JP2001010871A - Production of porous silicon carbide fiber structure - Google Patents

Production of porous silicon carbide fiber structure

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JP2001010871A
JP2001010871A JP11179220A JP17922099A JP2001010871A JP 2001010871 A JP2001010871 A JP 2001010871A JP 11179220 A JP11179220 A JP 11179220A JP 17922099 A JP17922099 A JP 17922099A JP 2001010871 A JP2001010871 A JP 2001010871A
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silicon carbide
fiber
fibers
silicon
binder
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JP11179220A
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Japanese (ja)
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Keihachirou Nakajima
慶八郎 中嶋
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Oji Paper Co Ltd
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    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B38/00Porous mortars, concrete, artificial stone or ceramic ware; Preparation thereof
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
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    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for producing a porous silicon carbide fiber structure which has excellent heat resistance, excellent strength and excellent structure dimensional suitability and has excellent productivity. SOLUTION: This method for producing a porous silicon carbide fiber structure having an apparent density of 0.05 to 1.0 g/cm3 comprises allowing a binder to exit in the fibers of a web which has a density of 3.0 to 3.2 g/cm3 or an oxygen content of <=1 wt.%, and then sintering the silicon carbide fibers and the binder under a reduced pressure or in an inert gas atmosphere.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、エンジンの廃棄ガ
スフイルター等の耐熱性フィルターとして使用でき、ま
た、エンジン・燃焼炉など高温体の断熱材料等に適用で
きる多孔質炭化ケイ素繊維構造体に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a porous silicon carbide fiber structure which can be used as a heat-resistant filter for a waste gas filter of an engine or the like, and which can be applied to a heat insulating material of a high-temperature body such as an engine and a combustion furnace. It is.

【0002】[0002]

【従来の技術】高熱環境に耐えるフィルターや断熱材料
として使用できる多孔質セラミックスとして炭化ケイ素
の使用が従来から研究されている。例えば、特開平7−
172952号公報、特開平10−15323号公報に
は、炭化ケイ素粉末に他の素材を混合し、ハニカム状等
の成形体に成形した後、高温で焼成する技術が開示され
ている。
2. Description of the Related Art The use of silicon carbide as a porous ceramic which can be used as a filter or a heat insulating material that can withstand a high heat environment has been studied. For example, JP-A-7-
Japanese Patent Application Publication No. 172952 and Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-15323 disclose a technique in which another material is mixed with silicon carbide powder, and the mixture is formed into a honeycomb-shaped molded body and then fired at a high temperature.

【0003】しかしながら、これらの技術では、大きな
構造体を何度も焼成する必要があり、生産性という面で
問題がある。また、セラミックスのマトリックス自体は
多孔質でないので、ハニカムのような空隙構造を形成す
る必要がある。このような観点から、炭化ケイ素繊維か
ら形成された多孔質のウェッブを上記材料に使用するこ
とにより、前記した2つの欠点が解消できると考えられ
る。繊維から多孔質構造体を形成した場合には、その
他、強度が強い、耐熱衝撃強度が強い、小さな細孔のも
のが製造し易いなどの利点もある。
However, in these techniques, it is necessary to fire a large structure many times, and there is a problem in terms of productivity. Further, since the ceramic matrix itself is not porous, it is necessary to form a void structure such as a honeycomb. From such a viewpoint, it is considered that the above two disadvantages can be solved by using a porous web formed of silicon carbide fibers as the material. When a porous structure is formed from fibers, there are other advantages such as high strength, high thermal shock strength, and easy production of small pores.

【0004】本発明者らは、先に、特開平9−1185
66号公報において、比表面積が100〜2500m2
/gの繊維状活性炭からなる二次元もしくは三次元構造
体を作製し、ついで該構造体を構成する繊維状活性炭と
一酸化珪素ガスとを温度800℃〜2000℃で反応さ
せ、得られる炭化珪素繊維からなる二次元もしくは三次
元の構造体に、有機珪素化合物を含有させた後、乾燥
し、続いて102Pa以下の真空中もしくは実質的に酸
素を含まないガス雰囲気中で温度800〜2000℃に
加熱することで炭化珪素繊維構造体を得る方法を提案し
た。しかし、この方法でも、繊維をケイ素化する前に構
造体を形成するため、反応による寸法変化という問題が
あり、また、強度の面でも充分なものとは言えない。な
お、この技術に使用する炭化ケイ素繊維の製造方法は、
同じく、本発明者らが先に提案した、特開平6−192
917号公報記載の技術に基づいている。
The present inventors have previously disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 9-1185.
No. 66, the specific surface area is 100 to 2500 m 2.
/ G of fibrous activated carbon of 2 g / g is produced, and the fibrous activated carbon constituting the structure is reacted with silicon monoxide gas at a temperature of 800 ° C. to 2000 ° C. to obtain silicon carbide. After the organic silicon compound is contained in the two-dimensional or three-dimensional structure composed of fibers, the organic silicon compound is dried, and subsequently dried at a temperature of 800 to 2000 in a vacuum of 10 2 Pa or less or a gas atmosphere substantially containing no oxygen. A method of obtaining a silicon carbide fiber structure by heating to ° C was proposed. However, even in this method, since the structure is formed before siliconizing the fiber, there is a problem of a dimensional change due to a reaction, and the strength cannot be said to be sufficient. In addition, the manufacturing method of the silicon carbide fiber used in this technology,
Similarly, Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-192 proposed by the present inventors earlier.
917 is based on the technology described therein.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明は、耐
熱性、強度、構造体の寸法適性に優れ、かつ生産性にも
優れた多孔質炭化ケイ素繊維構造体の製造方法を提案す
ることを課題とする。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to propose a method for producing a porous silicon carbide fiber structure which is excellent in heat resistance, strength, dimensional suitability of the structure and also in productivity. Make it an issue.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するた
め、本発明は以下の構成を採用する。即ち、本発明の第
1の発明は、「密度が3.0〜3.2g/cm3である
炭化ケイ素繊維からなるウェッブの繊維間に結合剤を存
在させ、減圧下または不活性ガス雰囲気下で該炭化ケイ
素繊維と該結合剤とを焼結させることを特徴とする、見
かけ密度が0.05〜1.0g/cm3である多孔質炭
化ケイ素繊維構造体の製造方法」である。
In order to solve the above problems, the present invention employs the following constitution. That is, the first invention of the present invention provides a method in which a binder is present between fibers of a web made of silicon carbide fibers having a density of 3.0 to 3.2 g / cm 3 , and under a reduced pressure or an inert gas atmosphere. And a method for producing a porous silicon carbide fiber structure having an apparent density of 0.05 to 1.0 g / cm 3 , characterized by sintering the silicon carbide fiber and the binder.

【0007】本発明の第2の発明は、「酸素含有量が1
重量%以下である炭化ケイ素繊維からなるウェッブの繊
維間に結合剤を存在させ、減圧下または不活性ガス雰囲
気下で該炭化ケイ素繊維と該結合剤とを焼結させること
を特徴とする、見かけ密度が0.05〜1.0g/cm
3である多孔質炭化ケイ素繊維構造体の製造方法」であ
る。
[0007] The second invention of the present invention relates to a method wherein "the oxygen content is 1
An apparent binder, wherein a binder is present between the fibers of a web of silicon carbide fibers of not more than 10% by weight and the silicon carbide fibers and the binder are sintered under reduced pressure or under an inert gas atmosphere. Density is 0.05 to 1.0 g / cm
Method 3 for producing porous silicon carbide fiber structure ".

【0008】本発明の第3の発明は、前記第1または第
2の発明において、該炭化ケイ素繊維が下記(A)〜
(B)の工程で製造された繊維であることを特徴とする
炭化ケイ素繊維構造体の製造方法である。 (A)繊維径が1〜20μmで、BET窒素吸着法によ
る比表面積が700〜1500m2/gの活性炭素繊維
と、ケイ素およびケイ素酸化物から選ばれた少なくとも
1種のガスとを、減圧下もしくは不活性ガス雰囲気下で
1200〜1500℃の温度条件下で反応させる工程。
(B)前記工程で得られた繊維をホウ素化合物の存在
下、不活性ガス雰囲気中において1700℃〜2100
℃で加熱処理する工程。
[0008] In a third aspect of the present invention, in the first or second aspect, the silicon carbide fibers are as follows:
A method for producing a silicon carbide fiber structure, which is a fiber produced in the step (B). (A) An activated carbon fiber having a fiber diameter of 1 to 20 μm and a specific surface area of 700 to 1500 m 2 / g by a BET nitrogen adsorption method and at least one gas selected from silicon and silicon oxide are reduced under reduced pressure. Alternatively, a step of reacting under a temperature condition of 1200 to 1500 ° C. in an inert gas atmosphere.
(B) The fiber obtained in the above step is heated to 1700 ° C. to 2100 ° C. in an inert gas atmosphere in the presence of a boron compound.
A step of performing a heat treatment at ℃.

