JP2001185016A

JP2001185016A - リレーの製造方法及び製造装置

Info

Publication number: JP2001185016A
Application number: JP2000313985A
Authority: JP
Inventors: Kosaku Kitada; 耕作北田; Nobuyuki Asahi; 信行朝日; Tokuo Yoshida; 徳雄吉田
Original assignee: Matsushita Electric Works Ltd
Current assignee: Panasonic Electric Works Co Ltd
Priority date: 1999-10-15
Filing date: 2000-10-13
Publication date: 2001-07-06

Abstract

(57)【要約】【課題】非接触で接点バネ材を塑性加工して曲げ調整
することにより、リレーの電気特性を調整でき、マイク
ロリレーでもこのような調整が可能になるリレーの製造
方法及び製造装置を提供する。【解決手段】リレー１の接点バネ材２にレーザをレー
ザのエネルギー条件を最適化して照射し、接点バネ材２
のレーザ照射位置の表面と裏面とに温度差を生じさせる
と共にこの温度差にて温度の低い側に塑性変形させるこ
とにより接点バネ材２を曲げ調整して電気特性を調整す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、マイクロリレーと
称される小型のメカニカルリレーの製造に用いる製造方
法及び製造装置に関し、詳しくはその製造において電気
特性を調整する調整方法及び調整装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】従来、
リレーの製造にあたって、リレー１の接点バネ材２を曲
げて電気特性を調整する場合、図４１に示すように回転
駆動される捻りピン３を接点バネ材２に嵌合し、捻りピ
ン３で接点バネ材２を捻って所定量曲げることで調整し
ていた。

【０００３】ところで、近年、ますます小型化が進む信
号用リレーは今後マイクロマシンの領域に入り、マイク
ロリレーと言われるようになりつつある。この中でマイ
クロリレーの電気特性を調整するために上記のように接
触式の捻りピン３のような曲げ加工治具を用いて接点バ
ネ材２を塑性変形させている。しかし、接触式の曲げ加
工ではスプリングバックが一様でなく、曲げ加工を繰り
返し最適に調整していたが、これは接点バネ材２の劣化
等を発生させるという危険性を含んでいた。

【０００４】また他の従来例としては特開平８−２２２
１０８号公報に開示されるものがあり、図４２、図４３
に示すように構成されている。図４２（ａ）は初期状態
であり、この状態から図４２（ｂ）に示すように調整爪
４が接点バネ材２に押し付けられて曲げ加工が開始さ
れ、次いで図４２（ｃ）に示すようにレーザ装置５から
レーザが照射されてレーザフォーミングされ、図４２
（ｄ）に示すように曲げ加工が解除される。さらに詳し
くいうと図４３の通りである。つまり、調整をスタート
すると、先ず接点位置が測定され、次いで測定値と目標
値との差が算出され、次いで算出値に基づいて調整爪４
の押し込み量が決定され、次いで調整爪４が押し付けら
れて曲げ加工され、次いで接点バネ材２の屈曲部にレー
ザが照射され、次いで曲げ加工が解除され、次いで接点
位置が測定されて測定値が範囲内では調整が終わり、範
囲内でないと再度補正して曲げ加工が行われる。

【０００５】上記従来例ではレーザの照射で曲げ加工が
できるが、完全な非接触方式でなく、超小型のマイクロ
リレーの調整は困難であるという問題がある。

【０００６】本発明は叙述の点に鑑みてなされたもので
あって、非接触で接点バネ材を塑性加工して曲げ調整す
ることにより、リレーの電気特性を調整でき、マイクロ
リレーでもこのような調整が可能になるリレーの製造方
法及び製造装置を提供することを課題とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明の請求項１のリレーの製造方法は、リレーの接
点バネ材にレーザを照射し、接点バネ材のレーザ照射位
置の表面と裏面とに温度差を生じさせると共に、この温
度差にて温度の低い側を塑性変形させることにより接点
バネ材を曲げ調整して電気特性を調整することを特徴と
する。上記のように接点バネ材を曲げ調整することがで
きることにより完全な非接触で調整できてマイクロリレ
ーと称される微小部品でも調整が可能になる。

【０００８】また本発明の請求項２のリレーの製造方法
は、リレーの接点バネ材にレーザを照射し、レーザの熱
影響により接点バネ材のレーザ照射位置を温度軟化させ
ると共に、非接触で接点バネ材に外力を作用させて接点
バネ材を曲げ調整して電気特性を調整することを特徴と
する。上記のように接点バネ材を曲げ調整することがで
きることによっても完全な非接触で調整できてマイクロ
リレーと称される微小部品でも調整が可能になる。

【０００９】また本発明の請求項３のリレーの製造方法
は、請求項２において、接点バネ材のレーザ照射位置を
温度軟化させると共に、接点バネ材のレーザ照射位置よ
り自由端側の自重による外力にて接点バネ材を曲げ調整
することを特徴とする。このようにすることで特別に外
力を加える手段を設けたりしなくても非接触での曲げ調
整が可能になる。

【００１０】また本発明の請求項４のリレーの製造方法
は、請求項２において、接点バネ材のレーザ照射位置を
温度軟化させると共に、電磁石や永久磁石の磁力により
接点バネ材の自由端を引っ張って接点バネ材を曲げ調整
することを特徴とする。このようにすることで磁力によ
り容易に曲げ調整量を制御できる。

【００１１】また本発明の請求項５のリレーの製造方法
は、請求項２において、接点バネ材にレーザを照射し、
材質の温度軟化を発生させると共に、エアーにより接点
バネ材を曲げ調整して電気特性を調整することを特徴と
する。このようにすることでエアーにより容易に曲げ調
整量を制御できる。

【００１２】また本発明の請求項６のリレーの製造方法
は、請求項１において、リレーの特性値を初期計測し、
その計測値を基にフォーミング調整量を設定する工程
と、設定されたフォーミング調整量に基づきレーザを照
射して接点バネ材の曲げ調整をするフォーミング調整工
程と、フォーミング調整工程で接点バネ材の曲げ調整し
た後に検査計測を行い、その結果再度調整が必要な場
合、上記検査結果をもとにフォーミング調整工程での補
正のフォーミング調整量の設定をする工程とを有するこ
とを特徴とする。このようにすることで、接点バネ材を
適切に曲げ調整して電気特性を調整できる。

【００１３】また本発明の請求項７のリレーの製造方法
は、請求項６のフォーミング調整量を設定する工程にお
いて、１回目のフォーミング調整する前にリレーの電気
特性を計測し、その計測値を基にレーザ照射の照射量を
設定することを特徴とする。１回の調整で電気特性が規
格内に入る割合が高くなる。

【００１４】また本発明の請求項８のリレーの製造方法
は、請求項１または請求項６において、接点バネ材ヘレ
ーザを照射する方向を接点バネ材の表面側または裏面側
と変えることで接点バネ材の曲げ方向を自在に調整する
ことを特徴とする。曲げ方向により特性の変わる方向が
異なるが、上記のようにレーザの照射する方向を変える
ことにより、特性を大きくする曲げ方向（逆方向）と特
性を小さくする曲げ方向（順方向）が選択できるために
自在な調整が可能になる。

【００１５】また本発明の請求項９のリレーの製造方法
は、請求項１または請求項６において、レーザスキャナ
を用いて接点バネ材の幅方向に線状にレーザを走査させ
ることを特徴とする。接点バネ材の幅方向に亙ってレー
ザ光を均等に当てることができ、効果的に温度差による
温度勾配を作ることができると共に調整精度を十分に確
保できる。

【００１６】また本発明の請求項１０のリレーの製造方
法は、請求項１または請求項６において、光学系を利用
してレーザ光を引き伸ばすことにより接点バネ材の幅方
向に線状にレーザ光を照射することを特徴とする。接点
バネ材の幅方向に亙ってレーザ光を同時に均等に当てる
ことができ、効果的に温度差による温度勾配を作ること
ができる。

【００１７】また本発明の請求項１１のリレーの製造方
法は、請求項１または請求項６において、レーザ光を短
パルスで照射することにより表面と裏面に温度差を作る
ことを特徴とする。このようにすることで表面と裏面と
の温度差による温度勾配を簡単に作れる。

【００１８】また本発明の請求項１２のリレーの製造方
法は、請求項１または請求項６において、レーザ照射面
の反対側を冷却して温度低下させることにより表面側と
裏面側との間に温度差を作ることを特徴とする。このよ
うにすることで表面と裏面の温度差による温度勾配を作
りやすくなる。

【００１９】また本発明の請求項１３のリレーの製造方
法は、請求項１２において、レーザ照射面の反対側にエ
アーを吹き付けることで冷却することを特徴とする。非
接触で強制的に冷却でき、表面と裏面の温度差による温
度勾配を作りやすくなる。

【００２０】また本発明の請求項１４のリレーの製造方
法は、請求項１または請求項６において、接点バネ材へ
のレーザの照射位置を長手方向に変えることにより曲げ
量を制御して特性を目標値に調整することを特徴とす
る。このようにすることで曲げ量を簡単に自在にコント
ロールできる特性調整が可能になる。

【００２１】また本発明の請求項１５のリレーの製造方
法は、請求項１または請求項６において、接点バネ材の
長手方向の複数部位にレーザを照射することにより曲げ
量を制御して特性を目標値に調整することを特徴とす
る。このようにすることで曲げ加工の自由度が高くなる
と共に高精度の曲げ加工が可能になる。

【００２２】また本発明の請求項１６のリレーの製造方
法は、請求項６の補正のフォーミング調整量の設定をす
る工程において、１回目の電気特性の調整後、再度調整
が必要な場合、１回目のレーザの照射の制御量に補正を
加え、且つレーザの照射方向も含めて補正することによ
り２回目の調整を行うことを特徴とする。このように１
回目の調整結果を基に再調整を行うので、調整率が向上
する。

