JP2001087618A - Harmful gas removing apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は気体中の有害ガスを
除去する有害ガス除去装置に係り、特にクリーンルーム
中に流入する気体や循環気体中から有害ガスを除去する
有害ガス除去装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a harmful gas removing device for removing harmful gas in gas, and more particularly to a harmful gas removing device for removing harmful gas from gas flowing into a clean room or circulating gas.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、半導体製造工場などのクリーンル
ームにおいては、室内の清浄度を保持することが必要で
あり、クリーンルーム内における塵等の粒子はフィルタ
にて除去される。しかし、クリーンルーム内に流入する
外気に有害ガスが含まれていたり、クリーンルーム内に
おいて有害ガスが発生することがある。クリーンルーム
においては、有害ガスを製品の品質管理等の面から除去
しておく必要がある。2. Description of the Related Art Conventionally, in a clean room such as a semiconductor manufacturing factory, it is necessary to maintain the cleanliness of the room, and particles such as dust in the clean room are removed by a filter. However, the harmful gas may be contained in the outside air flowing into the clean room, or the harmful gas may be generated in the clean room. In a clean room, it is necessary to remove harmful gases from the viewpoint of product quality control and the like.
【０００３】従来において、クリーンルーム内における
有害ガスを除去するための装置としては、有害ガスを吸
着または分解することにより気体中から除去するケミカ
ルフィルタがある。このようなケミカルフィルタとして
は、例えば特開平１０−１７４８３８に示したものなど
がある。しかし、従来のケミカルフィルタにおいては有
害ガス除去効率が７割程度であり、また有害ガスを吸着
させたフィルタが産業廃棄物となってしまい、廃棄処理
において問題を有している。Conventionally, as a device for removing a harmful gas in a clean room, there is a chemical filter for removing a harmful gas from a gas by adsorbing or decomposing the harmful gas. As such a chemical filter, for example, there is one shown in Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-174838. However, a conventional chemical filter has a harmful gas removal efficiency of about 70%, and a filter adsorbing harmful gas becomes industrial waste, which has a problem in disposal treatment.
【０００４】そこで、有害ガス含有気体の有害ガス成分
を水分中に溶解させ、気体中から有害ガスを除去する有
害ガス除去装置が試案されている。前記有害ガス除去装
置においては、有害ガス含有気体に水接触エレメントを
通過させることにより、前記気体を加湿するとともに、
さらに水との気液接触で有毒ガスを除去する。さらに、
加湿した気体を冷却することにより水分を凝縮させ、凝
縮水中に有害ガス成分を取り込むことにより、気体中か
ら有害ガスを除去してクリーンルーム室内への流入を行
うことができる。Therefore, there has been proposed a harmful gas removing apparatus in which a harmful gas component of a harmful gas-containing gas is dissolved in water to remove the harmful gas from the gas. In the harmful gas removing device, by passing the harmful gas-containing gas through the water contact element, the gas is humidified,
In addition, toxic gas is removed by gas-liquid contact with water. further,
Water is condensed by cooling the humidified gas, and a harmful gas component is taken into the condensed water, so that the harmful gas can be removed from the gas and flow into the clean room.
【０００５】このような有害ガス除去装置においては、
有害ガスの除去効率を高めることができるとともに、ケ
ミカルフィルタのように産業廃棄物が発生する心配もな
い。このため、このような有害ガス除去装置にて有害ガ
ス除去を行うことが望まれている。In such a harmful gas removing device,
The removal efficiency of the harmful gas can be improved, and there is no fear that industrial waste is generated unlike a chemical filter. For this reason, it is desired that such a harmful gas removing device performs harmful gas removal.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記の有害ガ
ス除去装置により有害ガスを除去するにあたって、以下
のような問題があった。水接触エレメントでの気液接触
による有害ガスの除去効果は、夏と冬とでそれほどの差
はないが、夏場は冷却コイル（凝縮器）での水分凝縮に
よる有害ガスの除去効果が大きい。冬場は水分凝縮によ
る除去効果はほとんどないので、除去効率の季節変動を
防止するために、蒸気噴霧により有害ガス含有気体を過
飽和状態として水分凝縮させることで夏場と同様の除去
効果を得ることができる。しかし、有害ガス含有気体に
蒸気噴霧を行ったあとで水接触エレメントを通過させる
と、過飽和状態となるまでに必要な蒸気量が多大となっ
てしまう。蒸気量が多大であると、蒸気の生成に必要な
エネルギーやランニングコストが大きくなるため、有害
ガス除去におけるエネルギーやランニングコストも大き
くなってしまう。However, there are the following problems in removing the harmful gas by the above-mentioned harmful gas removal device. The effect of removing harmful gas by gas-liquid contact with the water contact element is not so different between summer and winter. However, in summer, the effect of removing harmful gas by condensation of water in the cooling coil (condenser) is large. In winter, there is almost no removal effect due to water condensation, so in order to prevent seasonal fluctuations in removal efficiency, the harmful gas-containing gas can be supersaturated by steam spray to condense water to obtain the same removal effect as in summer. . However, if the harmful gas-containing gas is passed through the water contact element after being subjected to steam spraying, the amount of steam required to reach a supersaturated state becomes large. If the amount of steam is large, the energy and running cost required for generating steam increase, so that the energy and running cost in removing harmful gas also increase.
