JP2001179876A - Method for manufacturing insulating resin with copper foil - Google Patents

Method for manufacturing insulating resin with copper foil

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JP2001179876A
JP2001179876A JP36885699A JP36885699A JP2001179876A JP 2001179876 A JP2001179876 A JP 2001179876A JP 36885699 A JP36885699 A JP 36885699A JP 36885699 A JP36885699 A JP 36885699A JP 2001179876 A JP2001179876 A JP 2001179876A
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JP
Japan
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copper foil
resin
insulating resin
plating
copper
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JP36885699A
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Japanese (ja)
Inventor
Kenichi Ohashi
健一 大橋
Yuji Tosaka
祐治 登坂
Hiroyuki Fukai
弘之 深井
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Showa Denko Materials Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide the subject method capable of effectively removing the resin powder generated from an insulating resin with a copper foil. SOLUTION: A method for manufacturing an insulating resin with a copper foil has a process for forming an insulating resin layer on the single surface of the copper foil and cutting the coated copper foil into a necessary size and subsequently treating the cut part of the insulating resin with the copper foil with a liquid for dissolving the insulating resin layer.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、銅箔付き絶縁樹脂
の製造方法に関する。
[0001] The present invention relates to a method for producing an insulating resin with a copper foil.

【0002】[0002]

【従来の技術】電子機器の小型化・多機能化に伴い、プ
リント配線板にも薄型化・高密度化が要求され、プリン
ト配線板の製造において、複数の導体層間の接続を行う
バイアホールを形成する方法として、従来のドリルに代
わるものとして、微細な穴をあけることのできるレーザ
加工を使用する多層プリント配線板の製造方法が各社か
ら提案されている。
2. Description of the Related Art With the miniaturization and multi-functionality of electronic devices, printed wiring boards are also required to be thinner and higher in density. As a method of forming the same, as a substitute for the conventional drill, various companies have proposed a method of manufacturing a multilayer printed wiring board using laser processing capable of forming fine holes.

【0003】たとえば、内層回路板の上に絶縁性接着剤
付き銅箔を積層して、絶縁層と銅箔を形成し、バイアホ
ールの必要な箇所の銅箔のみを選択的にエッチング除去
して銅箔の開口部を作り、その開口部に露出した絶縁層
をレーザ加工によって、外層回路と内層回路を接続する
内層導体まで達する穴をあけ、樹脂の残さを除去するた
めにデスミア処理をし、めっきして銅箔と内層導体とを
電気的に接続し、不要な箇所の銅箔とめっきをエッチン
グ除去して外層回路を形成する方法や、内層回路板の上
に絶縁層を形成し、バイアホールの必要な箇所の絶縁層
をレーザ加工によって、外層回路と内層回路を接続する
内層導体まで達する穴をあけ、樹脂の残さを除去するた
めにデスミア処理をし、穴内壁と絶縁層表面の必要な箇
所にのみめっきして、内層導体と電気的に接続された外
層回路を形成する方法などである。
For example, a copper foil with an insulating adhesive is laminated on an inner layer circuit board to form an insulating layer and a copper foil, and only the copper foil at a necessary portion of a via hole is selectively removed by etching. Create an opening in the copper foil, drill a hole to reach the inner layer conductor connecting the outer layer circuit and the inner layer circuit by laser processing the insulating layer exposed in the opening, and perform desmear processing to remove the resin residue, Plating to electrically connect the copper foil and the inner layer conductor, removing unnecessary portions of the copper foil and the plating by etching to form an outer layer circuit, or forming an insulating layer on the inner layer circuit board and forming a via The hole in the insulation layer where the hole is required is drilled by laser processing to reach the inner layer conductor connecting the outer layer circuit and the inner layer circuit, desmearing is performed to remove resin residue, and the inner wall of the hole and the surface of the insulation layer are required. Plating only on Is a method of forming an inner layer conductor and electrically connected to the outer circuit.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
多層プリント配線板の製造工程においては、絶縁層を形
成するために、銅箔に絶縁樹脂ワニスを塗布し、加熱・
乾燥して半硬化状にしたものを作製し、内層回路板の上
に重ね、加熱・加圧して積層一体化することが行われ、
その銅箔に絶縁樹脂ワニスを塗布するには、コイル状に
巻いた銅箔を巻き戻しながら、連続的に絶縁樹脂ワニス
を塗布し、乾燥炉を通過させ、半硬化状になった銅箔付
き絶縁樹脂として巻き取って製造しており、内層回路板
と積層するときに、必要な大きさに切断して、使ってい
る。ところが、この切断のときに、銅箔付き絶縁樹脂か
ら樹脂粉末が発生し、これが積層時の金属鏡面板と銅箔
付き絶縁樹脂の間に入り込み多層プリント配線板表面の
凹凸となり、その後のエッチングによる回路パターン作
製時の回路形成不良等の原因となっている。
By the way, in the manufacturing process of such a multilayer printed wiring board, an insulating resin varnish is applied to a copper foil to form an insulating layer.
It is made by drying and making it into a semi-cured state, layered on the inner circuit board, and laminated by heating and pressing,
To apply the insulating resin varnish to the copper foil, unwind the coiled copper foil, apply the insulating resin varnish continuously, pass through a drying oven, and add the semi-cured copper foil. It is wound and manufactured as an insulating resin, and is cut to the required size and used when laminated with an inner circuit board. However, at the time of this cutting, resin powder is generated from the insulating resin with the copper foil, which enters between the metal mirror plate and the insulating resin with the copper foil at the time of lamination and becomes uneven on the surface of the multilayer printed wiring board. This is a cause of defective circuit formation during the production of a circuit pattern.

