JP2001105369A - Carrying device - Google Patents
Carrying deviceInfo
- Publication number
- JP2001105369A JP2001105369A JP28896899A JP28896899A JP2001105369A JP 2001105369 A JP2001105369 A JP 2001105369A JP 28896899 A JP28896899 A JP 28896899A JP 28896899 A JP28896899 A JP 28896899A JP 2001105369 A JP2001105369 A JP 2001105369A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- work
- gas diffusion
- guide surface
- head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハやガ
ラス基板などの板状のワークを保持して搬送する搬送装
置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a transfer device for holding and transferring a plate-like work such as a semiconductor wafer or a glass substrate.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体ウエハやフロッピーディスクなど
の板状のワークを搬送する場合には、搬送装置を使用し
て、それぞれのワークに対する所定の処理が終了した後
に１枚ずつ他の処理工程に向けて搬送する。2. Description of the Related Art When a plate-like work such as a semiconductor wafer or a floppy disk is transferred, a transfer device is used to transfer the work to another processing step one by one after predetermined processing for each work is completed. Transport.
【０００３】このようなワークを搬送するために、バキ
ュームカップを用いてワークを真空吸着するようにした
搬送装置が用いられているが、ワークの表面にバキュー
ムカップの圧痕が残ることがある。[0003] In order to transfer such a work, a transfer apparatus is used in which a vacuum cup is used to suck the work using a vacuum cup. However, impressions of the vacuum cup may remain on the surface of the work.
【０００４】そこで、ワークの表面に直接搬送ヘッドが
接触しないようにした非接触式の搬送装置が、例えば、
特開昭６２−１０５８３１号公報に示されるように提案
されている。この搬送装置は、エゼクタ式真空ポンプの
原理を応用したものであるが、この装置では空気を吹き
付けるようにしなければ、エゼクタ機能を発生させるこ
とができない。また、このような方式では、ワークをそ
の搬送途中で吹き飛ばし易く、搬送が不安定となるとい
う問題点があった。[0004] Therefore, a non-contact type transfer device that prevents a transfer head from directly contacting the surface of a work, for example,
It has been proposed as shown in JP-A-62-105831. This transfer device applies the principle of an ejector type vacuum pump, but this device cannot generate an ejector function unless air is blown. In addition, in such a method, there is a problem that the work is easily blown off during the conveyance, and the conveyance becomes unstable.
【０００５】そこで、本発明者は、特開平１０−１８１
８７９号公報に示すように、ワークに圧痕を発生させる
ことなく、ワークを確実に保持して搬送できる構成を開
発した。ロボットアームなどの移動部材に装着される搬
送ヘッドに、板状のワークを保持する環状の保持面と、
この保持面よりも後退した位置に設けられた気体吐出部
と、この気体吐出部と保持面とを結ぶ気体案内面とを形
成し、この気体案内面に沿って空気を供給するノズルを
気体吐出部に設け、この気体吐出部から気体案内面を経
て保持面にまで付着した状態で流れる気体により保持面
において負圧を形成し、この負圧によりワークを保持す
るようにした構成である。Accordingly, the present inventor has disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 10-181.
As disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 879, a configuration was developed in which a workpiece can be reliably held and transported without indenting the workpiece. An annular holding surface for holding a plate-shaped work on a transfer head mounted on a moving member such as a robot arm,
A gas discharge portion provided at a position retracted from the holding surface and a gas guide surface connecting the gas discharge portion and the holding surface are formed, and a nozzle for supplying air along the gas guide surface is provided with a gas discharge portion. A negative pressure is formed on the holding surface by the gas flowing from the gas discharge portion through the gas guide surface to the holding surface, and the workpiece is held by the negative pressure.
【０００６】すなわち、搬送ヘッドの先端面にはこれに
付着した状態でこれに沿って流れる気体により気体の層
が形成されるので、搬送ヘッドの前方におけるワークの
有無に関係なく、搬送ヘッドの前面には負圧領域が形成
されることになり、ワークを確実に保持することができ
る。That is, since a gas layer is formed on the front end surface of the transfer head by the gas flowing along the state attached to the transfer head, regardless of the presence or absence of the work in front of the transfer head, the front surface of the transfer head is , A negative pressure region is formed, and the work can be reliably held.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】上記環状の保持面を有
する搬送装置では、気体吐出部から吐出される気体が円
周方向に向けて、すなわち全方向に向けて放射状に噴出
されることとなる。しかし、ワークによっては、搬送装
置からのかかる吐出気体の影響を受けたくない方向を有
する場合もあるが、かかる場合には全方向に気体が噴出
される上記構成の搬送装置は使用することができない。In the transfer device having the above-mentioned annular holding surface, the gas discharged from the gas discharge portion is radially jetted in the circumferential direction, that is, in all directions. . However, depending on the workpiece, there may be a direction in which the discharge gas from the transfer device does not want to be affected, but in such a case, the transfer device having the above configuration in which the gas is ejected in all directions cannot be used. .
【０００８】本発明の目的は、搬送ヘッドの先端に負圧
を形成してワークを保持する搬送装置において、負圧を
形成するための吐出気体の吐出方向を特定方向に規制し
て、この吐出気体の影響を受けたくない方向があるワー
クでも、保持することができるようにすることにある。An object of the present invention is to provide a transfer apparatus for holding a workpiece by forming a negative pressure at the tip of a transfer head, wherein the discharge direction of the discharge gas for forming the negative pressure is regulated in a specific direction. An object of the present invention is to make it possible to hold a workpiece having a direction in which it is not desired to be affected by gas.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明は、ロボットアー
ムなどの移動部材に装着される搬送ヘッドの先端面に、
気体を付着させる気体拡散面を形成し、前記気体拡散面
に向けて気体を噴出する気体噴出部材を前記搬送ヘッド
に設け、前記搬送ヘッドの先端面に負圧を発生させてワ
ークを保持するようにしたことを特徴とする。According to the present invention, there is provided a transfer head mounted on a moving member such as a robot arm.
