JP2001118512A - Method for forming plasma display panel and partition - Google Patents

Method for forming plasma display panel and partition

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JP2001118512A
JP2001118512A JP29298899A JP29298899A JP2001118512A JP 2001118512 A JP2001118512 A JP 2001118512A JP 29298899 A JP29298899 A JP 29298899A JP 29298899 A JP29298899 A JP 29298899A JP 2001118512 A JP2001118512 A JP 2001118512A
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JP
Japan
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partition
forming
vertical
layer portion
lower layer
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JP29298899A
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Japanese (ja)
Inventor
Sukeyuki Nishimura
祐行 西村
Koji Shimada
浩司 島田
Norio Ota
範雄 太田
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Dai Nippon Printing Co Ltd
Original Assignee
Dai Nippon Printing Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a plasma display and a partition which have a partition shape capable of increasing luminance in the case of emitting fluorescence side, and also have a low limitation in forming the partition and increases evacuation efficiency when of evacuation an discharge space of PDP. SOLUTION: A process for preparing a plasma display panel and a partition thereof are provided, in which a plasma display panel and a partition thereof have a partition of two-layer structure, consisting of a partition lower layer portion formed on a substrate surface and a partition upper layer portion formed on the lower layer portion, the lower-layer portion comprises a lower-layer portion of a lengthwise partition of a direction parallel to an address electrode and the entire body of a crosswise partition of a direction parallel to a bus electrode, and the upper-layer portion comprises a upper-layer portion of crosswise partition in a direction parallel to the address electrode.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はプラズマディスプレ
イパネルの技術分野に属する。特に、プラズマディスプ
レイパネルの背面板に形成される隔壁の形成方法に関す
る。
The present invention belongs to the technical field of a plasma display panel. In particular, the present invention relates to a method for forming a partition formed on a back plate of a plasma display panel.

【0002】[0002]

【従来の技術】カラー表示を行うプラズマディスプレイ
パネル(以降、略称として「PDP」を併用する)では
背面板に平行線状に複数配列で形成される隔壁が形成さ
れる。隔壁と隔壁の間のアドレス電極上には蛍光面が設
けられる。各隔壁と隔壁の間の蛍光面にはRGB各色で
発光する蛍光体材料の1つが充填され、背面板はそのR
GB各色のストライプ状の蛍光面が3つから成る組を多
数配列した構造となる。
2. Description of the Related Art In a plasma display panel for performing color display (hereinafter, abbreviated as "PDP"), a plurality of partitions are formed on a back plate in parallel lines. A fluorescent screen is provided on the address electrode between the partitions. The phosphor screen between the partition walls is filled with one of phosphor materials that emit light of each of RGB colors,
A structure in which a large number of sets of three stripe-shaped fluorescent screens of each of the GB colors are arranged.

【0003】図7はAC型PDPの一構成例を示すもの
で、前面板と背面板を離した状態で示したもので、2枚
のガラス基板801、802が互いに平行に且つ対向し
て配設されており、両者は背面板となるガラス基板80
2上に互いに平行に設けられた隔壁803により一定の
間隔に保持されている。前面板となるガラス基板801
の背面板側には、放電維持電極として、透明電極804
とバス電極としての金属電極805とで構成される複合
電極が互いに平行に形成され、これを覆って誘電体層8
06が形成されており、さらにその上に保護層(MgO
層)が形成されている。また、背面板となるガラス基板
802の前面板側には前記複合電極と直交するように隔
壁803の間に位置してアドレス電極808が互いに平
行に形成されており、さらに隔壁803の壁面とセル底
面を覆うようにして蛍光面809が設けられている。ま
た、図8に示すように、背面板となるガラス基板802
に誘電体からなる下地層810を形成した後、アドレス
電極808を設け、更にその上に誘電体層806’を積
層した後、隔壁803、蛍光面809を設けた構造とし
ている。この前面板と背面板の間にはネオンを主体とし
キセノンを含む希ガスが封入される。
FIG. 7 shows an example of the configuration of an AC type PDP in which a front plate and a back plate are separated from each other. Two glass substrates 801 and 802 are arranged in parallel and opposed to each other. And a glass substrate 80 serving as a back plate.
2 are held at regular intervals by partition walls 803 provided in parallel with each other. Glass substrate 801 serving as front plate
A transparent electrode 804 is formed on the back plate side as a sustaining electrode.
And a metal electrode 805 as a bus electrode are formed in parallel with each other, and the
06 is formed thereon, and a protective layer (MgO
Layer) is formed. On the front plate side of the glass substrate 802 serving as a back plate, address electrodes 808 are formed between the partition walls 803 so as to be orthogonal to the composite electrode and parallel to each other. A fluorescent screen 809 is provided so as to cover the bottom surface. As shown in FIG. 8, a glass substrate 802 serving as a back plate is provided.
After forming a base layer 810 made of a dielectric material, an address electrode 808 is provided, a dielectric layer 806 ′ is further laminated thereon, and then a partition 803 and a fluorescent screen 809 are provided. A rare gas containing mainly neon and containing xenon is sealed between the front plate and the back plate.

【0004】このAC型PDPは面放電型であって、ア
ドレス電極により書き込みを行った後、前面板上の複合
電極に交流電圧を印加し空間に生成した電界により放電
させる構造である。この場合、交流をかけているために
電界の向きは周波数に対応して変化する。なお、DC型
PDPにあっては、電極は誘電体層で被覆されていない
構造を有する点で相違するが、その放電現象は同一であ
る。そして、この放電により生じる紫外線により蛍光面
809を発光させ、前面板を透過する光を観察者が視認
できるものである。
The AC type PDP is a surface discharge type, and has a structure in which, after writing is performed by an address electrode, an AC voltage is applied to a composite electrode on the front panel to discharge by an electric field generated in a space. In this case, since the alternating current is applied, the direction of the electric field changes according to the frequency. It should be noted that the DC type PDP is different in that the electrodes have a structure not covered with a dielectric layer, but the discharge phenomenon is the same. Then, the fluorescent screen 809 is caused to emit light by the ultraviolet light generated by the discharge, and the light transmitted through the front plate can be visually recognized by an observer.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】このようなPDPにお
いては蛍光面を発光させた場合の輝度を高めることが重
要な課題の一つとなっている。輝度を高めるために各種
の方法が提案されているが決定的な解決策はなく、それ
らの方法の積み重ねにより少しづつ輝度が高められてい
る。蛍光面の発光面積を広くすることは、一般にその蛍
光面に紫外線が効率よく作用する等により発光効率が改
善されることとなり、輝度が高くなることにつながる。
ところが図7,図8に示すように、蛍光面809は隔壁
803の壁面とセル底面を覆うようにして設けられてお
り、蛍光面809は隔壁803の壁面とセル底面の形状
に制約される。すなわち蛍光面809の表面は隔壁80
3の壁面とセル底面の形状によって決まる単純な形状と
なり、それによって発光面積が制約されている。
In such a PDP, it is one of the important problems to increase the brightness when the phosphor screen is illuminated. Various methods have been proposed to increase the luminance, but there is no definitive solution, and the luminance is gradually increased by the accumulation of these methods. Increasing the light emitting area of the phosphor screen generally improves the luminous efficiency due to, for example, efficient operation of ultraviolet light on the phosphor screen, leading to an increase in luminance.
However, as shown in FIGS. 7 and 8, the fluorescent screen 809 is provided so as to cover the wall surface of the partition 803 and the cell bottom, and the fluorescent screen 809 is restricted by the shape of the wall surface of the partition 803 and the cell bottom. That is, the surface of the fluorescent screen 809 is
3 has a simple shape determined by the shape of the wall surface and the bottom surface of the cell, thereby restricting the light emitting area.

【0006】そこで、蛍光面を発光させた場合の輝度を
高めることが可能なプラズマディスプレイパネルの隔壁
形状に関する発明がなされている。たとえば、特開平1
0−321148には、隔壁とともに補助隔壁を設けた
プラズマディスプレイパネルが記載されている。しか
し、隔壁形成方法については限定的な記載にとどまり、
必ずしも良い選択肢が与えられていない。
Accordingly, there has been proposed an invention relating to a partition wall shape of a plasma display panel capable of increasing luminance when a phosphor screen emits light. For example, JP
0-32148 describes a plasma display panel provided with auxiliary partitions together with partitions. However, the method for forming the partition walls is limited to the description,
Not always good options.

