JP2001055975A

JP2001055975A - 真空発生装置

Info

Publication number: JP2001055975A
Application number: JP11229481A
Authority: JP
Inventors: Toshio Iida; 敏雄飯田
Original assignee: Anest Iwata Corp
Current assignee: Anest Iwata Corp
Priority date: 1999-08-13
Filing date: 1999-08-13
Publication date: 2001-02-27

Abstract

(57)【要約】【課題】装置全体が小型コンパクト化されるととも
に、装置コストが低減され、さらには引火性ガスの漂っ
ている雰囲気中でも火災発生等の危険性を伴なうことな
く安全に使用可能な真空発生装置を提供する。【解決手段】駆動装置により真空シリンダ内を往復動
せしめられる真空ピストンにて真空タンク内を吸引する
ようにした真空発生装置において、前記駆動装置は、駆
動シリンダ内に嵌合されて前記真空ピストンに連結さ
れ、加圧流体によって往復動せしめられる駆動ピストン
と、前記駆動シリンダ内に前記駆動ピストンにより区画
形成され、前記加圧流体機械が給排される２つの駆動流
体室と、該駆動流体室への加圧流体の給排を切り換える
切換弁とを備えてなることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、独立した駆動室内
の駆動ピストンの往復動によって、真空ポンプ室の容積
を真空ピストンの往復動によって変化させることによ
り、真空を発生させる真空発生装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図４は、かかる真空発生装置として特開
平７−９１３６７号にて提供されている技術を示す構成
図である。図４において、２０は真空タンク、２００
は真空発生部であり、かかる真空発生装置においては、
２つの真空シリンダ２，６の真空ピストン３，７を揺動
腕１３に係合した１本のピストンロッド１０で同時に同
方向へ駆動させ、安定した動作でポンプ作用を行わせ、
かつ４つの室全てを真空ポンプ室４，５，８，９とし、
小型で大きなピストン行程容積を得るように構成されて
いる。

【０００３】更に、吸込み、吐出が同時に、各２つの真
空ポンプ室４，９と５，８とを２つの主通路２２，２６
に吸込逆止弁２３，２７と吐出逆止弁２４，２８との間
でそれぞれ接続することにより、構造を簡単化してい
る。

【０００４】また、図４において、１６はエンジン等の
駆動源に連結される駆動軸、１７は該駆動軸１に設けら
れたカムであり、該駆動軸１６及びカム１７の回転によ
り揺動腕１３が支軸１２廻りに揺動され、先端の二又部
１４及びピン１１を介してピストンロッド１０が往復動
せしめられるようになっている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】図４に示される従来技
術にあっては、真空ピストン３，７は、エンジン等の駆
動装置から揺動腕１３を介して往復駆動されるようにな
っている。このため、かかる従来技術にあっては、真空
ピストン３，７を往復駆動するために、エンジン、電動
モータ等の格別な駆動装置を必要とし、真空発生装置全
体が必然的に大型化されるとともに、別個に駆動装置を
持つため、装置コストも高くなる。

【０００６】また、かかる従来技術にあっては、上記の
ように、エンジン、電動モータ等の駆動装置が必要とな
るが、かかる駆動装置は何れも熱の発生を伴うものであ
るため、引火性のガスが漂っている部位では、引火によ
る爆発や火災発生の恐れがある。等の問題点を有してい
る。

【０００７】本発明はかかる従来技術の課題に鑑み、装
置全体が小型コンパクト化されるとともに、装置コスト
が低減され、さらには引火性ガスの漂っている雰囲気中
でも、火災発生等の危険性を伴うことなく、安全に使用
可能な真空発生装置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明はかかる課題を解
決するため、請求項１記載の発明として、駆動装置によ
り真空シリンダ内を往復動せしめられる真空ピストン
と、前記真空シリンダ内に該真空ピストンによって区画
形成された２つの真空ポンプ室とを有する真空発生部を
備えるとともに、該真空ポンプ室に吸気弁と排気弁とを
夫々備えた真空発生装置において、前記駆動装置は、加
圧流体によって往復動せしめられる駆動ピストンと、該
駆動ピストンにより区画形成され、前記加圧流体が給排
される２つの駆動流体室とを備えてなることを特徴とす
る真空発生装置を提案する。

