JP2001176759A - Solid electrolytic capacitor and method of manufacturing the same - Google Patents

Solid electrolytic capacitor and method of manufacturing the same

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JP2001176759A
JP2001176759A JP35482199A JP35482199A JP2001176759A JP 2001176759 A JP2001176759 A JP 2001176759A JP 35482199 A JP35482199 A JP 35482199A JP 35482199 A JP35482199 A JP 35482199A JP 2001176759 A JP2001176759 A JP 2001176759A
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sintered body
oxide film
anode lead
manganese dioxide
embedded
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Kentaro Naka
健太郎 中
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Rohm Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a solid electrolytic capacitor which can reduce the occurrence of leakage currents, and to provide a method of manufacturing the capacitor. SOLUTION: A capacitor element is manufactured, in such a way that a square sintered body 10 containing an anode lead 11 embedded in one wall is formed of valve action metal powder (a) and an oxidized film 17 is formed by thermally oxidizing the surface embedding the lead 11 (hereinafter called the 'upper surface') of the sintered body 10 (b). In addition, coating oxidized films 14 are formed around the metal powder and on the outer periphery of the sintered body 10 by anodic oxidation (c), and manganese dioxide layers 15 are formed around the metal powder and on the outer periphery of the sintered body 10 (d). Finally, metal layers 16, composed of graphite layers, silver layers, etc., are formed on manganese dioxide layers 15 (e).

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はタンタル粉末などの
弁作用金属粉末の焼結体からなる固体電解コンデンサお
よびその製法に関する。さらに詳しくは、とくに陽極リ
ードの根元付近で発生しやすいリーク不良を低減させた
信頼性の高い固体電解コンデンサおよびその製法に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a solid electrolytic capacitor comprising a sintered body of a valve metal powder such as a tantalum powder and a method for producing the same. More particularly, the present invention relates to a highly reliable solid electrolytic capacitor in which a leak defect that is likely to occur near the root of an anode lead is reduced, and a method for manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のタンタル電解コンデンサのような
固体電解コンデンサに内蔵されるコンデンサ素子1を製
造するには、図3(a)に示されるように、たとえばT
a粉末を用い、一壁面にTaワイヤなどの陽極リード1
1を埋設した直方体または立方体形状の成形体を作り、
真空雰囲気で焼結する。そして、粉末の周囲および焼結
体10の外周にTa25などの誘電体層(酸化皮膜)1
4および二酸化マンガン層15を形成する。さらに外周
に、グラファイト層、銀樹脂層などからなる金属層16
をそれぞれ形成している。その結果、外周壁が陰極12
になっている。なお、13はテフロンリングで、二酸化
マンガン層15などを形成するときの液に浸漬する際
に、陽極リード11の方に液が昇らないようにするため
に設けられている。
2. Description of the Related Art In order to manufacture a capacitor element 1 built in a solid electrolytic capacitor such as a conventional tantalum electrolytic capacitor, as shown in FIG.
A powdered anode lead 1 on one wall such as Ta wire
Create a rectangular or cubic shaped body with embedded 1
Sinter in a vacuum atmosphere. A dielectric layer (oxide film) 1 such as Ta 2 O 5 is formed around the powder and the outer periphery of the sintered body 10.
4 and a manganese dioxide layer 15 are formed. Further, a metal layer 16 composed of a graphite layer, a silver resin layer, etc.
Are formed respectively. As a result, the outer peripheral wall is
It has become. Reference numeral 13 denotes a Teflon ring which is provided to prevent the liquid from rising toward the anode lead 11 when immersed in the liquid for forming the manganese dioxide layer 15 and the like.