【0007】本発明は上記の課題を解決するためになさ
れたものであり、その目的は、蛍光面を発光させた場合
の輝度を高めることが可能な隔壁形状を有し、しかも、
その隔壁を形成する上での制約が小さく、PDPの放電
空間を排気する場合の排気効率が良くなるプラズマディ
スプレイパネルおよび隔壁形成方法を提供することにあ
る。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-described problems, and has as its object to have a partition shape capable of increasing the luminance when a fluorescent screen is illuminated.
It is an object of the present invention to provide a plasma display panel and a method of forming a partition wall, in which the restrictions on forming the partition wall are small and the exhaust efficiency in exhausting the discharge space of the PDP is improved.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記の目的は下記の本発
明によって達成される。すなわち、本発明の請求項1に
係るプラズマディスプレイパネルは、基板の表面に形成
された隔壁の下層部分と、その下層部分の上に形成され
た隔壁の上層部分とから成る上下2層構造の隔壁を有
し、前記下層部分はアドレス電極と平行方向の縦隔壁の
下層部分とバス電極と平行方向の横隔壁の全体とから成
り、前記上層部分はアドレス電極と平行方向の縦隔壁の
上層部分から成る、ようにしたものである。本発明によ
れば、縦隔壁と横隔壁とから成る隔壁形状を有するから
蛍光面を発光させた場合の輝度を高めることが可能であ
る。しかも、下層部分と上層部分に分けて隔壁を形成す
るからその隔壁を形成する上での制約が小さい。また、
縦隔壁に比べ横隔壁の高さを低くしたからPDPの放電
空間を排気する場合の排気効率が良くなる。
The above objects are achieved by the present invention described below. That is, the plasma display panel according to claim 1 of the present invention is a partition having an upper and lower two-layer structure including a lower layer of a partition formed on a surface of a substrate and an upper layer of a partition formed on the lower layer. Wherein the lower layer portion comprises a lower layer portion of a vertical partition parallel to the address electrode and the entirety of a horizontal partition parallel to the bus electrode, and the upper layer portion comprises an upper layer portion of the vertical partition parallel to the address electrode. It is like that. ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, since it has a partition shape consisting of a vertical partition and a horizontal partition, it is possible to raise the brightness | luminance at the time of making a fluorescent screen emit light. In addition, since the partition is formed separately in the lower layer portion and the upper layer portion, restrictions on forming the partition are small. Also,
Since the height of the horizontal barrier ribs is made lower than that of the vertical barrier ribs, the exhaust efficiency when exhausting the discharge space of the PDP is improved.

【0009】また本発明の請求項2に係るプラズマディ
スプレイパネルは、請求項1に係るプラズマディスプレ
イパネルにおいて、前記縦隔壁の下層部分の幅は、前記
縦隔壁の上層部分の幅より広幅であるようにしたもので
ある。本発明によれば、隔壁の下層部分の上に隔壁の上
層部分を形成する場合の位置合わせにおいて許容範囲が
広くなるから、隔壁形成を容易に行うことができ歩留ま
りが向上する。
According to a second aspect of the present invention, in the plasma display panel according to the first aspect, a width of a lower layer of the vertical partition is wider than a width of an upper layer of the vertical partition. It was made. According to the present invention, the allowable range for alignment when forming the upper layer portion of the partition on the lower layer portion of the partition is widened, so that the partition can be easily formed and the yield is improved.

【0010】また本発明の請求項3に係る隔壁形成方法
は、基板に隔壁材料を全面塗工し第1隔壁材料層を形成
する第1塗工過程と、横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分
とを形成するためのマトリックスパターンを有する第1
レジストマスクを前記第1隔壁材料層の表面に形成する
第1レジストマスク形成過程と、前記第1レジストマス
クを介して前記基板に形成した前記第1隔壁材料層に対
してサンドブラスト処理を行う第1サンドブラスト処理
過程と、前記第1隔壁材料層の表面に形成した第1レジ
ストマスクを剥離する第1剥離過程と、前記サンドブラ
スト処理を行った第1隔壁材料層を焼成し横隔壁の全体
と縦隔壁の下層部分とを前記基板に形成する第1焼成過
程と、前記基板に隔壁材料を全面塗工し第2隔壁材料層
を形成する第2塗工過程と、縦隔壁の上層部分を形成す
るためのストライプパターンを有する第2レジストマス
クを前記第1隔壁材料層の表面に形成する第2レジスト
マスク形成過程と、前記第2レジストマスクを介して前
記基板に形成した前記第2壁材料層に対してサンドブラ
スト処理を行う第2サンドブラスト処理過程と、前記第
2壁材料層の表面に形成した第2レジストマスクを剥離
する第2離過程と、前記サンドブラスト処理を行った第
2壁材料層を焼成し縦隔壁の上層部分を前記縦隔壁の下
層部分の上に形成する第2焼成過程と、を有するように
したものである。本発明によれば、蛍光面を発光させた
場合の輝度を高めることが可能な隔壁形状を有し、しか
も、その隔壁を形成する上での制約が小さく、PDPの
放電空間を排気する場合の排気効率が良くなるプラズマ
ディスプレイパネルの隔壁形成方法が提供される。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a method of forming a partition wall, wherein a partition wall material is coated on the entire surface of the substrate to form a first partition wall material layer; A first pattern having a matrix pattern for forming
A first resist mask forming step of forming a resist mask on the surface of the first partition wall material layer, and a first step of performing a sandblasting process on the first partition wall material layer formed on the substrate via the first resist mask. A sand blasting process, a first stripping process of stripping a first resist mask formed on the surface of the first partition wall material layer, and firing of the sand blasted first partition wall material layer to form the entire horizontal partition and vertical partition walls A first baking process of forming a lower layer portion on the substrate, a second coating process of applying a partition material to the entire surface of the substrate to form a second partition material layer, and forming an upper layer portion of the vertical partition. Forming a second resist mask having a stripe pattern on the surface of the first partition wall material layer, and forming the second resist mask on the substrate via the second resist mask. A second sandblasting process of performing a sandblasting process on the second wall material layer, a second separating process of removing a second resist mask formed on a surface of the second wall material layer, and the sandblasting process. And baking the second wall material layer to form an upper layer portion of the vertical partition on a lower layer portion of the vertical partition. ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, it has the partition shape which can raise the brightness | luminance at the time of making a fluorescent screen emit light, Moreover, the restriction | limiting in forming the partition is small and the discharge space of PDP is exhausted. Provided is a method for forming a partition of a plasma display panel, which improves the evacuation efficiency.

【0011】また本発明の請求項4に係る隔壁形成方法
は、基板に隔壁材料を全面塗工し第1隔壁材料層を形成
する第1塗工過程と、横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分
とを形成するためのマトリックスパターンを有する第1
レジストマスクを前記第1隔壁材料層の表面に形成する
第1レジストマスク形成過程と、前記第1レジストマス
クを介して前記基板に形成した前記第1隔壁材料層に対
してサンドブラスト処理を行いサンドブラスト処理済み
の横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分とを形成する第1サ
ンドブラスト処理過程と、前記第1隔壁材料層の表面に
形成した第1レジストマスクを剥離する第1剥離過程
と、縦隔壁の上層部分を形成するためのストライプパタ
ーンを有するスクリーン印刷版を用いて前記縦隔壁の下
層部分の上に隔壁材料を刷り重ね縦隔壁の上層部分を形
成するスクリーン印刷過程と、前記基板に形成した横隔
壁の全体と縦隔壁の下層部分と縦隔壁の上層部分とを焼
成し焼成済みの横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分と縦隔
壁の上層部分とを形成する焼成過程と、を有するように
したものである。本発明によれば、蛍光面を発光させた
場合の輝度を高めることが可能な隔壁形状を有し、しか
も、その隔壁を形成する上での制約が小さく、PDPの
放電空間を排気する場合の排気効率が良くなるプラズマ
ディスプレイパネルの隔壁形成方法が提供される。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a method of forming a partition wall, the first coating step of coating a partition wall material on the entire surface of the substrate to form a first partition wall material layer; A first pattern having a matrix pattern for forming
A first resist mask forming step of forming a resist mask on the surface of the first partition wall material layer, and a sandblasting process by performing a sandblast process on the first partition wall material layer formed on the substrate via the first resist mask. A first sand blasting process for forming the entirety of the completed horizontal partition and a lower layer portion of the vertical partition, a first stripping process for separating the first resist mask formed on the surface of the first partition material layer, A screen printing process of printing a partition material on a lower layer portion of the vertical partition using a screen printing plate having a stripe pattern for forming an upper layer portion to form an upper layer portion of the vertical partition; The entire partition, the lower layer of the vertical partition, and the upper layer of the vertical partition are fired to form the entire fired horizontal partition, the lower layer of the vertical partition, and the upper layer of the vertical partition. A firing step of, in which to have a. ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, it has the partition shape which can raise the brightness | luminance at the time of making a fluorescent screen emit light, Moreover, the restriction | limiting in forming the partition is small and the discharge space of PDP is exhausted. Provided is a method for forming a partition of a plasma display panel, which improves the evacuation efficiency.