【0009】本発明の第4の発明は、前記第1〜第3の
いずれかの発明において、結合剤が炭化ケイ素、アルミ
ナ、シリカ、ジルコニア、チタニアから選ばれる少なく
とも1種を成分として含むことを特徴とする炭化ケイ素
繊維構造体の製造方法である。
According to a fourth aspect of the present invention, in any one of the first to third aspects, the binder comprises at least one selected from silicon carbide, alumina, silica, zirconia, and titania as a component. This is a method for producing a silicon carbide fiber structure.

【0010】本発明者らは、前記課題について、検討し
た結果、まず、炭化ケイ素繊維を製造し、つづいて該繊
維で構造体を形成し、結合剤とともに焼結する方法が好
ましいことを見出した。
The inventors of the present invention have studied the above problems, and have found that it is preferable to first produce a silicon carbide fiber, then form a structure using the fiber, and sinter it together with a binder. .

【0011】所で、多孔質体ではないが、特開平6−1
79755号公報には、炭化ケイ素系短繊維がカルボシ
ラン系重合体で接合されているような炭化ケイ素系短繊
維プリフォームについて述べられており、このプリフォ
ームを不活性ガス雰囲気中で200〜1300℃の範囲
の温度に加熱して炭化ケイ素系短繊維を接合しているカ
ルボシラン系重合体を無機化する方法が開示されてい
る。また、特公平8−22782号公報には、セラミッ
ク短繊維とセラミック粉とを水系、非水系の液体中また
は溶融ワックス、溶融樹脂等の液体中で混合し、これを
型などで所定の形状に成形した後、乾燥させて成形体を
形成し、真空雰囲気内で、成形体中の空隙内の空気を除
去した後、その成形体に液状のセラミック前駆体をガス
圧等により含浸させると共に成形体を加熱して上記セラ
ミック前駆体をセラミックスに転化させ、この含浸、加
熱を数回繰り返した後、この成形体を熱間等方圧プレス
等の高温・高圧下で焼結を行って成形体を緻密化させる
ことを繊維強化セラミックスを得る方法について述べら
れている。
In the meantime, although it is not a porous body, Japanese Patent Application Laid-Open No.
No. 79755 describes a silicon carbide based short fiber preform in which silicon carbide based short fibers are bonded with a carbosilane-based polymer, and this preform is heated to 200 to 1300 ° C. in an inert gas atmosphere. A method is disclosed in which the carbosilane-based polymer bonding the silicon carbide short fibers is mineralized by heating to a temperature in the range described above. Further, Japanese Patent Publication No. Hei 8-22782 discloses that a ceramic short fiber and a ceramic powder are mixed in an aqueous or non-aqueous liquid or a liquid such as a molten wax or a molten resin, and the mixture is formed into a predetermined shape using a mold or the like. After molding, the molded body is dried to form a molded body, and in a vacuum atmosphere, after removing air in voids in the molded body, the molded body is impregnated with a liquid ceramic precursor by gas pressure or the like, and the molded body is formed. Is heated to convert the ceramic precursor into ceramics, and the impregnation and heating are repeated several times, and then the molded body is sintered at a high temperature and a high pressure such as a hot isostatic press to form a molded body. A method for obtaining fiber-reinforced ceramics for densification is described.

【0012】これらの技術を応用し、前記特開平6−1
92917号公報に記載の炭化ケイ素繊維からなるウェ
ッブ、あるいは、前記特開平6−179755号公報で
使用している「ニカロン」繊維、「ティラノ」繊維など
を使用して、ウェッブを形成し、結合剤と共に焼成した
が、構造体の強度は充分でなく、また、焼成により寸法
変化が見られた。そこで、更に、これらの欠点を改善す
べく鋭意研究した結果、ウェッブを形成する繊維自体に
ついて問題があることを発見し、本発明の完成に到達し
たものである。
By applying these techniques, the technique disclosed in
A web is formed by using a web made of the silicon carbide fiber described in JP-A-92917 or a “Nicalon” fiber or a “Tirano” fiber used in the above-mentioned JP-A-6-179755, and a binder. However, the strength of the structure was not sufficient, and a dimensional change was observed by the firing. Then, as a result of further intensive studies to improve these drawbacks, they have found that there is a problem with the fibers forming the web itself, and have completed the present invention.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】本発明では、炭化ケイ素繊維から
ウェッブを形成し、該ウェッブの繊維間に結合剤を存在
させ、高温で焼結させる。ここで、ウェッブとは、不織
布またはフェルトのような繊維が集合したシート状のも
のであり、繊維同士が結合剤で硬く結合した状態ではな
い。ウェッブは円形、四角形などの2次元シートであっ
ても良いし、ハニカム構造、波形形状、箱型形状など3
次元的に成形されていても良い。また、ロールのように
巻回されたものであっても良い。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION In the present invention, a web is formed from silicon carbide fibers, a binder is present between the fibers of the web, and sintered at a high temperature. Here, the web is a sheet-like material in which fibers such as a nonwoven fabric or a felt are gathered, and the fibers are not in a state where the fibers are firmly bonded with a binder. The web may be a two-dimensional sheet such as a circle or a square, or may have a honeycomb structure, a corrugated shape, a box shape, or the like.
It may be dimensionally formed. Further, it may be wound like a roll.

【0014】本発明において、前記ウェッブを形成する
炭化ケイ素繊維は、密度が3.0〜3.2g/cm3
あるか、または、酸素含有量1重量%以下である必要が
ある。密度が3.0未満の繊維では、構造体と結合剤の
焼結時に寸法が変化し易くなり、また、酸素含有量が1
重量%を超えて多くなると、焼結時に酸化による重量減
少を生じ、寸法変化、強度の面で好ましくない。
In the present invention, the silicon carbide fibers forming the web must have a density of 3.0 to 3.2 g / cm 3 or an oxygen content of 1% by weight or less. With a fiber having a density of less than 3.0, the dimensions tend to change during sintering of the structure and the binder, and the fiber has an oxygen content of 1%.
If the content is more than% by weight, the weight will decrease due to oxidation during sintering, which is not preferable in terms of dimensional change and strength.

【0015】密度が3.0〜3.2g/cm3である
か、または、酸素含有量1重量%である炭化ケイ素繊維
は、一般の炭化ケイ素繊維を焼結助剤と共に加熱処理す
る方法によっても得られるが、繊維の生産性、繊維自体
の強度の点で、以下に説明する方法で繊維を製造するこ
とが最も好ましい。
A silicon carbide fiber having a density of 3.0 to 3.2 g / cm 3 or an oxygen content of 1% by weight can be obtained by heating a general silicon carbide fiber together with a sintering aid. However, it is most preferable to produce the fiber by the method described below in terms of the productivity of the fiber and the strength of the fiber itself.

【0016】<好ましい炭化ケイ素繊維の製造方法>本
発明に最も適した炭化ケイ素繊維は、活性炭素繊維と、
ケイ素およびケイ素酸化物とを、反応させて(以下A工
程と称することもある)製造された炭化ケイ素繊維を、
更に、ホウ素化合物の存在下で、減圧下または不活性ガ
ス雰囲気中において、1700℃〜2100℃で加熱し
て得られる。この工程を以下B工程と称することもあ
る。B工程では、ホウ素化合物に加えて、更に、炭素化
合物が存在していても良い。
<Production Method of Preferred Silicon Carbide Fiber> The silicon carbide fiber most suitable for the present invention is an activated carbon fiber,
A silicon carbide fiber produced by reacting silicon and silicon oxide (hereinafter sometimes referred to as step A),
Furthermore, it is obtained by heating at 1700 ° C. to 2100 ° C. under reduced pressure or in an inert gas atmosphere in the presence of a boron compound. This step may be hereinafter referred to as step B. In the step B, a carbon compound may be present in addition to the boron compound.