【0003】このコンデンサ素子1が、図3(b)に示
されるように、コンデンサ素子1の陽極リード11が第
1の外部リード2と電気溶接などにより電気的に接続さ
れ、コンデンサ素子1の側壁に形成される陰極12がヒ
ューズ機能を有するワイヤ4を介して、第2の外部リー
ド3とそれぞれ電気的に接続され、その周囲が樹脂によ
りモールド成形されて樹脂製パッケージ5で被覆される
ことにより形成されている。第1および第2の外部リー
ド2、3は、モールドにより樹脂製パッケージ5が形成
された後にリードフレームから切断されて分離され、フ
ォーミングされることにより、図3(b)に示される構
造に形成されている。
As shown in FIG. 3 (b), the anode lead 11 of the capacitor element 1 is electrically connected to the first external lead 2 by electric welding or the like. Are electrically connected to the second external leads 3 via wires 4 having a fuse function, and the periphery thereof is molded with a resin and covered with a resin package 5. Is formed. The first and second external leads 2 and 3 are cut and separated from the lead frame after the resin package 5 is formed by molding, and are formed into a structure shown in FIG. 3B. Have been.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】前述のように、コンデ
ンサ素子は、金属粉末の外周に陽極酸化による酸化皮膜
が形成され、さらにその表面に二酸化マンガン層が形成
され、焼結体の外周に陰極が形成されている。しかし、
後述する理由により陽極リード11と陰極12との間の
リーク電流が大きいものが存在する。コンデンサは、本
来直流に対しては完全な絶縁体でなければならず、陽極
と陰極間にリーク電流が流れ、電気的特性が低下するこ
とは、特性上の大きな欠点になるという問題がある。
As described above, the capacitor element has an oxide film formed by anodic oxidation on the outer periphery of metal powder, a manganese dioxide layer formed on the surface thereof, and a cathode on the outer periphery of the sintered body. Are formed. But,
For some reasons, the leakage current between the anode lead 11 and the cathode 12 is large. A capacitor is essentially a complete insulator against direct current, and there is a problem in that a leak current flows between the anode and the cathode and the electrical characteristics are reduced, which is a major drawback in the characteristics.

【0005】本発明は、このような問題を解決するため
になされたもので、リーク電流を少なくし得る固体電解
コンデンサおよびその製法を提供することを目的とす
る。
The present invention has been made to solve such a problem, and an object of the present invention is to provide a solid electrolytic capacitor capable of reducing a leak current and a method of manufacturing the same.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明者は、タンタルコ
ンデンサなどの固体電解コンデンサでのリーク電流が発
生する原因を鋭意検討を重ねて調べた結果、とくに陽極
リードが埋め込まれた壁面での酸化皮膜のクラックなど
に起因して、陽極リードが埋め込まれる上面で大部分の
リーク不良が発生することを見出した。そして、さらに
鋭意検討を重ねた結果、酸化皮膜や二酸化マンガン層
は、リン酸水溶液などに焼結体を浸漬させて陽極酸化を
行ったり、硝酸マンガン水溶液中に浸漬させて含浸させ
た後、硝酸マンガンを分解する方法で形成され、コンデ
ンサ素子の上面は浸漬する溶液の一番上面(陽極リード
まで浸漬させることができない)であるため、上面の酸
化皮膜などを陽極酸化により他の部分より厚く形成する
ことは不可能である反面、上面は陽極リードの外部リー
ドとの溶接など、外力が加わる機会が非常に多いことに
起因していることを見出した。
The inventor of the present invention has conducted intensive studies on the cause of the occurrence of leakage current in a solid electrolytic capacitor such as a tantalum capacitor. It has been found that most leak defects occur on the upper surface in which the anode lead is embedded due to cracks in the film. After further intensive studies, the oxide film and manganese dioxide layer were anodized by immersing the sintered body in an aqueous phosphoric acid solution or impregnated by immersion in an aqueous manganese nitrate solution. It is formed by the method of decomposing manganese, and the top surface of the capacitor element is the top surface of the immersion solution (it cannot be immersed up to the anode lead), so the oxide film on the top surface is formed thicker than other parts by anodic oxidation On the other hand, it has been found that the upper surface is caused by an extremely large number of opportunities to apply an external force, such as welding of the anode lead to an external lead.

【0007】そして、コンデンサ素子の上面(陽極リー
ドの埋め込まれる面)のみを熱酸化してその酸化膜を厚
くすることにより、コンデンサの特性に殆ど影響を与え
ることなく、リーク電流を大幅に減らすことができるこ
とを見出した。
By increasing the thickness of the oxide film by thermally oxidizing only the upper surface of the capacitor element (the surface where the anode lead is embedded), the leakage current can be significantly reduced without substantially affecting the characteristics of the capacitor. I found that I can do it.