【0012】また本発明の請求項5に係る隔壁形成方法
は、請求項4に係る隔壁形成方法において、前記第1剥
離過程の後、かつ前記スクリーン印刷工程の前におい
て、前記サンドブラスト処理を行った第1隔壁材料層を
焼成し、焼成済みの横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分と
を前記基板に形成する焼成過程を有するようにしたもの
である。本発明によれば、横隔壁の全体と縦隔壁の下層
部分の形状が確定するから寸法精度が得られるととも
に、後工程における加工を容易にする。
According to a fifth aspect of the present invention, in the method for forming a partition according to the fourth aspect, the sandblasting is performed after the first peeling step and before the screen printing step. The method includes a firing step of firing the first partition wall material layer and forming the entire fired horizontal partition and the lower layer portion of the vertical partition on the substrate. According to the present invention, since the shapes of the entire horizontal partition and the lower layer of the vertical partition are determined, dimensional accuracy can be obtained, and processing in a subsequent step is facilitated.

【0013】また本発明の請求項6に係る隔壁形成方法
は、横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分とを形成するため
のマトリックスパターンを有するスクリーン印刷版を用
いて隔壁材料を刷り重ね、基板に横隔壁の全体と縦隔壁
の下層部分とを形成する第1スクリーン印刷過程と、縦
隔壁の上層部分を形成するためのストライプパターンを
有するスクリーン印刷版を用いて前記縦隔壁の下層部分
の上に隔壁材料を刷り重ね縦隔壁の上層部分を形成する
第2スクリーン印刷過程と、前記基板に形成した横隔壁
の全体と縦隔壁の下層部分と縦隔壁の上層部分とを焼成
し、焼成済みの横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分と縦隔
壁の上層部分とを形成する焼成過程と、を有するように
したものである。本発明によれば、蛍光面を発光させた
場合の輝度を高めることが可能な隔壁形状を有し、しか
も、その隔壁を形成する上での制約が小さく、PDPの
放電空間を排気する場合の排気効率が良くなるプラズマ
ディスプレイパネルの隔壁形成方法が提供される。
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a partition wall forming method, wherein a partition wall material is overprinted using a screen printing plate having a matrix pattern for forming the entire horizontal partition and the lower layer portion of the vertical partition. A first screen printing step of forming the entire horizontal partition and the lower layer of the vertical partition, and using a screen printing plate having a stripe pattern for forming the upper layer of the vertical partition, on the lower layer of the vertical partition. The second screen printing process of printing the partition material over and forming the upper layer portion of the vertical partition, and firing the entire horizontal partition formed on the substrate, the lower layer portion of the vertical partition, and the upper layer portion of the vertical partition, A firing step for forming the entire horizontal partition, the lower layer of the vertical partition, and the upper layer of the vertical partition is provided. ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, it has the partition shape which can raise the brightness | luminance at the time of making a fluorescent screen emit light, Moreover, the restriction | limiting in forming the partition is small and the discharge space of PDP is exhausted. Provided is a method for forming a partition of a plasma display panel, which improves the evacuation efficiency.

【0014】また本発明の請求項7に係る隔壁形成方法
は、請求項6記載の隔壁形成方法において、前記第1ス
クリーン印刷過程の後、かつ前記第2スクリーン印刷過
程の前において、前記基板に形成した横隔壁の全体と縦
隔壁の下層部分とを焼成し、焼成済みの横隔壁の全体と
縦隔壁の下層部分とを前記基板に形成する焼成過程を有
するようにしたものである。本発明によれば、横隔壁の
全体と縦隔壁の下層部分の形状が確定するから寸法精度
が得られるとともに、後工程における加工を容易にす
る。
According to a seventh aspect of the present invention, in the method of forming a partition according to the sixth aspect, the substrate is formed after the first screen printing step and before the second screen printing step. A firing step is provided in which the entire formed horizontal partition and the lower layer portion of the vertical partition are fired, and the entire fired horizontal partition and the lower layer portion of the vertical partition are formed on the substrate. According to the present invention, since the shapes of the entire horizontal partition and the lower layer of the vertical partition are determined, dimensional accuracy can be obtained, and processing in a subsequent step is facilitated.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】次に、本発明について実施の形態
により説明する。まず、本発明のプラズマディスプレイ
パネルの隔壁形状について説明する。その隔壁形成方法
については後述することとする。本発明のプラズマディ
スプレイパネルの隔壁形状を図1に示す。図1におい
て、図1(A)は斜視図、図1(B)は上面図、図1
(C)は側面図である。図1において、11a,11
b,11cは縦隔壁の下層部分、12a,12b,12
cは縦隔壁の上層部分、21a,21b,22a,22
bは横隔壁である。背面板に形成する縦隔壁と横隔壁と
は、実際は多数が存在するのであるが一部だけが図1に
示されている。たとえば図1(A)の斜視図においては
その内から3つの縦隔壁の下層部分11a,11b,1
1cと3つの縦隔壁の上層部分12a,12b,12c
と4つの横隔壁21a,21b,22a,22bだけを
代表して示してある。
Next, the present invention will be described with reference to embodiments. First, the partition shape of the plasma display panel of the present invention will be described. The method of forming the partition will be described later. FIG. 1 shows a partition shape of the plasma display panel of the present invention. 1A is a perspective view, FIG. 1B is a top view, and FIG.
(C) is a side view. In FIG. 1, 11a, 11
b and 11c are lower layer portions of vertical partition walls, 12a, 12b and 12
c is the upper part of the vertical partition, 21a, 21b, 22a, 22
b is a horizontal partition. Actually, there are a large number of vertical partitions and horizontal partitions formed on the back plate, but only a part is shown in FIG. For example, in the perspective view of FIG. 1A, the lower layer portions 11a, 11b, 1
1c and upper layers 12a, 12b, 12c of three vertical partitions
And only the four horizontal partition walls 21a, 21b, 22a, 22b are shown as representatives.

【0016】図1に示すように、本発明のプラズマディ
スプレイパネルにおいて縦隔壁は下層部分11a,11
b,11cと上層部分12a,12b,12cの2層構
造となっている。また縦隔壁の下層部分11a,11
b,11cの幅は、縦隔壁の上層部分12a,12b,
12cの幅より広幅である。したがって、隔壁の下層部
分の上に隔壁の上層部分を形成する場合の位置合わせに
おいて許容範囲が広くなり、隔壁形成を容易に行うこと
ができ歩留まりが向上する。
As shown in FIG. 1, in the plasma display panel according to the present invention, the vertical partitions are formed of lower portions 11a and 11a.
b, 11c and upper layers 12a, 12b, 12c. In addition, lower portions 11a, 11
The width of b, 11c is the upper layer portion 12a, 12b,
It is wider than the width of 12c. Therefore, the allowable range in positioning when forming the upper layer portion of the partition over the lower layer portion of the partition is widened, and the partition can be easily formed, and the yield is improved.

【0017】縦隔壁の下層部分11a,11b,11c
と縦隔壁の上層部分12a,12b,12cはアドレス
電極と平行方向に背面板に形成される隔壁である。ま
た、横隔壁21a,21b,22a,22bはバス電極
と平行方向に背面板に形成される電極である。図1
(C)の断面図に示すように、縦隔壁の下層部分11
a,11b,11cと縦隔壁の上層部分12a,12
b,12cの断面形状は底辺が大きい矩形または台形と
なっている。図1には示されていないが、横隔壁21
a,21b,22a,22bも縦隔壁の下層部分11
a,11b,11cと縦隔壁の上層部分12a,12
b,12cと同様に断面形状は底辺が大きい矩形または
台形となっている。
Lower layers 11a, 11b, 11c of the vertical partition
The upper layers 12a, 12b, and 12c of the vertical barrier ribs are barrier ribs formed on the back plate in a direction parallel to the address electrodes. The horizontal partitions 21a, 21b, 22a, 22b are electrodes formed on the back plate in a direction parallel to the bus electrodes. FIG.
As shown in the cross-sectional view of FIG.
a, 11b, 11c and upper layer portions 12a, 12
The cross-sectional shapes of b and 12c are rectangular or trapezoidal with a large base. Although not shown in FIG.
a, 21b, 22a and 22b are also lower layer portions 11 of the vertical partition walls.
a, 11b, 11c and upper layer portions 12a, 12
Similar to b and 12c, the cross-sectional shape is a rectangle or trapezoid having a large base.

