JP2001148488A - Bonding method and bonding device for solar battery cell and cover glass - Google Patents
Bonding method and bonding device for solar battery cell and cover glassInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、太陽電池セル、ま
たはインタコネクタが溶接された太陽電池セルと、カバ
ーガラスとを接着剤を介して接着する太陽電池セルとカ
バーガラスとの接着方法および接着装置に関する。特
に、人工衛星用太陽電池に適用する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for bonding a solar cell and a cover glass to each other by bonding a solar cell or a solar cell to which an interconnector is welded and a cover glass via an adhesive. Related to the device. In particular, it is applied to solar cells for artificial satellites.
【０００２】[0002]
【従来の技術】人工衛星用太陽電池セルには、宇宙にお
ける放射線の被曝の低減および紫外線の遮断のために、
受光面にカバーガラスが接着される。従来技術では、太
陽電池セルとカバーガラスとは、太陽電池セルの受光面
およびこの受光面に対向するカバーガラスの一方面のい
ずれか一方に接着剤を塗布し、専用の接着装置を用いて
両者を接着する。この接着装置は、実開平３−１０９３
５６号公報および実開平４−６３１５９号公報に開示さ
れている。2. Description of the Related Art In order to reduce radiation exposure in space and to block ultraviolet rays, solar cells for artificial satellites have been developed.
The cover glass is adhered to the light receiving surface. In the conventional technology, the solar cell and the cover glass are coated with an adhesive on one of the light receiving surface of the solar cell and one surface of the cover glass facing the light receiving surface, and are bonded to each other using a dedicated bonding device. Glue. This bonding apparatus is disclosed in Japanese Utility Model Laid-Open No. 3-1093.
No. 56 and Japanese Utility Model Laid-Open No. 4-63159.
【０００３】図８は、実開平３−１０９３５６号公報に
開示される接着装置６０を示す図であり、図９は、実開
平４−６３１５９号公報に開示される接着装置７０を示
す図である。図８に示すように、接着装置６０では、大
気圧の室内６１で、太陽電池セル６２のみを真空吸引し
て、ステージ６３上に保持した状態で太陽電池セル６２
とカバーガラス６４とを接着している。図９に示すよう
に、接着装置７０では、大気圧の室内７１で、太陽電池
セル７２とカバーガラス７３とを、それぞれステージ７
４，７５上に真空吸着した状態で両者を接着している。FIG. 8 is a view showing a bonding apparatus 60 disclosed in Japanese Utility Model Laid-Open No. 3-109356, and FIG. 9 is a view showing a bonding apparatus 70 disclosed in Japanese Utility Model Laid-Open No. 4-63159. . As shown in FIG. 8, in the bonding device 60, only the solar cell 62 is vacuum-sucked in the room 61 at atmospheric pressure, and the solar cell 62 is held on the stage 63.
And the cover glass 64 are adhered. As shown in FIG. 9, in the bonding apparatus 70, a solar cell 72 and a cover glass 73 are respectively placed in a stage 71 in a room 71 at atmospheric pressure.
The two are adhered in a state of being vacuum-sucked on 4,75.
【０００４】また、他の接着装置は、太陽電池セルおよ
びカバーガラスを保持する２つの真空吸着ステージと、
太陽電池セルの高さ位置を高寸法精度で決定する位置決
めピンと、太陽電池セルの受光面とカバーガラスの一方
面との間の距離を決定するスペーサピンとで構成され
る。太陽電池セルを裏面側から真空吸引して保持し、カ
バーガラスを他方面側から真空吸引して保持し、太陽電
池セルとカバーガラスとを所定の間隔まで近接させた状
態で、カバーガラスの保持状態を解除して、真空吸着ス
テージから離すことによって両者を接着していた。Further, another bonding apparatus includes two vacuum suction stages for holding a solar cell and a cover glass,
It is composed of positioning pins that determine the height position of the solar cell with high dimensional accuracy, and spacer pins that determine the distance between the light receiving surface of the solar cell and one surface of the cover glass. Holding the solar cell by vacuum suction from the back side, holding the cover glass by vacuum suction from the other side, and holding the cover glass in a state where the solar cell and the cover glass are brought close to a predetermined distance. The two were bonded by releasing the state and separating from the vacuum suction stage.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】太陽電池セルとカバー
ガラスとを接着するには、たとえば作業者がスクリーン
印刷機を用いて、太陽電池セルまたはカバーガラスの対
向する面のいずれか一方面に、気泡を巻込まないように
充分に注意しながら接着剤を全面に塗布する。その後、
太陽電池セルにカバーガラスを圧着して接着剤を接着面
全体に広げて接着する。しかし、太陽電池セルとカバー
ガラスとを所定の間隔まで近接させた後に、真空吸着ス
テージからカバーガラスを離して両者を接着するとき、
太陽電池セルとカバーガラスとの接着面に気泡が入って
しまい、これによって接着強度が弱くなってしまうとい
った問題があった。また、接着面に気泡が混入した太陽
電池を宇宙空間で使用すると、気泡と宇宙空間との圧力
差によって気泡内の空気が膨張し、太陽電池セルまたは
カバーガラスが破損するといった問題があった。このた
め、従来技術では、接着後の太陽電池セルとカバーガラ
スとを真空脱泡槽に入れて接着面に混入した気泡を除去
していた。In order to bond the solar cell and the cover glass, for example, an operator uses a screen printer to attach the solar cell or the cover glass to one of the opposing surfaces of the solar cell or the cover glass. Apply the adhesive over the entire surface, taking care not to entrap the air bubbles. afterwards,
The cover glass is pressed against the solar cell, and the adhesive is spread over the entire bonding surface and bonded. However, after bringing the solar cell and the cover glass close to a predetermined distance, when separating the cover glass from the vacuum suction stage and bonding them together,
There is a problem that air bubbles enter the bonding surface between the solar battery cell and the cover glass, and the bonding strength is thereby weakened. In addition, when a solar cell in which bubbles are mixed in the bonding surface is used in the outer space, there is a problem that air in the bubbles expands due to a pressure difference between the bubbles and the outer space, and the solar cell or the cover glass is damaged. For this reason, in the prior art, the solar cell after bonding and the cover glass were placed in a vacuum degassing tank to remove air bubbles mixed into the bonding surface.
【０００６】また、太陽電池セルの製造コストの低下に
伴って、太陽電池セルは大型化され、これに伴ってカバ
ーガラスも大型化している。このように大型化すると、
接着面に混入した気泡が抜けにくく、さらに接着時に、
太陽電池セルとカバーガラスとの相対位置が狂いやすく
なってしまう。これによって、位置決めに時間がかか
り、製造効率が悪くなってしまうといった問題があっ
た。[0006] Further, as the manufacturing cost of the solar cell is reduced, the size of the solar cell is increased, and accordingly, the cover glass is also enlarged. With such a large size,
It is difficult for air bubbles mixed in the bonding surface to escape, and when bonding,
The relative position between the solar cell and the cover glass tends to be out of order. As a result, there has been a problem that it takes a long time for positioning and the manufacturing efficiency is deteriorated.
【０００７】本発明の目的は、接着面に気泡を混入させ
ずに、太陽電池セルとカバーガラスとの接着を良好に行
い、かつ製造効率を向上し、接着工程の自動化を容易に
する太陽電池セルとカバーガラスとの接着方法および接
着装置を提供する。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a solar cell capable of satisfactorily bonding a solar cell to a cover glass without mixing air bubbles into the bonding surface, improving the production efficiency, and facilitating the automation of the bonding process. Provided are a method and an apparatus for bonding a cell and a cover glass.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明は、内圧を真空状
態に保持した真空室内で、太陽電池セルの受光面とカバ
ーガラスの一方面とを、接着剤を介して接着することを
特徴とする太陽電池セルとカバーガラスとの接着方法で
ある。The present invention is characterized in that a light receiving surface of a solar battery cell and one surface of a cover glass are bonded via an adhesive in a vacuum chamber in which the internal pressure is maintained in a vacuum state. This is a method for bonding a solar cell to a cover glass.
【０００９】本発明に従えば、太陽電池セルの受光面と
カバーガラスの一方面との接着は、内圧を真空状態に保
持した真空室内で行われる。太陽電池セルおよびカバー
ガラスを真空室内に入れることによって、太陽電池セル
の受光面またはカバーガラスの一方面に塗布された接着
剤に混入した気泡を接着剤から除去することができる。
また、太陽電池セルとカバーガラスとを接着するときに
接着面に気泡が発生してしまうことを防止できる。これ
によって、不良品が大幅に減少し、歩留まりが向上す
る。さらに、一連の接着工程で、気泡を除去することが
できるため、従来技術の真空脱泡槽内での気泡の除去工
程が不要となり、製造時間が短縮される。According to the present invention, the bonding between the light receiving surface of the solar cell and one surface of the cover glass is performed in a vacuum chamber in which the internal pressure is maintained in a vacuum state. By placing the solar cell and the cover glass in a vacuum chamber, air bubbles mixed in the adhesive applied to the light receiving surface of the solar cell or one surface of the cover glass can be removed from the adhesive.
Further, it is possible to prevent bubbles from being generated on the bonding surface when bonding the solar battery cell and the cover glass. As a result, the number of defective products is greatly reduced, and the yield is improved. Further, since bubbles can be removed by a series of bonding steps, the step of removing bubbles in a conventional vacuum degassing tank becomes unnecessary, and the manufacturing time is shortened.
【００１０】また本発明は前記太陽電池セルは、セル吸
着部材によって裏面側から吸着されて前記真空室内に保
持され、前記カバーガラスは、カバー吸着部材によって
他方面側から吸着されて前記真空室内に保持され、太陽
電池セルを吸着する吸着圧力およびカバーガラスを吸着
する吸着圧力は、真空室内の圧力より低くすることを特
徴とする。Further, according to the present invention, the solar cell is adsorbed from the back side by a cell adsorbing member and held in the vacuum chamber, and the cover glass is adsorbed from the other side by the cover adsorbing member and enters the vacuum chamber. The holding pressure for holding the solar cell and the holding pressure for holding the cover glass are lower than the pressure in the vacuum chamber.
【００１１】本発明に従えば、セル吸着部材は太陽電池
セルを裏面から吸着して真空室内に保持し、カバー吸着
部材はカバーガラスを他方面側から吸着して真空室内に
保持する。このセル吸着部材が太陽電池セルを吸着する
吸着圧力、およびカバー吸着部材がカバーガラスを吸着
する吸着圧力は、真空室内部の圧力よりも低いため、太
陽電池セルおよびカバーガラスは真空室内で確実に吸着
保持される。これによって、接着動作を安定して行うこ
とができる。According to the present invention, the cell suction member sucks the solar cell from the back surface and holds it in the vacuum chamber, and the cover suction member sucks the cover glass from the other surface side and holds it in the vacuum chamber. Since the adsorption pressure at which the cell adsorption member adsorbs the solar cell and the adsorption pressure at which the cover adsorption member adsorbs the cover glass are lower than the pressure inside the vacuum chamber, the solar cell and the cover glass can be reliably held in the vacuum chamber. Adsorbed and held. Thereby, the bonding operation can be performed stably.