【0005】本発明は、銅箔付き絶縁樹脂から発生する
樹脂粉末を有効に除去することのできる銅箔付き絶縁樹
脂の製造方法を提供することを目的とする。
An object of the present invention is to provide a method for manufacturing an insulating resin with a copper foil, which can effectively remove resin powder generated from the insulating resin with a copper foil.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明の銅箔付き絶縁樹
脂の製造方法は、銅箔の片面に絶縁樹脂層を形成し、必
要なサイズに切断した後に、銅箔付き絶縁樹脂の切断部
を、前記絶縁樹脂層を溶解する液体で処理する工程を有
することを特徴とする。
According to the method for producing an insulating resin with a copper foil of the present invention, an insulating resin layer is formed on one surface of a copper foil, cut into a required size, and then cut into portions of the insulating resin with a copper foil. Is treated with a liquid that dissolves the insulating resin layer.

【0007】[0007]

【発明の実施の形態】本発明の絶縁樹脂層を溶解する液
体としては、通常の銅箔付き絶縁樹脂の製造に用いられ
る有機溶剤が使用できるが、蒸気圧が20mmHg以上
で処理後の乾燥を実施し易いものが好ましい。特に好ま
しい有機溶剤としては、メタノール、アセトン、メチル
エチルケトン等が挙げられる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS As a liquid for dissolving the insulating resin layer of the present invention, an organic solvent used for producing an ordinary insulating resin with a copper foil can be used, but drying after treatment at a vapor pressure of 20 mmHg or more is required. Those that are easy to implement are preferred. Particularly preferred organic solvents include methanol, acetone, methyl ethyl ketone and the like.

【0008】本発明において使用される樹脂は、熱硬化
性樹脂を用いることが好ましく、中でもエポキシ樹脂で
あることがより好ましい。このようなエポキシ樹脂は、
エポキシ樹脂及び硬化剤を含む熱硬化性樹脂組成物から
なり、この熱硬化性樹脂組成物には、さらに、必要に応
じて硬化促進剤、触媒、エラストマ、難燃剤などを加え
てもよい。
[0008] The resin used in the present invention is preferably a thermosetting resin, and more preferably an epoxy resin. Such an epoxy resin,
The thermosetting resin composition comprises an epoxy resin and a curing agent. The thermosetting resin composition may further include a curing accelerator, a catalyst, an elastomer, a flame retardant, and the like, if necessary.

【0009】エポキシ樹脂は、分子内にエポキシ基を有
するものであればどのようなものでもよく、ビスフェノ
ールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹
脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ
樹脂、脂肪族鎖状エポキシ樹脂、フェノールノボラック
型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹
脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、ビフ
ェノールのジグリシジリエーテル化物、ナフタレンジオ
ールのジグリシジリエーテル化物、フェノール類のジグ
リシジリエーテル化物、アルコール類のジグリシジルエ
ーテル化物、及びこれらのアルキル置換体、ハロゲン化
物、水素添加物などがある。これらは併用してもよく、
エポキシ樹脂以外の成分が不純物として含まれていても
よい。
The epoxy resin may be any epoxy resin having an epoxy group in the molecule, such as a bisphenol A epoxy resin, a bisphenol F epoxy resin, a bisphenol S epoxy resin, an alicyclic epoxy resin, Group epoxy resin, phenol novolak epoxy resin, cresol novolak epoxy resin, bisphenol A novolak epoxy resin, diglycidyl etherified biphenol, diglycidyl etherified naphthalene diol, diglycidyl etherified phenol And diglycidyl ethers of alcohols, and alkyl-substituted, halogenated and hydrogenated products thereof. These may be used in combination,
Components other than the epoxy resin may be included as impurities.

【0010】本発明で使用するエポキシ樹脂用硬化剤
は、エポキシ樹脂を硬化させるものであれば、限定する
ことなく使用でき、例えば、多官能フェノール類、アミ
ン類、イミダゾール化合物、酸無水物、有機リン化合物
およびこれらのハロゲン化物などがある。
The epoxy resin curing agent used in the present invention can be used without any limitation as long as it can cure the epoxy resin. Examples thereof include polyfunctional phenols, amines, imidazole compounds, acid anhydrides, organic anhydrides, and the like. Phosphorus compounds and their halides.

【0011】多官能フェノール類の例として、単環二官
能フェノールであるヒドロキノン、レゾルシノール、カ
テコール,多環二官能フェノールであるビスフェノール
A、ビスフェノールF、ナフタレンジオール類、ビフェ
ノール類、及びこれらのハロゲン化物、アルキル基置換
体などがある。更に、これらのフェノール類とアルデヒ
ド類との重縮合物であるノボラック、レゾールがある。
Examples of the polyfunctional phenols include monocyclic bifunctional phenols such as hydroquinone, resorcinol, catechol, and polycyclic bifunctional phenols such as bisphenol A, bisphenol F, naphthalene diols, biphenols, and halides thereof. There are alkyl group substituents and the like. Further, there are novolaks and resols which are polycondensates of these phenols and aldehydes.

【0012】アミン類の例としては、脂肪族あるいは芳
香族の第一級アミン、第二級アミン、第三級アミン、第
四級アンモニウム塩及び脂肪族環状アミン類、グアニジ
ン類、尿素誘導体等がある。
Examples of amines include aliphatic or aromatic primary amines, secondary amines, tertiary amines, quaternary ammonium salts and aliphatic cyclic amines, guanidines, urea derivatives and the like. is there.