【0008】本発明による固体電解コンデンサは、金属
粉末の焼結体と、該焼結体の一壁面に埋め込まれる陽極
リードと、前記焼結体の内部および外周に形成される金
属粉末の酸化皮膜と、前記焼結体の前記一壁面に該酸化
皮膜より厚く形成される酸化膜と、前記酸化皮膜の外側
に形成される二酸化マンガン層と、該二酸化マンガン層
の外側に設けられる金属層とからコンデンサ素子が形成
されている。
[0008] A solid electrolytic capacitor according to the present invention comprises a sintered body of metal powder, an anode lead embedded in one wall surface of the sintered body, and an oxide film of metal powder formed on the inside and outer periphery of the sintered body. An oxide film formed thicker than the oxide film on the one wall surface of the sintered body, a manganese dioxide layer formed outside the oxide film, and a metal layer provided outside the manganese dioxide layer. A capacitor element is formed.

【0009】本発明による固体電解コンデンサの製法
は、(a)弁作用金属粉末により一壁面に陽極リードを
埋め込んだ焼結体を形成し、(b)該焼結体の前記陽極
リードを埋め込んだ面のみを熱酸化し、(c)陽極酸化
をすることにより、前記焼結体の内部および外周に酸化
皮膜を形成し、(d)該酸化皮膜の外側に二酸化マンガ
ン層を形成し、(e)前記外周の二酸化マンガン層上に
金属層を形成することによりコンデンサ素子を形成する
ことを特徴とする。
The method for manufacturing a solid electrolytic capacitor according to the present invention comprises the steps of (a) forming a sintered body in which an anode lead is embedded in one wall surface with valve metal powder, and (b) embedding the anode lead of the sintered body. Thermally oxidizing only the surface and (c) anodizing to form an oxide film on the inside and the outer periphery of the sintered body; (d) forming a manganese dioxide layer on the outside of the oxide film; The capacitor element is formed by forming a metal layer on the manganese dioxide layer on the outer periphery.

【0010】この構造および製法によれば、とくに外力
が加わりやすい陽極リードが埋め込まれた面の酸化皮膜
が陽極酸化による酸化皮膜だけではなく、熱酸化による
酸化膜が厚く形成されており、より強固な酸化皮膜にな
ると共に厚く酸化皮膜が形成されているため、陽極リー
ドから加わる外力に対しても、酸化皮膜にクラックなど
が入りにくくなって、リーク電流を防止することができ
る。
According to this structure and the manufacturing method, the oxide film formed on the surface where the anode lead is particularly susceptible to external force is not only an oxide film formed by anodic oxidation but also a thick oxide film formed by thermal oxidation. Since the oxide film becomes thick and the oxide film is formed thickly, cracks and the like hardly occur in the oxide film even with an external force applied from the anode lead, so that a leak current can be prevented.

【0011】前記陽極リードを埋め込んだ面のみを熱酸
化する方法を、焼結されたコンデンサ素子の外周形状と
一致させた凹部が形成された容器内に、前記コンデンサ
素子の一壁面のみが露出するように入れて容器ごと熱酸
化することにより、焼結体の上面のみを熱酸化させるこ
とができ、他の部分は酸化皮膜が必要以上に厚くならな
いため、容量が低下することもなく、高特性を維持しな
がらリーク電流を減少させることができる。
The method of thermally oxidizing only the surface in which the anode lead is embedded is performed by exposing only one wall surface of the capacitor element in a container having a concave portion corresponding to the outer peripheral shape of the sintered capacitor element. In this way, the entire surface of the sintered body can be thermally oxidized by thermal oxidation, and the oxide film does not become unnecessarily thick in the other parts. , While reducing the leakage current.

