KR100738221B1 - Plasma Display Panel and Manufacturing Method Thereof - Google Patents
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Abstract
본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing partition walls of a plasma display panel.
본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법은 (a) 글라스에 형성된 유전체 상부에 코팅막을 형성하는 단계, (b) 코팅막 상부에 컬럼 방향과 로우 방향의 패턴이 서로 다른 폭을 갖는 포토 마스크를 놓고 로우 격벽 및 컬럼 격벽의 패턴을 형성하는 단계 및 (c) 로우 격벽과 컬럼 격벽의 패턴을 에칭하여 높이가 서로 다른 로우 격벽과 컬럼 격벽을 형성하는 단계를 포함한다.In the method of manufacturing a plasma display panel according to the present invention, (a) forming a coating film on the dielectric formed on the glass, (b) placing a photomask having a different width in the column direction and the row direction on the coating film, Forming patterns of the barrier ribs and the column barrier ribs, and (c) etching the patterns of the row barrier ribs and the column barrier ribs to form row barrier ribs and column barrier ribs having different heights.
또한, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널은 상기 제조방법으로 형성되는 격벽을 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the plasma display panel according to the present invention is characterized in that it comprises a partition formed by the manufacturing method.
따라서, 본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법에 있어서, 로우 방향과 컬럼 방향의 마스크 패턴 폭을 각각 달리하여 한번의 노광과 등방성 에칭을 이용하여 서로 다른 높이의 격벽을 형성함으로써 격벽 제조 공정의 수를 줄여 플라즈마 디스플레이 패널의 제조단가를 낮추는 효과가 있다. Accordingly, in the method of manufacturing a plasma display panel, the number of barrier rib manufacturing processes is achieved by forming barrier ribs having different heights using one exposure and isotropic etching with different mask pattern widths in row and column directions, respectively. This reduces the manufacturing cost of the plasma display panel.
또한, 플라즈마 디스플레이 패널 제조방법에 있어서, 그린시트를 이용하는 경우에는 격벽의 두께를 균일하게 제어할 수 있어 플라즈마 디스플레이 패널의 균일도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.In the plasma display panel manufacturing method, when the green sheet is used, the thickness of the partition wall can be uniformly controlled, thereby improving the uniformity of the plasma display panel.
Description
도 1은 일반적인 플라즈마 디스플레이 패널의 구조를 나타낸 도.1 is a view showing the structure of a typical plasma display panel.
도 2 내지 도 4는 종래 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽구조를 나타낸 도.2 to 4 is a view showing a partition structure of a conventional plasma display panel.
도 5a 내지 도 5e는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 제조방법을 순차적으로 나타낸 도.5A through 5E are diagrams sequentially illustrating a method of manufacturing a partition wall of a plasma display panel according to the present invention.
도 6은 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법을 순차적으로 나타낸 도.6 is a view sequentially showing a manufacturing method of a plasma display panel according to the present invention;
도 7a 내지 도 7c는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 제조방법을 순차적으로 나타낸 도.7A to 7C are diagrams sequentially illustrating a method of manufacturing a partition wall of a plasma display panel according to the present invention.
도 8은 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 그린시트를 나타낸 도.8 illustrates a green sheet of a plasma display panel according to the present invention;
도 9a 내지 도 9c는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽용 그린시트 제조방법을 나타낸 도.9A to 9C are views illustrating a method of manufacturing a partition green sheet for a plasma display panel according to the present invention.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>
700: 후면 글라스 710: 격벽용 페이스트700: rear glass 710: partition paste
711: 드라이 필름 레진 712a: 로우 방향의 패턴711:
712b: 컬럼 방향의 패턴 712: 포토 마스크712b: pattern in column direction 712: photo mask
730: 하부 유전체층730: lower dielectric layer
본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 격벽의 제조방법을 개선하여 격벽의 제조 공정 수를 줄여 플라즈마 디스플레이 패널의 제조단가를 낮출 수 있는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법 및 이러한 제조방법으로 형성되는 격벽을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널에 관한 것이다. The present invention relates to a plasma display panel, and more particularly, to a plasma display panel manufacturing method capable of reducing the manufacturing cost of the plasma display panel by reducing the number of manufacturing processes of the partition wall by improving the manufacturing method of the partition wall and formed with such a manufacturing method. The present invention relates to a plasma display panel including a partition wall.
