JP2001096746A

JP2001096746A - インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法

Info

Publication number: JP2001096746A
Application number: JP28111799A
Authority: JP
Inventors: Shuzo Matsumoto; 修三松本
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 1999-10-01
Filing date: 1999-10-01
Publication date: 2001-04-10

Abstract

(57)【要約】【課題】多数高密度のインクジェット記録ヘッドにお
いて、各ノズル間の均一なインク吐出速度の実現およ
び、インク流路構成部材の振動に起因するインク滴形状
の劣化防止を実現する。【解決手段】ノズル形成部材１と、上記課題を解決す
るための補強部材２と、圧力室形成部材３と、弾性板４
とをこの順に積層し、この弾性板の下面に圧電素子５を
接触させる。補強部材２では、ノズル連通路８を有する
連通路部材１０１と、圧力室９に対応する圧力室部材１
０２とを、別材質からなる複合部材によりほぼ同一厚さ
で一体形成する。一例として、所定形状に加工したステ
ンレス板を射出成形金型に母材として挿入し、これに溶
融高分子樹脂を射出することにより、連通路部材１０１
を高分子樹脂で、圧力室部材１０２をステンレス板でそ
れぞれ形成する。その後、連通路部材１０１にノズル連
通路８を、レーザー加工で形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェット記
録ヘッドに関し、特に、小型化とインク吐出ノズルの高
密度化とを図ったインクジェット記録ヘッドおよび、そ
の製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】特開平６−９９５７８号公報（セイコー
エプソン（株）出願）には、多数高密度ノズルヘッドが
開示されている。このインクジェット記録ヘッドは、各
ノズル間の均一なインク吐出速度の実現および、インク
流路構成部材の振動に起因するインク滴形状の劣化防止
を目的とするものである。

【０００３】この目的達成のために、上記インクジェッ
ト記録ヘッドは、複数の圧力室を配置した圧力室形成部
材と、各圧力室に対応した複数のインク吐出ノズルを有
するノズル形成部材との間に、各圧力室およびインク吐
出ノズルに対応したノズル連通孔を有する強化部材を配
設した構造となっている。

【０００４】すなわち、このインクジェット記録ヘッド
は、縦方向に振動する圧電素子を用いて圧力室の容積変
化を起こさせることにより、記録媒体に記録を行うイン
クジェット記録ヘッドであって、上記圧電素子がインク
流路構成部材と振動子ホルダとに固定されているものに
おいて、複数の圧電素子と弾性板との接合面をノズル形
成部材に投影した領域に、上記強化部材を付加したこと
を特徴としている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、実際のインク
ジェット記録ヘッドにおいて、上記補強部材の強度を十
分なものとするためには、補強部材の板厚のノズル連通
孔径に対する比（板厚／ノズル連通孔径）は２以上が必
要となる。上記ノズル連通孔は、補強部材に形成された
孔であって、インク吐出ノズルに連通するものである。
上記の比２は金属、セラミック等の高剛性材料について
の加工上限値（およそ１）を超えているため、上記ノズ
ル連通孔の加工（孔あけ加工）は非常に難しくなる。

【０００６】そこで、上記のような補強部材における孔
あけ加工が難しいノズル連通孔部分を、別材質である感
光性樹脂で形成する方法が検討されている。しかしなが
ら、これによると工程数の増加・複雑化による組立てコ
ストの増加等が生じるが、これらの問題は未だ解決され
ていない。上記補強部材では、インク吐出ノズルに対応
した連通孔を有する部分と、圧力室に対応した部分とが
別体となっていると、その組立て性が損なわれることと
なる。

