JP2001044239A - Method of mounting mixture of electronic component and member for use in mixture mounting process - Google Patents

Method of mounting mixture of electronic component and member for use in mixture mounting process

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JP2001044239A
JP2001044239A JP11215576A JP21557699A JP2001044239A JP 2001044239 A JP2001044239 A JP 2001044239A JP 11215576 A JP11215576 A JP 11215576A JP 21557699 A JP21557699 A JP 21557699A JP 2001044239 A JP2001044239 A JP 2001044239A
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Japan
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bare chip
mounting
circuit board
screen mask
semiconductor bare
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Kazuyoshi Amami
和由 天見
Toru Saito
徹 齋藤
Tomiyo Ema
富世 江間
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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    • H01L2224/451Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
    • H01L2224/45138Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/45144Gold (Au) as principal constituent

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To easily and precisely conduct mixed mounting of a semiconductor bare chip and a surface mount component, even when a flexible film is used. SOLUTION: After a semiconductor bare chip 50 is mounted on a flexible film 30, it is subjected to cream solder printing. At this time, a screen mask 70, having a projected portion 75 at a portion corresponding to a mounting region of the semiconductor bare chip 50, is placed on the flexible film 30. A squeegee 80, formed such that a portion 85 corresponding to the projected portion and other main body portion 86 can be deformed independently, is brought into contact with the screen mask 70. A cream solder supplied on the screen mask 70 is scraped off by this squeegee 80. Then, a surface mounted components is mounted on the cream solder printing portion. The cream solder is melted by a reflow process to mount the surface mounted component.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、回路基板上に異種
電子部品を混載実装する方法に関し、特に、回路基板と
なる帯状のフレキシブルフィルムに半導体ベアチップと
表面実装部品とを実装する電子部品の混載実装方法及び
その混載実装工程に用いる部材に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of mounting heterogeneous electronic components on a circuit board, and more particularly, to a method of mounting electronic components for mounting a semiconductor bare chip and a surface mounting component on a strip-shaped flexible film serving as a circuit board. The present invention relates to a mounting method and a member used in a mixed mounting process.

【0002】[0002]

【従来の技術】回路基板上に半導体チップと他の回路素
子などを含む異種電子部品を混載実装する場合、従来で
は、半導体ベアチップをQFP(Quad Flat Package )
に代表される半導体パッケージに加工し、これを他の表
面実装部品(SMD)とともに、クリームはんだ印刷さ
れた回路基板上に搭載して、リフロー工程により電気的
機械的に接続して組み付ける実装方法が用いられてい
た。しかし近年、エレクトロニクス産業界では、装置の
小型軽量化がますます進み、これに対応して半導体ベア
チップをフェイスダウン状態で回路基板に実装するフリ
ップチップ実装工法が用いられるようになってきた。
2. Description of the Related Art When heterogeneous electronic components including a semiconductor chip and other circuit elements are mixedly mounted on a circuit board, a semiconductor bare chip is conventionally mounted on a QFP (Quad Flat Package).
Is mounted on a circuit board printed with cream solder, together with other surface mount components (SMD), and then electrically and mechanically connected and assembled by a reflow process. Was used. In recent years, however, in the electronics industry, devices have become increasingly smaller and lighter, and in response to this, a flip-chip mounting method for mounting a semiconductor bare chip face down on a circuit board has been used.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】上述した従来のフリッ
プチップ実装工法等では、小型化に伴い、半導体ベアチ
ップ等の端子間隔の狭ピッチ化による実装精度の管理や
異物混入に関する管理をより厳しくしなければならない
こと、及び封止樹脂を使用することなどから、半導体ベ
アチップと表面実装部品とを回路基板上に混載実装する
のが容易でなかった。特に、回路基板として剛性の低い
フレキシブルフィルムを使用する場合には、フレキシブ
ルフィルムの取り扱いが難しく、高精度の実装が非常に
困難であった。
In the above-mentioned conventional flip-chip mounting method and the like, with miniaturization, management of mounting accuracy by narrowing the pitch between terminals of a semiconductor bare chip or the like and management of foreign matter inclusion must be stricter. Because of the necessity and the use of a sealing resin, it has not been easy to mix and mount a semiconductor bare chip and a surface mount component on a circuit board. In particular, when a flexible film having low rigidity is used as a circuit board, it is difficult to handle the flexible film, and it is very difficult to mount the flexible film with high precision.

【0004】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、半導体ベアチップと表面実装部品とを確実かつ精密
に混載実装でき、回路基板としてフレキシブルフィルム
を用いた場合でも混載実装を容易に行うことが可能な電
子部品の混載実装方法及びその混載実装工程に用いる部
材を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is possible to reliably and precisely mount a semiconductor bare chip and a surface-mounted component together, and to easily carry out mixed mounting even when a flexible film is used as a circuit board. It is an object of the present invention to provide an electronic component mounting method and a member used in the electronic component mounting process.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明による電子部品の
混載実装方法は、回路基板に半導体ベアチップを実装す
る第1工程と、前記第1工程の後、前記半導体ベアチッ
プの実装領域に対応する部分に凸状部を有する一部を除
いて略平面状のスクリーンマスクを前記回路基板上に載
置し、この凸状部対応部分と他の本体部分とが独立して
変形可能に形成された平板状のスキージを前記スクリー
ンマスクに当接させ、このスキージにより前記スクリー
ンマスク上に供給したクリームはんだを掻き取ることに
より、前記回路基板にクリームはんだ印刷を行う第2工
程と、前記第2工程の後、前記回路基板に形成されたク
リームはんだに対応して他の電子部品を実装する第3工
程と、を有するものである。
According to the present invention, there is provided a hybrid mounting method for electronic components, comprising: a first step of mounting a semiconductor bare chip on a circuit board; and, after the first step, a portion corresponding to a mounting area of the semiconductor bare chip. A substantially flat screen mask is mounted on the circuit board except for a part having a convex portion on the circuit board, and the flat portion corresponding to the convex portion and another main body portion are formed so as to be independently deformable. A second step of performing cream solder printing on the circuit board by contacting a screen-shaped squeegee with the screen mask and scraping the cream solder supplied onto the screen mask with the squeegee; and after the second step. And a third step of mounting another electronic component corresponding to the cream solder formed on the circuit board.

