JP2001074759A

JP2001074759A - 電磁超音波を用いた非接触型流速・流量測定方法

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Publication number: JP2001074759A
Application number: JP25136899A
Authority: JP
Inventors: Masahiro Nishikawa; 雅弘西川
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1999-09-06
Filing date: 1999-09-06
Publication date: 2001-03-23

Abstract

(57)【要約】【課題】配管中を流動する流体の流速や流量を配管の
外側から非接触状態で測定できる方法を開発する。【解決手段】本発明に係る電磁超音波を用いた非接触
型流速測定方法は、流体８が流通する配管６の外周面に
非接触状に電磁超音波発信器２を近接して配置し、この
電磁超音波発信器２により配管又は流体中に超音波を生
起し、流体中を伝播してきた超音波エネルギーにより流
体及び配管を振動させ、この振動する配管の外側に非接
触状に超音波検出器４を配置し、この超音波検出器から
配管又は流体中に磁場を付与すると共にこの磁場を前記
超音波の振動により変動させ、この変動磁場を前記超音
波検出器４により検出して超音波到達点Ｐを検知し、流
体が静止状態にあるときの静止到達点Ｏと流体が流動状
態にあるときの流動到達点の間隔ΔＬ並びに超音波伝達
時間τから流体の流速ｕをｕ＝ΔＬ／τを通して測定す
ることを特徴としている。本構成により、配管外から非
接触で流体の流速と流量を測定できる。又、非接触のた
め、流体の温度や配管の振動などの影響を受けずに精密
測定が可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は配管内を流動する流
体の流速と流量の測定方法に関し、更に詳細には、電磁
超音波を用いることにより、配管の外側に超音波発信器
と超音波検出器を非接触状態に配置して流速と流量を測
定できるようにした電磁超音波を用いた非接触型流速流
量測定方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】超音波を用いた配管内を流動する流体の
流速測定装置としては、特開平９−４３０１７号公報の
図面にみられるように、配管内部に一対の圧電式超音波
トランスデューサを、配管軸に対して角度θだけ傾斜さ
せて配置するようにした構成のものが、従前から開発さ
れている。一方から超音波を発信し、他方で検出してそ
の伝達時間τを測定する。双方向の伝達時間τ₁、τ₂
を測定することにより、最終的に流体の流速Ｖは、Ｖ＝
Ｌ（１／τ₁−１／τ₂）２ｃｏｓθにより算出され
る。ここで、Ｌは両トランスデューサ間の距離である。
また、配管の断面積Ｓを掛けることにより、流量Ｑは、
Ｑ＝ＳＶとして導出される。

【０００３】この方式は、流体が常温常圧であり且つ化
学的に中性の流体である場合には、流体の流速流量測定
に利用することができるが、流体条件が極端になった場
合には利用することができなくなる。例えば、流体が強
酸溶液や腐食性ガスの場合には、圧電素子が物理化学的
に安定した動作をしなくなるし、高温条件下や極低温条
件下においては、誤作動を起すことになる。

【０００４】そこで、上記方式に代わるものとして、圧
電式トランスデューサを配管の外周面に密着させる方式
が開発された。例えば、特開平９−１３８１４９号公報
には、超音波トランスデューサを配管外に斜交状に配置
する構成とした超音波流量計の図面が示されている。

【０００５】しかし、圧電式超音波トランスデューサ
は、配管の外周面にトランスデューサを密着しなけれ
ば、超音波が配管内部の流体に伝達しない。そのため、
伝達効率を上げる上で接触媒質が不可欠のものとなり、
前記特開平９−１３８１４９号公報では、この接触媒質
を超音波伝達子と呼んでいる。

【０００６】この方式では、超音波トランスデューサが
直接に流体と接触しないから、流体が強酸溶液や腐食性
ガスであっても、流速測定には問題はない。ところが、
例えば４００℃の高温流体や−１９６℃の液体窒素等の
流速測定に於いては、配管の表面温度が直接に圧電式超
音波トランスデューサに伝達されるため、その正常な動
作機能が破壊されてしまうことになる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、配管外から
流体の流速を測定することは多くの産業分野から要請さ
れている。例えば、原子力工学における増殖炉では、約
４００℃の液体ナトリウムが作動流体として用いられて
いるが、配管外からの安全確実な液体ナトリウムの流速
測定が必須の課題となっている。

