JP2001156016A - レーザ光ビームの整形方法および整形装置ならびにレーザ光薄膜結晶化装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 レーザ光のビーム形状を容易かつ確実に
整形する。 【解決手段】 ホモジナイザ６０において、隣接するレ
ンズ群１４、１５での各シリンドリカルレンズの光路長
が一部又は全部で異なるようにする。 【効果】 ホモジナイザを通過したレーザ光のビー
ム形状が確実にかつ容易に整形され、良質の結晶化薄膜
の製造に適用することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、材料の加工、表面
改質などに利用されるレーザ光を用いた装置に好適であ
って、レーザ光のビーム形状を所望形状に整形する方法
および整形装置に関するものである。さらには、上記整
形方法により整形されたレーザ光を用いるレーザ光薄膜
結晶化装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、レーザ光を整形する方法として
は、ホモジナイザを用いた方法が知られている。例え
ば、図１２に示す装置では、レーザ光源１より発生した
レーザ光２は、途中で遮られることなく、ミラー４ａ、
４ｂ、テレスコープレンズ４ｃを経て、シリンドリカル
レンズ複数本で構成されたホモジナイザ５、６に入射す
る。このとき、レーザ光２は、その光軸３がホモジナイ
ザ５、６のレンズ軸８と平行になるように入射させる。
ホモジナイザ５、６を通過したレーザ光２は、ホモジナ
イザ６の一部を構成する、ビームより大きいシリンドリ
カル大レンズ７から出射され、該レンズ７の焦点位置に
ある試料面９（被照射薄膜等）に照射される。

【０００３】上記レーザ光２は、ホモジナイザ５、６を
通過する際にビーム形状が整形される。このホモジナイ
ザ５、６は典型的な構造を有するものであり、その詳細
構造を図１３に基づいて説明する。ホモジナイザは、ビ
ームより小さいシリンドリカル小レンズ１０…１０から
なるレンズ群１４、レンズ群１５と、ビームより大きい
シリンドリカル大レンズ７とで構成されている。このホ
モジナイザは、図１４（ａ）に示すガウシアン形状のレ
ーザ光強度分布を、ホモジナイザレンズ群１４によって
複数個のビーム１１…１１に分割した後、シリンドリカ
ル大レンズ７の焦点位置にある試料面９で複数個のビー
ム１１…１１を再結合して直線状のビーム形状を得る。
なお、ホモジナイザはレンズ群１４のみで直線状のビー
ム形状を得ることができるが、レンズ群１４と同等の枚
数を持つレンズ群１５を設置することでレンズ群１４と
レンズ群１５の距離を変えてビーム形状を変える方法を
採用することもできる。

【０００４】また、ホモジナイザ５、６は、同様の構造
を有しているが、その配置方向を異にすることによって
整形する方向が互いに異なっており、ビームは直交する
２方向に整形される。一般的には整形する方向は９０度
異なる。上記の結果、試料面９に照射されるレーザ光の
ビーム形状は、図１４（ｂ）に示すように、均一部１２
と傾斜部１３とを有しており、均一部１２は直線状にな
っている。ビーム形状を整形したレーザ光は、試料面に
設置したプラスチックなどの試料に照射され、該試料の
加工、非晶質Ｓｉからなる試料の結晶化などに利用され
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記方法により整形さ
れたレーザ光は上述のように均一部が直線状で平行とな
ったビーム形状を有しているが、近年、様々な研究にお
いて、ビームの形状を変形させたレーザ光を使用した方
がよい結果が得られる場合があることが分かってきてい
る。例えば、特開平１０−６４８１５号公報では、レー
ザ光を用いた薄膜の結晶化に際し、ビームのエネルギ分
布に傾きをもたせたレーザ光の使用が提唱されており、
また、ＦＰＤ Intelligence １９９９年５月号７７頁で
は、ガウンシアン形状のビームの使用例が記載されてい
る。上記公報によれば、ビームに傾きを有するレーザ光
の使用により、薄膜の結晶化をエネルギが高い方から低
い方に移行させることができ、試料の最後に照射される
エネルギを一定値以下にして、性能が良い結晶化した薄
膜を得ることができるとしている。しかし、上記したよ
うなビーム形状を容易かつ確実に得る方法は提案されて
おらず、したがって、整形されたビーム形状を有するレ
ーザ光の照射による作用を効果的に得ることができな
い。

