JP2001091076A - パルス管冷凍機 - Google Patents

パルス管冷凍機

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JP2001091076A JP26570299A JP26570299A JP2001091076A JP 2001091076 A JP2001091076 A JP 2001091076A JP 26570299 A JP26570299 A JP 26570299A JP 26570299 A JP26570299 A JP 26570299A JP 2001091076 A JP2001091076 A JP 2001091076A
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紹偉 朱
Arata Kono
新 河野
Masabumi Nogawa
正文 野川
Tatsuo Inoue
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 冷凍効率の向上を図ることができるパルス管
冷凍機を提供する。 【解決手段】 パルス管冷凍機1は、圧縮機2と、第1
冷却器11と、第1蓄冷器12と、第1吸熱器13と、
第1パルス管14と、第1放熱器15と、第2蓄冷器2
2と、第2吸熱器23と、第2パルス管24と、第2放
熱器25と、バッファオリフィス31と、バッファタン
ク32とが順次直列に連結されて構成されている。第1
冷却器11、第1蓄冷器12、第1吸熱器13、第1パ
ルス管14及び第1放熱器15によって第1パルス管部
10が形成されている。また、第1放熱器15、第2蓄
冷器22、第2吸熱器23、第2パルス管24及び第2
放熱器25によって第2パルス管部20が形成されてお
り、同第1放熱器15は、同第2パルス管部20の冷却
器(第2冷却器)としての機能を併せ有している。第1
パルス管部10の膨張仕事の一部は第2パルス管部の圧
縮仕事として回収される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、パルス管冷凍機に
係り、特に冷凍効率の向上を図れるようにしたパルス管
冷凍機に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、極低温用の冷凍機としてパルス管
冷凍機が注目を集めている。このパルス管冷凍機は、内
部に充填した作動ガスの圧力変動と位置変動との位相を
ずらして振動させることにより、冷却能力を発揮するも
のである。
【0003】このようなパルス管冷凍機の構造等は種々
の文献において紹介されて周知のものとなっている(例
えば、M.Yanai:Pulse Tube Cry
ocooler,ISTEC Journal Vol
9 No.3(1996),20.など)。
【0004】こうした文献に紹介されたパルス管冷凍機
も含め、従来のパルス管冷凍機は、例えば図7に示され
る構造を有している。同図に示されるように、従来のパ
ルス管冷凍機81は、圧縮機82と、冷却器83と、蓄
冷器84と、吸熱器85と、パルス管86と、放熱器8
7と、バッファオリフィス88と、バッファタンク89
とが順次直列に連結されて構成されている。なお、上記
冷却器83、蓄冷器84、吸熱器85、パルス管86及
び放熱器87によってパルス管部90が形成されてお
り、内部が真空に保たれた真空容器81aに収容されて
いる。
【0005】上記圧縮機82は、パルス管冷凍機81内
に充填してあるヘリウム等の作動ガスに圧力変動を発生
させるもので、圧縮シリンダ91と同圧縮シリンダ91
内にピストンリング(図示せず)を介して摺動可能に配
設された圧縮ピストン92とを備えている。そして、こ
の圧縮ピストン92と上記冷却器83との間には、圧縮
室93が形成されている。この圧縮機82は、駆動装置
(図示せず)によって上記圧縮ピストン92を往復動さ
せることにより、上記パルス管冷凍機81内の作動ガス
の圧縮・膨張を繰り返すよう構成されている。
【0006】上記圧縮機82に連結された冷却器83
は、内部を流れる作動ガスの圧縮熱を流体路94を流れ
る冷却流体に放出するためのものである。上記冷却器8
3に連結された蓄冷器84は、例えば、ステンレス鋼、
リン青銅等のメッシュからなる蓄冷材95が充填された