【０００８】しかし、従前の超音波トランスデューサを
用いる方式は、実際には圧電素子による超音波の発生と
検出であるため、配管外表面への密着剤として接触媒質
が必要となり、長期の測定環境には適さない。又、圧電
素子を接着するとしても、高温等の厳しい環境下で且つ
振動疲労が重なるようなケースに対しては、安定した計
測実績のないのが現状である。更に、極端な環境下では
圧電素子を交換すること自体が困難となり、補修を容易
に行なえないと云う問題がある。

【０００９】本発明は、従前の超音波を用いた流速流量
の測定に於ける上述の如き問題の解決を課題とするもの
であり、超音波発信器と超音波検出器を配管の外周面に
非接触状態に配置して、配管内の流体の流速・流量を高
精度で測定できるようにした非接触型流速流量測定方法
を提供することを、発明の第１目的とするものである。
又、本発明は、超音波発振器や超音波検出器を配管と非
接触にすることにより、機械的振動や温度等の極端な悪
条件が発振器や検出器へ直接に伝達しないようにして、
安定した流速・流量の測定を可能とした非接触型流速流
量測定方法を提供することを、発明の第２目的とするも
のである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、流体
が流通する配管の外周面に非接触状に電磁超音波発信器
を近接して配置し、この電磁超音波発信器により配管又
は流体中に超音波を生起し、流体中を伝播してきた超音
波エネルギーにより流体及び配管を振動させ、この振動
する配管の外側に非接触状に超音波検出器を配置し、配
管又は流体中の磁場を前記超音波の振動により変動さ
せ、この変動磁場を前記超音波検出器により検出して超
音波到達点を検知し、流体が静止状態にあるときの静止
到達点と流体が流動状態にあるときの流動到達点の間隔
ΔＬ並びに超音波伝達時間τから流体の流速ｕをｕ＝Δ
Ｌ／τを通して測定することを特徴としている。

【００１１】請求項２の発明は、流体が流通する配管の
外周面に非接触状に近接させて電磁超音波発信器を配置
し、この電磁超音波発信器の上流側および下流側位置に
超音波検出器を配管の外周面に非接触状に配置し、前記
電磁超音波発信器により配管又は流体中に超音波を生起
し、流体中を伝播してきた超音波エネルギーにより流体
及び配管を振動させ、配管又は流体中の磁場を前記超音
波の振動により変動させ、この変動磁場を前記超音波検
出器により検出して上流側超音波到達点と下流側超音波
到達点を検知し、電磁超音波発信器を基準点として前記
両到達点までの距離、即ち、上流側距離Ｌ_uと下流側距
離Ｌ_d、並びに超音波伝達時間τから流体の流速ｕをｕ
＝（Ｌ_d−Ｌ_u）／２τを通して測定することを特徴と
している。

【００１２】請求項３の発明は、電磁超音波発信器と超
音波検出器が配管の直径方向に対向して配置される請求
項１記載の非接触型流速測定方法である。

【００１３】請求項４の発明は、電磁超音波発信器から
第１次干渉超音波が到達する位置に上流側超音波検出器
と下流側超音波検出器を配置した請求項２記載の非接触
型流速測定方法である。

【００１４】請求項５の発明は、請求項１乃至４により
測定された流速に配管の断面積を掛けることにより流体
の流量を算出する非接触型流量測定方法である。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施の形態を説明する。図１は本発明に係る非接触型流速
測定方法の第１実施形態の概要説明図である。直径Ｄの
配管６の中を流体８が流速ｕで矢印方向に流動してい
る。配管６の外周面近傍には、電磁超音波発信器２と超
音波検出器４が配管の直径方向に非接触状態で配置され
ている。

【００１６】流速ｕの測定方法を簡単に説明すると、電
磁超音波発信器２が超音波を発信してから時間τ後に超
音波検出器４がその超音波を検出したとする。もし流体
８が静止していれば点線で表わす静止到達点Ｏに到達す
るが、実際には媒質である流体８が流動しているため、
実線の流動到達点Ｐに到達する。間隔ＯＰをΔＬで表わ
すと、ΔＬはｕτに等しいはずであり、これから流速ｕ
はｕ＝ΔＬ／τで算出できる。従って、この方法では、
間隔ΔＬおよび超音波伝達時間τを測定して流速ｕを導
出する。

