JP2001111224A - Method and apparatus for manufacturing multilayer ceramic board - Google Patents
Method and apparatus for manufacturing multilayer ceramic boardInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、セラミック多層基
板の製造方法および製造装置に関するものであり、特に
複数枚のグリーンシートを積層し、圧着する方法および
装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for manufacturing a ceramic multilayer substrate, and more particularly to a method and an apparatus for laminating and pressing a plurality of green sheets.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体装置において、ＩＣチップやＬＳ
Ｉチップ等の半導体素子は、基板に設けられた半導体素
子搭載部に収納されて実用に供されている。アルミナ等
のセラミック多層は耐熱性、耐久性、熱伝導性等に優れ
るため、この基板の材料として適しており、セラミック
製の半導体基板は現在盛んに使用されている。2. Description of the Related Art In a semiconductor device, an IC chip or an LS
2. Description of the Related Art A semiconductor element such as an I-chip is housed in a semiconductor element mounting portion provided on a substrate and is put to practical use. A ceramic multilayer such as alumina is suitable as a material for this substrate because of its excellent heat resistance, durability, thermal conductivity, and the like, and ceramic semiconductor substrates are currently in active use.
【０００３】このセラミック製の半導体基板は、基板サ
イズを縮小し、搭載ボードへの搭載密度を向上させ、ま
た電気特性を向上させるため、一般に複数枚のグリーン
シートを積層および焼成してセラミック多層基板が製造
される。In order to reduce the size of the substrate, increase the mounting density on the mounting board, and improve the electrical characteristics, the ceramic semiconductor substrate is generally formed by stacking and firing a plurality of green sheets on a ceramic multilayer substrate. Is manufactured.
【０００４】このようなセラミック多層基板において
は、グリーンシート積層体を圧着する際、平行圧着板に
てグリーンシート積層体の上下から圧力をかけ、グリー
ンシート積層体を一体化する製造方法が採られている。
このグリーンシート積層体を圧着するときの圧力によ
り、グリーンシート積層体が伸びて変形し、焼成後の基
板の寸法精度を下げる原因となる場合がある。セラミッ
ク多層基板においては、この寸法精度の向上が望まれて
いる。ここで、寸法精度とは、寸法のばらつきの度合い
を示すものである。In such a ceramic multi-layer substrate, a manufacturing method is adopted in which when pressing the green sheet laminate, pressure is applied from above and below the green sheet laminate with a parallel press plate to integrate the green sheet laminate. ing.
The pressure at the time of pressing the green sheet laminate may cause the green sheet laminate to expand and deform, which may cause a reduction in dimensional accuracy of the fired substrate. In a ceramic multilayer substrate, it is desired to improve the dimensional accuracy. Here, the dimensional accuracy indicates the degree of dimensional variation.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】そこで、グリーンシー
ト積層体を圧着する際のグリーンシート積層体の伸びや
変形を低減する製造方法として、グリーンシート積層
体を枠の内部にはめ込み、グリーンシート積層体が周囲
へ伸びるのを抑えた状態でグリーンシート積層体の上下
から加圧するか、または静水圧プレスを行うセラミック
多層基板の製造方法が知られている。Accordingly, as a manufacturing method for reducing the elongation and deformation of the green sheet laminate when pressing the green sheet laminate, a green sheet laminate is inserted into a frame, and There has been known a method for manufacturing a ceramic multilayer substrate in which pressing is performed from above and below a green sheet laminated body or hydrostatic pressing is performed in a state in which expansion of the green sheet is suppressed.
【０００６】しかしながら、上記ののセラミック多層
基板の製造方法では、製造治具、製造工具あるいは製造
設備が高価であるという問題があった。また、製造工程
が複雑になり、製造工数が増大するという問題があっ
た。However, the above-described method for manufacturing a ceramic multilayer substrate has a problem that a manufacturing jig, a manufacturing tool, or a manufacturing facility is expensive. Further, there is a problem that the manufacturing process becomes complicated and the number of manufacturing steps increases.
【０００７】また、グリーンシート積層体の製品部分
の外周部よりも外側に相対する部分に形成された拘束溝
を有する拘束型を用いてグリーンシート積層体を拘束
し、圧着するセラミック多層基板の製造方法が知られて
いる。Also, a ceramic multilayer substrate is produced in which the green sheet laminate is restrained and pressure-bonded by using a restraining die having a restraining groove formed on a portion of the green sheet laminate that is opposed to the outer peripheral portion of the product portion. Methods are known.
【０００８】しかしながら、上記ののセラミック多層
基板の製造方法では、圧着時に加熱すると、グリーンシ
ート積層体に含有される溶剤が気化し、この気化した溶
剤ガスがグリーンシート積層体の内部から外部に脱気さ
れず、グリーンシートが剥離したり、ふくれが発生した
りして圧着不良が発生する恐れがあるという問題があっ
た。However, in the above-described method for manufacturing a ceramic multi-layer substrate, the solvent contained in the green sheet laminate evaporates when heated during pressing, and the vaporized solvent gas is released from the inside of the green sheet laminate to the outside. There has been a problem that the green sheet may be peeled off or blistered without being noticed, resulting in poor pressure bonding.
【０００９】本発明は、上記の問題を解決するためにな
されたものであり、圧着不良を防止し、寸法精度を向上
するセラミック多層基板の製造方法および製造装置を提
供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and has as its object to provide a method and an apparatus for manufacturing a ceramic multi-layer substrate which can prevent poor press bonding and improve dimensional accuracy.
【００１０】本発明の他の目的は、製造設備が安価であ
り、製造が容易で、製造工数を低減するセラミック多層
基板の製造方法および製造装置を提供することにある。It is another object of the present invention to provide a method and an apparatus for manufacturing a ceramic multilayer substrate in which manufacturing equipment is inexpensive, manufacturing is easy, and manufacturing steps are reduced.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１記載の
セラミック多層基板の製造方法によると、圧着時に、グ
リーンシート積層体の一方の面側に配した第１の圧着
板、あるいはグリーンシート積層体の他方の面側に配し
た第２の圧着板の一方または両方に形成された拘束溝に
よりグリーンシート積層体を拘束し、拘束溝を横切るよ
うに形成された脱気溝によりグリーンシート積層体の脱
気を行う。このため、圧着時に、グリーンシート積層体
の伸びおよび変形が低減されると共に、圧着時の加熱に
よりグリーンシート積層体に含有される溶剤が気化して
も、この気化した溶剤ガスはグリーンシート積層体の内
部から外部に排出される。したがって、グリーンシート
が剥離したり、ふくれが発生したりすることを防止して
圧着不良を防止し、グリーンシート積層体の寸法精度を
向上することができる。さらに、第１の圧着板または第
２の圧着板の一方または両方に拘束溝を形成し、この拘
束溝を横切るように脱気溝を形成すればよいので、製造
設備が安価であり、製造が容易で、製造工数を低減する
ことができる。According to the method for manufacturing a ceramic multi-layer substrate according to the first aspect of the present invention, at the time of pressing, the first pressing plate or the green sheet disposed on one side of the green sheet laminate. The green sheet laminate is restrained by restraining grooves formed on one or both of the second pressure-bonding plates disposed on the other surface side of the laminate, and the green sheets are laminated by deaeration grooves formed across the restraining grooves. Degas your body. For this reason, the elongation and deformation of the green sheet laminate during compression are reduced, and even if the solvent contained in the green sheet laminate is vaporized due to the heating during compression, the vaporized solvent gas is discharged from the green sheet laminate. It is discharged from inside to outside. Therefore, it is possible to prevent the green sheet from peeling off or to cause blistering, to prevent poor pressure bonding, and to improve the dimensional accuracy of the green sheet laminate. Further, a restraining groove may be formed in one or both of the first and second pressing plates, and a deaeration groove may be formed so as to cross the restraining groove. It is easy and the number of manufacturing steps can be reduced.
