JP2001044793A - 可調整sawデバイス - Google Patents

可調整sawデバイス

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    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
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    • H03H9/64Filters using surface acoustic waves
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  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 1組の共通SAW IDTフィンガから複数
の信号変更特性を形成し、SAWデバイス特性を変化可
能とするSAWデバイスを提供する。 【解決手段】 圧電基板30上に可調整表面弾性波(S
AW)変換器31を製作する。可調整SAW変換器は、
基板上に配された複数のSAW櫛形変換器(IDT)フ
ィンガ29を含む。微小スイッチ36を用いて、SAW
IDTフィンガ間に複数の相互接続パターンを形成
し、1組のSAW IDTフィンガから、複数のSAW
特性を生成可能とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、信号を変更し通過
させる表面弾性波(SAW:surface−acou
stic wave)デバイスに関し、更に特定すれ
ば、SAWデバイスの選択したSAW櫛形変換器(ID
T:interdigital transduce
r:インターディジタル・トランスデューサ)への接続
を与えるスイッチを含み、1組の共通SAW IDTフ
ィンガから複数のSAW特性を形成する、SAWデバイ
スに関するものである。
【0002】
【従来の技術】図1を参照すると、典型的なSAWデバ
イス10は、入力変換器12および出力変換器14を含
む。入力変換器12および出力変換器14は各々、基板
18上に形成された複数のSAW IDTフィンガ16
を有する。選択したSAW IDTフィンガ16間の相
互接続は、各SAW IDTフィンガ16を第1総和
(sum)ライン20、第2総和ライン22、第3総和
ライン24または第4総和ライン26のいずれかに接続
することによって形成する。第1総和ライン20および
第2総和ライン22間に無線周波数(RF)信号電圧2
8を印加し、電圧28を入力変換器12のSAW ID
Tフィンガ16に供給し、圧電基板18内に歪みを生じ
させる。歪みによってSAWデバイス10の長さ方向に
わたって適当な周期的パターンが形成されると、表面弾
性波が発生する。SAW IDTフィンガ間の間隔、S
AW IDTフィンガ16の相互接続パターン、および
印加する電圧差の周波数内容が、表面弾性波の振幅およ
び位相を決定する。この入力変換器12によって発射さ
れる弾性波は、出力変換器14まで伝達し、ここで出力
電気信号に変換される。SAW IDTフィンガ16が
適当な空間を有し、適当な相互接続パターンで総和ライ
ン20〜26に接続されていれば、時間および周波数ド
メインにおいて所望の信号変更(修正)を行なうSAW
デバイス10が得られる。
【0003】圧電基板18上に形成されるSAWデバイ
ス10は、通常、エッチングまたはリフト・オフ技術の
いずれかを用いたフォトリソグラフィまたは薄膜プロセ
スで形成される金属膜である。これらの技法が通常必要
なのは、各SAW IDTフィンガ16の幅および隣接
するSAWフィンガ16間の間隔がミクロンまたはサブ
ミクロン・レベルであるからである。典型的な従来技術
のSAWデバイス10では、SAW IDTフィンガ1
6および総和ライン20〜26が基板18上に形成さ
れ、その結果、SAWフィンガ16、総和ライン20〜
26、およびSAW IDTフィンガ16間の相互接続
パターンが基板18上に固定される。SAW IDTフ
ィンガ16および総和ライン20〜26が基板上に固定
されるので、典型的な従来技術のSAWデバイス10で
は、SAWフィンガ16間には単一の相互接続パターン
のみが得られるに過ぎず、時間および周波数ドメインに
おいて信号変更が固定された表面弾性波を発生すること
ができるに止まる。異なる表面弾性波を必要とする場
合、新たな相互接続パターンを有する新たなSAWデバ
イスを製作しなければならない。
【0004】1つ以上の信号変更を得るために用いられ
る方法の1つは、複数のSAW変換器を単一基板上に作
成することである。この場合、入力信号または出力信号
は、数個の変換器間で切り替えることができ、その各々
は異なる特性を備えている。この方法の欠点は、柔軟性
に乏しく基板上に必要な空間が多いことである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】したがって、新たなS
AWデバイスを製作する必要がなく、1組の共通SAW
IDTフィンガから複数の信号変更特性を形成すること
ができ、得られるSAWデバイス特性を変化可能とす
る、SAWデバイスが求められている。
【0006】
【課題を解決するための手段】前述の従来技術における
要望は、可調整SAWデバイスを提供する本発明によっ
て満たされる。
【0007】本発明による可調整SAWデバイスは、基