【0018】その形状により、横隔壁21a,21b,
22a,22bの蛍光面が発光して放出される光線の
内、前面板に向かう光線の割合が増加し見掛けの輝度が
向上する。また、横隔壁21a,21b,22a,22
bと背面板との広い結合面積を得ることができ、横隔壁
21a,21b,22a,22bだけでなく縦隔壁の下
層部分11a,11b,11cと縦隔壁の上層部分12
a,12b,12cを含めて全体の強度が得られる。そ
の結果、縦隔壁の下層部分11a,11b,11cと縦
隔壁の上層部分12a,12b,12cや横隔壁21
a,21b,22a,22bの幅を小さくすることがで
き、表示セル部における放電容積を大きくすることがで
き、放電効率を更によくすることができる。また、画素
ピッチを小さくすることができるから、高精細化が可能
である。
Depending on its shape, the horizontal partition walls 21a, 21b,
Of the light rays emitted and emitted from the fluorescent screens 22a and 22b, the proportion of the light rays directed toward the front plate increases, and the apparent brightness improves. Also, the horizontal partition walls 21a, 21b, 22a, 22
b and the back plate can be obtained with a large coupling area, so that not only the horizontal partitions 21a, 21b, 22a and 22b but also the lower layers 11a, 11b and 11c of the vertical partitions and the upper layer 12 of the vertical partitions
The overall strength including a, 12b, and 12c is obtained. As a result, the lower layers 11a, 11b and 11c of the vertical partition and the upper layers 12a, 12b and 12c of the vertical
The width of a, 21b, 22a, 22b can be reduced, the discharge volume in the display cell portion can be increased, and the discharge efficiency can be further improved. Further, since the pixel pitch can be reduced, high definition can be achieved.

【0019】また、図1(A)の斜視図および図1
(C)の断面図に示すように、横隔壁21a,21b,
22a,22bの高さは縦隔壁の下層部分11a,11
b,11cと同一の高さとなっている。たとえば、横隔
壁21a,21b,22a,22bの高さは縦隔壁の下
層部分11a,11b,11cと縦隔壁の上層部分12
a,12b,12cとを合わせた全体の高さの1/2〜
5/6の高さであるようにする。この横隔壁21a,2
1b,22a,22bの高さで前述と同様の作用を得る
ことができる。すなわち、蛍光面の発行面積が大きくな
り紫外線が効率よく蛍光面に作用するため輝度が高ま
る。また、横隔壁の21a,21b,22a,22b高
さを縦隔壁の下層部分11a,11b,11cと同一の
高さとしたことにより、製造工程において蛍光面の形成
が容易となる。
FIG. 1A is a perspective view and FIG.
As shown in the cross-sectional view of (C), the horizontal partition walls 21a, 21b,
The height of 22a, 22b is the lower layer portion 11a, 11 of the vertical partition.
It has the same height as b and 11c. For example, the height of the horizontal partitions 21a, 21b, 22a, 22b is determined by the lower layer portions 11a, 11b, 11c of the vertical partition and the upper layer portion 12 of the vertical partition.
1/2 of the total height of the combination of a, 12b and 12c
The height should be 5/6. This horizontal partition 21a, 2
The same operation as described above can be obtained with the heights of 1b, 22a, and 22b. That is, the emission area of the fluorescent screen increases, and the ultraviolet light efficiently acts on the fluorescent screen, thereby increasing the luminance. In addition, the height of the horizontal partition walls 21a, 21b, 22a, 22b is set to be the same as the lower layer portions 11a, 11b, 11c of the vertical partition walls, so that the phosphor screen can be easily formed in the manufacturing process.

【0020】また、横隔壁21a,21b,22a,2
2bによりアドレス電極方向に隣接する表示セル部に対
して放電や、放電により発生した紫外線が漏洩すること
を防止することができる。すなわち、縦隔壁1a,1
b,1cと横隔壁21a,21b,22a,22bと
は、アドレス電極とバス電極によって特定される放電空
間を他の放電空間から分離する。したがって、プラズマ
ディスプレイパネルの画質が向上する。
The horizontal partitions 21a, 21b, 22a, 2
2b can prevent discharge and ultraviolet rays generated by the discharge from leaking to the display cell portion adjacent in the address electrode direction. That is, the vertical partition walls 1a, 1
b, 1c and the horizontal partitions 21a, 21b, 22a, 22b separate a discharge space specified by the address electrode and the bus electrode from other discharge spaces. Therefore, the image quality of the plasma display panel is improved.

【0021】次に、本発明におけるプラズマディスプレ
イパネルの隔壁形成方法(その1)について説明する。
本発明におけるプラズマディスプレイパネルの隔壁形成
方法(第1の隔壁形成方法:請求項3)を説明図として
図2に示す。図2において、左側の図はアドレス電極と
平行方向の断面図であり、右側の図はバス電極と平行方
向の断面図である。図2に示すように、まず基板101
に隔壁材料を全面塗工し第1隔壁材料層102を形成す
る(第1塗工過程S11)。次に、横隔壁の全体と縦隔
壁の下層部分とを形成するためのマトリックスパターン
を有する第1レジストマスク103を第1隔壁材料層の
表面に形成する(第1レジストマスク形成過程S1
2)。
Next, a method (part 1) of forming a partition of a plasma display panel according to the present invention will be described.
FIG. 2 is a diagram illustrating a method for forming a partition of a plasma display panel according to the present invention (first partition forming method: claim 3). In FIG. 2, the figure on the left is a sectional view in the direction parallel to the address electrodes, and the figure on the right is a sectional view in the direction parallel to the bus electrodes. As shown in FIG.
The first partition material layer 102 is formed by applying a partition material on the entire surface (first coating process S11). Next, a first resist mask 103 having a matrix pattern for forming the entire horizontal partition and the lower layer portion of the vertical partition is formed on the surface of the first partition material layer (first resist mask forming step S1).
2).

【0022】次に、第1レジストマスク103を介して
基板101に形成した第1隔壁材料層102に対してサ
ンドブラスト処理を行う(第1サンドブラスト処理過程
S13)。次に、第1隔壁材料層102の表面に形成し
た第1レジストマスク103を剥離する(第1剥離過程
S14)。次に、サンドブラスト処理を行った第1隔壁
材料層102を焼成し横隔壁の全体122と縦隔壁の下
層部分111とを基板に形成する(第1焼成過程S1
5)。
Next, the first partition wall material layer 102 formed on the substrate 101 is subjected to sandblasting via the first resist mask 103 (first sandblasting process S13). Next, the first resist mask 103 formed on the surface of the first partition wall material layer 102 is stripped (first stripping step S14). Next, the first partition wall material layer 102 that has been subjected to the sand blasting is fired to form the entire horizontal partition 122 and the lower layer portion 111 of the vertical partition on the substrate (first firing step S1).
5).

【0023】次に、横隔壁の全体122と縦隔壁の下層
部分111とを形成した基板101に隔壁材料を全面塗
工し第2隔壁材料層104を形成する(第2塗工過程S
16)。次に、縦隔壁の上層部分を形成するためのスト
ライプパターンを有する第2レジストマスク105を第
2隔壁材料層104の表面に形成する(第2レジストマ
スク形成過程S17)。次に、第2レジストマスク10
5を介して第2壁材料層105に対してサンドブラスト
処理を行う(第2サンドブラスト処理過程S18)。次
に、第2壁材料層104の表面に形成した第2レジスト
マスク105を剥離する(第2離過程S19)。次に、
サンドブラスト処理を行った第2壁材料層104を焼成
し縦隔壁の上層部分112を縦隔壁の下層部分111の
上に形成する(第2焼成過程S20)。
Next, the partition wall material is applied on the entire surface of the substrate 101 on which the entire horizontal partition walls 122 and the lower layer portions 111 of the vertical partition walls are formed, thereby forming a second partition wall material layer 104.
16). Next, a second resist mask 105 having a stripe pattern for forming an upper layer portion of the vertical partition is formed on the surface of the second partition material layer 104 (second resist mask forming step S17). Next, the second resist mask 10
Then, a sand blasting process is performed on the second wall material layer 105 through the step 5 (second sand blasting process step S18). Next, the second resist mask 105 formed on the surface of the second wall material layer 104 is stripped (second separation step S19). next,
The sandblasted second wall material layer 104 is fired to form the upper layer portion 112 of the vertical partition on the lower layer portion 111 of the vertical partition (second firing step S20).