【0017】以下、まずA工程から詳細に説明する。ケ
イ素およびケイ素酸化物と活性炭素繊維とを、反応させ
た繊維の製造法に関しては特許第2663819号公報
に開示されている。即ち、繊維径が5〜100μmで比
表面積が100〜2500m2/gの多孔質炭素繊維と
一酸化ケイ素ガスとを、800〜2000℃で反応させ
る方法を用いることができる。
Hereinafter, the step A will be described in detail. Japanese Patent No. 2663819 discloses a method for producing a fiber obtained by reacting silicon and silicon oxide with activated carbon fiber. That is, a method of reacting a porous carbon fiber having a fiber diameter of 5 to 100 μm and a specific surface area of 100 to 2500 m 2 / g with silicon monoxide gas at 800 to 2000 ° C. can be used.

【0018】前記活性炭素繊維には、長さが0.1〜5
0mmの短繊維、および実質的に長さの制限がない連続
繊維(フィラメント、ヤーン等)を含包し、これらは紡
績糸、モノフィラメント糸、マルチフィラメント糸など
のいずれであってもよい。また、活性炭素繊維は、シー
ト状体(フェルト、布など)或いはその他の三次元構造
体(ハニカム、パイプ、三次元織物等)に形成されてい
てもよい。
The activated carbon fiber has a length of 0.1 to 5
It includes short fibers of 0 mm, and continuous fibers (filaments, yarns, etc.) of substantially unlimited length, which may be any of spun yarns, monofilament yarns, multifilament yarns and the like. The activated carbon fibers may be formed in a sheet (felt, cloth, etc.) or other three-dimensional structures (honeycomb, pipe, three-dimensional fabric, etc.).

【0019】前記活性炭素繊維は、BET窒素吸着法に
よる比表面積が700〜1500m 2/gのものであ
る。比表面積が700m2/g未満では、炭化ケイ素化
反応工程において十分にケイ素化反応が進行せず、得ら
れる繊維中に未反応の炭素が残存するため、結果として
炭化ケイ素繊維の特徴を十分に発現しえない。また、比
表面積が1500m2/gを超えて大きい場合は、活性
炭素化(賦活)工程における収率が低く不経済であるば
かりでなく、活性炭素繊維としての強度が不足し、その
結果、得られる炭化ケイ素化された繊維の強度も不十分
になる。
The activated carbon fiber is subjected to the BET nitrogen adsorption method.
Specific surface area is 700-1500m Two/ G
You. Specific surface area is 700mTwo/ G is less than silicon carbide
The siliconization reaction did not proceed sufficiently in the reaction step,
Unreacted carbon remains in the fibers
The characteristics of silicon carbide fibers cannot be sufficiently exhibited. Also, the ratio
1500m surface areaTwo/ G
If the yield in the carbonization (activation) process is low and uneconomical
Not enough, the strength as activated carbon fiber is insufficient.
As a result, the strength of the resulting siliconized fiber is insufficient.
become.

【0020】前記の特性を有する本発明の方法に用いる
活性炭素繊維は、公知の方法により製造される。有機物
質からなるプレカーサー繊維を活性炭素化する方法につ
いては、例えば特開平6−306710号公報に、化石
燃料から得られるピッチを原料とする活性炭素繊維につ
いて記載されている。特に、活性炭繊維の短繊維を得よ
うとする場合は、予め所望の長さに紡糸された、或いは
所望の長さに切断された前記プレカーサー繊維を活性炭
素化するか、もしくはプレカーサー繊維を活性炭素化し
た後にこれを短繊維化する。
The activated carbon fiber having the above-mentioned properties and used in the method of the present invention is produced by a known method. Regarding a method of converting precursor fibers made of an organic material into activated carbon, for example, JP-A-6-306710 describes an activated carbon fiber using pitch obtained from fossil fuel as a raw material. In particular, when it is intended to obtain short fibers of activated carbon fibers, the precursor fibers previously spun to a desired length or cut to a desired length are activated carbonized, or the precursor fibers are activated carbon. This is made into a short fiber after the formation.

【0021】活性炭素繊維を予めシート状構造体(シー
ト、ウエブ等)の形状に形成するには、例えば特開平2
−255516号公報に開示されている様に、ピッチを
溶融紡糸して連続(長)繊維とする工程と、この繊維を
捕集、堆積させてウエブとする工程と、このシート状繊
維集合体を不融化する工程と、不融化したシートを賦活
する工程とを連続して行う方法を用いることができる。
また、炭素繊維用プレカーサー繊維や炭素繊維を、乾式
又は湿式によりフェルト状シートに形成し、これを活性
炭素繊維化したもの、或いは、活性炭素繊維のステープ
ルをシート化したものを本発明に用いることができる。
In order to form activated carbon fibers in the form of a sheet-like structure (sheet, web, etc.) in advance, for example, see
As disclosed in JP-A-255516, a step of melt-spinning a pitch into continuous (long) fibers, a step of collecting and depositing these fibers to form a web, A method of continuously performing the step of infusibilizing and the step of activating the infusibilized sheet can be used.
Further, a precursor fiber or carbon fiber for carbon fiber is formed into a felt-like sheet by a dry method or a wet method, and this is formed into an activated carbon fiber, or a sheet formed from activated carbon fiber staples is used in the present invention. Can be.

【0022】一方、活性炭素繊維の三次元構造体は、前
記のフェルトや布のような二次元構造体をコルゲート加
工して巻いたもの、或いはハニカム状に加工したものな
どを用いることができる。また、活性炭素繊維ないしそ
のプレカーサーのステープルを水などに分散させたスラ
リーから、吸引法によりステープルを多孔質の型に付着
させて繊維構造体を得ることもできる。
On the other hand, as the three-dimensional structure of activated carbon fibers, a two-dimensional structure such as the felt or cloth described above, which is formed by corrugating and winding, or formed into a honeycomb shape can be used. Further, a staple can be attached to a porous mold by a suction method from a slurry in which activated carbon fibers or staples of precursors thereof are dispersed in water or the like, to obtain a fibrous structure.

【0023】A工程に用いられるケイ素およびケイ素酸
化物から選ばれた少なくとも1種を含有するケイ素供給
源としては、ケイ素と二酸化ケイ素の混合粉末、炭素と
二酸化ケイ素の混合粉末、一酸化ケイ素などを挙げるこ
とができる。前記ケイ素およびケイ素酸化物の少なくと
も1種と共に活性炭素繊維を1200〜1500℃に加
熱すると、ケイ素および/またはケイ素酸化物のガスが
発生し、これらが活性炭素と反応して活性炭素繊維が炭
化ケイ素繊維に変換される。
Examples of the silicon source containing at least one selected from silicon and silicon oxide used in the step A include a mixed powder of silicon and silicon dioxide, a mixed powder of carbon and silicon dioxide, and silicon monoxide. Can be mentioned. When activated carbon fiber is heated to 1200 to 1500 ° C. together with at least one of the silicon and silicon oxide, gas of silicon and / or silicon oxide is generated, and these react with activated carbon to form activated carbon fiber into silicon carbide. Converted to fiber.

【0024】次にB工程で説明する。本発明に好適に用
いられる炭化ケイ素繊維は、上記A工程で製造された炭
化ケイ素繊維に対して、ホウ素化合物の存在下で、減圧
下または不活性ガス雰囲気中において1700℃〜21
00℃で加熱処理を行う。ホウ素化合物としては、単体
ホウ素、炭化ホウ素、ホウ酸などが好適に用いられる。
これらを熱処理すべき炭化ケイ素繊維と共存させる方法
としては、単体ホウ素や炭化ホウ素などの不溶性固体の
場合は、0.1〜10μm程度の粉末にして繊維に担持
させる方法がある。この場合、繊維に粉末を固定するた
めに適当なバインダーを用いることも差し支えない。ホ
ウ酸などの可溶性ホウ素化合物の場合は、水などの適当
な溶媒に溶かして溶液とし、繊維をこれに含浸する方法
などを用いることができる。
Next, the step B will be described. The silicon carbide fiber suitably used in the present invention is obtained by mixing the silicon carbide fiber produced in the above step A with a boron compound in the presence of a boron compound under reduced pressure or in an inert gas atmosphere at 1700 ° C. to 21 ° C.
Heat treatment is performed at 00 ° C. As the boron compound, simple boron, boron carbide, boric acid and the like are suitably used.
As a method for allowing these to coexist with the silicon carbide fiber to be heat-treated, in the case of an insoluble solid such as elemental boron or boron carbide, there is a method in which a powder of about 0.1 to 10 μm is supported on the fiber. In this case, an appropriate binder may be used for fixing the powder to the fiber. In the case of a soluble boron compound such as boric acid, a method of dissolving in a suitable solvent such as water to form a solution and impregnating the fiber with the solution can be used.

