JP2001165612A - レーザ干渉計 - Google Patents
レーザ干渉計Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 レーザ干渉計に関し、レーザを高出力化する
ことなく信号光のパワーを増加させ、Ｓ/Ｎ比を向上さ
せることを可能にする。 【解決手段】 計測対象物１に向けてレーザ光３を照射
するレーザ光源２と、レーザ光３が計測対象物１で反射
して得られる信号光４を入出力ミラー１４と反射ミラー
１５との間で反射往復させて共振増幅させるファブリペ
ロー干渉計１３と、ファブリペロー干渉計１３を通過し
た信号光４を電気信号に変換して処理する信号処理手段
１６，１７とをそなえたレーザ干渉計において、信号光
４のファブリペロー干渉計１３への入射路上にフォトリ
フラクティブ結晶８を配設し、フォトリフラクティブ結
晶８に入射した信号光４に参照光９を所定の角度で交差
させるように構成する。
ことなく信号光のパワーを増加させ、Ｓ/Ｎ比を向上さ
せることを可能にする。 【解決手段】 計測対象物１に向けてレーザ光３を照射
するレーザ光源２と、レーザ光３が計測対象物１で反射
して得られる信号光４を入出力ミラー１４と反射ミラー
１５との間で反射往復させて共振増幅させるファブリペ
ロー干渉計１３と、ファブリペロー干渉計１３を通過し
た信号光４を電気信号に変換して処理する信号処理手段
１６，１７とをそなえたレーザ干渉計において、信号光
４のファブリペロー干渉計１３への入射路上にフォトリ
フラクティブ結晶８を配設し、フォトリフラクティブ結
晶８に入射した信号光４に参照光９を所定の角度で交差
させるように構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、産業機械等の分野
において、超音波により誘起される物体の表面振動の計
測に用いるレーザ干渉計に関する。
において、超音波により誘起される物体の表面振動の計
測に用いるレーザ干渉計に関する。
【０００２】
【従来の技術】レーザ干渉計は非接触，高帯域等の特長
を有しており、多くの分野において、機械等の物体の振
動の計測に用いられている。特に超音波計測は非破壊検
査等の工業的に極めて有用であり、レーザ干渉計の適用
も多く見られる。図６は従来のレーザ干渉計を用いた超
音波振動計測系を示したものである。この従来の超音波
振動計測系は、図６に示すように超音波により表面振動
が誘起された計測対象物１に向けてレーザ２を配設し、
計測対象物１の表面に向けてレーザ光３を照射するよう
になっている。照射されたレーザ光３は計測対象物１の
表面で散乱され、その散乱光は周波数，位相に計測対象
物１の表面振動の情報が含まれる信号光４となる。信号
光４の散乱方向にはレンズ５が配設されており、信号光
４はこのレンズ５で集光されて光ファイバ６に導入さ
れ、光ファイバ６を通過した信号光４はレンズ７，ビー
ムスプリッタ１２を通してファブリペロー干渉計１３に
導入されるようになっている。
を有しており、多くの分野において、機械等の物体の振
動の計測に用いられている。特に超音波計測は非破壊検
査等の工業的に極めて有用であり、レーザ干渉計の適用
も多く見られる。図６は従来のレーザ干渉計を用いた超
音波振動計測系を示したものである。この従来の超音波
振動計測系は、図６に示すように超音波により表面振動
が誘起された計測対象物１に向けてレーザ２を配設し、
計測対象物１の表面に向けてレーザ光３を照射するよう
になっている。照射されたレーザ光３は計測対象物１の
表面で散乱され、その散乱光は周波数，位相に計測対象
物１の表面振動の情報が含まれる信号光４となる。信号
光４の散乱方向にはレンズ５が配設されており、信号光
４はこのレンズ５で集光されて光ファイバ６に導入さ
れ、光ファイバ６を通過した信号光４はレンズ７，ビー
ムスプリッタ１２を通してファブリペロー干渉計１３に
導入されるようになっている。
【０００３】ファブリペロー干渉計１３は、平行に配置
された２枚のミラー間の繰返反射による等傾角干渉を利
用するものであり、導入された信号光４は入出力ミラー
１４と反射ミラー１５との間を反射往復し、振動信号が
共振増幅された後に入出力ミラー１４から出力されるよ
うになっている。そして、出力された信号光４はビーム
スプリッタ１２で反射され、ディテクタ（光検出器）１
６において電気信号に変換された後、最後に信号処理装
置１７で処理，評価されるようになっている。
された２枚のミラー間の繰返反射による等傾角干渉を利
用するものであり、導入された信号光４は入出力ミラー
１４と反射ミラー１５との間を反射往復し、振動信号が
共振増幅された後に入出力ミラー１４から出力されるよ
うになっている。そして、出力された信号光４はビーム
スプリッタ１２で反射され、ディテクタ（光検出器）１
６において電気信号に変換された後、最後に信号処理装
置１７で処理，評価されるようになっている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】ところが、上述した従来
のレーザ干渉計を用いた超音波振動計測系には以下のよ
うな課題がある。まず、ディテクタ１６におけるＳ/Ｎ比
は、ディテクタ１６への信号光４の入力パワーをＰiと
すると次式（１）で表される。
のレーザ干渉計を用いた超音波振動計測系には以下のよ
うな課題がある。まず、ディテクタ１６におけるＳ/Ｎ比
は、ディテクタ１６への信号光４の入力パワーをＰiと
すると次式（１）で表される。
【０００５】 Ｓ/Ｎ∝Ｐi2 ・・・（１） 上式（１）から分かるように、Ｓ/Ｎ比の向上にはディ
テクタ１６への入力パワーＰiの増加が有効である。し
かしながら、超音波振動計測系では散乱光を信号光４と
して検出するため、信号光４のパワーは微少となる。信
号光４のパワーを増加させるにはレーザ２の出力を上げ
ることも考えられるが、高出力レーザは干渉性、安定性
に問題があり、このような系には適用できない。このた
め、レーザ２は低出力にならざるを得ず、高出力化によ
るＳ/Ｎ比の向上は難しい。
テクタ１６への入力パワーＰiの増加が有効である。し
かしながら、超音波振動計測系では散乱光を信号光４と
して検出するため、信号光４のパワーは微少となる。信
号光４のパワーを増加させるにはレーザ２の出力を上げ
ることも考えられるが、高出力レーザは干渉性、安定性