もので、作動ガスとの熱交換を行う。すなわち、作動ガ
スは、この蓄冷器84内を上記吸熱器85側に向かって
進行する際に、同蓄冷器84によって徐々に冷却されよ
うになっており、反対に、上記冷却器83側に向かって
進行する(戻る)際に、同蓄冷器84を冷却しながら徐
々に温められるようになっている。
【0007】上記蓄冷器84の低温端側(圧縮機82と
反対側)に連結された吸熱器85は低温発生部となって
いる。上記吸熱器85に連結されたパルス管86は、そ
の室温端側(バッファオリフィス88側)の熱が振動に
よって吸熱器85に伝達されるのを防止するための中空
の管である。
【0008】上記パルス管86に連結された放熱器87
は、内部を流れる作動ガスの熱を流体路95を流れる冷
却流体に放出することで、上記パルス管86の室温端側
を冷却するためのものである。
【0009】上記放熱器87は、バッファオリフィス8
8を介して上記バッファタンク89に連結されている。
これらバッファオリフィス88及びバッファタンク89
は、上記パルス管冷凍機81(パルス管部90)内の作
動ガスの圧力変動と位置変動との位相差を調節するため
のものである。
【0010】このようなパルス管冷凍機81において
は、圧縮機82の駆動に伴い圧縮ピストン92を押し出
すと、圧縮室93内の作動ガスは圧縮され、同作動ガス
は圧縮室93に連通しているパルス管部90へと移動す
るとともに、パルス管部90(パルス管86)内の作動
ガスは圧縮されて高圧状態となる。
【0011】次に、圧縮機82の駆動に伴い圧縮ピスト
ン92を引き戻すと、圧縮室93内の作動ガスは膨張さ
れ、同圧縮室93に連通しているパルス管部90内の作
動ガスは同圧縮室93へと移動するとともに、パルス管
部90(パルス管86)内の作動ガスは断熱膨張されて
低圧状態となる。
【0012】このような動作を1サイクルとする仕事を
連続的に操り返すことにより、パルス管部90(パルス
管86)内の作動ガスは周期的に高圧状態から低圧状態
へと圧力変動を操り返す。そしてこのとき、上記バッフ
ァオリフィス88及びバッファタンク89により、上記
パルス管部90(パルス管86)内の作動ガスの圧力変
動と位置変動との間の位相差が調節される。このため、
作動ガスは、一方に移動して上記放熱器87において熱
を吐き出し、他方に移動して上記吸熱器85において熱
を吸い込む動作を繰り返す。そして、このような動作が
連続的に行なわれることにより、上記吸熱器85に冷凍
を発生する。
【0013】パルス管冷凍機81は、以上の動作により
冷凍を行う。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】ところで、この種のパ
ルス管冷凍機81は、同様の蓄冷型の冷凍機であるスタ
ーリング冷凍機と比較して、一般に冷凍効率は低くなっ
ている。これは、スターリング冷凍機が膨張ピストンを
備え、同様の仕事のサイクルにおける膨張仕事分を同膨
張ピストンによって回収し、圧縮機での圧縮仕事の助勢
に利用しているためである。
【0015】換言すると、パルス管冷凍機81において
は、パルス管部90(パルス管86)内で作動ガスの圧
力変動と位置変動とに起因する膨張仕事に相当する仕事
が存在するが、膨張ピストンがないために、この仕事は
熱に変換されて放熱器87から放出されてしまい、仕事
として利用できないためである。
【0016】本発明の目的は、冷凍効率の向上を図るこ
とができるパルス管冷凍機を提供することにある。
【0017】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、請求項1に記載の発明は、蓄冷器、吸熱器及びパ
ルス管が順次直列に連結されて構成され、互いに直列に
連結される複数のパルス管部と、前記複数のパルス管部
の一方端に連結され、作動ガスの圧力変動を発生する振
動発生源とを備え、少なくとも1つのパルス管部の膨張
仕事を、他のパルス管部の圧縮仕事として回収したこと
を要旨とする。
【0018】請求項2に記載の発明は、一方端が作動ガ
スの圧力変動を発生する振動発生器に連結され、第1蓄
冷器、第1吸熱器及び第1パルス管が順次直列に連結さ
れて構成される第1パルス管部と、前記第1パルス管部
の他方端に直列に連結され、第2蓄冷器、第2吸熱器及
び第2パルス管が順次直列に連結されて構成される第2
