JP2001165273A - Worktable device - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、ワークを直線移
動させることが可能なワークテーブル装置に関するもの
である。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a work table device capable of linearly moving a work.
【０００２】[0002]
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】一般
に、この種のワークテーブル装置として、例えば、テー
ブルをボールネジとナットとからなる直線移動機構を介
して駆動することで、テーブルに支持されたワークを直
線移動させ得る構成のものが存在する。2. Description of the Related Art Generally, as a work table apparatus of this type, for example, a work table supported by a table is driven by driving the table through a linear moving mechanism comprising a ball screw and a nut. There is a configuration in which can be moved linearly.
【０００３】従って、ボールネジの回転力がテーブルに
伝達されると、テーブルが傾斜方向に移動し、ワークの
加工精度が低下する問題が生じていた。この問題を解決
するには、ボールネジとナットとの間に静圧流体を介在
させて、ボールネジの回転による変位が吸収されるよう
にすれば良い。しかし、この構成では、ボールネジとナ
ットとの間の螺旋部に加圧流体を供給する装置が必要で
あること等から、コスト高となる新たな問題が生じてい
た。また、テーブルのナット部分を分離させてもよい
が、このようにすると、テーブルと分離部分とが上下に
積層されて、分離部分のためのガイドレールも必要とな
り、構成が複雑かつ大きくなってしまうという問題があ
った。[0003] Therefore, when the rotational force of the ball screw is transmitted to the table, the table moves in the inclined direction, and there has been a problem that the processing accuracy of the work is reduced. To solve this problem, a static pressure fluid may be interposed between the ball screw and the nut so as to absorb the displacement caused by the rotation of the ball screw. However, in this configuration, a device for supplying a pressurized fluid to a helical portion between the ball screw and the nut is required. Further, the nut portion of the table may be separated, but in this case, the table and the separation portion are vertically stacked, and a guide rail for the separation portion is also required, and the configuration becomes complicated and large. There was a problem.
【０００４】本発明は、上記従来技術に存在する問題点
に着目してなされたものであって、その目的は、テーブ
ルの傾斜を防止できるとともに、コンパクトなワークテ
ーブル装置を安価に提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the problems existing in the prior art described above, and has as its object to provide a compact work table device at a low cost while preventing the table from tilting. is there.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１に記載の発明は、スライダとテーブルと
を基台の同一のガイドレールで支持し、連結部はスライ
ダとテーブルとの間の前記相対回転を許容することを要
旨としている。In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, a slider and a table are supported by the same guide rail on a base, and a connecting portion is connected to the slider, the table and the table. The gist is that the relative rotation during the period is allowed.
【０００６】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の発明において、スライダおよびテーブルとガイドレー
ルとの案内面には静圧部を介在させたことを要旨として
いる。According to a second aspect of the present invention, in the first aspect, a static pressure portion is interposed on a guide surface between the slider, the table, and the guide rail.
【０００７】請求項３に記載の発明は、請求項１または
２に記載の発明において、連結部には静圧部を設け、そ
の静圧部を介してスライダの動きがテーブルに伝達され
ることを要旨としている。（作用）請求項１に記載の発
明によれば、スライダとテーブルとが基台の同一のガイ
ドレールで支持されるとともに、連結部がスライダとテ
ーブルとの相対回転を許容する。従って、ワークテーブ
ル装置の高さを低く抑えることで、ワークテーブル装置
全体をコンパクトにでき、かつ、安価に提供することが
できるだけでなく、ボールネジの回転による傾斜方向の
動きが連結部で吸収され、高精度加工が可能になる。According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect, a static pressure portion is provided in the connecting portion, and the movement of the slider is transmitted to the table via the static pressure portion. The main point is. (Operation) According to the first aspect of the present invention, the slider and the table are supported by the same guide rail on the base, and the connecting portion allows the relative rotation between the slider and the table. Therefore, by keeping the height of the work table device low, not only can the entire work table device be made compact and inexpensive, but also the movement in the tilt direction due to the rotation of the ball screw is absorbed by the connecting portion, High precision processing becomes possible.