【００１７】図２は電磁超音波発信器２の斜視図であ
り、複数の永久磁石２ａを磁極を相互に反転させながら
組み合わせ、その上面にコイル２ｂを蛇行して構成され
ている。間隔ｄは磁極の反復単位を与え、２本の同極磁
石間の間隔である。磁石の本数は任意に選択でき、最終
的に、横Ｗ、縦Ｋ、高さＨのサイズに構成される。

【００１８】図３は電磁超音波発信器２の発信機構の説
明図である。本図では、図２に示す電磁超音波発信器２
が逆転して配管６の近傍に非接触に配置されている。コ
イル２ｂに高周波電流（例えば７００〜２００ｋＨｚ）
を記号方向に流すと、配管６内に図示方向に渦電流が流
れる。この渦電流は磁石２ａの磁力線Ｍと相互作用し
て、実線矢印方向にローレンツ力Ｆが作用する。このロ
ーレンツ力Ｆが配管内の金属に縦波超音波を生起し、高
周波電流の周波数と同じ振動数の超音波が発生する。

【００１９】このようにして発生した超音波はＬ波（Ｌ
ｏｎｇｉｔｕｄｉｎａｌＷａｖｅ）である。本発明で
使用する電磁超音波発信器は如何なる構成のものであっ
てもよいが、発生する超音波は流体８を伝播する必要性
から縦波が選ばれる。また、電磁超音波発信器は配管６
と非接触であっても近接さえしていれば、超音波を流体
８に伝達することができる。

【００２０】図３では配管６の金属部に超音波を誘起す
る場合を示したが、流体に超音波を直接誘起することも
できる。流体８が液体金属の場合には、渦電流を流体中
に生起できる。例えば、原子力工学の増殖炉で用いられ
る液体ナトリウムは高い電気伝導性を有しているため、
渦電流が流体中に生起し、流体に直接、超音波を誘起で
きる。

【００２１】図４は超音波の伝播方向の説明図である。
電磁超音波発信器２の磁石２ａの個々から超音波が発生
していると考えると、超音波の干渉により、超音波は特
定方向にのみ射出されることになる。角度θ方向に射出
される２本の超音波の位相差ΔはΔ＝ｄｓｉｎθで与え
られ、これが波長λの整数倍のときに強め合い、ｄｓｉ
ｎθ＝ｎλが成立する角度θ方向にのみ超音波は伝播し
てゆく。

【００２２】従って、ｎ＝０ではθ＝０となり、第０次
干渉超音波は直径方向に伝播する。ｎ＝１ではｄｓｉｎ
θ＝λ、即ちθ＝ｓｉｎ^-1（λ／ｄ）の角度方向に第１
次干渉超音波が伝播する。更に、θ＝ｓｉｎ^-1（ｎλ／
ｄ）で与えられる角度方向に第ｎ次干渉超音波が伝播
し、それ以外の方向では超音波が弱め合って伝播しな
い。

【００２３】図５は図１の要部拡大図で、第０次干渉超
音波の検出状態図である。超音波検出器４は複数の検出
器ユニット４ａを列設して構成されたアレイ型検出器で
ある。このアレイ型検出器では、到達点の検出はデジタ
ル的に行なわれる。例えば、超音波は多少拡がっている
ため、静止到達点Ｏは複数の検出器ユニット４ａで検出
されるが、その検出出力のピーク値を与える検出器ユニ
ット４ａの位置が静止到達点Ｏを与える。流動到達点Ｐ
も同様に決定され、間隔ＯＰ＝ΔＬは検出器ユニット何
個分の間隔として定められる。

【００２４】一般に、音速は流速に比べ非常に速いた
め、ΔＬは小さな値となる。従来型の検出素子では検出
面積が大きいためΔＬを分解受信することが困難であっ
た。本発明者は、既に非接触型で超高分解能の検出素子
を開発し、出願している。この検出素子は超薄型の検出
器ユニット４ａであり、これを用いることによりΔＬを
高精度に測定することが可能になった。

【００２５】超音波検出器４としては前記アレイ型検出
器であってもよいが、１つの検出器ユニット４ａを配管
軸方向に移動できるようにしてもよい。つまり、検出器
ユニット４ａを掃引して検出強度の最大点を流動到達点
Ｐとする。その他、超音波検出器４には種々の型式のも
のが利用できる。

