JP2001064039A - Method for polishing glass article and polishing device - Google Patents

Method for polishing glass article and polishing device

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JP2001064039A
JP2001064039A JP23754399A JP23754399A JP2001064039A JP 2001064039 A JP2001064039 A JP 2001064039A JP 23754399 A JP23754399 A JP 23754399A JP 23754399 A JP23754399 A JP 23754399A JP 2001064039 A JP2001064039 A JP 2001064039A
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JP
Japan
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slurry
polishing
tank
particle size
slurry tank
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Application number
JP23754399A
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Japanese (ja)
Inventor
Takeshi Hashimoto
毅 橋本
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AGC Inc
Original Assignee
Asahi Glass Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for polishing glass articles with which high glass removal efficiency and good polished surface roughness may be obtained. SOLUTION: Slurries containing polishing agent particles are circulated between two slurry tanks 1 and 2 via cyclone type classifying devices 12a to 12c and 14a to 14c and a thickener tank 3, and the states varying in polishing agent grain sizes of a stable slurry concentration are attained in the respective tanks. The slurry on the side where the grain size is larger is used for polishing of a fore stage and the slurry on the side where the grain size is smaller is used for polishing of a post stage.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス物品の研磨
方法および研磨装置に関する。
The present invention relates to a method and an apparatus for polishing a glass article.

【0002】[0002]

【従来の技術】ガラスレンズおよび光学用ガラス基板
は、平坦性等の寸法精度および表面の光学特性を得るた
め、研磨仕上げが施される。同様に、ブラウン管用ガラ
スパネルおよびガラスファンネルでも、寸法精度および
光学特性を得るため研磨仕上げが施される。
2. Description of the Related Art A glass lens and an optical glass substrate are polished to obtain dimensional accuracy such as flatness and optical characteristics of the surface. Similarly, glass panels and glass funnels for cathode ray tubes are polished to obtain dimensional accuracy and optical characteristics.

【0003】これらの基本的な研磨方法は、テーブル上
にガラス物品を載置固定し回転させ、このガラス物品と
の境界面にスラリーを供給しつつ回転する研磨具を押し
つけることにより行われる。スラリーは研磨剤を水等の
液体に分散させた研磨液であり、適当な研磨剤粒度と濃
度で使用される。研磨具としては鉄、ゴムまたは樹脂等
が使用される。
[0003] These basic polishing methods are carried out by placing and fixing a glass article on a table, rotating the article, and pressing a rotating polishing tool while supplying slurry to the interface with the glass article. The slurry is a polishing liquid in which an abrasive is dispersed in a liquid such as water, and is used at an appropriate abrasive particle size and concentration. Iron, rubber, resin, or the like is used as the polishing tool.

【0004】短時間で良好な光学特性および良好な研磨
面粗さを得るためには、研磨段数を複数にすることが一
般的に採用されており、例えば前段で硬く靱性の高い研
磨剤を使用し後段で柔らかい研磨剤を使用する方法や、
前段で粒径の大きい研磨剤を使用し後段で粒径の小さい
研磨剤を使用する方法が採用される。
In order to obtain good optical characteristics and good polished surface roughness in a short time, it is generally employed to employ a plurality of polishing steps. For example, a hard and highly tough abrasive is used in the former stage. And use a soft abrasive in the later stage,
A method in which an abrasive having a large particle size is used in the first stage and an abrasive having a small particle size is used in the second stage is employed.