【0006】また、好ましくは、前記第1工程におい
て、前記回路基板として帯状のフレキシブルフィルムを
用い、このフレキシブルフィルムに所定の張力を付加し
た状態とし、前記半導体ベアチップの実装領域を平らに
保つように、押圧治具によって前記実装領域を除いて前
記フレキシブルフィルムを押圧して平らな受け台上に密
着させ、前記実装領域に半導体ベアチップを組み付ける
こととする。
Preferably, in the first step, a strip-shaped flexible film is used as the circuit board, a predetermined tension is applied to the flexible film, and a mounting area of the semiconductor bare chip is kept flat. Then, the flexible film is pressed by a pressing jig except for the mounting area and is brought into close contact with a flat receiving table, and a semiconductor bare chip is assembled in the mounting area.

【0007】また、好ましくは、前記スクリーンマスク
を前記回路基板上に載置した状態における、スクリーン
マスクの凸状部内部上面と実装した半導体ベアチップ最
上面との高さ方向間隔を、100μm以下に設定する。
[0007] Preferably, in a state where the screen mask is mounted on the circuit board, an interval in a height direction between a top surface inside the convex portion of the screen mask and a top surface of the mounted semiconductor bare chip is set to 100 μm or less. I do.

【0008】また、好ましくは、前記回路基板におい
て、前記半導体ベアチップの実装前にレジストを層状に
形成し、このレジストにおいて前記半導体ベアチップの
実装領域に対応する部分にレジスト開口部を設けること
とする。
Preferably, in the circuit board, a resist is formed in a layer before mounting the semiconductor bare chip, and a resist opening is provided in a portion of the resist corresponding to a mounting region of the semiconductor bare chip.

【0009】本発明による電子部品の混載実装工程用ス
クリーンマスクは、回路基板への電子部品の混載実装に
おいてクリームはんだ印刷を行う工程で用いるもので、
前記回路基板上に載置して該回路基板を覆うスクリーン
マスクであって、一部を除いて略平面状に形成され、前
記回路基板に実装する半導体ベアチップの実装領域に対
応する部分に凸状部を設けたものである。また、好まし
くは、前記スクリーンマスクの前記回路基板への当接面
から前記凸状部内部上面までの高さを、前記回路基板に
実装した半導体ベアチップ最上面の高さより100μm
以内で高く設定する。
A screen mask for a mixed mounting process of electronic parts according to the present invention is used in a step of performing cream solder printing in mixed mounting of electronic parts on a circuit board.
A screen mask that is placed on the circuit board and covers the circuit board. The screen mask is formed in a substantially planar shape except for a part, and has a convex shape on a portion corresponding to a mounting area of a semiconductor bare chip mounted on the circuit board. Part is provided. Further, preferably, the height from the contact surface of the screen mask to the circuit board to the upper surface inside the convex portion is 100 μm higher than the height of the top surface of the semiconductor bare chip mounted on the circuit board.
Set high within.

【0010】本発明による電子部品の混載実装工程用ス
キージは、回路基板への電子部品の混載実装においてク
リームはんだ印刷を行う工程で用いるもので、前記回路
基板を覆うスクリーンマスクに当接して該スクリーンマ
スク上に供給したクリームはんだを掻き取るスキージで
あって、平板状に形成されたスキージ本体において、前
記スクリーンマスクに形成された凸状部に対応した凸状
部対応部分と他の本体部分とが独立して変形可能に形成
されたものである。
The squeegee for the mixed mounting of electronic components according to the present invention is used in the step of performing cream solder printing in the mixed mounting of electronic components on a circuit board. A squeegee for scraping cream solder supplied on a mask, wherein, in a squeegee main body formed in a flat plate shape, a convex portion corresponding portion corresponding to a convex portion formed on the screen mask and another main body portion. It is formed so as to be independently deformable.

【0011】上記のように、スクリーンマスクに凸状部
を設けることにより、クリームはんだ印刷の際に発生す
る応力が半導体ベアチップに加わることがなく、半導体
ベアチップ実装部への悪影響が防止され、実装部の信頼
性が確保される。また、スキージにおいて、例えばスク
リーンマスクの凸状部対応部分と他の本体部分との境界
にスリットを設けて、凸状部対応部分を独立して変形可
能にすることにより、スキージがスクリーンマスク全面
に対して均等に力が加わるように当接するため、むらの
ない良好なクリームはんだ印刷が可能であり、均等で安
定した厚さのクリームはんだが形成される。また、スク
リーンマスクを回路基板上に載置した状態でスクリーン
マスクの凸状部内部上面と実装した半導体ベアチップ最
上面との高さ方向間隔を100μm以下に規定すること
により、凸状部の高さの監視によってクリームはんだ印
刷と同時に半導体ベアチップの実装部における異物混入
などの異常検出が可能となる。
As described above, by providing the projections on the screen mask, the stress generated at the time of cream solder printing is not applied to the semiconductor bare chip, and the semiconductor bare chip mounting portion is prevented from being adversely affected. Reliability is ensured. Further, in the squeegee, for example, a slit is provided at a boundary between a convex portion corresponding portion of the screen mask and another main body portion so that the convex portion corresponding portion can be independently deformed, so that the squeegee can cover the entire surface of the screen mask. Since the contact is made so that a force is evenly applied to the contact, uniform and good cream solder printing is possible, and a cream solder having a uniform and stable thickness is formed. In addition, when the screen mask is placed on the circuit board, the height-direction interval between the upper surface of the inside of the convex portion of the screen mask and the uppermost surface of the mounted semiconductor bare chip is set to 100 μm or less, so that the height of the convex portion is reduced. By monitoring the solder soldering, it is possible to detect an abnormality such as foreign matter in the mounting portion of the semiconductor bare chip at the same time as the cream solder printing.