板上に形成された複数のSAW IDTフィンガを備
え、これらのSAW IDTフィンガ全体が1組のSA
W IDTフィンガを規定する。選択したSAW ID
Tフィンガ間に複数の相互接続パターンを与える手段を
備えることによって、1組のSAW IDTフィンガか
ら複数の相互接続パターンを形成することができる。
【0008】本発明の第1実施形態では、複数の微小ス
イッチを基板上に配置し、複数の総和ラインによって互
いに結合する。スイッチは、複数の制御ラインによって
制御される。
【0009】本発明の第2実施形態では、可調整SAW
デバイスは、種々の用途に利用される可調整フィルタで
ある。
【0010】
【発明の実施の形態】これより図2を参照する。本発明
は、基板30上に配された複数のSAW IDTフィン
ガ29を備えることにより、従来技術の欠点を克服す
る。SAW IDTフィンガ29は全体として1組のS
AWフィンガを構成する。予め選択したSAW IDT
フィンガ29間に複数の相互接続パターンを生成する手
段を備えることにより、1組のSAW IDTフィンガ
から複数の相互接続パターンを得ることができる。
【0011】本発明は、入力SAW変換器32および出
力SAW変換器34を含む、可調整SAWデバイス31
を提供する。入力SAW変換器32および出力SAW変
換器34は、各々、複数のSAW IDTフィンガ2
9、微小(ミニチュア)スイッチ36、制御ライン3
8、および総和(集合)ライン40〜46を含む。微小
スイッチ36は、総和ライン40〜46に取り付けら
れ、選択したSAW IDTフィンガ29を相互接続す
る手段となる。また、微小スイッチ36は、選択したS
AW IDTフィンガ29間の相互接続パターンを変更
させる手段ともなる。スイッチ36は、必要に応じて開
閉し、選択したSAW IDTフィンガ29間に複数の
相互接続パターンを与えることにより、単一のSAWデ
バイス31において複数の時間および周波数ドメイン信
号の変更(修正)を行ない、単一のSAWデバイス31
から多数のSAWデバイス特性を得ることができる。
【0012】図3および図4を参照すると、本発明の好
適な実施形態による図3の単一微細スイッチ36の側面
図を、図3では開回路状態で、そして図4では閉回路状
態で示す。図3および図4に示すように、単一のスイッ
チ36は、圧電基板48上に形成された制御ライン38
を含む。制御ライン端部50が、SAW IDTフィン
ガ29の端部54から予め選択した距離52の所に位置
する。制御ラインは、制御電圧56を受けるように構成
されている。
【0013】二酸化シリコン、窒化シリコン、酸化アル
ミニウム、ポリアミド等のような絶縁材料で形成した誘
電体層58が制御ライン38に取り付けられている。導
電材で形成されたプレート60が、誘電体層58に取り
付けられている。誘電体層58は、制御ライン38とプ
レート60との間で電気的な分離を行なう。入力変換器
(図2)では、プレート60(図3)は、RF信号ライ
ンからRF信号62を受けるように構成されている。出
力変換器34(図2)では、プレート60(図3)はR
F信号ラインに信号64を供給する。
【0014】DC大地帰還手段(DC return−
to−ground means)66がプレート60
に取り付けられ、DC大地帰還を行なう一方、高インピ
ーダンスを維持し、RF信号を遮断する。DC大地帰還
手段66は、高オーム値を有する抵抗66とすることが
好ましい。好ましくは、抵抗66のオーム値は、RF信
号ラインのインピーダンスよりも少なくとも1桁大き
い。あるいは、DC大地帰還手段66は、インダクタの
形態としたRFチョークとすることも可能である。しか
しながら、抵抗は通常インダクタよりも格段に小さくコ
ストが低いので、こちらの方が好ましい。
【0015】可撓性カンチレバー(片持ちばり)・アー
ム68が、プレート60と一体的に形成されているが、
プレート60に物理的に接続した別個の構成部品とする
ことも可能である。本発明の好適な実施形態では、カン
チレバー・アーム68は、アルミニウムのような導電材
で形成する。代替実施形態では、アーム68はシリコン
のような非導電材で形成し、アルミニウムのような導電
材で被覆する。
【0016】カンチレバー・アーム68とSAW ID
Tフィンガ29との間には、良好な電気接続が望まし
い。したがって、カンチレバー・アーム68はメタライ
ズ・スイッチ・コンタクト(metalized sw
itch contact)70を含むことができる。
このスイッチ・コンタクト70は、導電材のパッドで構
成され、SAWフィンガ35に面するカンチレバー・ア
ーム68に取り付けられる。パッド70は、容易に酸化
せず金膜をめっきし非常に導電性が高く腐食しないコン
タクトを備えることができる、例えば、金、プラチナ、
金パラディウムというような非常に導電性が高い金属で
作られる。
【0017】図3に示すように、開路位置では、カンチ
レバー・アーム68は制御ライン38の一部の上、第1
ギャップ52の上、およびSAW IDTフィンガ29
の一部の上に達し、SAW IDTフィンガ29と共に
第2ギャップ71を形成する。図4に示すように、DC
電圧56を制御ライン38に印加すると、静電力72が
生ずる。静電力72は、制御ライン38上にあるカンチ
レバー68の部分をSAWフィンガ29の側に撓ませる
(曲げる)。静電力72によって、カンチレバー・アー