【０００７】本発明の第１の目的は、除去効率を高く保
持できる有害ガス除去装置を提供することである。本発
明の第２の目的は、有害ガスの除去において必要な蒸気
を効率的に供給することで、有害ガス除去におけるエネ
ルギーやランニングコストの効率化を図ることである。[0007] A first object of the present invention is to provide a harmful gas removing apparatus capable of maintaining high removal efficiency. A second object of the present invention is to efficiently supply energy necessary for removing harmful gas, thereby improving energy and running cost in removing harmful gas.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明における有害ガス除去装置は、有害ガス含有
の気体を加湿する水接触エレメントを当該気体流路上流
側に設けるとともに、当該有害ガスを凝縮させる凝縮手
段を当該気体流路下流部に設け、蒸気を供給して有害ガ
スを加湿する蒸気供給手段を前記水接触エレメントと前
記凝縮手段との間に配置する構成とした。In order to achieve the above object, a harmful gas removing device according to the present invention is provided with a water contact element for humidifying a gas containing a harmful gas at an upstream side of the gas flow path, Condensing means for condensing gas is provided downstream of the gas flow path, and steam supplying means for supplying steam and humidifying the harmful gas is arranged between the water contact element and the condensing means.
【０００９】前記水接触エレメントを複数として、前記
複数の水接触エレメントの間に前記蒸気供給手段を配置
する構成とすることができる。前記水接触エレメントを
複数として、前記複数の水接触エレメントの後段に前記
蒸気供給手段を配置した構成とすることができる。A plurality of the water contact elements may be provided, and the steam supply means may be arranged between the plurality of water contact elements. It is possible to adopt a configuration in which a plurality of the water contact elements are provided, and the steam supply means is arranged at a stage subsequent to the plurality of water contact elements.
【００１０】[0010]
【作用】上記構成においては、有害ガス含有気体はまず
水接触エレメントにて加湿される。この状態の後に、蒸
気供給手段にて蒸気を供給することにより前記気体に過
飽和状態を形成させる。前記気体は、前記水接触エレメ
ントにてすでに加湿がなされているため、過飽和状態に
するための蒸気供給量が少なくてすむ。これにより、有
害ガスを除去する際にコストやエネルギーの低減を図る
ことができるとともに、有害ガスの除去効率も高めるこ
とができる。In the above construction, the harmful gas-containing gas is first humidified by the water contact element. After this state, a supersaturated state is formed in the gas by supplying steam with steam supply means. Since the gas is already humidified in the water contact element, a small amount of steam needs to be supplied for supersaturation. Thereby, cost and energy can be reduced when removing the harmful gas, and the removal efficiency of the harmful gas can be increased.
【００１１】上記構成により、水接触エレメントに通過
させた後に蒸気供給手段を通過させることにより、供給
蒸気量を低減することができるとともに、水接触エレメ
ントに再度通過させることにより、有害ガスを含んだ凝
縮水を除去し、さらに気液接触による有害ガスの水分へ
の溶解作用で気体中のガス除去効率を高めることができ
る。すなわち、上記構成においては蒸気供給手段の後段
の水接触エレメントにて、気体の冷却作用を及ぼすこと
ができる。これにより、気体中の水分を凝縮することが
でき、有害ガスを凝縮水中に溶解させて気体中より除去
することができる。このため、凝縮手段の機能が停止し
た場合においても、年間を通じて高いガス除去効率を保
つことができる。According to the above configuration, the amount of supplied steam can be reduced by passing through the steam supply means after passing through the water contact element, and by containing the harmful gas by passing through the water contact element again. The condensed water is removed, and the harmful gas dissolves into moisture by gas-liquid contact, whereby the gas removal efficiency in the gas can be increased. That is, in the above configuration, the cooling action of the gas can be exerted by the water contact element at the subsequent stage of the steam supply means. Thereby, the moisture in the gas can be condensed, and the harmful gas can be dissolved in the condensed water and removed from the gas. For this reason, even when the function of the condensing means stops, high gas removal efficiency can be maintained throughout the year.