【0025】この場合、好適なホウ素化合物の量は、被
熱処理炭化ケイ素繊維の重量を100部とした場合、単
体ホウ素重量に換算して0.1〜10部が適当である。
共存させるホウ素の量が0.1部より少ないと、繊維を
構成する炭化ケイ素粒子の焼結が進まないために、繊維
の強度が高いものが得られず、結果として強度の高い繊
維構造体が得られない。また、ホウ素の量が10部より
多いと、炭化ケイ素粒子の粒成長が極端に抑制されて焼
結が進まず、やはり結果として強度の高い繊維が得られ
ない。ホウ素化合物に加えて、必要に応じて炭素化合物
の存在下で炭化ケイ素繊維に対して熱処理を行うことが
できる。この炭素化合物を添加する公知の方法として
は、カーボンブラックの様な微粉末状炭素を被熱処理炭
化ケイ素繊維に担持させる方法や、フェノール樹脂やフ
ラン樹脂などの高分子化合物を適当な溶媒に溶かして被
熱処理繊維をこれに含浸し、酸素の無い雰囲気で樹脂を
炭化させる方法がある。この場合、好適な炭素化合物の
量としては、炭素に換算してホウ素の量の0.1〜2.
0倍程度の重量の炭素を用いることが望ましい。
In this case, when the weight of the silicon carbide fiber to be heat-treated is 100 parts, the suitable amount of the boron compound is 0.1 to 10 parts in terms of the weight of single boron.
If the amount of coexisting boron is less than 0.1 part, since the sintering of the silicon carbide particles constituting the fiber does not proceed, a fiber having a high strength cannot be obtained, and as a result, a fiber structure having a high strength is obtained. I can't get it. On the other hand, when the amount of boron is more than 10 parts, the grain growth of silicon carbide particles is extremely suppressed and sintering does not proceed, and as a result, fibers having high strength cannot be obtained. In addition to the boron compound, if necessary, the silicon carbide fiber can be subjected to a heat treatment in the presence of a carbon compound. Known methods for adding the carbon compound include a method in which fine powdered carbon such as carbon black is supported on silicon carbide fibers to be heat-treated, and a method in which a polymer compound such as a phenol resin or a furan resin is dissolved in an appropriate solvent. There is a method in which a fiber to be heat-treated is impregnated into the fiber and carbonized in an oxygen-free atmosphere. In this case, a suitable amount of the carbon compound is 0.1 to 2.
It is desirable to use about 0 times the weight of carbon.

【0026】熱処理の際の不活性ガス雰囲気としては、
アルゴンやヘリウム、窒素などを用いることができる。
熱処理の温度は1700〜2100℃が好適で、190
0〜2000℃がさらに好適である。熱処理温度が17
00未満の場合、熱処理時間を長くとっても十分な効果
が得られず、また、2100℃を超えると炭化ケイ素繊
維の分解が著しくなり、繊維の強度が低下するので好ま
しくない。これらの熱処理温度へ到達する過程の昇温速
度、あるいは熱処理を終えて冷却する際の降温速度は5
0〜100℃/分が好適である。
As the inert gas atmosphere during the heat treatment,
Argon, helium, nitrogen, or the like can be used.
The temperature of the heat treatment is preferably 1700-2100 ° C.
0-2000 ° C is more preferred. Heat treatment temperature is 17
If it is less than 00, a sufficient effect cannot be obtained even if the heat treatment time is long, and if it exceeds 2100 ° C., the decomposition of the silicon carbide fiber becomes remarkable, and the strength of the fiber decreases, which is not preferable. The rate of temperature rise in the process of reaching these heat treatment temperatures or the rate of temperature decrease when cooling after finishing the heat treatment is 5
0-100 ° C / min is preferred.

【0027】本発明に使用する炭化ケイ素繊維は、密度
が3.0〜3.2g/cm3であるか、または、酸素含
有量が1重量%以下である炭化ケイ素繊維であるが、前
記の製造方法によれば、密度は3.0〜3.2g/cm
3であり、かつ、酸素含有量が1重量%以下となるので
最も好ましい。
The silicon carbide fiber used in the present invention has a density of 3.0 to 3.2 g / cm 3 or an oxygen content of 1% by weight or less. According to the manufacturing method, the density is 3.0 to 3.2 g / cm.
3 and the oxygen content is 1% by weight or less.

【0028】<構造体の成形>次に、構造体の成形につ
いて説明する。炭化ケイ素繊維がすでにフェルトのよう
な二次元構造体あるいは三次元構造体をなしている場合
は、直ちに構造体を構成している繊維同士を結合させる
工程に進むことができるが、炭化ケイ素繊維が短繊維で
ある場合これを構造体に成形する工程が必要である。
<Forming of Structure> Next, the forming of the structure will be described. If the silicon carbide fibers already form a two-dimensional structure or a three-dimensional structure such as felt, the process can immediately proceed to the step of bonding the fibers constituting the structure, but the silicon carbide fibers If it is a short fiber, a step of forming it into a structure is required.

【0029】炭化ケイ素短繊維を構造体に成形する方法
としては、公知の技術を使って行うことができる。即
ち、湿式法としては炭化ケイ素短繊維を水などの適当な
分散媒に分散させておき、必要に応じてパルプなどの補
助材料を混合し、ワイヤー上で脱液を行うことで所望形
状の二次元あるいは三次元の構造体を作ることができ
る。湿式法で本発明に特に好適な方法は、炭化ケイ素短
繊維を含むスラリーをエンドレスのワイヤー上で脱水し
て連続のウエブを製造する抄紙法である。炭化ケイ素短
繊維を二次元シートに成形する方法としては、上記の方
法以外に空気中に分散浮遊させた繊維を重力により落下
させて所望の厚さになるまで堆積させる乾式法を用いる
こともできる。
As a method of forming the silicon carbide short fibers into a structure, a known technique can be used. That is, in the wet method, silicon carbide short fibers are dispersed in an appropriate dispersion medium such as water, and auxiliary materials such as pulp are mixed as necessary, and the mixture is subjected to dewatering on a wire to obtain a desired shape. You can create three-dimensional or three-dimensional structures. A method particularly suitable for the present invention in a wet method is a papermaking method for producing a continuous web by dewatering a slurry containing short silicon carbide fibers on an endless wire. As a method of forming the silicon carbide short fibers into a two-dimensional sheet, besides the above method, a dry method in which fibers dispersed and suspended in air are dropped by gravity and deposited to a desired thickness can also be used. .

【0030】本発明では、これらの方法などにより成形
した炭化ケイ素繊維構造体を構成している繊維同士を耐
熱性の結合剤で結合させる。耐熱性の結合剤としては、
アルミナ、シリカ、ムライト、ジルコニア、チタニアな
どの酸化物系の耐熱材料や、炭化ケイ素、窒化ケイ素、
炭化ホウ素、窒化アルミニウムなどの非酸化物系の耐熱
材料を成分として含む結合剤、あるいは炭素、ホウ素な
どの高融点物質、またはチタン、ニッケル、ケイ素など
の金属を成分として含む結合剤が挙げられる。また、例
えば、炭化ケイ素結合剤に炭素及び/またはケイ素を混
合するなど、前記結合剤を組み合わせて使用しても良
い。
In the present invention, the fibers constituting the silicon carbide fiber structure formed by these methods and the like are bonded with a heat-resistant binder. As a heat-resistant binder,
Oxide-based heat-resistant materials such as alumina, silica, mullite, zirconia, titania, silicon carbide, silicon nitride,
Examples include a binder containing a non-oxide heat-resistant material such as boron carbide or aluminum nitride as a component, or a binder containing a high-melting substance such as carbon or boron, or a metal such as titanium, nickel, or silicon as a component. In addition, for example, carbon and / or silicon may be mixed with a silicon carbide binder, and the binder may be used in combination.

