JP2001185423A - ノイズフィルタ - Google Patents

ノイズフィルタ

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JP2001185423A
JP2001185423A JP36934099A JP36934099A JP2001185423A JP 2001185423 A JP2001185423 A JP 2001185423A JP 36934099 A JP36934099 A JP 36934099A JP 36934099 A JP36934099 A JP 36934099A JP 2001185423 A JP2001185423 A JP 2001185423A
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inductor
capacitor
noise filter
cobalt
signal
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JP36934099A
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Yukisato Atomachi
幸里 後町
Mitsuo Sakakura
光男 坂倉
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Toko Inc
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 抵抗とコンデンサによって構成されているの
で、ノイズを除去するためにインピーダンスを高くする
と信号が劣化し、信号が劣化しないようにインピーダン
スを設定するとノイズが十分に除去できない。 【解決手段】 半導体素子の信号端と信号線路間にそれ
ぞれ挿入されるインダクタと、このインダクタとアース
間に接続されるコンデンサを備える。インダクタは、コ
バルト−バリウム−ストロンチウム系フェライトのコバ
ルトの一部が銅で置換された磁性体と、この磁性体に形
成された導体パターンとで形成される。 【効果】 信号を劣化させることなく、ノイズの除去能
力を改善できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、CPU等の半導体
素子の、100MHz以上の高速信号が伝送される信号
端と信号線路間に挿入されるノイズフィルタに関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】近年、CPU等の半導体素子では、その
信号端において100MHz以上の高速信号が伝送され
るものがある。このような半導体素子が用いられたコン
ピュータ等の電子機器においては、ノイズによって従来
のものよりも誤動作しやすくなっている。これは半導体
素子の信号端において伝送される信号が100MHz以
上と従来のものよりも高速なため、伝送信号にノイズが
混入した場合の影響が大きくなることが原因となってい
る。そのため、これらの電子機器においては、半導体素
子の信号端と信号線路間にノイズフィルタを挿入する必
要が大きくなっている。
【0003】従来のノイズフィルタは、図7に示す様に
半導体素子71の信号端と信号線路間にそれぞれ抵抗R
1、R2、R3、・・・、Rnを挿入し、抵抗の信号線
路側がそれぞれコンデンサC71、C72、C73、・
・・、C7nを介してアースされて形成されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】この様なノイズフィル
タは、抵抗とコンデンサによって構成されているので、
そのインピーダンスは周波数に関係なく一定となってい
る。従って、従来のノイズフィルタは、ノイズを除去す
るためにインピーダンスを高くすると信号が劣化し、信
号が劣化しないようにインピーダンスを設定するとノイ
ズが十分に除去できないという問題があった。このよう
な問題を解決するためにインダクタとコンデンサでノイ
ズフィルタを構成しようとすると、インダクタ成分によ
り信号に位相ずれが発生する。この様なノイズフィルタ
を前述のような高速信号が伝送される半導体素子の信号
端と信号線路間に挿入しようとした場合、伝送される信
号が100MHz以上と高速なためにこの位相ずれによ
り伝送される信号が著しく劣化するという問題があっ
た。従って、この様な半導体素子の信号端と信号線路間
に、インダクタとコンデンサで構成したノイズフィルタ
を挿入することはできなかった。
【0005】本発明は、信号を劣化させることなく、ノ
イズの除去能力を改善できるノイズフィルタを提供する
ことを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、半導体素子の