【００１２】また本発明は前記セル吸着部材は、太陽電
池セルを乗載する平坦なセル乗載面と、乗載された太陽
電池セルの一側面が当接して位置決めを行う平滑なセル
位置決め面とを有し、前記太陽電池セルをセル吸着部材
のセル乗載面に乗載し、セル位置決め面に当接させて位
置決めを行った後、吸着保持を行い、前記カバー吸着部
材は、ガラスカバーを乗載する平坦なカバー乗載面と、
乗載されたガラスカバーの一側面が当接して位置決めを
行う平滑なカバー位置決め面とを有し、前記カバーガラ
スをカバー吸着部材のカバー乗載面に乗載し、カバー位
置決め面に当接させて位置決めを行った後、吸着保持を
行うことを特徴とする。Further, in the present invention, the cell adsorbing member may include a flat cell mounting surface on which the solar cells are mounted, and a smooth cell positioning surface on which one side surface of the mounted solar cells abuts to perform positioning. The solar cell is mounted on a cell mounting surface of a cell adsorption member, and is positioned by being brought into contact with a cell positioning surface, and then is adsorbed and held, and the cover adsorption member is a glass cover. A flat cover mounting surface for mounting the
A flat cover positioning surface for performing positioning by contacting one side surface of the mounted glass cover, and mounting the cover glass on the cover mounting surface of the cover suction member and abutting the cover positioning surface. After the positioning is performed, suction holding is performed.
【００１３】本発明に従えば、太陽電池セルは、セル吸
着部材の平坦なセル乗載面に乗載され、太陽電池セルの
一側面がセル吸着部材が平滑なセル位置決め面に当接し
て位置決めされる。カバーガラスは、カバー吸着部材の
平坦なカバー乗載面に乗載され、カバーガラスの一側面
が、カバー吸着部材の平滑なカバー位置決め面に当接し
て位置決めされる。このように位置決めされた後、太陽
電池セルはセル吸着部材に吸着され、カバーガラスはカ
バー吸着部材に吸着される。上述のように太陽電池セル
およびカバーガラスは、それぞれ平坦な面に吸着される
ので、太陽電池セルおよびカバーガラスの反りまたはね
じれなどといった材料歪みを修正することができる。こ
れによって、太陽電池セルおよびカバーガラスの全面に
均等に力を加えて圧着することができるので、きわめて
良好な接着を行うことができる。また、太陽電池セルお
よびカバーガラスの位置決めは、平滑な面に当接して行
われているので、位置決め時に太陽電池セルおよびカバ
ーガラスに傷または欠けが生じることはない。According to the present invention, the solar cell is mounted on the flat cell mounting surface of the cell adsorbing member, and one side surface of the solar cell is positioned by the cell adsorbing member contacting the smooth cell positioning surface. Is done. The cover glass is mounted on the flat cover mounting surface of the cover suction member, and one side surface of the cover glass is positioned in contact with the smooth cover positioning surface of the cover suction member. After being positioned in this manner, the solar cell is adsorbed by the cell adsorption member, and the cover glass is adsorbed by the cover adsorption member. As described above, since the solar cell and the cover glass are respectively adsorbed to the flat surfaces, material distortion such as warpage or twist of the solar cell and the cover glass can be corrected. With this, it is possible to apply a force evenly to the entire surface of the solar battery cell and the cover glass and press-bond the solar cell and the cover glass, so that extremely good adhesion can be performed. In addition, since the positioning of the solar cell and the cover glass is performed by abutting on a smooth surface, the solar cell and the cover glass are not damaged or chipped at the time of positioning.
【００１４】また本発明は、前記太陽電池セルを吸着保
持したセル吸着部材と、前記カバーガラスを吸着保持し
たカバー吸着部材とによって接着剤を介在した太陽電池
セルとカバーガラスとを相互に押圧して接着するとき、
セル吸着部材およびカバー吸着部材の少なくともいずれ
か一方は、接着時の押圧方向に弾発支持されることを特
徴とする。Further, according to the present invention, the solar cell and the cover glass, which have an adhesive interposed therebetween, are pressed against each other by the cell adsorption member which adsorbs and holds the solar cell and the cover adsorption member which adsorbs and holds the cover glass. When gluing
At least one of the cell suction member and the cover suction member is resiliently supported in a pressing direction at the time of bonding.
【００１５】本発明に従えば、セル吸着部材に吸着保持
された太陽電池セルの受光面とカバー吸着部材に吸着保
持されたカバーガラスの一方面とを対向させて、セル吸
着部材とカバー吸着部材とを相互に近接させる。する
と、接着剤が介在された太陽電池セルとカバーガラスと
は、セル吸着部材とカバー吸着部材とによって押圧方向
に相互に押圧されて接着される。このセル吸着部材およ
びカバー吸着部材の少なくとも一方の部材が押圧方向に
弾発支持される。これによって、太陽電池セルとカバー
ガラスとの接着に必要な大きさ以上の力が作用すること
が防止され、太陽電池セルおよびカバーガラスに傷また
は欠けが発生することが防止される。また、接着剤のは
み出しも防止されるので、完成した太陽電池が汚れるこ
とがない。According to the present invention, the light-receiving surface of the solar battery cell sucked and held by the cell suction member and one surface of the cover glass sucked and held by the cover suction member are opposed to each other, so that the cell suction member and the cover suction member are opposed to each other. Are brought close to each other. Then, the solar cell and the cover glass in which the adhesive is interposed are pressed and bonded to each other in the pressing direction by the cell suction member and the cover suction member. At least one of the cell suction member and the cover suction member is resiliently supported in the pressing direction. This prevents a force greater than the magnitude required for bonding the solar cell and the cover glass from acting, and prevents the solar cell and the cover glass from being damaged or chipped. In addition, since the adhesive is prevented from protruding, the completed solar cell is not stained.
【００１６】また本発明は前記太陽電池セルとカバーガ
ラスとの接着時に、セル吸着部材のセル乗載面と、カバ
ー吸着部材のカバー乗載面との間の距離を制御して、接
着剤の厚さを調整することを特徴とする。Further, the present invention controls the distance between the cell mounting surface of the cell attraction member and the cover mounting surface of the cover attraction member when bonding the solar cell to the cover glass, and It is characterized in that the thickness is adjusted.
【００１７】本発明に従えば、セル吸着部材のセル乗載
面とカバー吸着部材のカバー乗載面との間の距離を制御
することによって、太陽電池セルとカバーガラスとの間
隔を調整し、これらの間に介在される接着剤の量、すな
わち太陽電池の接着剤の厚さを調整することができる。
これによって、カバーガラス接着後の太陽電池の総厚さ
を調整することができる。According to the present invention, the distance between the solar cell and the cover glass is adjusted by controlling the distance between the cell mounting surface of the cell suction member and the cover mounting surface of the cover suction member. The amount of the adhesive interposed therebetween, that is, the thickness of the adhesive of the solar cell can be adjusted.
Thereby, the total thickness of the solar cell after the cover glass is bonded can be adjusted.
【００１８】また本発明は吸着保持された太陽電池セル
またはカバーガラスのいずれか一方を反転させて両者を
接着することを特徴とする。Further, the present invention is characterized in that one of the solar cell and the cover glass held by suction is inverted and the two are adhered to each other.
【００１９】本発明に従えば、吸着保持された太陽電池
セルまたはカバーガラスのいずれか一方を反転させるこ
とができるので、セル吸着部材の乗載面上に受光面を上
方に向けて太陽電池セルを乗載することができ、カバー
吸着部材の乗載面上に接着剤が塗布される一方面を上方
に向けてカバーガラスを乗載できる。このように、接着
剤の塗布面を上にして行えるので、接着作業の確認が容
易である。According to the present invention, either the solar cell or the cover glass held by suction can be inverted, so that the light receiving surface faces upward on the mounting surface of the cell suction member. Can be mounted, and the cover glass can be mounted with the one surface on which the adhesive is applied on the mounting surface of the cover suction member facing upward. As described above, since the bonding operation can be performed with the adhesive applied surface facing upward, it is easy to check the bonding operation.
【００２０】また本発明は、大気圧下で、所定量の接着
剤と吐出する液体定量吐出装置によって、太陽電池セル
の受光面およびカバーガラスの一方面の少なくともいず
れか一方に、接着剤を塗布することを特徴とする。The present invention also provides a liquid dispensing apparatus which discharges a predetermined amount of adhesive under atmospheric pressure, and applies the adhesive to at least one of the light receiving surface of the solar cell and one surface of the cover glass. It is characterized by doing.
【００２１】本発明に従えば、真空室内で、接着剤に混
入された気泡が除去されるので、従来技術のように、作
業者がスクリーン印刷法などによって気泡が混入しない
ように注意深く接着剤の塗布を行う必要がなく、液体定
量吐出装置によって、大気圧下で塗布することができ、
作業効率が向上する。また、液体定量吐出装置では、高
粘度で２液性接着剤であっても、所定の混合比で混合し
て、シリンジ容器に入れて塗布できるため、従来のスク
リーン印刷法による塗布に比べて、使用する接着剤の時
間管理なども容易となり、接着剤の無駄が削減できる。According to the present invention, since air bubbles mixed in the adhesive are removed in the vacuum chamber, the operator carefully removes the adhesive by a screen printing method or the like so as not to mix air bubbles as in the prior art. It is not necessary to perform coating, and it can be applied under atmospheric pressure by a liquid metering device,
Work efficiency is improved. Further, in the liquid dispensing device, even a two-component adhesive having a high viscosity can be mixed at a predetermined mixing ratio and applied in a syringe container, so that compared to the application by the conventional screen printing method, The time management of the adhesive to be used becomes easy, and the waste of the adhesive can be reduced.
【００２２】また本発明は、太陽電池セルの受光面とカ
バーガラスの一方面とを接着剤を介して、接着する接着
装置において、太陽電池セルとカバーガラスとを挿入し
た状態で、内部圧力を真空状態に保持する真空室を備え
ることを特徴とする接着装置である。Further, according to the present invention, in a bonding apparatus for bonding the light receiving surface of a solar battery cell and one surface of a cover glass via an adhesive, the internal pressure is reduced while the solar battery cell and the cover glass are inserted. An adhesive device comprising a vacuum chamber for maintaining a vacuum state.
【００２３】本発明の接着装置は、内圧を真空状態に保
持する真空室を備える。この真空室内で、太陽電池セル
の受光面とカバーガラスの一方面との接着が行われる。
太陽電池セルおよびカバーガラスを真空室内に入れるこ
とによって、太陽電池セルの受光面またはカバーガラス
の一方面に塗布された接着剤に混入した気泡を接着剤か
ら除去することができる。また、太陽電池セルとカバー
ガラスとを接着するときに、接着面に気泡が発生してし
まうことが防止できる。これによって、不良品が大幅に
減少して歩留まりが向上する。さらに、一連の接着工程
時に気泡を除去することができるため、従来技術の真空
脱泡槽内での気泡の除去工程が不要となり、製造時間が
短縮される。The bonding apparatus of the present invention has a vacuum chamber for maintaining the internal pressure in a vacuum. In this vacuum chamber, the light receiving surface of the solar cell and one surface of the cover glass are bonded.
By placing the solar cell and the cover glass in a vacuum chamber, air bubbles mixed in the adhesive applied to the light receiving surface of the solar cell or one surface of the cover glass can be removed from the adhesive. In addition, when the solar battery cell and the cover glass are bonded, it is possible to prevent bubbles from being generated on the bonding surface. As a result, defective products are greatly reduced, and the yield is improved. Further, since bubbles can be removed during a series of bonding steps, the step of removing bubbles in a conventional vacuum degassing tank is not required, and the manufacturing time is reduced.
【００２４】また本発明は、前記真空室内には、前記太
陽電池セルを裏面から吸着して保持するセル吸着部材
と、前記カバーガラスを他方面側から吸着して保持する
カバー吸着部材と、太陽電池セルとカバーガラスとの接
着時に、セル吸着部材の吸着圧力およびカバー吸着部材
の吸着圧力を真空室内の内部圧力よりも低くする圧力制
御装置とを備えることを特徴とする。The present invention also provides a cell adsorbing member for adsorbing and holding the solar cell from the back surface, a cover adsorbing member for adsorbing and holding the cover glass from the other surface side, and a solar cell in the vacuum chamber. When the battery cell and the cover glass are bonded to each other, a pressure control device is provided which makes the suction pressure of the cell suction member and the suction pressure of the cover suction member lower than the internal pressure in the vacuum chamber.