A gas diffusion surface for adhering gas is formed, a gas ejection member for ejecting gas toward the gas diffusion surface is provided on the transfer head, and a negative pressure is generated on a distal end surface of the transfer head to hold a workpiece. It is characterized by the following.
【００１０】複数の気体拡散面と、これに対応する複数
の気体噴出部材とを前記先端面に設けてもよい。複数の
気体拡散面に連なる気体排出路を前記搬送ヘッドに形成
してもよい。それぞれの前記気体拡散面に付着して拡散
する気体の流れを逆向きとしたことを特徴とする。前記
搬送ヘッドの先端面に気体拡散溝を形成し、当該気体拡
散溝内に気体を流すようにしたことを特徴とする。A plurality of gas diffusion surfaces and a plurality of gas ejection members corresponding to the plurality of gas diffusion surfaces may be provided on the front end surface. A gas discharge passage connected to a plurality of gas diffusion surfaces may be formed in the transport head. The flow of gas adhering to and diffusing from each of the gas diffusion surfaces is reversed. A gas diffusion groove is formed on the tip end surface of the transport head, and gas is caused to flow into the gas diffusion groove.
【００１１】上記構成では、気体噴出部材から噴出した
気体が気体拡散面に沿って拡散することにより負圧が発
生し、この負圧によりワークが保持される。かかる気体
拡散面は、搬送ヘッドの先端に全面に形成してもよい
が、相互に傾斜した気体案内面と気体拡散面とを稜線部
を介してその両側に形成し、この気体案内面に沿って気
体噴出部材から気体を層状に噴出するようにしてもよ
い。In the above configuration, the gas ejected from the gas ejection member diffuses along the gas diffusion surface to generate a negative pressure, and the workpiece is held by the negative pressure. Such a gas diffusion surface may be formed on the entire surface at the tip of the transfer head, but a mutually inclined gas guide surface and a gas diffusion surface are formed on both sides thereof through a ridge portion, and along the gas guide surface. The gas may be ejected from the gas ejection member in a layered manner.
【００１２】かかる構成とした場合には、高速で噴出さ
れた気体は、噴流層となって、稜線部を横切り、気体案
内面とは反対側に設けた気体拡散面に付着させられなが
ら拡散する。With this configuration, the gas ejected at a high speed becomes a spouted bed, crosses the ridge line, and diffuses while being attached to the gas diffusion surface provided on the side opposite to the gas guide surface. .
【００１３】噴流層が稜線部を経由して気体拡散面に向
けて拡散する際に負圧が発生し、この負圧によりワーク
が噴流層を介在させた状態で稜線部から気体拡散面にか
けて非接触に保持されることとなる。気体案内面を有す
る構成で、気体拡散面を、気体案内面に対して稜線部を
介して反対側に設けるようにすれば、吐出気体は、横方
向および気体案内面を設けた側には吹出すことがない。When the spouted bed diffuses toward the gas diffusion surface via the ridge, a negative pressure is generated, and the negative pressure causes the work to flow from the ridge to the gas diffusion surface with the spouted bed interposed therebetween. It will be kept in contact. In a configuration having a gas guide surface, if the gas diffusion surface is provided on the opposite side of the gas guide surface via the ridge portion, the discharged gas is blown in the lateral direction and on the side provided with the gas guide surface. I will not give it out.
【００１４】すなわち、本発明の搬送装置では、全方向
に吐出気体を吹き出す従来構成とは異なり、吐出気体が
吹き出さない方向があり、吐出気体の影響を受けたくな
い方向があるワークでも、その箇所を吐出気体の吹き出
さない方向に位置させるようにして保持させることがで
きる。That is, in the transfer device of the present invention, unlike the conventional configuration in which the discharged gas is blown in all directions, there is a direction in which the discharged gas does not blow out, and even in the case of a work in which there is a direction in which the discharge gas is not supposed to be affected, the work is performed. The portion can be held in such a way that it is located in a direction in which the discharge gas does not blow out.
【００１５】[0015]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.
【００１６】図１（Ａ）は、本発明の搬送装置の断面図
であり、（Ｂ）は（Ａ）の搬送装置をワーク保持部側か
ら見た斜視図である。FIG. 1A is a sectional view of the transfer device of the present invention, and FIG. 1B is a perspective view of the transfer device of FIG.
【００１７】搬送装置では、図１に示すように、搬送ヘ
ッド１がロボットアーム２（図中、二点鎖線で表示）に
装着され、移動部材としてのロボットアーム２によって
所定の軌跡で移動することができるようになっている。In the transfer device, as shown in FIG. 1, a transfer head 1 is mounted on a robot arm 2 (indicated by a two-dot chain line in the figure) and moves on a predetermined locus by the robot arm 2 as a moving member. Is available.
