JP2001159658A - オートハンドラ、及びその接地状態検出方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、オートハンドラの各構成部材を接
続するアース線の断線を自動的に検出できるオートハン
ドラを提供する。 【解決手段】 オートハンドラ１は、吸着ハンド１１で
被試験体となるＩＣ４０を吸着し、所定の位置に移載す
る。オートハンドラ１は、アース線１６が接続された吸
着ハンド１１にセンサ線１８を接続し、センサ線１８に
直流電源２１によって直流電圧を印加する。検出回路２
０によって、センサ線１８の電圧が基準電圧を越えた場
合を検出することによって、アース線１６・１７の断線
を検出する。したがって、オートハンドラ１の稼働中
に、アース線１６・１７が断線した場合にも、迅速に当
該断線を検出できるため、オートハンドラ１の各構成部
材に静電気が蓄積し放電することにより被試験体となる
ＩＣ４０が破損することを防止できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、吸着ハンドで被試
験体となるＩＣを搬送するオートハンドラに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ＩＣテストシステムでは、被試験
体となるＩＣを選別するオートハンドラが利用されてい
る。

【０００３】オートハンドラは、被試験体となるＩＣを
吸着ハンドで吸着し、所定の位置に搬送する。

【０００４】このとき、オートハンドラは、吸着ハンド
がＩＣを搬送等するために動作することにより、構成部
材間に摩擦が生じる。そのため、この摩擦に起因して静
電気が発生する。

【０００５】静電気が発生すると、オートハンドラの各
構成部材に静電気が蓄積して帯電し、ＩＣを設置する際
に、蓄積した静電気が放電することによって、ＩＣを破
損してしまう事態が起こりうる。

【０００６】オートハンドラは、各構成部材間の接合部
に、ベアリングが使用されており、静電気の蓄積を防ぐ
ため、接合部には導電性の潤滑油が使用されている。し
かし、オートハンドラにおいて、各構成部材の接合部に
使用される潤滑油は、経時変化による劣化で、導電性が
低下する。そのため、接合部において、ベアリングが浮
いた状態、即ち、ベアリングを挟む両構成部材のうち、
一方がベアリングに触れていない状態の時に、構成部材
間で、接合部を介して電荷の移動が行われない場合が生
じる。

【０００７】このような場合にも、オートハンドラの各
構成部材に静電気が蓄積することを防ぐため、各構成部
材はアース線で接続されている。アース線は、接続した
各構成部材を接地することにより、静電気が蓄積するこ
とを防ぐ。しかし、このアース線は、吸着ハンドが動作
すること等により、断線してしまう事態が起こり得る。
そのため、各構成部材を接続するアース線の断線を検査
する必要がある。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
オートハンドラは、アース線の断線を定期的に作業員が
検査していたため、オートハンドラの稼働中にアース線
が断線した場合にも、直ちに断線が判明せず、オートハ
ンドラが引き続き稼働されていた。

【０００９】オートハンドラを引き続き稼働した場合、
各構成部材に静電気が帯電し、放電することにより、Ｉ
Ｃの破損を引き起こすこととなる。

【００１０】本発明の課題は、オートハンドラの各構成
部材を接続するアース線の断線を自動的に検出できるオ
ートハンドラを提供することである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
吸着ハンドで被試験ＩＣを移載する搬送機構をもち、前
記吸着ハンドと前記搬送機構とを接地するアース線を接
続したオートハンドラにおいて、前記アース線の断線の
有無を検出して、前記吸着ハンドと前記搬送機構の接地
状態を判別する接地状態検出手段（例えば、図１のセン
サ線１８、検出回路２０および図２の直流電源２１、コ
ンパレータ２２）を備えることを特徴としている。

【００１２】この請求項１記載の発明によれば、吸着ハ
ンドで被試験ＩＣを移載する搬送機構をもち、前記吸着
ハンドと前記搬送機構とを接地するアース線を接続した
オートハンドラにおいて、接地検出手段は、前記アース
線の断線の有無を検出して、前記吸着ハンドと前記搬送
機構の接地状態を判別する。

