JP2001092119A - Photosensitive paste, display and member for display - Google Patents

Photosensitive paste, display and member for display

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JP2001092119A
JP2001092119A JP26822099A JP26822099A JP2001092119A JP 2001092119 A JP2001092119 A JP 2001092119A JP 26822099 A JP26822099 A JP 26822099A JP 26822099 A JP26822099 A JP 26822099A JP 2001092119 A JP2001092119 A JP 2001092119A
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孝樹 正木
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a photosensitive paste capable of forming a good partition wall pattern and giving a partition wall that is blackened after firing to enhance contrast. SOLUTION: The photosensitive paste contains inorganic fine particles and a photosensitive organic component in a ratio of 6:4 to 9:1. When a coating film of 140 μm thickness is formed using the paste, the total light transmittance is >=50% and stimulus specification Y in the XYZ system of color representation after the firing of the coating film is <=15. The paste has good pattern forming property and forms a black partition wall that contributes toward enhancing contrast.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は感光性ペーストに関
するものであり、プラズマディスプレイパネル(PDP
ともいう)、プラズマアドレス液晶ディスプレイ(PA
LCともいう)、電子放出(FE、フィールドエミッシ
ョンともいう)素子、有機電界発光(有機EL、エレク
トロルミネッセンスともいう)素子や蛍光表示管を用い
たディスプレイの隔壁形成に用いることができる。
The present invention relates to a photosensitive paste, and more particularly to a plasma display panel (PDP).
), Plasma addressed liquid crystal display (PA
It can be used for forming an electron emission (FE, also referred to as field emission) element, an organic electroluminescence (also referred to as organic EL, electroluminescence) element, or a partition of a display using a fluorescent display tube.

【0002】[0002]

【従来の技術】薄型で軽量のフラットパネルディスプレ
イが注目されている。フラットパネルディスプレイとし
て液晶ディスプレイ(LCDともいう)が盛んに開発さ
れているが、これには画像が暗い、視野角が狭いといっ
た課題が残っている。この液晶ディスプレイに代わるも
のとして自発光型の放電型ディスプレイであるPDPや
電子放出素子、有機電界発光素子あるいは蛍光表示管を
用いたディスプレイが、LCDに比べて明るい画像が得
られ、視野角が広く、さらには大画面化、高精細化の要
求に応えられることから、そのニーズが高まりつつあ
る。
2. Description of the Related Art A thin and lightweight flat panel display has attracted attention. Liquid crystal displays (also referred to as LCDs) have been actively developed as flat panel displays, but these still have problems such as dark images and narrow viewing angles. As an alternative to this liquid crystal display, displays using PDPs, electron-emitting devices, organic electroluminescent devices or fluorescent display tubes, which are self-luminous discharge-type displays, can obtain brighter images and have a wider viewing angle than LCDs. In addition, since the demand for larger screens and higher definition can be met, the needs are increasing.

【0003】電子放出素子には、熱電子放出素子と冷陰
極電子放出素子がある。冷陰極電子放出素子には電界放
出型(FE型)、金属/絶縁層/金属型(MIM型)や
表面伝導型などがある。このような冷陰極電子源を用い
た画像形成装置は、それぞれのタイプの電子放出素子か
ら放出される電子ビームを蛍光体に照射して蛍光を発生
させることで画像を表示するものである。この装置にお
いて、前面ガラス基板(フェースプレートともいう)と
背面ガラス基板(素子基板ともいう)にそれぞれの機能
を付与して用いるが、背面ガラス基板には、複数の電子
放出素子とそれらの素子の電極を接続するマトリックス
状の配線が設けられる。これらの配線は、電子放出素子
の電極部分で交差することになるので絶縁するための絶
縁層(誘電体層)が設けられる。さらに両基板の間で耐
大気圧支持部材として隔壁が形成される。電子放出素子
を用いた画像表示装置は、平面でかつ明るく見やすいな
どの利点を有している。
The electron-emitting devices include a thermionic electron-emitting device and a cold cathode electron-emitting device. The cold cathode electron-emitting devices include a field emission type (FE type), a metal / insulating layer / metal type (MIM type), and a surface conduction type. An image forming apparatus using such a cold cathode electron source displays an image by irradiating a phosphor with an electron beam emitted from each type of electron-emitting device to generate fluorescent light. In this apparatus, a front glass substrate (also referred to as a face plate) and a rear glass substrate (also referred to as an element substrate) are used by imparting respective functions. A matrix wiring for connecting the electrodes is provided. Since these wirings intersect at the electrode portion of the electron-emitting device, an insulating layer (dielectric layer) for insulation is provided. Further, a partition is formed between the two substrates as an anti-atmospheric pressure support member. An image display device using an electron-emitting device has advantages such as being flat, bright and easy to see.

【0004】陰極から注入された電子と陽極から注入さ
れた正孔とが両極に挟まれた有機蛍光体内で再結合して
発光する有機電界発光素子は、薄型、低駆動電圧下での
高輝度発光、蛍光材料を選ぶことによる多色発光が特徴
であり注目されている。
An organic electroluminescent device that emits light by recombining electrons injected from a cathode and holes injected from an anode in an organic phosphor sandwiched between both electrodes is thin and has high luminance under a low driving voltage. Light emission and multicolor light emission by selecting a fluorescent material are featured and attracted attention.

【0005】有機電界発光素子の作製において、有機発
光層のパターニング形成法として隔壁を作製し、これを
活用する方法が用いられている。蛍光表示管を用いたデ
ィスプレイにおいても格子状の隔壁が形成される。
In manufacturing an organic electroluminescent device, a method of forming a partition and utilizing the same is used as a method of patterning an organic light emitting layer. A grid-like partition is also formed in a display using a fluorescent display tube.

【0006】PDPは、前面ガラス基板と背面ガラス基
板との間に設けられた隔壁で仕切られた放電空間内で対
向するアノード電極およびカソード電極間にプラズマ放
電を生じさせ、この空間内に封入されているガスから発
生する紫外線を放電空間内に塗布された蛍光体に当てる
ことによって表示を行うものである。
A PDP generates a plasma discharge between an anode electrode and a cathode electrode facing each other in a discharge space partitioned by partitions provided between a front glass substrate and a rear glass substrate, and is sealed in this space. The display is performed by irradiating the phosphor applied to the discharge space with ultraviolet rays generated from the gas.

【0007】プラズマアドレス液晶(PALC)ディス
プレイは、TFT(薄膜トランジスター)−LCDのT
FTアレイ部分をプラズマチャネルに置き換えたもの
で、プラズマ部分以外は基本的にTFT−LCDと同じ
構造である。高さ200μmの隔壁を形成し、その隔壁
間にニッケルからなるアノード電極とカソード電極を対
峙させた構造のプラズマ発生部分を有し、その形成に
は、PDPにおける技術が適用されている。
A plasma addressed liquid crystal (PALC) display is a TFT (thin film transistor) -T
The FT array portion is replaced with a plasma channel, and the structure is basically the same as that of the TFT-LCD except for the plasma portion. A partition having a height of 200 μm is formed, and a plasma generating portion having a structure in which an anode electrode and a cathode electrode made of nickel are opposed to each other is provided between the partition walls, and the PDP technique is applied to the formation thereof.

【0008】これらの隔壁は、スクリーン印刷法、サン
ドブラスト法、アディティブ法(埋め込み法ともい
う)、加圧成型法、型転写法、感光性ペースト法などの
方法で形成される。
[0008] These partition walls are formed by a method such as a screen printing method, a sand blast method, an additive method (also referred to as an embedding method), a pressure molding method, a mold transfer method, a photosensitive paste method, or the like.

【0009】スクリーン印刷法は、隔壁形成の方法とし
て最も一般的なものであるが、高精細で大画面を有する
ディスプレイへの適用には困難がある。高精細で大面積
化にも対応できる方法としてガラスペーストに感光性を
付与して、紫外線などの活性光線を照射してパターニン
グを行う感光性ペースト法も開発されている。それぞれ
の隔壁形成方法は、目的とするディスプレイパネル用部
材のサイズや隔壁パターンの精細度などにより選択して
適用することができる。これらはいずれも隔壁パターン
の形成方法であり、隔壁を得るには、さらに焼成工程を
経ることが必要である。
The screen printing method is the most general method for forming a partition wall, but has difficulty in applying it to a display having a high definition and a large screen. As a method capable of coping with a high definition and large area, a photosensitive paste method of imparting photosensitivity to a glass paste and irradiating active rays such as ultraviolet rays to perform patterning has been developed. Each of the partition wall forming methods can be selected and applied depending on the size of the target display panel member, the definition of the partition wall pattern, and the like. These are all methods of forming a partition pattern, and a firing step is required to obtain a partition.

【0010】PDPの場合、高精細のディスプレイにお
いては、隔壁が白色の場合、発光時に隔壁からの光反射
があるため輝度向上に有効であるが、非発光時に隔壁上
面からの光反射のためにコントラストが低下するという
問題がある。
In the case of a PDP, in a high-definition display, when the partition walls are white, light is reflected from the partition walls during light emission, which is effective in improving brightness. There is a problem that the contrast is reduced.

【0011】特開平6−144871号公報、特開平8
−17345号公報、特開平10−72240号公報な
どには、黒色顔料を含んだ感光性ペーストを用いた隔壁
の製造方法が提案されている。しかしながら、黒色顔料
は光を吸収するため1回の露光で得られる硬化深さが不
足し、これらの方法では、多数回の露光が必要になると
いう問題があった。また、得られた隔壁の黒色度や、黒
色化によるコントラスト向上は記載されていない。
Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 6-144871 and 8
JP-A-17345 and JP-A-10-72240 propose a method for producing a partition wall using a photosensitive paste containing a black pigment. However, since the black pigment absorbs light, the curing depth obtained by one exposure is insufficient, and there is a problem that these methods require multiple exposures. Further, there is no description of the degree of blackness of the obtained partition walls or the improvement of contrast due to blackening.

【0012】また、特開平9−35642号公報には、
コントラストを向上するために前面基板上に黒色隔壁を
形成するパネル構造が提案されているが、前面板と背面
板の隔壁の位置合わせを行う必要があることや前面板の
黒隔壁と背面板の白隔壁を別々に形成する必要があるた
め、工程が複雑になる欠点があった。さらに、隔壁の形
成方法としてスクリーン印刷法が用いられており、精度
良く形成できないなどの問題があった。
Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-35642 discloses that
To improve contrast, a panel structure in which black partition walls are formed on the front substrate has been proposed.However, it is necessary to align the partition walls of the front plate and the back plate, and the black partition wall of the front plate and the back plate are required. Since it is necessary to form the white partition separately, there is a disadvantage that the process becomes complicated. Further, a screen printing method is used as a method for forming the partition walls, and there is a problem that the partition walls cannot be formed with high accuracy.

【0013】[0013]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、良好
な隔壁パターンの形成が可能であると共に、焼成後に得
られる隔壁が黒色化してコントラスト向上が可能な感光
性ペーストを提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a photosensitive paste capable of forming a good partition pattern and improving the contrast by blackening the partition obtained after firing. .

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】無機材料と感光性有機成
分とを6:4〜9:1の割合で含有する感光性ペースト
であって、厚み140μmの塗布膜を形成した場合の全
光線透過率が50%以上であり、この塗布膜を焼成した
膜のXYZ表色系における刺激値Yが15以下となる感
光性ペーストを用いる。
A light-sensitive paste containing an inorganic material and a light-sensitive organic component in a ratio of 6: 4 to 9: 1 and having a total thickness of 140 μm when formed as a coating film. A photosensitive paste having a ratio of 50% or more and a stimulus value Y of 15 or less in an XYZ color system of a film obtained by baking this coating film is used.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】本発明の感光性ペーストは、無機
微粒子と感光性有機成分とを含有するものである。パタ
ーン形成性および脱バインダー性のバランスから、無機
微粒子と感光性有機成分との比率は、重量比で6:4〜
9:1の割合が好ましい。成分比率がこの範囲内にある
ことにより、脱バインダー性が良好で、かつ、良好な隔
壁パターンの形成が可能である。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The photosensitive paste of the present invention contains inorganic fine particles and a photosensitive organic component. From the balance between the pattern forming property and the binder removing property, the ratio between the inorganic fine particles and the photosensitive organic component is from 6: 4 by weight.
A ratio of 9: 1 is preferred. When the component ratio is within this range, the binder removal property is good, and a good partition pattern can be formed.

【0016】感光性ペースト塗布膜に対しては、隔壁パ
ターンを形成するため紫外線を露光するが、その光は内
部での散乱をできるだけ少なくすると共にできるだけ多
くを塗布膜底部まで透過させることが必須であり、塗布
膜は光透過性が良好なことが必要条件である。その必要
とされる全光線透過率は上記のように厚さ140μmの
塗布膜で測定した値で50%以上であり、好ましくは6
0%以上、より好ましくは75%以上である。
The photosensitive paste coating film is exposed to ultraviolet rays to form a partition pattern, and it is essential that the light be transmitted to the bottom of the coating film with as little scattering as possible and as much as possible. It is a necessary condition that the coating film has good light transmittance. The required total light transmittance is 50% or more as measured on a coating film having a thickness of 140 μm as described above, and is preferably 6% or more.
0% or more, more preferably 75% or more.