일반적으로, 플라즈마 디스플레이 패널은 전면 패널과 후면 패널 사이에 형성된 격벽이 하나의 단위 셀을 이루는 것으로, 각 셀 내에는 네온(Ne), 헬륨(He) 또는 네온과 헬륨의 혼합기체(Ne+He)와 같은 주 방전 기체와 소량의 크세논을 함유하는 불활성 가스가 충진되어 있다. 고주파 전압에 의해 방전이 될 때, 불활성 가스는 진공자외선(Vacuum Ultraviolet Rays)을 발생하고 격벽 사이에 형성된 형광체를 발광시켜 화상이 구현된다. 이와 같은 플라즈마 디스플레이 패널은 얇고 가벼운 구성이 가능하므로 차세대 표시장치로서 각광받고 있다.In general, a plasma display panel is a partition wall formed between a front panel and a rear panel to form one unit cell, and each cell includes neon (Ne), helium (He), or a mixture of neon and helium (Ne + He). An inert gas containing a main discharge gas such as and a small amount of xenon is filled. When discharged by a high frequency voltage, the inert gas generates vacuum ultraviolet rays and emits phosphors formed between the partition walls to realize an image. Such a plasma display panel has a spotlight as a next generation display device because of its thin and light configuration.
도 1은 일반적인 플라즈마 디스플레이 패널의 구조를 나타낸 도이다.1 illustrates a structure of a general plasma display panel.
도 1에 도시된 바와 같이, 플라즈마 디스플레이 패널은 화상이 디스플레이 되는 표시면인 전면 글라스(101)에 스캔 전극(102) 및 서스테인 전극(103)이 쌍을 이뤄 형성된 복수의 유지전극쌍이 배열된 전면패널(100) 및 배면을 이루는 후면 글라스(111) 상에 전술한 복수의 유지전극쌍과 교차되도록 복수의 어드레스 전극(113)이 배열된 후면패널(110)이 일정거리를 사이에 두고 평행하게 결합된다.As shown in FIG. 1, a plasma display panel includes a front panel in which a plurality of sustain electrode pairs formed by pairing a
전면패널(100)은 하나의 방전셀에서 상호 방전시키고 셀의 발광을 유지하기 위한 스캔 전극(102) 및 서스테인 전극(103), 즉 투명한 물질로 형성된 투명 전극(a)과 금속재질로 제작된 버스 전극(b)으로 구비된 스캔 전극(102) 및 서스테인 전극(103)이 쌍을 이뤄 포함된다. 스캔 전극(102) 및 서스테인 전극(103)은 방전 전류를 제한하며 전극 쌍 간을 절연시켜주는 유전체 층(104)에 의해 덮혀지고, 상부 유전체층(104) 상면에는 방전 조건을 용이하게 하기 위하여 산화마그네슘(MgO)을 증착한 보호층(105)이 형성된다.The
후면패널(110)은 후면 글라스(111) 상부에 전면 글라스(101) 상부에 평행하게 배열된 스캔 전극(102) 및 서스테인 전극(103)과 교차하는 방향으로 어드레스 전극(113)이 배열되고, 어드레스 전극(113) 상부에는 하부 유전체층(115)가 형성된다. 또한, 하부 유전체층(115) 상부에는 방전 셀을 구획하는 격벽(112)이 형성되고, 방전셀 공간에는 형광층(114)이 도포되어 방전 시 R(적색), G(녹색), B(청색) 중 어느 하나의 색을 갖는 가시광선을 발생하게 된다. The
한편, 이러한 구조를 가지는 종래 플라즈마 디스플레이 패널에 있어서, 후면 패널 위에 복수 개의 방전공간 즉, 방전 셀을 형성시키기 위한 격벽(112)은 그 구조에 따라 스트라입(stripe)타입과 웰(well) 타입으로 나뉜다. 이러한 격벽(112) 구조는 휘도 특성, 배기 특성 및 형광체 도포면적등을 고려하여 다양하게 설계된다.On the other hand, in the conventional plasma display panel having such a structure, the
도 2 내지 도 4는 종래 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽구조를 도시한 것이다.2 to 4 illustrate a partition structure of a conventional plasma display panel.