【0031】これらの結合剤を炭化ケイ素繊維構造体に
付加する方法としては、公知の方法を用いることができ
る。即ち、材料の微粉末を適当な分散媒に分散させてス
ラリーにしたものを構造体に含浸させて、乾燥後これを
焼成することで微粉末を焼結させて結合作用を発現させ
る方法を用いることができる。この場合、上記のスラリ
ーに焼結を促進させる適当な助剤を選択して添加するこ
とも行われる。アルミナ、シリカ、ムライトなどの材料
に対してはこの方法を用いることができる。また、金属
アルコキシドを成分として含む材料を繊維構造体に含浸
させて、アルコキシドを加水分解させた後、これを焼成
して結合作用を発現させることもできる。金属アルコキ
シドの例としては、テトラエトキシシランの様なケイ素
のアルコキシド、アルミニウムイソプロポキシドのよう
なアルミニウムのアルコキシド、あるいはチタンイソプ
ロポキシドのようなチタンのアルコキシドを成分として
含む材料をあげることができる。不活性雰囲気で焼成す
ることで、セラミックス化する有機ケイ素高分子材料を
溶融あるいは適当な溶媒に溶解して前記炭化ケイ素繊維
構造体に含浸させることも可能である。このような有機
ケイ素高分子化合物にはポリカルボシランやポリシラザ
ンがある。
As a method for adding these binders to the silicon carbide fiber structure, known methods can be used. That is, a method of dispersing a fine powder of a material in an appropriate dispersion medium to form a slurry, impregnating the structure, drying and firing this is used to sinter the fine powder to exert a binding action. be able to. In this case, an appropriate auxiliary agent that promotes sintering is selected and added to the slurry. This method can be used for materials such as alumina, silica, and mullite. Alternatively, a fibrous structure may be impregnated with a material containing a metal alkoxide as a component to hydrolyze the alkoxide, and then fired to exert a binding effect. Examples of the metal alkoxide include a material containing a silicon alkoxide such as tetraethoxysilane, an aluminum alkoxide such as aluminum isopropoxide, or a titanium alkoxide such as titanium isopropoxide as a component. By firing in an inert atmosphere, the organosilicon polymer material to be ceramicized can be melted or dissolved in an appropriate solvent to impregnate the silicon carbide fiber structure. Such organosilicon polymer compounds include polycarbosilane and polysilazane.

【0032】炭化ケイ素繊維構造体中の繊維を同じ材料
である炭化ケイ素で結合させる方法としては、炭化ケイ
素の焼結法として公知の方法を用いることができる。そ
の一例が炭素とケイ素の反応によって炭化ケイ素を生成
させる反応焼結法で、炭素源とケイ素の粉末を繊維構造
体にスラリーで含浸させ、これを真空中もしくは不活性
ガス雰囲気中でケイ素の融点以上、好ましくは1410
℃から1600℃に加熱することで炭素とケイ素を反応
させて炭化ケイ素を生成させ繊維同士を結合する方法で
ある。この方法において、炭素源はカーボンブラックの
ような微粒子であることもフェノール樹脂の様な酸素の
無い雰囲気で加熱することで炭素を生成する有機化合物
であることも可能である。また、この方法において、ケ
イ素は繊維構造体に含浸させることなく、炭素のみを含
む構造体を真空中もしくは不活性ガス雰囲気中で溶融し
たケイ素と接触させることも可能である。
As a method for bonding the fibers in the silicon carbide fiber structure with the same material, silicon carbide, a method known as a method for sintering silicon carbide can be used. One example is a reaction sintering method in which silicon carbide is generated by the reaction of carbon and silicon.A carbon source and silicon powder are impregnated with a slurry into a fibrous structure, which is melted in a vacuum or in an inert gas atmosphere. Above, preferably 1410
This is a method in which carbon and silicon are reacted by heating from ℃ to 1600 ° C to generate silicon carbide and connect the fibers. In this method, the carbon source can be fine particles such as carbon black or an organic compound that generates carbon by heating in an oxygen-free atmosphere such as a phenol resin. In this method, it is also possible to contact a structure containing only carbon with molten silicon in a vacuum or an inert gas atmosphere without impregnating the fiber structure with silicon.

【0033】また、炭化ケイ素の焼結法として公知な常
圧焼結法を上記の繊維構造体に適用する場合には、炭化
ケイ素の粉末と、ホウ素および炭素からなる焼結助剤を
混合したスラリーを繊維構造体に含浸し、乾燥後これを
不活性雰囲気中1700〜2100℃で焼成することで
構造体中の繊維同士を結合させることができる。好まし
いホウ素および炭素の量は、共に炭化ケイ素粉末の重量
に対して1〜5%である。
When a normal pressure sintering method known as a sintering method for silicon carbide is applied to the above-mentioned fiber structure, a powder of silicon carbide and a sintering aid comprising boron and carbon are mixed. The fiber in the structure can be bonded by impregnating the fiber structure with the slurry, drying it, and firing it at 1700 to 2100 ° C. in an inert atmosphere. The preferred amounts of boron and carbon are both 1 to 5% based on the weight of the silicon carbide powder.

【0034】以上述べたような結合剤には、常に骨材と
して適当な耐熱性の材料の粉末を添加することができ
る。即ち、炭化ケイ素、アルミナ、シリカなどの粉末を
骨材として用いることができる。本発明の炭化ケイ素繊
維構造体の見かけ密度は0.05〜1.00g/cm3
が好適で、0.10〜0.50g/cm3がより好適で
ある。見かけ密度は炭化ケイ素繊維構造体の重量(g)
を構造体外表面が囲む体積(cm3)で除することで求
めることができる。炭化ケイ素繊維構造体の見かけ密度
が0.05g/cm3より小さいとフィルターなどの用
途において強度が十分でなく、また、見かけ密度が1.
00g/cm3より大きいとフィルターなどの用途にお
いて著しく流体の透過性が悪くなり好ましくない。
A powder of a heat-resistant material suitable as an aggregate can always be added to the binder described above. That is, powders of silicon carbide, alumina, silica and the like can be used as the aggregate. The apparent density of the silicon carbide fiber structure of the present invention is 0.05 to 1.00 g / cm 3.
Is preferable, and 0.10 to 0.50 g / cm 3 is more preferable. Apparent density is weight of silicon carbide fiber structure (g)
Is divided by the volume (cm 3 ) surrounded by the outer surface of the structure. When the apparent density of the silicon carbide fiber structure is less than 0.05 g / cm 3 , the strength is not sufficient for applications such as a filter, and the apparent density is 1.
When it is larger than 00 g / cm 3 , fluid permeability is remarkably deteriorated in applications such as a filter, which is not preferable.

【0035】[0035]

【実施例】本発明を下記実施例により具体的に説明する
が、本発明の範囲は勿論下記実施例により限定されるも
のではない。実施例中の炭化ケイ素繊維構造体の圧縮強
度は、材料試験器(商品名テンシロン、東洋ボールドウ
ィン社製)により構造体を圧縮して行った際の最大応力
を圧縮部の面積で除すことで求めた。試料を圧縮する面
積は、7.07cm2、ヘッドスピードは1mm/分と
した。
EXAMPLES The present invention will be described specifically with reference to the following examples, but the scope of the present invention is not limited by the following examples. The compressive strength of the silicon carbide fiber structure in the examples is obtained by dividing the maximum stress when the structure is compressed by a material tester (trade name: Tensilon, manufactured by Toyo Baldwin) by the area of the compressed portion. I asked. The area for compressing the sample was 7.07 cm 2 , and the head speed was 1 mm / min.

【0036】<繊維密度の測定>実施例中の炭化ケイ素
繊維の密度(真密度)は、JIS R 7601に記載
された液置換法によって求めた。即ち、23℃の蒸留水
を浸漬液として用いて測定した。
<Measurement of Fiber Density> The density (true density) of the silicon carbide fibers in the examples was determined by a liquid replacement method described in JIS R 7601. That is, the measurement was performed using distilled water at 23 ° C. as an immersion liquid.

【0037】<酸素含有量の測定>酸素含有率の測定
は、LECO社製の酸素窒素分析装置TC−436によ
り測定した。
<Measurement of Oxygen Content> The oxygen content was measured by an oxygen nitrogen analyzer TC-436 manufactured by LECO.

【0038】<実施例1> (1)炭化ケイ素繊維の製造:繊維長6mm、比表面積
1000m2/g、および繊維径13μmのピッチ系活
性炭素繊維(商品名:リノベスA−10、大阪ガス社
製)を、送風乾燥機中120℃で5時間乾燥し、この乾
燥繊維20gを、ケイ素粉末(試薬一級、和光純薬工業
社製)60gと二酸化ケイ素粉末(試薬一級、和光純薬
工業社製)130gとを乳鉢で十分に混合した粉体と良
く混合し、この混合物を、管状炉に設置された内径64
mmのムライト製炉心管中に150mmの長さにわたっ
て充填した。この炉心管内にアルゴンガス(純度99.
99容量%)を500ミリリットル/分で流しながら、
室温から900℃まで3時間かけて昇温し、更に135
0℃まで1時間かけて昇温し、1350℃に4時間保持
した。その後室温まで5時間かけて冷却した。
Example 1 (1) Production of Silicon Carbide Fiber : Pitch-based activated carbon fiber having a fiber length of 6 mm, a specific surface area of 1,000 m 2 / g, and a fiber diameter of 13 μm (trade name: Renoves A-10, Osaka Gas Co., Ltd.) Was dried in an air dryer at 120 ° C. for 5 hours, and 20 g of the dried fiber was mixed with 60 g of silicon powder (reagent first grade, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) and silicon dioxide powder (reagent first grade, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) ) 130 g with a well-mixed powder in a mortar and thoroughly mix the mixture with an inner diameter 64 placed in a tube furnace.
mm mullite core tube over a length of 150 mm. Argon gas (purity 99.
99 volume%) at 500 ml / min.
The temperature was raised from room temperature to 900 ° C. over 3 hours, and further increased to 135 ° C.
The temperature was raised to 0 ° C. over 1 hour and maintained at 1350 ° C. for 4 hours. Then, it cooled to room temperature over 5 hours.