【００１８】搬送ヘッド１では、ワークＷに対して傾斜
角αで傾斜面に設定された気体案内面３と、同じくワー
クＷに対して傾斜角βで傾斜面に設定された気体拡散面
４とが、稜線部５を介してそれぞれ互いに反対側に設け
られている。このようにして、気体案内面３と気体拡散
面４とは、稜線部５を介して両側に互いに傾斜させられ
て、すなわち、稜線部５の両側にテーパ面が形成される
ようにして設けられている。The transport head 1 has a gas guide surface 3 set at an inclination angle α with respect to the work W, and a gas diffusion surface 4 set at an inclination angle β with the work W. Are provided on opposite sides of each other via the ridge line portion 5. In this manner, the gas guide surface 3 and the gas diffusion surface 4 are provided so as to be inclined to each other via the ridge 5 on both sides, that is, to be formed such that tapered surfaces are formed on both sides of the ridge 5. ing.
【００１９】気体案内面３には、ノズル６が気体噴出部
材として設けられている。ノズル６の噴出端内側には、
凹部に形成されたエアーポケット７が構成され、エアー
ポケット７に対応する気体案内面３側には、圧縮気体の
供給源（図示せず）に連通される気体通路８の開口端が
気体吐出口８ａとして開口されている。ノズル６の噴出
端側と気体案内面３との間が、スリット９に形成されて
いる。On the gas guide surface 3, a nozzle 6 is provided as a gas ejection member. Inside the ejection end of the nozzle 6,
An air pocket 7 formed in a concave portion is formed, and an open end of a gas passage 8 communicating with a compressed gas supply source (not shown) is provided on a gas guide surface 3 side corresponding to the air pocket 7 at a gas discharge port. 8a. A slit 9 is formed between the ejection end side of the nozzle 6 and the gas guide surface 3.
【００２０】気体通路８を通って気体吐出口８ａから吐
出された気体はこのエアーポケット７を介して、スリッ
ト９から気体案内面３に付着した状態で層状の噴流とし
て流出されることとなる。なお、かかる気体には、例え
ば空気を使用すればよい。The gas discharged from the gas discharge port 8a through the gas passage 8 flows out as a layered jet from the slit 9 through the air pocket 7 while adhering to the gas guide surface 3. Note that air may be used as such a gas, for example.
【００２１】気体案内面３に付着した状態で流出された
気体は、稜線部５を経由して、気体案内面３の反対側に
設けた気体拡散面４に付着した状態で拡散される。すな
わち、気体案内面３から、稜線部５を経由して、気体拡
散面４まで、気体が薄い層状の噴流層Ａになって流れる
こととなる。図１（Ｂ）では、幅広の矢印Ａ（図中、二
点鎖線で表示）で示した。The gas that has flowed out while adhering to the gas guide surface 3 is diffused via the ridge line portion 5 while adhering to the gas diffusion surface 4 provided on the opposite side of the gas guide surface 3. That is, the gas flows from the gas guide surface 3 to the gas diffusion surface 4 via the ridge line portion 5 as a thin layered spouted bed A. In FIG. 1B, it is indicated by a wide arrow A (indicated by a two-dot chain line in the figure).
【００２２】このようにして気体が稜線部５を経由し
て、気体拡散面４に沿った状態で拡散される際には、稜
線部５から気体拡散面４方向にかけて負圧が発生する。As described above, when the gas is diffused along the gas diffusion surface 4 via the ridge line portion 5, a negative pressure is generated from the ridge line portion 5 toward the gas diffusion surface 4.
【００２３】かかる負圧によりワークＷは、図１（Ａ）
に示すように、稜線部５から気体拡散面４側にかけて、
稜線部５とワークＷとの間に形成された噴流層Ａを間に
介した状態で非接触に保持される。ノズル６は、図１に
示すように、ボルト１０などで気体案内面３に取り付け
られている。The workpiece W is moved by the negative pressure as shown in FIG.
As shown in the figure, from the ridge portion 5 to the gas diffusion surface 4 side,
It is held in a non-contact state with a spouted bed A formed between the ridge line portion 5 and the work W interposed therebetween. The nozzle 6 is attached to the gas guide surface 3 with a bolt 10 or the like, as shown in FIG.
【００２４】上記構成の搬送ヘッド１では、気体案内面
３と気体拡散面４とが稜線部５を介して反対側に設けら
れ、吐出気体は稜線部５に向けて、気体案内面３に付着
した状態で流出されて、気体拡散面４側で拡散されるた
め、気体案内面３の下側位置では、ワークＷに対して気
体が直接吹き当たることがない。In the transport head 1 having the above-described structure, the gas guide surface 3 and the gas diffusion surface 4 are provided on opposite sides via the ridge portion 5, and the discharged gas adheres to the gas guide surface 3 toward the ridge line portion 5. In this state, the gas is discharged and diffused on the gas diffusion surface 4 side, so that the gas does not directly blow on the workpiece W at the lower position of the gas guide surface 3.
【００２５】そこで、図１（Ａ）に示すように、例え
ば、ワークＷに気体を吹き当てたくない構成部Ｗａが設
けられている場合には、この構成部Ｗａを気体案内面３
の側に位置させるようにして、稜線部５をワークＷに近
づけてワークを保持するようにすることができる。Therefore, as shown in FIG. 1A, for example, when a component Wa that does not want to blow gas to the workpiece W is provided, the component Wa is placed on the gas guide surface 3.
, The ridge line portion 5 can be brought close to the work W to hold the work.