【０００６】本発明は、上記事情を背景としてなされた
ものであり、レーザ光のビーム形状を所望の形状に容易
かつ確実に整形することができるレーザ光ビームの整形
方法および整形装置を提供することを目的とし、さらに
は、該整形方法を利用したレーザ光薄膜結晶化装置を提
供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明のうち、第１の発明のレーザ光ビームの整形
方法は、レーザ光源から発せられたレーザ光を、シリン
ドリカルレンズ複数本を光軸交差方向に並べたレンズ群
を光軸方向に沿って複数配置した、一または２以上のホ
モジナイザを通してレーザ光ビームを整形する方法にお
いて、一以上のホモジナイザで、隣接するレンズ群での
シリンドリカルレンズ間の光路長がシリンドリカルレン
ズ各々のうちの一部又は全てで異なるようにし、該ホモ
ジナイザにレーザ光を通してレーザ光のビーム形状を整
形することを特徴とする。

【０００８】第２の発明のレーザ光ビームの整形方法
は、レーザ光源から発せられたレーザ光を、シリンドリ
カルレンズ複数本からなり、整形する方向が個別に異な
る複数のホモジナイザを通して、二方向以上で整形する
レーザ光ビームの整形方法において、前記ホモジナイザ
に入射する四角形のビームの一辺が、シリンドリカルレ
ンズの主切断面方向に対して１度〜８９度の角度差を有
するように傾かせてホモジナイザに入射させることによ
り、該ホモジナイザを通過するレーザ光のビームを整形
することを特徴とする。

【０００９】第３の発明のレーザ光ビームの整形方法
は、第２の発明のレーザ光ビームの整形方法において、
レーザ光源とシリンドリカルレンズとの間の光路にある
テレスコープレンズを光軸方向を中心軸とする回転方向
に傾けて、ホモジナイザに入射するレーザ光を傾けるこ
とを特徴とする。

【００１０】第４の発明のレーザ光ビームの整形方法
は、レーザ光源から発せられたレーザ光をホモジナイザ
を通して被照射物に照射する際に、上記ホモジナイザに
よる焦点位置と被照射物の被照射面とが１ｍｍ以上異な
ることを特徴とする。

【００１１】第５の発明のレーザ光ビームの整形方法
は、第１〜第４の発明において、レーザ光源と被照射物
との間でレーザ光の一部を遮光又は減衰することを特徴
とする。

【００１２】第６の発明のレーザ光ビームの整形装置
は、レーザ光源と被照射物との間の光路に設置されるホ
モジナイザレンズであって、該ホモジナイザは、複数本
のシリンドリカルを光軸交差方向に並べたレンズ群が光
軸方向に沿って複数配置されているとともに、隣接する
レンズ群でのシリンドリカルレンズ間の光路長がシリン
ドリカルレンズ各々のうちの一部又は全部で異なってい
ることを特徴とする。

【００１３】第７の発明のレーザ光薄膜結晶化装置は、
被照射薄膜にレーザ光を照射して結晶化させるためのレ
ーザ光源と、該レーザ光が入出射する、第６の発明のホ
モジナイザとを備えていることを特徴とする。

【００１４】第８の発明のレーザ光薄膜結晶化装置は、
被照射薄膜にレーザ光を照射して結晶化させるためのレ
ーザ光源と、テレスコープレンズと、ホモジナイザレン
ズとを備えており、前記テレスコープレンズは、ホモジ
ナイザに入射するレーザ光ビームがホモジナイザのシリ
ンドリカルレンズ主切断面方向に対し傾くように、光軸
に対し傾斜して配置されていることを特徴とする。

