JP2001138525A - Printer - Google Patents

Printer

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JP2001138525A
JP2001138525A JP32343699A JP32343699A JP2001138525A JP 2001138525 A JP2001138525 A JP 2001138525A JP 32343699 A JP32343699 A JP 32343699A JP 32343699 A JP32343699 A JP 32343699A JP 2001138525 A JP2001138525 A JP 2001138525A
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JP
Japan
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nozzle
polyimide
resin
printer
polymer
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP32343699A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yuji Yakura
雄次 矢倉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP32343699A priority Critical patent/JP2001138525A/en
Publication of JP2001138525A publication Critical patent/JP2001138525A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enhance the life of a printer by preventing the deterioration, damage and peeling of the liquid repelling film arranged to the periphery of a nozzle orifice part. SOLUTION: In a printer having a printing head having a pressure chamber into which a medium to be ejected is introduced and the nozzles communicating with the pressure chamber and ejecting the medium to be ejected from the nozzles, the peripheries of at least the nozzle orifice parts on the side of the nozzle orifice surface of the printing head comprise a mixed resin of a polyimide polymer and at least one of a bismaleimide/triazine resin or an epoxy resin.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は吐出媒体を吐出する
プリンタ装置及び定量媒体と吐出媒体を混合吐出するプ
リンタ装置に関し、特に高解像度の記録画像の形成を可
能とするとともに生産性が向上されたプリンタ装置に係
わるものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a printer for discharging a discharge medium and a printer for mixing and discharging a fixed amount medium and a discharge medium, and more particularly to a printer capable of forming a high-resolution recorded image and having improved productivity. It relates to a printer device.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、特にオフィス等においてデスクト
ップパブリッシングと称されるコンピュータを使用した
文書作成が盛んに行われるようになってきており、最近
では文字や図形だけでなく、写真等のカラーの自然画像
を文字、図形とともに出力するといった要求も増加して
きている。そして、これに伴い、高品位な自然画像をプ
リントすることが要求され、中間調の再現が重要となっ
てきている。
2. Description of the Related Art In recent years, documents such as desktop publishing have been actively used especially in offices and the like, and recently, not only characters and figures but also natural colors such as photographs and the like have been developed. There has been an increasing demand for outputting images together with characters and figures. Along with this, it is required to print a high-quality natural image, and reproducing halftones is becoming important.

【0003】また、印刷信号に応じて印刷時に必要な時
だけインク液滴をノズルより吐出して紙、フィルム等の
印刷媒体に印刷する、いわゆるオンデマンド型のプリン
タ装置は、小型化、低コスト化が可能なため、近年急速
に普及しつつある。
Further, a so-called on-demand type printer device which discharges ink droplets from nozzles only when necessary at the time of printing in accordance with a print signal and prints on a printing medium such as paper, film, etc. has been reduced in size and cost. It is rapidly spreading in recent years because it is possible.

【0004】このようにインク液滴を吐出する方法とし
ては、様々な方法が提案されているが、ピエゾ素子を用
いる方法又は発熱素子を用いる方法が一般的である。前
者はピエゾ素子の変形によりインクに圧力を加えて吐出
させる方法である。後者は、発熱素子によりインクを加
熱沸騰させて発生する泡の圧力でインクを吐出させる方
法である。
Various methods have been proposed for discharging ink droplets as described above, and a method using a piezo element or a method using a heating element is generally used. The former is a method in which pressure is applied to ink to discharge it by deformation of a piezo element. The latter is a method in which the ink is ejected at a pressure of bubbles generated by heating and boiling the ink by the heating element.

【0005】そして、上記のような中間調を上述のイン
ク液滴を吐出するオンデマンド型のプリンタ装置で再現
する方法としては、様々な方法が提案されている。すな
わち、第1の方法としてはピエゾ素子或いは発熱素子に
与える電圧パルスの電圧やパルス幅を変化させて吐出す
る液滴サイズを制御し、印刷ドットの径を可変として諧
調を表現するものが挙げられる。
[0005] Various methods have been proposed as methods for reproducing the above-mentioned halftone by an on-demand type printer apparatus which discharges the above-mentioned ink droplets. That is, as a first method, there is a method in which the size of a droplet to be ejected is controlled by changing the voltage or pulse width of a voltage pulse applied to a piezo element or a heating element, and the gradation is expressed by changing the diameter of a print dot. .

【0006】しかしながらこの方法によると、ピエゾ素
子或いは発熱素子に与える電圧やパルス幅を下げすぎる
とインクを吐出できなくなるため、最小液滴径に限界が
あり、表現可能な諧調段数が少なく、特に低濃度の表現
が困難であり、自然画像をプリントアウトするには不十
分である。
However, according to this method, if the voltage or pulse width applied to the piezo element or the heating element is too low, ink cannot be ejected, so that the minimum droplet diameter is limited, and the number of gradation steps that can be expressed is small, and particularly low It is difficult to express the density, which is insufficient for printing out a natural image.

【0007】また、第2の方法としては、ドット径は変
化させずに1画素を例えば4×4のドットよりなるマト
リクスで構成し、このマトリクス単位でいわゆるディザ
法を用いて諧調表現を行う方法が挙げられる。なお、こ
の場合には17諧調の表現が可能である。
As a second method, one pixel is composed of a matrix of, for example, 4 × 4 dots without changing the dot diameter, and gradation expression is performed using a so-called dither method in units of the matrix. Is mentioned. In this case, 17 gradations can be expressed.

【0008】しかしながらこの方法で、例えば第1の方
法と同じドット密度で印刷を行った場合、解像度は第1
の方法の1/4であり、荒さが目立つため、自然画像を
プリントアウトするには不十分である。
However, in this method, for example, when printing is performed at the same dot density as in the first method, the resolution becomes the first.
And the roughness is conspicuous, which is insufficient for printing out a natural image.

【0009】そこで、本発明者等は、インクを吐出する
際にインクと希釈液を混合することにより、吐出される
インク液滴の濃度を変化させ、印刷されるドットの濃度
を制御することを可能にし、解像度の劣化を発生させる
ことなく自然画像をプリントアウトするプリンタ装置を
提案してきた。
Therefore, the inventors of the present invention have attempted to control the density of the printed dots by changing the density of the discharged ink droplets by mixing the ink and the diluent when discharging the ink. A printer device has been proposed which prints out a natural image without causing deterioration in resolution.

【0010】このようなプリンタ装置のプリントヘッド
としては、吐出媒体が導入される第1のノズルと定量媒
体が導入される第2のノズルを互いに隣り合うようにし
て有し、第2のノズルから所定量の定量媒体を第1のノ
ズルに向けて滲み出させて当該第1のノズル開口近傍に
て吐出媒体と混合させ、第1のノズルから吐出媒体を定
量媒体と混合されている吐出媒体と共に押し出して、定
量媒体と吐出媒体を第1及び第2のノズルの面内方向に
混合吐出するようなプリントヘッドが挙げられる。そし
て、このようなプリンタ装置においては、インク或いは
希釈液の何れかである定量媒体の量を変化させて、イン
クと希釈液の混合比率を変化させることによりドットの
濃度を変化させて自然画像をプリントアウトする。な
お、上記定量媒体及び吐出媒体は、どちらか一方がイン
クであり、残りの一方が希釈液であれば良い。
A print head of such a printer device has a first nozzle into which a discharge medium is introduced and a second nozzle into which a quantitative medium is introduced so as to be adjacent to each other. A predetermined amount of the quantitative medium is oozed toward the first nozzle and mixed with the discharge medium in the vicinity of the first nozzle opening, and the discharge medium is discharged from the first nozzle together with the discharge medium mixed with the quantitative medium. There is a print head that extrudes and mixes and discharges a fixed amount medium and a discharge medium in the in-plane direction of the first and second nozzles. In such a printer, the amount of the quantitative medium, which is either ink or diluent, is changed, and the density of the dots is changed by changing the mixing ratio of the ink and the diluent, thereby forming a natural image. Print out. It should be noted that one of the quantitative medium and the ejection medium may be ink, and the other may be a diluent.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】上記のように、インク
と希釈液を混合吐出するプリンタ装置においては、画像
データに応じた諧調を正確に表現するために、インクと
希釈液の混合比率を正確に制御する必要がある。そし
て、このためには、インクと希釈液の混合が行われない
状態、すなわち待機状態においては、インクと希釈液が
確実に分離されている必要がある。もし、待機状態にお
いてインクと希釈液が接していると、インクと希釈液が
それぞれ導入されるノズルにインク及び希釈液が互いに
流れ込み、次のドットにおけるインクと希釈液の混合比
率に大きく影響し、諧調を正確に表現することが不可能
となり、高解像度の記録画像の形成は難しい。
As described above, in a printer apparatus which mixes and discharges ink and a diluting liquid, the mixing ratio of the ink and the diluting liquid must be accurately adjusted in order to accurately express a gradation corresponding to image data. Need to be controlled. For this purpose, it is necessary that the ink and the diluting liquid are reliably separated in a state where the ink and the diluting liquid are not mixed, that is, in a standby state. If the ink and the diluting liquid are in contact with each other in the standby state, the ink and the diluting liquid flow into nozzles into which the ink and the diluting liquid are respectively introduced, and greatly affect the mixing ratio of the ink and the diluting liquid in the next dot, It is impossible to accurately express gradation, and it is difficult to form a high-resolution recorded image.

【0012】そこで、このようにインクと希釈液を混合
吐出するプリンタ装置においては、少なくとも定量ノズ
ル開口部と吐出ノズル開口部とに挟まれる領域に、撥液
性をもたせることが望まれる。
Therefore, in such a printer apparatus that mixes and discharges ink and a diluting liquid, it is desired that at least a region sandwiched between the fixed nozzle opening and the discharge nozzle has liquid repellency.

【0013】また、前述のインクのみを吐出するプリン
タ装置においても、吐出ノズルの開口部周辺にインクが
付着してしまうと、吐出方向の不安定状態をもたらすこ
ととなり、高解像度の記録画像の形成が難しくなるた
め、ノズル開口部の周辺には、撥液性をもたせることが
望まれる。このことは、上述のインクと希釈液を混合吐
出するプリンタ装置においても同様である。
Also, in the above-described printer apparatus which discharges only ink, if ink adheres to the vicinity of the opening of the discharge nozzle, an unstable state of the discharge direction is caused, and a high-resolution recorded image is formed. Therefore, it is desired to provide liquid repellency around the nozzle opening. This is the same in a printer apparatus that mixes and discharges the above-described ink and diluent.

【0014】この撥液性を有する材質としては、一般的
にポリテトラフルオロエチレン等が挙げられ、上記のよ
うなプリンタ装置においては、ノズル開口部周辺にこの
ような材質を配するようにしている。
The material having liquid repellency is generally polytetrafluoroethylene or the like. In the above-described printer, such a material is arranged around the nozzle opening. .

【0015】ところで、上述したようなプリンタ装置を
製造する際、ノズルの形成はエキシマレーザによるアブ
レーション加工により行うのが一般的である。
By the way, when manufacturing the above-described printer device, the nozzles are generally formed by ablation using an excimer laser.

【0016】しかしながら、上記ポリテトラフルオロエ
チレンは、エキシマレーザによるアブレーション加工を
行うことが不可能である。そこで、このようなポリテト
ラフルオロエチレンを使用する場合には、特開平6−3
28698号に示されるごとく、ポリテトラフルオロエ
チレン中にエキシマレーザの波長域の光を吸収するよう
な材質を分散させたものを使用し、エキシマレーザによ
るアブレーション加工にてノズルを形成するようにして
いる。しかし、上記特開平6−328698号に示すよ
うな方法を用いると、エキシマレーザを用いた加工性
と、撥液性とを両立させることは難しく、どちらかの性
質をある程度犠牲にしなければならないという不都合が
生じる。
However, the above polytetrafluoroethylene cannot be subjected to ablation by an excimer laser. Therefore, when such polytetrafluoroethylene is used, Japanese Patent Application Laid-Open No.
No. 28698, a material in which a material that absorbs light in the wavelength range of an excimer laser is dispersed in polytetrafluoroethylene, and a nozzle is formed by ablation processing using an excimer laser. . However, it is difficult to achieve both workability using an excimer laser and liquid repellency by using a method as described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-328698, and either property must be sacrificed to some extent. Inconvenience occurs.

【0017】そこで、本発明者らは、エキシマレーザの
波長域の光を吸収するポリイミド系高分子を使用し、エ
キシマレーザによるアブレーション加工にてノズルを形
成することを提案している。ここで、ノズル形成するプ
レート基材として、エキシマレーザ加工性のある、ポリ
イミド、ポリエーテルイミド、ポリサルフォン、ポリエ
ーテルサルフォン等のフィルムを用い、その外側にポリ
イミド系高分子を塗布している。
The present inventors have proposed to use a polyimide polymer that absorbs light in the wavelength range of an excimer laser and to form a nozzle by ablation using an excimer laser. Here, a film of polyimide, polyetherimide, polysulfone, polyethersulfone, or the like having excimer laser workability is used as a plate base material for forming a nozzle, and a polyimide polymer is applied to the outside of the film.

【0018】しかしながら、この材質の特性として、機
械的強度が低く、プレートとして使用しているポリイミ
ド、ポリサルフォン等との接着性が低いため、長時間使
用していると、定量ノズル開口部と吐出ノズル開口部と
に挟まれる領域や、各ノズル開口部の周辺の撥液膜が劣
化したり、破損したり、剥がれたりといった状態にな
り、良好な特性を保持したヘッドとしての寿命が短いと
いった問題があった。
However, the properties of this material are low mechanical strength and low adhesiveness to polyimide, polysulfone, etc. used as a plate. The area sandwiched between the openings and the liquid-repellent film around each nozzle opening deteriorates, breaks, or comes off, resulting in a short life span as a head with good characteristics. there were.

【0019】本発明は、上述したような従来の実情に鑑
みて提案されたものであり、ノズル開口部周に配される
撥液膜の劣化、破損、破がれを防止して、寿命を高めた
プリンタ装置を提供することを目的とする。
The present invention has been proposed in view of the above-mentioned conventional circumstances, and prevents the liquid repellent film disposed around the nozzle opening from being deteriorated, damaged, or torn, and has a long life. It is an object to provide an enhanced printer device.

【0020】[0020]

【課題を解決するための手段】本発明のプリンタ装置
は、吐出媒体が導入される圧力室と、上記圧力室に連通
されるノズルとを有し、当該ノズルより上記吐出媒体を
吐出するプリントヘッドを有するプリンタ装置であっ
て、プリントヘッドのノズル開口面側の少なくともノズ
ル開口部周辺が、ポリイミド系高分子と、ビスマレイミ
ド・トリアジン樹脂又はエポキシ系樹脂の少なくとも一
方との混合樹脂からなることを特徴とする。
A printing apparatus according to the present invention has a pressure chamber into which a discharge medium is introduced, and a nozzle communicating with the pressure chamber, and a print head that discharges the discharge medium from the nozzle. Wherein at least the periphery of the nozzle opening on the nozzle opening side of the print head is made of a mixed resin of a polyimide polymer and at least one of a bismaleimide triazine resin and an epoxy resin. And

【0021】上述したような本発明に係るプリンタ装置
では、上記プリントヘッドの上記ノズル開口面側の少な
くともノズル開口部周辺がポリイミド系高分子と、ビス
マレイミド・トリアジン樹脂又はエポキシ系樹脂の少な
くとも一方との混合樹脂より構成されているので、ノズ
ル開口部周辺の撥液性、機械的強度が確保される。ま
た、ポリイミド系高分子がエキシマレーザを用いたアブ
レーション加工に適した材料であることから、本発明の
プリンタ装置においては、エキシマレーザを用いたアブ
レーション加工によるノズル形成が可能である。
In the printer according to the present invention as described above, at least the periphery of the nozzle opening on the nozzle opening side of the print head is made of a polyimide polymer and at least one of a bismaleimide triazine resin and an epoxy resin. , Liquid repellency and mechanical strength around the nozzle opening are ensured. Further, since the polyimide-based polymer is a material suitable for ablation processing using an excimer laser, in the printer device of the present invention, it is possible to form a nozzle by ablation processing using an excimer laser.

【0022】また、本発明のプリンタ装置は、吐出媒体
が導入される第1の圧力室と、定量媒体が導入される第
2の圧力室とを有し、上記第1の圧力室に連通する第1
のノズル及び第2の圧力室に連通する第2のノズルとを
互いに隣合うように開口して有し、第2のノズルから第
1のノズルに向けて定量媒体を滲み出させた後、第1の
ノズルから吐出媒体を吐出させて定量媒体と吐出媒体を
混合吐出するプリントヘッドを有するプリンタ装置であ
って、プリントヘッドのノズル開口面側の少なくともノ
ズル開口部周辺が、ポリイミド系高分子と、ビスマレイ
ミド・トリアジン樹脂又はエポキシ系樹脂の少なくとも
一方との混合樹脂からなることを特徴とする。
Further, the printer of the present invention has a first pressure chamber into which a discharge medium is introduced, and a second pressure chamber into which a quantitative medium is introduced, and communicates with the first pressure chamber. First
A nozzle and a second nozzle communicating with the second pressure chamber are opened so as to be adjacent to each other, and after the measuring medium is oozed from the second nozzle toward the first nozzle, A printer device having a print head that discharges a discharge medium from one nozzle to mix and discharge a fixed amount medium and a discharge medium, wherein at least the periphery of the nozzle opening on the nozzle opening side of the print head is a polyimide polymer, It is characterized by comprising a mixed resin with at least one of a bismaleimide / triazine resin and an epoxy resin.

【0023】上述したような本発明に係るプリンタ装置
では、上記プリントヘッドの上記ノズル開口面側の少な
くともノズル開口部周辺がポリイミド系高分子とビスマ
レイミド・トリアジン樹脂又はエポキシ系樹脂の少なく
とも一方との混合樹脂より構成されているので、ノズル
開口部周辺の撥液性、機械的強度が確保される。また、
ポリイミド系高分子がエキシマレーザを用いたアブレー
ション加工に適した材料であることから、本発明のプリ
ンタ装置においては、エキシマレーザを用いたアブレー
ション加工によるノズル形成が可能である。
In the printer according to the present invention as described above, at least the periphery of the nozzle opening on the nozzle opening side of the print head is formed of a polyimide polymer and at least one of a bismaleimide triazine resin and an epoxy resin. Since it is made of a mixed resin, liquid repellency and mechanical strength around the nozzle opening are ensured. Also,
Since the polyimide-based polymer is a material suitable for ablation processing using an excimer laser, in the printer device of the present invention, it is possible to form a nozzle by ablation processing using an excimer laser.