【００２５】本発明の接着装置は、太陽電池セルを裏面
から吸着して保持するセル吸着部材と、カバーガラスを
他方面側から吸着して保持するカバー吸着部材と、セル
吸着部材の吸着圧力、カバー吸着部材の吸着圧力および
真空室の内部圧力をそれぞれ変化させる圧力制御装置と
を備える。太陽電池セルとカバーガラスとを接着すると
き、圧力制御装置は、セル吸着部材の吸着圧力およびカ
バー吸着部材の吸着圧力を真空室内の圧力よりも低くな
るように制御するので、太陽電池セルおよびカバーガラ
スは真空室内でも確実に保持される。これによって、接
着動作が安定する。The bonding apparatus of the present invention includes a cell suction member for holding the solar battery cell by sucking it from the back surface, a cover suction member for sucking and holding the cover glass from the other side, a suction pressure of the cell suction member, A pressure control device that changes the suction pressure of the cover suction member and the internal pressure of the vacuum chamber, respectively. When bonding the solar battery cell and the cover glass, the pressure control device controls the suction pressure of the cell suction member and the suction pressure of the cover suction member so as to be lower than the pressure in the vacuum chamber. The glass is reliably held in the vacuum chamber. This stabilizes the bonding operation.
【００２６】また本発明は、前記セル吸着部材は、太陽
電池セルを乗載する平坦な乗載面と、乗載された太陽電
池セルの一側面が当接して位置決めを行う平滑な位置決
め面とを有し、前記太陽電池セルをセル吸着部材の乗載
面に乗載し、位置決め面に当接させて位置決めを行った
後、吸着保持を行い、前記カバー吸着部材は、ガラスカ
バーを乗載する平坦なカバー乗載面と、乗載されたガラ
スカバーの一側面が当接して位置決めを行う平滑なカバ
ー位置決め面とを有し、前記カバーガラスをカバー吸着
部材の乗載面に乗載し、カバー位置決め面に当接させて
位置決めを行った後、吸着保持を行うことを特徴とす
る。In the present invention, the cell adsorbing member may include a flat mounting surface on which the solar cells are mounted, and a smooth positioning surface on which one side surface of the mounted solar cells abuts for positioning. The solar cell is mounted on the mounting surface of the cell attraction member, the positioning is performed by contacting the positioning surface, and then the suction and holding is performed, and the cover attraction member mounts the glass cover. A flat cover mounting surface, and a flat cover positioning surface for performing positioning by contacting one side surface of the mounted glass cover, and mounting the cover glass on the mounting surface of the cover suction member. After the positioning is performed by abutting the cover positioning surface, the suction holding is performed.
【００２７】本発明のセル吸着部材は、平坦なセル乗載
面と平滑なセル位置決め面とを有し、カバー吸着部材は
平坦なカバー乗載面と平滑なカバー位置決め面とを有す
る。セル乗載面に太陽電池セルが乗載され、太陽電池セ
ルの一側面がセル位置決め面に当接して、太陽電池セル
のセル乗載面上での位置決めが行われる。このように、
位置決めされた後、太陽電池セルは、セル吸着部材に吸
着保持される。カバー乗載面に、ガラスカバーが乗載さ
れ、ガラスカバーの一側面がカバー位置決め面に当接し
て、ガラスカバーのカバー乗載面上での位置決めが行わ
れる。このようにして、位置決めがされた後、ガラスカ
バーはカバー吸着部材に吸着保持される。上述のよう
に、太陽電池セルおよびガラスカバーは、それぞれ平坦
な面に吸着されるので、太陽電池セルまたはカバーガラ
スの反りまたはねじれなどといった材料歪みを修正する
ことができる。これによって、太陽電池セルおよびカバ
ーガラスの全面に均等に力を加えて両者を圧着すること
ができるので、きわめて良好な接着を行うことができ
る。また、太陽電池セルおよびカバーガラスの位置決め
は、平滑な位置決め面に当接して行われるので、位置決
め時に、太陽電池セルおよびカバーガラスに傷または欠
けが生じることはない。また、このように位置決めされ
た状態で太陽電池セルおよびガラスカバーを確実に吸着
保持するので、接着時に太陽電池セルとガラスカバーと
の相対位置がずれるといったことが防止される。The cell suction member of the present invention has a flat cell mounting surface and a smooth cell positioning surface, and the cover suction member has a flat cover mounting surface and a smooth cover positioning surface. The solar cell is mounted on the cell mounting surface, and one side surface of the solar cell is brought into contact with the cell positioning surface to perform positioning of the solar cell on the cell mounting surface. in this way,
After the positioning, the solar cell is suction-held by the cell suction member. The glass cover is mounted on the cover mounting surface, and one side surface of the glass cover is in contact with the cover positioning surface, and the glass cover is positioned on the cover mounting surface. After the positioning, the glass cover is suction-held by the cover suction member. As described above, since the solar cell and the glass cover are each adsorbed to the flat surface, material distortion such as warping or twisting of the solar cell or the cover glass can be corrected. Thereby, the solar battery cell and the cover glass can be pressure-bonded by uniformly applying a force to the entire surface, so that extremely good adhesion can be performed. In addition, since the positioning of the solar cell and the cover glass is performed in contact with the smooth positioning surface, no damage or chipping occurs in the solar cell and the cover glass during positioning. In addition, since the solar cell and the glass cover are securely sucked and held in the thus positioned state, the relative positions of the solar cell and the glass cover are prevented from being shifted during bonding.
【００２８】また本発明は、接着剤を介在した太陽電池
セルとカバーガラスとは、セル吸着部材とカバー吸着部
材とによって相互に押圧されて接着され、前記セル吸着
部材およびカバー吸着部材の少なくともいずれか一方
は、接着時の押圧方向に弾発支持されることを特徴とす
る。Further, according to the present invention, the solar cell and the cover glass with the adhesive interposed therebetween are pressed and adhered to each other by the cell adsorbing member and the cover adsorbing member, and at least one of the cell adsorbing member and the cover adsorbing member is provided. One of them is resiliently supported in the pressing direction at the time of bonding.
【００２９】本発明に従えば、セル吸着部材に吸着保持
された太陽電池セルの受光面と、カバー吸着部材に吸着
保持されたカバーガラスの一方面とを対向させて、セル
吸着部材とカバー吸着部材とを相互に近接させる。する
と、接着剤が介在された太陽電池セルとカバーガラスと
は、セル吸着部材とカバー吸着部材とによって押圧方向
に相互に押圧されて接着される。このセル吸着部材およ
びカバー吸着部材の少なくとも一方の部材が押圧方向に
弾発支持される。これによって、太陽電池セルとカバー
ガラスとに必要以上の力が作用することが防止され、太
陽電池セルおよびカバーガラスに傷または欠けが発生す
ることが防止される。また、接着剤のはみ出しも防止さ
れるので、完成後の太陽電池が汚れることがない。また
これによって、カバーガラス接着後の太陽電池の総厚さ
を調整することができる。According to the present invention, the light-receiving surface of the solar cell adsorbed and held by the cell adsorbing member and the one surface of the cover glass adsorbed and held by the cover adsorbing member are opposed to each other, so that the cell adsorbing member and the cover adsorbing member are held. The members are brought close to each other. Then, the solar cell and the cover glass in which the adhesive is interposed are pressed and bonded to each other in the pressing direction by the cell suction member and the cover suction member. At least one of the cell suction member and the cover suction member is resiliently supported in the pressing direction. This prevents an unnecessary force from acting on the solar cell and the cover glass, and prevents the solar cell and the cover glass from being damaged or chipped. In addition, since the adhesive is prevented from protruding, the solar cell after completion is not stained. This also makes it possible to adjust the total thickness of the solar cell after the cover glass is bonded.
【００３０】また本発明は、前記セル吸着部材またはカ
バー吸着部材のいずれか一方は、上下に反転可能に設け
られることを特徴とする。Further, the present invention is characterized in that one of the cell suction member and the cover suction member is provided so as to be able to be turned upside down.
【００３１】本発明に従えば、セル吸着部材およびカバ
ー吸着部材のいずれか一方は、反転可能に設けられるの
で、セル吸着部材の乗載面上に、受光面を上方に向けた
状態で太陽電池セルを乗載することができ、カバー吸着
部材のカバー乗載面上に、カバーガラスの一方面を上方
に向けてカバーガラスを乗載できる。これによって、太
陽電池セルの受光面に塗布された接着剤またはカバーガ
ラスの一方面上に塗布された接着剤の塗布状態を容易に
確認することができ、接着作業をより確実に行うことが
できる。According to the present invention, one of the cell attraction member and the cover attraction member is provided to be reversible, so that the solar cell is placed on the mounting surface of the cell attraction member with the light receiving surface facing upward. The cell can be mounted, and the cover glass can be mounted on the cover mounting surface of the cover suction member with one surface of the cover glass facing upward. Thereby, the application state of the adhesive applied to the light receiving surface of the solar cell or the adhesive applied to one surface of the cover glass can be easily confirmed, and the bonding operation can be performed more reliably. .
【００３２】[0032]
【発明の実施の形態】図１は、本発明の実施の一形態の
接着装置１の基本的な構成を示す斜視図である。接着装
置１は、太陽電池セル３の受光面と、カバーガラス５の
一方面とを相互に対向させた状態で、接着剤を介して両
者を貼合わせる装置である。接着装置１は、内部空間の
圧力を、大気圧から真空まで減圧することができる真空
室２と、この真空室２内に設けられ、太陽電池セル３と
カバーガラス５とを接着させる接着機構１５と、真空室
２の内部圧力および接着機構１５の接着動作を制御する
制御装置１２と、この制御装置１２を収納し、真空室２
に下方に配置される制御室１１とを含んで構成される。
真空室２の正面壁１３には、両者が接着機構１５の接着
動作を確認するための確認窓１４が設けられる。また、
真空室２の内部には、内部圧力を検出する真空室圧力検
出器（図示せず）を備えられており、制御装置１２は、
この真空室圧力検出器の検出出力に基づいて真空室２内
の圧力を制御する。FIG. 1 is a perspective view showing a basic structure of a bonding apparatus 1 according to an embodiment of the present invention. The bonding device 1 is a device for bonding the light receiving surface of the solar cell 3 and one surface of the cover glass 5 to each other via an adhesive in a state where the two surfaces face each other. The bonding apparatus 1 includes a vacuum chamber 2 capable of reducing the pressure of the internal space from atmospheric pressure to vacuum, and a bonding mechanism 15 provided in the vacuum chamber 2 for bonding the solar cell 3 and the cover glass 5. And a control device 12 for controlling the internal pressure of the vacuum chamber 2 and the bonding operation of the bonding mechanism 15.
And a control room 11 disposed below.
A confirmation window 14 is provided on the front wall 13 of the vacuum chamber 2 so that both can confirm the bonding operation of the bonding mechanism 15. Also,
Inside the vacuum chamber 2, a vacuum chamber pressure detector (not shown) for detecting the internal pressure is provided.
The pressure in the vacuum chamber 2 is controlled based on the detection output of the vacuum chamber pressure detector.