パルス管部とを備え、前記第1パルス管部の膨張仕事
を、前記第2パルス管部の圧縮仕事として回収したこと
を要旨とする。
【0019】請求項3に記載の発明は、請求項2に記載
のパルス管冷凍機において、前記第1蓄冷器と前記第1
パルス管との間、及び、前記第2蓄冷器と前記第2パル
ス管との間の少なくとも一方をバイパスするバイパス通
路を設けたことを要旨とする。
【0020】請求項4に記載の発明は、請求項2に記載
のパルス管冷凍機において、前記振動発生源は前記第1
蓄冷器に連結される第1圧縮室と、該第1蓄冷器から遮
断された第2圧縮室とを備え、前記第2圧縮室と前記第
1パルス管との間をバイパスするバイパス通路を設けた
ことを要旨とする。
【0021】(作用)一般に、パルス管冷凍機において
は、作動ガスの圧力変動と位置変動に伴う膨張仕事は、
熱に変換されて外部に放出される。
【0022】請求項1に記載の発明の構成によれば、複
数のパルス管部を直列に連結し、少なくとも1つのパル
ス管部の膨張仕事を、他のパルス管部の圧縮仕事として
回収した。従って、この回収した分だけ振動発生源の仕
事は低減され、冷凍効率の向上が図られる。
【0023】請求項2に記載の発明の構成によれば、第
1パルス管部と第2パルス管部とを直列に連結し、第1
パルス管部の膨張仕事を、第2パルス管部の圧縮仕事と
して回収した。従って、この回収した分だけ振動発生源
の仕事は低減され、冷凍効率の向上が図られる。
【0024】請求項3に記載の発明の構成によれば、上
記第1蓄冷器と第1パルス管との間、及び、上記第2蓄
冷器と第2パルス管との間の少なくとも一方をバイパス
するバイパス通路を設けた。従って、このバイパス通路
を流れる作動ガスを制御することにより、第1パルス管
部若しくは第2パルス管部内の作動ガスの圧力変動と位
置変動との位相差はより好適に制御され、優れた冷凍能
力が発揮される。
【0025】請求項4に記載の発明の構成によれば、上
記第1蓄冷器から遮断された第2圧縮室と第1パルス管
との間をバイパスするバイパス通路を設けた。従って、
このバイパス通路を流れる作動ガスを制御することによ
り、第1パルス管部若しくは第2パルス管部内の作動ガ
スの圧力変動と位置変動との位相差はより好適に制御さ
れ、優れた冷凍能力が発揮される。
【0026】また、第2圧縮室は、第1蓄冷器から遮断
されているため、バイパス通路を経由する一方向性を持
った循環流の発生が防止される。
【0027】
【発明の実施の形態】(第1実施形態)以下、本発明を
具体化したパルス管冷凍機の第1実施形態について図1
に基づき説明する。
【0028】同図に示されるように、本実施形態におけ
るパルス管冷凍機1は、圧縮機2と、第1冷却器11
と、第1蓄冷器12と、第1吸熱器13と、第1パルス
管14と、第1放熱器15と、第2蓄冷器22と、第2
吸熱器23と、第2パルス管24と、第2放熱器25
と、バッファオリフィス31と、バッファタンク32と
が順次直列に連結されて構成されている。
【0029】なお、上記第1冷却器11、第1蓄冷器1
2、第1吸熱器13、第1パルス管14及び第1放熱器
15によって第1パルス管部10が形成されている。ま
た、上記第1放熱器15、第2蓄冷器22、第2吸熱器
23、第2パルス管24及び第2放熱器25によって第
2パルス管部20が形成されており、同第1放熱器15
は、同第2パルス管部20の冷却器(第2冷却器)とし
ての機能を併せ有している。
【0030】上記第1及び第2パルス管部10,20
は、内部が真空に保たれた真空容器1aに収容されてい
る。上記圧縮機2は、パルス管冷凍機1内に充填してあ
るヘリウム等の作動ガスに圧力変動を発生させるもの
で、圧縮シリンダ3と同圧縮シリンダ3内にピストンリ
ング(図示せず)を介して摺動可能に配設された圧縮ピ
ストン4とを備えている。そして、この圧縮ピストン4
と上記第1冷却器11との間には、圧縮室5が形成され
ている。この圧縮機2は、駆動装置(図示せず)によっ
て上記圧縮ピストン4を往復動させることにより、上記
パルス管冷凍機1内の作動ガスの圧縮・膨張を繰り返す
よう構成されている。
【0031】上記圧縮機2に連結された第1冷却器11
は、作動ガスの流れ方向に沿って規則的な多数の穴を有
して、例えば銅にて形成されている。この第1冷却器1
1は、内部を流れる作動ガスの圧縮熱を流体路36を流
れる冷却流体に放出するためのものである。