【0017】本発明の透過率は、島津製作所製の分光光
度計(UV−3101PC)を用いて次のような条件で
測定されたものである。
The transmittance of the present invention is measured using a spectrophotometer (UV-3101PC) manufactured by Shimadzu Corporation under the following conditions.

【0018】 試料厚み:50μm 試料セル:石英セル スリット幅:7.5 測定速度:SLOW(約100nm/min) 光源:ハロゲンランプ 白板:BaSO4(サンプル側) 副白板:BaSO4(リファレンス側) 入射角:0度、8度 積分球:60φ積分球 積分球窓:入口窓 12(W)×20(H)mm 出口窓 12(W)×24(H)mm ホトマル窓(球の下側) 16mmφ PbSセル窓(球の上側)16mmφ 積分球の開口比率:12.9% 検出器:ホトマルおよびPbSセル 透過率測定の試料は、石英セル上に乾燥後厚みが140
μmになるように感光性ペーストをスクリーン印刷法で
塗布・乾燥したものであり、試料の上に石英セルをのせ
て、調製した。全光線透過率は、入射角0度で入射した
光の全透過光を測定したものである。
Sample thickness: 50 μm Sample cell: quartz cell Slit width: 7.5 Measurement speed: SLOW (about 100 nm / min) Light source: halogen lamp White plate: BaSO 4 (sample side) Secondary white plate: BaSO 4 (reference side) Incident Angle: 0 degrees, 8 degrees Integrating sphere: 60φ Integrating sphere Integrating sphere window: Entrance window 12 (W) × 20 (H) mm Exit window 12 (W) × 24 (H) mm Photomal window (bottom of sphere) 16 mmφ PbS cell window (upper side of sphere) 16 mmφ Opening ratio of integrating sphere: 12.9% Detector: Photomal and PbS cell The sample for transmittance measurement has a thickness of 140 after drying on a quartz cell.
A photosensitive paste was applied by a screen printing method so as to have a thickness of μm and dried, and was prepared by placing a quartz cell on a sample. The total light transmittance is obtained by measuring the total transmitted light of light incident at an incident angle of 0 degree.

【0019】さらに、感光性ペーストの厚さ140μm
の塗布膜を焼成して得られた膜のXYZ表色系における
刺激値Yは15以下であることが好ましい。この刺激値
Yは得られる隔壁の黒色の程度を表すものであり、刺激
値Yが15を越える場合は、灰色を帯びるようになり、
非放電時の反射が多くなってコントラスト、色純度が低
下する。刺激値Yが好ましくは6以下、さらに好ましく
は3以下であることがコントラストを適性に保持するた
めに好ましい。
Further, the thickness of the photosensitive paste is 140 μm.
It is preferable that the stimulus value Y in the XYZ color system of the film obtained by baking the applied film is 15 or less. The stimulus value Y represents the degree of blackness of the obtained partition wall. When the stimulus value Y exceeds 15, the stimulus value Y becomes gray,
Reflection during non-discharge is increased, and contrast and color purity are reduced. The stimulus value Y is preferably 6 or less, and more preferably 3 or less, in order to appropriately maintain the contrast.

【0020】光源色の3刺激値XYZおよびそれらから
求められる色度座標のx、yは、JIS Z8722
(物体色の測定方法)、JIS Z8717(蛍光物体
色の測定方法、JIS Z8701(XYZ表色系およ
びX101010表色系における色の表示方法)に規定さ
れた方法で求められる。これらの刺激値や色度座標を測
定する装置としては、一般的に、カラーコンピューター
が用いられるが、本発明で表示する値は、スガ試験機
(株)製カラーコンピューターSM−7−CH(光学条
件45°照明、0°受光)を用いて測定したものであ
る。
The tristimulus values XYZ of the light source colors and the chromaticity coordinates x and y obtained therefrom are in accordance with JIS Z8722.
(Measurement method of object colors), is obtained by JIS Z8717 (Method of Measuring the fluorescent object color, JIS Z8701 (XYZ color system and X 10 Y 10 Z 10 guide display colors in the color system method) in the method specified. Generally, a color computer is used as an apparatus for measuring these stimulus values and chromaticity coordinates, but the values displayed in the present invention are color computers SM-7-CH manufactured by Suga Test Instruments Co., Ltd. It was measured under the conditions of 45 ° illumination and 0 ° light reception.

【0021】本発明の無機微粒子は0.003〜0.0
8μmの範囲内にピークを有する粒度分布を示すことが
好ましい。ここで、無機微粒子が複数の成分を含有する
場合は、これらの各成分を含めた粒度分布を測定した結
果、0.003〜0.08μmの範囲内にピークを有す
ることが好ましい。本発明の無機微粒子の粒度分布は、
上記の範囲以外にもピークを有し、複数のピークを有す
るものであってもよい。これらの粒度分布は、レーザー
回折散乱法を利用した粒度分布計(マイクロトラックH
RA粒度分布計MODEL No.9320−X10
0)を用いて測定した。測定条件は下記の通り。
The inorganic fine particles of the present invention have a content of 0.003 to 0.0.
It preferably has a particle size distribution having a peak in the range of 8 μm. Here, when the inorganic fine particles contain a plurality of components, it is preferable that the particles have a peak in the range of 0.003 to 0.08 μm as a result of measuring the particle size distribution including these components. Particle size distribution of the inorganic fine particles of the present invention,
It may have a peak other than the above range and may have a plurality of peaks. These particle size distributions are measured using a particle size distribution analyzer (Microtrac H
RA particle size distribution analyzer Model No. 9320-X10
0). The measurement conditions are as follows.

【0022】 測定量 :1g 分散条件 :精製水中で1〜1.5分間超音波分散。分
散しにくい場合は0.2%ヘキサメタリン酸ナトリウム
水溶液中で行う。
Measurement amount: 1 g Dispersion condition: ultrasonic dispersion in purified water for 1 to 1.5 minutes. If it is difficult to disperse, it is carried out in a 0.2% aqueous sodium hexametaphosphate solution.

【0023】 粒子屈折率:無機粉末の種類によって変更する。Particle refractive index: It changes depending on the type of inorganic powder.

【0024】 溶媒屈指率:1.33 測定数 :2回 本発明の無機微粒子は、低融点ガラス粉末50〜90重
量%と平均粒子径0.003〜0.08μmのフィラー
(フィラーB)10〜50重量%とを含有するものであ
り、さらに平均粒子径1.5〜5μmのフィラー(フィ
ラーA)を30重量%以下含有することが好ましい。
Solvent index ratio: 1.33 Number of measurements: twice The inorganic fine particles of the present invention have a low melting point glass powder of 50 to 90% by weight and a filler (filler B) having an average particle diameter of 0.003 to 0.08 μm. 50% by weight, and preferably contains 30% by weight or less of a filler (filler A) having an average particle size of 1.5 to 5 μm.

【0025】フィラーBは、Ru、Mn、Ni、Cr、
Fe、Co、およびCuの酸化物ならびにSi、Ti、
Ta、ZrおよびCrの炭化物からなる群から選ばれた
少なくとも一種を含有する。フィラーBは、無機材料を
構成する低融点ガラス粉末と単純に混合して用いること
も、溶融混合して用いることも可能である。Ru、M
n、Ni、Cr、Fe、Co、およびCuの酸化物から
なる群から選ばれた少なくとも一種を低融点ガラス粉末
に溶融混合し、さらにフィラーBを粉末として混合して
用いることが好ましい。
The filler B is composed of Ru, Mn, Ni, Cr,
Fe, Co, and Cu oxides and Si, Ti,
It contains at least one selected from the group consisting of carbides of Ta, Zr and Cr. The filler B can be used by simply mixing it with the low-melting glass powder constituting the inorganic material, or can be used by being melt-mixed. Ru, M
It is preferable that at least one selected from the group consisting of oxides of n, Ni, Cr, Fe, Co, and Cu is melt-mixed with a low-melting glass powder, and a filler B is further mixed and used as a powder.

【0026】Ru、Mn、Ni、Cr、Fe、Co、お
よびCuの酸化物からなる群から選ばれた酸化物は、低
融点ガラス粉末に溶融混合した状態で、黒色化には至ら
ず、灰白色程度であるので、露光される光を吸収するこ
とは少ない。また、フィラーBは、感光性ペースト中に
配合された状態において、非常に微細なナノ粒子として
分散され、そのサイズが露光に用いる活性光の波長より
小さいため、光の透過を妨げることがなく、感光性ペー
スト塗布膜でのパターン形成性を良好に保つことができ
る。フィラーBの平均粒子径は0.003〜0.08μ
mが好ましく、より好ましくは0.003〜0.06μ
mである。さらに好ましくは、0.003〜0.03μ
mである。0.003μm未満では、微細になりすぎて
凝集しやすくなりペースト中に均一に充填・分散するこ
とが技術的に難しくなる。そのため、紫外線光が塗布膜
の底部まで到達せずに途中で散乱されてしまい、パター
ン形成性が悪化する場合がある。一方、0.08μmを
超える平均粒子径の場合には、粒子が大きくなり過ぎて
パターン形成性が低下する恐れがあり好ましくない。粒
径が上記範囲にあると、露光光の波長である320〜4
60nmより小さいので、ペースト中に分散して存在し
てもパターン露光の妨げにならない。従って、ペースト
の塗布膜段階では、パターン形成に悪影響を与えること
がなく、焼成後の隔壁の黒色化に有効に作用する。
The oxide selected from the group consisting of the oxides of Ru, Mn, Ni, Cr, Fe, Co, and Cu is not blackened when it is melt-mixed with the low melting point glass powder. The light that is exposed is less absorbed. Further, the filler B is dispersed as very fine nanoparticles in a state where the filler B is blended in the photosensitive paste, and its size is smaller than the wavelength of active light used for exposure, so that light transmission is not hindered. The pattern formability of the photosensitive paste coating film can be kept good. The average particle diameter of the filler B is 0.003 to 0.08 μm.
m is preferable, and more preferably 0.003 to 0.06 μm
m. More preferably, 0.003 to 0.03 μm
m. If it is less than 0.003 μm, it becomes too fine and easily aggregated, and it is technically difficult to uniformly fill and disperse the paste. Therefore, the ultraviolet light may be scattered on the way without reaching the bottom of the coating film, and the pattern formability may be deteriorated. On the other hand, when the average particle diameter exceeds 0.08 μm, the particles become too large and the pattern formability may decrease, which is not preferable. When the particle size is within the above range, the wavelength of the exposure light, 320 to 4
Since it is smaller than 60 nm, even if it is dispersed in the paste, it does not hinder pattern exposure. Therefore, in the paste coating film stage, it does not adversely affect the pattern formation, and effectively acts on the blackening of the partition walls after firing.

【0027】本発明の無機微粒子は、上記の黒色化成分
となるフィラーBと共に、平均粒子径1.5〜5μmの
フィラー(フィラーA)が30重量%以下の範囲で含有
されていることが好ましい。
The inorganic fine particles of the present invention preferably contain a filler (filler A) having an average particle diameter of 1.5 to 5 μm (filler A) in an amount of 30% by weight or less, together with the above-mentioned filler B as a blackening component. .

【0028】フィラーAは、焼成前の隔壁パターン形成
性を保持し、焼成後の隔壁の強度を保持し、焼成収縮率
を小さくする効果に加えて、形状保持率を高める効果が
ある。フィラーAを多く添加し過ぎると、焼結温度が高
くなりすぎて580℃以下の焼結が難しくなる。580
℃より温度を上げるとガラス基板の耐熱性が悪くなり、
基板の変形(歪み)が大きくなり、高精度な隔壁形成が
できなくなる。フィラーAは30重量%以下の範囲で用
いることが好ましい。
The filler A has the effect of maintaining the pattern formation property of the partition wall before firing, the strength of the partition wall after firing, reducing the shrinkage rate of firing, and increasing the shape retention rate. If too much filler A is added, the sintering temperature becomes too high and sintering at 580 ° C. or lower becomes difficult. 580
If the temperature is raised above ℃, the heat resistance of the glass substrate will deteriorate,
The deformation (distortion) of the substrate increases, and it becomes impossible to form the partition walls with high accuracy. It is preferable to use the filler A in a range of 30% by weight or less.

【0029】フィラーAの平均粒子径は、ペースト中へ
の充填性や分散性を最適化するサイズの範囲で選ばれ
る。本発明のフィラーAは、平均粒子径は1.5〜5μ
mが好ましく、より好ましくは、1.5〜3.5μm
で、さらに好ましくは、1.5〜3.0μmである。平
均粒子径が1.5μmより小さい場合には、粉末の凝集
性が大きくなるため、ペーストへの充填・分散性が悪く
なり、高精細なパターン形成が難しくなる。また、フィ
ラー成分は焼成工程で溶融することがないので5μmよ
り大きな平均粒子径を有する場合には、形成された隔壁
の頂部の凹凸が大きくなりクロストークの原因となるな
どの問題を生じる懸念があるので好ましくない。
The average particle size of the filler A is selected within a range that optimizes the filling and dispersibility in the paste. The filler A of the present invention has an average particle size of 1.5 to 5 μm.
m is preferable, and more preferably, 1.5 to 3.5 μm
And more preferably 1.5 to 3.0 μm. When the average particle size is smaller than 1.5 μm, the cohesiveness of the powder becomes large, so that the filling and dispersibility in the paste becomes poor, and it becomes difficult to form a high-definition pattern. In addition, since the filler component does not melt in the firing step, if the average particle diameter is more than 5 μm, there is a concern that unevenness at the top of the formed partition wall becomes large and causes problems such as a cause of crosstalk. Is not preferred.