【００２３】また本発明の請求項１７のリレーの製造方
法は、請求項１６において、接点バネ材へレーザを照射
する走査速度と電気特性の関係から補正の制御テーブル
を作成し、この補正の制御テーブルに基づいて曲げ量を
制御することにより特性を目標値に調整することを特徴
とする。このようにすることで、レーザの走査速度を変
えるだけで自由度の高い特性調整が可能となる。

【００２４】また本発明の請求項１８のリレーの製造方
法は、請求項１６において、接点バネ材へレーザを照射
するレーザの発振周波数と電気特性の関係から補正の制
御テーブルを作成し、この補正の制御テーブルに基づい
て曲げ量を調整することにより特性を目標値に調整する
ことを特徴とする。調整量の補正をレーザ周波数により
行うことにより、曲げ角度を自在にコントロールできる
特性調整が可能になる。

【００２５】また本発明の請求項１９のリレーの製造方
法は、請求項１６において、接点バネ材へ照射するレー
ザのデフォーカスの距離と電気特性の関係から補正の制
御テーブルを作成し、この補正の制御テーブルに基づい
て曲げ量を制御することにより特性を目標値に調整する
ことを特徴とする。調整量の補正をデフォーカスにより
行うことにより、曲げ角度を自在にコントロールできる
特性調整が可能になる。

【００２６】また本発明の請求項２０のリレーの製造方
法は、請求項１６において、接点バネ材へ照射するレー
ザのレーザビームパワーと電気特性の関係から補正の制
御テーブルを作成し、この補正の制御テーブルに基づい
て曲げ量を制御することにより特性を目標値に調整する
ことを特徴とする。調整量の補正をレーザ出力により行
うことにより、曲げ角度を自在にコントロールできる特
性調整が可能になる。

【００２７】また本発明の請求項２１のリレーの製造方
法は、接点バネ材へ照射するレーザの照射位置を接点バ
ネ材の長手方向に変えたときの曲げ量と電気特性の関係
から補正の制御テーブルを作成し、この補正の制御テー
ブルに基づいて曲げ量を制御することにより特性を目標
値に調整することを特徴とする。調整量の補正をレーザ
の照射位置を変えることで行うことにより曲げ量を自在
にコンロールできる特性調整が容易にできる。また定量
的な曲げ加工制御がレーザの照射位置を変えるだけで簡
単にできる。

【００２８】また本発明の請求項２２のリレーの製造方
法は、請求項１において、ベリリウム銅、リン青銅等の
銅合金で板厚が０．０２〜０．３０ｍｍの接点バネ材に
レーザを一点照射して曲げ加工するに当たって、レーザ
としてＱスイッチＹＡＧレーザを使用し、レーザ光のパ
ルス幅が１０ｎｓ〜２００ｎｓで且つレーザの照射エネ
ルギー密度を３．０×１０⁹〜３．０×１０¹⁰Ｗ／ｍ²と
することを特徴とする。このようにすることより、表面
溶融を抑制し、銅合金の機械的特性を劣化させることな
く、精密曲げ制御が可能になる。なお、接点バネ材の厚
さは０．０２〜．３０ｍｍであるが、好ましくは０．０
５〜０．１０ｍｍである。レーザの照射エネルギー密度
は３．０×１０⁹〜３．０×１０¹⁰Ｗ／ｍ²であるが、好
ましくは６．０×１０⁹〜１．３×１０¹⁰Ｗ／ｍ²であ
る。

【００２９】また本発明の請求項２３のリレーの製造方
法は、請求項１または請求項９または請求項１０におい
て、接点バネ材にレーザ照射を複数回行って曲げ調整す
る際、毎回微小量だけレーザの照射位置を接点バネ材の
長手方向に移動させることを特徴とする。同じ位置に複
数回レーザを照射すると、照射角度に応じて曲げ角度が
直線的に変化しなくなって適正な調整がし難くなるが、
上記のようにレーザの照射位置を変えると上記弊害が回
避できて適正な調整ができる。

【００３０】また本発明の請求項２４のリレーの製造方
法は、請求項１において、接点バネ材にレーザを照射し
て曲げ調整しているとき、変位センサーで接点バネ材の
変位を計測し、この計測値に基づいてレーザの照射条件
を制御することを特徴とする。このようにすると、高精
度の曲げ量の調整が可能になり、またリアルタイムに高
い精度の曲げ加工ができる。

【００３１】また本発明の請求項２５のリレーの製造方
法は、請求項１おいて、接点バネ材にレーザを照射して
曲げ調整しているとき、温度センサーにて接点バネ材の
表面温度を計測し、この計測値に基づいてレーザの照射
条件を制御することを特徴とする。接点バネ材の表面温
度を計測することにより、表面の熱影響や溶融を制御で
きて適正な曲げ調整ができる。

【００３２】また本発明の請求項２６のリレーの製造装
置は、リレーの初期特性値を計測する初期計測装置と、
接点バネ材にレーザを照射して接点バネ材のレーザ照射
位置の表面と裏面に温度差を生じさせると共にこの温度
差にて温度の低い側を塑性変形させることにより接点バ
ネ材を曲げるフォーミング調整をするフォーミング調整
装置と、フォーミング調整したリレーの検査計測をする
検査計測装置とを備え、初期計測装置や検査計測装置で
計測した計測値を基にフォーミング調整装置でのフォー
ミング調整量の設定をする制御手段を有したことを特徴
とする。初期計測装置にてリレーの初期特性値を計測
し、この初期特性値に応じてフォーミング調整装置にて
レーザを照射して曲げ調整し、その後検査計測装置で検
査し、その結果再度調整が必要な場合にはその検査結果
に応じてフォーミング調整装置にてレーザを照射して再
度曲げ調整することができるものであって、請求項１の
リレーのリレーの製造方法の接点バネ材の調整が容易且
つ精度よく実現できる。

【００３３】また本発明の請求項２７のリレーの製造装
置は、リレーの初期特性値を計測する初期計測装置と、
接点バネ材にレーザを照射してレーザの熱影響により接
点バネ材のレーザ照射位置を温度軟化させると共に非接
触で接点バネ材に外力を作用させて接点バネ材を曲げる
フォーミング調整をするフォーミング調整装置と、フォ
ーミング調整したリレーの検査計測をする検査計測装置
とを備え、初期計測装置や検査計測装置で計測した計測
値を基にフォーミング調整装置でのフォーミング調整量
の設定をする制御手段を有したことを特徴とする。初期
計測装置にてリレーの初期特性値を計測し、この初期特
性値に応じてフォーミング調整装置にてレーザを照射し
て曲げ調整し、その後検査計測装置で検査し、その結果
再度調整が必要な場合にはその検査結果に応じてフォー
ミング調整装置にてレーザを照射して再度曲げ調整する
ことができるものであって、請求項２のリレーの製造方
法の接点バネ材の調整が容易且つ精度よく実現できる。

【００３４】

【発明の実施の形態】先ず、図１乃至図４に示す実施の
形態の例から述べる。図１（ａ）に示すようにマイクロ
リレーと称される小型のリレー１の接点バネ材２にレー
ザをレーザのエネルギー条件を最適化して照射し、接点
バネ材２を図１（ｂ）のように曲げ調整して電気特性を
調整している。上記リレー１は本例の場合例えば、バラ
ンスアマチュアリレーと称されるものであり、アマチュ
アブロックがシーソー運動することにより接点交換する
ものあり、図１（ａ）で７はリレーのアマチュアであ
り、このアマチュア７に接点バネ材２を設けてある。ま
た８はレーザビームであり、レーザ装置から図１（ａ）
のように照射されるようになっている。図１（ｂ）でａ
は接点バネ材２が曲がった距離であり、この距離により
電気特性が変わるようになっている。

【００３５】図２の例ではリレーの接点バネ材２にレー
ザをレーザのエネルギー条件を最適化して照射し、レー
ザの熱影響により接点バネ材２が温度軟化することによ
り接点バネ材２を曲げ調整して電気特性を調整してい
る。図２（ａ）はレーザ照射前であり、図２（ｂ）はレ
ーザ照射中であり、図２（ｃ）はレーザ照射後である。
接点バネ材２にこの材料が温度軟化する程度のレーザを
照射して温度軟化部９を形成し、図２（ｃ）の矢印ｂの
方向にかかる自重にて接点バネ材２が曲げ調整される。

【００３６】図３の例ではリレーの接点バネ材２にレー
ザをレーザのエネルギー条件を最適化して照射し、接点
バネ材２の表面と裏面の温度差による温度勾配により接
点バネ材２に塑性変形が起こることを利用することで接
点バネ材２を曲げ調整して電気特性を調整している。図
３（ａ）はレーザ照射前であり、図３（ｂ）はレーザ照
射中であり、図３（ｃ）はレーザ照射後である。図３
（ｂ）のようにレーザを照射すると、図３（ｂ）の符号
ｃに示す部分の表面（レーザ当てる側）と裏面との間の
温度差よる温度勾配が生じ、この温度勾配による塑性変
形がおこることで接点バネ材２を曲げ調整している。つ
まり、レーザ照射中は温度の高い表面側は熱膨張に伴う
引っ張り力が作用しており、図３（ｂ）のように表面側
が伸びるように曲がっている。このとき温度の低い裏面
側では上記表面側の引っ張り力で裏面側も伸びるように
塑性変形している。そしてレーザ照射後に温度低下する
と表面側が温度低下にて収縮して元の状態に戻るが、裏
面側は上記の塑性変形した変形量が残存しており、結果
として図３（ｃ）のように裏面側が伸びた曲げ状態にな
る。