【００２６】図６は検出器ユニット４ａの一例の構成図
である。コ字型のコアー４ｂの先端には磁石４ｃ、４ｃ
が設けられ、また中央部には検出コイル４ｄがコアーに
巻回されている。今、配管６が超音波により垂直矢印方
向に動いたとすると、配管内に渦電流が生起する。この
渦電流による磁力線がコアー４ｂ内に侵入して検出コイ
ル４ｄにより超音波が検出される。コアーギャップ４ｅ
の大きさが超音波の検出分解能を与える。尚、図６では
磁石４ｃをコアー４ｂの先端に設けるようにしている
が、仮に磁石４ｃがなかったとしても、流体８中に磁気
があれば、これ等の磁気により渦電流が生起して超音波
を検出することができる。

【００２７】この検出器ユニット４ａについては図示の
構成に限られず、既に本発明者が公開している特願平１
０−３６３４５３号、特願平１０−３６３４５４号、特
願平１１−２０２６４３号に記載のユニットも利用でき
る。勿論、その他公知の超音波検出器も利用できるが、
配管６に対し非接触に配置して検出できるものならば、
本発明に利用できる。

【００２８】本発明の重要点は、電磁超音波発信器２と
超音波検出器４が配管の外周面に対し非接触に配置でき
る点である。配管が高温等の極端条件にあっても、非接
触であるから、直接的な影響を受け難い。また、非接触
であるから、電磁超音波発信器と超音波検出器の冷却も
可能であり、これらの機器の耐久性を保証することがで
きる。同時に、交換作業も容易に行なえる等の効果を有
する。

【００２９】図７は本発明の第２実施形態の概要説明図
である。図１が第０次干渉超音波を用いるのに対し、図
７は第１次干渉超音波を用いる点に特徴を有する。例え
ば、超音波検出器４を電磁超音波発信器２の直径方向前
方に置く余地が物理的にない場合や、配管直径Ｄが超音
波パルス幅に比して小さい場合には検出精度が悪くなる
ので、径路の長い第１次干渉超音波が用いられる。

【００３０】図８は本発明の第３実施形態の概要説明図
である。超音波検出器４を電磁超音波発信器２と同じ側
に設けている。例えば、配管６の奥側の空間がない場合
には、両装置２、４を同じ側に置く必要がある。この場
合には反射波を検出するので、第１次干渉超音波を用い
る。より高次の干渉超音波を用いてもよいが、高次にな
る程信号強度が低下するので、注意が必要である。

【００３１】図７及び図８の測定方法は図１と全く同様
である。静止到達点Ｏと流動到達点Ｐの間隔ＯＰがΔＬ
となり、ΔＬ＝ｕτの関係式が成立する。従って、超音
波到達時間τを計測することにより、ｕ＝ΔＬ／τによ
り流速ｕが測定される。

【００３２】図９は流体の流速および流量の測定フロー
チャートである。ステップｎ１でｔ＝０の時刻に電磁超
音波を発射し、ｔ＝τの時刻に超音波を検出（ｎ２）す
る。この時間間隔τが超音波到達時間となる。一方、超
音波検出器の検出位置からΔＬ＝ｕτが検知（ｎ３）で
き、ステップｎ４により流速ｕが算出できる。この流速
ｕは超音波が通過した道筋の平均流速であるから、比例
定数ｋを掛けて断面平均流速＜ｕ＞に換算（ｎ５）す
る。この断面平均流速＜ｕ＞に配管断面積Ｓを掛けると
体積流量ＱがＱ＝Ｓ＜ｕ＞により導出（ｎ６）できる。
この体積流量に密度を掛ければ質量流量を得ることもで
きる。

【００３３】図１０は本発明の第４実施形態の概要説明
図である。配管６の中には流体８が流速ｕで矢印方向に
流動している。配管６の上側には電磁超音波発信器２が
配置され、逆側には上流側超音波検出器４ｕと下流側超
音波検出器４ｄが配置されている。両検出器４ｕ、４ｄ
が複数の検出器ユニットの集合体であるのは超音波検出
器４と同様である。

【００３４】本実施形態では第１次干渉超音波（ｎ＝
１）を用いるが、その理由は斜行径路を用いて超音波パ
ルスを正確に検出し、測定精度を高めるためである。点
線は径路を表わし、角度θはθ＝ｓｉｎ^-1（λ／ｄ）で
与えられる。もし流体が静止していれば、上流側及び下
流側とも超音波は静止到達点Ｏ₁、Ｏ₂に到達している
であろう。しかし、流体は流速ｕで流動しているため、
超音波は上流側超音波到達点Ｐ₁と下流側超音波到達点
Ｐ₂に到達する。超音波伝達時間をτとすると、Ｏ₁Ｐ
₁＝ｕτ、Ｏ₂Ｐ₂＝ｕτとなる。