【0013】これらの化合物の一例としては、N、N−
ベンジルジメチルアミン、2−(ジメチルアミノメチ
ル)フェノール、2、4、6−トリス(ジメチルアミノ
メチル)フェノール、テトラメチルグアニジン、トリエ
タノールアミン、N、N’−ジメチルピペラジン、1、
4−ジアザビシクロ[2、2、2]オクタン、1、8−
ジアザビシクロ[5、4、0]−7−ウンデセン、1、
5−ジアザビシクロ[4、4、0]−5−ノネン、ヘキ
サメチレンテトラミン、ピリジン、ピコリン、ピペリジ
ン、ピロリジン、ジメチルシクロヘキシルアミン、ジメ
チルヘキシルアミン、シクロヘキシルアミン、ジイソブ
チルアミン、ジ−n−ブチルアミン、ジフェニルアミ
ン、N−メチルアニリン、トリ−n−プロピルアミン、
トリ−n−オクチルアミン、トリ−n−ブチルアミン、
トリフェニルアミン、テトラメチルアンモニウムクロラ
イド、テトラメチルアンモニウムブロマイド、テトラメ
チルアンモニウムアイオダイド、トリエチレンテトラミ
ン、ジアミノジフェニルメタン、ジアミノジフェニルエ
ーテル、ジシアンジアミド、トリルビグアニド、グアニ
ル尿素、ジメチル尿素等がある。
Examples of these compounds include N, N-
Benzyldimethylamine, 2- (dimethylaminomethyl) phenol, 2,4,6-tris (dimethylaminomethyl) phenol, tetramethylguanidine, triethanolamine, N, N'-dimethylpiperazine, 1,
4-diazabicyclo [2,2,2] octane, 1,8-
Diazabicyclo [5,4,0] -7-undecene, 1,
5-diazabicyclo [4,4,0] -5-nonene, hexamethylenetetramine, pyridine, picoline, piperidine, pyrrolidine, dimethylcyclohexylamine, dimethylhexylamine, cyclohexylamine, diisobutylamine, di-n-butylamine, diphenylamine, N -Methylaniline, tri-n-propylamine,
Tri-n-octylamine, tri-n-butylamine,
Examples include triphenylamine, tetramethylammonium chloride, tetramethylammonium bromide, tetramethylammonium iodide, triethylenetetramine, diaminodiphenylmethane, diaminodiphenylether, dicyandiamide, tolylbiguanide, guanylurea, and dimethylurea.

【0014】イミダゾール化合物の例としては、イミダ
ゾール、2−エチルイミダゾール、2−エチル−4−メ
チルイミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−フェ
ニルイミダゾール、2−ウンデシルイミダゾール、1−
ベンジル−2−メチルイミダゾール、2−ヘプタデシル
イミダゾール、4、5−ジフェニルイミダゾール、2−
メチルイミダゾリン、2−フェニルイミダゾリン、2−
ウンデシルイミダゾリン、2−ヘプタデシルイミダゾリ
ン、2−イソプロピルイミダゾール、2、4−ジメチル
イミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾー
ル、2−エチルイミダゾリン、2−フェニル−4−メチ
ルイミダゾリン、ベンズイミダゾール、1−シアノエチ
ルイミダゾールなどがある。
Examples of the imidazole compound include imidazole, 2-ethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-undecylimidazole,
Benzyl-2-methylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 4,5-diphenylimidazole, 2-
Methylimidazoline, 2-phenylimidazoline, 2-
Undecylimidazoline, 2-heptadecylimidazoline, 2-isopropylimidazole, 2,4-dimethylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 2-ethylimidazoline, 2-phenyl-4-methylimidazoline, benzimidazole, 1- And cyanoethylimidazole.

【0015】酸無水物の例としては、無水フタル酸、ヘ
キサヒドロ無水フタル酸、ピロメリット酸二無水物、ベ
ンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物等がある。
Examples of the acid anhydride include phthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, pyromellitic dianhydride and benzophenonetetracarboxylic dianhydride.

【0016】有機リン化合物としては、有機基を有する
リン化合物であれば特に限定せれずに使用でき、例え
ば、ヘキサメチルリン酸トリアミド、リン酸トリ(ジク
ロロプロピル)、リン酸トリ(クロロプロピル)、亜リ
ン酸トリフェニル、リン酸トリメチル、フェニルフォス
フォン酸、トリフェニルフォスフィン、トリ−n−ブチ
ルフォスフィン、ジフェニルフォスフィンなどがある。
As the organic phosphorus compound, any phosphorus compound having an organic group can be used without any particular limitation. Examples thereof include hexamethylphosphoric triamide, tri (dichloropropyl) phosphate, tri (chloropropyl) phosphate, Examples include triphenyl phosphite, trimethyl phosphate, phenylphosphonic acid, triphenylphosphine, tri-n-butylphosphine, and diphenylphosphine.

【0017】これらの硬化剤は、単独、あるいは、組み
合わせて用いることもできる。これらエポキシ樹脂用硬
化剤の配合量は、エポキシ基の硬化反応を進行させるこ
とができれば、特に限定することなく使用できるが、好
ましくは、エポキシ基1モルに対して、0.01〜5.
0当量の範囲で、特に好ましくは0.8〜1.2当量の
範囲で使用する。
These curing agents can be used alone or in combination. The amount of the curing agent for the epoxy resin can be used without any particular limitation as long as the curing reaction of the epoxy group can proceed, but is preferably 0.01 to 5.0 mol per mol of the epoxy group.
It is used in the range of 0 equivalent, particularly preferably in the range of 0.8 to 1.2 equivalent.

【0018】また、本発明の熱硬化性エポキシ樹脂組成
物には、必要に応じて硬化促進剤を配合してもよい。代
表的な硬化促進剤として、第三級アミン、イミダゾール
類、第四級アンモニウム塩等があるが、これに限定され
るものではない。
The thermosetting epoxy resin composition of the present invention may optionally contain a curing accelerator. Representative curing accelerators include, but are not limited to, tertiary amines, imidazoles, quaternary ammonium salts, and the like.