【０００９】請求項２記載の発明は、請求項１におい
て、前記駆動装置の両側に前記真空発生部を配置し、該
駆動装置の駆動ピストンの両側部に連結されたピストン
ロッドの両端部に前記真空発生部の真空ピストンが連結
されてなる。

【００１０】請求項１記載の発明において、請求項４記
載のように、前記駆動装置を自動的に駆動させる空気切
換弁を設けるのがよい。

【００１１】かかる発明によれば、切換弁によって給排
が制御される圧縮空気等の加圧流体を駆動シリンダの駆
動流体室に導いて該駆動シリンダ内の駆動ピストンに作
用させ、該駆動ピストンにピストンロッドを介して連結
された真空ピストンを往復駆動せしめるように構成され
ており、圧縮空気等の加圧流体を作動媒体として駆動ピ
ストンに作用させることにより真空ピストンを駆動する
流体圧駆動方式の真空発生装置であるため、従来技術の
ようなエンジンや電動モータ駆動の真空発生装置に比べ
て小型コンパクトとなるとともに、動力源として加圧空
気源があれば足りるので、エンジンや電動モータのよう
な格別な駆動動力を必要とせず、装置コストも大幅に低
減できる。

【００１２】また、かかる発明によれば、前記のよう
に、加圧流体を用いた流体駆動方式の真空発生装置であ
るため、引火性ガスが漂っている雰囲気中でも、従来の
エンジンや電動モータ駆動方式のような危険を伴うこと
なく、安全に装置を使用できる。

【００１３】請求項３記載の発明は、前記真空ピストン
の両側面に緩衝部材を取り付けてなる。かかる発明によ
れば、前記緩衝部材は、真空ピストンの最大変位時、内
または外カバーに接触させ、ピストン頭部の隙間を少な
くすることにより、高真空が得られる。また、前記駆動
ピストンが衝撃的に変位して真空ピストンが相手部材に
衝突しても、該真空ピストンに緩衝材を取り付けている
ため、真空ピストンの衝撃による音や破損を回避でき
る。また、このとき、駆動ピストンと相手部材との間に
間隙を存しておけば、駆動ピストンが衝撃破損すること
はない。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明を図に示した実施例
を用いて詳細に説明する。但し、この実施例に記載され
る構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは特
に特定的な記載が無い限り、この発明の範囲をそれのみ
に限定する趣旨ではなく単なる説明例に過ぎない。

【００１５】図１は本発明の実施形態に係る真空発生装
置における真空発生部のピストン及び空気切替弁の軸心
線に沿う断面図、図２は上記実施形態における真空発生
装置の全体構成図、図３は上記実施形態における空気切
替弁のスプール弁軸線に沿う断面図である。

【００１６】図１、図２において、１００は真空発生
部、４０は真空タンクで、該真空発生部１００の４つの
真空ポンプ室１０３，１０４，１０５，１０６と該真空
タンク４０とは吸気弁５２をそなえた真空路４２により
接続されている。前記吸気弁５２は、前記真空ポンプ室
１０３，１０４，１０５，１０６側が後述する真空ピス
トン４０１，４０２の吸引により負圧になったとき開弁
して、真空タンク４０側を吸引し、該真空ポンプ室１０
３，１０４，１０５，１０６から真空タンク４０側へ向
かう流体（空気）の流れを阻止するようになっている。

【００１７】４３は前記各真空ポンプ室１０３，１０
４，１０５，１０６から大気へ抜ける排出路で、各排出
路４３には排気弁５３が設けられている。該排気弁５
３は、前記真空ピストン４０１，４０２により前記真空
ポンプ室１０３，１０４，１０５，１０６内の容積が縮
小せしめられて大気圧以上になったとき開弁し、前記真
空ピストン４０１，４０２の吸引作用時には閉弁するよ
うになっている。

【００１８】５０は圧縮空気が収容されている空気源、
１２は該空気源５０と後述する駆動室１０１，１０２と
の間の空気通路１０１に介装された空気切換弁である。

【００１９】前記真空発生部１００の詳細を示す図１に
おいて、７はハウジング、１は該ハウジング７の中央部
に設けられた駆動シリンダ、２は該駆動シリンダ１の内
周に往復摺動自在に嵌合された駆動ピストンである。そ
して、前記駆動シリンダ１内には、前記駆動ピストン２
によって２つの駆動室１０１及び１０２が区画形成され
る。３は前記駆動ピストン２が固挿されるピストンロッ
ドである。