【００２６】図１に示す場合には、ワークＷは金属板な
どのように剛性を有した板状の場合を想定しているた
め、ワークＷは平な状態で非接触に保持されている。布
や紙などの柔軟素材をワークＷに使用する場合には、そ
の柔軟性によっては、稜線部５から気体拡散面４側にか
けてのテーパ部に沿った形でワークＷが曲げられた状態
で保持されることもある。In the case shown in FIG. 1, it is assumed that the work W is a plate having rigidity, such as a metal plate, so that the work W is held in a flat state without contact. When a flexible material such as cloth or paper is used for the work W, the work W is held in a bent state along the tapered portion from the ridge portion 5 to the gas diffusion surface 4 depending on the flexibility. It may be done.
【００２７】図２（Ａ）、（Ｂ）は、本発明の搬送装置
に使用する搬送ヘッドの変形例を示す断面図である。図
２（Ａ）に示す場合も、図示されてはいないが、搬送ヘ
ッド１１は移動部材としてのロボットアーム２に接続さ
れて所定の軌跡で移動することができるようになってい
る。FIGS. 2A and 2B are cross-sectional views showing a modification of the transport head used in the transport device of the present invention. In the case shown in FIG. 2A, though not shown, the transport head 11 is connected to the robot arm 2 as a moving member and can move along a predetermined trajectory.
【００２８】搬送ヘッド１１には、複数の稜線部５が設
けられている。複数の稜線部５のそれぞれの気体拡散面
４は、搬送ヘッド１１の中央を横断して設けた気体排出
路１２に拡散方向を向けて設けられている。すなわち、
気体排出路１２は、複数の気体拡散面４に連なる共通の
気体排出経路として構成されている。The transport head 11 is provided with a plurality of ridges 5. Each gas diffusion surface 4 of the plurality of ridge portions 5 is provided in a gas discharge path 12 provided across the center of the transport head 11 in a diffusion direction. That is,
The gas discharge path 12 is configured as a common gas discharge path connected to the plurality of gas diffusion surfaces 4.
【００２９】それぞれの気体拡散面４の反対側には、稜
線部５を介して、ワークＷに対して傾斜面に形成された
気体案内面３が設けられている。それぞれの気体案内面
３には、ノズル６が気体噴出部材として設けられてい
る。ノズル６の噴出端内側には、凹部に形成されたエア
ーポケット７が構成され、エアーポケット７に対応する
気体案内面３側に、圧縮気体の供給源（図示せず）に連
通される気体通路８の開口端が気体吐出口８ａとして開
口されている。ノズル６の噴出端側と気体案内面３との
間が、スリット９に形成されている。On the opposite side of each gas diffusion surface 4, a gas guide surface 3 formed on an inclined surface with respect to the work W is provided via a ridge line portion 5. A nozzle 6 is provided on each gas guide surface 3 as a gas ejection member. An air pocket 7 formed in a concave portion is formed inside the ejection end of the nozzle 6, and a gas passage communicating with a compressed gas supply source (not shown) is provided on the gas guide surface 3 side corresponding to the air pocket 7. The opening end of the opening 8 is opened as a gas discharge port 8a. A slit 9 is formed between the ejection end side of the nozzle 6 and the gas guide surface 3.
【００３０】気体通路８を通って気体吐出口８ａから吐
出された気体はこのエアーポケット７を介して、スリッ
ト９から気体案内面３に付着した状態で層状の噴流とし
て流出されることとなる。このようにして噴出された気
体は、薄い層状の噴流層として稜線部５を経由して、気
体拡散面４側に至り拡散する。拡散した気体は気体拡散
面４に付着した状態で導かれて気体排出路１２に至り、
搬送ヘッド１１の外に排出されることとなる。The gas discharged from the gas discharge port 8a through the gas passage 8 flows out through the air pocket 7 from the slit 9 as a layered jet while being attached to the gas guide surface 3. The gas ejected in this manner reaches the gas diffusion surface 4 side via the ridgeline portion 5 as a thin layered spouted layer and diffuses. The diffused gas is guided in a state of being attached to the gas diffusion surface 4 and reaches the gas discharge path 12.
It is discharged out of the transport head 11.
【００３１】かかる構成の搬送装置では、搬送ヘッド１
１には複数の稜線部５が設けられているため、複数箇所
でワークＷを非接触に保持することができ、稜線部５を
一箇所に設ける搬送装置に比べて、保持できるワークＷ
の重量や面積を大きくすることができる。また、ワーク
Ｗに対して吐出気体を直接吹き当てる心配のない領域と
しては、図中の範囲Ｂが該当する。In the transport device having such a configuration, the transport head 1
1 is provided with a plurality of ridges 5, so that the work W can be held in a plurality of places in a non-contact manner, and the work W which can be held can be held as compared with a transfer device in which the ridges 5 are provided in one place.
Weight and area can be increased. The range B in the drawing corresponds to a region in which the discharge gas is not directly blown against the workpiece W.
【００３２】図２（Ｂ）に示す場合も、図示されてはい
ないが、搬送ヘッド１４は移動部材としてのロボットア
ーム２に接続されて所定の軌跡で移動することができる
ようになっている。搬送ヘッド１４には、その中央部１
５を挟んで両側に、稜線部５が設けられており、稜線部
５の両側に互いに傾斜させられた気体案内面３と気体拡
散面４とが設けられている。複数の稜線部５を介して設
けられたこれらの気体拡散面４は、気体拡散方向が互い
に反対方向に向けられ、噴流層は逆方向に向けて拡散さ
せられることとなる。In the case shown in FIG. 2B, though not shown, the transport head 14 is connected to the robot arm 2 as a moving member and can move along a predetermined trajectory. The transport head 14 has a central part 1
A ridge 5 is provided on both sides of the ridge 5, and a gas guide surface 3 and a gas diffusion surface 4 that are inclined with respect to each other are provided on both sides of the ridge 5. The gas diffusion surfaces 4 provided through the plurality of ridge portions 5 have the gas diffusion directions directed in opposite directions, and the spouted bed is diffused in the opposite direction.