【００１２】本発明の請求項２記載のセラミック多層基
板の製造方法によると、グリーンシート積層体を拘束す
る工程の前に、グリーンシート積層体の製品部分の上下
面に圧力を負荷するので、気化した溶剤ガスはグリーン
シート積層体の周囲から外部に排出される。したがっ
て、グリーンシートが剥離したり、ふくれが発生したり
することを確実に防止し、圧着不良を確実に防止するこ
とができる。According to the method for manufacturing a ceramic multi-layer substrate according to the second aspect of the present invention, pressure is applied to the upper and lower surfaces of the product portion of the green sheet laminate before the step of restraining the green sheet laminate. The solvent gas thus discharged is discharged from the periphery of the green sheet laminate to the outside. Therefore, it is possible to reliably prevent the green sheet from being peeled off or to cause blistering, and to reliably prevent poor pressure bonding.
【００１３】本発明の請求項３記載のセラミック多層基
板の製造装置によると、グリーンシート積層体の一方の
面側に配された第１の圧着板と、グリーンシート積層体
の他方の面側に配された第２の圧着板と、第１の圧着板
または第２の圧着板のグリーンシート積層体に相対する
一方または両方の面側に形成される拘束溝と、この拘束
溝を横切るように形成された脱気溝とを備えている。こ
のため、圧着時に、拘束溝によりグリーンシート積層体
を拘束し、圧着時のグリーンシート積層体の伸びおよび
変形を低減すると共に、脱気溝によりグリーンシート積
層体の脱気を行い、圧着時の加熱によりグリーンシート
積層体に含有される溶剤が気化しても、この気化した溶
剤ガスはグリーンシート積層体の内部から外部に排出さ
れる。したがって、グリーンシートが剥離したり、ふく
れが発生したりすることを防止して圧着不良を防止し、
グリーンシート積層体の寸法精度を向上することができ
る。さらに、グリーンシート積層体に相対する第１の圧
着板または第２の圧着板の一方または両方の面側に拘束
溝を形成し、この拘束溝を横切るように脱気溝を形成す
ればよいので、安価な製造装置とすることができる。According to the apparatus for manufacturing a ceramic multi-layer substrate according to the third aspect of the present invention, the first crimping plate disposed on one side of the green sheet laminate and the other side of the green sheet laminate are disposed on the other side. The second pressure-bonding plate provided, a constraint groove formed on one or both surfaces of the first pressure-bonding plate or the second pressure-bonding plate facing one or both of the green sheet laminates; And a formed deaeration groove. For this reason, at the time of press bonding, the green sheet laminate is restrained by the restraining grooves to reduce the elongation and deformation of the green sheet laminate at the time of pressing, and the green sheet laminate is degassed by the degassing groove, and the pressure during the pressing Even when the solvent contained in the green sheet laminate evaporates due to the heating, the vaporized solvent gas is discharged from the inside of the green sheet laminate to the outside. Therefore, the green sheet is prevented from peeling or blistering to prevent poor crimping,
The dimensional accuracy of the green sheet laminate can be improved. Furthermore, a restraining groove may be formed on one or both surfaces of the first or second pressing plate facing the green sheet laminate, and a deaeration groove may be formed to cross the restraining groove. And an inexpensive manufacturing apparatus.
【００１４】本発明の請求項４記載のセラミック多層基
板の製造装置によると、拘束溝は、グリーンシート積層
体の製品部分の外周部よりも外側に相対する部分に形成
されるので、グリーンシート積層体の製品部分を傷つけ
るのを防ぐことができる。しがって、製品不良の発生を
抑えることができる。According to the apparatus for manufacturing a ceramic multi-layer substrate according to the fourth aspect of the present invention, since the restraining groove is formed in a portion opposed to the outer peripheral portion of the product portion of the green sheet laminate, the green sheet laminate is formed. The product part of the body can be prevented from being damaged. Therefore, the occurrence of product defects can be suppressed.
【００１５】本発明の請求項５記載のセラミック多層基
板の製造装置によると、グリーンシート積層体の製品部
分に相対する部分には、グリーンシート積層体の製品部
分の上下面に圧力を負荷する加圧手段が設けられている
ので、気化した溶剤ガスはグリーンシート積層体の周囲
から外部に排出される。したがって、グリーンシートが
剥離したり、ふくれが発生したりすることを確実に防止
し、圧着不良が確実に防止される。According to the apparatus for manufacturing a ceramic multi-layer substrate according to the fifth aspect of the present invention, pressure is applied to the upper and lower surfaces of the product portion of the green sheet laminate at the portion facing the product portion of the green sheet laminate. Since the pressure means is provided, the vaporized solvent gas is discharged from the periphery of the green sheet laminate to the outside. Therefore, the peeling of the green sheet and the occurrence of blisters are surely prevented, and the pressure failure is reliably prevented.
【００１６】[0016]
【発明の実施の形態】以下、本発明の複数の実施例を図
面に基づいて説明する。 （第１実施例）本発明を低温焼成のガラスセラミック多
層基板の製造方法および製造装置に適用した第１実施例
について、図１〜図７を用いて説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a plurality of embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. (First Embodiment) A first embodiment in which the present invention is applied to a method and an apparatus for manufacturing a glass ceramic multilayer substrate fired at a low temperature will be described with reference to FIGS.
【００１７】まず、ガラスセラミックスのグリーンシー
ト積層体の作製方法について述べる。ここで、ガラスセ
ラミックスの原料粉末は、ＣａＯ−Ａｌ2Ｏ3−ＳｉＯ2
−Ｂ2Ｏ3系のガラス粉末６０ｗｔ％とＡｌ2Ｏ3粉末４０
ｗｔ％とを混合した粉体状のセラミックスであり、平均
粒径は約３．５μｍである。First, a method for manufacturing a glass ceramic green sheet laminate will be described. Here, the raw material powder of the glass ceramic is CaO—Al 2 O 3 —SiO 2
Glass powder 60 wt% of -B 2 O 3 system and the Al 2 O 3 powder 40
wt.%, and has a mean particle size of about 3.5 μm.
【００１８】(1) ガラスセラミック粉体にジオキシルフ
タレートの可塑剤と、アクリル樹脂のバインダと、例え
ばトルエン、キシレン、アルコール類等の溶剤とを加
え、十分に混練して粘度２０００〜４００００ｃｐｓの
スラリーを作製し、ドクターブレード法によって例えば
０．３ｍｍ厚の４枚のガラスセラミックグリーンシート
を形成する。(1) A plasticizer of dioxyl phthalate, a binder of an acrylic resin, and a solvent such as toluene, xylene and alcohol are added to a glass ceramic powder, and the mixture is sufficiently kneaded to obtain a slurry having a viscosity of 2000 to 40000 cps. Is formed, and four glass ceramic green sheets having a thickness of, for example, 0.3 mm are formed by a doctor blade method.