【００３３】次に、図１〜図５を参照して接着機構１５
について説明する。図２は接着機構１５の正面図であ
り、図３はその右側面図であり、図４は図２の切断面線
ＩＶ−ＩＶから見た断面図であり、図５は接着機構１５
の平面図である。接着機構１５は、太陽電池セル３を裏
面側から真空吸引して保持するセル吸着部材４と、カバ
ーガラス５を他方面側から真空吸引して保持するカバー
吸着部材６と、カバー吸着部材６を鉛直方向（図２の上
下方向）に変位させ、水平軸線９まわりに反転させる駆
動装置７と、太陽電池セル３の位置決めを行う４つのセ
ル位置決めローラ２９と、カバーガラス５の位置決めを
行う４つのカバー位置決めローラ３４と、これらのセル
吸着部材４、カバー吸着部材６、駆動装置７、セル位置
決めローラ２９およびカバー位置決めローラ３４を支持
するフレーム３９とから構成される。Next, the bonding mechanism 15 will be described with reference to FIGS.
Will be described. 2 is a front view of the bonding mechanism 15, FIG. 3 is a right side view of the bonding mechanism 15, FIG. 4 is a cross-sectional view taken along section line IV-IV of FIG. 2, and FIG.
FIG. The bonding mechanism 15 includes a cell suction member 4 for holding the solar cell 3 by vacuum suction from the rear surface side, a cover suction member 6 for holding the cover glass 5 by vacuum suction from the other surface side, and a cover suction member 6. A driving device 7 that is displaced in the vertical direction (vertical direction in FIG. 2) and reverses around the horizontal axis 9, four cell positioning rollers 29 for positioning the solar cell 3, and four cells for positioning the cover glass 5 It is composed of a cover positioning roller 34 and a frame 39 that supports the cell suction member 4, the cover suction member 6, the driving device 7, the cell positioning roller 29, and the cover positioning roller 34.
【００３４】図１〜図４を参照して、セル吸着部材４に
ついて説明する。セル吸着部材４は、真空室２の内部に
設けられる。セル吸着部材４は、太陽電池セル３が乗載
されるセル乗載ステージ２０と、太陽電池セル３の位置
決めを行うセル位置決めブロック２１とから構成され
る。The cell suction member 4 will be described with reference to FIGS. The cell suction member 4 is provided inside the vacuum chamber 2. The cell adsorption member 4 includes a cell mounting stage 20 on which the solar cells 3 are mounted, and a cell positioning block 21 for positioning the solar cells 3.
【００３５】セル乗載ステージ２０は、板状の部材であ
り、上面側が、太陽電池セル３を乗載するセル乗載面１
９であり、支持台２４に厳密に水平に固定支持される。
セル乗載面１９は、平坦であり、セル乗載ステージ２０
の長手方向（図４の左右方向）に略平行で、かつ幅方向
（図４の上下方向）に所定の間隔をあけて配置される６
本の真空引き孔２２を有する。全ての真空引き孔２２
は、真空ポンプ（図示せず）に気密に接続され、この真
空ポンプは制御装置１２によって制御される。なお、セ
ル乗載面１９の面積は、太陽電池セル３の面積よりも大
きくなるように形成されている。The cell mounting stage 20 is a plate-like member, and the upper surface side is a cell mounting surface 1 on which the solar cells 3 are mounted.
9 and is strictly horizontally fixed and supported by the support stand 24.
The cell mounting surface 19 is flat and the cell mounting stage 20
6 are arranged substantially parallel to the longitudinal direction (left-right direction in FIG. 4) and at predetermined intervals in the width direction (vertical direction in FIG. 4).
It has a vacuum evacuation hole 22. All vacuum holes 22
Is hermetically connected to a vacuum pump (not shown), which is controlled by the controller 12. The area of the cell mounting surface 19 is formed to be larger than the area of the solar cell 3.
【００３６】セル位置決めブロック２１は、長手方向
（図４の左右方向）に延びる段差部２５を有する段付き
の部材であり、その長手方向両端部は、真空室２の底壁
１０から立設する２本の支持柱２７上に、圧縮コイルば
ね２６によって弾発支持される。このように、圧縮コイ
ルばね２６によって弾発支持されているので、セル位置
決めブロック２１は、鉛直方向（図３の上下方向）に変
位可能であり、太陽電池セル３とカバーガラス５とを接
着するとき以外は、常にセル乗載面１９よりも上方に突
出している。また、セル位置決めブロック２１は、セル
乗載ステージ２０の幅方向一方側（図３の右方）に配置
され、その正面壁はセル乗載面１９に垂直に配置され
る。この正面壁は、太陽電池セル３の位置決めを行うた
めのセル位置決め面２８であり、表面は平滑に加工され
ている。このセル位置決め面２８と後述するセル位置決
めローラ２９とによって、太陽電池セル３はセル乗載面
１９上で位置決めされる。The cell positioning block 21 is a stepped member having a step 25 extending in the longitudinal direction (the left-right direction in FIG. 4), and both ends in the longitudinal direction are erected from the bottom wall 10 of the vacuum chamber 2. It is resiliently supported on the two support columns 27 by a compression coil spring 26. In this manner, since the cell positioning block 21 is resiliently supported by the compression coil spring 26, the cell positioning block 21 can be displaced in the vertical direction (up and down direction in FIG. 3), and adheres the solar cell 3 and the cover glass 5. At other times, it always projects above the cell mounting surface 19. The cell positioning block 21 is disposed on one side in the width direction of the cell mounting stage 20 (to the right in FIG. 3), and its front wall is disposed perpendicular to the cell mounting surface 19. The front wall is a cell positioning surface 28 for positioning the solar cell 3 and has a smooth surface. The solar cell 3 is positioned on the cell mounting surface 19 by the cell positioning surface 28 and a cell positioning roller 29 described later.
【００３７】セル乗載ステージ２０の長手方向両端側に
各１つ、幅方向他方側（図４の下方）に２つの短円柱状
のセル位置決めローラ２９ａ〜２９ｄが設けられる。セ
ル位置決めローラ２９ａ，２９ｄは、長手方向変位駆動
機構３０ａによって、セル乗載ステージ２０の長手方向
（図４の左右方向）に往復変位し、セル位置決めローラ
２４ｂ，２４ｃは、幅方向変位駆動機構３０ｂによって
セル乗載ステージ２０の幅方向（図４の上下方向）に往
復変位する。各セル位置決めローラ２９ａ〜２９ｄは、
それぞれ対応する変位駆動機構３０ａに、鉛直な軸線３
１ａ〜３１ｄまわりに回転自在に支持される。また、各
セル位置決めローラ２９ａ〜２９ｄは、その上面は、セ
ル乗載面１９よりも上方に突出して配置され、その外周
面は凹凸のほとんどない平滑に加工されている。また変
位駆動機構３０ａ，３０ｂは、フレーム３９に支持され
る。One cell positioning roller 29a-29d is provided on each side of the cell mounting stage 20 in the longitudinal direction, and two short columnar cell positioning rollers 29a-29d on the other side in the width direction (lower side in FIG. 4). The cell positioning rollers 29a and 29d are reciprocated in the longitudinal direction (the left and right direction in FIG. 4) of the cell mounting stage 20 by the longitudinal displacement driving mechanism 30a, and the cell positioning rollers 24b and 24c are moved in the width direction displacement driving mechanism 30b. This reciprocates in the width direction of the cell mounting stage 20 (vertical direction in FIG. 4). Each of the cell positioning rollers 29a to 29d
A vertical axis 3 is attached to the corresponding displacement drive mechanism 30a.
It is supported rotatably around 1a to 31d. The upper surface of each of the cell positioning rollers 29a to 29d is arranged so as to protrude above the cell mounting surface 19, and the outer peripheral surface thereof is smoothed with almost no irregularities. The displacement driving mechanisms 30a and 30b are supported by the frame 39.
【００３８】セル乗載面１９上に、太陽電池セル３を乗
載すると、長手方向変位駆動機構３０ａによってセル位
置決めローラ２９ａ，２９ｄが、セル乗載ステージ２０
の長手方向（図４の左右方向）に近接するように変位
し、幅方向変位駆動機構３０ｂによって、セル位置決め
ローラ２９ｂ，２９ｃがセル乗載ステージ２０の幅方向
一方側（図４の上方）に変位する。すると、太陽電池セ
ル３は、セル位置決めローラ２９ａ，２９ｄによってセ
ル乗載面１９の長手方向中央部に配置され、セル位置決
めローラ２９ｂ，２９ｃによって一方壁がセル位置決め
面２８に当接して位置決めされる。このとき、セル位置
決め面２８および各セル位置決めローラ２９ａ〜２９ｄ
の外周面は、平滑に加工されているので、太陽電池セル
３に傷または欠けが生じることがない。上述のようにし
て太陽電池セル３が位置決めされた後、制御装置１２
は、真空ポンプを駆動し、セル乗載面１９上に太陽電池
セル３を真空吸引して保持する。このとき、セル乗載面
１９は平坦であり、かつ真空引き孔２２は全面にわたっ
て形成されているので、太陽電池セル３の反りまたはね
じれなどの材料歪みを修正することができる。また、セ
ル吸着部材４には、太陽電池セル３の吸着圧力を検出す
るセル吸着圧力検出器（図示せず）を備えられており、
制御装置１２は、このセル吸着圧力検出器の検出出力に
基づいて、吸着圧力を制御する。When the solar cells 3 are mounted on the cell mounting surface 19, the cell positioning rollers 29a and 29d are moved by the longitudinal displacement driving mechanism 30a to the cell mounting stage 20.
The cell positioning rollers 29b and 29c are moved to one side in the width direction of the cell mounting stage 20 (upward in FIG. 4) by the width direction displacement drive mechanism 30b. Displace. Then, the photovoltaic cell 3 is arranged in the longitudinal center of the cell mounting surface 19 by the cell positioning rollers 29a and 29d, and one wall is positioned by the cell positioning rollers 29b and 29c in contact with the cell positioning surface 28. . At this time, the cell positioning surface 28 and each of the cell positioning rollers 29a to 29d
Since the outer peripheral surface is smoothed, the solar cell 3 is not damaged or chipped. After the solar cell 3 is positioned as described above, the control device 12
Drives the vacuum pump to vacuum-hold and hold the solar cell 3 on the cell mounting surface 19. At this time, since the cell mounting surface 19 is flat and the vacuum holes 22 are formed over the entire surface, material distortion such as warpage or twist of the solar cell 3 can be corrected. Further, the cell adsorption member 4 is provided with a cell adsorption pressure detector (not shown) for detecting the adsorption pressure of the solar cell 3,
The control device 12 controls the suction pressure based on the detection output of the cell suction pressure detector.
【００３９】次に図１〜図３および図５を参照して、カ
バー吸着部材６について説明する。カバー吸着部材６
は、セル吸着部材４の上方に配置され、カバーガラス５
を乗載するカバー乗載ステージ３３と、カバーガラス５
の位置決めを行うカバー位置決め部材３７とから成る。
このカバー乗載ステージ３３とカバー位置決め部材３７
とは一体的に形成されている。Next, the cover suction member 6 will be described with reference to FIGS. Cover suction member 6
Is disposed above the cell adsorbing member 4 and covers the cover glass 5.
Loading stage 33 on which is mounted, and cover glass 5
And a cover positioning member 37 for positioning.
The cover mounting stage 33 and the cover positioning member 37
Are integrally formed.