【０００７】本発明は、従来技術の上記問題点を解決し
ようとするもので、その最終目的は、インクジェット記
録ヘッドのインク滴吐出特性の改善を図ること、特に、
多数高密度ノズルヘッドにおいて、各ノズル間の均一な
インク吐出速度の実現および、インク流路構成部材の振
動に起因するインク滴形状の劣化防止を実現することに
ある。そして、そのための手段として作製が容易で、組
立ても簡易に行うことができる、ヘッド構成用の補強部
材を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載のインク
ジェット記録ヘッド（請求項１〜５に関しては、図１お
よび図２を参照）は、インク吐出ノズル７を有するノズ
ル形成部材１と、インク吐出ノズル７に連通する圧力室
９を設けた圧力室形成部材３と、圧力室９の一壁面を形
成し、圧力発生部材からのエネルギーを圧力室９に伝え
る弾性板４と、前記圧力発生部材からのエネルギーによ
るノズル形成部材１および圧力室形成部材３の変形を防
止するためにノズル形成部材１と圧力室形成部材３との
間に配設した補強部材２とを有するインクジェット記録
装置において、補強部材２では、圧力室９からインク吐
出ノズル７へインクを通すノズル連通路８を有する連通
路部材１０１と、圧力室９に対応する圧力室部材１０２
とが、別材質からなる複合部材によりほぼ同一厚さで一
体形成されていることを特徴とする。

【０００９】請求項２に記載のインクジェット記録ヘッ
ドは、請求項１において補強部材２の連通路部材１０１
と圧力室部材１０２とが、これらの板厚方向に互いに凹
凸面を有して分離不能に一体形成されていることを特徴
とする。

【００１０】請求項３に記載のインクジェット記録ヘッ
ドは、請求項１において補強部材２の厚さがノズル連通
路８の径の２倍以上、１００倍以下であることを特徴と
する。

【００１１】請求項４に記載のインクジェット記録ヘッ
ドは、請求項１において、圧力室形成部材３に圧力室９
と、圧力室９に連通してこれにインクを供給する共通液
室１０とを設け、圧力室９および共通液室１０の一壁面
であって、弾性板４による前記一壁面と対向するもの
を、補強部材２により形成したことを特徴とする。

【００１２】請求項５に記載のインクジェット記録ヘッ
ドは、請求項１において、補強部材２の連通路部材１０
１が、高分子樹脂の射出成形品であることを特徴とす
る。

【００１３】請求項６に記載のインクジェット記録ヘッ
ド（請求項６〜１０に関しては図７を参照）は、インク
吐出ノズル７を有するノズル形成部材１と、インク吐出
ノズル７に連通する圧力室９を有する圧力室形成部材２
００と、圧力室９の一壁面を形成し、圧力発生部材から
のエネルギーを圧力室９に伝える弾性板４とを有するイ
ンクジェット記録装置において、圧力室形成部材２００
では、圧力室９からインク吐出ノズル７へインクを通す
ノズル連通路８を有する連通路部材１０１と、圧力室９
に対応する圧力室部材１０２とが、別材質からなる複合
部材によりほぼ同一厚さで一体形成され、かつ圧力室形
成部材２００は前記圧力発生部材からのエネルギーによ
るノズル形成部材１および当該圧力室形成部材２００の
変形を防止するのに十分な剛性を有するものであること
を特徴とする。

【００１４】請求項７に記載のインクジェット記録ヘッ
ドは、請求項６において、圧力室形成部材２００の連通
路部材１０１と圧力室部材１０２とが、これらの板厚方
向に互いに凹凸面を有して分離不能に一体形成されてい
ることを特徴とする。

【００１５】請求項８に記載のインクジェット記録ヘッ
ドは、請求項６において、圧力室形成部材２００の厚さ
がノズル連通路８の径の２倍以上、１００倍以下である
ことを特徴とする。

【００１６】請求項９に記載のインクジェット記録ヘッ
ドは、請求項６において、圧力室形成部材２００に圧力
室９と、圧力室９に連通してこれにインクを供給する共
通液室とを設け、圧力室９および前記共通液室の一壁面
であって、弾性板４による前記一壁面と対向するもの
を、圧力室形成部材２００により形成したことを特徴と
する。

【００１７】請求項１０に記載のインクジェット記録ヘ
ッドは、請求項６において、圧力室形成部材２００の連
通路部材１０１が、高分子樹脂の射出成形品であること
を特徴とする。