【００１９】(2) 打ち抜き型やパンチングマシーン等を
用いて、ガラスセラミックグリーンシートを所望の形状
に加工し、また、複数の所定位置に例えば０．３ｍｍφ
のビアホールを打ち抜き形成し、各ビアホールにＡｇ系
導体材料を充填する。また、ガラスセラミックグリーン
シートの表面あるいは裏面に内部配線用のＡｇ、Ａｇ−
Ｐｄ、Ａｇ−Ｐｔ、Ａｇ−Ｐｄ−Ｐｔ、Ｃｕ等の導体ペ
ーストをスクリーン印刷する。(2) The glass-ceramic green sheet is processed into a desired shape by using a punching die, a punching machine, or the like.
Are formed by punching, and each via hole is filled with an Ag-based conductor material. Ag or Ag- for internal wiring is provided on the front or back surface of the glass ceramic green sheet.
Conductive paste such as Pd, Ag-Pt, Ag-Pd-Pt, and Cu is screen-printed.
【００２０】(3) 図５およぼ図６に示すように、それぞ
れのガラスセラミックグリーンシート１を積層し、この
グリーンシート積層体２を例えば１１０℃、１００ｋｇ
／ｃｍ2の条件で熱圧着して一体化する。(3) As shown in FIGS. 5 and 6, the respective glass ceramic green sheets 1 are laminated, and the green sheet laminate 2 is heated at, for example, 110 ° C. and 100 kg.
/ Cm 2 and integrated by thermocompression bonding.
【００２１】ここで、グリーンシート積層体２の熱圧着
装置１００について説明する。図１および図２に示すよ
うに、熱圧着装置１００は、第１の圧着板としての上圧
着板３０と、第２の圧着板としての下圧着板４０との互
いに相対する２つの圧着板から構成される。上圧着板３
０は、グリーンシート積層体２の外周部２０とほぼ同等
の大きさの外周部３２と、グリーンシート積層体２の表
面２ａと接することが可能な平らな下面部３１とを有し
ている。Here, the thermocompression bonding apparatus 100 for the green sheet laminate 2 will be described. As shown in FIG. 1 and FIG. 2, the thermocompression bonding apparatus 100 is composed of an upper crimping plate 30 as a first crimping plate and a lower crimping plate 40 as a second crimping plate. Be composed. Upper pressure plate 3
Numeral 0 has an outer peripheral portion 32 having substantially the same size as the outer peripheral portion 20 of the green sheet laminate 2, and a flat lower surface portion 31 capable of contacting the surface 2 a of the green sheet laminate 2.
【００２２】下圧着板４０は、上圧着板３０の下面部３
１と相対し、グリーンシート積層体２の裏面２ｂと接す
ることが可能な平板状の上面部４１と、この上面部４１
の外周に設けられ、グリーンシート積層体２を上に乗せ
てグリーンシート積層体２を拘束することが可能な拘束
部４３とを有している。拘束部４３は、グリーンシート
積層体２の外周部２０とほぼ同等の大きさの外周部４２
と、グリーンシート積層体２の外周部２０よりも小さ
く、グリーンシート積層体２の製品部分の外周部２１よ
りも大きい内周部４６と、外周部４２と内周部４６との
間に形成される外溝４４および内溝４５と、拘束部４３
の４角に外溝４４および内溝４５をそれぞれ４本に分断
するように形成される脱気溝４７とを有している。The lower pressure plate 40 is a lower surface 3 of the upper pressure plate 30.
1 and a flat plate-shaped upper surface portion 41 capable of contacting the back surface 2b of the green sheet laminate 2;
And a constraining portion 43 capable of restricting the green sheet laminate 2 by placing the green sheet laminate 2 thereon. The constraining portion 43 has an outer peripheral portion 42 having substantially the same size as the outer peripheral portion 20 of the green sheet laminate 2.
And an inner peripheral portion 46 smaller than the outer peripheral portion 20 of the green sheet laminate 2 and larger than the outer peripheral portion 21 of the product portion of the green sheet laminate 2, and between the outer peripheral portion 42 and the inner peripheral portion 46. Outer groove 44 and inner groove 45,
And a deaeration groove 47 formed so as to divide the outer groove 44 and the inner groove 45 into four each.
【００２３】外溝４４および内溝４５は、グリーンシー
ト積層体２の製品部分を外周部２１の４角を除いて取囲
む概略ロ字形に形成されており、その断面形状はＶ字形
をしている。外溝４４および内溝４５の幅は制限するも
のではないが０．２〜２．０ｍｍの範囲が好ましく、外
溝４４および内溝４５の深さは制限するものではないが
０．０３〜１．００ｍｍの範囲が好ましい。外溝４４お
よび内溝４５の幅が０．２ｍｍ未満であるか、または
２．０ｍｍより大きいと、圧着時のグリーンシート積層
体２の伸びおよび変形を低減する効果が小さくなる恐れ
がある。また、外溝４４および内溝４５の深さが０．０
３ｍｍ未満であるか、または１．００ｍｍより大きい
と、圧着時のグリーンシート積層体の伸びおよび変形を
低減する効果が小さくなる恐れがある。ここで、外溝４
４および内溝４５は、特許請求の範囲に記載された「拘
束溝」を構成している。The outer groove 44 and the inner groove 45 are formed in a substantially rectangular shape surrounding the product portion of the green sheet laminate 2 except for the four corners of the outer peripheral portion 21, and have a V-shaped cross section. I have. The width of the outer groove 44 and the inner groove 45 is not limited, but is preferably in the range of 0.2 to 2.0 mm, and the depth of the outer groove 44 and the inner groove 45 is not limited, but is preferably 0.03 to 1 mm. A range of 0.000 mm is preferred. If the width of the outer groove 44 and the inner groove 45 is less than 0.2 mm or greater than 2.0 mm, the effect of reducing the elongation and deformation of the green sheet laminate 2 during compression may be reduced. Further, the depth of the outer groove 44 and the inner groove 45 is 0.0
If it is less than 3 mm or more than 1.00 mm, the effect of reducing the elongation and deformation of the green sheet laminate during pressure bonding may be reduced. Here, the outer groove 4
The inner groove 4 and the inner groove 45 constitute a “restriction groove” described in the claims.
【００２４】４箇所の脱気溝４７は、圧着時の加熱によ
りグリーンシート積層体２に含有される溶剤が気化した
とき、この気化した溶剤ガスをグリーンシート積層体２
の内部から外部に脱気するためのものであって、外溝４
４および内溝４５が不連続になるように、すなわち外溝
４４および内溝４５を横切るように形成されている。脱
気溝４７が外溝４４および内溝４５を横切るように形成
されることにより、圧着時におけるグリーンシート積層
体２の脱気を滞りなく行わせることができる。なお、脱
気溝４７の幅および深さは外溝４４および内溝４５の幅
および深さと概略同等である。When the solvent contained in the green sheet laminate 2 is vaporized by the heating at the time of pressing, the four degassing grooves 47 are used to transfer the vaporized solvent gas to the green sheet laminate 2.