に問題があり、このような系には適用できない。このた
め、レーザ２は低出力にならざるを得ず、高出力化によ
るＳ/Ｎ比の向上は難しい。
【０００６】また、Ｓ/Ｎ比の向上対策として、光ファ
イバ６としてマルチモードファイバを用い、レンズ５と
の結合効率を上げることにより信号光４のパワーの増加
を図ることも考えられる。しかしながら光ファイバ６と
してマルチモードファイバを用いる場合には、信号光４
が光ファイバ６中を伝搬する際に分散の影響を受けるた
め、信号がなまってしまう。このため、検出信号の立ち
上がり等の詳細な評価が困難になるという課題がある。
これに対し、光ファイバ６としてシングルモードファイ
バを用いれば上記の課題は解決できるが、得られる信号
パワーが低くなるためＳ/Ｎ比を向上させることはでき
ない。
イバ６としてマルチモードファイバを用い、レンズ５と
の結合効率を上げることにより信号光４のパワーの増加
を図ることも考えられる。しかしながら光ファイバ６と
してマルチモードファイバを用いる場合には、信号光４
が光ファイバ６中を伝搬する際に分散の影響を受けるた
め、信号がなまってしまう。このため、検出信号の立ち
上がり等の詳細な評価が困難になるという課題がある。
これに対し、光ファイバ６としてシングルモードファイ
バを用いれば上記の課題は解決できるが、得られる信号
パワーが低くなるためＳ/Ｎ比を向上させることはでき
ない。
【０００７】本発明は、このような課題に鑑み創案され
たもので、レーザを高出力化することなく信号光のパワ
ーを増加させ、Ｓ/Ｎ比を向上させることを可能にし
た、レーザ干渉計を目的とする。
たもので、レーザを高出力化することなく信号光のパワ
ーを増加させ、Ｓ/Ｎ比を向上させることを可能にし
た、レーザ干渉計を目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】このため、請求項１記載
の本発明のレーザ干渉計は、計測対象物に向けてレーザ
光を照射するレーザ光源と、該レーザ光が該計測対象物
で反射して得られる信号光を入出力ミラーと反射ミラー
との間で反射往復させて共振増幅させるファブリペロー
干渉計と、該ファブリペロー干渉計を通過した該信号光
を電気信号に変換して処理する信号処理手段とをそなえ
たレーザ干渉計において、該信号光の該ファブリペロー
干渉計への入射路上、若しくは該信号光の該ファブリペ
ロー干渉計からの出射路上にフォトリフラクティブ結晶
を配設し、該フォトリフラクティブ結晶に入射した該信
号光に参照光を所定の角度で交差させるように構成した
ことを特徴としている。なお、好ましくはビーム分割手
段をそなえ、該レーザ光から参照光を分割して取り出す
ようにする。
の本発明のレーザ干渉計は、計測対象物に向けてレーザ
光を照射するレーザ光源と、該レーザ光が該計測対象物
で反射して得られる信号光を入出力ミラーと反射ミラー
との間で反射往復させて共振増幅させるファブリペロー
干渉計と、該ファブリペロー干渉計を通過した該信号光
を電気信号に変換して処理する信号処理手段とをそなえ
たレーザ干渉計において、該信号光の該ファブリペロー
干渉計への入射路上、若しくは該信号光の該ファブリペ
ロー干渉計からの出射路上にフォトリフラクティブ結晶
を配設し、該フォトリフラクティブ結晶に入射した該信
号光に参照光を所定の角度で交差させるように構成した
ことを特徴としている。なお、好ましくはビーム分割手
段をそなえ、該レーザ光から参照光を分割して取り出す
ようにする。
【０００９】また、請求項２記載の本発明のレーザ干渉
計は、計測対象物に向けてレーザ光を照射するレーザ光
源と、該レーザ光が該計測対象物で反射して得られる信
号光を入出力ミラーと反射ミラーとの間で反射往復させ
て共振増幅させるファブリペロー干渉計と、該ファブリ
ペロー干渉計を通過した該信号光を電気信号に変換して
処理する信号処理手段とをそなえたレーザ干渉計におい
て、該反射ミラーをフォトリフラクティブ結晶で構成
し、該フォトリフラクティブ結晶に入射した該信号光に
向けて参照光を対向する２方向から照射するように構成
するとともに、該ファブリペロー干渉計への該信号光の
入射路と該ファブリペロー干渉計からの該信号光の出射
路とを光学的対称に構成したことを特徴としている。な
お、好ましくは光分割手段をそなえ、該レーザ光から参
照光を分割して取り出すようにする。
計は、計測対象物に向けてレーザ光を照射するレーザ光
源と、該レーザ光が該計測対象物で反射して得られる信
号光を入出力ミラーと反射ミラーとの間で反射往復させ
て共振増幅させるファブリペロー干渉計と、該ファブリ
ペロー干渉計を通過した該信号光を電気信号に変換して
処理する信号処理手段とをそなえたレーザ干渉計におい
て、該反射ミラーをフォトリフラクティブ結晶で構成
し、該フォトリフラクティブ結晶に入射した該信号光に
向けて参照光を対向する２方向から照射するように構成
するとともに、該ファブリペロー干渉計への該信号光の
入射路と該ファブリペロー干渉計からの該信号光の出射
路とを光学的対称に構成したことを特徴としている。な
お、好ましくは光分割手段をそなえ、該レーザ光から参
照光を分割して取り出すようにする。
【００１０】
【発明の実施形態】以下、図面を参照しながら本発明の
実施の形態について説明する。図１，図２は本発明の第
１実施形態としてのレーザ干渉計について示すものであ
り、図１は本レーザ干渉計を用いた超音波振動計測系の
全体構成図、図２は本レーザ干渉計にかかるフォトリフ
ラクティブ結晶の作用を説明するための図である。な
お、図１において前述した従来のレーザ干渉計と同一の
部位については同一の符号を用いて示し、詳細な説明は
省略するものとする。
実施の形態について説明する。図１，図２は本発明の第
１実施形態としてのレーザ干渉計について示すものであ
り、図１は本レーザ干渉計を用いた超音波振動計測系の
全体構成図、図２は本レーザ干渉計にかかるフォトリフ
ラクティブ結晶の作用を説明するための図である。な
お、図１において前述した従来のレーザ干渉計と同一の
部位については同一の符号を用いて示し、詳細な説明は
省略するものとする。
【００１１】本レーザ干渉計は、図１に示すように、従
来のレーザ干渉計（図６参照）と同様に、計測対象物１
にレーザ光３を照射するレーザ（レーザ光源）２，レー
ザ光３が計測対象物１で反射して得られる信号光４を入
出力ミラー１４と反射ミラー１５との間で反射往復させ