【0024】なお、第1レジストマスク形成過程S12
と第1レジストマスク形成過程S17は、隔壁材料層
(第1隔壁材料層102と第2隔壁材料層104)に対
して被膜形成性を有する印刷ペーストを用いて印刷によ
り隔壁材料層の表面に形成する過程とすることができ
る。また、第1レジストマスク形成過程S12と第1レ
ジストマスク形成過程S17は、隔壁材料層の表面にド
ライフィルムレジスト(DFR;dry film resist)を
貼り付けるDFR貼付工程と、フォトマスクを介してド
ライフィルムレジストを露光する露光過程と、現像を行
いドライフィルムレジストにおいて隔壁となる部分を残
す現像過程とから成る過程とすることができる。
The first resist mask forming step S12
And the first resist mask forming step S17 are formed on the surface of the partition material layer by printing using a printing paste having a film forming property on the partition material layer (the first partition material layer 102 and the second partition material layer 104). Process. Further, the first resist mask forming step S12 and the first resist mask forming step S17 include a DFR attaching step of attaching a dry film resist (DFR) to the surface of the partition wall material layer, and a dry film attaching through a photomask. The process may include an exposure process of exposing the resist, and a development process of performing development to leave a portion serving as a partition in the dry film resist.

【0025】次に、本発明におけるプラズマディスプレ
イパネルの隔壁形成方法(その2)について説明する。
本発明におけるプラズマディスプレイパネルの隔壁形成
方法(第2の隔壁形成方法:請求項4、請求項5)を説
明図として図3に示す。図3において、左側の図はアド
レス電極と平行方向の断面図であり、右側の図はバス電
極と平行方向の断面図である。図3に示すように、ま
ず、基板201に隔壁材料を全面塗工し第1隔壁材料層
202を形成する(第1塗工過程S21)。次に、横隔
壁の全体と縦隔壁の下層部分とを形成するためのマトリ
ックスパターンを有する第1レジストマスク203を第
1隔壁材料層202の表面に形成する(第1レジストマ
スク形成過程S22)。
Next, a method (part 2) of forming a partition wall of a plasma display panel according to the present invention will be described.
FIG. 3 is a diagram illustrating a method for forming a partition of a plasma display panel according to the present invention (second partition forming method: claims 4 and 5). In FIG. 3, the diagram on the left is a sectional view in the direction parallel to the address electrodes, and the diagram on the right is a sectional view in the direction parallel to the bus electrodes. As shown in FIG. 3, first, a partition wall material is applied to the entire surface of the substrate 201 to form a first partition wall material layer 202 (first coating step S21). Next, a first resist mask 203 having a matrix pattern for forming the entire horizontal partition and the lower layer of the vertical partition is formed on the surface of the first partition material layer 202 (first resist mask forming step S22).

【0026】次に、第1レジストマスク203を介して
基板201に形成した第1隔壁材料層202に対してサ
ンドブラスト処理を行いサンドブラスト処理済みの横隔
壁の全体222と縦隔壁の下層部分211とを形成する
(第1サンドブラスト処理過程S23)。次に、第1隔
壁材料層202の表面に形成した第1レジストマスク2
03を剥離する(第1剥離過程S24)。
Next, the first partition wall material layer 202 formed on the substrate 201 is subjected to sandblasting through the first resist mask 203, and the whole of the sandblasted horizontal partition 222 and the lower layer portion 211 of the vertical partition are separated. It is formed (first sandblasting process S23). Next, the first resist mask 2 formed on the surface of the first partition wall material layer 202 is formed.
03 is stripped (first stripping step S24).

【0027】次に、縦隔壁の上層部分を形成するための
ストライプパターンを有するスクリーン印刷版204を
用いて縦隔壁の下層部分211の上に隔壁材料を刷り重
ね縦隔壁の上層部分212を形成する(スクリーン印刷
過程S25)。次に、基板201に形成した横隔壁の全
体222と縦隔壁の下層部分211と縦隔壁の上層部分
212とを焼成し焼成済みの横隔壁の全体222と縦隔
壁の下層部分211と縦隔壁の上層部分212を形成す
る(焼成過程S25)。
Next, using a screen printing plate 204 having a stripe pattern for forming an upper layer portion of the vertical partition, a partition material is printed on the lower layer portion 211 of the vertical partition to form an upper layer portion 212 of the vertical partition. (Screen printing process S25). Next, the entire horizontal partition 222 formed on the substrate 201, the lower layer portion 211 of the vertical partition, and the upper layer portion 212 of the vertical partition are fired, and the fired entire horizontal partition 222, the lower layer portion 211 of the vertical partition, and the vertical partition are formed. The upper layer part 212 is formed (firing step S25).

【0028】なお、上述において、第1剥離過程S24
の後、かつスクリーン印刷工程S25の前において、サ
ンドブラスト処理を行った第1隔壁材料層を焼成し、焼
成済みの横隔壁の全体222と縦隔壁の下層部分211
とを基板201に形成する焼成過程を設けることができ
る。そうすることにより、横隔壁の全体と縦隔壁の下層
部分の形状が確定するから寸法精度が得られるととも
に、後工程における加工が容易になる。
In the above description, the first peeling step S24
After and before the screen printing step S25, the first partition wall material layer subjected to the sand blasting process is baked, and the entire baked horizontal partition wall 222 and the lower layer portion 211 of the vertical partition wall are baked.
Can be provided on the substrate 201. By doing so, the shapes of the entire horizontal partition and the lower layer portion of the vertical partition are determined, so that dimensional accuracy can be obtained, and processing in a subsequent step becomes easy.

【0029】また、第1レジストマスク形成過程S22
は、第1隔壁材料層202に対して被膜形成性を有する
印刷ペーストを用いて印刷により第1隔壁材料層202
の表面に形成する過程とすることができる。また、第1
レジストマスク形成過程S22は、第1隔壁材料層20
2の表面にドライフィルムレジスト(DFR;dry film
resist)を貼り付けるDFR貼付工程と、フォトマス
クを介してドライフィルムレジストを露光する露光過程
と、現像を行いドライフィルムレジストにおいて隔壁と
なる部分を残す現像過程とから成る過程とすることがで
きる。
Also, a first resist mask forming step S22
Is printed on the first partition material layer 202 by using a printing paste having a film forming property.
Process on the surface of the substrate. Also, the first
The resist mask forming step S22 is performed in the first partition material layer 20.
2 on the surface of dry film resist (DFR; dry film
resist), an exposure process of exposing the dry film resist through a photomask, and a development process of developing and leaving a portion of the dry film resist to be a partition.

【0030】次に、本発明におけるプラズマディスプレ
イパネルの隔壁形成方法(その3)について説明する。
本発明におけるプラズマディスプレイパネルの隔壁形成
方法(第3の隔壁形成方法:請求項6、請求項7)を説
明図として図4に示す。図4において、左側の図はアド
レス電極と平行方向の断面図であり、右側の図はバス電
極と平行方向の断面図である。図4に示すように、ま
ず、横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分とを形成するため
のマトリックスパターンを有するスクリーン印刷版30
2を用いて隔壁材料を刷り重ね、基板301に横隔壁の
全体322と縦隔壁の下層部分311とを形成する(第
1スクリーン印刷過程S31)。
Next, a method (part 3) of forming a partition of a plasma display panel according to the present invention will be described.
FIG. 4 is an explanatory view illustrating a method for forming a partition of a plasma display panel according to the present invention (third partition forming method: claims 6 and 7). In FIG. 4, the diagram on the left is a sectional view in a direction parallel to the address electrodes, and the diagram on the right is a sectional view in a direction parallel to the bus electrodes. As shown in FIG. 4, first, a screen printing plate 30 having a matrix pattern for forming the entire horizontal partition and the lower layer portion of the vertical partition.
2 is used to overprint the partition wall material to form the entire horizontal partition 322 and the lower layer portion 311 of the vertical partition on the substrate 301 (first screen printing step S31).

【0031】次に、縦隔壁の上層部分を形成するための
ストライプパターンを有するスクリーン印刷版303を
用いて縦隔壁の下層部分311の上に隔壁材料を刷り重
ね縦隔壁の上層部分312を形成する(第2スクリーン
印刷過程S33)。次に、基板に形成した横隔壁の全体
322と縦隔壁の下層部分311と縦隔壁の上層部分3
12とを焼成し、焼成済みの横隔壁の全体と縦隔壁の下
層部分と縦隔壁の上層部分を形成する(焼成過程S3
4)。
Next, using a screen printing plate 303 having a stripe pattern for forming an upper layer portion of the vertical partition, a partition material is printed on the lower layer portion 311 of the vertical partition to form an upper layer portion 312 of the vertical partition. (Second screen printing step S33). Next, the entire horizontal partition 322 formed on the substrate, the lower layer 311 of the vertical partition, and the upper layer 3 of the vertical partition 3
12 is fired to form the entire fired horizontal partition, the lower layer of the vertical partition, and the upper layer of the vertical partition (firing step S3).
4).