ム68はSAW IDTフィンガ35に接触し、第2ギ
ャップ71(図3)を閉じ、SAW IDTフィンガ2
9とカンチレバー・アーム68との間に電気的な閉回路
を形成する。
【0018】図3に示すように、制御ライン38からD
C電圧56を除去すると、静電力72(図4)がなくな
り、これによってカンチレバー・アーム68はその元の
形状に戻り、SAW IDTフィンガ29との電気的接
触が断たれ、SAW IDTフィンガ29とカンチレバ
ー・アーム68との間には電気的に開放した回路を形成
する。
【0019】図2に示す好適な実施形態では、単一のS
AWデバイス31に複数のスイッチ36を利用してい
る。この実施形態では、各SAW IDTフィンガ29
は2つのスイッチ36を有し、一方が各SAW IDT
フィンガ29の各端部に位置する。圧電基板48上に形
成された別個の制御ライン38が各スイッチ36に備え
られている。各制御ライン38は、別個のDC電圧を受
けるように構成されている。各々絶縁材料で形成された
4つの誘電体層58が設けられている。4つの誘電体層
58は、複数の制御ライン38に取り付けられている。
4つの総和バー40〜46が導電材で形成され、各総和
バー40〜46は別個の誘電体層58に取り付けられて
いる。第1総和バー40および第2総和バー42は、R
F信号を受けるように構成されている。DC大地帰還手
段66が各総和バー40〜46に取り付けられている。
カンチレバー・アーム68は、各総和バー40〜46に
電気的に接続されている。DC電圧を選択した制御ライ
ン38に印加すると、選択したスイッチ36のみが閉
じ、SAWデバイス31のSAWフィンガ29間に第1
相互接続パターンが得られる。選択した制御ライン38
へのDC電圧の印加を選択的に変動させることによっ
て、SAWデバイス31のSAW IDTフィンガ29
間の相互接続パターンが変化し、閉スイッチ36および
開スイッチ36の各組み合わせによって、時間および周
波数ドメインにおいて一意の信号変更が行われる。
【0020】必要であれば、可調整SAWデバイス31
の相互接続パターンは、可調整SAWデバイス31を遠
隔制御システム内に離れて配置し、遠隔制御システムに
よって制御信号が送信および受信されたときに、遠隔制
御システムがDC信号を適正な制御ライン38に供給
し、所望のスイッチ36を閉じるように構成することも
可能である。これは、衛星の用途において、地上で制御
信号を発生し衛星に送信する場合に特に有用である。
【0021】本発明は、SAW IDTフィンガ29の
全てまたは一部のみを相互接続する機能を有し、本質的
に、SAW IDTフィンガ29の一部を飛ばす(スキ
ップする)ことができる。SAW IDTフィンガ29
の一部を飛ばす相互接続パターンは、従来型のSAW相
互接続パターンを表わし、全てのSAW IDTフィン
ガ29間に相互接続を行なうことによって形成される場
合よりも低い周波数に用いられる。
【0022】図5を参照すると、本発明の第1実施形態
は、単一のSAWデバイス75において、複数のSAW
IDTフィンガ29のスイッチ36および直接取り付
け具74を総和ライン40〜46と結合する。この実施
形態では、部分的に調整可能なSAWデバイス75が得
られ、前述の実施形態よりも用いるスイッチ36および
制御ライン38は少ないが、高い自由度が可能である。
【0023】図6を参照すると、本発明の第2実施形態
のSAWデバイスの一部76が示されており、ここでは
隣接する制御ライン77間の間隔が徐々に広がるよう
に、制御ライン77が基板78上に配されている。この
実施形態は、可調整SAWデバイスの製造を簡略化する
ことができる。何故なら、制御ライン77は基板78内
に分散するので、制御ライン77を広げることができる
と共に制御ライン77間の間隔を広げることができ、D
C電圧を受けるための制御ライン77の適合化が簡略化
されるからである。
【0024】図7を参照すると、第3実施形態のSAW
デバイスの一部79が示されており、ここでは複数の金
属トレース80がSAW IDTフィンガ81に電気的
に結合されている。金属トレース80は、第1端82に
おいてSAW IDTフィンガ81に結合され、基板8
3内に分散する。隣接する金属トレース80間の間隔
は、基板83内の金属トレース80の分散と共に広がる
ので、各金属トレース80の幅は、各金属トレース80
の第1端82から第2端84に向かって広げることがで
きる。この実施形態では、スイッチ84が各金属トレー
ス81の各端部84に配置されている。金属トレース8
0をSAW IDTフィンガ81に結合し、金属トレー
ス80を基板82に分散させることにより、連続するス
イッチ84間の分離を広げることができ、スイッチ84
を物理的に大きくすることができるので、可調整SAW
デバイス79の製造が簡略化する。金属トレース80
は、表面弾性波の発生に対する影響は最少である。何故
なら、金属トレース80は分散し、したがって平行でな
く、事実上表面弾性波を発生する適正な間隔を有さない
からである。
【0025】図8を参照すると、本発明の第4実施形態
の可調整SAWデバイス86が、複数の異なる予め選択
したフィルタ特性を与える可調整フィルタ87として構
成されている。スイッチ36(図2ないし図4)の開状
態および閉状態を変えることよって、可調整SAWデバ
イス86(図8)は、バンドパス・フィルタ、ノッチ・
フィルタ、適応フィルタ、イコライザ、または当業者に