て共振増幅させるファブリペロー干渉計１３，ファブリ
ペロー干渉計１３を通過した信号光４を電気信号に変換
するディテクタ１６，その電気信号を処理，評価する信
号処理装置１７等の構成要素をそなえている。なお、デ
ィテクタ１６と信号処理装置１７とにより、信号処理手
段が構成されている。
来のレーザ干渉計（図６参照）と同様に、計測対象物１
にレーザ光３を照射するレーザ（レーザ光源）２，レー
ザ光３が計測対象物１で反射して得られる信号光４を入
出力ミラー１４と反射ミラー１５との間で反射往復させ
て共振増幅させるファブリペロー干渉計１３，ファブリ
ペロー干渉計１３を通過した信号光４を電気信号に変換
するディテクタ１６，その電気信号を処理，評価する信
号処理装置１７等の構成要素をそなえている。なお、デ
ィテクタ１６と信号処理装置１７とにより、信号処理手
段が構成されている。
【００１２】そして、本レーザ干渉計では、さらに、レ
ンズ７からビームスプリッタ１２までの信号光４の進路
上にフォトリフラクティブ結晶８をそなえるとともに、
レーザ２と計測対象物１との間にレーザ光３から参照光
９を分割して取り出すためのビームスプリッタ（光分割
手段）１０をそなえている。フォトリフラクティブ結晶
８としてはBi12SiO20，BaTiO3等が用いられ、レンズ７
を通過した信号光４とともに、レーザ光３から分割され
た参照光９が信号光４に対して所定の角度θをなして入
射されるようになっている。また、フォトリフラクティ
ブ結晶８の信号光４，参照光９の入光面に平行な結晶軸
方向には電源１１により外部電界が架けられている。
ンズ７からビームスプリッタ１２までの信号光４の進路
上にフォトリフラクティブ結晶８をそなえるとともに、
レーザ２と計測対象物１との間にレーザ光３から参照光
９を分割して取り出すためのビームスプリッタ（光分割
手段）１０をそなえている。フォトリフラクティブ結晶
８としてはBi12SiO20，BaTiO3等が用いられ、レンズ７
を通過した信号光４とともに、レーザ光３から分割され
た参照光９が信号光４に対して所定の角度θをなして入
射されるようになっている。また、フォトリフラクティ
ブ結晶８の信号光４，参照光９の入光面に平行な結晶軸
方向には電源１１により外部電界が架けられている。
【００１３】以下、上述のような構成を有する本発明の
第１実施形態としてのレーザ干渉計を用いて計測対象物
１の振動を計測する際の作用効果について説明する。超
音波により表面振動が誘起された計測対象物１の表面に
向けてレーザ２から照射されたレーザ光３は、その一部
がビームスプリッタ１０により分割されて参照光９とな
る。計測対象物１に照射されたレーザ光３はその表面で
散乱し、その散乱光は周波数，位相に計測対象物１の表
面振動の情報が含まる信号光４となる。信号光４は散乱
方向に向けて配設されたレンズ５で集光され、光ファイ
バ６に導入される。
第１実施形態としてのレーザ干渉計を用いて計測対象物
１の振動を計測する際の作用効果について説明する。超
音波により表面振動が誘起された計測対象物１の表面に
向けてレーザ２から照射されたレーザ光３は、その一部
がビームスプリッタ１０により分割されて参照光９とな
る。計測対象物１に照射されたレーザ光３はその表面で
散乱し、その散乱光は周波数，位相に計測対象物１の表
面振動の情報が含まる信号光４となる。信号光４は散乱
方向に向けて配設されたレンズ５で集光され、光ファイ
バ６に導入される。
【００１４】光ファイバ６に導入された信号光４はレン
ズ７を通過した後、電源１１により外部電界が架けられ
たフォトリフラクティブ結晶８に入射される。また、信
号光４の入射と同時にフォトリフラクティブ結晶８には
信号光４と所定の角度θをなしてビームスプリッタ１０
で分割された参照光９が入射される。このとき、信号光
４と参照光９との間で干渉が生じ、フォトリフラクティ
ブ結晶８の作用により、信号光４と参照光９とのパワー
比，交差角θ，電源１１出力に応じて信号光４が増幅さ
れる。
ズ７を通過した後、電源１１により外部電界が架けられ
たフォトリフラクティブ結晶８に入射される。また、信
号光４の入射と同時にフォトリフラクティブ結晶８には
信号光４と所定の角度θをなしてビームスプリッタ１０
で分割された参照光９が入射される。このとき、信号光
４と参照光９との間で干渉が生じ、フォトリフラクティ
ブ結晶８の作用により、信号光４と参照光９とのパワー
比，交差角θ，電源１１出力に応じて信号光４が増幅さ
れる。
【００１５】ここで、図２を用いて電源１１により電界
が架けられているときのフォトリフラクティブ結晶８の
作用について説明する。はじめに、フォトリフラクティ
ブ結晶８とはBi12SiO20等の常磁性体やBaTiO3，LiNbO3
等の強誘電体であるが、これらには通常Fe，Co等の不純
物が混入しており、この不純物や格子欠陥がドナー準位
を形成している。このような状態において光を照射する
と、ドナー準位から伝導体に遷移した電子がドリフト，
拡散し、その結果結晶内に電荷分布変化を生じ、照射し
た光の入力強度分布に応じた空間的な屈折率変化（屈折
率格子）を形成する。
が架けられているときのフォトリフラクティブ結晶８の
作用について説明する。はじめに、フォトリフラクティ
ブ結晶８とはBi12SiO20等の常磁性体やBaTiO3，LiNbO3
等の強誘電体であるが、これらには通常Fe，Co等の不純
物が混入しており、この不純物や格子欠陥がドナー準位
を形成している。このような状態において光を照射する
と、ドナー準位から伝導体に遷移した電子がドリフト，
拡散し、その結果結晶内に電荷分布変化を生じ、照射し
た光の入力強度分布に応じた空間的な屈折率変化（屈折
率格子）を形成する。
【００１６】したがって、図２に示すように、２方向か
らレーザ光Ｉ1(z)，Ｉ2(z)を照射してフォトリフラクテ
ィブ結晶８中で交差させると、２つのレーザ光Ｉ1(z)，
Ｉ2(z)の干渉によって生じる干渉縞（強度分布）によ
り、上述した屈折率格子が誘起される。干渉縞と屈折率
格子とは必ずしも同位相ではなく、その結果、屈折率格
子は回折格子として働き、２つのレーザ光Ｉ1(z)，Ｉ
2(z)の一方から他方へパワーの流れ込みが生じる（これ
を２光波混合による光増幅という）。なお、フォトリフ
ラクティブ結晶８は比較的厚いので（一般的には１〜５
mm程度）、結晶内部の光間の結合とその結果として生じ
