, and 0.6 to 5 MPa is more preferable.

【0050】こうして得られた異方導電体は、フレキシ
ブル絶縁フィルム上接続電極と対向する基板電極の間に
存在する粒子の中、少なくとも両接点を有する粒子が存
在するが、加圧、加熱処理した場合に異方性導電体のか
かる組成の導電粒子が加圧時に多少変形するものがあっ
ても良く、例えば、球状粒子が変形することによって接
点での接触面積が大きく取れることにある。変形ささせ
る場合には、接続電極と対向基板電極の距離にもよる
が、接続電極の距離が一番近いところで0.3μmまで
に押しつぶすことができる。この時、押しつぶれた粒子
が横に広がり隣の電極に接点を有することのないように
する必要があり、隣の電極あるいは端子同士のピッチ間
によってコントロールされるのが良い。
In the anisotropic conductor thus obtained, at least particles having both contacts exist among particles existing between the connection electrode on the flexible insulating film and the opposing substrate electrode. In such a case, the conductive particles having such a composition of the anisotropic conductor may be slightly deformed when pressurized. For example, the deformation of the spherical particles may increase the contact area at the contact. When it is deformed, it can be crushed to 0.3 μm at the shortest distance between the connection electrodes, depending on the distance between the connection electrodes and the counter substrate electrode. At this time, it is necessary to prevent the crushed particles from spreading laterally so as to have a contact with an adjacent electrode, and it is preferable that the crushed particles be controlled by the pitch between adjacent electrodes or terminals.

【0051】接続電極と対向基板電極との距離は0.3
μm以上30μm以下好ましく、さらに好ましくは1μ
m以上30μm以下、特に好ましくは1μm以上25μ
以下である。粒子の変形率は、例えば球状粒子の場合に
は、フレキシブル絶縁フィルム上の接続電極と対向基板
電極間の長さとフレキシブル絶縁フィルムあるいは基板
と水平な方向)の粒子の最も長いところの長さの比(絶
縁フィルムあるいは基板と水平な方向/電極電極間)が
0.1〜30であることが好ましいが特に指定されるも
のではない。
The distance between the connection electrode and the counter substrate electrode is 0.3
μm or more and 30 μm or less, more preferably 1 μm
m to 30 μm, particularly preferably 1 μm to 25 μm
It is as follows. For example, in the case of spherical particles, the deformation ratio of the particles is the ratio of the length between the connection electrode on the flexible insulating film and the counter substrate electrode and the length of the longest part of the particles in the direction parallel to the flexible insulating film or the substrate). (The direction parallel to the insulating film or the substrate / between the electrodes) is preferably 0.1 to 30, but is not particularly specified.

【0052】こうして得られた異方導電体の電極電極間
の接続抵抗は、100Ω以下の値が得られるものであ
り、抵抗値は低い方が好ましい。本発明は、さらに、前
記異方導電体を用いてなる液晶デスプレイ、プリント回
路基板、プラズマデスプレイ、サーマルヘッド、メンブ
レンスイッチも提供するものであるが、液晶デスプレイ
の場合には、液晶の駆動方式としては、単純マトリック
ス駆動方式、アクテイーブマトリックス駆動方式のもの
に利用できる。
The connection resistance between the electrodes of the anisotropic conductor thus obtained is a value of 100 Ω or less, and the lower the resistance, the better. The present invention further provides a liquid crystal display using the anisotropic conductor, a printed circuit board, a plasma display, a thermal head, and a membrane switch. Can be used for a simple matrix drive system and an active matrix drive system.

