JP2001162118A - ガス多孔質金属フィルター - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、多数の微細な貫通孔５を従来の技術
と比較して、容易に、かつ経済的に形成して、高い瀘過
精度を確保するとともに、瀘過時のエネルギー損失を低
減させて、繰り返し使用可能なフィルターを提供する。 【解決手段】流体透過性の瀘過媒体１−ａ中に流体２０
を透過させて、流体２０中の異物２１を除去するフィル
ターであって、瀘過媒体１−ａは、溶融状態の金属にガ
ス原子を溶解し、凝固して、生成されたポーラス金属か
らなり、該ポーラス金属のポア（気孔）６が流体２０の
通路となる直線状に形成された貫通孔５を構成してい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば水、空気、
油、溶融ポリマー等の流体中に含まれる固体又はゲル状
物等の異物を分離するために用いるフィルター装置の材
料及び構造に関するものであり、とりわけ、高温、高
圧、腐食環境などの厳しい条件下においても使用できる
フィルターに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】空隙を有する瀘過媒体を用い、その空隙
を通過するか否かによって流体中の異物を捕捉し、分離
するために用いられるフィルターには、より細かい粒子
を除去し、かつ、その際のエネルギー損失が小さいこと
という観点から空隙の寸法が小さいこと及び空隙率（瀘
材全体の体積に対する空隙の体積比率）が大きいことが
望まれている。

【０００３】従来のフィルターにおける瀘過媒体には、
穴明き金属板、金網、金属繊維不織布、或いは、粉末焼
結多孔質金属などが用いられてきた。

【０００４】この場合、空隙を得る方法として、穴明き
金属板は、金属に所与の径の孔をあけたものである。

【０００５】又、金網、不織布等は、金属繊維を織物又
は不織布構造とし、その繊維間の隙間によっている。更
に、粉末焼結多孔質金属は金属粉末を成形する際に形成
される空隙を利用するものである。又、これらのものを
組み合せて、用いるものもある。例えば、特開平３−７
２９０７号公報には、縦横９０度に金網に重ね合わせた
後、加圧及び焼結して、瀘過媒体を製造する方法につい
て記載されている。

【０００６】又、例えば特開平５−０７０８０８号公報
には、金属短繊維を含む金属微細粉と結合材を含む材料
とを射出成形して、予備成型品を得て、次に、該予備成
型品に含まれている結合材を消失し、拡散接合によって
結合する焼結を行なうとする金属繊維不織布による製造
方法について記載されている。

【０００７】更に、例えば、特開平７−１５５５２０号
公報には、畳織りまたはむしろ織りの金網を圧下して、
得られた孔径５〜２０μｍの基板の片面上に金属粉末を
焼結して、５μｍ以下の孔径を有する瀘過媒体である粉
末焼結多孔質金属による製造方法について記載されてい
る。

【０００８】しかしながら、穴明き金属板は微細な径の
孔をあけることが困難であるため、空隙の寸法（孔径）
は比較的大きいものにとどまる。

【０００９】又、上記の他の製造方法による瀘過媒体
は、空隙の寸法は比較的小さくすることができるが、瀘
過時に流体の通過が屈曲、分流、合流等により複雑であ
り、かつ、その延長は瀘過媒体の厚みより長くなり、エ
ネルギー損失が大きくなるという問題がある。

【００１０】更に、瀘過媒体の空隙に捕捉された固体粒
子やゲルなどの異物が累積し、瀘過性能が低下するが、
流体の通過経路が複雑な場合は、例えば瀘過時と逆方向
に流体を流す逆洗などの方法によっても完全には除去さ
れず、フィルターの使用寿命が低下するという問題があ
る。

【００１１】又更に、瀘過媒体における高い空隙率を得
ようとすると、強度の低下を招いたり、表面凹凸構造に
よる取り付け部のシール性の低下及び円筒状の曲げ加工
とその接合部による瀘過効率の低下等並びにこれらの製
造過程における手間とそれによる非経済性の問題があ
る。

【００１２】

【発明が解決しょうとする課題】本発明は、上記のよう
な従来のフィルターにおける瀘過媒体の問題点に鑑み、
なされたもので、高い瀘過精度を確保すると共に、瀘過
時のエネルギー損失を低減させ、かつ、繰り返し使用で
きるより経済的なガス多孔質金属フィルター及びその製
造方法を提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明のガス多孔質金属
フィルターは、前記瀘過媒体が溶融状態の金属ガス原子
を溶解し、凝固して、生成されたポーラス金属からな
り、ポーラス金属の気孔が流体の通路となる複数の貫通
孔を構成し、該貫通孔は直線状に形成されていることを
特徴とする。