る屈折率格子の変更とが同時に進行し、光増幅はある時
定数で定常状態に収束する。
らレーザ光Ｉ1(z)，Ｉ2(z)を照射してフォトリフラクテ
ィブ結晶８中で交差させると、２つのレーザ光Ｉ1(z)，
Ｉ2(z)の干渉によって生じる干渉縞（強度分布）によ
り、上述した屈折率格子が誘起される。干渉縞と屈折率
格子とは必ずしも同位相ではなく、その結果、屈折率格
子は回折格子として働き、２つのレーザ光Ｉ1(z)，Ｉ
2(z)の一方から他方へパワーの流れ込みが生じる（これ
を２光波混合による光増幅という）。なお、フォトリフ
ラクティブ結晶８は比較的厚いので（一般的には１〜５
mm程度）、結晶内部の光間の結合とその結果として生じ
る屈折率格子の変更とが同時に進行し、光増幅はある時
定数で定常状態に収束する。
【００１７】例えば、Ｉ1(0)＜Ｉ2(0)の場合にはＩ2(z)
からＩ1(z)へパワーの流れ込みが生じ、この結果、フォ
トリフラクティブ結晶８から出射されるときのＩ1(z)は
次式（２）で表されるようになる。
からＩ1(z)へパワーの流れ込みが生じ、この結果、フォ
トリフラクティブ結晶８から出射されるときのＩ1(z)は
次式（２）で表されるようになる。
【００１８】
【式１】
【００１９】上式（２）において、Γはフォトリフラク
ティブ結晶８の増幅係数、ｚはフォトリフラクティブ結
晶８の厚さ、Ｃは定数である。増幅係数Γは次式（３）
で表される。
ティブ結晶８の増幅係数、ｚはフォトリフラクティブ結
晶８の厚さ、Ｃは定数である。増幅係数Γは次式（３）
で表される。
【００２０】
【式２】
【００２１】上式（３）において、λはレーザ光の波
長、θはＩ1(z)，Ｉ2(z)の交差角、ｎ 0はフォトリフラ
クティブ結晶８のレーザ光の波長λにおける屈折率、γ
41はフォトリフラクティブ結晶８の電光学定数、Ｅはフ
ォトリフラクティブ結晶８に架けられた電界であり、φ
はＩ1(z)，Ｉ2(z)がフォトリフラクティブ結晶８内で形
成した干渉縞とその干渉によって形成される屈折率格子
〔フォトリフラクティブ結晶８の屈折率の周期分布(グ
レーティング)〕と間の位相差である。
長、θはＩ1(z)，Ｉ2(z)の交差角、ｎ 0はフォトリフラ
クティブ結晶８のレーザ光の波長λにおける屈折率、γ
41はフォトリフラクティブ結晶８の電光学定数、Ｅはフ
ォトリフラクティブ結晶８に架けられた電界であり、φ
はＩ1(z)，Ｉ2(z)がフォトリフラクティブ結晶８内で形
成した干渉縞とその干渉によって形成される屈折率格子
〔フォトリフラクティブ結晶８の屈折率の周期分布(グ
レーティング)〕と間の位相差である。
【００２２】また、ΔφはＩ1(z)，Ｉ2(z)の位相差にΔ
ψの変化が生じたときに発生する、Ｉ1(z)，Ｉ2(z)がフ
ォトリフラクティブ結晶８内で形成した干渉縞とその干
渉によって形成される屈折率格子と間の位相差であり、
次式（４）で表される。なお、Λは干渉縞のピーク間隔
である。
ψの変化が生じたときに発生する、Ｉ1(z)，Ｉ2(z)がフ
ォトリフラクティブ結晶８内で形成した干渉縞とその干
渉によって形成される屈折率格子と間の位相差であり、
次式（４）で表される。なお、Λは干渉縞のピーク間隔
である。
【００２３】
【式３】
【００２４】以上の式（２）〜式（４）によって示され
るように、フォトリフラクティブ結晶８内において、２
本のレーザ光Ｉ1(z)，Ｉ2(z)を干渉させると〔ただし、
Ｉ1(0)＜Ｉ2(0)〕、その位相差の変化Δψに応じて一方
のレーザ光Ｉ1(z)のパワーが増加する。したがって、本
レーザ干渉計のようにフォトリフラクティブ結晶８内に
おいて信号光４と参照光９とを干渉させた場合には、計
測対象物１の表面振動により信号光４に与えられる位相
変化Δψに応じて信号光４は増幅され、信号光４のパワ
ーが増加することになる。また、この信号光４の増幅
は、信号光４と参照光９のパワー比，交差角θ，電界Ｅ
の適正化を図ることによって最大にすることができる。
るように、フォトリフラクティブ結晶８内において、２
本のレーザ光Ｉ1(z)，Ｉ2(z)を干渉させると〔ただし、
Ｉ1(0)＜Ｉ2(0)〕、その位相差の変化Δψに応じて一方
のレーザ光Ｉ1(z)のパワーが増加する。したがって、本
レーザ干渉計のようにフォトリフラクティブ結晶８内に
おいて信号光４と参照光９とを干渉させた場合には、計
測対象物１の表面振動により信号光４に与えられる位相
変化Δψに応じて信号光４は増幅され、信号光４のパワ
ーが増加することになる。また、この信号光４の増幅
は、信号光４と参照光９のパワー比，交差角θ，電界Ｅ
の適正化を図ることによって最大にすることができる。
【００２５】そして、上述のようなフォトリフラクティ
ブ結晶８の作用により増幅された信号光４は、ビームス
プリッタ１２を通過してファブリペロー干渉計１３に導
入される。ファブリペロー干渉計１３に導入された信号
光４は入出力ミラー１４と反射ミラー１５との間を反射
往復し、振動信号が共振増幅された後に入出力ミラー１
４から出力される。そして、ファブリペロー干渉計１３
から出力された信号光４はビームスプリッタ１２で反射
され、ディテクタ１６において電気信号に変換された
後、信号処理装置１７で処理，評価される。
ブ結晶８の作用により増幅された信号光４は、ビームス
プリッタ１２を通過してファブリペロー干渉計１３に導
入される。ファブリペロー干渉計１３に導入された信号
光４は入出力ミラー１４と反射ミラー１５との間を反射
往復し、振動信号が共振増幅された後に入出力ミラー１
４から出力される。そして、ファブリペロー干渉計１３
から出力された信号光４はビームスプリッタ１２で反射
され、ディテクタ１６において電気信号に変換された
後、信号処理装置１７で処理，評価される。
【００２６】以上のように、本レーザ干渉計によれば、
フォトリフラクティブ結晶８をファブリペロー干渉計１
３に組み合わせて構成し、フォトリフラクティブ結晶８
とファブリペロー干渉計１３との２段階で信号光４のパ
ワーを増幅させることが可能であるので、レーザ２を高
出力化することなくディテクタ１６におけるＳ/Ｎ比を
向上させることができ、より詳細な信号の解析が可能に
なるという利点がある。
フォトリフラクティブ結晶８をファブリペロー干渉計１
３に組み合わせて構成し、フォトリフラクティブ結晶８
とファブリペロー干渉計１３との２段階で信号光４のパ
ワーを増幅させることが可能であるので、レーザ２を高