For deaeration from the inside to the outside of the
4 and the inner groove 45 are formed to be discontinuous, that is, to cross the outer groove 44 and the inner groove 45. By forming the deaeration groove 47 so as to cross the outer groove 44 and the inner groove 45, the deaeration of the green sheet laminate 2 during the pressing can be performed without delay. The width and depth of the deaerating groove 47 are substantially equal to the width and depth of the outer groove 44 and the inner groove 45.
【００２５】次に、熱圧着装置１００の作動について、
図２、図３および図４を用いて説明する。図２に示すよ
うに、下圧着板４０の拘束部４３の上にグリーンシート
積層体２を乗せ、グリーンシート積層体２および下圧着
板４０を固定して上圧着板３０を矢印Ｙ方向に移動する
と、上圧着板３０の下面部３１がグリーンシート積層体
２の表面２ａに接する。さらに上圧着板３０に矢印Ｙ方
向の力を加えると、図３に示すように、グリーンシート
積層体２の裏面２ｂが下圧着板４０の上面部４１に接
し、拘束部４３の外溝４４および内溝４５にくい込む。
これにより、グリーンシート積層体２が矢印Ｘ方向に伸
びるのを低減することができる。Next, regarding the operation of the thermocompression bonding apparatus 100,
This will be described with reference to FIGS. 2, 3 and 4. As shown in FIG. 2, the green sheet laminate 2 is placed on the restraining portion 43 of the lower pressure plate 40, the green sheet laminate 2 and the lower pressure plate 40 are fixed, and the upper pressure plate 30 is moved in the arrow Y direction. Then, the lower surface portion 31 of the upper pressure bonding plate 30 comes into contact with the surface 2 a of the green sheet laminate 2. When a force in the direction of arrow Y is further applied to the upper pressing plate 30, the back surface 2b of the green sheet laminate 2 comes into contact with the upper surface portion 41 of the lower pressing plate 40, as shown in FIG. Insert into the inner groove 45.
Thereby, the green sheet laminate 2 can be prevented from extending in the arrow X direction.
【００２６】このとき、図３および図４に示すように、
脱気溝４７によりグリーンシート積層体２の脱気を行う
ので、圧着の加熱によりグリーンシート積層体２に含有
される溶剤が気化しても、この気化した溶剤ガスはグリ
ーンシート積層体２の内部から外部に排出される。これ
により、グリーンシートが剥離したり、ふくれが発生し
たりすることを防止して圧着不良が防止され、グリーン
シート積層体２の寸法精度が向上される。At this time, as shown in FIGS. 3 and 4,
Since the green sheet laminate 2 is degassed by the degassing groove 47, even if the solvent contained in the green sheet laminate 2 is vaporized by the heating of the pressure bonding, the vaporized solvent gas is discharged to the inside of the green sheet laminate 2 Is discharged to the outside. Thereby, peeling of the green sheet and occurrence of blisters are prevented, so that poor pressure bonding is prevented, and the dimensional accuracy of the green sheet laminate 2 is improved.
【００２７】次に、図７に示すように、熱圧着されたグ
リーンシート積層体１０を製品となる部分の外周部２１
に沿って切断する。熱圧着されたグリーンシート積層体
１０を外周部２１に沿って切断すると、グリーンシート
積層体の製品部分５０が得られる。このグリーンシート
積層体の製品部分５０を、電気式連続ベルト炉を使用し
て空気中で９００℃、２０分の保持条件で焼成し、ガラ
スセラミック多層基板を作製する。なお、導体ペースト
がＣｕの場合は還元または中性雰囲気で焼成する。Next, as shown in FIG. 7, the thermocompression-bonded green sheet laminated body 10 is
Cut along. When the thermo-compressed green sheet laminate 10 is cut along the outer peripheral portion 21, a product portion 50 of the green sheet laminate is obtained. The product part 50 of the green sheet laminate is fired in an air using an electric continuous belt furnace at 900 ° C. for 20 minutes to produce a glass ceramic multilayer substrate. When the conductive paste is Cu, the paste is reduced or fired in a neutral atmosphere.
【００２８】次に、図１に示す第１実施例の下圧着板４
０の拘束部４３に脱気溝４７を形成していない比較例に
ついて、図１６、図１７および図１８を用いて説明す
る。比較例においては、脱気溝を形成していないことを
除いて他は第１実施例と同様であり、第１実施例と同一
構成部分に同一符号を付す。Next, the lower pressure plate 4 of the first embodiment shown in FIG.
A comparative example in which the deaeration groove 47 is not formed in the 0 restricting portion 43 will be described with reference to FIGS. 16, 17, and 18. The comparative example is the same as the first embodiment except that no degassing groove is formed, and the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals.
【００２９】図１６および図１７に示すように、比較例
の熱圧着装置は、上圧着板３０と、下圧着板１４０との
互いに相対する２つの圧着板から構成される。下圧着板
１４０は、上圧着板３０の下面部３１と相対し、グリー
ンシート積層体２の裏面２ｂと接することが可能な平板
状の上面部１４１と、この上面部１４１の外周に設けら
れ、グリーンシート積層体２を上に乗せてグリーンシー
ト積層体２を拘束することが可能な拘束部１４３とを有
している。拘束部１４３は、グリーンシート積層体２の
外周部２０とほぼ同等の大きさの外周部１４２と、グリ
ーンシート積層体２の外周部２０よりも小さく、グリー
ンシート積層体２の製品部分の外周部２１よりも大きい
内周部１４６と、外周部１４２と内周部１４６との間に
形成される外溝１４４および内溝１４５とを有してい
る。外溝１４４および内溝１４５は、グリーンシート積
層体２の製品部分の外周部２１を取囲むロ字形に形成さ
れており、その断面形状はＶ字形をしている。As shown in FIGS. 16 and 17, the thermocompression bonding apparatus of the comparative example is composed of an upper compression plate 30 and a lower compression plate 140 facing each other. The lower pressure plate 140 is provided on a flat upper surface portion 141 facing the lower surface portion 31 of the upper pressure plate 30 and in contact with the back surface 2b of the green sheet laminate 2, and provided on the outer periphery of the upper surface portion 141. And a restraining portion 143 capable of restraining the green sheet laminate 2 with the green sheet laminate 2 placed thereon. The constraining portion 143 has an outer peripheral portion 142 having substantially the same size as the outer peripheral portion 20 of the green sheet laminate 2 and an outer peripheral portion of the product portion of the green sheet laminate 2 which is smaller than the outer peripheral portion 20 of the green sheet laminate 2. 21 and an outer groove 144 and an inner groove 145 formed between the outer circumferential portion 142 and the inner circumferential portion 146. The outer groove 144 and the inner groove 145 are formed in a rectangular shape surrounding the outer peripheral portion 21 of the product portion of the green sheet laminate 2, and have a V-shaped cross section.