【００４０】カバー乗載ステージ３３は、板状の部材で
あり、上面側がカバーガラス５を乗載するカバー乗載面
３２である。このカバー乗載面３２の幅方向一方側端部
（図５の上方）には、カバー乗載面３２よりも上方に突
出し、かつ長手方向（図５の左右方向）に延びる段差部
が形成され、この段差部がカバー位置決め部材３７であ
る。カバー乗載面３２は、平坦であり、カバー乗載ステ
ージ３３の長手方向（図５の左右方向）に略平行で、幅
方向（図５の上下方向）に所定の間隔をあけて配置され
る６本の真空引き孔３５を有する。全ての真空引き孔３
５は、真空ポンプ（図示せず）に気密に接続され、この
真空ポンプは制御装置１２によって制御される。カバー
位置決め部材３７のカバー乗載面３２に垂直な正面壁
は、カバーガラス５の位置決めを行うためのカバー位置
決め面３８であり、表面は平滑に加工されている。な
お、カバー乗載面３２の面積は、カバーガラス５の面積
よりも小さくなるように形成されている。このカバー位
置決め面３８と、後述するカバー位置決めローラ３４と
によって、カバーガラス５はカバー乗載面３２上で位置
決めされる。このカバー吸着部材６は、鉛直方向に変位
可能で、かつ水平軸線９まわりに反転可能に支持され
る。The cover mounting stage 33 is a plate-shaped member, and the upper surface is the cover mounting surface 32 on which the cover glass 5 is mounted. At one end of the cover mounting surface 32 in the width direction (above in FIG. 5), a step is formed which protrudes above the cover mounting surface 32 and extends in the longitudinal direction (in the horizontal direction in FIG. 5). This step is the cover positioning member 37. The cover mounting surface 32 is flat, substantially parallel to the longitudinal direction (the left-right direction in FIG. 5) of the cover mounting stage 33, and is disposed at a predetermined interval in the width direction (the vertical direction in FIG. 5). It has six vacuum holes 35. All vacuum holes 3
5 is hermetically connected to a vacuum pump (not shown), which is controlled by the controller 12. The front wall perpendicular to the cover mounting surface 32 of the cover positioning member 37 is a cover positioning surface 38 for positioning the cover glass 5 and has a smooth surface. The area of the cover mounting surface 32 is formed to be smaller than the area of the cover glass 5. The cover glass 5 is positioned on the cover mounting surface 32 by the cover positioning surface 38 and a cover positioning roller 34 described later. The cover suction member 6 is supported so as to be vertically displaceable and reversible about a horizontal axis 9.
【００４１】カバー吸着部材６の上方で、カバー乗載ス
テージ３３の長手方向（図５の左右方向）両端側に対応
する位置に各１つ、幅方向他方側（図５の下方）に対応
する位置に２つの短円柱状のカバー位置決めローラ３４
ａ〜３４ｄが設けられる。カバー位置決めローラ３４
ａ，３４ｄは、長手方向変位駆動機構４０ａによって、
カバー乗載ステージ３３の長手方向（図５の左右方向）
に往復変位し、カバー位置決めローラ３４ｂ，３４ｃ
は、幅方向変位駆動機構４０ｂによって、カバー乗載ス
テージ３３の幅方向（図５の上下方向）に往復変位す
る。各カバー位置決めローラ３４ａ〜３４ｄは、それぞ
れ対応する変位駆動機構４０ａ，４０ｂに、鉛直軸線４
１ａ〜４１ｄまわりに回転自在に支持される。このカバ
ー位置決めローラ３４ａ〜３４ｄの外周面は、凹凸のほ
とんどない平滑に加工されている。また変位駆動機構４
０ａ，４０ｂは、フレーム３９の上端側で支持される。Above the cover suction member 6, one at each position corresponding to both ends in the longitudinal direction (left-right direction in FIG. 5) of the cover mounting stage 33, and corresponds to the other side in the width direction (lower in FIG. 5). Position two short cylindrical cover positioning rollers 34
a to 34d are provided. Cover positioning roller 34
a and 34d are driven by the longitudinal displacement driving mechanism 40a.
Longitudinal direction of cover mounting stage 33 (left-right direction in FIG. 5)
Reciprocating to cover positioning rollers 34b, 34c
Is reciprocated in the width direction (the vertical direction in FIG. 5) of the cover mounting stage 33 by the width direction displacement drive mechanism 40b. Each of the cover positioning rollers 34a to 34d is connected to the corresponding displacement drive mechanism 40a, 40b by a vertical axis 4.
It is rotatably supported around 1a-41d. The outer peripheral surfaces of the cover positioning rollers 34a to 34d are smoothed with almost no irregularities. In addition, displacement drive mechanism 4
0 a and 40 b are supported on the upper end side of the frame 39.
【００４２】カバー乗載面３２にカバーガラス５を乗載
すると、駆動装置７がカバー乗載ステージ３３を図３の
仮想線４２に示す位置まで上昇させる。このとき、カバ
ー乗載面３２が、カバー位置決めローラ３４の厚さ範囲
内に収まるように上昇させる。カバー乗載ステージ３３
が、仮想線４２に示す位置まで上昇すると、カバー位置
決めローラ３４ａ，３４ｄが、カバー乗載ステージ３３
の長手方向（図５の左右方向）に近接するように変位
し、カバー位置決めローラ３４ｂ，３４ｃが、カバー乗
載ステージ３３の幅方向一方側（図５の上方）に変位す
る。すると、カバーガラス５は、カバー位置決めローラ
３４ａ，３４ｄによって、カバー乗載面３２の長手方向
中央部に配置され、カバー位置決めローラ３４ｂ，３４
ｃによって、一方側面がカバー位置決め面３８に当接し
て位置決めされる。このとき、カバー位置決め面３８お
よび各カバー位置決めローラ３４ａ〜３４ｄの外周面
は、平滑に加工されているので、カバーガラス５に傷ま
たは欠けが生じることはない。上述のようにして、カバ
ーガラス５が位置決めされた後、制御装置１２が真空ポ
ンプを駆動する。真空ポンプが駆動されると、カバー乗
載面３２上にカバーガラス５が真空吸引されて保持され
る。このときカバー乗載面３２は、平坦であり、かつ真
空引き孔３５は、全面にわたって形成されているので、
カバーガラス５の反りおよびねじれなどの材料歪みを修
正することができる。また、カバー吸着部材６には、カ
バーガラス５の吸着圧力を検出するカバー吸着圧力検出
器（図示せず）が設けられ、制御装置１２は、このカバ
ー吸着圧力検出器の検出出力に基づいてカバーガラスの
吸着圧力を調整する。When the cover glass 5 is mounted on the cover mounting surface 32, the driving device 7 raises the cover mounting stage 33 to a position indicated by a virtual line 42 in FIG. At this time, the cover mounting surface 32 is raised so as to fall within the thickness range of the cover positioning roller 34. Cover loading stage 33
Rises to the position indicated by the imaginary line 42, the cover positioning rollers 34a and 34d
The cover positioning rollers 34b and 34c are displaced to one side in the width direction of the cover mounting stage 33 (upward in FIG. 5). Then, the cover glass 5 is disposed at the center in the longitudinal direction of the cover mounting surface 32 by the cover positioning rollers 34a, 34d, and the cover positioning rollers 34b, 34d.
With c, one side surface is brought into contact with the cover positioning surface 38 and positioned. At this time, since the cover positioning surface 38 and the outer peripheral surfaces of the cover positioning rollers 34a to 34d are smoothed, the cover glass 5 is not scratched or chipped. After the cover glass 5 is positioned as described above, the control device 12 drives the vacuum pump. When the vacuum pump is driven, the cover glass 5 is sucked and held on the cover mounting surface 32 by vacuum suction. At this time, since the cover mounting surface 32 is flat and the evacuation hole 35 is formed over the entire surface,
Material distortion such as warpage and twist of the cover glass 5 can be corrected. Further, the cover suction member 6 is provided with a cover suction pressure detector (not shown) for detecting the suction pressure of the cover glass 5, and the control device 12 controls the cover based on the detection output of the cover suction pressure detector. Adjust the glass adsorption pressure.
【００４３】次に図２〜図４を参照して、駆動装置７に
ついて説明する。駆動装置７は、カバー吸着部材６を支
持する支持部材４８と、カバー吸着部材６を水平軸線９
まわりに反転させる反転機構４７と、カバー吸着部材６
の鉛直方向動作の駆動源である空気圧シリンダ４５と、
案内レール５１に沿って昇降する昇降部材１７と、昇降
部材１７および空気圧シリンダ４５のピストンロッド５
０の先端を連結する連結部材４９とを含んで構成され
る。Next, the driving device 7 will be described with reference to FIGS. The driving device 7 includes a support member 48 for supporting the cover suction member 6 and a cover
A reversing mechanism 47 for reversing the surroundings, a cover suction member 6
A pneumatic cylinder 45 that is a driving source for vertical movement of
The elevating member 17 which moves up and down along the guide rail 51, the elevating member 17 and the piston rod 5 of the pneumatic cylinder 45
And a connecting member 49 for connecting the leading end of the zero.
【００４４】空気圧シリンダ４５は、その基端部が真空
室２の底壁１１に固定され、ピストンロッド５０が、鉛
直方向（図３の上下方向）に伸長または縮退するように
配置される。昇降部材１７は、フレーム３９に取付けら
れ、鉛直方向に延びる２本の案内レール５１に沿って上
下に変位する。ピストンロッド５０の先端部と昇降部材
１７とが連結部材４９によって連結されているので、ピ
ストンロッド５０が上方に伸長すると、昇降部材１７は
案内レール５１に沿って上方に変位し、ピストンロッド
５０が下方に縮退すると、昇降部材１７は案内レール５
１に沿って下方に変位する。昇降部材１７には反転機構
４７が設けられ、この反転機構４７にこの支持部材４８
が水平軸線９まわりに回転自在に取付けられる。この支
持部材４８にカバー吸着部材６が支持される。この空気
圧シリンダ４５および反転機構４７は、制御装置１２に
よって制御される。上述のように構成される駆動装置７
によって、カバー吸着部材６は、鉛直方向（図３の上下
方向）に変位することができ、水平軸線９まわりに回転
することができる。The pneumatic cylinder 45 has its base end fixed to the bottom wall 11 of the vacuum chamber 2 and is arranged such that the piston rod 50 extends or contracts in a vertical direction (vertical direction in FIG. 3). The elevating member 17 is attached to the frame 39 and is vertically displaced along two guide rails 51 extending in the vertical direction. Since the tip of the piston rod 50 and the elevating member 17 are connected by the connecting member 49, when the piston rod 50 extends upward, the elevating member 17 is displaced upward along the guide rail 51, and the piston rod 50 is moved. When retracted downward, the elevating member 17 moves the guide rail 5
Displaced downward along 1. The elevating member 17 is provided with a reversing mechanism 47.
Are rotatably mounted about a horizontal axis 9. The cover suction member 6 is supported by the support member 48. The pneumatic cylinder 45 and the reversing mechanism 47 are controlled by the control device 12. Driving device 7 configured as described above
Thereby, the cover suction member 6 can be displaced in the vertical direction (the vertical direction in FIG. 3), and can rotate around the horizontal axis 9.
【００４５】次に図２、図３、図６および図７を参照し
て、本発明の接着装置１を用いた太陽電池セル３とカバ
ーガラス５との接着方法について説明する。図６は本実
施の形態の太陽電池セル３とカバーガラス５との接着方
法を示すフローチャートであり、図７は接着剤が塗布さ
れたカバーガラス５を示す斜視図である。Next, a method for bonding the solar cell 3 and the cover glass 5 using the bonding apparatus 1 of the present invention will be described with reference to FIGS. 2, 3, 6 and 7. FIG. 6 is a flowchart showing a method of bonding solar cell 3 and cover glass 5 according to the present embodiment, and FIG. 7 is a perspective view showing cover glass 5 to which an adhesive has been applied.