は公知のその他のあらゆるフィルタとして構成すること
ができる。
【0026】例えば、図9を参照すると、本発明の第5
実施形態では、可調整SAWデバイス88は、可調整フ
ィルタ89として構成され、これは位相および振幅をプ
ログラムすることにより、例を図10aないし図10c
に示すように、可調整フィルタ89によって、あらゆる
パスバンド(通過帯域)形状を選択して形成することが
できる。
【0027】図11および図12を参照すると、本発明
の第6実施形態では、可調整SAWデバイス90は、可
調整ノッチ・フィルタ91として構成され、選択した周
波数帯域において、当該バンド内にある当技術分野では
ノッチ92として知られる、選択した周波数92を除い
て、全ての周波数を通過するように構成されている。可
調整SAWデバイス90のSAWフィンガ36(図2)
を相互接続することによって得られ、1つ以上のノッチ
92が単一の可調整ノッチ・フィルタ91から同時に、
予め選択した相互接続パターンを形成して所望のノッチ
92を有することができる。これらのノッチ92は、必
要に応じて、SAW IDTフィンガ29上のスイッチ
36(図2)の電気的コマンドによって変化させること
ができる。
【0028】図13を参照すると、本発明の第7実施形
態では、可調整SAWデバイス96は、適応フィルタ9
7として構成することができ、これは入力信号98に動
的に応答し、これに追従する。適応フィルタ97は、予
め選択したフィルタ応答99を与えるように構成されて
いる。入力信号98を含む入力スペクトル100を可調
整SAWデバイス96に通過させ、出力101を発生
し、これを信号分析手段102に供給する。出力101
をフィルタ制御電子装置103に結合することによっ
て、フィードバック条件が得られる。
【0029】フィルタ97は最初は低い信号対ノイズ比
(SNR)に対応する広帯域動作を行なうように構成さ
れている。信号分析手段102によって出力101を分
析し、入力信号98の存在を確かめる。信号の識別およ
び特徴化に続いて、フィルタ応答99の中心周波数10
4を調整し、入力信号98の中心周波数105に一致さ
せる。可調整フィルタ97の帯域幅を狭め、受信SNR
を最大に高める。あるいは、可調整フィルタ97の帯域
幅は、入力信号98の電気的特性にほぼ一致するマッチ
ド・フィルタ(整合フィルタ)応答を得るような形状と
する。フィードバックを備えることにより、フィルタ9
7は高SNR即ち一致検出モードで動的に入力信号98
を追跡し処理することが可能となる。
【0030】あるいは、可調整SAWデバイス96は、
高SNRに対応する狭い帯域幅、即ち、マッチド・フィ
ルタ・モードを備えるように構成することも可能であ
る。可調整フィルタ97は、所望の信号98に対する入
力スペクトル100を走査するために、選択した中心周
波数104を有するフィルタ応答99が得られるように
構成することができる。これを行なうには、可調整SA
Wデバイス96をフィルタ・エレメントとして構成し、
中心周波数、帯域幅およびインパルス応答というよう
な、選択したフィルタ応答特性が得られるように構成す
る。適応フィルタ97は、入来信号98を中心とする狭
帯域バンドパス・フィルタとして最適化し、帯域外ノイ
ズ106を除外することにより、検出SNRを最大に高
めるように構成する。
【0031】図14ないし図16を参照すると、本発明
の第8実施形態では、可調整SAWデバイス108は、
電気的に動作するイコライザ109として構成すること
ができる。複素マイクロ波ユニット110は、多数の電
気構成部品を内蔵し、その各々は、所望の公称電気的特
性から多少変化させることができる。各電気構成部品の
電気的特性を互いに組み合わせると、得られる信号11
2は、図15に示すような、パスバンド全域に及ぶロー
ルオフのような、望ましくない効果を呈することが多
い。
【0032】従来技術のシステムにおいて望ましくない
効果を補償するには、望ましくない効果を補償し通過帯
域の形状を補正するように構成されたイコライザ(図示
せず)に、得られた信号112を通過させることもあ
る。これら従来技術のイコライザでは、信号112の適
正な補償は、大抵の場合カスタム設計および/または手
動調整で行なう。従来技術のイコライザを単一の可調整
SAWデバイス108と交換し、可調整SAWデバイス
108を電気的に動作するイコライザ109として構成
することにより、帯域全体に選択した減衰を発生し、望
ましくない効果を補償することができる。可調整SAW
イコライザ109の従来技術のイコライザに対する利点
は、物理的な調整が不要であり、ユニット110内の他
の構成部品と一緒に製造し組み込むことが可能な点にあ
る。次いで、ユニット110および可調整SAWデバイ
ス108を調整し、ユニット110の検査中に、予め選
択した出力および予め選択した補正周波数応答114
を、図16に示すように得ることができる。これによっ
て、精確なユニットの性能を維持しつつ、製造コストの
削減、およびユニット110内の個々の構成部品に対す
る比較的緩やかな仕様が同時に可能となる。
【0033】図17および図18を参照すると、本発明
の第9実施形態では、可調整SAWデバイス116は、
可調整フィルタ117として構成されており、当業者に
はフィルタ118のバンクとして知られている複数のフ
ィルタ118に取って代わるものである。従来技術の通