【0012】前記容器が、表面に炭素が塗布されたアル
ミナからなれば、とくに耐熱性に優れると共に、炭素に
よる還元により、露出する上面以外の酸化を防止するこ
とができるという利点がある。
If the container is made of alumina coated with carbon on the surface, there is an advantage that the heat resistance is particularly excellent and the oxidation of the surface other than the exposed upper surface can be prevented by reduction with carbon.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】つぎに、図面を参照しながら本発
明の固体電解コンデンサおよびその製法について説明を
する。本発明の固体電解コンデンサは、図1に本発明の
製法の一実施形態であるコンデンサ素子を製造する方法
のフローチャートおよびコンデンサ素子の断面説明図が
示されるように、弁作用金属粉末により一壁面に陽極リ
ード11を埋め込んだ角形または円柱状の焼結体10が
形成されている。その焼結体の陽極リード11を埋め込
んだ面(以下、上面ともいう)のみを熱酸化することに
より、後述する陽極酸化による酸化皮膜14より厚い酸
化膜17が形成されている。そして、焼結体10を陽極
酸化することにより、焼結体10の内部(金属粉末の周
囲)および外周に酸化膜皮膜14が形成されている。さ
らに、酸化皮膜14の外側に二酸化マンガン層15が形
成され、外周の二酸化マンガン層15上にグラファイト
層および銀層などからなる金属層16が設けられること
によりコンデンサ素子1が形成されている。つぎに、図
1を参照しながら製造工程順に詳細に説明をする。
Next, a solid electrolytic capacitor of the present invention and a method for manufacturing the same will be described with reference to the drawings. The solid electrolytic capacitor of the present invention, as shown in FIG. 1 is a flowchart of a method of manufacturing a capacitor element according to an embodiment of the present invention and a cross-sectional explanatory view of the capacitor element. A rectangular or columnar sintered body 10 having an anode lead 11 embedded therein is formed. By thermally oxidizing only the surface of the sintered body in which the anode lead 11 is embedded (hereinafter, also referred to as the upper surface), an oxide film 17 thicker than the oxide film 14 formed by anodic oxidation described later is formed. Then, oxide film 14 is formed inside (around the metal powder) and outer periphery of sintered body 10 by anodizing sintered body 10. Further, a manganese dioxide layer 15 is formed outside the oxide film 14, and a metal layer 16 made of a graphite layer, a silver layer, or the like is provided on the outer manganese dioxide layer 15, thereby forming the capacitor element 1. Next, a detailed description will be given in the order of the manufacturing steps with reference to FIG.

【0014】(a)まず、たとえばタンタル粉末からな
る弁作用金属粉末を0.3mm立方程度から数mm立方
程度(直方体や円柱でもよい)の大きさに成形し、その
一壁面に陽極リード11とする、たとえば太さが0.2
mmφ程度のタンタル線を埋め込んで成形体を作製する
(S1)。弁作用金属としては、タンタルの他に、ニオ
ブ、モリブデンなどの金属を用いることができる。そし
て、真空中で1400〜2300℃で20〜30分程度
の時間焼結することにより、陽極リード11が一壁面に
埋め込まれた焼結体10を形成する(S2)。
(A) First, a valve metal powder made of, for example, tantalum powder is formed into a size of about 0.3 mm cubic to several mm cubic (or may be a rectangular parallelepiped or a column), and the anode lead 11 is formed on one wall surface. For example, the thickness is 0.2
A molded body is produced by embedding a tantalum wire of about mmφ (S1). As the valve metal, metals such as niobium and molybdenum can be used in addition to tantalum. Then, by sintering in a vacuum at 1400 to 2300 ° C. for about 20 to 30 minutes, a sintered body 10 having the anode lead 11 embedded in one wall surface is formed (S2).

【0015】(b)つぎに、その焼結体の陽極リード1
1を埋め込んだ上面のみを熱酸化し、酸化膜17を形成
する。この熱酸化は、焼結体10の上面のみに行い、他
の側壁や底面および内部の金属粉末の周囲には熱酸化膜
を形成しないように行う。たとえば図2に示されるよう
に、アルミナなどからなり、焼結体の大きさに合せて凹
部21が形成された容器20に陽極リード11が埋め込
まれた焼結体10を挿入し、焼結体の上面のみを露出す
るようにして、加熱炉に入れ、1000℃程度で20分
程度の熱酸化を行う。この程度の熱酸化を行うことによ
り、Ta粉末の表面が酸化して、たとえば0.1〜0.3
μm程度の厚さのタンタル酸化膜(Ta 25)などの、
非晶質の金属酸化膜17が形成される(S3)。
(B) Next, the anode lead 1 of the sintered body
Only the upper surface embedded with 1 is thermally oxidized to form an oxide film 17
I do. This thermal oxidation is performed only on the upper surface of the sintered body 10,
Thermal oxide film on the side and bottom surfaces of metal and around the metal powder inside
Is performed so as not to form. For example, as shown in FIG.
Made of alumina, etc., concave according to the size of the sintered body
The anode lead 11 is embedded in the container 20 in which the portion 21 is formed.
Insert the sintered body 10 and expose only the upper surface of the sintered body.
And put in a heating furnace at about 1000 ° C for 20 minutes
Perform a degree of thermal oxidation. By performing this degree of thermal oxidation,
As a result, the surface of the Ta powder is oxidized to, for example, 0.1 to 0.3.
A tantalum oxide film (Ta TwoOFive)
An amorphous metal oxide film 17 is formed (S3).

