JP2001096384A - レーザー加工装置及びレーザー加工ヘッド - Google Patents

レーザー加工装置及びレーザー加工ヘッド

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JP2001096384A JP27379799A JP27379799A JP2001096384A JP 2001096384 A JP2001096384 A JP 2001096384A JP 27379799 A JP27379799 A JP 27379799A JP 27379799 A JP27379799 A JP 27379799A JP 2001096384 A JP2001096384 A JP 2001096384A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 1つのレーザー加工ヘッドにより被加工部に
対してレーザービームと溶接用のアークとを同時にしか
もレンズ系に影響を与えることなく良好に供給する。 【解決手段】 レーザー加工系によるレーザービームを
2分割して集光し、2分割したレーザービームの間にT
IGヘッド17を配置し、同一の被加工部に対して溶接
部を常に一致させてレーザー溶接とアーク溶接とを同時
に行い、溶接位置や溶接姿勢を変えてもレーザー溶接部
とTIG溶接部とを常に一致させ、1つのレーザー加工
ヘッド13により被加工部に対してレーザービームと溶
接用のアークとを同時にしかもレンズ系に影響を与える
ことなく良好に供給し、他の加工動力の能力を高めて加
工能率を向上させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はレーザー加工装置及
びレーザー加工ヘッドに関し、1つの加工ヘッドにより
先端ノズル部を交換することで被加工物の同一部分ある
いは他の部分に対してレーザービームと溶接動力や切断
動力等の他の加工動力とを同時にしかもレーザービーム
のレンズ系に影響を与えることなく供給することができ
るようにしたものである。
【0002】
【従来の技術】レーザー光は、極めて指向性がよく大エ
ネルギーを有しているので、小さな点に集光することに
より、精密な溶接・切断・穿孔・表面改質処理などに利
用されている。この場合、ワークの材質や加工手法の違
いに応じてパルス波レーザー光(PW)や連続波レーザ
ー光(CW)が使用される。一般的に、パルス波レーザ
ー光は、その持続時間が短いので周辺への影響をおよぼ
さずに微小な孔をあけたりスポット溶接する加工に適し
ており、連続波レーザー光は、つぎ目のない溶接などの
加工に適している。
【0003】固体レーザー発振器の一種であるYAGレ
ーザー発振器は、レーザー単結晶としてNdをドープし
たYAG(イットリウム,アルミニウム,ガーネット)
結晶を用いており、波長が1.064μmのレーザー光
を、パルス波レーザー光または連続波レーザー光として
出力する。YAGレーザー光は波長が1.064μmの
赤外レーザー光であるため、光ファイバによる伝送が可
能である。この結果、YAGレーザー発振器を用いた溶
接装置や切断装置では、レーザー光を光ファイバにより
引き回すことができ、設計や配置の自由度が大きい。
【0004】このようなレーザー溶接装置によりレーザ
ー溶接したときには、狭い溶接範囲に対して溶け込み深
さの深い溶接を行うことができる。これはレーザー光に
は非常に強い集光性があり、エネルギー密度の極めて高
い強力な集中熱源として、レーザー光が機能するからで
ある。
【0005】一方、溶接手法として従来から汎用されて
いるものとして、ティグ溶接(inert gas shielded tun
gsten arc welding)が知られている。ティグ(TIG)
溶接は、アルゴンまたはヘリウムなどの不活性ガス雰囲
気中で、タングステン電極と母材間にアークを発生させ
て溶接する方法である。このようなティグ溶接では、ア
ークが広範囲に広がるため、ビード幅が広い溶接となり
開先裕度のある溶接が可能である。
【0006】近年では、広い溶接範囲に対して深い溶け
込み深さの得られる溶接ができるように、同一の溶接部
に対してレーザー溶接とティグ溶接を同時に行うことが
研究されている。レーザー溶接とティグ溶接を同時に行
うことができるように研究した装置として、図6に示す
装置がある。
【0007】図6に示す装置では、タングステン電極2