【0053】また、表示方式としては、ツイストネマチ
ック方式、強誘電正液晶表示方式FLCあるいはSSF
LC方式、高分子分散液晶方式、相転移方式、ダイナミ
ックスキャタリング方式、TN方式と組合わせたTFT
方式、アクテイーブマトリックス方式におけるスイッチ
チング素子としてダイオードを用いるMIM(META
L―INSULATOR―METAL)でコントラスト
を挙げる方式も当然使用できる。当然、白黒、カラーに
は充分対応できるデスプレイに用いられる。また、液晶
デスプレイの電極接続ピッチは5〜1000μm程度の
ものに利用できる。
As a display method, a twist nematic method, a ferroelectric positive liquid crystal display method FLC or SSF
TFT combined with LC method, polymer dispersed liquid crystal method, phase transition method, dynamic scattering method, TN method
(META) using a diode as a switching element in the active matrix method
Naturally, a method of increasing the contrast by L-INSULATOR-METAL can also be used. Naturally, it is used for a display that can sufficiently handle monochrome and color. In addition, the electrode connection pitch of the liquid crystal display can be used when the electrode connection pitch is about 5 to 1000 μm.

【0054】また、本発明の異方導電性フィルムは、プ
リント回路基板へのフレキシブル絶縁フィルムの接続に
用いることができる。フレキシブル絶縁フィルムは、前
記に示される通り、絶縁フィルム上に導体回路、チップ
部品(コンデンサー、抵抗、LSI等)が形成、実装さ
れているもので良いことはもちろんである。被接続のプ
リント回路基板としては、ハイブリッドIC、銅箔エッ
チング処理を施したもの、導電性ペーストをスクリーン
印刷法により回路形成したもの、及び多層樹脂基板(例
えば2〜20層)を意味するものである。特に指定はな
く、公知のプリント基板でよい。この場合には、例え
ば、基板上の導体電極としては、エッチングで形成され
た銅箔(例えば、5〜50μm厚)が好ましい。
The anisotropic conductive film of the present invention can be used for connecting a flexible insulating film to a printed circuit board. As described above, the flexible insulating film may, of course, be one in which a conductor circuit and a chip component (capacitor, resistor, LSI, etc.) are formed and mounted on the insulating film. The printed circuit board to be connected includes a hybrid IC, a board subjected to a copper foil etching treatment, a board formed of a conductive paste by a screen printing method, and a multilayer resin board (for example, 2 to 20 layers). is there. There is no particular designation, and a known printed board may be used. In this case, for example, as the conductor electrode on the substrate, a copper foil (for example, 5 to 50 μm thick) formed by etching is preferable.

【0055】プリント基板上の電極へのフレキシブル絶
縁フィルム(例えばフレキシブルプリント回路基板)の
接続に本発明の異方導電接続用組成物を用いて行うこと
により、プリント回路基板上のファインなプリント配線
(例えば、30〜400μm幅)にも充分な導通を確保
することができる。この場合にも、プリント回路基板上
のいかなる接続電極にも導電粒子柔らかくフィットし、
基板上の電極を傷つけたりすることが少ない特徴を有す
る。接続法は、前記に示される接続方法で構わない。以
下に実施例と比較例によって本発明を具体的に説明する
が、本発明はこの実施例の範囲に限定されるものではな
い。
By using the composition for anisotropically conductive connection of the present invention to connect a flexible insulating film (for example, a flexible printed circuit board) to an electrode on a printed circuit board, fine printed wiring ( Sufficient conduction can be ensured even when the width is, for example, 30 to 400 μm. Also in this case, the conductive particles softly fit any connection electrodes on the printed circuit board,
It has the feature that the electrode on the substrate is not easily damaged. The connection method may be the connection method described above. Hereinafter, the present invention will be described specifically with reference to Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited to the scope of the Examples.