【0016】酸化に用いる容器20は、焼結体の外周が
殆ど一致するような大きさに凹部21が形成され、その
外表面には炭素がコーティングされている。この凹部2
1の大きさが焼結体10の外周と殆ど一致するように形
成されるのは、焼結体の外周が空気と接触して酸化しな
いようにするためである。このようにすることにより、
焼結体の外周に酸化防止剤を塗布することなく、外周お
よび内部の金属粉末の周囲に酸化膜を形成するのを防止
することができるため、必要以上に焼結体10の外周お
よび金属粉末周囲の酸化皮膜を厚くして、容量が低下す
るのを防止することができる。また、容器20の表面に
炭素をコーティングするのは、炭素の還元作用により焼
結体の側壁など上面以外の酸化を防止するためである。
なお、炭素のコーティングは、たとえば容器20を火で
あぶることにより行える。
In the container 20 used for oxidation, a concave portion 21 is formed in such a size that the outer periphery of the sintered body almost coincides, and the outer surface thereof is coated with carbon. This recess 2
The reason why the size 1 is formed so as to substantially match the outer periphery of the sintered body 10 is to prevent the outer periphery of the sintered body from being oxidized by contact with air. By doing this,
It is possible to prevent an oxide film from being formed around the outer and inner metal powders without applying an antioxidant to the outer periphery of the sintered body. The thickness of the surrounding oxide film can be increased to prevent the capacity from decreasing. Further, the reason why the surface of the container 20 is coated with carbon is to prevent oxidation of a portion other than the upper surface such as the side wall of the sintered body due to the reducing action of carbon.
The carbon coating can be performed by, for example, burning the container 20 with fire.

【0017】(c)つぎに、通常のタンタルコンデンサ
の製造工程と同様に、陽極酸化をすることにより、金属
粉末の周囲および焼結体10の外周に酸化皮膜14を形
成する(S4)。具体的には、陽極リード11の付け根
部分にテフロンリング13を被せ、この焼結体10の一
壁面に埋め込まれた陽極リード11の先端部を、たとえ
ばステンレス板で形成されたステンレスバーに数十個程
度溶接する。そして、ステンレスバーに溶接された分を
まとめて、たとえばリン酸水溶液中に浸漬し、陽極リー
ド11を陽極として陽極酸化をすることにより、タンタ
ル粉末の周囲、および焼結体10の周囲にTa25から
なる酸化皮膜(誘電体層)14を形成(化成処理)する
(S4)。この酸化皮膜14の形成は、通常20〜10
0Vの電圧を印加することにより行われ、0.04〜0.
2μm程度の厚さに形成される。前述の熱酸化膜が形成
された表面にもさらに陽極酸化による酸化皮膜が形成さ
れる。
(C) Next, in the same manner as in a normal tantalum capacitor manufacturing process, anodization is performed to form an oxide film 14 around the metal powder and the outer periphery of the sintered body 10 (S4). Specifically, a Teflon ring 13 is put on the base of the anode lead 11, and the tip of the anode lead 11 embedded in one wall surface of the sintered body 10 is attached to a stainless bar formed of, for example, a stainless steel plate by several tens. Weld about pieces. Then, the portions welded to the stainless steel bar are collectively immersed in, for example, a phosphoric acid aqueous solution and subjected to anodic oxidation using the anode lead 11 as an anode, so that Ta 2 powder is formed around the tantalum powder and around the sintered body 10. An oxide film (dielectric layer) 14 made of O 5 is formed (chemical conversion treatment) (S4). The formation of the oxide film 14 is usually 20 to 10
This is carried out by applying a voltage of 0 V, and 0.04 to 0.0.
It is formed to a thickness of about 2 μm. An oxide film is further formed on the surface on which the above-described thermal oxide film is formed by anodic oxidation.