【００１８】請求項１１に記載のインクジェット記録ヘ
ッドの製造方法（図２を参照）は、請求項５に記載のイ
ンクジェット記録ヘッドを製造する場合において、これ
を構成する補強部材２を製造するときに、金属板または
セラミック板に適宜の加工を施すことにより、連通路部
材１０１に対応する貫通孔を形成した圧力室部材１０２
を作製し、この圧力室部材１０２を母材として射出成形
金型に挿入し、該金型に溶融高分子樹脂を射出して前記
貫通孔に高分子樹脂を充填することにより、高分子樹脂
からなる連通路部材１０１と金属板またはセラミック板
からなる圧力室部材１０２とが一体となった射出成形品
を得た後、連通路部材１０１にノズル連通路８を穿孔す
ることを特徴とする。

【００１９】請求項１２に記載のインクジェット記録ヘ
ッドの製造方法（図７を参照）は、請求項１０に記載の
インクジェット記録ヘッドを製造する場合において、こ
れを構成する圧力室形成部材２００を製造するときに、
金属板またはセラミック板に適宜の加工を施すことによ
り、連通路部材１０１に対応する貫通孔を形成した圧力
室部材１０２を作製し、この圧力室部材１０２を母材と
して射出成形金型に挿入し、該金型に溶融高分子樹脂を
射出して前記貫通孔に高分子樹脂を充填することによ
り、高分子樹脂からなる連通路部材１０１と金属板また
はセラミック板からなる圧力室部材１０２とが一体とな
った射出成形品を得た後、連通路部材１０１にノズル連
通路８を穿孔するとともに、連通路部材１０１と圧力室
部材１０２とに跨がる溝を形成して、この溝をノズル連
通路８に連通させることにより圧力室９を形成すること
を特徴とする。

【００２０】請求項１３に記載のインクジェット記録ヘ
ッドの製造方法（図８を参照）は、請求項１０に記載の
インクジェット記録ヘッドを製造する場合において、こ
れを構成する圧力室形成部材２００を製造するときに、
金属板またはセラミック板に適宜の加工を施すことによ
り、連通路部材１０１に対応する貫通孔を形成した圧力
室部材１０２を作製し、この圧力室部材１０２を母材と
して射出成形金型に挿入し、該金型に溶融高分子樹脂を
射出して前記貫通孔に高分子樹脂を充填することによ
り、高分子樹脂からなる連通路部材１０１と金属板また
はセラミック板からなる圧力室部材１０２とが一体とな
り、かつ圧力室９が連通路部材１０１に形成された射出
成形品を得た後、連通路部材１０１にノズル連通路８を
穿孔して、この孔を圧力室９に連通させることを特徴と
する。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面を参照しながら説明する。第１の実施の形態（請求項１〜請求項５）図１は、インクジェット記録ヘッドの基本構造を示す分
解斜視図である。多数のインク吐出ノズル７を形成した
ノズル形成部材１と、補強部材２と、共通液室１０およ
び多数の圧力室９を備えた圧力室形成部材３と、エネル
ギー発生素子である圧電素子５（上記した圧力発生部
材）の変位を圧力室９に伝える弾性板４とをこの順に積
層し、これらの部材を位置合わせを行って接着剤で接合
することにより、インク液室ユニット３００を形成す
る。符号１１はインク供給口であり、図略のインク供給
管に連結される。圧電素子５は圧力室９のほぼ中央に接
合されている。

【００２２】そして、貫通孔６ａを形成したフレーム６
を、多数の圧電素子５を配列・固定した基板１２上に重
ねて固定した後、フレーム６上に上記インク液室ユニッ
ト３００を固定するとともに、圧電素子５の上端部を弾
性板４の下面に接触させる。圧力室形成部材３に設けら
れた圧力室９および共通液室１０は、それ自体は貫通孔
であるが、これらの上部、下部がそれぞれ補強部材２、
弾性板４により閉鎖されることで、圧力室９および共通
液室１０が区画室となる。すなわち、補強部材２が圧力
室９および共通液室１０の上部側壁面を、弾性板４が下
部側壁面をそれぞれ形成する。