【0039】この繊維と粉体の混合物を炉から取り出
し、50リットルの水の中で撹拌器(商品名:アジタ
ー、シマザキ社製)により繊維と粉体を水に分散させ
た。この分散液を149μmの目孔のふるいを通すこと
で、繊維をふるい上に回収し、さらに流水で繊維を洗浄
した。洗浄後の繊維は120℃の送風乾燥機中で5時間
乾燥した。回収された繊維の重量は25gであった。こ
の繊維の平均繊維長は5mmで、繊維径は13μmであ
った。密度は、2.8g/cm3、酸素含有量は5.0
%であった。
The mixture of the fiber and the powder was taken out of the furnace, and the fiber and the powder were dispersed in water using a stirrer (trade name: Agiter, manufactured by Shimazaki Co., Ltd.) in 50 liters of water. The dispersion was passed through a sieve with 149 μm eye holes to collect fibers on the sieve, and the fibers were further washed with running water. The washed fiber was dried in a blow dryer at 120 ° C. for 5 hours. The weight of the recovered fiber was 25 g. The average fiber length of this fiber was 5 mm, and the fiber diameter was 13 μm. The density is 2.8 g / cm 3 and the oxygen content is 5.0
%Met.

【0040】(2)炭化ケイ素繊維の高密度化:この繊
維20gと、ホウ素粉末(試薬:無定型、和光純薬工業
社製)0.6gとを少量のメタノールを加えながら混合
し、繊維にホウ素を担持させた。この繊維を内径200
mmのグラファイト発熱管をそなえたタンマン炉に入
れ、アルゴンガス(純度99.99容量%)を2.0リ
ットル/分流しながら室温から1000℃まで60分か
けて昇温し、さらに1000℃から2000℃まで30
分で昇温し、2000℃を10分間保持し、さらに室温
まで4時間かけて冷却した。密度は3.15g/c
3、酸素含有量は0.1%であった。
(2) Densification of silicon carbide fiber : 20 g of this fiber and 0.6 g of boron powder (reagent: amorphous, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) were mixed while adding a small amount of methanol, and the fiber was mixed. Boron was loaded. This fiber has an inner diameter of 200
The temperature was raised from room temperature to 1000 ° C. over 60 minutes while flowing an argon gas (purity: 99.99% by volume) at 2.0 liter / minute, and further increased from 1000 ° C. to 2000 ° C. 30 to ℃
Then, the temperature was raised at 2,000 ° C. for 10 minutes, and further cooled to room temperature over 4 hours. The density is 3.15 g / c
m 3 , the oxygen content was 0.1%.

【0041】(3)構造体の形成:この繊維を水20リ
ットルに分散させ、さらに合成パルプ(商品名:SW
P、三井化学社製)2.0gを加えて、手抄きシートモ
ウルド装置により直径160mmのシートを作製した。
このシートを150℃の送風乾燥機中で2時間乾燥し
た。このシートをシリカゾル(商品名:スノーテックス
−OUP、日産化学社製)50重量部、アルミナゾル
(商品名:アルミナゾル−100、日産化学社製)17
0重量部、水220重量部を混合した液に浸漬し、ブフ
ナー上で余剰液を吸い取り105℃で6時間乾燥させ
た。このシートを、電気炉で大気中、室温から1000
℃まで4時間で昇温し、1000℃を1時間保ち、室温
まで5時間で冷却した。このシートは、重量が22g、
みかけ密度が0.15g/cm3であった。
(3) Formation of structure : The fibers are dispersed in 20 liters of water, and furthermore, synthetic pulp (trade name: SW)
P, manufactured by Mitsui Chemicals, Inc.), and a sheet having a diameter of 160 mm was prepared using a hand-made sheet mold apparatus.
The sheet was dried in a blow dryer at 150 ° C. for 2 hours. 50 parts by weight of silica sol (trade name: Snowtex-OUP, manufactured by Nissan Chemical Co., Ltd.) and alumina sol (trade name: alumina sol-100, manufactured by Nissan Chemical Co., Ltd.) 17
The solution was immersed in a mixture of 0 parts by weight and 220 parts by weight of water, and the excess liquid was sucked off on a Buchner and dried at 105 ° C. for 6 hours. This sheet is put in an electric furnace in air from room temperature to 1000
The temperature was raised to 4 ° C. in 4 hours, kept at 1000 ° C. for 1 hour, and cooled to room temperature in 5 hours. This sheet weighs 22 g,
The apparent density was 0.15 g / cm 3 .

【0042】<実施例2>黒鉛製の箱の中に5gの塊状
一酸化ケイ素(住友スティックス社製)を敷き、その上
に比表面積が1000m2/gのフェノール樹脂を原料
とする活性炭素繊維からなる目付200g/m2のフェ
ルト(商品名:クラクティブフェルトFT−300、ク
ラレケミカル社製)を50×50mm(重量0.50
g)に断裁したものを載せて、黒鉛製の蓋をかぶせた。
これを内径70mmのアルミナ製炉心管を備えた管状炉
に入れて、排気能力毎秒50リットルの油回転式真空ポ
ンプを用いて炉心管内部を減圧しながら、室温から13
50℃まで4時間で昇温した。1350℃に達した時点
でその温度を2時間保持し、6時間かけて室温まで冷却
し、フェルトを取り出してその重量を測定したところ
0.72gであった。
<Example 2> 5 g of massive silicon monoxide (manufactured by Sumitomo Sticks Co., Ltd.) was spread in a graphite box, and activated carbon made from a phenol resin having a specific surface area of 1000 m 2 / g was placed thereon. of basis weight 200 g / m 2 of fiber felt (trade name: click subtractive felt FT-300, manufactured by Kuraray Chemical Co., Ltd.) 50 × 50 mm (weight 0.50
The cut material was placed on g) and covered with a graphite lid.
This was put into a tubular furnace equipped with an alumina furnace tube having an inner diameter of 70 mm, and the inside of the furnace tube was depressurized using an oil rotary vacuum pump having an exhausting capacity of 50 liters per second.
The temperature was raised to 50 ° C. in 4 hours. When the temperature reached 1350 ° C., the temperature was maintained for 2 hours, cooled to room temperature over 6 hours, the felt was taken out, and its weight was measured to be 0.72 g.

【0043】このフェルトをホウ素(試薬:無定型、和
光純薬工業社製)1gをメタノールに分散させて100
gとした分散液に浸漬した後、これを取り出して、余剰
の液を吸い取り紙に吸わせて除去した。このフェルトを
グラファイト製の板に載せて内径50mmのグラファイ
ト発熱管を備えたタンマン炉に入れ、室温から1000
℃まで30分で昇温し、さらに2000℃まで30分で
昇温した。2000℃に達した時点でその温度を10分
間保持し、1700℃まで2分間で冷却し、さらに室温
まで3時間で冷却してフェルトを取り出した。この加熱
操作は、アルゴン(99.9容量%)を炉内に毎分2.
0リットル流しながら行った。加熱後のフェルトの重量
は0.68gであった。繊維を取り出して密度と酸素含
有量を測定した結果、密度は3.1g/cm3、酸素含
有量は0.1%であった。
1 g of this felt was dispersed in methanol (reagent: amorphous, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.), and 100 g of the felt was dispersed in methanol.
After being immersed in the dispersion liquid prepared as g, the liquid was taken out, and excess liquid was absorbed by a blotting paper and removed. The felt was placed on a graphite plate and placed in a Tamman furnace equipped with a graphite heating tube having an inner diameter of 50 mm.
The temperature was increased to 30 ° C. in 30 minutes, and further increased to 2000 ° C. in 30 minutes. When the temperature reached 2000 ° C., the temperature was maintained for 10 minutes, cooled to 1700 ° C. in 2 minutes, and further cooled to room temperature in 3 hours to take out the felt. This heating operation is performed by introducing argon (99.9% by volume) into the furnace at a rate of 2.
This was performed while flowing 0 liter. The weight of the felt after heating was 0.68 g. As a result of taking out the fiber and measuring the density and the oxygen content, the density was 3.1 g / cm 3 and the oxygen content was 0.1%.