【0018】(d)ついで、金属粉末の周囲および焼結
体10の外周に二酸化マンガン層15を形成する。具体
的には、ステンレスバーに溶接した状態で、前述の焼結
体を硝酸マンガン溶液中に浸漬し、焼結体内に含浸させ
る。そして、炉中で水分を蒸発させると共に、亜硝酸ガ
スがなくなるまで分解して酸化皮膜上に二酸化マンガン
層を形成する(S5)。この場合、焼結体10の内部だ
けでなく、焼結体10の外周の酸化皮膜14上にもに二
酸化マンガン層15を形成する。なお、この二酸化マン
ガン層の形成工程で、前述の酸化皮膜14が破損する部
分が生じるため、再度前述の化成処理と同じ工程を行
い、この工程と共に数回繰り返す(再化成処理)。な
お、焼結体10の外周に二酸化マンガン層15を形成す
るには、電解MnO2の微粒子を分散させた硝酸マンガ
ン水溶液に浸漬して加熱することにより、硝酸マンガン
が分解されて焼結体の外周に外装二酸化マンガン層15
が20〜30μm程度の厚さに形成される。
(D) Next, a manganese dioxide layer 15 is formed around the metal powder and around the sintered body 10. Specifically, the above-described sintered body is immersed in a manganese nitrate solution while being welded to a stainless steel bar, and impregnated into the sintered body. Then, while evaporating the water in the furnace, it is decomposed until the nitrous acid gas disappears to form a manganese dioxide layer on the oxide film (S5). In this case, the manganese dioxide layer 15 is formed not only on the inside of the sintered body 10 but also on the oxide film 14 on the outer periphery of the sintered body 10. In the step of forming the manganese dioxide layer, a portion where the above-mentioned oxide film 14 is damaged occurs. Therefore, the same step as the above-mentioned chemical conversion treatment is performed again, and this step is repeated several times (re-chemical conversion treatment). In order to form the manganese dioxide layer 15 on the outer periphery of the sintered body 10, the manganese nitrate is decomposed by immersion in an aqueous manganese nitrate solution in which fine particles of electrolytic MnO 2 are dispersed, thereby heating the sintered body. Outer manganese dioxide layer 15 on the outer periphery
Is formed to a thickness of about 20 to 30 μm.

【0019】(e)つぎに、外周の二酸化マンガン層1
5上にグラファイト層および銀層などからなる金属層1
6を形成することによりコンデンサ素子を製造する。具
体的には、前述のステンレスバーに溶接したままの状態
で、周囲に二酸化マンガン層15が形成された焼結体1
0をグラファイト水溶液中に浸漬してから引き上げるこ
とにより、外周にグラファイト溶液を塗布する。そし
て、炉中に入れて、たとえば130℃程度で焼き付ける
ことにより、二酸化マンガン層15上にグラファイト層
を1μm〜数μm程度形成し、さらに銀ペースト中に、
同様に浸漬し、その外周に銀ペーストを塗布して200
℃程度で乾燥させることにより、50μm程度の厚さに
銀層などの金属層16を形成し、陰極12とすることに
より、コンデンサ素子1が形成される。
(E) Next, the outer manganese dioxide layer 1
Metal layer 1 composed of graphite layer and silver layer on 5
By forming 6, a capacitor element is manufactured. Specifically, the sintered body 1 having the manganese dioxide layer 15 formed therearound while being welded to the stainless steel bar described above.
The graphite solution is applied to the outer periphery by dipping 0 in an aqueous graphite solution and then pulling it up. Then, it is placed in a furnace and baked at about 130 ° C., for example, to form a graphite layer on the manganese dioxide layer 15 to about 1 μm to several μm.
Dip in the same manner and apply silver paste on the
By drying at about ° C, a metal layer 16 such as a silver layer is formed to a thickness of about 50 μm, and the cathode 12 is used to form the capacitor element 1.

【0020】その後、前述の図3(b)に示されるよう
に、リードフレームなどからなる外部リードに陽極リー
ドおよび陰極が電気的に接続され、その周囲が樹脂によ
りモールド成形されてパッケージが形成されることによ
り、本発明の固体電解コンデンサが得られる。
Thereafter, as shown in FIG. 3B, an anode lead and a cathode are electrically connected to external leads such as a lead frame, and the periphery thereof is molded with a resin to form a package. Thereby, the solid electrolytic capacitor of the present invention is obtained.

【0021】本発明によれば、とくに陽極リードの溶接
などにより応力のかかりやすい、コンデンサ素子の上面
(陽極リードが埋め込まれた壁面)の酸化皮膜を通常の
陽極酸化による酸化皮膜だけでなく、熱酸化による酸化
膜を設けているため、厚くて非常に強固な酸化皮膜(酸
化膜)を形成することができる。その結果、陽極リード
の溶接などに伴う応力に対しても、酸化皮膜にクラック
などが生じることがなく、リーク電流の発生を防止する
ことができる。
According to the present invention, the oxide film on the upper surface of the capacitor element (the wall surface on which the anode lead is embedded), which is apt to be stressed particularly by welding of the anode lead, is not only an oxide film formed by ordinary anodic oxidation, but also a thermal film. Since the oxide film formed by oxidation is provided, a thick and very strong oxide film (oxide film) can be formed. As a result, cracks and the like do not occur in the oxide film even with stress caused by welding of the anode lead and the like, and generation of leak current can be prevented.