【００２３】本実施の形態に係る実施例では、ノズル形
成部材１として厚さ０．０５ｍｍのニッケル電鋳品を、
弾性板４として厚さ５μｍのニッケル電鋳品をそれぞれ
使用した。また、圧力室形成部材３としては厚さ０．１
ｍｍのステンレス板を用いた。

【００２４】補強部材２は、図１および図２に示すよう
に、圧力室９からインク吐出ノズル７へインクを通すノ
ズル連通路８を有する連通路部材１０１と、圧力室９に
対応する圧力室部材１０２とからなる板状部材である。
これら連通路部材１０１と圧力室部材１０２は別材質で
構成され、かつこれらは一体に形成されている。補強部
材２の厚さは１ｍｍである。また、連通路部材１０１は
高分子樹脂からなり、圧力室部材１０２はステンレスか
らなっている。

【００２５】補強部材２の作製に際しては、ステンレス
板材をプレス加工することにより、その外形および、連
通路部材１０１に対応する部分を打ち抜いて圧力室部材
１０２を用意した。そして、この圧力室部材１０２を母
材として射出成形金型に挿入し、これに溶融高分子樹脂
を射出することで、高分子樹脂からなる連通路部材１０
１と圧力室部材１０２とが一体となった射出成形品、す
なわち補強部材２を得た。この場合、連通路部材１０１
と圧力室部材１０２とでは、厚さをほぼ同一とした。連
通路部材１０１のノズル連通路８は、上記射出成形品の
高分子樹脂部に例えばレーザー加工により形成すること
ができるので、補強部材２の厚さをノズル連通路８の径
の２倍以上とすることは容易である。

【００２６】圧力室部材１０２用のステンレス板材を、
プレス加工により連通路部材１０１に対応する形状に打
ち抜く時に、図３に示す断面形状にすることができる。
これにより、高分子樹脂による連通路部材１０１とステ
ンレス材による圧力室部材１０２とが、板厚方向に互い
に凹凸面を有して、互いに食いつく形状で分離不能とな
っているため、補強部材２を単一部品と同様に取り扱う
ことができる。また、連通路部材１０１と圧力室部材１
０２との接合断面形状を図４あるいは、図５のようにす
ることで、上記と同様の効果が得られる。

【００２７】図１では、各圧力室９に連通してこれにイ
ンクを供給する共通液室１０が圧力室形成部材３に形成
されているが、これに代えて、図６に示すように共通液
室１０を補強部材２に形成することもできる。そのため
には、圧力室部材１０２に連通路部材１０１に対応する
部分を打ち抜くのと同時に、共通液室１０部分も打ち抜
けば良い。補強部材２に共通液室１０を配置すること
は、記録ヘッドのコンパクト化に有利である。なぜな
ら、円滑なインク流を発生させて十分なインク供給量を
安定的に得るために、補強部材２の厚さを有効に活用し
て、必要な共通液室高さを確保することができるからで
ある。

【００２８】なお、圧力室部材１０２の形成手段として
は、上述のプレス加工に代えて、金属材料やセラミック
材料を各種のエッチングや、レーザー加工等によって加
工する方法も有効に採用できる。

【００２９】一方、連通路部材１０１用の高分子樹脂と
しては、例えば、ポリフェニレンサルファイド、ポリエ
ーテルサルフオン、ポリイミド、ポリカーボネイト、ポ
リアセタール、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエー
テルケトン、ＡＢＳ樹脂等が使用できる。

【００３０】つぎに、図１のインクジェット記録ヘッド
の作用を説明すると、共通液室１０から圧力室９内に充
填されたインクは、圧電素子５の駆動により弾性板４を
介して加圧され瞬時に内圧が上昇し、インク吐出ノズル
７からインク滴が吐出される。このインク滴吐出時に、
インク圧の増大により圧力室９が変形するが、本実施の
形態のインク液室ユニット３００を用いたヘッド構成に
おいては、補強部材２を配置したことにより、駆動によ
る圧力室９の変形が防止できる。特に、多数のノズル７
から同時にインク滴を吐出する場合に生じていた、「イ
ンク吐出速度／体積」の低減が抑えられ、各ノズル間の
駆動素子数によらず均一なインク吐出速度を得ることが
できる。