【００２０】５０１，５０２は真空シリンダで、前記ハ
ウジング７の両側に内カバー１０７，１０８を介して固
定されている。前記２つの真空シリンダ５０１及び５０
２の内周には真空ピストン４０１及び４０２が夫々往復
摺動自在に嵌合されている。そして前記各真空シリンダ
５０１、５０２内には、前記真空ピストン４０１及び４
０２によって夫々２つの真空ポンプ室１０３，１０４及
び１０５，１０６が区画形成されている。また、前記２
個の真空ピストン４０１及び４０２は、前記ピストンロ
ッド３の両端部にねじ込まれることによって固定され、
前記駆動ピストン２により該ピストンロッド３を介して
連動されるようになっている。また、前記駆動ピストン
２の外径Ｄ₂は前記真空ピストン４０１、４０２の外径
Ｄ₁よりも小さく形成されている。

【００２１】前記真空ピストン４０１、４０２の両側面
にはゴム材等の衝撃緩和機能を有する緩衝材３４、３５
が貼着され、該緩衝材３４、３５を相手部材に衝突さ
せ、ピストン頭部の空間容積を極力少なくせしめるとと
もに、該真空ピストン４０１、４０２と相手部材との衝
突による衝撃を緩和するようになっている。従って、図
１に示すように、該真空ピストン４０１が例えば左側に
動いて外カバー５０３の内面に当接したとき、駆動ピス
トン２は鎖線のようにハウジング７の内面との間にＣな
る隙間が形成されて直接接触が回避されるようになって
いる。

【００２２】５０３及び５０４は前記真空シリンダ５０
１及び５０２を外側から覆う外カバーである。また、３
０、３１は前記ピストンロッド３を軸支する軸受ブッシ
ュで、前記ハウジング７の前記駆動シリンダ１の外側部
位に固定されて前記ピストンロッド３を往復摺動自在に
支持している。

【００２３】３０，３１は一方側の駆動室１０１と前記
空気切換弁１２の一方側の出力ポートＢとを接続する空
気通路、３２，３３は他方側の駆動室１０２と空気切換
弁１２の他方側の出力ポートＤとを接続する空気通路で
ある。従って、前記空気切換弁１２の通路切り換えによ
り、圧縮空気は該空気切換弁１２の出力ポートＢ、空気
通路３１及び３０を経て駆動室１０１に、あるいは出力
ポートＤ、空気通路３３及び３２を経て駆動室１０２に
選択的に供給されることとなる。

【００２４】前記空気切換弁１２は次のように構成され
ている。即ち、図３（Ａ）、（Ｂ）に示すように、１２
ａは弁本体であり、該弁本体１２ａには吸気ポートＣ、
出力ポートＢ，Ｄ、パイロットポートＡ，Ｅ、排気ポー
ト１７，１７’が設けられている。吸気ポートＣには圧
縮空気の給気口１’から圧縮空気が供給され、出力ポー
トＢ，Ｄは圧縮空気の出力口であって、前記のように出
力ポートＢ、空気通路３１，３０を介して駆動室１０１
に接続され、出力ポートＤは空気通路３３，３２を介し
て駆動室１０２に接続されている。パイロットポート
Ａ，Ｅはパイロット空気口であって、パイロットポート
Ａは一方側のパイロット空気通路（図示省略）に接続さ
れ、パイロットポートＥは他方側のパイロット空気通路
（図示省略）と接続されている。

【００２５】前記パイロットポートＡ及びＥは、本件出
願人の出願に係る特願平１１−８２７５２号と同様に、
真空ピストン４０１、４０２の当接時、真空ポンプ室１
０３，１０４、１０５，１０６内の空気がパイロット空
気給排手段（図示省略）に接続される。

【００２６】弁本体１２ａの内部にはスプール弁１４が
軸線方向に移動可能なように、スプール穴１４ａが形成
され、さらにスプール弁１４の両端にはピストン１４
ｂ，１４’ｂが挿脱されるピストン穴２２，２２’が形
成されている。ピストン穴２２，２２’には各々パイロ
ット空気が流入するパイロットポートＥ，Ａが連通さ
れ、連通部にピストン室２１，２１’が形成されてい
る。