信号端と信号線路間にそれぞれ挿入されるインダクタ、
インダクタとアース間に接続されるコンデンサを備え、
インダクタがフェロックスプレーナ系の材料を用いた磁
性体とこの磁性体に形成された導体パターンとで形成す
ることにより上述の課題を解決するものである。すなわ
ち、半導体素子の信号端と信号線路間にそれぞれ挿入さ
れるインダクタ、インダクタとアース間に接続されるコ
ンデンサを備え、インダクタが、コバルト−バリウム−
ストロンチウム系フェライトのコバルトの一部が銅で置
換された磁性体と磁性体に形成された導体パターンとで
形成されたことを特徴とする。
【0007】また、本発明のノイズフィルタは、半導体
素子の信号端と信号線路間にそれぞれ挿入されるインダ
クタ、インダクタとアース間に接続されるコンデンサを
備え、インダクタが、コバルト−バリウム−ストロンチ
ウム系フェライトのコバルトの一部が銅で置換され、バ
リウム−ストロンチウムの一部が鉛で置換された磁性体
と該磁性体に形成された導体パターンとで形成されたこ
とを特徴とする。
【0008】さらに、本発明のノイズフィルタは、この
インダクタと、絶縁体層と導体層を交互に積層して形成
されたコンデンサとを積層することによりインダクタと
コンデンサを一体に形成する。またさらに、本発明のノ
イズフィルタは、半導体素子の信号端と信号線路間に挿
入される複数のインダクタが一体に形成されたり、半導
体素子の信号端と信号線路間に挿入される複数のインダ
クタ及び、それぞれのインダクタとアース間に接続され
た複数のコンデンサが一体に形成されたりする。
【0009】また、本発明のノイズフィルタは、半導体
素子の信号端と信号線路間に挿入される複数のインダク
タ、それぞれのインダクタとアース間に接続される複数
のコンデンサを備え、複数のインダクタが、コバルト−
バリウム−ストロンチウム系フェライトのコバルトの一
部が銅で置換された磁性体とこの磁性体に形成された導
体パターンとで一体に形成され、複数のコンデンサが絶
縁体層と導体層を交互に積層して形成され、インダクタ
とコンデンサとを積層することにより複数のインダクタ
と複数のコンデンサが一体に形成され、磁性体又は絶縁
体のいずれかに半導体ベアチップを収納するための凹み
部が形成される。さらに、本発明のノイズフィルタは、
半導体素子の信号端と信号線路間に挿入される複数のイ
ンダクタ、それぞれのインダクタとアース間に接続され
る複数のコンデンサを備え、複数のインダクタが、コバ
ルト−バリウム−ストロンチウム系フェライトのコバル
トの一部が銅で置換され、バリウム−ストロンチウムの
一部が鉛で置換された磁性体とこの磁性体に形成された
導体パターンとで一体に形成され、複数のコンデンサが
絶縁体層と導体層を交互に積層して形成され、インダク
タとコンデンサとを積層することにより複数のインダク
タと複数のコンデンサが一体に形成され、磁性体又は絶
縁体のいずれかに半導体ベアチップを収納するための凹
み部が形成される。
【0010】
【発明の実施の形態】本発明のノイズフィルタは、半導
体素子の信号端と信号線路間にそれぞれ挿入されるイン
ダクタ、インダクタとアース間に接続されるコンデンサ
を備える。インダクタは、コバルト−バリウム−ストロ
ンチウム系フェライトのコバルトの一部が銅で置換され
た磁性体又は、コバルト−バリウム−ストロンチウム系
フェライトのコバルトの一部が銅で置換され、バリウム
−ストロンチウムの一部が鉛で置換された磁性体を用
い、この磁性体に形成された導体パターンで形成され
る。このインダクタは、さらに、絶縁体層と導体層を交
互に積層して形成したコンデンサと積層されて一体化さ
れる。また、本発明のノイズフィルタは、半導体素子の
信号端と信号線路間に挿入される複数のインダクタ、そ
れぞれのインダクタとアース間に接続される複数のコン
デンサを備える。複数のインダクタは、コバルト−バリ
ウム−ストロンチウム系フェライトのコバルトの一部が
銅で置換された磁性体又は、コバルト−バリウム−スト
ロンチウム系フェライトのコバルトの一部が銅で置換さ
れ、バリウム−ストロンチウムの一部が鉛で置換された
磁性体を用い、この磁性体に形成された導体パターンで
一体に形成される。この複数のインダクタは、さらに、
絶縁体層と導体層を交互に積層して形成された複数のコ
ンデンサと積層されて一体化される。さらに、複数のイ
ンダクタと複数のコンデンサを一体に形成したものの、
磁性体又は絶縁体のいずれかに半導体ベアチップを収納
するための凹み部が形成される。
【0011】
【実施例】以下、本発明のノイズフィルタの実施例を図
1乃至図6を参照して説明する。図1は本発明のノイズ
フィルタの第1の実施例の回路図であり、11は半導体
素子を示している。半導体素子11の信号端と信号線路