【００３１】ただし、本実施の形態に係るヘッドにおい
ては、圧電素子５の最大変位量は０．２μｍであり、補
強部材２を合わせたノズル形成部材１の最大変位量が圧
電素子５の最大変位量の１０％以下になるような、補強
部材２の剛性が必要となる。補強部材２の効果を引き出
すのに十分な剛性を確保するためには、補強部材２を構
成する圧力室部材１０２の材質をステンレスにした場合
でも、１〜３ｍｍ程度の厚さが必要であることが実験で
確認された。

【００３２】ノズル連通路８はピッチ０．１６９ｍｍで
あり、孔径はφ０．１ｍｍ程度である。したがって、こ
こでは補強部材２の厚さは、ノズル連通路８の径の１０
倍以上となる。通常のプレス加工、エッチング加工、レ
ーザー加工で金属、セラミック等の高剛性材質を加工す
る場合は、この板厚／孔径比は１程度が加工の上限とな
っている。一方、組立て性を考慮すると、補強部材２は
単一部材として接合・位置決めすることが望まれる。

【００３３】そこで本実施の形態に係る実施例では、上
記のように、圧電素子５の駆動による変形の大きい圧力
室９に対応する圧力室部材１０２部分を金属等の高剛性
材質で形成し、孔加工の難しいノズル連通路８を有する
連通路部材１０１に対応する部分を高分子樹脂として、
これらを射出成形により一体形成したわけである。

【００３４】これにより、補強部材２における板厚／孔
径比を容易に２以上とすることができる。またヘッド構
成、ノズルピッチにもよるが圧力室部材１０２の材質が
金属、セラミック等の高剛性素材であれば、板厚／孔径
比が１００程度までは、十分な剛性を確保できる。

【００３５】第２の実施の形態（請求項６）図１のインクジェット記録ヘッドでは、圧力室９および
共通液室１０が圧力室形成部材３に形成されている。こ
れに対し、本実施の形態のヘッドでは、図７に示すよう
に、図１の補強部材２を兼ねた、十分な剛性を有する圧
力室形成部材２００が設けられている。この圧力室形成
部材２００では連通路部材１０１と圧力室部材１０２と
が、別材質からなる複合部材によりほぼ同一厚さで一体
形成されている。また、圧力室形成部材２００では、連
通路部材１０１と圧力室部材１０２とに跨がって圧力室
９が設けられ、圧力室部材１０２に共通液室（図略）が
設けられている。

【００３６】上記圧力室９を設けるには、連通路部材１
０１および圧力室部材１０２の片面の一部に例えばプレ
ス加工を施して溝を形成すれば良い。なお、圧力室９の
形成方法としては、第１の実施の形態と同様に、プレス
加工の外にハーフエッチング、レーザー加工あるいは、
これらの組合せが採用できる。

【００３７】さらには図８のように、連通路部材１０１
を高分子樹脂の射出成形で形成する際、この連通路部材
１０１と圧力室９とをこの高分子樹脂で一体成形した圧
力室形成部材２００とすることもできる。

【００３８】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１に係る発
明は、多数高密度ノズルヘッドにおいて、各ノズル間で
の均一なインク吐出速度の実現および、インク流路構成
部材の振動に起因するインク滴形状の劣化防止を実現す
るために、圧力室、インク吐出ノズルに対応したノズル
連通孔を有する補強部材の簡易な構成を提供するもので
ある。したがって、請求項１のインクジェット記録ヘッ
ドによれば、部品を簡易に加工し、組立ての容易性も損
なわず、安価にインク滴吐出特性の改善を実現すること
ができる。

【００３９】また、請求項６に係る発明によれば、補強
部材を兼ねた十分な剛性を有する圧力室形成部材を設け
ることで、インクジェット記録ヘッドの構成を、より簡
素化することができる。