【００１３】また、請求項４記載の接地状態検出方法
は、吸着ハンドで被試験ＩＣを移載する搬送機構をも
ち、前記吸着ハンドと前記搬送機構とを接地するアース
線を接続したオートハンドラにおける接地状態検出方法
において、前記アース線の断線の有無を検出する検出工
程と、この検出された断線の有無により前記吸着ハンド
と前記搬送機構の接地状態を判別する判別工程と、を有
する。

【００１４】したがって、この請求項１および請求項４
記載の発明によって、吸着ハンドと搬送機構の接地状態
を判別できるため、吸着ハンドおよび搬送機構が接地さ
れてない状態を検出できる。そのため、吸着ハンドおよ
び搬送機構が接地されていない状態のまま稼働され、静
電気が蓄積・放電することにより、被試験ＩＣが破損す
ることを防止できる。

【００１５】請求項２記載の発明は、請求項１記載のオ
ートハンドラにおいて、前記接地状態検出手段は、前記
吸着ハンドに接続された前記アース線と接続されたセン
サ線（例えば、図１のセンサ線１８）と、前記センサ線
に電圧を印加し、該センサ線の電位変化を検出する検出
手段（例えば、図１の検出回路２０）と、を備えること
を特徴としている。

【００１６】この請求項２記載の発明によれば、請求項
１記載のオートハンドラにおいて、前記接地状態検出手
段に備えられた、センサ線は、前記吸着ハンドに接続さ
れた前記アース線と接続され、検出手段は、前記センサ
線に電圧を印加し、該センサ線の電位変化を検出する。

【００１７】したがって、この請求項２記載の発明によ
って、センサ線の電位変化を迅速に検出することができ
るため、アース線が断線した場合に、直ちに断線を検出
できる。

【００１８】請求項３記載の発明は、請求項２記載のオ
ートハンドラにおいて、前記検出手段は、前記センサ線
に電圧を印加する直流電源（例えば、図２の直流電源２
１）と、前記センサ線の電位を基準電圧と比較し、該電
位が基準電圧以上である場合に、断線検出信号を出力す
る比較回路（例えば、図２の比較回路２２）と、を備え
ることを特徴としている。

【００１９】この請求項３記載の発明によれば、請求項
２記載のオートハンドラにおいて、前記検出手段に備え
られた、直流電源は、前記センサ線に電圧を印加し、比
較回路は、前記センサ線の電位を基準電圧と比較し、該
電位が基準電圧以上である場合に、断線検出信号を出力
する。

【００２０】また、請求項５記載の接地状態検出方法
は、前記検出工程は、前記吸着ハンドに接続された前記
アース線と接続されたセンサ線に電圧を印加する電圧印
加工程と、前記センサ線に印加された電位を基準電圧と
比較し、該電圧が基準電圧以上である場合に、断線検出
信号を出力する比較工程と、を含む。

【００２１】したがって、この請求項３および請求項５
記載の発明によって、センサ線の電位を基準電圧と比較
することのみで、アース線の断線を検出できるため、確
実かつ簡単にアース線の断線を検出できる。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、図を参照して、本発明の実
施の形態を詳細に説明する。図１から図３は、本発明を
適用したオートハンドラ１の実施の形態を示す図であ
る。

【００２３】オートハンドラ１は、吸着ハンド１１で被
試験体となるＩＣ４０を吸着し、所定の位置に移載す
る。このとき、オートハンドラ１の稼働で、各構成部材
に静電気が蓄積することを防ぐために、オートハンドラ
１の各構成部材間は、アース線１６・１７で接地されて
いる。オートハンドラ１は、吸着ハンド１１にセンサ線
１８を接続し、センサ線１８に直流電源２１によって直
流電圧を印加する。そして、検出回路２０によって、セ
ンサ線１８の電圧が基準電圧を越えた場合を検出するこ
とによって、アース線１６・１７の断線を検出する。し
たがって、オートハンドラ１の稼働中に、アース線１６
・１７が断線した場合にも、迅速に当該断線を検出でき
るため、オートハンドラ１の各構成部材に静電気が蓄積
し放電することにより、被試験体となるＩＣ４０が破損
することを防止できる。