aを真っすぐにしたティグ溶接ヘッド1を、母材3の表
面に対して斜めに配置し、タングステン電極2aと母材
3との間にアーク4を発生させる。一方、集光レンズ系
5で集光したレーザー光6を母材3に斜めに照射する。
そしてアーク4による溶接ポイントとレーザー光6によ
る照射ポイントが一致するように、ティグ溶接ヘッド1
と集光レンズ系5の相対位置関係を保持するようにして
いる。
【0008】また、YAGレーザー発振器を用いた切断
装置として、図7に示す装置がある。図7に示す装置で
は、集光レンズ系5で集光したレーザー光6の周囲から
切断ガス7を供給して切断を行っている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図6に示す溶
接装置では、溶接位置や溶接姿勢が変化していっても、
アーク4による溶接ポイントとレーザー光6の照射ポイ
ントが一致するように、ティグ溶接ヘッド1と集光レン
ズ系5の相対位置関係を保持しなければならず、使用に
際して面倒な位置調整を頻繁に行なわなくてはならない
ため、使い勝手が悪かった。またレーザー光6が母材3
に対して斜めに入射しているため、溶融池の形状が対称
ではなく、溶接形状が悪くなることがあった。
【0010】更に、溶接位置や溶接姿勢によっては、両
ポイントが一致するような相対位置関係をとろうとする
と、周囲の部材や装置と干渉してしまい、良好な相対位
置関係が得られないことがある。このような場合には、
良好な溶接ができない。
【0011】また、図7に示す切断装置では、レーザー
光6の周囲から切断ガス7を供給しているので、切断ガ
ス7のガス圧(流量)が集光レンズ系5の耐圧強度に影
響され、ガス圧を高くするには限度があった。このた
め、切断可能な板厚に制約が生じていた。
【0012】本発明は上記状況に鑑みてなされたもの
で、1つのレーザー加工ヘッドにより被加工物の同一部
分に対してレーザービームと溶接動力や切断動力等の他
の加工動力とを同時にしかもレンズ系に影響を与えるこ
となく供給することができるレーザー加工装置及びレー
ザー加工ヘッドを提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明のレーザー加工装置の構成は、レーザー光を出力する
レーザー発振器と、レーザー発振器から出力されたレー
ザー光をレーザー加工ヘッドに伝送する伝送手段と、レ
ーザー加工ヘッドに備えられ伝送手段からのレーザー光
を入射させるガイド光学系と、レーザー加工ヘッドに備
えられガイド光学系から入射したレーザー光を複数束に
分割する分割光学系と、レーザー加工ヘッドに備えられ
レーザー光を被加工部に集光させる複数の集光光学系
と、レーザー加工ヘッドに備えられ分割光学系で分割さ
れた複数束のレーザー光を複数の集光光学系のそれぞれ
に導く案内光学系と、レーザー加工ヘッドに備えられ複
数の集光光学系で集光されるレーザー光の束の間に加工
手段を交換自在に支持し且つ加工手段の加工部位を被加
工部に向けて配置する支持部と、レーザー加工ヘッドを
保持しレーザー加工ヘッドを任意の位置に位置決め移動
させる移動手段と、加工手段に加工動力を供給する加工
動力供給手段と、レーザー発振器及び移動手段及び加工
動力供給手段の動作を制御する制御手段とを備えたこと
を特徴とする。
【0014】そして、レーザー加工ヘッドに備えられた
モニタリング用撮像手段と、レーザー加工ヘッドに備え
られたモニタリング用光伝送手段と、レーザー加工ヘッ
ドに備えられ被加工部及びレーザー加工ヘッドの情報を
モニタリング用撮像手段及びモニタリング用光伝送手段
に導くモニタリング案内光学系とを備えたことを特徴と
する。また、加工手段は、溶接手段及びガス供給手段が
適用されることを特徴とする。また、加工手段は、角度
調整自在にレーザー加工ヘッドに配置され、制御手段に
は、モニタリング用光伝送手段からの情報が入力される
と共にモニタリング用光伝送手段の情報に基づいて加工
手段の角度を調整する機能が備えられていることを特徴
とする。
【0015】本発明のレーザー加工ヘッドは、入力され
たレーザー光を複数束に分割する分割光学系と、レーザ
ー光を被加工部に集光させる複数の集光光学系と、分割
光学系で分割された複数束のレーザー光を複数の集光光
学系のそれぞれに導く案内光学系と、複数の集光光学系
で集光されるレーザー光の束の間に加工手段を交換自在
に支持し且つ加工手段の加工部位を被加工部に向けて配