【0024】[0024]

【発明の実施の形態】以下、本発明を適用した具体的な
実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明す
る。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0025】先ず、吐出媒体としてインクのみを吐出す
るプリンタ装置に本発明を適用した例について述べる。
First, an example in which the present invention is applied to a printer that discharges only ink as a discharge medium will be described.

【0026】本例のプリンタ装置は、図1に示すよう
に、ノズル1、インク圧力室2、インク供給流路3、さ
らにはインク供給口4が形成されているオリフィスプレ
ート部材6と、少なくとも上記インク圧力室2に対応す
る位置に配される圧力素子8により主に構成されるプリ
ントヘッドを有するものであり、この他に駆動装置や制
御装置等も有していることは言うまでもない。
As shown in FIG. 1, the printer of this embodiment has an orifice plate member 6 in which a nozzle 1, an ink pressure chamber 2, an ink supply passage 3, and an ink supply port 4 are formed. It has a print head mainly composed of pressure elements 8 arranged at positions corresponding to the ink pressure chambers 2, and it goes without saying that it also has a drive device, a control device and the like.

【0027】上記オリフィスプレート部材6は、インク
圧力室2を形成する第1の凹部9、インク供給流路3を
形成し、第1の凹部9よりも深さが浅い第2の凹部1
0、インク供給口4を形成し、第2の凹部10よりも深
さが深い第3の凹部11が、連続して一主面12a側に
開口して形成され、かつ第1の凹部9の底面側から一主
面12aの裏面12bにわたる貫通孔であるノズル1が
形成される基板12と、一主面12a側に配され、上記
各凹部を覆う蓋部材としての機能を兼ね備える振動板7
により構成される。
The orifice plate member 6 forms a first concave portion 9 for forming the ink pressure chamber 2 and an ink supply channel 3, and the second concave portion 1 having a depth smaller than that of the first concave portion 9.
0, a third recess 11 which forms the ink supply port 4 and is deeper than the second recess 10 is continuously opened to the one main surface 12a side; A substrate 12 on which the nozzle 1 is formed as a through hole extending from the bottom surface side to the back surface 12b of the one main surface 12a, and a diaphragm 7 provided on the one main surface 12a side and having a function as a lid member for covering the concave portions.
It consists of.

【0028】上記各凹部は、例えば断面略コ字状、略U
字状の溝部として形成すれば良く、ノズル1は、例えば
裏面12b側に向かうに従って細くなる断面円形、或い
は楕円、矩形状の貫通孔として形成すれば良い。
Each of the concave portions has, for example, a substantially U-shaped cross section and a substantially U-shaped cross section.
The nozzle 1 may be formed as a through-hole having a circular, elliptical, or rectangular cross section that becomes thinner toward the back surface 12b, for example.

【0029】すなわち、第3の凹部11と振動板7間の
空間がインク供給口4となり、第2の凹部10と振動板
7間の空間がインク供給流路3となり、第1の凹部9と
振動板7間の空間がインク圧力室2となり、これらは連
続した空間として形成され、さらにこれにノズル1も連
続して形成されることとなる。なお、振動板7の第3の
凹部11に対応する部分の一部には開口部15が形成さ
れている。
That is, the space between the third concave portion 11 and the vibration plate 7 becomes the ink supply port 4, the space between the second concave portion 10 and the vibration plate 7 becomes the ink supply flow path 3, and the space between the first concave portion 9 The space between the vibration plates 7 becomes the ink pressure chamber 2, which is formed as a continuous space, and the nozzle 1 is also formed continuously therewith. An opening 15 is formed in a part of the diaphragm 7 corresponding to the third recess 11.

【0030】そして、上記インク供給口4の開口部15
には、図示しない外部のインクタンクよりインクを供給
するためのインク供給管16が接続されている。
Then, the opening 15 of the ink supply port 4 is formed.
Is connected to an ink supply pipe 16 for supplying ink from an external ink tank (not shown).

【0031】従って、外部のインクタンクよりインク1
4はインク供給管16を介してインク供給口4に供給さ
れ、このインク供給口4からインク供給流路3、インク
圧力室2、ノズル1へと充填されることとなる。
Therefore, the ink 1 is supplied from the external ink tank.
4 is supplied to the ink supply port 4 via the ink supply pipe 16, and the ink supply path 3, the ink pressure chamber 2, and the nozzle 1 are filled from the ink supply port 4.

【0032】また、上記振動板7は、インク圧力室2に
対応する部分が変位し易いように、その一部に切り込み
を入れた部材として配されている。
The vibrating plate 7 is provided as a member with a cut in a part thereof so that a part corresponding to the ink pressure chamber 2 is easily displaced.

【0033】さらに、上記圧力素子8としては、積層ピ
エゾ素子等が挙げられ、本例においては積層ピエゾ素子
を使用した例を示している。この圧力素子8は、上述の
ように振動板7上のインク圧力室2に対応する部分に圧
力素子8の長手方向が振動板7に直交するように配さ
れ、反対側が支持体18により固定されている。
Further, as the pressure element 8, a laminated piezo element or the like can be mentioned. In this embodiment, an example using a laminated piezo element is shown. As described above, the pressure element 8 is disposed at a portion corresponding to the ink pressure chamber 2 on the vibration plate 7 so that the longitudinal direction of the pressure element 8 is orthogonal to the vibration plate 7, and the opposite side is fixed by the support 18. ing.

【0034】上記圧力素子8を構成する積層ピエゾ素子
は、電圧の印加に応じて長手方向に伸縮する。このと
き、一端側が支持体18により固定されているため、圧
力素子8が伸長すると、図中矢印Pで示すような方向に
振動板7が押圧される。そして、これに伴ってインク圧
力室2のインク14に圧力が加わり、インク14はノズ
ル1から吐出される。なお、このとき、インク供給流路
3はインク圧力室2よりも狭いことからインク14がイ
ンク供給口4側に大量に逆流することはない。
The laminated piezo element constituting the pressure element 8 expands and contracts in the longitudinal direction in response to application of a voltage. At this time, since the one end side is fixed by the support 18, when the pressure element 8 expands, the diaphragm 7 is pressed in a direction indicated by an arrow P in the figure. Accordingly, pressure is applied to the ink 14 in the ink pressure chamber 2, and the ink 14 is ejected from the nozzle 1. At this time, since the ink supply flow path 3 is narrower than the ink pressure chamber 2, a large amount of the ink 14 does not flow backward to the ink supply port 4 side.

【0035】本例のプリンタ装置により印刷を行う場合
には、圧力素子8によりインク圧力室2内のインク14
を加圧し、ノズル1からインク14を図示しない被記録
材に向けて吐出するようにすれば良く、諧調はドットの
大きさやマトリクスにより表現すれば良い。
When printing is performed by the printer of the present embodiment, the ink 14 in the ink pressure chamber 2 is
, And the ink 14 may be ejected from the nozzle 1 toward a recording material (not shown), and the gradation may be represented by a dot size or a matrix.

【0036】そして、本例のプリンタ装置のプリントヘ
ッドにおいては、図2に拡大して示すように、オリフィ
スプレート部材6のノズル1の開口面、すなわち基板1
2のノズル1の開口面となる裏面12b側の少なくとも
ノズル1開口部周辺に高分子膜19が配されている。な
お、本例のプリンタ装置においては、図1にも示すよう
に、裏面12b側の全面にわたり、高分子膜19が配さ
れている。
In the print head of the printer of the present embodiment, as shown in an enlarged view in FIG. 2, the opening surface of the nozzle 1 of the orifice plate member 6, that is, the substrate 1
A polymer film 19 is arranged at least around the opening of the nozzle 1 on the back surface 12 b side, which is the opening surface of the second nozzle 1. In the printer of the present embodiment, as shown in FIG. 1, a polymer film 19 is disposed on the entire back surface 12b.

【0037】高分子膜19は、ポリイミド系高分子と、
樹脂材料とが混合されてなる混合樹脂からなる。
The polymer film 19 comprises a polyimide polymer and
It is made of a mixed resin obtained by mixing a resin material.

【0038】ポリイミド系高分子としては、種々のもの
が挙げられるが、中でも全芳香族ポリイミドが好まし
い。さらに、下記化1に示されるような構造を含むもの
が好ましい。
As the polyimide-based polymer, various ones can be mentioned, and among them, a wholly aromatic polyimide is preferable. Further, those having a structure as shown in the following formula 1 are preferable.

【0039】[0039]

【化1】 Embedded image

【0040】さらにまた、下記化2に示されるような構
造を含むものも好ましい。
Further, those having a structure as shown in the following chemical formula 2 are also preferable.

【0041】[0041]

【化2】 Embedded image

【0042】なお、上記ポリイミド系高分子は、23
(℃)の水中に24時間浸積させた場合の吸水率が0.
4(%)以下のものであることが好ましい。
Incidentally, the above-mentioned polyimide-based polymer is
(° C.) when immersed in water for 24 hours.
It is preferably 4 (%) or less.

【0043】また、上記ポリイミド系高分子は180
(℃)以下の加熱により重合形成されるものであること
が好ましい。
Further, the above-mentioned polyimide polymer is 180
It is preferable that the polymer is formed by heating at a temperature of (° C.) or lower.

【0044】さらに、上記ポリイミド系高分子はポリイ
ミドシロキサンであることが好ましい。
Further, the polyimide polymer is preferably a polyimide siloxane.

【0045】このようなポリイミドシロキサンとして
は、下記化3に示すような構造を有するものが挙げられ
る。
Examples of such a polyimidesiloxane include those having a structure as shown in the following chemical formula (3).

【0046】[0046]

【化3】 Embedded image

【0047】このようなポリイミドシロキサンとして
は、下記化4に示すような構造を有するものも挙げられ
る。
Examples of such a polyimidesiloxane include those having a structure as shown in the following chemical formula 4.

【0048】[0048]

【化4】 Embedded image

【0049】なお、これらポリイミドシロキサンにおい
ては、イミド結合の窒素と結合する芳香族炭化水素部分
の一部がシロキサンにより置換されてなるものであり、
Siのポリイミドに対する含有量が3(重量%)〜25
(重量%)であることが好ましい。
In these polyimide siloxanes, a part of the aromatic hydrocarbon moiety bonded to the nitrogen of the imide bond is replaced by siloxane.
The content of Si to polyimide is 3 (% by weight) to 25.
(% By weight).

【0050】そして、このようなポリイミド系高分子と
しては、宇部興産(株)社製のユピコートFS−100
L(商品名)やユピファインFP−100(商品名)等
が挙げられる。
As such a polyimide polymer, Upicoat FS-100 manufactured by Ube Industries, Ltd. is used.
L (trade name) and Iupine Fine FP-100 (trade name).

【0051】また、上記ポリイミド系高分子と混合され
る樹脂材料としては、ビスマレイミド・トリアジン樹脂
(以下、BT樹脂と称する。)、エポキシ系樹脂、又は
BT樹脂とエポキシ系樹脂との混合体が挙げられる。
The resin material mixed with the above-mentioned polyimide polymer includes a bismaleimide-triazine resin (hereinafter referred to as a BT resin), an epoxy resin, or a mixture of a BT resin and an epoxy resin. No.

【0052】ここで、上記BT樹脂は、トリアジン樹脂
(T成分)を主成分とし、多官能マレイミド化合物(B
成分)又は他の改質用化合物より構成された、高耐熱付
加重合型熱硬化性樹脂の総称である。
Here, the BT resin contains a triazine resin (T component) as a main component and a polyfunctional maleimide compound (B
Component) or another modifying compound, and is a general term for a high heat-resistant addition polymerization type thermosetting resin.

【0053】BT樹脂の主成分であるトリアジン樹脂
は、シアネート基(−R−O−C≡N)という不飽和三
重結合を有する化合物で、加熱により硬化して、トリア
ジン環が形成される。このトリアジン環は、ベンゼン環
に比較して熱エネルギーや高エネルギー放射線に対して
安定であり、しかも不要な他の極性基を副成しないた
め、耐熱性や電気特性に優れた樹脂となる。このトリア
ジン樹脂に多官能マレイミド化合物又は他の改質用化合
物を加えることで、トリアジン樹脂の特性を強化できる
ほか、作業性も向上できる。
The triazine resin, which is a main component of the BT resin, is a compound having an unsaturated triple bond of a cyanate group (—RO—C≡N), and is cured by heating to form a triazine ring. The triazine ring is more stable to heat energy and high-energy radiation than the benzene ring, and does not form an unnecessary other polar group, so that it becomes a resin having excellent heat resistance and electrical properties. By adding a polyfunctional maleimide compound or other modifying compound to the triazine resin, the properties of the triazine resin can be enhanced and workability can be improved.

【0054】このようなBT樹脂は、上記シアネート基
の他にも活性不飽和二重結合を有する活性官能基等を有
しているため、他の様々な官能基を有する化合物と容易
に反応する。従って、BT樹脂は各種の樹脂や添加剤と
の変性が簡単で、これらの変性により、より広範な性能
や作業性が実現するという大きな特徴を有する。
Since such a BT resin has an active functional group having an active unsaturated double bond in addition to the cyanate group, it easily reacts with compounds having various other functional groups. . Therefore, the BT resin has a great feature that it can be easily modified with various resins and additives, and a wide range of performance and workability can be realized by these modifications.

【0055】上述したようなBT樹脂の推定構造を化5
に示す。
The above-mentioned estimated structure of the BT resin is represented by the following formula.
Shown in

【0056】[0056]

【化5】 Embedded image

【0057】このようなBT樹脂として具体的には、三
菱瓦斯(株)社製のBT2060B(商品名)、BT−
A300(商品名)、BT−A301(商品名)、BT
−A304(商品名)、BT2117(商品名)等が挙
げられる。
Specific examples of such a BT resin include BT2060B (trade name) and BT- manufactured by Mitsubishi Gas Corporation.
A300 (product name), BT-A301 (product name), BT
-A304 (product name), BT2117 (product name) and the like.

【0058】また、エポキシ系樹脂としては、フェノー
ルノボラック型エポキシ樹脂や、クレゾールノボラック
型エポキシ樹脂等が挙げられる。具体的には、化6に示
すようなチバガイキー(株)社製のEPNシリーズ(商
品名)や、化7に示すようなチバガイキー(株)社製の
ECNシリーズ(商品名)等が挙げられる。
Examples of the epoxy resin include a phenol novolak type epoxy resin and a cresol novolak type epoxy resin. Specific examples include an EPN series (trade name) manufactured by Ciba-Gaikey Corporation as shown in Chemical Formula 6, and an ECN series (trade name) manufactured by Ciba-Gaikey Corporation as shown in Chemical Formula 7.

【0059】[0059]

【化6】 Embedded image

【0060】[0060]

【化7】 Embedded image

【0061】また、上述した樹脂の他にもエポキシ系樹
脂として、化8に示す旭チバ(株)社製のARALDI
TE−MY721(商品名)や、ARALDITE−E
CN1273(商品名)、チバスペシャリティーケミカ
ルズ(株)社製のAZ15(商品名)等を使用すること
ができる。
In addition to the above-mentioned resins, epoxy resins such as ARALDI manufactured by Asahi Ciba Co., Ltd.
TE-MY721 (trade name) and ARALITE-E
CN1273 (trade name), AZ15 (trade name) manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd. and the like can be used.

【0062】[0062]

【化8】 Embedded image

【0063】ポリイミド系高分子にBT樹脂又はエポキ
シ系樹脂を混合することで、高分子膜19と基板12と
の密着性を高めて、高分子膜19の機械的強度を向上す
ることができる。
By mixing a BT resin or an epoxy resin with a polyimide polymer, the adhesion between the polymer film 19 and the substrate 12 can be increased, and the mechanical strength of the polymer film 19 can be improved.

【0064】そして、上述したようなBT樹脂又はエポ
キシ系樹脂の割合は、上記混合樹脂の全体に対して0.
01重量%以上、90重量%以下の範囲であることが好
ましい。BT樹脂又はエポキシ系樹脂の割合が、混合樹
脂の全体に対して0.01重量%よりも少ないと、高分
子膜19の機械的強度を向上させる効果が十分に得られ
ない。また、BT樹脂又はエポキシ系樹脂の割合が、混
合樹脂の全体に対して90重量%を越えると、高分子膜
19の撥液性が低下してしまう。従って、BT樹脂又は
エポキシ系樹脂の割合を、混合樹脂の全体に対して0.
01重量%以上、90重量%以下の範囲とすることで、
高分子膜19の優れた撥液性と機械的強度とを両立する
ことができる。
The ratio of the BT resin or the epoxy resin as described above is set to be 0.1 to the whole of the mixed resin.
The content is preferably in the range of 01% by weight or more and 90% by weight or less. If the ratio of the BT resin or the epoxy resin is less than 0.01% by weight based on the whole mixed resin, the effect of improving the mechanical strength of the polymer film 19 cannot be sufficiently obtained. If the ratio of the BT resin or the epoxy resin exceeds 90% by weight with respect to the entire mixed resin, the liquid repellency of the polymer film 19 is reduced. Therefore, the ratio of the BT resin or the epoxy resin is set to be 0.1 to the entire mixed resin.
By being in the range of 01% by weight or more and 90% by weight or less,
It is possible to achieve both excellent liquid repellency and mechanical strength of the polymer film 19.

【0065】なお、BT樹脂とエポキシ系樹脂との混合
体をポリイミド系高分子と混合する場合には、BT樹脂
とエポキシ系樹脂との総和が混合樹脂の全体に対して
0.01重量%以上、90重量%以下の範囲であること
が好ましい。ポリイミド系高分子にBT樹脂とエポキシ
系樹脂との両方を混合する場合には、高分子膜19に硬
化剤を添加する必要がなくなる。そして、高分子膜19
の硬化剤に起因する特性劣化を無くすことができる。
When a mixture of a BT resin and an epoxy resin is mixed with a polyimide polymer, the total of the BT resin and the epoxy resin is 0.01% by weight or more based on the total amount of the mixed resin. , 90% by weight or less. When both the BT resin and the epoxy resin are mixed with the polyimide polymer, it is not necessary to add a curing agent to the polymer film 19. And the polymer film 19
Characteristic deterioration caused by the curing agent can be eliminated.

【0066】ここで、BT樹脂とエポキシ系樹脂との混
合比については、BT樹脂に対するエポキシ系樹脂の割
合が0.01重量%〜99.99%の範囲であれば、特
に限定されるものではない。
The mixing ratio of the BT resin and the epoxy resin is not particularly limited as long as the ratio of the epoxy resin to the BT resin is in the range of 0.01% by weight to 99.99%. Absent.