【００１４】本発明のガス多孔質金属フィルターによれ
ば、前記瀘過媒体がガス原子を溶解し、凝固して、生成
されたポーラス金属によって形成された前記貫通孔を構
成しているため、従来困難であった微小な径の貫通孔を
多数形成し、又、空隙率を上げても比強度が変化しない
という特性をもち、前記逆洗操作により累積した該異物
は、逆方向へ容易に除去される。しかも、該瀘過媒体を
比較的簡単に安価に作製することができる。

【００１５】前記貫通孔は、直線状に形成されているた
め、流体の通過経路の長さが短く、流体通過時のエネル
ギー損失が小さいガス多孔質金属フィルターを得ること
ができる。

【００１６】前記瀘過媒体に形成された前記貫通孔が複
数の一方向性気孔で、レンコン状に構成され、又は複数
の放射状気孔で、円筒状に構成され、更に又は、複数の
放射状気孔で、球状に拡って、構成されている。

【００１７】更に、前記貫通孔の径が開口始端から開口
終端の間で相異する部分を有し、径が開口始端で大き
く、開口終端に向かって、小さくなるような形状とすれ
ば、流体中の異物が該異物の寸法に応じた径の部分で停
留することによって累積した異物の捕捉率の大きいフィ
ルターが得られ、前記逆洗操作により累積した該異物
は、逆方向へより容易にフィルターから除去される。

【００１８】又、例えば、前記貫通孔の径が開口始端か
ら開口終端に向かって、拡るような形状とすれば、流体
中の異物は、前記瀘過媒体の上流面に停留し、一方該流
体は、該異物を除去された後、開口始端の径よりも大き
い径の開口終端に向かって、流れるため、該貫通孔を通
過する時に生じるエネルギー損失は、該径が一定の場合
に比べて、さらに低減する。

【００１９】又更に、前記瀘過媒体の一部がノンポーラ
ス領域となるように構成され、その領域が流体に対し、
不透過性となり、瀘過面以外から流体が漏れるのを防ぐ
ことができ、フィルター全体のシール性を高めると共
に、瀘過装置に組み込むのに適した形状を得ることがで
きる。

【００２０】例えば、各々、貫通孔の径が異なった２個
の前記瀘過媒体を上下重ねて、用い、下方の該瀘過媒体
に支持材の機能をもたせ、更に、又上記の種々の機能を
比較的簡単にもたせることができる。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図示
例に基づいて説明する。

【００２２】実施の形態１ 図１に示すフィルターは、円板状の瀘過媒体１−ａと、
穴明き金属板、金網又は、ガス多孔質材等からなる補助
材２からなり、円筒状の筺体１０−ａに設けられた溝部
１１にガスケット３を介して、取り付けられている。該
溝部１１は、筺体１０−ａの一部をなす管部分１０−ｂ
とこれにねじ接合される他方の管部分１０−ｃとの間に
形成されている。

【００２３】前記瀘過媒体１−ａは、例えば、特開平１
０−８８２５４号で記載されているポーラス金属の製造
方法並びに、特願平１０−２２７６２４号として出願さ
れているポーラス金属の製造方法によるポーラス金属を
加工して得られる。すなわち、瀘過媒体１−ａは加圧ガ
ス雰囲気下で金属を溶融し、凝固して、生成されたポー
ラス金属から加工してなり、図１に示すように、内部に
直線状の貫通孔５を有しており、貫通孔５は互いに平行
に形成されている。

【００２４】前記ポーラス金属の構成金属（母材ｂａｓ
ｅ ｍｅｔａｌ）は、フィルターの要求性能に応じて、
例えば、ステンレス鋼や銅系合金などの非鉄金属を選択
することができる。

【００２５】前記ポーラス金属の製造過程において用い
るガスの種類及び圧力並びに凝固条件は、例えば、特開
平１０−８８２５４号で記載されているポーラス金属の
製造方法、並びに特願平１０−２２７６２４号及び特願
平１１−１９８１０９号として出願されているように、
生成すべき気孔の径や分布密度、あるいは金属の種類に
応じて選択して、用いる。この方法により、微小な貫通
孔５、例えば、従来困難であった数μｍの径の貫通孔５
を一様に分布させることも容易にできる。