置する支持部とを備えたことを特徴とする。
【0016】そして、モニタリング用撮像手段と、モニ
タリング用光伝送手段と、被加工部及びヘッド内の情報
をモニタリング用撮像手段及びモニタリング用光伝送手
段に導くモニタリング案内光学系とを備えたことを特徴
とする。また、加工手段は、溶接手段及びガス供給手段
が適用されることを特徴とする。また、加工手段は、角
度調整自在に配置されることを特徴とする。
【0017】
【発明の実施の形態】図1には本発明の一実施形態例に
係るレーザー加工ヘッドを備えたレーザー加工装置の概
略ブロック構成、図2にはレーザー加工ヘッドの構成、
図3にはレーザー光の光学系を表す概略構成、図4には
モニタリング系の光学系を表す概略構成、図5には加工
手段の構成を示してある。
【0018】図1に基づいてレーザー加工装置の概略構
成を説明する。図に示すように、レーザー加工装置10
には、レーザー光を出力するYAGレーザー発振器11
が備えられ、YAGレーザー発振器11から出力された
レーザー光は伝送手段としての光ファイバー12により
レーザー加工ヘッド13に伝送される。
【0019】レーザー加工ヘッド13は移動手段として
の多軸NCロボット15に保持され、多軸NCロボット
15により任意の位置に位置決め移動される。また、レ
ーザー加工ヘッド13には加工手段としての切断ノズル
16、TIGヘッド17、MIGヘッド18、フィラワ
イヤヘッド19及び粉末ノズル20が交換自在で角度調
整可能に支持される。
【0020】レーザー加工装置10には、加工手段の付
帯装置21が備えられている。付帯装置21は、冷却水
供給装置22、切断用の加工ガス(酸素等)の加工ガス
供給装置23、TIG溶接機24、MIG溶接機25、
フィラワイヤ供給装置26及び粉末供給ユニット27が
備えられている。
【0021】YAGレーザー発振器11、多軸NCロボ
ット15及び加工手段の付帯装置21の動作は制御装置
31により制御される。制御装置31には、発振器コン
トローラ32、NCコントローラ33、冷却水コントロ
ーラ34、モニタリングコントローラ35、オートフォ
ーカスコントローラ36、ノズル角度コントローラ37
及びモニタTV38が備えられている。
【0022】発振器コントローラ32はYAGレーザー
発振器11のレーザー光の出力を制御し、NCコントロ
ーラ33は多軸NCロボット15の動作を制御し、モニ
タリングコントローラ35は後述するモニタリング用の
光ファイバーからの発光状況に応じて各種動作部の動作
を制御する。また、オートフォーカスコントローラ36
は後述する光学系の制御を行いレーザービームの焦点を
制御し、ノズル角度コントローラ37はノズル及びヘッ
ドの角度を調整制御する。
【0023】図2乃至図4に基づいてレーザー加工ヘッ
ド13を詳細に説明する。
【0024】図2、図3に示すように、レーザー加工ヘ
ッド13には光ファイバー12が支持され、光ファイバ
ー12で伝送されたYAGレーザー発振器11からのレ
ーザー光は下向きに入光する。光ファイバー12の直下
にはガイド光学系としてのコリメートレンズ群41が設
けられ、コリメートレンズ群41により光ファイバー1
2からのレーザー光が平行光にされる。
【0025】コリメートレンズ群41の直下には分割光
学系としての三角柱状の分割ミラー42が備えられ、コ
リメートレンズ群41で平行光にされた(入射された)
レーザー光は分割ミラー42により2つの水平なレーザ
ー光束43a,43b に分割される。レーザー光束43a,43b は
それぞれ案内光学系としての反射ミラー44a,44b で反射
され、それぞれのレーザー光束43a,43b は集光光学系と
しての半割り状の集光レンズ群45a,45b で集光され一つ
の被加工部40にレーザービーム46a,46b として集光さ
れる。尚、分割光学系としては、三角錐状の分割ミラー
を用いてレーザー光を3つの水平なレーザー光束に分割
するようにしてもよい。
【0026】反射ミラー44a,44b は傾斜角が可変に支持
され、前述したオートフォーカスコントローラ36から
の指令に基づいて動作され、レーザービーム46a,46b の
焦点が制御される。
【0027】図2に示すように、集光レンズ群45a,45b
で集光されるレーザービーム46a,46b 間に加工手段とし
て前述したヘッドやノズルを交換自在に支持し且つヘッ
ドやノズルの加工部位としての先端部を被加工部40に