出力化することなくディテクタ１６におけるＳ/Ｎ比を
向上させることができ、より詳細な信号の解析が可能に
なるという利点がある。
【００２７】なお、上述の実施形態では、フォトリフラ
クティブ結晶８をファブリペロー干渉計１３の前段に設
置しているが、その逆にファブリペロー干渉計１３の後
段に、具体的には、ビームスプリッタ１２からディテク
タ１６までの信号光４の進路上にフォトリフラクティブ
結晶８を設置するようにしてもよい。この場合でも上述
の実施形態と同等の効果を得ることができる。また、上
述の実施形態では、参照光９をビームスプリッタ１０に
よりレーザ光３から分割して取りだしているが、レーザ
光３から取り出すのではなく他の手段を用いて参照光９
を作り出すようにしてもよい。
クティブ結晶８をファブリペロー干渉計１３の前段に設
置しているが、その逆にファブリペロー干渉計１３の後
段に、具体的には、ビームスプリッタ１２からディテク
タ１６までの信号光４の進路上にフォトリフラクティブ
結晶８を設置するようにしてもよい。この場合でも上述
の実施形態と同等の効果を得ることができる。また、上
述の実施形態では、参照光９をビームスプリッタ１０に
よりレーザ光３から分割して取りだしているが、レーザ
光３から取り出すのではなく他の手段を用いて参照光９
を作り出すようにしてもよい。
【００２８】次に、本発明の第２実施形態としてのレー
ザ干渉計について図３〜図５を用いて説明する。図３は
本レーザ干渉計を用いた超音波振動計測系の全体構成
図、図４は本レーザ干渉計にかかるフォトリフラクティ
ブ結晶の作用を説明するための図、図５は本レーザ干渉
計にかかるファブリペロー干渉計の反射ミラーの詳細構
成図である。なお、図３において前述した従来のレーザ
干渉計と同一の部位については同一の符号を用いて示
し、詳細な説明は省略するものとする。
ザ干渉計について図３〜図５を用いて説明する。図３は
本レーザ干渉計を用いた超音波振動計測系の全体構成
図、図４は本レーザ干渉計にかかるフォトリフラクティ
ブ結晶の作用を説明するための図、図５は本レーザ干渉
計にかかるファブリペロー干渉計の反射ミラーの詳細構
成図である。なお、図３において前述した従来のレーザ
干渉計と同一の部位については同一の符号を用いて示
し、詳細な説明は省略するものとする。
【００２９】本レーザ干渉計は、第１実施形態と同様に
ファブリペロー干渉計とフォトリフラクティブ結晶とを
組み合わせたものである。しかしながら、第１実施形態
がファブリペロー干渉計１３の前段にフォトリフラクテ
ィブ結晶８を配設し、フォトリフラクティブ結晶８で増
幅した信号光４をさらにファブリペロー干渉計１３で増
幅するような構成であるのに対し、本レーザ干渉計は、
図３に示すように、ファブリペロー干渉計１３の反射ミ
ラー１８をフォトリフラクティブ結晶で構成し、対向す
る２方向から参照光９を照射するように構成したことを
特徴としている。
ファブリペロー干渉計とフォトリフラクティブ結晶とを
組み合わせたものである。しかしながら、第１実施形態
がファブリペロー干渉計１３の前段にフォトリフラクテ
ィブ結晶８を配設し、フォトリフラクティブ結晶８で増
幅した信号光４をさらにファブリペロー干渉計１３で増
幅するような構成であるのに対し、本レーザ干渉計は、
図３に示すように、ファブリペロー干渉計１３の反射ミ
ラー１８をフォトリフラクティブ結晶で構成し、対向す
る２方向から参照光９を照射するように構成したことを
特徴としている。
【００３０】また、本レーザ干渉計は、ファブリペロー
干渉計１３への信号光４の入力系とファブリペロー干渉
計１３からの出力系とを反射ミラー１８を中心に光学的
対称を成して構成したことも特徴としている。すなわ
ち、本レーザ干渉計では、ファブリペロー干渉計１３か
ら出力された信号光４はビームスップリッタ１２におい
て反射された後、レンズ１９により光ファイバ２０に導
入され、その後レンズ２１で集光されてディテクタ１６
に入力されるようになっているが、レンズ７とレンズ１
９，光ファイバ６と光ファイバ２０及びレンズ５とレン
ズ２１とはそれぞれ同一のものを用いているのである。
なお、レーザ２と計測対象物１との間にレーザ光３から
参照光９を分割して取り出すためのビームスプリッタ
（光分割手段）１０をそなえた構成については、第１実
施形態と同様である。
干渉計１３への信号光４の入力系とファブリペロー干渉
計１３からの出力系とを反射ミラー１８を中心に光学的
対称を成して構成したことも特徴としている。すなわ
ち、本レーザ干渉計では、ファブリペロー干渉計１３か
ら出力された信号光４はビームスップリッタ１２におい
て反射された後、レンズ１９により光ファイバ２０に導
入され、その後レンズ２１で集光されてディテクタ１６
に入力されるようになっているが、レンズ７とレンズ１
９，光ファイバ６と光ファイバ２０及びレンズ５とレン
ズ２１とはそれぞれ同一のものを用いているのである。
なお、レーザ２と計測対象物１との間にレーザ光３から
参照光９を分割して取り出すためのビームスプリッタ
（光分割手段）１０をそなえた構成については、第１実
施形態と同様である。
【００３１】以下、上述のような構成を有する本発明の
第２実施形態としてのレーザ干渉計を用いて計測対象物
１の振動を計測する際の作用効果について説明する。超
音波により表面振動が誘起された計測対象物１の表面に
向けてレーザ２から照射されたレーザ光３は、その一部
がビームスプリッタ１０により分割されて参照光９とな
る。計測対象物１に照射されたレーザ光３はその表面で
散乱し、その散乱光は周波数，位相に計測対象物１の表
面振動の情報が含まる信号光４となる。信号光４は散乱
方向に向けて配設されたレンズ５で集光され、光ファイ
バ６に導入される。
第２実施形態としてのレーザ干渉計を用いて計測対象物
１の振動を計測する際の作用効果について説明する。超
音波により表面振動が誘起された計測対象物１の表面に
向けてレーザ２から照射されたレーザ光３は、その一部
がビームスプリッタ１０により分割されて参照光９とな
る。計測対象物１に照射されたレーザ光３はその表面で
散乱し、その散乱光は周波数，位相に計測対象物１の表
面振動の情報が含まる信号光４となる。信号光４は散乱
方向に向けて配設されたレンズ５で集光され、光ファイ
バ６に導入される。
【００３２】光ファイバ６に導入された信号光４はレン