【００２４】まず、構成を説明する。図１は、本発明を
適用したオートハンドラ１の全体構成を示す図である。
この図１において、オートハンドラ１は、吸着ハンド１
１と、移動レール１２と、移動基礎部１３と、固定レー
ル１４と、基礎部１５と、アース線１６・１７と、セン
サ線１８と、検出回路２０と、オートハンドラ制御回路
３０とから構成される。

【００２５】吸着ハンド１１は、移動レール１２に取り
付けられ、移動レール１２の長手方向に滑動自在であ
る。また、吸着ハンド１１は、被試験体となるＩＣ４０
を吸着し、所定位置で脱着することにより、ＩＣ４０を
移載する。移動レール１２は、移動基礎部１３に固着さ
れており、吸着ハンド１１が長手方向に滑動自在に取り
付けられる。移動基礎部１３は、固定レール１４に取り
付けられ、固定レール１４の長手方向に滑動自在であ
る。固定レール１４は、基礎部１５に固着されており、
移動基礎部１３が長手方向に滑動自在に取り付けられ
る。

【００２６】ここで、移動レール１２と固定レール１４
の長手方向は、それぞれ直交する向きに配設される。し
たがって、移動レール１２、固定レール１４上を吸着ハ
ンド１１、移動基礎部１３が、それぞれ自在に滑動する
ことにより、吸着ハンド１１を任意の位置に移動でき
る。

【００２７】基礎部１５は固定レール１４が固着され
る。アース線１６・１７は、吸着ハンド１１と移動基礎
部１３、移動基礎部１３と基礎部１５をそれぞれ接続
し、吸着ハンド１１、移動基礎部１３等に発生した静電
気を伝導することによって、基礎部１５を介して吸着ハ
ンド１１および移動基礎部１３等の搬送機構部を接地す
る。

【００２８】センサ線１８は、吸着ハンド１１に接続さ
れたアース線１６と検出回路２０を接続し、後述する直
流電源２１により、直流電圧が印加される。そして、セ
ンサ線１８の電圧の変化が検出回路２０によって検出さ
れることにより、アース線１６・１７の断線が検出され
る。

【００２９】検出回路２０は、センサ線１８に印加され
る直流電圧の変化を検出し、その検出信号をオートハン
ドラ制御回路３０に出力する。ここで、検出回路２０の
構成について、図２を参照して説明する。図２は、検出
回路２０の内部構成を示す図である。図２において、検
出回路２０は、直流電源２１と、コンパレータ２２と、
ラッチ回路２３とから構成される。

【００３０】図２において、直流電源２１は、センサ線
１８に直流電圧を印加する。コンパレータ２２は、セン
サ線１８の電圧を予め設定された基準電圧と比較し、セ
ンサ線１８の電圧が基準電圧以上となった場合、ハイレ
ベルの信号をラッチ回路２３に出力する。また、コンパ
レータ２２は、センサ線１８の電圧が基準電圧未満であ
る場合、ローレベルの信号をラッチ回路２３に出力す
る。

【００３１】ラッチ回路２３は、コンパレータ２２から
入力される出力信号がローレベルである場合、ローレベ
ル信号をオートハンドラ制御回路３０に出力し、コンパ
レータ２２から入力される出力信号がハイレベルになる
と、そのハイレベルへの変化点でラッチしてハイレベル
の信号をオートハンドラ制御回路３０に出力し、以後、
外部からリセット信号が入力されるまで、ハイレベルの
信号を出力し続ける。

【００３２】オートハンドラ制御回路３０は、オートハ
ンドラ１の吸着ハンド１１、移動基礎部１３の各動作を
制御する。また、オートハンドラ制御回路３０は、ラッ
チ回路２３からローレベルの出力信号が入力された場
合、アース線１６・１７は断線していないと判断して、
オートハンドラ１の稼働を継続し、ラッチ回路２３から
ハイレベルの出力信号が入力された場合、アース線１６
・１７が断線したと判断して、オートハンドラ１の稼働
を停止する。