【００３７】なお、レーザエネルギー条件としての例え
ばパワー出力とレーザが当てられる接点バネ材２の材料
の状態の関係を示すと図４の通りとなる。図４で左はレ
ーザのパワー出力が小さく、右はレーザのパワー出力が
大きく、温度軟化で曲げるときと、温度勾配で曲げとき
とでそれに応じたレーザの最適のエネルギー条件を選択
する。

【００３８】上記のように接点バネ材２をレーザの照射
にて曲げ調整することができることにより完全な非接触
で調整できてマイクロリレーと称される微小部品でも調
整が可能になる。

【００３９】次に図５に示す実施の形態の例について述
べる。これは接点バネ材２にレーザを照射し、接点バネ
材２の表面と裏面とに温度差を余り発生させず、レーザ
照射位置の温度軟化の影響を利用して、レーザ照射位置
より自由端側の自重による外力の影響で接点バネ材２を
曲げ調整して電気特性を調整している。図５（ａ）は接
点バネ材２の初期状態であり、この状態から図５（ｂ）
のように接点バネ材２にレーザを照射する（８はレーザ
ビームを示す）。図５（ｃ）はレーザ照射中であり、一
定時間レーザを照射することで接点バネ材２に温度軟化
が発生し（９は温度軟化部を示す）、矢印ｂのような自
重で曲がる。図５（ｄ）はレーザ照射終了状態であり、
接点バネ材２が曲げ加工された状態である。

【００４０】上記のようにレーザを照射することによ
り、接点バネ材２のレーザ照射領域の温度が上昇し、接
点バネ材２（金属）の降伏強度が低下する。レーザ照射
領域の降伏強度が低下することにより、図５（ｃ）のよ
うに自重（重力等）の外力に支配されて変形することを
利用して接点バネ材２を曲げ加工し、電気特性を調整す
るようになっている。このようにすることでレーザエネ
ルギーの条件の最適化が容易であり、しかも非接触での
曲げ調整が可能になる。

【００４１】次に図６の実施の形態の例について述べ
る。これは接点バネ材２にレーザを照射し、レーザ照射
位置に温度軟化を発生させると共に、電磁石１０や永久
磁石の磁力により接点バネ材２のレーザ照射位置より自
由端側を引っ張って接点バネ材２を曲げ調整して電気特
性を調整している。図６（ａ）は初期状態であり、この
状態から図６（ｂ）に示すようにレーザを照射する（８
はレーザビームを示す）と共にレーザを照射する方と反
対側に配置した電磁石１０をオンする。図６（ｃ）は電
磁石１０をオンした状態でレーザ照射中の状態であり、
一定時間レーザを照射することにより接点バネ材２が温
度軟化し、磁力により曲がる。図６（ｄ）は電磁石１０
をオフしてレーザ照射を終了した状態であり、上記の電
磁石１０がオンした時間に応じて接点バネ材２が曲がっ
ている。

【００４２】上記のようにレーザを照射し、温度軟化し
たとき、外力の影響が支配的になる。このとき、電磁石
１０を利用し、磁力が接点バネ材２の曲げ加工をアシス
トする。このように磁力による非接触で曲げ加工するこ
とにより、電気特性の調整が可能になる。このようにす
ることで磁力により容易に曲げ調整量を制御できる。

【００４３】次に図７の実施の形態の例について述べ
る。これは接点バネ材２にレーザを照射し、レーザ照射
位置に温度軟化を発生させると共に、接点バネ材２のレ
ーザ照射位置より自由端側にエアーを吹き付けてエアー
により接点バネ材２を曲げ調整して電気特性を調整して
いる。図７（ａ）は初期状態であり、この状態から図７
（ｂ）に示すようにレーザを照射する（８はレーザビー
ムを示す）と共にレーザを照射する方向と同じ方向に配
置したエアー噴射ノズル１１からレーザの照射方向と平
行にエアーを噴射する。図７（ｃ）はエアーを噴射した
状態でレーザ照射中の状態であり、一定時間エアーを噴
射すると共にレーザを照射することにより接点バネ材２
が温度軟化し（９は温度軟化部示す）、エアーの力によ
り曲がる。図７（ｄ）はエアーの噴射及びレーザの照射
が終了した状態であり、エアーを噴射した時間に応じて
接点バネ材２が曲がる。

【００４４】上記のようにレーザを照射し、温度軟化し
たとき、外力の影響が支配的になる。このときエアーを
利用し、エアーが接点バネ材２の曲げ加工をアシストす
る。エアーの力により非接触で曲げ加工することによ
り、電気特性の調整が可能になる。このようにすること
でエアーにより容易に曲げ調整量を制御できる。

【００４５】次に図８に示す他の例について述べる。リ
レー１の接点バネ材２に熱風を噴射し、接点バネ材２の
レーザ照射位置に温度軟化を発生させると共に、熱風の
圧力にて接点バネ材２を曲げ調整して電気特性を調整し
ている。図８（ａ）は初期状態であり、この状態から図
８（ｂ）に示すように熱風噴射ノズル１２にて熱風を照
射する。図８（ｃ）は熱風噴射中の状態であり、一定時
間熱風を噴射して接点バネ材２に当てることにより、接
点バネ材２は熱風により温度上昇し、温度度軟化し（９
は温度軟化部示す）、熱風の力により曲がる。図８
（ｄ）は熱風の噴射を終了した状態であり、熱風を噴射
して当てた時間に応じて接点バネ材２が曲がる。

【００４６】上記のように熱風を照射し、温度軟化した
とき、外力の影響が支配的になる。このとき熱風の風圧
により、接点バネ材２の曲げ加工をアシストする。熱風
の力により非接触で曲げ加工することにより、電気特性
の調整が可能となる。このように熱風の吹き付けにて接
点バネ材２を容易に曲げることができ、上記のようなレ
ーザ装置が不要になると共にレーザ装置がなくても非接
触で曲げ調整が可能になる。

【００４７】次に図９に示す実施の形態の例について述
べる。リレー１の特性値を初期計測し、その計測値を基
にフォーミング調整量を設定する工程と、設定されたフ
ォーミング調整量に基づきレーザを照射して接点バネ材
の曲げ調整をするフォーミング調整工程と、フォーミン
グ調整工程で接点バネ材２の曲げ調整した後に検査計測
を行い、その結果再度調整が必要な場合、上記検査結果
をもとにフォーミング調整工程での補正のフォーミング
調整量の設定をする工程とを有することを特徴とする。

【００４８】特性初期計測工程でリレー１の特性値を初
期計測し、次いでフォーミング調整量の設定工程で初期
計測した計測値を基にフォーミング調整工程のフォーミ
ング調整量の設定をし、次いでフォーミング調整工程で
レーザを接点バネ材２に照射して接点バネ材２を曲げ制
御量だけフォーミング調整する。このときフォーミング
調整量の設定した分だけレーザを照射してフォーミング
する。次いで特性検査計測工程でフォーミング調整した
リレー１の電気特性を計測し、検査不良が無しなら調整
良品とし、検査不良が有りならフォーミング調整補正量
の設定工程で検査計測した計測値を基にフォーミング調
整工程のフォーミング補正調整量の設定を行い、再びフ
ォーミング調整工程でフォーミング調整して上記と同様
の工程を繰り返す。検査不良の場合、上記のように調整
を繰り返すが、調整回数をカウントし、調整回数が所定
の回数よりオーバーなら調整不良品として取り出し、調
整回数が所定回数よりアンダーなら再度調整する。この
ようにすることで、接点バネ材２を適切に曲げ調整して
電気特性を調整できる。

【００４９】次に図１０に示す実施の形態の例について
述べる。図９の実施の形態の例の調整方法で、フォーミ
ングの調整量の設定をする工程において、1回目の電気
特性の調整を行う前に電気特性を計測し、その計測値を
基にレーザ照射の制御量にの設定をするようになってい
る。

【００５０】まず、特性初期計測工程でリレー１の特性
値を初期計測する。そのときの計測データである感動電
圧が例えば６８％Ｖとする。そして予め格納されている
設定テーブルを用いて、特性計測値に対応する調整量を
算出し、フォーミング調整量の設定をする。感動電圧が
６８％Ｖならレーザの出力を１８０Ｗと算出し、レーザ
照射量が１８０Ｗの設定をする。このようにレーザ照射
量の制御量の設定をすることで、１回の調整で電気特性
が規格内に入る割合が高くなる。

【００５１】次に図１１に示す実施の形態の例について
述べる。図１０の実施の形態の方法でフォーミング調整
量の設定をした設定値を基にレーザを照射し、曲げ加工
を行うようになっている。

【００５２】まず、特性初期計測工程でリレー１の特性
値を初期計測する。そのときの計測データである感動電
圧が例えば６８％Ｖとする。そして予め格納されている
設定テーブルを用いて、特性計測値に対応する調整量を
算出し、フォーミング調整量の設定する。感動電圧が６
８％Ｖならレーザの出力を１８０Ｗと算出し、レーザ照
射量が１８０Ｗの設定をする。そしてフォーミング調整
工程で上記調整量でフォーミング調整を行う。

【００５３】次に図１２、図１３の実施の形態の例につ
いて述べる。上記のようにレーザを照射してフォーミン
グ調整する際、接点バネ材２へのレーザの照射する方向
を表面側や裏面側と変えることにより、曲げ方向を自在
に調整するようになっている。

【００５４】図１２はレーザを順方向に照射するもので
あり、レーザ装置５から照射されたレーザビーム８を１
つのミラー１３にて反射してレーザビーム８を順方向に
照射しており、接点バネ材２の曲がり方向が＋方向に曲
がって行くようになっている。図１３はレーザを逆方向
に照射するもであり、レーザビーム８を３つのミラー１
３にて反射してレーザビーム８を逆方向に照射してお
り、接点バネ材２の曲がり方向が−方向に曲がって行く
ようになっている。曲げ方向により特性の変わる方向が
異なるが、上記のようにレーザの照射する方向を変える
ことにより、特性を大きくする曲げ方向（逆方向）と特
性を小さくする曲げ方向（順方向）が選択できるために
自在な調整が可能になる。