【0032】上記第1冷却器11に連結された第1蓄冷
器12は、例えば、ステンレス鋼、リン青銅等のメッシ
ュからなる蓄冷材37が充填されたもので、作動ガスと
の熱交換を行う。すなわち、作動ガスは、この第1蓄冷
器12内を上記第1吸熱器13側に向かって進行する際
に、同第1蓄冷器12によって徐々に冷却されようにな
っており、反対に、上記第1冷却器11側に向かって進
行する(戻る)際に、同第1蓄冷器12を冷却しながら
徐々に温められるようになっている。
【0033】上記第1蓄冷器12の低温端側(圧縮機2
と反対側)に連結された第1吸熱器13は第1の低温発
生部となっている。この第1吸熱器13は、同吸熱器1
3に接触された被冷却体から効率よく熱を奪うため、作
動ガスの流れ方向に沿って規則的な多数の穴を有して、
例えば銅等の熱伝導性に優れた材料により形成されてい
る。
【0034】上記第1吸熱器13に連結された第1パル
ス管14は、その室温端側(第1放熱器15側)の熱が
振動によって第1吸熱器13に伝達されるのを防止する
ための中空の管であって、例えばステンレス鋼等の熱伝
導率の小さい材料により形成されている。
【0035】上記第1パルス管14に連結された第1放
熱器15は、作動ガスの流れ方向に沿って規則的な多数
の穴を有して、例えば銅にて形成されている。この第1
放熱器15は、内部を流れる作動ガスの熱を流体路38
を流れる冷却流体に放出することで、上記第1パルス管
14の室温端側を冷却するためのものである。
【0036】上記第2パルス管部20を構成する第2蓄
冷器22、第2吸熱器23、第2パルス管24及び第2
放熱器25は、それぞれ第1冷却器11、第1蓄冷器1
2、第1吸熱器13、第1パルス管14及び第1放熱器
15と同様の構造となっている。
【0037】上記第2放熱器25は、例えば小型のニー
ドル弁にて作動ガスの流量を調節するバッファオリフィ
ス31を介して上記バッファタンク32に連結されてい
る。このバッファタンク32は、例えばパルス管冷凍機
1(第1及び第2パルス管部10,20)の容積よりも
充分大きな容積を有して形成されている。これらバッフ
ァオリフィス31及びバッファタンク32は、上記パル
ス管冷凍機1(第1及び第2パルス管部10,20)内
の作動ガスの圧力変動と位置変動との位相差を調節する
ためのものである。
【0038】このようなパルス管冷凍機1においては、
圧縮機2の駆動に伴い圧縮ピストン4を押し出すと、圧
縮室5内の作動ガスは圧縮され、同作動ガスは圧縮室5
に連通している第1及び第2パルス管部10,20へと
移動するとともに、同パルス管部10,20(第1及び
第2パルス管14,24)内の作動ガスは圧縮されて高
圧状態となる。
【0039】次に、圧縮機2の駆動に伴い圧縮ピストン
4を引き戻すと、圧縮室5内の作動ガスは膨張され、同
圧縮室5に連通している第1及び第2パルス管部10,
20内の作動ガスは同圧縮室5へと移動するとともに、
同パルス管部10,20(第1及び第2パルス管14,
24)内の作動ガスは断熱膨張されて低圧状態となる。
【0040】このような動作を1サイクルとする仕事を
連続的に操り返すことにより、第1及び第2パルス管部
10,20(第1及び第2パルス管14,24)内の作
動ガスは、それぞれ周期的に高圧状態から低圧状態へと
圧力変動を操り返す。そしてこのとき、上記バッファオ
リフィス31及びバッファタンク32により、上記第1
及び第2パルス管部10,20(第1及び第2パルス管
14,24)内の作動ガスの圧力変動と位置変動との間
の位相差がそれぞれ調節される。このため、作動ガス
は、一方に移動して上記第1及び第2放熱器15,25
において熱を吐き出し、他方に移動して上記第1及び第
2吸熱器13,23において熱を吸い込む動作をそれぞ
れ繰り返す。そして、このような動作が連続的に行なわ
れることにより、上記第1及び第2吸熱器13,23に
ぞれぞれ冷凍を発生する。
【0041】パルス管冷凍機1は、以上の動作により冷
凍を行う。なお、このような動作において、第1パルス
管部10(第1パルス管14)内で発生する作動ガスの
移動と圧力変動に起因する膨張仕事に相当する仕事の一
部は、上記第2パルス管部20(第1放熱器(第2冷却
器)15、第2パルス管部21、第2蓄冷器22、第2
吸熱器23及び第2パルス管24)において利用され