【００２７】そして、弁本体１２ａに形成された吸気ポ
ートＣ、出力ポートＢ，Ｄ、パイロットポートＡ，Ｅ、
排気ポート１７，１７’は各々スプール穴１４ａに連通
されているとともに、各ポート間には仕切部２４，２
５，２６，２７が形成されていて、スプール弁１４に環
装されているシール部材１８，１８’，１９，１９’が
スプール弁１４の移動とともに、この仕切部２４，２
５，２６，２７に圧接して、圧縮空気の流路を切り換え
るように構成されている。

【００２８】図３（Ｂ）はスプール弁１４が右方向に切
り換わる前の空気切換弁１２の状態を示し、図３（Ａ）
は、スプール弁１４が右方向に切り換わった後の空気切
換弁１２の状態を示している。図３（Ａ）において、パ
イロットポートＡが開き、パイロット空気通路に流れ、
そしてパイロット空気はパイロットポートＡ、ピストン
室２１’に流れ込む。この結果、スプール弁１４は右側
に押圧され、図３（Ｂ）の状態からスプール弁１４が一
気に右側に移動して流路を切換えて図３（Ａ）の状態に
なる。

【００２９】図３（Ａ）の状態では、吸気ポートＣに供
給された圧縮空気は、出力ポートＤから空気通路３３、
３２を通って右側の駆動室１０２に流れ込み、左側の駆
動室１０１の圧縮空気は出力ポートＢから連絡路２３’
を通って排気ポート１７’を流れて排気されるので駆動
ピストン２は左側に移動する。前記駆動ピストンと一体
のピストンロッドが左端側まで移動すると、駆動室１０
２の圧縮空気は、パイロット導通空気通路３ａを介して
ハウジング７に設けたパイロットポート(図示せず)を通
して空気切換弁パイロットポートＥに流入し、スプール
弁１４を左側に移動させるとともに、一部は、排気ポー
トから排気される。よって、駆動室１０２に送られてい
た圧縮空気は遮断され、吸気ポートＣに供給された圧縮
空気は、出力ポートＢから駆動室１０１に導入され、駆
動ピストン２及びピストンロッド３が右側に移動する。
駆動ピストン２が右側端に近づくと、圧縮空気はパイロ
ット導通空気通路３ａを介してパイロットポートＡに流
入し、スプール弁１４を左側に移動させる。これらの動
作により、吸気ポートＣに圧縮空気等の流体を接続する
と、自動的に装置の往復動運転がおこなわれる。

【００３０】該駆動ピストン２の左側への移動により、
ピストンロッド３を介して該駆動ピストン２に連結され
た左側及び右側の真空ピストン４０１及び４０２も左側
へ移動する。かかる真空ピストン４０１及び４０２の左
側への移動により、左側の第２の真空ポンプ室１０４及
び右側の第４の真空ポンプ室１０６内が負圧になる。こ
れにより、図２に示されている前記２つの真空ポンプ室
１０４，１０６に接続される真空路４２の吸気弁５２，
５２が開き、真空タンク４０内の気体が吸引される。

【００３１】一方、前記真空ピストン４０１，４０２の
左側への移動により真空ポンプ室１０３及び１０５の圧
力が上昇すると、図２に示す排出側の排気弁５３，５３
が開き、真空ポンプ室１０３，１０５内の空気は排出路
４３に排出される。

【００３２】上記のような作動を空気切換弁１２の切り
換えによって繰り返すことにより、真空タンク４０内の
圧力が低下し、真空度が増大する。

【００３３】かかる実施形態によれば、空気切換弁１２
によって給排を制御される圧縮空気を空気圧によって作
動する駆動シリンダに導き、駆動ピストン２に作用させ
ることにより、真空ピストンを駆動するようにしている
ので、従来技術のようなエンジンや電動モータを用いて
真空ピストンを駆動するものに比べて、小型コンパクト
となる。

【００３４】また、圧縮空気による駆動であるため、引
火性ガスが漂っている雰囲気中でも、危険を伴なうこと
なく使用でき、高い安全性を保持できる。

【００３５】さらに、駆動ピストン２が衝撃的に変位し
て真空ピストン４０１，４０２が外カバー５０３，５０
４あるいは内カバー１０７，１０8の内面に衝突して
も、該真空ピストン４０１，４０２の表面には緩衝材３
４を貼着しているので、かかる衝突により真空ピストン
４０１，４０２が破損することも、衝撃による音の発生
も無い。また前記真空ピストン４０１，４０２のカバー
等の内面への当接時には駆動ピストン２の側面とハウジ
ング７の内面との間は一定隙間Ｓを存しているので、該
駆動ピストン２に衝撃が加わることは無い。