向けて配置する支持部47がレーザー加工ヘッド13に
備えられている。図示例では、加工手段としてTIGヘ
ッド17が配置された状態を示してある。支持部47に
は可変手段48が設けられ、可変手段48はノズル角度
コントローラ37の指令に基づいて動作され、ノズル及
びヘッド(TIGヘッド17)の角度を調整制御する。
【0028】図2、図4に示すように、レーザー加工ヘ
ッド13の後方上部にはモニタリング用撮像手段として
のCCDカメラ51が設けられ、CCDカメラ51は画
像用光ファイバー52を介して制御装置31のモニタT
V38に被加工部40及びレーザー加工ヘッド13内の
画像を伝送する。また、レーザー加工ヘッド13の後方
部にはモニタリング用光伝送手段としてのモニタリング
光ファイバー53が支持され、モニタリング光ファイバ
ー53を介して制御装置31のモニタリングコントロー
ラ35に被加工部40の発光状況を伝送する。
【0029】集光レンズ群45a,45b の間には、被加工部
40の状況を後側に反射する反射ミラー54が設けら
れ、CCDカメラ51の直下には反射ミラー54で反射
した被加工部40の状況を上方に反射させると共に後方
に透過させる半透過ミラー55が設けられている。尚、
図中56は反射ミラー54と半透過ミラー55の間に配
置されたコリメータである。図4に示すように、半透過
ミラー55で反射された被加工部40の状況はレンズ群
57でCCDカメラ51の入力部に集光される。半透過
ミラー55で透過された被加工部40の状況はレンズ群
58でモニタリング光ファイバー53に集光される。
【0030】図5を参照して加工手段を説明する。
【0031】図5(a) はTIGヘッド17でタングステ
ン電極62を保持し、TIG溶接機24からの給電及び
不活性ガスの供給により、アーク63による溶接を行
う。レーザー加工ヘッド13では、レーザー加工系(コ
リメートレンズ群41、分割ミラー42、反射ミラー4
4及び集光レンズ群45)によるレーザービーム46を
2分割して集光し、2分割したレーザービーム46の間
にTIGヘッド16を配置している。このため、同一の
被加工部40に対してレーザー溶接とアーク溶接とを同
時に行うことができる。
【0032】図5(b) は切断ノズル16で、加工ガス供
給装置23から例えば酸素ガスが供給される。レーザー
加工ヘッド13に切断ノズル16を保持した場合、同一
の被加工部40に対してレーザービーム46による切断
と切断ノズル16からの切断ガスの供給を同軸上に同時
に行うことができる。切断ノズル16からの切断用の加
工ガスは、レーザー加工系のレンズ系に対して無関係と
なるので、レンズの耐圧強度に拘らず圧力を高くするこ
とができる。このため、深い切断が可能になって厚物の
切断に適用可能となり、加工ガス圧を調整することで切
断可能な板厚に制約が生じることがなくなる。
【0033】モニタリング用光ファイバー53から伝送
される発光状況に応じて制御装置31のノズル角度コン
トローラ37により可変手段を介して切断ノズル16の
角度を調整することで、例えば、レーザー加工ヘッド1
3の進行方向後側に傾けて調整することで、溶融直後の
金属を進行方向後側に吹き飛ばすことができ、より深い
切断が可能になる。
【0034】図5(c) はMIGヘッド18で、MIG溶
接機25からの給電及びワイヤ送り装置67からのフィ
ラワイヤ68の供給により、溶接を行う。レーザー加工
ヘッド13にMIGヘッド18を保持した場合、同一の
被加工部40に対してレーザービーム46による溶接と
MIGヘッド18でのMIG溶接を同時に行うことがで
きる。
【0035】図5(d) はフィラワイヤヘッド19で、ワ
イヤ送り装置72からのフィラワイヤ73の供給によ
り、溶接を行う。レーザー加工ヘッド13にフィラワイ
ヤヘッド19を保持した場合、レーザー加工ヘッド13
の移動方向や角度に拘らず被加工部40に対してレーザ
ービーム46とフィラワイヤ73の互いの位置関係を一
定に保つことができる。
【0036】図5(e) は粉末ノズル20で、粉末供給ユ
ニット27から金属粉末(例えば、鉄、ステンレス、ア
ルミ等の金属)75が供給される。レーザー加工ヘッド
13に粉末ノズル20を保持した場合、レーザー加工ヘ
ッド13の移動により金属粉末75を任意の形状に敷き
つめ、一層毎にレーザービーム46を照射して焼結して
いく。これを繰り返すことにより、任意の3次元形状の
肉盛り成形を行うことができる。