【0056】[0056]

【実施例1】Cu粒子(純度99重量%以上)16kg
とAg粒子(純度99重量%以上)4kgを黒鉛るつぼ
に入れ、高周波誘導加熱装置により1400℃に融解、
加熱した。雰囲気は99体積%以上の窒素中で行った。
次に、この融解金属をるつぼの先端より、ヘリウムガス
雰囲気の噴霧槽内に導入した後、るつぼ先端付近に設け
られたガスノズルから、ヘリウムガス(純度99体積%
以上、酸素濃度0.1体積%、圧力3.2MPaG)を
噴出してアトマイズ(真壁技研製)を行い、金属粒子を
作製した。得られた金属粒子を走査型電子顕微鏡(日立
製作所製S−2700)で観察したところ球状(体積平
均粒子径12μm)であった。この金属粒子表面のAg
濃度をX線光電子分光分析法(英国VG社製X線光電子
分光分析装置ESCALAB200−X型)により測定
し、金属粒子の平均Ag濃度は濃硝酸中で溶解しプラズ
マ発光分析法(セイコー電子工業(株)製JY38P−
P2型)により測定した。得られた金属粒子の表面と平
均のAg濃度比は2.2であった。
Example 1 16 kg of Cu particles (purity 99% by weight or more)
And 4 kg of Ag particles (purity 99% by weight or more) are put into a graphite crucible and melted at 1400 ° C. by a high frequency induction heating device.
Heated. The atmosphere was performed in nitrogen of 99% by volume or more.
Next, after introducing the molten metal from the tip of the crucible into a spray tank in a helium gas atmosphere, a helium gas (purity of 99% by volume) was supplied from a gas nozzle provided near the tip of the crucible.
As described above, an atomization (manufactured by Makabe Giken) was performed by ejecting an oxygen concentration of 0.1% by volume and a pressure of 3.2 MPaG) to produce metal particles. Observation of the obtained metal particles with a scanning electron microscope (S-2700 manufactured by Hitachi, Ltd.) revealed that the particles were spherical (volume average particle diameter: 12 μm). Ag on the surface of this metal particle
The concentration was measured by X-ray photoelectron spectroscopy (X-ray photoelectron spectrometer ESCALAB200-X manufactured by VG, UK), and the average Ag concentration of the metal particles was dissolved in concentrated nitric acid and plasma emission spectroscopy (Seiko Denshi Kogyo ( JY38P-
P2 type). The average ratio of Ag concentration to the surface of the obtained metal particles was 2.2.

【0057】また、エポキシ樹脂にて包埋し、金属粒子
断面の電子顕微鏡観察を実施したが、金属粒子内部にボ
イドはなく、凸部と凹部の高さの差は0.5μmであっ
た。得られた導電性粒子を気流式分級機(日清エンジニ
アリング製)で分級した。得られた分級粉は平均粒径
6.5μmであり、酸素含有量は800ppmであっ
た。また、6.5±2μmに含まれる分級粉の存在割合
は99%以上であった。前述した方法により得られた導
電性粒子を核として、回転めっき装置(上村工業製フロ
ースループレーターRP−1)にて、めっき前処理は水
洗のみでSnめっきを行った。Snめっき液はSn/P
b共晶はんだめっき用の液組成からPb成分を除去した
組成であり、めっき温度は25度、電流密度は0.15
A/dm 、めっき時間0.5時間で行った。
Further, embedding in an epoxy resin, metal particles
The cross section was observed with an electron microscope.
There was no void, and the difference between the heights of the convex and concave portions was 0.5 μm.
Was. The obtained conductive particles are subjected to an airflow classifier (Nisshin Engineer).
Alling). The obtained classified powder has an average particle size.
6.5 μm and an oxygen content of 800 ppm.
Was. In addition, the abundance ratio of classified powder contained in 6.5 ± 2 μm
Was over 99%. The guide obtained by the method described above
Rotating plating equipment (flow from Uemura Kogyo Co., Ltd.)
In the sloop looper RP-1), the plating pretreatment is water
Sn plating was performed only by washing. Sn plating solution is Sn / P
Removed Pb component from solution composition for b-eutectic solder plating
Composition, plating temperature 25 degrees, current density 0.15
A / dm 2The plating time was 0.5 hours.