ズ７を通過した後、ファブリペロー干渉計１３へ入射す
る。ファブリペロー干渉計１３へ入射した信号光４には
光ファイバ６，レンズ７の分散等の影響により波面に位
相歪が生じている。入出射ミラー１４を通過した信号光
４は、反射ミラー１８において反射するが、このとき、
フォトリフラクティブ結晶により構成された反射ミラー
（以下、フォトリフラクティブ結晶と表記する）１８の
作用により、信号光４の波面は反転させられる。
ズ７を通過した後、ファブリペロー干渉計１３へ入射す
る。ファブリペロー干渉計１３へ入射した信号光４には
光ファイバ６，レンズ７の分散等の影響により波面に位
相歪が生じている。入出射ミラー１４を通過した信号光
４は、反射ミラー１８において反射するが、このとき、
フォトリフラクティブ結晶により構成された反射ミラー
（以下、フォトリフラクティブ結晶と表記する）１８の
作用により、信号光４の波面は反転させられる。
【００３３】詳述すると、フォトリフラクティブ結晶１
８によるレーザ光の波面の反転は、４光波混合により形
成される位相共役鏡により、レーザ光が位相共役光に変
換されることにより得られる。以下、図４を用いて本実
施形態にかかるフォトリフラクティブ結晶１８の作用に
ついて説明する。まず、位相歪のないもとの信号光Ｉ0
を次式（５）で表すものとする。
８によるレーザ光の波面の反転は、４光波混合により形
成される位相共役鏡により、レーザ光が位相共役光に変
換されることにより得られる。以下、図４を用いて本実
施形態にかかるフォトリフラクティブ結晶１８の作用に
ついて説明する。まず、位相歪のないもとの信号光Ｉ0
を次式（５）で表すものとする。
【００３４】 Ｉ0＝ψ0exp[ｉ(k・r−ωt)] ・・・（５） なお、ψ0は信号光Ｉ0の複素振幅、kは波数ベクトル、r
は位置ベクトル、ωは光周波数、tは時間である。この
信号光Ｉ0がレンズや光ファイバ等の媒質中を通過する
ことにより、次式（６）で表される信号光Ｉとなる。 Ｉ＝ψexp[ｉ(k・r−ωt)] ・・・（６） ここで、ψはレンズや光ファイバ等の媒質中を通過した
信号光Ｉの複素振幅であり、ψsを媒質の通過による変
化分とするとψは次式（７）で表される。
は位置ベクトル、ωは光周波数、tは時間である。この
信号光Ｉ0がレンズや光ファイバ等の媒質中を通過する
ことにより、次式（６）で表される信号光Ｉとなる。 Ｉ＝ψexp[ｉ(k・r−ωt)] ・・・（６） ここで、ψはレンズや光ファイバ等の媒質中を通過した
信号光Ｉの複素振幅であり、ψsを媒質の通過による変
化分とするとψは次式（７）で表される。
【００３５】 ψ＝ψ0・ψs ・・・（７） 上記の信号光（プローブ波）Ｉは、一方の参照光（ポン
プ波）ＩFPとフォトリフラクティブ結晶１８中で干渉
し、フォトリフラクティブ結晶１８中にホログラム格子
１９を形成する。このホログラム格子１９でもう一方の
参照光（ポンプ波）ＩBPが回折され、次式（７）で表さ
れる位相共役光Ｉ*が発生する。
プ波）ＩFPとフォトリフラクティブ結晶１８中で干渉
し、フォトリフラクティブ結晶１８中にホログラム格子
１９を形成する。このホログラム格子１９でもう一方の
参照光（ポンプ波）ＩBPが回折され、次式（７）で表さ
れる位相共役光Ｉ*が発生する。
【００３６】 Ｉ*＝ψ*exp[ｉ(k・r−ωt)] ・・・（８） ここで、ψ*は位相共役光の複素振幅であり、ψs *をψs
の複素共役とすると、ψ*は次式（９）で表される。 ψ*＝ψ0・ψs * ・・・（９） 本レーザ干渉計の場合、信号光４（信号光Ｉ）がレンズ
５，光ファイバ６及びレンズ７を通過する際に式（６）
に示すように位相歪が生じる。また、図５に示すよう
に、フォトリフラクティブ結晶（反射ミラー）１８を挟
むようにミラー２２，２３からなる共振器が配設されて
おり、ビームスプリッタ１０で分岐された参照光９は信
号光４のフォトリフラクティブ結晶１８への入射と同時
に一方のミラー２２から入射し、２枚のミラー２２，２
３間を反射往復して対向する２方向からの参照光ＩFP，
ＩBPとなる。そして、このフォトリフラクティブ結晶１
８における４光波混合により信号光Ｉに対する位相共役
光Ｉ*が発生する。
の複素共役とすると、ψ*は次式（９）で表される。 ψ*＝ψ0・ψs * ・・・（９） 本レーザ干渉計の場合、信号光４（信号光Ｉ）がレンズ
５，光ファイバ６及びレンズ７を通過する際に式（６）
に示すように位相歪が生じる。また、図５に示すよう
に、フォトリフラクティブ結晶（反射ミラー）１８を挟
むようにミラー２２，２３からなる共振器が配設されて
おり、ビームスプリッタ１０で分岐された参照光９は信
号光４のフォトリフラクティブ結晶１８への入射と同時
に一方のミラー２２から入射し、２枚のミラー２２，２
３間を反射往復して対向する２方向からの参照光ＩFP，
ＩBPとなる。そして、このフォトリフラクティブ結晶１
８における４光波混合により信号光Ｉに対する位相共役
光Ｉ*が発生する。
【００３７】フォトリフラクティブ結晶１８において発
生した位相共役光Ｉ*は、反射光として入出力ミラー１
４から出射され、ビームスプリッタ１２で反射された
後、レンズ１９，光ファイバ２０及びレンズ２１を通過
する。このとき、上述したようにレンズ７とレンズ１
９，光ファイバ６と光ファイバ２０及びレンズ５とレン
ズ２１とはそれぞれ同一のものであり、ファブリペロー
干渉計１３への信号光４の入力系とファブリペロー干渉
計１３からの出力系とは反射ミラー１８を中心に光学的
対称を成して構成されているので、位相共役光Ｉ*がレ
ンズ１９，光ファイバ２０及びレンズ２１を通過したと
きのレンズ２１からの出射光Ｉ'は次式（１０）で表さ
れる。
生した位相共役光Ｉ*は、反射光として入出力ミラー１
４から出射され、ビームスプリッタ１２で反射された
後、レンズ１９，光ファイバ２０及びレンズ２１を通過
する。このとき、上述したようにレンズ７とレンズ１
９，光ファイバ６と光ファイバ２０及びレンズ５とレン
ズ２１とはそれぞれ同一のものであり、ファブリペロー
干渉計１３への信号光４の入力系とファブリペロー干渉
計１３からの出力系とは反射ミラー１８を中心に光学的
対称を成して構成されているので、位相共役光Ｉ*がレ
ンズ１９，光ファイバ２０及びレンズ２１を通過したと
きのレンズ２１からの出射光Ｉ'は次式（１０）で表さ
れる。