【0005】従来は、研磨剤の種類および粒径毎にそれ
に対応するスラリー循環システムを設ける方法が一般的
であり、研磨を複数段で行う場合は設備と費用が多大と
なる。また、特開平7−186041にサイクロン式分
級装置を利用して粒径の異なるスラリーを調製する方法
などが提案されているが、この方法では複数段の研磨に
対応してサイクロン分級装置を独立して設けているた
め、粒度差を設けるためのサイクロンの分級効率に応じ
てスラリー濃度差が生じ、その結果スラリー濃度が低下
した場合、ガラスと研磨具の界面での有効砥粒数が減少
し、研磨具がガラスに直当たりして研磨キズが発生する
問題があった。つまり、単純なサイクロンの分級作用だ
けでは、スラリー濃度を制御できない。
Conventionally, a method of providing a slurry circulation system corresponding to the type and particle size of the polishing agent has been generally used. When polishing is performed in a plurality of stages, equipment and cost are increased. Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 7-186041 proposes a method of preparing slurries having different particle diameters by using a cyclone classifier, but in this method, a cyclone classifier is provided independently in correspondence with a plurality of polishing steps. Therefore, the difference in slurry concentration occurs in accordance with the classification efficiency of the cyclone for providing the particle size difference, and as a result, when the slurry concentration decreases, the effective number of abrasive grains at the interface between the glass and the polishing tool decreases, There has been a problem that the polishing tool directly hits the glass and polishing scratches occur. That is, the slurry concentration cannot be controlled only by a simple cyclone classification operation.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、従来技術が
有していた前述の欠点を解消することを目的とするもの
であり、従来知られていなかったガラス物品の研磨方法
と研磨装置を新規に提供する。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to eliminate the above-mentioned disadvantages of the prior art, and to provide a method and apparatus for polishing a glass article which have not been known before. Newly provided.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は、複数のスラリ
ータンクと研磨機の間でスラリーを循環使用するガラス
物品の研磨方法であって、各スラリータンク間をサイク
ロン式分級装置を介して研磨剤粒子を含むスラリーを循
環させることにより、それぞれのスラリータンク内のス
ラリーを研磨剤粒径の異なる状態に保ち、粒径が大きい
方のスラリーを粗研磨に使用し、粒径の小さいスラリー
を仕上げ研磨に使用することを特徴とするガラス物品の
研磨方法を提供する。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to a method of polishing a glass article by circulating and using a slurry between a plurality of slurry tanks and a polishing machine, and polishing between the slurry tanks through a cyclone classifier. By circulating the slurry containing the agent particles, the slurry in each slurry tank is kept in a state in which the abrasive particle size is different, and the slurry with the larger particle size is used for rough polishing and the slurry with the smaller particle size is finished Provided is a method for polishing a glass article, which is used for polishing.

【0008】また、本発明は、研磨初期に粒径の大きい
スラリーを研磨機に供給してガラス物品を研磨し、研磨
中にスラリーを切り替えて、研磨後期に粒径の小さいス
ラリーを供給して研磨することを特徴とする上記のガラ
ス物品の研磨方法を提供する。
The present invention also provides a method for polishing a glass article by supplying a slurry having a large particle diameter to a polishing machine in an initial stage of polishing, switching the slurry during polishing, and supplying a slurry having a small particle diameter in a later stage of polishing. A method for polishing a glass article as described above, characterized by polishing.

【0009】また、本発明は、粒径の異なる研磨剤粒子
を含むスラリーを収容する二つのスラリータンクと、こ
れらタンク間に粒径が大きい方のスラリータンクと粒径
が小さい方のスラリータンクのそれぞれに対応して設け
たサイクロン式分級装置と、粒径が小さい方のスラリー
タンク系列のサイクロン式分級装置に付設されたシック
ナータンクと、前記スラリータンクから異なる粒径の研
磨剤粒子を含むスラリーの供給を受けガラス物品を研磨
する研磨機とを具備し、研磨機からのスラリーは粒径が
大きい方のスラリータンクで受け、該タンクのスラリー
を前記スラリーサイクロン式分級装置およびシックナー
タンクを介して循環させることにより研磨剤粒子を分級
し、それぞれのスラリータンク内を研磨剤粒径の異なる
状態に保つように構成したガラス物品の研磨装置を提供
する。
Further, the present invention provides two slurry tanks for storing slurries containing abrasive particles having different particle sizes, a slurry tank having a larger particle size and a slurry tank having a smaller particle size between these tanks. A cyclone type classification device provided corresponding to each, a thickener tank attached to a cyclone type classification device of a slurry tank series having a smaller particle size, and a slurry containing abrasive particles having different particle sizes from the slurry tank. A polishing machine for receiving the supply and polishing the glass article, and receiving the slurry from the polishing machine in a slurry tank having a larger particle size, and circulating the slurry in the tank through the slurry cyclone classifier and the thickener tank. By classifying the abrasive particles, the respective slurry tanks are kept in a state where the abrasive particle diameters are different. To provide a polishing apparatus for a glass article form.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】以下、本発明の詳細について説明
する。図1に、本発明の1実施例であるスラリータンク
が二つの場合のスラリー循環システムについて示す。こ
の図は、ブラウン管用ガラスパネルのフェース面を研磨
する場合である。スラリータンク1は、粒径の大きい研
磨剤粒子を含むスラリー用のタンクとして使用される。
タンクには研磨剤粒子の沈降を防ぐため、撹拌機18が
付設されている。スラリーは、このタンクからポンプ1
1を使用してスラリー循環系に配管を通して圧送され
る。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The details of the present invention will be described below. FIG. 1 shows a slurry circulation system according to one embodiment of the present invention in which there are two slurry tanks. This figure shows a case where the face surface of a glass panel for a cathode ray tube is polished. The slurry tank 1 is used as a slurry tank containing abrasive particles having a large particle diameter.
The tank is provided with a stirrer 18 to prevent the settling of the abrasive particles. The slurry is pumped from this tank
1 is pumped through the piping to the slurry circulation system.