도 2는 후면 글라스(111)상의 하부 유전체층(115)상부에 형성된 격벽(112)이 일렬로 배열된 스트라입 타입의 구조로, 격벽(112)은 버스전극과 투명전극으로 이루어지는 스캔 전극(미도시) 및 서스테인 전극(미도시)과 수직으로 배열된다. 이러한 스트라입 타입의 격벽구조는 버스전극이 방전공간상에 노출되어 후면 글라스(111)의 어드레스 전극(113)과의 상호작용이 원활하며 제조공정이 간단하다. 그러나 방전 시에 발생된 가시광이 그 격벽의 스트라이프 방향으로 누설되게 되는 단점이 있고, 형광체 인쇄 및 배기는 용이하지만 인접 셀에 영향을 주는 오방전과 형광체 도포 면적이 작아 발광효율이 높지 않은 단점이 있다.FIG. 2 is a stripe type structure in which the
한편, 도 3은 후면 글라스(111)상의 하부 유전체층(115) 상부에 형성된 격벽(112)이 격자형을 갖는 웰(well) 타입의 구조로, 도시된 바와 같이, 격벽(112)은 버스전극과 투명전극으로 이루어지는 스캔 전극(미도시) 및 서스테인 전극(미도시)로 수평 또는 수직으로 배열된다. 이러한 웰(Well)타입의 격벽구조는 각 방전 셀의 형광체 도포 면적이 커 휘도를 증가시킬 수 있고, 모든 방향에서의 크로스토크(cross-talk)를 방지할 수 있지만 제조공정이 까다롭고 플라즈마 디스플레이 패널 제조공정 중 배기공정에서 불순가스가 외부로 쉽게 배기되지 못하는 문제점을 가지고 있다.Meanwhile, FIG. 3 is a well type structure in which the
이러한 웰(Well)타입 격벽 구조의 배기특성을 향상시키기 위하여 종래에는 도 4와 같이, 방전 셀을 구획하는 제 1격벽(112a)과 제 2격벽(112b) 간에 높이 차를 두어 배기특성을 향상시키고자 하였다. 이러한 높이 차를 둔 웰타입 격벽구조를 형성하는 방법을 살펴보면 다음과 같다.In order to improve the exhaust characteristics of the well-type partition wall structure, as shown in FIG. 4, a difference in height is provided between the
도 5a 내지 도 5e는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 제조방법을 순차적으로 나타낸 도이다.5A through 5E are diagrams sequentially illustrating a method of manufacturing a partition wall of a plasma display panel according to the present invention.
먼저, 도 5a에서 보는 바와 같이, 전극(미도시)이 실장된 후면 글라스(111)상에 하부 유전체(115)를 형성하며, 하부 유전체(115) 상에는 소정의 두께를 갖는 격벽용 페이스트(112)을 인쇄법이나 코팅법등으로 형성한다. 이 후, 격벽용 페이스트(112) 상에 드라이 필름 레진(Dry Film Resin; 이하, DFR이라 함, 120)을 라미네이팅 공정을 통하여 형성하고, DFR(120) 상에 소정의 패턴을 갖는 포토 마스크(121)를 정렬하여 진공자외선과 같은 광을 조사시키는 노광공정을 행한다.First, as shown in FIG. 5A, a lower dielectric 115 is formed on a
이 후, 도 5b에서와 같이, DFR(120) 노광 공정 후, 현상공정을 실시한다. 이러한 현상공정에 의해 광에 노출되지 않은 영역(이하 '미노광 영역'이라 함)의 DFR(120)은 격벽용 페이스트(112)상에 잔류하는 반면에, 광에 노출된 영역(이하 '노광 영역'이라 함)의 DFR(120)은 식각되어 제거된다.Thereafter, as shown in FIG. 5B, after the
이 후, 도 5c에서와 같이, 현상공정을 거친 격벽용 페이스트(112) 및 DFR(120) 상에 샌드 블라스팅 장치(130)가 위치되어 구동함으로써 샌드 입자를 격벽용 페이스트(112)에 분사한다. 이 때, 샌드 입자의 스퍼터링으로 인하여 격벽용 페이스트(112)가 깎여지게 되는 반면, 격벽에 해당하는 페이스트(112)는 DFR(120) 패턴에 의해 보호된다.Thereafter, as shown in FIG. 5C, the
이 후, 도 5d에서와 같이, DFR(120)에 의해 보호되어 형성된 격벽에 박리 공정을 실시하여 제 1격벽(112a)과 제 2 격벽(112b)을 형성한다.Thereafter, as illustrated in FIG. 5D, a separation process is performed on the partition wall formed by being protected by the
한편, 종래 제 1 격벽(112a)과 제 2 격벽(112b)은 도 5a 내지 도 5d에서와 같이 격벽 페이스트 상부에 DFR을 형성하여 노광을 함으로써 소정의 패턴을 갖는 제 1 격벽(112a) 및 제 2 격벽(112b)을 형성할 수 있지만 이와는 달리 격벽 페이스트 자체에 감광성 물질을 포함시켜 형성할 수도 있고, 그린 시트를 이용하여 유전체 상부에 형성한 후, 노광공정을 통하여 제 1 격벽(112a) 및 제 2 격벽(112b)을 형성할 수도 있다.Meanwhile, the first and