【0019】本発明の配線板用樹脂組成物には、さら
に、セラミック系ウイスカーを加えることができる。こ
のようなセラミック系ウィスカーは、弾性率が200G
Pa以上であることが好ましく、200GPa未満で
は、配線板材料あるいは配線板として用いたときに十分
な剛性が得られない。このようなものとして、例えば、
硼酸アルミニウム、ウォラストナイト、チタン酸カリウ
ム、塩基性硫酸マグネシウム、窒化けい素、及びα−ア
ルミナの中から選ばれた1以上のものを用いることがで
きる。なかでも、硼酸アルミニウムウィスカーと、チタ
ン酸カリウムウィスカーは、モース硬度が、一般的なプ
リプレグ基材に用いるEガラスとほぼ同等であり、従来
のプリプレグと同様のドリル加工性を得ることができ
る。硼酸アルミニウムウィスカーは、弾性率がほぼ40
0GPaと高く、樹脂ワニスと混合し易く、さらに好ま
しい。
The resin composition for a wiring board of the present invention may further contain a ceramic whisker. Such a ceramic whisker has an elastic modulus of 200G.
It is preferably Pa or more, and if it is less than 200 GPa, sufficient rigidity cannot be obtained when used as a wiring board material or a wiring board. As such, for example,
One or more selected from aluminum borate, wollastonite, potassium titanate, basic magnesium sulfate, silicon nitride, and α-alumina can be used. Among them, aluminum borate whiskers and potassium titanate whiskers have Mohs hardness almost equal to that of E glass used for a general prepreg base material, and can obtain drillability similar to that of a conventional prepreg. Aluminum borate whiskers have an elastic modulus of approximately 40
It is as high as 0 GPa, easily mixed with the resin varnish, and more preferable.

【0020】このウィスカーの平均直径は、0.3μm
〜3μmであることが好ましく、さらには、0.5μm
〜1μmの範囲がさらに好ましい。このウィスカーの平
均直径が、0.3μm以下であると、樹脂ワニスへの混
合が困難となり、3μmを越えると、微視的な樹脂への
分散が十分でなく、表面の凹凸が大きくなり好ましくな
い。また、この平均直径と平均長さの比は、10以上で
あることが、さらに剛性を高めることができ、好まし
い、さらに好ましくは、20以上である。この比が10
未満であると、繊維としての補強効果が小さくなる。こ
の平均長さの上限は、100μmであり、さらに好まし
くは50μmである。この上限を越えると、樹脂ワニス
中への分散が困難となる他、2つの導体回路に1つのウ
ィスカーが接触する確率が高くなり、ウィスカーの繊維
に沿って銅イオンのマイグレーションが発生する確率が
高くなる。
The average diameter of the whiskers is 0.3 μm
To 3 μm, more preferably 0.5 μm
The range of 〜1 μm is more preferable. When the average diameter of the whiskers is 0.3 μm or less, mixing with the resin varnish becomes difficult. When the average diameter exceeds 3 μm, microscopic dispersion in the resin is not sufficient, and the unevenness of the surface becomes large, which is not preferable. . The ratio of the average diameter to the average length is preferably 10 or more, which can further increase the rigidity, and is more preferably 20 or more. This ratio is 10
If it is less than the above, the reinforcing effect as a fiber becomes small. The upper limit of this average length is 100 μm, and more preferably 50 μm. Exceeding this upper limit makes dispersion in the resin varnish difficult, increases the probability that one whisker contacts two conductor circuits, and increases the probability of copper ion migration along the whisker fiber. Become.

【0021】また、多層プリント配線板の、剛性、耐熱
性及び耐湿性を高めるために、樹脂との濡れ性や結合性
に優れたカップリング剤で表面処理した電気絶縁性のウ
ィスカーを使用することが好ましく、このようなカップ
リング剤として、シリコン系カップリング剤、チタン系
カップリング剤、アルミニウム系カップリング剤、ジル
コニウム系カップリング剤、ジルコアルミニウム系カッ
プリング剤、クロム系カップリング剤、ボロン系カップ
リング剤、リン系カップリング剤、アミノ酸系カップリ
ング剤等から選択して使用することができる。
Further, in order to increase the rigidity, heat resistance and moisture resistance of the multilayer printed wiring board, an electrically insulating whisker surface-treated with a coupling agent having excellent wettability with resin and bonding property is used. Preferred as such coupling agents are a silicon-based coupling agent, a titanium-based coupling agent, an aluminum-based coupling agent, a zirconium-based coupling agent, a zirconaluminum-based coupling agent, a chromium-based coupling agent, and a boron-based coupling agent. It can be used by selecting from a coupling agent, a phosphorus-based coupling agent, an amino acid-based coupling agent and the like.

【0022】熱硬化性樹脂とセラミック系ウィスカーの
割合は、硬化した樹脂中のウィスカーの体積分率が5%
〜50%の範囲となるように調整することが好ましい。
硬化した樹脂中のウィスカーの体積分率が5%未満であ
ると、銅箔付プリプレグ(銅箔/熱硬化性樹脂層)が切
断時に樹脂が細かく砕けて飛散するなど、取扱が著しく
困難であり、配線板としたときに剛性が低くなる。一方
ウィスカーの体積分率が50%を越えると、加熱加圧成
形時の穴や回路間隙への埋め込みが不十分となり、成形
後にボイドやかすれを発生し、絶縁性が低下する。ま
た、樹脂とウィスカーの割合は、硬化した樹脂中のウィ
スカーの体積分率は、20〜40%であることが、さら
に好ましい。
The ratio of the thermosetting resin to the ceramic whiskers is such that the volume fraction of the whiskers in the cured resin is 5%.
It is preferable to adjust so as to fall within the range of 50% to 50%.
If the volume fraction of the whiskers in the cured resin is less than 5%, the prepreg with copper foil (copper foil / thermosetting resin layer) is extremely difficult to handle, such as when the resin is finely crushed and scattered when cut. In addition, the rigidity is reduced when the wiring board is used. On the other hand, if the volume fraction of the whisker exceeds 50%, the filling into holes and circuit gaps at the time of heat and pressure molding becomes insufficient, voids and blurring occur after the molding, and the insulating property decreases. Further, the ratio of the resin to the whisker is more preferably that the volume fraction of the whisker in the cured resin is 20 to 40%.