【００２６】図２に示すように、瀘過される流体２０は
瀘過媒体１−ａの上流面１−ｂに供給されるが、圧力を
加えられているため、さらに貫通孔５を通り、瀘過媒体
１−ａの下流面１−ｃに達する。このとき、流体中の異
物２１の寸法が貫通孔５の径より大きい場合には、異物
２１は貫通孔５を通過することができない。結果とし
て、瀘過媒体１−ａの下流面１−ｃには貫通孔５の径よ
り小さい異物２１のみが到達し、これより大きい異物
は、瀘過媒体１−ａ通過後の流体３０から除去される。
貫通孔５の径を所与の値に形成することで、目的とする
瀘過精度のフィルターを得ることができる。

【００２７】又、前記瀘過媒体１−ａの厚み及び前記貫
通孔５の孔径ｄ、数、分布などはフィルターの所要性能
から決定するが、瀘過時の流体抵抗及びエネルギー損失
の観点からは、図２からも明らかなように貫通孔５の数
が多いほど、すなわち、空隙率が大きいほど好ましい。

【００２８】瀘過におけるエネルギー損失について説明
する。瀘過時に流体の通る経路をＬとすると、従来技術
によれば、Ｌ＞＞ｈ（ｈは瀘過媒体Ｉ−ａの厚み）であ
るのに対して、本発明によれば、図２に示すようにＬ＝
ｈであるため、同じ空隙寸法の場合、本発明のフィルタ
ーは従来のものに比べて、エネルギー損失がより小さ
い。なお、本発明によれば、ｈは任意の値に形成するこ
とが可能である。

【００２９】又、貫通孔５は通常その全長にわたり径が
ほぼ一定であるため、異物２１は瀘過媒体１−ａの上流
面１−ｂの近辺にとどまる。したがって、前記逆洗を行
なえば、瀘過時と逆方向の流体の流れ３１によって、前
記異物２１は容易に除去され、フィルターを繰り返し使
用することができる。

【００３０】前記補助材２は、貫通孔径及び空隙率を大
きくした前記ポーラス金属から形成してもよく、又、瀘
過媒体１−ａの強度や剛性が充分にある場合には、省略
することができる。又、前記ガスケット３は瀘過媒体１
−ａと溝部１１との間の流体シールのために設けられる
が、本発明においては多くの場合、瀘過媒体１−ａの上
流面１−ｂ又は、下流面１−ｃがシールするうえで充分
に滑らかに仕上げることができるため省略することが可
能である。なお、瀘過媒体１−ａ、取り付け溝１１の形
状は図示に限定されるものではない。

【００３１】つぎに、瀘過媒体１−ａの製造方法につい
て図３を参照して説明する。上記ポーラス金属の製造過
程において、断面が円形その他の形状をした筒状の鋳型
を用い、例えば底部から冷却し上部へ向かって凝固させ
ると、図３（イ）に示すように、その長手方向の一方向
性気孔に形成され、レンコン状に構成された複数のポア
（気孔）６をもつ円柱状のポーラス金属Ａができる。

【００３２】又、図３（ロ）に示すように、円柱状の金
属Ａを、例えば、ワイヤカット、研削加工、その他材料
の塑性変形によりポア（気孔）６が悪影響を受けない方
法で、円盤状の金属Ｂに切断、加工し、所定の寸法にす
るとともに、ポア（気孔）６を片面の開口始端７から反
対側の面の開口終端８まで貫通させて、貫通孔５を形成
する。場合によっては、その後、環状の金属Ｂの外周表
面Ｄを研削加工など材料の塑性変形によりポア（気孔）
６が塞がれたり悪影響を受けない方法により加工し、溝
部１１に挟合するのに適した所定の寸法にする。

【００３３】実施の形態２ つぎに、他の実施形態について説明する。図４に示すフ
ィルターは本発明による円筒状フィルターの例であっ
て、前記ポーラス金属からなる円筒状の瀘過媒体１−ａ
が円板状の筺体１０−ａに設けられた溝部１１に取付け
られ、瀘過媒体１−ａは、内部に直線状の貫通孔５を有
しており、該貫通孔５は放射状に形成されている。瀘過
される流体２０はフィルターの内部から供給され、瀘過
媒体１−ａにより前述の原理により瀘過された後、フィ
ルターの外面から回収されるが、逆の流れとしてもよ
い。又、フィルターは、補助材２を設けることによって
種々の機能を持たせることもできる。