이 후, 도 5e에서와 같이, 제 2 격벽(112b) 상부에 격벽용 페이스트를 직접 패터닝 방법을 이용하여 소정높이만큼 형성하여 서로 다른 높이의 제 1 격벽(112a)과 제 2 격벽(112b)을 형성한다.Subsequently, as shown in FIG. 5E, the partition paste is formed on the
이와 같이, 플라즈마 디스플레이 패널의 배기특성을 향상시키고자 제 1 격벽과 제 2 격벽의 높이차를 두는 웰(well)타입 격벽구조를 제조하는데 있어서, 전술한 바와 같이 제 1 격벽과 제 2 격벽의 높이차를 두기 위하여 먼저 동일한 높이로 제 1 격벽과 제 2 격벽을 형성한 다음 제 2 격벽에 페이스트를 또다시 도포하고 노광하여 형성해야 하는 번거로움이 있으며, 이러한 여러 번의 노광공정으로 인해 격벽막의 균일도가 저하되는 문제점이 있다. As described above, in fabricating a well type barrier rib structure having a height difference between the first barrier rib and the second barrier rib to improve the exhaust characteristics of the plasma display panel, the height of the first barrier rib and the second barrier rib as described above. In order to make a difference, the first barrier rib and the second barrier rib are first formed at the same height, and then the paste is applied to the second barrier rib and then exposed. There is a problem of deterioration.
이러한 문제점을 해결하기 위해 본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 의 제조방법을 개선하여 제조 공정 수를 줄이고 격벽막의 균일도를 향상시킬 수 있는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.In order to solve this problem, an object of the present invention is to provide a method of manufacturing a plasma display panel that can improve the manufacturing method of the partition wall of the plasma display panel, thereby reducing the number of manufacturing processes and improving the uniformity of the partition film.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법은 (a) 글라스에 형성된 유전체 상부에 코팅막을 형성하는 단계, (b) 코팅막 상부에 컬럼 방향과 로우 방향의 패턴이 서로 다른 폭을 갖는 포토 마스크를 놓고 로우 격벽 및 컬럼 격벽의 패턴을 형성하는 단계 및 (c) 로우 격벽과 컬럼 격벽의 패턴을 에칭하여 높이가 서로 다른 로우 격벽과 컬럼 격벽을 형성하는 단계를 포함한다.The method of manufacturing a plasma display panel according to the present invention for achieving the above object comprises the steps of (a) forming a coating film on the dielectric formed on the glass, and (b) a width in a column direction and a row direction on the coating film. Placing a photo mask having a photomask, and forming a pattern of row barrier ribs and column barrier ribs, and (c) etching the patterns of row barrier ribs and column barrier ribs to form row barrier ribs and column barrier ribs having different heights.
컬럼 방향의 패턴 폭이 로우 방향의 패턴 폭보다 넓은 것을 특징으로 한다.The pattern width in the column direction is larger than the pattern width in the row direction.
컬럼 방향의 패턴 폭은 로우 방향의 패턴 폭보다 2배이상 3배이하로 넓은 것을 특징으로 한다.The pattern width in the column direction is characterized by being wider than two times or more and three times less than the pattern width in the row direction.