【００１２】上記構成によれば、有害ガス含有気体が蒸
気供給手段を通過する前に、複数の水接触エレメントを
全て通過させることができる。ゆえに、蒸気供給手段の
前段において水接触エレメントによる水分の供給量を最
大化させることができる。このため、蒸気供給手段にて
供給する蒸気量を最小化させることができる。According to the above configuration, the harmful gas-containing gas can pass through all of the plurality of water contact elements before passing through the steam supply means. Therefore, it is possible to maximize the amount of water supplied by the water contact element before the steam supply means. For this reason, the amount of steam supplied by the steam supply means can be minimized.
【００１３】[0013]
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る有害ガス除去
装置１の実施形態について図面や表を用いて詳細に説明
する。図１は本実施形態における有害ガス除去装置１の
構造説明図である。図２は、本実施形態の有害ガス除去
装置１を配置するクリーンルーム３０の断面図である。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an embodiment of a harmful gas removing apparatus 1 according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings and tables. FIG. 1 is a structural explanatory view of the harmful gas removing device 1 in the present embodiment. FIG. 2 is a sectional view of a clean room 30 in which the harmful gas removing device 1 of the present embodiment is arranged.
【００１４】クリーンルーム３０は、外気を流入する空
調機２に接続している。また、天井３２の下面にファン
フィルタユニット３４を設けて、空調された空気３８を
室内に流入させる際に塵埃の除去をしている。また、ク
リーンルーム３０の床面３６は二重床となっており、室
内の空気３８を二重床３６の下面より放出できるように
なっている。このように、クリーンルーム３０内に空気
３８を循環することができるようになっている。上記の
ようなクリーンルーム３０においては、製品管理の面等
から室内空気の清浄度を保持することが必要である。こ
のため、クリーンルーム３０内に流入させる外気中の有
害ガスを除去する必要がある。本実施形態においては、
クリーンルーム３０内に外気を流入する空調機２に有害
ガス除去装置１を配置して、有害ガス含有気体である外
気から有害ガスを除去する場合について説明する。な
お、ここにいう有害ガスとしては、火山帯等に多く含有
されるＳＯｘ，Ｈ2Ｓや、海塩粒子中のＮａ、また薬品
蒸発時に発生するＨＦ，ＨＣｌ，ＮＨ3、工場排気に含
まれるＳＯｘ等が挙げられる。The clean room 30 is connected to the air conditioner 2 through which outside air flows. A fan filter unit 34 is provided on the lower surface of the ceiling 32 to remove dust when air-conditioned air 38 flows into the room. Further, the floor surface 36 of the clean room 30 is a double floor, and indoor air 38 can be discharged from the lower surface of the double floor 36. Thus, the air 38 can be circulated in the clean room 30. In the clean room 30 as described above, it is necessary to maintain the cleanness of the indoor air from the viewpoint of product management and the like. Therefore, it is necessary to remove the harmful gas in the outside air flowing into the clean room 30. In the present embodiment,
A case will be described in which the harmful gas removing device 1 is disposed in the air conditioner 2 that flows outside air into the clean room 30 to remove harmful gas from outside air that is a harmful gas-containing gas. The harmful gas referred to here is SOx, H 2 S, which is often contained in volcanic zones, Na in sea salt particles, HF, HCl, NH 3 generated during chemical evaporation, and factory exhaust. SOx and the like.
【００１５】本実施形態における有害ガス除去装置１
は、以下のような構成となっている。本実施形態におけ
る有害ガス除去装置１はガス除去装置本体部３を空調機
２内に組み込んで一体化させた構成となっている。ガス
除去装置本体部３は、複数の水接触エレメント４、６を
有している。図３は本実施形態における水接触エレメン
ト４，６の正面図および側面図である。本実施形態にお
ける水接触エレメント４，６は、本体フレーム２０内に
グラスファイバーでできた加湿モジュール２１を複数、
上下方向に配置している。前記加湿モジュール２１の上
部には、給水ヘッダ２２を介して給水ユニット２３を接
続し、当該給水ユニット２３により加湿モジュール２１
に水を常時流入させた構成としている。このように、加
湿モジュールに上部から滴下給水することにより、水接
触エレメント４，６を通過する気体に加湿を行うもので
ある。すなわち、加湿モジュールに供給される水が、水
接触エレメント４，６を通過する気体と熱交換すること
により水分が気化蒸発し、気体に加湿を行うことができ
る。なお、水接触エレメントの形状は、周囲に加湿を行
うことができるものであればこれに限られない。Hazardous gas removing device 1 in the present embodiment
Has the following configuration. The harmful gas removing device 1 in the present embodiment has a configuration in which the gas removing device main body 3 is integrated into the air conditioner 2 by being incorporated therein. The gas removing device main body 3 has a plurality of water contact elements 4 and 6. FIG. 3 is a front view and a side view of the water contact elements 4 and 6 in the present embodiment. The water contact elements 4 and 6 in the present embodiment include a plurality of humidifying modules 21 made of glass fiber in a main body frame 20.