【0023】また、本発明の樹脂と金属層からなる積層
板は、上記の樹脂組成物を、メチルエチルケトンやイソ
プロピルアルコールなどのような溶剤に溶解して樹脂ワ
ニスとしたものをガラス布に含浸したプリプレグとし、
加熱・乾燥して半硬化状にしたものと銅箔やアルミニウ
ム箔などの金属箔と重ね、加熱・加圧して積層一体化し
たものや、金属箔にその樹脂ワニスをブレードコータ、
ロッドコータ、ナイフコータ、スクイズコータ、リバー
スロールコータ、トランスファロールコータ等によっ
て、均一な厚さに塗布し、加熱・乾燥して半硬化状にし
たもの、あるいは、そのような金属箔付樹脂層を、内層
回路板の上に重ね、加熱・加圧して積層一体化したも
の、上記のプリプレグを加熱硬化した樹脂板の上にめっ
きしたもの、内層回路板の上に、その樹脂ワニスをブレ
ードコータ、ロッドコータ、ナイフコータ、スクイズコ
ータ、リバースロールコータ、トランスファロールコー
タ等によって、均一な厚さに塗布し、加熱・乾燥して硬
化したものの表面にめっきしたもの、あるいは、金属箔
付樹脂層を、内層回路板の上に重ね、加熱・加圧して積
層一体化したものから金属箔をエッチング除去した後に
その表面にめっきをしたものなどがある。
Further, a laminated board comprising the resin and the metal layer of the present invention is a prepreg obtained by dissolving the above resin composition in a solvent such as methyl ethyl ketone or isopropyl alcohol to form a resin varnish into a glass cloth. age,
Heated and dried to a semi-cured state and layered with metal foil such as copper foil or aluminum foil, and laminated by heating and pressing, or a resin coat of metal foil with a blade coater,
A rod coater, a knife coater, a squeeze coater, a reverse roll coater, a transfer roll coater, or the like, is applied to a uniform thickness, heated and dried to a semi-cured state, or such a resin layer with a metal foil, Laminated on the inner layer circuit board, lamination and integration by heating and pressing, the above prepreg plated on a heat-cured resin plate, the resin varnish on the inner layer circuit board, blade coater, rod Coating with a uniform coater, knife coater, squeeze coater, reverse roll coater, transfer roll coater, etc. After the metal foil is etched off from the laminated and integrated one by heating and pressing, the surface is plated. Things, and the like.

【0024】内層回路を形成した内層回路板には、通常
のプリント配線板に用いる内層回路板を用いることがで
き、プリント配線板用銅張り積層板の不要な銅箔をエッ
チング除去して回路を形成したもの、あるいは必要に応
じて、プリント配線板用両面銅張り積層板に穴をあけ、
無電解めっきを行って穴内壁にめっき金属を形成し、さ
らに必要ならば電解めっきを行って回路導体に必要な厚
さとし、不要な銅箔とめっき金属をエッチング除去して
回路を形成したものが使用できる。
As the inner layer circuit board on which the inner layer circuit is formed, an inner layer circuit board used for a normal printed wiring board can be used, and unnecessary copper foil of the copper-clad laminate for a printed wiring board is removed by etching to form a circuit. Drill holes in the formed or, if necessary, double-sided copper-clad laminate for printed wiring boards.
Electroless plating is performed to form a plating metal on the inner wall of the hole, and if necessary, electrolytic plating is performed to achieve the required thickness for the circuit conductor, and unnecessary copper foil and plating metal are removed by etching to form a circuit. Can be used.

【0025】内層回路を形成した内層回路板の上に、上
記の金属箔付樹脂層を、重ね、加熱・加圧して積層一体
化した後に、内層回路に達する穴を、この金属箔の上か
ら、レーザを照射してあけることができる。また、金属
箔の厚さが厚い場合には、一旦金属箔をエッチング除去
して、めっきによって金属層を形成した後に、その金属
層の上からレーザを照射してバイアホールをあけること
ができる。このときには、めっきの前に樹脂層を粗化し
ておくことが好ましく、一般的な酸性の酸化性粗化液や
アルカリ性の酸化性粗化液を用いることができる。例え
ば、酸性の酸化性粗化液としては、クロム/硫酸粗化液
があり、アルカリ性の酸化性粗化液は過マンガン酸カリ
ウム粗化液等を用いることができる。樹脂層を酸化性の
粗化液で粗化した後は、絶縁樹脂表面の酸化性粗化液を
化学的に中和する必用があるが、これも一般的な手法を
取り入れることができる。例えば、クロム/硫酸粗化液
を用いたときには、亜硫酸水素ナトリウム10g/lを
用いて室温で5分間処理し、また、過マンガン酸カリウ
ム粗化液を用いたときには、硫酸150ml/lと過酸
化水素水15ml/lの水溶液に室温で5分間浸漬して
中和を完了させるなどである。
After the resin layer with a metal foil is overlaid on the inner circuit board on which the inner circuit is formed, and laminated by laminating by heating and pressing, a hole reaching the inner layer circuit is formed from above the metal foil. Can be opened by irradiating a laser. When the thickness of the metal foil is large, the metal foil is once removed by etching, a metal layer is formed by plating, and then a via hole can be formed by irradiating a laser from above the metal layer. At this time, it is preferable to roughen the resin layer before plating, and a general acidic oxidizing roughening solution or an alkaline oxidizing roughening solution can be used. For example, as the acidic oxidizing roughening solution, there is a chromium / sulfuric acid roughening solution, and as the alkaline oxidizing roughening solution, a potassium permanganate roughening solution or the like can be used. After the resin layer is roughened with the oxidizing roughening solution, it is necessary to chemically neutralize the oxidizing roughening solution on the surface of the insulating resin, but this can also adopt a general method. For example, when a roughening solution of chromium / sulfuric acid is used, it is treated with 10 g / l of sodium bisulfite at room temperature for 5 minutes, and when a roughening solution of potassium permanganate is used, 150 ml / l of sulfuric acid and peroxide are used. For example, it is immersed in an aqueous solution of 15 ml / l of hydrogen water at room temperature for 5 minutes to complete the neutralization.