【0067】本例のプリンタ装置においては、プリント
ヘッドのノズル1開口面側の少なくともノズル1開口部
周辺に撥液性を有する高分子膜19が形成されているこ
とから、ノズル1開口部周辺における撥液性が確保さ
れ、余分なインクの付着等が防止されることとなり、吐
出の安定性が高まり、高解像度の画像形成が可能とな
る。
In the printer of the present embodiment, the liquid repellent polymer film 19 is formed at least around the nozzle 1 opening on the nozzle 1 opening side of the print head. The liquid repellency is ensured, and extra ink is prevented from adhering, the ejection stability is enhanced, and a high-resolution image can be formed.

【0068】そして、本例のプリンタ装置においては、
高分子膜19がポリイミド系高分子に加えてBT樹脂又
はエポキシ系樹脂を含有しているので、高分子膜19と
プリントヘッドとの密着性が増すとともに、高分子膜1
9の機械的強度が増し、高分子膜19の剥離等が防止さ
れる。これにより、このプリンタ装置においては、ノズ
ル1開口部周辺の撥液性が長期に亘って維持される。
In the printer of this embodiment,
Since the polymer film 19 contains a BT resin or an epoxy resin in addition to the polyimide polymer, the adhesion between the polymer film 19 and the print head is increased, and the polymer film 1
9 is increased in mechanical strength, and peeling of the polymer film 19 is prevented. Thereby, in this printer device, the liquid repellency around the opening of the nozzle 1 is maintained for a long time.

【0069】次に、上述のようなプリンタ装置の製造方
法について述べる。なお、ここでは、プリントヘッドの
製造方法についてのみ述べる。先ず、図3に示すよう
な、第1の凹部9、第2の凹部10、第3の凹部11が
一主面12a側に臨んで開口して形成される基板12を
製造する。なお、これら第1の凹部9、第2の凹部1
0、第3の凹部11は連続して形成されており、これら
の形状は前述の通りである。この基板12の製造方法と
しては、射出成形法或いは圧縮成形法等が挙げられ、こ
れを構成する材料としては、この種のプリンタ装置に使
用される材料であれば、何れでも良いが、ポリサルフォ
ン或いはポリエーテルサルフォンが好ましい。
Next, a method of manufacturing the above-described printer will be described. Here, only the method of manufacturing the print head will be described. First, as shown in FIG. 3, a substrate 12 in which a first concave portion 9, a second concave portion 10, and a third concave portion 11 are formed so as to open toward one main surface 12a is manufactured. In addition, these 1st recessed part 9 and 2nd recessed part 1
The 0 and third concave portions 11 are formed continuously, and their shapes are as described above. Examples of a method of manufacturing the substrate 12 include an injection molding method and a compression molding method. The material for the material may be any material used for this type of printer, such as polysulfone or polysulfone. Polyether sulfone is preferred.

【0070】次に、図4に示すように、基板12の一主
面12aの反対側の裏面12b上に高分子膜19を形成
する。このとき、上記高分子膜19としては、23
(℃)の水中に24時間浸積させた場合の吸水率が0.
4以下で、180(℃)以下の加熱により重合形成され
るポリイミドシロキサンと、BT樹脂又はエポキシ系樹
脂との混合樹脂を10(μm)〜30(μm)程度の厚
さで成膜したものが好ましい。
Next, as shown in FIG. 4, a polymer film 19 is formed on the back surface 12b opposite to the one main surface 12a of the substrate 12. At this time, as the polymer film 19, 23
(° C.) when immersed in water for 24 hours.
A mixed resin of polyimide siloxane polymerized by heating at 180 ° C. or less and BT resin or epoxy resin having a thickness of about 10 (μm) to about 30 (μm). preferable.

【0071】このような吸水率が0.4以下のポリイミ
ド系高分子材料としては、例えば、宇部興産(株)社製
のポリイミド系オーバーコートインク、ユピコートFS
−100L(商品名)が挙げられる。この宇部興産
(株)社製のポリイミド系オーバーコートインク、ユピ
コートFS−100L(商品名)は、E型粘度計を使用
して25(℃)の条件下で測定した粘度が220±20
ポイズのインク状である。
Examples of the polyimide-based polymer material having a water absorption of 0.4 or less include, for example, a polyimide-based overcoat ink manufactured by Ube Industries, Ltd., Upicoat FS
-100 L (trade name). This polyimide-based overcoat ink Upicoat FS-100L (trade name) manufactured by Ube Industries, Ltd. has a viscosity of 220 ± 20 measured at 25 ° C. using an E-type viscometer.
It is a poise ink.

【0072】また、BT樹脂としては、例えば、三菱瓦
斯化学(株)社製のBT2060B(商品名)、BT−
A300(商品名)、BT−A301(商品名)、BT
−A304(商品名)、BT2117(商品名)等が挙
げられる。
Examples of the BT resin include BT2060B (trade name) and BT-B manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Company, Ltd.
A300 (product name), BT-A301 (product name), BT
-A304 (product name), BT2117 (product name) and the like.

【0073】また、エポキシ系樹脂としては、例えば、
チバガイキー(株)社製のEPNシリーズ(商品名)、
チバガイキー(株)社製のECNシリーズ(商品名)、
旭チバ(株)社製のARALDITE−MY721(商
品名)、旭チバ(株)社製のARALDITE−ECN
1273(商品名)、チバスペシャリティーケミカルズ
(株)社製のAZ15(商品名)等が挙げられる。
Further, as the epoxy resin, for example,
EPN series (trade name) manufactured by Ciba-Gay Key Co., Ltd.
ECN series (trade name) manufactured by Ciba-Gay Key Co., Ltd.
ARALDITE-MY721 (trade name) manufactured by Asahi Ciba Co., Ltd., ARALDITE-ECN manufactured by Asahi Ciba Co., Ltd.
1273 (trade name) and AZ15 (trade name) manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.

【0074】高分子膜19を基板12上に配するには、
これらの樹脂をメチルエチルケトン等の溶媒に溶解し、
この溶液をスピンコート等により塗布した後、加熱によ
り重合形成すれば良い。
To dispose the polymer film 19 on the substrate 12,
Dissolve these resins in a solvent such as methyl ethyl ketone,
This solution may be applied by spin coating or the like and then polymerized by heating.

【0075】次に、図5に示すように、基板12の第1
の凹部9の底面から当該基板12及び高分子膜19を貫
通するノズル1をエキシマレーザ加工機を用いて形成す
る。本例のプリンタ装置においては、基板12を形成す
るポリサルフォン或いはポリエーテルサルフォン、高分
子膜19を形成するポリイミド系高分子の何れもがエキ
シマレーザによるアブレーション加工が可能な材料であ
るため、このようにノズル1をエキシマレーザによるア
ブレーション加工で形成することが可能である。従っ
て、本例のプリンタ装置においては、ノズル形成工程が
簡素化され、生産性が良好となる。
Next, as shown in FIG.
The nozzle 1 penetrating the substrate 12 and the polymer film 19 from the bottom surface of the concave portion 9 is formed using an excimer laser processing machine. In the printer device of this example, polysulfone or polyether sulfone forming the substrate 12 and polyimide-based polymer forming the polymer film 19 are all materials that can be ablated by excimer laser. The nozzle 1 can be formed by ablation using an excimer laser. Therefore, in the printer of the present embodiment, the nozzle forming process is simplified, and the productivity is improved.

【0076】また、これらポリサルフォンおよびポリエ
ーテルサルフォン、ポリイミド系高分子におけるエキシ
マレーザによるアブレーション加工特性が非常に優れて
いることから、上記ノズル1は、バリ等の発生および剥
がれの発生などの工程不良を発生することなく形成さ
れ、製造歩留まりも向上し、このことからも本例のプリ
ンタ装置においては生産性が良好となる。なお、高分子
膜19に含有されるBT樹脂又はエポキシ樹脂は、高分
子膜19のアブレーション加工性を妨げるものではな
い。
Further, since these polysulfone, polyethersulfone, and polyimide polymers have very good ablation characteristics with an excimer laser, the nozzle 1 cannot be used in a process defect such as generation of burrs and the like and peeling. , And the production yield is improved, which also improves the productivity of the printer of the present embodiment. The BT resin or the epoxy resin contained in the polymer film 19 does not hinder the ablation processability of the polymer film 19.

【0077】次に、図6に示すように、基板12の各凹
部開口面である一主面12a側に蓋部材として機能する
振動板7を配し、第3の凹部11と振動板7間の空間を
インク供給口4とし、第2の凹部10と振動板7間の空
間をインク供給流路3とし、第1の凹部9と振動板7間
の空間をインク圧力室2とする。そして、これらは連続
した空間として形成され、さらにこれにノズル1も連続
して形成されることとなる。なお、上記振動板7の第3
の凹部11に対応する位置の一部に開口部15が形成さ
れ、インク供給口4の一部が開口していることは言うま
でもない。
Next, as shown in FIG. 6, the diaphragm 7 functioning as a lid member is disposed on one principal surface 12a, which is the opening surface of each concave portion, of the substrate 12, and the third concave portion 11 and the diaphragm 7 The space between the first concave portion 9 and the diaphragm 7 is defined as an ink pressure chamber 2, and the space between the second concave portion 10 and the diaphragm 7 is defined as an ink supply passage 3. These are formed as continuous spaces, and the nozzles 1 are also formed continuously. In addition, the third of the diaphragm 7
Needless to say, an opening 15 is formed at a part of the position corresponding to the concave part 11 and a part of the ink supply port 4 is opened.

【0078】また、この振動板7においては、インク圧
力室2に対応する位置が変位し易いように、その一部に
切り込みが入れられていることは言うまでもない。
Further, it is needless to say that a cut is made in a part of the vibration plate 7 so that the position corresponding to the ink pressure chamber 2 is easily displaced.

【0079】さらに、上記振動板7上のインク圧力室2
に対応する部分に積層ピエゾ素子である圧力素子8を配
する。この圧力素子8の反対側が支持体18により支持
されていることは言うまでもない。
Further, the ink pressure chamber 2 on the vibration plate 7
A pressure element 8, which is a laminated piezo element, is arranged at a portion corresponding to the above. It goes without saying that the opposite side of the pressure element 8 is supported by the support 18.

【0080】また、開口部15に接続されるようにイン
ク供給管16を配し、プリントヘッドを完成する。
Further, an ink supply pipe 16 is arranged so as to be connected to the opening 15 to complete a print head.

【0081】上述の例においては、所定の凹部を有する
基板12を射出成形等の手段により形成する例について
述べたが、この基板12の代わりに金属板にポリイミド
等よりなる高分子フィルムを貼り合わせたものを使用し
て製造するようにしても良い。すなわち、図7に示すよ
うに、金属板32の一主面32a側に高分子フィルム3
1を貼り合わせ、これらによりインク圧力室を構成する
第1の凹部29、インク供給口を構成する第3の凹部3
0、第1の凹部29と第3の凹部30を接続するインク
供給流路23を構成する。
In the above-described example, the example in which the substrate 12 having a predetermined concave portion is formed by means such as injection molding has been described. However, instead of the substrate 12, a polymer film made of polyimide or the like is bonded to a metal plate. Alternatively, it may be manufactured by using such a material. That is, as shown in FIG. 7, the polymer film 3 is provided on one main surface 32 a side of the metal plate 32.
1, and a first concave portion 29 forming an ink pressure chamber and a third concave portion 3 forming an ink supply port.
0, an ink supply channel 23 connecting the first concave portion 29 and the third concave portion 30 is formed.

【0082】このような金属板32は、例えばステンレ
ス鋼等により形成すれば良く、高分子フィルム31はポ
リイミドフィルム等とすれば良い。なお、上記ポリイミ
ドフィルムにおいては、このフィルムにノズルが形成さ
れることから、ある程度濡れ性を有することが好まし
く、23(℃)の水中に24時間浸積させた場合の吸水
率が1.0(%)以上であることが好ましい。このよう
なポリイミドフィルムとしては、例えば東レ・デュポン
(株)社製のカプトンフィルム(商品名)が挙げられ
る。そして、これらの間をガラス転移温度の低いポリイ
ミド材料により貼り合わせるようにするのが好ましい。
The metal plate 32 may be formed of, for example, stainless steel, and the polymer film 31 may be formed of a polyimide film. In addition, since the polyimide film has a nozzle formed on the film, it is preferable that the polyimide film has a certain degree of wettability, and has a water absorption of 1.0 (when immersed in 23 (° C.) water for 24 hours. %) Or more. As such a polyimide film, for example, Kapton film (trade name) manufactured by Du Pont-Toray Co., Ltd. is exemplified. Then, it is preferable that the space between them is bonded with a polyimide material having a low glass transition temperature.

【0083】なお、このようにして形成された金属板3
2と高分子フィルム31よりなる基板は、前述の一体成
形の基板に耐薬品性で劣ることはなく、また、この基板
よりも耐熱性の点で優れている。
The metal plate 3 formed as described above
The substrate made of 2 and the polymer film 31 is not inferior to the above-mentioned integrally molded substrate in chemical resistance, and is superior in heat resistance to this substrate.

【0084】次に、図8に示すように、高分子フィルム
31上に高分子膜39を形成する。このとき、上記高分
子膜39としては、前述の高分子膜19と同様に、23
(℃)の水中に24時間浸積させた場合の吸水率が0.
4以下で、180(℃)以下の加熱により重合形成され
るポリイミドシロキサンと、BT樹脂又はエポキシ系樹
脂との混合樹脂を10(μm)〜30(μm)程度の厚
さで成膜したものが好ましい。
Next, as shown in FIG. 8, a polymer film 39 is formed on the polymer film 31. At this time, as the polymer film 39, 23
(° C.) when immersed in water for 24 hours.
A mixed resin of polyimide siloxane polymerized by heating at 180 ° C. or less and BT resin or epoxy resin having a thickness of about 10 (μm) to about 30 (μm). preferable.

【0085】このような吸水率が0.4以下のポリイミ
ド系高分子材料としては、例えば、宇部興産(株)社製
のポリイミド系オーバーコートインク、ユピコートFS
−100L(商品名)が挙げられる。この宇部興産
(株)社製のポリイミド系オーバーコートインク、ユピ
コートFS−100L(商品名)は、E型粘度計を使用
して25(℃)の条件下で測定した粘度が220±20
ポイズのインク状である。
Examples of such a polyimide-based polymer material having a water absorption of 0.4 or less include a polyimide-based overcoat ink manufactured by Ube Industries, Ltd., Upicoat FS
-100 L (trade name). This polyimide-based overcoat ink Upicoat FS-100L (trade name) manufactured by Ube Industries, Ltd. has a viscosity of 220 ± 20 measured at 25 ° C. using an E-type viscometer.
It is a poise ink.

【0086】また、BT樹脂としては、例えば、三菱瓦
斯化学(株)社製のBT2060B(商品名)、BT−
A300(商品名)、BT−A301(商品名)、BT
−A304(商品名)、BT2117(商品名)等が挙
げられる。
As the BT resin, for example, BT2060B (trade name), BT-
A300 (product name), BT-A301 (product name), BT
-A304 (product name), BT2117 (product name) and the like.

【0087】また、エポキシ系樹脂としては、例えば、
チバガイキー(株)社製のEPNシリーズ(商品名)、
チバガイキー(株)社製のECNシリーズ(商品名)、
旭チバ(株)社製のARALDITE−MY721(商
品名)、旭チバ(株)社製のARALDITE−ECN
1273(商品名)、チバスペシャリティーケミカルズ
(株)社製のAZ15(商品名)等が挙げられる。
As the epoxy resin, for example,
EPN series (trade name) manufactured by Ciba-Gay Key Co., Ltd.
ECN series (trade name) manufactured by Ciba-Gay Key Co., Ltd.
ARALDITE-MY721 (trade name) manufactured by Asahi Ciba Co., Ltd., ARALDITE-ECN manufactured by Asahi Ciba Co., Ltd.
1273 (trade name) and AZ15 (trade name) manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.

【0088】高分子膜39を高分子フィルム31上に配
するには、これらの樹脂をメチルエチルケトン等の溶媒
に溶解し、この溶液をスピンコート等により塗布した
後、加熱により重合形成すれば良い。
In order to dispose the polymer film 39 on the polymer film 31, these resins may be dissolved in a solvent such as methyl ethyl ketone, and this solution may be applied by spin coating or the like, and then polymerized by heating.

【0089】次に、図9に示すように、金属板32の第
1の凹部29の底面から高分子フィルム31及び高分子
膜39を貫通するノズル21をエキシマレーザ加工機を
用いて形成する。本例のプリンタ装置においては、高分
子フィルム31を形成するポリイミド、高分子膜39を
形成するポリイミド系高分子の何れもがエキシマレーザ
によるアブレーション加工が可能な材料であるため、こ
のようにノズル21をエキシマレーザによるアブレーシ
ョン加工で形成することが可能である。従って、本例の
プリンタ装置においては、ノズル形成工程が簡素化さ
れ、生産性が良好となる。
Next, as shown in FIG. 9, a nozzle 21 penetrating the polymer film 31 and the polymer film 39 from the bottom surface of the first concave portion 29 of the metal plate 32 is formed by using an excimer laser processing machine. In the printer of the present embodiment, the polyimide forming the polymer film 31 and the polyimide polymer forming the polymer film 39 are both materials that can be ablated by excimer laser. Can be formed by ablation using an excimer laser. Therefore, in the printer of the present embodiment, the nozzle forming process is simplified, and the productivity is improved.

【0090】また、これらポリイミド系高分子における
エキシマレーザによるアブレーション加工特性が非常に
優れていることから、上記ノズル21は、バリ等の発生
および剥がれの発生などの工程不良を発生することなく
形成され、製造歩留まりも向上し、このことからも本例
のプリンタ装置においては生産性が良好となる。なお、
高分子膜19に含有されるBT樹脂又はエポキシ樹脂
は、高分子膜19のアブレーション加工性を妨げるもの
ではない。
Further, since the ablation characteristics of these polyimide polymers with excimer laser are very excellent, the nozzle 21 is formed without causing any process defects such as generation of burrs and peeling. In addition, the production yield is improved, which also improves the productivity of the printer of this embodiment. In addition,
The BT resin or the epoxy resin contained in the polymer film 19 does not hinder the ablation processability of the polymer film 19.

【0091】続いて、前述のように振動板、インク供給
管、圧電素子等を配してプリントヘッドを完成する。
Subsequently, the print head is completed by arranging the vibration plate, the ink supply pipe, the piezoelectric element and the like as described above.