る。すなわち、第1パルス管部10は、第2パルス管部
20の圧縮機として機能してその仕事の一部が回収され
る。
【0042】以上詳述したように、本実施形態によれ
ば、以下に示す効果が得られるようになる。 (1)本実施形態において第1パルス管部10は、第2
パルス管部20の圧縮機として機能してその仕事の一部
が回収されるため、冷凍効率の向上を図ることができ
る。
【0043】(第2実施形態)以下、本発明を具体化し
たパルス管冷凍機の第2実施形態について図2を参照し
て説明する。なお、第2実施形態のパルス管冷凍機41
は、第1実施形態の第1蓄冷器12の高温端と第1パル
ス管14(第2蓄冷器22)の高温端との間、及び第2
蓄冷器22の高温端と第2パルス管24の高温端との間
にそれぞれ第1バイパス通路42及び第2バイパス通路
43を設けてバイパスさせた、いわゆるダブルインレッ
トタイプとしている。そして、上記第1及び第2バイパ
ス通路42,43には、それぞれ作動ガスの流量を調整
するためのバイパスオリフィス44,45が設けられて
いる。このようにバイパスオリフィス44,45を有す
る第1及び第2バイパス通路42,43によって、上記
バッファオリフィス31及びバッファタンク32によっ
て発生される作動ガスの圧力変動と位置変動との位相差
に修正を加えることができる。従って、上記パルス管冷
凍機41(第1及び第2パルス管部10,20)内の作
動ガスの圧力変動と位置変動との位相差はより好適に制
御される。
【0044】以上詳述したように、本実施形態によれ
ば、前記第1実施形態の効果に加えて以下に示す効果が
得られるようになる。 (1)本実施形態では、パルス管冷凍機41(第1及び
第2パルス管部10,20)内の作動ガスの圧力変動と
位置変動との位相差をより好適に制御し、優れた冷凍能
力を発揮することができる。
【0045】(第3実施形態)以下、本発明を具体化し
たパルス管冷凍機の第3実施形態について図3を参照し
て説明する。なお、第3実施形態のパルス管冷凍機51
は、第1実施形態の圧縮機2の圧縮シリンダ3に代え
て、先端側(第1蓄冷器12側)が縮径された圧縮シリ
ンダ52及び同圧縮シリンダ52に対応して摺動可能と
なるように本体ピストン部53a及びその先端側におい
て縮径された縮径ピストン部53bを有する2段式圧縮
ピストン53としている。そして、この圧縮機2の構造
の変更に伴って、前記第1冷却器11は2分されて基端
側冷却器54及び先端側冷却器55が形成されている。
なお、本体ピストン部53aと基端側冷却器54との
間、及び縮径ピストン部53bと先端側冷却器55との
間には、それぞれ基端側圧縮室56及び先端側圧縮室5
7が形成されている。
【0046】また、パルス管冷凍機51は、上記圧縮機
2と第1パルス管14の高温端との間にバイパス通路5
8が設けられてバイパスされており、ダブルインレット
タイプとなっている。そして、上記バイパス通路58に
は、作動ガスの流量を調整するためのバイパスオリフィ
ス59が設けられている。
【0047】このようなダブルインレットタイプのパル
ス管冷凍機51においては、圧縮機2の圧縮室が、基端
側圧縮室56と先端側圧縮室57とに2分されているた
め、バイパス通路58を経由する一方向性を持った循環
流の発生が防止される。
【0048】以上詳述したように、本実施形態によれ
ば、前記第2実施形態の効果に加えて以下に示す効果が
得られるようになる。 (1)本実施形態では、ダブルインレットタイプのパル
ス管冷凍機に特有の循環流の発生を防止することで、作
動安定性を向上することができる。
【0049】なお、本発明の実施の形態は上記実施形態
に限定されるものではなく、次のように変更してもよ
い。・前記第1実施形態においては、圧力変動を発生す
るためにピストンタイプの圧縮機2を採用したが、この
圧縮機2に代えて、図4に示されるように高圧吐出弁6
1及び低圧吸入弁62を備えたコンプレッサー63とし
てもよい。この場合、上記高圧吐出弁61及び低圧吸入
弁62を選択的に切り替えることで、同様に圧力変動を
発生することができる。
【0050】また、前記第2実施形態においても同様
に、圧縮機2に代えて、図5に示されるように高圧吐出
弁61及び低圧吸入弁62を備えたコンプレッサー63
としてもよい。
【0051】・前記各実施形態における作動ガスとし
て、ヘリウム、ネオン、アルゴン、窒素、空気等、ある