【0012】また、半導体ベアチップと他の表面実装部
品などの電子部品とを混載実装する際に、半導体ベアチ
ップの実装を先に行うことにより、実装部の異物混入に
対する管理が容易になり、管理基準を緩和できるように
なる。なお、半導体ベアチップの実装には、フリップチ
ップ実装方法、異方性導電膜を用いた実装方法などを用
いる。また、回路基板として帯状のフレキシブルフィル
ムを用いた場合に、このフレキシブルフィルムに所定の
張力を付加し、押圧治具によって半導体ベアチップの実
装領域を平らに保ちつつ、半導体ベアチップを組み付け
ることにより、剛性の低いフレキシブルフィルムにおい
て生じる撓みや折り曲げなどの不具合が防がれ、生産性
の劣化が抑制される。また、回路基板において、半導体
ベアチップの実装前にレジストを層状に形成し、半導体
ベアチップの実装領域に対応する部分にレジスト開口部
を設けることにより、半導体ベアチップの実装時に、封
止樹脂や異方性導電膜がレジストによって堰き止めら
れ、レジスト開口部より封止樹脂がはみ出して広がるこ
とはないため、スクリーンマスクの浮き上がりや他の電
子部品への悪影響が防止される。
In addition, when the semiconductor bare chip and other electronic components such as surface mount components are mounted in a mixed manner, the mounting of the semiconductor bare chip is performed first, thereby facilitating the management of foreign matter in the mounting portion. Can be alleviated. Note that a semiconductor bare chip is mounted by a flip chip mounting method, a mounting method using an anisotropic conductive film, or the like. Further, when a strip-shaped flexible film is used as a circuit board, a predetermined tension is applied to the flexible film, and the mounting area of the semiconductor bare chip is kept flat by a pressing jig, and the semiconductor bare chip is assembled, whereby rigidity is improved. Problems such as bending and bending that occur in a low flexible film are prevented, and deterioration of productivity is suppressed. In addition, a resist is formed in a layer on the circuit board before mounting the semiconductor bare chip, and a resist opening is provided in a portion corresponding to a mounting area of the semiconductor bare chip. Since the conductive film is blocked by the resist and the sealing resin does not protrude from the resist opening and spread, the floating of the screen mask and the adverse effect on other electronic components are prevented.

【0013】このような電子部品の混載実装方法によれ
ば、確実かつ精密に半導体ベアチップと表面実装部品と
の混載実装が可能であり、回路基板としてフレキシブル
フィルムを用いた場合でも容易かつ高精度に実装できる
ようになる。
According to such an electronic component mounting method, the semiconductor bare chip and the surface mounting component can be mounted in a reliable and accurate manner and easily and accurately even when a flexible film is used as a circuit board. Be able to implement.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を説明する。図1は本発明の一実施形態に係る
電子部品の混載実装方法によって半導体ベアチップをフ
レキシブルフィルムに組み付けるための工程を示す説明
図、図2は図1で示される工程に続いてスクリーンマス
クを使用してフレキシブルフィルム上にクリームはんだ
印刷を施す工程を示す説明図、図3は図2で示される工
程において用いられるスキージの構造を説明する斜視
図、図4はフレキシブルフィルムにレジストを設けた場
合の他の実装例を示す説明図である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is an explanatory view showing a process for assembling a semiconductor bare chip on a flexible film by a hybrid mounting method of an electronic component according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 uses a screen mask following the process shown in FIG. FIG. 3 is an explanatory view showing a step of performing cream solder printing on a flexible film, FIG. 3 is a perspective view illustrating a structure of a squeegee used in the step shown in FIG. 2, and FIG. It is explanatory drawing which shows the example of implementation of.

【0015】本実施形態では、回路基板として柔軟なフ
レキシブルフィルムを用い、このフレキシブルフィルム
上に半導体ベアチップと表面実装部品とを混載して実装
する場合の実装方法を示す。
In this embodiment, a mounting method is described in which a flexible flexible film is used as a circuit board, and a semiconductor bare chip and a surface mount component are mixedly mounted on the flexible film.

【0016】まず初めに、フレキシブルフィルム30の
上に半導体ベアチップ50を実装する。図1において、
(A)及び(B)は実装工程を横から見た図、(C)は
半導体ベアチップを実装した状態を上から見た図であ
る。
First, the semiconductor bare chip 50 is mounted on the flexible film 30. In FIG.
(A) and (B) are views when the mounting process is viewed from the side, and (C) are views when the state where the semiconductor bare chip is mounted is viewed from above.