【0026】レーザ照射によるあなあけに用いるレーザ
加工機のレーザの種類については、炭酸ガスレーザ、U
V−YAGレーザ等、特に制限されない。穴あけ条件
は、金属箔の厚さと樹脂の種類及び樹脂の厚さにより調
整しなければならず、実験的に求めるのが好ましく、エ
ネルギー量としては、0.001W〜1Wの範囲内であ
って、レーザ発振用の電源をパルス状に印加し、一度に
大量のエネルギーが集中しないよう制御しなければなら
ない。この穴あけ条件の調整は、内層回路板の内層回路
に達する穴があけられることと、穴径をできるだけ小さ
くするために、レーザ発振用の電源を駆動するパルス波
形デューティー比で1/1000〜1/10の範囲で、
1〜20ショット(パルス)であることが好ましい。波
形デューティー比が1/1000未満であると穴をあけ
るのに時間がかかりすぎ効率的でなく、1/10を越え
ると照射エネルギーが大きすぎて穴径が1mm以上に大
きくなり実用的でない。ショット(パルス)数は、穴内
の接着剤が内層回路に達するところまで蒸発できるよう
にする数を実験的に求めればよく、1ショット未満では
穴があけられず、20ショットを越えると、1ショット
のパルスの波形デューティー比が1/1000近くであ
っても穴径が大きくなり実用的でない。また、金属層の
表面は、あまりに平滑であると、レーザ光を反射してし
まい蒸散しないこともあるので、適当に粗化してあるこ
とが好ましい。粗化の程度は、レーザ光を吸収できる程
度の色相を呈すればよく、例えば、塩化第二銅と塩酸か
らなる化学エッチング液や過硫酸アンモニウム溶液など
で表面の金属色が曇る程度でよい。
Regarding the type of laser of a laser processing machine used for drilling by laser irradiation, carbon dioxide laser, U.S.A.
There is no particular limitation on a V-YAG laser or the like. The drilling conditions must be adjusted depending on the thickness of the metal foil, the type of the resin, and the thickness of the resin, and are preferably obtained experimentally. The energy amount is in the range of 0.001 W to 1 W, A power supply for laser oscillation must be applied in a pulsed form to control so that a large amount of energy is not concentrated at once. The adjustment of the drilling condition is performed in such a manner that a hole reaching the inner layer circuit of the inner layer circuit board is formed, and a pulse waveform duty ratio for driving a laser oscillation power supply is 1/1000 to 1/1000 in order to minimize the hole diameter. In the range of 10,
The number of shots is preferably 1 to 20 shots (pulse). If the waveform duty ratio is less than 1/1000, it takes too much time to form a hole, which is not efficient. If it exceeds 1/10, the irradiation energy is too large and the hole diameter becomes 1 mm or more, which is not practical. The number of shots (pulses) may be determined experimentally as a number that allows the adhesive in the holes to evaporate to the point where the adhesive reaches the inner layer circuit. Even if the waveform duty ratio of the pulse is near 1/1000, the hole diameter becomes large, which is not practical. Also, if the surface of the metal layer is too smooth, it reflects the laser beam and may not evaporate, so it is preferable that the surface is appropriately roughened. The degree of the roughening may be such that it can exhibit a hue that can absorb the laser beam, and for example, may be such a degree that the metal color on the surface becomes cloudy with a chemical etching solution composed of cupric chloride and hydrochloric acid or an ammonium persulfate solution.

【0027】外層回路は、上記金属層をそのまま用いる
こともできるが、バイアホール内を金属化するときに金
属層の上にめっきされ、導体の厚さが厚くなってエッチ
ング精度が低下するおそれがあるときには、金属層をエ
ッチング除去することが好ましい。バイアホールを形成
下の知に、バイアホール内の接着剤のかすを除去するた
めのにデスミア処理を行うことが好ましく、このデスミ
ア処理は、一般的な酸性の酸化性粗化液やアルカリ性の
酸化性粗化液を用いることができる。例えば、酸性の酸
化性粗化液としては、クロム/硫酸粗化液があり、アル
カリ性の酸化粗化液は過マンガン酸カリウム粗化液等を
用いることができる。樹脂層を酸化性の粗化液で粗化し
た後は、絶縁樹脂表面の酸化性粗化液を化学的に中和す
る必用があるが、これも一般的な手法を取り入れること
ができる。例えば、クロム/硫酸粗化液を用いたときに
は、亜硫酸水素ナトリウム10g/lを用いて室温で5
分間処理し、また、過マンガン酸カリウム粗化液を用い
たときには、硫酸150ml/lと過酸化水素水15m
l/lの水溶液に室温で5分間浸漬して中和を完了させ
るなどである。
In the outer layer circuit, the above metal layer can be used as it is. However, when the inside of the via hole is metallized, there is a possibility that the thickness of the conductor is increased and the etching accuracy is reduced. In some cases, it is preferable to etch away the metal layer. It is preferable to perform desmear treatment to remove the adhesive residue in the via holes, which is known when forming the via holes.This desmear treatment is performed by a general acidic oxidizing roughening solution or alkaline oxidizing solution. A roughening solution can be used. For example, as the acidic oxidizing roughening solution, there is a chromium / sulfuric acid roughening solution, and as the alkaline oxidizing roughening solution, a potassium permanganate roughening solution or the like can be used. After the resin layer is roughened with the oxidizing roughening solution, it is necessary to chemically neutralize the oxidizing roughening solution on the surface of the insulating resin, but this can also adopt a general method. For example, when a chromium / sulfuric acid roughening solution is used, 10 g / l of sodium bisulfite is used at room temperature for 5 hours.
Minutes, and when using a potassium permanganate roughened solution, sulfuric acid 150 ml / l and hydrogen peroxide solution 15 m
For example, it is immersed in a 1 / l aqueous solution at room temperature for 5 minutes to complete the neutralization.