They are arranged vertically. A water supply unit 23 is connected to the upper part of the humidification module 21 via a water supply header 22.
The structure is such that water always flows into the water. As described above, the gas passing through the water contact elements 4 and 6 is humidified by supplying water dropwise from above to the humidification module. That is, the water supplied to the humidification module exchanges heat with the gas passing through the water contact elements 4 and 6, whereby the water vaporizes and evaporates, so that the gas can be humidified. The shape of the water contact element is not limited to this as long as it can humidify the surroundings.
【００１６】本実施形態においては、前記水接触エレメ
ント４，６間に蒸気供給手段である蒸気噴霧器５を設け
ている。本実施形態においては、前記蒸気噴霧器５はガ
ス除去装置本体部３内における前記気体の流路の横断面
上に配置している。前記蒸気噴霧器５は、前記横断面に
複数本のパイプを一定間隔で配置している。そして、前
記パイプには、一定領域中に蒸気を噴射するノズル孔が
上下方向に沿って設けられている。前記蒸気噴霧器５
は、図示しない蒸気供給経路と接続されて、当該蒸気供
給経路により蒸気噴霧器５中のパイプ内に蒸気が供給さ
れる。そして、前記蒸気噴霧器５のパイプ中に設けてあ
るノズル孔より、一定領域に蒸気を噴霧することができ
る。本実施形態においては、それぞれのノズル孔を所定
の間隔で設けている。これにより、気体が流入する空間
全体に均一的に蒸気を供給することができる。本実施形
態においては、蒸気噴霧器５への蒸気供給経路には切り
替えバルブを設けており、季節に応じて（気体の湿度に
応じて）供給経路の開閉を行い、蒸気の供給量の調整を
行わせるものである。すなわち、夏場などの湿潤時に
は、蒸気噴霧器５の蒸気供給経路の流路を閉じて、蒸気
の供給を行わずに有害ガス除去を行わせる。そして冬場
などの乾燥時においては、蒸気供給経路の流路を開にし
て、蒸気噴霧器５にて蒸気を供給して有毒ガス含有気体
に加湿を行う。このようにすることで、有毒ガス含有気
体を季節によらず一定に過飽和状態とさせることがで
き、除去効率の変動を防止して一定化させることができ
る。また、本実施形態においては、気体が過飽和状態と
なるまで蒸気の供給を行っている。これにより、詳細は
後述するが有害ガスの水分中への溶解を促進することが
でき、ガス除去効率を著しく向上させることができる。In the present embodiment, a steam sprayer 5 as a steam supply means is provided between the water contact elements 4 and 6. In the present embodiment, the steam atomizer 5 is disposed on a cross section of the gas flow path in the gas removing device main body 3. In the steam atomizer 5, a plurality of pipes are arranged at regular intervals in the cross section. The pipe is provided with a nozzle hole for injecting steam into a certain area along a vertical direction. The steam atomizer 5
Is connected to a steam supply path (not shown), and steam is supplied into a pipe in the steam sprayer 5 by the steam supply path. Then, steam can be sprayed to a certain area from a nozzle hole provided in a pipe of the steam sprayer 5. In the present embodiment, the respective nozzle holes are provided at predetermined intervals. This makes it possible to uniformly supply steam to the entire space into which the gas flows. In the present embodiment, a switching valve is provided in the steam supply path to the steam sprayer 5, and the supply path is opened and closed according to the season (in accordance with the humidity of the gas) to adjust the supply amount of steam. It is to make it. That is, at the time of wetness in summer or the like, the flow path of the steam supply path of the steam sprayer 5 is closed, and the harmful gas is removed without supplying steam. Then, during drying in winter or the like, the flow path of the steam supply path is opened, and steam is supplied by the steam sprayer 5 to humidify the toxic gas-containing gas. By doing so, the toxic gas-containing gas can be kept in a supersaturated state irrespective of the season, and fluctuations in the removal efficiency can be prevented and made constant. In the present embodiment, the supply of steam is performed until the gas becomes supersaturated. Thereby, although the details will be described later, the dissolution of the harmful gas in moisture can be promoted, and the gas removal efficiency can be significantly improved.
【００１７】前記ガス除去装置本体部３を組み込んだ空
調機２の構成について述べる。前記空調機２には、ガス
除去装置本体部３の前段側においてプレフィルタ７が、
そしてその後段に中フィルタ８が配置してある前記気体
中の塵埃を捕集可能としている。本実施形態において
は、塵埃の捕集効率を高めるために、プレフィルタ７よ
りも中フィルタ８の網目を細かくしている。これによ
り、プレフィルタ７にて比較的大きな塵埃を、中フィル
タ８において比較的小さな塵埃を捕集できるようになっ
ている。The configuration of the air conditioner 2 incorporating the gas removing device main body 3 will be described. In the air conditioner 2, a pre-filter 7 is provided on the front stage side of the gas removing device main body 3,
Then, dust in the gas, in which the middle filter 8 is disposed at the subsequent stage, can be collected. In the present embodiment, the mesh of the middle filter 8 is made finer than the pre-filter 7 in order to increase the dust collection efficiency. Thereby, relatively large dust can be collected by the pre-filter 7 and relatively small dust can be collected by the middle filter 8.