間には、それぞれインダクタL11、L12、L13、
・・・、L1nが挿入される。インダクタL11、L1
2、L13、・・・、L1nの信号線路側は、それぞれ
コンデンサを介してアースされる。すなわち、インダク
タL11の信号線路側はコンデンサC11を、インダク
タL12の信号線路側はコンデンサC12を、インダク
タL13の信号線路側はコンデンサC13を、インダク
タL1nの信号線路側がコンデンサC1nをそれぞれ介
してアースされる。インダクタL11、L12、L1
3、・・・、L1nは、それぞれ磁性体とこの磁性体に
形成された導体パターンによって形成される。この磁性
体は、例えば、以下の組成のフェライト磁性材料が用い
られる。2(Co0.6Cu0.4)O・3(Ba0.75Sr
0.15Pb0.1)O・9.8Fe23 このインダクタL11、
L12、L13、・・・、L1nは、電子機器のプリン
ト基板上にそれぞれ実装され、プリント基板の配線パタ
ーンを介して所定のコンデンサと接続されてノイズフィ
ルタが形成される。この様に形成されたノイズフィルタ
は、伝送される信号の周波数帯域の100MHz〜20
0MHzのインピーダンスを低く、かつ、数百MHzか
らインピーダンスが急峻に立ち上がって、ノイズが存在
するGHz帯においてインピーダンスを最大にすること
ができる。また、インダクタを構成する磁性体の材料と
して前述の様な材料を用いたので、信号の位相ずれを小
さくすることができる。
【0012】図2は本発明のノイズフィルタの第2の実
施例の回路図であり、21は半導体素子を示している。
このノイズフィルタの回路構成は前述の実施例のものと
同じであるが、半導体素子21の信号端に接続されるイ
ンダクタL21、L22、L23、・・・、L2nが一
体に形成される点が前述のものと異なっている。インダ
クタL21、L22、L23、・・・、L2nは、磁性
体22に複数の導体パターンを形成して磁性体22に複
数のインダクタを形成することにより一体化される。こ
の磁性体22は、例えば、以下の組成のフェライト磁性
材料が用いられる。2(Co0.6Cu0.4)O・3(Ba
0.75Sr0.15Pb0.1)O・9.8Fe23 この様に一体化
されたインダクタL21、L22、L23、・・・、L
2nは、電子機器のプリント基板上に実装され、プリン
ト基板の配線パターンを介して所定のコンデンサと接続
されてノイズフィルタが形成される。
【0013】図3は本発明のノイズフィルタの第3の実
施例の回路図であり、31は半導体素子を示している。
本実施例のノイズフィルタは、半導体素子の信号端ごと
にインダクタとコンデンサが一体化される。すなわち、
インダクタL31とコンデンサC31が、インダクタL
32とコンデンサC32が、インダクタL33とコンデ
ンサC33が、・・・、インダクタL3nとコンデンサ
C3nがそれぞれ一体化される。インダクタは、例え
ば、以下の組成のフェライト磁性材料が用いられた磁性
体に導体パターンを形成することにより形成される。2
(Co0.6Cu0.4)O・3(Ba0.75Sr0.15
0.1)O・9.8Fe23 コンデンサは、絶縁体層と導体
層を交互に積層して形成される。このインダクタが形成
された磁性体とコンデンサが形成された絶縁体は積層さ
れて一体化される。そして、インダクタの信号線路側に
コンデンサが接続される。この様に一体化されたインダ
クタとコンデンサは、電子機器のプリント基板上にそれ
ぞれ実装され、プリント基板の配線パターンを介して半
導体素子の所定の信号端と信号線路間に接続される。
【0014】図4は本発明のノイズフィルタの第4の実
施例の回路図であり、41は半導体素子を示している。
本実施例のノイズフィルタは、半導体素子の信号端と信
号線路間に挿入されるインダクタL41、L42、L4
3、・・・、L4n及び、それぞれのインダクタに接続
されるコンデンサC41、C42、C43、・・・、C
4nが一体化される。インダクタL41、L42、L4
3、・・・、L4nは、磁性体に複数の導体パターンを
形成して磁性体に複数のインダクタを形成することによ
り一体化される。この磁性体は、例えば、以下の組成の
フェライト磁性材料が用いられる。2(Co0.6
0.4)O・3(Ba0.75Sr0.15Pb0.1)O・9.8F
23 また、コンデンサC41、C42、C43、・・
・、C4nは、絶縁体層と導体層を交互に積層して形成
される。このインダクタL41、L42、L43、・・
・、L4nが形成された磁性体とコンデンサC41、C
42、C43、・・・、C4nが形成された絶縁体は積
層されて一体化される。そして、インダクタL41とコ
ンデンサC41が、インダクタL42とコンデンサC4
2が、インダクタL43とコンデンサC43が、・・
・、インダクタL4nとコンデンサC4nがそれぞれ接
続される。この様に形成されたノイズフィルタは、電子