【0058】得られた導電性粒子を走査型電子顕微鏡に
て100個観察した結果、体積平均粒径が8.5μmで
あった。断面観察によるめっき厚みは1μmであった。
さらに、粒子表面及び中心の元素分析(堀場製作所製E
MAX−5770)を実施したところ、次のような結果
が得られた。なお、分析に使用した線種はAg;Lα
線、Cu;Kα線、Sn;Lα線であり、エネルギーカ
ウント値を重量%に換算した。 次に最表面の元素分析(表面からの深さ30Å程度)を
X線光電子分光分析法にて実施した。分析に使用したピ
ークは、Ag3d3/2 (MgのKα線)とCu3p
(MgのKα線)、Sn3d5/2(MgのKα線)であ
る。その結果、最表面にはSnしか存在していない事を
確認した。
As a result of observing 100 of the obtained conductive particles with a scanning electron microscope, the volume average particle size was 8.5 μm. The plating thickness by cross section observation was 1 μm.
Furthermore, elemental analysis of the particle surface and center (Horiba Seisakusho E
MAX-5770), the following results were obtained. The line type used in the analysis was Ag; Lα
Line, Cu; Kα line, Sn; Lα line, and the energy count value was converted to% by weight. Next, an elemental analysis of the outermost surface (about 30 ° depth from the surface) was performed by X-ray photoelectron spectroscopy. The peaks used in the analysis were Ag3d 3/2 (Kα line of Mg) and Cu3p
(Kα line of Mg) and Sn3d 5/2 (Kα line of Mg). As a result, it was confirmed that only Sn was present on the outermost surface.

【0059】最後にこの導電性粒子を島津製作所製DS
C−50により窒素雰囲気下で吸熱ピーク温度(融点を
示す)を測定した。その結果、217度、353度、4
90度、610度に吸熱ピークが存在した。測定装置の
操作温度の上限は720度であり、核として使用してい
る合金粒子の融点は不明だったので、真空理工製の高温
顕微鏡にて窒素雰囲気下にて核の金属粒子のみ別途測定
したところ、780度付近で金属粒子が球状を維持でき
なくなり、990度で完全に溶解する事を観察でき、D
SC測定により得られた吸熱ピークはめっき層由来であ
る事を確認した。
Finally, the conductive particles are converted to DS by Shimadzu Corporation.
The endothermic peak temperature (indicating the melting point) was measured under a nitrogen atmosphere by C-50. As a result, 217 degrees, 353 degrees, 4
Endothermic peaks were present at 90 and 610 degrees. Since the upper limit of the operating temperature of the measuring device was 720 ° C. and the melting point of the alloy particles used as the core was unknown, only the core metal particles were separately measured under a nitrogen atmosphere using a high-temperature microscope manufactured by Vacuum Riko. However, it was observed that the metal particles could not maintain a spherical shape at around 780 degrees, and could be completely dissolved at 990 degrees.
It was confirmed that the endothermic peak obtained by the SC measurement was derived from the plating layer.

【0060】[0060]

【実施例2】実施例1と同様に不活性ガスアトマイズを
行い分級後、この金属粒子を核として、回転めっき装置
にて、めっき前処理は水洗のみでSn/Biめっきを行
った。Sn/Biめっき液はSnめっき液にBiを5重
量%添加した組成であり、めっき温度は25度、電流密
度は0.15A/dm2、めっき時間0.5時間で行っ
た。得られた導電性粒子を走査型電子顕微鏡にて100
個観察した結果、体積平均粒径が8.5μmであった。
また、導電性粒子をエポキシ樹脂にて包埋し、研磨後に
走査型電子顕微鏡にて断面観察を行った。断面観察によ
るめっき厚みは1μmであった。さらに、粒子表面及び
中心の元素分析を実施したところ、次のような結果が得
られた。なお、分析に使用した線種はAg;Lα線、C
u;Kα線、Sn;Lα線、Bi;Mα線であり、エネ
ルギーカウント値を重量%に換算した。
Example 2 Inert gas atomization and classification were performed in the same manner as in Example 1, and Sn / Bi plating was performed using a rotating plating apparatus with the metal particles as nuclei, and the plating pretreatment was performed only with water washing. The Sn / Bi plating solution had a composition obtained by adding 5% by weight of Bi to the Sn plating solution, and was performed at a plating temperature of 25 ° C., a current density of 0.15 A / dm 2 , and a plating time of 0.5 hour. The obtained conductive particles were subjected to 100 scanning electron microscopy.
As a result of observation, the volume average particle size was 8.5 μm.
In addition, the conductive particles were embedded in an epoxy resin, and after polishing, the cross section was observed with a scanning electron microscope. The plating thickness by cross section observation was 1 μm. Further, when the elemental analysis of the particle surface and the center was performed, the following results were obtained. The line types used in the analysis were Ag; Lα line, C
u; Kα line, Sn; Lα line, Bi; Mα line, and the energy count value was converted to% by weight.