【００３３】それぞれの気体拡散面４の反対側には、稜
線部５を介して、ワークＷに対して傾斜面に形成された
気体案内面３が設けられている。それぞれの気体案内面
３には、ノズル６が気体噴出部材として設けられてい
る。ノズル６の噴出端内側には、凹部に形成されたエア
ーポケット７が構成され、エアーポケット７に対応する
気体案内面３側に、圧縮気体の供給源（図示せず）に連
通される気体通路８の開口端が気体吐出口８ａとして開
口されている。ノズル６の噴出端側と気体案内面３との
間が、スリット９に形成されている。On the opposite side of each gas diffusion surface 4, a gas guide surface 3 formed on an inclined surface with respect to the work W is provided via a ridge line portion 5. A nozzle 6 is provided on each gas guide surface 3 as a gas ejection member. An air pocket 7 formed in a concave portion is formed inside the ejection end of the nozzle 6, and a gas passage communicating with a compressed gas supply source (not shown) is provided on the gas guide surface 3 side corresponding to the air pocket 7. The opening end of the opening 8 is opened as a gas discharge port 8a. A slit 9 is formed between the ejection end side of the nozzle 6 and the gas guide surface 3.
【００３４】気体通路８を通って気体吐出口８ａから吐
出された気体はこのエアーポケット７を介して、スリッ
ト９から気体案内面３に付着した状態で層状の噴流とし
て流出される。このようにして流出した気体は、薄い層
状の噴流層となって、稜線部５を経由して気体拡散面４
に付着した状態で拡散する。拡散するに際して、稜線部
５から気体拡散面４にかけて負圧を形成し、この負圧に
よりワークＷを稜線部５から気体拡散面４にかけて非接
触に保持することができる。図中、範囲Ｂは、吐出気体
がワークＷに直接吹き当たる心配がない範囲である。The gas discharged from the gas discharge port 8a through the gas passage 8 flows out as a layered jet from the slit 9 through the air pocket 7 while adhering to the gas guide surface 3. The gas that has flowed out in this way becomes a thin layered spouted bed and passes through the ridge 5 to the gas diffusion surface 4.
It diffuses while attached to When diffusing, a negative pressure is formed from the ridge 5 to the gas diffusion surface 4, and the workpiece W can be held in a non-contact state from the ridge 5 to the gas diffusion surface 4 by the negative pressure. In the drawing, a range B is a range in which the discharged gas does not directly blow on the workpiece W.
【００３５】かかる構成の搬送装置では、搬送ヘッド１
１には複数の稜線部５が設けられているため、複数箇所
でワークＷを非接触に保持することができ、稜線部５を
一箇所に設ける搬送装置に比べて、保持できるワークＷ
の重量や面積を大きくすることができる。In the transport device having such a configuration, the transport head 1
1 is provided with a plurality of ridges 5, so that the work W can be held in a plurality of places in a non-contact manner, and the work W which can be held can be held as compared with a transfer device in which the ridges 5 are provided in one place.
Weight and area can be increased.
【００３６】図３（Ａ）は、本発明の搬送装置に使用す
る搬送ヘッドの変形例を示す断面図であり、（Ｂ）は
（Ａ）の搬送ヘッドの正面図であり、（Ｃ）は（Ａ）の
搬送ヘッドの稜線部側からみた平面図である。FIG. 3A is a cross-sectional view showing a modification of the transfer head used in the transfer device of the present invention, FIG. 3B is a front view of the transfer head of FIG. 3A, and FIG. FIG. 3A is a plan view as viewed from a ridge line side of the transport head.
【００３７】図３に示す場合も、図示されてはいない
が、上記構成と同様に、搬送ヘッド１６は移動部材とし
てのロボットアーム２に接続されて所定の軌跡で移動す
ることができるようになっている。Also in the case shown in FIG. 3, although not shown, the transport head 16 is connected to the robot arm 2 as a moving member and can move along a predetermined trajectory, similarly to the above configuration. ing.
【００３８】搬送ヘッド１６には、稜線部５を介して設
けた気体案内面３の反対側の先端面が、図３（Ａ）に示
すように、ワークＷに対して平行に設定されたワーク接
触面１７に形成されている。ワーク接触面１７には、図
３（Ｂ）、（Ｃ）に示すように、複数本の気体拡散溝１
８が平行に設けられ、気体拡散溝１８の底面１９が、ワ
ークＷに対して傾斜面に設定されて気体拡散面に構成さ
れている。In the transport head 16, a front end surface opposite to the gas guide surface 3 provided via the ridge line 5 is set in parallel with the work W as shown in FIG. It is formed on the contact surface 17. As shown in FIGS. 3B and 3C, the work contact surface 17 has a plurality of gas diffusion grooves 1.
8 are provided in parallel, and the bottom surface 19 of the gas diffusion groove 18 is set to be an inclined surface with respect to the workpiece W and is configured as a gas diffusion surface.