【0044】このフェルトに対して、SiC粉末10重
量部、ホウ素粉末0.002重量部、フェノール樹脂
0.002重量部(商品名タマノル531、荒川化学工
業社製)をメタノール90重量部に分散させたものを含
浸させ、フェルトを28メッシュの金網上に載せて過剰
の液を取り除いた。このフェルトを105℃の送風乾燥
機中で3時間乾燥した。乾燥後のフェルトをグラファイ
ト製の板に載せて内径50mmのグラファイト発熱管を
備えたタンマン炉に入れ、室温から1000℃まで30
分で昇温し、さらに2000℃まで30分で昇温した。
2000℃に達した時点でその温度を10分間保持し、
1700℃まで2分間で冷却し、さらに室温まで3時間
で冷却してフェルトを取り出した。この加熱操作は、ア
ルゴン(99.9容量%)を炉内に毎分2.0リットル
流しながら行った。加熱後のフェルトの重量は1.30
gで、密度が0.17g/cm3であった。
To the felt, 10 parts by weight of SiC powder, 0.002 parts by weight of boron powder, and 0.002 parts by weight of phenol resin (trade name: Tamanol 531, manufactured by Arakawa Chemical Industries) were dispersed in 90 parts by weight of methanol. The felt was placed on a 28-mesh wire mesh to remove excess liquid. The felt was dried in a blow dryer at 105 ° C. for 3 hours. The felt after drying is placed on a graphite plate and placed in a Tamman furnace equipped with a graphite heating tube having an inner diameter of 50 mm.
And heated up to 2000 ° C. in 30 minutes.
When the temperature reaches 2000 ° C., the temperature is maintained for 10 minutes,
The felt was cooled to 1700 ° C. for 2 minutes and further cooled to room temperature for 3 hours, and the felt was taken out. This heating operation was performed while flowing 2.0 liters of argon (99.9% by volume) into the furnace per minute. The weight of the felt after heating is 1.30
g, and the density was 0.17 g / cm 3 .

【0045】<実施例3>実施例1の(3)における構
造体の形成において、炭化ケイ素繊維のシート(22
g)にシリカゾルとアルミナゾルの混合液を含浸する代
わりに、フェノール樹脂(商品名タマノル531、荒川
化学工業社製)を20重量%濃度でメタノールに溶解し
たもの120gを含浸させ、105℃の送風乾燥機で3
時間乾燥させた。このシートの重量は46gであった。
このシートを有効加熱域300×300×300mmの
真空炉で、油拡散ポンプにより排気しながら、室温から
1450℃まで4時間かけて昇温し、その温度で1時間
保持した。その後室温まで5時間かけて冷却した。この
時のシートの重量は31gであった。このシートに32
gのケイ素粉末(試薬:99%、325メッシュ、アル
ドリッチ社製)をふりかけ、再び真空炉で、油拡散ポン
プにより排気しながら、室温から1450℃まで4時間
かけて昇温し、その温度で1時間保持した。その後室温
まで5時間かけて冷却した。このシートの重量は58g
であった。また、このシートの見かけ密度は0.41g
/cm3であった。
<Example 3> In forming the structure in (3) of Example 1, a sheet of silicon carbide fiber (22
Instead of impregnating g) with a mixed solution of silica sol and alumina sol, 120 g of a phenol resin (trade name: Tamanol 531, manufactured by Arakawa Chemical Industry Co., Ltd.) dissolved in methanol at a concentration of 20% by weight is impregnated and blown at 105 ° C. 3 by machine
Let dry for hours. The weight of this sheet was 46 g.
This sheet was heated from room temperature to 1450 ° C. over 4 hours while being evacuated by an oil diffusion pump in a vacuum furnace having an effective heating area of 300 × 300 × 300 mm and kept at that temperature for 1 hour. Then, it cooled to room temperature over 5 hours. At this time, the weight of the sheet was 31 g. 32 on this sheet
g of silicon powder (reagent: 99%, 325 mesh, manufactured by Aldrich), and the temperature was raised from room temperature to 1450 ° C. for 4 hours again in a vacuum furnace while evacuating with an oil diffusion pump. Hold for hours. Then, it cooled to room temperature over 5 hours. The weight of this sheet is 58g
Met. The apparent density of this sheet is 0.41 g
/ Cm 3 .

【0046】<比較例1>(ホウ素存在下での熱処理を
行わない場合) 繊維長6mm、比表面積1000m2/g、および繊維
径13μmのピッチ系活性炭素繊維(商品名:リノベス
A−10、大阪ガス社製)を、送風乾燥機中120℃で
5時間乾燥し、この乾燥繊維20gを、ケイ素粉末(試
薬一級、和光純薬工業社製)60gと二酸化ケイ素粉末
(試薬一級、和光純薬工業社製)130gとを乳鉢で十
分に混合した粉体と良く混合し、この混合物を、管状炉
に設置された内径64mmのムライト製炉心管中に15
0mmの長さにわたって充填した。この炉心管内にアル
ゴンガス(純度99.99容量%)を500ミリリット
ル/分で流しながら、室温から900℃まで3時間かけ
て昇温し、更に1350℃まで1時間かけて昇温し、1
350℃に4時間保持した。その後室温まで5時間かけ
て冷却した。この繊維と粉体の混合物を炉から取り出
し、50リットルの水の中で撹拌器(商品名:アジタ
ー、シマザキ社製)により繊維と粉体を水に分散させ
た。この分散液を149μmの目孔のふるいを通すこと
で、繊維をふるい上に回収し、さらに流水で繊維を洗浄
した。洗浄後の繊維は120℃の送風乾燥機中で5時間
乾燥した。回収された繊維の重量は25gであった。こ
の繊維の平均繊維長は5mmで、繊維径は13μmであ
った。この繊維20gを水20リットルに分散させ、さ
らに合成パルプ(商品名:SWP、三井化学社製)2.
0gを加えて、手抄きシートモウルド装置により直径1
60mmのシートを作製した。このシートを150℃の
送風乾燥機中で2時間乾燥した。繊維の密度は2.8g
/cm3、酸素含有量は5.1%であった。
<Comparative Example 1> (When no heat treatment is performed in the presence of boron) Pitch-based activated carbon fiber having a fiber length of 6 mm, a specific surface area of 1000 m 2 / g, and a fiber diameter of 13 μm (trade name: Renoves A-10; Osaka Gas Co., Ltd.) was dried in an air dryer at 120 ° C. for 5 hours, and 20 g of the dried fiber was mixed with 60 g of silicon powder (first class reagent, manufactured by Wako Pure Chemical Industries) and silicon dioxide powder (first class reagent, Wako Pure Chemical). (Manufactured by Kogyo Kogyo Co., Ltd.) and 130 g of the mixed powder in a mortar, and the mixture is placed in a mullite core tube having an inner diameter of 64 mm and placed in a tubular furnace.
Filled over a length of 0 mm. The temperature was raised from room temperature to 900 ° C. over 3 hours while flowing argon gas (purity 99.99% by volume) through the furnace tube at 500 ml / min, and further raised to 1350 ° C. over 1 hour.
It was kept at 350 ° C. for 4 hours. Then, it cooled to room temperature over 5 hours. The mixture of the fiber and the powder was taken out of the furnace, and the fiber and the powder were dispersed in water using a stirrer (trade name: Agiter, manufactured by Shimazaki Co., Ltd.) in 50 liters of water. The dispersion was passed through a sieve with 149 μm eye holes to collect fibers on the sieve, and the fibers were further washed with running water. The washed fiber was dried in a blow dryer at 120 ° C. for 5 hours. The weight of the recovered fiber was 25 g. The average fiber length of this fiber was 5 mm, and the fiber diameter was 13 μm. 20 g of this fiber was dispersed in 20 liters of water, and synthetic pulp (trade name: SWP, manufactured by Mitsui Chemicals, Inc.)
0 g, and the diameter is 1
A 60 mm sheet was produced. The sheet was dried in a blow dryer at 150 ° C. for 2 hours. The fiber density is 2.8g
/ Cm 3 and the oxygen content was 5.1%.