【００４０】請求項２に係る補強部材または、請求項７
に係る圧力室形成部材では、連通路部材と圧力室部材と
が、これらの板厚方向に互いに凹凸面を有して分離不能
に一体形成されているので、別材質による複合部材であ
っても単一部材として、容易に取り扱うことができる。

【００４１】請求項３に係る補強部材または、請求項８
に係る圧力室形成部材では、これらの厚さをノズル連通
路の径の２倍以上、１００倍以下としたので、ヘッド構
成によらず、十分な剛性を確保した補強部材または、十
分な剛性を有する補強部材を兼ねた圧力室形成部材を得
ることができる。

【００４２】請求項４に係る補強部材または、請求項９
に係る圧力室形成部材では、これらに共通液室を形成し
たため、補強部材または圧力室形成部材の厚さを有効に
活用することができるので、記録ヘッドのコンパクト化
を容易に実現できる。

【００４３】請求項５に係る補強部材または、請求項１
０に係る圧力室形成部材では、その連通路部材を高分子
樹脂の射出成形品としたので、これら補強部材または圧
力室形成部材を、容易に一体品として作製することがで
きる。特に、ノズル連通路を射出成形品である連通路部
材に例えばレーザー加工によって穿孔することで、これ
ら補強部材または圧力室形成部材の厚さをノズル連通路
の径の２倍以上とすることは容易である。

【００４４】請求項１１に係るインクジェット記録ヘッ
ドの製造方法によれば、請求項５に係る補強部材を、簡
便・安価に作製することができる。また、請求項１２，
１３に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法によれ
ば、請求項１０に係る圧力室形成部材を簡便・安価なプ
ロセスで得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施の形態に係るインクジェット記録ヘ
ッドの基本構造を示す分解斜視図である。

【図２】第１の実施の形態に係る補強部材の一例を示す
断面図である。

【図３】補強部材の別例を示す断面図である。

【図４】補強部材の更に別の例を示す断面図である。

【図５】補強部材の更に別の例を示す断面図である。

【図６】共通液室を設けた補強部材の一例を示す断面図
である。

【図７】第２の実施の形態に係るインクジェット記録ヘ
ッドを構成する、補強部材を兼ねた圧力室形成部材の一
例を示す断面図である。

【図８】圧力室形成部材の別例を示す断面図である。

【符号の説明】

１ノズル形成部材２補強部材３圧力室形成部材４弾性板５圧電素子６フレーム６ａ貫通孔７インク吐出ノズル８ノズル連通路９圧力室１０共通液室１１インク供給口１２基板１０１連通路部材１０２圧力室部材２００圧力室形成部材３００インク液室ユニット