【0011】配管が途中で分岐しており、一部のスラリ
ーがサイクロン12a、12bおよび12cに供給され
る。これらサイクロンが粒径の大きい方のスラリータン
ク1に対応するサイクロン式分級装置であり、サイクロ
ンの設置数は便宜的に3個となっているが適宜変更でき
る。
The piping branches off in the middle, and a part of the slurry is supplied to the cyclones 12a, 12b and 12c. These cyclones are cyclone classifiers corresponding to the slurry tank 1 having a larger particle size. The number of cyclones is three for convenience, but can be changed as appropriate.

【0012】前記サイクロンでスラリーは分級され、粒
径が大きく高濃度のスラリーはアンダーフローとしてス
ラリータンク1に戻る。粒径が小さく低濃度のスラリー
は、オーバーフローとしてスラリータンク2に供給され
る。スラリータンク2は、粒径が小さい研磨剤粒子を含
むスラリー用のタンクである。
The slurry is classified by the cyclone, and the slurry having a large particle diameter and high concentration returns to the slurry tank 1 as underflow. The slurry having a small particle size and a low concentration is supplied to the slurry tank 2 as overflow. The slurry tank 2 is a tank for slurry containing abrasive particles having a small particle diameter.

【0013】この場合、オーバーフローとアンダーフロ
ーの流量比は、希望する分級効率に応じて変更できる
が、粒度差を大きく設定するとスラリーの濃度差も大き
くなるため、スラリータンク2を適正な濃度に保つこと
が困難になる。流量比は、オーバーフロー/アンダーフ
ロー=0.4〜0.6の範囲が好ましい。分岐された一
方のスラリーはバルブ15aを通り、研磨機4に供給さ
れるか、またはバルブ15bを通りバイパス側配管を通
じてスラリータンク1に戻る。
In this case, the flow ratio between the overflow and the underflow can be changed according to the desired classification efficiency. However, if the particle size difference is set to be large, the concentration difference of the slurry also increases, so that the slurry tank 2 is maintained at an appropriate concentration. It becomes difficult. The flow rate ratio is preferably in the range of overflow / underflow = 0.4 to 0.6. One of the branched slurries is supplied to the polishing machine 4 through the valve 15a, or returns to the slurry tank 1 through the bypass pipe through the valve 15b.

【0014】スラリータンク2にも撹拌機19が付設さ
れており、よく撹拌した状態でスラリーがスラリータン
ク2からポンプ13を使用して圧送される。こちらの配
管も途中で分岐しており、一部のスラリーがサイクロン
14a、14bおよび14cに供給される。これらのサ
イクロンはスラリータンク2に対応するサイクロン式分
級装置であり、さらにサイクロン14aにはシックナー
タンク3が付設されている。この結果、二つのスラリー
タンク1、2の間にはそれぞれのタンクに対応する2系
列のサイクロン式分級装置が設置されている。
The slurry tank 2 is also provided with a stirrer 19, and the slurry is pumped from the slurry tank 2 using a pump 13 in a well-stirred state. This pipe also branches on the way, and a part of the slurry is supplied to the cyclones 14a, 14b, and 14c. These cyclones are cyclone type classification devices corresponding to the slurry tank 2, and a thickener tank 3 is attached to the cyclone 14a. As a result, between the two slurry tanks 1 and 2, two cyclone classifiers corresponding to the respective tanks are installed.