【００３５】中心点をＯとし、ＯＰ₁＝Ｌ_u、ＯＰ₂＝
Ｌ_d、ＯＯ₁＝Ｌ、ＯＯ₂＝Ｌとすると、Ｌ_u＝Ｌ−ｕ
τ、Ｌ_d＝Ｌ＋ｕτとなる。両式から流速ｕはｕ＝（Ｌ
_d−Ｌ_u）／２τで算出されることが分る。つまり流速
ｕは上流側距離Ｌ_u、下流側距離Ｌ_dおよび超音波伝達
時間τの３種類のパラメータで算出できる。上流側およ
び下流側の超音波到達点Ｐ₁、Ｐ₂は超音波検出器４
ｕ、４ｄにより正確に求められるから、上式により流速
ｕは正確に導出できる。

【００３６】図１１は本発明の第５実施形態の概要説明
図である。図１０との相違点は、上流側超音波検出器４
ｕと下流側超音波検出器４ｄを電磁超音波発信器２と同
じ側に配置したことである。配管６の逆側にこれら装置
を配置する空間がない場合に有効である。従って、本実
施形態では第１次干渉超音波を反射させて測定する。

【００３７】図１２は図１１の展開図である。従って、
上下間隔が配管直径Ｄの２倍になる。この展開図で超音
波の検出を考えると図１０と全く同様になる。流速ｕは
ｕ＝（Ｌ_d−Ｌ_u）／２τで算出される。超音波伝達時
間τは一回反射して到達した時間であり、上流側距離Ｌ
_uと下流側距離Ｌ_dは図示の通りである。

【００３８】図１３は、図１０および図１１に対する流
体の流速および流量の測定フローチャートである。ステ
ップｎ１１でｔ＝０の時刻に電磁超音波を発射し、ｔ＝
τの時刻に超音波を検出（ｎ１２）する。同時に、上流
側距離Ｌ_uと下流側距離Ｌ_dを算出（ｎ１３）し、これ
らのパラメータを使って流速ｕを導出（ｎ１４）する。
この流速ｕは超音波が通過した道筋の平均流速であるか
ら、比例定数ｋを掛けて断面平均流速＜ｕ＞に換算（ｎ
１５）する。この断面平均流速＜ｕ＞に配管断面積Ｓを
掛けると体積流量ＱがＱ＝Ｓ＜ｕ＞により導出（ｎ１
６）できる。この体積流量に密度を掛ければ質量流量を
得ることもできる。

【００３９】図１４〜図１６は電磁超音波発信器２の発
信器ユニット２ｃの実施例である。図１４の発信器ユニ
ット２ｃを連接すれば前記した電磁超音波発信器２を構
成できる。図１５および図１６の発信器ユニット２ｃは
形状が異なるが、発信器２の単位となる点では同様であ
る。

【００４０】各発信器ユニット２ｃのコイル２ｂを接続
してもよいし、各コイル２ｂを個々に分離してもよい。
分離した場合には、各コイル２ｂを流れる電流の位相を
制御することが必要になる。接続して１本線にした場合
には、図２に示すように位相制御は必要でなくなる。い
ずれにしても、公知の技術を適用することができる。

【００４１】本発明は上記実施例に限定されるものでは
なく、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲における種
々の変形例、設計変更等をその技術的範囲内に包含する
ものである。

【００４２】

【発明の効果】請求項１の発明によれば、配管の外周面
上に非接触状態で電磁超音波発信器と超音波検出器を配
置して流体流速を測定するようにしているため、流体温
度や配管の機械的振動などの影響を受けることなしに極
端条件下での測定が可能となる。その結果、測定系の長
寿命化を図れると共に、保守点検や部品交換などの作業
を容易化することができる。

【００４３】請求項２の発明によれば、請求項１の効果
に加えて、配管直径が短かい場合に、ｎ≧１の第ｎ次干
渉超音波を利用して超音波の走行径路を長くし、流速測
定の精度向上を図ることができる。また、電磁超音波発
信器の対向面の空間に余裕がない場合にも活用すること
ができ、測定系の配置の多様化を図ることができる。