【００１５】本発明は、薄膜にレーザ光を照射して結晶
化したり、改質化したりする用途に好適であるが、これ
ら用途に限定されるものではなく、被照射物にレーザ光
を照射する各種の用途に適用することが可能である。ま
た、整形の目的は、レーザの照射目的等によって異な
り、得ようとするビーム形状も異なるが、ビーム形状に
おける傾斜部の傾きや形状を変えたり、均一部に傾きを
持たせたり、曲面に変えたり、曲面の曲率を変えたり、
傾いている均一部の傾きを小さくする整形等が挙げられ
る。

【００１６】本発明では、上記した整形目的に従って、
その一つの方法として、隣接するシリンドリカルレンズ
間の光路長を各々のうち一部または全部で異なるものと
する。したがって、隣接するシリンドリカルレンズ間の
光路長は一部だけ異なっていてもよく、また全部が異な
るものであってもよい。光路長を異なるものとするため
には、シリンドリカルレンズの位置によって実際のシリ
ンドリカルレンズ間の距離を変えることにより行うこと
ができる。また、その光路に、光学部材を配置して光路
長を変えるものであってもよい。この光学部材として
は、例えば、光の反射や屈折によって光路の長さを現に
変えるものであってもよく、また、所定の屈折率を有す
る光学部材を通過させることによって実効的な光路長を
変えるものであってもよい。シリンドリカルレンズ間の
光路長が異なると、該シリンドリカルレンズ間を通って
分割されたビーム光は、その後、照射面で結合される際
にビームの幅、強度が異なっており、よって結合された
ビームの形状が変わってくる。上記における光路長の変
更の程度や、光路長を異なるものとするシリンドリカル
レンズの選定等によって得られるビーム形状を制御する
ことができる。

【００１７】本発明の他の整形方法は、レーザ光を、ホ
モジナイザに対し光軸を中心として回転方向にずれた状
態で入射させる方法である。通常、ホモジナイザにレー
ザ光を入射させる場合、ビームの辺がシリンドリカルレ
ンズの主切断面（曲率方向）に沿うようにする。本発明
では、これに角度差をもたせるものである。すなわち、
四角形状のビームでは、そのビームの一辺が、シリンド
リカルレンズの主切断面（曲率方向）方向に対して角度
差を有するように入射させる。上記傾き角度は、１〜８
９度の範囲内で任意に選定することができ、例えば、整
形前のビーム形状、整形後のビーム形状、ホモジナイザ
の構造等を勘案して傾き角度を決定する。

【００１８】レーザ光を傾いた状態でホモジナイザに入
射させるためには、レーザ光源から放出されるレーザ光
がホモジナイザに対し傾いた状態にあるように、レーザ
光源やホモジナイザの位置関係を定めるものであっても
よく、また、レーザ光源からホモジナイザに至る間にレ
ーザ光を傾かせる光学部材等を設置するものであっても
よい。この光学部材は、傾きを持たせる目的で特に設置
したものであってもよく、また、本来、レーザ照射装置
に組み込まれている光学部材を利用するものであっても
よい。例えば、元々、レーザ光源とホモジナイザとの間
に設置されているテレスコープを、光軸を中心軸とする
回転方向に傾いた（回転した）状態に置くことにより、
光軸方向にあるホモジナイザに対し、レーザ光ビームを
傾かせることができる。この方法によれば、均一部が凸
形状に整形されたビーム形状が得られる。その詳細な原
理は明らかでないが、発明者は以下のように理解してい
る。すなわち、ホモジナイザに入射するビームが傾いて
いれば、ホモジナイザに入射する条件（位置、角度）が
異なるために照射面でのビーム位置が異なり、したがっ
て、照射におけるビーム形状は凸形状になる。

