JP2001165900A - ガスセンサ - Google Patents
ガスセンサInfo
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Abstract
ガスを検出するガスセンサにおいて、漏れ電流によるノ
イズ成分を除去して高感度化をはかる。 【解決手段】 ふっ化物固体電解質を用いたガスセンサ
において、固体電解質3のガス検出電極2と同一面上に
被検出ガスと接触しない構造とした予備電極21を設
け、ガス検出電極2の電流値を予備電極21の電流値を
それぞれ電流検出器60,61で検出した後に、演算部
9においてガス検出電流値を予備電流値で補正するよう
にしたものである。
Description
検出するガスセンサに関するもので、とりわけ、ガス絶
縁電気機器内部で放電等の異常が有ったときに生成され
るSF6等の分解ガスを検出するガスセンサに関するも
のである。
じてガス感知部で何らかの物理的、化学的反応を起こ
し、それを電気的な信号へと変換を行う。図5は例え
ば、特開平6−258278号公報に記載された従来の
ガスセンサを示したものである。図5において、2はガ
ス検出電極、3は固体電解質、4は対向電極、5は電
源、6は電流検出器、7はガス検出電極2と対向電極4
間に電源5と電流検出器6とを直列接続するリード、1
1は被検出ガスをガス検出電極2に通す複数の通気孔1
1aを有する拡散部材である。
ては、固体電解質3の各対向面にそれぞれ設けたガス検
出電極2と対向電極4に電源5によって電圧が印加され
る。この時、拡散部材11の通気孔11aを通して被検
出ガスがガス検出電極2に接触すると、ガス検出電極2
上で電気化学反応が生じてその結果、被検出ガスの濃度
に応じた電流がリード7から構成される電流検出回路に
流れ、電流検出器6によりセンサ信号として検出され
る。
ガスは拡散部材11の複数の通気孔11aを通ってガス
検出電極2上へ移動する。ここで、ガス検出電極2と対
向電極4間に予め5V程度の直流電圧が、ガス検出電極
2側が負、対向電極4側が正になるように印加されてい
る。ガス検出電極2上でF2には次のような反応が起き
る。
6ガス(SF6 -)は固定電解質3中を対向電極4へ向か
って移動する。対向電極4上では、以下の反応が起きて
両電極2,4に電流が流れる。
スセンサにおいては、被検出ガスの濃度に応じた電流が
流れるので、原理的には被検出ガスの濃度が0の場合に
は電流値も0となる。ところが被検出ガスの無い雰囲気
にあっても、固体電解質に各電極を通して電圧を印加す
ると微少な電流が流れる。
関係な電流であり、主に電子電導による漏れ電流成分で
ある。被検出ガスによる電気化学反応の電流が漏れ電流
に比較して十分に大きい場合には何ら問題は無いが、よ
り微少なガス濃度にも応答するようにセンサ感度の向上
を図る場合、漏れ電流がノイズ成分となってS/N比が
低下し、センサ信号の精度が著しく悪化することによ
り、結果的にはガス検出の高感度化が実現できないとい
う問題点があった。
るためなされたもので、漏れ電流によるノイズ成分を除
去しS/N比を向上させることでガス検出の高感度化を
図ることができるガスセンサを得ることを目的とする。
気機器の内部で異常放電時に発生する分解ガスを被検出
ガスとするガスセンサであって、固体電解質と、この固
体電解質の一方の面に被着させて設け、被検出ガスと接
するガス検出電極と、固体電解質の他方の面に被着させ
て設けた対向電極と、固体電解質の一方の面にガス検出
電極と分離して被着させ、且つ、被検出ガスの前記固体
電解質への拡散を阻止するように形成された予備電極と
を備えたものである。また、この発明における予備電極
は、その表面に前記被検出ガスと接触しないようにカバ
ーを設けたものである。また、この発明における予備電
極は、ガス検出電極と同一の素材とし、その膜厚を厚く
したものである。また、この発明は、対向電極と前記ガ
ス検出電極間および前記予備電極間のそれぞれに電圧を
印加する電源回路と、電圧印加により対向電極とガス検
出電極間および対向電極と予備電極間に流れる電流をそ
れぞれ測定する第1の電流測定手段と、第2の電流測定
手段とを備えたものである。また、この発明はガス検出
電極と対向電極、及び予備電極と対向電極との間にそれ
ぞぞれ個別に電源回路と共に電流測定手段とを備えたも
のである。また、この発明は第1の電流測定手段による
電流測定値を前記第2の電流測定手段による電流測定値
で補正してセンサ信号出力値を演算する演算手段を備え
たものである。
実施の形態1に係るガスセンサの構成を示す断面図で、
3は、例えば、ふっ化ランタン(LaF3)等のふっ化
物固体電解質、2は固体電解質3の一方の面に密着して
設けられたAu等の金属からなるガス透過性のガス検出
電極、4は固体電解質3のもう一方の面にガス検出電極
2と対向するように密着して設けられ、同じくAu等の
金属からなる対向電極であり、21はガス検出電極2と
同一面上に設けられ、同じくAu等の金属からなる予備
電極、22は被検出ガスが予備電極21に接触しないよ
うに予備電極21の上に設けられた予備電極カバーであ