【0030】本発明の感光性ペーストのパターニングに
は、紫外線によるパターン露光と現像との工程を有する
フォトリソグラフィ技術が用いられる。この場合、ペー
ストの塗布膜の底部まで露光された紫外線光を透過させ
ることが重要であり、さらにペースト膜内での紫外線光
の散乱をできるだけ少なくすることが所望の形状の隔壁
パターンを得るために重要である。このため、ペースト
を構成する無機微粒子と感光性有機成分とは十分に混合
・混練されて無機材料が均一に分散されていること、無
機微粒子は凝集することなく単分散していること、用い
る無機微粒子の平均屈折率と感光性有機成分の平均屈折
率が整合していることなどの条件を満足する感光性ペー
ストを用いることが重要である。
For patterning the photosensitive paste of the present invention, a photolithography technique having steps of pattern exposure and development with ultraviolet rays is used. In this case, it is important to transmit the exposed ultraviolet light to the bottom of the paste coating film, and furthermore, it is necessary to minimize the scattering of the ultraviolet light in the paste film in order to obtain a partition pattern having a desired shape. is important. Therefore, the inorganic fine particles and the photosensitive organic component constituting the paste are sufficiently mixed and kneaded so that the inorganic material is uniformly dispersed, the inorganic fine particles are monodispersed without aggregation, It is important to use a photosensitive paste that satisfies conditions such as matching between the average refractive index of the fine particles and the average refractive index of the photosensitive organic component.

【0031】フィラーAは、低融点ガラス粉末および感
光性有機成分の平均屈折率と整合するように平均屈折率
1.45〜1.65を有する高融点ガラスおよびコーデ
ィエライトから選ばれたものが、パターン形成性を悪化
させることが少なく、好ましい。
The filler A is selected from a high melting point glass having an average refractive index of 1.45 to 1.65 and cordierite so as to match the average refractive index of the low melting point glass powder and the photosensitive organic component. This is preferable because it does not deteriorate the pattern formability.

【0032】高融点ガラスとしては、ガラス転移点50
0〜1200℃、荷重軟化点550〜1200℃を有す
るものが好ましい。このような高融点ガラスは、酸化珪
素および酸化アルミニウムをそれぞれ15重量%以上含
有する組成を有するものが好ましく、これらの含有量合
計が50重量%以上であることが必要な熱特性を得るの
に有効である。酸化物換算組成の好ましい例を示すと以
下のようになる。
As the high melting point glass, a glass transition point of 50
Those having a temperature of 0 to 1200C and a softening point under load of 550 to 1200C are preferred. Such a high-melting glass preferably has a composition containing 15% by weight or more of silicon oxide and 15% by weight of aluminum oxide, respectively. It is valid. Preferred examples of the oxide-converted composition are as follows.

【0033】 酸化珪素 15〜50重量% 酸化ホウ素 5〜20重量% 酸化アルミニウム 15〜50重量% 酸化バリウム 2〜10重量% 高融点ガラスをフィラーAとして用いる場合、配合され
る低融点ガラスの平均屈折率と整合した平均屈折率を有
するように組成配分を考慮することが好ましい。
Silicon oxide 15 to 50% by weight Boron oxide 5 to 20% by weight Aluminum oxide 15 to 50% by weight Barium oxide 2 to 10% by weight When high melting glass is used as the filler A, average refraction of the low melting glass to be blended is used. It is preferable to consider composition distribution so as to have an average refractive index that matches the index.

【0034】コーディエライトの屈折率は1.58であ
り、本発明のフィラーAとして好適である。
Cordierite has a refractive index of 1.58, and is suitable as the filler A of the present invention.

【0035】隔壁を構成する主成分である低融点ガラス
粉末は、ガラス転移点400〜550℃、荷重軟化点4
50〜600℃であることが好ましく、平均屈折率は
1.5〜1.65であることが好ましい。
The low-melting glass powder, which is a main component of the partition walls, has a glass transition point of 400 to 550 ° C. and a softening point under load of 4.
The temperature is preferably from 50 to 600 ° C., and the average refractive index is preferably from 1.5 to 1.65.

【0036】隔壁はガラス基板上に形成されるため低融
点ガラス粉末のガラス転移点が400〜550℃、荷重
軟化点は450〜600℃であることが好ましい。ガラ
ス転移点が400℃未満では、焼成温度が低くなりすぎ
て電極・誘電体などの他部材との同時焼成ができなくな
ること、および焼成時の脱バインダー性が悪くなり、未
分解成分の残存(残炭素)によって基板ガラスとの密着
力が弱く、なり隔壁剥がれなどが起こる恐れがある。ガ
ラス転移点を400℃以上、荷重軟化点を450℃以上
とすることで、後の加工工程においての熱処理で変形す
る懸念が無く、またガラス転移点を550℃以下、荷重
軟化点を600℃以下とすることで、ガラス基板上での
焼成時に十分に溶融し強度の高い隔壁を形成することが
できる。
Since the partition walls are formed on a glass substrate, the low melting point glass powder preferably has a glass transition point of 400 to 550 ° C. and a softening point under load of 450 to 600 ° C. If the glass transition point is lower than 400 ° C., the firing temperature is too low to allow simultaneous firing with other members such as electrodes and dielectrics, and the binder removal property during firing deteriorates, and undecomposed components remain ( Residual carbon) weakens the adhesion to the substrate glass and may cause separation of the partition walls. By setting the glass transition point to be 400 ° C. or more and the load softening point to be 450 ° C. or more, there is no concern that the glass will be deformed by heat treatment in a later processing step, and the glass transition point will be 550 ° C. or less and the load softening point will be 600 ° C. or less. By doing so, it is possible to form a high-strength partition wall sufficiently melted during firing on a glass substrate.

【0037】このような温度特性を有する低融点ガラス
としては、従来、酸化鉛、酸化ビスマスを含有するガラ
スが用いられてきたが、これらの成分を含有するガラス
は平均屈折率が1.7以上と高くなるため、平均屈折率
が1.45〜1.65程度である感光性有機成分と屈折
率を整合させることが難しくなる。従って、高アスペク
ト比かつ高精細な隔壁パターンを形成することが難し
い。本発明では、ガラス転移点および荷重軟化点が上記
の範囲にあり、平均屈折率が1.5〜1.65、より好
ましくは1.5〜1.6の範囲にある低融点ガラスを用
いることが好ましい。
Glasses containing lead oxide and bismuth oxide have heretofore been used as the low-melting glass having such temperature characteristics. Glasses containing these components have an average refractive index of 1.7 or more. Therefore, it is difficult to match the refractive index with a photosensitive organic component having an average refractive index of about 1.45 to 1.65. Therefore, it is difficult to form a partition pattern having a high aspect ratio and a high definition. In the present invention, a low melting point glass having a glass transition point and a softening point under load within the above ranges and an average refractive index in the range of 1.5 to 1.65, more preferably 1.5 to 1.6 is used. Is preferred.

【0038】無機微粒子が感光性有機成分中に分散・混
合されている感光性ペーストの塗布膜を用いて高アスペ
クト比で高精細なパターンを形成する場合、構成成分の
平均屈折率を整合させることが重要である。構成成分の
屈折率が異なる場合には、光の散乱によるパターン間に
不要な硬化部分が生ずるなどの障害が起こる場合があ
る。光の散乱を抑制し、パターン形成に用いる活性光を
ペーストの塗布膜の底部まで透過させるには無機微粒子
と感光性有機成分との平均屈折率の差を0.05以下に
することが望ましい。上記のように一般的な有機成分の
屈折率は1.45〜1.65程度であり、屈折率を整合
させるためには、低融点ガラス粉末の平均屈折率を1.
5〜1.65とすることが好ましい。
When forming a fine pattern with a high aspect ratio using a coating film of a photosensitive paste in which inorganic fine particles are dispersed and mixed in a photosensitive organic component, the average refractive index of the constituent components must be matched. is important. If the refractive indices of the constituents are different, an obstacle such as the formation of an unnecessary cured portion between patterns due to light scattering may occur. In order to suppress the scattering of light and allow the active light used for pattern formation to pass to the bottom of the paste coating film, it is desirable that the difference in the average refractive index between the inorganic fine particles and the photosensitive organic component be 0.05 or less. As described above, the refractive index of a general organic component is about 1.45 to 1.65, and in order to match the refractive indexes, the average refractive index of the low melting point glass powder is set to 1.
It is preferable to set it to 5 to 1.65.

【0039】このような熱的特性および平均屈折率を満
足する低融点ガラス粉末の好ましい組成は、酸化物換算
表記で以下のように示すことができる。
The preferred composition of the low-melting glass powder satisfying such thermal properties and average refractive index can be represented as follows in terms of oxide.

【0040】 酸化珪素 : 5〜30重量% 酸化ホウ素 :20〜45重量% 酸化アルミニウム :10〜25重量% 酸化リチウム、酸化ナトリウムおよび酸化カリウムのうち少なくとも1種 :3〜15重量% 酸化ストロンチウムおよび酸化バリウムのうち少なくとも1種 :2〜15重量% 酸化マグネシウムおよび酸化カルシウムのうち少なくとも1種 :2〜15重量% 酸化リチウム(Li2O)、酸化ナトリウム(Na2O)
および酸化カリウム(K2O)のうち少なくとも1種を
3〜15重量%含有するガラス粉末を用いることが好ま
しい。このガラスによって、ガラスの低融点化、熱膨張
係数のコントロールが容易になるだけでなく、ガラスの
平均屈折率を低くすることができる。アルカリ金属酸化
物の添加量はペーストの安定性を向上させるために、1
5重量%以下が好ましく、より好ましくは10重量%以
下である。また、3重量%未満では、ガラスの低融点化
に十分でない。アルカリ種の選択は特に限定しないが、
ガラスの低屈折率化、銀などの導体金属によるマイグレ
ーションによる影響を考えると酸化リチウムが好まし
い。
Silicon oxide: 5 to 30% by weight Boron oxide: 20 to 45% by weight Aluminum oxide: 10 to 25% by weight At least one of lithium oxide, sodium oxide and potassium oxide: 3 to 15% by weight Strontium oxide and oxidation at least one of barium: 2-15 wt% of magnesium oxide and at least one of calcium oxide: 2 to 15 wt% oxide lithium (Li 2 O), sodium oxide (Na 2 O)
And it is preferable to use a glass powder containing at least one kind of 3 to 15 wt% of potassium oxide (K 2 O). This glass not only facilitates lowering the melting point of the glass and controlling the coefficient of thermal expansion, but also lowers the average refractive index of the glass. The amount of the alkali metal oxide added is 1 to improve the stability of the paste.
It is preferably at most 5% by weight, more preferably at most 10% by weight. If it is less than 3% by weight, it is not sufficient to lower the melting point of the glass. The choice of the alkali species is not particularly limited,
Considering the lowering of the refractive index of glass and the effect of migration by a conductive metal such as silver, lithium oxide is preferred.

【0041】酸化珪素は5〜30重量%の範囲で配合す
ることが好ましい。より好ましくは10〜30重量%で
ある。酸化珪素はガラスのネットワークフォーマーとし
て必須であると共に低屈折率化にも有効である。5重量
%未満ではガラス転移点、荷重軟化点が下がりすぎると
もに熱膨張係数が大きくなりすぎてガラス基板に焼き付
けたときにクラックが生じる恐れがあり好ましくない。
また30重量%を超えるとガラス転移点、荷重軟化点が
上がりすぎて600℃以下の温度で、ガラス基板に焼き
付けるのが難しくなる。酸化珪素の含有量は、ガラス転
移点、荷重軟化点、熱膨張係数、屈折率、化学的耐久性
を考慮して5〜30重量%が好ましい。
The silicon oxide is preferably blended in the range of 5 to 30% by weight. More preferably, it is 10 to 30% by weight. Silicon oxide is essential as a glass network former and is also effective in lowering the refractive index. If it is less than 5% by weight, the glass transition point and the softening point under load are too low, and the coefficient of thermal expansion is too large, which may cause cracks when baked on a glass substrate.
On the other hand, if it exceeds 30% by weight, the glass transition point and the softening point under load become too high, so that it becomes difficult to bake the glass substrate at a temperature of 600 ° C. or lower. The content of silicon oxide is preferably 5 to 30% by weight in consideration of the glass transition point, the softening point under load, the coefficient of thermal expansion, the refractive index, and the chemical durability.