【0037】上記構成のレーザー加工ヘッド13を備え
たレーザー加工装置10では、制御装置31の指令によ
り多軸NCロボット14を動作させ、レーザー加工ヘッ
ド13を所望の状態に移動及び動作させてレーザー加工
と溶接や切断等の加工手段による加工とを同時に行う。
加工中は、必要に応じて冷却水コントローラ34からの
指令により冷却水供給装置22から冷却水が供給され
る。加工手段としてTIGヘッド17を支持部47に保
持した場合を例に挙げて説明する。
【0038】光ファイバー12で伝送されたYAGレー
ザー発振器11からのレーザー光が下向きに入光し、コ
リメートレンズ群41により光ファイバー12からのレ
ーザー光が平行光にされる。コリメートレンズ群41で
平行光にされた(入射された)レーザー光は分割ミラー
42により2つの水平なレーザー光束43a,43b に分割さ
れ、それぞれのレーザー光束43a,43b は反射ミラー44a,
44b で反射されて集光レンズ群45a,45b で集光され一つ
の被加工部40にレーザービーム46a,46b として集光さ
れる。
【0039】また、集光レンズ群45a,45b で集光される
レーザービーム46a,46b 間にTIGヘッド17が配置さ
れ、TIG溶接機24からの給電及び不活性ガスの供給
により、アーク63により被加工部40の溶接を行う。
【0040】レーザービーム46a,46b によるレーザー溶
接とアーク63によるTIG溶接が同一の被加工部40
に対して同時に行われ、広い溶接範囲に対し深い溶け込
み深さの溶接が良好に行われる。レーザー加工ヘッド1
3は、レーザー加工系(コリメートレンズ群41、分割
ミラー42、反射ミラー44a,44b 及び集光レンズ群45a,
45b )と、TIGヘッド17とが一体になった構造であ
るため、溶接位置や溶接姿勢を変えても、特別な操作を
することなくレーザー溶接部とTIG溶接部とが常に一
致する。このため、操作性がよく良好な溶接が可能とな
る。また、一体構造となっているため、コンパクトで且
つ周辺部材と干渉することはない。
【0041】被加工部40及びレーザー加工ヘッド13
内の状況は、反射ミラー54、コリメータ56及び半透
過ミラー55を介してCCDカメラ51で撮影され、画
像は画像用光ファイバー52を介して制御装置31のモ
ニタTV38に映し出されるようになっている。モニタ
TV38の画像によりモニタリングを行い、不具合等が
生じた場合には即座に適切な処置を施すようにする。
【0042】また、被加工部40の発光状況が反射ミラ
ー54、コリメータ56、半透過ミラー55及びレンズ
群58を介してモニタリング光ファイバー53に入力さ
れ、制御装置31のモニタリングコントローラ35に伝
送される。モニタリングコントローラ35からは、被加
工部40の発光状況に応じてレーザー加工ヘッド13の
位置やレーザービーム46a,46b の集光位置、TIGヘッ
ド17の支持状態等を調整するように、NCコントロー
ラ33、オートフォーカスコントローラ36及びノズル
角度コントローラ37に指令が出される。
【0043】上述したレーザー加工ヘッド13を備えた
レーザー加工装置10は、レーザー加工系(コリメート
レンズ群41、分割ミラー42、反射ミラー44及び集
光レンズ群45)によるレーザービーム46を2分割し
て集光し、2分割したレーザービーム46a,46b の間に加
工手段(TIGヘッド17)配置したので、同一の被加
工部40に対して溶接部を常に一致させてレーザー溶接
とアーク溶接とを同時に行うことができる。このため、
1つのレーザー加工ヘッド13により被加工部40に対
してレーザービーム46a,46b と、溶接用のアーク63
(切断用のガス、フィラワイヤ、金属粉末等他の加工動
力)とを同時にしかもレンズ系に影響を与えることなく
良好に供給することができ、他の加工動力の能力を高め
て加工能率を向上させることができる。
【0044】
【発明の効果】本発明のレーザー加工装置は、レーザー
光を出力するレーザー発振器と、レーザー発振器から出
力されたレーザー光をレーザー加工ヘッドに伝送する伝
送手段と、レーザー加工ヘッドに備えられ伝送手段から
のレーザー光を入射させるガイド光学系と、レーザー加
工ヘッドに備えられガイド光学系から入射したレーザー
光を複数束に分割する分割光学系と、レーザー加工ヘッ
ドに備えられレーザー光を被加工部に集光させる複数の
集光光学系と、レーザー加工ヘッドに備えられ分割光学