【００５５】次に図１４及び図１５に示す実施の形態の
例について述べる。上記のようにレーザを照射してフォ
ーミング調整する際、レーザスキャナを用いて接点バネ
材２に幅方向に線状にレーザ光を走査させるようになっ
ている。

【００５６】図１４に示すように移動ステージ１４の上
に接点バネ材２を載せ、レーザを照射しながらレーザビ
ーム８を固定した状態で、移動ステージ１４を移動さ
せ、接点バネ材２に線状のレーザを走査させるようにな
っている。このようにすることで図１５（ａ）の矢印ｄ
に示すように接点バネ材２の幅方向にレーザ光が走査さ
れる。図１４の例の場合、接点バネ材２を移動ステージ
１４に載せて移動させたが、逆に接点バネ材２の方を固
定してレーザビーム８の方を移動してもよい。また上記
のように接点バネ材２に線状にレーザ光を走査させる
際、移動ステージ１４の移動速度を調整して、ビームの
発振周波数と同期をとり、ビームがオーバーラップして
照射されたり、ビームがオーバーラップなしで照射され
たりするように工夫をする。図１５（ｂ）（ｃ）で１５
はビームの照射痕であり、図１５（ｂ）はビームにオー
バーラップありの場合で、図１５（ｃ）はビームにオー
バーラップなしの場合である。例えば、実験の結果、オ
ーバーラップなしの方が調整精度がよい。上記のように
接点バネ材２に線状にレーザ光を走査させて当てること
により、接点バネ材２の幅方向に亙ってレーザ光を均等
に当てることができ、効果的に温度勾配をつくることが
できると共に調整精度を十分に確保できる。

【００５７】次に図１６、図１７に示す実施の形態の例
について述べる。上記のようにレーザを照射してフォー
ミング調整する際、光学系を利用してレーザ光を引き伸
ばすことにより接点バネ材２の幅方向に線状にレーザ光
を照射するようになっている。

【００５８】上記のようにレーザ光を線状に当てる際レ
ーザビーム８が当たらなくなったとき短時間で温度が下
がるため、照射領域に同時に照射する方法を工夫して線
状に照射するようになっている。例えば、図１６に示す
ようにシリンドリカルレンズ１６を用いてレーザビーム
８を線状に広げて線状に加熱するようになっている。つ
まり、上記のように接点バネ材２を移動させたり、レー
ザビーム８を移動させたりして走査すると、図１７
（ａ）に示すように照射点ＡとＢとに時間差がある。照
射後ＡとＢとで温度差が僅かながら発生する可能性があ
る。しかし、上記のように光学系を用いて線状にレーザ
ビーム８を当てると図１７（ｂ）に示すように照射点Ａ
とＢとに同時に照射され、温度差がない。上記のように
レーザ照射を同時に照射することで、接点バネ材２の幅
方向に亙ってレーザ光を同時に均等に当てることがで
き、効果的に温度勾配を作ることができる。

【００５９】次に図１８に示す実施の形態の例について
述べる。上記のようにレーザを照射してフォーミング調
整する際、レーザ光を短パルスで照射することにより、
表面と裏面の温度差を作るようにしている。

【００６０】レーザのエネルギー条件には最大出力、発
振周波数、波長、パルス幅などがあるが、その中でパル
ス幅の条件を優先し、レーザ装置５から照射されるレー
ザビーム８のパルス幅を小さくすることで、接点バネ材
２の表面１７の温度と裏面１８の温度差（温度勾配）を
作りやすくしている。このようにすることで接点バネ材
２の表面１７と裏面１８との温度勾配を簡単に作れる。

【００６１】次に図１９の実施の形態の例について述べ
る。上記のようにレーザを照射してフォーミング調整す
る際、レーザを照射する面の反対側を冷却して温度低下
させることにより表面側と裏面側との間に温度差を作る
ようになっている。本例の場合、具体的にはエアーを接
点バネ材２に噴射することでレーザ照射面の反対側の温
度を低下させて表面側と裏面側の温度差を作るようにな
っている。

【００６２】レーザのエネルギー条件を最適化する以外
に、簡単に温度勾配を作る方法として、レーザ照射面の
反対側に矢印ｅのようにレーザ照射面と反対側にエアー
を照射し、温度差を作る。このようにエアーを噴射する
ことで表面と裏面の温度勾配を作りやすくなる。

【００６３】次に図２０に示す他の例について述べる。
上記のようにレーザを照射してフォーミング調整する
際、冷やし金２６を用いてレーザ照射面と反対側の温度
を低下させて表面側と裏面側との間の温度差を作るよう
にしている。

【００６４】レーザのエネルギー条件を最適化する以外
に、簡単に温度勾配を作る方法として、レーザ照射面の
反対側に冷やし金２６を当てて、温度差を作るようにな
っている。このようにすることで接点バネ材２の表面と
裏面の温度勾配を大きくすることができる。

【００６５】次に図２１、図２２に示す実施の形態の例
について述べる。上記のようにレーザを照射してフォー
ミング調整する際、接点バネ材２へのレーザの照射位置
を接点バネ材２の長手方向に変えることにより曲げ量を
制御して特性を目標値に調整する。

【００６６】１回目の計測データから、調整量を設定す
る方法としてレーザ条件を基に設定する方法でなく、レ
ーザ照射位置を基準位置から変えることにより、曲げ角
度は同じであるが、電気特性に与える距離ＯＴ（オーバ
ートラベル）変わるようにしている。図２１の矢印ｆに
示す方向にレーザの照射位置を変えるが、レーザ照射条
件は同じなので曲げ角度が同じであるが、曲げ量が変わ
る。図２２に示すように基準位置からｄ０離れた位置に
レーザを照射した照射位置１の状態と基準位置からｄ１
離れた位置にレーザを照射した照射位置２とでは曲げ角
度は同じであるが、曲げ量としてのＯＴ量はＯＴ０，Ｏ
Ｔ１と変わる。このようにすることで曲げ量を簡単に自
在にコントロールできる特性調整が可能になる。

【００６７】次に図２３、図２４に示す実施の形態の例
について述べる。上記のようにレーザを照射してフォー
ミング調整する際、接点バネ材２の長手方向の複数の部
位にレーザを照射することにより曲げ量を制御して特性
を狙いの値に調整するようにようになっている。

【００６８】接点バネ材２にレーザを照射するとき図２
３に示すようにレーザの照射位置を照射１と照射２とい
うように２箇所に分けて照射している。そして照射１に
よる曲げ角度が図２４（ａ）のようにαとし、照射２に
よる曲げ角度が図２４（ｂ）のようにβとすると、照射
１と照射２との合成角度がγとなり。このγの大きさに
よりＯＴ量が変わり、電気特性に影響を与える。このよ
うにすることで曲げ加工の自由度が高くなると共に高精
度の曲げ加工が可能になる。

【００６９】次に図２５に示す実施の形態の例について
述べる。図９の実施の形態の例の調整方法で、フォーミ
ング調整の補正量の設定をする工程において、１回目の
電気特性の調整後、再度調整が必要な場合、１回目のレ
ーザ照射の制御量に補正を加え、且つ照射方向を含めて
補正することにより、２回目の調整を行うようにように
なっている。

【００７０】つまり、［ステップ１］として１回目の調
整量が例えば１２０Ｗの場合、１２０Ｗで調整するが、
［ステップ２］として検査結果の感動電圧が例えば＋２
％Ｖでオーバー（再調整）の場合、［ステップ３］とし
て補正の制御テーブルを用いて調整量に補正を加える。
このときの補正量が例えば４Ｗのとき、２回目の調整量
＝１２０Ｗ＋４Ｗ＝１２４Ｗとしてフォーミング調整補
正量の設定工程で補正の設定を行い、［ステップ４］と
して１２４Ｗで２回目の調整を行う。３回目、４回目の
調整を行うときも同様に行う。このように１回目の調整
結果を基に再調整を行うので、調整率が向上する。

【００７１】次に図２６に示す実施の形態の例について
述べる。フォーミング調整補正量の設定にあたって、接
点バネ材２へレーザを照射する走査速度と電気特性の関
係から補正の制御テーブルを作成し、この制御テーブル
に基づいて曲げ量を制御することにより特性を目標値に
調整するようになっている。

【００７２】図２６（ａ）に示すように移動ステージ１
４の上に接点バネ材２を載せ、レーザを照射しながらレ
ーザビーム８を固定した状態で、移動ステージ１４を移
動させ、接点バネ材２に線状にレーザを走査させるよう
になっている。このようにすることで図２６（ｂ）の矢
印ｄに示すように接点バネ材２の幅方向にレーザ光が走
査される。本例の場合、走査速度を変えることでフォー
ミング調整の補正量の設定を行って接点バネ材２のフォ
ーミング調整を行うようになっている。しかしてフォー
ミング調整補正量の設定をする場合次のように行われ
る。［ステップ１］として１回目の調整量が例えば１２
０ｍｍ／ｓの場合、１２０ｍｍ／ｓで走査して調整する
が、［ステップ２］として検査結果の感動電圧が例えば
−２％Ｖでアンダー（再調整）の場合、［ステップ３］
として図２６（ｃ）のような走査速度の補正の制御テー
ブルを用いて調整量に補正を加える。このときの補正の
制御テーブルより、−２％Ｖが５０ｍｍ／ｓのとき、２
回目の調整量＝１２０ｍｍ／ｓ＋５０ｍｍ／ｓ＝１７０
ｍｍ／ｓとしてフォーミング調整補正量の設定工程で補
正量の設定を行い、［ステップ４］として１７０ｍｍ／
ｓで走査して２回目の調整を行う。３回目、４回目の調
整を行うときも同様に行う。このようにすることで、レ
ーザの走査速度を変えるだけで自由度の高い特性調整が
可能となる。