機器のプリント基板上に実装され、プリント基板の配線
パターンを介して半導体素子の信号端と信号線路間に接
続される。
【0015】図5は本発明のノイズフィルタの第5の実
施例の回路図である。本実施例のノイズフィルタは、イ
ンダクタL51、L52、L53、・・・、L5nと、
それぞれのインダクタに接続されるコンデンサC51、
C52、C53、・・・、C5n及び、インダクタL5
1、L52、L53、・・・、L5nが接続される半導
体素子51が一体に形成される。半導体素子51として
は、ディスクリート部品としてパッケージされる前のベ
アチップが用いられる。インダクタL51、L52、L
53、・・・、L5nは、磁性体に複数の導体パターン
を形成して磁性体に複数のインダクタを形成することに
より一体化される。この磁性体は、例えば、以下の組成
のフェライト磁性材料が用いられる。2(Co0.6Cu
0.4)O・3(Ba0.75Sr0.15Pb0.1)O・9.8Fe2
3 また、コンデンサC51、C52、C53、・・
・、C5nは、絶縁体層と導体層を交互に積層して形成
される。このインダクタL51、L52、L53、・・
・、L5nが一体に形成された磁性体62と、コンデン
サC51、C52、C53、・・・、C5nが一体に形
成された絶縁体63は、図6に示す様に積層されて一体
化される。そして、インダクタL51とコンデンサC5
1が、インダクタL52とコンデンサC52が、インダ
クタL53とコンデンサC53が、・・・、インダクタ
L5nとコンデンサC5nが接続される。絶縁体63に
は、半導体ベアチップ61を収納するための凹み部64
が形成される。この凹み部64に半導体ベアチップ61
が収納、固定され、半導体ベアチップ61の所定の信号
端と所定のインダクタが接続される。なお、半導体ベア
チップ61を収納するための凹み部64は、磁性体に形
成されてもよい。この様に形成されたノイズフィルタ
は、回路を構成する複数のインダクタと複数のコンデン
サが一体化された積層体に、このノイズフィルタが接続
される半導体素子を内蔵しているので、電子機器のプリ
ント基板の配線パターンを介して半導体素子に接続する
必要がない。従って、半導体素子とノイズフィルタを接
続する伝送線路の長さをノイズの1/4波長よりも十分
に短く出来るので、この伝送線路から混入するノイズを
低減することができる。
【0016】
【発明の効果】以上述べた様に本発明のノイズフィルタ
は、半導体素子の信号端と信号線路間にそれぞれ挿入さ
れるインダクタ、インダクタとアース間に接続されるコ
ンデンサを備え、インダクタが、コバルト−バリウム−
ストロンチウム系フェライトのコバルトの一部が銅で置
換された磁性体と磁性体に形成された導体パターンとで
形成されるので、伝送される信号の周波数帯域の100
MHz〜200MHzのインピーダンスを低く、かつ、
数百MHzからインピーダンスが急峻に立ち上がって、
ノイズが存在するGHz帯においてインピーダンスを最
大にすることができる。従って、本発明のノイズフィル
タは、信号を劣化させることなく、ノイズの除去能力を
改善できる。また、本発明のノイズフィルタは、半導体
素子の信号端と信号線路間に挿入される複数のインダク
タ、それぞれのインダクタとアース間に接続される複数
のコンデンサを備え、複数のインダクタが、コバルト−
バリウム−ストロンチウム系フェライトのコバルトの一
部が銅で置換された磁性体と磁性体に形成された導体パ
ターンとで一体に形成され、複数のコンデンサが絶縁体
層と導体層を交互に積層して形成され、インダクタとコ
ンデンサとを積層することにより複数のインダクタと複
数のコンデンサが一体に形成され、磁性体又は絶縁体の
いずれかに形成された凹み部に半導体ベアチップを収納
するので、半導体素子とノイズフィルタを接続する伝送
線路の長さをノイズの1/4波長よりも十分に短くし
て、この伝送線路から混入するノイズを低減できる。従
って、信号を劣化させることなく、ノイズの除去能力を
さらに改善できる。また、半導体ベアチップを内蔵する
ことができるので、半導体素子をディスクリート部品と
してパッケージするための部品の数を減らせると共に、
電子機器における占有面積を低減できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明のノイズフィルタの第1の実施例の回
路図である。
【図2】 本発明のノイズフィルタの第2の実施例の回
路図である。
【図3】 本発明のノイズフィルタの第3の実施例の回
路図である。
【図4】 本発明のノイズフィルタの第4の実施例の回
路図である。
【図5】 本発明のノイズフィルタの第5の実施例の回
路図である。
【図6】 本発明のノイズフィルタの第5の実施例の部
分断面図である。
【図7】 従来のノイズフィルタの回路図である。