【0022】[0022]

【発明の効果】本発明によれば、リーク電流などに伴う
不良を大幅に減少させることができ、歩留りが向上する
と共に、その後の使用状態においてリーク電流が増える
こともなく、信頼性も非常に向上する。
According to the present invention, it is possible to greatly reduce defects due to leakage current and the like, to improve the yield, and to prevent the leakage current from increasing in the subsequent use state and to achieve a very high reliability. improves.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明による製法の一実施形態の製造工程を示
すフローチャート、およびコンデンサ素子の断面説明図
である。
FIG. 1 is a flowchart showing a manufacturing process of an embodiment of a manufacturing method according to the present invention, and a cross-sectional explanatory view of a capacitor element.

【図2】本発明による製法で、焼結体の上面を酸化する
一例の説明図である。
FIG. 2 is an explanatory view of an example of oxidizing the upper surface of a sintered body by the manufacturing method according to the present invention.

【図3】従来の固体電解コンデンサの構造説明図であ
る。
FIG. 3 is a structural explanatory view of a conventional solid electrolytic capacitor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 コンデンサ素子 10 焼結体 11 陽極リード 14 誘電体層(酸化皮膜) 15 二酸化マンガン層 16 金属層 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Capacitor element 10 Sintered body 11 Anode lead 14 Dielectric layer (oxide film) 15 Manganese dioxide layer 16 Metal layer

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 金属粉末の焼結体と、該焼結体の一壁面
に埋め込まれる陽極リードと、前記焼結体の内部および
外周に形成される金属粉末の酸化皮膜と、前記焼結体の
前記一壁面に該酸化皮膜より厚く形成される酸化膜と、
前記酸化皮膜の外側に形成される二酸化マンガン層と、
該二酸化マンガン層の外側に設けられる金属層とからコ
ンデンサ素子が形成される固体電解コンデンサ。
1. A sintered body of a metal powder, an anode lead embedded in one wall surface of the sintered body, an oxide film of the metal powder formed on the inside and the outer periphery of the sintered body, An oxide film formed thicker on the one wall surface than the oxide film;
A manganese dioxide layer formed outside the oxide film,
A solid electrolytic capacitor in which a capacitor element is formed from a metal layer provided outside the manganese dioxide layer.
【請求項2】 (a)弁作用金属粉末により一壁面に陽
極リードを埋め込んだ焼結体を形成し、(b)該焼結体
の前記陽極リードを埋め込んだ面のみを熱酸化し、
(c)陽極酸化をすることにより、前記焼結体の内部お
よび外周に酸化皮膜を形成し、(d)該酸化皮膜の外側
に二酸化マンガン層を形成し、(e)前記外周の二酸化
マンガン層上に金属層を形成することによりコンデンサ
素子を形成する固体電解コンデンサの製法。
2. A sintered body in which an anode lead is embedded in one wall surface by valve action metal powder, and (b) only the surface of the sintered body in which the anode lead is embedded is thermally oxidized.
(C) anodizing to form an oxide film inside and around the sintered body; (d) forming a manganese dioxide layer outside the oxide film; and (e) forming a manganese dioxide layer around the periphery. A method for manufacturing a solid electrolytic capacitor in which a capacitor element is formed by forming a metal layer thereon.
【請求項3】 前記陽極リードを埋め込んだ面のみを熱
酸化する方法を、焼結されたコンデンサ素子の外周形状
と一致させた凹部が形成された容器内に、前記コンデン
サ素子の一壁面のみが露出するように入れて容器ごと熱
酸化する請求項2記載の製法。
3. A method of thermally oxidizing only the surface in which the anode lead is embedded, wherein only one wall surface of the capacitor element is formed in a container having a concave portion that matches the outer peripheral shape of the sintered capacitor element. 3. The method according to claim 2, wherein the container is exposed and thermally oxidized together with the container.
【請求項4】 前記容器が、表面に炭素が塗布されたア
ルミナからなる請求項3記載の製法。
4. The method according to claim 3, wherein the container is made of alumina having a surface coated with carbon.
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