【００７３】次に図２７の実施の形態の例について述べ
る。フォーミング調整補正量の設定にあたって、接点バ
ネ材２へレーザを照射するレーザの発振周波数と電気特
性の関係から補正の制御テーブルを作成し、この制御テ
ーブルに基づいて曲げ量を制御するようになっている。

【００７４】本例の場合、図２７（ａ）のようなレーザ
の発振周波数を変えることでフォーミング調整の補正量
の設定を行って接点バネ材２のフォーミング調整を行う
ようになっている。しかしてフォーミング調整補正量の
設定をする場合次のように行われる。［ステップ１］と
して１回目の調整量が例えば１２０Ｈｚの場合、１２０
Ｈｚで発振して調整するが、［ステップ２］として検査
結果の感動電圧が例えば−２％Ｖでアンダー（再調整）
の場合、［ステップ３］として図２７（ｂ）のような発
振周波数の補正の制御テーブルを用いて調整量に補正を
加える。このときの制御テーブルより、−２％Ｖが２Ｈ
ｚのとき、２回目の調整量＝１２０Ｈｚ＋２Ｈｚ＝１２
２Ｈｚとしてフォーミング調整補正量の設定工程で補正
量の設定を行い、［ステップ４］として１２２Ｈｚの発
振周波数でレーザを照射して２回目の補正を行う。３回
目、４回目の調整を行うときも同様に行う。調整量の補
正をレーザ周波数により行うことにより、曲げ角度を自
在にコントロールできる特性調整が可能になる。

【００７５】次に図２８の実施の形態の例について述べ
る。フォーミング調整補正量の設定にあたって、接点バ
ネ材２へレーザを照射するレーザのデフォーカスの距離
ｇと電気特性の関係から補正の制御テーブルを生成し、
この制御テーブルに基づいて曲げ量を制御することによ
り特性を目標値に調整するようになっている。

【００７６】本例の場合、図２８（ａ）（ｂ）に示すよ
うに焦点２１の位置を接点バネ材２に対してずらせるこ
とにより、デフォーカスの距離ｇを変えてフォーミング
調整補正量の設定を行って接点バネ材２のフォーミング
調整を行うようになっている。しかしてフォーミング調
整補正量の設定をする場合次のように行われる。［ステ
ップ１］として１回目の調整量が例えば２０ｍｍのデフ
ォーカスの場合、２０ｍｍのデフォーカスで調整する
が、［ステップ２］として検査結果の感動電圧が例えば
−２％Ｖでアンダー（再調整）の場合、［ステップ３］
として図２９（ｃ）のようなデフォーカスの補正の制御
テーブルを用いて調整量に補正を加える。このときの補
正の制御テーブルより、−２％Ｖが９ｍｍのとき、２回
目の調整量＝２０ｍｍ＋９ｍｍ＝２９ｍｍとしてフォー
ミング調整補正量の設定工程で補正量の設定を行い、
［ステップ４］として２９ｍｍのデフォーカスでレーザ
を照射して２回目の調整を行う。３回目、４回目の調整
を行うときも同様に行う。このように調整量の補正をデ
フォーカスにより行うことにより、曲げ角度を自在にコ
ントロールできる特性調整が可能になる。

【００７７】次に図２９の実施の形態の例について述べ
る。フォーミング調整補正量の設定にあたって、接点バ
ネ材２へレーザを照射するレーザビームパワーと電気特
性の関係から補正の制御テーブルを生成し、この制御テ
ーブルに基づいて曲げ量を制御することにより特性を目
標値に調整するようにしている。

【００７８】本例の場合、図２９（ａ）のようなレーザ
の出力を変えることによりフォーミング調整補正量の設
定を行って接点バネ材２のフォーミング調整を行うよう
になっている。しかしてフォーミング調整補正量の設定
をする場合次のように行われる。［ステップ１］として
１回目の調整量が例えば１４０Ｗの出力の場合、１４０
Ｗのレーザ出力で調整するが、［ステップ２］として検
査結果の感動電圧が例えば−２％Ｖでアンダー（再調
整）の場合、［ステップ３］として図２９（ｂ）のよう
なレーザ平均出力の補正の制御テーブルを用いて調整量
に補正を加える。このときの補正の制御テーブルより、
−２％Ｖが１００Ｗのとき、２回目の調整量＝１４０Ｗ
＋１００Ｗ＝２４０Ｗとしてフォーミング調整補正量の
設定工程で補正量の設定を行い、［ステップ４］として
２４０Ｗの出力でレーザを照射して２回目の補正を行
う。３回目、４回目の調整を行うときも同様に行う。こ
のように調整量の補正をレーザ出力により行うことによ
り、曲げ角度を自在にコントロールできる特性調整が可
能になる。

【００７９】次に図３０に示す実施の形態の例について
述べる。フォーミング調整補正量の設定にあたって、接
点バネ材２のレーザ照射位置を変えることにより曲げ量
（曲げ角度ｉ）を変えずに特性を目標値に調整するよう
にしている。

【００８０】本例の場合、図３０（ａ）に示すように接
点バネ材２の基端からレーザを照射する位置までの距離
ｈを変えることによりフォーミング調整補正量の設定を
行って接点バネ材２のフォーミング調整を行うようにな
っている。しかしてフォーミング調整補正量の設定をす
る場合次のように行われる。［ステップ１］として１回
目の調整量が例えば１００ｍｍの距離で調整する場合、
この距離で調整するが、［ステップ２］として検査結果
の感動電圧が例えば−２％Ｖでアンダー（再調整）の場
合、［ステップ３］として図３０（ｂ）のようなレーザ
照射位置の補正の制御テーブルを用いて調整量に補正を
加える。このときの補正テーブルより、−２％Ｖが８ｍ
ｍのとき、２回目の調整量＝１００ｍｍ＋８ｍｍ＝１０
８ｍｍとしてフォーミング調整補正量の設定工程で設定
を行い、［ステップ４］として１０８ｍｍの距離でレー
ザを照射して２回目の調整を行う。３回目、４回目の調
整を行うときも同様に行う。このようにすることで定量
的な曲げ加工制御がレーザの照射位置を変えるだけで簡
単にできる。

【００８１】次に図３１に示す実施の形態の例について
述べる。ベリリウム銅、リン青銅等の銅合金で板厚が
０．０２〜０．３０ｍｍ（好ましくは０．０５〜０．１
０ｍｍ）の接点バネ材２にレーザを一点照射して曲げ加
工するに当たって、レーザとしてＱスイッチＹＡＧレー
ザを使用し、レーザ光のパルス幅が１０ｎｓ〜２００ｎ
ｓで且つレーザの照射エネルギー密度を３．０×１０⁹
〜３．０×１０¹⁰Ｗ／ｍ²（好ましくは６．０×１０⁹〜
１．３×１０¹⁰Ｗ／ｍ²）として加工し、接点バネ材２
の表面と裏面との温度差による温度勾配により塑性変形
させて電気特性を調整すると、接点バネ材２の表面溶融
を抑制し、ベリリウム銅、リン青銅等の銅合金の機械的
特性を劣化させることなく、精密な曲げ制御が可能にな
る。

【００８２】図３１はレーザ条件による特性を示したグ
ラフであり、横軸にレーザ光にパスル幅（ｓｅｃｏｎ
ｄ）、縦軸にレーザエネルギー密度（Ｗ／ｍ²）を示
す。対象となる接点バネ材２はベリリウム銅またはリン
青銅であり、接点バネ材２の板厚は０．０５〜０．０８
ｍｍである。レーザがＱスイッチＹＡＧレーザの場合、
レーザパルス幅が１０ｎｓ〜２００ｎｓ、レーザエネル
ギー密度が１０⁸〜１０¹⁰Ｗ／ｍ²であり、レーザがＹＡ
Ｇレーザの場合、レーザパルス幅が０．１ｍｓ〜１ｍ
ｓ、レーザエネルギ密度が１０⁸から１０¹⁰Ｗ／ｍ²であ
り、レーザがＣＯ₂レーザの場合、レーザ光パルス幅１
μｓ〜１５μｓ、レーザエネルギ密度が１０ ⁸から１０
¹⁰Ｗ／ｍ²である。そして図３１で△の部分は表面溶融
大、○の部分は曲げ可、×は反応なしである。この図３
１のグラフからレーザとしてＱスイッチＹＡＧレーザを
使用し、レーザ光のパルス幅が１０ｎｓ〜２００ｎｓで
且つレーザの照射エネルギー密度を３．０×１０⁹〜
３．０×１０¹⁰Ｗ／ｍ²（好ましくは６．０×１０⁹〜
１．３×１０¹⁰Ｗ／ｍ²）として加工すると、接点バネ
材２の表面溶融を抑制し、ベリリウム銅、リン青銅等の
銅合金の機械的特性を劣化させることなく、精密な曲げ
制御が可能になることが判る。