【符号の説明】
11 半導体素子 L11、L12、L13、L1n インダクタ C11、C12、C13、C1n コンデンサ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H03H 7/075 H01L 27/04 C Fターム(参考) 5E041 AB12 AB19 5E070 AA05 AB03 BB01 CC01 DA01 5F038 AC05 AC07 AC15 AC19 AZ04 BH03 BH19 DF01 5J024 AA01 BA04 DA29 EA01 EA08

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体素子の信号端と信号線路間にそれ
    ぞれ挿入されるインダクタ、該インダクタとアース間に
    接続されるコンデンサを備え、該インダクタが、コバル
    ト−バリウム−ストロンチウム系フェライトのコバルト
    の一部が銅で置換された磁性体と該磁性体に形成された
    導体パターンとで形成されたことを特徴とするノイズフ
    ィルタ。
  2. 【請求項2】 半導体素子の信号端と信号線路間にそれ
    ぞれ挿入されるインダクタ、該インダクタとアース間に
    接続されるコンデンサを備え、該インダクタが、コバル
    ト−バリウム−ストロンチウム系フェライトのコバルト
    の一部が銅で置換され、バリウム−ストロンチウムの一
    部が鉛で置換された磁性体と該磁性体に形成された導体
    パターンとで形成されたことを特徴とするノイズフィル
    タ。
  3. 【請求項3】 前記コンデンサが絶縁体層と導体層を交
    互に積層して形成され、前記インダクタと該コンデンサ
    とを積層することによりインダクタとコンデンサが一体
    に形成された請求項1又は2に記載のノイズフィルタ。
  4. 【請求項4】 前記半導体素子の信号端と信号線路間に
    挿入される複数のインダクタが一体に形成された請求項
    1又は2に記載のノイズフィルタ。
  5. 【請求項5】 前記半導体素子の信号端と信号線路間に
    挿入される複数のインダクタ及び、それぞれのインダク
    タとアース間に接続された複数のコンデンサが一体に形
    成された請求項1又は2に記載のノイズフィルタ。
  6. 【請求項6】 半導体素子の信号端と信号線路間に挿入
    される複数のインダクタ、それぞれのインダクタとアー
    ス間に接続される複数のコンデンサを備え、該複数のイ
    ンダクタが、コバルト−バリウム−ストロンチウム系フ
    ェライトのコバルトの一部が銅で置換された磁性体と該
    磁性体に形成された導体パターンとで一体に形成され、
    該複数のコンデンサが絶縁体層と導体層を交互に積層し
    て形成され、該インダクタと該コンデンサとを積層する
    ことにより複数のインダクタと複数のコンデンサが一体
    に形成され、該磁性体又は該絶縁体のいずれかに半導体
    ベアチップを収納するための凹み部が形成されたことを
    特徴とするノイズフィルタ。
  7. 【請求項7】 半導体素子の信号端と信号線路間に挿入
    される複数のインダクタ、それぞれのインダクタとアー
    ス間に接続される複数のコンデンサを備え、該複数のイ
    ンダクタが、コバルト−バリウム−ストロンチウム系フ
    ェライトのコバルトの一部が銅で置換され、バリウム−
    ストロンチウムの一部が鉛で置換された磁性体と該磁性
    体に形成された導体パターンとで一体に形成され、該複
    数のコンデンサが絶縁体層と導体層を交互に積層して形
    成され、該インダクタと該コンデンサとを積層すること
    により複数のインダクタと複数のコンデンサが一体に形
    成され、該磁性体又は該絶縁体のいずれかに半導体ベア
    チップを収納するための凹み部が形成されたことを特徴
    とするノイズフィルタ。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7061772B2 (en) 2002-08-05 2006-06-13 Nec Tokin Corporation Electronic circuit with transmission line type noise filter
US7211740B1 (en) 2006-04-28 2007-05-01 Kemet Electronics Corporation Valve metal electromagnetic interference filter

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