【０００８】請求項２に記載の発明によれば、スライダ
およびテーブルは、静圧部を介して同一のガイドレール
により円滑に案内される。請求項３に記載の発明によれ
ば、スライダの動きが静圧部を介してテーブルに伝達さ
れる。従って、例えば、ボールネジの始動・停止時の衝
撃や、ボールネジの振動等を静圧流体で吸収できる。ま
た、ボールネジの回転によるスライダの傾斜が抵抗なく
おこなわれ、その傾斜運動がテーブルに伝達されるのを
確実に防止できる。According to the second aspect of the invention, the slider and the table are smoothly guided by the same guide rail via the static pressure portion. According to the third aspect of the invention, the movement of the slider is transmitted to the table via the static pressure portion. Therefore, for example, the shock at the start / stop of the ball screw, the vibration of the ball screw, and the like can be absorbed by the static pressure fluid. Further, the inclination of the slider due to the rotation of the ball screw is performed without resistance, and the inclination movement can be reliably prevented from being transmitted to the table.
【０００９】[0009]
【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した一実施
の形態について説明する。図１は、本実施の形態のワー
クテーブル装置１１を備えた、加工機としての研削機を
示す。研削機は砥石車１２を備え、砥石車１２の回転駆
動によりワークＷの研削加工を行う。ワークテーブル装
置１１は研削機の基台１３に組み込まれ、研削加工に供
されるワークＷを支持する。クランプ機構１４がテーブ
ル２２の上面に載置され、それらの間にワークＷが狭持
される。ワークテーブル装置１１は、研削加工中にワー
クＷを図面左右方向に往復直線移動させる。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below. FIG. 1 shows a grinding machine as a processing machine provided with a work table device 11 of the present embodiment. The grinding machine includes a grinding wheel 12, and performs a grinding process on the work W by rotating the grinding wheel 12. The work table device 11 is incorporated in a base 13 of a grinding machine and supports a work W to be subjected to grinding. The clamp mechanism 14 is placed on the upper surface of the table 22, and the work W is held between them. The work table device 11 linearly moves the work W back and forth in the horizontal direction of the drawing during the grinding process.
【００１０】前記ワークテーブル装置１１について、図
１〜図４に従って詳述すると、一対のガイドレール２１
は、水平面である基台１３の上面１３ａに所定間隔を以
って平行に敷設されている。ガイドレール２１は横断面
「コ」字状をなし、他方のガイドレール２１に対して開
口を対向させた状態で配置されている。The work table device 11 will be described in detail with reference to FIGS.
Are laid in parallel with a predetermined interval on the upper surface 13a of the base 13 which is a horizontal plane. The guide rail 21 has a U-shaped cross section, and is arranged with the opening facing the other guide rail 21.
【００１１】図１および図２に示すように、テーブル２
２は基台１３の上面１３ａに配置される。一対のテーブ
ル用ガイド凸部２３は、テーブル２２のガイドレール２
１に対向する両側面の下部に形成され、テーブル２２の
長手方向に延在されている。テーブル用ガイド凸部２３
は、対向するガイドレール２１内に入り込んでいる。テ
ーブル２２はテーブル用ガイド凸部２３を以ってガイド
レール２１に支持され、テーブル用ガイド凸部２３がガ
イドレール２１により案内されることで、さらに詳述す
れば、テーブル用ガイド凸部２３側の案内面である上面
２３ａ、側面２３ｂ及び下面２３ｃが、それぞれ対向す
るガイドレール２１側の案内面である上面２１ａ、側面
２１ｂ及び下面２１ｃに案内されることで、ガイドレー
ル２１の延在方向に沿って直線移動可能である。As shown in FIG. 1 and FIG.
2 is arranged on the upper surface 13a of the base 13. The pair of guide protrusions 23 for the table is provided on the guide rail 2 of the table 22.
1 is formed at the lower part of both side surfaces facing to 1, and extends in the longitudinal direction of the table 22. Table guide projection 23
Are inserted into the opposing guide rails 21. The table 22 is supported by the guide rails 21 with the guide protrusions 23 for the table, and the guide protrusions 23 for the table are guided by the guide rails 21. The upper surface 23a, the side surface 23b, and the lower surface 23c, which are the guide surfaces, are guided by the upper surface 21a, the side surface 21b, and the lower surface 21c, which are the guide surfaces on the guide rail 21 side facing each other. It can move linearly along.