【００４６】先ず、図７に示すように、ステップａ１
で、カバーガラス５の一方面５３上に、接着剤をたとえ
ば渦巻き状のパターンで塗布する。このとき、接着剤は
液体定量吐出装置（図示せず）から予め定める所定量の
みが吐出されて塗布される。これによって、接着剤の無
駄が削減できる。接着剤は、たとえば一般に広く使用さ
れている高粘度の２液性シリコーン接着剤であるダウコ
ーニング（Dow Corning）株式会社製のＤＣ９３５００
などを予め所定の混合比で調合したものが使用される。
この接着剤は、液体定量吐出装置のシリンジ容器内に入
れて使用できる。First, as shown in FIG. 7, step a1
Then, an adhesive is applied on one surface 53 of the cover glass 5 in a spiral pattern, for example. At this time, only a predetermined amount of the adhesive is discharged and applied from a liquid metering device (not shown). Thereby, waste of the adhesive can be reduced. The adhesive is, for example, DC93500 manufactured by Dow Corning Co., which is a commonly used high viscosity two-part silicone adhesive.
A mixture prepared beforehand at a predetermined mixing ratio is used.
This adhesive can be used by placing it in a syringe container of a liquid metering device.
【００４７】次にステップａ２で、接着剤が塗布された
一方面５３を上方に臨ませた状態で、カバーガラス５を
カバー乗載ステージ３３のカバー乗載面３２上に乗載す
る。すなわち、カバーガラス５の他方面とカバー乗載面
３２とが面接触する。Next, in step a2, the cover glass 5 is mounted on the cover mounting surface 32 of the cover mounting stage 33 with the one surface 53 coated with the adhesive facing upward. That is, the other surface of the cover glass 5 comes into surface contact with the cover mounting surface 32.
【００４８】次にステップａ３で、カバー乗載ステージ
３３を、カバー位置決めローラ３４ａ〜３４ｄのある高
さまで上昇させる。ステップａ３で、カバー乗載ステー
ジ３３を乗載させると、ステップａ４に進み、前述した
ようにしてカバー位置決めローラ３４ａ〜３４ｄと、カ
バー位置決め面３８とによって、カバーガラス５のカバ
ー乗載面３２上での位置決めが行われる。Next, in step a3, the cover mounting stage 33 is raised to a certain height of the cover positioning rollers 34a to 34d. In step a3, when the cover mounting stage 33 is mounted, the process proceeds to step a4, where the cover positioning rollers 34a to 34d and the cover positioning surface 38 cover the cover mounting surface 32 of the cover glass 5 as described above. Is performed.
【００４９】ステップａ４の位置決めが完了すると、カ
バー乗載ステージ３３の真空引き孔３５に接続されてい
る真空ポンプを駆動してカバーガラス５をカバー乗載面
３２上に真空吸着保持する。このとき、真空引き孔３５
は、平坦なカバー乗載面３２の全面にわたって形成され
ているので、吸着保持されたカバーガラス５の反りまた
はねじれなどの材料歪みが修正される。なお、カバーガ
ラス５の吸着圧力は、１ｔｏｒｒ（１．３３３２２×１
０2Ｐａ：標準１気圧の７６０分の１）程度であり、カ
バー吸着圧力検出器の検出出力が、１ｔｏｒｒになるま
で真空吸引し、１ｔｏｒｒになるとその状態を保持す
る。ステップａ５の吸着保持が完了すると、カバーガラ
ス５を吸着保持したままカバー乗載ステージ３３を元の
位置、すなわち図３の実線に示す位置まで下降させる。
なお、上述のステップａ１〜ａ６の工程は、いずれも真
空室２の圧力が大気圧の状態で行われる。When the positioning in step a4 is completed, the vacuum pump connected to the evacuation hole 35 of the cover mounting stage 33 is driven to hold the cover glass 5 on the cover mounting surface 32 by vacuum suction. At this time, the evacuation hole 35
Is formed over the entire surface of the flat cover mounting surface 32, so that material distortion such as warping or twisting of the suction-held cover glass 5 is corrected. Note that the suction pressure of the cover glass 5 is 1 torr (1.33322 × 1
0 2 Pa: about 1/760 of the standard 1 atm. The vacuum suction is performed until the output of the cover suction pressure detector reaches 1 torr, and the state is maintained when the output reaches 1 torr. When the suction holding in step a5 is completed, the cover mounting stage 33 is lowered to the original position, that is, the position shown by the solid line in FIG. 3, while holding the cover glass 5 by suction.
Note that all of the above-described steps a1 to a6 are performed in a state where the pressure in the vacuum chamber 2 is atmospheric pressure.
【００５０】前述のステップａ１〜ａ６と平行して、ス
テップａ１７〜ステップａ１９が行われる。先ず、ステ
ップａ１７で受光面を上方に臨ませた状態で、太陽電池
セル３をセル乗載ステージ２０のセル乗載面１９上に乗
載する。すなわち太陽電池セル３の裏面とセル乗載面１
９とが面接触する。Steps a17 to a19 are performed in parallel with steps a1 to a6. First, in step a17, the solar cell 3 is mounted on the cell mounting surface 19 of the cell mounting stage 20 with the light receiving surface facing upward. That is, the back surface of the solar cell 3 and the cell mounting surface 1
9 makes surface contact.
【００５１】ステップａ１７で、太陽電池セル３が乗載
されると、ステップａ１８で、前述したように、セル位
置決めローラ２９とセル位置決め面２８とによって、太
陽電池セル３のセル乗載面１９上での位置決めが行われ
る。ステップａ１９の位置決めが完了すると、セル乗載
ステージ２０の真空引き孔２２に接続されている真空ポ
ンプを駆動して、太陽電池セル３をセル乗載面１９上に
真空吸着して保持する。このとき、真空引き孔２２は、
平坦なセル乗載面１９の全面にわたって形成されている
ので、吸着保持された太陽電池セル３の反りまたはねじ
れなどの材料歪みが修正される。なお、太陽電池セル３
を真空吸引する吸着圧力は、１ｔｏｒｒ程度であり、セ
ル吸着圧力検出器の検出出力が１ｔｏｒｒ程度になるま
で真空引きを行い、検出結果が１ｔｏｒｒ程度になる
と、その状態を保持する。When the photovoltaic cells 3 are mounted in step a17, in step a18, as described above, the cell positioning rollers 29 and the cell positioning surfaces 28 are used on the cell mounting surface 19 of the photovoltaic cells 3. Is performed. When the positioning in step a19 is completed, the vacuum pump connected to the vacuum evacuation hole 22 of the cell mounting stage 20 is driven to vacuum-hold the solar cell 3 on the cell mounting surface 19 and hold it. At this time, the evacuation hole 22 is
Since it is formed over the entire surface of the flat cell mounting surface 19, material distortion such as warpage or twist of the solar cell 3 held by suction is corrected. In addition, the solar cell 3
The suction pressure for vacuum suction is about 1 torr, and the chamber is evacuated until the detection output of the cell suction pressure detector becomes about 1 torr. When the detection result becomes about 1 torr, the state is maintained.
【００５２】太陽電池セル３とカバーガラス５との相対
位置は、カバー位置決め面３８とセル位置決め面２８と
によって厳密に調整され、太陽電池セル３とカバーガラ
ス５とを接着したとき、受光面が完全にカバーガラス５
に覆われるように正確に、位置決めされる。上述のステ
ップａ１７〜ａ１９の工程は、いずれも真空室２の圧力
が大気圧の状態で行われる。The relative position between the solar cell 3 and the cover glass 5 is strictly adjusted by the cover positioning surface 38 and the cell positioning surface 28. When the solar cell 3 and the cover glass 5 are bonded, the light receiving surface is Completely cover glass 5
It is positioned accurately so that it is covered by The above-described steps a17 to a19 are all performed in a state where the pressure in the vacuum chamber 2 is atmospheric pressure.
【００５３】前述のステップａ１〜ａ６およびａ１７〜
ａ１９の全ての工程が終了すると、ステップａ７に進
み、真空室２に接続されている真空ポンプを駆動して真
空室２の真空引きを開始する。このとき、接着剤が一方
面５３に塗布されたカバーガラス５が乗載された状態
で、真空室２の真空引きを開始するので、接着剤の塗布
時に接着剤に混入した気泡を除去することができる。そ
の後、ステップａ８で真空室２の内部圧力が約５ｔｏｒ
ｒ（６．６６６１×１０2Ｐａ）にまで低下すると、ス
テップａ９に進み、反転機構４７を駆動して、支持部材
４８が図３の左方から見て軸線９まわりに時計方向に１
８０°回転する。これに伴って、カバー乗載ステージ３
３も、図３の左方から見て軸線９まわりに時計方向に１
８０°回転して、図３の仮想線５４に示される位置に配
置される。これによって、カバーガラス５の一方面５３
が下方に臨むようになり、カバーガラス５の一方面５３
と太陽電池セル３の受光面とが対向する。The above steps a1 to a6 and a17 to
When all the processes in a19 are completed, the process proceeds to step a7, in which the vacuum pump connected to the vacuum chamber 2 is driven to start evacuation of the vacuum chamber 2. At this time, since the evacuation of the vacuum chamber 2 is started in a state where the cover glass 5 having the adhesive applied to the one surface 53 is mounted thereon, it is necessary to remove air bubbles mixed in the adhesive at the time of applying the adhesive. Can be. Then, in step a8, the internal pressure of the vacuum chamber 2 is reduced to about 5 torr.
r (6.6661 × 10 2 Pa), the process proceeds to step a9, in which the reversing mechanism 47 is driven so that the support member 48 moves clockwise about one axis 9 as viewed from the left in FIG.
Rotate 80 °. Along with this, cover loading stage 3
3 is also clockwise around axis 9 as viewed from the left in FIG.
After being rotated by 80 °, it is arranged at the position indicated by the imaginary line 54 in FIG. Thereby, one surface 53 of the cover glass 5 is formed.
Faces downward, and one surface 53 of the cover glass 5
And the light receiving surface of the solar cell 3 face each other.
【００５４】ステップａ９の反転動作完了後、ステップ
ａ１０で、真空室圧力検出器によって検出された真空室
２の内部圧力が、予め定める圧力、本実施形態では約３
ｔｏｒｒにまで低下すると、真空室２の内部圧力を約３
ｔｏｒｒ（３．９９９６６×１０2Ｐａ）に保持してス
テップａ１１に進む。このとき、真空室２の内部圧力
は、太陽電池セル３およびカバーガラス５の吸着圧力よ
りも約２〜４ｔｏｒｒ（２．６６６４４〜５．３３２８
８×１０2Ｐａ）程度高く保持されているので、真空室
２を真空吸引したとしても、太陽電池セル３およびカバ
ーガラス５の保持状態が解除されることはない。After the reversal operation in step a9 is completed, in step a10, the internal pressure of the vacuum chamber 2 detected by the vacuum chamber pressure detector becomes a predetermined pressure, which is about 3 in this embodiment.
When the internal pressure of the vacuum chamber 2 drops to about
The pressure is kept at torr (3.999966 × 10 2 Pa) and the process proceeds to step all. At this time, the internal pressure of the vacuum chamber 2 is about 2 to 4 torr (2.66664 to 5.3328) higher than the adsorption pressure of the solar cell 3 and the cover glass 5.
Since the pressure is maintained at about 8 × 10 2 Pa), the holding state of the solar cell 3 and the cover glass 5 is not released even if the vacuum chamber 2 is evacuated.