【0061】次に最表面の元素分析(表面からの深さ3
0Å程度)をX線光電子分光分析法にて実施した。分析
に使用したピークは、Ag3d3/2(MgのKα線)と
Cu3p(MgのKα線)、Sn3d5/2(MgのKα
線)、Bi4f(MgのKα線)である。その結果、最
表面にはSnとBiが存在している事を確認した。存在
比はSnが46重量%でBiが54重量%であった。さ
らに、この導電性粒子をDSCにより窒素雰囲気下で吸
熱ピーク温度(融点を示す)を測定した。その結果、1
38度、217度、353度、490度、610度に吸
熱ピークが存在した。核として使用している金属粒子の
融点を高温顕微鏡にて窒素雰囲気下にて別途測定したと
ころ、780度付近で金属粒子が球状を維持できなくな
り、990度で完全に溶解する事を観察でき、DSC測
定により得られた吸熱ピークはめっき層由来である事を
確認した。
Next, elemental analysis of the outermost surface (depth 3 from the surface)
(About 0 °) was carried out by X-ray photoelectron spectroscopy. The peaks used in the analysis were Ag3d 3/2 (Kα line of Mg), Cu3p (Kα line of Mg), and Sn3d 5/2 (Kα line of Mg).
Line) and Bi4f (Kα line of Mg). As a result, it was confirmed that Sn and Bi existed on the outermost surface. The abundance ratio was 46% by weight of Sn and 54% by weight of Bi. Further, the endothermic peak temperature (indicating the melting point) of the conductive particles was measured by DSC under a nitrogen atmosphere. As a result, 1
Endothermic peaks were present at 38 degrees, 217 degrees, 353 degrees, 490 degrees, and 610 degrees. When the melting point of the metal particles used as the nucleus was separately measured under a nitrogen atmosphere with a high-temperature microscope, it was observed that the metal particles could not maintain a spherical shape around 780 ° C. and were completely dissolved at 990 ° C. It was confirmed that the endothermic peak obtained by the DSC measurement was derived from the plating layer.

【0062】上記実施例1、2で得られた導電性粒子を
用いて、厚さは5〜5000μmの範囲でコーターでガ
イドテープを貼り合わせながら異方導電性フィルムを作
製した。幅については、0.1〜2000mmの範囲で
作製した。さらに、作製した異方導電性フィルムを用い
て、被接続基板上に少なくとも100本(あるいは10
0個)以上の電極が並ぶ箇所に位置合わせして、基板上
に仮圧着した(フレキシブル絶縁フィルムでも良い)。
温度は50〜120℃/1〜10秒間の範囲で行った。
圧力は、0.05〜5MPa範囲でヒートツールを用い
て加圧した。その後、ガイドテープ(なくても構わな
い)を剥がし、さらに、フレキシブル絶縁フィルム(基
板でも良い)の接続電極を対抗基板電極に位置合わせし
て温度60〜200℃/1〜60秒の範囲で圧力0.1
〜12MPaで本接続した。電極ピッチ間(導体と導体
の距離)は40〜200μmで行った。
Using the conductive particles obtained in the above Examples 1 and 2, an anisotropic conductive film was prepared while attaching a guide tape with a coater in a thickness of 5 to 5000 μm. Regarding the width, it was prepared in the range of 0.1 to 2000 mm. Furthermore, using the produced anisotropic conductive film, at least 100 (or 10
(0) or more electrodes were aligned with each other, and temporarily press-bonded on the substrate (a flexible insulating film may be used).
The temperature was in the range of 50 to 120 ° C./1 to 10 seconds.
The pressure was increased using a heat tool in the range of 0.05 to 5 MPa. Thereafter, the guide tape (which may be omitted) is peeled off, and the connection electrode of the flexible insulating film (which may be a substrate) is aligned with the counter substrate electrode, and the pressure is set at a temperature of 60 to 200 ° C./1 to 60 seconds. 0.1
Full connection was made at 1212 MPa. The electrode pitch (distance between conductors) was 40 to 200 μm.