【0092】従って、本例のプリンタ装置においては、
プリントヘッドのノズル開口面側の少なくともノズル開
口部周辺に撥液性を有する高分子膜が形成されており、
ノズル開口部周辺の撥液性が確保されることから、イン
クの吐出安定性が確保され、高品位な記録画像の形成が
可能となる。また、上記ポリイミド系高分子がエキシマ
レーザを用いたアブレーション加工に適した材料である
ことから、本例のプリンタ装置においては、エキシマレ
ーザを用いたアブレーション加工によるノズル形成が可
能であり、製造工程が簡素化され、生産性が良好とな
る。
Therefore, in the printer of this embodiment,
A polymer film having liquid repellency is formed at least around the nozzle opening on the nozzle opening side of the print head,
Since the liquid repellency around the nozzle opening is ensured, the ejection stability of the ink is ensured, and a high-quality recorded image can be formed. Further, since the polyimide polymer is a material suitable for ablation processing using an excimer laser, in the printer device of this example, nozzle formation by ablation processing using an excimer laser is possible, and the manufacturing process is It is simplified and productivity is improved.

【0093】さらに、本例のプリンタ装置においては、
プリントヘッドのノズル形成部分、すなわちプリントヘ
ッドのノズル形成部分のポリイミド系高分子により形成
される部分以外の部分が、ポリサルフォン或いはポリエ
ーテルサルフォン、さらには、23(℃)の水中に24
時間浸積させた場合の吸水率が1.0(%)以上のポリ
イミド系高分子により形成されているため、これらをエ
キシマレーザによるアブレーション加工にて加工してノ
ズルを形成することが可能であり、製造工程が簡素化さ
れ、生産性が良好となる。
Further, in the printer of this embodiment,
The nozzle forming portion of the print head, that is, the portion other than the portion formed by the polyimide polymer of the nozzle forming portion of the print head is exposed to polysulfone or polyethersulfone, and further, to water of 23 (° C.).
Since it is formed of a polyimide-based polymer having a water absorption of 1.0 (%) or more when immersed for a time, it is possible to form a nozzle by processing them by ablation using an excimer laser. In addition, the manufacturing process is simplified, and the productivity is improved.

【0094】また、これら材料のエキシマレーザによる
アブレーション加工特性が非常に優れていることから、
ノズルがバリ等の発生および剥がれの発生などの工程不
良を発生することなく形成され、製造歩留まりも向上
し、このことからも本例のプリンタ装置においては生産
性が良好となる。
Also, since the ablation characteristics of these materials by excimer laser are very excellent,
The nozzles are formed without causing process defects such as generation of burrs and the like and occurrence of peeling, and the production yield is improved, which also improves the productivity of the printer of the present embodiment.

【0095】そして、本例のプリンタ装置においては、
高分子膜がポリイミド系高分子に加えてBT樹脂又はエ
ポキシ系樹脂とを含有しているので、高分子膜とプリン
トヘッドとの密着性が増すとともに、高分子膜の機械的
強度が増し、高分子膜の剥離等が防止される。これによ
り、このプリンタ装置においては、ノズル1開口部周辺
の撥液性が長期に亘って維持される。
In the printer of this embodiment,
Since the polymer film contains a BT resin or an epoxy resin in addition to the polyimide-based polymer, the adhesion between the polymer film and the print head is increased, and the mechanical strength of the polymer film is increased. Separation of the molecular film is prevented. Thereby, in this printer device, the liquid repellency around the opening of the nozzle 1 is maintained for a long time.

【0096】次に、インクと希釈液を混合吐出するプリ
ンタ装置に本発明を適用した例について述べる。
Next, an example in which the present invention is applied to a printer apparatus for mixing and discharging ink and a diluting liquid will be described.

【0097】本例のプリンタ装置は、図10に示すよう
に、第1のノズル41、吐出媒体圧力室42、吐出媒体
供給流路43、吐出媒体供給口44と、第2のノズル5
1、定量媒体圧力室52、定量媒体供給流路53、定量
媒体供給口54が形成されているオリフィスプレート部
材46と、少なくとも上記吐出媒体圧力室42及び定量
媒体圧力室52に対応する位置にそれぞれ配される第1
の圧力素子48及び第2の圧電素子58により主に構成
されるプリントヘッドを有するものであり、この他に駆
動装置や制御装置を有することは言うまでもない。
As shown in FIG. 10, the printer of this embodiment includes a first nozzle 41, a discharge medium pressure chamber 42, a discharge medium supply passage 43, a discharge medium supply port 44, and a second nozzle 5
1. An orifice plate member 46 in which a fixed-medium pressure chamber 52, a fixed-medium supply passage 53, and a fixed-medium supply port 54 are formed, and at least positions corresponding to the discharge medium pressure chamber 42 and the fixed-medium pressure chamber 52, respectively. The first to be distributed
It is needless to say that it has a print head mainly constituted by the pressure element 48 and the second piezoelectric element 58, and further includes a driving device and a control device.

【0098】上記オリフィスプレート部材46は、圧力
室やノズル等を形成する凹部を有する基板62と上記各
凹部を塞ぐ蓋部材としての機能を兼ね備える振動板47
により構成される。
The orifice plate member 46 is composed of a substrate 62 having concave portions forming pressure chambers and nozzles, and a vibrating plate 47 having a function as a cover member for closing the concave portions.
It consists of.

【0099】上記基板62には、吐出媒体圧力室42を
形成する第1の凹部69、吐出媒体供給流路43を形成
し、第1の凹部69よりも深さが浅い第2の凹部70、
吐出媒体供給口44を形成し、第2の凹部70よりも深
さが深い第3の凹部71が、連続して一主面62a側に
開口して形成され、かつ第1の凹部69の底面側から一
主面62aの裏面62bにわたる貫通孔であるノズル4
1が形成されている。
In the substrate 62, a first concave portion 69 forming the discharge medium pressure chamber 42 and a discharge medium supply channel 43 are formed, and a second concave portion 70 having a depth smaller than that of the first concave portion 69.
A third recess 71, which forms the ejection medium supply port 44 and is deeper than the second recess 70, is continuously opened to the one main surface 62 a side, and a bottom surface of the first recess 69. Nozzle 4 which is a through hole extending from the side to the back surface 62b of the one main surface 62a
1 is formed.

【0100】さらに、上記基板62には、定量媒体圧力
室52を形成する第4の凹部59、定量媒体供給流路5
3を形成し、第4の凹部59よりも深さが浅い第5の凹
部60、定量媒体供給口54を形成し、第5の凹部60
よりも深さが深い第6の凹部61が、連続して一主面6
2a側に開口して形成され、かつ第4の凹部59の底面
側から一主面62aの裏面62bにわたる貫通孔である
第2のノズル51が形成されている。
Further, the substrate 62 has a fourth concave portion 59 for forming the quantitative medium pressure chamber 52 and a quantitative medium supply flow path 5.
3 is formed, a fifth concave portion 60 having a depth smaller than that of the fourth concave portion 59, and a quantitative medium supply port 54 are formed.
The sixth concave portion 61 having a depth greater than that of the first main surface 6 is continuously formed.
A second nozzle 51 is formed which is opened to the side 2a and is a through hole extending from the bottom surface of the fourth recess 59 to the back surface 62b of the one main surface 62a.

【0101】そして、上記第1のノズル41と第2のノ
ズル51が隣合って形成されており、これら第1及び第
2のノズル41,51を挟むようにして吐出及び定量媒
体圧力室42,52、吐出及び定量媒体供給流路43,
53、吐出及び定量媒体供給口44,54が順次形成さ
れていることとなる。
The first nozzle 41 and the second nozzle 51 are formed adjacent to each other, and the discharge and quantitative medium pressure chambers 42, 52, Discharge and metering medium supply channel 43,
53, the discharge and metering medium supply ports 44 and 54 are sequentially formed.

【0102】上記各凹部は、例えば断面略コ字状、略U
字状の溝部として形成すれば良く、第1及び第2のノズ
ル41,51は、例えば裏面62b側に向かうに従って
細くなる断面円形、或いは楕円、矩形状の貫通孔として
形成すれば良い。
Each of the concave portions has, for example, a substantially U-shaped cross section and a substantially U-shaped cross section.
The first and second nozzles 41 and 51 may be formed as through-holes having a circular, elliptical, or rectangular cross section that becomes thinner toward the back surface 62b, for example.

【0103】すなわち、第3の凹部71と振動板47間
の空間が吐出媒体供給口44となり、第2の凹部70と
振動板47間の空間が吐出媒体供給流路43となり、第
1の凹部69と振動板47間の空間が吐出媒体圧力室4
2となり、これらは連続した空間として形成され、さら
にこれに第1のノズル41も連続して形成されることと
なる。なお、振動板47の第3の凹部71に対応する部
分の一部には開口部65が形成されている。
That is, the space between the third concave portion 71 and the diaphragm 47 becomes the discharge medium supply port 44, the space between the second concave portion 70 and the diaphragm 47 becomes the discharge medium supply flow path 43, and the first concave portion The space between 69 and the diaphragm 47 is the discharge medium pressure chamber 4
2 and these are formed as a continuous space, and the first nozzle 41 is also formed continuously therewith. Note that an opening 65 is formed in a part of the diaphragm 47 corresponding to the third recess 71.

【0104】そして、上記吐出媒体供給口44の開口部
65には、図示しない外部の吐出媒体タンクより吐出媒
体を供給するための吐出媒体供給管66が接続されてい
る。
A discharge medium supply pipe 66 for supplying a discharge medium from an external discharge medium tank (not shown) is connected to the opening 65 of the discharge medium supply port 44.

【0105】従って、外部の吐出媒体タンクより吐出媒
体64は吐出媒体供給管66を介して吐出媒体供給口4
4に供給され、この吐出媒体供給口44から吐出媒体供
給流路43、吐出媒体圧力室42、第1のノズル41へ
と充填されることとなる。
Accordingly, the discharge medium 64 is supplied from the external discharge medium tank to the discharge medium supply port 4 through the discharge medium supply pipe 66.
4, and is filled from the discharge medium supply port 44 into the discharge medium supply flow path 43, the discharge medium pressure chamber 42, and the first nozzle 41.

【0106】一方、第6の凹部61と振動板47間の空
間が定量媒体供給口54となり、第5の凹部60と振動
板47間の空間が定量媒体供給流路53となり、第4の
凹部59と振動板47間の空間が定量媒体圧力室52と
なり、これらは連続した空間として形成され、さらにこ
れに第2のノズル51も連続して形成されることとな
る。なお、振動板47の第6の凹部61に対応する部分
の一部には開口部75が形成されている。
On the other hand, the space between the sixth concave portion 61 and the diaphragm 47 becomes the quantitative medium supply port 54, the space between the fifth concave portion 60 and the diaphragm 47 becomes the quantitative medium supply channel 53, and the fourth concave portion The space between 59 and the diaphragm 47 becomes the fixed-medium pressure chamber 52, which is formed as a continuous space, and the second nozzle 51 is also formed continuously. An opening 75 is formed in a part of the diaphragm 47 corresponding to the sixth recess 61.

【0107】そして、上記定量媒体供給口54の開口部
75には、図示しない外部の定量媒体タンクより定量媒
体を供給するための定量媒体供給管76が接続されてい
る。
The metering medium supply pipe 76 for supplying a metering medium from an external metering medium tank (not shown) is connected to the opening 75 of the metering medium supply port 54.

【0108】従って、外部の定量媒体タンクより定量媒
体74は定量媒体供給管76を介して定量媒体供給口5
4に供給され、この定量媒体供給口54から定量媒体供
給流路53、定量媒体圧力室52、第2のノズル51へ
と充填されることとなる。
Therefore, the measuring medium 74 is supplied from the external measuring medium tank through the measuring medium supply pipe 76 to the measuring medium supply port 5.
4 to be supplied to the fixed-medium supply passage 53, the fixed-medium pressure chamber 52, and the second nozzle 51.

【0109】また、上記振動板47は、吐出媒体圧力室
42及び定量媒体圧力室52に対応する部分が変位し易
いように、その一部に切り込みを入れた部材として配さ
れている。
The vibrating plate 47 is provided as a member having a cut in a part thereof so that the part corresponding to the discharge medium pressure chamber 42 and the part corresponding to the fixed medium pressure chamber 52 are easily displaced.

【0110】さらに、上記圧力素子48,58として
は、積層ピエゾ素子等が挙げられ、本例においては積層
ピエゾ素子を使用した例を示している。この圧力素子4
8は、上述のように振動板47上の吐出媒体圧力室42
に対応する部分に圧力素子48の長手方向が振動板47
に直交するように配され、反対側が支持体49により固
定されている。他方の圧力素子58も同様であり、上述
のように振動板47上の定量媒体圧力室52に対応する
部分に同様に配され、反対側が支持体50により固定さ
れている。
Further, as the pressure elements 48 and 58, a laminated piezo element and the like can be mentioned. In this embodiment, an example using a laminated piezo element is shown. This pressure element 4
8 is the discharge medium pressure chamber 42 on the diaphragm 47 as described above.
The longitudinal direction of the pressure element 48 is
And the other side is fixed by a support 49. The same applies to the other pressure element 58, which is similarly arranged in the portion corresponding to the fixed-medium pressure chamber 52 on the vibration plate 47 as described above, and the opposite side is fixed by the support 50.

【0111】上記圧力素子48,58を構成する積層ピ
エゾ素子は、電圧の印加に応じて長手方向に伸縮する。
このとき、一端側が支持体49,50により固定されて
いるため、圧力素子48,58が伸長すると、図中矢印
1 ,P2で示すような方向に振動板47が押圧され
る。そして、これに伴って吐出媒体圧力室42の吐出媒
体64及び定量媒体圧力室52の定量媒体74に圧力が
加わり、吐出媒体64は第1のノズル41から定量媒体
74は第2のノズル51から押し出される。なお、この
とき、吐出及び定量媒体供給流路43,53は吐出及び
定量媒体圧力室42,52よりも狭いことから吐出及び
定量媒体64,74が吐出及び定量媒体供給口44,5
4側に大量に逆流することはない。
The laminated piezo elements constituting the pressure elements 48 and 58 expand and contract in the longitudinal direction in response to application of a voltage.
At this time, since the one end side is fixed by the supports 49 and 50, when the pressure elements 48 and 58 extend, the diaphragm 47 is pressed in the directions indicated by arrows P 1 and P 2 in the figure. Along with this, pressure is applied to the discharge medium 64 of the discharge medium pressure chamber 42 and the quantification medium 74 of the quantification medium pressure chamber 52, and the discharge medium 64 is from the first nozzle 41 and the quantification medium 74 is from the second nozzle 51. Extruded. At this time, the discharge and quantification medium supply passages 43 and 53 are narrower than the discharge and quantification medium pressure chambers 42 and 52, so that the discharge and quantification mediums 64 and 74 are discharged and quantified medium supply ports 44 and 5.
There is no large backflow to the 4 side.

【0112】本例のプリンタ装置により印刷を行う際に
は、先ず、圧力素子58により定量媒体圧力室52内の
定量媒体74を加圧して第2のノズル51より所定量の
定量媒体74を第1のノズル41側に向けて押し出し、
第1のノズル41の開口近傍に供給し、この開口近傍に
おいて吐出媒体64と混合させる。なお、このとき圧力
素子58に印加する電圧の強弱或いはパルス幅等により
定量媒体74の押し出し量が制御される。
When printing is performed by the printer device of this embodiment, first, the pressure element 58 pressurizes the fixed amount medium 74 in the fixed amount medium pressure chamber 52 and a predetermined amount of the fixed amount medium 74 is discharged from the second nozzle 51. Extruded toward the first nozzle 41 side,
The liquid is supplied to the vicinity of the opening of the first nozzle 41 and mixed with the ejection medium 64 in the vicinity of the opening. At this time, the pushing amount of the quantitative medium 74 is controlled by the intensity of the voltage applied to the pressure element 58 or the pulse width.

【0113】次に、圧電素子48により吐出媒体圧力室
42内の吐出媒体64を加圧し、吐出媒体64とともに
第1のノズル41の開口近傍の定量媒体74と吐出媒体
64の混合液を図示しない被記録材に向けて吐出する。
そして、諧調は定量媒体の押し出し量を変化させてドッ
トの濃度を変化させて表現すれば良い。なお、吐出媒体
及び定量媒体としては、何れか一方がインクであり、他
方が希釈液とされていれば良い。
Next, the discharge medium 64 in the discharge medium pressure chamber 42 is pressurized by the piezoelectric element 48, and the mixed liquid of the quantitative medium 74 and the discharge medium 64 near the opening of the first nozzle 41 together with the discharge medium 64 is not shown. Discharges toward the recording material.
Then, the gradation may be expressed by changing the dot density by changing the amount of extrusion of the quantitative medium. Note that any one of the ejection medium and the measurement medium may be ink and the other may be a diluting liquid.

【0114】そして、本例のプリンタ装置のプリントヘ
ッドにおいては、図11に拡大して示すように、オリフ
ィスプレート部材46の第1及び第2のノズル41,5
1の開口面、すなわち基板62の第1及び第2のノズル
41,51の開口面となる裏面62b側の少なくとも第
1及び第2のノズル41,51開口部周辺に高分子膜7
9が配されている。なお、本例のプリンタ装置において
は、図10にも示すように高分子膜79が裏面62b側
の全面にわたって配されている。
In the print head of the printer of the present embodiment, as shown in FIG. 11, the first and second nozzles 41, 5 of the orifice plate member 46 are enlarged.
The polymer film 7 is formed on at least the periphery of the opening of the first and second nozzles 41 and 51 on the side of the back surface 62b which is the opening of the first and second nozzles 41 and 51 of the substrate 62.
9 are arranged. In the printer of the present embodiment, as shown in FIG. 10, a polymer film 79 is disposed over the entire back surface 62b.

【0115】高分子膜79は、ポリイミド系高分子と、
樹脂材料とが混合されてなる混合樹脂からなる。
The polymer film 79 includes a polyimide polymer and
It is made of a mixed resin obtained by mixing a resin material.

【0116】ポリイミド系高分子としては、種々のもの
が挙げられるが、中でも全芳香族ポリイミドが好まし
い。さらに、下記化9に示されるような構造を含むもの
が好ましい。
As the polyimide-based polymer, various ones can be mentioned, and among them, a wholly aromatic polyimide is preferable. Further, those having a structure represented by the following formula 9 are preferable.

【0117】[0117]

【化9】 Embedded image

【0118】さらにまた、下記化10に示されるような
構造を含むものも好ましい。
Further, those having a structure as shown in the following formula 10 are also preferable.

【0119】[0119]

【化10】 Embedded image

【0120】なお、上記ポリイミド系高分子は、23
(℃)の水中に24時間浸積させた場合の吸水率が0.
4(%)以下のものであることが好ましい。
The above-mentioned polyimide-based polymer is
(° C.) when immersed in water for 24 hours.
It is preferably 4 (%) or less.