【0015】サイクロン14aのオーバーフローはシッ
クナータンク3に供給され、アンダーフローはスラリー
タンク1に送られる。シックナータンクでは沈降分離に
より、微粒のガラス粉と微粒の研磨剤がオーバーフロー
21として希薄なスラリー状態で系外に排出される。シ
ックナータンクにより濃縮されたアンダーフロースラリ
ーは、スラリータンク2に戻されスラリー濃度を適正な
範囲に保つ作用をする。オーバーフローとアンダーフロ
ーの流量バランスは、アンダーフロー側に設けたオリフ
ィス20により調整する。系外に排出される消耗した微
粒研磨剤に相当する分の新規研磨剤24は、スラリータ
ンク1に供給される。
The overflow of the cyclone 14a is supplied to the thickener tank 3, and the underflow is sent to the slurry tank 1. In the thickener tank, fine glass powder and fine abrasive are discharged out of the system as overflow 21 in a dilute slurry state by sedimentation and separation. The underflow slurry concentrated by the thickener tank is returned to the slurry tank 2 and acts to keep the slurry concentration within an appropriate range. The flow rate balance between the overflow and the underflow is adjusted by the orifice 20 provided on the underflow side. The new abrasive 24 corresponding to the consumed fine abrasive discharged out of the system is supplied to the slurry tank 1.

【0016】サイクロン14bは、スラリータンク1と
スラリータンク2の濃度差を適正範囲に保つ働きをして
おり、オーバーフローがスラリータンク1に送られ、ア
ンダーフローがスラリータンク2に戻る。このサイクロ
ンの作用だけでスラリータンク1とスラリータンク2の
濃度を完全に一致させることは困難であるが、実用上問
題ない範囲内に安定させることができる。
The cyclone 14b works to keep the concentration difference between the slurry tank 1 and the slurry tank 2 within an appropriate range. The overflow is sent to the slurry tank 1, and the underflow returns to the slurry tank 2. It is difficult to completely match the concentrations of the slurry tank 1 and the slurry tank 2 only by the action of the cyclone, but it is possible to stabilize the concentration within a range in which there is no practical problem.

【0017】サイクロン14cは、スラリータンク1と
スラリータンク2の液面高さを適正に保つ働きをする。
オーバーフローは常時スラリータンク2に戻り、アンダ
ーフローは液面計23に連動した自動バルブ22a、2
2bの切り替えにより、スラリータンク2の液面が高い
場合はスラリータンク1に送られ、液面が低い場合はス
ラリータンク2に送られる。サイクロン14a、14
b、14cについても、スラリー濃度を適正範囲に保つ
ために流量比は、通常オーバーフロー/アンダーフロー
=0.4〜0.6の範囲が好ましい。
The cyclone 14c functions to maintain the liquid level in the slurry tank 1 and the slurry tank 2 properly.
The overflow always returns to the slurry tank 2, and the underflow returns to the automatic valve 22 a,
By switching 2b, when the liquid level of the slurry tank 2 is high, the slurry is sent to the slurry tank 1, and when the liquid level is low, the slurry is sent to the slurry tank 2. Cyclones 14a, 14
Also for b and 14c, the flow rate ratio is usually preferably in the range of overflow / underflow = 0.4 to 0.6 in order to keep the slurry concentration in an appropriate range.

【0018】ポンプ13から送られた分岐の一方のスラ
リーは、バルブ16aを通じて研磨機4に送られるか、
バルブ16bとバイパス配管を通じてスラリータンク2
に戻される。
The slurry on one side of the branch sent from the pump 13 is sent to the polishing machine 4 through a valve 16a or
Slurry tank 2 through valve 16b and bypass pipe
Is returned to.

【0019】研磨機4では回転テーブル5にガラスパネ
ル6を載置固定し回転させ、ノズルからスラリー9を供
給しつつ、上方から回転する研磨具8を押しつけガラス
パネルを研磨パッド7により研磨する。研磨中に供給さ
れるスラリーは、バルブ15a、15b、16aおよび
16bの操作により自動的に切り替える。すなわち、研
磨初期には、15a:開、15b:閉、16a:閉、1
6b:開により研磨面に粒径の大きい側のスラリーを供
給する。所定時間経過後に15b:開、16a:開、1
5a:閉、16b:閉と操作し、スラリーをスラリータ
ンク2からの粒径の小さい側に切り替える。
In the polishing machine 4, the glass panel 6 is placed and fixed on the rotating table 5 and rotated, and while the slurry 9 is supplied from the nozzle, a polishing tool 8 rotating from above is pressed and the glass panel is polished by the polishing pad 7. The slurry supplied during polishing is automatically switched by operating the valves 15a, 15b, 16a and 16b. That is, at the beginning of polishing, 15a: open, 15b: closed, 16a: closed, 1
6b: The slurry having the larger particle size is supplied to the polishing surface by opening. After a predetermined time has passed, 15b: open, 16a: open, 1
5a: Close, 16b: Close, and switch the slurry from the slurry tank 2 to the smaller particle size side.