【００３０】比較例においては、図１７に示すように、
下圧着板１４０の拘束部１４３の上にグリーンシート積
層体２を乗せ、グリーンシート積層体２および下圧着板
１４０を固定して上圧着板３０を矢印Ｙ方向に移動する
と、上圧着板３０の下面部３１がグリーンシート積層体
２の表面２ａに接する。さらに上圧着板３０に矢印Ｙ方
向の力を加えると、図１８に示すように、グリーンシー
ト積層体２の裏面２ｂが下圧着板１４０の上面部１４１
に接し、拘束部１４３の外溝１４４および内溝１４５に
くい込む。このとき、圧着の加熱によりグリーンシート
積層体２に含有される溶剤が気化し、この気化した溶剤
ガスはグリーンシート積層体２の内部から外部に排出さ
れることが困難である。このため、グリーンシートが剥
離したり、ふくれが発生したりしてグリーンシート積層
体２に圧着不良が発生する恐れがある。In the comparative example, as shown in FIG.
When the green sheet laminate 2 is placed on the restraining portion 143 of the lower crimp plate 140, and the green sheet laminate 2 and the lower crimp plate 140 are fixed and the upper crimp plate 30 is moved in the arrow Y direction, the upper crimp plate 30 The lower surface portion 31 is in contact with the front surface 2 a of the green sheet laminate 2. When a force in the direction of the arrow Y is further applied to the upper pressing plate 30, the back surface 2 b of the green sheet laminate 2 is moved to the upper surface 141 of the lower pressing plate 140 as shown in FIG.
And into the outer groove 144 and the inner groove 145 of the restraining portion 143. At this time, the solvent contained in the green sheet laminate 2 is vaporized by the heating of the pressure bonding, and it is difficult for the vaporized solvent gas to be discharged from the inside of the green sheet laminate 2 to the outside. For this reason, there is a possibility that the green sheet is peeled off or blistered, so that the green sheet laminated body 2 has a poor press bonding.
【００３１】一方、第１実施例においては、脱気溝４７
により圧着時にグリーンシート積層体２の脱気を行うの
で、圧着時の加熱によりグリーンシート積層体２に含有
される溶剤が気化しても、この気化した溶剤ガスはグリ
ーンシート積層体２の内部から外部に排出される。した
がって、グリーンシートが剥離したり、ふくれが発生し
たりすることを防止して圧着不良を防止し、グリーンシ
ート積層体２の寸法精度を向上することができる。On the other hand, in the first embodiment, the degassing groove 47
The green sheet laminate 2 is degassed at the time of pressing, so that even if the solvent contained in the green sheet laminate 2 is vaporized by the heating at the time of pressing, the vaporized solvent gas is discharged from the inside of the green sheet laminate 2. It is discharged outside. Therefore, it is possible to prevent the green sheet from being peeled off or to cause blistering, to prevent poor pressure bonding, and to improve the dimensional accuracy of the green sheet laminate 2.
【００３２】（第２実施例）第２実施例を図８および図
９に示す。第２実施例においては、図１および図４に示
す第１実施例の下圧着板４０の拘束部４３の４角に脱気
溝４７を形成する替わりに、拘束部の４辺に脱気溝を形
成したものであり、脱気溝を形成した位置および脱気溝
の形状を除いて他は第１実施例と同様であり、第１実施
例と同一構成部分に同一符号を付す。(Second Embodiment) FIGS. 8 and 9 show a second embodiment. In the second embodiment, instead of forming the deaerating grooves 47 at the four corners of the restraining portion 43 of the lower crimping plate 40 of the first embodiment shown in FIGS. The configuration is the same as that of the first embodiment except for the position where the deaeration groove is formed and the shape of the deaeration groove, and the same components as those of the first embodiment are denoted by the same reference numerals.
【００３３】図８および図９に示すように、第２実施例
の第２の圧着板としての下圧着板６０は、上圧着板３０
の下面部と相対し、グリーンシート積層体の裏面と接す
ることが可能な平板状の上面部６１と、この上面部６１
の外周に設けられ、グリーンシート積層体を上に乗せて
グリーンシート積層体を拘束することが可能な拘束部６
３とを有している。拘束部６３は、グリーンシート積層
体の外周部とほぼ同等の大きさの外周部６２と、グリー
ンシート積層体の外周部よりも小さく、グリーンシート
積層体の製品部分の外周部２１よりも大きい内周部６６
と、外周部６２と内周部６６との間に形成される外溝６
４および内溝６５と、拘束部の４辺に外溝６４および内
溝６５をそれぞれ４本に分断するように形成される脱気
溝６７とを有している。As shown in FIG. 8 and FIG. 9, the lower pressure plate 60 as the second pressure plate of the second embodiment is
A flat upper surface portion 61 capable of contacting the lower surface of the green sheet laminate and contacting the lower surface of the green sheet laminate;
, Which is provided on the outer periphery of the rim and is capable of restraining the green sheet laminate by placing the green sheet laminate thereon.
And 3. The constraining portion 63 has an outer peripheral portion 62 having substantially the same size as the outer peripheral portion of the green sheet laminate, and an inner peripheral portion 62 smaller than the outer peripheral portion of the green sheet laminate and larger than the outer peripheral portion 21 of the product portion of the green sheet laminate. Circumference 66
And an outer groove 6 formed between the outer peripheral portion 62 and the inner peripheral portion 66.
4 and an inner groove 65, and a deaeration groove 67 formed on each of four sides of the restraining portion so as to divide the outer groove 64 and the inner groove 65 into four.
【００３４】外溝６４および内溝６５は、グリーンシー
ト積層体の製品部分の外周部２１の一部を除いて取囲む
概略ロ字形に形成されており、その断面形状はＶ字形を
している。ここで、外溝６４および内溝６５は、特許請
求の範囲に記載された「拘束溝」を構成している。The outer groove 64 and the inner groove 65 are formed in a substantially rectangular shape surrounding a part of the outer peripheral portion 21 of the product portion of the green sheet laminate, and have a V-shaped cross section. . Here, the outer groove 64 and the inner groove 65 constitute a "restriction groove" described in the claims.
【００３５】４箇所の脱気溝６７は、圧着時の加熱によ
りグリーンシート積層体に含有される溶剤が気化したと
き、この気化した溶剤ガスをグリーンシート積層体の内
部から外部に脱気するためのものであって、グリーンシ
ート積層体の非製品部分に形成される位置合わせのため
のピン穴２２に相対する部分に、ピン穴２２の外径より
も大きい外径で形成されており、外溝６４および内溝６
５が不連続になるように、すなわち外溝６４および内溝
６５を横切るように概略Φ字形に形成されている。脱気
溝６７が外溝６４および内溝６５を横切るように形成さ
れることにより、圧着時におけるグリーンシート積層体
の脱気を滞りなく行わせると共に、位置合わせのための
ピン穴２２が変形することを防止することができる。The four degassing grooves 67 are used for degassing the vaporized solvent gas from the inside of the green sheet laminate to the outside when the solvent contained in the green sheet laminate evaporates due to the heating during pressing. A portion of the green sheet laminate that is opposed to the pin hole 22 for alignment formed in the non-product portion is formed with an outer diameter larger than the outer diameter of the pin hole 22. Groove 64 and inner groove 6
5 is formed in a substantially Φ shape so as to be discontinuous, that is, so as to cross the outer groove 64 and the inner groove 65. By forming the deaeration groove 67 so as to cross the outer groove 64 and the inner groove 65, the deaeration of the green sheet laminate at the time of press bonding is performed without delay, and the pin hole 22 for positioning is deformed. Can be prevented.