る。ガス検出電極2と対向電極4間にはリード70によ
り電流検出器60と電源50とが直列接続され、そして
予備電極21と対向電極4間にはリード71により電流
検出器61と電源51が直列接続されている。
1は例えば蒸着等により固体電解質3の対向面に形成さ
れる。予備電極カバー22は予備電極21に被検出ガス
が接触しないようにする必要があるため、被検出ガスを
透過しない性質を有する必要がある。従って、カバーと
して、例えばアルミナセラミックスや金属の薄板を予備
電極21上に重ねる構造や、またはエポキシ等の樹脂材
料で予備電極21をモールドする構造が良い。
2に流れる電流は、被検出ガスの電気化学反応により流
れる電流に、被検出ガスの電気化学反応に無関係な電子
電導等による漏れ電流を加えたものとなり、特に被検出
ガスの濃度が低く、被検出ガスの電気化学反応による電
流が小さい場合には、漏れ電流によるノイズ成分のため
にS/N比が低下し、被検出ガスによる電流値を正確に
求める事ができない。
極カバー22によって被検出ガスが遮られるため、被検
出ガスの濃度に関係なく電気化学反応による電流は流れ
ず、常に漏れ電流のみがガス検出電極21と対向電極流
4間に流れることとなる。従ってガス検出電極2に流れ
る電流を電流検出器60で計測した結果を、予備電極2
1に流れる電流を電流検出器61で計測した結果で補正
することにより、ガス検出電極2に流れる電流から漏れ
電流の影響を排除し、被検出ガスの電気化学反応による
電流のみを求める事ができるためS/N比が向上し被検
出ガスが低濃度の場合でも正確な測定が可能となる。
めておいた漏れ電流値を被検出ガスより排除して電流値
を正確に求めることは可能となるが、漏れ電流はセンサ
素子間でまたは経時的に一定でないため、予備電極21
による測定以外に漏れ電流を正確に知る事ができない。
流からセンサの最終的な補正出力を得るシステムを示す
構成図である。80、81は電流検出器60、61から
の電流値データを演算部9に送信する信号線であり、演
算部9ではガス検出電極2の電流値を予備電極21の電
流値によって補正演算し、その結果を結果表示部10に
表示する。
センサによる、HFガスに対する応答特性の一例を示す
図である。図4の(a)はHFガスの濃度、0ppm、
1ppm、2ppm、3ppmに対して、ガス検出電極
2と対向電極4間、予備電極21と対向電極4間のそれ
ぞれに流れる電流を示したものである。一方、図4の
(b)は図4の(a)に示されたガス検出電極電流から
予備電極電流を減算して補正演算を行った結果を示す図
である。
HFガスが0ppmすなわち被検出ガスが存在しない場
合にも若干、電流が流れており、この電流が漏れ電流で
ある。この漏れ電流のために例えば1ppmのHFに対
する電流値にもバイアスがかかりガス検出電極電流値は
不正確になる。しかし、図4の(b)に示す演算結果、
即ち、ガス検出電極電流は、予備電極21に流れる予備
電極電流値により補正されているため、ガス検出電極電
流にはバイアスがからず高いS/N比が得られている。
態2に係るガスセンサの断面図である。尚、図中、図1
と同一符号は同一または相当部分を示す。図2におい
て、210は実施の形態1で示した予備電極21を厚く
することによって固体電解質3に対する被検出ガスを完
全に遮断できる構造にし、カバー22を不要にした予備
電極であり、被検出ガスが接しても電気化学反応を生じ
ないようにしたものである。この実施の形態において
も、実施の形態1と同様にセンサのS/N比を向上する
ことが可能となる。即ち、通常の薄膜によるガス検出電
極であると、被検出ガスはガス検出電極2の全面を容易
に拡散して固体電解質3に達し、ガス検出電極2と固体
電解質3との界面で電気化学反応を生じる。そして、被
検出ガスはイオン化して対向電極4に向かって移動し、
固体電解質3と対向電極4の界面で反応して両電極に電
流が流れる。
にして予備電極210に形成すると、予備電極210の
近傍にある被検出ガスは、予備電極210を拡散して固
体電解質3に達し得ず、ガス検出電極2と固体電解質3
との界面で電気化学反応が生じない。この結果、被検出
ガスはイオン化しないため、両電極210、4には被検
出ガスの濃度に関係なく電気化学反応による電流は流れ
ず、常に、電子電導による漏れ電流が流れる。この漏れ
電流成分を電流計測器61により計測し、この計測され
た漏れ電流成分でガス検出電極4による電流出力を補正
することでセンサ出力のS/N比を向上させることがで
きる。
異常放電時に発生する分解ガスを被検出ガスとするガス
センサであって、固体電解質と、この固体電解質の一方
の面に被着させて設け、被検出ガスと接するガス検出電
極と、固体電解質の他方の面に被着させて設けた対向電
極と、固体電解質の一方の面にガス検出電極と分離して
被着させ、且つ、被検出ガスの前記固体電解質への拡散
を阻止するように形成された予備電極と、ガス検出電極
と対向電極、及び予備電極と対向電極との間にそれぞぞ
れ個別に電源回路と共に設けた第1のおよび第2の電流
測定手段と、第1の電流測定手段による電流測定値を前