【００３４】前記円筒状の瀘過媒体１−ａの製造方法に
ついて説明する。前記ポーラス金属の製造過程におい
て、加圧ガス雰囲気のもとに溶融した金属を所要の形状
寸法の鋳型に注入し、一方向から冷却して凝固させる。
この場合、円筒状の鋳型を用い、例えば、鋳型の外側か
ら冷却し中心部へ向かって凝固させると、図５（イ）に
示すように、内部に直線状に連続したポア（気孔）６が
放射状に形成されたドーナツ型または柱状のポーラス金
属Ａが得られる。

【００３５】つぎに、図５（ロ）に示すように、柱状の
ポーラス金属Ａを、例えば、ワイヤカット、その他材料
の塑性変形によりポア（気孔）６が悪影響を受けない方
法で、所定長さの柱状又は環状金属Ｂに切断し、その
後、図５（ハ）に示すように、例えば、放電加工あるい
は研削加工、その他材料の塑性変形によりポア（気孔）
６が塞がれたり悪影響を受けない方法で、環状のポーラ
ス金属Ｂの外周表面Ｄ及び内周表面Ｅの一部を除去し、
図５（ニ）の金属Ｃに示すように、所定の寸法にすると
ともに、ポア（気孔）６を外面の開口始端７から内面の
開口終端８まで貫通させて、貫通孔５を形成する。

【００３６】更に、球穀状フィルターの例について説明
する。図６に示す球穀状フィルターは、前記ポーラス金
属からなる中空球状の球穀状瀘過媒体１−ａが管状の筺
体１０−ａに接合されている。該球穀状瀘過媒体１−ａ
は図６に示すように、内部に直線状の貫通孔５を有して
おり、該貫通孔５は放射状に形成されている。瀘過され
る流体２０はフィルターの外面から供給され、瀘過媒体
１−ａにより前述の原理により瀘過された後、フィルタ
ーの内面から回収されるが、逆の流れとしてもよい。
又、瀘過媒体１−ａに接して補助材２を設けてもよい。

【００３７】前記球穀状瀘過媒体１−ａの製造方法につ
いて説明する。前記ポーラス金属の製造過程において、
球状の鋳型を用い、例えば、鋳型の外側から冷却し中心
部へ向かって凝固させると、図６に示すように、内部
に、直線状に連続したポア（気孔）６が放射状に形成さ
れた球状のポーラス金属が得られる。

【００３８】つぎに、前記球状のポーラス金属に筺体１
０−ａの取付け孔を、例えば、放電加工あるいは研削加
工、その他材料の塑性変形によりポア（気孔）６が悪影
響を受けない方法で加工し、その後、例えば、放電加工
あるいは研削加工、その他材料の塑性変形によりポア
（気孔）６が塞がれたり悪影響を受けない方法で、球状
のポーラス金属の外周表面Ｄ及び内周表面Ｅを除去し、
所定の寸法にするとともに、ポア（気孔）６を外面の開
口始端７から内面の開口終端８まで貫通させて、貫通孔
５を形成する。

【００３９】貫通孔５の径を変化させる方法について説
明する。貫通孔５は開口始端７から開口終端８にかけ
て、すなわち流体の流れ方向に対して孔径ｄを変化させ
ることができる。例えば、図７（イ）に示すように、開
口始端７の径を小さく、開口終端８の孔径ｄを徐々に大
きく形成することもできる。又、図７（ロ）に示す例の
場合は、貫通孔５の径が瀘過媒体１−ａの上流面１−ｂ
で最も大きく、下流へ行くに従って小さくなっている。

【００４０】更に、図７（ハ）に示す例では、開口始端
７と開口終端８との中間部９の孔径ｄが、開口始端７及
び開口終端８の孔径ｄに比べて小さく形成されている。
前記貫通孔５の孔径を変化させるには、例えば、特願平
１０−２２７６２４号及び特願平１１−１９８１０９号
として出願されているように金属凝固時の圧力を制御す
る方法によることができるほか、孔径ｄが一定のポア
（気孔）６をもつポーラス金属から、エッチングの技術
により作ることもできる。