【0020】前段の研磨時間と後段の研磨時間の比率
は、粒度差と希望する研磨量、面粗さに応じて設定す
る。粒径の大きい側のスラリーでは、研磨効率は高いが
面粗さも大きくなる。粒径が小さい側のスラリーでは、
表面粗さの小さな研磨面を得ることができる。また、粒
径が小さい側のスラリーは、研磨剤中の粗大粒子や硬質
異物をほとんど含まないため、研磨キズの発生が少ない
良好な研磨面が得られる。
The ratio between the polishing time in the first stage and the polishing time in the second stage is set according to the difference in grain size, the desired polishing amount, and the surface roughness. In the case of the slurry having a large particle size, the polishing efficiency is high, but the surface roughness is also large. In the slurry with the smaller particle size,
A polished surface with small surface roughness can be obtained. In addition, since the slurry having a smaller particle size does not substantially contain coarse particles or hard foreign matter in the abrasive, a good polished surface with less occurrence of polishing scratches can be obtained.

【0021】研磨機4で研磨を終えたスラリーは下部に
集まり、スラリータンク1に戻る。スラリータンク1か
らバルブ15aおよび15bを通って流動するスラリー
に加えて、研磨後段におけるスラリータンク2からのス
ラリーがスラリータンク1に戻るため、スラリータンク
1の液面が上昇傾向となる。それを調節するため、前述
のサイクロン14cのアンダーフローの切り替えが行わ
れる。
The slurry polished by the polishing machine 4 collects at the lower portion and returns to the slurry tank 1. In addition to the slurry flowing from the slurry tank 1 through the valves 15a and 15b, the slurry from the slurry tank 2 at the later stage of polishing returns to the slurry tank 1, so that the liquid level in the slurry tank 1 tends to rise. In order to adjust this, the underflow of the cyclone 14c is switched.

【0022】研磨機4では研磨終了後にガラスパネルに
付着したスラリーを洗い流すため、配管17を通じて洗
浄水10が供給される。この洗浄は間欠的に行われる
が、この供給水量に応じた量のシックナーオーバーフロ
ー21が、系外に移出されるようオリフィス20が調節
される。
In the polishing machine 4, a cleaning water 10 is supplied through a pipe 17 in order to wash away the slurry attached to the glass panel after the polishing is completed. This washing is performed intermittently, but the orifice 20 is adjusted so that the amount of the thickener overflow 21 corresponding to the amount of supplied water is transferred out of the system.

【0023】この図は、スラリータンク2個に対して研
磨機1台、サイクロン6台の構成であるが、2個のスラ
リータンクから複数台の研磨機にスラリーを供給するこ
ともできる。その場合は両タンクの液面をコントロール
するため、スラリータンク1側およびスラリータンク2
側のサイクロン台数を相対的にそれぞれ増減させること
が一般に必要となる。なお、研磨を終了した後のスラリ
ーは、すべての研磨機から粒径の大きい方のスラリータ
ンク1に戻され、一つのスラリー循環系により分級され
る。
In this figure, one polishing machine and six cyclones are provided for two slurry tanks, but the slurry can be supplied from two slurry tanks to a plurality of polishing machines. In that case, to control the liquid level of both tanks, the slurry tank 1 side and the slurry tank 2
It is generally necessary to relatively increase or decrease the number of cyclones on the side. The slurry after polishing is returned from all the polishing machines to the slurry tank 1 having the larger particle size, and is classified by one slurry circulation system.

【0024】サイクロンとしては、市販されている多く
のものを適宜使用でき、研磨剤粒度、スラリー濃度、処
理量に応じて適当な大きさのものを選定する。
As the cyclone, many commercially available cyclones can be used as appropriate, and those having an appropriate size are selected according to the abrasive particle size, the slurry concentration, and the processing amount.