【0063】作製した異方導電性フィルムの組成を表
1、得られた異方導電体の形態を表2、環境試験後の特
性を表3に示す。評価判断基準は、フレキシブル絶縁フ
ィルム上の接続電極と対抗基板電極との間の抵抗値(2
0Ω以下を良とする)、分散性と耐マイグレーション性
を測定するために隣り合う電極間の絶縁性(85℃ 9
0%1000時間放置後)の良否(100本(個)以上
が108Ω以上を良◎、50〜99本(個)△、49以
下を×とする。)、環境試験後の抵抗値の変化率の良否
(85℃/30分―55℃/30分―1000サイクル
後で20%以内の変化率は良◎とする)とした。併せて
用途も示す。
Table 1 shows the composition of the produced anisotropic conductive film, Table 2 shows the form of the obtained anisotropic conductor, and Table 3 shows the properties after the environmental test. The evaluation criterion is based on the resistance value (2) between the connection electrode on the flexible insulating film and the counter substrate electrode.
0Ω or less is good), and insulation between adjacent electrodes (85 ° C. 9
0% (after standing for 1000 hours), good or bad (100 or more pieces are 10 8 Ω or more, good 、, 50 to 99 pieces (pieces), 49 or less are x), and resistance value after environmental test The rate of change was evaluated as good (the rate of change within 20% after 85 cycles of 85 ° C./30 minutes—55 ° C./30 minutes—1000 cycles is good). The application is also shown.

【0064】[0064]

【比較例】市販の水アトマイズ銅粉を気流式分級機にて
分級し、平均粒径を合わせた。分級後の含有酸素量は1
800ppmであった。その銅粉を用いて、表1に示さ
れた組成割合と全く同じ組成で実施例と同様にして異方
導電性フィルムを作製し(表4)、同様に評価した。そ
の評価結果は表5、6に示す。
Comparative Example A commercially available water atomized copper powder was classified with an airflow classifier and the average particle size was adjusted. The oxygen content after classification is 1
It was 800 ppm. Using the copper powder, an anisotropic conductive film was produced in the same manner as in the example with the exact same composition ratio as shown in Table 1 (Table 4) and evaluated similarly. The evaluation results are shown in Tables 5 and 6.

【0065】[0065]

【表1】 [Table 1]

【0066】[0066]

【表2】 [Table 2]

【0067】[0067]

【表3】 [Table 3]

【0068】[0068]

【表4】 [Table 4]

【0069】[0069]

【表5】 [Table 5]

【0070】[0070]

【表6】 [Table 6]

【0071】[0071]