【００３９】かかる構成の気体拡散溝１８の底面１９に
対応して、稜線部５を介して反対側に、ワークＷに対し
て傾斜面に設定された複数の気体案内面３が設けられて
いる。気体案内面３には、ノズル６が気体噴出部材とし
て設けられている。ノズル６の噴出端内側には、凹部に
形成されたエアーポケット７が構成され、エアーポケッ
ト７に対応する気体案内面３側に、圧縮気体の供給源
（図示せず）に連通される気体通路８の開口端が気体吐
出口８ａとして開口されている。ノズル６の噴出端側と
気体案内面３との間が、スリット９に形成されている。A plurality of gas guide surfaces 3 which are set to be inclined with respect to the work W are provided on the opposite side of the ridge portion 5 corresponding to the bottom surface 19 of the gas diffusion groove 18 having such a configuration. . A nozzle 6 is provided on the gas guide surface 3 as a gas ejection member. An air pocket 7 formed in a concave portion is formed inside the ejection end of the nozzle 6, and a gas passage communicating with a compressed gas supply source (not shown) is provided on the gas guide surface 3 side corresponding to the air pocket 7. The opening end of the opening 8 is opened as a gas discharge port 8a. A slit 9 is formed between the ejection end side of the nozzle 6 and the gas guide surface 3.
【００４０】気体通路８を通って気体吐出口８ａから吐
出された気体はこのエアーポケット７を介して、スリッ
ト９から気体案内面３に付着した状態で層状の噴流とし
て流出される。このようにして流出した気体の噴流層
は、稜線部５を経由してワーク接触面１７に設けた気体
拡散溝１８に入る。気体拡散溝１８に入った気体は、気
体拡散溝１８の底面１９に沿って流れ外部に排出され
る。The gas discharged from the gas discharge port 8a through the gas passage 8 flows out through the air pocket 7 from the slit 9 as a layered jet while being attached to the gas guide surface 3. The spouted layer of the gas that has flowed out in this way enters the gas diffusion groove 18 provided on the work contact surface 17 via the ridge line portion 5. The gas entering the gas diffusion groove 18 flows along the bottom surface 19 of the gas diffusion groove 18 and is discharged to the outside.
【００４１】上記のように吐出された気体が、気体案内
面３に付着した状態で稜線部５を経由して気体拡散溝１
８に拡散するに際して負圧が発生して、ワークＷが、稜
線部５で非接触に保持されることとなる。併せて、ワー
クＷは、稜線部５が形成されていないワーク接触面１７
に直接接触させられている。The gas discharged as described above adheres to the gas guide surface 3 and passes through the ridge 5 in the gas diffusion groove 1.
A negative pressure is generated when diffusing into the work 8, and the work W is held in a non-contact manner at the ridge line portion 5. At the same time, the work W has a work contact surface 17 on which the ridge 5 is not formed.
Is in direct contact with
【００４２】このようにワーク接触面１７を設けること
により、ワークＷとワーク接触面１７との間には摩擦力
が発生し、ワークＷが搬送ヘッド１６に対してずれるこ
とがない。この摩擦力は、吐出気体の流量や流速、ワー
ク接触面１７の構成部材の材質を変えることにより種々
の大きさに設定することができる。ワークＷに圧痕が発
生することなく、僅かな摩擦力によって、搬送ヘッド１
６を水平移動する際にワークＷが搬送ヘッド１６に対し
てずれない程度に設定することができる。By providing the work contact surface 17 in this manner, a frictional force is generated between the work W and the work contact surface 17, and the work W does not shift with respect to the transport head 16. This frictional force can be set to various magnitudes by changing the flow rate and flow velocity of the discharged gas and the material of the constituent members of the work contact surface 17. The transfer head 1 is formed by a slight frictional force without indentation of the work W.
The work W can be set to such an extent that the work W does not shift with respect to the transport head 16 when the work 6 moves horizontally.
【００４３】また、上記構成の搬送ヘッド１６には、複
数の稜線部５が設けられているので、複数箇所でワーク
Ｗを非接触に保持することができ、稜線部５を一箇所に
設ける場合に比べて、保持できるワークＷの重量や面積
を大きくすることができる。ワークＷに対して吐出気体
を直接吹き当てる心配のない領域としては、図中の範囲
Ｂが該当する。Further, since the transport head 16 having the above structure is provided with the plurality of ridges 5, the work W can be held in a plurality of places in a non-contact manner. As compared with the above, the weight and area of the work W that can be held can be increased. The range B in the drawing corresponds to a region in which the discharge gas is not directly blown against the workpiece W.
【００４４】本発明は上記の実施の形態に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更する
ことができる。The present invention is not limited to the above embodiment, but can be variously modified without departing from the gist thereof.
【００４５】例えば、上記実施の形態では、搬送ヘッド
をロボットアームによって移動させるようにしたが、水
平方向および上下方向に移動する移動部材に搬送ヘッド
を取り付けるようにしてもよい。For example, in the above embodiment, the transfer head is moved by the robot arm. However, the transfer head may be attached to a moving member that moves in the horizontal and vertical directions.
【００４６】上記実施の形態では、吐出させる気体とし
て空気を使用した場合について説明したが、窒素や不活
性気体などの他の気体を使用してもよい。搬送させるワ
ークとしては、孔が形成された基板であってもよく、不
織布などのように通気性有するものでも、保持して搬送
することができる。In the above embodiment, the case where air is used as the gas to be discharged has been described, but another gas such as nitrogen or an inert gas may be used. The work to be conveyed may be a substrate having holes formed thereon, or a work having air permeability such as a nonwoven fabric may be held and conveyed.