【００１９】さらに、本発明の他の整形方法は、ホモジ
ナイザの焦点位置と被照射物の被照射面とが１ｍｍ以上
異なるようにする方法である。このずれを１ｍｍ以上と
することによって、被照射面で得られるビーム形状は、
単にホモジナイザを通過することによって得ようとする
ビーム形状とは異なったものになる。すなわち、ホモジ
ナイザによって分割したビームが完全に結合していない
状態で照射面に照射されるため、傾斜部の幅や、均一部
の曲率などを調整することができる。なお、上記のずれ
量を調整することによって得られるビーム形状を調整す
ることができ、所望のビーム整形が可能になる。上記ず
れを得るためには、レーザ光のビーム形状より小さいシ
リンドリカル小レンズ複数本と、ビーム形状よりも大き
いシリンドリカル大レンズとを光軸方向に沿って配置し
たものを使用する場合、これらシリンドリカル小レンズ
とシリンドリカル大レンズの距離を調整したり、ホモジ
ナイザの設置位置を調整したりすればよい。

【００２０】さらに、本発明では、上記各整形方法にお
いて、さらにレーザ光の遮光または減衰を、レーザ光源
から被照射物に至る間の光路のいずれの箇所（一箇所ま
たは２箇所以上）で行うことができる。整形を行う箇所
としては、レーザ光源とホモジナイザとの間、ホモジナ
イザ内空間、またはホモジナイザと被照射物との間、複
数のホモジナイザ内を備える場合、ホモジナイザ間が挙
げられる。

【００２１】レーザ光の一部遮光または減衰は、レーザ
光の光路にレーザ光を遮蔽又は減衰する物体を設置する
ことにより行うことができる。遮蔽物としてアルミなど
の反射率１００％のもの、減衰用物として反射率数％の
石英ガラスなどを用いることができる。遮蔽領域や減衰
領域は上記物体の大きさ、形状、設置位置によって選定
することができ、また、減衰の程度については減衰用の
物質の選択によって選定することができる。なお、物体
の部位によって遮蔽と減衰の機能が現れる両機能物体を
用いることも可能である。

【００２２】なお、ホモジナイザに入射するレーザ光を
遮光又は減衰する場合、ホモジナイザに入射するビーム
位置を、ホモジナイザ入射前の光路にある反射ミラーに
より調整してホモジナイザに入射するビーム光量を制限
することによってレーザ光の遮光または減衰を行うこと
もできる。また、ホモジナイザが、ビームより小さいシ
リンドリカルレンズ複数本を結合した集合体２組と、ビ
ームより大きいシリンドリカルレンズ１枚以上からなる
とき、前記集合体２組の間に遮蔽又は減衰する物体を設
置することによってレーザ光の遮光または減衰を行うこ
ともできる。上記のように、レーザ光の一部遮光または
減衰を行うことによって、さらにレーザ光ビームの整形
を行うことができ、特に、均一部の傾きを調整すること
ができる。

【００２３】上記各方法によってビームの形状を容易に
整形することができる。又、各方法を組み合わせてビー
ム形状の整形を広範に行うこともできる。その際に、本
発明のビーム整形装置を用いれば、確実にビーム整形が
なされる整形手段を得ることができる。この整形装置で
は、整形しようとするビーム形状等に従って、シリンド
リカルレンズ間の光路長を異なるものとすることができ
る。この場合、光軸を中心として、各光路長が対称に分
布していれば、対称的な形状を有するビーム形状が得ら
れる。また、この場合、光軸側の光路長を最大にして、
周縁側の光路長が漸減するように設定すれば、均一部を
なだらかな凸形状にすることができる。

【００２４】さらに、薄膜結晶化においては最も効果的
なレーザ光照射は、レーザ光が単なる矩形状のビーム形
状を有するものではなく、均一部の形状を変形させたも
のが有効であることが確認されているが、本発明のレー
ザ光薄膜化装置では、整形によって所望のビーム形状が
確実かつ容易に得られるので、薄膜結晶化において、整
形されたビーム形状を有するレーザ光の照射効果が確実
かつ効率的に得られる。また、本発明の整形方法が上記
したような薄膜結晶化に限定されないことも当然であ
る。