【発明の効果】本発明の導電性粒子は、低温接続性、導
電性、耐酸化性、分散性が良く、鉛を含まないために人
体や環境にも優しく、さらに錫合金、銀、銅等で構成さ
れるために電極、導体間接合時に適度に変形することで
接点面積を大きくとれる。この環境問題を配慮した導電
性粒子を用いた異方導電性フィルムにより、高接続信頼
性、ファインピッチでの接続性や高電流密度が得られる
などの特長を持った、異方導電体も提供することができ
る。
The conductive particles of the present invention have good low-temperature connectivity, conductivity, oxidation resistance, and dispersibility, and are free from lead, so they are friendly to the human body and the environment. Furthermore, tin alloys, silver, copper, etc. The contact area can be increased by being appropriately deformed at the time of bonding between the electrode and the conductor. We provide anisotropic conductors with features such as high connection reliability, connectivity at fine pitch and high current density by using an anisotropic conductive film using conductive particles in consideration of this environmental problem. can do.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 4F100 AB10B AB11B AB12B AB13B AB14B AB16B AB17B AB18B AB20B AB21B AB22B AB24B AB25B AB31B AK01A AR00B BA02 DE01B GB41 JA04B JB03 JG01B JK17A YY00B 5G307 HA02 HB03 HC01  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page F term (reference) 4F100 AB10B AB11B AB12B AB13B AB14B AB16B AB17B AB18B AB20B AB21B AB22B AB24B AB25B AB31B AK01A AR00B BA02 DE01B GB41 JA04B JB03 JG01B JK17A YY00B 5G307HA02 H03