【0042】酸化ホウ素(B23)は20〜45重量%
の範囲で配合することが好ましい。より好ましくは20
〜40重量%である。酸化ホウ素は鉛、ビスマスなど重
金属を含有しないガラスにおいては、低融点化のために
有効な成分であると共に低屈折率化にも非常に有効であ
る。酸化ホウ素が20重量%未満ではガラス転移点、荷
重軟化点が上がりすぎてガラス基板上での焼き付けが難
しくなる。また、40重量%を越えると、ガラスの化学
的耐久性が低下するので良くない。
Boron oxide (B 2 O 3 ) is 20 to 45% by weight
It is preferable to mix in the range of. More preferably 20
4040% by weight. Boron oxide is an effective component for lowering the melting point of glass that does not contain heavy metals such as lead and bismuth, and is also very effective for lowering the refractive index. If the boron oxide content is less than 20% by weight, the glass transition point and the softening point under load become too high, so that baking on a glass substrate becomes difficult. On the other hand, if it exceeds 40% by weight, the chemical durability of the glass is lowered, which is not good.

【0043】酸化ストロンチウム(SrO)および酸化
バリウム(BaO)はガラス化範囲を広げる効果がある
と共にガラスの低融点化、熱膨張係数の制御に有効な成
分であり、少なくとも1種を含有させることが好まし
い。酸化ストロンチウムと酸化バリウムの合計量は2〜
15重量%が好ましい。2重量%未満では、低融点化の
効果が不十分となり、失透化傾向が大きくなる恐れがあ
る。また、15重量%を越えると、熱膨張係数が大きく
なりすぎて焼き付け時にクラックを生じる恐れがある。
Strontium oxide (SrO) and barium oxide (BaO) are effective components for widening the vitrification range, and are effective components for lowering the melting point of the glass and controlling the coefficient of thermal expansion. preferable. The total amount of strontium oxide and barium oxide is 2-
15% by weight is preferred. If it is less than 2% by weight, the effect of lowering the melting point will be insufficient, and the tendency to devitrify may increase. On the other hand, if the content exceeds 15% by weight, the coefficient of thermal expansion becomes too large, and cracks may occur during baking.

【0044】酸化アルミニウムは10〜25重量%が好
ましい。酸化アルミニウムを含有させることでガラス化
範囲を広げて安定化する効果がある。10重量%未満、
あるいは25重量%を越えると失透傾向が大きくなる。
また25重量%を越えるとガラス転移点、荷重軟化点が
上がりすぎて焼き付けが難しくなる。
The content of aluminum oxide is preferably 10 to 25% by weight. The addition of aluminum oxide has the effect of expanding and stabilizing the vitrification range. Less than 10% by weight,
Alternatively, if it exceeds 25% by weight, the tendency of devitrification increases.
On the other hand, if it exceeds 25% by weight, the glass transition point and the softening point under load become too high, making baking difficult.

【0045】これらの成分の他に、酸化物表記で酸化亜
鉛、酸化カルシウム、あるいは酸化マグネシウムが配合
されることが好ましい。
In addition to these components, it is preferable that zinc oxide, calcium oxide, or magnesium oxide be blended in terms of oxide.

【0046】酸化亜鉛は、2〜15重量%の範囲で配合
することが好ましい。酸化亜鉛は、ガラスの熱膨張係数
を大きく変化させることなく低融点化させるのに効果が
あるが、15重量%を越えると屈折率が大きくなりすぎ
て有機成分との屈折率差が広がりパターン形成性が低下
するので好ましくない。
It is preferable that zinc oxide is blended in the range of 2 to 15% by weight. Zinc oxide is effective in lowering the melting point without greatly changing the coefficient of thermal expansion of glass. However, when it exceeds 15% by weight, the refractive index becomes too large, and the difference in the refractive index with the organic component is widened to form a pattern. It is not preferable because the property is lowered.

【0047】酸化マグネシウムおよび酸化カルシウム
は、ガラスの失透を抑制しガラス化範囲を広げるのに有
効な成分であり、少なくとも1種類を含有させることが
好ましい。酸化マグネシウムおよび酸化カルシウムは、
合計量で2〜15重量%が好ましい。2重量%未満で
は、低融点化効果が不十分で、失透傾向が大きくなる。
また15重量%を越えると、熱膨張係数が大きくなり、
焼き付け時にクラックを生じ、屈折率も大きくなる恐れ
がある。
Magnesium oxide and calcium oxide are effective components for suppressing the devitrification of the glass and expanding the vitrification range, and it is preferable to include at least one of them. Magnesium oxide and calcium oxide
The total amount is preferably 2 to 15% by weight. If it is less than 2% by weight, the effect of lowering the melting point is insufficient, and the tendency to devitrify becomes large.
If it exceeds 15% by weight, the coefficient of thermal expansion increases,
Cracks may occur during baking, and the refractive index may increase.

【0048】さらに、酸化マグネシウム、酸化カルシウ
ム、酸化ストロンチウム、酸化バリウムの合計量は、安
定したガラス構造、ガラス転移点、荷重軟化点、熱膨張
係数、屈折率、化学的耐久性などのバランスを考える
と、2〜30重量%が好ましい。
Further, the total amount of magnesium oxide, calcium oxide, strontium oxide, and barium oxide is determined in consideration of the balance between a stable glass structure, a glass transition point, a softening point under load, a coefficient of thermal expansion, a refractive index, and chemical durability. And 2 to 30% by weight are preferred.

【0049】また、ガラス粉末中に、酸化チタン、酸化
ジルコニウムなどを含有することができるが、その量は
5重量%未満であることが好ましい。酸化ジルコニウム
は、ガラスの荷重軟化点、ガラス転移点および電気絶縁
性を制御するのに効果がある。
The glass powder may contain titanium oxide, zirconium oxide and the like, but the amount is preferably less than 5% by weight. Zirconium oxide is effective in controlling the softening point under load, glass transition point, and electrical insulation of glass.

【0050】ガラスの熱膨張係数は70×10-7/K〜
85×10-7/Kであることが好ましい。熱膨張係数が
70×10-7/K未満あるいは85×10-7/Kを越え
る場合には、ソーダガラス基板あるいはPDP用の高歪
み点ガラス基板とのマッチングが悪く、反りが発生する
ようになり、好ましくない。
The thermal expansion coefficient of glass is 70 × 10 −7 / K or more.
It is preferably 85 × 10 −7 / K. If the coefficient of thermal expansion is less than 70 × 10 −7 / K or more than 85 × 10 −7 / K, the matching with the soda glass substrate or the high strain point glass substrate for PDP is poor, and the warpage occurs. Is not preferred.

【0051】本発明の感光性ペーストは、例えば次のよ
うにして製造することができる。すなわち、平均屈折率
1.5〜1.65でガラス転移点400〜550℃、荷
重軟化点450〜600℃の低融点ガラス粉末50〜9
0重量%、平均粒子径1.5〜5μmで屈折率が1.4
5〜1.65であるフィラーA30重量%以下および平
均粒子径0.003〜0.08μmのフィラーB10〜
50重量%からなる無機微粒子を感光性有機成分と混合
・混練して感光性ペーストを得ることができる。このよ
うにして作製した感光性ペーストを基板上に塗布・乾燥
した後、フォトリソグラフィ法でパターニングし、形成
されたパターンを焼成することで隔壁を形成する。
The photosensitive paste of the present invention can be produced, for example, as follows. That is, low melting point glass powders 50 to 9 having an average refractive index of 1.5 to 1.65, a glass transition point of 400 to 550 ° C., and a softening point under load of 450 to 600 ° C.
0% by weight, average particle size 1.5 to 5 μm and refractive index 1.4
Filler A having a content of 5 to 1.65 and a filler B having an average particle size of 0.003 to 0.08 μm.
A photosensitive paste can be obtained by mixing and kneading 50% by weight of inorganic fine particles with a photosensitive organic component. The photosensitive paste thus prepared is applied to a substrate, dried, patterned by photolithography, and the formed pattern is baked to form a partition.

【0052】感光性有機成分としては、これに限定され
るものではないが、照射光を吸収して生起する重合およ
び/または架橋反応などによって光硬化して溶剤に不溶
になる型の感光性成分を用いることが好ましい。
The photosensitive organic component is not limited to this, but is a photosensitive component of a type which becomes photo-curable by a polymerization and / or cross-linking reaction caused by absorbing irradiation light and becomes insoluble in a solvent. It is preferable to use

【0053】すなわち、感光性有機成分は、感光性モノ
マー、感光性または非感光性オリゴマーもしくはポリマ
ーを主成分とし、光重合開始剤を含有するものが好まし
い。感光性有機成分には、必要に応じて紫外線吸収剤、
重合禁止剤、増感剤、可塑剤、増粘剤、酸化防止剤、分
散剤、その他の添加剤を加えることもできる。
That is, the photosensitive organic component preferably contains a photosensitive monomer, a photosensitive or non-photosensitive oligomer or polymer as a main component, and contains a photopolymerization initiator. If necessary, the photosensitive organic component may contain an ultraviolet absorber,
Polymerization inhibitors, sensitizers, plasticizers, thickeners, antioxidants, dispersants, and other additives can also be added.

【0054】感光性モノマーとしては、活性な炭素−炭
素二重結合を有する化合物が好ましく、ビニル基、アリ
ル基、アクリレート基、メタクリレート基、アクリルア
ミド基などを有する単官能および多官能化合物が用いら
れる。
As the photosensitive monomer, a compound having an active carbon-carbon double bond is preferable, and monofunctional and polyfunctional compounds having a vinyl group, an allyl group, an acrylate group, a methacrylate group, an acrylamide group and the like are used.

【0055】特に多官能アクリレート化合物および/ま
たは多官能メタクリレート化合物を有機成分中に10〜
80重量%含有させたものが好ましい。多官能アクリレ
ート化合物および/または多官能メタクリレート化合物
には多様な種類の化合物が開発されているので、それら
から反応性、屈折率などを考慮して選択することが可能
である。
In particular, a polyfunctional acrylate compound and / or a polyfunctional methacrylate compound may
Those containing 80% by weight are preferred. Since various kinds of compounds have been developed for the polyfunctional acrylate compound and / or the polyfunctional methacrylate compound, it is possible to select from them in consideration of reactivity, refractive index, and the like.

【0056】感光性有機成分の屈折率を制御する方法と
して、屈折率1.55〜1.70を有する感光性モノマ
ーを選んで含有させて、感光性有機成分の平均屈折率を
無機微粒子材料の平均屈折率に近づける方法が簡便であ
る。このような高い屈折率を有する感光性モノマーは、
ベンゼン環、ナフタレン環などの芳香環や硫黄原子を含
有するアクリレートもしくはメタクリレートモノマから
選択することができる。
As a method of controlling the refractive index of the photosensitive organic component, a photosensitive monomer having a refractive index of 1.55 to 1.70 is selected and contained, and the average refractive index of the photosensitive organic component is adjusted to that of the inorganic fine particle material. A method of approaching the average refractive index is simple. A photosensitive monomer having such a high refractive index is
It can be selected from an aromatic ring such as a benzene ring or a naphthalene ring, or an acrylate or methacrylate monomer containing a sulfur atom.

【0057】感光性有機成分として、光反応で形成され
る硬化物物性の向上やペーストの粘度の調整などの役割
を果たすと成分としてオリゴマーもしくはポリマーが加
えられる。
As a photosensitive organic component, an oligomer or polymer is added as a component that plays a role in improving the physical properties of a cured product formed by a photoreaction and adjusting the viscosity of the paste.

【0058】これらのオリゴマーもしくはポリマーは、
炭素−炭素二重結合を有する化合物から選ばれた成分の
重合または共重合により得られた炭素連鎖の骨格を有す
るものである。特に、分子側鎖にカルボキシル基と不飽
和二重結合を有する重量平均分子量2000〜6万、よ
り好ましくは3000〜4万のオリゴマーもしくはポリ
マーが用いられる。側鎖にカルボキシル基を有するの
で、感光後に未露光部分をアルカリ水溶液で現像できる
感光性ペーストを与えることができる。このような側鎖
にカルボキシル基などの酸基を有するオリゴマーもしく
はポリマーの酸価は50〜140、好ましくは70〜1
20の範囲になるようにコントロールすることが好まし
い。
These oligomers or polymers are
It has a carbon chain skeleton obtained by polymerization or copolymerization of components selected from compounds having a carbon-carbon double bond. In particular, an oligomer or polymer having a weight average molecular weight of 2000 to 60,000, more preferably 3000 to 40,000, having a carboxyl group and an unsaturated double bond in the molecular side chain is used. Since it has a carboxyl group in the side chain, it is possible to provide a photosensitive paste which can be developed with an aqueous alkali solution after photosensitization. The oligomer or polymer having an acid group such as a carboxyl group in the side chain has an acid value of 50 to 140, preferably 70 to 1.
It is preferable to control so as to be in the range of 20.