いはこれらの混合物を採用してもよい。・前記各実施形
態においては、2つのパルス管冷凍機(第1及び第2パ
ルス管部10,20)を直列に接続したものを採用した
が、これは複数であればいくつでもよい。
【0052】また、その他の例として、図6に示すよう
な構成にしてもよい。尚、図6において、符号33,3
4は開閉弁、35はバッファタンクである。このように
構成することにより、冷凍効率がより向上する。
【0053】
【発明の効果】以上詳述したように、請求項1及び2に
記載の発明によれば、冷凍効率の向上を図ることができ
る。
【0054】請求項3に記載の発明によれば、バイパス
通路を流れる作動ガスを制御することにより、第1パル
ス管部若しくは第2パルス管部内の作動ガスの圧力変動
と位置変動との位相差をより好適に制御し、優れた冷凍
能力を発揮することができる。
【0055】請求項4に記載の発明によれば、バイパス
通路を流れる作動ガスを制御することにより、第1パル
ス管部内の作動ガスの圧力変動と位置変動との位相差を
より好適に制御し、優れた冷凍能力を発揮することがで
きる。
【0056】また、第2圧縮室は、第1蓄冷器から遮断
されているため、バイパス通路を経由する一方向性を持
った循環流の発生を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るパルス管冷凍機の第1実施形態を
示す説明図。
【図2】本発明に係るパルス管冷凍機の第2実施形態を
示す説明図。
【図3】本発明に係るパルス管冷凍機の第3実施形態を
示す説明図。
【図4】本発明に係るパルス管冷凍機の別例を示す説明
図。
【図5】本発明に係るパルス管冷凍機の別例を示す説明
図。
【図6】本発明に係るパルス管冷凍機の別例を示す説明
図。
【図7】従来のパルス管冷凍機を示す説明図。
【符号の説明】
2 圧縮機 10 第1パルス管部 12 第1蓄冷器 13 第1吸熱器 14 第1パルス管 20 第2パルス管部 22 第2蓄冷器 23 第2吸熱器 24 第2パルス管 42 第1バイパス通路 43 第2バイパス通路 56 基端側圧縮室 57 先端側圧縮室 58 バイパス通路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 野川 正文 愛知県刈谷市朝日町2丁目1番地 アイシ ン精機 株式会社内 (72)発明者 井上 龍夫 愛知県刈谷市朝日町2丁目1番地 アイシ ン精機 株式会社内

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 蓄冷器、吸熱器及びパルス管が順次直
    列に連結されて構成され、互いに直列に連結される複数
    のパルス管部と、 前記複数のパルス管部の一方端に連結され、作動ガスの
    圧力変動を発生する振動発生源とを備え、 少なくとも1つのパルス管部の膨張仕事を、他のパルス
    管部の圧縮仕事として回収したことを特徴とするパルス
    管冷凍機。
  2. 【請求項2】 一方端が作動ガスの圧力変動を発生す
    る振動発生器に連結され、第1蓄冷器、第1吸熱器及び
    第1パルス管が順次直列に連結されて構成される第1パ
    ルス管部と、 前記第1パルス管部の他方端に直列に連結され、第2蓄
    冷器、第2吸熱器及び第2パルス管が順次直列に連結さ
    れて構成される第2パルス管部とを備え、 前記第1パルス管部の膨張仕事を、前記第2パルス管部
    の圧縮仕事として回収したことを特徴とするパルス管冷
    凍機。
  3. 【請求項3】 請求項2に記載のパルス管冷凍機にお
    いて、 前記第1蓄冷器と前記第1パルス管との間、及び、前記
    第2蓄冷器と前記第2パルス管との間の少なくとも一方
    をバイパスするバイパス通路を設けたことを特徴とする
    パルス管冷凍機。
  4. 【請求項4】 請求項2に記載のパルス管冷凍機にお
    いて、 前記振動発生源は前記第1蓄冷器に連結される第1圧縮
    室と、該第1蓄冷器から遮断された第2圧縮室とを備
    え、 前記第2圧縮室と前記第1パルス管との間をバイパスす
    るバイパス通路を設けたことを特徴とするパルス管冷凍
    機。
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