【００５５】ステップａ１０で、真空室２の内部圧力が
３ｔｏｒｒ程度に保持されると、ステップａ１１で、カ
バーガラス５を太陽電池セル３に圧着して両者を接着す
る。すなわちカバー乗載ステージ３３を、図３の仮想線
５５に示すように、セル乗載ステージ２０に近接するよ
うに下方に変位させる。すると、太陽電池セル３の受光
面とカバーガラス５の一方面５３上の接着剤とが接触す
る。さらに、カバー乗載ステージ３３が下方に変位する
と、接着剤が太陽電池セル３の受光面およびカバーガラ
ス５の一方面５３の全面に広がり、両者が接着される。
さらにカバー乗載ステージ３３が下方に変位すると、カ
バー乗載ステージ３３のカバー位置決め部材３７の上面
が、セル位置決めブロック２１に当接し、圧縮コイルば
ね２６に弾発支持されているセル位置決めブロック２１
は、ばね力に抗して下方に押下げられる。これによっ
て、太陽電池セル３とカバーガラス５とに必要以上の力
が作用することが防止され、接着時に太陽電池セルおよ
びカバーガラス５に傷、欠けまたは割れが生じることが
防止される。また、接着剤のはみ出しも防止されるの
で、接着された太陽電池が汚れることがない。また、こ
の接着動作は、真空引きされた真空室２内で行われてい
るので、接着時に接触面に気泡が生じることがない。ま
た、前述したように、太陽電池セル３とカバーガラス５
との材料歪みが修正されているので、接着時には太陽電
池セル３およびカバーガラス５の全面に均等な力を加え
ることができる。また、セル位置決めブロック２１は、
圧縮コイルばね２６によって弾発支持されているので、
この圧縮コイルばね２６のばね力を調整することによっ
て、接着剤の厚さを調整することができる。これによっ
て、カバーガラス５が接着された太陽電池の総厚さを調
整することができる。In step a10, when the internal pressure of the vacuum chamber 2 is maintained at about 3 torr, in step a11, the cover glass 5 is pressure-bonded to the solar cell 3 and both are adhered. That is, the cover mounting stage 33 is displaced downward so as to approach the cell mounting stage 20, as indicated by a virtual line 55 in FIG. Then, the light receiving surface of solar cell 3 and the adhesive on one surface 53 of cover glass 5 come into contact with each other. Further, when the cover mounting stage 33 is displaced downward, the adhesive spreads over the light receiving surface of the solar battery cell 3 and the entire surface 53 of the cover glass 5, and the two are bonded.
When the cover mounting stage 33 is further displaced downward, the upper surface of the cover positioning member 37 of the cover mounting stage 33 abuts on the cell positioning block 21 and is resiliently supported by the compression coil spring 26.
Is pressed down against the spring force. This prevents an unnecessary force from acting on the solar cell 3 and the cover glass 5, and prevents the solar cell and the cover glass 5 from being damaged, chipped, or cracked during bonding. In addition, since the adhesive is prevented from protruding, the bonded solar cell is not stained. In addition, since this bonding operation is performed in the evacuated vacuum chamber 2, no air bubbles are generated on the contact surface during bonding. As described above, the solar cell 3 and the cover glass 5
Since the material distortion is corrected, a uniform force can be applied to the entire surface of the solar cell 3 and the cover glass 5 at the time of bonding. Further, the cell positioning block 21
Because it is elastically supported by the compression coil spring 26,
By adjusting the spring force of the compression coil spring 26, the thickness of the adhesive can be adjusted. Thereby, the total thickness of the solar cell to which the cover glass 5 is bonded can be adjusted.
【００５６】ステップａ１１の接着工程が終了すると、
ステップａ１２に進み、真空室２に接続されている真空
ポンプを停止し、排気して真空室２の真空引きを終了
し、真空室２の内部圧力を大気圧まで戻す。その後、ス
テップａ１３に進み、カバー乗載ステージ３３に接続さ
れている真空ポンプを停止し、排気してカバーガラス５
の吸着圧力を大気圧まで戻し、カバー乗載ステージ３３
を元の位置、すなわち図３の実線で示される位置に戻
す。その後、ステップａ１４で真空室２の内部圧力が大
気圧になったことを確認すると、ステップａ１５に進
み、セル乗載ステージ２０に接続されている真空ポンプ
を停止し、排気して太陽電池セル３の吸着圧力を大気圧
まで戻す。その後、ステップａ１６で接着された太陽電
池セル３を真空室２から取出して、室温で放置するかま
たは加熱して接着剤を硬化させた後、太陽電池が完成す
る。When the bonding step of step a11 is completed,
Proceeding to step a12, the vacuum pump connected to the vacuum chamber 2 is stopped, evacuated and the evacuation of the vacuum chamber 2 is terminated, and the internal pressure of the vacuum chamber 2 is returned to the atmospheric pressure. Thereafter, the process proceeds to step a13, in which the vacuum pump connected to the cover mounting stage 33 is stopped, and the cover glass 5 is exhausted.
Is returned to atmospheric pressure, and the cover mounting stage 33 is released.
To the original position, that is, the position shown by the solid line in FIG. Thereafter, when it is confirmed in step a14 that the internal pressure of the vacuum chamber 2 has become the atmospheric pressure, the process proceeds to step a15, in which the vacuum pump connected to the cell mounting stage 20 is stopped, and the solar cell 3 is evacuated. Is returned to atmospheric pressure. Thereafter, the solar cell 3 bonded in step a16 is taken out of the vacuum chamber 2 and left at room temperature or heated to cure the adhesive, and then the solar cell is completed.
【００５７】上述のように、太陽電池セル３とカバーガ
ラス５との一連の接着工程時に、気泡が除去されるの
で、従来技術の真空脱泡槽内での気泡除去工程が不要と
なり、製造時間が短縮される。また、気泡をほとんど除
去することができるので、不良品が大幅に減少して歩留
まりが向上する。また、太陽電池セル３の受光面および
カバーガラス５の接着剤は塗布された一方面５３ととも
に上方に臨んだ状態で真空室２内に配置することができ
るので、真空室２の確認窓から容易に作業の確認を行う
ことができる。As described above, air bubbles are removed during a series of bonding steps between the solar cell 3 and the cover glass 5, so that the conventional air bubble removing step in a vacuum degassing tank becomes unnecessary, and the manufacturing time is reduced. Is shortened. Further, since almost all air bubbles can be removed, defective products are greatly reduced and the yield is improved. In addition, the adhesive for the light receiving surface of the solar cell 3 and the cover glass 5 can be disposed in the vacuum chamber 2 with the applied one surface 53 facing upward, so that it can be easily viewed from the confirmation window of the vacuum chamber 2. It is possible to confirm the work.
【００５８】また、セル吸着部材の吸着圧力およびカバ
ー吸着部材の吸着圧力を、真空室内の圧力よりも２ｔｏ
ｒｒ以上４ｔｏｒｒ以下の範囲で低くすることによっ
て、太陽電池セルおよびカバーガラスの保持状態が容易
に解除することはない。Further, the suction pressure of the cell suction member and the suction pressure of the cover suction member are set to be 2 ton than the pressure in the vacuum chamber.
By lowering in the range of rr or more and 4 torr or less, the holding state of the solar cell and the cover glass is not easily released.
【００５９】上述のステップａ１〜ａ１７の接着工程
は、制御装置１２によって自動制御することが可能であ
り、また、作業者によって手動で行うこともできる。The above-described bonding steps a1 to a17 can be automatically controlled by the control device 12, or can be performed manually by an operator.
【００６０】[0060]
【発明の効果】本発明によれば、太陽電池セルおよびカ
バーガラスを真空室内に入れることによって、太陽電池
セルの受光面またはカバーガラスの一方面に塗布された
接着剤に混入した気泡を接着剤から除去することができ
る。また、太陽電池セルとカバーガラスとを接着すると
きに接着面に気泡が発生してしまうことを防止できる。
これによって、不良品が大幅に減少し、歩留まりが向上
する。さらに、一連の接着工程で、気泡を除去すること
ができるため、従来技術の真空脱泡槽内での気泡の除去
工程が不要となり、製造時間が短縮される。According to the present invention, by introducing a solar cell and a cover glass into a vacuum chamber, air bubbles mixed in the adhesive applied to the light-receiving surface of the solar cell or one surface of the cover glass are removed by the adhesive. Can be removed from Further, it is possible to prevent bubbles from being generated on the bonding surface when bonding the solar battery cell and the cover glass.
As a result, the number of defective products is greatly reduced, and the yield is improved. Further, since bubbles can be removed by a series of bonding steps, the step of removing bubbles in a conventional vacuum degassing tank becomes unnecessary, and the manufacturing time is shortened.
【００６１】また本発明によれば、このセル吸着部材が
太陽電池セルを吸着する吸着圧力、およびカバー吸着部
材がカバーガラスを吸着する吸着圧力は、真空室内部の
圧力よりも低いため、太陽電池セルおよびカバーガラス
は真空室内で確実に吸着保持される。これによって、接
着動作を安定して行うことができる。Further, according to the present invention, the adsorption pressure at which the cell adsorption member adsorbs the solar cell and the adsorption pressure at which the cover adsorption member adsorbs the cover glass are lower than the pressure inside the vacuum chamber. The cell and the cover glass are securely held by suction in the vacuum chamber. Thereby, the bonding operation can be performed stably.
【００６２】また本発明によれば、太陽電池セルおよび
カバーガラスは、それぞれ平坦な面に吸着されるので、
太陽電池セルおよびカバーガラスの反りまたはねじれな
どといった材料歪みを修正することができる。これによ
って、太陽電池セルおよびカバーガラスの全面に均等に
力を加えて圧着することができるので、きわめて良好な
接着を行うことができる。また、太陽電池セルおよびカ
バーガラスの位置決めは、平滑な面に当接して行われて
いるので、位置決め時に太陽電池セルおよびカバーガラ
スに傷または欠けが生じることはない。Further, according to the present invention, since the solar cell and the cover glass are respectively adsorbed on flat surfaces,
Material distortion such as warping or twisting of the solar cell and the cover glass can be corrected. With this, it is possible to apply a force evenly to the entire surface of the solar battery cell and the cover glass and press-bond the solar cell and the cover glass, so that extremely good adhesion can be performed. In addition, since the positioning of the solar cell and the cover glass is performed by abutting on a smooth surface, the solar cell and the cover glass are not damaged or chipped at the time of positioning.
【００６３】また本発明によれば、太陽電池セルとカバ
ーガラスとの接着に必要な大きさ以上の力が作用するこ
とが防止され、太陽電池セルおよびカバーガラスに傷ま
たは欠けが発生することが防止される。また、接着剤の
はみ出しも防止されるので、完成した太陽電池が汚れる
ことがない。Further, according to the present invention, it is possible to prevent a force larger than necessary for bonding the solar cell and the cover glass from acting, and to prevent the solar cell and the cover glass from being damaged or chipped. Is prevented. In addition, since the adhesive is prevented from protruding, the completed solar cell is not stained.
【００６４】また本発明によれば、吸着保持された太陽
電池セルまたはカバーガラスのいずれか一方を反転させ
ることができるので、セル吸着部材の乗載面上に受光面
を上方に向けて太陽電池セルを乗載することができ、カ
バー吸着部材の乗載面上に接着剤が塗布される一方面を
上方に向けてカバーガラスを乗載できる。このように、
接着剤の塗布面を上にして行えるので、接着作業の確認
が容易である。Further, according to the present invention, either the solar cell or the cover glass held by suction can be inverted, so that the light receiving surface faces upward on the mounting surface of the cell suction member. The cell can be mounted, and the cover glass can be mounted with the adhesive applied onto the mounting surface of the cover suction member with one surface facing upward. in this way,
Since the application can be performed with the adhesive applied side up, it is easy to check the bonding operation.