【００１２】図１および図３に示すように、スライダ２
４は、テーブル２２の下方に配置されている。スライダ
２４には、ナットとしてのネジ孔２４ａが貫設されてい
る。また、テーブル２２の前後両側において、スライダ
上部には前記テーブル用ガイド凸部２３が案内されると
同一のガイドレール２１内に入り込むスライダ用ガイド
凸部２５が突設される。さらに、その上方は連結部２６
となっている。スライダ用ガイド凸部２５側の案内面で
ある上面２５ａ、側面２５ｂ及び下面２５ｃが、それぞ
れ対向するガイドレール２１側の案内面である上面２１
ａ、側面２１ｂ及び下面２１ｃに案内されることで、ガ
イドレール２１の延在方向に沿って直線移動可能であ
る。As shown in FIGS. 1 and 3, the slider 2
4 is arranged below the table 22. The slider 24 is provided with a screw hole 24a as a nut. On both sides of the front and rear sides of the table 22, slider guide projections 25 projecting into the same guide rail 21 when the table guide projections 23 are guided are provided on the slider upper part. Further, the upper part is a connecting part 26.
It has become. The upper surface 25a, the side surface 25b and the lower surface 25c which are the guide surfaces on the slider guide convex portion 25 side are the upper surfaces 21 which are the guide surfaces on the guide rail 21 side facing each other.
By being guided by a, the side surface 21b and the lower surface 21c, it is possible to move linearly along the extending direction of the guide rail 21.
【００１３】図４に示すように、連結部２６に設けられ
る静圧部２７は、テーブル２２に設けられる静圧凸部２
８と、スライダ２４に設けられる静圧凹部２９とにより
構成される。静圧凸部２８は、テーブル２２の移動方向
と直交方向のテーブル２２側縁に沿って下方に鈎形に形
成されている。静圧凹部２９は、スライダ２４の上部で
テーブル２２の移動方向と直交方向へ前記静圧凸部２８
と対応して延設される。そして、テーブル２２に設けら
れる静圧凸部２８が静圧凹部２９に嵌合される。As shown in FIG. 4, the static pressure portion 27 provided on the connecting portion 26 is provided with a static pressure convex portion 2 provided on the table 22.
8 and a static pressure recess 29 provided in the slider 24. The static pressure convex portion 28 is formed in a hook shape downward along a side edge of the table 22 in a direction orthogonal to the moving direction of the table 22. The static pressure concave portion 29 is provided on the slider 24 in a direction orthogonal to the moving direction of the table 22 so that the static pressure convex portion 28
It is extended correspondingly. Then, the static pressure convex portion 28 provided on the table 22 is fitted into the static pressure concave portion 29.
【００１４】ボールネジ３０は、基台１３に回転可能に
支持され、テーブル２２の移動方向に延在されている。
ボールネジ３０は、前記スライダ２４のナットとしての
ネジ孔２４ａに螺通されている。これらボールネジ３０
とネジ孔２４ａとにより直線移動機構が構成される。駆
動手段としてのモータ３１は基台１３の外側方に配設さ
れ、ボールネジ３０を正逆方向へ回転駆動する。従っ
て、スライダ２４は、ボールネジ３０が正逆方向へ回転
駆動されることで往復直線移動される。The ball screw 30 is rotatably supported by the base 13 and extends in the direction in which the table 22 moves.
The ball screw 30 is threaded through a screw hole 24 a as a nut of the slider 24. These ball screws 30
And the screw hole 24a constitute a linear moving mechanism. A motor 31 as a driving means is disposed outside the base 13 and drives the ball screw 30 to rotate in forward and reverse directions. Therefore, the slider 24 is reciprocated linearly as the ball screw 30 is driven to rotate in the forward and reverse directions.