信システム119は、SAWバンドパス・フィルタ11
8またはSAW遅延線(図示せず)のいずれかのバンク
を使用する。従来技術のシステム119は、ユーザの要
求に応じて、一度に1つのフィルタ118または遅延線
にのみ切り替える。バンドパス・フィルタ118の場
合、各フィルタ118は異なる帯域幅を有する。遅延線
の場合、異なる遅延線はインパルス応答の異なる時間遅
延および持続期間を有する。
【0034】本発明では、単一の可調整SAWデバイス
116は、可調整フィルタ117として構成され、単一
の可調整フィルタ117をフィルタ118のバンク全体
と置き換える。可調整SAWデバイス116(図17)
のSAW IDTフィンガ36(図2)は、予め選択し
たように相互接続され、いずれの時点においても所望の
フィルタ特性が得られ、従来技術のフィルタ118のバ
ンクに対して、サイズ、コストおよび重量の利点が得ら
れる。何故なら、一度に1つだけしか用いられない多数
のフィルタ118が、単一の可調整フィルタ117によ
って置き換えられるからである。
【0035】加えて、フィルタ118のバンクは、各々
固定の設計および固定の電気的特性を有する、有限数の
フィルタ118間で切り替えなければならないが、可調
整フィルタ117は、フィルタ118のバンクによって
得られるのと同じ電気的特性を得るように構成できるだ
けでなく、フィルタ118のバンクでは得ることができ
ない、追加の予め選択した電気的特性を得るように構成
することも可能である。例えば、従来技術のフィルタ・
バンク118が1、2および4MHzの帯域幅をカバー
する場合、可調整フィルタ117は、同じ1、2および
4MHzの帯域幅を得ることに加えて、0.85MH
z、1.57MHz等のような追加の選択した帯域幅も
得るように構成することができ、したがって、フィルタ
117には高い多様性が備えられている。
【0036】可調整フィルタ117は衛星(図示せず)
内に配備し、遠隔的にプログラムするように構成し、可
調整フィルタ117が地上からの信号の受信時に、遠隔
的に新たなフィルタ特性が得られるように構成し直すこ
とができる。これによって、衛星の寿命の間に、複数の
新たな帯域幅をいずれの時点でも衛星に送信することが
可能となる。
【0037】図19を参照すると、本発明の第10実施
形態では、複数の可調整SAWデバイス120,121
が、可調整可変レート信号処理マッチド・フィルタ・エ
レメント122が得られるように構成されている。ディ
ジタル通信システム、最も顕著なものでは、発展しつつ
あるワイヤレス・システムは、QPSK、OQPSK、
M−PSK AND GPSKというような、スペクト
ル効率が高い変調技法を採用している。これらの変調レ
ートは全てキャリア位相を操作して、情報を搬送する。
現在の通信に規定されている狭帯域幅を維持するために
は、円滑なキャリア位相遷移によって規制する必要があ
る。この遷移を行なうには、通常、二乗余弦(rais
ed cosine)またはガウス・フィルタ(gau
ssian filter)のいずれかによって、デー
タ・パルスを整形する。受信システムは、送信機のフィ
ルタと一致するフィルタを内蔵し、最適な検出を行な
う。マッチド・フィルタのインパルス応答はデータ・レ
ートの関数であるので、データ・レートが異なれば、異
なるフィルタを使用しなければならない。マッチド・フ
ィルタに関する更に詳しい説明は、Academic
Press,Inc.(アカデミック・プレス社)が1
989年に出版したCollin Campbell
(コリン・キャンベル)著の「Surface Aco
ustic Wave Device and The
ir Signal Processing Appl
ications(表面弾性波素子およびその信号処理
の応用)」という書籍の298ページにおいて見出すこ
とができる。
【0038】可調整SAWデバイス120,121を可
調整マッチド・フィルタ122となるように構成するこ
とにより、単一の可調整マッチド・フィルタ122を用
いて、各可調整SAWデバイス120,121の応答を
選択的に所望のデータ・レートに合わせて構成すること
により、広い範囲のデータ・レートに対するマッチド・
フィルタの特性を得ることが可能となる。適切な制御電
子回路124を追加することにより、連続的に可変なデ
ータ・レートを有するデータ・リンク126を構築し、
システムのBERを最適化することが可能となる。
【0039】図20および図21を参照すると、本発明
の第11実施形態では、RADAR(レーダ)システム
132内に1対の可調整SAWデバイス128,130
を配し、妨害防止RADARマッチド・フィルタが得ら
れるように構成する。各可調整SAWデバイス128,
130は、複数のRADARパルス136,138を有
する信号134を発生するように構成され、各RADA
Rパルス136,138は異なる振幅および帯域幅特性
を有する。可調整SAWデバイス128,130の相互
接続パターンを変化させることにより、各RADARパ
ルス136,138の振幅および帯域幅が変化するた
め、敵エミッタ(図示せず)が受信パルス履歴から送信
信号特性の完全な知識を得ることができず、したがって
容易に偽反射信号(リターン)を発生しRADARシス
テム132を欺くことができないようにする。
【0040】図22を参照すると、本発明の第12実施
形態では、可調整SAWデバイス142は、入力変換器