【0059】感光性オリゴマーもしくはポリマーを得る
ために、不飽和二重結合を導入するには、カルボキシル
基を側鎖に有するオリゴマーもしくはポリマーに、グリ
シジル基やイソシアネート基を有するエチレン性不飽和
化合物やアクリル酸クロライド、メタクリル酸クロライ
ドまたはアリルクロライドを付加反応させるとよい。さ
らに、上記のようにカルボキシル基を側鎖に有するオリ
ゴマーもしくはポリマーに不飽和二重結合を導入して感
光性を付与するには、カルボキシル基とアミン系化合物
との間で塩結合を形成させる方法を用いることもでき
る。例えば、ジアルキルアミノアクリレートやジアルキ
ルアミノメタクリレートを反応させて塩結合を形成して
アクリレートまたはメタクリレート基を感光性基とする
ことができる。エチレン性不飽和基数は、反応条件によ
り適宜選択することができる。
In order to introduce an unsaturated double bond in order to obtain a photosensitive oligomer or polymer, an oligomer or polymer having a carboxyl group in the side chain may be added to an ethylenically unsaturated compound having a glycidyl group or an isocyanate group or an acrylic compound. An acid chloride, methacrylic acid chloride or allyl chloride may be added. Furthermore, in order to impart photosensitivity by introducing an unsaturated double bond into an oligomer or polymer having a carboxyl group in the side chain as described above, a method of forming a salt bond between the carboxyl group and the amine compound Can also be used. For example, a acrylate or methacrylate group can be used as a photosensitive group by forming a salt bond by reacting dialkylaminoacrylate or dialkylaminomethacrylate. The number of ethylenically unsaturated groups can be appropriately selected depending on reaction conditions.

【0060】活性光線のエネルギーを吸収して、光反応
を開始するためには、さらに、光重合開始剤を含有させ
ることが好ましい。場合によっては、光重合開始剤の効
果を補助するために増感剤を加えることがある。光重合
開始剤には、1分子系直接開裂型、イオン対間電子移動
型、水素引き抜き型、2分子複合系など機構的に異なる
種類があり、それらから選択して用いられる。
In order to start the photoreaction by absorbing the energy of actinic rays, it is preferable to further include a photopolymerization initiator. In some cases, a sensitizer may be added to assist the effect of the photopolymerization initiator. Photopolymerization initiators include mechanically different types such as a one-molecule direct cleavage type, an electron transfer between ion pairs, a hydrogen abstraction type, and a two-molecule composite system, and are used by selecting from them.

【0061】感光性ペーストは、通常、無機微粒子、感
光性モノマー、オリゴマーもしくはポリマー、光重合開
始剤を基本成分とし、必要に応じてその他の添加剤およ
び溶媒などの各種成分を所定の組成となるように調合し
た後、3本ローラや混練機で均質に混合・分散すること
により製造することができる。感光性ペーストの粘度
は、有機溶媒により1万〜20万cps(センチ・ポイ
ズ)程度に調整して使用される。この時使用される有機
溶媒としては、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、
ブチルセロソルブ、メチルエチルケトン、ジオキサン、
アセトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、イソ
ブチルアルコール、イソプロピルアルコール、テトラヒ
ドロフラン、ジメチルスルフォキシド、γ−ブチロラク
トンなどやこれらのうちの1種以上を含有する有機溶媒
混合物が挙げられる。
The photosensitive paste usually has inorganic fine particles, photosensitive monomers, oligomers or polymers, and a photopolymerization initiator as basic components, and if necessary, various components such as other additives and solvents have a predetermined composition. After mixing as described above, it can be manufactured by homogeneously mixing and dispersing with a three-roller or a kneader. The viscosity of the photosensitive paste is adjusted to about 10,000 to 200,000 cps (centipoise) with an organic solvent before use. Organic solvents used at this time include methyl cellosolve, ethyl cellosolve,
Butyl cellosolve, methyl ethyl ketone, dioxane,
Examples thereof include acetone, cyclohexanone, cyclopentanone, isobutyl alcohol, isopropyl alcohol, tetrahydrofuran, dimethyl sulfoxide, γ-butyrolactone, and an organic solvent mixture containing at least one of these.

【0062】本発明の感光性ペーストは、PDP、プラ
ズマアドレス液晶ディスプレイ、電子放出素子、有機電
界発光素子および蛍光表示管を用いたディスプレイの隔
壁形成に用いられる。隔壁はガラス基板上に直接形成す
る場合もあるが、ガラス基板上の電極を被覆するように
形成されている誘電体層の上に形成されることもある。
いずれの場合においても、感光性ペーストを塗布する前
に、塗布面の表面処理を行って接着性を向上させること
が有効である。このような表面処理にはシラン系カップ
リング剤や金属アルコキシ化合物などが用いられる。
The photosensitive paste of the present invention is used for forming a partition of a display using a PDP, a plasma addressed liquid crystal display, an electron-emitting device, an organic electroluminescent device and a fluorescent display tube. The partition may be formed directly on the glass substrate, or may be formed on a dielectric layer formed so as to cover an electrode on the glass substrate.
In any case, before applying the photosensitive paste, it is effective to perform surface treatment on the application surface to improve the adhesiveness. For such a surface treatment, a silane coupling agent, a metal alkoxy compound, or the like is used.

【0063】感光性ペーストの塗布は、スクリーン印刷
法、バーコーター法、ロールコータ法、ドクターブレー
ド法などの方法で行うことができる。塗布厚さは、所望
の隔壁の高さとペーストの焼成収縮率を考慮して決める
ことができる。
The photosensitive paste can be applied by a method such as a screen printing method, a bar coater method, a roll coater method, and a doctor blade method. The coating thickness can be determined in consideration of a desired partition wall height and a firing shrinkage ratio of the paste.

【0064】塗布・乾燥した感光性ペースト膜にフォト
マスクを介して露光を行って、隔壁パターンを形成す
る。露光の際、ペースト塗布膜とフォトマスクを密着し
て行う方法と一定の間隔をあけて行う方法(プロキシミ
ティ露光)のいずれを用いてもよい。露光用の光源とし
ては、水銀灯やハロゲンランプが適当であるが、超高圧
水銀灯が最もよく使用される。超高圧水銀灯を光源とし
て、プロキシミティ露光を行うのが一般的である。露光
条件はペーストの塗布膜厚さによって異なるが、5〜3
0mW/cm2の出力の超高圧水銀灯を用いて20秒〜
5分間露光を行うのが好ましい。
The coated and dried photosensitive paste film is exposed through a photomask to form a partition pattern. At the time of exposure, either a method in which the paste coating film is closely contacted with the photomask or a method in which the paste is applied at a predetermined interval (proximity exposure) may be used. As a light source for exposure, a mercury lamp or a halogen lamp is suitable, but an ultra-high pressure mercury lamp is most often used. Generally, proximity exposure is performed using an ultra-high pressure mercury lamp as a light source. Exposure conditions vary depending on the thickness of the applied paste.
20 seconds using an ultra-high pressure mercury lamp with an output of 0 mW / cm 2
Exposure is preferably performed for 5 minutes.

【0065】露光後、露光部分と未露光部分の現像液に
対する溶解度差を利用して、現像を行うが、この場合、
浸漬法、スプレー法、ブラシ法などが用いられる。本発
明で好ましく用いられる感光性ペーストは、側鎖にカル
ボキシル基を有するので、アルカリ水溶液での現像が可
能になる。アルカリとしては、有機アルカリ水溶液を用
いた方が焼成時にアルカリ成分を除去し易いので好まし
い。有機アルカリとしては、アミン化合物を用いること
ができる。具体的には、テトラメチルアンモニウムヒド
ロキサイド、トリメチルベンジルアンモニウムヒドロキ
サイド、モノエタノールアミン、ジエタノールアミンな
どがあげられる。アルカリ水溶液の濃度は通常0.05
〜1重量%、より好ましくは0.1〜0.5重量%であ
る。アルカリ濃度が低すぎれば可溶部が完全に除去され
ず、アルカリ濃度が高すぎれば、露光部のパターンを剥
離させたり、侵食したりするおそれがある。現像時の温
度は、20〜50℃で行うことが工程管理上好ましい。
After the exposure, development is carried out using the difference in solubility between the exposed part and the unexposed part in the developing solution.
An immersion method, a spray method, a brush method, or the like is used. Since the photosensitive paste preferably used in the present invention has a carboxyl group in a side chain, development with an alkaline aqueous solution becomes possible. As the alkali, it is preferable to use an organic alkali aqueous solution because the alkali component can be easily removed during firing. As the organic alkali, an amine compound can be used. Specific examples include tetramethylammonium hydroxide, trimethylbenzylammonium hydroxide, monoethanolamine, diethanolamine and the like. The concentration of the aqueous alkali solution is usually 0.05
To 1% by weight, more preferably 0.1 to 0.5% by weight. If the alkali concentration is too low, the soluble portion will not be completely removed, and if the alkali concentration is too high, the pattern in the exposed portion may be peeled off or eroded. The development is preferably performed at a temperature of 20 to 50 ° C. in terms of process control.

【0066】感光性ペーストの塗布膜から露光・現像の
工程を経て形成された隔壁パターンは次に焼成炉で焼成
されて、有機成分を熱分解して除去し、同時に無機微粒
子成分中の低融点ガラスを溶融させて無機質の隔壁を形
成する。焼成雰囲気や温度は、ペーストや基板の特性に
よって異なるが、通常は、空気中で焼成される。焼成炉
としては、バッチ式の焼成炉やベルト式の連続型焼成炉
を用いることができる。
The partition pattern formed from the coating film of the photosensitive paste through the exposure and development steps is then fired in a firing furnace to thermally decompose and remove the organic components, and at the same time, to reduce the low melting point in the inorganic fine particle components. The glass is melted to form inorganic partition walls. The firing atmosphere and temperature vary depending on the properties of the paste and the substrate, but are usually fired in air. As the firing furnace, a batch-type firing furnace or a belt-type continuous firing furnace can be used.

【0067】バッチ式の焼成を行うには通常、隔壁パタ
ーンが形成されたガラス基板を室温から500℃程度ま
で数時間掛けてほぼ等速で昇温した後、焼成温度として
設定された500〜580℃に60分〜5時間で上昇さ
せて、約10〜30分間保持して焼成を行う。焼成温度
は用いるガラス基板のガラス転移点より低くなければな
らないので自ずから上限が存在する。焼成温度が高すぎ
たり、焼成時間が長すぎたりすると隔壁の形状にダレな
どの欠陥が発生する。また、有機成分に含まれる感光性
モノマー、感光性オリゴマーもしくはポリマー、種々の
添加剤の熱分解特性とガラス粉末成分の熱特性が不釣り
合いになると、隔壁が褐色に着色したり、隔壁が基板か
ら剥がれたりする欠陥が発生する場合がある。
In order to perform batch-type baking, the temperature of the glass substrate on which the partition wall pattern is formed is generally raised from room temperature to about 500 ° C. at a substantially constant speed over several hours, and then set to a baking temperature of 500 to 580. The temperature is raised to 60 ° C. for 5 to 5 hours, and the firing is performed for about 10 to 30 minutes. Since the firing temperature must be lower than the glass transition point of the glass substrate used, there is naturally an upper limit. If the firing temperature is too high or the firing time is too long, defects such as sagging occur in the shape of the partition walls. In addition, when the thermal decomposition characteristics of the photosensitive monomer, photosensitive oligomer or polymer, and various additives contained in the organic component and the thermal characteristics of the glass powder component become unbalanced, the partition walls may be colored brown or the partition walls may be separated from the substrate. Defects such as peeling may occur.

【0068】このようにして隔壁を形成した各種のディ
スプレイまたはディスプレイ用部材を得ることができ
る。これらの技術は、プラズマディスプレイパネル、プ
ラズマアドレス液晶ディスプレイ、電子放出素子、有機
電界発光素子および蛍光表示管を用いたディスプレイ
に、好ましく適用される。
In this manner, various displays or display members on which the partition walls are formed can be obtained. These techniques are preferably applied to a display using a plasma display panel, a plasma addressed liquid crystal display, an electron-emitting device, an organic electroluminescent device, and a fluorescent display tube.

【0069】[0069]

【実施例】以下、実施例を用いて本発明を具体的に説明
するが、本発明はこれらに限定されるものではない。な
お、濃度(%)は特に断らない限り重量%である。 (実施例1)酸化物換算組成(分析値)が、酸化リチウ
ム6.8%、酸化ケイ素23%、酸化ホウ素33%、酸
化バリウム4.5%、酸化アルミニウム19.5%、酸
化亜鉛2.8%、酸化マグネシウム5.8%、酸化カル
シウム4.6%の低融点ガラス粉末を用いた。この低融
点ガラス粉末のガラス転移点は497℃、荷重軟化点は
530℃、熱膨張係数は75×10-7/K、屈折率は
1.58であった。
EXAMPLES The present invention will be specifically described below with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples. The concentration (%) is% by weight unless otherwise specified. (Example 1) The composition in terms of oxide (analytical value) was 6.8% for lithium oxide, 23% for silicon oxide, 33% for boron oxide, 4.5% for barium oxide, 19.5% for aluminum oxide, and 2.75% for zinc oxide. Low melting glass powder of 8%, 5.8% of magnesium oxide, and 4.6% of calcium oxide was used. The glass transition point of this low melting glass powder was 497 ° C., the softening point under load was 530 ° C., the coefficient of thermal expansion was 75 × 10 −7 / K, and the refractive index was 1.58.

【0070】この低融点ガラス成分に酸化ニッケル5%
と酸化コバルト5%を加えて1300℃で溶融混合した
後、湿式粉砕し、粒度を調整して平均粒子径2.3μm
の粉末を得た。
The low-melting-point glass component contained 5% of nickel oxide.
And 5% of cobalt oxide were added and melt-mixed at 1300 ° C., and then wet-pulverized to adjust the particle size to obtain an average particle size of 2.3 μm.
Was obtained.