【００３６】第２実施例においては、図９に示すよう
に、脱気溝６７により圧着時にグリーンシート積層体の
脱気を行うので、圧着時の加熱によりグリーンシート積
層体に含有される溶剤が気化しても、この気化した溶剤
ガスはグリーンシート積層体の内部から外部に排出され
る。したがって、グリーンシートが剥離したり、ふくれ
が発生したりすることを防止して圧着不良を防止し、グ
リーンシート積層体の寸法精度を向上することができ
る。さらに、脱気溝６７は、拘束部６３のピン穴２２に
相対する部分に形成されているので、圧着時に、ピン穴
２２が変形することを防止することができる。In the second embodiment, as shown in FIG. 9, since the green sheet laminate is degassed at the time of pressing by the degassing groove 67, the solvent contained in the green sheet laminate is heated by the pressing. Even if it is vaporized, the vaporized solvent gas is discharged from the inside of the green sheet laminate to the outside. Therefore, it is possible to prevent the green sheet from peeling off or to cause blistering, to prevent poor pressure bonding, and to improve the dimensional accuracy of the green sheet laminate. Further, since the deaerating groove 67 is formed in a portion of the restraining portion 63 facing the pin hole 22, it is possible to prevent the pin hole 22 from being deformed at the time of crimping.
【００３７】（第３実施例）第３実施例を図１０〜図１
５に示す。第３実施例においては、図１〜図４に示す第
１実施例の下圧着板４０の上面部４１をグリーンシート
積層体２側に付勢する付勢手段を上面部４１の下部に配
設したものであり、付勢手段が設けられ、上面部が移動
可能なことを除いて他は第１実施例と同様であり、第１
実施例と同一構成部分に同一符号を付す。Third Embodiment FIGS. 10 to 1 show the third embodiment.
It is shown in FIG. In the third embodiment, an urging means for urging the upper surface portion 41 of the lower pressure bonding plate 40 of the first embodiment shown in FIGS. 1 to 4 toward the green sheet laminate 2 is provided below the upper surface portion 41. The second embodiment is the same as the first embodiment except that the urging means is provided and the upper surface is movable.
The same reference numerals are given to the same components as those in the embodiment.
【００３８】図１０および図１１に示すように、第２実
施例の第２の圧着板としての下圧着板７０は、下圧着板
本体７２と、上圧着板３０の下面部３１と相対し、グリ
ーンシート積層体２を上に乗せることが可能な平板状の
上面部７１と、この上面部７１の外周に設けられ、グリ
ーンシート積層体２の裏面２ｂと当接してグリーンシー
ト積層体を拘束することが可能な拘束部４３と、下圧着
板本体７２と上面部７１との間に設けられる付勢手段と
しての圧縮コイルスプリング７３とを有している。圧縮
コイルスプリング７３は、上面部７１をグリーンシート
積層体２側に付勢しているので、上面部７１の上にグリ
ーンシート積層体２を乗せ、グリーンシート積層体２お
よび下圧着板７０を固定して上圧着板３０を矢印Ｙ方向
に移動すると、図１２および図１４に示すように、上圧
着板３０の下面部３１がグリーンシート積層体２の表面
２ａに接し、さらに拘束部４３がグリーンシート積層体
２の裏面２ｂと当接してグリーンシート積層体２の製品
部分の上下面に圧力が負荷される。このため、圧着時の
加熱により気化した溶剤ガスをグリーンシート積層体２
の周囲から外部に排出することができる。ここで、下面
部３１と、上面部７１と、圧縮コイルスプリング７３と
は、特許請求の範囲に記載された「加圧手段」を構成し
ている。As shown in FIGS. 10 and 11, the lower pressure plate 70 as the second pressure plate of the second embodiment is opposed to the lower pressure plate main body 72 and the lower surface portion 31 of the upper pressure plate 30. A flat upper surface portion 71 on which the green sheet laminate 2 can be placed, and an outer periphery of the upper surface portion 71, which are in contact with the back surface 2b of the green sheet laminate 2 to restrain the green sheet laminate. And a compression coil spring 73 as an urging means provided between the lower pressure bonding plate main body 72 and the upper surface portion 71. Since the compression coil spring 73 urges the upper surface 71 toward the green sheet laminate 2, the green sheet laminate 2 is placed on the upper surface 71, and the green sheet laminate 2 and the lower pressure bonding plate 70 are fixed. When the upper pressing plate 30 is moved in the direction of the arrow Y, as shown in FIGS. 12 and 14, the lower surface portion 31 of the upper pressing plate 30 comes into contact with the front surface 2a of the green sheet laminate 2 and the restraining portion 43 is moved to green. Pressure is applied to the upper and lower surfaces of the product portion of the green sheet laminate 2 by contacting the back surface 2b of the sheet laminate 2. For this reason, the solvent gas vaporized by the heating at the time of pressing is transferred to the green sheet laminate 2
Can be discharged from the surrounding area to the outside. Here, the lower surface portion 31, the upper surface portion 71, and the compression coil spring 73 constitute "pressing means" described in the claims.
【００３９】図１２において、さらに上圧着板３０に矢
印Ｙ方向の力を加えると、図１３に示すように、グリー
ンシート積層体２の裏面２ｂが拘束部４３の外溝４４お
よび内溝４５にくい込む。このとき、図１３および図１
５に示すように、脱気溝４７によりグリーンシート積層
体２の脱気を行うので、圧着の加熱によりグリーンシー
ト積層体２に含有される溶剤が気化しても、この気化し
た溶剤ガスはグリーンシート積層体２の内部から外部に
排出される。これにより、グリーンシートが剥離した
り、ふくれが発生したりすることを防止し、グリーンシ
ート積層体２の圧着不良を防止することができる。In FIG. 12, when a force in the direction of arrow Y is further applied to the upper pressing plate 30, the back surface 2 b of the green sheet laminate 2 is hardly formed on the outer groove 44 and the inner groove 45 of the restraining portion 43 as shown in FIG. Put in. At this time, FIG. 13 and FIG.
As shown in FIG. 5, since the green sheet laminate 2 is degassed by the degassing groove 47, even if the solvent contained in the green sheet laminate 2 is vaporized by the heating of the press bonding, the vaporized solvent gas is green. It is discharged from the inside of the sheet laminate 2 to the outside. Thereby, it is possible to prevent the green sheet from being peeled off or to cause blistering, and to prevent the green sheet laminated body 2 from being pressure-bonded.
【００４０】第３実施例においては、まず、グリーンシ
ート積層体２の製品部分の上下面に加圧手段により圧力
を負荷し、圧着時の加熱により気化した溶剤ガスをグリ
ーンシート積層体２の周囲から外部に排出する。次に、
外溝４４および内溝４５によりグリーンシート積層体２
を拘束してグリーンシート積層体２の伸びおよび変形を
低減すると共に、脱気溝６７により溶剤ガスをグリーン
シート積層体２の内部から外部に排出させ、グリーンシ
ートが剥離したり、ふくれが発生したりすることを確実
に防止して圧着不良を確実に防止し、グリーンシート積
層体２の寸法精度を向上することができる。In the third embodiment, first, a pressure is applied to the upper and lower surfaces of the product portion of the green sheet laminate 2 by pressurizing means, and the solvent gas vaporized by the heating at the time of press bonding is applied to the periphery of the green sheet laminate 2. To the outside. next,
Green sheet laminate 2 is formed by outer groove 44 and inner groove 45.
