JP2001141653A - シュリーレン法による板ガラスの検査方法およびその装置 - Google Patents
シュリーレン法による板ガラスの検査方法およびその装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】板ガラスリボンは厚みに対して幅が大きいた
め、写真に記録された像は大変細長いものになり、シュ
リーレン法の層状の縞模様の異なる位置の明暗のパター
ンを比較することが難しく、また分割した板ガラスごと
に得られた写真をつなぎ合わせて連続させることが大変
困難であった。 【解決手段】板ガラスを該板ガラスと同じ屈折率の液を
満たしたサンプル槽に浸漬させ、該板ガラスの断面に平
行光を入射させ、該板ガラスを透過した該平行光の強度
分布を用いて行う板ガラスの品質検査方法において、透
過した平行光をスクリーンに投影してできるスクリーン
上の像を、ＣＣＤカメラで画像データとして撮影し、該
画像データを用いて透過光の強度分布の画像処理をす
る。ＣＣＤカメラで撮影した画像の濃淡を調整する。
め、写真に記録された像は大変細長いものになり、シュ
リーレン法の層状の縞模様の異なる位置の明暗のパター
ンを比較することが難しく、また分割した板ガラスごと
に得られた写真をつなぎ合わせて連続させることが大変
困難であった。 【解決手段】板ガラスを該板ガラスと同じ屈折率の液を
満たしたサンプル槽に浸漬させ、該板ガラスの断面に平
行光を入射させ、該板ガラスを透過した該平行光の強度
分布を用いて行う板ガラスの品質検査方法において、透
過した平行光をスクリーンに投影してできるスクリーン
上の像を、ＣＣＤカメラで画像データとして撮影し、該
画像データを用いて透過光の強度分布の画像処理をす
る。ＣＣＤカメラで撮影した画像の濃淡を調整する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、板ガラスの均質性
を検査するシュリーレン法に関する。
を検査するシュリーレン法に関する。
【０００２】
【従来の技術】板ガラスの断面方向の透過光は板ガラス
内の屈折率の違いにより強度分布を示し、透過光をスク
リーンに映すと、濃淡の縞模様として観察される。これ
を板ガラスの品質検査に用いることは、シュリーレン法
として広く行われている。
内の屈折率の違いにより強度分布を示し、透過光をスク
リーンに映すと、濃淡の縞模様として観察される。これ
を板ガラスの品質検査に用いることは、シュリーレン法
として広く行われている。
【０００３】板ガラスの生産において、品質検査を行う
板ガラスは、連続生産されるガラスリボンから切り出し
たものであり、ガラスリボンの幅は２ｍ以上ある。この
２ｍ以上の寸法のままシュリーレン法を実施すること
は、その寸法の平行光を被検体に入射しなければなら
ず、装置が大がかりとなり、非常に困難である。
板ガラスは、連続生産されるガラスリボンから切り出し
たものであり、ガラスリボンの幅は２ｍ以上ある。この
２ｍ以上の寸法のままシュリーレン法を実施すること
は、その寸法の平行光を被検体に入射しなければなら
ず、装置が大がかりとなり、非常に困難である。
【０００４】このため、検査する板ガラスの寸法は光学
系の平行光の幅以下にしなければならず、２ｍ以上の幅
の板ガラスのリボンを数枚に分割してシュリーレン法を
用いている。この方法では、数枚に分割した板ガラスを
１枚１枚順番にシュリーレン法を行い、断面の透過光を
スクリーンに映し、さらにスクリーンに映された像を写
真に記録し、数枚に分割した板ガラスの１枚ごとに撮影
された写真をつなぎ合わせて、ガラスリボンの幅方向全
体の品質を検査していた。
系の平行光の幅以下にしなければならず、２ｍ以上の幅
の板ガラスのリボンを数枚に分割してシュリーレン法を
用いている。この方法では、数枚に分割した板ガラスを
１枚１枚順番にシュリーレン法を行い、断面の透過光を
スクリーンに映し、さらにスクリーンに映された像を写
真に記録し、数枚に分割した板ガラスの１枚ごとに撮影
された写真をつなぎ合わせて、ガラスリボンの幅方向全
体の品質を検査していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】板ガラスリボンは厚み