【００３３】次に、動作を説明する。図３（ａ）は、セ
ンサ線１８の電位の変化を示す図、（ｂ）は、コンパレ
ータ２２の出力信号レベルの変化を示す図、（ｃ）は、
ラッチ回路２３の出力信号レベルの変化を示す図であ
る。以下、図３を参照してオートハンドラ１の動作を説
明する。

【００３４】まず、アース線１６・１７が断線していな
い場合について説明する。センサ線１８は、吸着ハンド
１１に接続されたアース線１６と検出回路２０を接続し
ており、アース線１６・１７が断線していない場合に
は、アース線１６・１７により吸着ハンド１１が、接地
されているため、センサ線１８から検出回路２０への入
力電位も零となる（図３（ａ）のＡ領域参照）。

【００３５】このとき、センサ線１８からの入力電位
は、基準電圧未満であるためコンパレータ２２は、ロー
レベルの信号を出力する（図３（ｂ）のＡ領域参照）。
また、このコンパレータ２２の出力信号を受け取ったラ
ッチ回路２３も、検出信号としてローレベルの信号を出
力する（図３（ｃ）のＡ領域参照）。

【００３６】ラッチ回路２３から出力されたローレベル
の出力信号は、オートハンドラ制御回路３０に入力され
る。オートハンドラ制御回路３０は、ローレベルの信号
が入力されると、アース線１６・１７は断線していない
と判断し、オートハンドラ１の稼働を継続する。

【００３７】次に、アース線１６・１７が断線した場合
について説明する。アース線１６・１７のいずれか、ま
たは両方が断線した場合、吸着ハンド１１は、接地され
ていない状態となり、直流電源２１から印加される直流
電圧によって、センサ線１８から検出回路２０への入力
電位が上昇する（図３（ａ）のＢ領域参照）。

【００３８】センサ線１８からの入力電位は、コンパレ
ータ２２に入力され、基準電圧と比較される。そして、
その入力電位が基準電圧以上となった場合に、コンパレ
ータ２２によって、ハイレベルの信号が出力される（図
３（ｂ）のＣ領域参照）。

【００３９】コンパレータ２２から出力されたハイレベ
ルの出力信号は、ラッチ回路２３に入力されてラッチさ
れ、以後、ラッチ回路２３は、アース線１６・１７の断
線を検出したことを示す検出信号として、ハイレベルの
信号を出力し続ける（図３（ｃ）のＣ領域参照）。

【００４０】ラッチ回路２３から出力されたハイレベル
の出力信号は、オートハンドラ制御回路３０に入力され
る。オートハンドラ制御回路３０は、ハイレベルの信号
が入力されると、アース線１６・１７が断線したと判断
し、オートハンドラ１の稼働を停止する。

【００４１】次に、センサ線１８が断線した場合につい
て説明する。センサ線１８が断線した場合、即ち、吸着
ハンド１１に接続されたアース線１６と検出回路２０の
接続が途絶えた場合、直流電源２１から印加される直流
電圧によって、センサ線１８からの入力電位が上昇する
（図３（ａ）のＢ領域参照）。

【００４２】すると、アース線１６・１７が断線した場
合と同様に、コンパレータ２２は、ハイレベルの信号を
出力し（図３（ｂ）のＢ領域参照）、ラッチ回路２３
は、ハイレベルの信号を出力し続ける（図３（ｃ）のＢ
領域参照）。そして、オートハンドラ制御回路３０によ
り、オートハンドラ１の稼働が停止される。

【００４３】以上のように、本実施の形態におけるオー
トハンドラ１は、アース線１６・１７の断線を自動的に
検出し、アース線１６・１７が断線した場合に、オート
ハンドラ１の稼働を迅速に停止する。

【００４４】したがって、アース線１６・１７が断線し
た状態で、オートハンドラ１を稼働し、各構成部材に静
電気が蓄積して放電することにより、被試験体となるＩ
Ｃ４０を破損する事態を防ぐことができる。

【００４５】また、アース線１６・１７の断線を自動的
に検出できるため、作業員によりアース線１６・１７の
断線を検査する必要がなく、作業効率の向上を図ること
ができる。