Of the green sheet laminate 2 to reduce the elongation and deformation of the green sheet laminate 2, and the solvent gas is discharged from the inside of the green sheet laminate 2 to the outside by the deaeration groove 67. Of the green sheet laminate 2 can be securely prevented, and the dimensional accuracy of the green sheet laminate 2 can be improved.
【００４１】以上説明した本発明の複数の実施例におい
ては、圧着時に、外溝および内溝によりグリーンシート
積層体を拘束し、脱気溝によりグリーンシート積層体の
脱気を行う。このため、圧着時に、グリーンシート積層
体の伸びおよび変形が低減されると共に、圧着時の加熱
によりグリーンシート積層体に含有される溶剤が気化し
ても、この気化した溶剤ガスはグリーンシート積層体の
内部から外部に排出される。したがって、グリーンシー
トが剥離したり、ふくれが発生したりすることを防止し
て圧着不良を防止し、グリーンシート積層体の寸法精度
を向上することができる。さらに、拘束部に拘束溝を形
成し、この拘束溝を横切るように脱気溝を形成すればよ
いので、製造設備が安価であり、製造が容易で、製造工
数を低減することができる。In the plurality of embodiments of the present invention described above, the green sheet laminate is restrained by the outer groove and the inner groove at the time of pressing, and the green sheet laminate is deaerated by the deaeration groove. For this reason, the elongation and deformation of the green sheet laminate during compression are reduced, and even if the solvent contained in the green sheet laminate is vaporized due to the heating during compression, the vaporized solvent gas is discharged from the green sheet laminate. It is discharged from inside to outside. Therefore, it is possible to prevent the green sheet from peeling off or to cause blistering, to prevent poor pressure bonding, and to improve the dimensional accuracy of the green sheet laminate. Furthermore, since a restraining groove may be formed in the restraining portion and a deaeration groove may be formed so as to cross the restraining groove, manufacturing equipment is inexpensive, manufacturing is easy, and the number of manufacturing steps can be reduced.
【００４２】上記複数の実施例では、下圧着板に拘束部
を設けたが、本発明では、上圧着板に拘束部を設けても
よいし、下圧着板と上圧着板との両方に拘束部を設けて
もよい。また本発明においては、拘束溝および脱気溝の
断面形状および本数に制限はない。また本発明において
は、グリーンシート積層体の製品部分の外周部に相対す
る部分より外側に拘束溝および脱気溝が形成されていれ
ば、どのような形状の拘束溝および脱気溝が形成されて
いてもよい。In the above embodiments, the lower crimping plate is provided with a restraining portion. However, in the present invention, the upper crimping plate may be provided with a restraining portion, or both the lower crimping plate and the upper crimping plate may be restrained. A part may be provided. Further, in the present invention, there is no limitation on the cross-sectional shape and the number of the constraint grooves and the deaeration grooves. Further, in the present invention, if the restraining groove and the deaeration groove are formed outside the portion corresponding to the outer peripheral portion of the product portion of the green sheet laminate, any shape of the restraining groove and the deaeration groove is formed. May be.
【００４３】本発明においては、低温焼成のガラスセラ
ミック多層基板に限らず、アルミナ基板、窒化アルミ基
板、ムライト基板等どのようなセラミック多層基板に適
用してもよい。In the present invention, the present invention is not limited to a glass ceramic multilayer substrate fired at a low temperature, but may be applied to any ceramic multilayer substrate such as an alumina substrate, an aluminum nitride substrate, and a mullite substrate.
【図１】本発明を低温焼成のガラスセラミック多層基板
の製造方法および製造装置に適用した第１実施例を示す
模式的平面図である。FIG. 1 is a schematic plan view showing a first embodiment in which the present invention is applied to a method and an apparatus for manufacturing a glass ceramic multilayer substrate fired at a low temperature.
【図２】本発明を低温焼成のガラスセラミック多層基板
の製造方法および製造装置に適用した第１実施例を示す
模式的断面図である。FIG. 2 is a schematic sectional view showing a first embodiment in which the present invention is applied to a method and an apparatus for manufacturing a glass ceramic multilayer substrate fired at a low temperature.
【図３】本発明を低温焼成のガラスセラミック多層基板
の製造方法および製造装置に適用した第１実施例を示す
ものであって、図４のIII−III線断面図である。FIG. 3 is a sectional view taken along the line III-III of FIG. 4, showing a first embodiment in which the present invention is applied to a method and an apparatus for manufacturing a glass ceramic multilayer substrate fired at a low temperature.
【図４】本発明を低温焼成のガラスセラミック多層基板
の製造方法および製造装置に適用した第１実施例を示す
模式的平面図である。FIG. 4 is a schematic plan view showing a first embodiment in which the present invention is applied to a method and an apparatus for manufacturing a glass ceramic multilayer substrate fired at a low temperature.
【図５】本発明の第１実施例を説明するためのグリーン
シートを示す模式的斜視図である。FIG. 5 is a schematic perspective view showing a green sheet for explaining a first embodiment of the present invention.
【図６】本発明の第１実施例を説明するためのグリーン
シート積層体を示す模式的斜視図である。FIG. 6 is a schematic perspective view showing a green sheet laminate for explaining a first embodiment of the present invention.
【図７】本発明の第１実施例を説明するためのグリーン
シート積層体の切断を示す模式的斜視図である。FIG. 7 is a schematic perspective view showing the cutting of the green sheet laminate for explaining the first embodiment of the present invention.
【図８】本発明を低温焼成のガラスセラミック多層基板
の製造方法および製造装置に適用した第２実施例を示す
模式的平面図である。FIG. 8 is a schematic plan view showing a second embodiment in which the present invention is applied to a method and an apparatus for manufacturing a glass ceramic multilayer substrate fired at a low temperature.
【図９】本発明を低温焼成のガラスセラミック多層基板
の製造方法および製造装置に適用した第２実施例を示す
模式的平面図である。FIG. 9 is a schematic plan view showing a second embodiment in which the present invention is applied to a method and an apparatus for manufacturing a glass ceramic multilayer substrate fired at a low temperature.
【図１０】本発明を低温焼成のガラスセラミック多層基
板の製造方法および製造装置に適用した第３実施例を示
す模式的平面図である。FIG. 10 is a schematic plan view showing a third embodiment in which the present invention is applied to a method and an apparatus for manufacturing a glass ceramic multilayer substrate fired at a low temperature.
【図１１】本発明を低温焼成のガラスセラミック多層基
板の製造方法および製造装置に適用した第３実施例を示
す模式的断面図である。FIG. 11 is a schematic sectional view showing a third embodiment in which the present invention is applied to a method and an apparatus for manufacturing a glass ceramic multilayer substrate fired at a low temperature.
【図１２】本発明を低温焼成のガラスセラミック多層基
板の製造方法および製造装置に適用した第３実施例を示
すものであって、図１４のXII−XII線断面図である。12 is a sectional view taken along line XII-XII of FIG. 14, showing a third embodiment in which the present invention is applied to a method and an apparatus for manufacturing a glass ceramic multilayer substrate fired at low temperature.