に対して幅が大きいため、写真に記録された像は大変細
長いものになり、シュリーレン法の層状の縞模様の異な
る位置の明暗のパターンを比較することが難しく、また
分割した板ガラスごとに得られた写真をつなぎ合わせて
連続させることが大変困難であった。
に対して幅が大きいため、写真に記録された像は大変細
長いものになり、シュリーレン法の層状の縞模様の異な
る位置の明暗のパターンを比較することが難しく、また
分割した板ガラスごとに得られた写真をつなぎ合わせて
連続させることが大変困難であった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の板ガラスの品質
検査方法は、板ガラスを該板ガラスと同じ屈折率の液を
満たしたサンプル槽に浸漬させ、該板ガラスの断面に平
行光を入射させ、該板ガラスを透過した該平行光の強度
分布を用いて行う板ガラスの品質検査方法において、透
過した平行光をスクリーンに投影してできるスクリーン
上の像を、ＣＣＤカメラで画像データとして撮影し、該
画像データを用いて透過光の強度分布の画像処理をする
ことを特徴とする板ガラスの品質検査方法である。
検査方法は、板ガラスを該板ガラスと同じ屈折率の液を
満たしたサンプル槽に浸漬させ、該板ガラスの断面に平
行光を入射させ、該板ガラスを透過した該平行光の強度
分布を用いて行う板ガラスの品質検査方法において、透
過した平行光をスクリーンに投影してできるスクリーン
上の像を、ＣＣＤカメラで画像データとして撮影し、該
画像データを用いて透過光の強度分布の画像処理をする
ことを特徴とする板ガラスの品質検査方法である。
【０００７】また、ＣＣＤカメラで撮影した画像の画像
処理が、板ガラスのエッジを認識する工程と縞模様の濃
淡を調整する工程を有することを特徴とし、さらに、光
源の輝度、平行光の照度分布、板ガラスの透過率の少な
くともいずれか一つの値を用いて画像の濃淡を調整する
ことを特徴とする。
処理が、板ガラスのエッジを認識する工程と縞模様の濃
淡を調整する工程を有することを特徴とし、さらに、光
源の輝度、平行光の照度分布、板ガラスの透過率の少な
くともいずれか一つの値を用いて画像の濃淡を調整する
ことを特徴とする。
【０００８】また、前述の品質検査方法において、サン
プル槽を移動させながらスクリ−ンの像をＣＣＤカメラ
で撮影することを特徴とする品質検査方法である。
プル槽を移動させながらスクリ−ンの像をＣＣＤカメラ
で撮影することを特徴とする品質検査方法である。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明のシュリーレン法による板
ガラスの品質検査方法の光学系の概略を図１に示す。
ガラスの品質検査方法の光学系の概略を図１に示す。
【００１０】ハロゲンランプ、キセノンランプあるいは
水銀ランプなどを光源１に用いる。光源１の光２をレン
ズ３を用いて平行光４にする。レンズ３は収差の少ない
非球面レンズを用いることが望ましい。レンズ３の代わ
りに、凹面鏡あるいは非球面の凹面鏡を用いても良い。
水銀ランプなどを光源１に用いる。光源１の光２をレン
ズ３を用いて平行光４にする。レンズ３は収差の少ない
非球面レンズを用いることが望ましい。レンズ３の代わ
りに、凹面鏡あるいは非球面の凹面鏡を用いても良い。
【００１１】平行光４を、板ガラス６と同じ屈折率を有
する屈折率調節液７が入れてある直方体のサンプル槽５
に入射する。サンプル槽５は、少なくとも向かい合う２
枚の平行な側壁８を透明な板で作製し、透明な板で作製
した面に平行光４を入射する。また、サンプル槽５の中
には検査する板ガラス６を水平に保持するための指示部
材を設け、板ガラス６と屈折率が同じ屈折率調節液７の
中に水平に保持する。屈折率調節液はグリセリン、キシ
レン、フタル酸ジメチルなどである。
する屈折率調節液７が入れてある直方体のサンプル槽５
に入射する。サンプル槽５は、少なくとも向かい合う２
枚の平行な側壁８を透明な板で作製し、透明な板で作製
した面に平行光４を入射する。また、サンプル槽５の中
には検査する板ガラス６を水平に保持するための指示部
材を設け、板ガラス６と屈折率が同じ屈折率調節液７の
中に水平に保持する。屈折率調節液はグリセリン、キシ
レン、フタル酸ジメチルなどである。
【００１２】サンプル槽５に入れる板ガラス６は、ガラ
スリボンの幅方向に切り出した１枚の板ガラスを何枚か
に分割したものである。フロ−ト法で製造される板ガラ
スの厚みはおよそ１ｍｍ〜３０ｍｍの厚みであり、ガラ
スリボンから切り出す板ガラスは、ガラスリボンと直角
方向すなわち平行光を透過させる方向の寸法を１００ｍ
ｍ以下の幅にするのが好ましく、望ましくは５０ｍｍ以
下にする。
スリボンの幅方向に切り出した１枚の板ガラスを何枚か
に分割したものである。フロ−ト法で製造される板ガラ
スの厚みはおよそ１ｍｍ〜３０ｍｍの厚みであり、ガラ
スリボンから切り出す板ガラスは、ガラスリボンと直角
方向すなわち平行光を透過させる方向の寸法を１００ｍ
ｍ以下の幅にするのが好ましく、望ましくは５０ｍｍ以
下にする。
【００１３】サンプル槽５の中の板ガラス６を透過した
平行光は、像の分解能をあげるために、レンズ９を用い
てスクリーン１０に拡大して投射することが好ましい。
レンズ９は球面レンズあるいはシリンドリカルレンズな
どである。レンズ９の前に板ガラスの断面を透過した光
のみを通すスリットを設け、シリンドリカルレンズで板
ガラスの厚み方向にのみ像を拡大することが望ましい。
平行光は、像の分解能をあげるために、レンズ９を用い
てスクリーン１０に拡大して投射することが好ましい。
レンズ９は球面レンズあるいはシリンドリカルレンズな
どである。レンズ９の前に板ガラスの断面を透過した光
のみを通すスリットを設け、シリンドリカルレンズで板
ガラスの厚み方向にのみ像を拡大することが望ましい。
【００１４】スクリーン１０に形成された像をＣＣＤカ
メラ１１で撮影する。スクリーン１０に形成された像を
ＣＣＤカメラ１１で撮影するとき、像をいくつかに分割
して撮影し、検査に必要な像の分解能を得るすることが
望ましい。
メラ１１で撮影する。スクリーン１０に形成された像を
ＣＣＤカメラ１１で撮影するとき、像をいくつかに分割
して撮影し、検査に必要な像の分解能を得るすることが
望ましい。
【００１５】光源１、サンプル槽５、スクリーン１０お
よびＣＣＤカメラ１１は、全て暗室内に設置し、検査に
必要のない室内の照明器具の光や太陽光などがＣＣＤカ
メラに入射しないようにすることが好ましい。
よびＣＣＤカメラ１１は、全て暗室内に設置し、検査に
必要のない室内の照明器具の光や太陽光などがＣＣＤカ
メラに入射しないようにすることが好ましい。
【００１６】ＣＣＤカメラはエリアカメラあるいはライ
ンカメラを用いる。サンプル槽は移動ステ−ジに積載し
て移動可能にしておく。移動ステ−ジはパルスモ−タな
どで駆動し、コンピュ−タで移動を制御し、ＣＣＤカメ
ラの撮影と連動させることが望ましい。
ンカメラを用いる。サンプル槽は移動ステ−ジに積載し
て移動可能にしておく。移動ステ−ジはパルスモ−タな
どで駆動し、コンピュ−タで移動を制御し、ＣＣＤカメ
ラの撮影と連動させることが望ましい。
【００１７】図２は、ＣＣＤカメラ１１で撮影した像の
画像処理を示す系統図である。ＣＣＤカメラ１１で撮影
した像は、画像処理機１２を用いて、板ガラスのエッジ
を認識させ、像の外形形状の形状処理を行い、パーソナ
ルコンピュータ１３に取り込んで、分割した元の１枚の
板ガラスの明暗のデータとして、連続したデータにまと
める。
画像処理を示す系統図である。ＣＣＤカメラ１１で撮影
した像は、画像処理機１２を用いて、板ガラスのエッジ
を認識させ、像の外形形状の形状処理を行い、パーソナ
ルコンピュータ１３に取り込んで、分割した元の１枚の
板ガラスの明暗のデータとして、連続したデータにまと
める。
【００１８】また像の明暗は、画像処理機１２により、
光源の輝度、平行光の照度分布、板ガラスの透過率のい
ずれか一つ以上の値を用いて濃淡の調整を行うととも
に、必要に応じて階調処理を行い、パーソナルコンピュ
ータ１３に取り込む。階調処理を行うことにより、膨大
な画像データを少量化でき、さらに明暗のパターンの比
較、同定などが簡単に早く行える。
光源の輝度、平行光の照度分布、板ガラスの透過率のい
ずれか一つ以上の値を用いて濃淡の調整を行うととも
に、必要に応じて階調処理を行い、パーソナルコンピュ
ータ１３に取り込む。階調処理を行うことにより、膨大
な画像データを少量化でき、さらに明暗のパターンの比
較、同定などが簡単に早く行える。
【００１９】ＣＣＤカメラ１１の像を、インターフェー
スなどを用いて直接パーソナルコンピュータに取り込
み、パーソナルコンピュータ１１の記憶装置に予め組み
込まれた画像処理手順によって、画像処理１２で行う外
形形状の形状処理と明暗データの階調処理を行っても良
い。
スなどを用いて直接パーソナルコンピュータに取り込
み、パーソナルコンピュータ１１の記憶装置に予め組み
込まれた画像処理手順によって、画像処理１２で行う外
形形状の形状処理と明暗データの階調処理を行っても良
い。
【００２０】
【実施例】実施例１ ５００ｍｍ×１００ｍｍで深さ４００ｍｍのサンプル槽
５に、厚み４ｍｍで１．８ｍ幅のガラスリボンから長さ
１０ｍｍで切り出した板ガラスを、６等分の３００ｍｍ
×１０ｍｍの板ガラスに分割し、図３に示すように６枚
に分割した板ガラスを、間にスペーサーを入れてサンプ
ル槽に段積みしてセットした。板ガラスをセットした
後、サンプル槽をフタル酸ジメチルで満たした。
５に、厚み４ｍｍで１．８ｍ幅のガラスリボンから長さ
１０ｍｍで切り出した板ガラスを、６等分の３００ｍｍ
×１０ｍｍの板ガラスに分割し、図３に示すように６枚
に分割した板ガラスを、間にスペーサーを入れてサンプ
ル槽に段積みしてセットした。板ガラスをセットした
後、サンプル槽をフタル酸ジメチルで満たした。
【００２１】前記のサンプル槽をハロゲンランプとバン
ドパスフィルターを用いた単色光の光を、４５０ｍｍφ
の非球面凹面鏡を用いて平行光にし、前記のサンプル槽
に入射した。
ドパスフィルターを用いた単色光の光を、４５０ｍｍφ
の非球面凹面鏡を用いて平行光にし、前記のサンプル槽
に入射した。
【００２２】板ガラスを透過した光を、直径４５０ｍｍ
の非球面レンズを用いて、１ｍ×１ｍのスクリーンに板
ガラスの断面３００ｍｍ×４ｍｍを９００ｍｍ×１２ｍ
ｍに拡大して像を形成した。
の非球面レンズを用いて、１ｍ×１ｍのスクリーンに板
ガラスの断面３００ｍｍ×４ｍｍを９００ｍｍ×１２ｍ
ｍに拡大して像を形成した。
【００２３】スクリーンに形成した像をＣＣＤカメラで
撮影し、形状処理を行って６枚の透過像を１枚の板ガラ
スとしてつなぎ合わせ、幅１．８ｍ×厚み４ｍｍの連続
した板ガラスとして検査可能にした。また像の濃淡は平
行光の照度分布と、測定中の光源の輝度変化を用いて調
整した。
撮影し、形状処理を行って６枚の透過像を１枚の板ガラ
スとしてつなぎ合わせ、幅１．８ｍ×厚み４ｍｍの連続
した板ガラスとして検査可能にした。また像の濃淡は平
行光の照度分布と、測定中の光源の輝度変化を用いて調
整した。
【００２４】こうして得られた検査像のガラスリボンの
方向を短くし、厚み方向の像の寸法を拡大したり、濃淡
の縞模様を明るさの階調処理により単純化し、濃淡のパ
ターンを特性化した。
方向を短くし、厚み方向の像の寸法を拡大したり、濃淡
の縞模様を明るさの階調処理により単純化し、濃淡のパ
ターンを特性化した。
【００２５】次に、幅２．１ｍのガラスリボンの板ガラ
スを７等分して、板ガラスの断面を透過する光によって
スクリーンに形成される像をＣＣＤカメラで撮影し、７
枚の像をつないで、２．１ｍ×４ｍｍの連続した板ガラ
スとして検査可能にし、ガラスリボン幅１．８ｍの場合
と同様の特性化を行い、比較を行った。
スを７等分して、板ガラスの断面を透過する光によって
スクリーンに形成される像をＣＣＤカメラで撮影し、７
枚の像をつないで、２．１ｍ×４ｍｍの連続した板ガラ
スとして検査可能にし、ガラスリボン幅１．８ｍの場合
と同様の特性化を行い、比較を行った。
【００２６】比較例１ 実施例１でスクリーンに形成された板ガラスの断面の透
過像を写真撮影し、半紙の印画紙に焼き付け検査するた
めの写真記録とした。写真記録の板ガラス６枚または７
枚の像を切り離して１．６ｍまたは２．１ｍのガラスリ
ボンの幅につなぎ、連続写真にした。
過像を写真撮影し、半紙の印画紙に焼き付け検査するた
めの写真記録とした。写真記録の板ガラス６枚または７
枚の像を切り離して１．６ｍまたは２．１ｍのガラスリ
ボンの幅につなぎ、連続写真にした。
【００２７】この写真のつなぎ合わせにおいて、つなぎ
合わせるところのガラスの幅が合わず、従って断面を透
過した光の濃淡の縞模様がどのようにつながっていくの
かを判断することができなかった。
合わせるところのガラスの幅が合わず、従って断面を透
過した光の濃淡の縞模様がどのようにつながっていくの
かを判断することができなかった。
【００２８】実施例２ 幅４ｍで厚み２０ｍｍのガラスリボンから切りだした５
０ｍｍ×４０００ｍｍ（厚み２０ｍｍ）の板ガラスサン
プルを５０ｍｍ×１０００ｍｍに４等分し、深さ５０ｍ
ｍ、内側の面積が８０ｍｍ×１０５０ｍｍのサンプル槽
を用いて板ガラスと同じ屈折率のシリコ−ン系の屈折率
調節液に浸漬させた。サンプル槽は１５００ｍｍを直線
移動する台上に置き、平行光の中を、平行光と直角方向
に移動させた。ガラスリボンは透明な板ガラスとグレ−
の熱線吸収板ガラスの２種類を用いた。
０ｍｍ×４０００ｍｍ（厚み２０ｍｍ）の板ガラスサン
プルを５０ｍｍ×１０００ｍｍに４等分し、深さ５０ｍ
ｍ、内側の面積が８０ｍｍ×１０５０ｍｍのサンプル槽
を用いて板ガラスと同じ屈折率のシリコ−ン系の屈折率
調節液に浸漬させた。サンプル槽は１５００ｍｍを直線
移動する台上に置き、平行光の中を、平行光と直角方向
に移動させた。ガラスリボンは透明な板ガラスとグレ−
の熱線吸収板ガラスの２種類を用いた。
【００２９】平行光は３０ｍｍファイの非球面凸レンズ
を用いて作成し、切り出したガラスを１枚ずつ検査し
た。
を用いて作成し、切り出したガラスを１枚ずつ検査し
た。
【００３０】ガラスを透過した平行光はシリンドリカル
レンズを用いて、厚み方向に５倍に拡大してスクリ−ン
に投影した。
レンズを用いて、厚み方向に５倍に拡大してスクリ−ン
に投影した。
【００３１】ＣＣＤカメラにはラインカメラを用い、サ
ンプル槽を１ｍｍずつ移動させながらスクリ−ンの像を
撮影した。サンプル槽の移動とＣＣＤカメラの撮影はコ
ンピュータにより制御した。
ンプル槽を１ｍｍずつ移動させながらスクリ−ンの像を
撮影した。サンプル槽の移動とＣＣＤカメラの撮影はコ
ンピュータにより制御した。
【００３２】ラインカメラで撮影した像は、板ガラスの
エッジを画像処理で認識させ、板ガラスを透過した像の
みをデ−タとして取り込み、サンプル槽を移動させて順
次取り込んだ画像のデ−タを合成し、平面のデ−タとし
た。画像デ−タの濃淡の調整は実施例１と同様にした。
さらに、グレ−の熱線吸収板ガラスについては透過率を
用いて透明なガラスと同様の像の明るさに調整し、色の
違うガラスの比較を容易にした。また厚み方向の像の解
像度は実施例１よりも大きくでき、品質検査の精度は向
上した。
エッジを画像処理で認識させ、板ガラスを透過した像の
みをデ−タとして取り込み、サンプル槽を移動させて順
次取り込んだ画像のデ−タを合成し、平面のデ−タとし
た。画像デ−タの濃淡の調整は実施例１と同様にした。
さらに、グレ−の熱線吸収板ガラスについては透過率を
用いて透明なガラスと同様の像の明るさに調整し、色の
違うガラスの比較を容易にした。また厚み方向の像の解
像度は実施例１よりも大きくでき、品質検査の精度は向
上した。
【００３３】
【発明の効果】本発明の品質検査方法は、画像の処理を
自動的に行うことによって、品質の検査を容易にできる
ようにした。
自動的に行うことによって、品質の検査を容易にできる
ようにした。
【図１】本発明の品質検査方法を示す概略側面図。
【図２】ＣＣＤカメラの撮影像の処理装置。
【図３】実施例１におけるサンプル槽の概略側面図。
【図４】実施例１における光源からサンプル槽までの光
学系を示した平面図。
学系を示した平面図。
１ 光源 ２ 光 ３ レンズ ４ 平行光 ５ サンプル槽 ６ 分割した板ガラス ７ 屈折率調節液 ８ 透明板 ９ レンズ １０ スクリーン １１ ＣＣＤカメラ １２ 画像処理装置 １３ パーソナルコンピュータ
Claims (4)
- 【請求項１】板ガラスを該板ガラスと同じ屈折率の液を
満たしたサンプル槽に浸漬させ、該板ガラスの断面に平
行光を入射させ、該板ガラスを透過した該平行光の強度
分布を用いて行う板ガラスの品質検査方法において、透
過した平行光をスクリーンに投影してできるスクリーン
上の像を、ＣＣＤカメラで画像データとして撮影し、該
画像データを用いて透過光の強度分布の画像処理をする
ことを特徴とする板ガラスの品質検査方法。 - 【請求項２】ＣＣＤカメラで撮影した画像の画像処理
が、板ガラスのエッジを認識する工程と縞模様の濃淡を
調整する工程を有することを特徴とする請求項１に記載
の品質検査方法。 - 【請求項３】画像処理の工程において、光源の輝度、平
行光の照度分布、板ガラスの透過率の少なくともいずれ
か一つの値を用いて、画像の濃淡を調整することを特徴
とする請求項１または２に記載の品質検査方法。 - 【請求項４】サンプル槽を移動させながらスクリ−ンの
像をＣＣＤカメラで撮影することを特徴とする請求項１
乃至３に記載の品質検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32757699A JP2001141653A (ja) | 1999-11-18 | 1999-11-18 | シュリーレン法による板ガラスの検査方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32757699A JP2001141653A (ja) | 1999-11-18 | 1999-11-18 | シュリーレン法による板ガラスの検査方法およびその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001141653A true JP2001141653A (ja) | 2001-05-25 |
Family
ID=18200612
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32757699A Pending JP2001141653A (ja) | 1999-11-18 | 1999-11-18 | シュリーレン法による板ガラスの検査方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001141653A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101776572A (zh) * | 2010-03-05 | 2010-07-14 | 陕西师范大学 | 液体折射率ccd实时测量装置及其测量方法 |
| CN101782515A (zh) * | 2010-03-05 | 2010-07-21 | 陕西师范大学 | 基于全反射光阑效应的液体折射率测量方法 |
| KR101761646B1 (ko) | 2016-01-14 | 2017-07-28 | 서울시립대학교 산학협력단 | 윈도우 형성을 통한 원석의 품질 확인 방법 |
| JP2019211246A (ja) * | 2018-05-31 | 2019-12-12 | 株式会社東芝 | 測定方法及び測定装置 |
| CN110687075A (zh) * | 2019-10-28 | 2020-01-14 | 华中科技大学 | 一种光学制件均匀性干涉检测方法 |
-
1999
- 1999-11-18 JP JP32757699A patent/JP2001141653A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101776572A (zh) * | 2010-03-05 | 2010-07-14 | 陕西师范大学 | 液体折射率ccd实时测量装置及其测量方法 |
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| KR101761646B1 (ko) | 2016-01-14 | 2017-07-28 | 서울시립대학교 산학협력단 | 윈도우 형성을 통한 원석의 품질 확인 방법 |
| JP2019211246A (ja) * | 2018-05-31 | 2019-12-12 | 株式会社東芝 | 測定方法及び測定装置 |
| CN110687075A (zh) * | 2019-10-28 | 2020-01-14 | 华中科技大学 | 一种光学制件均匀性干涉检测方法 |
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Legal Events
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