【００３６】なお、前記緩衝材３４を駆動ピストン２の
側面に取り付け、該駆動ピストン２の側面がハウジング
７の内面に当接したとき、真空ピストン４０１，４０２
の側面と相手部材との間に隙間が形成されるようにして
も良い。

【００３７】さらに、前記駆動ピストン２，２の外径Ｄ
₂と真空ピストン４０１，４０２の外径Ｄ₁とを等径また
は駆動ピストンの外径を真空ピストンの外径よりも小に
することも可能である。

【００３８】

【発明の効果】以上記載のごとく、本発明によれば、圧
縮空気等の加圧流体を作動媒体として駆動ピストンに作
用させることにより、真空ピストンを駆動する流体圧駆
動方式の真空発生装置であるため、従来技術のような電
動モータ駆動の真空発生装置に比べて小型コンパクトに
なるとともに、動力源として加圧空気源があれば足りる
ので、電動モータのような格別な駆動動力を必要とせ
ず、装置コストも大幅に削減される。

【００３９】また、本発明によれば、前記のように加圧
流体を用いた流体駆動方式の真空発生装置であるため、
引火性ガスが漂っている雰囲気中でも、従来のエンジン
や電動モータ駆動方式における火災の発生のような危険
を伴なうことなく、安全に装置を使用することができ、
安全性、運転性が向上する。

【００４０】特に、真空ポンプ室と独立した２つの駆動
室を備え、真空ポンプ室の真空路とと排出路との並列接
続あるいは直列接続により、1段から多段までの真空発
生装置を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態に係る真空発生装置におけ
る真空発生部のピストン及び空気切換弁の軸心線に沿う
断面図である。

【図２】上記実施形態における真空発生装置の全体構
造図である。

【図３】上記実施形態における空気切換弁のスプール
軸線に沿う断面図である。

【図４】従来技術に係る真空発生装置の全体構成図で
ある。

【符号の説明】

１駆動シリンダ２駆動ピストン３ピストンロッド６弁ハウジング７ハウジング１２空気切換弁３０，３１，３２，３３空気通路３４，３５緩衝材４０真空タンク４２真空路４３排出路５２吸気弁５３排気弁１０１，１０２駆動室１０３，１０４，１０５，１０６真空ポンプ室１０７，１０８内カバー４０１，４０２真空ピストン５０１，５０２真空シリンダ５０３，５０４外カバーＡ，ＥパイロットポートＢ，Ｄ出力ポートＣ吸気ポート

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成１１年９月１７日（１９９９．９．１
７）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正内容】

【書類名】明細書

【発明の名称】真空発生装置

【特許請求の範囲】

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【０００２】

【従来の技術】図４は、かかる真空発生装置として特開
平７−９１３６７号にて提供されている技術を示す構成
図である。図４において、２０は真空タンク、２００
は真空発生部であり、かかる真空発生装置においては、
２つの真空シリンダ２，６の真空ピストン３，７を揺動
腕１３に係合した１本のピストンロッド１０で同時に同
方向へ駆動させ、安定した動作でポンプ作用を行わせ、
かつ４つの室全てを真空ポンプ室４，５，８，９とし、
小型で大きなピストン行程容積を得るように構成され
ている。

【０００５】

【０００８】

【００１４】

【００１６】図１、図２において、１００は真空発生
部、４０は真空タンクで、該真空発生部１００の４つの
真空ポンプ室１０３，１０４，１０５，１０６と該真空
タンク４０とは吸気弁５２をそなえた真空路４２により
接続されている。前記吸気弁５２は、前記真空ポンプ室
１０３，１０４，１０５，１０６側が後述する真空ピス
トン４０１，４０２の吸引により負圧になったとき開弁
して、真空タンク４０側を吸引し、該真空ポンプ室１０
３，１０４，１０５，１０６から真空タンク４０側へ向
かう流体（空気)の流れを阻止するようになっている。