【0032】なお、上述において、第1スクリーン印刷
過程S31の後、かつ第2スクリーン印刷過程S33の
前において、基板301に形成した横隔壁の全体322
と縦隔壁の下層部分311とを焼成し、焼成済みの横隔
壁の全体322と縦隔壁の下層部分311とを基板30
1に形成する焼成過程S32を設けることができる。そ
うすることにより、横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分の
形状が確定するから寸法精度が得られるとともに、後工
程における加工が容易になる。
In the above description, after the first screen printing step S31 and before the second screen printing step S33, the entire horizontal partition 322 formed on the substrate 301 is formed.
And the lower part 311 of the vertical partition are fired, and the entire fired horizontal partition 322 and the lower part 311 of the vertical partition are bonded to the substrate 30.
1 can be provided. By doing so, the shapes of the entire horizontal partition and the lower layer portion of the vertical partition are determined, so that dimensional accuracy can be obtained, and processing in a subsequent step becomes easy.

【0033】次に、本発明におけるプラズマディスプレ
イパネルの隔壁形成方法(その4)について説明する。
本発明におけるプラズマディスプレイパネルの隔壁形成
方法(第4の隔壁形成方法)を説明図として図5に示
す。図5において、左側の図はアドレス電極と平行方向
の断面図であり、右側の図はバス電極と平行方向の断面
図である。図5に示すように、まず、基板401の表面
にドライフィルムレジスト(DFR;dry film resis
t)402を貼り付ける(第1DFR貼付工程S4
1)。
Next, a method (part 4) of forming a partition wall of a plasma display panel according to the present invention will be described.
FIG. 5 is an explanatory view illustrating a method for forming a partition of a plasma display panel (fourth partition forming method) according to the present invention. In FIG. 5, the drawing on the left is a sectional view in a direction parallel to the address electrodes, and the drawing on the right is a sectional view in a direction parallel to the bus electrodes. As shown in FIG. 5, first, a dry film resist (DFR; dry film resist)
(t) Attach 402 (first DFR attaching step S4)
1).

【0034】次に、フォトマスクを介して横隔壁の全体
と縦隔壁の下層部分とを形成するためのマトリックスパ
ターンを有するフォトマスクを介してドライフィルムレ
ジスト402を露光する(第1露光過程S42)。次
に、現像を行いドライフィルムレジスト402において
隔壁となる部分403を除去する(第1現像過程S4
3)。次に、その現像済みのドライフィルムレジスト4
02の現像によって除去した隔壁となる部分(空間)4
03に隔壁材料(ペースト)404を充填する(第1充
填過程S44)。
Next, the dry film resist 402 is exposed through a photomask having a matrix pattern for forming the entire horizontal partition and the lower layer of the vertical partition via a photomask (first exposure step S42). . Next, development is performed to remove a portion 403 serving as a partition in the dry film resist 402 (first development step S4).
3). Next, the developed dry film resist 4
Part (space) 4 to be a partition removed by development of No. 02
03 is filled with a partition material (paste) 404 (first filling step S44).

【0035】次に、隔壁材料404を充填したドライフ
ィルムレジスト402の表面にドライフィルムレジスト
405を貼り付ける(第2DFR貼付工程S45)。次
に、フォトマスクを介して縦隔壁の上層部分を形成する
ためのストライプパターンを有するフォトマスクを介し
てドライフィルムレジスト405を露光する(第2露光
過程S46)。次に、現像を行いドライフィルムレジス
ト405において隔壁となる部分(縦隔壁の上層部分)
を除去する(第2現像過程S47)。
Next, a dry film resist 405 is attached to the surface of the dry film resist 402 filled with the partition material 404 (second DFR attaching step S45). Next, the dry film resist 405 is exposed through a photomask having a stripe pattern for forming an upper layer portion of the vertical partition via a photomask (second exposure step S46). Next, development is performed, and a portion serving as a partition in the dry film resist 405 (the upper layer portion of the vertical partition)
Is removed (second developing step S47).

【0036】次に、その現像済みのドライフィルムレジ
スト405の現像によって除去した隔壁となる部分(空
間)に隔壁材料(ペースト)406を充填する(第2充
填過程S48)。次に、ドライフィルムレジスト402
とドライフィルムレジスト405を剥離し、さらに焼成
を行って、焼成済みの横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分
と縦隔壁の上層部分とを基板401に形成する(焼成過
程S49)。
Next, a partition wall material (paste) 406 is filled in a portion (space) serving as a partition wall removed by the development of the developed dry film resist 405 (second filling step S48). Next, dry film resist 402
Then, the dry film resist 405 is peeled off and further baked to form the entire baked horizontal partition, the lower layer portion of the vertical partition, and the upper layer portion of the vertical partition on the substrate 401 (firing step S49).

【0037】次に、本発明におけるプラズマディスプレ
イパネルの隔壁形成方法(その5)について説明する。
本発明におけるプラズマディスプレイパネルの隔壁形成
方法(第5の隔壁形成方法)を説明図として図6に示
す。図6において左側の図はアドレス電極と平行方向の
断面図であり、右側の図はバス電極と平行方向の断面図
である。図6に示すように、まず、基板501に隔壁材
料を全面塗工し第1隔壁材料層502を形成する(第1
塗工過程S51)。次に、横隔壁の全体と縦隔壁の下層
部分とを形成するためのマトリックスパターンを有する
第1レジストマスク503を第1隔壁材料層502の表
面に形成する(第1レジストマスク形成過程S52)。
Next, a method (part 5) of forming a partition of a plasma display panel according to the present invention will be described.
FIG. 6 is an explanatory diagram illustrating a method for forming a partition of a plasma display panel (fifth partition forming method) according to the present invention. In FIG. 6, the diagram on the left is a sectional view in the direction parallel to the address electrodes, and the diagram on the right is a sectional view in the direction parallel to the bus electrodes. As shown in FIG. 6, first, a partition wall material is applied to the entire surface of a substrate 501 to form a first partition wall material layer 502 (first partition wall layer 502).
Coating process S51). Next, a first resist mask 503 having a matrix pattern for forming the entire horizontal partition and the lower layer of the vertical partition is formed on the surface of the first partition material layer 502 (first resist mask forming step S52).

【0038】次に、第1レジストマスク503を介して
基板501に形成した第1隔壁材料層502に対してサ
ンドブラスト処理を行いサンドブラスト処理済みの横隔
壁の全体522と縦隔壁の下層部分511とを形成する
(第1サンドブラスト処理過程S53)。次に、第1隔
壁材料層502の表面に形成した第1レジストマスク5
03を剥離する(第1剥離過程S54)。次に、これを
焼成し、焼成済みの横隔壁の全体522と縦隔壁の下層
部分511とを基板501に形成する(第1焼成過程S
55)。
Next, the first partition wall material layer 502 formed on the substrate 501 is subjected to sandblasting through the first resist mask 503, and the whole of the sandblasted horizontal partition 522 and the lower layer portion 511 of the vertical partition are separated. It is formed (first sandblasting process S53). Next, the first resist mask 5 formed on the surface of the first partition wall material layer 502 is formed.
03 is peeled (first peeling step S54). Next, this is fired to form the entire fired horizontal partition 522 and the lower layer portion 511 of the vertical partition on the substrate 501 (first firing step S).
55).

【0039】次に、基板501に形成した焼成済みの横
隔壁の全体522と縦隔壁の下層部分511の表面にド
ライフィルムレジスト505を貼り付ける(DFR貼付
工程S56)。次に、フォトマスクを介して縦隔壁の上
層部分を形成するためのストライプパターンを有するフ
ォトマスクを介してドライフィルムレジスト405を露
光し、現像を行いドライフィルムレジスト505におい
て隔壁となる部分(縦隔壁の上層部分)を除去する(露
光現像過程S57)。
Next, a dry film resist 505 is attached to the entire surface 522 of the fired horizontal partition formed on the substrate 501 and the lower layer portion 511 of the vertical partition (DFR attaching step S56). Next, the dry film resist 405 is exposed and developed through a photomask having a stripe pattern for forming an upper layer portion of the vertical partition via a photomask, and is developed to form a portion (vertical partition) of the dry film resist 505 serving as a partition. Is removed (exposure and development step S57).