【００２５】

【発明の実施の形態】（実施形態１）以下に本発明の実
施形態を添付図面に基づいて説明するが、各実施形態で
は図１２に示すレーザ光照射装置を基本構造としてい
る。この実施形態では、図１に示すように、第２のホモ
ジナイザ６０が、シリンドリカル小レンズ１０１〜１０
５で構成された第１のレンズ群１４と、シリンドリカル
小レンズ１１１〜１１５で構成された第２のレンズ群１
５と、さらにシリンドリカル大レンズ７で構成されてい
る。このホモジナイザ６０はビーム整形装置に相当す
る。

【００２６】上記第１のレンズ群１４と第２のレンズ群
１５の各シリンドリカルレンズ間の光路長は、シリンド
リカル小レンズ１１１〜１１５をずらして設置すること
により、異なるものとなっている。すなわち、光軸に位
置するシリンドリカル小レンズ１０３とシリンドリカル
小レンズ１１３間の光路長が最大となり、シリンドリカ
ル小レンズ１０２、シリンドリカル小レンズ１１２間お
よびシリンドリカル小レンズ１０４、シリンドリカル小
レンズ１１４間で多少光路長が短くなり、シリンドリカ
ル小レンズ１０１、シリンドリカル小レンズ１１１間お
よびシリンドリカル小レンズ１０５、シリンドリカル小
レンズ１１５間で最小の光路長となる。レーザ光源１か
ら放出されたレーザ光２は、ホモジナイザ５を通過した
後、ホモジナイザ６に代わる上記ホモジナイザ６０に入
射し、ビーム形状が整形された後、試料面９に照射され
る。このレーザ光はホモジナイザ６０で整形され、試料
面９に照射されたときには、図２に示すように均一部が
なだらかな凸状１２ａになったビーム形状を有してい
る。

【００２７】（実施形態２）この実施形態２では、図３
に示すように、実施形態１とは異なり、第２のホモジナ
イザ６１における各レンズ群１４、１５のシリンドリカ
ル小レンズ１０、１０間の間隔を一定にしており、その
一方で、中央のシリンドリカル小レンズ１０、１０間の
光路に、ＡＲコートした厚さ５ｍｍの石英ガラス２０を
配置する。この石英ガラス２０は、レンズ間空間よりも
屈折率が高いため、中央のシリンドリカル小レンズ間の
実効的な光路長を増大させる。上記ホモジナイザ６１を
通過したレーザ光は、実施形態１と同様に均一部が突条
になるようにビーム形状が整形される。

【００２８】（実施形態３）次に、実施形態３では、図
１２に示すテレスコープ４ｃを光軸に対し傾ける等し
て、図４に示すように、レーザ光２がホモジナイザ５、
６に入射する際に、ビームの一辺が、ホモジナイザ５、
６のシリンドリカル小レンズ１０の主切断面方向と所定
の角度差を有するようにしたものである。レーザ光は、
図５に示すようにホモジナイザへの傾斜入射によって傾
斜位置、角度が変化して分割光１１ａの幅および位置が
変わる。この分割光１１ａが試料面９で結合することに
よって、図６に示すように、均一部が凸状１２ｂになっ
たビーム形状が得られる。

【００２９】（実施形態４）さらに、次の実施形態４
は、実施形態３の構成に加えてレーザ光の一部遮断を行
ったものであり、図７に示すように、ホモジナイザ６の
シリンドリカルレンズ１０、１０間の一部空間に遮蔽物
２１を配置して、レーザ光の一部遮断を行っている。こ
の方法によれば、ビームの均一部が上記実施形態３のよ
うに凸状になるとともに、この凸状が傾いた形状にな
る。

【００３０】（実施形態５）次の実施形態では、図８に
示すように、第２のホモジナイザ６のシリンドリカル大
レンズ７による焦点位置と試料面９とをずらしたもので
ある。このずれによって、試料面で結合される分割ビー
ムの幅、強度が異なってくるため、結合されたビームの
形状が変化する。