【００１５】静圧ポケット３２は、各テーブル用ガイド
凸部２３の上面２３ａ、側面２３ｂおよび下面２３ｃに
おいて、テーブル用ガイド凸部２３の延在方向に所定間
隔で複数が設けられている。静圧ポケット３３は、各ス
ライダ用ガイド凸部２５の上面２５ａ、側面２５ｂおよ
び下面２５ｃにおいて、スライダ用ガイド凸部２５の延
在方向に所定間隔で複数が設けられている。静圧ポケッ
ト３４は、静圧部２７の静圧凸部２８を構成する各面
（３面）において、それぞれ所定間隔で複数が設けられ
ている。A plurality of static pressure pockets 32 are provided on the upper surface 23a, side surface 23b, and lower surface 23c of each table guide protrusion 23 at predetermined intervals in the direction in which the table guide protrusions 23 extend. A plurality of static pressure pockets 33 are provided at predetermined intervals in the extending direction of the slider guide protrusions 25 on the upper surface 25a, side surface 25b, and lower surface 25c of each slider guide protrusion 25. A plurality of static pressure pockets 34 are provided at predetermined intervals on each surface (three surfaces) constituting the static pressure convex portion 28 of the static pressure portion 27.
【００１６】ポンプ３５はテーブル２２に内蔵されてお
り、吐出管路３５ａを介して各静圧ポケット３２，３
３，３４に接続され、加工液を加圧して各静圧ポケット
３２，３３，３４に供給する。The pump 35 is built in the table 22, and is connected to each of the static pressure pockets 32, 3 via a discharge line 35a.
The working fluid is supplied to each of the static pressure pockets 32, 33, and 34 under pressure.
【００１７】加圧された加工液を、テーブル用ガイド凸
部２３の各静圧ポケット３２、およびスライダ用ガイド
凸部２５の各静圧ポケット３３に供給することで、対面
する各間に静圧液体薄膜が形成され、テーブル２２およ
びスライダ２４が同一のガイドレール２１に対して浮遊
される。同様に、加圧された加工液を、静圧凸部２８の
各静圧ポケット３４に供給することで、静圧凸部２８を
構成する各面（３面）と静圧凹部２９を構成する各面
（３面）との各間に静圧液体薄膜が形成され、テーブル
２２がスライダ２４に対して浮遊される。The pressurized working fluid is supplied to each of the static pressure pockets 32 of the table guide convex portion 23 and each of the static pressure pockets 33 of the slider guide convex portion 25, so that the static pressure is applied between the facing portions. A liquid thin film is formed, and the table 22 and the slider 24 float on the same guide rail 21. Similarly, by supplying the pressurized working fluid to each of the static pressure pockets 34 of the static pressure convex portion 28, each surface (three surfaces) constituting the static pressure convex portion 28 and the static pressure concave portion 29 are formed. A static pressure liquid thin film is formed between each surface (three surfaces), and the table 22 floats on the slider 24.
【００１８】さて、回転するボールネジ３０により、ス
ライダ２４には傾斜方向への力が作用する。しかし、テ
ーブル２２は、連結部２６を介してボールネジ３０の延
長方向と直交する方向に相対移動可能にスライダ２４に
対して静圧受けされている。従って、ボールネジ３０か
ら伝達されるスライダ２４の傾斜は、静圧凸部２８，静
圧凹部２９間の静圧部２７で吸収され、テーブル２２に
伝達されることはない。その結果、ワークＷを精度よく
加工することができる。Now, a force in an inclined direction acts on the slider 24 by the rotating ball screw 30. However, the table 22 is received by the slider 24 via the connecting portion 26 so as to be relatively movable in a direction orthogonal to the direction in which the ball screw 30 extends. Therefore, the inclination of the slider 24 transmitted from the ball screw 30 is absorbed by the static pressure portion 27 between the static pressure convex portion 28 and the static pressure concave portion 29, and is not transmitted to the table 22. As a result, the work W can be processed with high accuracy.
【００１９】上記構成の本実施形態においては、次のよ
うな効果を奏する。 （１） ボールネジ３０から伝達されるスライダ２４の
傾斜は、静圧凸部２８，静圧凹部２９間の静圧部２７で
吸収され、テーブル２２の傾斜を抑えて高精度加工を実
現できる。また、テーブル２２とスライダ２４とは同一
のガイドレール２１に案内される。従って、ワークテー
ブル装置の高さを低く抑えることができ、ワークテーブ
ル装置１１全体をコンパクト化することができるととも
に、ガイド機構が簡素化される。The present embodiment having the above configuration has the following effects. (1) The inclination of the slider 24 transmitted from the ball screw 30 is absorbed by the static pressure portion 27 between the static pressure convex portion 28 and the static pressure concave portion 29, and the inclination of the table 22 can be suppressed to realize high precision machining. The table 22 and the slider 24 are guided by the same guide rail 21. Therefore, the height of the work table device can be reduced, the whole work table device 11 can be made compact, and the guide mechanism can be simplified.