【0025】この実施例以外の配置として、研磨機2台
を粗研磨と仕上げ研磨に分けて連続に配置し、前段の粗
研磨用の研磨機にスラリータンク1のスラリーを供給し
て研磨し、その後、ガラスパネルを後段の研磨機に移載
し、ここにスラリータンク2のスラリーを供給して研磨
する方法もある。この後段の研磨機のスラリーもスラリ
ータンク1に戻される。
As an arrangement other than that of this embodiment, two polishing machines are successively arranged by dividing into rough polishing and finish polishing, and the slurry in the slurry tank 1 is supplied to the polishing machine for rough polishing in the preceding stage to perform polishing. Thereafter, there is a method in which the glass panel is transferred to a polishing machine at a subsequent stage, and the slurry in the slurry tank 2 is supplied to the polishing machine to perform polishing. The slurry of the subsequent polishing machine is also returned to the slurry tank 1.

【0026】本発明は、設備費用などの点から通常スラ
リータンクを本例のように2個設けるのが最も好まし
い。しかし、スラリータンクを3個以上設けて研磨剤粒
度をきめ細かく管理することもできる。この場合には、
前記2個のスラリータンクの間に、1または複数のスラ
リータンクとサイクロン式分級装置を付加することによ
り達成でき、本発明はこのような実施形態も包含してい
る。スラリータンクが3個以上の場合においても、研磨
を終えたスラリーは一つのスラリー循環系により処理す
るため、すべて粒径が大きい最初のスラリータンクに戻
される。
In the present invention, it is most preferable that two slurry tanks are usually provided as in this embodiment from the viewpoint of equipment costs and the like. However, three or more slurry tanks may be provided to finely control the abrasive particle size. In this case,
This can be achieved by adding one or more slurry tanks and a cyclone classifier between the two slurry tanks, and the present invention also includes such embodiments. Even when the number of slurry tanks is three or more, the polished slurry is processed by one slurry circulation system, so that all the slurry is returned to the first slurry tank having a large particle diameter.

【0027】研磨剤として、酸化アルミニウム、炭化ケ
イ素、ガーネット、またはパーミスと呼ばれる火山灰か
らなるガラス質の研磨剤などが使用できる。分散媒とし
ては水が一般的である。
As the abrasive, a vitreous abrasive made of aluminum oxide, silicon carbide, garnet, or volcanic ash called permis can be used. Water is generally used as the dispersion medium.

【0028】本発明は、ブラウン管用ガラスパネルのフ
ェース面研磨およびガラスファンネルのシールエッジ研
磨のほかに、ガラスレンズやガラス基板などの研磨にも
使用できる。
The present invention can be used not only for polishing the face of a glass panel for a cathode ray tube and for polishing the seal edge of a glass funnel, but also for polishing a glass lens and a glass substrate.

【0029】[0029]

【実施例】(実施例)研磨剤として600番手の酸化ア
ルミニウム研磨剤を使用し、図1に示すスラリー系でこ
の研磨剤を循環使用する。市販のサイクロン(大機ゴム
工業製MD−3)を使用した。各サイクロンの設定は、
供給スラリー量=100リットル/分、オーバーフロー
流量=50リットル/分、アンダーフロー流量=50リ
ットル/分を基本とした。
EXAMPLE (Example) An aluminum oxide abrasive having a number of 600 was used as an abrasive, and this abrasive was circulated in a slurry system shown in FIG. A commercially available cyclone (MD-3 manufactured by Daiki Rubber Industries) was used. The settings for each cyclone are
Based on the supply slurry amount = 100 liter / minute, overflow flow rate = 50 liter / minute, underflow flow rate = 50 liter / minute.

【0030】その際、スラリータンク1のスラリー濃度
を1500g/リットルに調整して、研磨剤粒径は体積
10%粒径(D10)=10.5μm、体積50%粒径
(D50)=20.0μm、体積90%粒径(D90)=3
0.5μmで安定した。スラリータンク2は、スラリー
濃度1450g/リットル、粒径はD10=7.0μm、
50=17.5μm、D90=25.5μmで安定した。
At that time, the slurry concentration in the slurry tank 1 was adjusted to 1500 g / liter, and the abrasive particle diameter was 10% by volume (D 10 ) = 10.5 μm, and the particle diameter by volume was 50% (D 50 ) = 20.0 μm, 90% volume particle size (D 90 ) = 3
Stable at 0.5 μm. The slurry tank 2 has a slurry concentration of 1450 g / liter, a particle size of D 10 = 7.0 μm,
It was stable at D 50 = 17.5 μm and D 90 = 25.5 μm.