系で分割された複数束のレーザー光を複数の集光光学系
のそれぞれに導く案内光学系と、レーザー加工ヘッドに
備えられ複数の集光光学系で集光されるレーザー光の束
の間に加工手段を交換自在に支持し且つ加工手段の加工
部位を被加工部に向けて配置する支持部と、レーザー加
工ヘッドを保持しレーザー加工ヘッドを任意の位置に位
置決め移動させる移動手段と、加工手段に加工動力を供
給する加工動力供給手段と、レーザー発振器及び移動手
段及び加工動力供給手段の動作を制御する制御手段とを
備えたので、同一の被加工部に対して姿勢を変更しも加
工部を常に一致させてレーザー加工と他の加工とを同時
に行うことができる。この結果、1つのレーザー加工ヘ
ッドにより被加工部に対してレーザービームと、他の加
工の加工動力とを同時にしかもレンズ系に影響を与える
ことなく良好に供給することができ、操作性がよく良好
な加工が可能となると共に、加工動力の能力を高めて加
工能率を向上させることができる。
【0045】また、レーザー加工ヘッドに備えられたモ
ニタリング用撮像手段と、レーザー加工ヘッドに備えら
れたモニタリング用光伝送手段と、レーザー加工ヘッド
に備えられ被加工部及びレーザー加工ヘッドの情報をモ
ニタリング用撮像手段及びモニタリング用光伝送手段に
導くモニタリング案内光学系とを備えたので、また、加
工手段は、角度調整自在にレーザー加工ヘッドに配置さ
れ、制御手段には、モニタリング用光伝送手段からの情
報が入力されると共にモニタリング用光伝送手段の情報
に基づいて加工手段の角度を調整する機能が備えられて
いるので、被加工部及びレーザー加工ヘッドの情報に基
づいてレーザー加工ヘッド及び加工手段の角度を最適に
調整することができる。
【0046】本発明のレーザー加工ヘッドは、入力され
たレーザー光を複数束に分割する分割光学系と、レーザ
ー光を被加工部に集光させる複数の集光光学系と、分割
光学系で分割された複数束のレーザー光を複数の集光光
学系のそれぞれに導く案内光学系と、複数の集光光学系
で集光されるレーザー光の束の間に加工手段を交換自在
に支持し且つ加工手段の加工部位を被加工部に向けて配
置する支持部とを備えたので、同一の被加工部に対して
姿勢を変更しも加工部を常に一致させてレーザー加工と
他の加工とを同時に行うことができる。この結果、1つ
のレーザー加工ヘッドにより被加工部に対してレーザー
ビームと、他の加工の加工動力とを同時にしかもレンズ
系に影響を与えることなく良好に供給することができ、
操作性がよく良好な加工が可能となると共に、加工動力
の能力を高めて加工能率を向上させることができる。
【0047】また、モニタリング用撮像手段と、モニタ
リング用光伝送手段と、被加工部及びヘッド内の情報を
モニタリング用撮像手段及びモニタリング用光伝送手段
に導くモニタリング案内光学系とを備えたので、また、
加工手段は、角度調整自在に配置されるので、被加工部
及びレーザー加工ヘッドの情報に基づいて加工手段の角
度を最適に調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態例に係るレーザー加工ヘッ
ドを備えたレーザー加工装置の概略構成図。
【図2】レーザー加工ヘッドの構成図。
【図3】レーザー光の光学系を表す概略構成図。
【図4】モニタリング系の光学系を表す概略構成図。
【図5】加工手段の構成図。
【図6】従来技術を示す構成図。
【図7】従来技術を示す構成図。
【符号の説明】
10 レーザー加工装置 11 YAGレーザー発振器 12 光ファイバー 13 レーザー加工ヘッド 15 多軸NCロボット 16 切断ノズル 17 TIGヘッド 18 MIGヘッド 19 フィラワイヤヘッド 20 粉末ノズル 21 付帯設備 22 冷却水供給装置 23 加工ガス供給装置 24 TIG溶接機 25 MIG溶接機 26 フィラワイヤ供給装置 27 粉末供給ユニット 31 制御装置 32 発振器コントローラ 33 NCコントローラ 34 冷却水コントローラ 35 モニタリングコントローラ 36 オートフォーカスコントローラ 37 ノズル角度コントローラ 38 モニタTV 40 被加工部 41 コリメートレンズ群 42 分割ミラー 43a,43b レーザー光束 44a,44b 反射ミラー 45a,45b 集光レンズ群 46a,46b レーザービーム 47 支持部 48 可変手段 51 CCDカメラ 52 画像用光ファイバー 53 モニタリング用光ファイバー 54 反射ミラー 55 半透過ミラー 56 コリメータ 57,58 レンズ群 62 タングステン電極 63 アーク 67,72 ワイヤ送り装置 68,73 フィラワイヤ 75 粉末金属