【0040】次に、その現像済みのドライフィルムレジ
スト505の現像によって除去した隔壁となる部分(空
間)に隔壁材料(ペースト)506を充填する(充填過
程S58)。次に、ドライフィルムレジスト505を剥
離し、焼成を行って焼成済みの横隔壁の全体522と縦
隔壁の下層部分511と縦隔壁の上層部分512とを基
板501に形成する(剥離焼成過程S59)。
Next, a partition wall material (paste) 506 is filled into a portion (space) serving as a partition wall removed by developing the developed dry film resist 505 (filling step S58). Next, the dry film resist 505 is peeled off and baked to form the entire baked horizontal partition 522, the lower layer portion 511 of the vertical partition, and the upper layer portion 512 of the vertical partition on the substrate 501 (peeling firing process S59). .

【0041】[0041]

【発明の効果】以上のように、本発明の請求項1に係る
プラズマディスプレイパネルによれば、蛍光面を発光さ
せた場合の輝度を高めることが可能で、しかもその隔壁
を形成する上での制約が小さく、PDPの放電空間を排
気する場合の排気効率が良くなる。また本発明の請求項
2に係るプラズマディスプレイパネルによれば、隔壁形
成が容易で歩留まりが向上する。
As described above, according to the plasma display panel according to the first aspect of the present invention, it is possible to increase the luminance when the fluorescent screen is illuminated, and it is possible to form the partition walls. The restriction is small, and the exhaust efficiency when exhausting the discharge space of the PDP is improved. Further, according to the plasma display panel of the second aspect of the present invention, the formation of the partition walls is easy and the yield is improved.

【0042】また本発明の請求項3に係る隔壁形成方法
によれば、蛍光面を発光させた場合の輝度を高めること
が可能な隔壁形状を有し、しかも、その隔壁を形成する
上での制約が小さく、PDPの放電空間を排気する場合
の排気効率が良くなるプラズマディスプレイパネルの隔
壁形成方法が提供される。
According to the partition forming method of the third aspect of the present invention, the partition has a partition shape capable of increasing the luminance when the fluorescent screen is illuminated. Provided is a method for forming a partition wall of a plasma display panel, which has less restrictions and improves exhaust efficiency when exhausting a discharge space of a PDP.

【0043】また本発明の請求項4に係る隔壁形成方法
によれば、蛍光面を発光させた場合の輝度を高めること
が可能な隔壁形状を有し、しかも、その隔壁を形成する
上での制約が小さく、PDPの放電空間を排気する場合
の排気効率が良くなるプラズマディスプレイパネルの隔
壁形成方法が提供される。また本発明の請求項5に係る
隔壁形成方法によれば、横隔壁の全体と縦隔壁の下層部
分の形状が確定し寸法精度が得られるとともに、後工程
における加工が容易である。
According to the partition forming method of the fourth aspect of the present invention, the partition has a partition shape capable of increasing the luminance when the fluorescent screen is illuminated, and furthermore, the partition has a small size. Provided is a method for forming a partition wall of a plasma display panel, which has less restrictions and improves exhaust efficiency when exhausting a discharge space of a PDP. Further, according to the partition forming method according to the fifth aspect of the present invention, the shapes of the entire horizontal partition and the lower layer of the vertical partition are determined, dimensional accuracy can be obtained, and processing in a subsequent step is easy.

【0044】また本発明の請求項6に係る隔壁形成方法
によれば、蛍光面を発光させた場合の輝度を高めること
が可能な隔壁形状を有し、しかも、その隔壁を形成する
上での制約が小さく、PDPの放電空間を排気する場合
の排気効率が良くなるプラズマディスプレイパネルの隔
壁形成方法が提供される。また本発明の請求項7に係る
隔壁形成方法によれば、横隔壁の全体と縦隔壁の下層部
分の形状が確定し寸法精度が得られるとともに、後工程
における加工が容易である。
Further, according to the method of forming a partition according to the sixth aspect of the present invention, the partition has a partition shape capable of increasing the luminance when the fluorescent screen is illuminated, and furthermore, the partition has a small size. Provided is a method for forming a partition wall of a plasma display panel, which has less restrictions and improves exhaust efficiency when exhausting a discharge space of a PDP. Further, according to the partition forming method according to claim 7 of the present invention, the shapes of the entire horizontal partition and the lower layer of the vertical partition are determined, dimensional accuracy can be obtained, and processing in a subsequent step is easy.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のプラズマディスプレイパネルの隔壁形
状を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a partition shape of a plasma display panel of the present invention.

【図2】本発明におけるプラズマディスプレイパネルの
隔壁形成方法(第1の隔壁形成方法:請求項3)を説明
図として示す図である。
FIG. 2 is a diagram illustrating a method for forming a partition of a plasma display panel (first partition forming method: claim 3) according to the present invention.

【図3】本発明におけるプラズマディスプレイパネルの
隔壁形成方法(第2の隔壁形成方法:請求項4、請求項
5)を説明図として示す図である。
FIG. 3 is a diagram illustrating a method of forming a partition of a plasma display panel (second partition forming method: claims 4 and 5) according to the present invention.

【図4】本発明におけるプラズマディスプレイパネルの
隔壁形成方法(第3の隔壁形成方法:請求項6、請求項
7)を説明図として示す図である。
FIG. 4 is a diagram illustrating a method for forming a partition of a plasma display panel (third partition forming method: claims 6 and 7) according to the present invention.

【図5】本発明におけるプラズマディスプレイパネルの
隔壁形成方法(第4の隔壁形成方法)を説明図として示
す図である。
FIG. 5 is a diagram illustrating a method for forming a partition of a plasma display panel (fourth partition forming method) according to the present invention.

【図6】本発明におけるプラズマディスプレイパネルの
隔壁形成方法(第5の隔壁形成方法)を説明図として示
す図である。
FIG. 6 is a diagram illustrating a method of forming a partition of a plasma display panel (fifth partition forming method) according to the present invention.

【図7】AC型プラズマディスプレイパネルの説明図
(その1)である。
FIG. 7 is an explanatory view (1) of an AC type plasma display panel.

【図8】AC型プラズマディスプレイパネルの説明図
(その2)である。
FIG. 8 is an explanatory view (2) of the AC type plasma display panel.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11a,11b,11c 縦隔壁の下層部分 12a,12b,11c 縦隔壁の上層部分 21a,21b,22a,22b 横隔壁 101,201,301,401、501 基板 102,202、502 第1隔壁材料層 103,203、503 第1レジストマスク 122,222,322,522 横隔壁の全体 111,211,311,511 縦隔壁の下層部分 104 第2隔壁材料層 105 第2レジストマスク 112,212,312,512 縦隔壁の上層部分 204,303 スクリーン印刷版(ストライプパター
ン) 302 スクリーン印刷版(マトリックスパターン) 402、405,505 ドライフィルムレジスト 403 隔壁となる部分 404、406 隔壁材料 801 前面板 802 背面板 803 セル障壁 804 維持電極 805 バス電極 806,806’ 誘電体層 807 MgO層 808 アドレス電極 809 蛍光面 810 下地層
11a, 11b, 11c Lower part of vertical partition 12a, 12b, 11c Upper part of vertical partition 21a, 21b, 22a, 22b Horizontal partition 101, 201, 301, 401, 501 Substrate 102, 202, 502 First partition material layer 103 , 203, 503 First resist masks 122, 222, 322, 522 Overall horizontal partitions 111, 211, 311, 511 Lower layer portions of vertical partitions 104 Second partition material layer 105 Second resist masks 112, 212, 312, 512 Vertical Upper layer portions of partition walls 204, 303 Screen printing plate (stripe pattern) 302 Screen printing plate (matrix pattern) 402, 405, 505 Dry film resist 403 Partition portions 404, 406 Partition material 801 Front plate 802 Back plate 803 Cell barrier 804 Maintenance Pole 805 bus electrodes 806 and 806 'dielectric layer 807 MgO layer 808 address electrodes 809 fluorescent screen 810 underlying layer

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 太田 範雄 東京都新宿区市谷加賀町一丁目1番1号 大日本印刷株式会社内 Fターム(参考) 5C027 AA09 5C040 GF03 GF04 GF13 GF14 GF19 JA12 JA15 JA17 JA21 LA12 MA03 MA22 MA26  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of front page (72) Inventor Norio Ota 1-1-1 Ichigaya-Kaga-cho, Shinjuku-ku, Tokyo F-term in Dai Nippon Printing Co., Ltd. (reference) 5C027 AA09 5C040 GF03 GF04 GF13 GF14 GF19 JA12 JA15 JA17 JA21 LA12 MA03 MA22 MA26