【００６５】また本発明によれば、真空室内で、接着剤
に混入された気泡が除去されるので、従来技術のよう
に、作業者がスクリーン印刷法などによって気泡が混入
しないように注意深く接着剤の塗布を行う必要がなく、
液体定量吐出装置によって、大気圧下で塗布することが
でき、作業効率が向上する。また、液体定量吐出装置で
は、高粘度で２液性接着剤であっても、所定の混合比で
混合して、シリンジ容器に入れて塗布できるため、従来
のスクリーン印刷法による塗布に比べて、使用する接着
剤の時間管理なども容易となり、接着剤の無駄が削減で
きる。Further, according to the present invention, since the air bubbles mixed in the adhesive are removed in the vacuum chamber, the worker is careful to prevent the air bubbles from being mixed by the screen printing method or the like as in the prior art. It is not necessary to apply
The liquid dispensing device can apply under atmospheric pressure, thereby improving the working efficiency. Further, in the liquid dispensing device, even a two-component adhesive having a high viscosity can be mixed at a predetermined mixing ratio and applied in a syringe container, so that compared to the application by the conventional screen printing method, The time management of the adhesive to be used becomes easy, and the waste of the adhesive can be reduced.
【００６６】また本発明によれば、接着剤のはみ出しも
防止されるので、完成後の太陽電池が汚れることがな
い。またこれによって、カバーガラス接着後の太陽電池
の総厚さを調整することができる。Further, according to the present invention, the protrusion of the adhesive is also prevented, so that the completed solar cell is not stained. This also makes it possible to adjust the total thickness of the solar cell after the cover glass is bonded.
【図１】本発明の実施の一形態の接着装置１の基本的な
構成を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view illustrating a basic configuration of a bonding apparatus 1 according to an embodiment of the present invention.
【図２】接着機構１５の正面図である。FIG. 2 is a front view of the bonding mechanism 15.
【図３】接着機構１５の右側面図である。FIG. 3 is a right side view of the bonding mechanism 15;
【図４】図２の切断面線ＩＶ−ＩＶから見た断面図であ
る。FIG. 4 is a cross-sectional view taken along the line IV-IV of FIG. 2;
【図５】接着機構１５の平面図である。FIG. 5 is a plan view of the bonding mechanism 15;
【図６】本発明の実施の一形態の太陽電池セル３とカバ
ーガラス５との接着方法を示すフローチャートである。FIG. 6 is a flowchart showing a method of bonding solar cell 3 and cover glass 5 according to one embodiment of the present invention.
【図７】接着剤が塗布されたカバーガラス５を示す斜視
図である。FIG. 7 is a perspective view showing a cover glass 5 to which an adhesive is applied.
【図８】実開平３−１０９３５６号公報に開示される接
着装置６０を示す図である。FIG. 8 is a view showing a bonding device 60 disclosed in Japanese Utility Model Laid-Open No. 3-109356.
【図９】実開平４−６３１５９号公報に開示される接着
装置７０を示す図である。FIG. 9 is a view showing a bonding device 70 disclosed in Japanese Utility Model Laid-Open No. 4-63159.
１ 接着装置 ２ 真空室 ３ 太陽電池セル ４ セル吸着部材 ５ カバーガラス ６ カバー吸着部材 ７ 駆動装置 １９ セル乗載面 ２０ セル乗載ステージ ２１ セル位置決めブロック ２２，３５ 真空引き孔 ２６ 圧縮コイルばね ２９ セル位置決めローラ ３２ カバー乗載面 ３３ カバー乗載ステージ ３４ カバー位置決めローラ ３７ カバー位置決め部材 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Adhesion apparatus 2 Vacuum chamber 3 Solar cell 4 Cell adsorption member 5 Cover glass 6 Cover adsorption member 7 Drive device 19 Cell mounting surface 20 Cell mounting stage 21 Cell positioning block 22, 35 Vacuum hole 26 Compression coil spring 29 cell Positioning roller 32 Cover mounting surface 33 Cover mounting stage 34 Cover positioning roller 37 Cover positioning member
Claims (12)
太陽電池セルの受光面とカバーガラスの一方面とを、接
着剤を介して接着することを特徴とする太陽電池セルと
カバーガラスとの接着方法。1. A vacuum chamber in which the internal pressure is maintained in a vacuum state,
A method for bonding a solar cell and a cover glass, wherein the light receiving surface of the solar cell and one surface of the cover glass are bonded via an adhesive.
って裏面側から吸着されて前記真空室内に保持され、 前記カバーガラスは、カバー吸着部材によって他方面側
から吸着されて前記真空室内に保持され、 太陽電池セルを吸着する吸着圧力およびカバーガラスを
吸着する吸着圧力は、真空室内の圧力より低くすること
を特徴とする請求項１記載の太陽電池セルとカバーガラ
スとの接着方法。2. The solar cell is sucked from the back side by a cell suction member and held in the vacuum chamber, and the cover glass is sucked from the other side by the cover suction member and held in the vacuum chamber. The method for bonding a solar cell to a cover glass according to claim 1, wherein the adsorption pressure for adsorbing the solar cell and the adsorption pressure for adsorbing the cover glass are lower than the pressure in the vacuum chamber.
載する平坦なセル乗載面と、乗載された太陽電池セルの
一側面が当接して位置決めを行う平滑なセル位置決め面
とを有し、 前記太陽電池セルをセル吸着部材のセル乗載面に乗載
し、セル位置決め面に当接させて位置決めを行った後、
吸着保持を行い、 前記カバー吸着部材は、ガラスカバーを乗載する平坦な
カバー乗載面と、乗載されたガラスカバーの一側面が当
接して位置決めを行う平滑なカバー位置決め面とを有
し、 前記カバーガラスをカバー吸着部材のカバー乗載面に乗
載し、カバー位置決め面に当接させて位置決めを行った
後、吸着保持を行うことを特徴とする請求項２記載の太
陽電池セルとカバーガラスとの接着方法。3. The cell adsorbing member includes a flat cell mounting surface on which the solar cells are mounted, and a smooth cell positioning surface on which one side of the mounted solar cells abuts to perform positioning. Having, after the solar battery cell is mounted on the cell mounting surface of the cell adsorption member and positioned by contacting the cell positioning surface,
Performs suction holding, the cover suction member has a flat cover mounting surface on which the glass cover is mounted, and a smooth cover positioning surface on which one side of the mounted glass cover abuts to perform positioning. The solar cell according to claim 2, wherein the cover glass is mounted on a cover mounting surface of the cover suction member, and is positioned by being brought into contact with a cover positioning surface, and then is suction-held. How to bond with cover glass.
着部材と、前記カバーガラスを吸着保持したカバー吸着
部材とによって接着剤を介在した太陽電池セルとカバー
ガラスとを相互に押圧して接着するとき、セル吸着部材
およびカバー吸着部材の少なくともいずれか一方は、接
着時の押圧方向に弾発支持されることを特徴とする請求
項２または３記載の太陽電池セルとカバーガラスとの接
着方法。4. The solar cell and the cover glass, which have an adhesive interposed therebetween, are adhered to each other by the cell adsorption member that adsorbs and holds the solar cell and the cover adsorption member that adsorbs and holds the cover glass. 4. The method according to claim 2, wherein at least one of the cell suction member and the cover suction member is resiliently supported in a pressing direction at the time of bonding.
着時に、セル吸着部材のセル乗載面と、カバー吸着部材
のカバー乗載面との間の距離を制御して、接着剤の厚さ
を調整することを特徴とする請求項２〜４のいずれか１
つに記載の太陽電池セルとカバーガラスとの接着方法。5. The thickness of the adhesive is controlled by controlling the distance between the cell mounting surface of the cell suction member and the cover mounting surface of the cover suction member when the solar cell is bonded to the cover glass. 5. The method according to claim 2, wherein
The method for bonding a solar cell and a cover glass according to any one of the first to third aspects.
ーガラスのいずれか一方を反転させて両者を接着するこ
とを特徴とする請求項２〜５のいずれか１つに記載の太
陽電池セルとカバーガラスとの接着方法。6. The solar cell and the cover according to claim 2, wherein one of the solar cell and the cover glass held by suction is turned over and both are adhered. How to bond with glass.
液体定量吐出装置によって、 太陽電池セルの受光面およびカバーガラスの一方面の少
なくともいずれか一方に、接着剤を塗布することを特徴
とする請求項２〜６のいずれか１つに記載の太陽電池セ
ルとカバーガラスとの接着方法。7. A method for applying an adhesive to at least one of a light-receiving surface of a solar battery cell and one surface of a cover glass by a liquid dispensing device that discharges a predetermined amount of adhesive under atmospheric pressure. A method for bonding a solar cell and a cover glass according to any one of claims 2 to 6.
一方面とを接着剤を介して、接着する接着装置におい
て、太陽電池セルとカバーガラスとを挿入した状態で、
内部圧力を真空状態に保持する真空室を備えることを特
徴とする接着装置。8. A bonding apparatus for bonding a light receiving surface of a solar cell and one surface of a cover glass via an adhesive, in a state where the solar cell and the cover glass are inserted.
A bonding apparatus comprising a vacuum chamber for maintaining an internal pressure in a vacuum state.
裏面から吸着して保持するセル吸着部材と、 前記カバーガラスを他方面側から吸着して保持するカバ
ー吸着部材と、 太陽電池セルとカバーガラスとの接着時に、セル吸着部
材の吸着圧力およびカバー吸着部材の吸着圧力を真空室
内の内部圧力よりも低くする圧力制御装置とを備えるこ
とを特徴とする請求項８記載の接着装置。9. A cell adsorbing member for adsorbing and holding the solar cell from the back surface, a cover adsorbing member for adsorbing and holding the cover glass from the other surface side, and a solar cell in the vacuum chamber. 9. The bonding apparatus according to claim 8, further comprising: a pressure control device that lowers the suction pressure of the cell suction member and the suction pressure of the cover suction member to lower than the internal pressure in the vacuum chamber when bonding with the cover glass.
乗載する平坦な乗載面と、乗載された太陽電池セルの一
側面が当接して位置決めを行う平滑な位置決め面とを有
し、 前記太陽電池セルをセル吸着部材の乗載面に乗載し、位
置決め面に当接させて位置決めを行った後、吸着保持を
行い、 前記カバー吸着部材は、ガラスカバーを乗載する平坦な
カバー乗載面と、乗載されたガラスカバーの一側面が当
接して位置決めを行う平滑なカバー位置決め面とを有
し、 前記カバーガラスをカバー吸着部材の乗載面に乗載し、
カバー位置決め面に当接させて位置決めを行った後、吸
着保持を行うことを特徴とする請求項９記載の接着装
置。10. The cell adsorbing member has a flat mounting surface on which the solar cells are mounted, and a smooth positioning surface on which one side surface of the mounted solar cells abuts to perform positioning. After the solar cell is mounted on the mounting surface of the cell suction member, and is positioned by contacting the positioning surface, suction holding is performed.The cover suction member is a flat surface on which a glass cover is mounted. A cover mounting surface, and a smooth cover positioning surface for performing positioning by abutting one side surface of the mounted glass cover; mounting the cover glass on the mounting surface of the cover suction member;
10. The bonding apparatus according to claim 9, wherein after performing positioning by contacting the cover positioning surface, suction holding is performed.
ーガラスとは、セル吸着部材とカバー吸着部材とによっ
て相互に押圧されて接着され、 前記セル吸着部材およびカバー吸着部材の少なくともい
ずれか一方は、接着時の押圧方向に弾発支持されること
を特徴とする請求項９〜１０のいずれか１つに記載の接
着装置。11. A solar cell and a cover glass with an adhesive interposed therebetween are pressed and adhered by a cell suction member and a cover suction member, and at least one of the cell suction member and the cover suction member is The bonding apparatus according to any one of claims 9 to 10, wherein the bonding apparatus is resiliently supported in a pressing direction at the time of bonding.
材のいずれか一方は、上下に反転可能に設けられること
を特徴とする請求項９〜１１のいずれか１つに記載の接
着装置。12. The bonding apparatus according to claim 9, wherein one of the cell suction member and the cover suction member is provided to be vertically reversible.
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