【００１８】そして、ガス除去装置本体部３の後段側に
おいては凝縮手段である冷却コイル９が配置してある。
前記冷却コイル９により、前記気体を冷却して前記気体
中の水分を凝縮させる構成となっている。本実施形態に
おける冷却コイル９は、パイプ中に冷水を流入して、周
囲の気体を冷却することにより気体中の水分を凝縮させ
るものである。前記パイプはコイル状に巻いた形状をな
しており、前記気体との接触面積を増大させることによ
り凝縮効率を高めるようにしている。なお、冷却コイル
９の形状としては凝縮効率を高める形状とすることが望
ましく、例えばつづら折り状に屈曲させた形状として凝
縮効率を高めるものとしてもよい。また、凝縮手段とし
ては、気体中の水分を凝縮させるものであれば冷却コイ
ル９に限られないことはもちろんである。Further, a cooling coil 9 as a condensing means is arranged on the downstream side of the gas removing device main body 3.
The cooling coil 9 cools the gas to condense the moisture in the gas. The cooling coil 9 in the present embodiment is for condensing moisture in the gas by flowing cold water into the pipe and cooling the surrounding gas. The pipe has a coiled shape, and the condensation area is increased by increasing the contact area with the gas. Note that the shape of the cooling coil 9 is desirably a shape that enhances the condensation efficiency. For example, the cooling coil 9 may be bent in a zigzag shape to enhance the condensation efficiency. The condensing means is not limited to the cooling coil 9 as long as it condenses moisture in the gas.
【００１９】冷却コイル９の後段にはファン１０が設け
てあり、有害ガスが除去された気体を当該ファン１０に
より装置の後方に送り出しを行うのである。また、ファ
ン１０の後方にはＨＥＰＡフィルタ１１が配置され、当
該ＨＥＰＡフィルタ１１によって微粒子を捕集してクリ
ーンルーム３０室内への流入を防止させている。A fan 10 is provided at a stage subsequent to the cooling coil 9, and the gas from which the harmful gas has been removed is sent to the rear of the apparatus by the fan 10. Further, a HEPA filter 11 is disposed behind the fan 10, and the HEPA filter 11 collects fine particles to prevent the fine particles from flowing into the clean room 30.
【００２０】以上のように構成された本実施形態におけ
る有害ガス除去装置１の作用は、以下のようになる。有
毒ガスを含有した気体（外気）は空調機２を介してクリ
ーンルーム３０内に流入する場合、前記気体はまずプレ
フィルタ７、中フィルタ８を通過する。前記プレフィル
タ７や中フィルタ８により、気体中の塵埃が除去され
る。そして、前記気体は水接触エレメント４を通過す
る。このとき、前記気体は水接触エレメント４を通過す
ることにより加湿される。また、有害ガス成分の一部は
水接触エレメント４中の水分中に溶解し、前記気体中か
ら除去される。The operation of the harmful gas removing apparatus 1 according to the present embodiment having the above-described structure is as follows. When a gas containing toxic gas (outside air) flows into the clean room 30 via the air conditioner 2, the gas first passes through the pre-filter 7 and the middle filter 8. Dust in the gas is removed by the pre-filter 7 and the middle filter 8. Then, the gas passes through the water contact element 4. At this time, the gas is humidified by passing through the water contact element 4. Part of the harmful gas component is dissolved in the water in the water contact element 4 and is removed from the gas.
【００２１】本実施形態の有毒ガス除去装置１は、前記
気体に蒸気を供給する蒸気噴霧器５を前記水接触エレメ
ント４の後段に配置してある。このため、前記気体は水
接触エレメント４により飽和点近くまで加湿されてい
る。従って、前記気体を過飽和状態とするための蒸気量
を、前段に配置した場合に比べて大きく減少させること
ができる。ゆえに、蒸気を生成するのに必要なエネルギ
ーやランニングコストを低減することができる。本実施
形態においては、季節に応じて蒸気噴霧器５への蒸気供
給経路の開閉を行い、蒸気の供給量を調整させている。
上記したように、気体の乾燥している冬場においては蒸
気供給経路のバルブを開いて蒸気を供給して加湿を行
う。また、気体中の湿度が十分高い夏場においてはバル
ブを閉じて蒸気の供給を停止する。これにより、年間を
通じて高い有毒ガス除去効率を保持することができると
ともに、蒸気を効率的に使用することができる。また、
本実施形態においては、冬場において気体が過飽和状態
となるまで蒸気を供給する。これにより有毒ガスの溶解
を促進することができ、凝縮効率をさらに高めることが
できる。従って、ガス除去効率を一層高めることができ
る。In the toxic gas removing apparatus 1 of the present embodiment, a steam atomizer 5 for supplying steam to the gas is disposed at a stage subsequent to the water contact element 4. For this reason, the gas is humidified by the water contact element 4 to near the saturation point. Therefore, the amount of steam for bringing the gas into a supersaturated state can be greatly reduced as compared with the case where the gas is disposed in the preceding stage. Therefore, it is possible to reduce energy and running cost required for generating steam. In the present embodiment, the steam supply path to the steam atomizer 5 is opened and closed according to the season to adjust the steam supply amount.