【0071】この溶融混合した低融点ガラス粉末100
重量部に対して、0.08重量部のアゾ系有機染料スダ
ンIVをアセトンに溶解し、分散剤を加えてホモジナイザ
ーで均質に撹拌し、この溶液中に前記ガラス粉末を添加
して均質に分散・混合後、ロータリーエバポレーターを
用いてアセトンを蒸発させ、150〜200℃の温度で
乾燥した。
This melt-mixed low melting glass powder 100
Dissolve 0.08 parts by weight of the azo organic dye Sudan IV in acetone with respect to parts by weight, add a dispersing agent, stir uniformly with a homogenizer, and add the glass powder to this solution to disperse uniformly. -After mixing, acetone was evaporated using a rotary evaporator and dried at a temperature of 150 to 200C.

【0072】一方、γ−ブチロラクトンに感光性ポリマ
ーを40%溶液になるように混合し、撹拌しながら60
℃まで加熱して全てのポリマーを溶解した。用いた感光
性ポリマーは、メタクリル酸40%、メチルメタクリレ
ート30%およびスチレン30%からなる共重合体のカ
ルボキシル基に対して0.4当量のグリシジルメタクリ
レートを付加反応させたもので、その重量平均分子量は
43,000、酸価は95であった。
On the other hand, the photosensitive polymer was mixed with γ-butyrolactone so as to form a 40% solution, and stirred with stirring.
Heated to ° C. to dissolve all polymers. The photosensitive polymer used was obtained by subjecting a carboxyl group of a copolymer composed of 40% methacrylic acid, 30% methyl methacrylate and 30% styrene to an addition reaction of 0.4 equivalent of glycidyl methacrylate, and its weight average molecular weight Was 43,000 and the acid value was 95.

【0073】室温の感光性ポリマー溶液に、感光性モノ
マー(MGP400)、光重合開始剤(IC−369)
および増感剤(2,4−ジエチルチオキサントン)を加
えて溶解させた。その後、この溶液を400メッシュの
フィルターを用いて濾過し、有機ビヒクルを作製した。
A photosensitive monomer (MGP400) and a photopolymerization initiator (IC-369) are added to a photosensitive polymer solution at room temperature.
And a sensitizer (2,4-diethylthioxanthone). Thereafter, this solution was filtered using a 400-mesh filter to produce an organic vehicle.

【0074】前記の酸化ニッケルおよび酸化コバルトを
溶融混合した低融点ガラス粉末、フィラーBおよび有機
ビヒクルを3本ローラで混合・分散して感光性ペースト
を得た。フィラーBとしては、酸化ニッケルおよび酸化
コバルト粉末を用いた。感光性ペーストに含まれる各成
分の量(重量部)は、溶融混合した低融点ガラス粉末6
0、平均粒子径0.009μmの酸化ニッケル粉末6.
8、平均粒子径0.004μmの酸化コバルト粉末2.
5、感光性ポリマー19、感光性モノマー7.5、光重
合開始剤2.4、増感剤2.4であった。溶融混合した
低融点ガラス粉末とフィラーB成分との混合比率(%)
は86.6:13.4である。さらに、無機微粒子と有
機感光性成分との割合(%)は、68.9:31.1で
ある。
A low-melting glass powder obtained by melting and mixing the above-mentioned nickel oxide and cobalt oxide, filler B and an organic vehicle were mixed and dispersed with three rollers to obtain a photosensitive paste. As the filler B, nickel oxide and cobalt oxide powders were used. The amount (parts by weight) of each component contained in the photosensitive paste is determined by melting and mixing the low melting glass powder 6
0, nickel oxide powder having an average particle diameter of 0.009 μm6.
8. Cobalt oxide powder having an average particle diameter of 0.004 μm
5, photosensitive polymer 19, photosensitive monomer 7.5, photopolymerization initiator 2.4, and sensitizer 2.4. Mixing ratio (%) of melt-mixed low melting glass powder and filler B component
Is 86.6: 13.4. Further, the ratio (%) between the inorganic fine particles and the organic photosensitive component is 68.9: 31.1.

【0075】この感光性ペーストを100mm角ガラス
基板上に325メッシュのスクリーンを用いたスクリー
ン印刷により塗布した。塗布膜にピンホールなどの発生
を回避するために塗布・乾燥を数回繰り返し行い、膜厚
の調整を行った。途中の乾燥は80℃で10分間行っ
た。その後、80℃で1時間保持して乾燥した。乾燥後
の塗布膜厚さは180μmであった。
This photosensitive paste was applied on a 100 mm square glass substrate by screen printing using a 325 mesh screen. Coating and drying were repeated several times to avoid pinholes and the like in the coating film, and the film thickness was adjusted. Drying was performed at 80 ° C. for 10 minutes. Then, it was kept at 80 ° C. for 1 hour and dried. The coating thickness after drying was 180 μm.

【0076】続いて、150μmピッチ、線幅20μm
のネガ用のクロムマスクを用いて、上面から20mW/
cm2出力の超高圧水銀灯でプロキシミティ露光した。
露光量は500mJ/cm2であった。
Subsequently, a pitch of 150 μm and a line width of 20 μm
20mW / from the top using a negative chrome mask
Proximity exposure was performed using an ultra-high pressure mercury lamp with a cm 2 output.
The exposure amount was 500 mJ / cm 2 .

【0077】次に、35℃に保持したモノエタノールア
ミンの0.2%水溶液をシャワーで300秒間かけるこ
とにより現像し、その後、シャワースプレーを用いて水
洗し、光硬化していないスペース部分を除去してガラス
基板上にストライプ状の隔壁パターンを形成した。
Next, a 0.2% aqueous solution of monoethanolamine kept at 35 ° C. is developed by applying a shower for 300 seconds, and then washed with water using a shower spray to remove a space portion that has not been photocured. Thus, a stripe-shaped partition pattern was formed on the glass substrate.

【0078】このようにして得られた隔壁パターンを空
気中、560℃で30分間焼成して黒色隔壁を形成し
た。形成された隔壁の断面形状を電子顕微鏡で観察した
ところ、高さ123μm、隔壁中央部の線幅30μm、
ピッチ150μmであった。良好な形状を有し、剥がれ
のない黒色隔壁が得られた。
The partition pattern thus obtained was baked in air at 560 ° C. for 30 minutes to form black partition walls. When the cross-sectional shape of the formed partition wall was observed with an electron microscope, the height was 123 μm, the line width at the center of the partition wall was 30 μm,
The pitch was 150 μm. A black partition having a good shape and without peeling was obtained.

【0079】塗布膜の全光線透過率および焼成膜のXY
Z表色系における刺激値Yを測定するため、上記と同様
の操作により、別途乾燥厚み140μmの塗布膜を形成
して塗布膜の全光線透過率を測定した。さらにそれを焼
成して焼成膜を形成し、XYZ表色系における刺激値Y
を測定した。感光性ペースト塗布膜の全光線透過率は7
0%で、焼成膜のXYZ表色系における刺激値Yは3で
あった。
The total light transmittance of the coating film and the XY of the fired film
In order to measure the stimulus value Y in the Z color system, a coating film having a dry thickness of 140 μm was separately formed by the same operation as above, and the total light transmittance of the coating film was measured. Further, it is fired to form a fired film, and the stimulus value Y in the XYZ color system is
Was measured. The total light transmittance of the photosensitive paste coating film is 7
At 0%, the stimulus value Y of the fired film in the XYZ color system was 3.

【0080】電極、誘電体層を形成した基板上に上記の
ようにして黒色隔壁を形成し、さらに隔壁の側壁と底部
に蛍光体層を形成し、前面板と合わせた後、封着し、ガ
ス封入し、駆動回路を接続してプラズマディスプレイパ
ネルを作製した。このパネルに電圧を印加して表示を行
った。全面点灯時の輝度を大塚電子社製の測光機MCP
D−200を用いて測定した。輝度は350cd/m2
であり、コントラストは300:1と良好であった。 実施例2 フィラーBとして、平均粒子径0.006μmの酸化コ
バルト2.5重量部、平均粒子径0.008μmの酸化
クロム(III)2.9重量部および平均粒子径0.00
5μmの酸化鉄(III)4.6重量部を用い、低融点ガ
ラス粉末として以下の組成と特性を有するものを用いた
他は実施例1を繰り返した。
A black partition is formed on the substrate on which the electrodes and the dielectric layer are formed as described above, and a phosphor layer is formed on the side wall and the bottom of the partition. Gas was sealed, and a drive circuit was connected to produce a plasma display panel. Display was performed by applying a voltage to this panel. The brightness at the time of full lighting is measured by Otsuka Electronics MCP
It measured using D-200. Brightness is 350 cd / m 2
And the contrast was as good as 300: 1. Example 2 As filler B, 2.5 parts by weight of cobalt oxide having an average particle diameter of 0.006 μm, 2.9 parts by weight of chromium (III) oxide having an average particle diameter of 0.008 μm, and an average particle diameter of 0.00
Example 1 was repeated except that 4.6 parts by weight of iron (III) oxide of 5 μm was used, and low melting glass powder having the following composition and characteristics was used.

【0081】低融点ガラスの組成(分析値):酸化リチ
ウム3.7%、酸化カリウム5.6%、酸化ケイ素1
3.8%、酸化アルミニウム18.7%、酸化ホウ素3
4.7%、酸化亜鉛13.4%、酸化マグネシウム1.
2%、酸化カルシウム5.0%、酸化バリウム3.9
%。
Composition of low-melting glass (analytical value): 3.7% lithium oxide, 5.6% potassium oxide, 1 silicon oxide
3.8%, aluminum oxide 18.7%, boron oxide 3
4.7%, zinc oxide 13.4%, magnesium oxide 1.
2%, calcium oxide 5.0%, barium oxide 3.9
%.

【0082】特性:ガラス転移点474℃、荷重軟化点
511℃、熱膨張係数75×10-7/K、屈折率1.5
7、平均粒径3.3μm、最大粒径11.0μm。
Properties: glass transition point 474 ° C., softening point under load 511 ° C., coefficient of thermal expansion 75 × 10 −7 / K, refractive index 1.5
7, average particle size 3.3 μm, maximum particle size 11.0 μm.

【0083】良好な形状を有し、剥がれのない黒色隔壁
が得られた。無機微粒子中の低融点ガラスとフィラーB
との混合割合(%)は85.7:14.3であり、無機
微粒子と感光性有機成分との混合割合(%)は69.
1:30.9であった。
A black partition having a good shape and without peeling was obtained. Low melting glass and filler B in inorganic fine particles
Is 85.7: 14.3, and the mixing ratio (%) of the inorganic fine particles and the photosensitive organic component is 69.14.
1: 30.9.

【0084】本実施例の感光性ペースト塗布膜の全光線
透過率65%で、焼成膜のXYZ表色系における刺激値
Yは3であった。得られたディスプレイは、黒色隔壁の
効果によりコントラストが向上した。 実施例3 感光性ポリマーとして、ダイセル化学社製の”サイクロ
マーP” ACA210(酸価120、分子量28,0
00)を用いた。また、次の組成と特性を有する低融点
ガラス粉末を用いた。
The total light transmittance of the photosensitive paste coating film of this example was 65%, and the stimulus value Y of the fired film in the XYZ color system was 3. In the obtained display, the contrast was improved by the effect of the black partition walls. Example 3 As a photosensitive polymer, "Cyclomer P" ACA210 manufactured by Daicel Chemical Co., Ltd. (acid value: 120, molecular weight: 28,0)
00) was used. Further, a low-melting glass powder having the following composition and characteristics was used.

【0085】酸化物換算組成(分析値):酸化リチウム
9.1%、酸化ケイ素21.3%、酸化ホウ素32.9
%、酸化バリウム4%、酸化アルミニウム21.9%、
酸化マグネシウム6.3%、酸化カルシウム4.5%。
Composition in terms of oxide (analytical value): 9.1% of lithium oxide, 21.3% of silicon oxide, 32.9% of boron oxide
%, Barium oxide 4%, aluminum oxide 21.9%,
6.3% magnesium oxide, 4.5% calcium oxide.

【0086】特性:ガラス転移点は472℃、荷重軟化
点は515℃、熱膨張係数は83×10-7/K、屈折率
1.59、平均粒子径2.3μm、最大粒子径22μ
m。
Properties: glass transition point 472 ° C., softening point under load 515 ° C., coefficient of thermal expansion 83 × 10 −7 / K, refractive index 1.59, average particle diameter 2.3 μm, maximum particle diameter 22 μm
m.

【0087】フィラーBとしては、平均粒子径0.01
μmの酸化ルテニウム10重量部を用いた。
As the filler B, an average particle diameter of 0.01
10 parts by weight of ruthenium oxide of μm were used.

【0088】上記の感光性ポリマー、低融点ガラス粉末
70重量部および金属酸化物を用いた他は実施例1を繰
り返した。良好な形状を有し、剥がれのない黒色隔壁が
得られた。
Example 1 was repeated except that the above photosensitive polymer, 70 parts by weight of low melting glass powder and metal oxide were used. A black partition having a good shape and without peeling was obtained.