【００４４】請求項３の発明によれば、配管直径が超音
波パルスの波長より長い場合に、測定系の単純化を図る
ことができる。

【００４５】請求項４の発明によれば、超音波強度の大
きな第１次干渉超音波を利用するから、流速測定の正確
性を期することができる。

【００４６】請求項５の発明によれば、流速測定につづ
いて流量測定を行うことができ、配管外からの流体の流
量測定を要請してきた各種産業の要請に答えることがで
きる。上述したように、本発明は手数やコストの大幅な
削減が可能となり、優れた実用的効用を奏するものであ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る非接触型流速測定方法の第１実施
形態の概要説明図である。

【図２】電磁超音波発信器の斜視図である。

【図３】電磁超音波発信器の発信機構の説明図である。

【図４】超音波の伝播方向の説明図である。

【図５】図１の要部を拡大した第０次干渉超音波の検出
状態図である。

【図６】検出器ユニットの一例の構成図である。

【図７】本発明の第２実施形態の概要説明図である。

【図８】本発明の第３実施形態の概要説明図である。

【図９】流体の流速および流量の測定フローチャートで
ある。

【図１０】本発明の第４実施形態の概要説明図である。

【図１１】本発明の第５実施形態の概要説明図である。

【図１２】図１１の展開図である。

【図１３】図１０および図１１に対する流体の流速およ
び流量の測定フローチャートである。

【図１４】電磁超音波発信器の発信器ユニットの第１実
施例である。

【図１５】電磁超音波発信器の発信器ユニットの第２実
施例である。

【図１６】電磁超音波発信器の発信器ユニットの第３実
施例である。

【符号の説明】２は電磁超音波発信器、２ａは磁石、２ｂはコイル、２
ｃは発信器ユニット、４は超音波検出器、４ａは検出器
ユニット、４ｂはコアー、４ｃは磁石、４ｄは検出コイ
ル、４ｅはコアーキャップ、４ｕは上流側超音波検出
器、４ｄは下流側超音波検出器、６は配管、８は流体、
Ｄは配管直径、ｄは間隔、Ｆはローレンツ力、Ｈは高
さ、Ｋは縦、Ｌ_uは上流側距離、Ｌ_dは下流側距離、Ｍ
は磁力線、Ｗは横、Δは位相差。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】流体が流通する配管の外周面に非接触状
に電磁超音波発信器を近接して配置し、この電磁超音波
発信器により配管又は流体中に超音波を生起し、流体中
を伝播してきた超音波エネルギーにより流体及び配管を
振動させ、この振動する配管の外側に非接触状に超音波
検出器を配置し、配管又は流体中の磁場を前記超音波の
振動により変動させ、この変動磁場を前記超音波検出器
により検出して超音波到達点を検知し、流体が静止状態
にあるときの静止到達点と流体が流動状態にあるときの
流動到達点の間隔ΔＬ並びに超音波伝達時間τから、流
体の流速ｕをｕ＝ΔＬ／τを通して測定することを特徴
とする電磁超音波を用いた非接触型流速測定方法。
【請求項２】流体が流通する配管の外周面に非接触状
に電磁超音波発信器を近接して配置し、この電磁超音波
発信器の上流側および下流側位置に超音波検出器を配管
の外周面に非接触状に配置し、前記電磁超音波発信器に
より配管又は流体中に超音波を生起し、流体中を伝播し
てきた超音波エネルギーにより流体及び配管を振動さ
せ、配管又は流体中の磁場を前記超音波の振動により変
動させ、この変動磁場を前記超音波検出器により検出し
て上流側超音波到達点と下流側超音波到達点を検知し、
電磁超音波発信器を基準点として前記両到達点までの距
離、即ち、上流側距離Ｌ_uと下流側距離Ｌ_dを算定し、
同時に超音波伝達時間τを計測して流体の流速ｕをｕ＝
（Ｌ_d−Ｌ_u）／２τを通して測定することを特徴とす
る電磁超音波を用いた非接触型流速測定方法。
【請求項３】電磁超音波発信器と超音波検出器が配管
の直径方向に対向して配置される請求項１記載の非接触
型流速測定方法。
【請求項４】電磁超音波発信器から第１次干渉超音波
が到達する位置に上流側超音波検出器と下流側超音波検
出器を配置した請求項２記載の非接触型流速測定方法。
【請求項５】請求項１乃至４により測定された流速に
配管の断面積を掛けることにより流体の流量を算出する
ことを特徴とする電磁超音波を用いた非接触型流量測定
方法。