【0047】このシートをシリカゾル(商品名:スノー
テックス−OUP、日産化学社製)50重量部、アルミ
ナゾル(商品名:アルミナゾル−100、日産化学社
製)170重量部、水220重量部を混合した液に浸漬
し、ブフナー上で余剰液を吸い取り105℃で6時間乾
燥させた。このシートを、電気炉で大気中、室温から1
000℃まで4時間で昇温し、1000℃を1時間保
ち、室温まで5時間で冷却した。このシートは、重量が
21g、厚さ7mmで直径が160mmであり、これら
から求めたみかけ密度が0.15g/cm3であった。
The sheet was mixed with 50 parts by weight of silica sol (trade name: Snowtex-OUP, manufactured by Nissan Chemical Co., Ltd.), 170 parts by weight of alumina sol (trade name: alumina sol-100, manufactured by Nissan Chemical Co., Ltd.), and 220 parts by weight of water. It was immersed in the solution, and the excess solution was sucked off on a Buchner and dried at 105 ° C. for 6 hours. This sheet is placed in an electric furnace in air at room temperature for 1 hour.
The temperature was raised to 000 ° C in 4 hours, kept at 1000 ° C for 1 hour, and cooled to room temperature in 5 hours. This sheet had a weight of 21 g, a thickness of 7 mm, a diameter of 160 mm, and an apparent density determined from these values of 0.15 g / cm 3 .

【0048】<比較例2>(構造体の密度が低い場合) 実施例3において、炭化ケイ素繊維のシート(乾燥重量
22g)にフェノール樹脂を20重量%濃度でメタノー
ルに溶解したもの120gを含浸させる代わりに、同じ
樹脂を10重量%濃度でメタノールに溶解したもの12
0gを含浸させ、105℃の送風乾燥機で3時間乾燥さ
せた。このシートの重量は34gであった。このシート
を有効加熱域300×300×300mmの真空炉で、
油拡散ポンプにより排気しながら、室温から1450℃
まで4時間かけて昇温し、その温度で1時間保持した。
その後室温まで5時間かけて冷却した。この時のシート
の重量は26gであった。このシートに14gのケイ素
粉末(試薬:99%、325メッシュ、アルドリッチ社
製)をふりかけ、再び真空炉で、油拡散ポンプにより排
気しながら、室温から1450℃まで4時間かけて昇温
し、その温度で1時間保持した。その後室温まで5時間
かけて冷却した。このシートの重量は38gであった。
また、このシートの見かけ密度は0.04g/cm3
あった。
<Comparative Example 2> (When the density of the structure is low) In Example 3, a sheet (dry weight: 22 g) of silicon carbide fiber was impregnated with 120 g of a phenol resin dissolved in methanol at a concentration of 20% by weight. Instead, the same resin was dissolved in methanol at a concentration of 10% by weight.
Then, it was impregnated with 0 g and dried with a blow dryer at 105 ° C. for 3 hours. The weight of this sheet was 34 g. In a vacuum furnace with an effective heating area of 300 x 300 x 300 mm,
Room temperature to 1450 ° C while evacuating with oil diffusion pump
The temperature was raised over 4 hours until the temperature reached, and was maintained at that temperature for 1 hour.
Then, it cooled to room temperature over 5 hours. At this time, the weight of the sheet was 26 g. The sheet was sprinkled with 14 g of silicon powder (reagent: 99%, 325 mesh, manufactured by Aldrich), and the temperature was raised again from room temperature to 1450 ° C. over 4 hours in a vacuum furnace while evacuating with an oil diffusion pump. Hold at temperature for 1 hour. Then, it cooled to room temperature over 5 hours. The weight of this sheet was 38 g.
The apparent density of this sheet was 0.04 g / cm 3 .

【0049】以上の実施例および比較例において作製し
た炭化ケイ素繊維構造体の圧縮強度を測定した結果を表
1にまとめた。 表1 繊維構造体の見かけ密度と圧縮強度
Table 1 summarizes the results of measuring the compressive strength of the silicon carbide fiber structures produced in the above Examples and Comparative Examples. Table 1 Apparent density and compressive strength of fiber structure

【0050】[0050]

【表1】 [Table 1]

【0051】[0051]

【発明の効果】表1によれば、本発明の炭化ケイ素繊維
構造体はいずれも良好な強度を示しているが、比較例1
において作製した構造体は、構造体を処決する前の炭化
ケイ素繊維の密度が低く、また、酸素含有量が高いた
め、強度の低下が著しい。また、比較例2においては、
炭化ケイ素繊維の密度と酸素含有量は適切であるもの
の、結合剤の量が不十分なために構造体の密度が0.0
5よりも小さくなってしまい、十分な強度を持つに至ら
なかった。以上の実施例から明らかなように、本発明の
炭化ケイ素繊維構造体は、これまでの技術では困難であ
った強度を持った構造体を製造することができる。
According to Table 1, all of the silicon carbide fiber structures of the present invention show good strength.
In the structure manufactured in the above, the density of the silicon carbide fiber before the structure is reduced and the oxygen content is high, so that the strength is significantly reduced. In Comparative Example 2,
Although the density and oxygen content of the silicon carbide fibers are appropriate, the density of the
It was smaller than 5 and did not have sufficient strength. As is clear from the above examples, the silicon carbide fiber structure of the present invention can produce a structure having a strength that has been difficult with conventional techniques.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 密度が3.0〜3.2g/cm3である
炭化ケイ素繊維からなるウェッブの繊維間に結合剤を存
在させ、減圧下または不活性ガス雰囲気下で該炭化ケイ
素繊維と該結合剤とを焼結させることを特徴とする、見
かけ密度が0.05〜1.0g/cm3である多孔質炭
化ケイ素繊維構造体の製造方法。
1. A binder is present between fibers of a web made of silicon carbide fibers having a density of 3.0 to 3.2 g / cm 3 , and the silicon carbide fibers and the silicon carbide fibers are mixed under reduced pressure or an inert gas atmosphere. A method for producing a porous silicon carbide fiber structure having an apparent density of 0.05 to 1.0 g / cm 3 , comprising sintering a binder.
【請求項2】 酸素含有量が1重量%以下である炭化ケ
イ素繊維からなるウェッブの繊維間に結合剤を存在さ
せ、減圧下または不活性ガス雰囲気下で該炭化ケイ素繊
維と該結合剤とを焼結させることを特徴とする、見かけ
密度が0.05〜1.0g/cm3である多孔質炭化ケ
イ素繊維構造体の製造方法。
2. A binder is present between fibers of a web made of silicon carbide fibers having an oxygen content of 1% by weight or less, and the silicon carbide fibers and the binder are combined under reduced pressure or an inert gas atmosphere. wherein the sintering, an apparent density of 0.05 to 1.0 g / cm 3 manufacturing method of a porous silicon carbide fiber structure.
【請求項3】 該炭化ケイ素繊維が下記(A)〜(B)
の工程で製造された繊維であることを特徴とする請求項
1または請求項2に記載の炭化ケイ素繊維構造体の製造
方法。 (A)繊維径が1〜20μmで、BET窒素吸着法によ
る比表面積が700〜1500m2/gの活性炭素繊維
と、ケイ素およびケイ素酸化物から選ばれた少なくとも
1種のガスとを、減圧下もしくは不活性ガス雰囲気下で
1200〜1500℃の温度条件下で反応させる工程。
(B)前記工程で得られた繊維をホウ素化合物の存在
下、不活性ガス雰囲気中において1700℃〜2100
℃で加熱処理する工程。
3. The method according to claim 1, wherein the silicon carbide fibers are of the following (A) to (B):
The method for producing a silicon carbide fiber structure according to claim 1, wherein the fiber is a fiber produced in the step. (A) An activated carbon fiber having a fiber diameter of 1 to 20 μm and a specific surface area of 700 to 1500 m 2 / g by a BET nitrogen adsorption method and at least one gas selected from silicon and silicon oxide are reduced under reduced pressure. Alternatively, a step of reacting under a temperature condition of 1200 to 1500 ° C. in an inert gas atmosphere.
(B) The fiber obtained in the above step is heated to 1700 ° C. to 2100 ° C. in an inert gas atmosphere in the presence of a boron compound.
A step of performing a heat treatment at ℃.
【請求項4】 結合剤が炭化ケイ素、アルミナ、シリ
カ、ジルコニア、チタニアから選ばれる少なくとも1種
を成分として含む請求項1〜請求項3のいずれかに記載
の炭化ケイ素繊維構造体の製造方法。
4. The method for producing a silicon carbide fiber structure according to claim 1, wherein the binder contains at least one selected from silicon carbide, alumina, silica, zirconia, and titania as a component.
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