【0031】回転テーブル上に対角径17インチのガラ
スパネルを固定し、15rpmで回転させる。上部から
鉄製研磨パッドを有する円盤状研磨具を600rpmで
回転させ、ガラスパネルと研磨具の境界面にスラリーを
供給しつつガラスパネルに500kgの荷重で押しつけ
て研磨した。
A glass panel having a diagonal diameter of 17 inches is fixed on a rotary table and rotated at 15 rpm. A disk-shaped polishing tool having an iron polishing pad was rotated at 600 rpm from above, and the slurry was supplied to the interface between the glass panel and the polishing tool while being pressed against the glass panel with a load of 500 kg to perform polishing.

【0032】すなわち、研磨の初期はバルブ15aを通
じてスラリータンク1のスラリーで研磨し、20秒間経
過時点でバルブ15b:開、バルブ16a:開、15
a:閉、16b:閉と操作し、その後スラリータンク2
のスラリーで仕上げ研磨した。
That is, in the initial stage of polishing, polishing is performed with the slurry in the slurry tank 1 through the valve 15a, and after 20 seconds, the valve 15b is opened, and the valve 16a is opened.
a: Close, 16b: Close, then slurry tank 2
Finish polishing with slurry.

【0033】スラリータンク2のスラリーで研磨する時
間を1秒刻みで設定して、研磨前のフェース面に存在す
る成形時の凸凹が除去できるまでの研磨時間を調べた。
その結果、スラリータンク2からのスラリーでの研磨時
間が最小8秒間必要であった。そのときのガラス研磨除
去量(研磨重量)は25.0gであり、研磨面粗さはR
a=0.7μm、Rmax=7.2μmであった。
The time for polishing with the slurry in the slurry tank 2 was set in increments of 1 second, and the polishing time required for removing irregularities during molding existing on the face before polishing was examined.
As a result, the polishing time with the slurry from the slurry tank 2 required a minimum of 8 seconds. At this time, the glass removal amount (polishing weight) was 25.0 g, and the polished surface roughness was R
a = 0.7 μm and R max = 7.2 μm.

【0034】(比較例)比較例1として、スラリータン
ク1のスラリーのみを使用し、ガラスパネルを同様に実
施例と同じ研磨時間28秒で研磨した。
(Comparative Example) As Comparative Example 1, only the slurry in the slurry tank 1 was used, and a glass panel was similarly polished with the same polishing time of 28 seconds as in the example.

【0035】比較例2として、スラリータンク2のスラ
リーのみを使用し、同様に28秒間研磨した。その結果
を実施例と合わせて表1に記載する。表1から明らかの
ように、本発明の実施例のみが成形面の凸凹除去可能
で、かつ粗さの小さい研磨面を得ることができた。
As Comparative Example 2, only the slurry in the slurry tank 2 was used and polished for 28 seconds in the same manner. The results are shown in Table 1 together with the examples. As is clear from Table 1, only the examples of the present invention were able to remove irregularities on the molding surface and obtain a polished surface with small roughness.

【0036】[0036]

【表1】 [Table 1]

【0037】[0037]

【発明の効果】本発明によれば、ガラス物品をスラリー
を使用して研磨する方法において、一つのスラリー循環
系により分級したスラリーを選択的に使用することによ
り、短時間で良好な研磨面粗さが得られる。
According to the present invention, in a method for polishing a glass article by using a slurry, a slurry which has been classified by one slurry circulation system is selectively used, whereby a good polished surface can be obtained in a short time. Is obtained.

【0038】一つのスラリーシステムでスラリー濃度の
安定した粒度の異なる少なくとも2種類のスラリーを得
ることができ、従来のようにスラリー種類毎にスラリー
システムを設置する必要がなく、設置に要する費用を削
減できる。
With one slurry system, it is possible to obtain at least two types of slurries having a stable slurry concentration and different particle sizes, eliminating the need for installing a slurry system for each type of slurry as in the conventional case, and reducing the cost required for installation. it can.

【0039】また、1台の研磨機で研磨中にスラリーを
切り替えることにより、少ない研磨機台数でガラス表面
の効率的な欠点除去と良好な面粗さを両立できるという
効果がある。そのため研磨機設置費用の削減ができる。
Further, by switching the slurry during polishing by one polishing machine, there is an effect that both the efficient removal of defects on the glass surface and the good surface roughness can be achieved with a small number of polishing machines. Therefore, the polishing machine installation cost can be reduced.