【００２０】（２） テーブル２２およびスライダ２４
は、連結部２６において静圧部２７を介して連結される
とともに、同一のガイドレール２１に案内される。従っ
て、テーブル２２の直線移動がスムーズになるととも
に、前記と同様に構成が簡素化される。(2) Table 22 and slider 24
Are connected at a connecting portion 26 via a static pressure portion 27 and guided by the same guide rail 21. Accordingly, the linear movement of the table 22 becomes smooth, and the configuration is simplified as described above.
【００２１】（３） スライダ２４の動きが静圧部２７
を介してテーブル２２に伝達されるため、例えば、ボー
ルネジ３０の始動・停止時の衝撃や、ボールネジ３０の
振動等を静圧流体で吸収できる。また、ボールネジ３０
の回転によるスライダ２４の傾斜が抵抗なくおこなわ
れ、その傾斜運動がテーブル２２に伝達されるのを確実
に防止できる。(3) The movement of the slider 24 is controlled by the static pressure portion 27.
The table 22 is transmitted to the table 22 through the interface, so that, for example, the shock at the start and stop of the ball screw 30 and the vibration of the ball screw 30 can be absorbed by the static pressure fluid. Also, the ball screw 30
The rotation of the slider 24 causes the slider 24 to tilt without resistance, and the tilting motion can be reliably prevented from being transmitted to the table 22.
【００２２】なお、本発明の趣旨から逸脱しない範囲
で、以下の態様でも実施できる。 ・ 上記実施の形態において、ボールネジ３０を基台１
３に固定して回転不能とし、スライダ２４のナット（２
４ａ）部分を回転駆動することで、スライダ２４を直線
移動させるように構成すること。The present invention can be implemented in the following modes without departing from the spirit of the present invention. In the above embodiment, the ball screw 30 is mounted on the base 1
3 to prevent rotation, and a nut (2
4a) A configuration in which the slider 24 is moved linearly by rotationally driving the portion.
【００２３】・ 研削機以外の加工機として、切削機や
フライス機等に適用されるワークテーブル装置として具
体化すること。次に、前記実施の形態から把握できる技
術的思想について以下に記載する。As a processing machine other than a grinding machine, the present invention is embodied as a work table device applied to a cutting machine, a milling machine, or the like. Next, technical ideas that can be grasped from the embodiment will be described below.
【００２４】・ 請求項１のワークテーブル装置におい
て、スライダおよびテーブルとガイドレールとの案内面
に転がり軸受けを介在させること。このように構成した
場合、転動素子としてコロやボールを使って、スライダ
およびテーブルのガイドレールに対する直線移動が確実
におこなわれる。従って、案内面に静圧部を介在させる
場合に比してポンプ等が不要となり、構成が簡単にな
る。[0024] In the worktable device according to claim 1, a rolling bearing is interposed on a guide surface between the slider, the table and the guide rail. In such a configuration, linear movement of the slider and the table with respect to the guide rail is reliably performed by using a roller or a ball as a rolling element. Accordingly, a pump or the like is not required as compared with a case where a static pressure portion is interposed on the guide surface, and the configuration is simplified.
【００２５】[0025]
【発明の効果】この発明は、以上のように構成されてい
るため、次のような効果を奏する。請求項１に記載の発
明によれば、スライダとテーブルとが基台の同一のガイ
ドレールで支持されるとともに、連結部がスライダとテ
ーブルとの相対回転を許容する。従って、ワークテーブ
ル装置の高さを低く抑えることで、ワークテーブル装置
全体をコンパクトにでき、かつ、安価に提供することが
できるだけでなく、ボールネジの回転による傾斜方向の
動きが連結部で吸収され、高精度加工が可能になる。The present invention is configured as described above, and has the following effects. According to the first aspect of the present invention, the slider and the table are supported by the same guide rail on the base, and the connecting portion allows relative rotation between the slider and the table. Therefore, by keeping the height of the work table device low, not only can the entire work table device be made compact and inexpensive, but also the movement in the tilt direction due to the rotation of the ball screw is absorbed by the connecting portion, High precision processing becomes possible.