【００１８】５０は圧縮空気が収容されている空気源、
１２は該空気源５０と後述する駆動室１０１，１０２と
の間の空気通路２０１に介装された空気切換弁である。

【００２０】５０１，５０２は真空シリンダで、前記ハ
ウジング７の両側に内カバー１０７，１０８を介して固
定されている。前記２つの真空シリンダ５０１及び５０
２の内周には真空ピストン４０１及び４０２が夫々往復
摺動自在に嵌合されている。そして前記各真空シリンダ
５０１、５０２内には、前記真空ピストン４０１及び４
０２によって夫々２つの真空ポンプ室１０３，１０４及
び１０５，１０６が区画形成されている。また、前記２
個の真空ピストン４０１及び４０２は、前記ピストンロ
ッド３の両端部にねじ込まれることによって固定され、
前記駆動ピストン２により該ピストンロッド３を介して
連動されるようになっている。また、前記駆動ピストン
２の外径Ｄ_２は前記真空ピストン４０１、４０２の外径
Ｄ_１よりも小さく形成されている。

【００２２】５０３及び５０４は前記真空シリンダ５０
１及び５０２を外側から覆う外カバーである。また、３
００、３１０は前記ピストンロッド３を軸支する軸受ブ
ッシュで、前記ハウジング７の前記駆動シリンダ１の外
側部位に固定されて前記ピストンロッド３を往復摺動自
在に支持している。

【００２４】前記空気切換弁１２は次のように構成され
ている。即ち、図３（Ａ)、（Ｂ)に示すように、１２ａ
は弁本体であり、該弁本体１２ａには吸気ポートＣ、出
力ポートＢ，Ｄ、パイロットポートＡ，Ｅ、排気ポート
１７，１７’が設けられている。吸気ポートＣには圧縮
空気の給気口から圧縮空気が供給され、出力ポートＢ，
Ｄは圧縮空気の出力口であって、前記のように出力ポー
トＢ、空気通路３１，３０を介して駆動室１０１に接続
され、出力ポートＤは空気通路３３，３２を介して駆動
室１０２に接続されている。パイロットポートＡ，Ｅは
パイロット空気口であって、パイロットポートＡは一方
側のパイロット空気通路（図示省略)に接続され、パイ
ロットポートＥは他方側のパイロット空気通路（図示省
略)と接続されている。

【００２５】前記パイロットポートＡ及びＥは、本件出
願人の出願に係る特願平１１−８２７５２号と同様に、
真空ピストン４０１、４０２の当接時、駆動室１０１、
１０２内の空気がパイロット空気給排手段（図示省略)
に接続される。

【００２８】図３（Ｂ)はスプール弁１４が右方向に切
り換わる前の空気切換弁１２の状態を示し、図３（Ａ)
は、スプール弁１４が右方向に切り換わった後の空気切
換弁１２の状態を示している。図３（Ｂ)において、パ
イロットポートＡが開き、パイロット空気通路に流れ、
そしてパイロット空気はパイロットポートＡ、ピストン
室２１’に流れ込む。この結果、スプール弁１４は右側
に押圧され、図３（Ｂ)の状態からスプール弁１４が一
気に右側に移動して流路を切換えて図３（Ａ)の状態に
なる。

【００２９】図３（Ａ)の状態では、吸気ポートＣに供
給された圧縮空気は、出力ポートＤから空気通路３３、
３２を通って右側の駆動室１０２に流れ込み、左側の駆
動室１０１の圧縮空気は出力ポートＢから連絡路２３’
を通って排気ポート１７’を流れて排気されるので駆動
ピストン２は左側に移動する。前記駆動ピストンと一体
のピストンロッドが左端側まで移動すると、駆動室１０
２の圧縮空気は、パイロット導通空気通路３ａを介して
ハウジング７に設けたパイロットポート（図示せず)を
通して空気切換弁パイロットポートＥに流入し、スプー
ル弁１４を左側に移動させるとともに、一部は、排気ポ
ートから排気される。よって、駆動室１０２に送られて
いた圧縮空気は遮断され、吸気ポートＣに供給された圧
縮空気は、出力ポートＢから駆動室１０１に導入され、
駆動ピストン２及びピストンロッド３が右側に移動す
る。駆動ピストン２が右側端に近づくと、圧縮空気はパ
イロット導通空気通路３ａを介してパイロットポートＡ
に流入し、スプール弁１４を左側に移動させる。これら
の動作により、吸気ポートＣに圧縮空気等の流体を接続
すると、自動的に装置の往復動運転がおこなわれる。