【図１３】本発明を低温焼成のガラスセラミック多層基
板の製造方法および製造装置に適用した第３実施例を示
すものであって、図１５のXIII−XIII線断面図である。13 shows a third embodiment in which the present invention is applied to a method and an apparatus for manufacturing a glass ceramic multilayer substrate fired at a low temperature, and is a cross-sectional view taken along line XIII-XIII of FIG.
【図１４】本発明を低温焼成のガラスセラミック多層基
板の製造方法および製造装置に適用した第３実施例を示
す模式的平面図である。FIG. 14 is a schematic plan view showing a third embodiment in which the present invention is applied to a method and an apparatus for manufacturing a glass ceramic multilayer substrate fired at a low temperature.
【図１５】本発明を低温焼成のガラスセラミック多層基
板の製造方法および製造装置に適用した第３実施例を示
す模式的平面図である。FIG. 15 is a schematic plan view showing a third embodiment in which the present invention is applied to a method and an apparatus for manufacturing a glass ceramic multilayer substrate fired at a low temperature.
【図１６】比較例による低温焼成のガラスセラミック多
層基板の製造方法および製造装置を示す模式的平面図で
ある。FIG. 16 is a schematic plan view showing a method and an apparatus for manufacturing a low-temperature fired glass ceramic multilayer substrate according to a comparative example.
【図１７】比較例による低温焼成のガラスセラミック多
層基板の製造方法および製造装置を示す模式的断面図で
ある。FIG. 17 is a schematic cross-sectional view showing a method and an apparatus for manufacturing a low-temperature fired glass ceramic multilayer substrate according to a comparative example.
【図１８】比較例による低温焼成のガラスセラミック多
層基板の製造方法および製造装置を示す模式的断面図で
ある。FIG. 18 is a schematic cross-sectional view illustrating a method and an apparatus for manufacturing a low-temperature fired glass-ceramic multilayer substrate according to a comparative example.
１ グリーンシート ２ グリーンシート積層体 １０ 熱圧着されたグリーンシート積層体 ２０ グリーンシート積層体の外周部 ２１ グリーンシート積層体の製品部分の外周部 ３０ 上圧着板（第１の圧着板） ３１ 下面部 ４０ 下圧着板（第２の圧着板） ４１ 上面部 ４３ 拘束部 ４４ 外溝（拘束溝） ４５ 内溝（拘束溝） ４７ 脱気溝 ５０ 製品部分 ６０ 下圧着板（第２の圧着板） ６１ 上面部 ６３ 拘束部 ６４ 外溝（拘束溝） ６５ 内溝（拘束溝） ６７ 脱気溝 ７０ 下圧着板（第２の圧着板） ７１ 上面部（加圧手段） ７３ 圧縮コイルスプリング（加圧手段） １００ 熱圧着装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Green sheet 2 Green sheet laminated body 10 Thermo-compressed green sheet laminated body 20 Outer peripheral part of green sheet laminated body 21 Outer peripheral part of product part of green sheet laminated body 30 Upper crimping plate (first crimping plate) 31 Lower surface part Reference Signs List 40 Lower crimping plate (second crimping plate) 41 Upper surface portion 43 Restraining portion 44 Outer groove (restraining groove) 45 Inner groove (restraining groove) 47 Deaeration groove 50 Product part 60 Lower crimping plate (second crimping plate) 61 Upper surface 63 Restricted portion 64 Outer groove (restricted groove) 65 Inner groove (restricted groove) 67 Deaeration groove 70 Lower pressure plate (second pressure plate) 71 Upper surface portion (pressing means) 73 Compression coil spring (pressing means) ) 100 thermocompression bonding equipment
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5E346 AA12 AA15 AA38 AA43 BB01 CC17 CC18 CC31 DD02 DD13 DD34 EE24 EE25 EE26 FF18 GG01 GG05 GG08 GG09 HH11 HH31 HH33 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 5E346 AA12 AA15 AA38 AA43 BB01 CC17 CC18 CC31 DD02 DD13 DD34 EE24 EE25 EE26 FF18 GG01 GG05 GG08 GG09 HH11 HH31 HH33
Claims (5)
積層したグリーンシート積層体を圧着し、焼成してなる
セラミック多層基板を製造する方法であって、 圧着時に、前記グリーンシート積層体の一方の面側に配
した第１の圧着板、あるいは前記グリーンシート積層体
の他方の面側に配した第２の圧着板の一方または両方に
形成された拘束溝により前記グリーンシート積層体を拘
束する工程と、 前記拘束溝を横切るように形成された脱気溝により前記
グリーンシート積層体の脱気を行う工程と、 を含むことを特徴とするセラミック多層基板の製造方
法。1. A method for manufacturing a ceramic multi-layer substrate by laminating a plurality of green sheets, pressing the laminated green sheet laminate, and firing the laminated green sheet laminate. The green sheet laminate is restrained by restraining grooves formed on one or both of the first pressure-bonding plate disposed on the surface side of the first pressure-sensitive adhesive sheet and the second pressure-bonding plate disposed on the other surface side of the green sheet laminate. A method of manufacturing a ceramic multilayer substrate, comprising: a step of: deaeration of the green sheet laminate by a deaeration groove formed so as to cross the constraint groove.
程の前に、前記グリーンシート積層体の製品部分の上下
面に圧力を負荷する工程を含むことを特徴とするセラミ
ック多層基板の製造方法。2. A method of manufacturing a ceramic multilayer substrate, comprising, before the step of restraining the green sheet laminate, applying a pressure to upper and lower surfaces of a product portion of the green sheet laminate.
積層したグリーンシート積層体を圧着し、焼成してなる
セラミック多層基板を製造する装置であって、 前記グリーンシート積層体の一方の面側に配された第１
の圧着板と、 前記グリーンシート積層体の他方の面側に配された第２
の圧着板と、 前記第１の圧着板または前記第２の圧着板の前記グリー
ンシート積層体に相対する一方または両方の面側に形成
された拘束溝と、 前記拘束溝を横切るように形成された脱気溝と、 を備えることを特徴とするセラミック多層基板の製造装
置。3. An apparatus for manufacturing a ceramic multilayer substrate by laminating a plurality of green sheets, pressing and laminating the laminated green sheet laminate, and one side of the green sheet laminate. 1st placed in
And a second plate disposed on the other surface side of the green sheet laminate.
And a restraining groove formed on one or both sides of the first crimping plate or the second crimping plate facing the green sheet laminate, and formed so as to cross the restraining groove. An apparatus for manufacturing a ceramic multilayer substrate, comprising:
体の製品部分の外周部よりも外側に相対する部分に形成
されていることを特徴とする請求項３記載のセラミック
多層基板の製造装置。4. The apparatus for manufacturing a ceramic multilayer substrate according to claim 3, wherein said restraining groove is formed in a portion opposed to an outer peripheral portion of a product portion of said green sheet laminate.
相対する部分に設けられ、前記グリーンシート積層体の
製品部分の上下面に圧力を負荷する加圧手段を備えるこ
とを特徴とする請求項３または４記載のセラミック多層
基板の製造装置。5. A pressurizing means provided on a portion of the green sheet laminate opposite to the product portion and applying pressure to upper and lower surfaces of the product portion of the green sheet laminate. Or the manufacturing apparatus of the ceramic multilayer substrate according to 4.
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