【0017】図1(A)に示されるように、平らな上面
を有する受け台10を水平に設置する。リール等からな
るフレキシブルフィルム保持手段(不図示)は、配線基
板となる帯状のフレキシブルフィルム30を両方に引っ
張って所定の張力を付加するとともに、フレキシブルフ
ィルム30を2つの支持部21,22に支持させた状態
で受け台10の上面から所定の間隔をあけて保持する。
この場合、半導体ベアチップが組み付けられる部分は、
2つの支持部21,22の中間部分に来るように位置決
めするのが望ましい。
As shown in FIG. 1A, a pedestal 10 having a flat upper surface is set horizontally. A flexible film holding means (not shown) made of a reel or the like pulls the strip-shaped flexible film 30 serving as a wiring board to both sides to apply a predetermined tension, and allows the flexible film 30 to be supported by the two support portions 21 and 22. It is held at a predetermined distance from the upper surface of the cradle 10 in the state of being held.
In this case, the part where the semiconductor bare chip is assembled is
It is desirable that the positioning is performed so as to be located at an intermediate portion between the two support portions 21 and 22.

【0018】次に、図1(B)に示すように、底部が平
らな押圧面である押圧治具40を2つの支持部21,2
2の間に降下させ、フレキシブルフィルム保持手段から
の張力に対抗してフレキシブルフィルム30を押圧し、
フレキシブルフィルム30を平坦に保った状態で受け台
10の上に密着させる。押圧治具40は、フレキシブル
フィルム30を押圧する押圧面のほぼ中央部分に、半導
体ベアチップ50を組み付けるために組み付け用開口4
1として貫通孔が形成されている。
Next, as shown in FIG. 1 (B), a pressing jig 40 having a flat bottom pressing surface is attached to two support portions 21 and 21.
2, the flexible film 30 is pressed against the tension from the flexible film holding means,
The flexible film 30 is brought into close contact with the cradle 10 while being kept flat. The pressing jig 40 has an assembling opening 4 for assembling the semiconductor bare chip 50 at substantially the center of the pressing surface for pressing the flexible film 30.
1, a through hole is formed.

【0019】そして、半導体ベアチップ50を保持した
ベアチップ組み付け装置60を押圧治具40の組み付け
用開口41の中に降下させ、図1(C)に示すように、
公知の実装方法により半導体ベアチップ50をフレキシ
ブルフィルム30の上に実装する。半導体ベアチップ5
0の実装方法としては、種々の方法を適用でき、例え
ば、図示したように突起電極を形成して行うフリップチ
ップ実装方法とか、異方性導電膜を用いた実装方法など
により、半導体ベアチップ50の端子とフレキシブルフ
ィルム30の導電パターンとを電気的に接続する。
Then, the bare chip assembling device 60 holding the semiconductor bare chip 50 is lowered into the assembling opening 41 of the pressing jig 40, and as shown in FIG.
The semiconductor bare chip 50 is mounted on the flexible film 30 by a known mounting method. Semiconductor bare chip 5
Various methods can be applied as the mounting method of the semiconductor bare chip 50, such as a flip-chip mounting method in which projecting electrodes are formed as shown in the drawing, a mounting method using an anisotropic conductive film, or the like. The terminals and the conductive pattern of the flexible film 30 are electrically connected.

【0020】その後、組み付けた半導体ベアチップ50
を封止樹脂55によって封止する(図2参照)。この例
において、半導体ベアチップ50は、ワイヤボンディン
グ装置を改良したバンプボンダ装置を用いてAuワイヤ
を溶かして球状のバンプを形成し、それを超音波、熱、
圧力等によりベアチップに接合することによって突起電
極51(図2参照)を持つように形成されている。
Thereafter, the assembled semiconductor bare chip 50
Is sealed with a sealing resin 55 (see FIG. 2). In this example, the semiconductor bare chip 50 forms a spherical bump by melting an Au wire by using a bump bonder in which a wire bonding apparatus is improved, and the bump is formed by ultrasonic waves, heat, or the like.
It is formed to have a protruding electrode 51 (see FIG. 2) by bonding to a bare chip by pressure or the like.

【0021】図1の工程において、フレキシブルフィル
ム30は常に張力がかかった状態であるため、半導体ベ
アチップ50を組み付ける際にフレキシブルフィルム3
0に反りや波打ちなどの不具合が生じることはなく、ま
た、押圧治具40を用いることによって、半導体ベアチ
ップ実装領域の平面度も十分に確保された状態で精度良
く確実に実装を行うことができる。また、帯状に加工し
たフレキシブルフィルムを用いることにより、連続的に
実装工程を処理することができ、生産性も向上する。
In the process shown in FIG. 1, since the flexible film 30 is always in tension, the flexible film 3 is
There is no problem such as warping or waving in 0, and by using the pressing jig 40, it is possible to mount the semiconductor bare chip accurately and reliably in a state where the flatness of the mounting area is sufficiently ensured. . Further, by using the flexible film processed into a belt shape, the mounting process can be continuously performed, and the productivity is also improved.

【0022】上記のように半導体ベアチップ50をフレ
キシブルフィルム30上に実装した後、表面実装部品の
実装を行うためにクリームはんだ印刷を行う。半導体ベ
アチップ50の組付けが完了(封止も含めて)したら、
図2に示されるように、一部を除いて略平面状のフレキ
シブルフィルム30を平らな受け台15の上に載せ、そ
の上にスクリーンマスク70を載置する。スクリーンマ
スク70には、クリームはんだ印刷のための開口パター
ン71,72が形成されている。また、スクリーンマス
ク70において、フレキシブルフィルム30上に実装さ
れた半導体ベアチップ50に対応する部分は、組み付け
られた半導体ベアチップ50(封止樹脂55が半導体ベ
アチップ50の周囲にある場合にはその封止樹脂55も
含めて)に当たらないように凸状部75として形成され
ている。
After the semiconductor bare chip 50 is mounted on the flexible film 30 as described above, cream solder printing is performed to mount the surface mount components. After the assembly of the semiconductor bare chip 50 is completed (including the sealing),
As shown in FIG. 2, a substantially flat flexible film 30 except for a part is placed on a flat receiving table 15, and a screen mask 70 is placed thereon. Opening patterns 71 and 72 for cream solder printing are formed on the screen mask 70. In the screen mask 70, the portion corresponding to the semiconductor bare chip 50 mounted on the flexible film 30 is the assembled semiconductor bare chip 50 (if the sealing resin 55 is around the semiconductor bare chip 50, the sealing resin 55 (including 55).