컬럼 격벽의 높이는 로우 격벽의 높이보다 높은 것을 특징으로 한다.The height of the column partition is higher than the height of the row partition.
코팅막은 격벽용 페이스트, 그린시트 중 어느 하나로 형성되는 것을 특징으로 한다.The coating film is formed of any one of a partition paste and a green sheet.
그린 시트의 드라이 필름은 복수의 층으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The dry film of the green sheet is characterized by being formed of a plurality of layers.
드라이 필름층은 각각 서로 다른 유전상수를 갖는 복수의 층으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The dry film layer is formed of a plurality of layers each having a different dielectric constant.
복수의 드라이 필름층 중 패널의 표시면으로부터 가까운 격벽을 형성하는 드라이 필름층은 어두운 색을 가지는 것을 특징으로 한다.Among the plurality of dry film layers, the dry film layer forming the partition wall close to the display surface of the panel has a dark color.
또한 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널은 상기 제조방법을 이용하여 형성되는 격벽을 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the plasma display panel according to the present invention is characterized in that it comprises a partition formed by using the manufacturing method.
이하에서는 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the present invention.
도 6은 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법을 순차적으로 나타낸 도이다.6 is a view sequentially showing a method of manufacturing a plasma display panel according to the present invention.
도 6에서 보는 바와 같이, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법은 도 6의 좌측에 나열된 전면 패널 제조과정과 우측에 나열된 후면 패널 제조과정 및 하측에 나열된 실링 과정 등을 포함한 조립과정을 포함한다.As shown in FIG. 6, the method of manufacturing a plasma display panel according to the present invention includes an assembly process including a front panel manufacturing process listed on the left side of FIG. 6, a rear panel manufacturing process listed on the right side, and a sealing process listed below. .
먼저 도 6의 좌측에 나열된 전면 패널의 제조과정을 살펴보면, 먼저 기재가 되는 전면 글라스를 준비한 후(600) 전면 글라스 상부에 복수의 유지전극이 형성된다(601). 이 후, 유지전극쌍 상부에 방전전류를 제한하는 상부 유전체층이 형성되고(602), 상부 유전체층 상부에는 플라즈마 방전 시 발생되는 스퍼터링으로 상부 유전체층의 손상 방지와 아울러 2차 전자의 방출 효율을 높이기 위해 산화마그네슘(MgO)을 증착한 보호층이 형성된다(603).First, referring to the manufacturing process of the front panel listed on the left side of FIG. 6, after preparing the front glass to be the substrate (600), a plurality of sustain electrodes are formed on the front glass (601). Thereafter, an upper dielectric layer is formed on the sustain electrode pair to limit the discharge current (602), and sputtering generated during plasma discharge on the upper dielectric layer prevents damage to the upper dielectric layer and oxidizes to increase emission efficiency of secondary electrons. A protective layer on which magnesium (MgO) is deposited is formed (603).
한편 도 6의 우측에 나열된 후면 패널의 제조과정을 살펴보면, 전면 패널과 마찬가지로 먼저 기재가 되는 후면 글라스를 준비하고(610) 전면 패널에 형성된 유지전극과 교차하여 대향되도록 복수의 어드레스 전극이 후면 글라스에 형성된다(611). 이 후, 어드레스 전극 상부에는 벽전하 축적을 위한 하부 유전체층이 형성되고(612), 하부 유전체층 상부에는 방전 셀을 구획하는 격벽이 형성되며(613), 격 벽으로 구획된 방전 셀에는 형광체가 도포되어 형광체층이 형성된다(614).Meanwhile, referring to the manufacturing process of the rear panel listed on the right side of FIG. 6, similarly to the front panel, the rear glass, which is first described, is prepared (610), and a plurality of address electrodes are arranged on the rear glass so as to face the storage electrode formed on the front panel. It is formed (611). Subsequently, a lower dielectric layer is formed on the address electrode to accumulate wall charges (612), a barrier rib partitioning the discharge cells is formed on the lower dielectric layer (613), and a phosphor is coated on the discharge cells partitioned by the barrier ribs. A phosphor layer is formed (614).
이와 같이 제조된 전면 패널과 후면 패널은 서로 합착되어(620) 플라즈마 디스플레이 패널을 형성한다(630).The front panel and the rear panel manufactured as described above are bonded to each other (620) to form a plasma display panel (630).
이와 같이 제조되는 플라즈마 디스플레이 패널에서 본 발명에 따른 격벽 형성 방법을 살펴보면 다음 도 7a 내지 도 7c와 같다.Looking at the partition formation method according to the present invention in the plasma display panel manufactured as described above is as shown in Figs. 7a to 7c.
도 7a 내지 도 7c는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 제조방법을 순차적으로 나타낸 도이다.7A to 7C are diagrams sequentially illustrating a method of manufacturing a partition wall of a plasma display panel according to the present invention.
먼저, 도 7a에서 보는 바와 같이, 전극(미도시)이 실장된 후면 글라스(700)상에 하부 유전체(730)를 형성하며, 하부 유전체(730) 상에는 소정의 두께를 갖는 격벽용 페이스트(710)를 인쇄법이나 코팅법 등으로 형성한다. First, as shown in FIG. 7A, a
이 후, 격벽용 페이스트(710) 상에 드라이 필름 레진(Dry Film Resin; 이하, DFR이라 함, 711)을 라미네이팅 공정을 통하여 형성하고, DFR(711)상에 컬럼 방향의 패턴(712b) 폭이 로우 방향의 패턴(712a) 폭보다 넓은 패턴을 갖는 포토 마스크(712)를 정렬하여 진공자외선과 같은 광을 조사시키는 노광공정을 행한다. 여기서, 컬럼 방향의 패턴(712b) 폭이 로우 방향의 패턴(712a) 폭보다 더 넓어야 하는 이유는 이후에 형성되는 로우 격벽과 컬럼 격벽의 높이 차를 두기 위함이다. 바람직하게는, 로우 격벽보다 컬럼 격벽의 높이가 더 높게 형성이 되는데, 이것은 컬럼 격벽이 R, G, B 형광체 간의 각각을 분리하여 단위 픽셀을 구획하는 격벽으로써 형광체 간의 혼색을 방지하고 플라즈마 디스플레이 패널의 배기 특성을 향상시키기 위함이다.Thereafter, a dry film resin (hereinafter referred to as DFR) 711 is formed on the
이 때, 컬럼 방향의 패턴(712b) 폭이 로우 방향의 패턴(712a) 폭보다 2배이상 3배이하로 더 넓다. 여기서 컬럼 방향의 패턴(712b) 폭이 로우 방향의 패턴(712a) 폭보다 2배이상으로 넓지 않은 경우 플라즈마 디스플레이 패널의 배기 특성을 크게 향상시키기 어려울 뿐 아니라 형광체 혼색을 방지할 수 없으며, 컬럼 방향의 패턴(712b) 폭이 로우 방향의 패턴(712a) 폭보다 3배이상으로 넓은 경우는 로우 격벽의 기계적 강도가 저하되어 붕괴될 위험이 있다.At this time, the width of the
이 후, 도 7b에서와 같이, DFR(711) 노광 공정 후, 현상 및 에칭공정을 실시한다. 이러한 현상공정에 의해 광에 노출되지 않은 영역(이하 '미노광 영역'이라 함)의 DFR(711)은 격벽용 페이스트(710)상에 잔류하는 반면에, 광에 노출된 영역('노광 영역'이라 함)의 DFR(711)은 식각되어 제거된다.Thereafter, as shown in FIG. 7B, after the
이러한 현상 공정 후, 등방성 에칭을 이용하여 에칭액을 도포하면 패턴의 폭이 넓은 컬럼 방향의 패턴(712b)이 좁은 로우 방향의 패턴(712a)보다 격벽용 페이스트가 덜 에칭되어 이후에 로우 격벽에 비해 높은 높이를 갖는 컬럼 격벽을 형성하게 된다.After such a developing process, when the etchant is applied using an isotropic etching, the
이 후, 도 7c에서와 같이, DFR(711)에 의해 보호되어 형성된 격벽(710)에 박리 공정을 실시하여 서로 다른 높이의 로우 격벽(710a)과 컬럼 격벽(710b)을 형성한다. Subsequently, as illustrated in FIG. 7C, a stripping process is performed on the
한편, 본 발명의 로우 격벽과 컬럼 격벽은 도 7a 내지 도 7c에서와 같이 격벽용 페이스트 상부에 DFR을 형성하여 노광을 함으로써 서로 다른 높이를 갖는 로우 격벽 및 컬럼 격벽을 형성할 수 있지만 이와는 달리 격벽 페이스트 자체에 감광 성 물질을 포함시켜 노광공정을 통하여 서로 다른 높이를 갖는 로우 격벽 및 컬럼 격벽을 형성할 수도 있고, 그린시트를 이용하여 형성할 수도 있다. 특히, 그린시트를 이용하여 서로 다른 높이를 갖는 로우 격벽 및 컬럼 격벽을 형성하는 경우 격벽의 두께를 균일하게 제어할 수 있어, 플라즈마 디스플레이 패널의 균일도가 향상되는 효과가 있다. 이러한 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 그린시트를 살펴보면 다음과 같다.Meanwhile, the row barrier ribs and the column barrier ribs of the present invention may form row barrier ribs and column barrier ribs having different heights by forming a DFR on the barrier paste, as shown in FIGS. 7A to 7C, and expose the barrier ribs. The photosensitive material may be included in itself to form row barrier ribs and column barrier ribs having different heights through an exposure process, or may be formed using green sheets. In particular, when the row partitions and the column partitions having different heights are formed by using the green sheet, the thicknesses of the partition walls may be uniformly controlled, thereby improving the uniformity of the plasma display panel. Looking at the green sheet of the plasma display panel according to the present invention as follows.
도 8은 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 그린시트를 나타낸 도이다.8 is a view showing a green sheet of a plasma display panel according to the present invention.
도 8에 도시된 바와 같이, 하부에는 베이스 필름(801)이 형성되고, 베이스 필름(801) 상부에는 제 1 드라이 필름(802)이 형성되며, 그 상부에는 제 1 드라이 필름(802)과 다른 유전상수를 가지는 재질로 제 2 드라이 필름(803)이 형성되며, 제 2 드라이 필름(803) 상부에는 커버필름(804)이 형성된다. 이와 같이 제 1 드라이 필름(802)과 제 2 드라이 필름(803)이 유전상수가 서로 다른 재질로 형성되는 이유는 플라즈마 디스플레이 패널의 소비 전력을 감소시키기 위함이다. 또한 제 1 드라이 필름(802)과 제 2 드라이 필름(803) 중 제 1 드라이 필름(802)이 제 2 드라이 필름(803)보다 어두운 색을 갖는 재질로 형성된다. 이것은 제 1 드라이 필름이 패널의 표시면으로부터 가까운 격벽을 형성하는 드라이 필름층이므로 제 1 드라이 필름이 어두운 색을 가진 재질로 형성되면 플라즈마 디스플레이 패널의 콘트라스트가 향상되기 때문이다. 한편, 도 8에서는 드라이 필름이 두층으로 도시되었지만, 드라이 필름층은 두층 이상의 복수의 층으로 형성될 수도 있다.As shown in FIG. 8, a
이와 같은 구조를 갖는 그린시트를 형성하는 과정을 살펴보면 다음과 같다.Looking at the process of forming a green sheet having such a structure as follows.
도 9a 내지 도 9c는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽용 그린시트 제조방법을 나타낸 도이다.9A to 9C are views illustrating a method of manufacturing partition green sheets of a plasma display panel according to the present invention.
먼저, 도 9a를 살펴보면, 격벽을 형성하기 위한 제 1 드라이 필름(802)은 코터(Coater, 830)로부터 나오는 격벽용 제 1 슬러리(Slurry, 802a)가 컨베이어 벨트(820)상에 형성된 PET 재질인 베이스 필름(801)상에 일정한 두께로 도포된다. First, referring to FIG. 9A, the first
이 후, 9b에서 보는 바와 같이, 베이스 필름(801)에 도포된 제 1 슬러리(802a)를 건조시켜 제 1 드라이 필름(802)을 형성한 후, 그 상부에 제 2 슬러리(803a)를 도포하여 건조시키면 제 2 드라이 필름(803)이 형성된다. 이 때 제 1 슬러리(802a)와 제 2 슬러리(803a)는 유전상수가 서로 다른 재질로 형성된다. 이것은 제 1 슬러리(802a)와 제 2 슬러리(803a)가 서로 다른 유전상수를 갖는 재질로 형성되면 플라즈마 디스플레이 패널 구동 시 소비 전력이 감소하기 때문이다. 또한, 제 1 슬러리가 제 2 슬러리에 비해 어두운 색을 가지게 되는데, 이것은 제 1 슬러리가 제 1 드라이 필름을 형성하며 제 1 드라이 필름은 패널의 표시면으로부터 가까운 격벽을 형성하기 때문에 플라즈마 디스플레이 패널의 콘트라스트 향상을 위해서 제 1 슬러리(802a)가 제 2 슬러리(803a)에 비해 어두운 색을 가지게 된다.Thereafter, as shown in 9b, the
이 후, 9c에서 보는 바와 같이, 제 2 드라이 필름(803) 상부에 커버 필름(804)을 덮어 롤 형태로 제작하면 최종 그린시트(800)가 형성된다.Thereafter, as shown in 9c, when the
이러한 그린시트를 이용하여 격벽을 형성하는 경우 또한 도 7a 내지 도 7c에서 전술한 바와 같은 방법으로 서로 다른 높이를 갖는 격벽을 형성하게 된다.In the case of forming the partition wall using the green sheet, partition walls having different heights may be formed by the method described above with reference to FIGS. 7A to 7C.
따라서 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널은 격벽용 페이스트나 그린시트를 이용하여 로우 방향의 패턴과 컬럼 방향의 패턴 마스크의 폭을 달리하여 한번의 노광과 에칭 공정을 거쳐 형성되는 서로 다른 높이를 가지는 격벽을 포함하는 것을 특징으로 한다.Therefore, the plasma display panel according to the present invention uses a partition paste or a green sheet to form partitions having different heights formed through a single exposure and etching process by varying the width of the pattern in the row direction and the pattern mask in the column direction. It is characterized by including.
이와 같이 패턴 마스크의 폭을 로우 격벽의 패턴 폭과 컬럼 격벽의 패턴 폭을 달리하여 한번의 노광공정을 통하여 서로 다른 높이를 갖는 격벽을 형성함으로써 격벽의 제조공정 수를 줄여 플라즈마 디스플레이 패널의 제조단가를 낮추게 된다.In this way, the width of the pattern mask is different from the width of the row partition and the pattern width of the column partition to form partitions having different heights in one exposure process, thereby reducing the number of manufacturing steps of the partition walls, thereby reducing the manufacturing cost of the plasma display panel. Will be lowered.
또한, 플라즈마 디스플레이 패널 제조방법에 있어서, 그린시트를 이용하는 경우에는 격벽막을 균일하게 제어할 수 있어 플라즈마 디스플레이 패널의 균일도를 향상시킬 수 있다.In the plasma display panel manufacturing method, when the green sheet is used, the barrier film can be uniformly controlled, thereby improving the uniformity of the plasma display panel.
상술한 바와 같이, 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.As described above, the technical configuration of the present invention can be understood by those skilled in the art that the present invention can be implemented in other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention.
그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Therefore, the above-described embodiments are to be understood as illustrative and not restrictive in all respects, and the scope of the present invention is indicated by the appended claims rather than the detailed description, and the meaning and scope of the claims and their All changes or modifications derived from equivalent concepts should be construed as being included in the scope of the present invention.
이상에서 보는 바와 같이, 본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법에 있어서, 로우 방향과 컬럼 방향의 마스크 패턴 폭을 각각 달리하여 한 번의 노광과 등방성 에칭을 이용하여 서로 다른 높이의 격벽을 형성함으로써 격벽 제조 공정의 수를 줄여 플라즈마 디스플레이 패널의 제조단가를 낮추는 효과가 있다.As described above, in the method of manufacturing a plasma display panel, the barrier ribs are manufactured by forming barrier ribs having different heights by using one exposure and isotropic etching with different mask pattern widths in row and column directions, respectively. The manufacturing cost of the plasma display panel is reduced by reducing the number of processes.
또한, 플라즈마 디스플레이 패널 제조방법에 있어서, 그린시트를 이용하는 경우에는 격벽의 두께를 균일하게 제어할 수 있어 플라즈마 디스플레이 패널의 균일도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.In the plasma display panel manufacturing method, when the green sheet is used, the thickness of the partition wall can be uniformly controlled, thereby improving the uniformity of the plasma display panel.
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