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石出 孝 兵庫県高砂市荒井町新浜二丁目1番1号 三菱重工業株式会社高砂研究所内 (72)発明者 勝沼 淳 東京都千代田区丸の内3丁目2番3号 株 式会社ニコン内 Fターム(参考) 4E068 BC01 CA06 CB05 CD02 CD04 CD15

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 レーザー光を出力するレーザー発振器
    と、レーザー発振器から出力されたレーザー光をレーザ
    ー加工ヘッドに伝送する伝送手段と、レーザー加工ヘッ
    ドに備えられ伝送手段からのレーザー光を入射させるガ
    イド光学系と、レーザー加工ヘッドに備えられガイド光
    学系から入射したレーザー光を複数束に分割する分割光
    学系と、レーザー加工ヘッドに備えられレーザー光を被
    加工部に集光させる複数の集光光学系と、レーザー加工
    ヘッドに備えられ分割光学系で分割された複数束のレー
    ザー光を複数の集光光学系のそれぞれに導く案内光学系
    と、レーザー加工ヘッドに備えられ複数の集光光学系で
    集光されるレーザー光の束の間に加工手段を交換自在に
    支持し且つ加工手段の加工部位を被加工部に向けて配置
    する支持部と、レーザー加工ヘッドを保持しレーザー加
    工ヘッドを任意の位置に位置決め移動させる移動手段
    と、加工手段に加工動力を供給する加工動力供給手段
    と、レーザー発振器及び移動手段及び加工動力供給手段
    の動作を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする
    レーザー加工装置。
  2. 【請求項2】 請求項1において、レーザー加工ヘッド
    に備えられたモニタリング用撮像手段と、レーザー加工
    ヘッドに備えられたモニタリング用光伝送手段と、レー
    ザー加工ヘッドに備えられ被加工部及びレーザー加工ヘ
    ッドの情報をモニタリング用撮像手段及びモニタリング
    用光伝送手段に導くモニタリング案内光学系とを備えた
    ことを特徴とするレーザー加工装置。
  3. 【請求項3】 請求項1もしくは請求項2において、加
    工手段は、溶接手段及びガス供給手段が適用されること
    を特徴とするレーザー加工装置。
  4. 【請求項4】 請求項2もしくは請求項3において、加
    工手段は、角度調整自在にレーザー加工ヘッドに配置さ
    れ、制御手段には、モニタリング用光伝送手段からの情
    報が入力されると共にモニタリング用光伝送手段の情報
    に基づいて加工手段の角度を調整する機能が備えられて
    いることを特徴とするレーザー加工装置。
  5. 【請求項5】 入力されたレーザー光を複数束に分割す
    る分割光学系と、レーザー光を被加工部に集光させる複
    数の集光光学系と、分割光学系で分割された複数束のレ
    ーザー光を複数の集光光学系のそれぞれに導く案内光学
    系と、複数の集光光学系で集光されるレーザー光の束の
    間に加工手段を交換自在に支持し且つ加工手段の加工部
    位を被加工部に向けて配置する支持部とを備えたことを
    特徴とするレーザー加工ヘッド。
  6. 【請求項6】 請求項5において、モニタリング用撮像
    手段と、モニタリング用光伝送手段と、被加工部及びヘ
    ッド内の情報をモニタリング用撮像手段及びモニタリン
    グ用光伝送手段に導くモニタリング案内光学系とを備え
    たことを特徴とするレーザー加工ヘッド。
  7. 【請求項7】 請求項5もしくは請求項6において、加
    工手段は、溶接手段及びガス供給手段が適用されること
    を特徴とするレーザー加工ヘッド。
  8. 【請求項8】 請求項5乃至請求項7のいずれか一項に
    おいて、加工手段は、角度調整自在に配置されることを
    特徴とするレーザー加工ヘッド。
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