【００３１】なお、上記した各実施形態の装置は、試料
面に薄膜を配置し、この薄膜に上記の整形したレーザ光
を照射して薄膜の結晶化を行う、レーザ光薄膜結晶化装
置として使用することができる。

【００３２】

【実施例】エキシマレーザにより発生した３０８ｎｍ、
４０×１５ｍｍのビーム形状のレーザ光を使用して、上
記実施形態２、３、５におけるホモジナイザ光学系によ
りビーム形状の整形を行った。図１２に示すようにレー
ザ光源１より発生したレーザ光２はテレスコープレンズ
４ｃを透過した後、方向の異なる２つのホモジナイザを
透過するが、各整形方法によってビーム形状の整形がな
され、試料面９で所望のビーム形状となった。ビーム形
状の測定は、試料面の位置にＣＣＤカメラを設置して行
った。

【００３３】まず第１の方法では、実施形態２に従っ
て、ホモジナイザ６のシリンドリカルレンズ間に石英ガ
ラス２０を配置したものである。試料面では図９に示す
ように均一部が凸状になったビーム形状を得た。第２の
方法では、実施形態３と同様にテレスコープ４ｃを光軸
に対し２度傾け、ホモジナイザ５に入射するレーザ光の
ビームを２度傾けた。その結果、試料面には、図１０に
示すように、均一部が滑らかな凸状になったビーム形状
が得られた。第３の方法では、実施形態５と同様に、ホ
モジナイザ６のシリンドリカル大レンズ７の焦点位置と
試料面とを２０ｍｍ離した。この結果、図１１に示すよ
うに、均一部が、やや凸状で、傾斜部が傾いたビーム形
状が得られた。

【００３４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のレーザ光
ビームの整形方法によれば、一以上の該ホモジナイザ
で、隣接するレンズ群でのシリンドリカルレンズ間の光
路長がシリンドリカルレンズ各々のうちの一部又は全て
で異なるようにし、または、レーザ光を、シリンドリカ
ルレンズの主切断面方向に対して１度〜８９度の角度差
を有するように傾かせてホモジナイザに入射させ、もし
くは、ホモジナイザによる焦点位置と被照射物の被照射
面とを１ｍｍ以上異なるようにするので、ホモジナイザ
で分割され、その後、照射面で結合するレーザ光のビー
ム形状が所望の形状に変わる。これにより、所望のビー
ム形状を容易かつ確実に得ることができ、これを薄膜の
結晶化等に用いることにより整形されたレーザ光による
作用を効率的に得ることができる。また、上記方法に加
えてレーザ光の一部をレーザ光光源と照射物との間で遮
蔽又は減衰させれば、ビームの整形を一層広範に行うこ
とが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施形態を示す概略図である。