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】インク吐出ノズルを有するノズル形成部
材と、インク吐出ノズルに連通する圧力室を設けた圧力
室形成部材と、圧力室の一壁面を形成し、圧力発生部材
からのエネルギーを圧力室に伝える弾性板と、前記圧力
発生部材からのエネルギーによるノズル形成部材および
圧力室形成部材の変形を防止するためにノズル形成部材
と圧力室形成部材との間に配設した補強部材とを有する
インクジェット記録装置において、前記補強部材では、
圧力室からインク吐出ノズルへインクを通すノズル連通
路を有する連通路部材と、圧力室に対応する圧力室部材
とが、別材質からなる複合部材によりほぼ同一厚さで一
体形成されていることを特徴とするインクジェット記録
ヘッド。
【請求項２】前記補強部材では、連通路部材と圧力室
部材とが、これらの板厚方向に互いに凹凸面を有して分
離不能に一体形成されていることを特徴とする請求項１
に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】前記補強部材の厚さがノズル連通路の径
の２倍以上、１００倍以下であることを特徴とする請求
項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】前記圧力室形成部材に圧力室と、この圧
力室に連通してこれにインクを供給する共通液室とを設
け、圧力室および共通液室の一壁面であって、前記弾性
板による前記一壁面と対向するものを、補強部材により
形成したことを特徴とする請求項１に記載のインクジェ
ット記録ヘッド。
【請求項５】前記補強部材の連通路部材が、高分子樹
脂の射出成形品であることを特徴とする請求項１に記載
のインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】インク吐出ノズルを有するノズル形成部
材と、インク吐出ノズルに連通する圧力室を有する圧力
室形成部材と、圧力室の一壁面を形成し、圧力発生部材
からのエネルギーを圧力室に伝える弾性板とを有するイ
ンクジェット記録装置において、前記圧力室形成部材で
は、圧力室からインク吐出ノズルへインクを通すノズル
連通路を有する連通路部材と、圧力室に対応する圧力室
部材とが、別材質からなる複合部材によりほぼ同一厚さ
で一体形成され、かつ圧力室形成部材は前記圧力発生部
材からのエネルギーによるノズル形成部材および当該圧
力室形成部材の変形を防止するのに十分な剛性を有する
ものであることを特徴とするインクジェット記録ヘッ
ド。
【請求項７】前記圧力室形成部材では、連通路部材と
圧力室部材とが、これらの板厚方向に互いに凹凸面を有
して分離不能に一体形成されていることを特徴とする請
求項６に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項８】前記圧力室形成部材の厚さがノズル連通
路の径の２倍以上、１００倍以下であることを特徴とす
る請求項６に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項９】前記圧力室形成部材に圧力室と、この圧
力室に連通してこれにインクを供給する共通液室とを設
け、圧力室および前記共通液室の一壁面であって、前記
弾性板による前記一壁面と対向するものを、圧力室形成
部材により形成したことを特徴とする請求項６に記載の
インクジェット記録ヘッド。
【請求項１０】前記圧力室形成部材の連通路部材が、
高分子樹脂の射出成形品であることを特徴とする請求項
６に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１１】請求項５に記載のインクジェット記録
ヘッドを製造する場合において、これを構成する補強部
材を製造するときに、金属板またはセラミック板に適宜
の加工を施すことにより、連通路部材に対応する貫通孔
を形成した圧力室部材を作製し、この圧力室部材を母材
として射出成形金型に挿入し、該金型に溶融高分子樹脂
を射出して前記貫通孔に高分子樹脂を充填することによ
り、高分子樹脂からなる連通路部材と金属板またはセラ
ミック板からなる圧力室部材とが一体となった射出成形
品を得た後、連通路部材にノズル連通路を穿孔すること
を特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項１２】請求項１０に記載のインクジェット記
録ヘッドを製造する場合において、これを構成する圧力
室形成部材を製造するときに、金属板またはセラミック
板に適宜の加工を施すことにより、連通路部材に対応す
る貫通孔を形成した圧力室部材を作製し、この圧力室部
材を母材として射出成形金型に挿入し、該金型に溶融高
分子樹脂を射出して前記貫通孔に高分子樹脂を充填する
ことにより、高分子樹脂からなる連通路部材と金属板ま
たはセラミック板からなる圧力室部材とが一体となった
射出成形品を得た後、連通路部材にノズル連通路を穿孔
するとともに、連通路部材と圧力室部材とに跨がる溝を
形成して、この溝をノズル連通路に連通させることによ
り圧力室を形成することを特徴とするインクジェット記
録ヘッドの製造方法。
【請求項１３】請求項１０に記載のインクジェット記
録ヘッドを製造する場合において、これを構成する圧力
室形成部材を製造するときに、金属板またはセラミック
板に適宜の加工を施すことにより、連通路部材に対応す
る貫通孔を形成した圧力室部材を作製し、この圧力室部
材を母材として射出成形金型に挿入し、該金型に溶融高
分子樹脂を射出して前記貫通孔に高分子樹脂を充填する
ことにより、高分子樹脂からなる連通路部材と金属板ま
たはセラミック板からなる圧力室部材とが一体となり、
かつ圧力室が連通路部材に形成された射出成形品を得た
後、連通路部材にノズル連通路を穿孔して、この孔を圧
力室に連通させることを特徴とするインクジェット記録
ヘッドの製造方法。