【００４７】さらには、ワークは帯状に形成してロール
状に巻装しておき、その引出端側を稜線部で保持して引
き出すようにしてもよい。このようにロール状に巻装さ
れる柔軟性のあるワークの引出し端を保持する場合に
は、稜線部から気体拡散面側に向けて若干反ったように
して保持させられるため、平に保持される場合に比べ
て、途中弛まないように引張り張力をかけながら引き出
すことができる。Further, the work may be formed in a band shape and wound in a roll shape, and the work may be drawn out while holding the drawing end side at the ridge line portion. When holding the draw-out end of a flexible work wound in a roll like this, the work is held so as to be slightly warped from the ridge line toward the gas diffusion surface side. It can be pulled out while applying a tensile force so that it does not loosen in the middle as compared with the case where it is pulled.
【００４８】また、上記実施の形態では、気体案内面の
気体吐出口に対抗する側のノズルの噴出端内側にはエア
ーポケットを構成したが、搬送ヘッドにエアーポケット
を設けてもよく、あるいはエアーポケットを設けずに、
気体案内面に対面させて平坦に形成しておいてもよい。In the above embodiment, the air pocket is formed inside the ejection end of the nozzle on the side opposite to the gas discharge port of the gas guide surface. However, an air pocket may be provided in the transfer head. Without having a pocket,
It may be formed flat so as to face the gas guide surface.
【００４９】上記実施の形態では、気体拡散面と気体案
内面とを設けた構成について説明したが、気体案内面を
設けずに、気体拡散面を搬送ヘッドの先端に全面に設け
るようにしてもよい。In the above-described embodiment, the configuration in which the gas diffusion surface and the gas guide surface are provided has been described. However, the gas diffusion surface may be provided on the entire front end of the transfer head without providing the gas guide surface. Good.
【００５０】[0050]
【発明の効果】本発明によれば、稜線部を介して両側に
相互に傾斜した気体案内面と気体拡散面とを設け、気体
案内面から稜線部を経由して気体拡散面に付着した状態
で気体を拡散させる構成であるため、従来の全方向に気
体を拡散させる構成とは異なり、気体の拡散方向を気体
拡散面に沿った方向に特定することができる。そのた
め、気体による影響を受けたくない箇所のあるワークで
も、その箇所を気体拡散方向から外すことにより、その
箇所に吐出気体を吹き当てることなく保持することがで
きる。According to the present invention, a gas guide surface and a gas diffusion surface which are mutually inclined on both sides via a ridge portion are provided, and the gas guide surface is attached to the gas diffusion surface via the ridge portion from the gas guide surface. Therefore, unlike the conventional configuration in which gas is diffused in all directions, the gas diffusion direction can be specified as a direction along the gas diffusion surface. Therefore, even in the case of a work having a portion that is not liable to be affected by the gas, by removing the portion from the gas diffusion direction, the workpiece can be held without spraying the discharged gas.
【図１】（Ａ）は、本発明の搬送装置の断面図であり、
（Ｂ）は（Ａ）の搬送装置を稜線部側からみた斜視図で
ある。FIG. 1A is a cross-sectional view of a transfer device of the present invention,
FIG. 3B is a perspective view of the transport device of FIG.
【図２】（Ａ）、（Ｂ）は、本発明の搬送装置に使用す
る搬送ヘッドの変形例を示す側断面図である。FIGS. 2A and 2B are side sectional views showing a modified example of a transport head used in the transport apparatus of the present invention.
【図３】（Ａ）は、本発明の搬送装置に使用する搬送ヘ
ッドの変形例を示す断面図であり、（Ｂ）は（Ａ）の搬
送ヘッドの正面図であり、（Ｃ）は（Ａ）の搬送ヘッド
の稜線部側からみた平面図である。3A is a cross-sectional view illustrating a modified example of the transport head used in the transport device of the present invention, FIG. 3B is a front view of the transport head of FIG. 3A, and FIG. FIG. 4A is a plan view of the transfer head as viewed from the ridge line side.
１ 搬送ヘッド ２ ロボットアーム ３ 気体案内面 ４ 気体拡散面 ５ 稜線部 ６ ノズル ７ エアーポケット ８ 気体通路 ８ａ 気体吐出口 ９ スリット １０ ボルト １１ 搬送ヘッド １２ 気体排出路 １３ 送気孔 １３ａ 開口端 １４ 搬送ヘッド １５ 中央部 １６ 搬送ヘッド １７ ワーク接触面 １８ 気体拡散溝 １９ 底面 Ｗ ワーク Ｗａ 構成部 Ａ 噴流層 Ｂ 範囲 Reference Signs List 1 transfer head 2 robot arm 3 gas guide surface 4 gas diffusion surface 5 ridge 6 nozzle 7 air pocket 8 gas passage 8a gas discharge port 9 slit 10 bolt 11 transfer head 12 gas discharge path 13 air supply hole 13a opening end 14 transfer head 15 Central part 16 Transport head 17 Work contact surface 18 Gas diffusion groove 19 Bottom W Work Wa Constituent part A Spout bed B Range
Claims (5)
れる搬送ヘッドの先端面に、気体を付着させる気体拡散
面を形成し、前記気体拡散面に向けて気体を噴出する気
体噴出部材を前記搬送ヘッドに設け、 前記搬送ヘッドの先端面に負圧を発生させてワークを保
持するようにしたことを特徴とする搬送装置。1. A gas diffusion surface for adhering a gas is formed on a distal end surface of a conveyance head mounted on a moving member such as a robot arm, and a gas ejection member for jetting a gas toward the gas diffusion surface is provided on the conveyance head. A transfer device provided on a head, wherein a negative pressure is generated on a tip end surface of the transfer head to hold a work.