144および出力変換器146双方がチャープ変換器1
44,146となるように設計および構成されている。
チャープ変換器に関する更に詳細な論述は、前述の表面
弾性波素子の参考文献の「The SAW Linea
r FM Chirp Filter(SAW線形FM
チャープ・フィルタ)」と題する第9章に見出すことが
できる。変換器144,146は、双方の変換器14
4,146の左端部150,152において、密接配置
された狭いフィンガ148を有し、次いで双方の変換器
144,146の右端部154,156に向かってフィ
ンガの幅およびフィンガ148間の間隔が増大し、右端
部154,156において最大となるように構成されて
いる。
【0041】チャープ変換器では、いずれの特定の周波
数においても適正に離間されたフィンガ148の小グル
ープのみが有効である。最も高い周波数の波は、入力変
換器144の左端部150から出力変換器146の左端
部152に伝搬し、最も低い周波数の波は、入力変換器
144の右端部154から出力変換器146の右端部1
54に伝搬する。同様に、中間周波数の波は、変換器1
44,146における中間点の間で伝搬する。変換器1
44,146が同一であれば、変換器144,146の
異なる領域が異なる周波数において有効であっても、遅
延は全ての周波数に対して一定である。
【0042】スイッチ158を用いて、変換器144,
146を通過することが望まれる周波数に関連するフィ
ンガ148のみを接続する。例えば、各変換器144,
146における各フィンガ148を交互の総和バーに接
続した場合、チャープ変換器142は広いフィルタ・パ
スバンド特性を有する。一方、入力変換器144の左端
部150においてフィンガ148の小グループを交互の
総和バーに接続し、更に出力変換器146の左端部15
2においてフィンガ148の小グループを交互の総和バ
ーに接続した場合、チャープ変換器142は、狭帯域高
周波数フィルタ特性を有する。チャープ変換器142
は、スイッチ158および制御ライン160によって調
整すれば、予め選択した多数のパスバンド(通過帯域)
だけでなく、予め選択した中心周波数および帯域幅を有
するパスバンドや、予め選択した幅および周波数を有す
るストップバンド(阻止帯域)が得られる特性を有する
ことが可能となる。
【0043】図23および図24を参照すると、本発明
の第13実施形態では、可調整SAWデバイス162
は、可調整プログラマブル・タップ遅延線162が得ら
れるように構成されている。典型的な従来技術のSAW
タップ遅延線164は、一連の等しい間隔166で配さ
れた遅延168全体の信号を合計するSAWデバイスで
ある。各遅延168における個々の部分変換器(サブ・
トランスデューサ)170は、当技術分野ではタップ1
70として知られている。適正な相互接続パターンでタ
ップ170を総和ライン172,174に相互接続する
と、タップ遅延線164は、位相コード化信号に対する
相関器として用いることができる。タップ遅延線164
を従来技術のSAWデバイスで実現し、図24に示すよ
うに全てのフィンガおよび相互接続が基板上に形成され
る場合、タップ遅延ライン164の電気的特性は永続的
に一定となる。この問題を解決するために、電界効果ト
ランジスタ(FET:図示せず)を用いて、タップ17
0の位相を切り替え、タップ170の振幅を制御するこ
とによって、必要に応じてタップ170の位相を切り替
えると共に、タップ170の振幅を変化させることが可
能となる。しかしながら、電界効果トランジスタは、半
導体材料(図示せず)で作り、各タップ170に対する
接続を簡便化するためにはタップ170と共にまたはそ
の付近に実装しなければならない。可調整SAWデバイ
ス162をプログラマブル可調整タップ遅延線162と
して構成することによって、FETを必要とすることな
く、タップ176の位相切り替えが可能となる。スイッ
チ178は、直接SAW基板180上に製作することが
できるので、組み立てが簡単となり、RF接続の問題も
軽減される。
【0044】再度図2に戻り、可調整SAWデバイス3
1は、スイッチ36を利用して、選択したSAWフィン
ガ29間の相互接続パターンを与え、この相互接続パタ
ーンを必要に応じて変化させることにより、単一のSA
Wデバイス31から複数の時間および周波数ドメインの
特性が可能となり、これによって、典型的なSAWデバ
イス10(図1)の特性が固定化するという欠点を克服
する。通信システムのような種々のシステムでは、1つ
以上の可調整SAWデバイス31(図2)を配置するこ
ともでき、可調整または適応フィルタとして構成してフ
ィルタのバンクと置き換えることにより、軽量化、コス
ト削減、および空間の縮小をもたらすことができる。
【0045】尚、本発明はこれまでに示しかつ説明した
ことに限定される訳ではないことは、当業者には認めら
れよう。本発明の範囲は、特許請求の範囲によってのみ
限定されるものとする。
【図面の簡単な説明】
【図1】典型的なSAWフィルタの平面図である。
【図2】本発明による可調整SAWデバイスの等角投影
図である。
【図3】開回路位置にある単一の微小スイッチの側面図
である。
【図4】閉回路位置にある単一の微小スイッチの側面図
である。
【図5】本発明の第1実施形態による可調整SAWデバ
イスの等角投影図である。
【図6】本発明の第2実施形態による可調整SAWデバ
イスの一部の等角投影図である。