【００４６】また、本実施の形態におけるオートハンド
ラ１は、従来のオートハンドラにセンサ線１８、検出回
路２０のみを追加した簡単な構成で、アース線１８の断
線検出機能を実現できる。

【００４７】なお、本実施の形態において、センサ線１
８、検出回路２０等により、アース線１６・１７の断線
を検出することとして説明したが、吸着ハンド１１が接
地されているか否かを検出できるものであれば、他の構
成であってもよい。

【００４８】また、本実施の形態において、オートハン
ドラのアース線の断線を検出する場合を例として説明し
たが、アース線の断線が問題となる装置であれば、オー
トハンドラ以外の装置に適用することとしてもよい。

【００４９】

【発明の効果】請求項１および請求項４記載の発明によ
れば、吸着ハンドと搬送機構の接地状態を判別できるた
め、吸着ハンドおよび搬送機構が接地されてない状態を
検出できる。そのため、吸着ハンドおよび搬送機構が接
地されていない状態のまま稼働され、静電気が蓄積・放
電することにより、被試験ＩＣが破損することを防ぐこ
とができる。

【００５０】請求項２記載の発明によれば、センサ線の
電位変化を迅速に検出することができるため、アース線
が断線した場合に、直ちに断線を検出できる。

【００５１】請求項３よおび請求項５記載の発明によれ
ば、センサ線の電位を基準電圧と比較することのみで、
アース線の断線を検出できるため、確実かつ簡単にアー
ス線の断線を検出できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用したオートハンドラ１の全体構成
を示す図。

【図２】検出回路２０の内部構成を示す図。

【図３】（ａ）は、センサ線１８からの入力電位の変化
を示す図。（ｂ）は、コンパレータ２２の出力信号レベ
ルの変化を示す図。（ｃ）は、ラッチ回路２３の出力信
号レベルの変化を示す図。

【符号の説明】

１ オートハンドラ １１ 吸着ハンド １２ 移動レール １３ 移動基礎部 １４ 固定レール １５ 基礎部 １６、１７ アース線 １８ センサ線 ２０ 検出回路 ２１ 直流電源 ２２ コンパレータ ２３ ラッチ回路 ３０ オートハンドラ制御回路 ４０ ＩＣ

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】吸着ハンドで被試験ＩＣを移載する搬送機
   構をもち、前記吸着ハンドと前記搬送機構とを接地する
   アース線を接続したオートハンドラにおいて、 前記アース線の断線の有無を検出して、前記吸着ハンド
   と前記搬送機構の接地状態を判別する接地状態検出手段
   を備えることを特徴とするオートハンドラ。
2. 【請求項２】前記接地状態検出手段は、 前記吸着ハンドに接続された前記アース線と接続された
   センサ線と、 前記センサ線に電圧を印加し、該センサ線の電位変化を
   検出する検出手段と、 を備えることを特徴とする請求項１記載のオートハンド
   ラ。
3. 【請求項３】前記検出手段は、 前記センサ線に電圧を印加する直流電源と、 前記センサ線の電位を基準電圧と比較し、該電位が基準
   電圧以上である場合に、断線検出信号を出力する比較回
   路と、 を備えることを特徴とする請求項２記載のオートハンド
   ラ。
4. 【請求項４】吸着ハンドで被試験ＩＣを移載する搬送機
   構をもち、前記吸着ハンドと前記搬送機構とを接地する
   アース線を接続したオートハンドラにおける接地状態検
   出方法において、 前記アース線の断線の有無を検出する検出工程と、 検出された断線の有無により前記吸着ハンドと前記搬送
   機構の接地状態を判別する判別工程と、 を有することを特徴とする接地状態検出方法。
5. 【請求項５】前記検出工程は、 前記吸着ハンドに接続された前記アース線と接続された
   センサ線に電圧を印加する電圧印加工程と、 前記センサ線に印加された電位を基準電圧と比較し、該
   電圧が基準電圧以上である場合に、断線検出信号を出力
   する比較工程と、 を含むことを特徴とする接地状態検出方法。