【0089】無機微粒子中の低融点ガラスとフィラーB
との混合割合(%)は87.5:12.5であり、無機
微粒子と感光性有機成分との混合割合(%)71.8:
28.2であった。
Low melting point glass and filler B in inorganic fine particles
Is 87.5: 12.5, and the mixing ratio (%) of the inorganic fine particles and the photosensitive organic component is 71.8:
28.2.

【0090】本実施例の感光性ペースト塗布膜の全光線
透過率60%で、焼成膜のXYZ表色系における刺激値
Yは2であった。得られたディスプレイは、黒色隔壁の
効果によりコントラストが向上した。 実施例4 低融点ガラス粉末50重量部とフィラーBとして平均粒
子径0.008μmの酸化コバルト8重量部および平均
粒子径0.014μmの酸化ニッケル2重量部を用いた
以外は、実施例3を繰り返した。良好な形状を有し、剥
がれのない黒色隔壁が得られた。
The total light transmittance of the photosensitive paste coating film of this example was 60%, and the stimulus value Y of the fired film in the XYZ color system was 2. In the obtained display, the contrast was improved by the effect of the black partition walls. Example 4 Example 3 was repeated except that 50 parts by weight of low melting glass powder and 8 parts by weight of cobalt oxide having an average particle diameter of 0.008 μm and 2 parts by weight of nickel oxide having an average particle diameter of 0.014 μm were used as filler B. Was. A black partition having a good shape and without peeling was obtained.

【0091】無機微粒子中の低融点ガラスとフィラーB
との混合割合(%)は83.3:16.7であり、無機
微粒子と感光性有機成分との混合割合(%)65.6:
34.4であった。
Low melting point glass and filler B in inorganic fine particles
Is 83.3: 16.7, and the mixing ratio (%) of the inorganic fine particles and the photosensitive organic component is 65.6:
34.4.

【0092】本実施例の感光性ペースト塗布膜の全光線
透過率75%で、焼成膜のXYZ表色系における刺激値
Yは12であった。得られたディスプレイは、黒色隔壁
の効果によりコントラストが向上した。 実施例5 フィラーBとして平均粒子径0.008μmの炭化チタ
ンを用いた以外は実施例3を繰り返した。良好な形状を
有し、剥がれのない黒色隔壁が得られた。
The photosensitive paste coated film of this example had a total light transmittance of 75%, and the baked film had a stimulus value Y of 12 in the XYZ color system. In the obtained display, the contrast was improved by the effect of the black partition walls. Example 5 Example 3 was repeated except that titanium carbide having an average particle diameter of 0.008 μm was used as the filler B. A black partition having a good shape and without peeling was obtained.

【0093】本実施例の感光性ペースト塗布膜の全光線
透過率60%で、焼成膜のXYZ表色系における刺激値
Yは4.2であった。得られたディスプレイは、黒色隔
壁の効果によりコントラストが向上した。 実施例6 フィラーBとして平均粒子径0.007μmの炭化タン
タルを用い、低融点ガラス粉末として以下の組成と特性
を有するものを用いた他は実施例3を繰り返した。
The total light transmittance of the photosensitive paste coating film of this example was 60%, and the stimulus value Y in the XYZ color system of the fired film was 4.2. In the obtained display, the contrast was improved by the effect of the black partition walls. Example 6 Example 3 was repeated, except that tantalum carbide having an average particle diameter of 0.007 μm was used as the filler B, and low melting glass powder having the following composition and characteristics was used.

【0094】低融点ガラスの組成(分析値):酸化ナト
リウム3.6%、酸化カリウム5.3%、酸化ケイ素
8.4%、酸化アルミニウム8.2%、酸化ホウ素3
1.4%、酸化亜鉛36.3%、酸化マグネシウム0.
5%、酸化カルシウム2.8%、酸化バリウム3.5
%。
Composition of low-melting glass (analytical value): 3.6% sodium oxide, 5.3% potassium oxide, 8.4% silicon oxide, 8.2% aluminum oxide, 3% boron oxide
1.4%, zinc oxide 36.3%, magnesium oxide 0.
5%, calcium oxide 2.8%, barium oxide 3.5
%.

【0095】特性:ガラス転移点483℃、荷重軟化点
519℃、熱膨張係数76×10-7/K、屈折率1.6
0、平均粒径3.5μm、最大粒径37.0μm。
Characteristics: glass transition point 483 ° C., softening point under load 519 ° C., coefficient of thermal expansion 76 × 10 −7 / K, refractive index 1.6
0, average particle size 3.5 μm, maximum particle size 37.0 μm.

【0096】良好な形状を有し、剥がれのない黒色隔壁
が得られた。本実施例の感光性ペースト塗布膜の全光線
透過率65%で、焼成膜のXYZ表色系における刺激値
Yは6であった。得られたディスプレイは、黒色隔壁の
効果によりコントラストが向上した。 実施例7 無機微粒子を構成するフィラーAとして次の組成と特性
を有する高融点ガラス粉末10重量部を添加し、低融点
ガラス粉末として下記の組成と特性を有するものを用い
た他は実施例1を繰り返した。
A black partition wall having a good shape and without peeling was obtained. The total light transmittance of the photosensitive paste coating film of this example was 65%, and the stimulus value Y of the fired film in the XYZ color system was 6. In the obtained display, the contrast was improved by the effect of the black partition walls. Example 7 Example 1 was repeated except that 10 parts by weight of a high melting point glass powder having the following composition and properties were added as filler A constituting inorganic fine particles, and a low melting point glass powder having the following composition and properties was used. Was repeated.

【0097】高融点ガラスの組成:酸化珪素38%、酸
化ホウ素10%、酸化バリウム5%、酸化カルシウム4
%、酸化アルミニウム36%、酸化亜鉛2%、酸化マグ
ネシウム5%。
Composition of high melting point glass: silicon oxide 38%, boron oxide 10%, barium oxide 5%, calcium oxide 4
%, Aluminum oxide 36%, zinc oxide 2%, magnesium oxide 5%.

【0098】高融点ガラスの特性:ガラス転移点は65
2℃、荷重軟化点は746℃、熱膨張係数43×10-7
/K、平均粒子径2.4μm、平均屈折率は1.59。
Properties of high melting point glass: glass transition point is 65
2 ° C, softening point under load of 746 ° C, coefficient of thermal expansion 43 × 10 -7
/ K, average particle size 2.4 μm, average refractive index 1.59.

【0099】低融点ガラスの組成(分析値):酸化リチ
ウム8.9%、酸化ケイ素21.6%、酸化アルミニウ
ム20.7%、酸化ホウ素43.7%、酸化亜鉛1.2
%、酸化マグネシウム0.6%、酸化カルシウム0.9
%、酸化バリウム2.4%。
Composition of low-melting glass (analytical value): 8.9% lithium oxide, 21.6% silicon oxide, 20.7% aluminum oxide, 43.7% boron oxide, 1.2 zinc oxide
%, Magnesium oxide 0.6%, calcium oxide 0.9
%, Barium oxide 2.4%.

【0100】低融点ガラスの特性:ガラス転移点479
℃、荷重軟化点509℃、熱膨張係数73×10-7
K、屈折率1.53、平均粒径3.1μm、最大粒径1
5.6μm。
Properties of low melting point glass: glass transition point 479
° C, softening point under load of 509 ° C, thermal expansion coefficient 73 × 10 -7 /
K, refractive index 1.53, average particle size 3.1 μm, maximum particle size 1
5.6 μm.

【0101】良好な形状を有し、剥がれのない黒色隔壁
が得られた。
A black partition having a good shape and without peeling was obtained.

【0102】無機微粒子中の低融点ガラス、フィラーB
およびフィラーAの混合割合(%)は75.7:11.
7:12.6であり、無機微粒子と感光性有機成分との
混合割合(%)71.8:28.2であった。
Low melting glass in inorganic fine particles, filler B
And the mixing ratio (%) of the filler A is 75.7: 11.
7: 12.6, and the mixing ratio (%) of the inorganic fine particles and the photosensitive organic component was 71.8: 28.2.

【0103】本実施例の感光性ペースト塗布膜の全光線
透過率70%で、焼成膜のXYZ表色系における刺激値
Yは7であった。得られたディスプレイは、黒色隔壁の
効果によりコントラストが向上した。 実施例8 フィラーAとしてコーディエライト5重量部を添加した
以外は実施例2を繰り返した。良好な形状を有し、剥が
れのない黒色隔壁が得られた。
The total light transmittance of the photosensitive paste coating film of this example was 70%, and the stimulus value Y of the fired film in the XYZ color system was 7. In the obtained display, the contrast was improved by the effect of the black partition walls. Example 8 Example 2 was repeated except that 5 parts by weight of cordierite was added as filler A. A black partition having a good shape and without peeling was obtained.

【0104】無機微粒子中の低融点ガラス、フィラーB
およびフィラーAの混合割合(%)は80:13.3:
6.7であり、無機微粒子と感光性有機成分との混合割
合(%)70.6:29.5であった。
Low-melting glass in inorganic fine particles, filler B
And the mixing ratio (%) of the filler A is 80: 13.3:
6.7, and the mixing ratio (%) of the inorganic fine particles to the photosensitive organic component was 70.6: 29.5.

【0105】本実施例の感光性ペースト塗布膜の全光線
透過率67%で、焼成膜のXYZ表色系における刺激値
Yは6であった。得られたディスプレイは、黒色隔壁の
効果によりコントラストが向上した。 実施例9 電子放出素子を用いたディスプレイは、電子放出素子を
作製した電子源を固定する背面基板と、蛍光体層とメタ
ルバックが形成された前面基板を封着して作製した。前
面基板と背面基板との間には、支持枠と耐大気圧支持部
材としての隔壁(スペーサー)を作製した。
The photosensitive paste-coated film of this example had a total light transmittance of 67%, and the baked film had a stimulus value Y of 6 in the XYZ color system. In the obtained display, the contrast was improved by the effect of the black partition walls. Example 9 A display using an electron-emitting device was manufactured by sealing a back substrate on which an electron source in which an electron-emitting device was manufactured was fixed, and a front substrate on which a phosphor layer and a metal back were formed. Between the front substrate and the rear substrate, a support frame and a partition wall (spacer) as an anti-atmospheric pressure support member were produced.

【0106】表面伝導型電子放出素子および電極間配線
を形成した基板上に、実施例1で用いた感光性ペースト
をスクリーン印刷により全面塗布・乾燥し、これを繰り
返して乾燥厚みが約1.0mmの塗布膜を形成した。こ
の塗布膜に、幅2mmのストライプ状の開口部を1cm
ピッチで有するフォトマスクを密着させて、出力15m
W/cm2の超高圧水銀灯で紫外線露光した。露光量は
1.2J/cm2とした。
On the substrate on which the surface conduction electron-emitting device and the wiring between the electrodes were formed, the photosensitive paste used in Example 1 was applied and dried by screen printing on the entire surface, and this was repeated to obtain a dried thickness of about 1.0 mm. Was formed. In this coating film, a stripe-shaped opening having a width of 2 mm was formed by 1 cm.
15m output by contacting the photomask with pitch
It was exposed to ultraviolet light using a W / cm 2 ultrahigh pressure mercury lamp. The exposure amount was 1.2 J / cm 2 .

【0107】次に、2回目の感光性ペーストの塗布・乾
燥を行って、最初と同様の厚みの2段目の塗布膜を形成
し、今度は開口部幅1.6mmのフォトマスクを最初の
露光部に対応するようにアライメントして同様に露光し
た。この手法を3段目まで繰り返し、3段目には幅1.
2mmの開口部を有するフォトマスクを使用した。この
ように露光処理の終わった塗布膜を実施例1と同様の手
段で現像・水洗して、断面が3段の雛壇状の高さ2.3
mmのストライプ状の隔壁(スペーサー)パターンを形
成した。これを空気中560℃で30分間焼成し、電子
放出素子を用いたディスプレイ用の背面基板を得た。
Next, a second application and drying of the photosensitive paste is performed to form a second coating film having the same thickness as that of the first application. This time, a photomask having an opening width of 1.6 mm is applied to the first application. Alignment was performed so as to correspond to the exposed portion, and exposure was performed similarly. This method is repeated up to the third stage, where the width 1.
A photomask having a 2 mm opening was used. The coating film thus exposed is developed and washed with the same means as in Example 1, and has a platform-like height of three steps 2.3.
A stripe-shaped partition (spacer) pattern having a width of mm was formed. This was fired in air at 560 ° C. for 30 minutes to obtain a back substrate for a display using an electron-emitting device.