【図２】 同じく該実施形態によって得られた整形後
のビーム形状を示す図である。

【図３】 同じく他の実施形態を示す概略図である。

【図４】 同じくさらに他の実施形態を示す概略図で
ある。

【図５】 同じくさらに他の実施形態を示す概略図で
ある。

【図６】 同じく該実施形態によって得られた整形後
のビーム形状を示す図である。

【図７】 同じくさらに他の実施形態を示す概略図で
ある。

【図８】 同じくさらに他の実施形態を示す概略図で
ある。

【図９】 同じく実施例により得られた整形後のビー
ム形状を示す図である。

【図１０】 同じく他の実施例により得られた整形後の
ビーム形状を示す図である。

【図１１】 同じくさらに他の実施例により得られた整
形後のビーム形状を示す図である。

【図１２】 従来の、ホモジナイザを備えたレーザ照射
装置の主要構造を示す概略図である。

【図１３】 同じくホモジナイザの詳細構造を示すグラ
フである。

【図１４】 同じく従来のホモジナイザによって得られ
る、ホモジナイザ入射前のビーム形状と、ホモジナイザ
によって整形されたビーム形状を示す図である。

【符号の説明】

１ レーザ光源 ２ レーザ光 ３ 光軸 ５ ホモジナイザ ６ ホモジナイザ ７ シリンドリカル大レンズ ８ レンズ軸 １０ シリンドリカル小レンズ １１ ビーム １２ 均一部 １３ 傾斜部 １２ａ 凸状部 １２ｂ 凸状部 １４ レンズ群 １５ レンズ群 ２０ 石英ガラス ２１ 遮蔽物 ６０ ホモジナイザ ６１ ホモジナイザ

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 レーザ光源から発せられたレーザ光を、
   シリンドリカルレンズ複数本を光軸交差方向に並べたレ
   ンズ群を光軸方向に沿って複数配置した、一または２以
   上のホモジナイザを通してレーザ光ビームを整形する方
   法において、一以上の該ホモジナイザで、隣接するレン
   ズ群でのシリンドリカルレンズ間の光路長がシリンドリ
   カルレンズ各々のうちの一部又は全てで異なるように
   し、該ホモジナイザにレーザ光を通してレーザ光のビー
   ム形状を整形することを特徴とするレーザ光ビームの整
   形方法
2. 【請求項２】 レーザ光源から発せられたレーザ光を、
   シリンドリカルレンズ複数本からなり、整形する方向が
   個別に異なる複数のホモジナイザを通して、二方向以上
   で整形するレーザ光ビームの整形方法において、前記ホ
   モジナイザに入射する四角形のビームの一辺が、シリン
   ドリカルレンズの主切断面方向に対して１度〜８９度の
   角度差を有するように傾かせてホモジナイザに入射させ
   ることにより、該ホモジナイザを通過するレーザ光のビ
   ームを整形することを特徴とするレーザ光のビーム整形
   方法
3. 【請求項３】 レーザ光源とシリンドリカルレンズとの
   間の光路にあるテレスコープレンズを光軸方向を中心軸
   とする回転方向に傾けて、ホモジナイザに入射するレー
   ザ光を傾けることを特徴とする請求項２記載のレーザ光
   のビーム整形方法
4. 【請求項４】 レーザ光源から発せられたレーザ光をホ
   モジナイザを通して被照射物に照射する際に、上記ホモ
   ジナイザによる焦点位置と被照射物の被照射面とを１ｍ
   ｍ以上異なるようにすることを特徴とするレーザ光ビー
   ムの整形方法
5. 【請求項５】 レーザ光源と被照射物との間でレーザ光
   の一部を遮光又は減衰することを特徴とする請求項１〜
   ４のいずれかに記載のレーザ光ビームの整形方法
6. 【請求項６】 レーザ光源と被照射物との間の光路に設
   置されるホモジナイザであって、該ホモジナイザは、複
   数本のシリンドリカルを光軸交差方向に並べたレンズ群
   が光軸方向に沿って複数配置されているとともに、隣接
   するレンズ群でのシリンドリカルレンズ間の光路長がシ
   リンドリカルレンズ各々のうちの一部又は全部で異なっ
   ていることを特徴とするレーザ光のビーム整形装置
7. 【請求項７】 被照射薄膜にレーザ光を照射して結晶化
   させるためのレーザ光源と、該レーザ光が入出射する請
   求項６記載のホモジナイザを備えていることを特徴とす
   るレーザ光薄膜結晶化装置
8. 【請求項８】 被照射薄膜にレーザ光を照射して結晶化
   させるためのレーザ光源と、テレスコープレンズと、ホ
   モジナイザレンズとを備えており、前記テレスコープレ
   ンズは、ホモジナイザに入射するレーザ光ビームがホモ
   ジナイザのシリンドリカルレンズ主切断面方向に対し傾
   くように、光軸方向を中心軸とする回転方向に傾斜して
   配置されていることを特徴とするレーザ光薄膜結晶化装
   置