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】基板の表面に形成された隔壁の下層部分
と、その下層部分の上に形成された隔壁の上層部分とか
ら成る上下2層構造の隔壁を有し、 前記下層部分はアドレス電極と平行方向の縦隔壁の下層
部分とバス電極と平行方向の横隔壁の全体とから成り、 前記上層部分はアドレス電極と平行方向の縦隔壁の上層
部分から成る、 ことを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
1. A partition having an upper and lower two-layer structure comprising a lower layer of a partition formed on a surface of a substrate and an upper layer of a partition formed on the lower layer, wherein the lower layer has an address electrode. A lower portion of a vertical partition in a direction parallel to the horizontal direction and the entirety of a horizontal partition in a direction parallel to a bus electrode; and the upper layer portion includes an upper portion of a vertical partition in a direction parallel to the address electrode. .
【請求項2】請求項1記載のプラズマディスプレイパネ
ルにおいて、前記縦隔壁の下層部分の幅は、前記縦隔壁
の上層部分の幅より広幅であることを特長とするプラズ
マディスプレイパネル。
2. The plasma display panel according to claim 1, wherein the width of the lower layer of the vertical partition is wider than the width of the upper layer of the vertical partition.
【請求項3】基板に隔壁材料を全面塗工し第1隔壁材料
層を形成する第1塗工過程と、 横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分とを形成するためのマ
トリックスパターンを有する第1レジストマスクを前記
第1隔壁材料層の表面に形成する第1レジストマスク形
成過程と、 前記第1レジストマスクを介して前記基板に形成した前
記第1隔壁材料層に対してサンドブラスト処理を行う第
1サンドブラスト処理過程と、 前記第1隔壁材料層の表面に形成した第1レジストマス
クを剥離する第1剥離過程と、 前記サンドブラスト処理を行った第1隔壁材料層を焼成
し横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分とを前記基板に形成
する第1焼成過程と、 前記基板に隔壁材料を全面塗工し第2隔壁材料層を形成
する第2塗工過程と、 縦隔壁の上層部分を形成するためのストライプパターン
を有する第2レジストマスクを前記第1隔壁材料層の表
面に形成する第2レジストマスク形成過程と、 前記第2レジストマスクを介して前記基板に形成した前
記第2壁材料層に対してサンドブラスト処理を行う第2
サンドブラスト処理過程と、 前記第2壁材料層の表面に形成した第2レジストマスク
を剥離する第2離過程と、 前記サンドブラスト処理を行った第2壁材料層を焼成し
縦隔壁の上層部分を前記縦隔壁の下層部分の上に形成す
る第2焼成過程と、 を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネル
の隔壁形成方法。
3. A first coating step of forming a first partition wall material layer by coating a partition wall material on the entire surface of the substrate, and a first coating step having a matrix pattern for forming the entire horizontal partition wall and the lower layer portion of the vertical partition wall. A first resist mask forming step of forming a first resist mask on the surface of the first partition material layer, and a step of performing a sandblasting process on the first partition material layer formed on the substrate via the first resist mask. 1 sand blasting process, a first stripping process of stripping a first resist mask formed on the surface of the first partition wall material layer, baking the sand blasted first partition wall material layer, and vertically and horizontally forming the horizontal partition walls. A first baking process of forming a lower layer portion of the partition on the substrate; a second coating process of forming a second partition material layer by applying a partition material on the entire surface of the substrate; forming an upper layer portion of the vertical partition; Was Forming a second resist mask having a stripe pattern on the surface of the first partition wall material layer; and forming the second resist mask on the substrate via the second resist mask with respect to the second wall material layer. Second to perform sandblasting
A sand blasting process, a second separating process of peeling off a second resist mask formed on a surface of the second wall material layer, and firing the sand blasted second wall material layer to form an upper layer portion of the vertical partition wall. And b. Forming a second baking process on a lower layer portion of the vertical barrier ribs.
【請求項4】基板に隔壁材料を全面塗工し第1隔壁材料
層を形成する第1塗工過程と、 横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分とを形成するためのマ
トリックスパターンを有する第1レジストマスクを前記
第1隔壁材料層の表面に形成する第1レジストマスク形
成過程と、 前記第1レジストマスクを介して前記基板に形成した前
記第1隔壁材料層に対してサンドブラスト処理を行いサ
ンドブラスト処理済みの横隔壁の全体と縦隔壁の下層部
分とを形成する第1サンドブラスト処理過程と、 前記第1隔壁材料層の表面に形成した第1レジストマス
クを剥離する第1剥離過程と、 縦隔壁の上層部分を形成するためのストライプパターン
を有するスクリーン印刷版を用いて前記縦隔壁の下層部
分の上に隔壁材料を刷り重ね縦隔壁の上層部分を形成す
るスクリーン印刷過程と、 前記基板に形成した横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分と
縦隔壁の上層部分とを焼成し焼成済みの横隔壁の全体と
縦隔壁の下層部分と縦隔壁の上層部分とを形成する焼成
過程と、 を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネル
の隔壁形成方法。
4. A first coating step of forming a first partition wall material layer by coating a partition wall material on the entire surface of the substrate, and a first coating step having a matrix pattern for forming the entire horizontal partition wall and the lower layer portion of the vertical partition wall. A first resist mask forming step of forming a first resist mask on the surface of the first partition wall material layer; and a sand blasting process on the first partition wall material layer formed on the substrate via the first resist mask. A first sandblasting process for forming the entire processed horizontal partition and a lower layer portion of the vertical partition, a first stripping process for stripping a first resist mask formed on a surface of the first partition material layer, Using a screen printing plate having a stripe pattern for forming an upper layer portion, printing a partition material on the lower layer portion of the vertical partition to form an upper layer portion of the vertical partition. The clean printing process, the entire horizontal partition formed on the substrate, the lower layer of the vertical partition and the upper layer of the vertical partition are fired, and the entire fired horizontal partition and the lower layer of the vertical partition and the upper layer of the vertical partition are fired. A method for forming a partition of a plasma display panel, comprising:
【請求項5】請求項4記載の隔壁形成方法において、前
記第1剥離過程の後、かつ前記スクリーン印刷工程の前
において、前記サンドブラスト処理を行った第1隔壁材
料層を焼成し、焼成済みの横隔壁の全体と縦隔壁の下層
部分とを前記基板に形成する焼成過程を有することを特
徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。
5. The method for forming a partition wall according to claim 4, wherein after the first peeling step and before the screen printing step, the sandblasted first partition wall material layer is fired, and A method of forming a partition of a plasma display panel, comprising a firing step of forming the whole of the horizontal partition and the lower layer of the vertical partition on the substrate.
【請求項6】横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分とを形成
するためのマトリックスパターンを有するスクリーン印
刷版を用いて隔壁材料を刷り重ね、基板に横隔壁の全体
と縦隔壁の下層部分とを形成する第1スクリーン印刷過
程と、 縦隔壁の上層部分を形成するためのストライプパターン
を有するスクリーン印刷版を用いて前記縦隔壁の下層部
分の上に隔壁材料を刷り重ね縦隔壁の上層部分を形成す
る第2スクリーン印刷過程と、 前記基板に形成した横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分と
縦隔壁の上層部分とを焼成し、焼成済みの横隔壁の全体
と縦隔壁の下層部分と縦隔壁の上層部分とを形成する焼
成過程と、 を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネル
の隔壁形成方法。
6. A partition material is overprinted using a screen printing plate having a matrix pattern for forming the entire horizontal partition and the lower layer of the vertical partition, and the entire horizontal partition and the lower layer of the vertical partition are formed on the substrate. A first screen printing step of forming a partition wall material on a lower layer portion of the vertical partition using a screen printing plate having a stripe pattern for forming an upper layer portion of the vertical partition. A second screen printing process to be formed; firing the entire horizontal partition formed on the substrate, the lower layer portion of the vertical partition, and the upper layer portion of the vertical partition, and firing the entire horizontal partition, the lower layer portion of the vertical partition, and the vertical A baking process for forming an upper layer portion of the partition wall; and a method of forming a partition wall of a plasma display panel.
【請求項7】請求項6記載の隔壁形成方法において、前
記第1スクリーン印刷過程の後、かつ前記第2スクリー
ン印刷過程の前において、前記基板に形成した横隔壁の
全体と縦隔壁の下層部分とを焼成し、焼成済みの横隔壁
の全体と縦隔壁の下層部分とを前記基板に形成する焼成
過程を有することを特徴とするプラズマディスプレイパ
ネルの隔壁形成方法。
7. The partition wall forming method according to claim 6, wherein after the first screen printing step and before the second screen printing step, the entire horizontal partition wall formed on the substrate and the lower layer portion of the vertical partition wall. And baking the whole of the fired horizontal barrier ribs and the lower layer portion of the vertical barrier ribs on the substrate.
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