As described above, in winter when the gas is dry, the valve of the steam supply path is opened to supply steam and humidify. In summer, when the humidity in the gas is sufficiently high, the supply of steam is stopped by closing the valve. Thereby, high toxic gas removal efficiency can be maintained throughout the year, and steam can be used efficiently. Also,
In the present embodiment, steam is supplied until the gas becomes supersaturated in winter. Thereby, the dissolution of the toxic gas can be promoted, and the condensation efficiency can be further increased. Therefore, the gas removal efficiency can be further improved.
【００２２】本実施形態においては、蒸気噴霧器５にて
蒸気を供給した後においても、水接触エレメント６を通
過させている。前記気体を前記水接触エレメント６に通
過することにより、前記気体にさらなる加湿を行うこと
ができる。本実施形態においては、上記したように後段
の水接触エレメント６通過前に有毒ガス含有気体は過飽
和状態となっている。このため、水接触エレメント６の
通過時において過飽和状態となっていた気体中の水分
が、気体中の微粒子を核として凝縮し凝縮水となる。こ
のとき、有害ガスが凝縮水中に取り込まれることによ
り、有害ガスの除去を行わせることができるのである。
このように、本実施形態においては、後段の水接触エレ
メント６に、気体への加湿作用や気液接触によるガス除
去作用のみならず、気体を冷却することによる凝縮手段
としての作用も有している。このため、後段に配置した
冷却手段である冷却コイルが冬期に機能しないような場
合でも、冷却効率を高く保持させることができる。ま
た、前記気体中に全体的に加湿するので、供給する水分
の分布を均一化することができる。このような状態にす
ることにより、前記気体に均一的に加湿することがで
き、有害ガス成分の溶解を均等化させることができる。In this embodiment, even after the steam is supplied by the steam atomizer 5, the steam is passed through the water contact element 6. Passing the gas through the water contact element 6 can further humidify the gas. In this embodiment, as described above, the toxic gas-containing gas is in a supersaturated state before passing through the water contact element 6 in the subsequent stage. For this reason, the water in the gas that has been in a supersaturated state when passing through the water contact element 6 is condensed by using the fine particles in the gas as nuclei to become condensed water. At this time, the harmful gas is taken into the condensed water, so that the harmful gas can be removed.
As described above, in the present embodiment, the water contact element 6 at the subsequent stage has not only a humidifying action on gas and a gas removing action by gas-liquid contact, but also an action as a condensing means by cooling the gas. I have. For this reason, even when the cooling coil, which is the cooling means disposed at a later stage, does not function in winter, the cooling efficiency can be kept high. Further, since the entire gas is humidified, the distribution of the supplied water can be made uniform. In such a state, the gas can be uniformly humidified, and the harmful gas components can be uniformly dissolved.
【００２３】このように前記気体中を過飽和状態にした
後、冷却手段である冷却コイル９においても前記気体を
冷却して、前記気体中の水分を凝縮して液化させる。上
記したように、前記気体中の有害ガス成分は水分凝縮時
に水分中に溶解するため、前記気体中から有害ガス成分
を水分とともに除去することができる。そして、前記気
体はファン１０により出口側に送り出され、ＨＥＰＡフ
ィルタ１１にて微粒子を捕集されて清浄化され、クリー
ンルーム３０室内へ導入される。以上のように有害ガス
の除去を行うことにより、年間を通じて前記気体中の有
害ガス除去効率を高く保つことができるのである。After the gas is thus supersaturated, the gas is also cooled in the cooling coil 9 as cooling means, and the water in the gas is condensed and liquefied. As described above, the harmful gas component in the gas is dissolved in the water when the water condenses, so that the harmful gas component can be removed from the gas together with the water. Then, the gas is sent out to the outlet side by the fan 10, the fine particles are collected and cleaned by the HEPA filter 11, and then introduced into the clean room 30 room. By removing the harmful gas as described above, the efficiency of removing the harmful gas in the gas can be kept high throughout the year.
