JP2001124532A5 - - Google Patents

Description

【特許請求の範囲】
【請求項１】 測定光源からの可干渉光を試料に投光し，試料からの反射光により形成される干渉縞に基づいて試料を検査する試料検査装置において、試料表面に対向する位置に配置された参照面と、前記参照面と試料表面での反射光により形成される第１干渉縞，及び試料内部を透過した後に試料裏面で反射される反射光と試料表面で反射される反射光とにより形成される第２干渉縞を共に投影可能とするスクリーンと、該スクリーンに投影された干渉縞を撮像する撮像手段と、前記スクリーンに投影される前記第１干渉縞を実質的に除去する第１干渉縞除去手段と、前記スクリーンに投影される前記第２干渉縞を実質的に除去する第２干渉縞除去手段と、前記第１干渉縞除去手段により残った第２干渉縞画像及び前記第２干渉縞除去手段によって残った第１干渉縞画像に基づいてそれぞれ試料の形状を検査する検査手段と、を備えることを特徴とする試料検査装置。
【請求項２】 請求項１の試料検査装置において、前記可干渉光は試料に対して斜め方向から投光され、前記第１干渉縞除去手段は前記試料を可干渉光の投光光軸に対して試料表面上で直交する軸線方向に傾斜させる傾斜手段を有し、該傾斜手段によって第１干渉縞の縞密度を前記撮像手段のに対して相対的に小さくすることにより第１干渉縞を実質的に除去することを特徴とする試料検査装置。
【請求項３】 請求項１の試料検査装置において、前記第２干渉縞除去手段は試料に投光される可干渉光の光量を調整する光量調整手段を有し、該光量調整手段により可干渉光を減光し，試料裏面からの反射光を減衰させることで前記第２干渉縞を実質的に除去することを特徴とする試料検査装置。
【請求項４】 請求項１の試料検査装置において、前記第２干渉縞除去手段は試料に投光される可干渉光の干渉性を調節する調節手段を備え、該調節手段により可干渉光の干渉性を低下させることで前記第２干渉縞を実質的に除去することを特徴とする試料検査装置。
【請求項５】 請求項１の試料検査装置は、測定光源からの可干渉光を前記参照面を通して前記試料表面に斜め方向から入射させる斜入射干渉計であることを特徴とする試料検査装置。
【請求項６】 測定光源からの可干渉光を試料に投光し，試料からの反射光により形成される干渉縞に基づいて試料を検査する試料検査装置において、試料表面に光学的に対向する位置に配置された参照面と、前記参照面と試料表面での反射光により形成される第１干渉縞，及び試料内部を透過した後に試料裏面で反射される反射光と試料表面で反射される反射光とにより形成される第２干渉縞を共に投影可能とするスクリーンと、該スクリーンに投影された干渉縞を撮像する撮像手段と、前記スクリーンに投影される前記第１干渉縞を実質的に除去する第１干渉縞除去手段と、該第１干渉縞除去手段により残った第２干渉縞画像に基づいて試料の形状を検査する検査手段と、を備えることを特徴とする試料検査装置。

【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は以下のような構成を備えることを特徴とする。
（１） 測定光源からの可干渉光を試料に投光し，試料からの反射光により形成される干渉縞に基づいて試料を検査する試料検査装置において、試料表面に対向する位置に配置された参照面と、前記参照面と試料表面での反射光により形成される第１干渉縞，及び試料内部を透過した後に試料裏面で反射される反射光と試料表面で反射される反射光とにより形成される第２干渉縞を共に投影可能とするスクリーンと、該スクリーンに投影された干渉縞を撮像する撮像手段と、前記スクリーンに投影される前記第１干渉縞を実質的に除去する第１干渉縞除去手段と、前記スクリーンに投影される前記第２干渉縞を実質的に除去する第２干渉縞除去手段と、前記第１干渉縞除去手段により残った第２干渉縞画像及び前記第２干渉縞除去手段によって残った第１干渉縞画像に基づいてそれぞれ試料の形状を検査する検査手段と、を備えることを特徴とする。
（２） （１）の試料検査装置において、前記可干渉光は試料に対して斜め方向から投光され、前記第１干渉縞除去手段は前記試料を可干渉光の投光光軸に対して試料表面上で直交する軸線方向に傾斜させる傾斜手段を有し、該傾斜手段によって第１干渉縞の縞密度を前記撮像手段のに対して相対的に小さくすることにより第１干渉縞を実質的に除去することを特徴とする。
（３） （１）の試料検査装置において、前記第２干渉縞除去手段は試料に投光される可干渉光の光量を調整する光量調整手段を有し、該光量調整手段により可干渉光を減光し，試料裏面からの反射光を減衰させることで前記第２干渉縞を実質的に除去することを特徴とする。
（４） （１）の試料検査装置において、前記第２干渉縞除去手段は試料に投光される可干渉光の干渉性を調節する調節手段を備え、該調節手段により可干渉光の干渉性を低下させることで前記第２干渉縞を実質的に除去することを特徴とする。
（５） （１）の試料検査装置は、測定光源からの可干渉光を前記参照面を通して前記試料表面に斜め方向から入射させる斜入射干渉計であることを特徴とする。
（６） 測定光源からの可干渉光を試料に投光し，試料からの反射光により形成される干渉縞に基づいて試料を検査する試料検査装置において、試料表面に光学的に対向する位置に配置された参照面と、前記参照面と試料表面での反射光により形成される第１干渉縞，及び試料内部を透過した後に試料裏面で反射される反射光と試料表面で反射される反射光とにより形成される第２干渉縞を共に投影可能とするスクリーンと、該スクリーンに投影された干渉縞を撮像する撮像手段と、前記スクリーンに投影される前記第１干渉縞を実質的に除去する第１干渉縞除去手段と、該第１干渉縞除去手段により残った第２干渉縞画像に基づいて試料の形状を検査する検査手段と、を備えることを特徴とする。