【0023】このようにスクリーンマスク70を載置し
た後、その上にクリームはんだ(不図示)を供給し、そ
のクリームはんだをスキージ80によって掻き取ること
により、開口パターン71,72を通過してフレキシブ
ルフィルム30の上に載ったクリームはんだのみがクリ
ームはんだ印刷71a,72aとしてフレキシブルフィ
ルム30上に残ることとなる。上述した工程により、組
み付けられた半導体ベアチップ50に不要なクリームは
んだが塗布されることなく、また、スクリーンマスク7
0に凸状部75を設けることにより、スキージ80で掻
き取る際に半導体ベアチップ50に不要な応力が加えら
れることがないため、表面実装部品を実装する際の不具
合や半導体ベアチップ実装部への悪影響を防止できる。
よって、実装部の不良などを防止でき、信頼性を確保で
きる。
After placing the screen mask 70 in this manner, a cream solder (not shown) is supplied thereon, and the cream solder is scraped off by a squeegee 80, thereby passing through the opening patterns 71 and 72 to be flexible. Only the cream solder placed on the film 30 remains on the flexible film 30 as cream solder prints 71a and 72a. By the above-described steps, unnecessary cream solder is not applied to the assembled semiconductor bare chip 50, and the screen mask 7
By providing the protruding portion 75 at 0, unnecessary stress is not applied to the semiconductor bare chip 50 when the semiconductor bare chip 50 is scraped off by the squeegee 80. Can be prevented.
Therefore, it is possible to prevent a failure of the mounting portion, and to secure reliability.

【0024】図2及び図3に示すように、スキージ80
は、弾性を有する四角い平板状の部材により形成されて
おり、スクリーンマスク70の凸状部75に対応する凸
状部対応部分85とその他の本体部分86との境界に
は、両者を独立して変形可能にさせるスリット87が設
けられている。したがって、本工程においては、スクリ
ーンマスク70の上にスキージ80を垂直に立てて、ス
クリーンマスク70の上のクリームはんだを矢印DRの
方向に掻き取る際に、凸状部対応部分85がスクリーン
マスク70の凸状部75に当接して図2に示されるよう
に弾性的に湾曲変形して、凸状部75をスムーズに乗り
越え、スクリーンマスク70の上のクリームはんだを良
好に掻き取ることができる。これにより、スキージ80
がスクリーンマスク70の全面に均等に当接するため、
スキージ80による安定した掻き取り作用が得られ、ス
クリーンマスク70の開口パターン71,72の下のフ
レキシブルフィルム30には、むらのない良好なクリー
ムはんだ印刷が行われる。
As shown in FIGS. 2 and 3, the squeegee 80
Is formed of a square plate member having elasticity, and at the boundary between the convex portion corresponding portion 85 corresponding to the convex portion 75 of the screen mask 70 and the other main body portion 86, both are independently formed. A slit 87 is provided so as to be deformable. Therefore, in this step, when the squeegee 80 is set up vertically on the screen mask 70 and the cream solder on the screen mask 70 is scraped in the direction of the arrow DR, the convex portion corresponding portion 85 is moved to the screen mask 70. 2 and elastically bends and deforms as shown in FIG. 2 so as to smoothly pass over the convex portion 75 and scrape the cream solder on the screen mask 70 satisfactorily. Thereby, the squeegee 80
Contact the entire surface of the screen mask 70 evenly,
A stable scraping action by the squeegee 80 is obtained, and the flexible film 30 under the opening patterns 71 and 72 of the screen mask 70 is printed with even and good cream solder.

【0025】このとき、スクリーンマスク70の凸状部
75と半導体ベアチップ50との間は、所定の隙間が確
保されており、スキージ80からの応力が半導体ベアチ
ップ50に直接加わることはない。この隙間の間隔、す
なわち、スクリーンマスク70をフレキシブルフィルム
30上に載置した状態での凸状部75内部上面と実装し
た半導体ベアチップ50最上面との高さ方向間隔は、高
さ方向に関して(半導体ベアチップ裏面から)例えば1
00μm以内に設定している。
At this time, a predetermined gap is secured between the convex portion 75 of the screen mask 70 and the semiconductor bare chip 50, and the stress from the squeegee 80 is not directly applied to the semiconductor bare chip 50. The space between the gaps, that is, the space in the height direction between the upper surface inside the convex portion 75 and the uppermost surface of the mounted semiconductor bare chip 50 in a state where the screen mask 70 is mounted on the flexible film 30 is (semiconductor) (From back of bare chip) For example 1
It is set within 00 μm.

【0026】半導体ベアチップを実装する場合、半導体
ベアチップの裏面高さは実装方法により異なるものの、
そのバラツキは多くとも100μmを超えることはない
ことが経験的にわかっている。このため、100μm以
上も半導体ベアチップの裏面高さがばらついて半導体ベ
アチップ50がスクリーンマスク70の凸状部75に当
たって浮いてしまうような場合は、半導体ベアチップ実
装部に異物が混入していると考えられる。したがって、
半導体ベアチップ50の実装部に浮きや異物付着といっ
た異常があると、スクリーンマスク70の載置の際に凸
状部75の高さを監視することで容易に判断できるの
で、クリームはんだ印刷と同時に半導体ベアチップ実装
部の接続異常検査が可能である。
When a semiconductor bare chip is mounted, the height of the back surface of the semiconductor bare chip differs depending on the mounting method.
It has been empirically found that the variation does not exceed at most 100 μm. For this reason, in the case where the back surface height of the semiconductor bare chip varies by 100 μm or more and the semiconductor bare chip 50 floats on the convex portion 75 of the screen mask 70, it is considered that foreign matter has entered the semiconductor bare chip mounting portion. . Therefore,
If the mounting portion of the semiconductor bare chip 50 has an abnormality such as floating or adhesion of foreign matter, it can be easily determined by monitoring the height of the convex portion 75 when the screen mask 70 is mounted. It is possible to check the connection abnormality of the bare chip mounting part.

【0027】さらに、本実施形態では、半導体ベアチッ
プの実装を最初に行った後にクリームはんだ印刷を行っ
て表面実装部品の実装を行うようにしているため、異物
混入に対する管理が容易になり、管理基準を緩和でき
る。また、スクリーンマスクとスキージを用いることに
より、半導体ベアチップの実装後もクリームはんだ印刷
を支障無く行うことができ、容易に半導体ベアチップと
表面実装部品との混載実装が可能となる。
Furthermore, in this embodiment, since the mounting of the semiconductor bare chip is performed first and then the cream solder printing is performed to mount the surface-mounted components, the management of the contamination with foreign substances is facilitated, and the management standard is improved. Can be alleviated. In addition, by using a screen mask and a squeegee, cream solder printing can be performed without any trouble even after the semiconductor bare chip is mounted, and the semiconductor bare chip and the surface mount component can be easily mixed and mounted.

【0028】図4はフレキシブルフィルムにレジストを
設けた場合の他の実装例を示したものである。図4にお
いて、(A)はフレキシブルフィルム上のレジストを上
からみた図、(B)はレジストと半導体ベアチップ及び
スクリーンマスクとの関係を横から見た図である。
FIG. 4 shows another example of mounting when a resist is provided on a flexible film. 4A is a diagram of the resist on the flexible film as viewed from above, and FIG. 4B is a diagram of the relationship between the resist, the semiconductor bare chip, and the screen mask as viewed from the side.

【0029】この例においては、フレキシブルフィルム
30上の半導体ベアチップ実装領域やクリームはんだ印
刷領域以外に、絶縁及び封止樹脂広がり防止のために、
例えば厚さ約10μmのレジスト31を層状に形成す
る。すなわち、半導体ベアチップ実装領域などはレジス
ト開口部32となっており、ここに実装部品や封止樹脂
などが配設される。レジスト31の厚さは、厚くすると
封止樹脂の広がりを防ぐ効果が向上するが、半導体ベア
チップ実装時に使用する封止樹脂や接続用の異方性導電
膜などの種類に応じて決定するのが望ましい。
In this example, in addition to the semiconductor bare chip mounting area and the cream solder printing area on the flexible film 30, the insulating and sealing resin are prevented from spreading.
For example, a resist 31 having a thickness of about 10 μm is formed in a layer. That is, the semiconductor bare chip mounting area and the like are formed as the resist openings 32, and the mounted components, the sealing resin, and the like are provided here. When the thickness of the resist 31 is increased, the effect of preventing the expansion of the sealing resin is improved. However, the thickness of the resist 31 is determined according to the type of the sealing resin used for mounting the semiconductor bare chip or the anisotropic conductive film for connection. desirable.

【0030】この場合、レジスト31が形成されたフレ
キシブルフィルム30上に半導体ベアチップ50を実装
し、レジスト開口部32に封止樹脂55を供給して封止
する。そして、図2と同様に、フレキシブルフィルム3
0の上にスクリーンマスク70及びスキージ80を載置
してクリームはんだ印刷を行う。
In this case, the semiconductor bare chip 50 is mounted on the flexible film 30 on which the resist 31 is formed, and the sealing resin 55 is supplied to the resist opening 32 for sealing. Then, as in FIG.
The screen mask 70 and the squeegee 80 are placed on the “0” and cream solder printing is performed.

【0031】図4の例では、実装した半導体ベアチップ
50の側面に対して若干の間隔をあけて、半導体ベアチ
ップ50の周りにレジスト31が形成されており、レジ
スト開口部32に封止樹脂55が注入される。このと
き、封止樹脂55はレジスト31によって堰き止めら
れ、封止樹脂56がレジスト31を超えて流れ出すこと
がなく、スクリーンマスク70を載置する際に浮き上が
りが生じたり、他の表面実装部品に悪影響を及ぼすなど
の不具合を防止できる。この場合においても、半導体ベ
アチップ50とスクリーンマスク70の凸状部75との
間隙を規制しておけば、クリームはんだ印刷と同時に半
導体ベアチップ50の組み付け状態の良否を判断でき
る。
In the example of FIG. 4, a resist 31 is formed around the semiconductor bare chip 50 at a slight distance from the side surface of the mounted semiconductor bare chip 50, and a sealing resin 55 is formed in the resist opening 32. Injected. At this time, the sealing resin 55 is blocked by the resist 31, and the sealing resin 56 does not flow beyond the resist 31. Problems such as adverse effects can be prevented. Also in this case, if the gap between the semiconductor bare chip 50 and the convex portion 75 of the screen mask 70 is regulated, it is possible to judge whether or not the semiconductor bare chip 50 is assembled at the same time as the cream solder printing.

【0032】以上のように、半導体ベアチップの実装及
びクリームはんだ印刷を行った後、他の電子部品として
表面実装部品(不図示)をクリームはんだ印刷の部分に
対応させて搭載し、リフロー工程によってクリームはん
だを溶かし、表面実装部品を電気的及び機械的に接続固
定することによって実装する。表面実装部品の実装にお
いても、半導体ベアチップの実装と同様に治具によって
押さえて固定した状態で組み付けを行う。
As described above, after mounting the semiconductor bare chip and performing the cream solder printing, a surface mount component (not shown) is mounted as another electronic component corresponding to the cream solder printing portion, and the cream is formed by a reflow process. The mounting is performed by melting the solder and electrically and mechanically connecting and fixing the surface mount components. Also in mounting the surface mount components, as in the case of mounting the semiconductor bare chip, the assembly is performed while being held down and fixed by the jig.

【0033】このように本実施形態の混載実装方法によ
れば、容易かつ確実で、生産性が良好で高精度に半導体
ベアチップと表面実装部品との混載実装が可能であり、
品質の良い異種電子部品混載実装構造体を製造すること
ができる。
As described above, according to the hybrid mounting method of the present embodiment, the hybrid mounting of the semiconductor bare chip and the surface mounting component can be performed easily and reliably, with good productivity and with high accuracy.
A high-quality heterogeneous electronic component mixed mounting structure can be manufactured.

【0034】なお、上述した実施形態において、異種電
子部品として、半導体ベアチップと表面実装部品とを取
り上げたが、これに限定されるものでなく、半導体ベア
チップと実装時の加工条件が異なる他の電子部品に応用
してもよいことは明らかである。また、図2ないし図4
で示されたクリームはんだ印刷に関する工程は、回路基
板としてフレキシブルフィルムを用いて実施している
が、その他の回路基板にも適用できることは明らかであ
る。
In the above-described embodiment, the semiconductor bare chip and the surface mount component are taken as the heterogeneous electronic components. However, the present invention is not limited to this. Obviously, it may be applied to parts. 2 to 4
Although the process relating to cream solder printing indicated by is performed using a flexible film as a circuit board, it is apparent that the process can be applied to other circuit boards.

【0035】[0035]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、半
導体ベアチップと表面実装部品とを確実かつ精密に混載
実装でき、回路基板としてフレキシブルフィルムを用い
た場合でも混載実装を容易に行うことが可能な電子部品
の混載実装方法及びその混載実装工程に用いる部材を提
供できる効果がある。
As described above, according to the present invention, a semiconductor bare chip and a surface mount component can be reliably and accurately mixedly mounted, and mixed mounting can be easily performed even when a flexible film is used as a circuit board. There is an effect that it is possible to provide a mixed mounting method of a possible electronic component and a member used in the mixed mounting process.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施形態に係る電子部品の混載実装
方法によって半導体ベアチップをフレキシブルフィルム
に組み付けるための工程を示す説明図である。
FIG. 1 is an explanatory view showing a process for assembling a semiconductor bare chip on a flexible film by a mixed mounting method of an electronic component according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1で示される工程に続いてスクリーンマスク
を使用してフレキシブルフィルム上にクリームはんだ印
刷を施す工程を示す説明図である。
FIG. 2 is an explanatory view showing a step of performing cream solder printing on a flexible film using a screen mask, following the step shown in FIG. 1;

【図3】図2で示される工程において用いられるスキー
ジの構造を説明する斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view illustrating a structure of a squeegee used in the process shown in FIG.

【図4】フレキシブルフィルムにレジストを設けた場合
の他の実装例を示す説明図である。
FIG. 4 is an explanatory diagram showing another example of mounting when a resist is provided on a flexible film.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10,15 受け台 21,22 支持部 30 フレキシブルフィルム 40 押圧治具 41 組み付け用開口 50 半導体ベアチップ 51 突起電極 55 封止樹脂 60 ベアチップ組み付け装置 70 スクリーンマスク 71,72 開口パターン 71a,72a クリームはんだ印刷 75 凸状部 80 スキージ 85 凸状部対応部分 86 本体部分 87 スリット 10, 15 Receiving stand 21, 22 Supporting part 30 Flexible film 40 Pressing jig 41 Assembling opening 50 Semiconductor bare chip 51 Projecting electrode 55 Sealing resin 60 Bear chip assembling device 70 Screen mask 71, 72 Opening pattern 71a, 72a Cream solder printing 75 Convex part 80 Squeegee 85 Convex part corresponding part 86 Body part 87 Slit

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H05K 3/34 505 H05K 3/34 505C (72)発明者 江間 富世 神奈川県横浜市港北区綱島東四丁目3番1 号 松下通信工業株式会社内 Fターム(参考) 5E319 AA03 AB05 AC03 BB05 CC33 CD29 5E336 AA04 BB12 CC31 EE01 5F044 KK03 LL01 LL04 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) H05K 3/34 505 H05K 3/34 505C (72) Inventor Tomio Ema 4-chome Tsunashima Higashi, Kohoku-ku, Yokohama, Kanagawa Prefecture No. 3 No. 1 Matsushita Communication Industrial Co., Ltd. F term (reference) 5E319 AA03 AB05 AC03 BB05 CC33 CD29 5E336 AA04 BB12 CC31 EE01 5F044 KK03 LL01 LL04

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 回路基板に半導体ベアチップを実装する
第1工程と、 前記第1工程の後、前記半導体ベアチップの実装領域に
対応する部分に凸状部を有する一部を除いて略平面状の
スクリーンマスクを前記回路基板上に載置し、この凸状
部対応部分と他の本体部分とが独立して変形可能に形成
された平板状のスキージを前記スクリーンマスクに当接
させ、このスキージにより前記スクリーンマスク上に供
給したクリームはんだを掻き取ることにより、前記回路
基板にクリームはんだ印刷を行う第2工程と、 前記第2工程の後、前記回路基板に形成されたクリーム
はんだに対応して他の電子部品を実装する第3工程と、 を有することを特徴とする電子部品の混載実装方法。
A first step of mounting a semiconductor bare chip on a circuit board; and after the first step, a substantially planar shape except for a part having a convex portion in a portion corresponding to a mounting region of the semiconductor bare chip. A screen mask is placed on the circuit board, and a plate-shaped squeegee in which a portion corresponding to the convex portion and another main body portion are independently formed so as to be deformable is brought into contact with the screen mask. A second step of performing cream solder printing on the circuit board by scraping off the cream solder supplied on the screen mask; and after the second step, another step corresponding to the cream solder formed on the circuit board. And a third step of mounting the electronic component.
【請求項2】 前記第1工程において、前記回路基板と
して帯状のフレキシブルフィルムを用い、このフレキシ
ブルフィルムに所定の張力を付加した状態とし、前記半
導体ベアチップの実装領域を平らに保つように、押圧治
具によって前記実装領域を除いて前記フレキシブルフィ
ルムを押圧して平らな受け台上に密着させ、前記実装領
域に半導体ベアチップを組み付けることを特徴とする請
求項1に記載の電子部品の混載実装方法。
2. In the first step, a strip-shaped flexible film is used as the circuit board, a predetermined tension is applied to the flexible film, and a pressing jig is performed so as to keep the mounting area of the semiconductor bare chip flat. 2. The method according to claim 1, further comprising pressing the flexible film except for the mounting area with a tool to adhere the flexible film to a flat receiving table, and assembling a semiconductor bare chip in the mounting area. 3.
【請求項3】 前記スクリーンマスクを前記回路基板上
に載置した状態における、スクリーンマスクの凸状部内
部上面と実装した半導体ベアチップ最上面との高さ方向
間隔を、100μm以下に設定することを特徴とする請
求項1又は2に記載の電子部品の混載実装方法。
3. The method according to claim 1, wherein, in a state where the screen mask is mounted on the circuit board, a height-direction interval between the upper surface of the convex portion of the screen mask and the uppermost surface of the mounted semiconductor bare chip is set to 100 μm or less. 3. The method according to claim 1, wherein the electronic component is mounted on the electronic component.
【請求項4】 前記回路基板において、前記半導体ベア
チップの実装前にレジストを層状に形成し、このレジス
トにおいて前記半導体ベアチップの実装領域に対応する
部分にレジスト開口部を設けることを特徴とする請求項
1又は2に記載の電子部品の混載実装方法。
4. The circuit board according to claim 1, wherein a resist is formed in a layer before mounting the semiconductor bare chip, and a resist opening is provided in a portion of the resist corresponding to a mounting area of the semiconductor bare chip. 3. The hybrid mounting method of the electronic component according to 1 or 2.
【請求項5】 回路基板への電子部品の混載実装におい
てクリームはんだ印刷を行う工程で用いるもので、前記
回路基板上に載置して該回路基板を覆うスクリーンマス
クであって、 一部を除いて略平面状に形成され、前記回路基板に実装
する半導体ベアチップの実装領域に対応する部分に凸状
部を設けたことを特徴とする電子部品の混載実装工程用
スクリーンマスク。
5. A screen mask, which is used in a step of performing cream solder printing in the mixed mounting of electronic components on a circuit board, and is mounted on the circuit board and covers the circuit board, except for a part. A screen mask for a mixed mounting process of an electronic component, wherein the screen mask is formed in a substantially planar shape and a convex portion is provided in a portion corresponding to a mounting region of a semiconductor bare chip mounted on the circuit board.
【請求項6】 前記スクリーンマスクの前記回路基板へ
の当接面から前記凸状部内部上面までの高さを、前記回
路基板に実装した半導体ベアチップ最上面の高さより1
00μm以内で高く設定したことを特徴とする請求項5
に記載の電子部品の混載実装工程用スクリーンマスク。
6. The height from the contact surface of the screen mask to the circuit board to the upper surface of the inside of the protruding portion is one more than the height of the top surface of the semiconductor bare chip mounted on the circuit board.
6. The method according to claim 5, wherein the height is set within a range of 00 .mu.m.
6. A screen mask for a mixed mounting process of an electronic component according to 4.
【請求項7】 回路基板への電子部品の混載実装におい
てクリームはんだ印刷を行う工程で用いるもので、前記
回路基板を覆うスクリーンマスクに当接して該スクリー
ンマスク上に供給したクリームはんだを掻き取るスキー
ジであって、 平板状に形成されたスキージ本体において、前記スクリ
ーンマスクに形成された凸状部に対応した凸状部対応部
分と他の本体部分とが独立して変形可能に形成されたこ
とを特徴とする電子部品の混載実装工程用スキージ。
7. A squeegee for use in a step of performing cream solder printing in the mixed mounting of electronic components on a circuit board, wherein the squeegee contacts a screen mask covering the circuit board and scrapes the cream solder supplied onto the screen mask. In the squeegee main body formed in a flat plate shape, a convex portion corresponding portion corresponding to the convex portion formed on the screen mask and another main body portion are formed so as to be independently deformable. A squeegee for mixed mounting of electronic components.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2008177352A (en) * 2007-01-18 2008-07-31 Fujitsu Ltd Manufacturing method of electronic device
JP2009260049A (en) * 2008-04-17 2009-11-05 Shinko Electric Ind Co Ltd Method for manufacturing electronic device

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