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】フレキシブルフィルムと、有機バインダー
と、導電性粒子と、を有する異方導電性フィルムであっ
て、前記導電性粒子は融点の高い金属合金の中心核
[m]と、該中心核の外側の層を中心核から外側に向か
って順に[m+1]層、[m+2]層・・・[m+n]
層とより成り中心核及びそれぞれの層の融点を(m)m
p、(m+1)mp、(m+2)mp・・・(m+n)
mpと表すとき、中心核と各層の融点は(m)mp>
(m+1)mp>(m+2)mp・・・>(m+n)m
pで、前記導電性粒子1重量部に対して、前記有機バイ
ンダーが0.05〜300重量部含有することを特徴と
する異方導電性フィルム。
1. An anisotropic conductive film having a flexible film, an organic binder, and conductive particles, wherein the conductive particles have a central core [m] of a metal alloy having a high melting point; [M + 1] layer, [m + 2] layer,... [M + n]
The core and the melting point of each layer (m) m
p, (m + 1) mp, (m + 2) mp ... (m + n)
When expressed as mp, the melting point of the central core and each layer is (m) mp>
(M + 1) mp> (m + 2) mp...> (M + n) m
p, wherein the organic binder is contained in an amount of 0.05 to 300 parts by weight based on 1 part by weight of the conductive particles.
【請求項2】請求項1記載の異方導電性フィルムにおい
て、前記導電性粒子を構成する金属は3種類以上で、最
外層以外の層は前記中心核[m]との合金層であって、
最外層[m+n]層が錫或いは錫合金層であることを特
徴とする異方導電性フィルム。
2. The anisotropic conductive film according to claim 1, wherein the metal constituting the conductive particles is at least three kinds, and the layers other than the outermost layer are alloy layers with the central core [m]. ,
An anisotropic conductive film, wherein the outermost [m + n] layer is a tin or tin alloy layer.
【請求項3】請求項1乃至2記載の異方導電性フィルム
において、前記導電性粒子は平均粒子径が2.5〜40
μmで平均粒子径±2μm粒子の含有率が80体積%以
上を占め、含有酸素量が5000ppm以下であること
を特徴とする異方導電性フィルム。
3. The anisotropic conductive film according to claim 1, wherein said conductive particles have an average particle size of 2.5 to 40.
An anisotropic conductive film characterized in that the content of particles having an average particle diameter of ± 2 μm in μm accounts for 80% by volume or more and the oxygen content is 5000 ppm or less.
【請求項4】請求項1乃至3記載の異方導電性フィルム
において、前記導電性粒子の構成金属が金、銀、銅、
錫、ビスマス、亜鉛、ニッケル、パラジウム、クロム、
インジウム、アンチモン、アルミニウム、ゲルマニウ
ム、シリコン、ベリリウム、タングステン、モリブデ
ン、マンガン、タンタル、チタン、ネオジウム、マグネ
シウムのうち、いずれか3種類以上含むことを特徴とす
る異方導電性フィルム。
4. The anisotropic conductive film according to claim 1, wherein said conductive particles are composed of gold, silver, copper,
Tin, bismuth, zinc, nickel, palladium, chromium,
An anisotropic conductive film comprising at least three of indium, antimony, aluminum, germanium, silicon, beryllium, tungsten, molybdenum, manganese, tantalum, titanium, neodymium, and magnesium.
【請求項5】請求項1乃至4記載の異方導電性フィルム
において、前記導電性粒子の中心核[m]の金属粒子が
一般式AgxCuy[0.001≦x≦0.4、0.6
≦y≦0.999、x+y=1(原子比)]で表され、
平均粒子径が2.5〜35μmで平均粒子径±2μm粒
子の含有率が80体積%以上を占め、含有酸素量が50
00ppm以下で、かつ前記中心核粒子表面のAg濃度
が粒子の平均Ag濃度より高く前記中心核粒子表面が微
細な凸凹形状(凸部と凹部の高さの差が1μm以下)を
有していることを特徴とする異方導電性フィルム。
5. The anisotropic conductive film according to claim 1, wherein the metal particles of the central nucleus [m] of the conductive particles are of the general formula AgxCuy [0.001 ≦ x ≦ 0.4, 0.6
≦ y ≦ 0.999, x + y = 1 (atomic ratio)],
The average particle diameter is 2.5 to 35 μm, the content of the average particle diameter ± 2 μm particles accounts for 80% by volume or more, and the oxygen content is 50%.
The central core particle surface has a fine unevenness (the difference between the height of the convex portion and the concave portion is 1 μm or less) in which the Ag concentration of the central core particle surface is higher than the average Ag concentration of the particles. An anisotropic conductive film, characterized in that:
【請求項6】請求項1乃至5記載の異方導電性フィルム
において、前記有機バインダーが熱硬化性樹脂、熱可塑
性樹脂、光硬化性樹脂、電子線硬化性樹脂及び光熱硬化
性樹脂から選ばれる1種類以上の樹脂を含有しているこ
とを特徴とする異方導電性フィルム。
6. The anisotropic conductive film according to claim 1, wherein said organic binder is selected from a thermosetting resin, a thermoplastic resin, a photocurable resin, an electron beam curable resin, and a photothermosetting resin. An anisotropic conductive film comprising one or more resins.
【請求項7】請求項1乃至6記載の異方導電性フィルム
と電気的接続している電気接続体において、前記フレキ
シブルフィルム上のフィルム接続電極と、接続している
接続基板の基板電極と、の間で電極接続していることを
特徴とする電気接続体。
7. An electrical connection body electrically connected to the anisotropic conductive film according to claim 1, wherein a film connection electrode on the flexible film, a substrate electrode of the connection substrate connected to the flexible film, An electrical connection characterized in that electrodes are connected between the two.
【請求項8】請求項7記載の電気接続体において、前記
基板電極が銅、錫めっき銅、金、はんだめっき銅、アル
ミニウム、銀、ニッケル、パラジウム、白金、ITOガ
ラス、IOガラス電極から選ばれた一種以上であること
を特徴とする電気接続体。
8. The electrical connector according to claim 7, wherein said substrate electrode is selected from copper, tin-plated copper, gold, solder-plated copper, aluminum, silver, nickel, palladium, platinum, ITO glass, and IO glass electrodes. An electrical connector, characterized in that it is at least one kind.
【請求項9】請求項7または8記載の電気接続体におい
て、前記接続基板が液晶パネル、プリント基板、ハイブ
リッドIC基板のいずれかであることを特徴とする電気
接続体。
9. The electrical connector according to claim 7, wherein said connection board is any one of a liquid crystal panel, a printed board, and a hybrid IC board.
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