【００２４】本実施形態におけるガス除去装置１のガス
除去効率について、表１を用いて説明する。表１は、有
害ガス除去装置におけるそれぞれのガス除去効率状況を
示した比較表である。The gas removal efficiency of the gas removal device 1 according to this embodiment will be described with reference to Table 1. Table 1 is a comparison table showing the respective gas removal efficiency states in the harmful gas removal device.
【表１】 [Table 1]
【００２５】表１に示したように、本実施形態のガス除
去装置においては、ガス除去効率が８０〜９０％であ
り、ケミカルフィルタにおけるガス除去効率の７０〜８
０％に比して上昇させることができる。また、気体を過
飽和状態にするのに必要な蒸気量は、試作品に比べて４
０％減少させることができる。このため、蒸気を生成す
るのに費やしていたコストを低減することができ、また
エネルギーを節約することができる。すなわち、表１に
示したように試作品と本実施形態のガス除去装置を同一
のクリーンルームに設置した場合において、年間に必要
な蒸気量は従来２００００ｋｇなのに対して、本実施形
態においては、１１４００ｋｇであり、年間を通じて、
８６００ｋｇもの蒸気量の低減を行うことが可能であ
る。As shown in Table 1, in the gas removing device of the present embodiment, the gas removing efficiency is 80 to 90%, and the gas removing efficiency of the chemical filter is 70 to 8%.
It can be increased compared to 0%. In addition, the amount of steam required to bring the gas into a supersaturated state is 4 times larger than that of the prototype.
It can be reduced by 0%. For this reason, the cost spent for producing steam can be reduced, and energy can be saved. That is, as shown in Table 1, when the prototype and the gas removing apparatus of the present embodiment are installed in the same clean room, the amount of steam required per year is conventionally 20,000 kg, whereas in the present embodiment, it is 11400 kg. Yes, throughout the year,
It is possible to reduce the steam amount by as much as 8600 kg.
【００２６】このように、本実施形態のガス除去装置１
においては、有害ガス含有気体は水接触エレメントにて
加湿された後に、蒸気供給手段にて必要量の蒸気を供給
することにより過飽和状態を形成させるため、蒸気供給
量が少なくてすむ。このため、有害ガスを除去する際に
コストやエネルギーの低減を図ることができるととも
に、有害ガスの除去効率も高めることができる。As described above, the gas removing device 1 of the present embodiment
In the method described above, the harmful gas-containing gas is humidified by the water contact element, and then a required amount of steam is supplied by the steam supply means to form a supersaturated state. Therefore, cost and energy can be reduced when removing the harmful gas, and the harmful gas removal efficiency can be increased.
【００２７】本実施形態においては、２つの水接触エレ
メントの間に蒸気噴霧器を配置した場合について説明し
たが、水接触エレメントの数はこれに限られない。水接
触エレメントが単数の場合には、当該エレメントの後段
に蒸気噴霧器を配置することにより実施形態と同様の作
用効果を得ることができる。また、本体を空調機に一体
的に取付ける構成としたが、ガス除去装置本体部内に凝
縮手段である冷却コイルを設けて、空調機と独立に配置
してもよい。また、実施形態においては、前記気体の流
入経路にガス除去装置を組み込む事により、前記気体中
の有害ガスを除去してクリーンルーム内に流入させる場
合について説明したが、クリーンルーム中を循環した空
気をガス除去装置に導入することにより、クリーンルー
ム内にて発生した有害ガスを取り除くことができる。ま
た、蒸気供給手段を複数の水接触エレメントの後段に配
置すれば、供給する蒸気量をさらに低減させることがで
きる。In this embodiment, the case where the steam atomizer is arranged between two water contact elements has been described, but the number of water contact elements is not limited to this. When a single water contact element is used, the same operation and effect as in the embodiment can be obtained by disposing a steam atomizer at a stage subsequent to the element. Further, the main body is integrally attached to the air conditioner. However, a cooling coil serving as a condensing means may be provided in the main body of the gas removing device, and may be arranged independently of the air conditioner. Further, in the embodiment, a case has been described in which a harmful gas in the gas is removed and incorporated into the clean room by incorporating a gas removing device in the gas inflow path. By introducing the gas into the removal device, harmful gas generated in the clean room can be removed. Further, if the steam supply means is arranged at a stage subsequent to the plurality of water contact elements, the amount of steam to be supplied can be further reduced.
【００２８】また、本実施形態のガス除去装置はクリー
ンルームに好適に使用することができるが、適用対象は
クリーンルームに限らず、前記気体中からの有害ガスを
除去する場合、また室内にて発生した有害ガスを除去す
る場合にも好適に使用することができる。Further, the gas removing apparatus of the present embodiment can be suitably used in a clean room, but the application is not limited to the clean room, and when the harmful gas is removed from the gas, it is generated in the room. It can also be suitably used when removing harmful gases.