【図7】本発明の第3実施形態による可調整SAWデバ
イスの一部の等角投影図である。
【図8】本発明の第4実施形態による可調整フィルタと
して構成した、可調整SAWデバイスのブロック図であ
る。
【図9】本発明の第5実施形態による可調整バンドパス
・フィルタとして構成した、可調整SAWデバイスのブ
ロック図である。
【図10】図10aは、図9の可調整バンドパス・フィ
ルタによって得られる通過帯域形状の一例である。図1
0bは、図9の可調整バンドパス・フィルタによって得
られる通過帯域形状の一例である。図10cは、図9の
可調整バンドパス・フィルタによって得られる通過帯域
形状の一例である。
【図11】本発明の第6実施形態による可調整ノッチ・
フィルタとして構成した、可調整SAWデバイスのブロ
ック図である。
【図12】図11の可調整ノッチ・フィルタによって得
られるパスバンド内におけるノッチ例である。
【図13】本発明の第7実施形態による適応フィルタを
得るように構成した可調整SAWデバイスのブロック図
である。
【図14】本発明の第8実施形態による、電気的に動作
するイコライザとして構成した可調整SAWデバイスの
ブロック図である。
【図15】図14に示したユニットから得られる信号出
力の周波数応答のグラフである。
【図16】図14の電気的に動作するイコライザからの
最終出力信号の補正周波数応答のグラフである。
【図17】本発明の第9実施形態による可調整フィルタ
として構成した、可調整SAWデバイスのブロック図で
ある。
【図18】通信システムに配置した従来技術のフィルタ
・バンクのブロック図を示す。
【図19】本発明の第10実施形態による可調整レート
信号処理マッチド・フィルタ・エレメントとして構成し
た可調整SAWデバイスのブロック図である。
【図20】本発明の第11実施形態による妨害防止RA
DARマッチド・フィルタ・エレメントとして構成した
可調整SAWデバイスのブロック図である。
【図21】図20の妨害防止RADARマッチド・フィ
ルタによって得られるRADARパルスを示す。
【図22】本発明の第12実施形態によるチャープ変換
器として構成した可調整SAWデバイスのブロック図で
ある。
【図23】本発明の第13実施形態による可調整プログ
ラマブル・タップ遅延線として構成した可調整SAWデ
バイスの概略図である。
【図24】従来技術のプログラマブル・タップ遅延線の
概略図である。
【符号の説明】
10 SAWデバイス 12 入力変換器 14 出力変換器 16 SAW IDTフィンガ 18 基板 20〜26 総和ライン 28 無線周波数(RF)信号電圧 29 SAW IDTフィンガ 30 基板 31 可調整SAWデバイス 32 入力SAW変換器 34 出力SAW変換器 36 微小スイッチ 38 制御ライン 40〜46 総和ライン 48 圧電基板 56 制御電圧 58 誘電体層 60 プレート 66 DC大地帰還手段 68 可撓性カンチレバー・アーム 70 メタライズ・スイッチ・コンタクト
フロントページの続き (72)発明者 ロバート・ビー・ストウクス アメリカ合衆国カリフォルニア州90275, ランチョ・パロス・ヴァーデス,スタディ ア・ヒル・レーン 29329 (72)発明者 クオ−シウン・イェン アメリカ合衆国カリフォルニア州90266, マンハッタン・ビーチ,トゥエンティサー ド・ストリート 1521 (72)発明者 アルヴィン・エム・コン アメリカ合衆国カリフォルニア州90266, マンハッタン・ビーチ,ウェンディ・ウェ イ 2000 (72)発明者 スティーヴン・イー・ハウスホルダー アメリカ合衆国カリフォルニア州90505, トーランス,ウエスト・トゥーハンドレッ ドトゥエンティシックスス・ストリート 3950,ナンバー 43 (72)発明者 ロナルド・ディー・カスパレック アメリカ合衆国カリフォルニア州90503, トーランス,ノートン・ストリート 5515

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 可調整表面弾性波(SAW)デバイスで
    あって、 圧電基板と、 前記基板上に配置された複数のSAW櫛形変換器(ID
    T)フィンガであって、全体で1組のSAW IDTフ
    ィンガを構成する、SAW IDTフィンガと、 前記SAW IDTフィンガ間に複数の相互接続パター
    ンを提供することにより、前記複数の相互接続パターン
    が前記1組のSAW IDTフィンガによって得られる
    ようにする手段と、を備える可調整SAWデバイス。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の可調整SAWデバイスに
    おいて、予め選択したSAW IDTフィンガ間に複数
    の相互接続パターンを提供する前記手段は、複数の機械
    的スイッチであり、各機械的スイッチは開状態と閉状態
    との間で選択的に制御可能であり、前記機械的スイッチ
    の各々の前記開状態および閉状態が前記相互接続パター
    ンの各々を規定し、前記機械的スイッチの各々の前記開
    状態および閉状態を選択的に変化させることによって、
    前記複数の相互接続パターンを提供する、可調整SAW
    デバイス。
  3. 【請求項3】 請求項2記載の可調整SAWデバイスに
    おいて、前記複数のスイッチは、更に、複数の制御ライ