【００３０】該駆動ピストン２の左側への移動により、
ピストンロッド３を介して該駆動ピストン２に連結され
た左側及び右側の真空ピストン４０１及び４０２も左側
へ移動する。かかる真空ピストン４０１及び４０２の左
側への移動により、左側の第２の真空ポンプ室１０４及
び右側の第４の真空ポンプ室１０６内が負圧になる。こ
れにより、図２に示されている前記２つの真空ポンプ室
１０４，１０６に接続される真空路４２、４２の吸気弁
５２，５２が開き、真空タンク４０内の気体が吸引され
る。

【００３１】一方、前記真空ピストン４０１，４０２の
左側への移動により真空ポンプ室１０３及び１０５の圧
力が上昇すると、図２に示す排出側の排気弁５３，５３
が開き、真空ポンプ室１０３，１０５内の空気は排出路
４３、４３に排出される。

【００３３】かかる実施形態によれば、空気切換弁１２
によって給排を制御される圧縮空気を空気圧によって作
動する駆動シリンダ１に導き、駆動ピストン２に作用さ
せることにより、真空ピストンを駆動するようにしてい
るので、従来技術のようなエンジンや電動モータを用い
て真空ピストンを駆動するものに比べて、小型コンパク
トとなる。

【００３５】さらに、駆動ピストン２が衝撃的に変位し
て真空ピストン４０１，４０２が外カバー５０３，５０
４あるいは内カバー１０７，１０８の内面に衝突して
も、該真空ピストン４０１，４０２の表面には緩衝材３
４、３４を貼着しているので、かかる衝突により真空ピ
ストン４０１，４０２が破損することも、衝撃による音
の発生も無い。また前記真空ピストン４０１，４０２の
カバー等の内面への当接時には駆動ピストン２の側面と
ハウジング７の内面との間は一定隙間Ｃを存しているの
で、該駆動ピストン２に衝撃が加わることは無い。

【００３７】さらに、前記駆動ピストン２，２の外径Ｄ
_２と真空ピストン４０１，４０２の外径Ｄ_１とを等径ま
たは駆動ピストンの外径を真空ピストンの外径よりも小
にすることも可能である。

【００３８】

【００４０】特に、真空ポンプ室と独立した２つの駆動
室を備え、真空ポンプ室の真空路とと排出路との並列接
続あるいは直列接続により、１段から多段までの真空発
生装置を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【符号の説明】１駆動シリンダ２駆動ピストン３ピストンロッド６弁ハウジング７ハウジング１２空気切換弁３０，３１，３２，３３空気通路３４，３５緩衝材４０真空タンク４２真空路４３排出路５２吸気弁５３排気弁１０１，１０２駆動室１０３，１０４，１０５，１０６真空ポンプ室１０７，１０８内カバー４０１，４０２真空ピストン５０１，５０２真空シリンダ５０３，５０４外カバーＡ，ＥパイロットポートＢ，Ｄ出力ポートＣ吸気ポート

【手続補正２】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図２

【補正方法】変更

【補正内容】

【図２】

【手続補正３】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図４

【補正方法】変更

【補正内容】

【図４】

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】駆動装置により真空シリンダ内を往復動
せしめられる真空ピストンと、前記真空シリンダ内に該
真空ピストンによって区画形成された２つの真空ポンプ
室とを有する真空発生部を備えるとともに、該真空ポン
プ室に吸気弁と排気弁とを夫々備えた真空発生装置にお
いて、前記駆動装置は、加圧流体によって往復動せしめ
られる駆動ピストンと、該駆動ピストンにより区画形成
され、前記加圧流体が給排される２つの駆動流体室とを
備えてなることを特徴とする真空発生装置。
【請求項２】前記駆動装置の両側に前記真空発生部を
配置し、該駆動装置の駆動ピストンの両側部に連結され
たピストンロッドの両端部に前記真空発生部の真空ピス
トンが連結されてなる請求項１記載の真空発生装置。
【請求項３】前記真空ピストンの両側面に緩衝部材を
取り付けてなる請求項１記載の真空発生装置。
【請求項４】前記駆動装置を自動的に駆動させる空気
切換弁備えてなる請求項１記載の真空発生装置。