【0028】このようにした後に外層回路としての導体
を形成するために行う銅めっきは、無電解めっきと同じ
方法でもよいし、薄く無電解めっきした後に、たとえ
ば、硫酸銅浴やピロリン酸銅浴のような電解めっきを行
って回路導体に必要な厚さとすることができる。このと
きに重要なのは、形成したバイアホールの内壁に無電解
めっきをし、内層回路導体と外層回路とを接続するめっ
き銅を形成することである。その後に、回路導体の厚さ
が1〜15μm位の厚さならば無電解めっきでも形成で
きるし、15μmを越えるようならば電解めっきを併用
することもできる。好ましくは、精密な配線を形成する
には、無電解めっきで形成するのが表面が平坦になり好
ましい。また、めっきの前にめっきレジストを形成し、
回路の形状にのみめっきを行うことによって回路を形成
することもできる。
The copper plating performed to form a conductor as an outer layer circuit after the above-described process may be the same method as the electroless plating, or after a thin electroless plating, for example, a copper sulfate bath or a copper pyrophosphate bath. The thickness required for the circuit conductor can be obtained by performing such electrolytic plating. What is important at this time is that the inner wall of the formed via hole is subjected to electroless plating to form plated copper for connecting the inner layer circuit conductor and the outer layer circuit. Thereafter, if the thickness of the circuit conductor is about 1 to 15 μm, it can be formed by electroless plating, and if it exceeds 15 μm, electrolytic plating can be used together. Preferably, in order to form a precise wiring, it is preferable to form the wiring by electroless plating because the surface becomes flat. Also, a plating resist is formed before plating,
The circuit can also be formed by plating only the shape of the circuit.

【0029】このようにして銅めっきした後、形成する
回路の形状に、エッチングレジストを形成し、エッチン
グレジストに覆われていない箇所を、塩化第二銅と塩酸
からなるエッチング液や過硫酸アンモニウムなどのエッ
チング液を、スプレー噴霧してエッチング除去し、回路
を形成することもできる。さらにまた、銅めっきを薄く
しておき、その上にめっきレジストを形成して回路の形
状にだけ電解めっきを行って厚く導体を形成し、めっき
レジストを剥離除去し、その下にあった薄い銅めっきを
エッチング除去して回路を形成することもできる。
After copper plating in this manner, an etching resist is formed in the shape of the circuit to be formed, and a portion not covered with the etching resist is removed by using an etching solution containing cupric chloride and hydrochloric acid or ammonium persulfate. The etchant can be removed by spraying to form a circuit. Furthermore, the copper plating is thinned, a plating resist is formed thereon, electrolytic plating is performed only on the shape of the circuit to form a thick conductor, the plating resist is peeled off, and the thin copper underneath is formed. The circuit can also be formed by removing the plating by etching.

【0030】[0030]

【実施例】1)下記の材料を用い、銅箔付き絶縁樹脂の
ワニスを作製した。 ・ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂: エピクロンN−865(大日本インキ株式会社製、商品名) …100重量部 ・フェノールノボラック樹脂: N−740(大日本インキ株式会社製、商品名) …60重量部 ・末端カルボキシル化アクリロニトリルブタジエンゴム: PNR−1H(JSR社製、商品名) …30重量部 ・アルキルフェノールフォルムアルデヒド樹脂: ヒタノール2400(日立化成工業株式会社製、商品名) …3.5重量部 ・1−シアノ−2−エチル−4−メチルイミダゾール: 2E4MZ−CN(四国化成株式会社製、商品名) …0.7重量部 ・ブタノン: …150重量部 ・タルク タルクSWA(浅田製粉株式会社製、商品名) …30重量部 を配合した後、混練・攪拌して樹脂ワニスを調整した。 2)この樹脂ワニスを、厚さ35μmの銅箔GTS(古
河サーキットフォイル社製、商品名)に、乾燥・硬化後
での絶縁樹脂層の厚さが80μmになるように塗布し、
120℃で15分間乾燥し銅箔付き絶縁樹脂を作製し
た。 3)銅箔付き絶縁樹脂を、100×100mmに切断し
た後、有機溶剤としてメタノールを用い、このメタノー
ルに銅箔付き絶縁樹脂端部1mm程度を2秒浸漬するこ
とにより処理を行った。そして、残りの端部にも同様の
処理を行った後、80℃に保った乾燥機に1分間投入し
乾燥した。この銅箔付き絶縁樹脂について樹脂粉末発生
量を測定した。表1にこの結果を示す。 4)3)の端部に処理を行った銅箔付き絶縁樹脂を、ガ
ラス・エポキシ樹脂銅張積層板(積層板厚:0.6m
m、銅箔厚35μm)、MCL−E−67(日立化成工
業株式会社製、商品名)の両面に銅黒化処理を施した
後、絶縁樹脂層を積層板側に向け、真空下で加温加圧積
層(温度:170℃、圧力:3MPa、保持時間:90
分)して多層積層板を作製した。そして、この多層積層
板を目視にて観察し、表面上の凹凸数を測定した。ま
た、多層積層板を25×25mmに切断し、はんだ耐熱
性の評価を行った。表1にこれら結果を示す。
EXAMPLES 1) A varnish of an insulating resin with a copper foil was prepared using the following materials. -Bisphenol A novolak epoxy resin: Epicron N-865 (Dai Nippon Ink Co., Ltd., trade name) ... 100 parts by weight-Phenol novolak resin: N-740 (Dai Nippon Ink Co., Ltd., trade name) ... 60 parts by weight -Terminal carboxylated acrylonitrile butadiene rubber: PNR-1H (manufactured by JSR Corporation, trade name) ... 30 parts by weight-Alkylphenol formaldehyde resin: Hitanol 2400 (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name) ... 3.5 parts by weight-1 -Cyano-2-ethyl-4-methylimidazole: 2E4MZ-CN (manufactured by Shikoku Chemicals Co., Ltd., trade name) ... 0.7 parts by weight-Butanone: ... 150 parts by weight-Talc Talc SWA (manufactured by Asada Flour Milling Co., Ltd.) ) 30 parts by weight, and then kneaded and stirred to prepare a resin varnish. 2) This resin varnish was applied to a copper foil GTS (trade name, manufactured by Furukawa Circuit Foil) having a thickness of 35 μm so that the insulating resin layer after drying and curing had a thickness of 80 μm.
It dried at 120 degreeC for 15 minutes, and produced the insulating resin with a copper foil. 3) After cutting the insulating resin with the copper foil into 100 × 100 mm, a treatment was performed by using methanol as an organic solvent and immersing about 1 mm of the end of the insulating resin with the copper foil in the methanol for 2 seconds. Then, after the same processing was performed on the remaining end, it was put into a dryer kept at 80 ° C. for 1 minute and dried. The amount of resin powder generated for this insulating resin with copper foil was measured. Table 1 shows the results. 4) Apply the treated insulating resin with copper foil to the end of 3) to a glass-epoxy resin copper-clad laminate (laminate thickness: 0.6 m).
m, copper foil thickness 35 μm) and MCL-E-67 (trade name, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.), after both surfaces were subjected to copper blackening treatment, and the insulating resin layer was turned to the laminate side and applied under vacuum. Hot and pressure lamination (temperature: 170 ° C., pressure: 3 MPa, holding time: 90
) To produce a multilayer laminate. The multilayer laminate was visually observed, and the number of irregularities on the surface was measured. Further, the multilayer laminate was cut into 25 × 25 mm, and solder heat resistance was evaluated. Table 1 shows the results.