【００８３】実際にはレーザとしてＱスイッチＹＡＧレ
ーザを用い、ベリリウム銅（幅＝１．８ｍｍ、長さ１０
ｍｍ、ｔ＝０．０６ｍｍ）を０．１°〜１０°程度まで
曲げ制御した。ベリリウム銅の表面にレーザ照射による
溶融を発生させると、バネとしての特性が変化するため
にレーザ照射による溶融を最大限抑制する必要がある。
このために、ベリリウム銅の板幅方向にレーザを走査し
て曲げを制御するときのレーザ条件としては、スポット
径をφ１００〜５００マイクロメートルに集光し、Ｑス
イッチパルスの発振周波数を１ｋＨｚで出力パワーを１
０Ｗとした時、ビーム走査速度を１〜１０ｍｍ／ｓの範
囲で変化させると、曲げ角度は０．１７°〜０．３４°
となった。このときのレーザパルス幅は１７０ｎｓであ
った。またこの状態では表面溶融が発生しておらず、バ
ネとしての機械的特性の劣化も認められなかった。また
他にもレーザ発振周波数を０．５ｋＨｚから５０ｋＨｚ
で変化させて曲げ制御を行ったが同様の良好が曲げ制御
が可能であった。

【００８４】またベリリウム銅、リン青銅等の銅合金で
板厚が０．０２〜０．３０ｍｍ（好ましくは０．０５〜
０．１０ｍｍ）の接点バネ材２にレーザを一点照射して
曲げ加工するに当たって、レーザとしてＹＡＧレーザを
使用し、レーザ光のパルス幅が０．１ｍｓ〜１ｍｓで且
つレーザの照射エネルギー密度を４．０×１０⁸〜１．
２×１０⁹Ｗ／ｍ²（好ましくは２．０×１０⁸〜６．０
×１０⁸Ｗ／ｍ²）として加工し、接点バネ材２の表面と
裏面との温度差による温度勾配により塑性変形させて電
気特性を調整しても、接点バネ材２の表面溶融を抑制
し、ベリリウム銅、リン青銅等の銅合金の機械的特性を
劣化させることなく、精密な曲げ制御が可能になる。

【００８５】実際には、ＹＡＧレーザを用いて、ベリリ
ウム銅（幅＝１．８ｍｍ、長さ１０ｍｍ、ｔ＝０．０６
ｍｍ）を０．１°〜１０°程度まで曲げ制御した。ベリ
リウム銅の表面にレーザ照射による溶融を発生させる
と、バネとしての特性が変化するために、レーザ照射に
よる溶融を最大限に抑制する必要がある。このために、
ベリリウム銅の板幅方向にレーザを走査して曲げを制御
する時のレーザ条件としては、スポット径をφ１００〜
５００マイクロメートルに集光し、レーザパルス幅を１
ｍｓ、走査速度２０ｍｍ／ｓの時に、０．１９°の曲げ
制御が可能であった。レーザパルス幅が長いと板幅方向
端部で溶融が見られるようになり、走査速度を大きくす
る必要が生じる。つまり、熱伝導とビーム走査速度を最
適な状態に制御しないと、溶融現象が生じる。

【００８６】またベリリウム銅、リン青銅等の銅合金で
板厚が０．０２から０．３０ｍｍ（好ましくは０．０５
〜０．１０ｍｍ）の接点バネ材２にレーザを一点照射し
て曲げ加工するに当たって、レーザとしてＣＯ₂レーザ
を使用し、レーザ光のパルス幅が１μｓ〜１５μｓで且
つレーザの照射エネルギー密度を２．０×１０⁹〜２．
５×１０⁹Ｗ／ｍ²（好ましくは１．０×１０⁹〜１．２
×１０⁹Ｗ／ｍ²）として加工し、接点バネ材２の表面と
裏面との温度差による温度勾配により塑性変形させて電
気特性を調整しても、接点バネ材２の表面溶融を抑制
し、ベリリウム銅、リン青銅等の銅合金の機械的特性を
劣化させることなく、精密な曲げ制御が可能になる。

【００８７】実際には、ＣＯ₂レーザを用いて、ベリリ
ウム銅（幅＝１．８ｍｍ、長さ１０ｍｍ、ｔ＝０．０６
ｍｍ）を０．１°〜１０°程度まで曲げ制御した。ベリ
リウム銅の表面にレーザ照射による溶融を発生させる
と、バネとしての特性が変化するために、レーザ照射に
よる溶融を最大限に抑制する必要がある。このために、
ベリリウム銅の板幅方向にレーザを走査して曲げを制御
する時のレーザ条件としては、スポット径をφ１００〜
５００マイクロメートルに集光し、パルス幅１５μｓの
ＣＯ₂レーザでは、走査回数を増やして１００回走査で
１０．７°の曲げを制御した。

【００８８】次に図３２に示す実施の形態の例について
述べる。ベリリウム銅、リン青銅等の銅合金で板厚が
０．０２から０．３０ｍｍ（好ましくは０．０５〜０．
１０ｍｍ）の接点バネ材２にレーザを幅方向に線状に照
射して曲げ加工するに当たって、レーザとしてＱスイッ
チＹＡＧレーザを使用し、レーザ光のパルス幅が１０ｎ
ｓ〜２００ｎｓで且つレーザの照射エネルギー密度を
３．０×１０⁹〜３．０×１０¹⁰Ｗ／ｍ²（好ましくは
６．０×１０⁹〜１．３×１０¹⁰Ｗ／ｍ²）として加工
し、接点バネ材２の表面と裏面との温度差による温度勾
配により塑性変形させて電気特性を調整するようになっ
ている。ＱスイッチＹＡＧレーザのレーザ発振器３５か
ら照射されたレーザ光はミラー１３にて反射され、シリ
ンドリカルレンズ１６にて線状に引き伸ばされて線状に
照射されるようになっている。本例の場合、シリンドリ
カルレンズ１６として第１のレンズ１６ａと第２のレン
ズ１６ｂを用いている。上記のように加工すると、表面
溶融を抑制し、ベリリウム銅、リン青銅の機械的特性を
劣化させることなく、精密な曲げ制御が可能となり、ま
た短時間に高精度な平面曲げ制御が可能になる。

【００８９】実際にはＱスイッチＹＡＧレーザを用い
て、ベリリウム銅（幅＝１．８ｍｍ、長さ１０ｍｍ、ｔ
＝０．０６ｍｍ）を０．１°〜１０°程度までの曲げ制
御をした。この時、レーザ発振器３５から発振されたレ
ーザ光をシリンドリカルレンズ１６を用いた光学系で線
状ビームに整形した。表面溶融が生じると銅材の機械的
特性が低下するので、表面溶融を抑制する必要がある。
表面溶融を抑制するためには、レーザ照射のパルス幅と
照射エネルギー密度を適正値に制御する必要がある。そ
こでレーザ光のパルス幅が１０ｎｓ〜２００ｎｓで且つ
レーザの照射エネルギー密度が３．０×１０⁹〜３．０
×１０¹⁰Ｗ／ｍ²（好ましくは６．０×１０ ⁹〜１．３×
１０¹⁰Ｗ／ｍ²）として加工することが良好な加工条件
となった。

【００９０】実際には、幅１００μｍ、長さ２ｍｍの線
状ビームを整形し、銅材に一度に照射した。Ｑスイッチ
パルスの発振周波数が１ｋＨｚで出力パワーを４０Ｗと
した時、曲げ角度は０．１０°となった。このときのレ
ーザパルス幅は１７０ｎｓであった。この状態では表面
溶融は発生しておらず、バネとしての機械的特性の劣化
も認められない。また線状ビームではレーザ光の一度の
照射で曲げ制御が実現可能となり、短時間処理となる。
またビーム走査に比べると三次元的なねじれの曲げな
く、短冊状の板材では板幅方向の曲げ角度が均一に制御
可能となる。

【００９１】次に図３３に示す実施の形態の例について
述べる。接点バネ材２にレーザ照射を複数回行って曲げ
調整する際、毎回微小量だけレーザの照射位置を接点バ
ネ材の長手方向に移動させ、接点バネ材２の表面と裏面
の温度差によって塑性変形が起こることによって電気特
性を調整するようになっている。つまり、図に示すよう
に１回目折り曲げ位置ａ１、２回目折り曲げ位置ａ２、
３回目折り曲げ位置ａ３というように折り曲げ毎にレー
ザの照射位置を接点バネ材２の長手方向に微小距離であ
るΔＬずつ変えて曲げ加工している。ところで、同じ位
置に複数回レーザを照射すると、照射回数に応じて曲げ
角度が直線的に変化しなくなって適正な調整がし難くな
るが、上記のようにレーザの照射位置を長手方向に微小
量ずつ変えると上記弊害を回避できて適正な調整ができ
る。またレーザの照射位置を変えることにより表面の熱
影響を抑えることができる。

【００９２】次に図３４に示す実施の形態の例について
述べる。リレーの接点バネ材２にレーザを照射して接点
バネ材２の表面と裏面との温度差により塑性変形が起こ
ることにより電気特性を調整するにあたって、チャンバ
ー２７内でＮ₂などの不活性ガス雰囲気にてレーザを照
射して加工するようになっている。リレー１と曲げ加工
部をチャンバー２７内に矢印ｊのように不活性ガスを入
れて密封し、密封により外部雰囲気の影響を受けないよ
うにすると共に密封したチャンバー２７内に不活性ガス
を充填し、この状態でレーザを照射して曲げ調整してい
る。かかる不活性ガスとしてはＮ₂などが多く用いられ
る。かかる不活性ガスはチャンバー２７に密封するので
なく、レーザ照射する接点バネ材２の表面に噴射する方
式でも実現可能である。上記の不活性ガスの雰囲気でレ
ーザを照射して調整をすると、表面の熱影響を抑えるこ
とができる。