【００４１】なお、前記貫通孔５の形状及び大きさは図
示に限るものではなく、フィルター性能から要求される
形状に適宣設定することができる。

【００４２】貫通孔５の存在しないノンポーラス領域４
の製造方法について説明する。更に、本発明による瀘過
媒体１−ａは、図８に示すように、特に周辺部などその
一部分に貫通孔５のないノンポーラス領域４を形成する
ことも可能である。また、瀘過媒体１−ａの中央部にノ
ンポーラス領域４を設け、流体を２分して、瀘過するこ
ともでき、あるいは、ドーナツ状の瀘過媒体１−ａの外
周部と内周部にノンポーラス領域４を設け、中央に中空
管を通すということもできる。これにより、従来技術で
問題となっていた前記フィルター取付け部のシール性や
流体の乱れなどの問題が解決するほか、この部分は貫通
孔５のある部分（瀘過部）と一体に成形されるため、余
分な加工を必要とせず、フィルター全体を経済的に製造
できるようになる。又、貫通孔５という空隙が無いの
で、溶接で装置に取付ける場合にも有利である。

【００４３】前記ポーラス金属のノンポーラス領域４
は、例えば、特願平１０−２２７６２４号及び特願平１
１−１９８１０９号として出願されているように金属凝
固時の圧力条件や冷却条件などを変えることにより形成
することができる。

【００４４】上記実施形態に示した形状は、図示に限定
されるものではない。又、上記実施の形態１及び２に示
した製造方法は、図示に限定されるものではない。

【００４５】又、貫通孔５の軸方向は、瀘過面に対して
必ずしも直角である必要はない。

【００４６】

【発明の効果】以上に述べた構成により、本発明による
ガス多孔質金属フィルターには次のような効果が得られ
る。まず、瀘過媒体には、溶融状態の金属にガス原子を
溶解して、凝固させることによって多数の貫通孔を形成
したため、従来のように、瀘過媒体に空孔のない材料を
用いて機械的な穿孔工程により空隙を設けたり、繊維状
あるいは粒子状の材料を焼結したりして、空隙を形成す
る工程が必要なく、経済的となる。更に従来、困難であ
った微細な孔径の貫通孔も容易に形成することができ
る。又、本発明による瀘過媒体は、空隙の形状が、直線
状の貫通孔となっており、瀘過時の流体エネルギー損失
を著しく低減させることができる。又、本発明による瀘
過媒体は、機械的強度を保ちながら空隙率を高めること
ができるため、瀘過媒体自体の厚みをより小さくし、よ
って、瀘過時の流体エネルギー損失をより低減させるこ
とができる。さらに、本発明によるフィルターの場合、
除去された異物は、瀘過媒体の上流面近辺にとどまるた
め、例えば、逆洗などの方法により容易にフィルターの
目詰まりを解消させることができ、フィルターを繰り返
し使用することを可能とする。このことは、貫通孔の径
を流路方向に変化するように成形することでさらに強調
される。又、特に周辺部などフィルター取付け部に貫通
孔のないノンポーラス領域を形成することにより、経済
的な方法でシール性を高め、フィルターの信頼性を向上
させることができる。

【００４７】以上のように、本発明は、製造費をより低
減するとともに、従来のものに比べて、瀘過時のエネル
ギー損失を著しく低減させ、かつ繰返し使用可能なこと
により、より経済的なフィルターを提供するものであ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に基づくガス多孔質金属フィルターの実
施の形態１の概要を示す図である。

【図２】本発明に基づくガス多孔質金属フィルターの厚
みと流路長さの関係及び捕捉粒子の位置の概略を示す図
である。

【図３】本発明に基づくガス多孔質金属フィルターの実
施の形態１による瀘過媒体の製造方法の概略を示す図で
ある。

【図４】本発明に基づくガス多孔質金属フィルターの実
施の形態２による円筒状フィルターの概要を示す図であ
る。

【図５】本発明に基づくガス多孔質金属フィルターの実
施の形態２による円筒状瀘過媒体の製造方法の概略を示
す図である。

【図６】本発明に基づくガス多孔質金属フィルターの他
の実施の形態による球穀状フィルターの概要を示す図で
ある。

【図７】本発明に基づくガス多孔質金属フィルターの貫
通孔を変化させた実施の形態の概要を示す図で、（イ）
は上流から下流にかけて径が大きくなる例、（ロ）は上
流から下流にかけて径が小さくなる例、（ハ）は上流か
ら下流の中間で径が最小となる例である。