の気体拡散面と、これに対応する複数の気体噴出部材と
を前記先端面に設けたことを特徴とする搬送装置。2. The transfer device according to claim 1, wherein a plurality of gas diffusion surfaces and a plurality of gas ejection members corresponding to the plurality of gas diffusion surfaces are provided on the distal end surface.
の気体拡散面に連なる気体排出路を前記搬送ヘッドに形
成したことを特徴とする搬送装置。3. The transfer device according to claim 2, wherein a gas discharge path connected to the plurality of gas diffusion surfaces is formed in the transfer head.
ぞれの前記気体拡散面に付着して拡散する気体の流れを
逆向きとしたことを特徴とする搬送装置。4. The transfer device according to claim 2, wherein the flow of the gas adhering and diffusing to each of the gas diffusion surfaces is reversed.
送装置において、前記搬送ヘッドの先端面に気体拡散溝
を形成し、当該気体拡散溝内に気体を流すようにしたこ
とを特徴とする搬送装置。5. The transfer device according to claim 1, wherein a gas diffusion groove is formed in a tip end surface of the transfer head, and a gas is caused to flow in the gas diffusion groove. Characteristic transport device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28896899A JP3443375B2 (en) | 1999-10-12 | 1999-10-12 | Transfer device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28896899A JP3443375B2 (en) | 1999-10-12 | 1999-10-12 | Transfer device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001105369A true JP2001105369A (en) | 2001-04-17 |
| JP3443375B2 JP3443375B2 (en) | 2003-09-02 |
Family
ID=17737141
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28896899A Expired - Fee Related JP3443375B2 (en) | 1999-10-12 | 1999-10-12 | Transfer device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3443375B2 (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003023061A (en) * | 2001-07-09 | 2003-01-24 | Lintec Corp | Lamination apparatus |
| JP2006088327A (en) * | 2004-09-22 | 2006-04-06 | Singulus Technologies Ag | Device to hold and transport workpiece having plat face |
| JP2008177238A (en) * | 2007-01-16 | 2008-07-31 | Tokyo Electron Ltd | Substrate conveyor and vertical heat treatment apparatus |
| JP2010247304A (en) * | 2009-04-20 | 2010-11-04 | Chugai Ro Co Ltd | Suction pad device for workpiece |
| CN111162038A (en) * | 2020-03-02 | 2020-05-15 | 浙江大学 | Annular vacuum chuck for carrying non-contact silicon wafers |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4491340B2 (en) | 2004-12-28 | 2010-06-30 | 株式会社コガネイ | Transport device |
-
1999
- 1999-10-12 JP JP28896899A patent/JP3443375B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003023061A (en) * | 2001-07-09 | 2003-01-24 | Lintec Corp | Lamination apparatus |
| JP2006088327A (en) * | 2004-09-22 | 2006-04-06 | Singulus Technologies Ag | Device to hold and transport workpiece having plat face |
| JP2008177238A (en) * | 2007-01-16 | 2008-07-31 | Tokyo Electron Ltd | Substrate conveyor and vertical heat treatment apparatus |
| JP4607910B2 (en) * | 2007-01-16 | 2011-01-05 | 東京エレクトロン株式会社 | Substrate transfer device and vertical heat treatment device |
| JP2010247304A (en) * | 2009-04-20 | 2010-11-04 | Chugai Ro Co Ltd | Suction pad device for workpiece |
| CN111162038A (en) * | 2020-03-02 | 2020-05-15 | 浙江大学 | Annular vacuum chuck for carrying non-contact silicon wafers |
| CN111162038B (en) * | 2020-03-02 | 2022-04-29 | 浙江大学 | Annular vacuum chuck for carrying non-contact silicon wafers |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3443375B2 (en) | 2003-09-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4491340B2 (en) | Transport device | |
| JPH10181879A (en) | Carrier | |
| JP2006347719A (en) | Gas floating unit and gas floating carrying device | |
| JP4183525B2 (en) | Thin plate support device | |
| JPS63225028A (en) | Conveying device | |
| JP2001105369A (en) | Carrying device | |
| JP2000100896A (en) | Method and device for carrying wafer | |
| KR102315301B1 (en) | Conveying pad and method for conveying wafer | |
| JPH10583A (en) | Work holding device | |
| JPWO2002047155A1 (en) | Holding tool | |
| JP5384305B2 (en) | Work transfer device | |
| JP3994372B2 (en) | Air holding device | |
| JP3292639B2 (en) | Rotation holding device and method | |
| JP2599100B2 (en) | DI can separator | |
| JP6975953B2 (en) | Foreign matter removal device and foreign matter removal method | |
| JP2001277173A (en) | Sucking device for printed board, and charging machine | |
| JPH05299492A (en) | Wafer positioning apparatus | |
| JPH02305740A (en) | Substrate transport device | |
| JP6571810B2 (en) | Dust remover | |
| JPS62128539A (en) | Conveyor for wafer | |
| JP3985799B2 (en) | Airflow-type attitude rearrangement transport device | |
| JPH02138044A (en) | Holding device for platelike body | |
| JPH05124746A (en) | Air conveyor for sheet | |
| JPH0276242A (en) | Conveying method of base board and apparatus therefor | |
| JPS5879733A (en) | Wafer transferring apparatus |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080620 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090620 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100620 Year of fee payment: 7 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100620 Year of fee payment: 7 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100620 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110620 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110620 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120620 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120620 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130620 Year of fee payment: 10 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |