JP2001105242A - 放電加工機における加工槽装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 この加工槽装置は，加工槽に加工液が存在す
る時には手動開閉扉を開放できず，手動開閉扉が閉鎖し
ている時に加工液を加工槽に供給可能にする。 【解決手段】 この加工槽装置は，加工槽１に取り付け
られた手動開閉扉２，３の閉鎖状態を確認する閉鎖確認
係止装置２５，加工槽１内の加工液の水位を検出する水
位検出センサー７，及び水位検出センサー７による加工
槽１内の加工液が所定の水位以下である信号に応答して
閉鎖確認係止装置２５を解錠するコントローラ２７から
成る。閉鎖確認係止装置２５は，手動開閉扉２に設けた
係合孔２３を備えた係合部材６，手動開閉扉３に設けた
アクチュエータ４によって係合孔２３に係合可能なロッ
クピン５，及びロックピン５と係合孔２３との係止状態
を検出する閉鎖確認センサー８から構成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は，放電加工機にお
いて，加工槽内に所定以上の加工液が残存する状態では
開放できない手動開閉扉を備えた加工槽装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来，型彫放電加工機及び浸漬式ワイヤ
放電加工機は，加工槽内の加工液の中に工作物を完全に
水没させた状態で設定し，工作物と電極との間に極間電
圧を印加して工作物を放電加工している。また，噴流式
ワイヤ放電加工機は，連続して供給されるワイヤ電極と
工作物との間に極間電圧を印加して工作物を放電加工し
ているが，その際に気中放電によって工作物に異常な放
電加工が発生しないように，ワイヤ電極と工作物との間
の放電加工領域にノズルから加工液を吐出させ，加工液
でワイヤ電極を包み込んだ状態で放電加工を行うと共
に，加工液の飛散を防止するため加工槽が設けられてい
る。

【０００３】電極による工作物の放電加工は，放電に伴
う電極消耗現象を利用した加工法であり，加工液の中で
工具を電極として工作物に接近させ，数拾μｍ程度の間
隙を保って過度アーク放電を繰り返し発生させ，放電の
際の熱と圧力の作用で工作物の表面にクレータができ，
工作物は微量ずつ除去されて加工が進行していくもので
ある。ワイヤ放電加工は，φ０．０５ｍｍ〜φ０．２５
ｍｍのタングステン線，銅線，真鍮線等のワイヤ電極が
ボビンから連続して送り出され，加工台上に固着された
工作物との間で放電を発生させ，工作物に所定の加工形
状を放電加工するものである。

【０００４】放電加工機において，加工液は，気中放電
を防止する他に，放電加工により発生した加工熱を奪い
去り，工作物の熱歪みからくる加工精度の低下を防止す
ると共に，放電加工で発生した微細な加工屑やカーボン
等を洗い流す役目を受け持っている。型彫放電加工機に
使用される加工液は，一般的に石油をベースにした油に
数種類の物質が添加されたものが使用されるので，放電
による引火事故に対して最大の防止対策がなされてい
る。加工液の中に工作物を完全に水没させ，更に工作物
の上面よりも数拾ｍｍ上に加工液面がくるように確保す
るのも防止対策の一つである。ワイヤ放電加工機に使用
される加工液は，電気比抵抗をコントロールされた水が
使用されるのが一般的であり，引火に対する心配はない
が，電気比抵抗や水質及び水温に対しては重要視されて
いる。

【０００５】噴流式ワイヤ放電加工機の場合は，加工部
位に加工液をノズルから高圧噴流させて放電加工を行う
ものであり，加工液が工作物やクランプ部材に当たり周
辺に飛び散らぬように，工作物を取り囲むＳＵＳ板，ア
クリル板等で作製したスプラッシュガードを加工テーブ
ルから突設させ，一部のスプラッシュガードは工作物の
着脱やセッティングのために，枢動可能にしたり又は取
り外し可能にしている。型彫放電加工機や浸漬式ワイヤ
放電加工機は，最大工作物が収容可能な大きさの加工槽
となり，その容積も工作物が完全に水没し，更に余裕を
もたせた容積の加工槽が必要となってくる。そこで，工
作物が手で持ち上げられる程度の重量であれば，加工槽
を構成する周辺の壁を全て一体構造の壁体で構成し，工
作物の加工テーブルに対する着脱やセッティングは加工
槽の上方の開口部から行うことができるが，全ての工作
物がこの方法で実施できるものとは限らない。工作物が
大型で重量が重いものになると，工作物の加工台への設
定はクレーン等の補助装置を必要とする。

【０００６】加工槽を搭載した加工テーブルは，前後及
び左右に移動制御される機構に構成されており，それぞ
れの移動ストロークの略中央位置にはワイヤ電極を保持
する上部ワイヤヘッド部や，型彫放電加工機の場合は電
極取付け部が垂設されており，加工精度を維持するため
に重要な装置の１つにあげられ，保守管理も必要であ
る。工作物の着脱やセッティングの時に，加工精度に影
響を与える上部ワイヤヘッド部又は電極取付け部にクレ
ーン等に吊り下げられた工作物を衝突させる事故は，装
置の精度低下につながり，最悪の場合は部品交換等の修
理を余儀なくされる。従って，加工テーブルに対する工
作物の着脱作業は，加工テーブルを最前進端まで移動さ
せ，重要な装置から遠ざけて慎重な作業を実施する必要
がある。

【０００７】加工テーブルを最前進端まで移動させて工
作物の着脱作業を実施するにしても加工槽を構成する壁
体が，加工テーブルから突設しており，このままでは着
脱作業に支障を来たすことになる。そこで，少なくとも
二辺の壁を解放できるように，それぞれの壁体を枢動可
能な開閉扉に構成している。二枚の開閉扉は，閉じられ
た状態では，開閉扉の面と加工槽の壁体との当接面に
は，耐油性に優れたゴムや合成樹脂で作られたガスケッ
トやパッキンが，シールのため介在されており，開閉扉
が閉じられると，加工槽内に満たされた加工液の漏水を
防止している。

【０００８】開閉扉は，加工槽内に満たされた加工液の
重量や液面に作用する大気圧に耐えるだけの剛性を備え
たものであり，一般的にはアルミ鋳物などで作られた軽
量化されたものが多く採用されている。開閉扉の一端
は，大型蝶番で枢動自在に保持され，他端には二枚の開
閉扉が閉じられたとき，確実に閉じ状態を維持するよう
にドアロック等のクランプ部材が取り付けられている。
開閉扉のロック装置は，例えば，一端を開閉扉に固着し
ておき固着側の爪を引き上げると，リンク機構で繋がっ
ている他端側の爪は，固着側に引き付けられていた付勢
力が解かれ他端側の爪は自由になる。他端側の爪の内側
は凹形状に作られており，開閉扉の外面に設ける凸部と
の掛合が緩み他端側の爪も引き上げることができる。二
枚の開閉扉を閉じる時は，他端側の爪の内側に形成した
凹部を開閉扉の外面に設ける凸部に掛合させ，固着側の
爪を押し込むと，リンク機構で繋がっている他端側の爪
は固着側に引きつけられ，二枚の開閉扉は互いに引き寄
せられて当接し，シール部材が圧縮することで加工液の
漏水を防止する。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】一対の開閉扉は，放電
加工中は閉じられ，加工槽内には加工液が満たされてい
るが，工作物の着脱や放電加工中に何らかのトラブルが
発生し，作業者がトラブルの解消のため，開閉扉を開放
する時には，加工槽内の加工液は完全に排水しておかね
ばならない。加工液が加工槽内に残っている状態のまま
作業者が誤ってドアロックを解除し，開閉扉を開放すれ
ば，大量の加工液が一気に流出し，周辺を汚してしまう
ことになる。ドアロックの解除も開閉扉の操作も作業者
の手動操作であり，操作して良いか否かは加工槽内に加
工液が残っていないことを目視により実施しているの
で，目視を誤ってドアロックを解除しないようにするこ
とが必要である。

【００１０】加工液は濾過装置から加工槽内に連続して
注水されるが，注水時は透明であった加工液も放電加工
の進行に伴って放電加工で発生した微細な加工屑や工作
物からカーボンが解け出し，当初は透明であった加工液
も黒濁化して透明度が低下して目視を誤まることもあ
る。加工液は，注水口から加工槽へ供給され，次いで，
加工槽の流出口から濾過装置へと循環され，濾過装置で
沈殿槽，清浄槽，フイルタ，加工液の温度制御装置等の
各種装置を通過し，再び加工槽へ供給されている。そこ
で放電加工機において，加工液が黒濁化するまで使用す
ることなく，大量の加工液を注水する方法も考えられる
が，新たに使用する加工液の浄化，コストアップ等の問
題が生じることになる。

【００１１】

【課題を解決するための手段】この発明の目的は，上記
の問題を解決することであり，加工槽内に加工液が残っ
ているか否かを目視によらずに水位検出センサーによっ
て確認し，加工液が存在する場合には手動開閉扉の閉鎖
状態を維持し，作業者が誤って手動開閉扉を開こうとし
ても，閉鎖確認係止装置が解除されずに手動開閉扉を開
放できない状態にし，加工槽内の加工液が外部へ流出す
ることを防止すると共に，閉鎖確認係止装置によって加
工槽内に加工液を注水して良いか否かの確認を行うこと
ができる放電加工機における加工槽装置を提供すること
である。

【００１２】この発明は，加工槽内に設定された工作物
と電極との間に極間電圧を与えて前記工作物を所定の加
工形状に放電加工する放電加工機において，前記加工槽
を形成する壁体に対して枢支軸を中心に枢動自在に開閉
する一対の手動開閉扉，前記手動開閉扉を互いに閉鎖状
態にロックするロック装置，前記手動開閉扉の閉鎖状態
を確認する閉鎖確認係止装置，前記加工槽内の前記加工
液の水位を検出する水位検出センサー，及び前記水位検
出センサーによる前記加工槽内の前記加工液が所定の水
位以下である信号に応答して前記閉鎖確認係止装置を解
除状態にするコントローラから成ることを特徴とする加
工槽装置に関する。

【００１３】更に，前記閉鎖確認係止装置は，一方の前
記手動開閉扉の端部に設けられた係合孔を備えた係合部
材，他方の前記手動開閉扉の端部に設けられたアクチュ
エータによって前記係合孔に係合可能に作動するロック
ピン，及び前記ロックピンと前記係合孔との係止状態を
検出する閉鎖確認センサーから構成されている。また，
前記アクチュエータは，油圧シリンダ，空圧シリンダ又
はソレノイドで構成されている。更に，前記閉鎖確認係
止装置の閉鎖確認センサーは，リミットスイッチ，光電
スイッチ，磁気スイッチ，近接スイッチ等のスイッチで
構成されている。

【００１４】前記水位検出センサーは，前記加工槽に形
成された開口部を閉鎖状態にする前記手動開閉扉の下部
が当接する前記加工槽の壁体の上端面よりも低い位置の
液面を検出できる。

【００１５】前記ロック装置は，前記手動開閉扉の一方
で構成される前扉と前記手動開閉扉の他方で構成される
横扉とを互いに閉鎖状態にロックするものである。

【００１６】この加工槽装置は，前記加工槽に前記加工
液を供給する加工液供給装置を備えており，前記コント
ローラは前記閉鎖確認係止装置による前記手動開閉扉の
閉鎖状態である信号に応答して前記加工液供給装置を作
動して前記加工槽に前記加工液を供給する制御を行う。

【００１７】前記水位検出センサーは，前記加工槽を構
成する前記壁体に形成された貫通孔に挿通して設置され
るか，又は前記加工槽の前記壁体の内側に垂下して設置
されている。

【００１８】この加工槽装置は，上記のように構成され
ているので，作業者が加工槽の手動開閉扉を開放するた
め手動ロック装置を解除しても，加工槽内に加工液が残
留した状態で手動開閉扉を開放してはならない場合に
は，手動開閉扉に設けた往復移動するロックピンが係合
孔に係合して開閉扉が開放できない状態になっているの
で，加工槽内の加工液が外部に流出することがない。ま
た，ロックピンが係合孔に係止している状態に応答し
て，加工液供給装置が作動でき，前記加工槽に前記加工
液を供給することができ，手動開閉扉が開放した状態で
は加工槽に加工液が供給されないので，加工液が外部に
流出することがなく，安全である。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下，図面を参照して，この発明
による加工槽装置の実施例を説明する。図１はこの発明
による加工槽装置の一実施例を示す概略斜視図，及び図
２は図１のＡ−Ａ矢視における加工槽装置の断面図であ
る。

【００２０】この加工槽装置は，加工槽１内に設定され
た工作物１６と電極との間に極間電圧を与えて工作物１
６を所定の加工形状に放電加工する放電加工機に設けら
れて使用されるものであり，工作物１６を取り付ける工
作物取付台１７や治工具等を固着する加工テーブル１３
の外側全周部に配設されるものである。加工テーブル１
３の外側全周部には加工槽１を構成する壁体２１が立設
しており，手動開閉扉２，３が取り付けられる領域の壁
体２１には開口部２２が形成されている。更に，加工テ
ーブル１３の外側全周部には，比較的に大きく形成され
たＵ字形の排水溝１４が設けられ，排水溝１４の一番低
い箇所には排水バルブ（図示せず）が取り付けられてい
る。加工槽１内に満たされた加工液は，排水バルブを開
くことで濾過装置（図示せず）へと循環する。

【００２１】加工槽１の壁体２１の開口部２２には，一
対の手動開閉扉２，３が設けられている。一方の手動開
閉扉２が前扉を構成し，また，他方の手動開閉扉３が横
扉を構成している。一対の手動開閉扉２，３は，ヒンジ
９の枢支軸を中心に枢動自在に開閉するように壁体２１
に取り付けられている。また，加工槽１の壁体２１と手
動開閉扉２，３との当接面には，ガスケットやパッキン
１０が介在されているので，手動開閉扉２，３が閉鎖状
態になっている時には，加工槽１内から加工液が外部に
漏洩することがない。また，手動開閉扉２，３が当接す
る箇所に形成された排水溝１４は，外側が幾分か高い壁
体１８が形成され，壁体１８の上端面１９は加工テーブ
ル１３の上面２０よりも低く形成されている。更に，加
工テーブル１３の最外周部材には，加工液２４の回収溝
１５が形成されている。

【００２２】手動開閉扉２，３には，互いに係止するた
めのロック装置２６と，閉鎖状態を確認するための閉鎖
確認係止装置２５が設けられている。ロック装置２６
は，手動開閉扉２に設けたフック１２と手動開閉扉３に
設けた係止突起１１とで互いに係合固定するように構成
されている。また，閉鎖確認係止装置２５は，手動開閉
扉２の端部に係合孔２３を備えた係合部材６，手動開閉
扉３の端部に設けられたアクチュエータ４によって係合
孔２３に係合可能に作動するロックピン５，及びロック
ピン５と係合孔２３との係止状態を検出する閉鎖確認セ
ンサー８から構成されている。閉鎖確認センサー８は，
図示では係合孔２３を備えた係合部材６を設けた手動開
閉扉２に設けているので，例えば，閉鎖確認センサー８
をリミットスイッチで構成した場合には，手動開閉扉２
と３とが係止した状態の時のロックピン５の動きを検出
でき，スイッチ自体の構造を簡単化することができる。
閉鎖確認センサー８は，リミットスイッチの他に，光電
スイッチ，磁気スイッチ，近接スイッチ，電気スイッチ
等のスイッチで構成することもでき，それらのスイッチ
のタイプによって取付場所を決定すればよい。

【００２３】また，アクチュエータ４は，油圧シリン
ダ，空圧シリンダ，ソレノイド等の駆動手段で構成する
ことができる。ロックピン５は，アクチュエータ４のケ
ースから突出すると，係合部材６の係合孔２３に係合
し，手動開閉扉２と３とが互いに枢動できず，開放でき
ないようになる。ロックピン５の外径に対して係合孔２
３の孔径を僅かに大きく穿孔しているので，ロックピン
５は係合孔２３に遊嵌状態になる。閉鎖確認係止装置２
５は，手動開閉扉２，３を互いに閉鎖状態に締め切るた
めでなく，加工槽１内に加工液２４が存在するにもかか
わらず，作業者が誤って手動開閉扉２，３を開放するの
を防止する機能を有するものである。これに対して，ロ
ック装置２６は，作業者が手動開閉扉２，３を互いに閉
鎖状態に締め切る強度を持たせたものである。ロックピ
ン５が係合孔２３に遊嵌状態にあれば，アクチュエータ
４の負荷抵抗も少なくて済む。場合によっては，閉鎖確
認係止装置２５は，ロック装置を兼ねる構造に構成し，
実施例のような別途のロック装置２６を設けない構造に
構成することもできるが，この時は，係合孔２３を備え
た係合部材６とロックピン５とは，加工槽１内の加工液
の水圧に打ち勝つ強度を持たせ，アクチュエータ４の駆
動力を大きく構成する必要がある。

【００２４】更に，この加工槽装置は，加工槽１内の加
工液２４の水位を検出する水位検出センサー７を備えて
いる。この加工槽装置は，水位検出センサー７による加
工槽１内の加工液２４が所定の水位以下である信号と，
閉鎖確認センサー８による係止状態である信号とに応答
してアクチュエータ４を作動してロックピン５を係合孔
２３から解除するコントローラ２７を有している。水位
検出センサー７は，加工槽１の底面近傍で加工槽１を構
成する外壁体１８の上端面１９よりも低い位置に設置さ
れている。

【００２５】加工液面２１を確認する水位検出センサー
７は，加工液の最低水位，即ち，壁体１８の上端面１９
よりも低い位置を検出するように，加工槽１の底面近傍
で壁体１８の上端面１９よりも低い位置に設置され，加
工槽１を構成する手動開閉扉２，３以外の壁に穿孔した
貫通孔に貫入するか，又は，図２に示すように，加工槽
１の壁の内側に垂下状態に固定させて固定されている。
水位検出センサー７によって検出された検出信号は，コ
ントローラ２７へ入力され，コントローラ２７によって
アクチュエータ４や加工液供給装置２８の作動が制御さ
れる。水位検出センサー７は，例えば，フロートスイッ
チ，エア圧力検出スイッチ，超音波検出スイッチ等のス
イッチを用いることができる。

【００２６】この加工槽装置は，加工槽１に加工液を供
給する加工液供給装置２８を備えている。加工液供給装
置２８は，閉鎖確認センサー８による閉鎖確認係止装置
２５が係止状態である信号に応答してコントローラ２７
によって作動制御され，加工液２４が加工槽１内へ供給
される。

【００２７】この加工槽装置は，上記のように構成され
ており，次のように作動される。手動開閉扉２，３に設
けたロック装置２６の締め付けで手動開閉扉２，３が完
全に閉鎖されると，手動開閉扉２，３にそれぞれに設け
たロックピン５と係合部材６の係合孔２３が合致するの
で，コントローラ２７の指令でアクチュエータ４を作動
してロックピン５を突出させ，係合孔２３に遊嵌する。
この時，ロックピン５と係合孔２３とが合致していない
場合には，ロックピン５の先端は係合部材６に突き当た
り，係止状態の信号は発せられない。そこで，手動開閉
扉２，３が完全に係止状態にならない原因を取り除き，
再度，上記の操作を実行する。ロックピン５の係合孔２
３への係止状態は，閉鎖確認センサー８によって確認さ
れる。

【００２８】閉鎖確認センサー８によって手動開閉扉
２，３が閉鎖状態であるという信号は，コントローラ２
７に入力される。そこで，コントローラ２７は，加工液
供給装置２８に指令を発し，加工液供給装置２８が作動
すると，加工槽１へ加工液２４が供給され，放電加工中
は継続して加工液２４が加工槽１へ供給される。放電加
工が完了して工作物１６の着脱作業の目的で，又は，何
らかのトラブル解消のために，手動開閉扉２，３を開放
する場合には，まず，加工槽１への加工液２４の供給を
停止させ，次いで，排水バルブ（図示せず）をは開放
し，加工槽１内の加工液２４を濾過装置へ排水する。

【００２９】加工槽１から加工液２４が排水されるに従
って，加工槽１内の液面２１は順次低下していき，やが
て加工液２４の最低水位を確認する水位検出センサー７
が液面２１を検出すると，手動開閉扉２，３を開放可能
な状態になる。そこで，コントローラ２７は，加工槽１
内の加工液２４の液面２１の波うちがなくなり，手動開
閉扉２，３に付着した加工液２４が滴下した後に，アク
チュエータ４に指令を発し，ロックピン５を移動させて
係合孔２３から解除する。コントローラ２７は，ロック
ピン５を係合孔２３から解放すると，手動開閉扉２，３
を開放しても良いという表示灯，信号音等の表示２９を
発する。作業者は，表示２９の信号を確認してロック装
置２６のフック１２を係止突起１１から外し，手動開閉
扉２，３を開放し，加工槽１の開口部２２を開放し，そ
こで，工作物１６の着脱，段取り或いはトラプル等の解
消を行う。

【００３０】

【発明の効果】この発明による放電加工機における加工
槽装置は，上記のように構成されているので，従来，作
業者の目視による判断で手動開閉扉を開いていたもの
が，加工液の最低水位を検出する水位検出センサーが手
動開閉扉を開放してもよい最低水位になった状態の信号
を発信し，その信号によって閉鎖確認係止装置のロック
ピンが係合孔から抜け出し，始めて手動開閉扉を開放で
きるようになる。従って，作業者が誤って手動開閉扉を
押圧しているロック装置を解放しても，ロックピンが係
合孔に係合しており，手動開閉扉を開放することができ
ず，加工槽から外部へ加工液が流出するのを防止でき
る。更に，手動開閉扉を閉じても，閉鎖状態が不完全で
あれば，手動開閉扉にそれぞれ設けたロックピンと係合
孔とが整合せず，閉鎖確認係止装置の閉鎖確認センサー
が閉鎖状態を検出することができず，加工槽内に加工液
を供給しようとしても，供給できない状態になり，手動
開閉扉の閉鎖状態が不完全な場合には，加工槽内へ加工
液を誤って供給することがなく，加工槽内から外部への
加工液の漏水を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明による加工槽装置の一実施例を示す概
略斜視図である。

【図２】図１に示す加工槽装置のＡーＡ矢視における断
面図である。

【符号の説明】

１ 加工槽 ２，３ 手動開閉扉 ４ アクチュエータ ５ ロックピン ６ 係合部材 ７ 水位検出センサー ８ 閉鎖確認センサー ９ ヒンジ １０ パッキン １３ 加工テーブル １６ 工作物 １８ 壁体 １９ 上端面 ２０ 上面 ２１ 液面 ２２ 開口部 ２３ 係合孔 ２４ 加工液 ２５ 閉鎖確認係止装置 ２６ ロック装置 ２７ コントローラ ２８ 加工液供給装置

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 加工槽内に設定された工作物と電極との
   間に極間電圧を与えて加工液の存在の下で前記工作物を
   所定の加工形状に放電加工する放電加工機において，前
   記加工槽を形成する壁体に対して枢支軸を中心に枢動自
   在に開閉する一対の手動開閉扉，前記手動開閉扉を互い
   に閉鎖状態にロックするロック装置，前記手動開閉扉の
   閉鎖状態を確認する閉鎖確認係止装置，前記加工槽内の
   前記加工液の水位を検出する水位検出センサー，及び前
   記水位検出センサーによる前記加工槽内の前記加工液が
   所定の水位以下である信号に応答して前記閉鎖確認係止
   装置を解除状態にするコントローラから成ることを特徴
   とする加工槽装置。
2. 【請求項２】 前記閉鎖確認係止装置は，一方の前記手
   動開閉扉の端部に設けられた係合孔を備えた係合部材，
   他方の前記手動開閉扉の端部に設けられたアクチュエー
   タによって前記係合孔に係合可能に作動するロックピ
   ン，及び前記ロックピンと前記係合孔との係止状態を検
   出する閉鎖確認センサーから構成されていることを特徴
   とする請求項１に記載の加工槽装置。
3. 【請求項３】 前記アクチュエータは，油圧シリンダ，
   空圧シリンダ又はソレノイドで構成されていることを特
   徴とする請求項２に記載の加工槽装置。
4. 【請求項４】 前記閉鎖確認センサーは，リミットスイ
   ッチ，光電スイッチ，磁気スイッチ，近接スイッチ等の
   スイッチで構成されていることを特徴とする請求項２に
   記載の加工槽装置。
5. 【請求項５】 前記水位検出センサーは，前記加工槽に
   形成された開口部を閉鎖状態にする前記手動開閉扉の下
   部が当接する前記加工槽の壁体の上端面よりも低い位置
   の液面を検出できるように設置されていることを特徴と
   する請求項１に記載の加工槽装置。
6. 【請求項６】 前記ロック装置は，前記手動開閉扉の一
   方で構成される前扉と前記手動開閉扉の他方で構成され
   る横扉とを互いに閉鎖状態にロックすることを特徴とす
   る請求項１に記載の加工槽装置。
7. 【請求項７】 前記加工槽に前記加工液を供給する加工
   液供給装置を備えており，前記コントローラは前記閉鎖
   確認係止装置による前記手動開閉扉の閉鎖状態である信
   号に応答して前記加工液供給装置を作動して前記加工槽
   に前記加工液を供給する制御を行うことを特徴とする請
   求項１に記載の加工槽装置。
8. 【請求項８】 前記水位検出センサーは，前記加工槽を
   構成する前記壁体に形成された貫通孔に挿通して設置さ
   れるか，又は前記加工槽の前記壁体の内側に垂下して設
   置されていることを特徴とする請求項１に記載の加工槽
   装置。