【００９３】次に図３５に示す実施の形態の例について
述べる。接点バネ材２にレーザを照射して接点バネ材２
の表面と裏面との温度差により塑性変形が起こることに
より曲げ調整して電気特性を調整するとき、変位センサ
ー２８にて接点バネ材２の変位を計測し、この計測値に
基づいてレーザの照射条件を制御するようになってい
る。変位センサー２８は本例の場合、レーザ変位センサ
ー２８ａであって、レーザを照射することにより接点バ
ネ材２の変位を検出するようになっている。レーザ変位
センサー２８ａからの情報により変位センサーコントロ
ーラ２９、制御手段３０を介してレーザ装置５が制御さ
れるようになっている。本例の場合、レーザ装置５から
ミラー１３を介して接点バネ材２を変位させるレーザを
照射する面とレーザ変位センサー２８ａから接点バネ材
２の変位を検出するためにレーザを照射する面とは反対
の面である。

【００９４】レーザ装置５からレーザを照射することに
より接点バネ材２が曲げ変位するが、このときレーザ変
位センサー２８ａにて接点バネ材２の曲げ変化をリアル
タイムに計測する。この計測結果を基に次回に照射する
レーザ条件を変えてレーザの照射を行うようになってい
る。つまり、レーザの１回目の照射にて接点バネ材２を
曲げ変位させたとき変位を計測し、レーザ条件を計算
し、計算値に応じた制御量でレーザ装置５を制御して２
回目のレーザを照射を行う。上記のようにして接点バネ
材２の曲げ調整を行うと、高精度のＯＴ（オーバートラ
ベル）量の調整が可能となり、またリアルタイムに高精
度な曲げ加工ができるようになる。

【００９５】次に図３６に示す実施の形態の例について
述べる。この例も図３５の例と同様に接点バネ材２にレ
ーザを照射して接点バネ材２の表面と裏面との温度差に
より塑性変形が起こることにより曲げ調整して電気特性
を調整するとき、変位センサー２８にて接点バネ材２の
変位を計測し、この計測値に基づいてレーザの照射条件
を制御するようになっている。本例の場合、変位センサ
ー２８が接触圧検出体２８ｂにて形成されている。かか
る接触圧検出体２８ｂは接点バネ材２に接触する接触子
３０と加圧バネ３１とで構成されている。そして接触圧
検出体２８ｂにて接点バネ材２からかかる接触圧を検出
して変位を検出できるようになっている。本例の場合、
レーザ装置５からミラー１３を介して接点バネ材２を変
位させるレーザを照射する面と接触圧検出体２８ｂで接
触圧を検出する面とは反対の面である。

【００９６】レーザ装置５からレーザを照射することに
より接点バネ材２が曲げ変位するが、このとき接触圧検
出体２８ｂにて接点バネ材２の接触圧をリアルタイムで
計測する。この計測結果を基に次回に照射するレーザ条
件を変えてレーザの照射を行うようになっている。つま
り、レーザの１回目の照射にて接点バネ材２を曲げ変位
させたとき接触圧を計測し、レーザ条件を計算し、計算
値に応じた制御量でレーザ装置５を制御して２回目のレ
ーザの照射を行う。上記のようにして接点バネ材２の曲
げ調整を行うと、リアルタイムに高精度な曲げ加工がで
き、また高精度な接点バネ材２のバネコンプライアンス
の調整が可能になる。

【００９７】図３５や図３６の実施の形態の形態のよう
に変位センサー２８にて接点バネ材２の変位を計測して
曲げを制御すると、図３７（ａ）のような電気特性の代
用特性として図３７（ｂ）のようなＯＴ量［図３７
（ｃ）に示すオーバートラベル量］を計測して曲げ量を
調整できる。これによりより電気特性を計測するのに比
べて曲げ調整の制御が容易にできる。

【００９８】次に図３８に示す実施の形態の例について
述べる。接点バネ材２にレーザを照射して接点バネ材２
の表面と裏面との温度差により塑性変形が起こることに
より曲げ調整して電気特性を調整するとき、温度センサ
ー３２にて接点バネ材２の表面温度を計測し、この計測
値に基づいてレーザの照射条件を制御している。温度セ
ンサー３２からの情報により制御手段３０を介してレー
ザ装置５が制御されるようになっている。

【００９９】レーザ装置５からレーザを照射することに
より接点バネ材２が曲げ変位するが、このとき温度セン
サー３２にて接点バネ材２のレーザ照射位置の温度をリ
アルタイムで計測する。この計測結果を基に次回に照射
するレーザ条件を変えてレーザの照射を行うようになっ
ている。つまり、レーザの１回目の照射にて接点バネ材
２を曲げ変位させたときレーザ照射位置の温度を計測
し、レーザ条件を計算し、計算値に応じた制御量でレー
ザ装置５を制御して２回目のレーザの照射を行う。例え
ば表面温度が接点バネ材２の材料の沸点を越える場合、
温度を下げるためにレーザの出力を下げる。上記のよう
にしてレーザを照射するとき接点バネ材２の表面温度を
計測することにより、表面の熱影響、溶融を制御でき
る。

【０１００】次に図３９に示す実施の形態の例について
述べる。接点バネ材２にレーザを照射して接点バネ材２
の表面と裏面との温度差により塑性変形が起こることに
より曲げ調整して電気特性を調整するようになっている
が、接点バネ材２にレーザの照射後の加工状態を観測
し、次回の加工状態を改善するためにレーザ装置５の電
源電流を制御するようにしている。ところで、レーザ装
置５のレーザのレーザの発振は大変不安定で、時間と共
に変化する場合がある。従って、同じ条件で曲げ加工し
ていても、照射されるレーザのエネルギーが変わってい
る場合がある。そこでレーザの電源電流を電流計３３で
モニターし、その結果、レーザの出力が低下してきたと
判断した場合、加工結果も踏まえて、次の加工を目標値
に制御できるようにレーザの出力条件を変えるフィード
フォワードを制御行うようになっている。このように加
工すると、次期の加工にフィードフォワードできて特性
変動が生じないようにできる。

【０１０１】次に図４０に示す実施の形態の例について
述べる。リレーの製造装置は、リレーの特性値を計測す
る初期計測装置２２と、フォーミング調整するフォーミ
ング調整装置（レーザ装置）３４と、フォーミング調整
したリレーを検査計測する検査計測装置２３とを備え、
フォーミング調整の調整量の設定を行う調整量設定手段
２４を有する。フォーミング調整装置３４は接点バネ材
２にレーザを照射して接点バネ材２のレーザ照射位置の
表面と裏面に温度差を生じさせると共にこの温度差にて
温度の低い側を塑性変形させることにより接点バネ材２
を曲げるフォーミング調整をしたり、または接点バネ材
２にレーザを照射してレーザの熱影響により接点バネ材
２のレーザ照射位置を温度軟化させると共に非接触で接
点バネ材２に外力を作用させて接点バネ材２を曲げるフ
ォーミング調整したりするようになっている。

【０１０２】リレー１の特性を計測する初期計測装置２
２とフォーミングを行うフォーミング調整装置３４がコ
ンピュータ２５に接続されており、データや制御信号の
送受信を行う。このコンピュータ２５は制御パラメータ
をデータベースとして格納している。この制御パラメー
タを基に調整量の設定をする調整アルゴリズムを格納し
ている。上記のようにリレー１の特性値を初期計測する
初期計測装置２２とその計測値を基にフォーミング調整
の調整量の設定を行う調整量設定手段２４とフォーミン
グ調整するフォーミング調整装置３４のその次工程で検
査計測を行う検査計測装置２３を有し、また調整の結
果、再度調整が必要になった場合は、調整量設定手段２
４にてフォーミング調整の補正の設定も行わせて、再度
調整が行えるようにしており、本発明のリレーの製造方
法が容易に実現可能になる。

【０１０３】

【発明の効果】本発明は叙述の如く構成されているの
で、接点バネ材を曲げ調整するのが非接触で調整できて
マイクロリレーと称される微小部品でも調整が可能にな
るものであり、しかも曲げ調整するのが簡単且つ正確に
できるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は本発明の実施の形態の一例の曲げ状態
を示す斜視図、（ｂ）は接点バネ材を曲げた状態の斜視
図である。

【図２】（ａ）（ｂ）（ｃ）は温度軟化を利用した曲げ
加工を示す斜視図である。

【図３】（ａ）（ｂ）（ｃ）は温度勾配を利用した曲げ
加工を示す斜視図である。

【図４】同上のレーザの出力と材料の状態の関係を説明
する説明図である。

【図５】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）は同上の他の例を曲
げ加工を示す斜視図である。

【図６】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）は同上の他の例の曲
げ加工を示す概略正面図である。

【図７】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）は同上の他の例の曲
げ加工を示す概略正面図である。

【図８】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）は同上の他の例の曲
げ加工を示す概略正面図である。

【図９】同上の他の例の調整のフローチャートである。

【図１０】同上の他の例の調整量の設定を説明する説明
図である。

【図１１】同上の他の例のフォーミング調整を説明する
説明図である。

【図１２】同上の他の例のフォーミング調整を説明する
説明図である。

【図１３】同上の他の例のフォーミング調整を説明する
説明図である。

【図１４】同上の他の例のフォーミング調整を説明する
概略正面図である。

【図１５】（ａ）（ｂ）（ｃ）は同上のレーザ光の走査
を説明する平面図である。

【図１６】同上の他の例のフォーミング調整を示す斜視
図である。

【図１７】（ａ）（ｂ）は同上の動作を説明する平面図
である。

【図１８】同上の他の例のフォーミング調整を説明する
正面図である。

【図１９】同上の他の例のフォーミング調整を示す斜視
図である。

【図２０】同上の他の例のフォーミング調整を示す斜視
図である。

【図２１】同上の他の例のフォーミング調整を示す斜視
図である。

【図２２】同上の動作を説明する説明図である。

【図２３】（ａ）は同上の他の例のフォーミング調整を
示す斜視図、（ｂ）は（ａ）の要部拡大せる正面図であ
る。

【図２４】（ａ）（ｂ）（ｃ）は同上の動作を説明する
正面図である。

【図２５】同上の他の例の補正量の設定を示すフローチ
ャートである。

【図２６】同上の他の例の補正量の設定を示す説明図で
ある。

【図２７】同上の他の例の補正量の設定を示す説明図で
ある。

【図２８】同上の他の例の補正量の設定を示す説明図で
ある。

【図２９】同上の他の例の補正量の設定を示す説明図で
ある。

【図３０】同上の他の例の補正量の設定を示す説明図で
ある。

【図３１】同上の他の例を説明するためのレーザ条件に
よる特性を示したグラフである。

【図３２】同上の例のフォーミング調整を示す斜視図で
ある。

【図３３】同上の他の例を説明する説明図である。

【図３４】同上の他の例のフォーミング調整を示す斜視
図である。

【図３５】同上の他の例のフォーミング調整を示し、
（ａ）は斜視図、（ｂ）は動作説明図である。

【図３６】同上の他の例のフォーミング調整を示し、
（ａ）は斜視図、（ｂ）は動作説明図である。

【図３７】同上の作用を説明するもので、（ａ）は電気
特性の説明図、（ｂ）はＯＴ量の代用特性の説明図、
（ｃ）はＯＴ量の概念を説明する説明図である。

【図３８】同上の他の例のフォーミング調整を示し、
（ａ）は斜視図、（ｂ）は動作説明図である。

【図３９】同上の他の例のフォーミング調整を示す斜視
図である。

【図４０】リレーの製造装置を説明する説明図である。

【図４１】一従来例を示す斜視図である。

【図４２】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）は他の従来例を示
す概略正面図である。

【図４３】同上のフローチャートである。

【符号の説明】

１リレー２接点バネ材８レーザビーム

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者吉田徳雄大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株式会社内Ｆターム(参考） 5G023 AA05 BA11 CA50

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】リレーの接点バネ材にレーザを照射し、
接点バネ材のレーザ照射位置の表面と裏面とに温度差を
生じさせると共に、この温度差にて温度の低い側を塑性
変形させることにより接点バネ材を曲げ調整して電気特
性を調整することを特徴とするリレーの製造方法。
【請求項２】リレーの接点バネ材にレーザを照射し、
レーザの熱影響により接点バネ材のレーザ照射位置を温
度軟化させると共に、非接触で接点バネ材に外力を作用
させて接点バネ材を曲げ調整して電気特性を調整するこ
とを特徴とするリレーの製造方法。
【請求項３】接点バネ材のレーザ照射位置を温度軟化
させると共に、接点バネ材のレーザ照射位置より自由端
側の自重による外力にて接点バネ材を曲げ調整すること
を特徴とする請求項２記載のリレーの製造方法。
【請求項４】接点バネ材のレーザ照射位置を温度軟化
させると共に、電磁石や永久磁石の磁力により接点バネ
材の自由端を引っ張って接点バネ材を曲げ調整すること
を特徴とする請求項２記載のリレーの製造方法。
【請求項５】接点バネ材のレーザ照射位置を温度軟化
させると共に、エアーを接点バネ材の自由端側に吹き付
けてエアーによる外力を加えることにより接点バネ材を
曲げ調整することを特徴とする請求項２記載のリレーの
製造方法。
【請求項６】リレーの特性値を初期計測し、その計測
値を基にフォーミング調整量を設定する工程と、設定さ
れたフォーミング調整量に基づきレーザを照射して接点
バネ材の曲げ調整をするフォーミング調整工程と、フォ
ーミング調整工程で接点バネ材の曲げ調整した後に検査
計測を行い、その結果再度調整が必要な場合、上記検査
結果を基にフォーミング調整工程での補正のフォーミン
グ調整量の設定をする工程とを有することを特徴とする
請求項１記載のリレーの製造方法。
【請求項７】請求項６のフォーミング調整量を設定す
る工程において、１回目のフォーミング調整する前にリ
レーの電気特性を計測し、その計測値を基にレーザ照射
の照射量を設定することを特徴とするリレーの製造方
法。
【請求項８】接点バネ材ヘレーザを照射する方向を接
点バネ材の表面側または裏面側と変えることで接点バネ
材の曲げ方向を自在に調整することを特徴とする請求項
１または請求項６記載のリレーの製造方法。
【請求項９】レーザスキャナを用いて接点バネ材の幅
方向に線状にレーザを走査させることを特徴とする請求
項１または請求項６記載のリレーの製造方法。
【請求項１０】光学系を利用してレーザ光を引き伸ば
すことにより接点バネ材の幅方向に線状にレーザ光を照
射することを特徴とする請求項１または請求項６記載の
リレーの製造方法。
【請求項１１】レーザ光を短パルスで照射することに
より表面と裏面に温度差を作ることを特徴とする請求項
１または請求項６記載のリレーの製造方法。
【請求項１２】レーザ照射面の反対側を冷却して温度
低下させることにより表面側と裏面側との間に温度差を
作ることを特徴とする請求項１または請求項６記載のリ
レーの製造方法。
【請求項１３】レーザ照射面の反対側にエアーを吹き
付けることで冷却することを特徴とする請求項１２記載
のリレーの製造方法。
【請求項１４】接点バネ材へのレーザの照射位置を長
手方向に変えることにより曲げ量を制御して特性を目標
値に調整することを特徴とする請求項１または請求項６
記載のリレーの製造方法。
【請求項１５】接点バネ材の長手方向の複数部位にレ
ーザを照射することにより曲げ量を制御して特性を目標
値に調整することを特徴とする請求項１または請求項６
記載のリレーの製造方法。
【請求項１６】請求項６の補正のフォーミング調整量
の設定をする工程において、１回目の電気特性の調整
後、再度調整が必要な場合、１回目のレーザの照射の制
御量に補正を加え、且つレーザの照射方向も含めて補正
することにより２回目の調整を行うことを特徴とするリ
レーの製造方法。
【請求項１７】接点バネ材へレーザを照射する走査速
度と電気特性の関係から補正の制御テーブルを作成し、
この補正の制御テーブルに基づいて曲げ量を制御するこ
とにより特性を目標値に調整することを特徴とする請求
項１６記載のリレーの製造方法。
【請求項１８】接点バネ材へレーザを照射するレーザ
の発振周波数と電気特性の関係から補正の制御テーブル
を作成し、この補正の制御テーブルに基づいて曲げ量を
調整することにより特性を目標値に調整することを特徴
とする請求項１６記載のリレーの製造方法。
【請求項１９】接点バネ材へ照射するレーザのデフォ
ーカスの距離と電気特性の関係から補正の制御テーブル
を作成し、この補正の制御テーブルに基づいて曲げ量を
制御することにより特性を目標値に調整することを特徴
とする請求項１６記載のリレーの製造方法。
【請求項２０】接点バネ材へ照射するレーザのレーザ
ビームパワーと電気特性の関係から補正の制御テーブル
を作成し、この補正の制御テーブルに基づいて曲げ量を
制御することにより特性を目標値に調整することを特徴
とする請求項１６記載のリレーの製造方法。
【請求項２１】接点バネ材へ照射するレーザの照射位
置を接点バネ材の長手方向に変えたときの曲げ量と電気
特性の関係から補正の制御テーブルを作成し、この補正
の制御テーブルに基づいて曲げ量を制御することにより
特性を目標値に調整することを特徴とする請求項１６記
載のリレーの製造方法。
【請求項２２】ベリリウム銅、リン青銅等の銅合金で
板厚が０．０２〜０．３０ｍｍの接点バネ材にレーザを
一点照射して曲げ加工するに当たって、レーザとしてＱ
スイッチＹＡＧレーザを使用し、レーザ光のパルス幅が
１０ｎｓ〜２００ｎｓで且つレーザの照射エネルギー密
度を３．０×１０⁹〜３．０×１０¹⁰Ｗ／ｍ²とすること
を特徴とする請求項１記載のリレーの製造方法。
【請求項２３】接点バネ材にレーザ照射を複数回行っ
て曲げ調整する際、毎回微小量だけレーザの照射位置を
接点バネ材の長手方向に移動させることを特徴とする請
求項１または請求項９または請求項１０記載のリレーの
製造方法。
【請求項２４】接点バネ材にレーザを照射して曲げ調
整しているとき、変位センサーで接点バネ材の変位を計
測し、この計測値に基づいてレーザの照射条件を制御す
ることを特徴とする請求項１記載のリレーの製造方法。
【請求項２５】接点バネ材にレーザを照射して曲げ調
整しているとき、温度センサーにて接点バネ材の表面温
度を計測し、この計測値に基づいてレーザの照射条件を
制御することを特徴とする請求項１記載のリレーの製造
方法。
【請求項２６】リレーの初期特性値を計測する初期計
測装置と、接点バネ材にレーザを照射して接点バネ材の
レーザ照射位置の表面と裏面に温度差を生じさせると共
にこの温度差にて温度の低い側を塑性変形させることに
より接点バネ材を曲げるフォーミング調整をするフォー
ミング調整装置と、フォーミング調整したリレーの検査
計測をする検査計測装置とを備え、初期計測装置や検査
計測装置で計測した計測値を基にフォーミング調整装置
でのフォーミング調整量の設定をする制御手段を有した
ことを特徴とするリレーの製造装置。
【請求項２７】リレーの初期特性値を計測する初期計
測装置と、接点バネ材にレーザを照射してレーザの熱影
響により接点バネ材のレーザ照射位置を温度軟化させる
と共に非接触で接点バネ材に外力を作用させて接点バネ
材を曲げるフォーミング調整をするフォーミング調整装
置と、フォーミング調整したリレーの検査計測をする検
査計測装置とを備え、初期計測装置や検査計測装置で計
測した計測値を基にフォーミング調整装置でのフォーミ
ング調整量の設定をする制御手段を有したことを特徴と
するリレーの製造装置。