【００３８】 Ｉ'＝ψs *・Ｉ*＝ψs *ψ0ψsexp[ｉ(k・r−ωt)] ＝ψ0exp[ｉ(k・r−ωt)]＝Ｉ0 ・・・（１０） このように入射時の信号光４（信号光Ｉ）の波面が反転
した位相共役光Ｉ*が信号光４の入射路と光学的に対称
な経路を伝搬することにより、レンズ５，光ファイバ６
及びレンズ７を通過する際に生じた位相歪は補正され波
面は回復される。そして、レンズ２１からの出射光Ｉ'
はディテクタ１６において電気信号に変換された後、信
号処理装置１７で処理，評価される。
した位相共役光Ｉ*が信号光４の入射路と光学的に対称
な経路を伝搬することにより、レンズ５，光ファイバ６
及びレンズ７を通過する際に生じた位相歪は補正され波
面は回復される。そして、レンズ２１からの出射光Ｉ'
はディテクタ１６において電気信号に変換された後、信
号処理装置１７で処理，評価される。
【００３９】以上のように、本レーザ干渉計によれば、
ファブリペロー干渉計１３の反射ミラー１８をフォトリ
フラクティブ結晶で構成し、反射ミラー１８に入射した
信号光４に向けて参照光９を対向する２方向から照射す
るように構成するとともに、ファブリペロー干渉計１３
への入射路とファブリペロー干渉計１３からの出射路と
を光学的対称に構成しているので、４光波混合により位
相共役光を発生させることができるとともに、発生した
位相共役光を入射路と光学的対称な出射路を伝搬させる
ことで入射路において信号光４に生じた位相歪を補正す
ることができ、光ファイバ等を用いた伝搬における信号
の劣化を防いでより詳細な信号の解折が可能になるとい
う利点がある。
ファブリペロー干渉計１３の反射ミラー１８をフォトリ
フラクティブ結晶で構成し、反射ミラー１８に入射した
信号光４に向けて参照光９を対向する２方向から照射す
るように構成するとともに、ファブリペロー干渉計１３
への入射路とファブリペロー干渉計１３からの出射路と
を光学的対称に構成しているので、４光波混合により位
相共役光を発生させることができるとともに、発生した
位相共役光を入射路と光学的対称な出射路を伝搬させる
ことで入射路において信号光４に生じた位相歪を補正す
ることができ、光ファイバ等を用いた伝搬における信号
の劣化を防いでより詳細な信号の解折が可能になるとい
う利点がある。
【００４０】なお、上述の実施形態では、ビームスプリ
ッタ１０によりレーザ光３から分割して取りだした参照
光９を用いて４光波混合のための参照光ＩFP，ＩBPを作
り出しているが、レーザ光３から取り出すのではなく他
の手段を用いて参照光ＩFP，ＩBPを作り出すようにして
もよい。さらに、外部からの参照光９を用いることな
く、フォトリフラクティブ結晶の結晶内部の散乱光によ
り参照光ＩFP，ＩBPを発生させることも可能である。た
だし、この場合には発生する位相共役光Ｉ*のパワーは
低くなる。
ッタ１０によりレーザ光３から分割して取りだした参照
光９を用いて４光波混合のための参照光ＩFP，ＩBPを作
り出しているが、レーザ光３から取り出すのではなく他
の手段を用いて参照光ＩFP，ＩBPを作り出すようにして
もよい。さらに、外部からの参照光９を用いることな
く、フォトリフラクティブ結晶の結晶内部の散乱光によ
り参照光ＩFP，ＩBPを発生させることも可能である。た
だし、この場合には発生する位相共役光Ｉ*のパワーは
低くなる。
【００４１】以上、本発明のレーザ干渉計について２つ
の実施形態を説明したが、本発明は上述の実施形態に限
定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲
で種々変形して実施することができるものである。
の実施形態を説明したが、本発明は上述の実施形態に限
定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲
で種々変形して実施することができるものである。
【００４２】
【発明の効果】以上詳述したように、請求項１記載の本
発明のレーザ干渉計によれば、フォトリフラクティブ結
晶をファブリペロー干渉計に組み合わせて構成し、フォ
トリフラクティブ結晶とファブリペロー干渉計との２段
階で信号光のパワーを増幅させることが可能であるの
で、レーザ光源を高出力化することなく信号処理手段に
おけるＳ/Ｎ比を向上させることができ、より詳細な信
号の解析が可能になるという利点がある。
発明のレーザ干渉計によれば、フォトリフラクティブ結
晶をファブリペロー干渉計に組み合わせて構成し、フォ
トリフラクティブ結晶とファブリペロー干渉計との２段
階で信号光のパワーを増幅させることが可能であるの
で、レーザ光源を高出力化することなく信号処理手段に
おけるＳ/Ｎ比を向上させることができ、より詳細な信
号の解析が可能になるという利点がある。
【００４３】また、請求項２記載の本発明のレーザ干渉
計によれば、ファブリペロー干渉計の反射ミラーをフォ
トリフラクティブ結晶で構成し、反射ミラーに入射した
信号光に向けて参照光を対向する２方向から照射するよ
うに構成するとともに、ファブリペロー干渉計への入射
路とファブリペロー干渉計からの出射路とを光学的対称
に構成しているので、４光波混合により位相共役光を発
生させることができるとともに、発生した位相共役光を
入射路と光学的対称な出射路を伝搬させることで入射路
において信号光に生じた位相歪を補正することができ、
光ファイバ等を用いた伝搬における信号の劣化を防いで
より詳細な信号の解折が可能になるという利点がある。
計によれば、ファブリペロー干渉計の反射ミラーをフォ
トリフラクティブ結晶で構成し、反射ミラーに入射した
信号光に向けて参照光を対向する２方向から照射するよ
うに構成するとともに、ファブリペロー干渉計への入射
路とファブリペロー干渉計からの出射路とを光学的対称
に構成しているので、４光波混合により位相共役光を発
生させることができるとともに、発生した位相共役光を
入射路と光学的対称な出射路を伝搬させることで入射路
において信号光に生じた位相歪を補正することができ、
光ファイバ等を用いた伝搬における信号の劣化を防いで
より詳細な信号の解折が可能になるという利点がある。
【図１】本発明の第１実施形態としてのレーザ干渉計を
用いた超音波振動計測系の全体構成図である。
用いた超音波振動計測系の全体構成図である。
【図２】本発明の第１実施形態としてのレーザ干渉計に
かかるフォトリフラクティブ結晶の作用を説明するため
の図である。
かかるフォトリフラクティブ結晶の作用を説明するため