【0121】また、上記ポリイミド系高分子は180
(℃)以下の加熱により重合形成されるものであること
が好ましい。
The polyimide-based polymer is 180
It is preferable that the polymer is formed by heating at a temperature of (° C.) or lower.

【0122】さらに、上記ポリイミド系高分子はポリイ
ミドシロキサンであることが好ましい。
Further, it is preferable that the polyimide polymer is polyimide siloxane.

【0123】このようなポリイミドシロキサンとして
は、下記化11に示すような構造を有するものが挙げら
れる。
Examples of such a polyimidesiloxane include those having a structure as shown in the following chemical formula (11).

【0124】[0124]

【化11】 Embedded image

【0125】このようなポリイミドシロキサンとして
は、下記化12に示すような構造を有するものも挙げら
れる。
Examples of such a polyimidesiloxane include those having a structure as shown in the following chemical formula (12).

【0126】[0126]

【化12】 Embedded image

【0127】なお、これらポリイミドシロキサンにおい
ては、イミド結合の窒素と結合する芳香族炭化水素部分
の一部がシロキサンにより置換されてなるものであり、
Siのポリイミドに対する含有量が3(重量%)〜25
(重量%)であることが好ましい。
In these polyimide siloxanes, a part of the aromatic hydrocarbon portion bonded to the nitrogen of the imide bond is substituted by the siloxane.
The content of Si to polyimide is 3 (% by weight) to 25.
(% By weight).

【0128】そして、このようなポリイミド系高分子と
しては、宇部興産(株)社製のユピコートFS−100
L(商品名)やユピファインFP−100(商品名)等
が挙げられる。
[0128] Such polyimide-based polymers include Upicoat FS-100 manufactured by Ube Industries, Ltd.
L (trade name) and Iupine Fine FP-100 (trade name).

【0129】また、上記ポリイミド系高分子と混合され
る樹脂材料としては、ビスマレイミド・トリアジン樹脂
(以下、BT樹脂と称する。)、エポキシ系樹脂、又は
BT樹脂とエポキシ系樹脂との混合体が挙げられる。
The resin material mixed with the polyimide-based polymer may be a bismaleimide-triazine resin (hereinafter, referred to as a BT resin), an epoxy resin, or a mixture of a BT resin and an epoxy resin. No.

【0130】ここで、上記BT樹脂は、上述したよう
に、トリアジン樹脂(T成分)を主成分とし、多官能マ
レイミド化合物(B成分)又は他の改質用化合物より構
成された、高耐熱付加重合型熱硬化性樹脂の総称であ
る。
As described above, the BT resin contains a triazine resin (T component) as a main component and is composed of a polyfunctional maleimide compound (B component) or another modifying compound. It is a general term for a polymerizable thermosetting resin.

【0131】このようなBT樹脂は、シアネート基をは
じめとして活性不飽和二重結合を有する活性官能基等を
有しているため、他の様々な官能基を有する化合物と容
易に反応する。従って、BT樹脂は各種の樹脂や添加剤
との変性が簡単で、これらの変性により、より広範な性
能や作業性が実現するという大きな特徴を有する。
Since such a BT resin has an active functional group having an active unsaturated double bond such as a cyanate group, it easily reacts with other compounds having various functional groups. Therefore, the BT resin has a great feature that it can be easily modified with various resins and additives, and a wide range of performance and workability can be realized by these modifications.

【0132】上述したようなBT樹脂の推定構造を化1
3に示す。
The above-mentioned estimated structure of the BT resin is represented by
3 is shown.

【0133】[0133]

【化13】 Embedded image

【0134】このようなBT樹脂として具体的には、三
菱瓦斯(株)社製のBT2060B(商品名)、BT−
A300(商品名)、BT−A301(商品名)、BT
−A304(商品名)、BT2117(商品名)等が挙
げられる。
Specific examples of such a BT resin include BT2060B (trade name) and BT- manufactured by Mitsubishi Gas Corporation.
A300 (product name), BT-A301 (product name), BT
-A304 (product name), BT2117 (product name) and the like.

【0135】また、エポキシ系樹脂としては、フェノー
ルノボラック型エポキシ樹脂や、クレゾールノボラック
型エポキシ樹脂等が挙げられる。具体的には、化14に
示すチバガイキー(株)社製のEPNシリーズ(商品
名)や、化15に示すチバガイキー(株)社製のECN
シリーズ(商品名)等が挙げられる。
Examples of the epoxy resin include a phenol novolak type epoxy resin and a cresol novolak type epoxy resin. Specifically, EPN series (trade name) manufactured by Ciba-Gaikey Co., Ltd. shown in Chemical Formula 14, and ECN series manufactured by Ciba-Gaikey Co., Ltd. shown in Chemical Formula 15
Series (product name) and the like.

【0136】[0136]

【化14】 Embedded image

【0137】[0137]

【化15】 Embedded image

【0138】また、上述した樹脂の他にもエポキシ系樹
脂として、化16に示す旭チバ(株)社製のARALD
ITE−MY721(商品名)や、ARALDITE−
ECN1273(商品名)、チバスペシャリティーケミ
カルズ(株)社製のAZ15(商品名)等を使用するこ
とができる。
In addition to the above resins, epoxy resins such as ARALD manufactured by Asahi Ciba Co., Ltd.
ITE-MY721 (trade name), ARALDITE-
ECN1273 (trade name), AZ15 (trade name) manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd., or the like can be used.

【0139】[0139]

【化16】 Embedded image

【0140】ポリイミド系高分子にBT樹脂又はエポキ
シ系樹脂を混合することで、高分子膜79と基板62と
の密着性を高め、高分子膜79の機械的強度を向上する
ことができる。
By mixing the BT resin or the epoxy resin with the polyimide polymer, the adhesiveness between the polymer film 79 and the substrate 62 can be increased, and the mechanical strength of the polymer film 79 can be improved.

【0141】そして、上述したようなBT樹脂又はエポ
キシ系樹脂の割合は、ポリイミド系高分子に対して0.
01重量%以上、90重量%以下の範囲であることが好
ましい。BT樹脂又はエポキシ系樹脂の割合が、ポリイ
ミド系高分子に対して0.01重量%よりも少ないと、
高分子膜79の機械的強度を向上させる効果が十分に得
られない。また、BT樹脂又はエポキシ系樹脂の割合
が、ポリイミド系高分子に対して90重量%を越える
と、高分子膜79の撥液性が低下してしまう。従って、
BT樹脂又はエポキシ系樹脂の割合を、ポリイミド系高
分子に対して0.01重量%以上、90重量%以下の範
囲とすることで、高分子膜79の優れた撥液性と機械的
強度とを両立することができる。
Then, the ratio of the BT resin or the epoxy resin as described above is 0.1% with respect to the polyimide polymer.
The content is preferably in the range of 01% by weight or more and 90% by weight or less. When the ratio of the BT resin or the epoxy resin is less than 0.01% by weight based on the polyimide polymer,
The effect of improving the mechanical strength of the polymer film 79 cannot be sufficiently obtained. If the ratio of the BT resin or the epoxy resin exceeds 90% by weight based on the weight of the polyimide polymer, the liquid repellency of the polymer film 79 is reduced. Therefore,
By setting the ratio of the BT resin or the epoxy resin in the range of 0.01% by weight or more and 90% by weight or less with respect to the polyimide-based polymer, the polymer film 79 has excellent liquid repellency and mechanical strength. Can be compatible.

【0142】なお、BT樹脂とエポキシ系樹脂との混合
体をポリイミド系高分子と混合する場合にも、BT樹脂
とエポキシ系樹脂との総和がポリイミド系高分子に対し
て0.01重量%以上、90重量%以下の範囲であるこ
とが好ましい。ポリイミド系高分子にBT樹脂とエポキ
シ系樹脂との両方を混合する場合には、高分子膜79に
硬化剤を添加する必要がなくなる。そして、高分子膜7
9の硬化剤に起因する特性劣化を無くすことができる。
When a mixture of a BT resin and an epoxy resin is mixed with a polyimide polymer, the total of the BT resin and the epoxy resin is 0.01% by weight or more based on the polyimide polymer. , 90% by weight or less. When both the BT resin and the epoxy resin are mixed with the polyimide polymer, it is not necessary to add a curing agent to the polymer film 79. And the polymer film 7
The deterioration of characteristics caused by the curing agent of No. 9 can be eliminated.

【0143】本例のプリンタ装置においては、プリント
ヘッドの第1及び第2のノズル41,51開口面側の少
なくとも第1及び第2のノズル41,51開口部周辺に
撥液性を有する高分子膜79が形成されていることか
ら、第1及び第2のノズル41,51開口部周辺におけ
る撥液性が確保される。すなわち、インクと希釈液の混
合が行われない待機状態において、インクと希釈液が確
実に分離され、ドット毎のインクと希釈液の混合比率が
正確に制御され、画像データに応じた諧調を正確に表現
することが可能であり、高解像度の記録画像の形成が可
能となる。
In the printer of this embodiment, a polymer having liquid repellency is provided at least around the openings of the first and second nozzles 41 and 51 on the opening side of the first and second nozzles 41 and 51 of the print head. Since the film 79 is formed, liquid repellency around the openings of the first and second nozzles 41 and 51 is ensured. In other words, in a standby state in which the ink and the diluent are not mixed, the ink and the diluent are reliably separated, the mixing ratio of the ink and the diluent for each dot is accurately controlled, and the gradation according to the image data is accurately determined. And a high-resolution recorded image can be formed.

【0144】そして、本例のプリンタ装置においては、
高分子膜79がポリイミド系高分子に加えてBT樹脂又
はエポキシ系樹脂とを含有しているので、高分子膜79
とプリントヘッドとの密着性が増すとともに、高分子膜
79の機械的強度が増し、高分子膜79の剥離等が防止
される。これにより、このプリンタ装置においては、ノ
ズル1開口部周辺の撥液性が長期に亘って維持される。
Then, in the printer of this embodiment,
Since the polymer film 79 contains a BT resin or an epoxy resin in addition to the polyimide polymer, the polymer film 79
The adhesion between the polymer film 79 and the print head is increased, and the mechanical strength of the polymer film 79 is increased. Thereby, in this printer device, the liquid repellency around the opening of the nozzle 1 is maintained for a long time.

【0145】次に、上述のようなプリンタ装置の製造方
法について述べる。なお、ここでは、プリントヘッドの
製造方法についてのみ述べる。先ず、図12に示すよう
に、第1の凹部69、第2の凹部70、第3の凹部7
1、第4の凹部59、第5の凹部60、第6の凹部61
が一主面62a側に臨んで開口して形成される基板62
を製造する。なお、これら第1の凹部69、第2の凹部
70、第3の凹部71は連続して形成されており、これ
らの形状は前述の通りである。また、第4の凹部59、
第5の凹部60、第6の凹部61も連続して形成されて
おり、これらの形状は前述の通りである。この基板62
の製造方法としては、射出成形法或いは圧縮成形法等が
挙げられ、これを構成する材料としては、この種のプリ
ンタ装置に使用される材料であれば、何れでも良いが、
ポリサルフォン或いはポリエーテルサルフォンが好まし
い。
Next, a method of manufacturing the above-described printer will be described. Here, only the method of manufacturing the print head will be described. First, as shown in FIG. 12, a first recess 69, a second recess 70, a third recess 7
1, fourth recess 59, fifth recess 60, sixth recess 61
62 is formed so as to open toward one main surface 62a.
To manufacture. The first concave portion 69, the second concave portion 70, and the third concave portion 71 are formed continuously, and their shapes are as described above. Also, the fourth recess 59,
The fifth concave portion 60 and the sixth concave portion 61 are also formed continuously, and their shapes are as described above. This substrate 62
Examples of the production method include an injection molding method and a compression molding method. As a material constituting the material, any material may be used as long as it is a material used for this type of printer.
Polysulfone or polyethersulfone is preferred.

【0146】次に、図13に示すように、基板62の一
主面62aの反対側の裏面62b上に高分子膜79を形
成する。このとき、上記高分子膜79としては、前述の
高分子膜19と同様に、23(℃)の水中に24時間浸
積させた場合の吸水率が0.4以下で、180(℃)以
下の加熱により重合形成されるポリイミドシロキサン
と、BT樹脂又はエポキシ系樹脂との混合樹脂を10
(μm)〜30(μm)程度の厚さで成膜したものが好
ましい。
Next, as shown in FIG. 13, a polymer film 79 is formed on the back surface 62b opposite to the one main surface 62a of the substrate 62. At this time, the polymer film 79 has a water absorption of 0.4 or less and 180 (° C.) or less when immersed in 23 (° C.) water for 24 hours, similarly to the polymer film 19 described above. Mixed resin of polyimide siloxane polymerized and formed with BT resin or epoxy resin
(Μm) to 30 (μm) are preferable.

【0147】このような吸水率が0.4以下のポリイミ
ド系高分子材料としては、例えば、宇部興産(株)社製
のポリイミド系オーバーコートインク、ユピコートFS
−100L(商品名)が挙げられる。この宇部興産
(株)社製のポリイミド系オーバーコートインク、ユピ
コートFS−100L(商品名)は、E型粘度計を使用
して25(℃)の条件下で測定した粘度が220±20
ポイズのインク状である。
Examples of such a polyimide-based polymer material having a water absorption of 0.4 or less include a polyimide-based overcoat ink manufactured by Ube Industries, Ltd. and Upicoat FS
-100 L (trade name). This polyimide-based overcoat ink Upicoat FS-100L (trade name) manufactured by Ube Industries, Ltd. has a viscosity of 220 ± 20 measured at 25 ° C. using an E-type viscometer.
It is a poise ink.

【0148】また、BT樹脂としては、例えば、三菱瓦
斯化学(株)社製のBT2060B(商品名)、BT−
A300(商品名)、BT−A301(商品名)、BT
−A304(商品名)、BT2117(商品名)等が挙
げられる。
Examples of the BT resin include BT2060B (trade name) manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd.
A300 (product name), BT-A301 (product name), BT
-A304 (product name), BT2117 (product name) and the like.

【0149】また、エポキシ系樹脂としては、例えば、
チバガイキー(株)社製のEPNシリーズ(商品名)、
チバガイキー(株)社製のECNシリーズ(商品名)、
旭チバ(株)社製のARALDITE−MY721(商
品名)、旭チバ(株)社製のARALDITE−ECN
1273(商品名)、チバスペシャリティーケミカルズ
(株)社製のAZ15(商品名)等が挙げられる。
Further, as the epoxy resin, for example,
EPN series (trade name) manufactured by Ciba-Gay Key Co., Ltd.
ECN series (trade name) manufactured by Ciba-Gay Key Co., Ltd.
ARALDITE-MY721 (trade name) manufactured by Asahi Ciba Co., Ltd., ARALDITE-ECN manufactured by Asahi Ciba Co., Ltd.
1273 (trade name) and AZ15 (trade name) manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.

【0150】高分子膜79を基板12上に配するには、
これらの樹脂をメチルエチルケトン等の溶媒に溶解し、
この溶液をスピンコート等により塗布した後、加熱によ
り重合形成すれば良い。
For disposing the polymer film 79 on the substrate 12,
Dissolve these resins in a solvent such as methyl ethyl ketone,
This solution may be applied by spin coating or the like and then polymerized by heating.

【0151】次に、図14に示すように、基板62の第
1の凹部69の底面から当該基板62及び高分子膜79
を貫通する第1のノズル41をエキシマレーザ加工機を
用いて形成する。また、基板62の第4の凹部59の底
面から当該基板62及び高分子膜79を貫通する第2の
ノズル51をエキシマレーザ加工機を用いて形成する。
本例のプリンタ装置においては、基板62を形成するポ
リサルフォン或いはポリエーテルサルフォン、高分子膜
79を形成するポリイミド系高分子の何れもがエキシマ
レーザによるアブレーション加工が可能な材料であるた
め、このように第1及び第2のノズル41,51をエキ
シマレーザによるアブレーション加工で形成することが
可能である。従って、本例のプリンタ装置においては、
ノズル形成工程が簡素化され、生産性が良好となる。
Next, as shown in FIG. 14, the substrate 62 and the polymer film 79 are removed from the bottom of the first concave portion 69 of the substrate 62.
Is formed using an excimer laser processing machine. Further, a second nozzle 51 penetrating through the substrate 62 and the polymer film 79 from the bottom surface of the fourth concave portion 59 of the substrate 62 is formed using an excimer laser processing machine.
In the printer device of this example, polysulfone or polyethersulfone forming the substrate 62 and polyimide-based polymer forming the polymer film 79 are all materials that can be ablated by excimer laser. The first and second nozzles 41 and 51 can be formed by ablation using an excimer laser. Therefore, in the printer of this example,
The nozzle forming process is simplified, and the productivity is improved.

【0152】また、これらポリサルフォンおよびポリエ
ーテルサルフォン、ポリイミド系高分子におけるエキシ
マレーザによるアブレーション加工特性が非常に優れて
いることから、上記第1及び第2のノズル41,51
は、バリ等の発生および剥がれの発生などの工程不良を
発生することなく形成され、製造歩留まりも向上し、こ
のことからも本例のプリンタ装置においては生産性が良
好となる。なお、高分子膜79に含有されるBT樹脂又
はエポキシ樹脂は、高分子膜79のアブレーション加工
性を妨げるものではない。
Since the polysulfone, polyethersulfone, and polyimide polymers have very good ablation characteristics with an excimer laser, the first and second nozzles 41 and 51 can be used.
Are formed without generating process defects such as generation of burrs and the like and peeling, and the production yield is improved, which also improves the productivity of the printer of the present embodiment. The BT resin or the epoxy resin contained in the polymer film 79 does not hinder the ablation processability of the polymer film 79.

【0153】次に、図15に示すように、基板62の各
凹部開口面である一主面62a側に振動板47を配し、
第3の凹部71と振動板47間の空間を吐出媒体供給口
44とし、第2の凹部70と振動板47間の空間を吐出
媒体供給流路43とし、第1の凹部69と振動板47間
の空間を吐出媒体圧力室42とする。そして、これらは
連続した空間として形成され、さらにこれに第1のノズ
ル41も連続して形成されることとなる。なお、上記振
動板47の第3の凹部71に対応する位置の一部に開口
部65が形成され、吐出媒体供給口44の一部が開口し
ていることは言うまでもない。
Next, as shown in FIG. 15, a vibration plate 47 is arranged on one principal surface 62a side, which is the opening surface of each concave portion of the substrate 62,
The space between the third concave portion 71 and the vibration plate 47 is the discharge medium supply port 44, the space between the second concave portion 70 and the vibration plate 47 is the discharge medium supply flow path 43, and the first concave portion 69 and the vibration plate 47 The space therebetween is defined as a discharge medium pressure chamber 42. These are formed as a continuous space, and further, the first nozzle 41 is also formed continuously. It is needless to say that an opening 65 is formed in a part of the diaphragm 47 at a position corresponding to the third recess 71, and a part of the discharge medium supply port 44 is open.

【0154】また、この振動板47を配することによ
り、第6の凹部61と振動板47間の空間を定量媒体供
給口54とし、第5の凹部60と振動板47間の空間を
定量媒体供給流路53とし、第1の凹部59と振動板4
7間の空間を定量媒体圧力室52とする。そして、これ
らは連続した空間として形成され、さらにこれに第2の
ノズル51も連続して形成されることとなる。なお、上
記振動板47の第6の凹部61に対応する位置の一部に
開口部75が形成され、定量媒体供給口54の一部が開
口していることは言うまでもない。
Further, by disposing the diaphragm 47, the space between the sixth concave portion 61 and the diaphragm 47 is used as the quantitative medium supply port 54, and the space between the fifth concave portion 60 and the diaphragm 47 is defined as the quantitative medium. The supply channel 53 is used as the first recess 59 and the diaphragm 4
The space between 7 is defined as a fixed-medium pressure chamber 52. These are formed as a continuous space, and the second nozzle 51 is also formed continuously. It is needless to say that an opening 75 is formed in a part of the diaphragm 47 at a position corresponding to the sixth recess 61, and a part of the fixed-medium supply port 54 is open.

【0155】また、この振動板47においては、吐出及
び定量媒体圧力室42,52に対応する位置が変位し易
いように、その一部に切り込みが入れられていることは
言うまでもない。
It is needless to say that a part of the vibrating plate 47 is notched so that the positions corresponding to the discharge and metering medium pressure chambers 42 and 52 are easily displaced.

【0156】さらに、上記振動板47上の吐出媒体圧力
室42に対応する部分に積層ピエゾ素子である圧力素子
48を配し、定量媒体圧力室52に対応する部分にも積
層ピエゾ素子である圧力素子58を配する。この圧力素
子48,58の反対側が支持体49,50により支持さ
れていることは言うまでもない。
Further, a pressure element 48, which is a laminated piezo element, is disposed on a portion of the vibration plate 47 corresponding to the discharge medium pressure chamber 42, and a pressure element, which is a laminated piezo element, is disposed also on a portion corresponding to the fixed medium pressure chamber 52. An element 58 is provided. It goes without saying that the opposite sides of the pressure elements 48, 58 are supported by supports 49, 50.

【0157】また、開口部65に接続されるように吐出
媒体供給管66を配し、開口部75に接続されるように
定量媒体供給管76を配し、プリントヘッドを完成す
る。
Further, a discharge medium supply pipe 66 is arranged so as to be connected to the opening 65, and a fixed amount medium supply pipe 76 is arranged so as to be connected to the opening 75, thereby completing a print head.

【0158】上述の例においては、所定の凹部を有する
基板62を射出成形等の手段により形成する例について
述べたが、この基板62の代わりに金属板にポリイミド
等よりなる高分子フィルムを貼り合わせたものを使用し
て製造するようにしても良い。すなわち、図16に示す
ように、金属板92の一主面92a側に高分子フィルム
91を貼り合わせ、これらにより吐出媒体圧力室を構成
する第1の凹部89、吐出媒体供給口を構成する第3の
凹部90、第1の凹部89と第3の凹部90を接続する
吐出媒体供給流路83を構成する。また、定量媒体圧力
室を構成する第4の凹部99、定量媒体供給口を構成す
る第6の凹部100、第4の凹部99と第6の凹部10
0を接続する定量媒体供給流路93を構成する。
In the above-described example, the example in which the substrate 62 having the predetermined concave portion is formed by means such as injection molding has been described. However, instead of the substrate 62, a polymer film made of polyimide or the like is bonded to a metal plate. Alternatively, it may be manufactured by using such a material. That is, as shown in FIG. 16, a polymer film 91 is bonded to one main surface 92a side of the metal plate 92, and the first concave portion 89 forming the discharge medium pressure chamber and the first concave portion forming the discharge medium supply port are formed by these. The third concave portion 90 and a discharge medium supply flow path 83 connecting the first concave portion 89 and the third concave portion 90 are formed. Further, a fourth concave portion 99 forming the fixed-medium pressure chamber, a sixth concave portion 100 forming the fixed-medium supply port, the fourth concave portion 99 and the sixth concave portion 10.
A fixed-medium supply flow path 93 connecting 0 is formed.

【0159】このような金属板92は、例えばステンレ
ス鋼等により形成すれば良く、高分子フィルム91はポ
リイミドフィルム等とすれば良い。なお、上記ポリイミ
ドフィルムにおいては、このフィルムにノズルが形成さ
れることから、ある程度濡れ性を有することが好まし
く、23(℃)の水中に24時間浸積させた場合の吸水
率が1.0(%)以上であることが好ましい。このよう
なポリイミドフィルムとしては、例えば東レ・デュポン
(株)社製のカプトンフィルム(商品名)が挙げられ
る。そして、これらの間をガラス転移温度の低いポリイ
ミド材料により貼り合わせるようにするのが好ましい。
Such a metal plate 92 may be formed of, for example, stainless steel or the like, and the polymer film 91 may be formed of a polyimide film or the like. In addition, since the polyimide film has a nozzle formed on the film, it is preferable that the polyimide film has a certain degree of wettability, and has a water absorption of 1.0 (when immersed in 23 (° C.) water for 24 hours. %) Or more. As such a polyimide film, for example, Kapton film (trade name) manufactured by Du Pont-Toray Co., Ltd. is exemplified. Then, it is preferable that the space between them is bonded with a polyimide material having a low glass transition temperature.

【0160】なお、このようにして形成された金属板9
2と高分子フィルム91よりなる基板は、前述の一体成
形の基板に耐薬品性で劣ることはなく、また、この基板
よりも耐熱性の点で優れている。
The metal plate 9 thus formed is
The substrate made of 2 and the polymer film 91 is not inferior in chemical resistance to the above-mentioned integrally molded substrate, and is superior in heat resistance to this substrate.

【0161】次に、図17に示すように、高分子フィル
ム91上に高分子膜109を形成する。このとき、上記
高分子膜109としては、前述の高分子膜19と同様
に、23(℃)の水中に24時間浸積させた場合の吸水
率が0.4以下で、180(℃)以下の加熱により重合
形成されるポリイミドシロキサンと、BT樹脂又はエポ
キシ系樹脂との混合樹脂を10(μm)〜30(μm)
程度の厚さで成膜したものが好ましい。
Next, a polymer film 109 is formed on the polymer film 91 as shown in FIG. At this time, the polymer film 109 has a water absorption of 0.4 or less and 180 (° C.) or less when immersed in 23 (° C.) water for 24 hours, similarly to the polymer film 19 described above. A mixed resin of a polyimide siloxane polymerized by heating and a BT resin or an epoxy resin is 10 (μm) to 30 (μm).
It is preferable that the film is formed to a thickness of about the same.

【0162】このような吸水率が0.4以下のポリイミ
ド系高分子材料としては、例えば、宇部興産(株)社製
のポリイミド系オーバーコートインク、ユピコートFS
−100L(商品名)が挙げられる。この宇部興産
(株)社製のポリイミド系オーバーコートインク、ユピ
コートFS−100L(商品名)は、E型粘度計を使用
して25(℃)の条件下で測定した粘度が220±20
ポイズのインク状である。
Examples of the polyimide-based polymer material having a water absorption of 0.4 or less include, for example, a polyimide-based overcoat ink manufactured by Ube Industries, Ltd. and Upicoat FS
-100 L (trade name). This polyimide-based overcoat ink Upicoat FS-100L (trade name) manufactured by Ube Industries, Ltd. has a viscosity of 220 ± 20 measured at 25 ° C. using an E-type viscometer.
It is a poise ink.

【0163】また、BT樹脂としては、例えば、三菱瓦
斯化学(株)社製のBT2060B(商品名)、BT−
A300(商品名)、BT−A301(商品名)、BT
−A304(商品名)、BT2117(商品名)等が挙
げられる。
Examples of the BT resin include BT2060B (trade name) and BT- manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Company, Ltd.
A300 (product name), BT-A301 (product name), BT
-A304 (product name), BT2117 (product name) and the like.

【0164】また、エポキシ系樹脂としては、例えば、
チバガイキー(株)社製のEPNシリーズ(商品名)、
チバガイキー(株)社製のECNシリーズ(商品名)、
旭チバ(株)社製のARALDITE−MY721(商
品名)、旭チバ(株)社製のARALDITE−ECN
1273(商品名)、チバスペシャリティーケミカルズ
(株)社製のAZ15(商品名)等が挙げられる。
Examples of the epoxy resin include, for example,
EPN series (trade name) manufactured by Ciba-Gay Key Co., Ltd.
ECN series (trade name) manufactured by Ciba-Gay Key Co., Ltd.
ARALDITE-MY721 (trade name) manufactured by Asahi Ciba Co., Ltd., ARALDITE-ECN manufactured by Asahi Ciba Co., Ltd.
1273 (trade name) and AZ15 (trade name) manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.

【0165】高分子膜109を高分子フィルム91上に
配するには、これらの樹脂をメチルエチルケトン等の溶
媒に溶解し、この溶液をスピンコート等により塗布した
後、加熱により重合形成すれば良い。
In order to dispose the polymer film 109 on the polymer film 91, these resins may be dissolved in a solvent such as methyl ethyl ketone, and this solution may be applied by spin coating or the like, and then polymerized by heating.

【0166】次に、図18に示すように、金属板62の
第1の凹部89の底面から高分子フィルム91及び高分
子膜109を貫通する第1のノズル101をエキシマレ
ーザ加工機を用いて形成する。また、金属板62の第4
の凹部99の底面から高分子フィルム91及び高分子膜
109を貫通する第2のノズル111をエキシマレーザ
加工機を用いて形成する。
Next, as shown in FIG. 18, a first nozzle 101 penetrating the polymer film 91 and the polymer film 109 from the bottom surface of the first concave portion 89 of the metal plate 62 is formed by using an excimer laser processing machine. Form. The fourth of the metal plate 62
The second nozzle 111 penetrating the polymer film 91 and the polymer film 109 from the bottom surface of the concave portion 99 is formed using an excimer laser processing machine.

【0167】本例のプリンタ装置においては、高分子フ
ィルム91を形成するポリイミド、高分子膜109を形
成するポリイミド系高分子の何れもがエキシマレーザに
よるアブレーション加工が可能な材料であるため、この
ように第1及び第2のノズル101,111をエキシマ
レーザによるアブレーション加工で形成することが可能
である。従って、本例のプリンタ装置においては、ノズ
ル形成工程が簡素化され、生産性が良好となる。
In the printer of this embodiment, the polyimide forming the polymer film 91 and the polyimide polymer forming the polymer film 109 are both materials that can be ablated by excimer laser. The first and second nozzles 101 and 111 can be formed by ablation using an excimer laser. Therefore, in the printer of the present embodiment, the nozzle forming process is simplified, and the productivity is improved.

【0168】また、これらポリイミド系高分子における
エキシマレーザによるアブレーション加工特性が非常に
優れていることから、上記第1及び第2のノズル10
1,111は、バリ等の発生および剥がれの発生などの
工程不良を発生することなく形成され、製造歩留まりも
向上し、このことからも本例のプリンタ装置においては
生産性が良好となる。なお、高分子膜109に含有され
るBT樹脂又はエポキシ樹脂は、高分子膜109のアブ
レーション加工性を妨げるものではない。
Further, since these polyimide polymers have very good ablation characteristics with an excimer laser, the first and second nozzles 10 can be used.
1, 111 are formed without generating process defects such as generation of burrs and the like and occurrence of peeling, and the production yield is improved. Therefore, the productivity is improved in the printer of the present embodiment. Note that the BT resin or the epoxy resin contained in the polymer film 109 does not hinder the ablation processability of the polymer film 109.

【0169】続いて、前述のように振動板、インク供給
管、圧電素子等を配してプリントヘッドを完成する。
Subsequently, the print head is completed by arranging the vibration plate, the ink supply tube, the piezoelectric element and the like as described above.

【0170】従って、本例のプリンタ装置においては、
プリントヘッドのノズル開口面側の少なくともノズル開
口部周辺に撥液性を有する高分子膜が形成されており、
ノズル開口部周辺の撥液性が確保される。すなわち、イ
ンクと希釈液の混合が行われない待機状態において、イ
ンクと希釈液が確実に分離され、ドット毎のインクと希
釈液の混合比率が正確に制御され、画像データに応じた
諧調を正確に表現することが可能であり、高解像度の記
録画像の形成が可能となる。
Therefore, in the printer of this embodiment,
A polymer film having liquid repellency is formed at least around the nozzle opening on the nozzle opening side of the print head,
Liquid repellency around the nozzle opening is ensured. In other words, in a standby state in which the ink and the diluent are not mixed, the ink and the diluent are reliably separated, the mixing ratio of the ink and the diluent for each dot is accurately controlled, and the gradation according to the image data is accurately determined. And a high-resolution recorded image can be formed.

【0171】さらに、インク及び希釈液の吐出安定性も
確保され、このことからも、高品位な記録画像の形成が
可能となる。
Further, the ejection stability of the ink and the diluting liquid is ensured, which also enables formation of a high-quality recorded image.

【0172】また、上記ポリイミド系高分子がエキシマ
レーザを用いたアブレーション加工に適した材料である
ことから、本例のプリンタ装置においては、エキシマレ
ーザを用いたアブレーション加工によるノズル形成が可
能であり、製造工程が簡素化され、生産性が良好とな
る。
Further, since the polyimide polymer is a material suitable for ablation processing using an excimer laser, the printer of the present embodiment can form a nozzle by ablation processing using an excimer laser. The manufacturing process is simplified, and the productivity is improved.

【0173】さらに、本例のプリンタ装置においては、
プリントヘッドのノズル形成部分、すなわちプリントヘ
ッドのノズル形成部分のポリイミド系高分子により形成
される部分以外の部分が、ポリサルフォン或いはポリエ
ーテルサルフォン、さらには、23(℃)の水中に24
時間浸積させた場合の吸水率が1.0(%)以上のポリ
イミド系高分子により形成されているため、これらをエ
キシマレーザによるアブレーション加工にて加工してノ
ズルを形成することが可能であり、製造工程が簡素化さ
れ、生産性が良好となる。
Further, in the printer of this embodiment,
The nozzle forming portion of the print head, that is, the portion other than the portion formed by the polyimide polymer of the nozzle forming portion of the print head is exposed to polysulfone or polyethersulfone, and further, to water of 23 (° C.).
Since it is formed of a polyimide-based polymer having a water absorption of 1.0 (%) or more when immersed for a time, it is possible to form a nozzle by processing them by ablation using an excimer laser. In addition, the manufacturing process is simplified, and the productivity is improved.

【0174】また、これら材料のエキシマレーザによる
アブレーション加工特性が非常に優れていることから、
ノズルがバリ等の発生および剥がれの発生などの工程不
良を発生することなく形成され、製造歩留まりも向上
し、このことからも本例のプリンタ装置においては生産
性が良好となる。
Further, since the ablation characteristics of these materials by the excimer laser are very excellent,
The nozzles are formed without causing process defects such as generation of burrs and the like and occurrence of peeling, and the production yield is improved, which also improves the productivity of the printer of the present embodiment.

【0175】そして、本例のプリンタ装置においては、
高分子膜がポリイミド系高分子に加えてBT樹脂又はエ
ポキシ系樹脂とを含有しているので、高分子膜とプリン
トヘッドとの密着性が増すとともに、高分子膜の機械的
強度が増し、高分子膜の剥離等が防止される。これによ
り、このプリンタ装置においては、ノズル1開口部周辺
の撥液性が長期に亘って維持される。
In the printer of this embodiment,
Since the polymer film contains a BT resin or an epoxy resin in addition to the polyimide-based polymer, the adhesion between the polymer film and the print head is increased, and the mechanical strength of the polymer film is increased. Separation of the molecular film is prevented. Thereby, in this printer device, the liquid repellency around the opening of the nozzle 1 is maintained for a long time.

【0176】[0176]

【実施例】本発明の効果を確認すべく、以下に示すよう
な評価実験を行った。
EXAMPLES In order to confirm the effects of the present invention, the following evaluation experiments were performed.

【0177】まず、実施例1〜実施例3では、ポリイミ
ド系高分子と混合する樹脂としてBT樹脂を用いた。
First, in Examples 1 to 3, a BT resin was used as a resin mixed with a polyimide polymer.

【0178】〈実施例1〉まず、ポリイミド系高分子を
90重量部と、BT樹脂を10重量部とを混合し、これ
を溶媒となるメチルエチルケトン中に溶解して撥液剤溶
液を調製した。この撥液剤溶液中の樹脂分はそれぞれ約
24重量%であった。
<Example 1> First, 90 parts by weight of a polyimide-based polymer and 10 parts by weight of a BT resin were mixed and dissolved in methyl ethyl ketone as a solvent to prepare a liquid repellent solution. The resin content in the liquid repellent solution was about 24% by weight.

【0179】ここで、上記ポリイミド系高分子として
は、ポリイミドシロキサン系樹脂である、宇部興産
(株)社製のユピコートFS−100L(商品名)を用
いた。また、上記BT樹脂としては、三菱瓦斯化学
(株)社製のBT2060B(商品名)を用いた。な
お、このBT2060Bは、濃度が70重量%のメチル
エチルケトン溶液とされている。
[0179] Here, as the polyimide-based polymer, Upicoat FS-100L (trade name) manufactured by Ube Industries, Ltd., which is a polyimidesiloxane-based resin, was used. As the BT resin, BT2060B (trade name) manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd. was used. This BT2060B is a methyl ethyl ketone solution having a concentration of 70% by weight.

【0180】次に、得られた撥液剤溶液を、プレート基
材上に塗布して撥液膜を形成するとともに、このプレー
ト基材をエキシマレーザ加工することによってノズルを
形成した。ノズルを形成するプレート基材としては、ポ
リイミドフィルムである、東レ・デュポン(株)社製の
カプトンV(商品名)を用いた。
Next, the obtained liquid repellent solution was applied on a plate substrate to form a liquid repellent film, and the plate substrate was subjected to excimer laser processing to form a nozzle. As a plate base material for forming the nozzle, Kapton V (trade name) manufactured by Du Pont-Toray Co., Ltd., which is a polyimide film, was used.

【0181】また、撥液剤溶液のプレート基材への塗布
は、スピンコータを用い、塗布後、90℃のオーブンで
約1時間予備硬化し、その後、さらに180℃のオーブ
ンで約1時間硬化することにより、プレート基材上に撥
液膜を形成した。この撥液膜の膜厚は約2μmであっ
た。
The liquid repellent solution is applied to the plate substrate using a spin coater, preliminarily cured in an oven at 90 ° C. for about 1 hour, and then further cured in an oven at 180 ° C. for about 1 hour. As a result, a liquid-repellent film was formed on the plate substrate. The thickness of the liquid repellent film was about 2 μm.

【0182】そして、撥液膜が形成されたプレート基材
に、エキシマレーザ加工を施すことによってノズルを形
成した。このとき、エキシマレーザ加工性を損なうこと
なく、きれいにノズルを形成することができた。
Then, nozzles were formed by performing excimer laser processing on the plate substrate on which the liquid-repellent film was formed. At this time, the nozzle could be formed neatly without impairing the excimer laser workability.

【0183】〈実施例2〉撥液剤溶液を調製する際に、
ポリイミド系高分子を70重量部と、BT樹脂を30重
量部とを混合したこと以外は、実施例1と同様にしてプ
レート基材上に撥液膜を形成し、このプレート基材にノ
ズルを形成した。このとき、エキシマレーザ加工性を損
なうことなく、きれいにノズルを形成することができ
た。
Example 2 When preparing a liquid repellent solution,
A liquid-repellent film was formed on a plate substrate in the same manner as in Example 1 except that 70 parts by weight of the polyimide-based polymer and 30 parts by weight of the BT resin were mixed. Formed. At this time, the nozzle could be formed neatly without impairing the excimer laser workability.

【0184】〈実施例3〉撥液剤溶液を調製する際に、
ポリイミド系高分子を50重量部と、BT樹脂を50重
量部とを混合したこと以外は、実施例1と同様にしてプ
レート基材上に撥液膜を形成し、このプレート基材にノ
ズルを形成した。このとき、エキシマレーザ加工性を損
なうことなく、きれいにノズルを形成することができ
た。
Example 3 In preparing a liquid repellent solution,
A liquid-repellent film was formed on a plate substrate in the same manner as in Example 1 except that 50 parts by weight of a polyimide polymer and 50 parts by weight of a BT resin were mixed, and a nozzle was formed on the plate substrate. Formed. At this time, the nozzle could be formed neatly without impairing the excimer laser workability.

【0185】つぎに、実施例4〜実施例14では、ポリ
イミド系高分子と混合する樹脂としてエポキシ系樹脂を
用いた。
Next, in Examples 4 to 14, an epoxy resin was used as the resin mixed with the polyimide polymer.

【0186】〈実施例4〉まず、ポリイミド系高分子を
90重量部と、エポキシ系樹脂を10重量部とを混合
し、さらに硬化剤として無水フタル酸を加え、これを溶
媒となるメチルエチルケトン中に溶解して撥液剤溶液を
調製した。この撥液剤溶液中の樹脂分はそれぞれ約24
重量%であった。ここで、上記エポキシ系樹脂として
は、旭チバ(株)社製のARALDITE MY721
(商品名)を用いた。
Example 4 First, 90 parts by weight of a polyimide-based polymer and 10 parts by weight of an epoxy-based resin were mixed, and phthalic anhydride was added as a curing agent, and this was added to methyl ethyl ketone as a solvent. After dissolution, a liquid repellent solution was prepared. The resin content in this liquid repellent solution is about 24
% By weight. Here, as the epoxy resin, ARALITE MY721 manufactured by Asahi Ciba Co., Ltd. is used.
(Trade name) was used.

【0187】以上のようにして撥液剤溶液を調製したこ
と以外は、実施例1と同様にしてプレート基材上に撥液
膜を形成し、このプレート基材にノズルを形成した。こ
のとき、エキシマレーザ加工性を損なうことなく、きれ
いにノズルを形成することができた。
A liquid-repellent film was formed on a plate substrate in the same manner as in Example 1 except that the liquid-repellent solution was prepared as described above, and a nozzle was formed on the plate substrate. At this time, the nozzle could be formed neatly without impairing the excimer laser workability.

【0188】〈実施例5〉撥液剤溶液を調製する際に、
ポリイミド系高分子を70重量部と、エポキシ系樹脂を
30重量部と硬化剤とを混合したこと以外は、実施例4
と同様にしてプレート基材上に撥液膜を形成し、このプ
レート基材にノズルを形成した。このとき、エキシマレ
ーザ加工性を損なうことなく、きれいにノズルを形成す
ることができた。
Example 5 When preparing a liquid repellent solution,
Example 4 was repeated except that 70 parts by weight of the polyimide polymer, 30 parts by weight of the epoxy resin, and the curing agent were mixed.
A liquid-repellent film was formed on a plate substrate in the same manner as described above, and a nozzle was formed on the plate substrate. At this time, the nozzle could be formed neatly without impairing the excimer laser workability.

【0189】〈実施例6〉撥液剤溶液を調製する際に、
ポリイミド系高分子を50重量部と、エポキシ系樹脂を
50重量部と硬化剤とを混合したこと以外は、実施例4
と同様にしてプレート基材上に撥液膜を形成し、このプ
レート基材にノズルを形成した。このとき、エキシマレ
ーザ加工性を損なうことなく、きれいにノズルを形成す
ることができた。
Example 6 In preparing a liquid repellent solution,
Example 4 except that 50 parts by weight of the polyimide-based polymer, 50 parts by weight of the epoxy-based resin and the curing agent were mixed.
A liquid-repellent film was formed on a plate substrate in the same manner as described above, and a nozzle was formed on the plate substrate. At this time, the nozzle could be formed neatly without impairing the excimer laser workability.

【0190】〈実施例7〉撥液剤溶液を調製する際に、
ポリイミド系高分子を30重量部と、エポキシ系樹脂を
70重量部と硬化剤とを混合したこと以外は、実施例4
と同様にしてプレート基材上に撥液膜を形成し、このプ
レート基材にノズルを形成した。このとき、エキシマレ
ーザ加工性を損なうことなく、きれいにノズルを形成す
ることができた。
Example 7 When preparing a liquid repellent solution,
Example 4 except that 30 parts by weight of a polyimide polymer, 70 parts by weight of an epoxy resin and a curing agent were mixed.
A liquid-repellent film was formed on a plate substrate in the same manner as described above, and a nozzle was formed on the plate substrate. At this time, the nozzle could be formed neatly without impairing the excimer laser workability.

【0191】〈実施例8〉撥液剤溶液を調製する際に、
ポリイミド系高分子を10重量部と、エポキシ系樹脂を
90重量部と硬化剤とを混合したこと以外は、実施例4
と同様にしてプレート基材上に撥液膜を形成し、このプ
レート基材にノズルを形成した。このとき、エキシマレ
ーザ加工性を損なうことなく、きれいにノズルを形成す
ることができた。
Example 8 In preparing a liquid repellent solution,
Example 4 except that 10 parts by weight of the polyimide-based polymer, 90 parts by weight of the epoxy-based resin and the curing agent were mixed.
A liquid-repellent film was formed on a plate substrate in the same manner as described above, and a nozzle was formed on the plate substrate. At this time, the nozzle could be formed neatly without impairing the excimer laser workability.

【0192】〈実施例9〉まず、ポリイミド系高分子を
90重量部と、エポキシ系樹脂を10重量部とを混合
し、さらに硬化剤として無水フタル酸を加え、これを溶
媒となるメチルエチルケトン中に溶解して撥液剤溶液を
調製した。この撥液剤溶液中の樹脂分はそれぞれ約24
重量%であった。ここで、上記エポキシ系樹脂として
は、旭チバ(株)社製のARALDITE ECN12
73(商品名)を用いた。
Example 9 First, 90 parts by weight of a polyimide-based polymer and 10 parts by weight of an epoxy-based resin were mixed, and phthalic anhydride was added as a curing agent. This was added to methyl ethyl ketone as a solvent. After dissolution, a liquid repellent solution was prepared. The resin content in this liquid repellent solution is about 24
% By weight. Here, as the epoxy resin, ARALITE ECN12 manufactured by Asahi Ciba Co., Ltd. is used.
73 (trade name) was used.

【0193】以上のようにして撥液剤溶液を調製したこ
と以外は、実施例1と同様にしてプレート基材上に撥液
膜を形成し、このプレート基材にノズルを形成した。こ
のとき、エキシマレーザ加工性を損なうことなく、きれ
いにノズルを形成することができた。
A liquid-repellent film was formed on a plate substrate in the same manner as in Example 1 except that the liquid-repellent solution was prepared as described above, and a nozzle was formed on the plate substrate. At this time, the nozzle could be formed neatly without impairing the excimer laser workability.

【0194】〈実施例10〉撥液剤溶液を調製する際
に、ポリイミド系高分子を70重量部と、エポキシ系樹
脂を30重量部と硬化剤とを混合したこと以外は、実施
例9と同様にしてプレート基材上に撥液膜を形成し、こ
のプレート基材にノズルを形成した。このとき、エキシ
マレーザ加工性を損なうことなく、きれいにノズルを形
成することができた。
Example 10 The same procedure as in Example 9 was carried out except that, in preparing the liquid repellent solution, 70 parts by weight of the polyimide polymer, 30 parts by weight of the epoxy resin and the curing agent were mixed. A liquid-repellent film was formed on the plate substrate, and a nozzle was formed on the plate substrate. At this time, the nozzle could be formed neatly without impairing the excimer laser workability.

【0195】〈実施例11〉撥液剤溶液を調製する際
に、ポリイミド系高分子を50重量部と、エポキシ系樹
脂を50重量部と硬化剤とを混合したこと以外は、実施
例9と同様にしてプレート基材上に撥液膜を形成し、こ
のプレート基材にノズルを形成した。このとき、エキシ
マレーザ加工性を損なうことなく、きれいにノズルを形
成することができた。
Example 11 A liquid repellent solution was prepared in the same manner as in Example 9 except that 50 parts by weight of a polyimide polymer, 50 parts by weight of an epoxy resin, and a curing agent were mixed. A liquid-repellent film was formed on the plate substrate, and a nozzle was formed on the plate substrate. At this time, the nozzle could be formed neatly without impairing the excimer laser workability.

【0196】〈実施例12〉まず、ポリイミド系高分子
を90重量部と、エポキシ系樹脂を10重量部とを混合
し、さらに硬化剤としてHZ15を加え、これを溶媒と
なるメチルエチルケトン中に溶解して撥液剤溶液を調製
した。この撥液剤溶液中の樹脂分はそれぞれ約24重量
%であった。ここで、上記エポキシ系樹脂としては、チ
バスペシャリティーケミカルズ(株)社製のAZ15
(商品名)を用いた。
Example 12 First, 90 parts by weight of a polyimide polymer and 10 parts by weight of an epoxy resin were mixed, HZ15 was added as a curing agent, and this was dissolved in methyl ethyl ketone as a solvent. Thus, a liquid repellent solution was prepared. The resin content in the liquid repellent solution was about 24% by weight. Here, as the epoxy resin, AZ15 manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd. is used.
(Trade name) was used.

【0197】以上のようにして撥液剤溶液を調製したこ
と以外は、実施例1と同様にしてプレート基材上に撥液
膜を形成し、このプレート基材にノズルを形成した。こ
のとき、エキシマレーザ加工性を損なうことなく、きれ
いにノズルを形成することができた。
A liquid-repellent film was formed on a plate substrate in the same manner as in Example 1 except that the liquid-repellent solution was prepared as described above, and a nozzle was formed on the plate substrate. At this time, the nozzle could be formed neatly without impairing the excimer laser workability.

【0198】〈実施例13〉撥液剤溶液を調製する際
に、ポリイミド系高分子を70重量部と、エポキシ系樹
脂を30重量部と硬化剤とを混合したこと以外は、実施
例12と同様にしてプレート基材上に撥液膜を形成し、
このプレート基材にノズルを形成した。このとき、エキ
シマレーザ加工性を損なうことなく、きれいにノズルを
形成することができた。
Example 13 The procedure of Example 12 was repeated except that, in preparing the liquid repellent solution, 70 parts by weight of the polyimide polymer, 30 parts by weight of the epoxy resin, and the curing agent were mixed. To form a liquid-repellent film on the plate substrate,
A nozzle was formed on the plate substrate. At this time, the nozzle could be formed neatly without impairing the excimer laser workability.

【0199】〈実施例14〉撥液剤溶液を調製する際
に、ポリイミド系高分子を50重量部と、エポキシ系樹
脂を50重量部と硬化剤とを混合したこと以外は、実施
例12と同様にしてプレート基材上に撥液膜を形成し、
このプレート基材にノズルを形成した。このとき、エキ
シマレーザ加工性を損なうことなく、きれいにノズルを
形成することができた。
Example 14 The same procedure as in Example 12 was carried out except that, in preparing the liquid repellent solution, 50 parts by weight of the polyimide polymer, 50 parts by weight of the epoxy resin and the curing agent were mixed. To form a liquid-repellent film on the plate substrate,
A nozzle was formed on the plate substrate. At this time, the nozzle could be formed neatly without impairing the excimer laser workability.

【0200】また、実施例15〜実施例17では、ポリ
イミド系高分子と混合する樹脂として、BT樹脂とエポ
キシ系樹脂との混合樹脂を用いた。
In Examples 15 to 17, a mixed resin of a BT resin and an epoxy resin was used as the resin mixed with the polyimide polymer.

【0201】〈実施例15〉まず、BT樹脂とエポキシ
系樹脂とを、予め1:1の重量比率で混合して混合樹脂
とした。ここで、上記BT樹脂としては、三菱瓦斯化学
(株)社製のBT2060B(商品名)を用いた。な
お、このBT2060Bは、濃度が70重量%のメチル
エチルケトン溶液とされている。また、上記エポキシ系
樹脂としては、旭チバ(株)社製のARALDITE
MY721(商品名)を用いた。
Example 15 First, a BT resin and an epoxy resin were mixed in advance at a weight ratio of 1: 1 to obtain a mixed resin. Here, BT2060B (trade name) manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Company, Ltd. was used as the BT resin. This BT2060B is a methyl ethyl ketone solution having a concentration of 70% by weight. As the epoxy resin, ARALDITE manufactured by Asahi Ciba Co., Ltd. is used.
MY721 (trade name) was used.

【0202】次に、ポリイミド系高分子を90重量部
と、混合樹脂を10重量部とを混合し、これを溶媒とな
るメチルエチルケトン中に溶解して撥液剤溶液を調製し
た。この撥液剤溶液中の樹脂分はそれぞれ約24重量%
であった。
Next, 90 parts by weight of the polyimide polymer and 10 parts by weight of the mixed resin were mixed and dissolved in methyl ethyl ketone as a solvent to prepare a liquid repellent solution. Resin content in this liquid repellent solution is about 24% by weight
Met.

【0203】以上のようにして撥液剤溶液を調製したこ
と以外は、実施例1と同様にしてプレート基材上に撥液
膜を形成し、このプレート基材にノズルを形成した。こ
のとき、エキシマレーザ加工性を損なうことなく、きれ
いにノズルを形成することができた。
A liquid-repellent film was formed on a plate substrate in the same manner as in Example 1 except that the liquid-repellent solution was prepared as described above, and a nozzle was formed on the plate substrate. At this time, the nozzle could be formed neatly without impairing the excimer laser workability.

【0204】〈実施例16〉撥液剤溶液を調製する際
に、ポリイミド系高分子を70重量部と、混合樹脂を3
0重量部と硬化剤とを混合したこと以外は、実施例15
と同様にしてプレート基材上に撥液膜を形成し、このプ
レート基材にノズルを形成した。このとき、エキシマレ
ーザ加工性を損なうことなく、きれいにノズルを形成す
ることができた。
Example 16 When preparing a liquid repellent solution, 70 parts by weight of a polyimide polymer and 3 parts of a mixed resin were used.
Example 15 except that 0 parts by weight and the curing agent were mixed.
A liquid-repellent film was formed on a plate substrate in the same manner as described above, and a nozzle was formed on the plate substrate. At this time, the nozzle could be formed neatly without impairing the excimer laser workability.

【0205】〈実施例17〉撥液剤溶液を調製する際
に、ポリイミド系高分子を50重量部と、混合樹脂を5
0重量部と硬化剤とを混合したこと以外は、実施例15
と同様にしてプレート基材上に撥液膜を形成し、このプ
レート基材にノズルを形成した。このとき、エキシマレ
ーザ加工性を損なうことなく、きれいにノズルを形成す
ることができた。
Example 17 In preparing a liquid repellent solution, 50 parts by weight of a polyimide polymer and 5 parts by weight of a mixed resin were used.
Example 15 except that 0 parts by weight and the curing agent were mixed.
A liquid-repellent film was formed on a plate substrate in the same manner as described above, and a nozzle was formed on the plate substrate. At this time, the nozzle could be formed neatly without impairing the excimer laser workability.

【0206】〈比較例〉撥液剤溶液を調製する際に、B
T樹脂又はエポキシ系樹脂を混合せず、ポリイミド系高
分子を100重量部で用いたこと以外は、実施例1と同
様にしてプレート基材上に撥液膜を形成し、このプレー
ト基材にノズルを形成した。このとき、エキシマレーザ
加工性を損なうことなく、きれいにノズルを形成するこ
とができた。
Comparative Example When preparing a liquid repellent solution, B
A liquid-repellent film was formed on a plate substrate in the same manner as in Example 1 except that T-resin or epoxy-based resin was not mixed and that a polyimide-based polymer was used in 100 parts by weight. A nozzle was formed. At this time, the nozzle could be formed neatly without impairing the excimer laser workability.

【0207】そして、以上のようにして形成された撥液
膜の機械的強度を評価した。
The mechanical strength of the liquid repellent film formed as described above was evaluated.

【0208】評価の方法としては、まず、撥液膜が塗布
されたプレート基材を固定し、その塗布表面のノズルが
形成されている近傍を、インクをしみ込ませた綿棒を用
いて、約500gの荷重で、一往復を一回として擦っ
た。これを500回擦った。
As a method of evaluation, first, a plate substrate on which a liquid-repellent film was applied was fixed, and the vicinity of the surface of the application surface where the nozzles were formed was washed with a cotton swab impregnated with ink to about 500 g. Was rubbed with one load per stroke. This was rubbed 500 times.

【0209】そして、綿棒で擦る前と擦った後とで、顕
微鏡を用いた目視による撥液膜表面の観察と、綿棒にし
み込ませたインクに対する接触角測定を行い、比較を行
った。
[0209] Before and after rubbing with a cotton swab, the surface of the liquid-repellent film was visually observed using a microscope, and the contact angle with the ink impregnated into the cotton swab was measured.

【0210】撥液膜の機械的強度の評価結果を表1に示
す。なお、撥液膜表面の観察においては、撥液膜の剥が
れが確認されない場合を○とし、若干の剥がれが確認さ
れた場合を△とし、剥がれが確認された場合を×として
評価した。
Table 1 shows the evaluation results of the mechanical strength of the liquid repellent film. In the observation of the liquid-repellent film surface, the case where no peeling of the liquid-repellent film was confirmed was evaluated as ○, the case where slight peeling was confirmed was evaluated as Δ, and the case where peeling was confirmed was evaluated as x.

【0211】[0211]

【表1】 [Table 1]

【0212】表1から明らかなように、ポリイミド系高
分子にBT樹脂又はエポキシ系樹脂を混合してなる実施
例1〜実施例17の撥液膜でも、ポリイミド系高分子の
みから構成される比較例の撥液膜とほぼ同等の撥液性を
有していることがわかる。また、この撥液性は、500
回の擦り後にも維持されている。
As is clear from Table 1, the liquid-repellent films of Examples 1 to 17 in which a BT resin or an epoxy resin is mixed with a polyimide-based polymer also have a comparative structure composed of only a polyimide-based polymer. It can be seen that the liquid repellent film has almost the same liquid repellency as the liquid repellent film of the example. The liquid repellency is 500
It is maintained after repeated rubs.

【0213】一方、撥液膜の機械的強度については、比
較例の撥液膜では、300回程度の擦りで剥がれが確認
された。一方、実施例1〜実施例17の撥液膜では、混
合する樹脂の種類や量によっては、実施例12又は実施
例17の撥液膜のように、500回擦り後に若干の剥が
れが確認されたものや、また、実施例13又は実施例1
4の撥液膜のように、300回程度の擦りで剥がれが確
認されたものも見受けられたが、いずれも比較例の撥液
膜よりも機械的強度は向上していることがわかる。
On the other hand, with respect to the mechanical strength of the liquid-repellent film, the liquid-repellent film of the comparative example was peeled off after rubbing about 300 times. On the other hand, in the liquid-repellent films of Examples 1 to 17, depending on the type and amount of the resin to be mixed, slight peeling was confirmed after rubbing 500 times as in the liquid-repellent films of Example 12 or Example 17. And Example 13 or Example 1
As in the liquid repellent film of No. 4, peeling was observed after rubbing about 300 times, but it was found that the mechanical strength was improved in all cases as compared with the liquid repellent film of the comparative example.

【0214】従って、ポリイミド系高分子にBT樹脂又
はエポキシ系樹脂を混合して構成される撥液膜は、ポリ
イミド系高分子のみからなるのみからなる撥液膜に比べ
て、同等の撥液性を有しながら、機械的強度を向上させ
ることができることがわかった。
Therefore, the liquid-repellent film formed by mixing the BT resin or the epoxy resin with the polyimide-based polymer has the same liquid-repellent property as the liquid-repellent film composed only of the polyimide-based polymer. It was found that mechanical strength could be improved while having

【0215】しかし、エポキシ樹脂の割合を90重量%
とした実施例8では、使用可能なレベルではあるが、初
期段階における撥液性がやや低下している。そのため、
ポリイミド系高分子に混合する樹脂の割合を、混合樹脂
全体の90重量%程度以下、好ましくは70重量%程度
以下とすることで、撥液膜の良好な撥液性と機械的強度
とを両立できることがわかる。また、ポリイミド系高分
子に混合する樹脂の割合が少なすぎると、撥液膜の機械
的強度を上げることができないため、ポリイミド系高分
子に混合する樹脂の割合は、少なくとも混合樹脂全体の
0.01重量%以上はあることが好ましい。
However, the proportion of the epoxy resin was 90% by weight.
In Example 8 described above, the liquid repellency in the initial stage was slightly lowered although it was at a usable level. for that reason,
By setting the proportion of the resin mixed with the polyimide-based polymer to about 90% by weight or less, preferably about 70% by weight or less of the whole mixed resin, both good liquid repellency and mechanical strength of the liquid-repellent film are achieved. We can see that we can do it. If the proportion of the resin mixed with the polyimide polymer is too small, the mechanical strength of the liquid-repellent film cannot be increased, so that the proportion of the resin mixed with the polyimide polymer is at least 0.1% of the whole mixed resin. It is preferably at least 01% by weight.

【0216】[0216]

【発明の効果】本発明のプリンタ装置においては、プリ
ントヘッドのノズル開口面側の少なくともノズル開口部
周辺に、ポリイミド系高分子からなり撥液性を有する高
分子膜が形成されていることから、ノズル開口部周辺に
おける撥液性が確保され、余分なインクの付着等が防止
されることとなり、吐出の安定性が高まり、高解像度の
画像形成を可能とすることができる。
According to the printer of the present invention, a liquid-repellent polymer film made of a polyimide polymer is formed at least around the nozzle opening on the nozzle opening side of the print head. Liquid repellency in the vicinity of the nozzle opening is ensured, adhesion of extra ink and the like are prevented, ejection stability is enhanced, and high-resolution image formation can be performed.

【0217】さらに、本発明のプリンタ装置において
は、上記高分子膜が、ポリイミド系高分子に加えてBT
樹脂又はエポキシ系樹脂を含有しているので、高分子膜
とプリントヘッドとの密着性を増すことができる。
Further, in the printer of the present invention, the polymer film may be made of BT in addition to polyimide polymer.
Since the resin or the epoxy resin is contained, the adhesiveness between the polymer film and the print head can be increased.

【0218】従って、本発明のプリンタ装置は、高分子
膜の機械的強度が増すことにより高分子膜の剥離等が防
止され、ノズル開口部周辺における撥液性を長期に亘っ
て良好に保ち続けることができる優れたものとなる。
Therefore, in the printer device of the present invention, the peeling of the polymer film is prevented by increasing the mechanical strength of the polymer film, and the liquid repellency in the vicinity of the nozzle opening is kept good for a long time. Can be excellent.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明を適用したプリンタ装置の一例を示す要
部概略断面図である。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a main part showing an example of a printer device to which the present invention is applied.

【図2】本発明を適用したプリンタ装置の一例を示す要
部拡大断面図である。
FIG. 2 is an enlarged sectional view of a main part showing an example of a printer device to which the present invention is applied.

【図3】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の一
例を工程順に示すものであり、基板を形成する工程を示
す要部概略断面図である。
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of a main part showing an example of a method of manufacturing a printer device to which the present invention is applied, in the order of steps, showing a step of forming a substrate.

【図4】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の一
例を工程順に示すものであり、高分子膜を形成する工程
を示す要部概略断面図である。
FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of a principal part showing an example of a method of manufacturing a printer device to which the present invention is applied in the order of steps, and showing a step of forming a polymer film.

【図5】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の一
例を工程順に示すものであり、ノズルを形成する工程を
示す要部概略断面図である。
FIG. 5 is a schematic cross-sectional view of a main part showing an example of a method of manufacturing a printer device to which the present invention is applied in the order of steps, and showing a step of forming a nozzle.

【図6】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の一
例を工程順に示すものであり、振動板等を配する工程を
示す要部概略断面図である。
FIG. 6 is a schematic cross-sectional view of a main part showing an example of a method of manufacturing a printer device to which the present invention is applied in the order of steps, and showing a step of disposing a diaphragm and the like.

【図7】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の他
の例を工程順に示すものであり、高分子フィルムが貼り
合わされた金属板を用意する工程を示す要部概略断面図
である。
FIG. 7 shows another example of a method of manufacturing a printer device to which the present invention is applied in order of steps, and is a schematic cross-sectional view of a main part showing a step of preparing a metal plate to which a polymer film is attached.

【図8】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の他
の例を工程順に示すものであり、高分子膜を形成する工
程を示す要部概略断面図である。
FIG. 8 shows another example of the method of manufacturing a printer device to which the present invention is applied in order of steps, and is a schematic cross-sectional view of a main part showing a step of forming a polymer film.

【図9】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の他
の例を工程順に示すものであり、ノズルを形成する工程
を示す要部概略断面図である。
FIG. 9 shows another example of the method of manufacturing a printer device to which the present invention is applied in order of steps, and is a schematic cross-sectional view of a main part showing a step of forming a nozzle.

【図10】本発明を適用したプリンタ装置の他の例を示
す要部概略断面図である。
FIG. 10 is a schematic sectional view of a main part showing another example of a printer device to which the present invention is applied.

【図11】本発明を適用したプリンタ装置の他の例を示
す要部拡大断面図である。
FIG. 11 is an enlarged sectional view of a main part showing another example of the printer device to which the present invention is applied.

【図12】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の
さらに他の例を工程順に示すものであり、基板を形成す
る工程を示す要部概略断面図である。
FIG. 12 is a schematic cross-sectional view of a principal part showing still another example of a method of manufacturing a printer device to which the present invention is applied, in the order of steps, showing steps of forming a substrate.

【図13】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の
さらに他の例を工程順に示すものであり、高分子膜を形
成する工程を示す要部概略断面図である。
FIG. 13 is a schematic cross-sectional view of a principal part showing still another example of a method of manufacturing a printer device to which the present invention is applied, in the order of steps, showing a step of forming a polymer film.

【図14】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の
さらに他の例を工程順に示すものであり、ノズルを形成
する工程を示す要部概略断面図である。
FIG. 14 is a schematic cross-sectional view of a principal part showing still another example of a method of manufacturing a printer device to which the present invention is applied, showing a process of forming nozzles in the order of processes.

【図15】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の
さらに他の例を工程順に示すものであり、振動板等を配
する工程を示す要部概略断面図である。
FIG. 15 is a schematic cross-sectional view of a principal part showing still another example of a method of manufacturing a printer device to which the present invention is applied, in the order of steps, showing a step of disposing a diaphragm and the like.

【図16】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の
さらに他の例を工程順に示すものであり、高分子フィル
ムが貼り合わされた金属板を用意する工程を示す要部概
略断面図である。
FIG. 16 is a schematic cross-sectional view of a principal part showing still another example of a method of manufacturing a printer device to which the present invention is applied in the order of steps, and showing a step of preparing a metal plate on which a polymer film is bonded.

【図17】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の
さらに他の例を工程順に示すものであり、高分子膜を形
成する工程を示す要部概略断面図である。
FIG. 17 is a schematic cross-sectional view of a principal part showing still another example of a method of manufacturing a printer device to which the present invention is applied, in the order of steps, showing a step of forming a polymer film.

【図18】本発明を適用したプリンタ装置の製造方法の
さらに他の例を工程順に示すものであり、ノズルを形成
する工程を示す要部概略断面図である。
FIG. 18 is a schematic cross-sectional view of a principal part showing still another example of a method of manufacturing a printer apparatus to which the present invention is applied, in the order of steps, showing steps of forming nozzles.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ノズル、 2 インク圧力室、 14 インク、
19 高分子膜、 41 第1のノズル、 42 吐出
媒体圧力室、 51 第2のノズル、 52定量媒体圧
力室、 64 吐出媒体、 74 定量媒体
1 nozzle, 2 ink pressure chamber, 14 ink,
Reference Signs List 19 polymer film, 41 first nozzle, 42 discharge medium pressure chamber, 51 second nozzle, 52 fixed medium pressure chamber, 64 discharge medium, 74 fixed medium

Claims (18)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 吐出媒体が導入される圧力室と、上記圧
力室に連通されるノズルとを有し、当該ノズルより上記
吐出媒体を吐出するプリントヘッドを有するプリンタ装
置において、 プリントヘッドのノズル開口面側の少なくともノズル開
口部周辺が、ポリイミド系高分子と、ビスマレイミド・
トリアジン樹脂又はエポキシ系樹脂の少なくとも一方と
の混合樹脂からなることを特徴とするプリンタ装置。
1. A printer having a pressure chamber into which a discharge medium is introduced, and a nozzle communicating with the pressure chamber, and having a print head that discharges the discharge medium from the nozzle. At least the periphery of the nozzle opening on the surface side is a polyimide polymer and bismaleimide
A printer device comprising a mixed resin with at least one of a triazine resin and an epoxy resin.
【請求項2】 上記ビスマレイミド・トリアジン樹脂又
はエポキシ系樹脂は、上記混合樹脂に対して0.01重
量%以上、90重量%以下の範囲で混合されていること
を特徴とする請求項1記載のプリンタ装置。
2. The method according to claim 1, wherein the bismaleimide-triazine resin or the epoxy resin is mixed in a range of 0.01% by weight or more and 90% by weight or less based on the mixed resin. Printer device.
【請求項3】 ポリイミド系高分子が、23(℃)の水
中に24時間浸積させた場合の吸水率が0.4(%)以
下のものであることを特徴とする請求項1記載のプリン
タ装置。
3. The method according to claim 1, wherein the polyimide polymer has a water absorption of 0.4 (%) or less when immersed in water at 23 (° C.) for 24 hours. Printer device.
【請求項4】 ポリイミド系高分子が、180(℃)以
下の加熱により重合形成されるものであることを特徴と
する請求項1記載のプリンタ装置。
4. The printer according to claim 1, wherein the polyimide-based polymer is polymerized by heating at a temperature of 180 ° C. or lower.
【請求項5】 ポリイミド系高分子がポリイミドシロキ
サンであることを特徴とする請求項1記載のプリンタ装
置。
5. The printer according to claim 1, wherein the polyimide-based polymer is polyimide siloxane.
【請求項6】 プリントヘッドのノズル形成部分が、ポ
リサルフォンよりなることを特徴とする請求項1記載の
プリンタ装置。
6. The printer according to claim 1, wherein the nozzle forming portion of the print head is made of polysulfone.
【請求項7】 プリントヘッドのノズル形成部分が、ポ
リエーテルサルフォンよりなることを特徴とする請求項
1記載のプリンタ装置。
7. The printer according to claim 1, wherein the nozzle forming portion of the print head is made of polyether sulfone.
【請求項8】 プリントヘッドのノズル形成部分が、2
3(℃)の水中に24時間浸積させた場合の吸水率が
1.0(%)以上のポリイミド系高分子よりなることを
特徴とする請求項1記載のプリンタ装置。
8. The print head according to claim 1, wherein the nozzle forming portion has a nozzle forming portion.
2. The printer device according to claim 1, wherein the printer device is made of a polyimide polymer having a water absorption of 1.0 (%) or more when immersed in water of 3 (.degree. C.) for 24 hours.
【請求項9】 ノズルがエキシマレーザを用いたアブレ
ーション加工により形成されたことを特徴とする請求項
1記載のプリンタ装置。
9. The printer device according to claim 1, wherein the nozzle is formed by ablation using an excimer laser.
【請求項10】 吐出媒体が導入される第1の圧力室
と、定量媒体が導入される第2の圧力室とを有し、上記
第1の圧力室に連通する第1のノズル及び第2の圧力室
に連通する第2のノズルとを互いに隣合うように開口し
て有し、第2のノズルから第1のノズルに向けて定量媒
体を滲み出させた後、第1のノズルから吐出媒体を吐出
させて定量媒体と吐出媒体を混合吐出するプリントヘッ
ドを有するプリンタ装置において、 プリントヘッドのノズル開口面側の少なくともノズル開
口部周辺が、ポリイミド系高分子と、ビスマレイミド・
トリアジン樹脂又はエポキシ系樹脂の少なくとも一方と
の混合樹脂からなることを特徴とするプリンタ装置。
10. A first pressure chamber into which a discharge medium is introduced, and a second pressure chamber into which a fixed amount medium is introduced, and a first nozzle and a second nozzle which communicate with the first pressure chamber. And a second nozzle communicating with the pressure chamber is opened so as to be adjacent to each other, and after the fixed medium is exuded from the second nozzle toward the first nozzle, the second nozzle is discharged from the first nozzle. In a printer device having a print head that discharges a medium and mixes and discharges a fixed amount medium and a discharge medium, at least the periphery of the nozzle opening on the nozzle opening side of the print head includes a polyimide polymer and bismaleimide.
A printer device comprising a mixed resin with at least one of a triazine resin and an epoxy resin.
【請求項11】 上記ビスマレイミド・トリアジン樹脂
又はエポキシ系樹脂は、上記混合樹脂に対して0.01
重量%以上、90重量%以下の範囲で混合されているこ
とを特徴とする請求項10記載のプリンタ装置。
11. The bismaleimide-triazine resin or the epoxy resin may be used in an amount of 0.01 to 0.01% with respect to the mixed resin.
11. The printer device according to claim 10, wherein the mixture is in a range of not less than 90% by weight and not more than 90% by weight.
【請求項12】 ポリイミド系高分子が、23(℃)の
水中に24時間浸積させた場合の吸水率が0.4(%)
以下のものであることを特徴とする請求項10記載のプ
リンタ装置。
12. The polyimide polymer has a water absorption of 0.4 (%) when immersed in water of 23 (° C.) for 24 hours.
The printer device according to claim 10, wherein:
【請求項13】 ポリイミド系高分子が、180(℃)
以下の加熱により重合形成されるものであることを特徴
とする請求項10記載のプリンタ装置。
13. A polyimide-based polymer having a temperature of 180 ° C.
The printer device according to claim 10, wherein the printer device is formed by polymerization under the following heating.
【請求項14】 ポリイミド系高分子がポリイミドシロ
キサンであることを特徴とする請求項10記載のプリン
タ装置。
14. The printer according to claim 10, wherein the polyimide polymer is polyimide siloxane.
【請求項15】 プリントヘッドのノズル形成部分が、
ポリサルフォンよりなることを特徴とする請求項10記
載のプリンタ装置。
15. The nozzle forming portion of the print head,
The printer device according to claim 10, wherein the printer device is made of polysulfone.
【請求項16】 プリントヘッドのノズル形成部分が、
ポリエーテルサルフォンよりなることを特徴とする請求
項10記載のプリンタ装置。
16. The nozzle forming portion of the print head,
11. The printer according to claim 10, wherein the printer is made of polyether sulfone.
【請求項17】 プリントヘッドのノズル形成部分が、
23(℃)の水中に24時間浸積させた場合の吸水率が
1.0(%)以上のポリイミド系高分子よりなることを
特徴とする請求項10記載のプリンタ装置。
17. The nozzle forming portion of the print head,
11. The printer device according to claim 10, comprising a polyimide polymer having a water absorption of 1.0 (%) or more when immersed in water at 23 (C) for 24 hours.
【請求項18】 ノズルがエキシマレーザを用いたアブ
レーション加工により形成されたことを特徴とする請求
項10記載のプリンタ装置。
18. The printer according to claim 10, wherein the nozzle is formed by ablation using an excimer laser.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011025632A (en) * 2009-07-29 2011-02-10 Kyocera Corp Liquid discharging element, liquid discharging head using the same, and recording apparatus

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