【図８】本発明に基づくガス多孔質金属フィルターのノ
ンポーラス領域の実施の形態における端部の構造とシー
ルの概要を説明する図である。

【符号の説明】

１−ａ 瀘過媒体 １−ｂ 瀘過媒体の上流面 １−ｃ 瀘過媒体の下流面 ２ 補助材 ３ ガスケット ４ ノンポーラス領域 ５ 貫通孔 ６ ポア（気孔） ７ 開口始端 ８ 開口終端 ９ 中間部 １０−ａ筺体 １０−ｂ取付け部分 １０−ｃ他方の取付け部分 １１ 溝部 ２０ 瀘過される流体 ２１ 異物 ３０ 瀘過された流体 ３１ 逆方向の流体 Ａ 柱状のポーラス金属 Ｂ 環状のポーラス金属 Ｃ 貫通孔に加工したポーラス金属 Ｄ ポーラス金属の外周表面 Ｅ ポーラス金属の内周表面 Ｌ 経路 ｄ 孔径 ｈ 瀘過媒体の厚み

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中嶋 英雄 大阪府高槻市日吉台五番町６番40号 (72)発明者 村山 弘 京都府京都市山科区御陵大岩20番地の24 (72)発明者 丸山 嘉一郎 大阪府大阪市平野区喜連東４丁目１番17号 Ｆターム(参考） 4D019 AA01 AA03 BA02 BB07 BB09 BD02 CB01 CB06

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 流体透過性の瀘過媒体中に流体を透過さ
   せて、流体中の異物を除去するフィルターにおいて、瀘
   過媒体（１−ａ）が溶融状態の金属にガス原子を溶解
   し、凝固して、生成されたポーラス金属からなり、該ポ
   ーラス金属の気孔が流体の通路となる複数の直線状に形
   成された貫通孔（５）を構成していることを特徴とする
   ガス多孔質金属フィルター。
2. 【請求項２】 流体透過性の瀘過媒体中に流体を透過さ
   せて、流体中の異物を除去するフィルターにおいて、瀘
   過媒体（１−ａ）が溶融状態の金属にガス原子を溶解
   し、凝固して、生成されたポーラス金属からなり、該ポ
   ーラス金属の気孔が流体の通路となる複数の直線状に形
   成された貫通孔（５）を構成している母材と、複数の貫
   通孔を有する金属材料からなり、該瀘過媒体（１−ａ）
   の下流面（１−ｃ）を支えて、補助する補助材（２）と
   を備えたことを特徴とするガス多孔質金属フィルター。
3. 【請求項３】 前記母材がステンレス鋼からなるガス多
   孔質金属であることを特徴とする請求項１又は、請求項
   ２に記載のガス多孔質金属フィルター。
4. 【請求項４】 前記母材が非鉄金属からなるガス多孔質
   金属であることを特徴とする請求項１又は、請求項２に
   記載のガス多孔質金属フィルター。
5. 【請求項５】 前記貫通孔（５）が複数の一方向性気孔
   で形成され、レンコン状に構成されていることを特徴と
   する請求項１ないし請求項４に記載のガス多孔質金属フ
   ィルター。
6. 【請求項６】 前記貫通孔（５）が複数の放射状気孔で
   形成され、全体が円筒状に構成されていることを特徴と
   する請求項１ないし請求項４に記載のガス多孔質金属フ
   ィルター。
7. 【請求項７】 前記貫通孔（５）が複数の放射状で形成
   され、全体が球状に拡って、構成されていることを特徴
   とする請求項１ないし請求項４に記載のガス多孔質金属
   フィルター。
8. 【請求項８】 前記貫通孔（５）の径が該貫通孔（５）
   の開口始端（７）から開口終端（８）までの間で相異す
   る部分を有するガス多孔質金属であることを特徴とする
   請求項５ないし請求項７に記載のガス多孔質金属フィル
   ター。
9. 【請求項９】 前記瀘過媒体（１−ａ）の一部にノンポ
   ーラス領域（４）を有するガス多孔質金属であることを
   特徴とする請求項１ないし請求項８に記載のガス多孔質
   金属フィルター。