記第2の電流測定手段による電流測定値で補正してセン
サ信号出力値を演算する演算手段とを備えたので、特に
被検出ガスが低濃度である領域においてS/Nが向上
し、ひいてはセンサ感度が向上するという効果がある。
示す断面図である。
示す断面図である。
使用したシステムの構成図である。
る。
1 予備電極、22予備電極カバー、50、51 電
源、60、61 電流検出器、9 演算部。
Claims (6)
- 【請求項1】 ガス絶縁電気機器の内部で異常放電時に
発生する分解ガスを被検出ガスとするガスセンサであっ
て、 固体電解質と、 この固体電解質の一方の面に被着させて設け、前記被検
出ガスと接するガス検出電極と、 上記固体電解質の他方の面に前記ガス検出電極と対向す
るように被着させて設けた対向電極と、 前記固体電解質の一方の面に前記ガス検出電極と分離し
て被着させ、且つ、前記被検出ガスの前記固体電解質へ
の拡散を阻止するように形成された予備電極とを備えた
ことを特徴とするガスセンサ。 - 【請求項2】 前記予備電極は、その表面に前記被検出
ガスと接触しないようにカバーを設けたことを特徴とす
る請求項1に記載のガスセンサ。 - 【請求項3】 前記予備電極は、前記ガス検出電極と同
一の素材とし、その膜厚を前記ガス検出電極に対して厚
くしたことを特徴とする請求項1に記載のガスセンサ。 - 【請求項4】 前記対向電極と前記ガス検出電極間およ
び前記予備電極間のそれぞれに電圧を印加する電源回路
と、この電圧印加により前記対向電極と前記ガス検出電
極間および前記対向電極と前記予備電極間に流れる電流
をそれぞれ測定する第1の電流測定手段と、第2の電流
測定手段とを備えたことを特徴とする請求項1ないし3
の何れかに記載のガスセンサ。 - 【請求項5】 前記ガス検出電極と対向電極、及び予備
電極と前記対向電極との間にそれぞぞれ個別に電源回路
と共に電流測定手段を備えたことを特徴とする請求項4
に記載のガスセンサ。 - 【請求項6】 前記第1の電流測定手段による電流測定
値を前記第2の電流測定手段による電流測定値で補正し
てセンサ信号出力値を演算する演算手段を備えたことを
特徴とする請求項4または5に記載のガスセンサ。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP35468299A JP3633410B2 (ja) | 1999-12-14 | 1999-12-14 | ガスセンサ |
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---|---|---|---|
JP35468299A JP3633410B2 (ja) | 1999-12-14 | 1999-12-14 | ガスセンサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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JP3633410B2 JP3633410B2 (ja) | 2005-03-30 |
Family
ID=18439202
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP35468299A Expired - Lifetime JP3633410B2 (ja) | 1999-12-14 | 1999-12-14 | ガスセンサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3633410B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015108186A1 (ja) * | 2014-01-17 | 2015-07-23 | 株式会社デンソー | ガスセンサ素子 |
JP2018128463A (ja) * | 2018-04-06 | 2018-08-16 | 株式会社Soken | ガスセンサ |
-
1999
- 1999-12-14 JP JP35468299A patent/JP3633410B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015108186A1 (ja) * | 2014-01-17 | 2015-07-23 | 株式会社デンソー | ガスセンサ素子 |
JP2015135262A (ja) * | 2014-01-17 | 2015-07-27 | 株式会社日本自動車部品総合研究所 | ガスセンサ素子 |
CN105917219A (zh) * | 2014-01-17 | 2016-08-31 | 株式会社电装 | 气体传感器元件 |
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CN105917219B (zh) * | 2014-01-17 | 2018-11-27 | 株式会社电装 | 气体传感器元件 |
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