【００２９】[0029]
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る有害
ガス除去装置によれば、有害ガス含有気体は水接触エレ
メントにて加湿された後に、蒸気供給手段にて必要量の
蒸気を供給することにより過飽和状態を形成させるた
め、蒸気供給量が少なくてすむ。このため、有害ガスを
除去する際にコストやエネルギーの低減を図ることがで
きるとともに、有害ガスの除去効率も高めることができ
る。As described above, according to the harmful gas removing apparatus according to the present invention, the harmful gas-containing gas is humidified by the water contact element, and then the required amount of steam is supplied by the steam supply means. As a result, a supersaturated state is formed, so that a small amount of steam is supplied. Therefore, cost and energy can be reduced when removing the harmful gas, and the harmful gas removal efficiency can be increased.
【００３０】また、蒸気を供給した水接触エレメントに
通過させた後に蒸気供給手段を通過させることにより、
供給蒸気量を低減することができるとともに、水接触エ
レメントに再度通過させることにより、有害ガスを含ん
だ凝縮水を除去し、さらにエレメントの水との気液接触
によりガス除去効率を高め、また気体中に供給される水
分を均等化させることができる。また、有害ガス含有気
体に複数の水接触エレメントを通過させることにより、
水接触エレメントが単数の場合に比して水分の供給量を
増大させることができる。このため、蒸気供給手段にて
供給する蒸気量を相対的に減少させることができる。Further, by passing the steam through the water contact element to which the steam has been supplied, and then passing through the steam supply means,
The amount of steam supplied can be reduced, and condensed water containing harmful gas is removed by passing through the water contact element again, and gas-liquid contact of the element with water improves gas removal efficiency. The water supplied therein can be equalized. Also, by passing the harmful gas-containing gas through a plurality of water contact elements,
The supply amount of water can be increased as compared with the case where a single water contact element is provided. For this reason, the amount of steam supplied by the steam supply means can be relatively reduced.
【図１】本発明に係る有害ガス除去装置の実施形態に係
る断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view according to an embodiment of a harmful gas removing device according to the present invention.
【図２】本発明の有害ガス除去装置を用いるクリーンル
ームの概略断面図である。FIG. 2 is a schematic sectional view of a clean room using the harmful gas removing device of the present invention.
【図３】本発明に係る有害ガス除去装置における水接触
エレメントの正面図である。FIG. 3 is a front view of a water contact element in the harmful gas removing device according to the present invention.
１ 有害ガス除去装置 ２ 空調機 ３ 有害ガス除去装置本体 ４ 水接触エレメント ５ 蒸気噴霧器 ６ 水接触エレメント ７ プレフィルタ ８ 中フィルタ ９ 冷却コイル １０ ファン １１ ＨＥＰＡフィルタ ２０ 本体フレーム ２１ 加湿モジュール ２２ 給水ヘッダ ２３ 給水ユニット ３０ クリーンルーム ３２ 天井 ３４ ファンフィルタユニット ３６ 二重床 ３８ 空気の流れ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Hazardous gas removal device 2 Air conditioner 3 Hazardous gas removal device main body 4 Water contact element 5 Steam atomizer 6 Water contact element 7 Pre-filter 8 Medium filter 9 Cooling coil 10 Fan 11 HEPA filter 20 Main frame 21 Humidifying module 22 Water supply header 23 Water supply Unit 30 Clean room 32 Ceiling 34 Fan filter unit 36 Double floor 38 Air flow
Claims (3)
レメントを当該気体流路上流側に設けるとともに、前記
有害ガス成分を凝縮させる凝縮手段を前記気体流路下流
部に設け、蒸気を供給して前記気体を加湿する蒸気供給
手段を前記水接触エレメントと前記凝縮手段との間に配
置したことを特徴とする有害ガス除去装置。1. A water contact element for humidifying a gas containing a harmful gas is provided on an upstream side of the gas flow path, and a condensing means for condensing the harmful gas component is provided on a downstream portion of the gas flow path to supply steam. A harmful gas removing device, wherein steam supplying means for humidifying the gas is disposed between the water contact element and the condensing means.
記複数の水接触エレメントの間に前記蒸気供給手段を配
置したことを特徴とする請求項１に記載の有害ガス除去
装置。2. The harmful gas removing apparatus according to claim 1, wherein a plurality of said water contact elements are provided, and said steam supply means is arranged between said plurality of water contact elements.
記複数の水接触エレメントの後段に前記蒸気供給手段を
配置したことを特徴とする請求項１に記載の有害ガス除
去装置。3. The harmful gas removing apparatus according to claim 1, wherein a plurality of said water contact elements are provided, and said steam supply means is arranged at a stage subsequent to said plurality of water contact elements.
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- 1999-09-27 JP JP27325099A patent/JP3747708B2/en not_active Expired - Fee Related
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