【0031】比較例 実施例において、銅箔付き絶縁樹脂の切断後の端部処理
を行わない以外は、実施例と同様とし、特性評価を行っ
た。表1にこの結果を示す。
Comparative Example A characteristic evaluation was performed in the same manner as in the example, except that the edge treatment after cutting the insulating resin with the copper foil was not performed. Table 1 shows the results.

【0032】[0032]

【表1】 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 樹脂粉末発生量 表面凹凸数 はんだ耐熱性 (%) (個/dm2) (秒) ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 実施例 0.08 0.1 180以上 比較例 0.67 5−10 180以上 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━[Table 1] 発 生 Generated resin powder Number of surface irregularities Solder heat resistance (%) (pcs / dm 2 (Second) 例 Example 0.08 0.1 180 or more Comparative Example 0.67 5-10 180 or more ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━

【0033】(測定方法) 1)樹脂粉末発生量 100×100mmに切断した銅箔付き絶縁樹脂を5枚
重ねた状態で重量を測定し、落下前重量とした。これを
水平な実験台上で垂直につまみ、20mmの高さから2
0回落下させた後、重量を測定し落下後重量とし、次式
により樹脂粉末発生量を算出した。 樹脂粉末発生量(%)=(落下前重量−落下後重量)/
落下前重量×100 2)表面凹凸数 銅箔付き絶縁樹脂を、銅黒化処理をした銅張り積層板に
真空下で加温加圧積層し、目視にて確認できる積層板銅
箔表面上の凹凸数を測定した。3)はんだ耐熱性 2)と同様に、銅箔付き絶縁樹脂を銅張り積層板に積層
し、25×25mmに切断した後、288℃のはんだ槽
に浮かべふくれが発生するまでの時間を測定した。
(Measurement Method) 1) Amount of Resin Powder Generated Five pieces of insulating resin with copper foil cut to 100 × 100 mm were weighed, and the weight was determined as the weight before dropping. This is vertically picked up on a horizontal laboratory bench, and 2 mm from a height of 20 mm.
After dropping 0 times, the weight was measured and the weight after dropping was used to calculate the amount of resin powder generated by the following equation. Resin powder generation (%) = (weight before drop-weight after drop) /
Weight before drop x 100 2) Number of surface irregularities The insulating resin with copper foil is laminated under heat and pressure under vacuum on a copper-clad laminate that has been subjected to copper blackening treatment. The number of irregularities was measured. 3) Solder heat resistance In the same manner as in 2), an insulating resin with a copper foil was laminated on a copper-clad laminate, cut into 25 × 25 mm, and the time until blistering occurred in a solder bath at 288 ° C. was measured. .

【0034】[0034]

【発明の効果】以上に説明したとおり、本発明により、
銅箔付き絶縁樹脂の切断時に発生する樹脂粉末の発生量
を抑制できる銅箔付き絶縁樹脂の製造方法を提供するこ
とができる。
As described above, according to the present invention,
It is possible to provide a method for producing an insulating resin with a copper foil, which can suppress the amount of resin powder generated when cutting the insulating resin with a copper foil.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 深井 弘之 茨城県下館市大字小川1500番地 日立化成 工業株式会社下館事業所内 Fターム(参考) 4F100 AB17A AB33A AK01B AK27 AK27J AK29 AK29J AK33 AK53 AL01 AL05 AL07 AN02 BA02 EH462 EJ012 EJ322 EJ822 GB43 JG04B JL06 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Hiroyuki Fukai 1500 Ogawa, Oji, Shimodate-shi, Ibaraki F-term (reference) 4F100 AB17A AB33A AK01B AK27B AK27 AK27J AK29 AK29J AK33 AK53 AL01 AL05 AL07 AL02 AN02 BA02 EH462 EJ012 EJ322 EJ822 GB43 JG04B JL06

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】銅箔の片面に絶縁樹脂層を形成し、必要な
サイズに切断した後に、銅箔付き絶縁樹脂の切断部を、
前記絶縁樹脂層を溶解する液体で処理する工程を有する
銅箔付き絶縁樹脂の製造方法。
An insulating resin layer is formed on one side of a copper foil and cut to a required size.
A method for producing an insulating resin with a copper foil, comprising a step of treating the insulating resin layer with a liquid that dissolves the insulating resin layer.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011231523A (en) * 2010-04-28 2011-11-17 Otis co ltd Fixture on roof

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