【0108】一方、ブラックマトリクスおよび3原色に
発光する蛍光体層を形成しメタルバックを設けた前面基
板を別途作成し、上記背面基板と封着して電子放出素子
を用いたディスプレイを得た。得られたディスプレイ
は、黒色隔壁の効果によりコントラストが向上した。 実施例10 ストライプ状にインジウム錫酸化物(ITO)透明電極
膜がパターニングされたガラス基板に、実施例1で用い
た感光性ペーストを塗布し、厚さ10μmの塗布膜を得
た。ITO電極と直交するストライプ状のフォトマスク
を用いて露光し現像して幅25μmの隔壁パターンを形
成した。これを焼成して幅20μm、高さ7μmの隔壁
を形成した。この基板を回転しながら、N,N’−ジフ
ェニル−N,N’−ジ(3−メチルフェニル)−1,
1’−ジフェニル−4,4’−ジアミン(TPD)を7
00オングストローム、8−ヒドロキシキノリンアルミ
ニウム錯体(Alq3)を550オングストローム蒸着
した後、基板の回転を止めて基板面に対して垂直な方向
からアルミニウムを1000オングストローム蒸着し
た。全面に保護層として酸化ケイ素膜を形成して有機電
界発光素子を得た。形成された黒色隔壁はブラックマト
リクスとして効果を有し、画像のコントラストが向上し
た。 比較例1 実施例1において、フィラーBの配合量が酸化ニッケル
3.4重量部と酸化コバルト1.2重量部とした場合、
無機微粒子中の低融点ガラス粉末とフィラーBの割合が
92.9:7.1となる。この無機微粒子を用いた以外
は実施例1を繰り返した。感光性ペースト塗布膜の全光
線透過率は高く、優れた隔壁パターン形成性を示した
が、得られた焼成膜のXYZ表色系における刺激値Yは
15以上となり、隔壁は灰色を帯びて、ディスプレイの
コントラストは低下した。 実施例11 無機微粒子としての低融点ガラス粉末およびフィラーB
の配合割合は同じにして、無機微粒子と感光性有機成分
との割合を5.3:4.7とした以外は実施例1を繰り
返した。本感光性ペーストを用いた場合、隔壁パターン
の形成性には問題はなく、良好な形状を有し、剥がれの
ない黒色隔壁が得られた。また、得られたディスプレイ
は、黒色隔壁の効果によりコントラストが向上した。し
かし、焼成工程においての脱バインダー性が不十分なた
めか、放電特性に経時変化がみとめられた。 略記号の説明 MGP400:X2N-CH(CH3)-CH2-(OCH2CH(CH3))n-NX2 X:-CH2CH(H)-CH2O-CO-C(CH3)=CH2 n:2〜10 IC−369:Irgacure369(チバガイギー社製品) 2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル) ブタノン−1
On the other hand, a front substrate provided with a black matrix and a phosphor layer which emits light in three primary colors and provided with a metal back was separately prepared and sealed with the rear substrate to obtain a display using electron-emitting devices. In the obtained display, the contrast was improved by the effect of the black partition walls. Example 10 The photosensitive paste used in Example 1 was applied to a glass substrate on which an indium tin oxide (ITO) transparent electrode film was patterned in a stripe shape to obtain a coating film having a thickness of 10 μm. Exposure and development were performed using a striped photomask orthogonal to the ITO electrodes to form a partition pattern having a width of 25 μm. This was fired to form a partition having a width of 20 μm and a height of 7 μm. While rotating the substrate, N, N′-diphenyl-N, N′-di (3-methylphenyl) -1,
1′-diphenyl-4,4′-diamine (TPD)
After depositing 550 Å of an 8-hydroxyquinoline aluminum complex (Alq 3 ) at 00 Å, the rotation of the substrate was stopped and aluminum was deposited at 1000 Å in a direction perpendicular to the substrate surface. An organic electroluminescent device was obtained by forming a silicon oxide film as a protective layer on the entire surface. The formed black partition had an effect as a black matrix, and the image contrast was improved. Comparative Example 1 In Example 1, when the compounding amount of the filler B was 3.4 parts by weight of nickel oxide and 1.2 parts by weight of cobalt oxide,
The ratio of the low melting point glass powder and the filler B in the inorganic fine particles is 92.9: 7.1. Example 1 was repeated except that the inorganic fine particles were used. Although the total light transmittance of the photosensitive paste coating film was high and showed excellent partition pattern forming properties, the stimulus value Y in the XYZ color system of the obtained fired film was 15 or more, and the partition walls were grayed, The display contrast was reduced. Example 11 Low-melting glass powder as inorganic fine particles and filler B
Example 1 was repeated, except that the mixing ratio of was the same, and the ratio of the inorganic fine particles to the photosensitive organic component was 5.3: 4.7. When the present photosensitive paste was used, there was no problem in the formability of the partition pattern, and a black partition having a good shape and without peeling was obtained. In the obtained display, the contrast was improved by the effect of the black partition walls. However, a change over time in the discharge characteristics was observed, possibly due to insufficient binder removal in the firing step. Description of Abbreviations MGP400: X 2 N-CH ( CH 3) -CH 2 - (OCH 2 CH (CH 3)) n -NX 2 X: -CH 2 CH (H) -CH 2 O-CO-C ( CH 3 ) = CH 2 n: 2 to 10 IC-369: Irgacure 369 (product of Ciba Geigy) 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butanone-1

【0109】[0109]

【発明の効果】本発明の感光性ペーストを用いることに
より、パターン形成性が良好であり、コントラスト向上
に寄与する黒色隔壁が形成できる。
By using the photosensitive paste of the present invention, it is possible to form black partition walls which have good pattern formability and contribute to improvement of contrast.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01J 9/24 H01J 9/24 A 11/02 11/02 B Fターム(参考) 2H025 AA00 AA03 AB17 AC01 AD01 BC12 BC31 CC12 FA29 4J038 FA011 FA091 FA141 FA161 FA221 GA06 HA076 HA216 HA486 KA03 KA06 KA20 NA18 NA19 PA17 PB08 PB09 PC03 5C012 AA09 BB01 BB07 5C027 AA02 AA09 5C040 GF18 GF19 KA08 KA10 KB28 MA02 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) H01J 9/24 H01J 9/24 A 11/02 11/02 B F term (Reference) 2H025 AA00 AA03 AB17 AC01 AD01 BC12 BC31 CC12 FA29 4J038 FA011 FA091 FA141 FA161 FA221 GA06 HA076 HA216 HA486 KA03 KA06 KA20 NA18 NA19 PA17 PB08 PB09 PC03 5C012 AA09 BB01 BB07 5C027 AA02 AA09 5C040 GF18 GF19 KA08 KA10 KB28 MA02

Claims (15)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】無機微粒子と感光性有機成分とを含有する
感光性ペーストであって、該無機微粒子が低融点ガラス
粉末50〜90重量%と平均粒子径が0.003〜0.
08μmのフィラー(フィラーB)10〜50重量%と
を含有し、該フィラーBが、Ru、Mn、Ni、Cr、
Fe、CoおよびCuの酸化物ならびにSi、Ti、T
a、ZrおよびCrの炭化物からなる群から選ばれた少
なくとも一種を含むものであり、かつ、該感光性ペース
トを厚み140μmの塗布膜に形成した場合の全光線透
過率が50%以上であり、前記塗布膜を焼成した後のX
YZ表色系における刺激値Yが15以下であることを特
徴とする感光性ペースト。
1. A photosensitive paste containing inorganic fine particles and a photosensitive organic component, wherein the inorganic fine particles have a low melting point glass powder of 50 to 90% by weight and an average particle size of 0.003 to 0.
08 μm of a filler (filler B) of 10 to 50% by weight, and the filler B contains Ru, Mn, Ni, Cr,
Fe, Co and Cu oxides and Si, Ti, T
a, containing at least one selected from the group consisting of carbides of a, Zr and Cr, and having a total light transmittance of 50% or more when the photosensitive paste is formed into a coating film having a thickness of 140 μm; X after firing the coating film
A photosensitive paste having a stimulus value Y of 15 or less in a YZ color system.
【請求項2】無機微粒子が0.003〜0.08μmの
範囲内にピークを有する粒度分布を示すことを特徴とす
る請求項1記載の感光性ペースト。
2. The photosensitive paste according to claim 1, wherein the inorganic fine particles have a particle size distribution having a peak in the range of 0.003 to 0.08 μm.
【請求項3】低融点ガラス粉末が、Ru、Mn、Ni、
Cr、Fe、Co、およびCuの酸化物から選ばれた少
なくとも一種を含むことを特徴とする請求項1記載の感
光性ペースト。
3. The method according to claim 1, wherein the low melting point glass powder is Ru, Mn, Ni,
2. The photosensitive paste according to claim 1, comprising at least one selected from oxides of Cr, Fe, Co, and Cu.
【請求項4】無機微粒子と感光性有機成分とを重量比で
6:4〜9:1の割合で含有することを特徴とする請求
項1記載の感光性ペースト。
4. The photosensitive paste according to claim 1, wherein the photosensitive paste contains inorganic fine particles and a photosensitive organic component in a weight ratio of 6: 4 to 9: 1.
【請求項5】無機微粒子がさらに平均粒子径が1.5〜
5μmのフィラー(フィラーA)を30重量%以下含有
することを特徴とする請求項1記載の感光性ペースト。
5. An inorganic fine particle further having an average particle diameter of 1.5 to 1.5.
2. The photosensitive paste according to claim 1, wherein the photosensitive paste contains 30% by weight or less of a 5 [mu] m filler (Filler A).
【請求項6】フィラーAの平均屈折率が1.45〜1.
65であることを特徴とする請求項5記載の感光性ペー
スト。
6. The filler A has an average refractive index of 1.45 to 1.
The photosensitive paste according to claim 5, wherein
【請求項7】フィラーAが、コーディエライトおよび高
融点ガラス粉末から選ばれた少なくとも一種を含むこと
を特徴とする請求項6記載の感光性ペースト。
7. The photosensitive paste according to claim 6, wherein the filler A contains at least one selected from cordierite and high melting point glass powder.
【請求項8】高融点ガラス粉末が、ガラス転移点500
〜1200℃、荷重軟化点550〜1200℃のガラス
粉末であることを特徴とする請求項7記載の感光性ペー
スト。
8. A high melting glass powder having a glass transition point of 500
The photosensitive paste according to claim 7, which is a glass powder having a softening point under load of from 550 to 1200C.
【請求項9】高融点ガラス粉末が、酸化物換算表記で以
下の組成を含有することを特徴とする請求項7または8
記載の感光性ペースト。 酸化ケイ素 15〜50重量% 酸化ホウ素 5〜20重量% 酸化アルミニウム 15〜50重量% 酸化バリウム 2〜10重量%
9. The high melting point glass powder contains the following composition in terms of oxide.
The photosensitive paste as described in the above. Silicon oxide 15-50% by weight Boron oxide 5-20% by weight Aluminum oxide 15-50% by weight Barium oxide 2-10% by weight
【請求項10】低融点ガラス粉末が、ガラス転移点40
0〜550℃、荷重軟化点450〜600℃のガラス粉
末であることを特徴とする請求項1記載の感光性ペース
ト。
10. A low melting glass powder having a glass transition point of 40
2. The photosensitive paste according to claim 1, wherein the photosensitive paste is a glass powder having a softening point under load of from 0 to 550 [deg.] C.
【請求項11】低融点ガラス粉末の平均屈折率が、1.
5〜1.65であることを特徴とする請求項1記載の感
光性ペースト。
11. The low melting point glass powder has an average refractive index of 1.
The photosensitive paste according to claim 1, wherein the ratio is 5 to 1.65.
【請求項12】低融点ガラス粉末が、酸化物換算表記で
以下の組成を含有することを特徴とする請求項1記載の
感光性ペースト。 酸化珪素 : 5〜30重量% 酸化ホウ素 :20〜45重量% 酸化アルミニウム :10〜25重量% 酸化リチウム、酸化ナトリウムおよび酸化カリウムのうち少なくとも1種 :3〜15重量% 酸化ストロンチウムおよび酸化バリウムのうち少なくとも1種 :2〜15重量% 酸化マグネシウムおよび酸化カルシウムのうち少なくとも1種 :2〜15重量%
12. The photosensitive paste according to claim 1, wherein the low melting point glass powder contains the following composition in terms of oxide. Silicon oxide: 5 to 30% by weight Boron oxide: 20 to 45% by weight Aluminum oxide: 10 to 25% by weight At least one of lithium oxide, sodium oxide and potassium oxide: 3 to 15% by weight Of strontium oxide and barium oxide At least one: 2 to 15% by weight At least one of magnesium oxide and calcium oxide: 2 to 15% by weight
【請求項13】請求項1〜12のいずれかに記載の感光
性ペーストを用いて隔壁を形成したことを特徴とするデ
ィスプレイ。
13. A display, wherein a partition is formed by using the photosensitive paste according to claim 1.
【請求項14】ディスプレイが、プラズマディスプレイ
パネル、プラズマアドレス液晶ディスプレイ、電子放出
素子を用いたディスプレイ、有機電界発光素子を用いた
ディスプレイあるいは蛍光表示管素子を用いたディスプ
レイであることを特徴とする請求項13記載のディスプ
レイ。
14. A display comprising a plasma display panel, a plasma addressed liquid crystal display, a display using an electron-emitting device, a display using an organic electroluminescent device or a display using a fluorescent display tube device. Item 14. The display according to Item 13.
【請求項15】請求項1〜12のいずれかに記載の感光
性ペーストを用いて隔壁を形成したことを特徴とするデ
ィスプレイ用部材。
15. A member for a display, wherein a partition is formed by using the photosensitive paste according to claim 1. Description:
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