【0040】なお、本発明はブラウン管用ガラスパネル
の研削に限らず、他の種類のガラス研磨にも応用でき、
同様の効果を得ることができる。
The present invention is not limited to grinding glass panels for cathode ray tubes, but can be applied to other types of glass polishing.
Similar effects can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施例を示すスラリー循環システムの
説明図。
FIG. 1 is an explanatory diagram of a slurry circulation system showing an embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1:スラリータンク 2:スラリータンク 3:シックナータンク 4:研磨機 5:回転テーブル 6:ガラスパネル 7:研磨パッド 8:研磨具 9:スラリー 10:洗浄水 12a、12b、12c:サイクロン 14a、14b、14c:サイクロン 15a、15b、16a、16b:バルブ 1: Slurry tank 2: Slurry tank 3: Thickener tank 4: Polisher 5: Rotary table 6: Glass panel 7: Polishing pad 8: Polishing tool 9: Slurry 10: Cleaning water 12a, 12b, 12c: Cyclones 14a, 14b, 14c: cyclone 15a, 15b, 16a, 16b: valve

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】複数のスラリータンクと研磨機の間でスラ
リーを循環使用するガラス物品の研磨方法であって、各
スラリータンク間をサイクロン式分級装置を介して研磨
剤粒子を含むスラリーを循環させることにより、それぞ
れのスラリータンク内のスラリーを研磨剤粒径の異なる
状態に保ち、粒径が大きい方のスラリーを粗研磨に使用
し、粒径の小さいスラリーを仕上げ研磨に使用すること
を特徴とするガラス物品の研磨方法。
1. A method for polishing a glass article, wherein a slurry is circulated between a plurality of slurry tanks and a polishing machine, wherein a slurry containing abrasive particles is circulated between each slurry tank via a cyclone classifier. The feature is that the slurry in each slurry tank is kept in a state in which the abrasive particle diameter is different, the slurry having a larger particle diameter is used for rough polishing, and the slurry having a smaller particle diameter is used for finish polishing. Polishing method for glass articles.
【請求項2】研磨初期に粒径の大きいスラリーを研磨機
に供給してガラス物品を研磨し、研磨中にスラリーを切
り替えて、研磨後期に粒径の小さいスラリーを供給して
研磨することを特徴とする請求項1に記載のガラス物品
の研磨方法。
2. A method for polishing a glass article by supplying a slurry having a large particle size to a polishing machine in an initial stage of polishing, switching the slurry during polishing, and supplying a slurry having a small particle size in a later stage of polishing. The method for polishing a glass article according to claim 1, wherein:
【請求項3】粒径の異なる研磨剤粒子を含むスラリーを
収容する二つのスラリータンクと、これらタンク間に粒
径が大きい方のスラリータンクと粒径が小さい方のスラ
リータンクのそれぞれに対応して設けたサイクロン式分
級装置と、粒径が小さい方のスラリータンク系列のサイ
クロン式分級装置に付設されたシックナータンクと、前
記スラリータンクから異なる粒径の研磨剤粒子を含むス
ラリーの供給を受けガラス物品を研磨する研磨機とを具
備し、研磨機からのスラリーは粒径が大きい方のスラリ
ータンクで受け、該タンクのスラリーを前記スラリーサ
イクロン式分級装置およびシックナータンクを介して循
環させることにより研磨剤粒子を分級し、それぞれのス
ラリータンク内を研磨剤粒径の異なる状態に保つように
構成したガラス物品の研磨装置。
3. A slurry tank containing slurries containing abrasive particles having different particle sizes, and a slurry tank having a larger particle size and a slurry tank having a smaller particle size between the two tanks. A cyclone type classification device provided with a thickener tank attached to a cyclone type classification device of a slurry tank series having a smaller particle size, and a glass supplied with slurry containing abrasive particles having different particle sizes from the slurry tank. A polishing machine for polishing the article, wherein the slurry from the polishing machine is received in a slurry tank having a larger particle diameter, and the slurry in the tank is circulated through the slurry cyclone type classification device and the thickener tank to perform polishing. Glass material that classifies abrasive particles and keeps the inside of each slurry tank with different abrasive particle sizes Polishing apparatus.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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US7500903B2 (en) 2002-01-09 2009-03-10 Hoya Corporation Polishing apparatus

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