の図である。
【図３】本発明の第２実施形態としてのレーザ干渉計を
用いた超音波振動計測系の全体構成図である。
用いた超音波振動計測系の全体構成図である。
【図４】本発明の第２実施形態としてのレーザ干渉計に
かかるフォトリフラクティブ結晶の作用を説明するため
の図である。
かかるフォトリフラクティブ結晶の作用を説明するため
の図である。
【図５】本発明の第２実施形態としてのレーザ干渉計に
かかるファブリペロー干渉計の反射ミラーの詳細構成図
である。
かかるファブリペロー干渉計の反射ミラーの詳細構成図
である。
【図６】従来のレーザ干渉計を用いた超音波振動計測系
の全体構成図である。
の全体構成図である。
１ 計測対象物 ２ レーザ ３ レーザ光 ４ 信号光 ５，２１ レンズ ６，２０ 光ファイバ ７、１９ レンズ ８ フォトリフラクティブ結晶 ９ 参照光 １０，１２ ビームスプリッタ １１ 電源 １３ ファブリペロー干渉計 １４ 入出力ミラー １５ 反射ミラー １６ ディテクタ １７ 信号処理装置 １８ 反射ミラー（フォトリフラクティブ結晶） ２２，２３ ミラー Ｉ1，Ｉ2 レーザ光 Ｉ 信号光 Ｉ* 位相共役光 ＩFP，ＩBP 参照光
Claims (2)
- 【請求項１】 計測対象物に向けてレーザ光を照射する
レーザ光源と、該レーザ光が該計測対象物で反射して得
られる信号光を入出力ミラーと反射ミラーとの間で反射
往復させて共振増幅させるファブリペロー干渉計と、該
ファブリペロー干渉計を通過した該信号光を電気信号に
変換して処理する信号処理手段とをそなえたレーザ干渉
計において、 該信号光の該ファブリペロー干渉計への入射路上、若し
くは該信号光の該ファブリペロー干渉計からの出射路上
にフォトリフラクティブ結晶を配設し、該フォトリフラ
クティブ結晶に入射した該信号光に参照光を所定の角度
で交差させるように構成したことを特徴とする、レーザ
干渉計。 - 【請求項２】 計測対象物に向けてレーザ光を照射する
レーザ光源と、該レーザ光が該計測対象物で反射して得
られる信号光を入出力ミラーと反射ミラーとの間で反射
往復させて共振増幅させるファブリペロー干渉計と、該
ファブリペロー干渉計を通過した該信号光を電気信号に
変換して処理する信号処理手段とをそなえたレーザ干渉
計において、 該反射ミラーをフォトリフラクティブ結晶で構成し、該
フォトリフラクティブ結晶に入射した該信号光に向けて
参照光を対向する２方向から照射するように構成すると
ともに、 該ファブリペロー干渉計への該信号光の入射路と該ファ
ブリペロー干渉計からの該信号光の出射路とを光学的対
称に構成したことを特徴とする、レーザ干渉計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34941699A JP2001165612A (ja) | 1999-12-08 | 1999-12-08 | レーザ干渉計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34941699A JP2001165612A (ja) | 1999-12-08 | 1999-12-08 | レーザ干渉計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001165612A true JP2001165612A (ja) | 2001-06-22 |
Family
ID=18403607
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34941699A Withdrawn JP2001165612A (ja) | 1999-12-08 | 1999-12-08 | レーザ干渉計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001165612A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2314235A3 (en) * | 2009-10-21 | 2015-03-18 | Covidien LP | Methods for ultrasonic tissue sensing and feedback |
| US9050089B2 (en) | 2011-05-31 | 2015-06-09 | Covidien Lp | Electrosurgical apparatus with tissue site sensing and feedback control |
| US9693816B2 (en) | 2012-01-30 | 2017-07-04 | Covidien Lp | Electrosurgical apparatus with integrated energy sensing at tissue site |
-
1999
- 1999-12-08 JP JP34941699A patent/JP2001165612A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2314235A3 (en) * | 2009-10-21 | 2015-03-18 | Covidien LP | Methods for ultrasonic tissue sensing and feedback |
| US9050089B2 (en) | 2011-05-31 | 2015-06-09 | Covidien Lp | Electrosurgical apparatus with tissue site sensing and feedback control |
| US9693816B2 (en) | 2012-01-30 | 2017-07-04 | Covidien Lp | Electrosurgical apparatus with integrated energy sensing at tissue site |
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| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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