【００２６】請求項２に記載の発明によれば、請求項１
の効果に加えて、スライダおよびテーブルは、静圧部を
介して同一のガイドレールにより円滑に案内される。請
求項３に記載の発明によれば、請求項１または２の効果
に加えて、スライダの動きが静圧部を介してテーブルに
伝達される。従って、例えば、ボールネジの始動・停止
時の衝撃や、ボールネジの振動等を静圧流体で吸収でき
る。また、ボールネジの回転によるスライダの傾斜が抵
抗なくおこなわれ、その傾斜運動がテーブルに伝達され
るのを確実に防止できる。According to the invention described in claim 2, according to claim 1
In addition to the effects described above, the slider and the table are smoothly guided by the same guide rail via the static pressure portion. According to the third aspect of the invention, in addition to the effects of the first or second aspect, the movement of the slider is transmitted to the table via the static pressure portion. Therefore, for example, the shock at the start / stop of the ball screw, the vibration of the ball screw, and the like can be absorbed by the static pressure fluid. Further, the inclination of the slider due to the rotation of the ball screw is performed without resistance, and the inclination movement can be reliably prevented from being transmitted to the table.
【図１】 研削機の正面図であり、一部を破断して示す
図。FIG. 1 is a front view of a grinding machine, partially cut away.
【図２】 図１のＡ−Ａ線断面図。FIG. 2 is a sectional view taken along line AA of FIG.
【図３】 図１のＢ−Ｂ線断面図。FIG. 3 is a sectional view taken along line BB of FIG. 1;
【図４】 図１の要部拡大図。FIG. 4 is an enlarged view of a main part of FIG. 1;
１１…ワークテーブル装置、１３…基台、２１…ガイド
レール、２２…テーブル、２４…スライダ、２４ａ…ナ
ットとしてのネジ孔、２６…連結部、２７…静圧部、３
０…ボールネジ、３１…駆動手段としてのモータ、Ｗ…
ワーク。DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... Work table apparatus, 13 ... Base, 21 ... Guide rail, 22 ... Table, 24 ... Slider, 24a ... Screw hole as a nut, 26 ... Connection part, 27 ... Static pressure part, 3
0 ... ball screw, 31 ... motor as drive means, W ...
work.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｆ１６Ｃ 32/06 Ｂ２３Ｑ 1/26 Ｅ ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) F16C 32/06 B23Q 1/26 E
Claims (3)
ダと、基台にスライダと同方向へ移動可能に支持され、
加工に供されるワークを支持するためのテーブルと、ス
ライダとテーブルとを連結してスライダの移動をテーブ
ルに伝達するための連結部と、ボールネジとナットとか
らなりスライダに連結された直線移動機構と、ボールネ
ジとナットとを相対回転させる駆動手段とを備えたワー
クテーブル装置において、 前記スライダとテーブルとを基台の同一のガイドレール
で支持し、前記連結部はスライダとテーブルとの間の前
記相対回転を許容することを特徴としたワークテーブル
装置。A slider disposed on the base so as to be linearly movable; and a slider supported on the base so as to be movable in the same direction as the slider.
A table for supporting a workpiece to be processed, a connecting part for connecting the slider to the table and transmitting the movement of the slider to the table, and a linear moving mechanism comprising a ball screw and a nut and connected to the slider And a driving means for relatively rotating a ball screw and a nut, wherein the slider and the table are supported by the same guide rail of a base, and the connecting portion is provided between the slider and the table. A worktable device characterized by allowing relative rotation.
との案内面には静圧部を介在させたことを特徴とした請
求項１に記載のワークテーブル装置。2. The worktable device according to claim 1, wherein a static pressure portion is interposed on a guide surface between the slider, the table, and the guide rail.
介してスライダの動きがテーブルに伝達されることを特
徴とした請求項１または２に記載のワークテーブル装
置。3. The work table device according to claim 1, wherein a static pressure portion is provided at the connecting portion, and the movement of the slider is transmitted to the table via the static pressure portion.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35014699A JP3532133B2 (en) | 1999-12-09 | 1999-12-09 | Work table device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35014699A JP3532133B2 (en) | 1999-12-09 | 1999-12-09 | Work table device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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|---|---|---|---|---|
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-
1999
- 1999-12-09 JP JP35014699A patent/JP3532133B2/en not_active Expired - Lifetime
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