    ンを備え、各制御ラインは制御電圧を受けるように適応
    され、前記制御電圧の前記制御ラインの各々への印加お
    よび除去によって各スイッチの前記閉状態および開状態
    をそれぞれ生成する、可調整SAWデバイス。
  4. 【請求項4】 可調整SAW変換器であって、 圧電基板と、 前記基板上に形成された複数の表面弾性波(SAW)櫛
    形変換器(IDT)フィンガであって、各々2つの端部
    を有する、SAW IDTフィンガと、 開状態および閉状態間で選択的に変更可能な複数のスイ
    ッチであって、 前記基板上に形成された複数の制御ラインであって、各
    前記制御ラインと各前記SAW IDTフィンガの端部
    の一方との間に第1ギャップを形成するように各々位置
    付けた制御ラインと、 複数の誘電体層であって、各々予め選択した数の前記制
    御ラインに取り付けられた、誘電体層と、 複数の導電性プレートであって、各々前記誘電体層の1
    つに取り付けられた、導電性プレートと、 各前記プレートに結合された複数のDC大地帰還手段
    と、 前記プレートに取り付けられた複数の導電性可撓性カン
    チレバー・アームであって、各前記カンチレバー・アー
    ムは、1つの前記第1ギャップ上に延び、前記制御ライ
    ンの1つの一部の上に部分的に延び、前記カンチレバー
    ・アームと前記SAW IDTフィンガとの間に複数の
    第2ギャップを形成する、導電性可撓性カンチレバー・
    アームと、から成る複数のスイッチと、を備え、 各カンチレバー・アームの前記制御ライン上にある前記
    部分は、DC電圧の各前記制御ライン上への印加時に、
    静電的に前記制御ラインに向かって誘引可能であり、前
    記DC電圧の選択的印加によって、選択したカンチレバ
    ー・アームを選択したSAWフィンガと電気的に接触さ
    せて、前記選択したカンチレバー・アームと前記選択し
    たSAW IDTフィンガとの間の選択した第2ギャッ
    プを閉じ、それによって、前記選択したカンチレバー・
    アームおよび前記選択したSAWフィンガが前記閉状態
    を形成し、前記DC電圧の選択的除去によって、選択し
    たカンチレバー・アームが選択したSAW IDTフィ
    ンガとの電気的接触を停止し、それによって、前記選択
    したカンチレバー・アームおよび前記選択したSAW
    IDフィンガが前記開状態を形成し、前記DC電圧の前
    記印加を選択的に変化させることによって、各スイッチ
    の前記開状態および閉状態を選択的に変化させる、可調
    整SAW変換器。
  5. 【請求項5】 請求項4記載の可調整SAW変換器であ
    って、更に、前記基板上に形成された複数の金属トレー
    スを備え、各前記金属トレースは第1および第2端部を
    有し、各金属トレースの前記第1端部は前記SAW I
    DTフィンガの一端に電気的に結合され、前記金属トレ
    ースは前記基板内に分散し、その結果隣接する金属トレ
    ース間の間隔が、前記第1端部から前記第2端部に向か
    って広がって行き、各前記第1ギャップが、1つの制御
    ラインと1つの金属トレースの前記第2端部との間に形
    成される、可調整SAW変換器。
  6. 【請求項6】 請求項5記載の可調整SAW変換器にお
    いて、各前記金属トレースは、前記基板内の各金属トレ
    ースの前記分散に対応して単調に増加する幅を有する、
    可調整SAW変換器。
  7. 【請求項7】 請求項4記載の可調整SAW変換器にお
    いて、前記各制御ラインは第1端部および第2端部を有
    し、前記第1端部は前記第2端部よりも前記SAW I
    DTフィンガに接近して配置され、前記制御ラインは、
    当該制御ライン間の前記間隔が、前記第1および第2端
    部間で広がって行くように、前記基板上で分散する、可
    調整SAW変換器。
  8. 【請求項8】 請求項4記載の可調整SAW変換器にお
    いて、前記可調整SAW変換器は遠隔的にプログラム可
    能である、可調整SAW変換器。
  9. 【請求項9】 送信信号を検出し復元する装置であっ
    て、 送信システム内に配置され、前記送信信号を送信するよ
    うに構成された第1可調整フィルタであって、 第1圧電基板と、 前記第1基板上に配置された複数の第1SAW IDT
    フィンガと、 前記第1SAW IDTフィンガ間に複数の相互接続パ
    ターンを提供する手段とから成る、第1可調整フィルタ
    と、 受信システム内に配置され、前記送信信号を検出し復元
    するように構成された第2可調整フィルタであって、 第2圧電基板と、 前記第2基板上に配置された複数の第2SAW IDT
    フィンガと、 前記第2SAW IDTフィンガ間に複数の第2相互接
    続パターンを提供する手段とから成る、第2可調整フィ
    ルタと、を備え、前記第1および第2相互接続パターン
    は、前記第1および第2可調整フィルタがマッチド・フ
    ィルタとなるように構成され、これによって前記送信信
    号の信号検出および復元を最適に達成可能とする、装
    置。
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